JP7382759B2 - ヘッドチップ、液体噴射ヘッドおよび液体噴射記録装置 - Google Patents

Description

本開示は、ヘッドチップ、液体噴射ヘッドおよび液体噴射記録装置に関する。

液体噴射ヘッドを備えた液体噴射記録装置が様々な分野に利用されており、液体噴射ヘッドとしては、各種方式のものが開発されている（例えば、特許文献１参照）。また、このような液体噴射ヘッドには、液体を吐出するヘッドチップが設けられている。

特開２００４－１７５１６号公報

このような液体噴射ヘッドでは、回路規模の増大や無駄な電力消費を防止することや、印刷画質を向上させることが求められている。回路規模の増大や無駄な電力消費を防止しつつ印刷画質を向上させることが可能な、ヘッドチップ、液体噴射ヘッドおよび液体噴射記録装置を提供することが望ましい。

本開示の一実施の形態に係る第１のヘッドチップは、所定方向に沿って、一対の端部領域と、これら一対の端部領域の間に位置する吐出領域と、を有するアクチュエータプレートと、液体を吐出するための複数のノズル孔を有するノズルプレートとを備えたものである。上記アクチュエータプレートは、このアクチュエータプレートの表面に形成され、上記吐出領域内において上記所定方向に沿って並設された複数の溝と、上記所定方向に沿って溝同士を区画する複数の駆動壁と、複数の溝のうちの少なくとも一部の溝内に形成された個別電極と、上記一対の端部領域のうちの少なくとも一方の端部領域に設けられていると共に、１または複数のダミー壁と、このダミー壁に形成された１または複数のダミー電極と、を含んで構成された追加浮遊容量部とを有している。上記駆動壁では、屈曲変形が生じるように構成されていると共に、上記ダミー壁では、上記屈曲変形が生じないように構成されている。上記複数の溝として、上記所定方向に沿って交互に配置された、複数の吐出溝と複数の非吐出溝とが含まれており、上記複数の吐出溝内にそれぞれ、共通電極が形成されていると共に、上記複数の非吐出溝内にそれぞれ、上記個別電極が形成されており、上記１または複数のダミー電極のうちの少なくとも１つのダミー電極における電位が、上記共通電極における電位と等しくなっている。上記追加浮遊容量部は、上記吐出領域内において上記所定方向に沿って上記端部領域に隣接する隣接領域に位置する個別電極との間で生じる浮遊容量（stray capacity）を増加させて、上記隣接領域付近での浮遊容量の不均一性を低減させる。
本開示の一実施の形態に係る第２のヘッドチップは、所定方向に沿って、一対の端部領域と、これら一対の端部領域の間に位置する吐出領域と、を有するアクチュエータプレートと、液体を吐出するための複数のノズル孔を有するノズルプレートとを備えたものである。上記アクチュエータプレートは、このアクチュエータプレートの表面に形成され、上記吐出領域内において上記所定方向に沿って並設された複数の溝と、上記所定方向に沿って溝同士を区画する複数の駆動壁と、複数の溝のうちの少なくとも一部の溝内に形成された個別電極と、上記一対の端部領域のうちの少なくとも一方の端部領域に設けられていると共に、１または複数のダミー壁と、このダミー壁に形成された１または複数のダミー電極と、を含んで構成された追加浮遊容量部とを有している。上記駆動壁では、屈曲変形が生じるように構成されていると共に、上記ダミー壁では、上記屈曲変形が生じないように構成されている。上記複数の溝として、上記所定方向に沿って交互に配置された、複数の吐出溝と複数の非吐出溝とが含まれており、上記複数の吐出溝内にそれぞれ、共通電極が形成されていると共に、上記複数の非吐出溝内にそれぞれ、上記個別電極が形成されており、上記１または複数のダミー電極のうちの少なくとも１つのダミー電極が、上記個別電極および上記共通電極にそれぞれ接続されている配線とは異なる、他の配線を介して接地されている。上記追加浮遊容量部は、上記吐出領域内において上記所定方向に沿って上記端部領域に隣接する隣接領域に位置する個別電極との間で生じる浮遊容量（stray capacity）を増加させて、上記隣接領域付近での浮遊容量の不均一性を低減させる。
本開示の一実施の形態に係る第３のヘッドチップは、所定方向に沿って、一対の端部領域と、これら一対の端部領域の間に位置する吐出領域と、を有するアクチュエータプレートと、液体を吐出するための複数のノズル孔を有するノズルプレートとを備えたものである。上記アクチュエータプレートは、このアクチュエータプレートの表面に形成され、上記吐出領域内において上記所定方向に沿って並設された複数の溝と、上記所定方向に沿って溝同士を区画する複数の駆動壁と、複数の溝のうちの少なくとも一部の溝内に形成された個別電極と、上記一対の端部領域のうちの少なくとも一方の端部領域に設けられていると共に、１または複数のダミー壁と、このダミー壁に形成された１または複数のダミー電極と、を含んで構成された追加浮遊容量部とを有している。上記駆動壁では、屈曲変形が生じるように構成されていると共に、上記ダミー壁では、上記屈曲変形が生じないように構成されている。上記ダミー壁が、上記所定方向に沿って対向する第１および第２の側面を有しており、上記ダミー壁における上記第１および第２の側面にそれぞれ、上記ダミー電極が配置されていると共に、上記第１および第２の側面における上記ダミー電極の各々に対して、所定の電位に設定するための配線が、共通接続されている。上記追加浮遊容量部は、上記吐出領域内において上記所定方向に沿って上記端部領域に隣接する隣接領域に位置する個別電極との間で生じる浮遊容量（stray capacity）を増加させて、上記隣接領域付近での浮遊容量の不均一性を低減させる。
