JP2019084764A - 液体噴射ヘッドおよび液体噴射記録装置 - Google Patents

Abstract

【課題】優れた噴射特性を有する液体噴射ヘッドを安定に製造することが可能な液体噴射ヘッドを提供する。【解決手段】液体噴射ヘッドは、液体が収容される複数のチャネルを有するアクチュエータプレートと、そのアクチュエータプレートに取り付けられると共に複数のチャネルに収容された液体が噴射される複数のノズル孔を有するノズルプレートと、を含むヘッドチップと、そのヘッドチップに沿うように固定され、複数のチャネルに供給される液体の流路を有すると共に、ヘッドチップよりも高い剛性を有する流路部材とを備える。【選択図】図２

Description

本開示は、液体を噴射する液体噴射ヘッドおよびその液体噴射ヘッドを用いた液体噴射記録装置に関する。

被記録媒体に画像などを記録する記録装置として、液体噴射ヘッドを備えた液体噴射記録装置が知られている。この液体噴射記録装置では、液体噴射ヘッドから被記録媒体に液体が噴射されることにより、その被記録媒体に画像などが記録される。

液体噴射記録装置の構成に関しては、様々な検討がなされている。具体的には、インクを循環させる方式のインクジェット装置を小型化するために、アクチュエータと共にマニフォルドを備えたインクジェット装置が用いられている（例えば、特許文献１参照）。

特開２０１６−０９４０１４号公報

液体噴射ヘッドを備えた液体噴射記録装置の構成に関して様々な検討がなされているが、その液体噴射ヘッドの噴射特性および製造安定性は未だ十分でないため、改善の余地がある。

そこで、優れた噴射特性を有する液体噴射ヘッドを安定に製造することが可能な液体噴射ヘッドおよび液体噴射記録装置を提供することが望まれている。

本開示の一実施形態の液体噴射ヘッドは、液体が収容される複数のチャネルを有するアクチュエータプレートと、そのアクチュエータプレートに取り付けられると共に複数のチャネルに収容された液体が噴射される複数のノズル孔を有するノズルプレートと、を含むヘッドチップと、そのヘッドチップに沿うように固定され、複数のチャネルに供給される液体の流路を有すると共に、ヘッドチップよりも高い剛性を有する流路部材とを備えたものである。

本開示の一実施形態の液体噴射記録装置は、被記録媒体に液体を噴射する液体噴射ヘッドと、その液体を貯蔵する液体貯蔵部とを備え、その液体噴射ヘッドが上記した本開示の一実施形態の液体噴射ヘッドと同様の構成を有するものである。

本開示の一実施形態の液体噴射ヘッドおよび液体噴射記録装置によれば、流路部材がヘッドチップよりも高い剛性を有しており、その流路部材がヘッドチップに沿うように固定されているので、優れた噴射特性を有する液体噴射ヘッドおよびその液体噴射ヘッドを備えた液体噴射記録装置を安定に製造することができる。

本開示の一実施形態の液体噴射記録装置（液体噴射ヘッド）の構成を表す斜視図である。 図１に示した液体噴射ヘッドの構成を模式的に表す平面図である。 図１に示した循環機構の構成を模式的に表す図である。 図２に示したノズルプレート、アクチュエータプレートおよびカバープレートのそれぞれの構成を表す斜視図である。 図４に示したアクチュエータプレートの構成を表す平面図である。 図５に示したＡ−Ａ線に沿ったノズルプレート、アクチュエータプレートおよびカバープレートのそれぞれの構成を表す断面図である。 図２に示した流路プレートの構成を表す平面図である。 比較例の液体噴射記録装置（液体噴射ヘッド）の構成および問題点を説明するための平面図である。 本開示の一実施形態の液体噴射記録装置（液体噴射ヘッド）の利点を説明するための平面図である。 本開示の一実施形態の液体噴射ヘッドの構成に関する変形例を表す平面図である。

以下、本開示の一実施形態に関して、図面を参照しながら詳細に説明する。なお、説明する順序は、下記の通りである。

１．液体噴射記録装置（液体噴射ヘッド）
１−１．液体噴射記録装置および液体噴射ヘッドのそれぞれの構成
１−２．ノズルプレート、アクチュエータプレートおよびカバープレートのそれぞれの詳細な構成
１−３．流路プレートの詳細な構成
１−４．動作
１−５．作用および効果
２．変形例

＜１．液体噴射記録装置（液体噴射ヘッド）＞
本開示の一実施形態の液体噴射記録装置に関して説明する。

なお、本開示の一実施形態の液体噴射ヘッドは、ここで説明する液体噴射記録装置のうちの一部であるため、その液体噴射ヘッドに関しては、以下で併せて説明する。

＜１−１．液体噴射記録装置および液体噴射ヘッドのそれぞれの構成＞
最初に、液体噴射記録装置および液体噴射ヘッドのそれぞれの構成に関して説明する。

図１は、液体噴射記録装置の一具体例であるプリンタ１の斜視構成を表している。図２は、図１に示した液体噴射ヘッドの一具体例であるインクジェットヘッド４の平面構成を模式的に表している。図３は、図１に示した循環機構５の構成を模式的に表している。ただし、図１では、筐体１０の外縁（輪郭）を破線で示すことにより、その筐体１０の内部を示している。

このプリンタ１は、主に、被記録媒体である記録紙Ｐに対して、後述する記録用の液体であるインク９を用いて画像などを記録（印刷）するインクジェット方式のプリンタであり、いわゆるインクジェットプリンタである。

特に、ここで説明するプリンタ１は、例えば、循環機構５において循環されているインク９を用いるインク循環方式のインクジェットプリンタである。

具体的には、プリンタ１は、例えば、図１〜図３に示したように、筐体１０の内部に、一対の搬送機構２ａ，２ｂと、インクタンク３と、インクジェットヘッド４と、循環機構５と、走査機構６とを備えている。

なお、図１〜図３および後述する各図面では、プリンタ１に関する一連の構成要素の大きさを認識可能な大きさとするために、各構成要素の縮尺を適宜変更している。

［搬送機構］
一対の搬送機構２ａ，２ｂは、主に、プリンタ１に投入された記録紙Ｐを搬送方向Ｄ（Ｘ軸方向）に搬送させる機構である。

搬送機構２ａ，２ｂのそれぞれは、例えば、図１に示したように、グリッドローラ２１およびピンチローラ２２を含んでいる。グリッドローラ２１およびピンチローラ２２のそれぞれは、例えば、搬送方向Ｄと交差する方向（Ｙ軸方向）に延在しており、その方向に延在する回転軸を中心として回転可能である。また、搬送機構２ａ，２ｂのそれぞれは、例えば、図示しないモータなどの駆動機構に接続されており、その駆動機構の動力を利用して回転する。

ここでは、記録紙Ｐの平面形状は、例えば、互いに対向する一対の長辺と互いに対向する一対の短辺とにより規定される矩形である。これに伴い、搬送方向Ｄは、例えば、記録紙Ｐの長手方向に沿った方向（Ｘ軸方向）であると共に、搬送方向Ｄに交差する方向は、例えば、記録紙Ｐの短手方向に沿った方向（Ｙ軸方向）である。

［インクタンク］
インクタンク３は、主に、インク９を貯蔵する液体貯蔵部である。

インクタンク３の数は、特に限定されないため、１個だけでもよいし、２個以上でもよい。ここでは、プリンタ１は、例えば、図１に示したように、互いに異なる色のインク９を収容する４個のインクタンク３（３Ｙ，３Ｍ，３Ｃ，３Ｂ）を備えている。インクタンク３Ｙ，３Ｍ，３Ｃ，３Ｂは、例えば、搬送方向Ｄ（Ｘ軸方向）において、上流側から下流側に向かってこの順に配列されている。

インクタンク３Ｙは、例えば、イエロー（Ｙ）のインク９を貯蔵している。インクタンク３Ｍは、例えば、マゼンタ（Ｍ）のインク９を貯蔵している。インクタンク３Ｃは、例えば、シアン（Ｃ）のインク９を貯蔵している。インクタンク３Ｋは、例えば、ブラック（Ｂ）のインク９を収容している。

