JPS5838005B2 - 圧電振動子 - Google Patents
圧電振動子Info
- Publication number
- JPS5838005B2 JPS5838005B2 JP14158576A JP14158576A JPS5838005B2 JP S5838005 B2 JPS5838005 B2 JP S5838005B2 JP 14158576 A JP14158576 A JP 14158576A JP 14158576 A JP14158576 A JP 14158576A JP S5838005 B2 JPS5838005 B2 JP S5838005B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- electrode
- electrode section
- electrode part
- piezoelectric vibrator
- external terminal
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired
Links
- 229910000679 solder Inorganic materials 0.000 claims description 12
- 239000004020 conductor Substances 0.000 claims description 8
- 239000011810 insulating material Substances 0.000 claims description 7
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 claims description 2
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 claims description 2
- 238000009792 diffusion process Methods 0.000 claims description 2
- 239000000126 substance Substances 0.000 claims 1
- 238000000034 method Methods 0.000 description 3
- 238000005476 soldering Methods 0.000 description 3
- 238000007740 vapor deposition Methods 0.000 description 3
- VYZAMTAEIAYCRO-UHFFFAOYSA-N Chromium Chemical compound [Cr] VYZAMTAEIAYCRO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Copper Chemical compound [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N Nickel Chemical compound [Ni] PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000011651 chromium Substances 0.000 description 2
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000010949 copper Substances 0.000 description 2
- 230000006866 deterioration Effects 0.000 description 2
- 238000007747 plating Methods 0.000 description 2
- 229910052709 silver Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000004332 silver Substances 0.000 description 2
- 229910000599 Cr alloy Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910000990 Ni alloy Inorganic materials 0.000 description 1
- BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N Silver Chemical compound [Ag] BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 description 1
- 229910052804 chromium Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052681 coesite Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000000470 constituent Substances 0.000 description 1
- 229910052906 cristobalite Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 230000001771 impaired effect Effects 0.000 description 1
- WPBNNNQJVZRUHP-UHFFFAOYSA-L manganese(2+);methyl n-[[2-(methoxycarbonylcarbamothioylamino)phenyl]carbamothioyl]carbamate;n-[2-(sulfidocarbothioylamino)ethyl]carbamodithioate Chemical compound [Mn+2].[S-]C(=S)NCCNC([S-])=S.COC(=O)NC(=S)NC1=CC=CC=C1NC(=S)NC(=O)OC WPBNNNQJVZRUHP-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 238000013508 migration Methods 0.000 description 1