本開示の一実施の形態に係る第４のヘッドチップは、所定方向に沿って、一対の端部領域と、これら一対の端部領域の間に位置する吐出領域と、を有するアクチュエータプレートと、液体を吐出するための複数のノズル孔を有するノズルプレートとを備えたものである。上記アクチュエータプレートは、このアクチュエータプレートの表面に形成され、上記吐出領域内において上記所定方向に沿って並設された複数の溝と、上記所定方向に沿って溝同士を区画する複数の駆動壁と、複数の溝のうちの少なくとも一部の溝内に形成された個別電極と、上記一対の端部領域のうちの少なくとも一方の端部領域に設けられていると共に、１または複数のダミー壁と、このダミー壁に形成された１または複数のダミー電極と、を含んで構成された追加浮遊容量部とを有している。上記駆動壁では、屈曲変形が生じるように構成されていると共に、上記ダミー壁では、上記屈曲変形が生じないように構成されている。上記ダミー壁が、上記所定方向に沿って対向する第１および第２の側面を有しており、所定の電位に設定するための配線が接続された上記ダミー電極が、上記ダミー壁における上記第１および第２の側面と、上記第１および第２の側面同士を繋ぐ上記表面とをそれぞれ、覆うように配置されている。上記追加浮遊容量部は、上記吐出領域内において上記所定方向に沿って上記端部領域に隣接する隣接領域に位置する個別電極との間で生じる浮遊容量（stray capacity）を増加させて、上記隣接領域付近での浮遊容量の不均一性を低減させる。
本開示の一実施の形態に係る第５のヘッドチップは、所定方向に沿って、一対の端部領域と、これら一対の端部領域の間に位置する吐出領域と、を有するアクチュエータプレートと、液体を吐出するための複数のノズル孔を有するノズルプレートとを備えたものである。上記アクチュエータプレートは、このアクチュエータプレートの表面に形成され、上記吐出領域内において上記所定方向に沿って並設された複数の溝と、上記所定方向に沿って溝同士を区画する複数の駆動壁と、複数の溝のうちの少なくとも一部の溝内に形成された個別電極と、上記一対の端部領域のうちの少なくとも一方の端部領域に設けられていると共に、１または複数のダミー壁と、このダミー壁に形成された１または複数のダミー電極と、を含んで構成された追加浮遊容量部とを有している。上記駆動壁では、屈曲変形が生じるように構成されていると共に、上記ダミー壁では、上記屈曲変形が生じないように構成されている。上記端部領域では、上記ダミー壁によって区画されるダミー溝が形成されており、所定の電位に設定するための配線が接続された上記ダミー電極が設けられている上記ダミー壁によって区画される、上記ダミー溝における上記所定方向に沿った幅が、上記吐出領域内の上記溝における上記所定方向に沿った幅よりも、小さくなっている。上記追加浮遊容量部は、上記吐出領域内において上記所定方向に沿って上記端部領域に隣接する隣接領域に位置する個別電極との間で生じる浮遊容量（stray capacity）を増加させて、上記隣接領域付近での浮遊容量の不均一性を低減させる。
本開示の一実施の形態に係る第６のヘッドチップは、所定方向に沿って、一対の端部領域と、これら一対の端部領域の間に位置する吐出領域と、を有するアクチュエータプレートと、液体を吐出するための複数のノズル孔を有するノズルプレートとを備えたものである。上記アクチュエータプレートは、このアクチュエータプレートの表面に形成され、上記吐出領域内において上記所定方向に沿って並設された複数の溝と、上記所定方向に沿って溝同士を区画する複数の駆動壁と、複数の溝のうちの少なくとも一部の溝内に形成された個別電極と、上記一対の端部領域のうちの少なくとも一方の端部領域に設けられていると共に、１または複数のダミー壁と、このダミー壁に形成された１または複数のダミー電極と、を含んで構成された追加浮遊容量部とを有している。上記駆動壁では、屈曲変形が生じるように構成されていると共に、上記ダミー壁では、上記屈曲変形が生じないように構成されている。所定の電位に設定するための配線が接続された上記ダミー電極において、その表面の少なくとも一部の領域が、粗面となっている。上記追加浮遊容量部は、上記吐出領域内において上記所定方向に沿って上記端部領域に隣接する隣接領域に位置する個別電極との間で生じる浮遊容量（stray capacity）を増加させて、上記隣接領域付近での浮遊容量の不均一性を低減させる。
本開示の一実施の形態に係る第７のヘッドチップは、所定方向に沿って、一対の端部領域と、これら一対の端部領域の間に位置する吐出領域と、を有するアクチュエータプレートと、液体を吐出するための複数のノズル孔を有するノズルプレートとを備えたものである。上記アクチュエータプレートは、このアクチュエータプレートの表面に形成され、上記吐出領域内において上記所定方向に沿って並設された複数の溝と、上記所定方向に沿って溝同士を区画する複数の駆動壁と、複数の溝のうちの少なくとも一部の溝内に形成された個別電極と、上記一対の端部領域のうちの少なくとも一方の端部領域に設けられていると共に、１または複数のダミー壁と、このダミー壁に形成された１または複数のダミー電極と、を含んで構成された追加浮遊容量部とを有している。上記駆動壁では、屈曲変形が生じるように構成されていると共に、上記ダミー壁では、上記屈曲変形が生じないように構成されている。上記追加浮遊容量部において、上記所定方向に沿って、上記ダミー壁と、所定の電位に設定するための配線が接続された上記ダミー電極とがそれぞれ、複数設けられている。上記追加浮遊容量部は、上記吐出領域内において上記所定方向に沿って上記端部領域に隣接する隣接領域に位置する個別電極との間で生じる浮遊容量（stray capacity）を増加させて、上記隣接領域付近での浮遊容量の不均一性を低減させる。

