JP2016016638A - 液体噴射ヘッドおよび液体噴射装置 - Google Patents

Abstract

【課題】印字安定性の優れた液体噴射ヘッドおよび液体噴射装置を提供する。
【解決手段】インクジェットヘッド５は、インクを吐出する複数の第１ノズル孔５１および第２ノズル孔を有するノズルプレート５０と、ノズルプレート５０に積層されるとともに、第１ノズル孔５１に連通する第１チャネル６１、および第２ノズル孔に連通する第２チャネル６２がそれぞれ複数並設されたアクチュエータプレート６０と、チャネル６１，６２の並設方向に沿って延設され、各チャネル６１，６２内にまとめて連通する入口側共通インク室８１と、入口側共通インク室８１に対してインクの流通方向における上流側に位置し、インクを貯留するインク貯留部１００と、を備える。そして、インク貯留部１００は、流路断面積が入口側共通インク室８１よりも大きくなっているとともに、その内面の一部が撓み変形可能な圧力緩衝部１０５により画成されている。
【選択図】図６

Description

本発明は、液体噴射ヘッドおよび液体噴射装置に関するものである。

従来、記録紙に液滴状のインクを吐出して、記録紙に画像や文字を記録する装置として、インクジェットヘッド（液体噴射ヘッド）を備えたインクジェットプリンタ（液体噴射装置）がある。

このインクジェットプリンタにおいて、インクタンク内に貯留されたインクは、供給管を通してインクジェットヘッドに供給され、さらにインクジェットヘッド内において共通インク室等を流通した後、複数のチャネル内にそれぞれ充填される。そして、チャネル内に充填されたインクは、チャネル内の拡縮により、ノズル孔を通して吐出される（例えば、特許文献１および特許文献２参照）。

特開昭５８−４５０６５号公報 特開２００９−１８５４０号公報

ところで、インクジェットヘッドでは、インクを吐出した時に生じるチャネル内の圧力変動が、共通インク室や、共通インク室を通して他のチャネル内に伝播し、吐出性能（印字安定性）にばらつきが発生するおそれがある。
また、インクジェットヘッドでは、インクジェットヘッドの走査時やインク給排時等において、インクタンクとインクジェットヘッドとの間を接続する供給管の揺動等によってもインクジェットヘッド内（チャネル内）に圧力変動が発生するおそれがある。

さらに、インクジェットヘッドでは、インクが共通インク室等の流路断面積の狭い流路を通して各チャネル内に供給されるため、上述した流路内での圧力損失が大きく、各チャネル内で圧力差が生じるおそれがある。具体的に、共通インク室は、各チャネルの並設方向に沿って延設されるとともに、各チャネル内にまとめて連通している。そして、インクは、共通インク室内をチャネルの並設方向に流通する過程で、各チャネル内に分配される。そのため、共通インク室内への流入口からチャネルまでの距離が長くなるに従い圧力損失が大きくなる。したがって、各チャネルのうち、共通インク室の流入口に近いチャネル内と、流入口から離れたチャネル内と、で圧力差が大きくなり、吐出性能にばらつきが発生しやすい。特に、チャネル数が多く、チャネルの並設方向における共通インク室の長さが長くなるに従い、上述した課題が顕著に表れる。

そこで本発明は、印字安定性の優れた液体噴射ヘッドおよび液体噴射装置を提供するものである。

本発明の液体噴射ヘッドは、液体を噴射する複数の噴射孔を有する噴射孔プレートと、前記噴射孔プレートに積層されるとともに、前記噴射孔に各別に連通するチャネルが複数並設されたアクチュエータプレートと、前記チャネルの並設方向に沿って延設され、前記複数のチャネル内にまとめて連通する入口側共通液体室と、前記入口側共通液体室に対して液体の流通方向における上流側に位置し、液体を貯留する液体貯留部と、を備え、前記液体貯留部は、流路断面積が前記入口側共通液体室よりも大きくなっているとともに、その内面の一部が撓み変形可能な圧力緩衝部により画成されている、ことを特徴とする。

この構成によれば、入口側共通液体室の上流側に位置し、入口側共通液体室よりも流路断面積が大きい液体貯留部を備えているため、液体の供給源から供給される液体は、液体貯留部に一旦貯留された後、入口側共通液体室内を通して各チャネルにまとめて供給されることになる。この場合、入口側共通液体室全体に液体を均一に供給することができるため、各チャネル内に液体を均一に供給することができる。したがって、液体が入口側共通液体室内に直接供給される構成に比べて、チャネルの並設箇所の違いにより発生するチャネル間での圧力差を抑制できる。その結果、印字安定性の優れた液体噴射ヘッドを提供できる。
また、液体貯留部における内面の一部が圧力緩衝部により画成されているため、液体噴射ヘッド内の圧力変動に応じて、液体貯留部の内面を構成する圧力緩衝部が撓み変形することで、圧力変動を緩衝することができる。特に、液体貯留部は、入口側共通液体室よりも流路断面積が大きくなっているため、圧力緩衝部の面積を確保し易くなり、圧力緩衝効果をより高めることが可能である。

上記の液体噴射ヘッドにおいて、前記複数のチャネルは、延在方向の一端部で前記入口側共通液体室内に連通するとともに、他端部で出口側共通液体室内に連通し、前記液体貯留部は、前記アクチュエータプレートの厚さ方向から見て前記出口側共通液体室と重なる位置まで延在している、ことを特徴とする。
この構成によれば、厚さ方向に直交する方向への液体噴射ヘッドの大型化を抑制した上で、液体貯留部の流路断面積を確保できるため、上述した作用効果がより奏功される。

上記の液体噴射ヘッドにおいて、前記アクチュエータプレートには、前記複数のチャネルが並設されてなるチャネル群が複数列配設され、前記入口側共通液体室は、複数列の前記チャネル群のうち、第１チャネル群の前記チャネルに連通する第１入口側共通液体室と、複数列の前記チャネル群のうち、前記第１チャネル群に隣接する第２チャネル群の前記チャネルに連通する第２入口側共通液体室と、を有し、前記第１入口側共通液体室および前記第２入口側共通液体室は、前記液体貯留部における流路幅方向の中央部でまとめて連通している、ことを特徴とする。
この構成によれば、液体貯留部内に貯留された液体が、各入口側共通液体室を通して第１チャネル群および第２チャネル群のチャネル内に均一に供給されることになる。このため、各チャネル群間での圧力差を抑制でき、印字安定性をより高めることができる。

