JP2022042359A - ヘッドチップ、液体噴射ヘッドおよび液体噴射記録装置 - Google Patents

Abstract

【課題】ヘッドチップの製造コストを抑えつつ、消費電力の低減および印刷画質の向上を図ることが可能なヘッドチップ等を提供する。【解決手段】本開示の一実施の形態に係るヘッドチップは、複数の吐出溝および複数の電極を有するアクチュエータプレートと、複数のノズル孔を有するノズルプレートと、壁部と第１貫通孔と第２貫通孔とを有するカバープレートと、を備えている。複数のノズル孔は、第１貫通孔側にずれて配置された複数の第１ノズル孔と、第２貫通孔側にずれて配置された複数の第２ノズル孔とを含んでいる。第１ノズル孔と連通する第１吐出溝では、第１貫通孔と連通する部分の第１断面積が、第２貫通孔と連通する部分の第２断面積よりも小さくなっている。電極における吐出溝の延在方向に沿った両端の位置がそれぞれ、所定方向に沿った複数の電極において、互いに揃っている。【選択図】図７

Description

本開示は、ヘッドチップ、液体噴射ヘッドおよび液体噴射記録装置に関する。

液体噴射ヘッドを備えた液体噴射記録装置が様々な分野に利用されており、液体噴射ヘッドとしては、各種方式のものが開発されている（例えば、特許文献１参照）。また、このような液体噴射ヘッドには、インク（液体）を噴射するヘッドチップが設けられている。

特開２０１５－１７８２０９号公報

このようなヘッドチップ等では一般に、製造コストを抑えることや、消費電力を低減させること、印刷画質を向上させることが、求められている。ヘッドチップの製造コストを抑えつつ、消費電力の低減および印刷画質の向上を図ることが可能な、ヘッドチップ、液体噴射ヘッドおよび液体噴射記録装置を提供することが望ましい。

本開示の一実施の形態に係るヘッドチップは、所定方向に沿って並んで配置された複数の吐出溝と、これら複数の吐出溝の側壁に個別に設けられていると共に、吐出溝の延在方向に沿って延在する複数の電極と、を有するアクチュエータプレートと、吐出溝を覆う壁部と、吐出溝の延在方向に沿って壁部の一方側に形成されていると共に、吐出溝内に液体を流入させるための第１貫通孔と、吐出溝の延在方向に沿って壁部の他方側に形成されていると共に、吐出溝内から液体を流出させるための第２貫通孔と、を有するカバープレートと、を備えたものである。上記複数のノズル孔は、吐出溝の延在方向に沿った中心位置を基準として、吐出溝の延在方向に沿った第１貫通孔側にずれて配置された複数の第１ノズル孔と、吐出溝の延在方向に沿った中心位置を基準として、吐出溝の延在方向に沿った第２貫通孔側にずれて配置された複数の第２ノズル孔と、を含んでいる。上記第１ノズル孔と連通する吐出溝である第１吐出溝においては、第１貫通孔と連通する部分における液体の流路の断面積である第１断面積が、第２貫通孔と連通する部分における液体の流路の断面積である第２断面積よりも、小さくなっていると共に、上記第２ノズル孔と連通する吐出溝である第２吐出溝においては、上記第２断面積が上記第１断面積よりも、小さくなっている。また、上記電極における吐出溝の延在方向に沿った両端の位置がそれぞれ、上記所定方向に沿った複数の電極において、互いに揃っている。

本開示の一実施の形態に係る液体噴射ヘッドは、本開示の一実施の形態に係るヘッドチップを備えたものである。

本開示の一実施の形態に係る液体噴射記録装置は、上記本開示の一実施の形態に係る液体噴射ヘッドを備えたものである。

本開示の一実施の形態に係るヘッドチップ、液体噴射ヘッドおよび液体噴射記録装置によれば、ヘッドチップの製造コストを抑えつつ、消費電力の低減および印刷画質の向上を図ることが可能となる。

本開示の一実施の形態に係る液体噴射記録装置の概略構成例を表す模式斜視図である。 ノズルプレートを取り外した状態における液体噴射ヘッドの構成例を表す模式底面図である。 図２に示したＩＩＩ－ＩＩＩ線に沿った断面構成例を表す模式図である。 図２に示したＩＶ－ＩＶ線に沿った断面構成例を表す模式図である。 図３，図４に示したカバープレートの上面側における液体噴射ヘッドの平面構成例を表す模式図である。 図３，図４に示したアクチュエータプレートの端部付近の平面構成例を表す模式図である。 図３，図４に示した断面構成例における吐出チャネル付近の詳細構成例を表す模式図である。 図７に示した共通電極の形成方法の一例を表す模式図である。 比較例１に係る液体噴射ヘッドにおいてノズルプレートを取り外した状態の構成例を表す模式底面図である。 図９に示したＸ－Ｘ線に沿った断面構成例を表す模式図である。 比較例２に係る液体噴射ヘッドにおける吐出チャネル付近の断面構成例を表す模式図である。 比較例３に係る液体噴射ヘッドにおけるカバープレートの上面側の平面構成例を表す模式図である。 比較例３に係る液体噴射ヘッドにおける吐出チャネル付近の断面構成例を表す模式図である。 変形例１に係る液体噴射ヘッドにおける断面構成例を表す模式図である。 変形例１に係る液体噴射ヘッドにおける他の断面構成例を表す模式図である。 図１４，図１５に示したヘッドチップにおける他の断面構成例を表す模式図である。 変形例１等に係るノズル孔および拡張流路部の位置関係の一例を表す模式断面図である。 変形例１等に係るノズル孔および拡張流路部の位置関係の他の例を表す模式断面図である。 変形例２等に係るノズル孔および拡張流路部の位置関係の一例を表す模式断面図である。 変形例２等に係るノズル孔および拡張流路部の位置関係の他の例を表す模式断面図である。

以下、本開示の実施の形態について、図面を参照して詳細に説明する。なお、説明は以下の順序で行う。
１．実施の形態（ノズル孔：千鳥配置，吐出溝・共通電極：一列配置である場合の例）
２．変形例
変形例１（拡張流路部を有する位置合わせプレートを更に設けた場合の例）
変形例２（拡張流路部の中心位置が、ノズル孔の中心位置と一致する場合の例）
３．その他の変形例

＜１．実施の形態＞
［Ａ．プリンタ１の全体構成］
図１は、本開示の一実施の形態に係る液体噴射記録装置としてのプリンタ１の概略構成例を、模式的に斜視図にて表したものである。プリンタ１は、後述するインク９を利用して、被記録媒体としての記録紙Ｐに対して、画像や文字等の記録（印刷）を行うインクジェットプリンタである。なお、この被記録媒体としては、紙には限定されず、例えばセラミックやガラス等の、被記録可能な材質を含むものである。

プリンタ１は、図１に示したように、一対の搬送機構２ａ，２ｂと、インクタンク３と、インクジェットヘッド４と、循環流路５０と、走査機構６とを備えている。これらの各部材は、所定形状を有する筺体１０内に収容されている。なお、本明細書の説明に用いられる各図面では、各部材を認識可能な大きさとするため、各部材の縮尺を適宜変更している。

ここで、プリンタ１は、本開示における「液体噴射記録装置」の一具体例に対応し、インクジェットヘッド４（後述するインクジェットヘッド４Ｙ，４Ｍ，４Ｃ，４Ｋ）は、本開示における「液体噴射ヘッド」の一具体例に対応している。また、インク９は、本開示における「液体」の一具体例に対応している。

搬送機構２ａ，２ｂはそれぞれ、図１に示したように、記録紙Ｐを搬送方向ｄ（Ｘ軸方向）に沿って搬送する機構である。これらの搬送機構２ａ，２ｂはそれぞれ、グリッドローラ２１、ピンチローラ２２および駆動機構（不図示）を有している。この駆動機構は、グリッドローラ２１を軸周りに回転させる（Ｚ－Ｘ面内で回転させる）機構であり、例えばモータ等によって構成されている。

（インクタンク３）
インクタンク３は、インク９を内部に収容するタンクである。このインクタンク３としては、この例では図１に示したように、イエロー（Ｙ），マゼンダ（Ｍ），シアン（Ｃ），ブラック（Ｋ）の４色のインク９を個別に収容する、４種類のタンクが設けられている。すなわち、イエローのインク９を収容するインクタンク３Ｙと、マゼンダのインク９を収容するインクタンク３Ｍと、シアンのインク９を収容するインクタンク３Ｃと、ブラックのインク９を収容するインクタンク３Ｋとが設けられている。これらのインクタンク３Ｙ，３Ｍ，３Ｃ，３Ｋは、筺体１０内において、Ｘ軸方向に沿って並んで配置されている。

なお、インクタンク３Ｙ，３Ｍ，３Ｃ，３Ｋはそれぞれ、収容するインク９の色以外については同一の構成であるため、以下ではインクタンク３と総称して説明する。

（インクジェットヘッド４）
インクジェットヘッド４は、後述する複数のノズル（ノズル孔Ｈ１，Ｈ２）から記録紙Ｐに対して液滴状のインク９を噴射（吐出）して、画像や文字等の記録（印刷）を行うヘッドである。このインクジェットヘッド４としても、この例では図１に示したように、上記したインクタンク３Ｙ，３Ｍ，３Ｃ，３Ｋにそれぞれ収容されている４色のインク９を個別に噴射する、４種類のヘッドが設けられている。すなわち、イエローのインク９を噴射するインクジェットヘッド４Ｙと、マゼンダのインク９を噴射するインクジェットヘッド４Ｍと、シアンのインク９を噴射するインクジェットヘッド４Ｃと、ブラックのインク９を噴射するインクジェットヘッド４Ｋとが設けられている。これらのインクジェットヘッド４Ｙ，４Ｍ，４Ｃ，４Ｋは、筺体１０内において、Ｙ軸方向に沿って並んで配置されている。

なお、インクジェットヘッド４Ｙ，４Ｍ，４Ｃ，４Ｋはそれぞれ、利用するインク９の色以外については同一の構成であるため、以下ではインクジェットヘッド４と総称して説明する。また、このインクジェットヘッド４の詳細構成例については、後述する（図２～図６）。

（循環流路５０）
循環流路５０は、図１に示したように、流路５０ａ，５０ｂを有している。流路５０ａは、インクタンク３から送液ポンプ（不図示）を介して、インクジェットヘッド４へと至る部分の流路である。流路５０ｂは、インクジェットヘッド４から送液ポンプ（不図示）を介して、インクタンク３へと至る部分の流路である。言い換えると、流路５０ａは、インクタンク３からインクジェットヘッド４へと向かって、インク９が流れる流路である。また、流路５０ｂは、インクジェットヘッド４からインクタンク３へと向かって、インク９が流れる流路である。

このようにして本実施の形態では、インクタンク３内とインクジェットヘッド４内との間で、インク９が循環するようになっている。なお、これらの流路５０ａ，５０ｂ（インク９の供給チューブ）はそれぞれ、例えば、可撓性を有するフレキシブルホースにより構成されている。

（走査機構６）
走査機構６は、記録紙Ｐの幅方向（Ｙ軸方向）に沿って、インクジェットヘッド４を走査させる機構である。この走査機構６は、図１に示したように、Ｙ軸方向に沿って延設された一対のガイドレール６１ａ，６１ｂと、これらのガイドレール６１ａ，６１ｂに移動可能に支持されたキャリッジ６２と、このキャリッジ６２をＹ軸方向に沿って移動させる駆動機構６３と、を有している。

駆動機構６３は、ガイドレール６１ａ，６１ｂの間に配置された一対のプーリ６３１ａ，６３１ｂと、これらのプーリ６３１ａ，６３１ｂ間に巻回された無端ベルト６３２と、プーリ６３１ａを回転駆動させる駆動モータ６３３と、を有している。また、キャリッジ６２上には、前述した４種類のインクジェットヘッド４Ｙ，４Ｍ，４Ｃ，４Ｋが、Ｙ軸方向に沿って並んで配置されている。

このような走査機構６と前述した搬送機構２ａ，２ｂとにより、インクジェットヘッド４と記録紙Ｐとを相対的に移動させる、移動機構が構成されるようになっている。なお、このような方式の移動機構には限られず、例えば、インクジェットヘッド４を固定しつつ被記録媒体（記録紙Ｐ）のみを移動させることで、インクジェットヘッド４と被記録媒体とを相違的に移動させる方式（いわゆる「シングルパス方式」）であってもよい。

［Ｂ．インクジェットヘッド４の詳細構成］
続いて、図１に加えて図２～図６を参照して、インクジェットヘッド４（ヘッドチップ４１）の詳細構成例について説明する。

図２は、ノズルプレート４１１（後出）を取り外した状態におけるインクジェットヘッド４の構成例を、模式的に底面図（Ｘ－Ｙ底面図）で表したものである。図３は、図２に示したＩＩＩ－ＩＩＩ線に沿ったインクジェットヘッド４の断面構成例（Ｙ－Ｚ断面構成例）を、模式的に表したものである。同様に、図４は、図２に示したＩＶ－ＩＶ線に沿ったインクジェットヘッド４の断面構成例（Ｙ－Ｚ断面構成例）を、模式的に表したものである。また、図５は、図３，図４に示したカバープレート４１３（後出）の上面側におけるインクジェットヘッド４の平面構成例（Ｘ－Ｙ平面構成例）を、模式的に表したものである。図６は、図３，図４に示したアクチュエータプレート４１２（後出）におけるＹ軸方向に沿った端部付近の平面構成例（Ｘ－Ｙ平面構成例）を、模式的に表したものである。

なお、図３～図６においては、後述する吐出チャネルＣ１ｅ，Ｃ２ｅおよび後述するノズル孔Ｈ１，Ｈ２のうち、後述するノズル列Ａｎ１に対応して配置された、吐出チャネルＣ１ｅおよびノズル孔Ｈ１について、便宜上、代表して図示している。つまり、後述するノズル列Ａｎ２に対応して配置された、吐出チャネルＣ２ｅおよびノズル孔Ｈ２についても、同様の構成となっているため、図示を省略する。

本実施の形態のインクジェットヘッド４は、後述するヘッドチップ４１における複数のチャネル（複数のチャネルＣ１および複数のチャネルＣ２）の延在方向（Ｙ軸方向）の中央部からインク９を吐出する、いわゆるサイドシュートタイプのインクジェットヘッドである。また、このインクジェットヘッド４は、前述した循環流路５０を用いることで、インクタンク３との間でインク９を循環させて利用する、循環式のインクジェットヘッドである。

図３，図４に示したように、インクジェットヘッド４は、ヘッドチップ４１を備えている。また、このインクジェットヘッド４には、図示しない制御機構（ヘッドチップ４１の動作を制御する機構）として、回路基板およびフレキシブルプリント基板（Flexible Printed Circuits：ＦＰＣ）が設けられている。

回路基板は、ヘッドチップ４１を駆動するための駆動回路（電気回路）を搭載する基板である。フレキシブルプリント基板は、この回路基板上の駆動回路と、ヘッドチップ４１における後述する駆動電極Ｅｄとの間を、電気的に接続するための基板である。なお、このようなフレキシブルプリント基板には、複数の引き出し電極がプリント配線されるようになっている。

ヘッドチップ４１は、図３，図４に示したように、インク９をＺ軸方向に沿って噴射する部材であり、各種のプレートを用いて構成されている。具体的には図３，図４に示したように、ヘッドチップ４１は、ノズルプレート（噴射孔プレート）４１１、アクチュエータプレート４１２およびカバープレート４１３を、主に備えている。これらのノズルプレート４１１、アクチュエータプレート４１２およびカバープレート４１３はそれぞれ、例えば接着剤等を用いて互いに貼り合わされており、Ｚ軸方向に沿ってこの順に積層されている。なお、以下では、Ｚ軸方向に沿ってカバープレート４１３側を上方と称すると共に、ノズルプレート４１１側を下方と称して説明する。

