JPS6310814A - 縦振動型圧電振動片の電極構造 - Google Patents
縦振動型圧電振動片の電極構造Info
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- JPS6310814A JPS6310814A JP15446186A JP15446186A JPS6310814A JP S6310814 A JPS6310814 A JP S6310814A JP 15446186 A JP15446186 A JP 15446186A JP 15446186 A JP15446186 A JP 15446186A JP S6310814 A JPS6310814 A JP S6310814A
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Landscapes
- Piezo-Electric Or Mechanical Vibrators, Or Delay Or Filter Circuits (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は縦振動型圧電振動片のt匝構造に関する。
従来の縦振動型圧電振動片の電匝ll1I造は、嬉4図
に示すよりに、前記振動片の2qP面及び2側面の4面
に電極を設けたも、のであった、その製法の1911k
lE5図−)〜(ロ)に示した。まず水晶ウェハ上に振
動片パターンをCデ、五2等の金属膜で作った後、さら
にフォトレジストでt 11 パターンのみを表裏面に
作シ、水晶をエツチングした後、前記Cf、五襲等の金
IIEl[ヲエッチングし、メタルマスクや、水晶によ
るマスクで、精度よく位置合わせを行なめ1片面づつ両
面共、スパッタリングや、斜め蒸着等によシ側面の膜付
けを行なって炸りていた。この場合の振動子としての直
列共、振インピーダンスt−WXG図に示した。
に示すよりに、前記振動片の2qP面及び2側面の4面
に電極を設けたも、のであった、その製法の1911k
lE5図−)〜(ロ)に示した。まず水晶ウェハ上に振
動片パターンをCデ、五2等の金属膜で作った後、さら
にフォトレジストでt 11 パターンのみを表裏面に
作シ、水晶をエツチングした後、前記Cf、五襲等の金
IIEl[ヲエッチングし、メタルマスクや、水晶によ
るマスクで、精度よく位置合わせを行なめ1片面づつ両
面共、スパッタリングや、斜め蒸着等によシ側面の膜付
けを行なって炸りていた。この場合の振動子としての直
列共、振インピーダンスt−WXG図に示した。
〔発明が解決しようとする問題点、7Jl。
従来技術の方法では、電極t−2平面及び2側面の4面
ナベてに形成していた為2乎面へのバターニング及び片
面ずつ両面共スパッタリングや斜め蒸着等によ多側面の
膜付けを行なう必要があシ振動片が高価なものになって
いた。
ナベてに形成していた為2乎面へのバターニング及び片
面ずつ両面共スパッタリングや斜め蒸着等によ多側面の
膜付けを行なう必要があシ振動片が高価なものになって
いた。
そこで本発明はこのような問題点を解決するもので、そ
の目的とするところは、振動子の直列共振インピーダン
スを変えずに、製造方法が簡単で低価格の縦振動型圧電
振動片を提供するところにある。
の目的とするところは、振動子の直列共振インピーダン
スを変えずに、製造方法が簡単で低価格の縦振動型圧電
振動片を提供するところにある。
本発明の縦振動をする主振動部と、前記振動部を支持す
る支持体部とを、フォトエツチング加工によシ一体で形
成する縦振動型圧電振動片の電極[造は、前記振動片の
乎面及び側面のうち、IKF面及び2側面の3辺のみに
電匝が設けられたことを特徴とする。
る支持体部とを、フォトエツチング加工によシ一体で形
成する縦振動型圧電振動片の電極[造は、前記振動片の
乎面及び側面のうち、IKF面及び2側面の3辺のみに
電匝が設けられたことを特徴とする。
本発明の上記の構造によれば2IIF面のうち、^づれ
か0片側のみより膜付けを行なうことによシ、1平面及
び2側面のみにIEIi膜が形成されるのである。
か0片側のみより膜付けを行なうことによシ、1平面及
び2側面のみにIEIi膜が形成されるのである。
以下本発明の縦振動型圧電振動片の1!甑1llI造に
りいて、実施列で説明する。
りいて、実施列で説明する。
第1図μ)(b)に本発明による前記振動片の電属構造