本開示の一実施の形態に係る液体噴射ヘッドは、上記本開示の一実施の形態に係るヘッドチップヘッドチップ（上記本開示の一実施の形態に係る第１ないし第７のヘッドチップヘッドチップのうちのいずれか）と、上記ノズル孔から液体を噴射させる駆動部とを備えたものである。

本開示の一実施の形態に係る液体噴射記録装置は、上記本開示の一実施の形態に係る液体噴射ヘッドを備えたものである。

本開示の一実施の形態に係るヘッドチップ、液体噴射ヘッドおよび液体噴射記録装置によれば、回路規模の増大や無駄な電力消費を防止しつつ、印刷画質を向上させることが可能となる。

本開示の一実施の形態に係る液体噴射記録装置の概略構成例を表す模式斜視図である。 図１に示した液体噴射ヘッドの概略構成例を表す模式図である。 図２に示したノズルプレートおよびアクチュエータプレート等の断面構成例を表す模式図である。 図３に示したＩＶ部を拡大して表す模式断面図である。 図２に示した液体噴射ヘッド等の詳細構成例を表すブロック図である。 図５に示した端部領域付近の断面構成例を表す模式図である。 図６に示した端部領域付近の等価回路例を表す回路図である。 比較例１に係る液体噴射ヘッドにおける端部領域付近の断面構成例を表す模式図である。 図８に示した端部領域付近の等価回路例を表す回路図である。 比較例１および実施例に係る吐出領域内での吐出速度の特性例を模式的に表す図である。 比較例２に係る液体噴射ヘッドにおける端部領域付近の断面構成例を表す模式図である。 変形例１に係る液体噴射ヘッドにおける端部領域付近の断面構成例を表す模式図である。 変形例２に係る液体噴射ヘッドにおける端部領域付近の断面構成例を表す模式図である。 変形例３に係る液体噴射ヘッドにおける端部領域付近の断面構成例を表す模式図である。 変形例４に係る液体噴射ヘッドにおける端部領域付近の断面構成例を表す模式図である。 変形例５に係る液体噴射ヘッドにおける端部領域付近の断面構成例を表す模式図である。