（ノズルプレート４１１）
ノズルプレート４１１は、例えば５０μｍ程度の厚みを有する、ポリイミド等のフィルム材からなり、図３，図４に示したように、アクチュエータプレート４１２の下面に接着されている。ただし、ノズルプレート４１１の構成材料は、ポリイミド等の樹脂材料には限られず、例えば金属材料であってもよい。

また、図２に示したように、このノズルプレート４１１には、Ｘ軸方向に沿ってそれぞれ延在する、２列のノズル列（ノズル列Ａｎ１，Ａｎ２）が設けられている。これらのノズル列Ａｎ１，Ａｎ２同士は、Ｙ軸方向に沿って所定の間隔をおいて配置されている。このように、本実施の形態のインクジェットヘッド４（ヘッドチップ４１）は、２列タイプのインクジェットヘッド（ヘッドチップ）となっている。

ノズル列Ａｎ１は、詳細は後述するが、Ｘ軸方向に沿って所定の間隔をおいて並んで形成された、複数のノズル孔Ｈ１を有している。これらのノズル孔Ｈ１はそれぞれ、ノズルプレート４１１をその厚み方向（Ｚ軸方向）に沿って貫通しており、例えば図３，図４に示したように、後述するアクチュエータプレート４１２における吐出チャネルＣ１ｅ内に個別に連通している。また、ノズル孔Ｈ１におけるＸ軸方向に沿った形成ピッチは、吐出チャネルＣ１ｅにおけるＸ軸方向に沿った形成ピッチと同一（同一ピッチ）となっている。このようなノズル列Ａｎ１内のノズル孔Ｈ１からは、詳細は後述するが、吐出チャネルＣ１ｅ内から供給されるインク９が吐出（噴射）されるようになっている。

ノズル列Ａｎ２も同様に、詳細は後述するが、Ｘ軸方向に沿って所定の間隔をおいて並んで形成された、複数のノズル孔Ｈ２を有している。これらのノズル孔Ｈ２もそれぞれ、ノズルプレート４１１をその厚み方向に沿って貫通しており、後述するアクチュエータプレート４１２における吐出チャネルＣ２ｅ内に個別に連通している。また、ノズル孔Ｈ２におけるＸ軸方向に沿った形成ピッチは、吐出チャネルＣ２ｅにおけるＸ軸方向に沿った形成ピッチと同一となっている。このようなノズル列Ａｎ２内のノズル孔Ｈ２からも、詳細は後述するが、吐出チャネルＣ２ｅ内から供給されるインク９が吐出されるようになっている。

また、図２に示したように、ノズル列Ａｎ１における各ノズル孔Ｈ１と、ノズル列Ａｎ２における各ノズル孔Ｈ２とは、Ｘ軸方向に沿って互い違いとなるように配置されている。したがって、本実施の形態のインクジェットヘッド４では、ノズル列Ａｎ１におけるノズル孔Ｈ１と、ノズル列Ａｎ２におけるノズル孔Ｈ２とが、千鳥状に配置（千鳥配置）されている。なお、このようなノズル孔Ｈ１，Ｈ２はそれぞれ、下方に向かうに従って漸次縮径するテーパ状の貫通孔となっている（図３，図４参照）。

ここで、本実施の形態のノズルプレート４１１では、図２に示したように、ノズル列Ａｎ１における複数のノズル孔Ｈ１のうち、Ｘ軸方向に沿って隣接するノズル孔Ｈ１同士が、吐出チャネルＣ１ｅの延在方向（Ｙ軸方向）に沿って、互いにずれて配置されている。つまり、このノズル列Ａｎ１における複数のノズル孔Ｈ１全体が、Ｘ軸方向に沿って千鳥配置されている。具体的には、図２に示したように、ノズル列Ａｎ１における複数のノズル孔Ｈ１が、Ｘ軸方向に沿って延在するノズル列Ａｎ１１に属する複数のノズル孔Ｈ１１と、Ｘ軸方向に沿って延在するノズル列Ａｎ１２に属する複数のノズル孔Ｈ１２と、を含むようになっている。また、各ノズル孔Ｈ１１は、吐出チャネルＣ１ｅの延在方向（Ｙ軸方向）に沿った中心位置を基準として、Ｙ軸方向の正側（後述する第１供給スリットＳin１側）に、ずれて配置されている。一方、各ノズル孔Ｈ１２は、吐出チャネルＣ１ｅの延在方向に沿った中心位置を基準として、Ｙ軸方向の負側（後述する第１排出スリットＳout１側）に、ずれて配置されている。

同様にして、このノズルプレート４１１では、図２に示したように、ノズル列Ａｎ２における複数のノズル孔Ｈ２のうち、Ｘ軸方向に沿って隣接するノズル孔Ｈ２同士が、吐出チャネルＣ２ｅの延在方向（Ｙ軸方向）に沿って、互いにずれて配置されている。つまり、このノズル列Ａｎ２における複数のノズル孔Ｈ２全体が、Ｘ軸方向に沿って千鳥配置されている。具体的には、図２に示したように、ノズル列Ａｎ２における複数のノズル孔Ｈ２が、Ｘ軸方向に沿って延在するノズル列Ａｎ２１に属する複数のノズル孔Ｈ２１と、Ｘ軸方向に沿って延在するノズル列Ａｎ２２に属する複数のノズル孔Ｈ２２と、を含むようになっている。また、各ノズル孔Ｈ２１は、吐出チャネルＣ２ｅの延在方向（Ｙ軸方向）に沿った中心位置を基準として、Ｙ軸方向の負側（後述する第２供給スリット側）に、ずれて配置されている。一方、各ノズル孔Ｈ２２は、吐出チャネルＣ２ｅの延在方向に沿った中心位置を基準として、Ｙ軸方向の正側（後述する第２排出スリット側）に、ずれて配置されている。

なお、このようなノズル孔Ｈ１（Ｈ１１，Ｈ１２），Ｈ２（Ｈ２１，Ｈ２２）の配置構成の詳細については、後述する。

（アクチュエータプレート４１２）

アクチュエータプレート４１２は、例えばＰＺＴ（チタン酸ジルコン酸鉛）等の圧電材料により構成されたプレートである。このアクチュエータプレート４１２は、図３，図４に示したように、分極方向が互いに異なる２つの圧電基板を、厚み方向（Ｚ軸方向）に沿って積層して構成されている（いわゆる、シェブロンタイプ）。ただし、アクチュエータプレート４１２の構成としては、このシェブロンタイプには限られない。すなわち、例えば、分極方向が厚み方向（Ｚ軸方向）に沿って一方向に設定されている１つ（単一）の圧電基板によって、アクチュエータプレート４１２を構成するようにしてもよい（いわゆる、カンチレバータイプ）。

また、図２に示したように、アクチュエータプレート４１２には、Ｘ軸方向に沿ってそれぞれ延在する、２列のチャネル列（チャネル列４２１，４２２）が設けられている。これらのチャネル列４２１，４２２同士は、Ｙ軸方向に沿って所定の間隔をおいて配置されている。

このようなアクチュエータプレート４１２では、図２に示したように、Ｘ軸方向に沿った中央部（チャネル列４２１，４２２の形成領域）に、インク９の吐出領域（噴射領域）が設けられている。一方、アクチュエータプレート４１２において、Ｘ軸方向に沿った両端部（チャネル列４２１，４２２の非形成領域）には、インク９の非吐出領域（非噴射領域）が設けられている。この非吐出領域は、上記した吐出領域に対して、Ｘ軸方向に沿った外側に位置している。なお、アクチュエータプレート４１２におけるＹ軸方向に沿った両端部はそれぞれ、図２に示したように、尾部４２０を構成している。

上記したチャネル列４２１は、図２に示したように、複数のチャネルＣ１を有している。これらのチャネルＣ１は、図２に示したように、アクチュエータプレート４１２内において、Ｙ軸方向に沿って延在している。また、これらのチャネルＣ１は、図２に示したように、Ｘ軸方向に沿って所定の間隔をおいて互いに平行となるよう、並んで配置されている。各チャネルＣ１は、圧電体（アクチュエータプレート４１２）からなる駆動壁Ｗｄによってそれぞれ画成されており、Ｚ－Ｘ断面の断面視にて、凹状の溝部となっている。

チャネル列４２２も同様に、図２に示したように、Ｙ軸方向に沿って延在する複数のチャネルＣ２を有している。これらのチャネルＣ２は、図２に示したように、Ｘ軸方向に沿って所定の間隔をおいて互いに平行となるよう、並んで配置されている。各チャネルＣ２もまた、上記した駆動壁Ｗｄによってそれぞれ画成されており、Ｚ－Ｘ断面の断面視にて、凹状の溝部となっている。

ここで、図２～図６に示したように、チャネルＣ１には、インク９を吐出させるための吐出チャネルＣ１ｅ（吐出溝）と、インク９を吐出させないダミーチャネルＣ１ｄ（非吐出溝）とが存在している。各吐出チャネルＣ１ｅは、ノズルプレート４１１におけるノズル孔Ｈ１と連通している一方（図３，図４参照）、各ダミーチャネルＣ１ｄはノズル孔Ｈ１には連通しておらず、ノズルプレート４１１の上面によって下方から覆われている。

複数の吐出チャネルＣ１ｅは、それらの少なくとも一部が所定方向（Ｘ軸方向）に沿って互いに重なるようにして並設されており、特に図２の例では、複数の吐出チャネルＣ１ｅ全体が、Ｘ軸方向に沿って互いに重なるようにして配置されている。これにより図２に示したように、複数の吐出チャネルＣ１ｅ全体が、Ｘ軸方向に沿って１列に配置されるようになっている。同様にして、複数のダミーチャネルＣ１ｄは、Ｘ軸方向に沿って並設されており、図２の例では、複数のダミーチャネルＣ１ｄ全体が、Ｘ軸方向に沿って１列に配置されている。また、このチャネル列４２１では、このような吐出チャネルＣ１ｅとダミーチャネルＣ１ｄとが、Ｘ軸方向に沿って交互に配置されている（図２参照）。

また、図２～図４に示したように、チャネルＣ２には、インク９を吐出させるための吐出チャネルＣ２ｅ（吐出溝）と、インク９を吐出させないダミーチャネルＣ２ｄ（非吐出溝）とが存在している。各吐出チャネルＣ２ｅは、ノズルプレート４１１におけるノズル孔Ｈ２と連通している一方、各ダミーチャネルＣ２ｄはノズル孔Ｈ２には連通しておらず、ノズルプレート４１１の上面によって下方から覆われている（図３，図４参照）。

複数の吐出チャネルＣ２ｅは、それらの少なくとも一部が所定方向（Ｘ軸方向）に沿って互いに重なるようにして並設されており、特に図２の例では、複数の吐出チャネルＣ２ｅ全体が、Ｘ軸方向に沿って互いに重なるようにして配置されている。これにより図２に示したように、複数の吐出チャネルＣ２ｅ全体が、Ｘ軸方向に沿って１列に配置されるようになっている。同様にして、複数のダミーチャネルＣ２ｄは、Ｘ軸方向に沿って並設されており、図２の例では、複数のダミーチャネルＣ２ｄ全体が、Ｘ軸方向に沿って１列に配置されている。また、このチャネル列４２２では、このような吐出チャネルＣ２ｅとダミーチャネルＣ２ｄとが、Ｘ軸方向に沿って交互に配置されている（図２参照）。

なお、このような吐出チャネルＣ１ｅ，Ｃ２ｅはそれぞれ、本開示における「吐出溝」の一具体例に対応している。また、Ｘ軸方向は、本開示における「所定方向」の一具体例に対応しており、Ｙ軸方向は、本開示における「吐出溝の延在方向」の一具体例に対応している。

ここで、図２～図４に示したように、チャネル列４２１における吐出チャネルＣ１ｅと、チャネル列４２２におけるダミーチャネルＣ２ｄとは、これらの吐出チャネルＣ１ｅおよびダミーチャネルＣ２ｄの延在方向（Ｙ軸方向）に沿って、一直線上に配置されている。また、図２に示したように、チャネル列４２１におけるダミーチャネルＣ１ｄと、チャネル列４２２における吐出チャネルＣ２ｅとは、これらのダミーチャネルＣ１ｄおよび吐出チャネルＣ２ｅの延在方向（Ｙ軸方向）に沿って、一直線上に配置されている。

また、例えば図４に示したように、各吐出チャネルＣ１ｅは、カバープレート４１３側（上方）からノズルプレート４１１側（下方）へ向けて各吐出チャネルＣ１ｅの断面積が徐々に小さくなる、円弧状の側面を有している。同様に、各吐出チャネルＣ２ｅは、カバープレート４１３側からノズルプレート４１１側へ向けて各吐出チャネルＣ２ｅの断面積が徐々に小さくなる、円弧状の側面を有している。なお、このような吐出チャネルＣ１ｅ，Ｃ２ｅにおける円弧状の側面はそれぞれ、例えば、ダイサーによる切削加工によって形成されるようになっている。

なお、図３，図４に示した吐出チャネルＣ１ｅ付近（および吐出チャネルＣ２ｅ付近）の詳細構成については、後述する。

また、図３，図４，図６に示したように、前述した駆動壁ＷｄにおいてＸ軸方向に沿って対向する内側面にはそれぞれ、Ｙ軸方向に沿って延在する、駆動電極Ｅｄが設けられている。この駆動電極Ｅｄには、吐出チャネルＣ１ｅ，Ｃ２ｅに面する内側面に設けられた共通電極（コモン電極）Ｅｄｃと、ダミーチャネルＣ１ｄ，Ｃ２ｄに面する内側面に設けられた個別電極（アクティブ電極）Ｅｄａと、が存在している。なお、このような駆動電極Ｅｄ（共通電極Ｅｄｃおよび個別電極Ｅｄａ）は、駆動壁Ｗｄの内側面上において、深さ方向（Ｚ軸方向）の全体に亘って形成されている（図３，図４参照）。

同一の吐出チャネルＣ１ｅ（または吐出チャネルＣ２ｅ）内で対向する一対の共通電極Ｅｄｃ同士は、図示しない共通端子（共通配線）において互いに電気的に接続されている。また、同一のダミーチャネルＣ１ｄ（またはダミーチャネルＣ２ｄ）内で対向する一対の個別電極Ｅｄａ同士は、互いに電気的に分離されている。一方、吐出チャネルＣ１ｅ（または吐出チャネルＣ２ｅ）を介して対向する一対の個別電極Ｅｄａ同士は、図示しない個別端子（個別配線）において、互いに電気的に接続されている。

ここで、前述した尾部４２０（アクチュエータプレート４１２におけるＹ軸方向に沿った端部付近）においては、駆動電極Ｅｄと前述した回路基板との間を電気的に接続するための、前述したフレキシブルプリント基板が実装されている。このフレキシブルプリント基板に形成された配線パターン（不図示）は、上記した共通配線および個別配線に対して電気的に接続されている。これにより、フレキシブルプリント基板を介して、上記した回路基板上の駆動回路から各駆動電極Ｅｄに対して、駆動電圧が印加されるようになっている。

また、アクチュエータプレート４１２における尾部４２０では、各ダミーチャネルＣ１ｄ，Ｃ２ｄにおいて、それらの延在方向（Ｙ軸方向）に沿った端部が、以下のような構成となっている。

すなわち、まず、各ダミーチャネルＣ１ｄ，Ｃ２ｄでは、それらの延在方向に沿った一方側は、ノズルプレート４１１側へ向けて各ダミーチャネルＣ１ｄ，Ｃ２ｄの断面積が徐々に小さくなる、円弧状の側面になっている（図３，図４参照）。なお、このようなダミーチャネルＣ１ｄ，Ｃ２ｄにおける円弧状の側面もそれぞれ、前述した吐出チャネルＣ１ｅ，Ｃ２ｅにおける円弧状の側面と同様に、例えば、ダイサーによる切削加工によって形成されるようになっている。これに対して、各ダミーチャネルＣ１ｄ，Ｃ２ｄにおいて、それらの延在方向に沿った他方側（尾部４２０側）は、アクチュエータプレート４１２におけるＹ軸方向に沿った端部に至るまで、開口している（図３，図４，図６中の破線で示した符号Ｐ２参照）。また、例えば図３，図４，図６に示したように、各ダミーチャネルＣ１ｄ，Ｃ２ｄ内におけるＸ軸方向に沿った両側面に対向配置された各個別電極Ｅｄａもまた、アクチュエータプレート４１２におけるＹ軸方向に沿った端部に至るまで、延在するようになっている。

