JPS5912775A - 霧化ポンプユニツト - Google Patents
霧化ポンプユニツトInfo
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- JPS5912775A JPS5912775A JP57123589A JP12358982A JPS5912775A JP S5912775 A JPS5912775 A JP S5912775A JP 57123589 A JP57123589 A JP 57123589A JP 12358982 A JP12358982 A JP 12358982A JP S5912775 A JPS5912775 A JP S5912775A
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Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B05—SPRAYING OR ATOMISING IN GENERAL; APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
- B05B—SPRAYING APPARATUS; ATOMISING APPARATUS; NOZZLES
- B05B17/00—Apparatus for spraying or atomising liquids or other fluent materials, not covered by the preceding groups
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- B05B17/0638—Apparatus for spraying or atomising liquids or other fluent materials, not covered by the preceding groups operating with special methods using ultrasonic or other kinds of vibrations generated by electrical means, e.g. piezoelectric transducers spray being produced by discharging the liquid or other fluent material through a plate comprising a plurality of orifices
- B05B17/0646—Vibrating plates, i.e. plates being directly subjected to the vibrations, e.g. having a piezoelectric transducer attached thereto
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
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- B41J2/00—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed
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-
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- B41J2/1623—Manufacturing processes bonding and adhesion
-
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- B41J2/164—Manufacturing processes thin film formation
- B41J2/1642—Manufacturing processes thin film formation thin film formation by CVD [chemical vapor deposition]
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は、灯油などの液体燃Ｅｌ、水、薬液などの液体
の霧化ポンプに関するものであり、さらに詳しくは、圧
電振動子などの電気振動子を利用した霧化ポンプに関す
るものである。
の霧化ポンプに関するものであり、さらに詳しくは、圧
電振動子などの電気振動子を利用した霧化ポンプに関す
るものである。
従来この種の霧化ポンプは、第１図に示すように構成さ
れている。すなわち電気振動子１の４’ｌｌ ２１向す
る平滑面には、電極膜２ａ、２ｂが形成され、電極膜２
ｂとノズル板３とは半田層４ａを介して接合がされてい
た。さらにノズル板３の他方の面と、ボディー６は半田
層４ｂを介して接合されていた。
れている。すなわち電気振動子１の４’ｌｌ ２１向す
る平滑面には、電極膜２ａ、２ｂが形成され、電極膜２
ｂとノズル板３とは半田層４ａを介して接合がされてい
た。さらにノズル板３の他方の面と、ボディー６は半田
層４ｂを介して接合されていた。
電気振動子１は主成分がＰｂＯ，ＴｉＯ２，ＺｒＯ２゜
ＮｂＯ，ＭｑＯからなるセラミック体で、円形中火部に
開口部を設けたリング形状をイ］し、電（′Φ（膜２ａ
、２ｂは、銀糸の厚膜用導電性ベース１−の焼結体、ノ
ズル板３は厚さ約５０μｍ程度の半１１１何に活性な金
属板が選ばれ、その中火部にはノズル６の貫通孔（孔径
的７０〜１００μｍ）が複数個設けられている。また、
電極膜２ａは外部１） −Ｆ線接続用電極であシ、ボデ
ィー５にＵ液体通路７および液体室８が設けられ、この
様に霧化ポンプユニットは構成されていた。