を示す、また、その製造方法の1列t−第2図にそって
説明する。(tL)図に示す様に水晶21にCT。
を示す、また、その製造方法の1列t−第2図にそって
説明する。(tL)図に示す様に水晶21にCT。
ムU等の金属*221−.蒸着・スパッタ等によシ両面
付着した後、フォトレジスト23を両面塗布し両面へ振
動片パターンを露光する9次に(6)図に示す様に露光
の後、現まし、さらにCT、ムU等の前記金属膜22ヲ
エツチングして、振動片パターンを作る。さらに、フォ
トレジストを剥離した後1片面のみよりフォトレジスト
23t−塗布し1片面のみよシ、前記振動片のKlパタ
ーン1kg光・現像する。さらに(6)図のごとく水晶
をエツチングし、CT、ムを等の前記金属膜22t−エ
ツチングし、1子面部のtaパターンを形成する。そし
て(社)図の様に7オトレジストを剥離したi、taパ
ターンの形成した方の面に1サイド電匝形成の為の、メ
タルあるiは水晶等によるマスキング板26ftは少つ
け、cy、ムU等の金属1[27t−蒸着・スパッタ等
により2側面の電匝パターンを形成する。
付着した後、フォトレジスト23を両面塗布し両面へ振
動片パターンを露光する9次に(6)図に示す様に露光
の後、現まし、さらにCT、ムU等の前記金属膜22ヲ
エツチングして、振動片パターンを作る。さらに、フォ
トレジストを剥離した後1片面のみよりフォトレジスト
23t−塗布し1片面のみよシ、前記振動片のKlパタ
ーン1kg光・現像する。さらに(6)図のごとく水晶
をエツチングし、CT、ムを等の前記金属膜22t−エ
ツチングし、1子面部のtaパターンを形成する。そし
て(社)図の様に7オトレジストを剥離したi、taパ
ターンの形成した方の面に1サイド電匝形成の為の、メ
タルあるiは水晶等によるマスキング板26ftは少つ
け、cy、ムU等の金属1[27t−蒸着・スパッタ等
により2側面の電匝パターンを形成する。
このような方法で作った縦振動製圧電振動片の電界のか
か夕方は眞1図(6)の様であシ、さらに直列共振イン
ピーダンスt−IEa図に示す、これは従来の[1構造
の場合の第6図と比較してわかる様に従来とほぼ同程度
である。
か夕方は眞1図(6)の様であシ、さらに直列共振イン
ピーダンスt−IEa図に示す、これは従来の[1構造
の場合の第6図と比較してわかる様に従来とほぼ同程度
である。
本実施列では、マスキング板による側面電属の形成方法
の例で示したが、本発明はリフトオフ方法、あるvhは
、露光方法による形成方法でもよい。
の例で示したが、本発明はリフトオフ方法、あるvhは
、露光方法による形成方法でもよい。
また、屓TαO,、LsN60s v圧電セラミック等
の圧電材料を用^た場合も同様である。
の圧電材料を用^た場合も同様である。
以上述べたように1本発明の縦振動型圧電振動片のWL
匝溝構造よれば、前記振動片の1子面のみにパターニン
グをして1子面のみよシ、スパッタリングある−は斜め
蒸着等によシミ甑膜付けをして1平面及び2側面の3辺
のみにtlを設けたことKよシ、振動子の特性を維持し
象まま、加工工数を減らし、M/c能力をUPさせ、材
料費を節減し、〒面電極が一面であるととKよシ、ショ
ートの発生率を半減させることができ、低価格の縦振動
型圧電振動片を提供するものである。
匝溝構造よれば、前記振動片の1子面のみにパターニン
グをして1子面のみよシ、スパッタリングある−は斜め
蒸着等によシミ甑膜付けをして1平面及び2側面の3辺
のみにtlを設けたことKよシ、振動子の特性を維持し
象まま、加工工数を減らし、M/c能力をUPさせ、材
料費を節減し、〒面電極が一面であるととKよシ、ショ
ートの発生率を半減させることができ、低価格の縦振動
型圧電振動片を提供するものである。
第1図(a)(b)は本発明の縦振動型圧電振動片の子
面図及び断面図。 !2図(ロ)(b) (c)(ロ)は本発明の縦振動型
圧電振動片の製造方法の−nt−示す図。 飢3図は本発明の縦振動型圧電振動片の直列共振インピ
ーダンスを示す図。 窮4図は従来の縦振動型圧電振動片の一列を示す断面図
。 灯5図(a) (b) (c)(ロ)は従来の縦振動型
圧電振動片の製造方法の一例を示す図。 第6図は従来の縦振動型圧電振動片の直列共振インピー