なお、図６中に示した加工スリットＳＬはそれぞれ、アクチュエータプレート４１２の表面上の個別電極Ｅｄａおよび共通電極Ｅｄｃ同士を離隔するように、Ｙ軸方向に沿って形成されたスリットであり、例えば以下のようにして形成される。すなわち、これらの加工スリットＳＬはそれぞれ、アクチュエータプレート４１２の形成の際に、例えば、所定のレーザ加工によって形成されたものとなっている。また、個別電極Ｅｄａおよび共通電極Ｅｄｃはそれぞれ、これらの電極とそれぞれ電気的に接続されていると共に前述したフレキシブルプリント基板と電気的に接続されるパッド部分である、個別電極パッドＰｄａおよび共通電極パッドＰｄｃを含んでいる（図６参照）。また、これらの共通電極パッドＰｄｃおよび個別電極パッドＰｄａの間においてこれらのパッドを隔離する溝Ｄ（図６参照）は、上記した所定のレーザ加工後に、ダイサーによって切削加工されることで、形成されるようになっている。

（カバープレート４１３）
カバープレート４１３は、図３～図５に示したように、アクチュエータプレート４１２における各チャネルＣ１，Ｃ２（各チャネル列４２１，４２２）を閉塞するように配置されている。具体的には、このカバープレート４１３は、アクチュエータプレート４１２の上面に接着されており、板状構造となっている。

カバープレート４１３には、図３～図５に示したように、一対の入口側共通流路Ｒin１，Ｒin２と、一対の出口側共通流路Ｒout１，Ｒout２と、壁部Ｗ１，Ｗ２とが、それぞれ形成されている。

壁部Ｗ１は、吐出チャネルＣ１ｅおよびダミーチャネルＣ１ｄの上方を覆うように配置されており、壁部Ｗ２は、吐出チャネルＣ２ｅおよびダミーチャネルＣ２ｄの上方を覆うように配置されている（図３，図４参照）。

入口側共通流路Ｒin１，Ｒin２および出口側共通流路Ｒout１，Ｒout２はそれぞれ、例えば図５に示したように、Ｘ軸方向に沿って延在していると共に、Ｘ軸方向に沿って所定の間隔をおいて互いに平行となるよう、並んで配置されている。このうち、入口側共通流路Ｒin１および出口側共通流路Ｒout１はそれぞれ、アクチュエータプレート４１２におけるチャネル列４２１（複数のチャネルＣ１）に対応する領域に、形成されている（図３～図５参照）。一方、入口側共通流路Ｒin２および出口側共通流路Ｒout２はそれぞれ、アクチュエータプレート４１２におけるチャネル列４２２（複数のチャネルＣ２）に対応する領域に、形成されている（図３，図４参照）。

入口側共通流路Ｒin１は、各チャネルＣ１におけるＹ軸方向に沿った内側（壁部Ｗ１の一方側）の端部付近に形成されており、凹状の溝部となっている（図３～図５参照）。この入口側共通流路Ｒin１において、各吐出チャネルＣ１ｅに対応する領域には、カバープレート４１３をその厚み方向（Ｚ軸方向）に沿って貫通する、第１供給スリットＳin１が形成されている（図３～図５参照）。同様に、入口側共通流路Ｒin２は、各チャネルＣ２におけるＹ軸方向に沿った内側（壁部Ｗ２の一方側）の端部付近に形成されており、凹状の溝部となっている（図３，図４参照）。この入口側共通流路Ｒin２において、各吐出チャネルＣ２ｅに対応する領域にも、カバープレート４１３をその厚み方向に沿って貫通する、第２供給スリット（不図示）が形成されている。

なお、これらの第１供給スリットＳin１および第２供給スリットはそれぞれ、本開示における「第１貫通孔」の一具体例に対応している。

出口側共通流路Ｒout１は、各チャネルＣ１におけるＹ軸方向に沿った外側（壁部Ｗ１の他方側）の端部付近に形成されており、凹状の溝部となっている（図３～図５参照）。この出口側共通流路Ｒout１において、各吐出チャネルＣ１ｅに対応する領域には、カバープレート４１３をその厚み方向に沿って貫通する、第１排出スリットＳout１が形成されている（図３～図５参照）。同様に、出口側共通流路Ｒout２は、各チャネルＣ２におけるＹ軸方向に沿った外側（壁部Ｗ２の他方側）の端部付近に形成されており、凹状の溝部となっている（図３，図４参照）。この出口側共通流路Ｒout２において、各吐出チャネルＣ２ｅに対応する領域にも、カバープレート４１３をその厚み方向に沿って貫通する、第２排出スリット（不図示）が形成されている。

なお、これらの第１排出スリットＳout１および第２排出スリットはそれぞれ、本開示における「第２貫通孔」の一具体例に対応している。

ここで、例えば図５に示したように、このような吐出チャネルＣ１ｅごとの第１供給スリットＳin１と第１排出スリットＳout１とによって、第１スリット対Ｓｐ１が構成されている。この第１スリット対Ｓｐ１では、吐出チャネルＣ１ｅの延在方向（Ｙ軸方向）に沿って、第１供給スリットＳin１と第１排出スリットＳout１とが、並んで配置されている。同様に、吐出チャネルＣ２ｅごとの第２供給スリットと第２排出スリットとによって、第２スリット対（不図示）が構成されている。この第２スリット対では、吐出チャネルＣ２ｅの延在方向（Ｙ軸方向）に沿って、第２供給スリットと第２排出スリットとが、並んで配置されている。

このようにして、入口側共通流路Ｒin１および出口側共通流路Ｒout１はそれぞれ、第１供給スリットＳin１および第１排出スリットＳout１を介して、各吐出チャネルＣ１ｅに連通するようになっている（図３～図５参照）。すなわち、入口側共通流路Ｒin１は、上記した第１スリット対Ｓｐ１ごとの第１供給スリットＳin１の各々と連通している共通流路であり、出口側共通流路Ｒout１は、第１スリット対Ｓｐ１ごとの第１排出スリットＳout１の各々と連通している共通流路となっている（図５参照）。そして、第１供給スリットＳin１および第１排出スリットＳout１はそれぞれ、吐出チャネルＣ１ｅとの間でインク９が流れる貫通孔となっている。詳細には、図３，図４中の破線の矢印で示したように、第１供給スリットＳin１は、吐出チャネルＣ１ｅ内にインク９を流入させるための貫通孔であり、第１排出スリットＳout１は、吐出チャネルＣ１ｅ内からインク９を流出させるための貫通孔となっている。一方、各ダミーチャネルＣ１ｄには、入口側共通流路Ｒin１および出口側共通流路Ｒout１はいずれも、連通していない。具体的には、各ダミーチャネルＣ１ｄは、これらの入口側共通流路Ｒin１および出口側共通流路Ｒout１における底部によって、閉塞されるようになっている。

同様に、入口側共通流路Ｒin２および出口側共通流路Ｒout２はそれぞれ、第２供給スリットおよび第２排出スリットを介して、各吐出チャネルＣ２ｅに連通するようになっている。すなわち、入口側共通流路Ｒin２は、上記した第２スリット対ごとの第２供給スリットの各々と連通している共通流路であり、出口側共通流路Ｒout２は、第２スリット対ごとの第２排出スリットの各々と連通している共通流路となっている。そして、第２供給スリットおよび第２排出スリットはそれぞれ、吐出チャネルＣ２ｅとの間でインク９が流れる貫通孔となっている。詳細には、第２供給スリットは、吐出チャネルＣ２ｅ内にインク９を流入させるための貫通孔であり、第２排出スリットは、吐出チャネルＣ２ｅ内からインク９を流出させるための貫通孔となっている。一方、各ダミーチャネルＣ２ｄには、入口側共通流路Ｒin２および出口側共通流路Ｒout２はいずれも、連通していない（図３，図４参照）。具体的には、各ダミーチャネルＣ２ｄは、これらの入口側共通流路Ｒin２および出口側共通流路Ｒout２における底部によって、閉塞されるようになっている（図３，図４参照）。

［Ｃ．吐出チャネルＣ１ｅ，Ｃ２ｅ付近の詳細構成］
次に、図２～図５を参照して、吐出チャネルＣ１ｅ，Ｃ２ｅ付近における、ノズル孔Ｈ１，Ｈ２およびカバープレート４１３の詳細構成について、説明する。

まず、本実施の形態のヘッドチップ４１では、前述したように、複数のノズル孔Ｈ１が、２種類のノズル孔Ｈ１１，Ｈ１２を含んでいると共に、複数のノズル孔Ｈ２も、２種類のノズル孔Ｈ２１，Ｈ２２を含んでいる（図２参照）。

ここで、各ノズル孔Ｈ１１の中心位置Ｐｎ１１は、吐出チャネルＣ１ｅの延在方向（Ｙ軸方向）に沿った中心位置Ｐｃ１（＝壁部Ｗ１のＹ軸方向に沿った中心位置）を基準として、Ｙ軸方向の正側（第１供給スリットＳin１側）に、ずれて配置されている（図３，図５参照）。同様に、各ノズル孔Ｈ２１の中心位置は、吐出チャネルＣ２ｅの延在方向（Ｙ軸方向）に沿った中心位置（＝壁部Ｗ２のＹ軸方向に沿った中心位置）を基準として、Ｙ軸方向の負側（第２供給スリット側）に、ずれて配置されている（図２参照）。

一方、各ノズル孔Ｈ１２の中心位置Ｐｎ１２は、吐出チャネルＣ１ｅの延在方向に沿った中心位置Ｐｃ１を基準として、Ｙ軸方向の負側（第１排出スリットＳout１側）に、ずれて配置されている（図４，図５参照）。同様に、各ノズル孔Ｈ２２の中心位置は、吐出チャネルＣ２ｅの延在方向（Ｙ軸方向）に沿った中心位置を基準として、Ｙ軸方向の正側（第２排出スリット側）に、ずれて配置されている（図２参照）。

したがって、各ノズル孔Ｈ１１と連通する吐出チャネルＣ１ｅ（Ｃ１ｅ１）においては、第１供給スリットＳin１と連通する部分におけるインク９の流路の断面積（第１入口側流路断面積Ｓｆin１）が、第１排出スリットＳout１と連通する部分におけるインク９の流路の断面積（第１出口側流路断面積Ｓｆout１）よりも、小さくなっている（Ｓｆin１＜Ｓｆout１：図３参照）。同様に、各ノズル孔Ｈ２１と連通する吐出チャネルＣ２ｅにおいては、第２供給スリットと連通する部分におけるインク９の流路の断面積（第２入口側流路断面積Ｓｆin２）が、第２排出スリットと連通する部分におけるインク９の流路の断面積（第２出口側流路断面積Ｓｆout２）よりも、小さくなっている（Ｓｆin２＜Ｓｆout２）。

一方、各ノズル孔Ｈ１２と連通する吐出チャネルＣ１ｅ（Ｃ１ｅ２）においては、逆に、上記した第１出口側流路断面積Ｓｆout１が、上記した第１入口側流路断面積Ｓｆin１よりも、小さくなっている（Ｓｆout１＜Ｓｆin１：図４参照）。同様に、各ノズル孔Ｈ２２と連通する吐出チャネルＣ２ｅにおいても、逆に、上記した第２出口側流路断面積Ｓｆout２が、上記した第２入口側流路断面積Ｓｆin２よりも、小さくなっている（Ｓｆout２＜Ｓｆin２）。

また、上記した吐出チャネルＣ１ｅ１内においては、壁部Ｗ１の第１供給スリットＳin１側の壁面に対応する位置におけるインク９の流路の断面積（壁面位置流路断面積Ｓｆ５）が、壁部Ｗ１の第１排出スリットＳout１側の壁面に対応する位置におけるインク９の流路の断面積（壁面位置流路断面積Ｓｆ６）よりも、小さくなっている（Ｓｆ５＜Ｓｆ６：図３参照）。同様に、各ノズル孔Ｈ２１と連通する吐出チャネルＣ２ｅ内においても、壁部Ｗ２の第２供給スリット側の壁面に対応する位置におけるインク９の流路の断面積（壁面位置流路断面積Ｓｆ５）が、壁部Ｗ２の第２排出スリット側の壁面に対応する位置におけるインク９の流路の断面積（壁面位置流路断面積Ｓｆ６）よりも、小さくなっている。

一方、上記した吐出チャネルＣ１ｅ２内においては、逆に、上記した壁面位置流路断面積Ｓｆ６が、上記した壁面位置流路断面積Ｓｆ５よりも、小さくなっている（Ｓｆ６＜Ｓｆ５：図４参照）。同様に、各ノズル孔Ｈ２２と連通する吐出チャネルＣ２ｅ内においても、逆に、上記した壁面位置流路断面積Ｓｆ６が、上記した壁面位置流路断面積Ｓｆ５よりも、小さくなっている。

なお、図３，図４では、上記した壁面位置流路断面積Ｓｆ５，Ｓｆ６のうち、一方に対応する位置においては、ポンプ室の端部が切り上がり形状となっており、他方に対応する位置においては、ポンプ室の端部がストレート形状となっているが、この例には限られない。つまり、壁面位置流路断面積Ｓｆ５，Ｓｆ６についての大小関係が、上記したものとなっているのであれば、例えば、ポンプ室の両端部が、切り上がり形状となっていてもよい。

ここで、上記した吐出チャネルＣ１ｅ１、および、ノズル孔Ｈ２１と連通する吐出チャネルＣ２ｅはそれぞれ、本開示における「第１吐出溝」の一具体例に対応している。同様に、上記した吐出チャネルＣ１ｅ２、および、ノズル孔Ｈ２２と連通する吐出チャネルＣ２ｅはそれぞれ、本開示における「第２吐出溝」の一具体例に対応している。また、上記した第１入口側流路断面積Ｓｆin１および第２入口側流路断面積はそれぞれ、本開示における「第１断面積」の一具体例に対応している。同様に、上記した第１出口側流路断面積Ｓｆout１および第２出口側流路断面積はそれぞれ、本開示における「第２断面積」の一具体例に対応している。また、上記した壁面位置流路断面積Ｓｆ５は、本開示における「第５断面積」の一具体例に対応している。同様に、上記した壁面位置流路断面積Ｓｆ６は、本開示における「第６断面積」の一具体例に対応している。また、上記したノズル孔Ｈ１１の中心位置Ｐｎ１１、および、ノズル孔Ｈ２１の中心位置はそれぞれ、本開示における「第１中心位置」の一具体例に対応している。同様に、上記したノズル孔Ｈ１２の中心位置Ｐｎ１２、および、ノズル孔Ｈ２２の中心位置はそれぞれ、本開示における「第２中心位置」の一具体例に対応している。

また、このヘッドチップ４１では、前述した第１スリット対Ｓｐ１における第１供給スリットＳin１と第１排出スリットＳout１との間の距離である第１ポンプ長Ｌｗ１（図３，図４参照）が、全ての第１スリット対Ｓｐ１において同一になっている（図５参照）。同様に、前述した第２スリット対における第２供給スリットと第２排出スリットとの間の距離である第２ポンプ長も、全ての第２スリット対において同一になっている。