ＮｂＯ，ＭｑＯからなるセラミック体で、円形中火部に
開口部を設けたリング形状をイ］し、電（′Φ（膜２ａ
、２ｂは、銀糸の厚膜用導電性ベース１−の焼結体、ノ
ズル板３は厚さ約５０μｍ程度の半１１１何に活性な金
属板が選ばれ、その中火部にはノズル６の貫通孔（孔径
的７０〜１００μｍ）が複数個設けられている。また、
電極膜２ａは外部１） −Ｆ線接続用電極であシ、ボデ
ィー５にＵ液体通路７および液体室８が設けられ、この
様に霧化ポンプユニットは構成されていた。
この構成では、ノズル板３と電気振動子１ （電極膜２
ｂ）ならびに、ノズル板３とボディー５を半田接合する
だめ、半田溶融時の半田流れが生じ易く接合界面以」−
に半田層４ａ、４ｂが拡大し、’Ｆ ＩＩＩ＋１層＋
４ｂの位置規正ができなかった。従って、電気振動イ
１からの振動伝播が異なって、霧化特１！ｉＩユの安定
化が得られないという欠点を有していた。まだ、半田レ
ジスト膜により半田接合部を規正することもおこなわれ
ていたが、ノズル孔６を汚染したり、目詰シさせる問題
や、半１１層４ｂ側の接合では、レジスト膜が除去でき
ないという欠点をイｊしていた。
ｂ）ならびに、ノズル板３とボディー５を半田接合する
だめ、半田溶融時の半田流れが生じ易く接合界面以」−
に半田層４ａ、４ｂが拡大し、’Ｆ ＩＩＩ＋１層＋
４ｂの位置規正ができなかった。従って、電気振動イ
１からの振動伝播が異なって、霧化特１！ｉＩユの安定
化が得られないという欠点を有していた。まだ、半田レ
ジスト膜により半田接合部を規正することもおこなわれ
ていたが、ノズル孔６を汚染したり、目詰シさせる問題
や、半１１層４ｂ側の接合では、レジスト膜が除去でき
ないという欠点をイｊしていた。
本発明はかかる従来の欠点を除去するもので、霧化ボン
プユニノ１−の構成において、電気振動子とノズル板な
らびにノス諏し板とボディーを半田接合するうえで、実
用上信頼性の高いユニットを提供することを目的とする
。
プユニノ１−の構成において、電気振動子とノズル板な
らびにノス諏し板とボディーを半田接合するうえで、実
用上信頼性の高いユニットを提供することを目的とする
。
この目的を達成するだめに本発明は、リング形状を有し
た電気振動イと１ないし１以上のノズル孔を設けたノズ
ル板とボディーからなシ、前記のノズル板表面の一部に
半田に不活性な金属薄膜層を形成し、その後、半田を介
して前記電気振動子と前記ノズル板ならびに前記ノズル
板と前記ボディーとを接合したものである。
た電気振動イと１ないし１以上のノズル孔を設けたノズ
ル板とボディーからなシ、前記のノズル板表面の一部に
半田に不活性な金属薄膜層を形成し、その後、半田を介
して前記電気振動子と前記ノズル板ならびに前記ノズル
板と前記ボディーとを接合したものである。
この構成によって、半［＋１層の位置規正が精度よくて
・き、霧化特性の安定した霧化ポンプユニットが得られ
る。
・き、霧化特性の安定した霧化ポンプユニットが得られ
る。
以下、本発明の１実施例を、第２図、第３図を用いて説
明する。尚、これらの図において第１図り同じものにつ
いては同一番号を付している。
明する。尚、これらの図において第１図り同じものにつ
いては同一番号を付している。
第２図において、電気振動子１は外径１０φ闘、開口径
３．６φ間、厚さ約１．ＱＭのリンク状の従来と同じも
のであシ、電極膜２ ａ ＋ ２ ｂが形成されてい
る。ノズル板３は、半田イー１に活性なコバール、洋白
、真鍮などの金属板で従来と同じものを用いた。
３．６φ間、厚さ約１．ＱＭのリンク状の従来と同じも
のであシ、電極膜２ ａ ＋ ２ ｂが形成されてい
る。ノズル板３は、半田イー１に活性なコバール、洋白
、真鍮などの金属板で従来と同じものを用いた。
ノズル板３０両面の一部には、半［］］に不活性なりロ
ム、チタン、アルミ等の金属薄膜層９が、真空蒸着法、
メッキ法、溶射法、スパッタ法などによシ形成される。
ム、チタン、アルミ等の金属薄膜層９が、真空蒸着法、
メッキ法、溶射法、スパッタ法などによシ形成される。
この金属薄膜層９の形成は第３図で示したように、ノズ
ル板３の電気振動子１との接合側面では、電Ｒｔ＜２ｂ
と同一のパターン部を残した面全体に、寸だ、他方のボ
ディー５との接合側面では、液体室８と同一のパターン
でなされている。
ル板３の電気振動子１との接合側面では、電Ｒｔ＜２ｂ
と同一のパターン部を残した面全体に、寸だ、他方のボ
ディー５との接合側面では、液体室８と同一のパターン
でなされている。
ついで、電気振動子１ （電極膜２ｂ）とノズル板３な
らびにノズル板３とボディー５は、半田層４ａおよび半
田層４ｂを介して接合される。まだノズル孔６、液体通
路７は従来と同じ形態であった。
らびにノズル板３とボディー５は、半田層４ａおよび半
田層４ｂを介して接合される。まだノズル孔６、液体通
路７は従来と同じ形態であった。
上記（７４成において、電気振動子１ （電極膜２ｂ）
とノズル板３ならびにノズル板３とボディー間のＩＬＩ
Ｉ＋接合の場合、ノズル板３面上には坐１η付に不活性
な金属薄膜層９がパターン形成さｔｌているだめ、各半
田層４ａ、 ４ｂは接合界而が規正され、従って形状
的に安定した接合部が得られる。
とノズル板３ならびにノズル板３とボディー間のＩＬＩ
Ｉ＋接合の場合、ノズル板３面上には坐１η付に不活性
な金属薄膜層９がパターン形成さｔｌているだめ、各半
田層４ａ、 ４ｂは接合界而が規正され、従って形状
的に安定した接合部が得られる。
まだ、上記構成によれば、レジスト膜を用いた場合、ノ
ズル孔６を汚染したり、目詰させるなどの問題は全くな
い。
ズル孔６を汚染したり、目詰させるなどの問題は全くな
い。
以上のように、本発明の霧化ポンプユニットの構成によ
れば、次の効果が得られる。
れば、次の効果が得られる。
（１）接合部の接合界而が形状的に安定化できる。