上記の液体噴射ヘッドにおいて、前記液体貯留部内に液体を導入する液体導入管を備え、前記液体導入管は、前記液体貯留部における流路幅方向の中央部に配設されている、ことを特徴とする。
この構成によれば、液体導入管と液体貯留部との間を接続する液体の流通経路を短くすることができるため、液体噴射ヘッド内を流通する液体の圧力損失をより低減することができる。

上記の液体噴射ヘッドにおいて、前記液体導入管と前記液体貯留部との間には、前記液体導入管に対して分配されるとともに、前記液体貯留部内に連通する分配流路が接続されている、ことを特徴とする。
この構成によれば、液体は、分割された複数の流路を介して液体貯留部に流れ込むため、液体貯留部全体に液体を行き渡らせやすくなり、各チャネル内に液体をより均一に供給することができる。

上記の液体噴射ヘッドにおいて、前記液体貯留部は、前記入口側共通液体室内に連通するスリットを有する流路部材と、前記スリットを閉塞するとともに、前記流路部材に接着された前記圧力緩衝部と、を備え、前記スリットにおいて、前記圧力緩衝部側に位置する部分には、接着剤収容部が形成されている、ことを特徴とする。
この構成によれば、流路部材に圧力緩衝部を接着するための接着剤が仮にスリット内に流れ込んだとしても、流れ込んだ接着剤を接着剤収容部内に留めることができる。このため、スリットに流れ込んだ接着剤によって液体貯留部の流路断面積が狭められたり、接着剤がスリットの内面における不特定の場所に付着したりして、液体の流通が阻害されるのを抑制できる。これにより、各チャネル内に液体を均一に供給することができる。

上記の液体噴射ヘッドにおいて、前記圧力緩衝部は、撓み変形可能な可撓膜であり、前記流路部材には、前記圧力緩衝部の撓み変形を許容するとともに、前記圧力緩衝部における前記流路部材との接着部分を挟持する支持プレートが配設されている、ことを特徴とする。
この構成によれば、可撓膜により形成された圧力緩衝部の撓み変形を制限することなく、圧力緩衝部に外部の部材が接触して圧力緩衝部が破損することを防止できる。

本発明の液体噴射装置は、上記の液体噴射ヘッドと、前記液体噴射ヘッドと被記録媒体とを相対的に移動させる搬送手段と、前記液体が収容された液体タンクと、前記液体噴射ヘッドと前記液体タンクとの間で前記液体を循環させる循環手段と、を備えている、ことを特徴とする。
この構成によれば、上記の液体噴射ヘッドを備えているため、印字安定性の優れた液体噴射装置を提供できる。

本発明によれば、印字安定性の優れた液体噴射ヘッドおよび液体噴射装置を提供できる。

インクジェットプリンタの概略構成図である。 インクジェットヘッドおよびインク循環手段の概略構成図である。 インクジェットヘッドの斜視図である。 インクジェットヘッドの分解斜視図である。 図３のＶ−Ｖ線における断面図である。 図３のＶＩ−ＶＩ線における断面図である。 図３のＶＩＩ−ＶＩＩ線における断面図である。 流路プレートの平面図である。 流路プレートの底面図である。

以下、本発明の実施形態を図面に基づいて説明する。以下の実施形態では、本発明の液体噴射ヘッドを具備する液体噴射装置の一例として、インク（請求項における「液体」に相当。）を利用して記録紙に記録を行うインクジェットプリンタ（以下、単にプリンタという。）を例に挙げて説明する。

（プリンタ）
図１は、プリンタの概略構成図である。
図１に示すように、本実施形態のプリンタ１は、紙等の記録紙Ｐ（請求項における「被記録媒体」に相当。）を搬送する一対の搬送手段２，３と、インクが収容されたインクタンク４（請求項における「液体タンク」に相当。）と、記録紙Ｐに液滴状のインクを吐出するインクジェットヘッド５（請求項における「液体噴射ヘッド」に相当。）と、インクタンク４とインクジェットヘッド５との間でインクを循環させるインク循環手段６（請求項における「循環手段」に相当。）と、インクジェットヘッド５を記録紙Ｐの搬送方向（以下、Ｙ方向という。）と直交する方向（以下、Ｘ方向という。）に走査させる走査手段７（請求項における「搬送手段」に相当。）と、を備えている。なお、図中Ｚ方向は、Ｘ方向およびＹ方向と直交する方向を示す。

搬送手段２は、Ｘ方向に延設されたグリッドローラ１１と、グリッドローラ１１に平行して延設されたピンチローラ１２と、グリッドローラ１１を軸回転させるモータ等の駆動機構（不図示）と、を備えている。同様に、搬送手段３は、Ｘ方向に延設されたグリッドローラ１３と、グリッドローラ１３に平行して延設されたピンチローラ１４と、グリッドローラ１３を軸回転させる駆動機構（不図示）と、を備えている。

インクタンク４は、例えばイエロー、マゼンタ、シアン、ブラックの四色のインクのインクタンク４Ｙ，４Ｍ，４Ｃ，４ＢがＹ方向に並んで設けられている。

図２は、インクジェットヘッドおよびインク循環手段の概略構成図である。
図１および図２に示すように、インク循環手段６は、インクジェットヘッド５にインクを供給するインク供給管２１、およびインクジェットヘッド５からインクを排出するインク排出管２２を有する循環流路２３と、インク供給管２１に接続された加圧ポンプ２４と、インク排出管２２に接続された吸引ポンプ２５と、を備えている。なお、インク供給管２１およびインク排出管２２は、インクジェットヘッド５を支持する走査手段７の動作に対応可能な可撓性を有するフレキシブルホースからなる。

加圧ポンプ２４は、インク供給管２１内を加圧し、インク供給管２１を介してインクジェットヘッド５の後述する入口側共通インク室８１（請求項における「入口側共通液体室」に相当。図６参照。）にインクを送り出している。これにより、インクジェットヘッド５に対してインク供給管２１側は正圧となっている。
吸引ポンプ２５は、インク排出管２２内を減圧し、インクジェットヘッド５の後述する出口側共通インク室８２（請求項における「出口側共通液体室」に相当。図６参照。）からインクを吸引している。これにより、インクジェットヘッド５に対してインク排出管２２側は負圧となっている。そして、インクは、加圧ポンプ２４および吸引ポンプ２５の駆動により、インクジェットヘッド５とインクタンク４との間を、循環流路２３を介して循環可能となっている。