そして、このヘッドチップ４１では、第１供給スリットＳin１におけるＹ軸方向の長さ（第１供給スリット長Ｌin１）と、第１排出スリットＳout１におけるＹ軸方向の長さ（第１排出スリット長Ｌout１）との間の大小関係が、Ｘ軸方向に沿って隣接する第１スリット対Ｓｐ１同士で、交互に入れ替わっている（図５参照）。すなわち、例えば、ある第１スリット対Ｓｐ１において、（Ｌin１＞Ｌout１）という大小関係である場合、その第１スリット対Ｓｐ１の両隣に位置する第１スリット対Ｓｐ１ではそれぞれ、逆に、（Ｌin１＜Ｌout１）という大小関係になっている。また、例えば、ある第１スリット対Ｓｐ１において、（Ｌin１＜Ｌout１）という大小関係である場合、その第１スリット対Ｓｐ１の両隣に位置する第１スリット対Ｓｐ１ではそれぞれ、逆に、（Ｌin１＞Ｌout１）という大小関係になっている。

同様に、第２供給スリットにおけるＹ軸方向の長さ（第２供給スリット長）と、第２排出スリットにおけるＹ軸方向の長さ（第２排出スリット長）との間の大小関係も、Ｘ軸方向に沿って隣接する第２スリット対同士で、上記したようにして、交互に入れ替わっている。

更に、このヘッドチップ４１では、入口側共通流路Ｒin１におけるＹ軸方向の長さ（第１入口側流路幅Ｗin１）が、この入口側共通流路Ｒin１の延在方向（Ｘ軸方向）に沿って、一定となっている（図５参照）。また、出口側共通流路Ｒout１におけるＹ軸方向の長さ（第１出口側流路幅Ｗout１）も、この出口側共通流路Ｒout１の延在方向（Ｘ軸方向）に沿って、一定となっている（図５参照）。

同様に、入口側共通流路Ｒin２におけるＹ軸方向の長さ（第２入口側流路幅）も、この入口側共通流路Ｒin２の延在方向（Ｘ軸方向）に沿って、一定となっている。また、出口側共通流路Ｒout２におけるＹ軸方向の長さ（第２出口側流路幅）も、この出口側共通流路Ｒout２の延在方向（Ｘ軸方向）に沿って、一定となっている。

［Ｄ．共通電極Ｅｄｃの詳細構成］
次に、図３，図４に加えて図７，図８を参照して、前述した吐出チャネルＣ１ｅ（Ｃ１ｅ１，Ｃ１ｅ２）付近の詳細構成例（前述した共通電極Ｅｄの詳細構成例）について、説明する。なお、前述した吐出チャネルＣ２ｅにおける共通電極Ｅｄの詳細構成例については、以下説明する吐出チャネルＣ１ｅ（Ｃ１ｅ１，Ｃ１ｅ２）における共通電極Ｅｄの詳細構成例と同様であるため、説明を省略する。

図７は、図３，図４に示した断面構成例における吐出チャネルＣ１ｅ付近の詳細構成例を、模式図で表したものである。具体的には、図７（Ａ）は、図３に示した断面構成例における吐出チャネルＣ１ｅ１付近の詳細構成例を、図７（Ｂ）は、図４に示した断面構成例における吐出チャネルＣ１ｅ２付近の詳細構成例を、それぞれ示している。また、図８（図８（Ａ），図８（Ｂ））は、図７（Ａ），図７（Ｂ）に示した共通電極Ｅｄｃの形成方法の一例を、模式図で表したものである。

まず、例えば図７（Ａ），図７（Ｂ）に示したように、本実施の形態のインクジェットヘッド４（ヘッドチップ４１）では、共通電極Ｅｄｃにおける吐出チャネルＣ１ｅの延在方向（Ｙ軸方向）に沿った両端の位置がそれぞれ、Ｘ軸方向に沿った複数の共通電極Ｅｄｃ同士で、互いに揃っている。つまり、前述したように、ノズル孔Ｈ１１，Ｈ１２同士がＹ軸方向沿って互いにずれて配置（千鳥配置）されている、吐出チャネルＣ１ｅ１，Ｃ１ｅ２同士においても、各共通電極Ｅｄｃの両端の位置は一致しており、Ｙ軸方向に沿ってずれていない。言い換えると、Ｘ軸方向に沿って並設されている複数の吐出チャネルＣ１ｅにおいて、対応する複数の共通電極Ｅｄｃが、Ｘ軸方向に沿って（千鳥配置ではなく）一列に配置されている。なお、このような共通電極Ｅｄｃの一列配置については、Ｘ軸方向に沿って並設されている複数の吐出チャネルＣ２ｅにおいても、同様となっている。

具体的には、まず、各共通電極Ｅｄｃは、吐出チャネルＣ１ｅ，Ｃ２ｅにおいて、ノズルプレート４１１側（下方側）の側壁に設けられた第１部分Ｅｄｃ１と、カバープレート４１３側（上方側）の側壁に設けられた第２部分Ｅｄｃ２とを、含んでいる（図７（Ａ），図７（Ｂ）参照）。また、この第２部分Ｅｄｃ２における吐出チャネルＣ１ｅ，Ｃ２ｅの延在方向（Ｙ軸方向）に沿った長さ（電極長Ｌｅ２）が、第１部分Ｅｄｃ１におけるＹ軸方向に沿った長さ（電極長Ｌｅ１）よりも、小さくなっている（Ｌｅ２＜Ｌｅ１）。つまり、各共通電極Ｅｄｃは、このような第１部分Ｅｄｃ１と第２部分Ｅｄｃ２とを含む、２段構造となっている。そして、これらの第１部分Ｅｄｃ１および第２部分Ｅｄｃ２の各々における、Ｙ軸方向に沿った両端の位置がそれぞれ、Ｘ軸方向に沿った複数の共通電極Ｅｄｃ同士で、互いに揃っている（一致している）。つまり、図７（Ａ），図７（Ｂ）に示したように、第１部分Ｅｄｃ１における端部位置Ｐｅ１ａ，Ｐｅ１ｂがそれぞれ、吐出チャネルＣ１ｅ１，Ｃ１ｅ２同士で揃っていると共に、第２部分Ｅｄｃ２における端部位置Ｐｅ２ａ，Ｐｅ２ｂがそれぞれ、吐出チャネルＣ１ｅ１，Ｃ１ｅ２同士で揃っている。なお、このような第１部分Ｅｄｃ１および第２部分Ｅｄｃ２の各々の両端位置が揃っている点については、Ｘ軸方向に沿って並設されている複数の吐出チャネルＣ２ｅにおいても、同様となっている。

ここで、上記した第１部分Ｅｄｃ１は、本開示における「第１部分」の一具体例に対応している。また、上記した第２部分Ｅｄｃ２は、本開示における「第２部分」の一具体例に対応している。

このような第１部分Ｅｄｃ１および第２部分Ｅｄｃ２を含む共通電極Ｅｄｃは、例えば図８（Ａ），図８（Ｂ）に示した方法（２段階の斜め蒸着による真空蒸着方法）にて、形成することが可能である。

すなわち、まず、例えば図８（Ａ）に示したように、アクチュエータプレート４１２における各吐出チャネルＣ１ｅ（Ｃ１ｅ１，Ｃ１ｅ２）が形成された状態で、第１部分Ｅｄｃ１を形成するための真空蒸着が行われる。具体的には、各吐出チャネルＣ１ｅ１，Ｃ１ｅ２の下方側に位置する開口部Ａｐ１を介して、図８（Ａ）に示したように、上方側へと向かう蒸着方向Ｅｖ２にて、所定の角度による１段階目の斜め蒸着を行う。これにより、各吐出チャネルＣ１ｅ１，Ｃ１ｅ２内の下方側に、開口部Ａｐ１の幅と略等しい長さ（前述した電極長Ｌｅ１）を有する、第１部分Ｅｄｃ１が形成される。

次いで、例えば図８（Ｂ）に示したように、所定の開口部Ａｐ２（例えば矩形状）を有するマスクＭを用いて、第２部分Ｅｄｃ２を形成するための真空蒸着が行われる。具体的には、このようなマスクＭの開口部Ａｐ２を介して、図８（Ｂ）に示したように、下方側（各吐出チャネルＣ１ｅ１，Ｃ１ｅ２内）へと向かう蒸着方向Ｅｖ２にて、所定の角度による２段階目の斜め蒸着を行う。これにより、各吐出チャネルＣ１ｅ１，Ｃ１ｅ２内の上方側（第１部分Ｅｄｃ１の上方側）に、開口部Ａｐ２の幅と略等しい長さ（前述した電極長Ｌｅ２）を有する、第２部分Ｅｄｃ２が形成される。

以上のような２段階の斜め蒸着による真空蒸着を行うことで、第１部分Ｅｄｃ１および第２部分Ｅｄｃ２を含む、共通電極Ｅｄｃが形成される。また、詳細は後述するが、本実施の形態では、上記した開口部Ａｐ２を有するマスクＭを用いて、吐出チャネルＣ１ｅ１，Ｃ１ｅ２の双方における共通電極Ｅｄｃを、一括して形成することが可能となっている。

［動作および作用・効果］
（Ａ．プリンタ１の基本動作）
このプリンタ１では、以下のようにして、記録紙Ｐに対する画像や文字等の記録動作（印刷動作）が行われる。なお、初期状態として、図１に示した４種類のインクタンク３（３Ｙ，３Ｍ，３Ｃ，３Ｋ）にはそれぞれ、対応する色（４色）のインク９が十分に封入されているものとする。また、インクタンク３内のインク９は、循環流路５０を介してインクジェットヘッド４内に充填された状態となっている。

このような初期状態において、プリンタ１を作動させると、搬送機構２ａ，２ｂにおけるグリッドローラ２１がそれぞれ回転することで、グリッドローラ２１とピンチローラ２２との間に、記録紙Ｐが搬送方向ｄ（Ｘ軸方向）に沿って搬送される。また、このような搬送動作と同時に、駆動機構６３における駆動モータ６３３が、プーリ６３１ａ，６３１ｂをそれぞれ回転させることで、無端ベルト６３２を動作させる。これにより、キャリッジ６２がガイドレール６１ａ，６１ｂにガイドされながら、記録紙Ｐの幅方向（Ｙ軸方向）に沿って往復移動する。そしてこの際に、各インクジェットヘッド４（４Ｙ，４Ｍ，４Ｃ，４Ｋ）によって、４色のインク９を記録紙Ｐに適宜吐出させることで、この記録紙Ｐに対する画像や文字等の記録動作がなされる。

（Ｂ．インクジェットヘッド４における詳細動作）
続いて、インクジェットヘッド４における詳細動作（インク９の噴射動作）について説明する。すなわち、このインクジェットヘッド４（サイドシュートタイプ）では、以下のようにして、せん断（シェア）モードを用いたインク９の噴射動作が行われる。

まず、上記したキャリッジ６２（図１参照）の往復移動が開始されると、前述した回路基板上の駆動回路は、前述したフレキシブルプリント基板を介して、インクジェットヘッド４内の駆動電極Ｅｄ（共通電極Ｅｄｃおよび個別電極Ｅｄａ）に対し、駆動電圧を印加する。具体的には、この駆動回路は、吐出チャネルＣ１ｅ，Ｃ２ｅを画成する一対の駆動壁Ｗｄに配置された各駆動電極Ｅｄに対し、駆動電圧を印加する。これにより、これら一対の駆動壁Ｗｄがそれぞれ、その吐出チャネルＣ１ｅ，Ｃ２ｅに隣接するダミーチャネルＣ１ｄ，Ｃ２ｄ側へ、突出するように変形する。

ここで、アクチュエータプレート４１２の構成が、前述したシェブロンタイプになっていることから、上記した駆動回路によって駆動電圧を印加することで、駆動壁Ｗｄにおける深さ方向の中間位置を中心として、駆動壁ＷｄがＶ字状に屈曲変形することになる。そして、このような駆動壁Ｗｄの屈曲変形により、吐出チャネルＣ１ｅ，Ｃ２ｅがあたかも膨らむように変形する。

ちなみに、アクチュエータプレート４１２の構成が、このようなシェブロンタイプではなく、前述したカンチレバータイプである場合には、以下のようにして、駆動壁ＷｄがＶ字状に屈曲変形する。すなわち、このカンチレバータイプの場合、駆動電極Ｅｄが深さ方向の上半分まで斜め蒸着によって取り付けられることになるため、この駆動電極Ｅｄが形成されている部分のみに駆動力が及ぶことによって、駆動壁Ｗｄが（駆動電極Ｅｄの深さ方向端部において）屈曲変形する。その結果、この場合においても、駆動壁ＷｄがＶ字状に屈曲変形するため、吐出チャネルＣ１ｅ，Ｃ２ｅがあたかも膨らむように変形することになる。

このように、一対の駆動壁Ｗｄでの圧電厚み滑り効果による屈曲変形によって、吐出チャネルＣ１ｅ，Ｃ２ｅの容積が増大する。そして、吐出チャネルＣ１ｅ，Ｃ２ｅの容積が増大することにより、入口側共通流路Ｒin１，Ｒin２内に貯留されたインク９が、吐出チャネルＣ１ｅ，Ｃ２ｅ内へ誘導されることになる。

次いで、このようにして吐出チャネルＣ１ｅ，Ｃ２ｅ内へ誘導されたインク９は、圧力波となって吐出チャネルＣ１ｅ，Ｃ２ｅの内部に伝播する。そして、ノズルプレート４１１のノズル孔Ｈ１，Ｈ２にこの圧力波が到達したタイミング（またはその近傍のタイミング）で、駆動電極Ｅｄに印加される駆動電圧が、０（ゼロ）Ｖとなる。これにより、上記した屈曲変形の状態から駆動壁Ｗｄが復元する結果、一旦増大した吐出チャネルＣ１ｅ，Ｃ２ｅの容積が、再び元に戻ることになる。

このようにして、吐出チャネルＣ１ｅ，Ｃ２ｅの容積が元に戻る過程で、吐出チャネルＣ１ｅ，Ｃ２ｅ内部の圧力が増加し、吐出チャネルＣ１ｅ，Ｃ２ｅ内のインク９が加圧される。その結果、液滴状のインク９が、ノズル孔Ｈ１，Ｈ２を通って外部へと（記録紙Ｐへ向けて）吐出される（図３，図４参照）。このようにしてインクジェットヘッド４におけるインク９の噴射動作（吐出動作）がなされ、その結果、記録紙Ｐに対する画像や文字等の記録動作が行われる。

（Ｃ．インク９の循環動作）
続いて、図１，図３，図４を参照して、循環流路５０を介したインク９の循環動作について、詳細に説明する。

このプリンタ１では、前述した送液ポンプによって、インクタンク３内から流路５０ａ内へと、インク９が送液される。また、流路５０ｂ内を流れるインク９が、前述した送液ポンプによって、インクタンク３内へと送液される。

この際に、インクジェットヘッド４内では、インクタンク３内から流路５０ａを介して流れるインク９が、入口側共通流路Ｒin１，Ｒin２へと流入する。これらの入口側共通流路Ｒin１，Ｒin２へと供給されたインク９は、第１供給スリットＳin１または第２供給スリットを介して、アクチュエータプレート４１２における各吐出チャネルＣ１ｅ，Ｃ２ｅ内へと供給される（図３，図４参照）。

また、各吐出チャネルＣ１ｅ，Ｃ２ｅ内のインク９は、第１排出スリットＳout１または第２排出スリットを介して、出口側共通流路Ｒout１，Ｒout２内へと流入する（図３，図４参照）。これらの出口側共通流路Ｒout１，Ｒout２へ供給されたインク９は、流路５０ｂへと排出されることで、インクジェットヘッド４内から流出される。そして、流路５０ｂへと排出されたインク９は、インクタンク３内へと戻されることになる。このようにして、循環流路５０を介したインク９の循環動作がなされる。

ここで、循環式ではないインクジェットヘッドでは、乾燥性の高いインクを使用した場合、ノズル孔の近傍でのインクの乾燥に起因して、インクの局所的な高粘度化や固化が生じる結果、インク不吐出の不良が発生するおそれがある。これに対して、本実施の形態のインクジェットヘッド４（循環式のインクジェットヘッド）では、ノズル孔Ｈ１，Ｈ２の近傍に常に新鮮なインク９が供給されることから、上記したようなインク不吐出の不良が回避されることになる。