- 230000005012 migration Effects 0.000 description 1
- 229910052759 nickel Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000002265 prevention Effects 0.000 description 1
- 239000000377 silicon dioxide Substances 0.000 description 1
- 235000012239 silicon dioxide Nutrition 0.000 description 1
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 description 1
- 229910052682 stishovite Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052905 tridymite Inorganic materials 0.000 description 1
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
- H03H—IMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
- H03H9/00—Networks comprising electromechanical or electro-acoustic elements; Electromechanical resonators
- H03H9/46—Filters
- H03H9/54—Filters comprising resonators of piezoelectric or electrostrictive material
- H03H9/56—Monolithic crystal filters
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Crystallography & Structural Chemistry (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Acoustics & Sound (AREA)
- Piezo-Electric Or Mechanical Vibrators, Or Delay Or Filter Circuits (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は、圧電体上に電気的に導通せる作動用の電極部
とリード用の電極部および外部端子用の電極部を設け、
発振器、フィルターなどの構成素子として使用する圧電
振動子に関するものである。
とリード用の電極部および外部端子用の電極部を設け、
発振器、フィルターなどの構成素子として使用する圧電
振動子に関するものである。
まず、従来から用いられているこの種の圧電振動子の一
例を第1図に示して説明する。
例を第1図に示して説明する。
第1図において、Aはその正面図を、BはそのX−X線
断面図を示す。
断面図を示す。
同図において1は圧電磁器板などで構成した圧電体で、
その一方の主千面1aには作動用の電極部2a,IJ−
ド用の電極部2がおよび外部端子用の電極部2Cが一体
的に形成された第1電極(例えば入力用電極)2と、作
動用の電極部3a,’J−ド用の電極部3bおよび外部
端子用の電極部3cが一体的に形成された第2電極(例
えば出力用電極)3とが設けられている。
その一方の主千面1aには作動用の電極部2a,IJ−
ド用の電極部2がおよび外部端子用の電極部2Cが一体
的に形成された第1電極(例えば入力用電極)2と、作
動用の電極部3a,’J−ド用の電極部3bおよび外部
端子用の電極部3cが一体的に形成された第2電極(例
えば出力用電極)3とが設けられている。
また圧電体1の他方の主千面1bには、作動用の電極部
4a,!J−ド用の電極部4bおよび外部端子用の電極
部4cが一体的に形成された第3電極(例えば共通電極
またはアース用電極)4が設けられている。
4a,!J−ド用の電極部4bおよび外部端子用の電極
部4cが一体的に形成された第3電極(例えば共通電極
またはアース用電極)4が設けられている。
また上記作動用の電極部2aと3aは図示のように圧電
体1の一方の主千面1a側において所定の空隙Gをもっ
て相対向し、またそれらの作動用の電極部2a,3aは
、圧電体1を介して第3電極4の作動用の電極部4aと
相対向させられている。
体1の一方の主千面1a側において所定の空隙Gをもっ
て相対向し、またそれらの作動用の電極部2a,3aは
、圧電体1を介して第3電極4の作動用の電極部4aと
相対向させられている。
ここで、第1図に例示する従来の圧電振動子においては
、第1、第2および第3電極2,3.4の全体が半田付
け性の優れた導電性材料(例えば銀や銅)を用いて蒸着
やメッキ等の方法により、形成されているため各外部端
子用の電極部2C,3c ,4cに外部端子5a ,5
b ,5cをそれぞれ半田付けする場合に半田が作動用
の電極部2a,3a,4aにまた付着してしまい、圧電
体1の振動が不要に抑圧されたり、吸収されたりして振
動子としての機能が損われることがあった。
、第1、第2および第3電極2,3.4の全体が半田付
け性の優れた導電性材料(例えば銀や銅)を用いて蒸着
やメッキ等の方法により、形成されているため各外部端
子用の電極部2C,3c ,4cに外部端子5a ,5
b ,5cをそれぞれ半田付けする場合に半田が作動用
の電極部2a,3a,4aにまた付着してしまい、圧電
体1の振動が不要に抑圧されたり、吸収されたりして振
動子としての機能が損われることがあった。
また、作動用の電極部2aと3aとの間が半田によって
短絡されることもあるという欠点もあった。
短絡されることもあるという欠点もあった。
そして、このような従来の構造のものでは作動用の電極
部2a ,3a ,4aに半田が付着しないように半田
付けをするためには非常な困難さをともない、作業能率
および歩留まりの低下をきたすものであった。
部2a ,3a ,4aに半田が付着しないように半田
