JPH08222402A - 電子部品の電極構造及び圧電共振素子の振動電極構造 - Google Patents

電子部品の電極構造及び圧電共振素子の振動電極構造

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JPH08222402A
JPH08222402A JP7024964A JP2496495A JPH08222402A JP H08222402 A JPH08222402 A JP H08222402A JP 7024964 A JP7024964 A JP 7024964A JP 2496495 A JP2496495 A JP 2496495A JP H08222402 A JPH08222402 A JP H08222402A
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JP
Japan
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layer
electrode structure
electronic component
electrode
component
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JP7024964A
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English (en)
Inventor
Fudeharu Takai
筆東 高井
Soushi Saoshita
宗士 竿下
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Murata Manufacturing Co Ltd
Original Assignee
Murata Manufacturing Co Ltd
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Publication date
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    • HELECTRICITY
    • H10SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10NELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10N30/00Piezoelectric or electrostrictive devices
    • H10N30/80Constructional details
    • H10N30/87Electrodes or interconnections, e.g. leads or terminals
    • H10N30/877Conductive materials

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  • Piezo-Electric Or Mechanical Vibrators, Or Delay Or Filter Circuits (AREA)
  • Details Of Resistors (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【目的】 銅層における半田拡散性の低減を図りつつ、
耐高温保持性及び耐熱衝撃性の向上を図ることが可能な
電子部品の電極構造を提供する。 【構成】 本発明に係る電子部品の電極構造は、部品本
体部1の表面上に被着されたニッケル・クロム合金層1
1と、このニッケル・クロム合金層11上に被着された
うえで半田付け接続される銅層3とを含んで構成された
電極10を有することを特徴としている。なお、この際
における電子部品が圧電共振素子12そのものであり、
電極が振動電極14であってもよい。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、電子部品の電極構造に
関する。
【0002】
【従来の技術及び発明が解決しようとする課題】セラミ
ック圧電部品やセラミックコンデンサ部品などの電子部
品においては、図4で圧電部品の要部構成を示すよう
に、略直方体形状を有する部品本体部1の長手方向に沿
う両端部などの外表面上に電極2を形成しておいたう
え、これらの電極2を配線基板上の導体パターン(いず
れも図示していない)に対して半田付け接続することが
行われている。そして、ここでの電極2は、セラミック
からなる部品本体部1の外表面上に厚み1.2μmの銅
(Cu)層3を蒸着処理によって被着したうえ、厚み
0.5μmの銀(Ag)層4を酸化防止用としてCu層
3の表面上に被着したものとなっている。なお、図中の
符号5は圧電共振素子を示しており、この圧電共振素子
5を構成するセラミック基板6の表裏面上には振動電極
7のそれぞれが互いにセラミック基板6を介して対向す
る状態で形成されている。
【0003】ところで、Cuは安価である反面、半田拡
散性が高くて耐高温保持性及び耐熱衝撃性が低いという
特性を有する材料であるため、電極2の半田付け接続を
行った際には、Ag層4を溶かした半田がCu層3内に
まで溶け込んでしまうことになり、Cu層3自体の厚み