インクタンク３Ｙ，３Ｍ，３Ｃ，３Ｂのそれぞれは、例えば、インク９の種類（色）が互いに異なることを除いて、互いに同様の構成を有している。以下では、必要に応じて、インクタンク３Ｙ，３Ｍ，３Ｃ，３Ｋをまとめて「インクタンク３」と総称する。

［インクジェットヘッド］
インクジェットヘッド４は、主に、記録紙Ｐに画像などを記録するために、その記録紙Ｐにインク９を噴射するデバイス（ヘッド）である。このインクジェットヘッド４では、特に、記録紙Ｐに液滴状のインク９が噴射される。

ここで説明するインクジェットヘッド４は、例えば、いわゆるサイドシュートタイプのインクジェットヘッド４であり、後述する複数のチャネルＣ（図４〜図６参照）のそれぞれのうちの略中央領域からインク９を噴射する。すなわち、サイドシュートタイプのインクジェットヘッド４では、後述するように、アクチュエータプレート４２に設けられた各チャネルＣがＹ軸方向に延在しており、ノズルプレート４１に設けられた各ノズル孔ＨからＹ軸方向と交差するＺ軸方向にインク９が噴射される。

また、インクジェットヘッド４は、例えば、いわゆる循環式のインクジェットヘッド４であり、上記した循環機構５を利用してインクタンク３とインクジェットヘッド４との間において循環されるインク９を用いる。

具体的には、インクジェットヘッド４は、図２に示したように、ヘッドチップ４００と、流路プレート４４とを含んでいる。この流路プレート４４は、例えば、プレート状の流路部材である。ヘッドチップ４００および流路プレート４４のそれぞれは、例えば、所定の方向（Ｘ軸方向）に延在している。このヘッドチップ４００は、流路プレート４４の一面に対して沿うように延在していると共に、その流路プレート４４の一面に対して固定されている。

ヘッドチップ４００は、例えば、ノズルプレート４１と、アクチュエータプレート４２と、カバープレート４３とを含んでいる。ノズルプレート４１、アクチュエータプレート４２およびカバープレート４３は、流路プレート４４よりも遠い側からこの順に積層されている。

インクジェットヘッド４の数は、特に限定されないため、１個だけでもよいし、２個以上でもよい。ここでは、プリンタ１は、例えば、図１に示したように、上記した４個のインクタンク３（３Ｙ，３Ｍ，３Ｃ，３Ｂ）に対応して、互いに異なる色のインク９を噴射する４個のインクジェットヘッド４（４Ｙ，４Ｍ，４Ｃ，４Ｂ）を備えている。インクジェットヘッド４Ｙ，４Ｍ，４Ｃ，４Ｂは、例えば、搬送方向Ｄと交差する方向（Ｙ軸方向）においてこの順に配列されている。

インクジェットヘッド４Ｙは、例えば、イエローのインク９を噴射する。インクジェットヘッド４Ｍは、例えば、マゼンタのインク９を噴射する。インクジェットヘッド４Ｃは、例えば、シアンのインク９を噴射する。インクジェットヘッド４Ｂは、例えば、ブラックのインク９を噴射する。

インクジェットヘッド４Ｙ，４Ｍ，４Ｃ，４Ｂのそれぞれは、例えば、インク９の種類（色）が互いに異なることを除いて、互いに同様の構成を有している。以下では、必要に応じて、インクジェットヘッド４Ｙ，４Ｍ，４Ｃ，４Ｂをまとめて「インクジェットヘッド４」と総称する。

なお、インクジェットヘッド４（ノズルプレート４１、アクチュエータプレート４２、カバープレート４３および流路プレート４４）の詳細な構成に関しては、後述する（図４〜図７参照）。

［循環機構］
循環機構５は、主に、インクタンク３とインクジェットヘッド４との間においてインク９を循環させる機構である。

この循環機構５は、例えば、図３に示したように、インク９の循環流路５０と、加圧ポンプ５１ａと、吸引ポンプ５１ｂとを含んでいる。

循環流路５０は、例えば、インクタンク３からインクジェットヘッド４に向かってインク９が流れる第１流路５０ａと、インクジェットヘッド４からインクタンク３に向かってインク９が流れる第２流路５０ｂとを含んでいる。

第１流路５０ａおよび第２流路５０ｂのそれぞれでは、例えば、チューブの内部にインク９が流れており、そのチューブは、例えば、可撓性を有するフレキシブルチューブなどである。

加圧ポンプ５１ａは、例えば、第１流路５０ａに設けられている。この加圧ポンプ５１ａは、第１流路５０ａの内部を加圧することにより、インクジェットヘッド４にインク９を供給する。

吸引ポンプ５１ｂは、例えば、第２流路５０ｂに設けられている。この吸引ポンプ５１Ｂは、第２流路５０ｂの内部を減圧することにより、インクジェットヘッド４からインク９を吸引する。

これにより、循環機構５では、例えば、循環方向Ｆに向かってインク９が流れる。すなわち、インクタンク３から供給されたインク９は、例えば、第１流路５０ａ、インクジェットヘッド４および第２流路５０ｂをこの順に経由することにより、そのインクタンク３に戻る。

［走査機構］
走査機構６は、主に、搬送方向Ｄと交差する方向（Ｙ軸方向）にインクジェットヘッド４を走査させる機構である。

この走査機構６は、例えば、図１に示したように、一対のガイドレール６１ａ，６１ｂと、キャリッジ６２と、駆動機構６３とを含んでいる。

ガイドレール６１ａ，６１ｂのそれぞれは、例えば、搬送方向Ｄと交差する方向（Ｙ軸方向）に延在している。キャリッジ６２は、例えば、ガイドレール６１ａ，６１ｂにより支持されており、そのガイドレール６１ａ，６１ｂに沿って搬送方向Ｄと交差する方向（Ｙ軸方向）に移動可能である。駆動機構６３は、例えば、一対のプーリ６３１ａ，６３１ｂと、無端状のベルト６３２と、駆動モータ６３３とを含んでいる。

一対のプーリ６３１ａ，６３１ｂは、例えば、ガイドレール６１ａ，６１ｂの間に配置されている。プーリ６３１ａ，６３１ｂのそれぞれは、例えば、ガイドレール６１ａ，６１ｂの両端近傍に対応する位置に、Ｙ軸方向に延在するように設けられている。ベルト６３２は、例えば、プーリ６３１ａ，６３１ｂの間において巻回されている。このベルト６３２は、例えば、キャリッジ６２に連結されており、そのキャリッジ６２の上には、例えば、インクジェットヘッド４が載置されている。

搬送機構２ａ，２ｂおよび走査機構６を移動機構として利用することにより、記録紙Ｐおよびインクジェットヘッド４のそれぞれは、相対的に移動可能である。

＜１−２．ノズルプレート、アクチュエータプレートおよびカバープレートのそれぞれの詳細な構成＞
次に、ノズルプレート４１、アクチュエータプレート４２およびカバープレート４３のそれぞれの詳細な構成に関して説明する。

図４は、図２に示したノズルプレート４１、アクチュエータプレート４２およびカバープレート４３のそれぞれの斜視構成を表している。ただし、図４では、ノズルプレート４１、アクチュエータプレート４２およびカバープレート４３が互いに離間された状態を示している。

図５は、図４に示したアクチュエータプレート４２の平面構成を表していると共に、図６は、図５に示したＡ−Ａ線に沿ったノズルプレート４１、アクチュエータプレート４２およびカバープレート４３のそれぞれの断面構成を表している。

ただし、図５では、ノズル列４１１，４１２（複数のノズル孔Ｈ１，Ｈ２）を破線で示している。

［ノズルプレート］
ノズルプレート４１は、主に、後述するインク９の噴射口である複数のノズル孔Ｈが設けられたプレートである。

このノズルプレート４１は、アクチュエータプレート４２に取り付けられており、複数のチャネルＣ（後述する噴射チャネルＣ１ｅ，Ｃ２ｅ）に対応する位置に複数のノズル孔Ｈを有している。

