JPS6310815A - 音叉型圧電振動片の電極構造 - Google Patents
音叉型圧電振動片の電極構造Info
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- JPS6310815A JPS6310815A JP15446286A JP15446286A JPS6310815A JP S6310815 A JPS6310815 A JP S6310815A JP 15446286 A JP15446286 A JP 15446286A JP 15446286 A JP15446286 A JP 15446286A JP S6310815 A JPS6310815 A JP S6310815A
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- resonance chip
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- tuning fork
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- Pending
Links
- 239000013078 crystal Substances 0.000 abstract description 16
- 229920002120 photoresistant polymer Polymers 0.000 abstract description 11
- 230000000873 masking effect Effects 0.000 abstract description 5
- 239000000463 material Substances 0.000 abstract description 3
- 229910052737 gold Inorganic materials 0.000 abstract description 2
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 12
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 12
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 8
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 6
- 230000005684 electric field Effects 0.000 description 6
- 238000000034 method Methods 0.000 description 6
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 description 4
- 238000005530 etching Methods 0.000 description 3
- 238000007740 vapor deposition Methods 0.000 description 3
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 238000001259 photo etching Methods 0.000 description 2
- -1 %Cr Chemical class 0.000 description 1
- 235000016496 Panda oleosa Nutrition 0.000 description 1
- 240000000220 Panda oleosa Species 0.000 description 1
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 1
- 239000011449 brick Substances 0.000 description 1
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 description 1
- 238000007796 conventional method Methods 0.000 description 1
- 238000000151 deposition Methods 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 230000008020 evaporation Effects 0.000 description 1
- 238000001704 evaporation Methods 0.000 description 1
- PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N gold Chemical compound [Au] PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000010931 gold Substances 0.000 description 1
- 150000002739 metals Chemical class 0.000 description 1
- 229910052709 silver Inorganic materials 0.000 description 1
Landscapes
- Piezo-Electric Or Mechanical Vibrators, Or Delay Or Filter Circuits (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は音叉型圧電振動片の電！ｉｉ構造に関する。
従来の音叉型圧電振動片の１！甑構造には、次の２種類
のものがあった。第１は嬉４図６）に示すように、前記
振動片の２平面のみにｔ甑を設けたもの、そして第２は
、飢５図（Ｇ） Ｋ示すように、前記振動片の２平面及
び、２側面に［１を設けたものであった。前者の場合の
製造方法の１列としては第４図（６）〜（ロ）に示すよ
うに、水晶ウェハ上に、振動片パターンをＣｆ、Ａ％等
の金属膜で作った後。
のものがあった。第１は嬉４図６）に示すように、前記
振動片の２平面のみにｔ甑を設けたもの、そして第２は
、飢５図（Ｇ） Ｋ示すように、前記振動片の２平面及
び、２側面に［１を設けたものであった。前者の場合の
製造方法の１列としては第４図（６）〜（ロ）に示すよ
うに、水晶ウェハ上に、振動片パターンをＣｆ、Ａ％等
の金属膜で作った後。
さらにフォトレジストで電極パターンのみを表裏面にｒ
Ｆ、シ、水晶をエツチングした後、前記Ｃｆ。
Ｆ、シ、水晶をエツチングした後、前記Ｃｆ。
Ａｌ４等の金属膜をエツチングして作る。まな、この時
の振動子としての直列共振インピーダンスを眞４図（−
）に示す、ま友後者の場合の１列ｔ−篤５図（６）に示
す、前者の方法と同様に作った後、メタルマスクや、水
晶によるマスクで％精度よく位置合わせを行ない、片面
づつ両面共、スパッタリングや、斜め蒸着等罠よ）側面
の膜付けを行なりて八た。この場合の振動子としての直
列共振インピーダンスを嬉５図（０に示す。
の振動子としての直列共振インピーダンスを眞４図（−
）に示す、ま友後者の場合の１列ｔ−篤５図（６）に示
す、前者の方法と同様に作った後、メタルマスクや、水
晶によるマスクで％精度よく位置合わせを行ない、片面
づつ両面共、スパッタリングや、斜め蒸着等罠よ）側面
の膜付けを行なりて八た。この場合の振動子としての直
列共振インピーダンスを嬉５図（０に示す。
従来技術の方法では、２平面のみに１匝を設けたものに
′：）いては、製造方法は簡単であるが、電界効率が悪
いため、振動子としての直列共振インピーダンスが高＾
とわう問題があった。また、２平面及び２側面１ｃ酊匝
を設けたものについては。
′：）いては、製造方法は簡単であるが、電界効率が悪
いため、振動子としての直列共振インピーダンスが高＾
とわう問題があった。また、２平面及び２側面１ｃ酊匝
を設けたものについては。
電界効率が良いので、振動子としての直列共振インピー
ダンスが低いが２モ面へのパターニング及び片面ずつ両
面共、スパッタリングや斜め蒸着等によシ側面への膜付
けを行なう必要がちシ振動片が高師なものになっていた
。
ダンスが低いが２モ面へのパターニング及び片面ずつ両
面共、スパッタリングや斜め蒸着等によシ側面への膜付
けを行なう必要がちシ振動片が高師なものになっていた
。
そこで本発明はこのような問題点を解決するもので、そ
の目的とするところハ、直列共振インピーダンスをある
程度の水準に保ちながら、製造方法が簡単で、低価格の
音叉型圧電振動片を提供するところにある。
の目的とするところハ、直列共振インピーダンスをある
程度の水準に保ちながら、製造方法が簡単で、低価格の
音叉型圧電振動片を提供するところにある。
ｃ問題点を解決する為の手段〕
本発明の音叉型圧電振動片のｔｉＦＩＩＩ造は、前記振
動片の子面及び側面のうち、１〒面及び２例面の３辺の
みに１匝が設けられたことを特徴とする。
動片の子面及び側面のうち、１〒面及び２例面の３辺の
みに１匝が設けられたことを特徴とする。
本発明の上記の購造によれば、２モ面のうち、ｉづれか
片側のみよシ膜付けを行なうことによシ、１平面及び２
例面のみにＩｔ匝膜が形成されるのである。
片側のみよシ膜付けを行なうことによシ、１平面及び２
例面のみにＩｔ匝膜が形成されるのである。
以下本発明の音叉型圧電振動片の１匝構造について、そ
の１例を、フォトエツチングによシ形成される音叉型水
晶振動片にりいての実施列で説明する。
の１例を、フォトエツチングによシ形成される音叉型水