が薄くなることが起こる。そして、甚だしい場合にはC
u層3が部品本体部1の表面上から剥離することも生じ
かねず、電子部品としての機能を失うことにもなってい
た。
【0004】一方、これらの不都合が生じるのを避ける
べく、以下のような構成とされた電極8を形成しておく
ことも行われている。すなわち、図5で示すように、部
品本体部1の外表面上に厚み0.15μmのニッケル・
銅(Ni・Cu)合金層9をスパッタリング処理によっ
て被着したうえ、このNi・Cu合金層9の表面上にC
u層3及びAg層4を順次積層してなる構成である。し
かしながら、このような構成の電極8を採用した場合に
は、Ni・Cu合金の方がCuよりも半田拡散性が低い
材料であるにも拘わらず、やはり十分な半田拡散性や耐
高温保持性、耐熱衝撃性を得ることが困難となり、信頼
性の向上を図ることができないのが実情であった。
【0005】本発明は、これらの不都合に鑑みて創案さ
れたものであり、Cu層における半田拡散性の低減を図
りつつ、信頼性の向上を図ることが可能な電子部品の電
極構造を提供することを目的としている。
【0006】
【課題を解決するための手段】本発明に係る電子部品の
電極構造は、このような目的を達成するため、部品本体
部の表面上に被着されたニッケル・クロム合金層と、こ
のニッケル・クロム合金層上に被着されたうえで半田付
け接続される銅層とを含んで構成された電極を有するこ
とを特徴としている。なお、この際における電子部品が
圧電共振素子そのものであり、電極が振動電極であって
もよい。
【0007】
【実施例】以下、本発明の実施例を図面に基づいて説明
する。
【0008】図1は本実施例に係るセラミック圧電部品
の要部を簡略化して示す一部破断面図、図2は本実施例
及び従来例における電極の半田付け特性を比較して示す
説明図であり、図3は電子部品が圧電共振素子そのもの
である場合の構造例を示す一部省略斜視図である。な
お、図1で示す圧電部品の全体構成は従来例と基本的に
異ならないので、図1において図4及び図5と互いに同
一もしくは相当する部分については同一符号を付し、こ
こでの詳しい説明は省略する。
【0009】本実施例に係る圧電部品は、図1で示すよ
うに、略直方体形状として作製されたセラミックケース
などの部品本体部1を備えて構成されたものであり、こ
の部品本体部1の長手方向に沿う両端部などの外表面上
には電極10が形成されている。そして、これら電極1
0のそれぞれは、部品本体部1の表面上に被着された厚
み0.15μmのニッケル・クロム(Ni・Cr)合金
層11と、このNi・Cr合金層11上に被着されたう
えで配線基板上の導体パターン(いずれも図示していな
い)に対して半田付け接続される厚み0.21μmのC
u層3と、このCu層3の表面上に被着されたうえで酸
化防止用として機能する厚み0.18μmのAg層4と
から構成されている。
【0010】また、これらの各層11,3,4はスパッ
タリング処理によって形成されたものであり、従来から
多用されている非磁性スパッタ装置を使用したうえでN
i・Cr合金層11を形成する際にはNi及びCrの配
合比率が93%:7%と調製された合金材料を用いるこ
とが好ましい。なお、上記各層11,3,4の厚みは求
められる特性に対応して設定されることになり、上記厚
み寸法に限定されないことは勿論である。
【0011】引き続き、本発明の発明者らが各種の試験
を行って本実施例及び従来例のそれぞれに係る圧電部品
の電極10,2,8それぞれが有する特性を求めてみた
ところ、図2で示し、かつ、以下で説明するような結果
が得られた。なお、これらの試験を行うにあたっては、
Ni・Cr合金層11とCu層3及びAg層4とを積層
してなる電極10が形成された圧電部品を本実施例品と
し、Cu層3及びAg層4とを積層してなる電極2が形
成された圧電部品を第1従来例品とする一方、Ni・C
u合金層9とCu層3及びAg層4とを積層してなる電
極8が形成された圧電部品を第2従来例品としている。
【0012】まず、本実施例品及び第1従来例品、第2
従来例品のそれぞれを350℃の温度に維持された半田
中に浸漬したうえで半田拡散量(半田食われ量)を測定
してみたところ、図2で示すような結果が得られた。す
なわち、この図2によれば、20秒間にわたって浸漬し
た際における本実施例品での半田拡散量は0.3μmで
あるに過ぎないのに比べ、第1従来例品では1.0μ
m、また、第2従来例品では0.45μmの半田拡散量
となっていることが分かる。したがって、この試験結果
によれば、本実施例品の半田拡散性が第1及び第2従来
例品よりも大幅に低減し、改善されていることは明らか
である。なお、ここでの半田拡散量とは、半田の溶け込
みによってCu層3の表面がNi・Cr合金層11もし
くはNi・Cu合金層9などの表面側へと近づいた量を
意味している。
【0013】また、半田拡散性と耐高温保持性とが相反
関係、つまり半田拡散性が低下すると耐高温保持性が向
上する関係にあることは従来から知られていることであ
り、上記の結果から本実施例品における耐高温保持性が
向上していることも分かる。さらに、引き続き、−40
℃〜+125℃の温度範囲にわたる2000サイクルの
耐熱衝撃試験を行った際の不良品発生数を調査してみた
ところ、第1従来例品では30個中26個、また、第2
従来例品では30個中4個の不良品が発生したのに対