また、ノズルプレート４１は、例えば、絶縁性材料のうちのいずれか１種類または２種類以上を含んでいる。絶縁性材料の種類は、特に限定されないが、例えば、ポリイミドなどの高分子材料である。なお、ノズルプレート４１は、例えば、絶縁性材料の代わりに導電性材料のうちのいずれか１種類または２種類以上を含んでいてもよい。導電性材料の種類は、特に限定されないが、例えば、ステンレス鋼（ＳＵＳ）などの金属材料である。ステンレス鋼の種類は、特に限定されないが、例えば、ＳＵＳ３１６ＬおよびＳＵＳ３０４などである。

具体的には、ノズルプレート４１は、例えば、図４〜図６に示したように、Ｙ軸方向において所定の間隔を隔てながら配列された複数のノズル列４１０を有している。各ノズル列４１０は、例えば、Ｘ軸方向に延在しており、複数のノズル孔Ｈを含んでいる。ノズル孔Ｈの開口形状（Ｚ軸方向から見たノズル孔Ｈの形状）は、例えば、円形である。

ここでは、ノズルプレート４１は、例えば、２列のノズル列４１０（４１１，４１２）を有している。このため、インクジェットヘッド４は、例えば、いわゆる２列タイプのインクジェットヘッドでる。

ノズル列４１１は、例えば、Ｘ軸方向において所定の間隔を隔てながら配列された複数のノズル孔Ｈ１を含んでいる。各ノズル孔Ｈ１は、ノズルプレート４１を貫通するようにＺ軸方向に延在しており、後述するアクチュエータプレート４２のうちの噴射チャネルＣ１ｅに連通されている。また、各ノズル孔Ｈ１は、Ｙ軸方向に延在する噴射チャネルＣ１ｅのうちの略中央領域に対応する位置に配置されている。Ｘ軸方向における複数のノズル孔Ｈ１のピッチ（互いに隣り合う２個のノズル孔Ｈ１の間の距離）は、例えば、Ｘ軸方向における噴射チャネルＣ１ｅのピッチ（互いに隣り合う２個の噴射チャネルＣ１ｅの間の距離）と同様である。これにより、各噴射チャネルＣ１ｅから供給されるインク９は、各ノズル孔Ｈ１から噴射される。

ノズル列４１２は、例えば、上記したノズル列４１１と同様の構成を有している。すなわち、ノズル列４１２は、例えば、Ｘ軸方向において所定の間隔を隔てながら配列された複数のノズル孔Ｈ２を含んでいる。各ノズル孔Ｈ２は、ノズルプレート４１を貫通しており、後述するアクチュエータプレート４２のうちの噴射チャネルＣ２ｅに連通されている。また、各ノズル孔Ｈ２は、Ｙ軸方向に延在する噴射チャネルＣ２ｅのうちの略中央領域に対応する位置に配置されている。Ｘ軸方向における複数のノズル孔Ｈ２のピッチ（互いに隣り合う２個のノズル孔Ｈの間の距離）は、例えば、Ｘ軸方向における複数の噴射チャネルＣ２ｅのピッチ（互いに隣り合う２個の噴射チャネルＣ２ｅの間の距離）と同様である。これにより、各噴射チャネルＣ２ｅから供給されるインク９は、各ノズル孔Ｈ２から噴射される。

ノズル孔Ｈ１，Ｈ２のそれぞれからインク９が噴射される方向は、上記したように、複数のチャネルＣの延在方向（Ｙ軸方向）と交差する方向（Ｚ軸方向）である。より具体的には、インク９の噴射方向は、アクチュエータプレート４２からノズルプレート４１に向かう方向（図４中の下方向）である。ノズル孔Ｈ１，Ｈ２のそれぞれの内径は、例えば、噴射方向に向かって次第に小さくなっている。すなわち、ノズル孔Ｈ１，Ｈ２のそれぞれは、例えば、テーパ状の貫通口である。

［アクチュエータプレート］
アクチュエータプレート４２は、主に、複数のノズル孔Ｈからインク９を噴射させるために電気的に動作するプレートである。

このアクチュエータプレート４２は、上記したように、Ｙ軸方向に延在する複数のチャネルＣを有している。チャネルＣの開口形状（Ｚ軸方向から見たチャネルＣの形状）は、例えば、矩形である。各チャネルＣにインク９が収容されることにより、そのインク９が各ノズル孔Ｈのそれぞれから噴射される。

また、アクチュエータプレート４２は、例えば、圧電材料のうちのいずれか１種類または２種類以上を含んでいる。圧電材料の種類は、特に限定されないが、例えば、チタン酸ジルコン酸鉛（ＰＺＴ）などである。このアクチュエータプレート４２は、例えば、Ｚ軸方向における分極方向が互いに異なる方向となるように設定されている２枚の圧電基板が積層された積層体である。

具体的には、アクチュエータプレート４２は、例えば、図４〜図６に示したように、Ｙ軸方向において所定の間隔を隔てながら配列された複数のチャネル列４２０を有している。各チャネル列４２０は、例えば、Ｘ軸方向に延在しており、複数のチャネルＣを含んでいる。ここでは、アクチュエータプレート４２は、例えば、２列のチャネル列４２０（４２１，４２２）を有している。

このアクチュエータプレート４２では、例えば、Ｘ軸方向における略中央領域（チャネル列４２１，４２２が形成されている領域）にインク９の噴射領域Ａ１が設けられていると共に、そのＸ軸方向における両端領域（チャネル列４２１，４２２が形成されていない領域）にインク９の非噴射領域Ａ２が設けられている。すなわち、非噴射領域Ａ２は、Ｘ軸方向において噴射領域Ａ１よりも外側に配置されている。なお、Ｙ軸方向におけるアクチュエータプレート４２のうちの両端部は、いわゆる尾部４２Ｚである。

チャネル列４２１は、例えば、Ｙ軸方向に延在する複数のチャネルＣ１を含んでいる。複数のチャネルＣ１は、例えば、Ｘ軸方向において所定の間隔を隔てながら配列されている。各チャネルＣ１は、例えば、圧電体を含む駆動壁Ｗｄにより画定されている。

チャネル列４２２は、例えば、上記したチャネル列４２１と同様の構成を有している。すなわち、チャネル列４２２は、例えば、Ｙ軸方向に延在する複数のチャネルＣ２を含んでいる。複数のチャネルＣ２は、例えば、Ｘ軸方向において所定の間隔を隔てながら配列されている。各チャネルＣ２は、例えば、圧電体を含む駆動壁Ｗｄにより画定されている。

複数のチャネルＣ１は、例えば、インク９を噴射させる噴射チャネルＣ１ｅと、インク９を噴射させないダミーチャネルＣ１ｄとを含んでいる。チャネル列４２１において、噴射チャネルＣ１ｅおよびダミーチャネルＣ１ｄは、例えば、Ｘ軸方向において交互に配置されている。各噴射チャネルＣ１ｅは、ノズルプレート４１に設けられた各ノズル孔Ｈ１に連通されている。これに対して、各ダミーチャネルＣ１ｄは、各ノズル孔Ｈ１に連通されておらずに、ノズルプレート４１により遮蔽されている。

複数のチャネルＣ２は、例えば、上記した複数のチャネルＣ１と同様の構成を有している。すなわち、複数のチャネルＣ２は、例えば、インク９を噴射させる噴射チャネルＣ２ｅと、インク９を噴射させないダミーチャネルＣ２ｄとを含んでいる。チャネル列４２２において、噴射チャネルＣ２ｅおよびダミーチャネルＣ２ｄは、例えば、Ｘ軸方向において交互に配置されている。各噴射チャネルＣ２ｅは、ノズルプレート４１に設けられた各ノズル孔Ｈ２に連通されている。これに対して、各ダミーチャネルＣ２ｄは、各ノズル孔Ｈ２に連通されておらずに、ノズルプレート４１により遮蔽されている。