晶振動片にりいての実施列で説明する。
眞１図−）（ｂ）に本発明による前記振動片のｍ臣隣造
を示す、ｔた。その製造方法の１列を第２図にそつて説
明する。斡）図に示すように、水晶２１にＣｒ、Ａ４４
等の金［［２２を、蒸着、・スパッタ等によシ両面付着
した後、フォトレジスト２３を両面塗布し、両面へ振動
片パターンを露光する１次に（ｂ）図に示すように露光
の後、現像し、ざらにＣｒ、Ａ％等の前記金属膜２２ｔ
−エツチングして、振動片パターンｅｆ’ｆｆる。さら
にフォトレジストを剥離した後、片面のみよりフオトレ
ジストオヲ塗布し、片面のみよシ、前記振動片の電極パ
ターンを露光・現像する。さらに（Ｃ）図の如く水晶を
エツチングし％Ｃｒ、Ａ４４等の前記金゛属＠２２′ｌ
ｉｒ：エッチングし％１’Ｆ面部のｔｆｆｉｆｆ−ンを
形成する。そしてば）図のようにフォトレジストを剥離
した後、を甑パターンの形成した方の面に、サイドｔＷ
形成の為の、メタルあるｉＦｉ水晶等によるマスキング
板２６ヲはシつけ、Ｃｆ、Ａ、等の金属膜２７ヲ蒸着・
スパッタ等によシ２側面の電圧パターンを形成する。
を示す、ｔた。その製造方法の１列を第２図にそつて説
明する。斡）図に示すように、水晶２１にＣｒ、Ａ４４
等の金［［２２を、蒸着、・スパッタ等によシ両面付着
した後、フォトレジスト２３を両面塗布し、両面へ振動
片パターンを露光する１次に（ｂ）図に示すように露光
の後、現像し、ざらにＣｒ、Ａ％等の前記金属膜２２ｔ
−エツチングして、振動片パターンｅｆ’ｆｆる。さら
にフォトレジストを剥離した後、片面のみよりフオトレ
ジストオヲ塗布し、片面のみよシ、前記振動片の電極パ
ターンを露光・現像する。さらに（Ｃ）図の如く水晶を
エツチングし％Ｃｒ、Ａ４４等の前記金゛属＠２２′ｌ
ｉｒ：エッチングし％１’Ｆ面部のｔｆｆｉｆｆ−ンを
形成する。そしてば）図のようにフォトレジストを剥離
した後、を甑パターンの形成した方の面に、サイドｔＷ
形成の為の、メタルあるｉＦｉ水晶等によるマスキング
板２６ヲはシつけ、Ｃｆ、Ａ、等の金属膜２７ヲ蒸着・
スパッタ等によシ２側面の電圧パターンを形成する。
このような方法で作った音叉型水晶振動片の電界のかか
シ方は第１図（ｂ）の櫟になりさらに直列共振インピー
ダンスを第３図に示す、これは従来の１匝構造の場合の
眞４図（６）と比べると、かな）優れ、−５図（ｃ）に
かなり近ＩＡ値となった。
シ方は第１図（ｂ）の櫟になりさらに直列共振インピー
ダンスを第３図に示す、これは従来の１匝構造の場合の
眞４図（６）と比べると、かな）優れ、−５図（ｃ）に
かなり近ＩＡ値となった。
本実施列では、マスキング板による側面１匝の形成方法
の列で示したが、リフトオフ方法、あるいは、露光方法
による形成方法でもよ＾、また。
の列で示したが、リフトオフ方法、あるいは、露光方法
による形成方法でもよ＾、また。
フォトエツチングによる方法で示したが、ブリックタイ
プの方法で製造する場合も全く同様である。
プの方法で製造する場合も全く同様である。
また、ＬｉＴｔｘＯ８，ＬｚＮｂＯ，圧電セラミック等
の圧電材料を用いた場合も同様である。
の圧電材料を用いた場合も同様である。
以上述べたように１本発明の音叉型圧電振動片の電翫購
造によれば、前記振動片のｌ千面のみにバターニングを
して１乎面のみよりスパッタリングあるＶｈは斜め蒸着
等によシ電属膜付けをして１子面及び２例面の３辺のみ
に電属を設けたことによシ、振動子の特性をある程度維
持したまま、加工工数を減らし、Ｍ／Ｃ能力をｕｐさせ
、材料費を節減し、′乎面電翫が一面であることによ勺
、ショートの発生率を半減させることができ、低価格の
音叉型圧電振動片を提供するものである。
造によれば、前記振動片のｌ千面のみにバターニングを
して１乎面のみよりスパッタリングあるＶｈは斜め蒸着
等によシ電属膜付けをして１子面及び２例面の３辺のみ
に電属を設けたことによシ、振動子の特性をある程度維
持したまま、加工工数を減らし、Ｍ／Ｃ能力をｕｐさせ
、材料費を節減し、′乎面電翫が一面であることによ勺
、ショートの発生率を半減させることができ、低価格の
音叉型圧電振動片を提供するものである。
ＩＥＩ図（ω（６）は本発明の音叉型圧電振動片のモ面
図及び断面図。 嘉２図（へ）（６） （ｃ） （ぬは本発明の音叉型圧
電振動片の製造方法の一列ｔ−示す図。 第３図は本発明の音叉型圧電振動片の直列共振インピー
ダンスを示す図。 蘂４図ｋｌ） （ｂ） （６）（イ）（ＩＩ〕は従来の
音叉型圧電振動片の一列を示す断面図及び製造方法の一
列を示す図。 及び製造方法の一列を示す図、及び直列共振インピーダ
ンスを示す図。 ｌＥｓ図に）（６） （６）は従来の音叉型圧電振動片
の一列を示す断面図及び製造方法の一例及び直列共振イ