（Ｄ．作用・効果）
次に、本実施の形態のインクジェットヘッド４における作用および効果について、比較例（比較例１～４）と比較しつつ、詳細に説明する。

（Ｄ－１．比較例１）
図９は、比較例１に係るインクジェットヘッド１０４において、比較例１に係るノズルプレート１０１（後出）を取り外した状態の構成例を、模式的に底面図（Ｘ－Ｙ底面図）で表したものである。図１０は、図９に示したＸ－Ｘ線に沿った、比較例１に係るインクジェットヘッド１０４の断面構成例（Ｙ－Ｚ断面構成例）を、模式的に表したものである。

図９，図１０に示したように、この比較例１のインクジェットヘッド１０４（ヘッドチップ１００）では、本実施の形態のインクジェットヘッド４（ヘッドチップ４１）において、各ノズル孔Ｈ１，Ｈ２の配置構成が、異なっている。また、このヘッドチップ１００におけるカバープレート１０３では、ヘッドチップ４１におけるカバープレート４１３とは異なり、前述した第１入口側流路断面積Ｓｆin１および第１出口側流路断面積Ｓｆout１が、互いに等しくなっている（Ｓｆin１＝Ｓｆout１：図１０参照）。

具体的には、この比較例１のノズルプレート１０１では、本実施の形態のノズルプレート４１１とは異なり、各ノズル列Ａｎ１０１，１０２内のノズル孔Ｈ１，Ｈ２がそれぞれ、各ノズル列Ａｎ１０１，１０２の延在方向（Ｘ軸方向）に沿って、１列に並んで配置されている（図９参照）。つまり、前述した本実施の形態の場合とは異なり、この比較例１では、各ノズル孔Ｈ１の中心位置Ｐｎ１が、吐出チャネルＣ１ｅの延在方向（Ｙ軸方向）に沿った中心位置Ｐｃ１（＝壁部Ｗ１のＹ軸方向に沿った中心位置）と、一致するようになっている（図１０参照）。同様に、この比較例１では、各ノズル孔Ｈ２の中心位置が、吐出チャネルＣ２ｅの延在方向（Ｙ軸方向）に沿った中心位置（＝壁部Ｗ２のＹ軸方向に沿った中心位置）と、一致するようになっている

このような比較例１では、上記したように、ノズル孔Ｈ１，Ｈ２がそれぞれ、Ｘ軸方向に沿って１列に並んで配置されていることから、例えば印刷画素の高解像度化等に伴い、隣接するノズル孔Ｈ１間の距離や、隣接するノズル孔Ｈ２間の距離が、小さくなった場合に、例えば以下のようなおそれがある。すなわち、このような場合、同時期に噴射されて被記録媒体（記録紙Ｐ等）へ向けて飛翔している液滴間の距離が減少することから、ノズル孔Ｈ１，Ｈ２から被記録媒体の間にて飛翔中の液滴が、局所的に集中するケースがある。これにより、飛翔した各液滴に及ぼす影響（気流の発生）が増大する結果、被記録媒体上において木目調の濃度むらが発生し、印刷画質が低下してしまうおそれがある。

（Ｄ－２．比較例２）
図１１は、比較例２に係るインクジェットヘッド２０４における吐出チャネルＣ１ｅ付近の断面構成例を、模式図で表したものである。具体的には、図１１（Ａ）は、吐出チャネルＣ１ｅ１付近の詳細構成例を、図１１（Ｂ）は、吐出チャネルＣ１ｅ２付近の詳細構成例を、それぞれ示している。

この比較例２のインクジェットヘッド２０４（ヘッドチップ２００）では、本実施の形態のインクジェットヘッド４（ヘッドチップ４１）とは、各共通電極Ｅｄｃの配置位置が、異なっている。具体的には、アクチュエータプレート２０２における吐出チャネルＣ１ｅ１，Ｃ１ｅ２同士で、共通電極Ｅｄｃ（の一部）が、Ｙ軸方向に沿って互いにずれて配置されており、ノズル孔Ｈ１１，Ｈ１２と同様にして千鳥配置となっている（図１１（Ａ），図１１（Ｂ）参照）。詳細には、この例では、共通電極Ｅｄｃのうちの第１部分Ｅｄｃ１については、端部位置Ｐｅ１ａ，Ｐｅ１ｂがそれぞれ、吐出チャネルＣ１ｅ１，Ｃ１ｅ２同士で揃っている。一方、第２部分Ｅｄｃ２については、端部位置Ｐｅ２ａ，Ｐｅ２ｂがいずれも、吐出チャネルＣ１ｅ１，Ｃ１ｅ２同士で揃っていない（Ｙ軸方向に沿って、互いにずれている）。

このような比較例２では、例えば、前述した方法（真空蒸着）にて各共通電極Ｅｄｃを形成する際に使用される、マスクＭの開口部Ａｐ２（図８（Ａ）参照）が、複雑な形状となってしまう。具体的には、この比較例２では上記したように、吐出チャネルＣ１ｅ１，Ｃ１ｅ２同士において、共通電極Ｅｄｃ（の一部）が互いにずれて配置される（千鳥配置）ことから、例えば、マスクＭの開口部Ａｐ２についても、千鳥状に配置する必要が生じる。そして、マスクＭの開口部Ａｐ２が千鳥状に配置されている場合、そのマスクＭの開口部Ａｐ２を吐出チャネルＣ１ｅ１，Ｃ１ｅ２に位置合わせするのが困難となることから、吐出チャネルＣ１ｅ１，Ｃ１ｅ２の双方における共通電極Ｅｄｃを、一括して形成することが困難となる。その結果、この比較例２では、各共通電極Ｅｄｃの形成が困難となってしまうおそれがある。

（Ｄ－３．比較例３，４）
図１２は、比較例３に係るインクジェットヘッド３０４における、カバープレート３０３の上面側の平面構成例（Ｘ－Ｙ平面構成例）を、模式的に表したものである。また、図１３は、比較例３に係るインクジェットヘッド３０４における吐出チャネルＣ１ｅ付近の断面構成例を、模式図で表したものである。具体的には、図１３（Ａ）は、吐出チャネルＣ１ｅ１付近の詳細構成例を、図１３（Ｂ）は、吐出チャネルＣ１ｅ２付近の詳細構成例を、それぞれ示している。

図１３に示したように、この比較例３のインクジェットヘッド３０４は、実施の形態のインクジェットヘッド４（図３，図４，図７参照）において、ヘッドチップ４１の代わりに、ヘッドチップ３００を設けるようにしたものに対応している。また、この比較例３のヘッドチップ３００は、ヘッドチップ４１において、アクチュエータプレート４１２およびカバープレート４１３の代わりに、以下説明するアクチュエータプレート３０２およびカバープレート３０３をそれぞれ設けるようにしたものに対応しており、他の構成は基本的に同様となっている。

具体的には、図１２，図１３に示したように、この比較例３のアクチュエータプレート３０２では、実施の形態のアクチュエータプレート４１２（図５参照）とは異なり、吐出チャネルＣ１ｅ，Ｃ２ｅの配置構成がそれぞれ、以下のようになっている。すなわち、このアクチュエータプレート３０２では、アクチュエータプレート４１２とは異なり、複数の吐出チャネルＣ１ｅ全体（および複数の吐出チャネルＣ２ｅ全体）が、Ｘ軸方向に沿って千鳥配置（Ｙ軸方向に沿って交互にずれた配置）となっている（図１２参照）。

また、この比較例３のカバープレート３０３では、実施の形態のカバープレート４１３（図５参照）と同様に、前述した第１ポンプ長Ｌｗ１および第２ポンプ長がそれぞれ、全ての第１スリット対Ｓｐ１および第２スリット対において、同一になっている（図１２参照）。

一方、このカバープレート３０３では、カバープレート４１３とは異なり、前述した第１供給スリット長Ｌin１および第２供給スリット長と、前述した第１排出スリット長Ｌout１および第２排出スリット長とが、互いに同一になっている（図１２参照：Ｌin１＝Ｌout１，第２供給スリット長＝第２排出スリット長）。そして、このカバープレート３０３では、カバープレート４１３とは異なり、第１供給スリットＳin１および第２供給スリットと、第１排出スリットＳout１および第２排出スリットとがそれぞれ、入口側共通流路Ｒin１，Ｒin２および出口側共通流路Ｒout１，Ｒout２の延在方向（Ｘ軸方向）に沿って、千鳥配置となっている（図１２参照）。

ここで、図１３（Ａ），図１３（Ｂ）に示したように、この比較例３では、上記したように、吐出チャネルＣ１ｅ１，Ｃ１ｅ２同士が互いに千鳥配置となっているものの、前述した比較例２とは異なり、各共通電極Ｅｄｃの配置位置が、以下のようになっている。すなわち、この比較例３では、吐出チャネルＣ１ｅ１，Ｃ１ｅ２同士が互いに千鳥配置になっていることに伴い、共通電極Ｅｄｃのうちの第１部分Ｅｄｃ１については、端部位置Ｐｅ１ａ，Ｐｅ１ｂがいずれも、吐出チャネルＣ１ｅ１，Ｃ１ｅ２同士で揃っていない（Ｙ軸方向に沿って、互いにずれている）。一方、第２部分Ｅｄｃ２については、端部位置Ｐｅ２ａ，Ｐｅ２ｂがそれぞれ、吐出チャネルＣ１ｅ１，Ｃ１ｅ２同士で揃っている。

これらのことから、この比較例３では前述した比較例２とは異なり、本実施の形態と同様にして、各共通電極Ｅｄｃを形成する際に使用されるマスクＭの開口部Ａｐ２を、単純な形状（例えば矩形状）とすることができる（図８（Ｂ）参照）。つまり、例えば比較例２のように、マスクＭの開口部Ａｐ２も千鳥状に配置する必要がなくなり、吐出チャネルＣ１ｅ１，Ｃ１ｅ２の双方における共通電極Ｅｄｃを、一括して形成することが可能となる。したがって、この比較例３では本実施の形態と同様に、比較例２と比べ、各共通電極Ｅｄｃの形成が容易となる。

ところが、この比較例３では、上記したように、第１部分Ｅｄｃ１の端部位置Ｐｅ１ａ，Ｐｅ１ｂはそれぞれ、吐出チャネルＣ１ｅ１，Ｃ１ｅ２同士で互いにずれている一方で、第２部分Ｅｄｃ２の端部位置Ｐｅ２ａ，Ｐｅ２ｂをそれぞれ、吐出チャネルＣ１ｅ１，Ｃ１ｅ２同士で揃えていることから、以下のようになる。すなわち、この比較例３では、各共通電極Ｅｄｃの延在方向（Ｙ軸方向）に沿った長さ（図１３（Ａ），図１３（Ｂ）の例では、第２部分Ｅｄｃ２の電極長Ｌｅ２）を、より大きく取るのが困難となってしまう。具体的には、図７（Ａ），図７（Ｂ）に示した本実施の形態の場合と比べ、第２部分Ｅｄｃ２の電極長Ｌｅ２が、短くなってしまう。これは、第２部分Ｅｄｃ２における端部位置Ｐｅ２ａや端部位置Ｐｅ２ｂが、第１部分Ｅｄｃ１における端部位置Ｐｅ１ａや端部位置Ｐｅ１ｂよりも外側になってしまうと、共通電極Ｅｄｃを形成する際に、バリが発生し易くなるためである。このようにして比較例３では、各共通電極Ｅｄｃの延在方向に沿った長さを大きく取るのが困難となることから、各共通電極Ｅｄｃの面積が小さくなる結果、ヘッドチップ３００を駆動する際の電圧効率が、低下してしまうおそれがある。

ちなみに、この比較例３の構成において、各共通電極Ｅｄｃの延在方向に沿った長さを確保しようとして、各吐出チャネルＣ１ｅ，Ｃ２ｅにおけるポンプ長を、比較例３よりも広げて大きくした場合（比較例４）には、以下のようになる。すなわち、このような比較例４の構成では、各吐出チャネルＣ１ｅにおける第１ポンプ長Ｌｗ１（および各吐出チャネルＣ２ｅにおけるポンプ長）が、相対的に長くなることから、各吐出チャネルＣ１ｅ，Ｃ２ｅにて規定されるオンパルスピーク（ＡＰ）の値も、大きくなる。このＡＰとは、各吐出チャネルＣ１ｅ，Ｃ２ｅ内におけるインク９の固有振動周期の１／２の期間（１ＡＰ＝（インク９の固有振動周期）／２）に対応しており、インク９の噴射速度を最大とするための駆動パルス幅に相当する。このようにして比較例４では、このＡＰの値が大きくなることから、１滴あたりの駆動波形が長くなってしまうため、高い周波数によるヘッドチップの駆動が、困難となってしまうおそれがある。

（Ｄ－４．本実施の形態）
これに対して、本実施の形態のインクジェットヘッド４（ヘッドチップ４１）は、例えば上記比較例１～４とは異なり、以下のような構成となっている。

まず、本実施の形態では、比較例１とは異なり、複数のノズル孔Ｈ１，Ｈ２のうち、Ｘ軸方向に沿って隣接するノズル孔Ｈ１同士（およびＸ軸方向に沿って隣接するノズル孔Ｈ２同士）が、吐出チャネルＣ１ｅ，Ｃ２ｅの延在方向（Ｙ軸方向）に沿って、互いにずれて配置されている。具体的には、ノズル孔Ｈ１１の中心位置Ｐｎ１１が、吐出チャネルＣ１ｅの延在方向（Ｙ軸方向）に沿った中心位置Ｐｃ１を基準として、第１供給スリットＳin１側にずれて配置されていると共に、ノズル孔Ｈ１２の中心位置Ｐｎ１２が、上記した中心位置Ｐｃ１を基準として、第１排出スリットＳout１側にずれて配置されている。同様に、ノズル孔Ｈ２１の中心位置が、吐出チャネルＣ２ｅの延在方向（Ｙ軸方向）に沿った中心位置を基準として、第２供給スリット側にずれて配置されていると共に、ノズル孔Ｈ２２の中心位置が、吐出チャネルＣ２ｅの延在方向に沿った中心位置を基準として、第２排出スリット側にずれて配置されている。

これにより本実施の形態では、比較例１と比べ、以下のようになる。すなわち、隣接するノズル孔Ｈ１間の距離（および隣接するノズル孔Ｈ２間の距離）が、ノズル孔Ｈ１，Ｈ２がそれぞれＸ軸方向に沿って１列に並んで配置されている場合（比較例１）と比べ、大きくなる。このため、同時期に噴射されて被記録媒体（記録紙Ｐ等）へ向けて飛翔している液滴間の距離が増加することから、ノズル孔Ｈ１，Ｈ２から被記録媒体の間にて飛翔中の液滴が局所的に集中することを、緩和させることができる。これにより本実施の形態では、飛翔した各液滴に及ぼす影響（気流の発生）が抑えられる結果、比較例１と比べ、前述したような被記録媒体上での木目調の濃度むらの発生が、抑えられる。

また、本実施の形態では、複数の吐出チャネルＣ１ｅの全体（および複数の吐出チャネルＣ２ｅの全体）が、アクチュエータプレート４１２内でＸ軸方向に沿って、１列に配置されている。これにより本実施の形態では、これら複数の吐出チャネルＣ１ｅ全体（および複数の吐出チャネルＣ２ｅ全体）で、既存の構造が維持される結果、各吐出チャネルＣ１ｅ（および各吐出チャネルＣ２ｅ）の形成が、容易となる。

更に、本実施の形態では、吐出チャネルＣ１ｅ１において、第１入口側流路断面積Ｓｆin１が第１出口側流路断面積Ｓｆout１よりも小さくなっていると共に、吐出チャネルＣ１ｅ２において、第１出口側流路断面積Ｓｆout１が第１入口側流路断面積Ｓｆin１よりも小さくなっている。そして本実施の形態では、このような場合においても、共通電極Ｅｄｃにおける吐出チャネルＣ１ｅの延在方向（Ｙ軸方向）に沿った両端の位置がそれぞれ、Ｘ軸方向に沿った複数の共通電極Ｅｄｃ同士で、互いに揃っていることから、以下のようになる。