噴射チャネルＣ１ｅおよびダミーチャネルＣ１ｄと、噴射チャネルＣ２ｅおよびダミーチャネルＣ２ｄとは、例えば、互い違いとなるように配列されている。すなわち、噴射チャネルＣ１ｅ，Ｃ２ｅは、例えば、千鳥配列されている。なお、アクチュエータプレート４２のうち、ダミーチャネルＣ１ｄ，Ｃ２ｄのそれぞれに対応する領域には、例えば、浅溝部Ｄｄが設けられている。この浅溝部Ｄｄは、例えば、Ｙ軸方向に延在するダミーチャネルＣ１ｄ，Ｃ２ｄのそれぞれのうちの外側端部に連通されている。

このアクチュエータプレート４２では、例えば、駆動壁Ｗｄに対向する内側面に、Ｙ軸方向に延在する駆動電極Ｅｄが設けられている。この駆動電極Ｅｄは、例えば、噴射チャネルＣ１ｅ，Ｃ２ｅのそれぞれの内側面に設けられたコモン電極Ｅｄｃと、ダミーチャネルＣ１ｄ，Ｃ２ｄのそれぞれの内側面に設けられたアクティブ電極Ｅｄａとを含んでいる。なお、駆動電極Ｅｄ（コモン電極Ｅｄｃおよびアクティブ電極Ｅｄａ）は、例えば、Ｚ軸方向においてアクチュエータプレート４２（駆動壁Ｗｄ）の一端部から他端部まで延在している。このため、Ｚ軸方向における駆動電極Ｅｄの寸法（厚さ）は、例えば、Ｚ軸方向における駆動壁Ｗｄの厚さとほぼ等しくなっている。

１個の噴射チャネルＣ１ｅ（または噴射チャネルＣ２ｅ）の内部において互いに対向する一対のコモン電極Ｅｄｃは、例えば、コモン端子を介して互いに電気的に接続されている。１個のダミーチャネルＣ１ｄ（またはダミーチャネルＣ２ｄ）の内部において互いに対向する一対のアクティブ電極Ｅｄａは、例えば、互いに電気的に分離されている。噴射チャネルＣ１ｅ（または噴射チャネルＣ２ｅ）を介して互いに対向する一対のアクティブ電極Ｅｄａは、例えば、アクティブ端子を介して互いに電気的に接続されている。

尾部４２Ｚには、例えば、駆動電極Ｅｄとインクジェットヘッド４とを互いに電気的に接続させるフレキシブルプリント基板４５が実装されている。ただし、図４では、フレキシブルプリント基板４５の一部の外縁（輪郭）を破線で示している。このフレキシブルプリント基板４５に形成されている配線は、例えば、上記したコモン端子およびアクティブ端子のそれぞれに電気的に接続されている。これにより、フレキシブルプリント基板４５を介してインクジェットヘッド４から各駆動電極Ｅｄに駆動電圧が印加される。

［カバープレート］
カバープレート４３は、主に、アクチュエータプレート４２（複数のチャネルＣ）にインク９を導入すると共に、そのアクチュエータプレート４２からインク９を排出させるプレートである。

このカバープレート４３は、例えば、アクチュエータプレート４２の形成材料と同様の材料を含んでいる。

具体的には、カバープレート４３は、例えば、図４〜図６に示したように、アクチュエータプレート４２に設けられた複数のチャネルＣ１，Ｃ２（複数のチャネル列４２１，４２２）を遮蔽するように配置されている。

このカバープレート４３は、例えば、一対の入口側共通インク室４３１ａ，４３２ａと、一対の出口側共通インク室４３１ｂ，４３２ｂとを有している。入口側共通インク室４３１ａおよび出口側共通インク室４３１ｂのそれぞれは、例えば、アクチュエータプレート４２に設けられた複数のチャネル列４２１（複数のチャネルＣ１）に対応する領域に配置されている。入口側共通インク室４３２ａおよび出口側共通インク室４３２ｂのそれぞれは、例えば、アクチュエータプレート４２に設けられた複数のチャネル列４２２（複数のチャネルＣ２）に対応する領域に配置されている。

入口側共通インク室４３１ａは、Ｙ軸方向に延在する各チャネルＣ１のうちの一端部（内側端部）に対応する位置に設けられている。入口側共通インク室４３１ａのうち、各噴射チャネルＣ１ｅに対応する領域には、例えば、供給スリットＳａが形成されている。また、入口側共通インク室４３２ａは、Ｙ軸方向に延在する各チャネルＣ２のうちの一端部（内側端部）に対応する位置に設けられている。入口側共通インク室４３２ａのうち、各噴射チャネルＣ２ｅに対応する領域には、例えば、上記した入口共通インク室４３１ａと同様に、供給スリットＳａが形成されている。

出口側共通インク室４３１ｂは、Ｙ軸方向に延在する各チャネルＣ１のうちの他端部（外側端部）に対応する位置に設けられている。出口側共通インク室４３１ｂのうち、各噴射チャネルＣ１ｅに対応する領域には、例えば、排出スリットＳｂが形成されている。また、出口側共通インク室４３２ｂは、Ｙ軸方向に延在する各チャネルＣ２のうちの他端部（外側端部）に対応する位置に設けられている。出口側共通インク室４３２ｂのうち、各噴射チャネルＣ２ｅに対応する領域には、例えば、上記した出口側共通インク室４３１ｂと同様に、排出スリットＳｂが形成されている。

入口側共通インク室４３１ａおよび出口側共通インク室４３１ｂのそれぞれは、供給スリットＳａおよび排出スリットＳｂを介して各噴射チャネルＣ１ｅに連通されているのに対して、各ダミーチャネルＣ１ｄに連通されていない。すなわち、各ダミーチャネルＣ１ｄは、入口側共通インク室４３１ａおよび出口側共通インク室４３１ｂにより遮蔽されている。

入口側共通インク室４３２ａおよび出口側共通インク室４３２ｂのそれぞれは、供給スリットＳａおよび排出スリットＳｂを介して各噴射チャネルＣ２ｅに連通されているのに対して、各ダミーチャネルＣ２ｄに連通されていない。すなわち、各ダミーチャネルＣ２ｄは、入口側共通インク室４３２ａおよび出口側共通インク室４３２ｂにより遮蔽されている。

＜１−３．流路プレートの詳細な構成＞
次に、流路プレート４４の詳細な構成に関して説明する。

［流路プレートの物性］
流路プレート４４は、ヘッドチップ４００よりも高い剛性を有している。ここで説明する「剛性」とは、外力（流路プレート４４に外部から供給される力）に応じて曲がりにくい性質である。

流路プレート４４およびヘッドチップ４００のそれぞれの剛性は、例えば、形成材料自体の剛性および形状などに基づいて決定される。この「形状」とは、立体的形状を決定する各種パラメータであり、例えば、厚さ、貫通部（例えば、穴およびスリットなど）の有無、その貫通部の数、非貫通部（例えば、溝など）の有無およびその非貫通部の数などである。

流路プレート４４がヘッドチップ４００よりも高い剛性を有しているのは、その流路プレート４４に対して沿うようにヘッドチップ４００が固定されているため、その流路プレート４４の高い剛性を利用して、ヘッドチップ４００が外力を受けても反りにくくなるからである。これにより、ヘッドチップ４００の平坦性が維持されやすくなるため、複数のノズル孔Ｈから噴射されるインク９の噴射特性（インク９の噴射方向に関する直進性）が向上する。

なお、ヘッドチップ４００に外力が供給される要因としては、インクジェットヘッド４の製造工程などに起因する多様な要因が考えられる。具体的には、第１に、例えば、接着剤を介してヘッドチップ４００と流路プレート４４とを互いに貼り合わせる工程において、その接着剤を高温で加熱する場合である。この場合には、特に、ヘッドチップ４００の線膨張係数と流路プレート４４の線膨張係数との差違が大きいほど、そのヘッドチップ４００に供給される外力が大きくなる。第２に、例えば、ヘッドチップ４００にフレキシブルプリント基板４５を圧着させる場合である。第３に、例えば、アクチュエータプレート４２の形成工程において、チャネルＣを形成する場合である。

特に、流路プレート４４は、ヘッドチップ４００のヤング率よりも大きいヤング率を有していることが好ましい。流路プレート４４がヘッドチップ４００のヤング率よりも大きいヤング率を有していると、そのヘッドチップ４００が安定して反りにくくなるため、インク９の噴射特性が安定化するからである。