し、本実施例品では30個中ただ1個の不良品も発生し
ておらず、耐熱衝撃性の大幅な向上がみられた。
【0014】ところで、本実施例においては、部品本体
部1の表面上にNi・Cr合金層11を被着したうえで
Cu層3を形成しているが、発明者らが調査したところ
によれば、Ni・Cr合金層11に代えてクロム(C
r)層を使用した場合の方がより一層の半田拡散性低減
を図り得ることが分かっている。しかしながら、Cr膜
においては大きな膜応力が生じることも分かっているた
め、セラミック上に被着される電極材料としてCrを単
独で用いるのは不適切であり、Cr膜を被着した場合に
は電極剥がれなどの発生が避けられないことになってし
まう。なお、本実施例では電子部品がセラミック圧電部
品であるとして説明しているが、セラミックコンデンサ
部品などの電子部品に対しても本発明を適用し得ること
は勿論である。
【0015】さらにまた、以上の説明においては、セラ
ミック圧電部品が図1で示したチップ型を有するもので
あるとしているが、このような構造の圧電部品に適用範
囲が限定されることはなく、図3で示すような構造とさ
れた圧電部品に対して本発明を適用することも可能であ
る。なお、図3における圧電部品は、圧電共振素子12
のみを備えたものとなっているが、これに対してコンデ
ンサなどのような各種の別部品を組み込んでおいてもよ
いことは勿論である。
【0016】つまり、図3で示す圧電部品は、矩形平板
状を有する素子本体であるところのセラミック基板13
と、このセラミック基板13の表裏面上に形成され、か
つ、セラミック基板13を介して互いに対向する振動電
極14とからなる圧電共振素子12と、この圧電共振素
子12の長手方向に沿う両端部を保持する一対のカップ
端子15とを備えており、セラミック基板13の互いに
異なる端部にまで引き出された振動電極14の各々はカ
ップ端子15に対して半田付け接続されたものである。
なお、図中の符号16は外装用樹脂であり、この外装用
樹脂16によっては圧電共振素子12及びカップ端子1
5が封止されている。
【0017】そして、この際における圧電共振素子12
を構成する振動電極14のそれぞれは、セラミック基板
13の表面上に被着されたNi・Cr合金層17と、こ
のNi・Cr合金層17上に被着されたうえでカップ端
子15に対して半田付け接続されるCu層18と、この
Cu層18の表面上に被着されたうえで酸化防止用とし
て機能するAg層19とから構成されている。すなわ
ち、この際においては、圧電共振素子12そのものが電
子部品である一方、振動電極14のそれぞれが電極とな
っているのであり、このような構成の圧電部品において
も、半田拡散性が改善されて耐高温保持性及び耐熱衝撃
性が向上することが確認されている。
【0018】
【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
電極を構成するCu層における半田拡散性の低減を図る
ことが可能になるとともに、耐高温保持性や耐熱衝撃性
などの信頼性向上を図ることができるという効果が得ら
れる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本実施例に係るセラミック圧電部品の要部を簡
略化して示す一部破断面図である。
【図2】本実施例及び従来例における外部電極の特性比
較を示す説明図である。
【図3】電子部品が圧電共振素子そのものである場合の
構造例を示す一部省略斜視図である。
【図4】第1の従来例に係るセラミック圧電部品の要部
を簡略化して示す一部破断面図である。
【図5】第2の従来例に係るセラミック圧電部品の要部
を簡略化して示す一部破断面図である。
【符号の説明】
1 部品本体部 3 Cu層 4 Ag層 10 電極 11 Ni・Cr合金層 12 圧電共振素子 13 セラミック基板(素子本体) 14 振動電極 17 Ni・Cr合金層 18 Cu層 19 Ag層

Claims (4)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 部品本体部(1)の外表面上に被着され
    たニッケル・クロム合金層(11)と、このニッケル・
    クロム合金層(11)上に被着されたうえで半田付け接
    続される銅層(3)とを含んで構成された電極(10)
    を有することを特徴とする電子部品の電極構造。
  2. 【請求項2】 銅層(3)の表面上には銀層(4)が被
    着されていることを特徴とする請求項1に記載した電子
    部品の電極構造。
  3. 【請求項3】 素子本体(13)の表面上に被着された
    ニッケル・クロム合金層(17)と、このニッケル・ク
    ロム合金層(17)上に被着されたうえで半田付け接続
    される銅層(18)とを含んで構成された振動電極(1
    4)を有することを特徴とする圧電共振素子の振動電極
    構造。
  4. 【請求項4】 銅層(18)の表面上には銀層(19)
    が被着されていることを特徴とする請求項3に記載した
    圧電共振素子の振動電極構造。
JP7024964A 1995-02-14 1995-02-14 電子部品の電極構造及び圧電共振素子の振動電極構造 Pending JPH08222402A (ja)

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