すなわち、まず、本実施の形態では前述した比較例２の場合と比べ、例えば、各共通電極Ｅｄｃを形成する際に使用されるマスクＭの開口部Ａｐ２を、単純な形状（例えば矩形状）とすることができる。つまり、例えば比較例２のように、マスクＭの開口部Ａｐ２も千鳥状に配置する必要がなくなり、吐出チャネルＣ１ｅ１，Ｃ１ｅ２の双方における共通電極Ｅｄｃを、一括して形成することが可能となる。したがって、本実施の形態では比較例２と比べ、各共通電極Ｅｄｃの形成が、容易となる。

また、本実施の形態では前述した比較例３の場合と比べ、各共通電極Ｅｄｃの延在方向（Ｙ軸方向）に沿った長さ（例えば、第２部分Ｅｄｃ２の電極長Ｌｅ２）を、より大きく取れるようになる。これにより、本実施の形態では比較例３と比べ、各共通電極Ｅｄｃの面積が増加する結果、ヘッドチップ４１を駆動する際の電圧効率が、向上することになる。

更に、本実施の形態では前述した比較例４とは異なり、各吐出チャネルＣ１ｅ，Ｃ２ｅにおけるポンプ長を広げて大きくする必要がないことから、以下のようになる。すなわち、本実施の形態では比較例４と比べ、前述したＡＰの値が小さくなることから、高い周波数によるヘッドチップ４１の駆動が、容易となる。

以上のことから、本実施の形態では、各吐出チャネルＣ１ｅ，Ｃ２ｅの形成を容易にしつつ、ヘッドチップ４１を駆動する際の電圧効率を向上させることができると共に、被記録媒体上での木目調の濃度むらの発生を抑えることができる。よって、本実施の形態のインクジェットヘッド４（ヘッドチップ４１）では、ヘッドチップ４１の製造コストを抑えつつ、消費電力の低減および印刷画質の向上を図ることが可能となる。また、本実施の形態では、上記したように、高周波駆動を実現できると共に、高い粘度のインク９（高粘度インク）を吐出することも可能となる。

また、本実施の形態では、共通電極Ｅｄｃの第１部分Ｅｄｃ１および第２部分Ｅｄｃ２の各々における、両端の位置（前述した端部位置Ｐｅ１ａ，Ｐｅ１ｂ，Ｐｅ２ａ，Ｐｅ２ｂ）がそれぞれ、Ｘ軸方向に沿った複数の共通電極Ｅｄｃにおいて、互いに揃っていることから、以下のようになる。すなわち、各共通電極Ｅｄｃが、このような第１部分Ｅｄｃ１および第２部分Ｅｄｃ２を含む構造（２段構造）である場合においても、各共通電極Ｅｄｃの形成が、容易となる。また、第２部分Ｅｄｃ２における前述した電極長Ｌｅ２が、第１部分Ｅｄｃ１における前述した電極長Ｌｅ１よりも、小さくなっていることから、以下のようになる。すなわち、例えば逆に、第２部分Ｅｄｃ２の電極長Ｌｅ２が、第１部分Ｅｄｃ１の電極長Ｌｅ１よりも大きくなっている場合と比べ、共通電極Ｅｄｃを形成する際に、バリが発生しにくくなる。したがって、このようなバリの除去工程を省略し、工程数を抑えることができる。以上のことから、本実施の形態では、ヘッドチップ４１の製造コストを、更に抑えることが可能となる。

また、本実施の形態では、吐出チャネルＣ１ｅのうちの吐出チャネルＣ１ｅ１では、前述した壁面位置流路断面積Ｓｆ５が前述した壁面位置流路断面積Ｓｆ６よりも小さくなっていると共に、吐出チャネルＣ１ｅ２では、この壁面位置流路断面積Ｓｆ６が壁面位置流路断面積Ｓｆ５よりも小さくなっている。なお、吐出チャネルＣ２ｅにおいても、同様の大小関係となっている。これにより本実施の形態では、例えば、これらの壁面位置流路断面積Ｓｆ５，Ｓｆ６が互いに等しくなっている場合と比べ、各共通電極Ｅｄｃの延在方向に沿った長さ（例えば、上記した電極長Ｌｅ１や電極長Ｌｅ２）を、更に大きく取れるようになる。したがって、各共通電極Ｅｄｃの面積が更に増加し、ヘッドチップ４１を駆動する際の電圧効率が更に向上する結果、消費電力を更に低減することが可能となる。

更に、本実施の形態では、上記したようにして、複数の吐出チャネルＣ１ｅ全体（および複数の吐出チャネルＣ２ｅ全体）で既存の構造を維持しつつ、Ｘ軸方向に沿って隣接するノズル孔Ｈ１同士（および隣接するノズル孔Ｈ２同士）が、Ｙ軸方向に沿って互いにずれて配置されている構造においても、既存の構造と同様にして、以下のようにすることができる。すなわち、前述した第１ポンプ長Ｌｗ１および第２ポンプ長をそれぞれ、全ての第１スリット対Ｓｐ１および全ての第２スリット対において、同一にする（共通化する）ことができる。これにより本実施の形態では、隣接するノズル孔Ｈ１同士（および隣接するノズル孔Ｈ２同士）での、吐出特性のばらつきが抑えられる結果、印刷画質を更に向上させることが可能となる。また、本実施の形態では、前述した比較例２の場合（第１供給スリットＳin１および第２供給スリットと、第１排出スリットＳout１および第２排出スリットとをそれぞれ、Ｘ軸方向に沿って千鳥配置とした場合）と比べ、以下のようになる。すなわち、まず、この比較例２の場合には、複数の吐出チャネルＣ１ｅ全体（および複数の吐出チャネルＣ２ｅ全体）も、Ｘ軸方向に沿って千鳥配置となる（図１２参照）。一方、本実施の形態では、既存の構造と同様にして、複数の吐出チャネルＣ１ｅ全体（および複数の吐出チャネルＣ２ｅ全体）を、千鳥配置せずに形成（加工）できることから（図５参照）、ヘッドチップ４１の加工性が良好となる（既存の製造プロセスを維持したまま、加工できるようになる）。これにより本実施の形態では、ヘッドチップ４１の製造プロセスの容易化を実現することも、可能となる。

加えて、本実施の形態では、入口側共通流路Ｒin１，Ｒin２における流路幅（第１入口側流路幅Ｗin１および第２入口側流路幅）と、出口側共通流路Ｒout１，Ｒout２における流路幅（第１出口側流路幅Ｗout１および第２出口側流路幅）とがそれぞれ、各共通流路の延在方向（Ｘ軸方向）に沿って一定になっていることから、以下のようになる。すなわち、これらの入口側共通流路Ｒin１，Ｒin２および出口側共通流路Ｒout１，Ｒout２の各構造についても、既存の構造を維持することが可能となる。

また、本実施の形態では、各ダミーチャネルＣ１ｄ，Ｃ２ｄにおける延在方向（Ｙ軸方向）に沿った一方側は、前述した側面になっていると共に、この延在方向に沿った他方側は、アクチュエータプレート４１２のＹ軸方向に沿った端部に至るまで、開口していることから、以下のようになる。すなわち、上記したように、Ｘ軸方向に沿って隣接するノズル孔Ｈ１同士（および隣接するノズル孔Ｈ２同士）が、Ｙ軸方向に沿って互いにずれて配置されている構造において、ヘッドチップ４１全体のサイズ（チップサイズ）を変えることなく、ノズルプレート４１１内でのノズル孔Ｈ１，Ｈ２の高密度配置が可能となる。また、各ダミーチャネルＣ１ｄ，Ｃ２ｄにおける上記した他方側が、上記した端部に至るまで開口していることから、各ダミーチャネルＣ１ｄ，Ｃ２ｄ内に個別に配置される個別電極Ｅｄａが、各吐出チャネルＣ１ｅ，Ｃ２ｄ内に配置される共通電極Ｅｄｃとは別個に（電気的に絶縁した状態で）、形成できるようになる（図６参照）。これらのことから本実施の形態では、ヘッドチップ４１におけるチップサイズの小型化を図りつつ、ヘッドチップ４１の製造プロセスの容易化を実現することが可能となる。

＜２．変形例＞
続いて、上記実施の形態の変形例（変形例１，２）について説明する。なお、実施の形態における構成要素と同一のものには同一の符号を付し、適宜説明を省略する。

［変形例１］
（全体構成）
図１４，図１５はそれぞれ、変形例１に係るインクジェットヘッド４ａにおける断面構成例（Ｙ－Ｚ断面構成例）を、模式的に表したものである。具体的には、図１４は、実施の形態における図３に対応する断面構成例であり、図１５は、実施の形態における図４に対応する断面構成例となっている。また、図１６は、図１４，図１５に示したヘッドチップ４１ａにおける他の断面構成例（Ｚ－Ｘ断面構成例）を、模式的に表したものである。

図１４，図１５に示したように、この変形例１のインクジェットヘッド４ａは、実施の形態のインクジェットヘッド４（図３，図４参照）において、ヘッドチップ４１の代わりに、ヘッドチップ４１ａを設けるようにしたものに対応している。また、この変形例１のヘッドチップ４１ａは、ヘッドチップ４１において、以下説明する位置合わせプレート４１５を更に設けるようにしたものに対応しており、他の構成は基本的に同様となっている。なお、このようなインクジェットヘッド４ａは、本開示における「液体噴射ヘッド」の一具体例に対応している。

位置合わせプレート４１５は、図１４～図１６に示したように、アクチュエータプレート４１２とノズルプレート４１１との間に配置されている。この位置合わせプレート４１５は、ヘッドチップ４１ａの製造の際に各ノズル孔Ｈ１，Ｈ２の位置合わせをするための複数の開口部Ｈ３１，Ｈ３２を、ノズル孔Ｈ１（Ｈ１１，Ｈ１２），Ｈ２（Ｈ２１，Ｈ２２）ごとに有している。具体的には、ノズル孔Ｈ１１，Ｈ２１ごとに、開口部Ｈ３１が配置されると共に、ノズル孔Ｈ２１，Ｈ２２ごとに、開口部Ｈ３２が配置されるようになっている（図１４～図１６参照）。

これらの開口部Ｈ３１，Ｈ３２はそれぞれ、ノズル孔Ｈ１１，Ｈ１２，Ｈ２１，Ｈ２２と吐出チャネルＣ１ｅ１，Ｃ１ｅ２との間を連通しており、Ｘ－Ｙ平面上において略矩形状の開口部となっている。各開口部Ｈ３１，Ｈ３２におけるＹ軸方向の長さ（開口長）は、各ノズル孔Ｈ１１，Ｈ１２，Ｈ２１，Ｈ２２におけるＹ軸方向の長さよりも、大きくなっている（図１４，図１５参照）。また、各開口部Ｈ３１，Ｈ３２におけるＸ軸方向の長さは、各ノズル孔Ｈ１１，Ｈ１２，Ｈ２１，Ｈ２２におけるＸ軸方向の長さ、および、各吐出チャネルＣ１ｅ，Ｃ２ｅにおけるＸ軸方向の長さよりも、大きくなっている（図１６参照）。つまり、例えば図１６に示したように、このような開口部Ｈ３１，Ｈ３２によって、ノズル孔Ｈ１，Ｈ２における少量の位置ずれ（Ｘ－Ｙ平面内での位置ずれ）を許容し、そのような位置ずれを防止するようになっている。このような位置合わせプレート４１５が設けられていることで、ヘッドチップ４１ａの製造の際に、アクチュエータプレート４１２とノズルプレート４１１との間の位置合わせが、容易となっている。

なお、このような開口部Ｈ３１，Ｈ３２はそれぞれ、本開示における「第３貫通孔」の一具体例に対応している。

ここで、この変形例１のヘッドチップ４１ａでは、このような位置合わせプレート４１５における開口部Ｈ３１，Ｈ３２を含むようにして、以下のような拡張流路部４３１，４３２がそれぞれ、形成されるようになっている。

拡張流路部４３１は、ノズル孔Ｈ１１，Ｈ２１付近に形成されており、詳細は後述するが、これらのノズル孔Ｈ１１，Ｈ２１付近におけるインク９の流路の断面積（ノズル孔付近流路断面積Ｓｆ３）を、広げる流路となっている（例えば図１４参照）。同様に、拡張流路部４３２は、ノズル孔Ｈ１２，Ｈ２２付近に形成されており、詳細は後述するが、これらのノズル孔Ｈ１２，Ｈ２２付近におけるインク９の流路の断面積（ノズル孔付近流路断面積Ｓｆ４）を、広げる流路となっている（例えば図１５参照）。

なお、このような拡張流路部４３１は、本開示における「第１拡張流路部」の一具体例に対応している。同様に、拡張流路部４３２は、本開示における「第２拡張流路部」の一具体例に対応している。また、上記したノズル孔付近流路断面積Ｓｆ３は、本開示における「第３断面積」の一具体例に対応している。同様に、上記したノズル孔付近流路断面積Ｓｆ４は、本開示における「第４断面積」の一具体例に対応している。

（拡張流路部４３１，４３２の詳細構成）
続いて、図１４，図１５に加えて図１７，図１８を参照して、上記した拡張流路部４３１，４３２の詳細構成について、説明する。図１７，図１８はそれぞれ、変形例１等に係るノズル孔Ｈ１，Ｈ２および拡張流路部の位置関係の一例を、模式的に断面図（Ｙ－Ｚ断面図）で表したものである。具体的には、図１７（Ａ）は、図１４中におけるＶＩＩ付近の断面構成を拡大して示したものであり、図１７（Ｂ）は、後述する比較例５に係るインクジェットヘッド５０４（ヘッドチップ５００）における断面構成を、図１７（Ａ）と対比して示したものである。また、図１８（Ａ）は、図１５中におけるＶＩＩＩ付近の断面構成を拡大して示したものであり、図１８（Ｂ）は、後述する比較例６に係るインクジェットヘッド６０４（ヘッドチップ６００）における断面構成を、図１８（Ａ）と対比して示したものである。

まず、この変形例１のヘッドチップ４１ａでは、これらの拡張流路部４３１，４３２（開口部Ｈ３１，Ｈ３２）におけるＹ軸方向に沿った両端部はそれぞれ、壁部Ｗ１（または壁部Ｗ２）におけるＹ軸方向に沿った両端部よりも内側（いわゆるポンプ室内）に、位置している（図１４，図１５参照）。

具体的には、図１４に示したように、拡張流路部４３１における第１供給スリットＳin１側の端部が、壁部Ｗ１における第１供給スリットＳin１側の端部を基準位置として、その基準位置よりも第１排出スリットＳout１側に配置されている。また、拡張流路部４３１における第１排出スリットＳout１側の端部も、壁部Ｗ１における第１排出スリットＳout１側の端部を基準位置として、その基準位置よりも第１供給スリットＳin１側に配置されている。同様に、拡張流路部４３１における前述した第２供給スリット側の端部が、壁部Ｗ２における第２供給スリット側の端部を基準位置として、その基準位置よりも前述した第２排出スリット側に配置されている。また、拡張流路部４３１における第２排出スリット側の端部も、壁部Ｗ２における第２排出スリット側の端部を基準位置として、その基準位置よりも第２供給スリット側に配置されている。

一方、図１５に示したように、拡張流路部４３２における第１排出スリットＳout１側の端部が、壁部Ｗ１における第１排出スリットＳout１側の端部を基準位置として、その基準位置よりも第１供給スリットＳin１側に配置されている。また、拡張流路部４３２における第１供給スリットＳin１側の端部も、壁部Ｗ１における第１供給スリットＳin１側の端部を基準位置として、その基準位置よりも第１排出スリットＳout１側に配置されている。同様に、拡張流路部４３２における第２排出スリット側の端部が、壁部Ｗ２における第２排出スリット側の端部を基準位置として、その基準位置よりも第２供給スリット側に配置されている。また、拡張流路部４３２における第２供給スリット側の端部も、壁部Ｗ２における第２供給スリット側の端部を基準位置として、その基準位置よりも第２排出スリット側に配置されている。