また、流路プレート４４は、ヘッドチップ４００の線膨張率以下の線膨張率を有していることが好ましい。すなわち、流路プレート４４は、ヘッドチップ４００の線膨張率と同等の線膨張率を有しているか、またはヘッドチップ４００の線膨張率よりも小さい線膨張率を有していることが好ましい。流路プレート４４がヘッドチップ４００の線膨張率以下の線膨張率を有していると、ヘッドチップ４００および流路プレート４４のそれぞれが加熱された際に、その流路プレート４４の熱変形に起因してヘッドチップ４００が流路プレート４４と一緒に変形することが抑制されるからである。これにより、ヘッドチップ４００が安定して反りにくくなるため、インク９の噴射特性が安定化する。

ここで、流路プレート４４のヤング率は、ヘッドチップ４００の材質（形成材料）に応じて任意に設定可能である。具体的には、例えば、ヘッドチップ４００がチタン酸ジルコン酸鉛（ＰＺＴ）を含んでいる場合には、流路プレート４４のヤング率は６０ＧＰａ以上であることが好ましい。流路プレート４４のヤング率が６０ＧＰａ以上であると、ヘッドチップ４００がチタン酸ジルコン酸鉛を含んでいる場合において、流路プレート４４の剛性（ヤング率）を利用してヘッドチップ４００が十分に反りにくくなるため、優れたインク９の噴射特性が得られるからである。

また、流路プレート４４の線膨張係数は、ヘッドチップ４００の材質に応じて任意に設定可能である。具体的には、例えば、ヘッドチップ４００がチタン酸ジルコン酸鉛を含んでいる場合には、流路プレート４４の線膨張係数は１０×１０^-6／℃以下であることが好ましい。流路プレート４４の線膨張係数が１０×１０^-6／℃以下であると、ヘッドチップ４００がチタン酸ジルコン酸鉛を含んでいる場合において、流路プレート４４の剛性（線膨張係数）を利用してヘッドチップ４００が十分に反りにくくなるため、優れたインク９の噴射特性が得られるからである。

この流路プレート４４は、例えば、上記したヤング率および線膨張係数を担保するために、高剛性材料のうちのいずれか１種類または２種類以上を含んでいる。この「高剛性材料」とは、高い剛性を有する材料の総称である。高剛性材料の種類は、特に限定されないが、例えば、ホウ珪酸ガラス、石英ガラス、酸化アルミニウムおよび熱硬化樹脂などである。流路プレート４４が高剛性材料を含んでいると、ヘッドチップ４００がチタン酸ジルコン酸鉛を含んでいる場合において、そのヘッドチップ４００がより反りにくくなるため、優れた噴射特性が得られるからである。

なお、流路プレート４４の誘電率は、特に限定されない。中でも、流路プレート４４の誘電率は、十分に小さいことが好ましく、より具体的には、５Ｆ／ｍ以下であることが好ましい。流路プレート４４の誘電率が５Ｆ／ｍ以下であると、その流路プレート４４の物性（誘電率）に起因する静電容量ノイズが発生しにくくなるため、インク９の噴射特性がより向上するからである。

ここで、上記した一連の高剛性材料の物性は、例えば、以下の通りである。ホウ珪酸ガラスでは、ヤング率＝約６４ＧＰａ、線膨張率＝約３．３×１０^-6／℃、誘電率＝約４Ｆ／ｍである。石英ガラスでは、ヤング率＝約７２ＧＰａ、線膨張率＝約０．５５×１０^-6／℃、誘電率＝約３．７５Ｆ／ｍである。酸化アルミニウムでは、ヤング率＝約３６０ＧＰａ、線膨張率＝約６×１０^-6／℃、誘電率＝約９．５Ｆ／ｍである。

また、流路プレート４４の厚さは、特に限定されない。中でも、流路プレート４４の厚さは、ヘッドチップ４００の厚さよりも大きいことが好ましく、より具体的には、２ｍｍ以上であることが好ましい。流路プレート４４の厚さが２ｍｍ以上であると、その流路プレート４４の剛性が高くなるからである。

［流路プレートの構成］
図７は、図２に示した流路プレート４４の平面構成を表している。

ただし、図７では、ノズルプレート４１と流路プレート４４との位置関係を分かりやすくするために、複数のノズルＨ（Ｈ１，Ｈ２）、複数のノズル列４１０（４１１，４１２）、複数のチャネルＣ（Ｃ１，Ｃ２）および複数のチャネル列４２０（４２１，４２２）を破線で示している。

流路プレート４４は、例えば、図７に示したように、複数のチャネルＣに供給されるインク９の流路４４０を有している。この流路４４０は、インク９を通過させるための貫通溝であり、各チャネル列４２１，４２２の延在方向と同様の方向（Ｘ軸方向）に延在している。

特に、流路４４０は、例えば、インク９を通過させる複数の導入流路４４１および複数の排出流路４４２を有している。具体的には、流路４４０は、例えば、チャネル列４２１に対応する位置に設けられた導入流路４４１ａおよび排出流路４４２ａと、チャネル列４２２に対応する位置に設けられた導入流路４４１ｂおよび排出流路４４２ｂとを含んでいる。流路４４０が複数の導入流路４４１および複数の排出流路４４２を有していると、チャネル列４２１に含まれている複数のチャネルＣ１においてインク９の噴射に起因して圧力波が発生しても、その圧力波がチャネル列４２２に含まれている複数のチャネルＣ２に及びにくくなるため、複数のノズル孔Ｈからインク９が安定に噴射されるからである。また、流路４４０が複数の導入流路４４１および複数の排出流路４４２を有していると、その流路４４０が１個の導入流路４４１および１個の排出流路４４２を有している場合と比較して、流路４４０におけるインク９の総流量（循環量）が大きくなるため、高粘度のインク９も十分かつ安定に循環されるからである。

導入流路４４１ａおよび排出流路４４２ａは、ノズル列４１１およびチャネル列４２１のそれぞれと重なるように配置されている。導入流路４４１ａは、複数のチャネルＣ１にインク９を導入する導入口であると共に、排出流路４４２ａは、複数のチャネルＣ１からインク９を排出させる排出口である。すなわち、インク９は、導入流路４４１ａを経由して複数のチャネルＣ１に導入されたのち、その複数のチャネルＣ１から排出流路４４２ａを経由して排出される。

ノズル列４１１は、導入流路４４１ａと排出流路４４２ａとの間に配置されているため、導入流路４４１ａと排出流路４４２ａとは、Ｙ軸方向においてノズル列４１１を介して互いに離間されている。導入流路４４１ａは、例えば、Ｙ軸方向において排出流路４４２ａよりも内側に配置されている。

導入流路４４１ｂおよび排出流路４４２ｂは、ノズル列４１２およびチャネル列４２２のそれぞれと重なるように配置されている。導入流路４４１ｂは、複数のチャネルＣ２にインク９を導入する導入口であると共に、排出流路４４２ｂは、複数のチャネルＣ２からインク９を排出させる排出口である。すなわち、インク９は、導入流路４４１ｂを経由して複数のチャネルＣ２に導入されたのち、その複数のチャネルＣ２から排出流路４４２ｂを経由して排出される。

ノズル列４１２は、導入流路４４１ｂと排出流路４４２ｂとの間に配置されているため、導入流路４４１ｂと排出流路４４２ｂとは、Ｙ軸方向においてノズル列４１２を介して互いに離間されている。導入流路４４１ｂは、例えば、Ｙ軸方向において排出流路４４２ｂよりも内側に配置されている。

＜１−４．動作＞
次に、プリンタ１の動作に関して説明する。

［プリンタの動作］
まず、プリンタ１全体の動作を説明する。このプリンタ１では、以下の手順により、記録紙Ｐに画像などが記録される。

初期状態では、４個のインクタンク３（３Ｙ，３Ｍ，３Ｃ，３Ｂ）に、互いに異なる４色（イエロー、マゼンタ、シアンおよびブラック）のインク９が収容されている。このインク９は、循環機構５において循環されることにより、インクジェットヘッド４に供給されている。