以下、本開示の実施の形態について、図面を参照して詳細に説明する。なお、説明は以下の順序で行う。
１．実施の形態（追加浮遊容量部での各ダミー電極の電位＝共通電極の電位の例）
２．変形例
変形例１（追加浮遊容量部でのダミー溝の幅＜吐出領域内の各溝の幅の例）
変形例２（追加浮遊容量部でのダミー電極の表面が、粗面である例）
変形例３（追加浮遊容量部でのダミー壁の各面を、ダミー電極が覆っている例）
変形例４（追加浮遊容量部での各ダミー電極の一部に、配線が非接続である例）
変形例５（追加浮遊容量部での各ダミー電極が、接地されている例）
３．その他の変形例

＜１．実施の形態＞
［Ａ．プリンタ１の全体構成］
図１は、本開示の一実施の形態に係る液体噴射記録装置としてのプリンタ１の概略構成例を、模式的に斜視図にて表したものである。プリンタ１は、後述するインク９を利用して、被記録媒体としての記録紙Ｐに対して、画像や文字等の記録（印刷）を行うインクジェットプリンタである。

プリンタ１は、図１に示したように、一対の搬送機構２ａ，２ｂと、インクタンク３と、インクジェットヘッド４と、インク供給管５０と、走査機構６とを備えている。これらの各部材は、所定形状を有する筺体１０内に収容されている。なお、本明細書の説明に用いられる各図面では、各部材を認識可能な大きさとするため、各部材の縮尺を適宜変更している。

ここで、プリンタ１は、本開示における「液体噴射記録装置」の一具体例に対応し、インクジェットヘッド４（後述するインクジェットヘッド４Ｙ，４Ｍ，４Ｃ，４Ｋ）は、本開示における「液体噴射ヘッド」の一具体例に対応している。また、インク９は、本開示における「液体」の一具体例に対応している。

搬送機構２ａ，２ｂはそれぞれ、図１に示したように、記録紙Ｐを搬送方向ｄ（Ｘ軸方向）に沿って搬送する機構である。これらの搬送機構２ａ，２ｂはそれぞれ、グリッドローラ２１、ピンチローラ２２および駆動機構（不図示）を有している。この駆動機構は、グリッドローラ２１を軸周りに回転させる（Ｚ－Ｘ面内で回転させる）機構であり、例えばモータ等によって構成されている。

（インクタンク３）
インクタンク３は、インク９を内部に収容するタンクである。このインクタンク３としては、この例では図１に示したように、イエロー（Ｙ），マゼンダ（Ｍ），シアン（Ｃ），ブラック（Ｋ）の４色のインク９を個別に収容する、４種類のタンクが設けられている。すなわち、イエローのインク９を収容するインクタンク３Ｙと、マゼンダのインク９を収容するインクタンク３Ｍと、シアンのインク９を収容するインクタンク３Ｃと、ブラックのインク９を収容するインクタンク３Ｋとが設けられている。これらのインクタンク３Ｙ，３Ｍ，３Ｃ，３Ｋは、筺体１０内において、Ｘ軸方向に沿って並んで配置されている。

なお、インクタンク３Ｙ，３Ｍ，３Ｃ，３Ｋはそれぞれ、収容するインク９の色以外については同一の構成であるため、以下ではインクタンク３と総称して説明する。

（インクジェットヘッド４）
インクジェットヘッド４は、後述する複数のノズル（ノズル孔Ｈｎ）から記録紙Ｐに対して液滴状のインク９を噴射（吐出）して、画像や文字等の記録（印刷）を行うヘッドである。このインクジェットヘッド４としても、この例では図１に示したように、上記したインクタンク３Ｙ，３Ｍ，３Ｃ，３Ｋにそれぞれ収容されている４色のインク９を個別に噴射する、４種類のヘッドが設けられている。すなわち、イエローのインク９を噴射するインクジェットヘッド４Ｙと、マゼンダのインク９を噴射するインクジェットヘッド４Ｍと、シアンのインク９を噴射するインクジェットヘッド４Ｃと、ブラックのインク９を噴射するインクジェットヘッド４Ｋとが設けられている。これらのインクジェットヘッド４Ｙ，４Ｍ，４Ｃ，４Ｋは、筺体１０内において、Ｙ軸方向に沿って並んで配置されている。