また、図１７（Ａ）に示したように、この変形例１のヘッドチップ４１ａでは、拡張流路部４３１におけるＹ軸方向に沿った中心位置Ｐｈ３１が、ノズル孔Ｈ１１の中心位置Ｐｎ１１よりも、Ｙ軸方向に沿って、第１供給スリットＳin１側にずれている。同様に、このヘッドチップ４１ａでは、拡張流路部４３１におけるＹ軸方向に沿った中心位置Ｐｈ３１が、ノズル孔Ｈ２１の中心位置よりも、Ｙ軸方向に沿って、第２供給スリット側にずれている。

なお、これに対して、図１７（Ｂ）に示した比較例５のヘッドチップ５００では、拡張流路部５０１におけるＹ軸方向に沿った中心位置Ｐｈ３１が、ノズル孔Ｈ１１の中心位置Ｐｎ１１よりも、Ｙ軸方向に沿って、逆に、第１排出スリットＳout１側にずれている。同様に、この比較例５のヘッドチップ５００では、拡張流路部５０１におけるＹ軸方向に沿った中心位置Ｐｈ３１が、ノズル孔Ｈ２１の中心位置よりも、Ｙ軸方向に沿って、逆に、第２排出スリット側にずれている。

一方、図１８（Ａ）に示したように、この変形例１のヘッドチップ４１ａでは、拡張流路部４３２におけるＹ軸方向に沿った中心位置Ｐｈ３２が、ノズル孔Ｈ１２の中心位置Ｐｎ１２よりも、Ｙ軸方向に沿って、第１排出スリットＳout１側にずれている。同様に、このヘッドチップ４１ａでは、拡張流路部４３２におけるＹ軸方向に沿った中心位置Ｐｈ３２が、ノズル孔Ｈ２２の中心位置よりも、Ｙ軸方向に沿って、第２排出スリット側にずれている。

なお、これに対して、図１８（Ｂ）に示した比較例６のヘッドチップ６００では、拡張流路部６０２におけるＹ軸方向に沿った中心位置Ｐｈ３２が、ノズル孔Ｈ１２の中心位置Ｐｎ１２よりも、Ｙ軸方向に沿って、逆に、第１供給スリットＳin１側にずれている。同様に、この比較例６のヘッドチップ６００では、拡張流路部６０２におけるＹ軸方向に沿った中心位置Ｐｈ３２が、ノズル孔Ｈ２２の中心位置よりも、Ｙ軸方向に沿って、逆に、第２供給スリット側にずれている。

（作用・効果）
このような構成の変形例１のインクジェットヘッド４ａ（ヘッドチップ４１ａ）においても、基本的には、実施の形態のインクジェットヘッド４（ヘッドチップ４１）と同様の作用により、同様の効果を得ることが可能である。

また、特にこの変形例１では、上記したような拡張流路部４３１，４３２がそれぞれ、ヘッドチップ４１ａに形成されている。具体的には、ノズル孔Ｈ１１，Ｈ２１付近に、これらのノズル孔Ｈ１１，Ｈ２１付近におけるインク９の流路の断面積（ノズル孔付近流路断面積Ｓｆ３）を広げる、拡張流路部４３１が形成されている（図１４参照）。また、ノズル孔Ｈ１２，Ｈ２２付近に、これらのノズル孔Ｈ１２，Ｈ２２付近におけるインク９の流路の断面積（ノズル孔付近流路断面積Ｓｆ４）を広げる、拡張流路部４３２が形成されている（図１５参照）。

そして、この変形例１では上記したように、拡張流路部４３１におけるＹ軸方向に沿った中心位置Ｐｈ３１が、ノズル孔Ｈ１１の中心位置Ｐｎ１１よりも、Ｙ軸方向に沿って、第１供給スリットＳin１側にずれている（図１７（Ａ）参照）。同様に、拡張流路部４３１におけるＹ軸方向に沿った中心位置Ｐｈ３１が、ノズル孔Ｈ２１の中心位置よりも、Ｙ軸方向に沿って、第２供給スリット側にずれている。また、拡張流路部４３２におけるＹ軸方向に沿った中心位置Ｐｈ３２が、ノズル孔Ｈ１２の中心位置Ｐｎ１２よりも、Ｙ軸方向に沿って、第１排出スリットＳout１側にずれている（図１８（Ａ）参照）。同様に、拡張流路部４３２におけるＹ軸方向に沿った中心位置Ｐｈ３２が、ノズル孔Ｈ２２の中心位置よりも、Ｙ軸方向に沿って、第２排出スリット側にずれている。

この変形例１では、このような配置位置の拡張流路部４３１，４３２がそれぞれ形成されていることで、前述した実施の形態（拡張流路部４３１，４３２を有する位置合わせプレート４１５を省いた構成：図３，図４参照）と比べ、以下のようになる。

すなわち、この変形例１では実施の形態と比べて、吐出チャネルＣ１ｅ１，Ｃ１ｅ２間における、第１入口側流路断面積Ｓｆin１の差が小さくなり、インク９の流入側からノズル孔Ｈ１１，Ｈ１２までの圧力損失も、小さくなる。その結果、この変形例１では実施の形態と比べ、吐出チャネルＣ１ｅ１，Ｃ１ｅ２間における、ノズル孔Ｈ１１，Ｈ１２付近での定常時の圧力の差も小さくなり、ヘッドチップ４１ａ全体での水頭値マージンが増加することから、インクジェットヘッド４におけるインク９の吐出特性が、向上することになる。なお、このような作用は、各ノズル孔Ｈ２１と連通する吐出チャネルＣ２ｅと、各ノズル孔Ｈ２２と連通する吐出チャネルＣ２ｅとの間においても、同様に生じる。

ちなみに、上記した圧力の差が増大した場合、具体的には、例えば以下のようにして、インク９の吐出特性が、低下してしまうおそれがある。すなわち、例えば吐出チャネルＣ１ｅ１，Ｃ１ｅ２のうち、一方では、適切なメニスカスが形成される圧力になっているにも関わらず、他方では、ノズル孔Ｈ１１またはノズル孔Ｈ１２付近での圧力が高くなり過ぎてメニスカスが壊れ、インク９が漏れ出してしまうおそれがある。また、逆に、そのような圧力が低くなり過ぎてメニスカスが壊れ、吐出チャネルＣ１ｅ１または吐出チャネルＣ１ｅ２に気泡が混入する結果、インク９が不吐出になってしまうおそれがある。

なお、このような圧力の差異に起因した、インク９の吐出特性の低下は、各ノズル孔Ｈ２１と連通する吐出チャネルＣ２ｅと、各ノズル孔Ｈ２２と連通する吐出チャネルＣ２ｅとの間においても、同様にして生じ得るものである。

ちなみに、これに対して、前述した比較例５，６の場合（図１７（Ｂ），図１８（Ｂ）参照）では、各拡張流路部５０１，６０２の配置位置が、上記した変形例１の配置位置とは異なっていることから、以下のようになる。すなわち、比較例５では、例えば前述したように、拡張流路部５０１におけるＹ軸方向に沿った中心位置Ｐｈ３１が、ノズル孔Ｈ１１の中心位置Ｐｎ１１よりも、Ｙ軸方向に沿って、逆に、第１排出スリットＳout１側にずれている（図１７（Ｂ）参照）。また、比較例６では、例えば前述したように、拡張流路部６０２におけるＹ軸方向に沿った中心位置Ｐｈ３２が、ノズル孔Ｈ１２の中心位置Ｐｎ１２よりも、Ｙ軸方向に沿って、逆に、第１供給スリットＳin１側にずれている（図１８（Ｂ）参照）。したがって、これらの比較例５，６では、例えば、上記した吐出チャネルＣ１ｅ１，Ｃ１ｅ２間における、ノズル孔Ｈ１１，Ｈ１２付近での定常時の圧力の差が、逆に増大し、上記した水頭値マージンが更に低下してしまうことから、インク９の吐出特性も、更に低下してしまうおそれがある。

また、この変形例１では、拡張流路部４３１，４３２がそれぞれ、位置合わせプレート４１５における開口部Ｈ３１，Ｈ３２（各ノズル孔Ｈ１，Ｈ２の位置合わせをするための開口部）を含むようにして構成されていることから、以下のようになる。すなわち、この位置合わせプレート４１５における既存の開口部Ｈ３１，Ｈ３２を用いて、上記した拡張流路部４３１，４３２をそれぞれ、簡便かつ精度良く形成することができる。よって、ヘッドチップ４１ａの製造コストを更に抑えつつ、インク９の吐出特性を更に向上させて、印刷画質を更に向上させることが可能となる。

更に、この変形例１では、拡張流路部４３１，４３２（開口部Ｈ３１，Ｈ３２）におけるＹ軸方向に沿った両端部がそれぞれ、前述したように、壁部Ｗ１（または壁部Ｗ２）におけるＹ軸方向に沿った両端部よりも、内側（ポンプ室内）に位置している（図１４，図１５参照）ことから、以下のようになる。すなわち、例えば吐出チャネルＣ１ｅ１，Ｃ１ｅ２の内部においてそれぞれ、圧力特性の不均一性が低減し、インク９の吐出特性が更に向上する結果、印刷画質を更に向上させることが可能となる。

［変形例２］
（構成）
図１９，図２０はそれぞれ、変形例２等に係るノズル孔Ｈ１，Ｈ２および拡張流路部の位置関係の一例を、模式的に断面図（Ｙ－Ｚ断面図）で表したものである。具体的には、図１９（Ａ）は、変形例２に係るインクジェットヘッド４ｂ（ヘッドチップ４１ｂ）における拡張流路部４３１ｂ等の断面構成を、示したものである。図１９（Ｂ），図１９（Ｃ）はそれぞれ、前述した変形例１の拡張流路部４３１等、および、比較例５の拡張流路部５０１等における各断面構成（前述した図１７（Ａ），図１７（Ｂ）に示した各断面構成）を、対比して示したものである。また、図２０（Ａ）は、変形例２に係るインクジェットヘッド４ｂ（ヘッドチップ４１ｂ）における拡張流路部４３２ｂ等の断面構成を、示したものである。図２０（Ｂ），図２０（Ｃ）はそれぞれ、前述した変形例１の拡張流路部４３２等、および、比較例６の拡張流路部６０２等における各断面構成（前述した図１８（Ａ），図１８（Ｂ）に示した各断面構成）を、対比して示したものである。

図１９（Ａ），図２０（Ａ）に示したように、この変形例２のインクジェットヘッド４ｂは、変形例１のインクジェットヘッド４ａにおいて、ヘッドチップ４１ａの代わりに、ヘッドチップ４１ｂを設けるようにしたものに対応している。なお、このようなインクジェットヘッド４ｂは、本開示における「液体噴射ヘッド」の一具体例に対応している。

このヘッドチップ４１ｂでは、ヘッドチップ４１ａにおける拡張流路部４３１，４３２の代わりにそれぞれ、以下説明する拡張流路部４３１ｂ，４３２ｂが、形成されている（図１９（Ａ），図２０（Ａ）参照）。

なお、このような拡張流路部４３１ｂは、本開示における「第１拡張流路部」の一具体例に対応している。同様に、拡張流路部４３２ｂは、本開示における「第２拡張流路部」の一具体例に対応している。

図１９（Ａ）に示したように、この拡張流路部４３１ｂにおけるＹ軸方向に沿った中心位置Ｐｈ３１は、ノズル孔Ｈ１１の中心位置Ｐｎ１１と、一致している。同様に、拡張流路部４３１ｂにおけるＹ軸方向に沿った中心位置Ｐｈ３１は、ノズル孔Ｈ２１の中心位置と、一致している。

また、図２０（Ａ）に示したように、拡張流路部４３２ｂにおけるＹ軸方向に沿った中心位置Ｐｈ３２は、ノズル孔Ｈ１２の中心位置Ｐｎ１２と、一致している。同様に、拡張流路部４３２ｂにおけるＹ軸方向に沿った中心位置Ｐｈ３２は、ノズル孔Ｈ２２の中心位置と、一致している。

（作用・効果）
このような構成の変形例２のインクジェットヘッド４ｂ（ヘッドチップ４１ｂ）においても、基本的には、変形例１のインクジェットヘッド４ａ（ヘッドチップ４１ａ）と同様の作用により、同様の効果を得ることが可能である。

具体的には、この変形例２では変形例１とは異なり、上記したように、拡張流路部４３１ｂにおけるＹ軸方向に沿った中心位置Ｐｈ３１が、ノズル孔Ｈ１１の中心位置Ｐｎ１１およびノズル孔Ｈ２１の中心位置と、それぞれ一致している。同様に、上記したように、拡張流路部４３２ｂにおけるＹ軸方向に沿った中心位置Ｐｈ３２が、ノズル孔Ｈ１２の中心位置Ｐｎ１２およびノズル孔Ｈ２２の中心位置と、それぞれ一致している。このような変形例２においても、上記した変形例１と同様の作用により、ヘッドチップ４１ｂ全体での水頭値マージンが増加する結果、インクジェットヘッド４ｂにおけるインク９の吐出特性が向上する。よって、この変形例２においても変形例１と同様に、ヘッドチップ４１ｂの製造コストを抑えつつ、印刷画質を向上させることが可能となる。

＜３．その他の変形例＞
以上、実施の形態および変形例を挙げて本開示を説明したが、本開示はこれらの実施の形態等に限定されず、種々の変形が可能である。

例えば、上記実施の形態等では、プリンタおよびインクジェットヘッドにおける各部材の構成例（形状、配置、個数等）を具体的に挙げて説明したが、上記実施の形態等で説明したものには限られず、他の形状や配置、個数等であってもよい。また、上記実施の形態等で説明した各種パラメータの値や範囲、大小関係等についても、上記実施の形態等で説明したものには限られず、他の値や範囲、大小関係等であってもよい。

具体的には、例えば、上記実施の形態等では、２列タイプの（２列のノズル列Ａｎ１，Ａｎ２を有する）インクジェットヘッド４を挙げて説明したが、この例には限られない。すなわち、例えば、１列タイプ（１列のノズル列を有する）のインクジェットヘッドや、３列以上（例えば３列や４列など）の複数例タイプ（３列以上のノズル列を有する）インクジェットヘッドであってもよい。

また、上記実施の形態等では、ノズル孔Ｈ１（Ｈ１１，Ｈ１２），Ｈ２（Ｈ２１，Ｈ２２）のずらし配置の例（千鳥配置の例）や、各種プレート（ノズルプレート、アクチュエータプレート、カバープレートおよび位置合わせプレート）の構成例等について、具体的に説明したが、これらの例には限られない。すなわち、各ノズル孔のずらし配置や、各種プレートの構成については、他の構成例であってもよい。

また、上記実施の形態等では、各吐出チャネル（吐出溝）および各ダミーチャネル（非吐出溝）がそれぞれ、アクチュエータプレート内でＹ軸方向（各チャネルの並設方向に対する直交方向）に沿って延在している場合を例に挙げて説明したが、この例には限られない。すなわち、例えば、各吐出チャネルおよび各ダミーチャネルがそれぞれ、アクチュエータプレート内で、斜め方向（Ｘ軸方向，Ｙ軸方向の各々と角度を成す方向）に沿って延在しているようにしてもよい。

また、上記実施の形態等では、共通電極Ｅｄｃの形状（前述した第１部分Ｅｄｃ１および第２部分Ｅｄｃ２を含む２段構造）について、具体的に説明したが、この共通電極Ｅｄｃの形状は、この例には限られない。また、上記実施の形態等では、この共通電極Ｅｄｃ１において、第２部分Ｅｄｃ２の電極長Ｌｅ２が、第１部分Ｅｄｃの電極長Ｌｅ１よりも小さくなっている（Ｌｅ２＜Ｌｅ１）場合を例に挙げて説明したが、この例には限られない。すなわち、場合によっては、例えば、これらの電極長Ｌｅ１，Ｌｅ２が互いに等しくなっていたり（Ｌｅ１＝Ｌｅ２）、逆に、電極長Ｌｅ１が電極長Ｌｅ２よりも小さくなっている（Ｌｅ１＜Ｌｅ２）ようにしてもよい。