従って電気振動子からの振動伝播が安定し、霧化特性の
安定化が得られる。
安定化が得られる。
（２）半田レジスト膜を用いた場合の、目詰りゃノズル
孔の汚染などの問題がない。
孔の汚染などの問題がない。
第１図は従来の霧化ポンプユニットの構成を示す断面図
、第２図は本発明の霧化ポンプユニットの構成の一実施
例を示す断面図、第３図は本発明の部分を詳しく説明す
るだめの断面図である。 １・・・・・・電気振動子、２ａ・・・・・電極膜、２
ｂ・・・電極膜、３・・・・・・ノズル板、４ａ・・・
・・・半田層、４ｂ・・・・・・半田層、５・・・・ボ
ディー、６・・・・・ノズル孔、７・・・・・・液体通
路、８・・・・・・液体室、９・・・・金属薄膜層。
、第２図は本発明の霧化ポンプユニットの構成の一実施
例を示す断面図、第３図は本発明の部分を詳しく説明す
るだめの断面図である。 １・・・・・・電気振動子、２ａ・・・・・電極膜、２
ｂ・・・電極膜、３・・・・・・ノズル板、４ａ・・・
・・・半田層、４ｂ・・・・・・半田層、５・・・・ボ
ディー、６・・・・・ノズル孔、７・・・・・・液体通
路、８・・・・・・液体室、９・・・・金属薄膜層。
Claims (3)
- （１）リンク形状奪有した電気振動子と１ないし１以上
のノズル孔を設けたノズル板とボディーとからなシ、前
記のノズル板表面の一部に、半田に不活性な金属薄膜層
を形成し、その後、半田を介して前記電気振動子と前記
ノズル板ならびに前記ノズル板と前記ボディーとを接合
した霧化ポンプユニット。 - （２） ノズル板は、半田イ・１に活性なコバール、
洋白。 ｊ′を鍮などの金属である特許請求の範囲第１項記載の
霧化ボンプユニノｌ−６ - （３）半田イχｊに不活件な金属薄膜層は、クロム、チ
タン、アルミなどの金属である特許請求の範囲第１項記
載の霧化ボンプユニノ１−。
Priority Applications (6)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP57123589A JPS5912775A (ja) | 1982-07-14 | 1982-07-14 | 霧化ポンプユニツト |
| US06/512,690 US4530464A (en) | 1982-07-14 | 1983-07-11 | Ultrasonic liquid ejecting unit and method for making same |
| CA000432345A CA1205375A (en) | 1982-07-14 | 1983-07-13 | Ultrasonic liquid ejecting unit and method for making same |
| EP83304083A EP0099730B1 (en) | 1982-07-14 | 1983-07-13 | Ultrasonic liquid ejecting unit and method for making same |
| DE8383304083T DE3373421D1 (en) | 1982-07-14 | 1983-07-13 | Ultrasonic liquid ejecting unit and method for making same |
| AU16845/83A AU544478B2 (en) | 1982-07-14 | 1983-07-14 | Ultrasonic spraying |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP57123589A JPS5912775A (ja) | 1982-07-14 | 1982-07-14 | 霧化ポンプユニツト |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5912775A true JPS5912775A (ja) | 1984-01-23 |
| JPS6340592B2 JPS6340592B2 (ja) | 1988-08-11 |
Family
ID=14864332
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP57123589A Granted JPS5912775A (ja) | 1982-07-14 | 1982-07-14 | 霧化ポンプユニツト |
Country Status (6)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US4530464A (ja) |
| EP (1) | EP0099730B1 (ja) |
| JP (1) | JPS5912775A (ja) |
| AU (1) | AU544478B2 (ja) |
| CA (1) | CA1205375A (ja) |
| DE (1) | DE3373421D1 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2002538001A (ja) * | 1999-03-08 | 2002-11-12 | エス．シー． ジョンソン アンド サン、インコーポレイテッド | 圧電素子の改良取付方法 |
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| US5152456A (en) * | 1989-12-12 | 1992-10-06 | Bespak, Plc | Dispensing apparatus having a perforate outlet member and a vibrating device |
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