図１に示すように、走査手段７は、Ｘ方向に延設された一対のガイドレール３１，３２と、一対のガイドレール３１，３２に沿って摺動可能なキャリッジ３３と、キャリッジ３３をＸ方向に移動させる駆動機構３４と、を備えている。駆動機構３４は、一対のガイドレール３１，３２の間に配設された一対のプーリ３５，３６と、一対のプーリ３５，３６間に巻回された無端ベルト３７と、一方のプーリ３５を回転駆動させる駆動モータ３８と、を備えている。

一対のプーリ３５，３６は、一対のガイドレール３１，３２の両端部間にそれぞれ配設される。無端ベルト３７は、一対のガイドレール３１，３２間に配設され、この無端ベルト３７にキャリッジ３３が連結される。キャリッジ３３には、複数のインクジェットヘッド５として、イエロー、マゼンタ、シアン、ブラックの四色のインクのインクジェットヘッド５Ｙ，５Ｍ，５Ｃ，５ＢがＸ方向に並んで搭載される。なお、上述した搬送手段２，３および走査手段７により、インクジェットヘッド５と記録紙Ｐとを相対的に移動させる搬送手段を構成している。

（インクジェットヘッド）
次に、上述したインクジェットヘッド５について詳述する。なお、インクジェットヘッド５Ｙ，５Ｍ，５Ｃ，５Ｂは、供給されるインクの色以外は何れも同一の構成からなるため、以下の説明ではまとめてインクジェットヘッド５として説明する。

図３は、インクジェットヘッドの斜視図である。図４は、インクジェットヘッドの分解斜視図である。
図３および図４に示すように、インクジェットヘッド５は、後述するチャネル６１，６２の延在方向（Ｘ方向）中央からインクを吐出する、いわゆるサイドシュートタイプのうち、インクタンク４とチャネル６１，６２との間でインクを循環させる循環式のインクジェットヘッド５である。
また、本実施形態のインクジェットヘッド５は、複数のノズル孔５１，５２（請求項における「噴射孔」に相当。）からなるノズル列５３，５４が２列に亘って形成された２列タイプのインクジェットヘッド５である。

インクジェットヘッド５は、ノズルプレート５０（請求項における「噴射孔プレート」に相当。）、アクチュエータプレート６０、カバープレート８０、流路プレート９０（請求項における「流路部材」に相当。）、および支持プレート１１０を備えている。そして、インクジェットヘッド５は、ノズルプレート５０、アクチュエータプレート６０、カバープレート８０、流路プレート９０、および支持プレート１１０がこの順で接着剤等によりＺ方向に積層された構成とされている。なお、以下の説明では、上述したＺ方向のうち、支持プレート１１０側を上方、ノズルプレート５０側を下方として説明する。

（アクチュエータプレート）
図５は、図３のＶ−Ｖ線における断面図である。図６は、図３のＶＩ−ＶＩ線における断面図である。
図４〜６に示すように、アクチュエータプレート６０は、ＰＺＴ（チタン酸ジルコン酸鉛）等の圧電材料で形成されたプレートであり、その分極方向が厚さ方向（Ｚ方向）に沿って一方向に設定されている。このアクチュエータプレート６０の上面には、Ｙ方向に間隔をあけて並設された複数のチャネル（第１チャネル６１および第２チャネル６２）からなるチャネル群（第１チャネル群６３および第２チャネル群６４）が２列配設されている。なお、以下の説明では、主に第１チャネル群６３（第１チャネル６１）について説明し、第２チャネル群６４における第１チャネル群６３と対応する箇所には同一の符号を付して説明を省略する。

第１チャネル群６３は、Ｘ方向に沿って延在する複数の第１チャネル６１を有し、これら第１チャネル６１がＹ方向に間隔をあけて互いに平行に並んで構成されている。すなわち、各第１チャネル６１は、圧電体（アクチュエータプレート６０）からなる側壁６５によってそれぞれ画成された断面視凹形状の溝である。
各第１チャネル６１は、アクチュエータプレート６０の上面側から、ダイシングブレード等による切削によって、Ｘ方向に直線状、かつＹ方向に等間隔に形成される。具体的に、各第１チャネル６１は、Ｘ方向両端部に位置して、上述したダイシングブレードの外周形状に倣った曲率半径を有する円弧部６６と、各円弧部６６間に位置する矩形部６７と、を有している。なお、アクチュエータプレート６０において、矩形部６７に位置する部分は、厚さ方向（Ｚ方向）に沿って貫通している。

また、第１チャネル群６３は、各第１チャネル６１のうち、インクを吐出させる吐出チャネル７１と、インクを吐出させないダミーチャネル７２と、がＹ方向で交互に並んで構成されている。また、アクチュエータプレート６０のうち、ダミーチャネル７２に対応する部分には、ダミーチャネル７２のＸ方向の外側端部に連通する浅溝部７３が形成されている。

アクチュエータプレート６０の側壁６５のうち、対向する内側面には、それぞれＸ方向に亘って延びる駆動電極７４が形成されている。これら駆動電極７４は、Ｚ方向において、側壁６５における上面側から中央部に亘って、側壁６５の半分程度の領域に形成されている。具体的に、駆動電極７４は、側壁６５の内側面のうち、吐出チャネル７１に面する内側面に形成されたコモン電極７４ａと、ダミーチャネル７２に面する内側面に形成されたアクティブ電極７４ｂと、を有している。

同一の吐出チャネル７１内に形成された一対のコモン電極７４ａは、コモン端子７４ｃ（図４参照）を介して吐出チャネル７１におけるＸ方向の外側で互いに電気的に接続されている。
また、同一のダミーチャネル７２内で対向するアクティブ電極７４ｂ同士は互いに電気的に分離される一方、吐出チャネル７１を介して対向するアクティブ電極７４ｂ同士がアクティブ端子７４ｄ（図４参照）を介して電気的に接続されている。第１チャネル群６３および第２チャネル群６４の各駆動電極７４は、それぞれフレキシブル基板７５，７６（図６参照）を介して制御手段に各別に接続されている。

第２チャネル群６４は、第１チャネル群６３に対してＸ方向に間隔をあけて配設されている。具体的に、第２チャネル群６４は、上述した第１チャネル６１と同ピッチでＹ方向に間隔をあけて配設された複数の第２チャネル６２を有し、これら第２チャネル６２の配列方向が第１チャネル６１の配列方向と平行に並んでいる。
第２チャネル６２の吐出チャネル７１およびダミーチャネル７２は、第１チャネル６１の吐出チャネル７１およびダミーチャネル７２に対して互い違いに並んでいる。したがって、本実施形態のインクジェットヘッド５では、第１チャネル６１の吐出チャネル７１と、第２チャネル６２の吐出チャネル７１と、が千鳥状に配置されている。