プリンタ１が稼働すると、搬送機構２ａ，２ｂのそれぞれのグリッドローラ２１が回転するため、グリッドローラ２１およびピンチローラ２２により記録紙Ｐが搬送方向Ｄに搬送される。この場合には、駆動機構６３（駆動モータ６３３）が駆動するため、プーリ６３１ａ，６３１ｂのそれぞれが回転することにより、ベルト６３２が作動する。また、キャリッジ６２がガイドレール６１ａ，６１ｂを利用してＹ軸方向に往復移動する。これにより、４個のインクジェットヘッド４（４Ｙ，４Ｍ，４Ｃ，４Ｂ）から記録紙Ｐに４色のインク９が噴射されるため、その記録紙Ｐに画像などが記録される。

［インクジェットヘッドの動作］
次に、プリンタ１の稼働時におけるインクジェットヘッド４の動作に関して説明する。このインクジェットヘッド４では、以下の手順により、せん断（シェア）モードを用いて記録紙Ｐにインク９が噴射される。

最初に、キャリッジ６２が往復移動すると、フレキシブルプリント基板４５を介して、インクジェットヘッド４のうちの駆動電極Ｅｄ（コモン電極Ｅｄｃおよびアクティブ電極Ｅｄａ）に駆動電圧が印加される。具体的には、噴射チャネルＣ１ｅ，Ｃ２ｅのそれぞれを画定する一対の駆動壁Ｗｄに設けられた各駆動電極Ｅｄに駆動電圧が印加される。これにより、一対の駆動壁Ｗｄのそれぞれは、噴射チャネルＣ１ｅ，Ｃ２ｅのそれぞれに隣接されたダミーチャネルＣ１ｄ，Ｃ２ｄに向かって突出するように変形する。

ここで、上記したように、アクチュエータプレート４２では、Ｚ軸方向における分極方向が互いに異なる方向となるように設定された２枚の圧電基板が積層されていると共に、そのＺ軸方向において駆動電極Ｅｄが駆動壁Ｗｄの一端部から他端部まで延在している。この場合には、駆動電極Ｅｄに駆動電圧が印加されることにより、圧電厚み滑り効果によって、Ｚ軸方向における駆動壁Ｗｄの略中間位置を起点として、その駆動壁Ｗｄが屈曲変形する。これにより、噴射チャネルＣ１ｅ，Ｃ２ｅのそれぞれは、上記した駆動壁Ｗｄの屈曲変形を利用して、あたかも膨らむように変形する。

一方、上記したように、カバープレート４３および流路プレート４４では、インク９が導入流路４４１ａから排出流路４４２ａに向かって流れる際に、そのインク９が入口側共通インク室４３１ａに供給されるため、その入口側共通インク室４３１ａにインク９が貯留されている。また、インク９が導入流路４４１ｂから排出流路４４２ｂに向かって流れる際に、そのインク９が入口側共通インク室４３２ａに供給されるため、その入口側共通インク室４３２ａにインク９が貯留されている。

上記した圧電厚み滑り効果に基づく一対の駆動壁Ｗｄの屈曲変形を利用して、噴射チャネルＣ１ｅ，Ｃ２ｅのそれぞれの容積が増大する。これにより、入口側共通インク室４３１ａ，４３２ａのそれぞれに貯留されたインク９は、噴射チャネルＣ１ｅ，Ｃ２ｅのそれぞれの内部に誘導される。

続いて、噴射チャネルＣ１ｅ，Ｃ２ｅのそれぞれの内部に誘導されたインク９は、圧力波として噴射チャネルＣ１ｅ，Ｃ２ｅのそれぞれの内部に伝播する。この場合には、ノズルプレート４１に設けられたノズル孔Ｈ１，Ｈ２に圧力波が到達したタイミングにおいて、駆動電極Ｅｄに印加される駆動電圧がゼロ（０Ｖ）になる。これにより、屈曲変形した駆動壁Ｗｄが元の状態に戻るため、噴射チャネルＣ１ｅ，Ｃ２ｅのそれぞれの容積が元に戻る。

最後に、噴射チャネルＣ１ｅ，Ｃ２ｅのそれぞれの容積が元に戻ると、噴射チャネルＣ１ｅ，Ｃ２ｅのそれぞれの内部において圧力が増加するため、噴射チャネルＣ１ｅ，Ｃ２ｅの内部に誘導されたインク９が加圧される。これにより、ノズル孔Ｈ１，Ｈ２から外部（記録紙Ｐ）に液滴状のインク９が噴射される。

この場合には、例えば、上記したように、ノズル孔Ｈ１，Ｈ２のそれぞれの内径が噴射方向に向かって次第に小さくなっているため、インク９の噴射速度が増加すると共に、そのインク９の直進性が向上する。これにより、記録紙Ｐに記録される画像などの品質が向上する。

＜１−５．作用および効果＞
最後に、インクジェットヘッド４を備えたプリンタ１の作用および効果に関して説明する。

［主要な作用および効果］
このプリンタ１では、インクジェットヘッド４において、流路プレート４４がヘッドチップ４００よりも高い剛性を有しており、その流路プレート４４がヘッドチップ４００に沿うように固定されている。よって、以下で説明する理由により、優れた噴射特性を有するインクジェットヘッド４を備えたプリンタ１を安定に製造することができる。

図８は、比較例のプリンタ（インクジェットヘッド１０４）の構成および問題点を説明するために、図２に対応する平面構成を示している。図９は、本実施形態のプリンタ１（インクジェットヘッド４）の利点を説明するために、図２に対応する平面構成を示している。ただし、図８および図９のそれぞれでは、インクジェットヘッド４００の図示を簡略化していると共に、記録紙Ｐを併せて示している。

比較例のインクジェットヘッド１０４は、流路プレート４４の代わりに流路プレート１４４を備えていることを除いて、本実施形態のインクジェットヘッド４と同様の構成を有している。この流路プレート１４４は、ヘッドチップ４００よりも低い剛性を有していることを除いて、流路プレート４４と同様の構成を有している。

比較例のプリンタでは、インクジェットヘッド１０４の製造工程において、上記した外力がヘッドチップ４００に供給されると、図８に示したように、そのヘッドチップ４００が流路プレート１４４と一緒に変形しやすくなる。具体的には、ヘッドチップ４００および流路プレート１４４のそれぞれは、例えば、Ｘ軸方向における中央部分が記録紙Ｐに近づくように反るため、そのヘッドチップ４００の平坦性が維持されにくくなる。ただし、ここでは具体的に図示していないが、ヘッドチップ４００および流路プレート１４４のそれぞれは、Ｘ軸方向における中央部分が記録紙Ｐから遠ざかるように反る場合もある。

ヘッドチップ４００が反ると、インクジェットヘッド１０４の完成後において、インク９の噴射方向に関して偏向が発生することに起因して、そのインク９の直進性が低下するため、記録紙Ｐに対するインク９の噴射位置が所望の位置からずれやすくなる。よって、インク９の噴射特性を向上させることが困難であると共に、インクジェットヘッド１０４の製造歩留まりが低下するため、優れた噴射特性を有するインクジェットヘッド１０４を備えたプリンタを安定に製造することが困難である。この場合には、特に、インク９の噴射特性が不十分であるため、上記した噴射位置のずれなどに起因して、プリンタを用いて形成される画像の品質が低下しやすくなる。

なお、支持体であるベースによりヘッドチップ４００が支持されている場合には、そのベースと流路プレート１４４との間にヘッドチップ４００を挟み込むことにより、そのヘッドチップ４００の反りを矯正することが考えられる。この場合には、ベースを利用して流路プレート１４４にヘッドチップ４００を押し当てることにより、そのヘッドチップ４００を強制的に変形しにくくする。

しかしながら、ベースを利用してヘッドチップ４００の反りを矯正する場合には、上記したヘッドチップ４００に対するベースの押し当て力に起因して、そのヘッドチップ４００の内部に不要な応力が残存しやすくなる。この場合には、温度変化などに起因してヘッドチップ４００にクラックが発生しやすくなるため、そのヘッドチップ４００が破損しやすくなる。よって、不要な応力に起因してヘッドチップ４００が破損しやすくなる観点においても、優れた噴射特性を有するインクジェットヘッド１０４を備えたプリンタを製造することが困難である。