更に、例えば、ノズル孔Ｈ１，Ｈ２の断面形状については、上記実施の形態等で説明したような円形状には限られず、例えば、楕円形状や、三角形状等の多角形状、星型形状などであってもよい。また、吐出チャネルＣ１ｅ，Ｃ２ｅおよびダミーチャネルＣ１ｄ，Ｃ２ｄの各断面形状についても、上記実施の形態等では、ダイサーによる切削加工によって形成されることで、円弧状（曲面状）の側面となっている場合を例に挙げて説明したが、この例には限られない。すなわち、例えば、そのようなダイサーによる切削加工以外の加工方法（エッチングやブラスト加工など）を用いて形成することで、吐出チャネルＣ１ｅ，Ｃ２ｅおよびダミーチャネルＣ１ｄ，Ｃ２ｄの各断面形状が、円弧状以外の各種の側面形状となるようにしてもよい。

また、上記変形例１，２では、拡張流路部４３１，４３２，４３１ｂ，４３２ｂがいずれも、位置合わせプレート４１５における開口部Ｈ３１，Ｈ３２を含むようにして構成されている場合を例に挙げて説明したが、この例には限られない。すなわち、このような拡張流路部４３１，４３２，４３１ｂ，４３２ｂがそれぞれ、例えば、ノズルプレート４１１またはアクチュエータプレート４１２に、設けられているようにしてもよい。

加えて、上記実施の形態等では、インクタンクとインクジェットヘッドとの間でインク９を循環させて利用する、循環式のインクジェットヘッドを例に挙げて説明したが、この例には限られない。すなわち、例えば場合によっては、インク９を循環させずに利用する、非循環式のインクジェットヘッドにおいて、本開示を適用するようにしてもよい。

また、インクジェットヘッドの構造としては、各タイプのものを適用することが可能である。すなわち、例えば上記実施の形態等では、アクチュエータプレートにおける各吐出チャネルの延在方向の中央部からインク９を吐出する、いわゆるサイドシュートタイプのインクジェットヘッドを例に挙げて説明した。ただし、この例には限られず、他のタイプのインクジェットヘッドにおいて、本開示を適用するようにしてもよい。

更には、プリンタの方式としても、上記実施の形態等で説明した方式には限られず、例えば、ＭＥＭＳ（Micro Electro Mechanical Systems）方式など、各種の方式を適用することが可能である。

また、上記実施の形態等で説明した一連の処理は、ハードウェア（回路）で行われるようにしてもよいし、ソフトウェア（プログラム）で行われるようにしてもよい。ソフトウェアで行われるようにした場合、そのソフトウェアは、各機能をコンピュータにより実行させるためのプログラム群で構成される。各プログラムは、例えば、上記コンピュータに予め組み込まれて用いられてもよいし、ネットワークや記録媒体から上記コンピュータにインストールして用いられてもよい。

更に、上記実施の形態等では、本開示における「液体噴射記録装置」の一具体例として、プリンタ１（インクジェットプリンタ）を挙げて説明したが、この例には限られず、インクジェットプリンタ以外の他の装置にも、本開示を適用することが可能である。換言すると、本開示の「液体噴射ヘッド」（インクジェットヘッド）を、インクジェットプリンタ以外の他の装置に適用するようにしてもよい。具体的には、例えば、ファクシミリやオンデマンド印刷機などの装置に、本開示の「液体噴射ヘッド」を適用するようにしてもよい。

加えて、これまでに説明した各種の例を、任意の組み合わせで適用させるようにしてもよい。

なお、本明細書中に記載された効果はあくまで例示であって限定されるものではなく、また、他の効果があってもよい。

また、本開示は、以下のような構成を取ることも可能である。
（１）
液体を噴射するヘッドチップであって、
所定方向に沿って並んで配置された複数の吐出溝と、前記複数の吐出溝の側壁に個別に設けられていると共に、前記吐出溝の延在方向に沿って延在する複数の電極と、を有するアクチュエータプレートと、
前記複数の吐出溝に個別に連通する複数のノズル孔を有するノズルプレートと、
前記吐出溝を覆う壁部と、前記吐出溝の延在方向に沿って前記壁部の一方側に形成されていると共に、前記吐出溝内に前記液体を流入させるための第１貫通孔と、前記吐出溝の延在方向に沿って前記壁部の他方側に形成されていると共に、前記吐出溝内から前記液体を流出させるための第２貫通孔と、を有するカバープレートと
を備え、
前記複数のノズル孔は、
前記吐出溝の延在方向に沿った中心位置を基準として、前記吐出溝の延在方向に沿った前記第１貫通孔側にずれて配置された複数の第１ノズル孔と、
前記吐出溝の延在方向に沿った中心位置を基準として、前記吐出溝の延在方向に沿った前記第２貫通孔側にずれて配置された複数の第２ノズル孔と
を含んでおり、
前記第１ノズル孔と連通する前記吐出溝である第１吐出溝においては、前記第１貫通孔と連通する部分における前記液体の流路の断面積である第１断面積が、前記第２貫通孔と連通する部分における前記液体の流路の断面積である第２断面積よりも、小さくなっていると共に、
前記第２ノズル孔と連通する前記吐出溝である第２吐出溝においては、前記第２断面積が前記第１断面積よりも、小さくなっており、
前記電極における前記吐出溝の延在方向に沿った両端の位置がそれぞれ、前記所定方向に沿った前記複数の電極において、互いに揃っている
ヘッドチップ。
（２）
前記電極は、
前記吐出溝における前記ノズルプレート側の前記側壁に設けられた第１部分と、
前記吐出溝における前記カバープレート側の前記側壁に設けられた第２部分と
を含んでおり、
前記第２部分における前記吐出溝の延在方向に沿った長さが、前記第１部分における前記吐出溝の延在方向に沿った長さよりも、小さくなっていると共に、
前記第１部分および前記第２部分の各々における、前記吐出溝の延在方向に沿った両端の位置がそれぞれ、前記所定方向に沿った前記複数の電極において、互いに揃っている
上記（１）に記載のヘッドチップ。
（３）
前記第１ノズル孔付近に、前記第１ノズル孔付近における前記液体の流路の断面積である第３断面積を広げる、第１拡張流路部が形成されていると共に、
前記第２ノズル孔付近に、前記第２ノズル孔付近における前記液体の流路の断面積である第４断面積を広げる、第２拡張流路部が形成されており、
前記第１拡張流路部における前記吐出溝の延在方向に沿った中心位置が、前記第１ノズル孔の中心位置である第１中心位置と一致するか、または、前記第１中心位置よりも前記吐出溝の延在方向に沿って前記第１貫通孔側にずれていると共に、
前記第２拡張流路部における前記吐出溝の延在方向に沿った中心位置が、前記第２ノズル孔の中心位置である第２中心位置と一致するか、または、前記第２中心位置よりも前記吐出溝の延在方向に沿って前記第２貫通孔側にずれている
上記（１）または（２）に記載のヘッドチップ。
（４）
前記アクチュエータプレートと前記ノズルプレートとの間に配置されると共に、前記ノズル孔の位置合わせをするための第３貫通孔を前記ノズル孔ごとに有する、位置合わせプレートを更に備え、
前記第１拡張流路部および前記第２拡張流路部がそれぞれ、前記位置合わせプレートにおける前記第３貫通孔を含むようにして構成されている
上記（３）に記載のヘッドチップ。
（５）
前記第１吐出溝内においては、前記壁部の前記第１貫通孔側の壁面に対応する位置における前記液体の流路の断面積である第５断面積が、前記壁部の前記第２貫通孔側の壁面に対応する位置における前記液体の流路の断面積である第６断面積よりも、小さくなっていると共に、
前記第２吐出溝内においては、前記第６断面積が、前記第５断面積よりも小さくなっている
上記（１）ないし（４）のいずれかに記載のヘッドチップ。
（６）
上記（１）ないし（５）のいずれかに記載のヘッドチップを備えた
液体噴射ヘッド。
（７）
上記（６）に記載の液体噴射ヘッドを備えた
液体噴射記録装置。

１…プリンタ、１０…筺体、２ａ，２ｂ…搬送機構、２１…グリッドローラ、２２…ピンチローラ、３（３Ｙ，３Ｍ，３Ｃ，３Ｋ）…インクタンク、４（４Ｙ，４Ｍ，４Ｃ，４Ｋ），４ａ，４ｂ…インクジェットヘッド、４１，４１ａ，４１ｂ…ヘッドチップ、４１１…ノズルプレート、４１２…アクチュエータプレート、４１３…カバープレート、４１５…位置合わせプレート、４２０…尾部、４２１，４２２…チャネル列、４３１，４３１ａ，４３１ｂ，４３２，４３２ａ，４３２ｂ…拡張流路部、５０…循環流路、５０ａ，５０ｂ…流路（供給チューブ）、６…走査機構、６１ａ，６１ｂ…ガイドレール、６２…キャリッジ、６３…駆動機構、６３１ａ，６３１ｂ…プーリ、６３２…無端ベルト、６３３…駆動モータ、９…インク、Ｐ…記録紙、ｄ…搬送方向、Ｈ１，Ｈ１１，Ｈ１２，Ｈ２，Ｈ２１，Ｈ２２…ノズル孔、Ｈ３１，Ｈ３２…開口部、Ａｎ１，Ａｎ１１，Ａｎ１２，Ａｎ２，Ａｎ２１，Ａｎ２２…ノズル列、Ｃ１，Ｃ２…チャネル、Ｃ１ｅ（Ｃ１ｅ１，Ｃ１ｅ２），Ｃ２ｅ…吐出チャネル、Ｃ１ｄ，Ｃ２ｄ…ダミーチャネル（非吐出チャネル）、Ｗｄ…駆動壁、Ｅｄ…駆動電極、Ｅｄａ…個別電極（アクティブ電極）、Ｅｄｃ…共通電極（コモン電極）、Ｅｄｃ１…第１部分、Ｅｄｃ２…第２部分、Ｐｄａ…個別電極パッド、Ｐｄｃ…共通電極パッド、Ｄ…溝、Ｒin１，Ｒin２…入口側共通流路、Ｒout１，Ｒout２…出口側共通流路、Ｓin１…第１供給スリット、Ｓout１…第１排出スリット、Ｓｐ１…第１スリット対、Ｗ１，Ｗ２…壁部、Ｌｗ１…第１ポンプ長、Ｌin１…第１供給スリット長、Ｌout１…第１排出スリット長、Ｌｅ１，Ｌｅ２…電極長、Ｗin１…第１入口側流路幅、Ｗout１…第１出口側流路幅、Ｓｆin１…第１入口側流路断面積、Ｓｆout１…第１出口側流路断面積、Ｓｆ３，Ｓｆ４…ノズル孔付近流路断面積、Ｓｆ５，Ｓｆ６…壁面位置流路断面積、Ｐｃ１，Ｐｎ１１，Ｐｎ１２，Ｐｈ３１，Ｐｈ３２…中心位置、Ｐｅ１ａ，Ｐｅ１ｂ，Ｐｅ２ａ，Ｐｅ２ｂ…端部位置、Ｍ…マスク、Ａｐ１，Ａｐ２…開口部、Ｅｖ１，Ｅｖ２…蒸着方向、ＳＬ…加工スリット。

Claims (7)

1. 液体を噴射するヘッドチップであって、
   所定方向に沿って並んで配置された複数の吐出溝と、前記複数の吐出溝の側壁に個別に設けられていると共に、前記吐出溝の延在方向に沿って延在する複数の電極と、を有するアクチュエータプレートと、
   前記複数の吐出溝に個別に連通する複数のノズル孔を有するノズルプレートと、
   前記吐出溝を覆う壁部と、前記吐出溝の延在方向に沿って前記壁部の一方側に形成されていると共に、前記吐出溝内に前記液体を流入させるための第１貫通孔と、前記吐出溝の延在方向に沿って前記壁部の他方側に形成されていると共に、前記吐出溝内から前記液体を流出させるための第２貫通孔と、を有するカバープレートと
   を備え、
   前記複数のノズル孔は、
   前記吐出溝の延在方向に沿った中心位置を基準として、前記吐出溝の延在方向に沿った前記第１貫通孔側にずれて配置された複数の第１ノズル孔と、
   前記吐出溝の延在方向に沿った中心位置を基準として、前記吐出溝の延在方向に沿った前記第２貫通孔側にずれて配置された複数の第２ノズル孔と
   を含んでおり、
   前記第１ノズル孔と連通する前記吐出溝である第１吐出溝においては、前記第１貫通孔と連通する部分における前記液体の流路の断面積である第１断面積が、前記第２貫通孔と連通する部分における前記液体の流路の断面積である第２断面積よりも、小さくなっていると共に、
   前記第２ノズル孔と連通する前記吐出溝である第２吐出溝においては、前記第２断面積が前記第１断面積よりも、小さくなっており、
   前記電極における前記吐出溝の延在方向に沿った両端の位置がそれぞれ、前記所定方向に沿った前記複数の電極において、互いに揃っている
   ヘッドチップ。
2. 前記電極は、
   前記吐出溝における前記ノズルプレート側の前記側壁に設けられた第１部分と、
   前記吐出溝における前記カバープレート側の前記側壁に設けられた第２部分と
   を含んでおり、
   前記第２部分における前記吐出溝の延在方向に沿った長さが、前記第１部分における前記吐出溝の延在方向に沿った長さよりも、小さくなっていると共に、
   前記第１部分および前記第２部分の各々における、前記吐出溝の延在方向に沿った両端の位置がそれぞれ、前記所定方向に沿った前記複数の電極において、互いに揃っている
   請求項１に記載のヘッドチップ。
3. 前記第１ノズル孔付近に、前記第１ノズル孔付近における前記液体の流路の断面積である第３断面積を広げる、第１拡張流路部が形成されていると共に、
   前記第２ノズル孔付近に、前記第２ノズル孔付近における前記液体の流路の断面積である第４断面積を広げる、第２拡張流路部が形成されており、
   前記第１拡張流路部における前記吐出溝の延在方向に沿った中心位置が、前記第１ノズル孔の中心位置である第１中心位置と一致するか、または、前記第１中心位置よりも前記吐出溝の延在方向に沿って前記第１貫通孔側にずれていると共に、
   前記第２拡張流路部における前記吐出溝の延在方向に沿った中心位置が、前記第２ノズル孔の中心位置である第２中心位置と一致するか、または、前記第２中心位置よりも前記吐出溝の延在方向に沿って前記第２貫通孔側にずれている
   請求項１または請求項２に記載のヘッドチップ。
4. 前記アクチュエータプレートと前記ノズルプレートとの間に配置されると共に、前記ノズル孔の位置合わせをするための第３貫通孔を前記ノズル孔ごとに有する、位置合わせプレートを更に備え、
   前記第１拡張流路部および前記第２拡張流路部がそれぞれ、前記位置合わせプレートにおける前記第３貫通孔を含むようにして構成されている
   請求項３に記載のヘッドチップ。
5. 前記第１吐出溝内においては、前記壁部の前記第１貫通孔側の壁面に対応する位置における前記液体の流路の断面積である第５断面積が、前記壁部の前記第２貫通孔側の壁面に対応する位置における前記液体の流路の断面積である第６断面積よりも、小さくなっていると共に、
   前記第２吐出溝内においては、前記第６断面積が、前記第５断面積よりも小さくなっている
   請求項１ないし請求項４のいずれか１項に記載のヘッドチップ。
6. 請求項１ないし請求項５のいずれか１項に記載のヘッドチップを備えた
   液体噴射ヘッド。
7. 請求項６に記載の液体噴射ヘッドを備えた
   液体噴射記録装置。

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