JPS642288B2 - - Google Patents
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- JPS642288B2 JPS642288B2 JP56011876A JP1187681A JPS642288B2 JP S642288 B2 JPS642288 B2 JP S642288B2 JP 56011876 A JP56011876 A JP 56011876A JP 1187681 A JP1187681 A JP 1187681A JP S642288 B2 JPS642288 B2 JP S642288B2
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Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
- H03H—IMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
- H03H9/00—Networks comprising electromechanical or electro-acoustic devices; Electromechanical resonators
- H03H9/02—Details
- H03H9/05—Holders; Supports
- H03H9/10—Mounting in enclosures
- H03H9/1007—Mounting in enclosures for bulk acoustic wave [BAW] devices
- H03H9/1014—Mounting in enclosures for bulk acoustic wave [BAW] devices the enclosure being defined by a frame built on a substrate and a cap, the frame having no mechanical contact with the BAW device
- H03H9/1021—Mounting in enclosures for bulk acoustic wave [BAW] devices the enclosure being defined by a frame built on a substrate and a cap, the frame having no mechanical contact with the BAW device the BAW device being of the cantilever type
Description
【発明の詳細な説明】
本発明の水晶発振片と、水晶発振片を保持する
ための、リード線との接合が、金属ロー材により
実施される水晶振動子に関する。
ための、リード線との接合が、金属ロー材により
実施される水晶振動子に関する。
本発明の目的は、Ｑ値等の特性が良く、周波数
安定性の良い水晶振動子を提供することである。
安定性の良い水晶振動子を提供することである。
近年、フオトリソグラフイツクプロセスの進歩
により小型で性能の良い水晶発振片が得られるよ
うになり、水晶振動子の小型化が急速に進んだ。
により小型で性能の良い水晶発振片が得られるよ
うになり、水晶振動子の小型化が急速に進んだ。
しかし、小型の水晶振動子には水晶発振片とリ
ード線との接合において、従来以上にシビアな精
度が必要である。接合材料は金属ロー材を一般的
に用いており、接合部の範囲を適切に管理する事
が、特性の優れた小型水晶振動子を得るポイント
となつている。
ード線との接合において、従来以上にシビアな精
度が必要である。接合材料は金属ロー材を一般的
に用いており、接合部の範囲を適切に管理する事
が、特性の優れた小型水晶振動子を得るポイント
となつている。
従来の水晶振動子における、水晶発振片とリー
ド線との接合を含めた構造及び、水晶発振片の励
振電極構成を第１図に示す。第１図Ａは平面断面
図、第１図Ｂは側面断面図を示す。１は水晶発振
片であり、該水晶発振片の音叉部１ａの表面に形
成した励振電極（電極パターンで図示）２の延長
部は、外部導通電極３になつていて、該水晶発振
片の基部に達しており、プラグ体４にガラス５を
介して取付けられたリード線６の端にハンダ等の
金属ロー材７（〓で図示）で接合される。８はケ
ースであり、前記水晶発振片１を前記リード線６
に接合した後、前記プラグ体４に真空中で圧入さ
れる。前記励振電極２及び前記外部導通電極３の
材質は、一般に水晶発振片の表面の第１層膜がク
ロムであり、更にクロムの上に第２層膜として、
金又は銀が構成される。クロムは水晶基板との密
着度の保持の為であり、金又は銀は、酸化等の経
時変化に対して、長期にわつて安定である事と水
晶発振片とリード線との接合に用いられる、ハン
ダ等の金属ロー材と容易に共晶合金をつくやすい
事とから選択される。
ド線との接合を含めた構造及び、水晶発振片の励
振電極構成を第１図に示す。第１図Ａは平面断面