なお、インクジェットヘッド４Ｙ，４Ｍ，４Ｃ，４Ｋはそれぞれ、利用するインク９の色以外については同一の構成であるため、以下ではインクジェットヘッド４と総称して説明する。また、このインクジェットヘッド４の詳細構成例については、後述する（図２～図７）。

インク供給管５０は、インクタンク３内からインクジェットヘッド４内へ向けて、インク９が供給される管である。このインク供給管５０は、例えば、以下説明する走査機構６の動作に追従可能な程度の可撓性を有する、フレキシブルホースにより構成されている。

（走査機構６）
走査機構６は、記録紙Ｐの幅方向（Ｙ軸方向）に沿って、インクジェットヘッド４を走査させる機構である。この走査機構６は、図１に示したように、Ｙ軸方向に沿って延設された一対のガイドレール６１ａ，６１ｂと、これらのガイドレール６１ａ，６１ｂに移動可能に支持されたキャリッジ６２と、このキャリッジ６２をＹ軸方向に沿って移動させる駆動機構６３と、を有している。

駆動機構６３は、ガイドレール６１ａ，６１ｂの間に配置された一対のプーリ６３１ａ，６３１ｂと、これらのプーリ６３１ａ，６３１ｂ間に巻回された無端ベルト６３２と、プーリ６３１ａを回転駆動させる駆動モータ６３３と、を有している。また、キャリッジ６２上には、前述した４種類のインクジェットヘッド４Ｙ，４Ｍ，４Ｃ，４Ｋが、Ｙ軸方向に沿って並んで配置されている。

なお、このような走査機構６と前述した搬送機構２ａ，２ｂとにより、インクジェットヘッド４と記録紙Ｐとを相対的に移動させる、移動機構が構成されるようになっている。

［Ｂ．インクジェットヘッド４の詳細構成］
続いて、図２～図５を参照して、インクジェットヘッド４の詳細構成例について説明する。

図２は、インクジェットヘッド４の概略構成例を、模式的に表したものである。図３は、図２に示したノズルプレート４１およびアクチュエータプレート４２等の断面構成例（Ｚ－Ｘ断面構成例）を、模式的に表したものである。図４は、図３に示したＩＶ部を拡大して、模式的に断面図（Ｚ－Ｘ断面図）で表したものである。図５は、図２に示したインクジェットヘッド４等の詳細構成例を、ブロック図で表したものである。なお、図５においては、便宜上、以下説明するカバープレート４３については、図示を省略している。また、後述する図６と、後述する各比較例および各変形例における同様の図面（図８，図１１～図１６）においても、同様に、カバープレート４３の図示を省略している。

インクジェットヘッド４は、後述する複数のチャネル（チャネルＣ１）における延在方向（Ｙ軸方向）の中央部からインク９を吐出する、いわゆるサイドシュートタイプのインクジェットヘッドである。このインクジェットヘッド４は、図２～図５に示したように、ノズルプレート４１、アクチュエータプレート４２、カバープレート４３および駆動部４９を有している。

ここで、ノズルプレート４１およびアクチュエータプレート４２は、本開示における「ヘッドチップ」の一具体例に対応している。

なお、ノズルプレート４１、アクチュエータプレート４２およびカバープレート４３は、例えば接着剤等を用いて互いに貼り合わされており、Ｚ軸方向に沿ってこの順に積層されている（図３，図４参照）。また、カバープレート４３の上面に、所定の流路を有する流路プレート（不図示）が設けられているようにしてもよい。

（Ｂ－１．ノズルプレート４１）
ノズルプレート４１は、ポリイミド等のフィルム材または金属材料により構成されたプレートであり、インク９を噴射する複数のノズル孔Ｈｎを有している（図２～図５中の破線の矢印参照）。これらのノズル孔Ｈｎはそれぞれ、所定の間隔をおいて一直線上に（この例ではＸ軸方向に沿って）並んで形成されている。なお、各ノズル孔Ｈｎは、下方に向かうに従って漸次縮径するテーパ状の貫通孔となっている（図２～図５参照）。