これに対して、本実施形態のインクジェットヘッド４では、上記したように、高い剛性を有する流路プレート４４がヘッドチップ４００に沿うように固定されている。この場合には、インクジェットヘッド４の製造工程において、外力がヘッドチップ４００に供給されても、図９に示したように、そのヘッドチップ４００が流路プレート４４と一緒に変形しにくくなる。具体的には、ヘッドチップ４００および流路プレート４４のそれぞれが反りにくくなるため、そのヘッドチップ４００の平坦性が維持されやすくなる。

これにより、インクジェットヘッド４の完成後において、インク９の噴射方向に関して偏向が発生しにくくなることにより、そのインク９の直進性が向上するため、記録紙Ｐに対するインク９の噴射位置が所望の位置に合致しやすくなる。よって、インク９の噴射特性が向上すると共に、インクジェットヘッド４の製造歩留まりも向上するため、優れた噴射特性を有するインクジェットヘッド４を備えたプリンタ１を安定に製造することができる。この場合には、特に、インク９の噴射特性が向上するため、プリンタ１を用いて形成される画像の品質も向上する。

この場合には、ベースの押し当て力を利用せずにヘッドチップ４００が反りにくくなることにより、そのヘッドチップ４００の内部に不要な応力が残存しにくくなるため、そのヘッドチップ４００にクラックが発生しにくくなる。よって、ヘッドチップ４００が破損しにくくなる観点においても、優れた噴射特性を有するインクジェットヘッド１０４を安定に製造することができる。

［他の作用および効果］
特に、本実施形態のプリンタ１では、流路プレート４４がヘッドチップ４００のヤング率よりも大きいヤング率を有していれば、そのヘッドチップ４００が安定して反りにくくなるため、より高い効果を得ることができる。

また、流路プレート４４がヘッドチップ４００の線膨張率以下の線膨張率を有していれば、ヘッドチップ４００および流路プレート４４のそれぞれが加熱された際に、そのヘッドチップ４００が安定して反りにくくなるため、より高い効果を得ることができる。

また、ヘッドチップ４００がチタン酸ジルコン酸鉛を含んでいると共に、流路プレート４４のヤング率が６０ＧＰａ以上であれば、ヘッドチップ４００がチタン酸ジルコン酸鉛を含んでいる場合において、そのヘッドチップ４００が流路プレート４４の剛性（ヤング率）を利用して十分に反りにくくなるため、より高い効果を得ることができる。

また、ヘッドチップ４００がチタン酸ジルコン酸鉛を含んでいると共に、流路プレート４４の線膨張係数が１０×１０^-6／℃以下であれば、ヘッドチップ４００がチタン酸ジルコン酸鉛を含んでいる場合において、そのヘッドチップ４００が流路プレート４４の剛性（線膨張係数）を利用して十分に反りにくくなるため、より高い効果を得ることができる。

また、流路プレート４４が高剛性材料としてホウ珪酸ガラスなどを含んでいれば、ヘッドチップ４００がチタン酸ジルコン酸鉛を含んでいる場合において、そのヘッドチップ４００がより反りにくくなるため、より高い効果を得ることができる。

また、流路プレート４４の誘電率が５Ｆ／ｍ以下であれば、流路プレート４４の物性（誘電率）に起因する静電容量ノイズが発生しにくくなることにより、インク９の噴射特性がより向上するため、より高い効果を得ることができる。

また、アクチュエータプレート４２がチャネル列４２１，４２２を有しており、流路プレート４４（流路４４０）がチャネル列４２１に対応する導入流路４４１ａおよび排出流路４４２ａとチャネル列４２２に対応する導入流路４４１ｂおよび排出流路４４２ｂとを含んでいれば、チャネル列４２１（複数のチャネルＣ１）においてインク９の噴射に起因する圧力波が発生しても、その圧力波がチャネル列４２２（複数のチャネルＣ２）に及びにくくなる。よって、複数のノズル孔Ｈからインク９が安定に噴射されるため、より高い効果を得ることができる。

なお、上記したプリンタ１に関する作用および効果は、インクジェットヘッド４に関しても同様に得られる。

＜２．変形例＞
上記したプリンタ１（インクジェットヘッド４）の構成に関しては、適宜、変更可能である。なお、以下で説明する一連の変形例に関しては、任意の２種類以上が互いに組み合わされてもよい。

［変形例１］
ノズルプレート４１に設けられるノズル列４１０の列数は、２列に限られず、任意に変更可能であると共に、アクチュエータプレート４２に設けられるチャネル列４２０の列数は、２列に限られず、任意に変更可能である。この場合には、ノズル列４１０の列数およびチャネル列４２０の列数のそれぞれに応じて、流路プレート４４に設けられる導入流路４４１および排出流路４４２のそれぞれの数も変更可能である。

具体的には、例えば、図７に対応する図１０に示したように、ノズル列４１０の列数を４列にすることにより、導入流路４４１および排出流路４４２のそれぞれの数を４個にしてもよい。

すなわち、ノズルプレート４１は、例えば、４列のノズル列４１０（４１１，４１２，４１３，４１４）を有している。ノズル列４１１は、複数のノズル孔Ｈ（Ｈ１）を含んでおり、ノズル列４１２は、複数のノズル孔Ｈ（Ｈ２）を含んでおり、ノズル列４１３は、複数のノズル孔Ｈ（Ｈ３）を含んでおり、ノズル列４１４は、複数のノズル孔Ｈ（Ｈ４）を含んでいる。

アクチュエータプレート４２は、４列のチャネル列４２０（４２１，４２２，４２３，４２４）を有している。チャネル列４２１は、複数のチャネルＣ（Ｃ１）を含んでおり、チャネル列４２２は、複数のチャネルＣ（Ｃ２）を含んでおり、チャネル列４２３は、複数のチャネルＣ（Ｃ３）を含んでおり、チャネル列４２４は、複数のチャネルＣ（Ｃ４）を含んでいる。

流路４４０は、例えば、チャネル列４２１に対応する導入流路４４１ａおよび排出流路４４２ａと、チャネル列４２２に対応する導入流路４４１ｂおよび排出流路４４２ｂと、チャネル列４２３に対応する導入流路４４１ｃおよび排出流路４４２ｃと、チャネル列４２４に対応する導入流路４４１ｄおよび排出流路４４２ｄとを含んでいる。導入流路４４１ｃ，４４１ｄのそれぞれの機能および構成は、導入流路４４１ａ，４４１ｂのそれぞれの機能および構成と同様であると共に、排出流路４４２ｃ，４４２ｄのそれぞれの機能および構成は、排出流路４４２ａ，４４２ｂのそれぞれの機能および構成と同様である

インク９は、導入流路４４１ａを経由して複数のチャネルＣ１に導入されたのち、その複数のチャネルＣ１から排出流路４４２ａを経由して排出される。また、インク９は、導入流路４４１ｂを経由して複数のチャネルＣ２に導入されたのち、その複数のチャネルＣ２から排出流路４４２ｂを経由して排出される。また、インク９は、導入流路４４１ｃを経由して複数のチャネルＣ３に導入されたのち、その複数のチャネルＣ３から排出流路４４２ｃを経由して排出される。さらに、インク９は、導入流路４４１ｄを経由して複数のチャネルＣ４に導入されたのち、その複数のチャネルＣ４から排出流路４４２ｄを経由して排出される。

この場合においても、例えば、任意のチャネル列４２０（例えば、チャネル列４２１）においてインク９の噴射に起因して発生した圧力波が他のチャネル列４２０（例えば、チャネル列４２２，４２３，４２４）に及びにくくなるため、同様の効果を得ることができる。

もちろん、ノズル列４１０の列数およびチャネル列４２０の列数は、２列および４列に限られないため、３列でもよいし、５列以上でもよい。これに伴い、導入流路４４１および排出流路４４２のそれぞれの数は、２個および４個に限られないため、３個でもよいし、５個以上でもよい。

［変形例２］
この他、プリンタ１およびインクジェットヘッド４のそれぞれのタイプなどは、任意に変更可能である。また、プリンタ１およびインクジェットヘッド４のそれぞれの一連の構成要素に関する形状、配置および個数などは、任意に変更可能である。