図、第１図Ｂは側面断面図を示す。１は水晶発振
片であり、該水晶発振片の音叉部１ａの表面に形
成した励振電極（電極パターンで図示）２の延長
部は、外部導通電極３になつていて、該水晶発振
片の基部に達しており、プラグ体４にガラス５を
介して取付けられたリード線６の端にハンダ等の
金属ロー材７（〓で図示）で接合される。８はケ
ースであり、前記水晶発振片１を前記リード線６
に接合した後、前記プラグ体４に真空中で圧入さ
れる。前記励振電極２及び前記外部導通電極３の
材質は、一般に水晶発振片の表面の第１層膜がク
ロムであり、更にクロムの上に第２層膜として、
金又は銀が構成される。クロムは水晶基板との密
着度の保持の為であり、金又は銀は、酸化等の経
時変化に対して、長期にわつて安定である事と水
晶発振片とリード線との接合に用いられる、ハン
ダ等の金属ロー材と容易に共晶合金をつくやすい
事とから選択される。
以上に述べた従来の水晶振動子には、小型化を
すすめていく上で、以下に述べる大きな欠点があ
る。前述のように、水晶発振片の励振電極の材質
は、酸化等の経時変化に対して、長期にわたつて
その影響を受けにくい事から、金又は銀等の金属
膜が用いられている。一方、水晶発振片とリード
線との接合部分に形成する外部導通電極の材質に
は、接合のために用いるハンダ等の金属ロー材と
容易に共晶合金をつくりやすい金属であることが
必要条件であり、励振電極の材質として用いられ
る金又は銀は、外部導通電極の材質としても好適
であるため、一般に両者は一体的に作成されてい
た。このために、水晶発振片とリード線とを金属
ロー材を溶融して接合する際、溶融した金属ロー
材が、金あるいは銀で出来た電極膜を伝搬して、
音叉部や音叉部の近くまで流れ込みやすい第１図
Ｂ９にこの部分を示す。金属ロー材が音叉部や音
叉部の近くまで流れ込んだ場合、音叉の振動バラ
ンスをくずしやすく、Ｑ値の低下や、発振周波数
の安定性を著しく低下させる原因となつた。
すすめていく上で、以下に述べる大きな欠点があ
る。前述のように、水晶発振片の励振電極の材質
は、酸化等の経時変化に対して、長期にわたつて
その影響を受けにくい事から、金又は銀等の金属
膜が用いられている。一方、水晶発振片とリード
線との接合部分に形成する外部導通電極の材質に
は、接合のために用いるハンダ等の金属ロー材と
容易に共晶合金をつくりやすい金属であることが
必要条件であり、励振電極の材質として用いられ
る金又は銀は、外部導通電極の材質としても好適
であるため、一般に両者は一体的に作成されてい
た。このために、水晶発振片とリード線とを金属
ロー材を溶融して接合する際、溶融した金属ロー
材が、金あるいは銀で出来た電極膜を伝搬して、
音叉部や音叉部の近くまで流れ込みやすい第１図
Ｂ９にこの部分を示す。金属ロー材が音叉部や音
叉部の近くまで流れ込んだ場合、音叉の振動バラ
ンスをくずしやすく、Ｑ値の低下や、発振周波数
の安定性を著しく低下させる原因となつた。
本発明は以上に述べた、従来の欠点を解決する
ものである。
ものである。
本発明による水晶振動子を第２図示す。
第２図Ａは平面断面図、第２図Ｂ側面断面図で
示す。１０は水晶発振片であり、該水晶発振片の
音叉部１０ａの表面に形成した励振電極（電極パ
ターン図示）１１の延長部は外部導通電極１２に
なつていて、該水晶発振片の基部１０ｂに達して
おり、プラグ体１３にガラス１４を介して取付け
られたリード線１５の端に、ハンダ等の金属ロー
材１６（〓で図示）で接合される。１７はケース
であり、前記水晶発振片１０を前記リード線１５
に接合した後、前記プラグ体１３に真空中で圧入
される。水晶発振片に形成された励振電極の材質
は、第１層膜が金属ロー材と共晶し難いクロム、
第２層膜が金属ロー材と容易に共晶する金または
銀等の金属であり、その理由は従来例により説明
した通りである。
示す。１０は水晶発振片であり、該水晶発振片の
音叉部１０ａの表面に形成した励振電極（電極パ
ターン図示）１１の延長部は外部導通電極１２に
なつていて、該水晶発振片の基部１０ｂに達して
おり、プラグ体１３にガラス１４を介して取付け
られたリード線１５の端に、ハンダ等の金属ロー
材１６（〓で図示）で接合される。１７はケース
であり、前記水晶発振片１０を前記リード線１５
に接合した後、前記プラグ体１３に真空中で圧入
される。水晶発振片に形成された励振電極の材質
は、第１層膜が金属ロー材と共晶し難いクロム、
第２層膜が金属ロー材と容易に共晶する金または
銀等の金属であり、その理由は従来例により説明
した通りである。
本発明による水晶発振片は、電極構成において
以下の特徴を有する。
以下の特徴を有する。
励振電極がリード線との接合部へ延長される、
外部導通電極において、水晶発振片とリード線と
を接合するために用いられる、金属ロー材し、共
晶合金をつくりにくい流れ止め部分１０ｃ（図中
１０ｃ図中〓で図示）を構成したことである。第
３図に該流れ止め部分１０ｃの構成部分の拡大断
面図を示す。第３図はフオトリソグラフイツクプ
ロセスにより、励振電極膜１１の第２層膜（金又
は銀）１１ｂを除去し、第１層膜（クロム）１１