付けをするためには非常な困難さをともない、作業能率
および歩留まりの低下をきたすものであった。
また、たとえ、上記作動用の電極部2a ,3a ,4
aへの半田の付着防止が伺らかの手段で解決されたとし
ても高温高湿などの加速試験による半田の作動用の電極
部への移行に起因して、特性の劣化が生じるなどの欠点
があった。
aへの半田の付着防止が伺らかの手段で解決されたとし
ても高温高湿などの加速試験による半田の作動用の電極
部への移行に起因して、特性の劣化が生じるなどの欠点
があった。
以上の諸欠点は、圧電振動子の形状が小さくなる程顕著
に現われるものである。
に現われるものである。
そこで本発明は上述のような従来の欠点を解決して、半
田付けに伴う特性劣化が生じることのない圧電振動子を
提供することを目的とするものである。
田付けに伴う特性劣化が生じることのない圧電振動子を
提供することを目的とするものである。
以下、本発明について、第2図に例示した一実施例を参
照して基いて説明する。
照して基いて説明する。
なお、ここで、第1図で説明した要素と同様のものにつ
いては同一の符号を付して説明する。
いては同一の符号を付して説明する。
また、第2図においてもAはその正面図を、BはそのX
−X線の断面図を示す。
−X線の断面図を示す。
この圧電振動子においては、まず、作動用の電極部2a
,!J−ド用の電極部2bおよび外部端子接続用の電極
部2cが一体的に形或された第1電極2と、作動用の電
極部3a,’J−ド用の電極部3bおよび外部端子接続
用の電極部3cが一体的に形成された第2電極3と、さ
らに作動用の電極部4a,’J−ド用の電極部4b,外
部端子接続用の電極部4cが一体的に形成された第3電
極4とを、それぞれ半田付け可能な導電性材料例えば銅
、銀、ニッケル、マンガンなどを使用して、蒸着あるい
はメッキなどの適当な手段所定の形状で形成するととも
に、それぞれの電極の外部端子接続用電極部2c ,3
c ,4cを除き、かつ少くとも作動用の電極部2a
,3a ,4a及びリード用の電極部2b ,3b ,
4bを含む面の上面に半田の付着しない絶縁材料さとえ
ばSiOやSiO2などを用いて蒸着ないしはスパッタ
リングなどの適当な手段で絶縁物質6a ,6bを装着
する。
,!J−ド用の電極部2bおよび外部端子接続用の電極
部2cが一体的に形或された第1電極2と、作動用の電
極部3a,’J−ド用の電極部3bおよび外部端子接続
用の電極部3cが一体的に形成された第2電極3と、さ
らに作動用の電極部4a,’J−ド用の電極部4b,外
部端子接続用の電極部4cが一体的に形成された第3電
極4とを、それぞれ半田付け可能な導電性材料例えば銅
、銀、ニッケル、マンガンなどを使用して、蒸着あるい
はメッキなどの適当な手段所定の形状で形成するととも
に、それぞれの電極の外部端子接続用電極部2c ,3
c ,4cを除き、かつ少くとも作動用の電極部2a
,3a ,4a及びリード用の電極部2b ,3b ,
4bを含む面の上面に半田の付着しない絶縁材料さとえ
ばSiOやSiO2などを用いて蒸着ないしはスパッタ
リングなどの適当な手段で絶縁物質6a ,6bを装着
する。
そして絶縁物質6a,6bの装着を行わない電極部すな
わち、2C,3C,4Cの面における導電性材料を実質
的に第1電極2、第2電極3、第3電極4の外部端子接
続用の電極として使用するようにしたものである。
わち、2C,3C,4Cの面における導電性材料を実質
的に第1電極2、第2電極3、第3電極4の外部端子接
続用の電極として使用するようにしたものである。
なお、絶縁物質6a ,6bを装着する場合、振動子の
主振動モードの振動が阻害されないような厚み、たとえ
ば数ミクロン程度で装着を行うことが必要であることは
いうまでもない。
主振動モードの振動が阻害されないような厚み、たとえ
ば数ミクロン程度で装着を行うことが必要であることは
いうまでもない。
また、それぞれの電極2,3.4の作動用の電極部2a
,3a ,4a, リード用の電極部2 b t3
b,4b,外部端子接続用の電極部2c,3c,4cを
一体的に形成する際、導電性材料として、銅、銀などを
使用する場合には圧慮体1との接着力の増加、および半
田付け作業時における熱拡散の抑制を図るためにクロム
、ニッケルとクロムの合金などの導電性物質を含めてな
る導電層2d,3d ,4dを介して、装着するのが望
ましい。
,3a ,4a, リード用の電極部2 b t3
b,4b,外部端子接続用の電極部2c,3c,4cを
一体的に形成する際、導電性材料として、銅、銀などを
使用する場合には圧慮体1との接着力の増加、および半
田付け作業時における熱拡散の抑制を図るためにクロム
、ニッケルとクロムの合金などの導電性物質を含めてな
る導電層2d,3d ,4dを介して、装着するのが望
ましい。
以上のように構成すると外部端子5a ,5b j5c
をそれぞれ外部端子接続用の電極部2C,3C,4cの
導電性材料に半田付けする場合に、半田が流れたとして
も、絶縁物質5a ,5bにより作動用の電極部2a,
3a,4aに不要に付着することがなく、また、作動用
の電極部2aと3a間を不要に短絡することがない。
をそれぞれ外部端子接続用の電極部2C,3C,4cの
導電性材料に半田付けする場合に、半田が流れたとして
も、絶縁物質5a ,5bにより作動用の電極部2a,
3a,4aに不要に付着することがなく、また、作動用
の電極部2aと3a間を不要に短絡することがない。
従って半田付けに高度の技術や熟練を必要とすることが
なく、作業能率および歩留まりの飛躍的な向上が可能と
なるとともに、特性の揃った高品質の圧電振動子を得る
ことができるものである。
なく、作業能率および歩留まりの飛躍的な向上が可能と
なるとともに、特性の揃った高品質の圧電振動子を得る
ことができるものである。
また本発明の圧電振動子はそれ自体を直接半田槽中に浸
漬することにより外部端子用の電極部となる導電性材料
にのみ予備半田を施すことも可能であるので、非常に量
産性に富んでいるという特長も有するものである。
漬することにより外部端子用の電極部となる導電性材料
にのみ予備半田を施すことも可能であるので、非常に量
産性に富んでいるという特長も有するものである。
第1図A,Bは従来の圧電振動子の正面図および断面図
、第2図A,Bは本発明の一実施例における圧電振動子
の正面図および断面図である。 1・・・・・・圧電体、2・・・・・・第1電極、3・