具体的には、例えば、ノズル列４１１，４１２のそれぞれがＸ軸方向に延在する場合に関して説明したが、これに限られず、ノズル列４１１，４１２のそれぞれがＸ軸方向に対して傾いた方向に延在してもよいし、それ以外の方向に延在してもよい。なお、例えば、ノズル孔Ｈ１，Ｈ２のそれぞれの開口形状が円形である場合に関して説明したが、これに限られず、ノズル孔Ｈ１，Ｈ２のそれぞれの開口形状は、楕円形などの略円形でもよいし、三角形などの多角形でもよいし、それ以外の形状でもよい。

［変形例３］
また、例えば、プリンタ１に各種機構を追加してもよい。具体的には、例えば、図示しないワイピング機構などをプリンタ１に搭載させてもよい。このワイピング機構は、例えば、ノズル孔Ｈが設けられているノズルプレート４１の表面（ノズル面）に付着されたインク９を取り除く機能を有する機構である。

以上、一実施形態を挙げながら本開示に関して説明したが、本開示の態様は上記した一実施形態において説明された態様に限定されず、種々の変形が可能である。

具体的には、例えば、１個のインクジェットヘッドが１色のインクを噴射せずに、その１個のインクジェットヘッドが互いに異なる複数色（例えば、２色など）のインクを噴射してもよい。

また、例えば、インクジェットヘッドは、サイドシュートタイプのインクジェットヘッドに限られず、エッジシュートタイプのインクジェットプリンタでもよい。このエッジシュートタイプのインクジェットヘッドでは、アクチュエータプレートに設けられた各チャネルがＹ軸方向に延在しており、ノズルプレートに設けられた各ノズル孔からＹ軸方向にインクが噴射される。

また、例えば、インクジェットプリンタは、循環機構を用いたインク循環方式のインクジェットプリンタに限られず、その循環機構を用いないインク非循環方式のインクジェットプリンタでもよい。

また、例えば、本開示の液体噴射ヘッドおよび液体噴射記録装置のそれぞれが適用される用途は、インクジェットプリンタに限定されず、他の用途でよい。他の用途は、例えば、ファクシミリおよびオンデマンド印刷機などの他の装置でもよい。

なお、本明細書中に記載された効果はあくまで例示であって限定されるものではなく、また、他の効果があってもよい。

また、本開示は、以下のような構成を取ることも可能である。
（１）
液体が収容される複数のチャネルを有するアクチュエータプレートと、前記アクチュエータプレートに取り付けられると共に前記複数のチャネルに収容された前記液体が噴射される複数のノズル孔を有するノズルプレートと、を含むヘッドチップと、
前記ヘッドチップに沿うように固定され、前記複数のチャネルに供給される前記液体の流路を有すると共に、前記ヘッドチップよりも高い剛性を有する流路部材と
を備えた、液体噴射ヘッド。
（２）
前記流路部材は、前記ヘッドチップのヤング率よりも大きいヤング率を有する、
上記した（１）に記載の液体噴射ヘッド。
（３）
前記流路部材は、前記ヘッドチップの線膨張率以下の線膨張率を有する、
上記した（１）または（２）に記載の液体噴射ヘッド。
（４）
前記ヘッドチップは、チタン酸ジルコン酸鉛を含み、
前記流路部材のヤング率は、６０ＧＰａ以上である、
上記した（１）ないし（３）のいずれかに記載の液体噴射ヘッド。
（５）
前記ヘッドチップは、チタン酸ジルコン酸鉛を含み、
前記流路部材の線膨張率は、１０×１０^-6／℃以下である、
上記した（１）ないし（４）のいずれかに記載の液体噴射ヘッド。
（６）
前記流路部材は、ホウ珪酸ガラス、石英ガラス、酸化アルミニウムおよび熱硬化樹脂のうちの少なくとも１種を含む、
上記した（４）または（５）に記載の液体噴射ヘッド。
（７）
前記流路部材の誘電率は、５Ｆ／ｍ以下である、
上記した（１）ないし（６）のいずれかに記載の液体噴射ヘッド。
（８）
前前記アクチュエータプレートは、前記複数のチャネルが配列された複数のチャネル列を有し、
前記流路は、
前記複数のチャネル列のそれぞれに対応する位置に設けられ、前記複数のチャネル列のそれぞれに含まれる前記複数のチャネルに前記液体を導入する複数の導入流路と、
前記複数のチャネル列のそれぞれに対応する位置に設けられ、前記複数のチャネル列のそれぞれに含まれる前記複数のチャネルから前記液体を排出させる複数の排出流路と
を含む、上記した（１）ないし（７）のいずれかに記載の液体噴射ヘッド。
（９）
上記した（１）ないし（８）のいずれかに記載されると共に、被記録媒体に液体を噴射する液体噴射ヘッドと、
前記液体を貯蔵する液体貯蔵部と
を備えた、液体噴射記録装置。

１…プリンタ、３…インクタンク、４…インクジェットヘッド、９…インク、４１…ノズルプレート、４２…アクチュエータプレート、４３…カバープレート、４４…流路プレート、４１０（４１１，４１２，４１３，４１４）…ノズル列、４２（４２１，４２２，４２３，４２４）０４４０…流路、４４１（４４１ａ，４４１ｂ，４４１ｃ，４４１ｄ）…導入流路、４４２（４４２ａ，４４２ｂ，４４２ｃ，４４２ｄ）…排出流路、Ｃ…チャネル、Ｈ…ノズル孔、Ｐ…記録紙。

Claims (9)

1. 液体が収容される複数のチャネルを有するアクチュエータプレートと、前記アクチュエータプレートに取り付けられると共に前記複数のチャネルに収容された前記液体が噴射される複数のノズル孔を有するノズルプレートと、を含むヘッドチップと、
   前記ヘッドチップに沿うように固定され、前記複数のチャネルに供給される前記液体の流路を有すると共に、前記ヘッドチップよりも高い剛性を有する流路部材と
   を備えた、液体噴射ヘッド。
2. 前記流路部材は、前記ヘッドチップのヤング率よりも大きいヤング率を有する、
   請求項１記載の液体噴射ヘッド。
3. 前記流路部材は、前記ヘッドチップの線膨張率以下の線膨張率を有する、
   請求項１または請求項２に記載の液体噴射ヘッド。
4. 前記ヘッドチップは、チタン酸ジルコン酸鉛を含み、
   前記流路部材のヤング率は、６０ＧＰａ以上である、
   請求項１ないし請求項３のいずれか１項に記載の液体噴射ヘッド。
5. 前記ヘッドチップは、チタン酸ジルコン酸鉛を含み、
   前記流路部材の線膨張率は、１０×１０^-6／℃以下である、
   請求項１ないし請求項４のいずれか１項に記載の液体噴射ヘッド。
6. 前記流路部材は、ホウ珪酸ガラス、石英ガラス、酸化アルミニウムおよび熱硬化樹脂のうちの少なくとも１種を含む、
   請求項４または請求項５に記載の液体噴射ヘッド。
7. 前記流路部材の誘電率は、５Ｆ／ｍ以下である、
   請求項１ないし請求項６のいずれか１項に記載の液体噴射ヘッド。
8. 前記アクチュエータプレートは、前記複数のチャネルが配列された複数のチャネル列を有し、
   前記流路は、
   前記複数のチャネル列のそれぞれに対応する位置に設けられ、前記複数のチャネル列のそれぞれに含まれる前記複数のチャネルに前記液体を導入する複数の導入流路と、
   前記複数のチャネル列のそれぞれに対応する位置に設けられ、前記複数のチャネル列のそれぞれに含まれる前記複数のチャネルから前記液体を排出させる複数の排出流路と
   を含む、請求項１ないし請求項７のいずれか１項に記載の液体噴射ヘッド。
9. 請求項１ないし請求項８のいずれか１項に記載されると共に、被記録媒体に液体を噴射する液体噴射ヘッドと、
   前記液体を貯蔵する液体貯蔵部と
   を備えた、液体噴射記録装置。

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