ａを露出させる事によつて、流れ止め部分１０ｃ
を構成した実施例である。前記実施例において、
流れ止め部分１０ｃの構成は、水晶発振片１０を
リード線１５に接合する以前に行なわれる。流れ
止め部分の構成位置としては、音叉部に形成した
励振電極からできるだけ遠ざけて、リード線との
接合部の近くに形成するのが望ましく、流れ止め
部分の巾は10ミクロン以上あれば充分な効果を出
せる。クロムは水晶発振片とリード線の接合のた
めに一般的に用られるハンダとは、通常のハンダ
づけ温度（〜400℃）では共晶合金をつくりにく
く、好都合である。尚、本実施例では水晶発振片
として音叉部水晶振動子片１０を用いて、その支
持部として基部１０ｂを用いた。
外部導通電極において、水晶発振片とリード線と
を接合するために用いられる、金属ロー材し、共
晶合金をつくりにくい流れ止め部分１０ｃ（図中
１０ｃ図中〓で図示）を構成したことである。第
３図に該流れ止め部分１０ｃの構成部分の拡大断
面図を示す。第３図はフオトリソグラフイツクプ
ロセスにより、励振電極膜１１の第２層膜（金又
は銀）１１ｂを除去し、第１層膜（クロム）１１
ａを露出させる事によつて、流れ止め部分１０ｃ
を構成した実施例である。前記実施例において、
流れ止め部分１０ｃの構成は、水晶発振片１０を
リード線１５に接合する以前に行なわれる。流れ
止め部分の構成位置としては、音叉部に形成した
励振電極からできるだけ遠ざけて、リード線との
接合部の近くに形成するのが望ましく、流れ止め
部分の巾は10ミクロン以上あれば充分な効果を出
せる。クロムは水晶発振片とリード線の接合のた
めに一般的に用られるハンダとは、通常のハンダ
づけ温度（〜400℃）では共晶合金をつくりにく
く、好都合である。尚、本実施例では水晶発振片
として音叉部水晶振動子片１０を用いて、その支
持部として基部１０ｂを用いた。
本発明によれば、水晶発振片とリード線とを接
合する際、加熱されて溶融したハンダ等の金属ロ
ー材は、励振電極の外部導通電極を伝搬して、音
叉部に形成した励振電極へ流れ込もうとするが、
接合部の近くに構成した流れ止め部分の働らきに
よつて、音叉部や音叉部の近くまで流れ込むこと
ができない。したがつて従来例のように、金属ロ
ー材の流れ込みによつて、音叉の振動バランスが
くずれるような事は全くなく、Ｑ値が高く、且
つ、発振周波数の安定性において優れた、小型の
水晶振動子を提供する事が可能となつた。
合する際、加熱されて溶融したハンダ等の金属ロ
ー材は、励振電極の外部導通電極を伝搬して、音
叉部に形成した励振電極へ流れ込もうとするが、
接合部の近くに構成した流れ止め部分の働らきに
よつて、音叉部や音叉部の近くまで流れ込むこと
ができない。したがつて従来例のように、金属ロ
ー材の流れ込みによつて、音叉の振動バランスが
くずれるような事は全くなく、Ｑ値が高く、且
つ、発振周波数の安定性において優れた、小型の
水晶振動子を提供する事が可能となつた。
また、外部導通電極の第２層膜を除去するだけ
で得られるから工数がかからず、低コストの水晶
振動子がえられる。又、流れ防止部分を壁として
別部材を付着すると周波数及び振動状態に影響を
及ぼす惧れがあるが、本発明では第２層膜を除い
て流れ止め部を形成するものなので上述の問題は
全く発生せず性能の高い水晶振動子を提供でき
る。
で得られるから工数がかからず、低コストの水晶
振動子がえられる。又、流れ防止部分を壁として
別部材を付着すると周波数及び振動状態に影響を
及ぼす惧れがあるが、本発明では第２層膜を除い
て流れ止め部を形成するものなので上述の問題は
全く発生せず性能の高い水晶振動子を提供でき
る。
第１図は、従来の水晶振動子を示し、第１図Ａ
は平面断面図、第１図Ｂは側面断面図、第２図は
本発明の実施例を示し、第２図Ａは平面断面図、
第２図Ｂは側面断面図、第３図は部分拡大で示す
第１実施例の側面断面図。 １……水晶発振片、２……励振電極、３……外
部導通電極、４……プラグ体、５……ガラス、６
……リード線、７……金属ロー材、８……ケー
ス、１０……水晶発振片、１１……励振電極、１
２……外部導通電極、１３……プラグ体、１４…
…ガラス、１５……リード線、１６……金属ロー
材、１７……ケース。
は平面断面図、第１図Ｂは側面断面図、第２図は
本発明の実施例を示し、第２図Ａは平面断面図、
第２図Ｂは側面断面図、第３図は部分拡大で示す
第１実施例の側面断面図。 １……水晶発振片、２……励振電極、３……外
部導通電極、４……プラグ体、５……ガラス、６
……リード線、７……金属ロー材、８……ケー
ス、１０……水晶発振片、１１……励振電極、１
２……外部導通電極、１３……プラグ体、１４…
…ガラス、１５……リード線、１６……金属ロー
材、１７……ケース。
Claims (1)
- １ 一部に支持部を備えた水晶発振片の励振電極
として、第１層膜を金属ロー材と共晶し難い金属
から形成し、第２層膜を金属ロー材と容易に共晶
する金属から形成するとともに、前記励振電極の
一部を前記支持部まで伸長して外部導通電極を形
成し、前記外部導通電極とリード線を前記金属ロ
ー材により接合し、且つ前記リード線近傍の外部