（ノズルプレート）
ノズルプレート５０は、厚みが５０μｍ程度のポリイミド等のフィルム材からなるシート状とされ、アクチュエータプレート６０の下面に接着されている。ノズルプレート５０には、Ｙ方向に間隔をあけて並設された複数のノズル孔（第１ノズル孔５１および第２ノズル孔５２）からなるノズル列（第１ノズル列５３および第２ノズル列５４）が２列配設されている。

第１ノズル列５３は、ノズルプレート５０をＺ方向に貫通する複数の第１ノズル孔５１を有し、これら第１ノズル孔５１がＹ方向に間隔をあけて一直線上に並んで構成されている。各第１ノズル孔５１は、上述した第１チャネル６１の吐出チャネル７１内に連通している。具体的に、第１ノズル孔５１は、第１チャネル６１の吐出チャネル７１において、Ｘ方向の中央部に位置するように形成され、吐出チャネル７１と同ピッチで形成されている。

第２ノズル列５４は、ノズルプレート５０をＺ方向に貫通する複数の第２ノズル孔５２を有し、上述した第１ノズル列５３と平行に配設されている。各第２ノズル孔５２は、上述した第２チャネル６２の吐出チャネル７１内に連通している。具体的に、第２ノズル孔５２は、第２チャネル６２の吐出チャネル７１において、Ｘ方向の中央部に位置するように形成され、吐出チャネル７１と同ピッチで形成されている。
したがって、各ダミーチャネル７２は、ノズル孔５１，５２に連通しておらず、ノズルプレート５０により下方から覆われている、なお、各ノズル孔５１，５２は、下方に向かうに従い漸次縮径するテーパ状とされている。
なお、上述した通り、本実施形態のインクジェットヘッド５では、第１チャネル６１の吐出チャネル７１と、第２チャネル６２の吐出チャネル７１と、がＸＹ平面において千鳥状に配置されている。よって、第１チャネル６１の吐出チャネル７１内に連通している第１ノズル孔５１と、第２チャネル６２の吐出チャネル７１内に連通している第２ノズル孔５２とは、ＸＹ平面において千鳥状に配置されている。

（カバープレート）
図４および図６に示すように、カバープレート８０は、各チャネル群６３，６４を閉塞するようにアクチュエータプレート６０の上面に接着された板状とされている。図６に示すように、カバープレート８０は、上述したアクチュエータプレート６０に対してＸ方向の幅が狭く形成されている。この場合、アクチュエータプレート６０のうち、カバープレート８０におけるＸ方向の外側に位置する部分に上述したコモン端子７４ｃおよびアクティブ端子７４ｄが露出しており、これらに上述したフレキシブル基板７５，７６が接続される。

図４および図６に示すように、カバープレート８０には、入口側共通インク室８１（第１入口側共通インク室８１ａ，第２入口側共通インク室８１ｂ）および出口側共通インク室８２（第１出口側共通インク室８２ａ，第２出口側共通インク室８２ｂ）が、上述した各チャネル群６３，６４に対応して複数ずつ形成されている。

第１入口側共通インク室８１ａは、カバープレート８０のうち、各第１チャネル６１におけるＸ方向の内側端部（第１チャネル６１における延在方向の一端部）と対向する部分でＹ方向に沿って延設された凹溝状とされている。第１入口側共通インク室８１ａのうち、吐出チャネル７１に対応する位置（Ｚ方向で対向する位置）には、カバープレート８０をＺ方向に貫通する第１供給スリット８３ａがそれぞれ形成されている。

第１出口側共通インク室８２ａは、カバープレート８０のうち、各第１チャネル６１におけるＸ方向の外側端部（第１チャネル６１における延在方向の他端部）と対向する部分でＹ方向に沿って延設された凹溝状とされている。第１出口側共通インク室８２ａのうち、吐出チャネル７１に対応する位置（Ｚ方向で対向する位置）には、カバープレート８０をＺ方向に貫通する第１排出スリット８４ａがそれぞれ形成されている。

したがって、第１入口側共通インク室８１ａおよび第１出口側共通インク室８２ａは、それぞれ第１供給スリット８３ａおよび第１排出スリット８４ａを通して各吐出チャネル７１に連通する一方、ダミーチャネル７２には連通していない。すなわち、各ダミーチャネル７２は、第１入口側共通インク室８１ａおよび第１出口側共通インク室８２ａの底部によって閉塞されている。

第２入口側共通インク室８１ｂは、各第２チャネル６２におけるＸ方向の内側端部（第２チャネル６２における延在方向の一端部）と対向する部分でＹ方向に沿って延設された凹溝状とされている。第２出口側共通インク室８２ｂは、各第２チャネル６２におけるＸ方向の外側端部（第２チャネル６２における延在方向の他端部）と対向する部分でＹ方向に沿って延設された凹溝状とされている。すなわち、本実施形態において、入口側共通インク室８１ａ，８１ｂはカバープレート８０におけるＸ方向の中央部で隣接して配置され、出口側共通インク室８２ａ，８２ｂはカバープレート８０におけるＸ方向の両端部にそれぞれ配置されている。

第２入口側共通インク室８１ｂおよび第２出口側共通インク室８２ｂのうち、吐出チャネル７１に対応する位置（Ｚ方向で対向する位置）には、第２供給スリット８３ｂおよび第２排出スリット８４ｂがそれぞれ形成されている。すなわち、第２供給スリット８３ｂおよび第２排出スリット８４ｂは、第１供給スリット８３ａおよび第１排出スリット８４ａに対して互い違いに並んでいる。

上述した第１入口側共通インク室８１ａ、第２入口側共通インク室８１ｂ、第１出口側共通インク室８２ａ、および第２出口側共通インク室８２ｂは、それぞれのＸ方向における幅が同等となるように形成されている。

（流路プレート）
図７は、図３のＶＩＩ−ＶＩＩ線における断面図である。図８は、流路プレートの平面図である。図９は、流路プレートの底面図である。
図４および図６に示すように、流路プレート９０は、上述した各入口側共通インク室８１ａ，８１ｂおよび各出口側共通インク室８２ａ，８２ｂを閉塞するようにカバープレート８０の上面に接着された板状とされている。流路プレート９０のＹ方向両端部には、インク導入管９１（請求項における「液体導入管」に相当。）およびインク導出管９２がＺ方向の上方に向けて各別に立設されている（図３参照）。