ンピーダンスを示す図。 ｌＯ・・−水晶 １１・・・一方の電極 １２・・・他方の電歪 １３・・・電界のかかシ方 ２１−−・水晶 ｎ・・・Ｃｆ、Ａ％等の金属膜 乙・・・フォトレジスト ２４１・マスク ５・・＠元 あ・・・マスキング板 ｎ・・・ｃｒ、Ａｚ等の金属膜 ４０・・・水晶 ４１・・・一方の電匝 ４２・−・他方の電極 ４３・φ・電界のかかり方 ４４ ｍ 命＊ Ｃｒ、 Ａ ’ＬＬ等の金属膜４５・
・・フォトレジスト ４６・・・マスク ４７−−−尤 刃・・・水晶 ５１・・・一方の電歪 ５２・・ψ他方の社誕 お・・・電界のかかシ方 ８・Φ・水晶 聞・・・Ｃｆ、Ａｇ等の金属膜 ５６・・・マスキング板 以 上
図及び断面図。 嘉２図（へ）（６） （ｃ） （ぬは本発明の音叉型圧
電振動片の製造方法の一列ｔ−示す図。 第３図は本発明の音叉型圧電振動片の直列共振インピー
ダンスを示す図。 蘂４図ｋｌ） （ｂ） （６）（イ）（ＩＩ〕は従来の
音叉型圧電振動片の一列を示す断面図及び製造方法の一
列を示す図。 及び製造方法の一列を示す図、及び直列共振インピーダ
ンスを示す図。 ｌＥｓ図に）（６） （６）は従来の音叉型圧電振動片
の一列を示す断面図及び製造方法の一例及び直列共振イ
ンピーダンスを示す図。 ｌＯ・・−水晶 １１・・・一方の電極 １２・・・他方の電歪 １３・・・電界のかかシ方 ２１−−・水晶 ｎ・・・Ｃｆ、Ａ％等の金属膜 乙・・・フォトレジスト ２４１・マスク ５・・＠元 あ・・・マスキング板 ｎ・・・ｃｒ、Ａｚ等の金属膜 ４０・・・水晶 ４１・・・一方の電匝 ４２・−・他方の電極 ４３・φ・電界のかかり方 ４４ ｍ 命＊ Ｃｒ、 Ａ ’ＬＬ等の金属膜４５・
・・フォトレジスト ４６・・・マスク ４７−−−尤 刃・・・水晶 ５１・・・一方の電歪 ５２・・ψ他方の社誕 お・・・電界のかかシ方 ８・Φ・水晶 聞・・・Ｃｆ、Ａｇ等の金属膜 ５６・・・マスキング板 以 上
Claims (1)
- 音叉型圧電振動片の電極構造において、前記振動片の
平面及び側面のうち、１平面及び２側面の３辺のみに電
極が設けられたことを特徴とする音叉型圧電振動片の電
極構造。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15446286A JPS6310815A (ja) | 1986-07-01 | 1986-07-01 | 音叉型圧電振動片の電極構造 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15446286A JPS6310815A (ja) | 1986-07-01 | 1986-07-01 | 音叉型圧電振動片の電極構造 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6310815A true JPS6310815A (ja) | 1988-01-18 |
Family
ID=15584769
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP15446286A Pending JPS6310815A (ja) | 1986-07-01 | 1986-07-01 | 音叉型圧電振動片の電極構造 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6310815A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2000005812A1 (fr) * | 1998-07-24 | 2000-02-03 | Seiko Epson Corporation | Oscillateur piezoelectrique et son procede de production |
-
1986
- 1986-07-01 JP JP15446286A patent/JPS6310815A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2000005812A1 (fr) * | 1998-07-24 | 2000-02-03 | Seiko Epson Corporation | Oscillateur piezoelectrique et son procede de production |
| US6661162B1 (en) | 1998-07-24 | 2003-12-09 | Seiko Epson Corporation | Piezoelectric resonator and method of producing the same |
| US6961981B2 (en) | 1998-07-24 | 2005-11-08 | Seiko Epson Corporation | Method of producing a piezoelectric resonator |
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