導通電極の第２層膜を除去し、前記第１層膜によ
り金属ロー材の流れ止め部分を形成したことを特
徴とする水晶振動子。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP56011876A JPS57125510A (en) | 1981-01-29 | 1981-01-29 | Quartz oscillator |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP56011876A JPS57125510A (en) | 1981-01-29 | 1981-01-29 | Quartz oscillator |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS57125510A JPS57125510A (en) | 1982-08-04 |
| JPS642288B2 true JPS642288B2 (ja) | 1989-01-17 |
Family
ID=11789922
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP56011876A Granted JPS57125510A (en) | 1981-01-29 | 1981-01-29 | Quartz oscillator |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS57125510A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0538682U (ja) * | 1991-09-04 | 1993-05-25 | 株式会社タカラ | 鏡板、パネル等の支持装置 |
| JP2011120212A (ja) * | 2009-10-29 | 2011-06-16 | Daishinku Corp | 圧電振動子 |
Families Citing this family (9)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS59119630U (ja) * | 1983-01-31 | 1984-08-13 | 日本電波工業株式会社 | 圧電振動子 |
| JPS60101821U (ja) * | 1983-12-13 | 1985-07-11 | 株式会社大真空 | 小型水晶振動子の支持構造 |
| JP2007037003A (ja) * | 2005-07-29 | 2007-02-08 | Citizen Miyota Co Ltd | 圧電振動子 |
| JP4707021B2 (ja) * | 2005-08-22 | 2011-06-22 | セイコーエプソン株式会社 | 圧電デバイス |
| JP5155620B2 (ja) * | 2006-08-31 | 2013-03-06 | セイコーインスツル株式会社 | 厚み滑り振動片の製造方法 |
| JP5362643B2 (ja) | 2009-06-30 | 2013-12-11 | 日本電波工業株式会社 | 積層型の水晶振動子 |
| JP2012060628A (ja) | 2010-08-07 | 2012-03-22 | Nippon Dempa Kogyo Co Ltd | 圧電デバイス及びその製造方法 |
| JP5573514B2 (ja) * | 2010-09-03 | 2014-08-20 | 株式会社大真空 | 音叉型圧電振動子 |
| JP5472058B2 (ja) * | 2010-11-22 | 2014-04-16 | 株式会社大真空 | 圧電振動子 |
Family Cites Families (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5416198A (en) * | 1977-07-07 | 1979-02-06 | Kinsekisha Lab Ltd | Tuning fork piezooelectric vibrator |
-
1981
- 1981-01-29 JP JP56011876A patent/JPS57125510A/ja active Granted
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0538682U (ja) * | 1991-09-04 | 1993-05-25 | 株式会社タカラ | 鏡板、パネル等の支持装置 |
| JP2011120212A (ja) * | 2009-10-29 | 2011-06-16 | Daishinku Corp | 圧電振動子 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS57125510A (en) | 1982-08-04 |
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