具体的に、インク導入管９１は、流路プレート９０のＹ方向一端部において、Ｘ方向中央部に位置している。インク導入管９１には、インク供給管２１（図１および図２参照）の下流端が接続され、インクタンク４からインクが供給される。
また、インク導出管９２は、流路プレート９０のＹ方向他端部において、Ｘ方向中央部に位置している。インク導出管９２には、インク排出管２２（図１および図２参照）の上流端が接続され、インクジェットヘッド５を流通したインクが排出される。

流路プレート９０には、インク導入管９１および入口側共通インク室８１を接続するインク供給部９３と、インク導出管９２および出口側共通インク室８２を接続する一対のインク排出部９４と、が配設されている。
図４、図６、および図９に示すように、まず、各インク排出部９４は、流路プレート９０におけるＸ方向両端部に位置し、Ｙ方向に沿って延在している。各インク排出部９４は、下方に開口した平面視矩形状の溝部とされ、Ｚ方向における深さが流路プレート９０における厚さの例えば半分程度に設定されている。一対のインク排出部９４のうち、一方のインク排出部９４ａは、下端の開口部において第１出口側共通インク室８２ａに連通している。これによりインク排出部９４ａは、第１出口側共通インク室８２ａの第１排出スリット８４ａを介して、第１チャネル６１（吐出チャネル７１）のＸ方向における外側端部に連通している。また、一対のインク排出部９４のうち、他方のインク排出部９４ｂは、下端の開口部において第２出口側共通インク室８２ｂに連通している。これによりインク排出部９４ｂは、第２出口側共通インク室８２ｂの第２排出スリット８４ｂを介して、第２チャネル６２（吐出チャネル７１）のＸ方向における外側端部に連通している。

図９に示すように、一対のインク排出部９４同士は、Ｙ方向における他端部（インク導出管９２側の端部）において、導出溝１０２により接続されている。導出溝１０２は、下方に開口した平面視矩形状の溝部とされ、Ｘ方向に沿って延在するとともに、その両端部で各出口側共通インク室８２内に各別に連通している。導出溝１０２内のＸ方向中央部には、インク導出管９２の下端開口部が開口している。これにより、一対のインク排出部９４内にあるインクは、導出溝１０２を介してインク導出管９２に流通する。

図４、図６、および図８に示すように、インク供給部９３は、流路プレート９０をＺ方向に貫通するスリット９５と、流路プレート９０の上面に接合されるとともに、スリット９５を閉塞する圧力緩衝部１０５と、により画成されている。
スリット９５は、上方に位置するほど開口面積が大きくなっており、上方に位置する貯留スリット９６と、下方に位置するとともに、貯留スリット９６と入口側共通インク室８１とを連通する連通スリット９７と、を有している。

まず、連通スリット９７は、Ｘ方向における幅が各入口側共通インク室８１ａ，８１ｂのＸ方向における幅の２倍強となっており、流路プレート９０のＸ方向中央部（インク排出部９４の間に位置する部分）において、Ｙ方向に沿って延在している。連通スリット９７は、下端開口部において、入口側共通インク室８１内に連通している。具体的には、連通スリット９７は、第１入口側共通インク室８１ａおよび第２入口側共通インク室８１ｂ間に跨り、Ｚ方向から見た平面視で第１入口側共通インク室８１ａおよび第２入口側共通インク室８１ｂの全域と重なるように配置されている。これにより、連通スリット９７は、入口側共通インク室８１の各供給スリット８３ａ，８３ｂを介して、第１チャネル６１および第２チャネル６２（吐出チャネル７１）のＸ方向における内側端部にまとめて連通している。

図６および図８に示すように、貯留スリット９６は、Ｘ方向における幅（流路幅）が上述した連通スリット９７（入口側共通インク室８１）の幅よりも広くなっているとともに、連通スリット９７に倣ってＹ方向に沿って延在している。貯留スリット９６は、Ｘ方向の両端部が流路プレート９０の外周縁に近接する位置まで延在している。具体的に、Ｚ方向から見た平面視において、貯留スリット９６のうち、Ｘ方向の一方側端部は上述した一方のインク排出部９４ａと重なる位置まで延在し、Ｘ方向の他方側端部は他方のインク排出部９４ｂと重なる位置まで延在している。また、貯留スリット９６の下端開口部は、Ｘ方向中央部において上述した連通スリット９７の上端開口部に連通している。なお、図示の例において、貯留スリット９６のＺ方向における深さは、連通スリット９７の深さよりも浅くなっている。

図４、図６、図７、および図８に示すように、圧力緩衝部１０５は、可撓性を有するシート状（可撓膜）とされ、例えばポリアミド等の樹脂材料により形成され、厚さが例えば１５μｍ程度とされている。圧力緩衝部１０５は、その外周部分が流路プレート９０の上面に接着されるとともに、貯留スリット９６の上端開口部を全体に亘って覆っている。したがって、インク供給部９３のうち、貯留スリット９６および圧力緩衝部１０５により画成された空間は、連通スリット９７の上方（流通方向の上流側）に位置し、インクを貯留するインク貯留部１００を構成している。そして、インク貯留部１００は、上述した連通スリット９７および入口側共通インク室８１に比べて流路断面積（ＸＹ方向における面積）が大きくなっている。

図７および図８に示すように、貯留スリット９６のうち、Ｙ方向における一端部（インク導入管９１側）には、一対の流入溝９９が接続されている。一対の流入溝９９は、流路プレート９０におけるＸ方向両端部に位置し、Ｙ方向に沿って延在している。各流入溝９９のうち、Ｙ方向の一端部は、インク導入管９１に対してＸ方向の両側で後述する分配流路１０１に接続され、Ｙ方向の他端部は、貯留スリット９６に連通している。なお、流入溝９９は、上述した圧力緩衝部１０５によりまとめて閉塞されている。

図４、図６、および図８に示すように、貯留スリット９６および流入溝９９の上端開口縁には、下部に対して拡開された接着剤収容部１０３が形成されている。接着剤収容部１０３は、Ｚ方向における深さが貯留スリット９６の例えば半分程度に設定されている。接着剤収容部１０３は、貯留スリット９６および流入溝９９を全周に亘って囲繞している。

図７および図９に示すように、分配流路１０１は、インク導入管９１および各流入溝９９間を接続するものであって、インク導入管９１の下端開口部からＸ方向の両側に向けて二又に分岐するとともに、そのＸ方向両端部において流路プレート９０をＺ方向に貫通している。そして、分配流路１０１は、流路プレート９０の上面において上述した流入溝９９内に連通している。なお、分配流路１０１のうち、流路プレート９０の下面で開口する部分は、カバープレート８０により閉塞されている。