ダンスを示す図。 lO・・・水晶 11・・・一方の[匝 12・・・他方のW1匝 13・・・電界のかが)方 21 @・・水晶 n拳・・Cr、A%等の金属膜 幻・・・7オトレジスト あ・Φ・マスク 25+1・・光 加・・・マスキング板 27mm*Cr、Aw等の金II4瞑 40−・・水晶 41 @鳴曝一方の1翫 42−・・他方のt甑 43・・・電界のかが多方 516・・Cデ、五U等の金属膜 52・・・フォトレジスト 53 o 11 @マスク 8−一−光 I・・・水晶 団・・・Cデ、ムU等の金属膜 56・・・マスキング板 以 上
面図及び断面図。 !2図(ロ)(b) (c)(ロ)は本発明の縦振動型
圧電振動片の製造方法の−nt−示す図。 飢3図は本発明の縦振動型圧電振動片の直列共振インピ
ーダンスを示す図。 窮4図は従来の縦振動型圧電振動片の一列を示す断面図
。 灯5図(a) (b) (c)(ロ)は従来の縦振動型
圧電振動片の製造方法の一例を示す図。 第6図は従来の縦振動型圧電振動片の直列共振インピー
ダンスを示す図。 lO・・・水晶 11・・・一方の[匝 12・・・他方のW1匝 13・・・電界のかが)方 21 @・・水晶 n拳・・Cr、A%等の金属膜 幻・・・7オトレジスト あ・Φ・マスク 25+1・・光 加・・・マスキング板 27mm*Cr、Aw等の金II4瞑 40−・・水晶 41 @鳴曝一方の1翫 42−・・他方のt甑 43・・・電界のかが多方 516・・Cデ、五U等の金属膜 52・・・フォトレジスト 53 o 11 @マスク 8−一−光 I・・・水晶 団・・・Cデ、ムU等の金属膜 56・・・マスキング板 以 上
Claims (1)
- 縦振動をする主振動部と、前記主振動部を支持する支
持体部とを、フォトエッチング加工により一体で形成す
る縦振動型圧電振動片の電極構造において、前記振動片
の平面及び側面のうち、1平面及び2側面の3辺のみに
電極が設けられたことを特徴とする縦振動型圧電振動片
の電極構造。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP15446186A JPS6310814A (ja) | 1986-07-01 | 1986-07-01 | 縦振動型圧電振動片の電極構造 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP15446186A JPS6310814A (ja) | 1986-07-01 | 1986-07-01 | 縦振動型圧電振動片の電極構造 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS6310814A true JPS6310814A (ja) | 1988-01-18 |
Family
ID=15584746
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP15446186A Pending JPS6310814A (ja) | 1986-07-01 | 1986-07-01 | 縦振動型圧電振動片の電極構造 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS6310814A (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0275213A (ja) * | 1988-09-09 | 1990-03-14 | Seiko Electronic Components Ltd | 縦水晶振動子 |
JPH02132911A (ja) * | 1988-11-14 | 1990-05-22 | Seiko Electronic Components Ltd | 縦水晶振動子 |
-
1986
- 1986-07-01 JP JP15446186A patent/JPS6310814A/ja active Pending
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0275213A (ja) * | 1988-09-09 | 1990-03-14 | Seiko Electronic Components Ltd | 縦水晶振動子 |
JPH02132911A (ja) * | 1988-11-14 | 1990-05-22 | Seiko Electronic Components Ltd | 縦水晶振動子 |
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