・・・・・第2電極、4・・・・・・第3電極、2a,
3a,4a・・・・・・作動用の電極部、2b,3b,
4b・・・・・・リード用の電極部、2C,3C,4C
・・・・・・外部端子接続用の電極部、5a ,sb
,5c−外部端子、5a , 6b・・・・・・半田の
付着しない絶縁物質。
、第2図A,Bは本発明の一実施例における圧電振動子
の正面図および断面図である。 1・・・・・・圧電体、2・・・・・・第1電極、3・
・・・・・第2電極、4・・・・・・第3電極、2a,
3a,4a・・・・・・作動用の電極部、2b,3b,
4b・・・・・・リード用の電極部、2C,3C,4C
・・・・・・外部端子接続用の電極部、5a ,sb
,5c−外部端子、5a , 6b・・・・・・半田の
付着しない絶縁物質。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 1 圧電体上に作動用の電極部とリード用の電極部と外
部端子接続用の電極部とを半田付け可能な導電性材料に
より一体的に形或するとともに、前記外部端子接続用の
電極部を除き少くとも上記作動用の電極部及びリード用
の電極部の上面に半田の付着しない絶縁物質を装着した
ことを特徴する圧電振動子。 2 半田付可能な導電性材料を接着力向上用および熱拡
散抑制用の導電性物質を含む導電層を介して圧電体のそ
れぞれの電極部面に装着したことを特徴とする特許請求
の範囲第1項記載の圧電振動子。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14158576A JPS5838005B2 (ja) | 1976-11-24 | 1976-11-24 | 圧電振動子 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14158576A JPS5838005B2 (ja) | 1976-11-24 | 1976-11-24 | 圧電振動子 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5365685A JPS5365685A (en) | 1978-06-12 |
| JPS5838005B2 true JPS5838005B2 (ja) | 1983-08-19 |
Family
ID=15295414
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP14158576A Expired JPS5838005B2 (ja) | 1976-11-24 | 1976-11-24 | 圧電振動子 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5838005B2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH01105001A (ja) * | 1987-10-16 | 1989-04-21 | Smc Corp | 等速度駆動弁 |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0749859Y2 (ja) * | 1986-06-06 | 1995-11-13 | ティーディーケイ株式会社 | セラミック電子部品 |
-
1976
- 1976-11-24 JP JP14158576A patent/JPS5838005B2/ja not_active Expired
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH01105001A (ja) * | 1987-10-16 | 1989-04-21 | Smc Corp | 等速度駆動弁 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS5365685A (en) | 1978-06-12 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JPH10261507A (ja) | サーミスタ素子 | |
| US3721841A (en) | Contact for piezoelectric crystals | |
| US3281612A (en) | Piezoelectric device, particularly a force measuring instrument and the process of manufacturing same | |
| JPH0575372A (ja) | 圧電共振子及びその製造方法 | |
| JPH08222402A (ja) | 電子部品の電極構造及び圧電共振素子の振動電極構造 | |
| JPS5838005B2 (ja) | 圧電振動子 | |
| JP2839092B2 (ja) | 圧電複合部品及びその製造方法 | |
| JPS5827548Y2 (ja) | 結晶振動子 | |
| JPH02105710A (ja) | 水晶振動子 | |
| JPH026664Y2 (ja) | ||
| JP3063066B2 (ja) | 表面実装型電子部品 | |
| JPH10284972A (ja) | 圧電振動子のパッケージ内支持構造 | |
| JPH02117157A (ja) | 半導体装置 | |
| JP6629660B2 (ja) | セラミックパッケージおよびその製造方法 | |
| JPH0749862Y2 (ja) | 水晶振動子 | |
| JPH0628879Y2 (ja) | 振動子 | |
| JPH025542Y2 (ja) | ||
| JPH03145812A (ja) | 電子部品 | |
| JP4059967B2 (ja) | チップ型複合機能部品 | |
| JPH04151884A (ja) | 積層型圧電素子 | |
| JPH0372353B2 (ja) | ||
| JPS6119215A (ja) | 圧電振動子の電極構造 | |
| JPH07106910A (ja) | チップ型圧電共振子およびその製造方法 | |
| JPH06177695A (ja) | チップ型圧電部品 | |
| JP2577413B2 (ja) | バンプ領域付電子基板 |