（支持プレート）
図３に示すように、支持プレート１１０は、流路プレート９０の上面において、圧力緩衝部１０５に重ね合わせるように配設されている。図４、図６、および図７に示すように、支持プレート１１０は、流路プレート９０との間に、圧力緩衝部１０５のうち、流路プレート９０との接着部分を挟持している。また支持プレート１１０のうち、Ｚ方向において貯留スリット９６に対向する部分には、下方に開口した凹部１１１が形成されている。この凹部１１１により、圧力緩衝部１０５が上方に撓み変形した際に、その撓み変形を許容する揺動空間１１３が形成されている。

（プリンタの動作方法）
次に、上述したように構成されたプリンタ１を利用して、記録紙Ｐに文字や図形等を記録する場合について以下に説明する。
なお、初期状態として、図１に示す４つのインクタンク４にはそれぞれ異なる色のインクが十分に封入されているものとする。また、インクタンク４内のインクがインク循環手段６を介してインクジェットヘッド５内（インク供給部９３、入口側共通インク室８１、出口側共通インク室８２、インク排出部９４、および各チャネル群６３，６４内）に充填された状態となっている。

このような初期状態のもと、プリンタ１を作動させると、搬送手段２，３のグリッドローラ１１，１３が回転することで、これらグリッドローラ１１，１３およびピンチローラ１２，１４間に記録紙Ｐを搬送方向（Ｙ方向）に向けて搬送する。また、これと同時に駆動モータ３８がプーリ３５，３６を回転させて無端ベルト３７を動かす。これにより、キャリッジ３３がガイドレール３１，３２でガイドされながらＸ方向に往復移動する。
そしてこの間に、各インクジェットヘッド５より４色のインクを記録紙Ｐに適宜吐出させることで、文字や画像等の記録を行うことができる。

ここで、各インクジェットヘッド５の動きについて、以下に詳細に説明する。
本実施形態のようなサイドシュートタイプのうち、循環式のインクジェットヘッド５では、まず図２に示す加圧ポンプ２４および吸引ポンプ２５を作動させることで、循環流路２３内にインクを流通させる。この場合、インク供給管２１を流通するインクは、図６および図７に示すインク導入管９１、インク供給部９３、および入口側共通インク室８１を通り、供給スリット８３ａ，８３ｂを介して各チャネル群６３，６４の吐出チャネル７１内に供給される。また、各吐出チャネル７１内のインクは、排出スリット８４ａ，８４ｂを介して出口側共通インク室８２内に流入し、その後、インク排出部９４およびインク導出管９２を介してインク排出管２２に排出される。インク排出管２２に排出されたインクは、インクタンク４に戻された後、再びインク供給管２１に供給される。これにより、インクジェットヘッド５とインクタンク４との間でインクを循環させる。

そして、キャリッジ３３（図１参照）によって往復移動が開始されると、制御手段はフレキシブル基板７５，７６を介して駆動電極７４（コモン電極７４ａおよびアクティブ電極７４ｂ）に駆動電圧を印加する。具体的には、駆動電極７４のうち、インクを吐出する吐出チャネル７１を画成する２つの側壁６５に形成された駆動電極７４に駆動電圧を印加し、これら２つの側壁６５を、吐出チャネル７１に隣接しているダミーチャネル７２側へ突出するように変形させる。すなわち、本実施形態のアクチュエータプレート６０は分極方向が一方向であり、駆動電極７４が側壁６５の側面のＺ方向における中間位置までしか形成されていないため、駆動電圧を印加することで、側壁６５のＺ方向中間位置を中心にしてＶ字状に屈曲変形する。これにより、吐出チャネル７１があたかも膨らむように変形する。

このように、２つの側壁６５の圧電厚み滑り効果による変形によって、吐出チャネル７１の容積が増大する。そして、吐出チャネル７１の容積が増大したことにより、入口側共通インク室８１内に貯留されたインクが吐出チャネル７１内に誘導される。そして、吐出チャネル７１の内部に誘導されたインクは、圧力波となって吐出チャネル７１の内部に伝播し、この圧力波が各ノズル孔５１，５２に到達したタイミングで、駆動電極７４に印加した駆動電圧をゼロにする。これにより、側壁６５の変形が元に戻り、一旦増大した吐出チャネル７１の容積が元の容積に戻る。この動作によって、吐出チャネル７１の内部の圧力が増加し、インクが加圧される。その結果、液滴状のインクが各ノズル孔５１，５２を通って外部に吐出されることで、上述したように記録紙Ｐに文字や画像等を記録することができる。
特に、本実施形態の各ノズル孔５１，５２は、テーパ状とされているので、インクを速い速度で真っ直ぐに直進性良く吐出することができる。よって、高画質に記録を行うことができる。
なお、本実施形態におけるインクを吐出チャネル７１の内部に循環させる動作と、吐出チャネル７１からインクを吐出する動作は、個別に実施することが可能であるし、また同時に実施することも可能である。

ここで、本実施形態では、インクジェットヘッド５内の圧力変動に応じて、インク貯留部１００の内面の一部を形成する圧力緩衝部１０５が撓み変形することで、圧力変動を緩衝している。まず、本実施形態のような循環式のインクジェットヘッド５では、各ノズル孔５１，５２内部でメニスカスが形成されるように、各ノズル孔５１，５２近傍での圧力（ノズル圧）が常に負圧（例えば、−１ｋＰａ程度）になるように加圧ポンプ２４および吸引ポンプ２５の駆動が制御されている。具体的に、吸引ポンプ２５の吸引力は、加圧ポンプ２４の加圧力よりも高くなるように設定されている。

この場合、各チャネル群６３，６４に対して上流側（入口側共通インク室８１側）は吐出チャネル７１の内部圧力に対して正圧となっている。そのため、入口側共通インク室８１の上流側に位置するインク貯留部１００の内面の一部を形成する圧力緩衝部１０５は、インク貯留部１００の容積を拡大させるように、揺動空間１１３に向けて撓み変形している。

この状態で、上述したように吐出チャネル７１の容積の減少により各ノズル孔５１，５２からインクが吐出されると、吐出チャネル７１内の圧力が瞬間的に減少する。すると、吐出チャネル７１内の圧力変動が圧力波となって入口側共通インク室８１を介してインク貯留部１００に伝播し、圧力緩衝部１０５が撓み変形する。すなわち、圧力緩衝部１０５がそれぞれインク貯留部１００内の容積を縮小させるようにインク貯留部１００内に向けて撓み変形する。これにより、インクジェットヘッド５は、吐出チャネル７１内で発生した圧力変動を緩衝することができる。

また、本実施形態では、各チャネル６１，６２それぞれが連通するインク貯留部１００に圧力緩衝部１０５が配設されているので、何れかの吐出チャネル７１での圧力変動がインク貯留部１００を介して他の吐出チャネル７１に伝播される、いわゆるクロストークも抑制できる。
なお、上述の説明では、インク吐出時に起こる圧力変動について説明したが、これに限られない。例えばキャリッジ３３の移動時やインク給排時等において、循環流路２３の揺動によってインクジェットヘッド５内に発生する圧力変動についても、圧力緩衝部１０５が撓み変形することで圧力変動を緩衝することが可能である。
特に、本実施形態では、圧力緩衝部１０５が入口側共通インク室８１に比べて流路断面積が大きいインク貯留部１００に配設されているため、圧力緩衝部１０５の面積を確保し易くなり、圧力緩衝効果をより高めることが可能となっている。

ここで、本実施形態のインクジェットヘッド５は、チャネル６１，６２の並設方向に沿って延設され、各チャネル６１，６２内にまとめて連通する入口側共通インク室８１と、入口側共通インク室８１に対してインクの流通方向における上流側に位置し、インクを貯留するインク貯留部１００と、を備える。そして、インク貯留部１００は、流路断面積が入口側共通インク室８１よりも大きくなっているとともに、その内面の一部に撓み変形可能な圧力緩衝部１０５が配設されている。

この構成によれば、入口側共通インク室８１の上流側に位置し、入口側共通インク室８１よりも流路断面積が大きいインク貯留部１００を備えているため、インクタンク４から供給されるインクは、インク貯留部１００に一旦貯留された後、入口側共通インク室８１内を通して各チャネル６１，６２にまとめて供給されることになる。この場合、入口側共通インク室８１全体にインクを均一に供給することができるため、各チャネル６１，６２内にインクを均一に供給することができる。したがって、インクが入口側共通インク室８１内に直接供給される構成に比べて、チャネル６１，６２の並設箇所（インク導入管９１からチャネル６１，６２までの距離）の違いにより発生するチャネル６１，６２間での圧力差を抑制できる。その結果、印字安定性の優れたインクジェットヘッド５を提供できる。

また、インク貯留部１００における内面の一部が圧力緩衝部１０５により画成されているため、インクジェットヘッド５内の圧力変動に応じて、インク貯留部１００の内面を構成する圧力緩衝部１０５が撓み変形することで、圧力変動を緩衝することができる。特に、インク貯留部１００は、入口側共通インク室８１よりも流路断面積が大きくなっているため、圧力緩衝部１０５の面積を確保し易くなり、圧力緩衝効果をより高めることが可能である。

また、本実施形態のインクジェットヘッド５は、インク貯留部１００がＺ方向から見て出口側共通インク室８２に重なる位置まで延在している。
この構成によれば、流路幅方向（Ｘ方向）へのインクジェットヘッド５の大型化を抑制した上で、インク貯留部１００の流路断面積を確保できるため、上述した作用効果がより奏功される。

また、本実施形態のインクジェットヘッド５は、第１入口側共通インク室８１ａおよび第２入口側共通インク室８１ｂがインク貯留部１００における流路幅方向（Ｘ方向）の中央部でまとめて連通している。
この構成によれば、インク貯留部１００内に貯留されたインクが各入口側共通インク室８１ａ，８１ｂを通して各チャネル群６３，６４のチャネル６１，６２内に均一に供給されることになる。このため、各チャネル群６３，６４間での圧力差を抑制でき、印字安定性をより高めることができる。

また、本実施形態のインクジェットヘッド５は、インク貯留部１００内にインクを導入するインク導入管９１を備え、インク導入管９１は、インク貯留部１００における流路幅方向（Ｘ方向）の中央部に配設されている。
この構成によれば、インク導入管９１とインク貯留部１００との間を接続するインクの流通経路を短くすることができるため、インクジェットヘッド５内を流通するインクの圧力損失をより低減することができる。

また、本実施形態のインクジェットヘッド５は、インク導入管９１とインク貯留部１００との間には、インク導入管９１に対して分配されるとともに、インク貯留部１００内に連通する分配流路１０１が接続されている。
この構成によれば、インクは、分割された複数の流路を介してインク貯留部１００に流れ込むため、インク貯留部１００全体にインクを行き渡らせやすくなり、各チャネル６１，６２内にインクを均一に供給することができる。

また、本実施形態のインクジェットヘッド５は、インク貯留部１００が、入口側共通インク室８１内に連通するスリット９５を有する流路プレート９０と、スリット９５を閉塞するとともに、流路プレート９０に接着された圧力緩衝部１０５と、を備える。そして、スリット９５において、圧力緩衝部１０５側に位置する部分には、接着剤収容部１０３が形成されている。
この構成によれば、流路プレート９０に圧力緩衝部１０５を接着するための接着剤が仮にスリット９５内に流れ込んだとしても、流れ込んだ接着剤を接着剤収容部１０３内に留めることができる。このため、スリット９５に流れ込んだ接着剤によってインク貯留部１００の流路断面積が狭められたり、接着剤がスリット９５の内面における不特定の場所に付着したりして、インク貯留部１００内でのインクの流通が阻害されるのを抑制できる。これにより、各チャネル６１，６２内にインクを均一に供給することができる。

また、本実施形態のインクジェットヘッド５は、圧力緩衝部１０５が、撓み変形可能な可撓膜であり、流路プレート９０には、圧力緩衝部１０５の撓み変形を許容するとともに、圧力緩衝部１０５における流路プレート９０との接着部分を挟持する支持プレート１１０が配設されている、ことを特徴とする。
この構成によれば、可撓膜により形成された圧力緩衝部１０５の撓み変形を制限することなく、圧力緩衝部１０５に外部の部材が接触して圧力緩衝部１０５が破損することを防止できる。

そして、本実施形態のプリンタ１は、インクジェットヘッド５と、インクジェットヘッド５と被記録媒体Ｐとを相対的に移動させる搬送手段２，３および走査手段７と、インクが収容されたインクタンク４と、インクジェットヘッド５とインクタンク４との間でインクを循環させるインク循環手段６と、を備えている。
この構成によれば、上述したインクジェットヘッド５を備えているため、印字安定性の優れたインクジェットプリンタを提供できる。

なお、本発明の技術範囲は上述した実施形態に限定されるものではなく、本発明の趣旨を逸脱しない範囲において種々の変更を加えることが可能である。

例えば、上述した実施形態では、液体噴射装置の一例として、インクジェットプリンタ１を例に挙げて説明したが、プリンタに限られるものではない。例えば、ファックスやオンデマンド印刷機等であっても構わない。

また、上述した実施形態では、各ノズル列５３，５４がそれぞれＹ方向に沿って直線状に延在している場合について説明したが、これに限らず、例えば各ノズル列５３，５４がＹ方向に沿って斜めに延在していてもよい。
また、各ノズル孔５１，５２の形状に関しても、円形に限定されるものではない。例えば、三角等の多角形状や、楕円形状や星型形状でも構わない。

さらに、上述した実施形態では、各ノズル列５３，５４が２列並んだ２列タイプのインクジェットヘッド５について説明したが、これに限らず、１列や３列以上の複数列のノズル列を有するインクジェットヘッド５としてもよい。

また、上述した実施形態では、可撓性を有する圧力緩衝部１０５として可撓膜を採用した場合について説明したが、これに限らず、種々の構成を採用することが可能である。例えば、液体貯留部を画成する内面の一部を他の部分に比べて薄肉に形成する等しても構わない。

また、上述した実施形態では、支持プレート１１０は、下方に開口した凹状に形成された場合について説明したが、これに限らず、例えばＺ方向においてスリット９５に対向する部分がＺ方向に貫通した枠状であってもよい。
さらに、インク貯留部１００のＸ方向における流路幅は、入口側共通インク室８１よりも大きくなっていれば、適宜設計変更が可能である。

また、上述した実施形態では、サイドシュートタイプのインクジェットヘッド５に本発明を適用した場合について説明したが、これに限られない。例えば、吐出チャネルにおける延在方向の端部に臨むノズル孔からインクを吐出する、いわゆるエッジシュートタイプのインクジェットヘッドに本発明を適用しても構わない。

その他、本発明の趣旨を逸脱しない範囲で、上述した実施形態における構成要素を周知の構成要素に置き換えることは適宜可能であり、また、上述した各変形例を適宜組み合わせても構わない。

１…インクジェットプリンタ（液体噴射装置） ２，３…搬送手段 ４…インクタンク（液体タンク） ５…インクジェットヘッド（液体噴射ヘッド） ６…インク循環手段（循環手段） ７…走査手段（搬送手段） ５０…ノズルプレート（噴射孔プレート） ５１…第１ノズル孔（噴射孔） ５２…第２ノズル孔（噴射孔） ６０…アクチュエータプレート ６１…第１チャネル（チャネル） ６２…第２チャネル（チャネル） ６３…第１チャネル群 ６４…第２チャネル群 ８１…入口側共通インク室（入口側共通液体室） ８１ａ…第１入口側共通インク室（第１入口側共通液体室） ８１ｂ…第２入口側共通インク室（第２入口側共通液体室） ８２…出口側共通インク室（出口側共通液体室） ９０流路プレート（流路部材） ９１…インク導入管（液体導入管） ９５…スリット １００…インク貯留部（液体貯留部） １０１…分配流路 １０３…接着剤収容部 １０５…圧力緩衝部 １１０…支持プレート

Claims (8)

1. 液体を噴射する複数の噴射孔を有する噴射孔プレートと、
   前記噴射孔プレートに積層されるとともに、前記噴射孔に各別に連通するチャネルが複数並設されたアクチュエータプレートと、
   前記チャネルの並設方向に沿って延設され、前記複数のチャネル内にまとめて連通する入口側共通液体室と、
   前記入口側共通液体室に対して液体の流通方向における上流側に位置し、液体を貯留する液体貯留部と、を備え、
   前記液体貯留部は、流路断面積が前記入口側共通液体室よりも大きくなっているとともに、その内面の一部が撓み変形可能な圧力緩衝部により画成されている、
   ことを特徴とする液体噴射ヘッド。
2. 請求項１に記載の液体噴射ヘッドにおいて、
   前記複数のチャネルは、延在方向の一端部で前記入口側共通液体室内に連通するとともに、他端部で出口側共通液体室内に連通し、
   前記液体貯留部は、前記アクチュエータプレートの厚さ方向から見て前記出口側共通液体室と重なる位置まで延在している、
   ことを特徴とする液体噴射ヘッド。
3. 請求項１または２に記載の液体噴射ヘッドにおいて、
   前記アクチュエータプレートには、前記複数のチャネルが並設されてなるチャネル群が複数列配設され、
   前記入口側共通液体室は、
   複数列の前記チャネル群のうち、第１チャネル群の前記チャネルに連通する第１入口側共通液体室と、
   複数列の前記チャネル群のうち、前記第１チャネル群に隣接する第２チャネル群の前記チャネルに連通する第２入口側共通液体室と、を有し、
   前記第１入口側共通液体室および前記第２入口側共通液体室は、前記液体貯留部における流路幅方向の中央部でまとめて連通している、
   ことを特徴とする液体噴射ヘッド。
4. 請求項１ないし３のいずれか１項に記載の液体噴射ヘッドにおいて、
   前記液体貯留部内に液体を導入する液体導入管を備え、
   前記液体導入管は、前記液体貯留部における流路幅方向の中央部に配設されている、
   ことを特徴とする液体噴射ヘッド。
5. 請求項４に記載の液体噴射ヘッドにおいて、
   前記液体導入管と前記液体貯留部との間には、前記液体導入管に対して分配されるとともに、前記液体貯留部内に連通する分配流路が接続されている、
   ことを特徴とする液体噴射ヘッド。
6. 請求項１ないし５のいずれか１項に記載の液体噴射ヘッドにおいて、
   前記液体貯留部は、
   前記入口側共通液体室内に連通するスリットを有する流路部材と、
   前記スリットを閉塞するとともに、前記流路部材に接着された前記圧力緩衝部と、
   を備え、
   前記スリットにおいて、前記圧力緩衝部側に位置する部分には、接着剤収容部が形成されている、
   ことを特徴とする液体噴射ヘッド。
7. 請求項６に記載の液体噴射ヘッドにおいて、
   前記圧力緩衝部は、撓み変形可能な可撓膜であり、
   前記流路部材には、前記圧力緩衝部の撓み変形を許容するとともに、前記圧力緩衝部における前記流路部材との接着部分を挟持する支持プレートが配設されている、
   ことを特徴とする液体噴射ヘッド。
8. 請求項１ないし７のいずれか１項に記載の液体噴射ヘッドと、
   前記液体噴射ヘッドと被記録媒体とを相対的に移動させる搬送手段と、
   前記液体が収容された液体タンクと、
   前記液体噴射ヘッドと前記液体タンクとの間で前記液体を循環させる循環手段と、を備えている、
   ことを特徴とする液体噴射装置。

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