（Ｂ－２．アクチュエータプレート４２）
アクチュエータプレート４２は、例えばＰＺＴ（チタン酸ジルコン酸鉛）等の圧電材料により構成されたプレートである。このアクチュエータプレート４２は、その分極方向が厚み方向（Ｚ軸方向）に沿って一方向に設定されている１つ（単一）の圧電基板によって、構成されている（いわゆる、カンチレバータイプ）。ただし、アクチュエータプレート４２の構成としては、このカンチレバータイプには限られない。すなわち、例えば、分極方向が互いに異なる２つの圧電基板を厚み方向（Ｚ軸方向）に沿って積層することによって、アクチュエータプレート４２を構成するようにしてもよい（いわゆる、シェブロンタイプ）。

このアクチュエータプレート４２には、図５に示したように、Ｘ軸方向に沿って、一対の端部領域Ａｅ１，Ａｅ２と、これら一対の端部領域Ａｅ１，Ａｅ２の間に位置する吐出領域（非端部領域）Ａｍとが、設けられている。吐出領域Ａｍは、図５に示したように、各ノズル孔Ｈｎからインク９が吐出される領域である。一方、端部領域Ａｅ１，Ａｅ２はそれぞれ、インク９が吐出されない領域（非吐出領域）である。

また、これらの端部領域Ａｅ１，Ａｅ２のうちの少なくとも一方には（図５の例では、端部領域Ａｅ１，Ａｅ２の双方にそれぞれ）、後述する追加浮遊容量部４２Ｃ１，４２Ｃ２が設けられている。なお、アクチュエータプレート４２における端部領域（端部領域Ａｅ１）付近の詳細構成例については、後述する（図６，図７）。

ここで、アクチュエータプレート４２における上記した吐出領域Ａｍ内には、図５に示したように、複数のチャネルＣ１が設けられている。これらのチャネルＣ１は、所定の間隔をおいて互いに平行となるよう、Ｘ軸方向に沿って並んで配置されている。各チャネルＣ１は、圧電体からなる駆動壁Ｗによってそれぞれ画成されており、断面視において、アクチュエータプレート４２の表面に形成された溝（凹状の溝部）となっている（図３～図５参照）。つまり、各駆動壁Ｗは、Ｘ軸方向に沿ってチャネルＣ１同士を区画している。これらの各駆動壁Ｗは、詳細は後述するが、各チャネルＣ１（後述する各吐出チャネルＣ１ｅ）内を個別に加圧するための素子（圧電素子）として機能するようになっている。

このようなチャネルＣ１には、図３，図４に示したように、インク９を吐出させるための吐出チャネルＣ１ｅと、インク９を吐出させない非吐出チャネル（ダミーチャネル）Ｃ１ｄとが、存在している。言い換えると、吐出チャネルＣ１ｅにはインク９が充填される一方、非吐出チャネルＣ１ｄにはインク９が充填されないようになっている。また、各吐出チャネルＣ１ｅは、ノズルプレート４１におけるノズル孔Ｈｎと連通している一方、各非吐出チャネルＣ１ｄは、ノズル孔Ｈｎには連通しないようになっている。これらの吐出チャネルＣ１ｅと非吐出チャネルＣ１ｄとは、上記した駆動壁Ｗを介して、アクチュエータプレート４２内のＸ軸方向に沿って、交互に並んで配置されている（図３参照）。

なお、チャネルＣ１（吐出チャネルＣ１ｅおよび非吐出チャネルＣ１ｄ）は、本開示における「溝」の一具体例に対応している。また、吐出チャネルＣ１ｅは、本開示における「吐出溝」の一具体例に対応し、非吐出チャネルＣ１ｄは、本開示における「非吐出溝」の一具体例に対応している。また、Ｘ軸方向は、本開示における「所定方向」の一具体例に対応している。

上記した駆動壁Ｗにおける対向する内側面にはそれぞれ、図３に示したように、駆動電極Ｅが設けられている。つまり、各駆動壁Ｗを挟んで、一対の駆動電極Ｅが互いに対向配置されている。この駆動電極Ｅには、吐出チャネルＣ１ｅに面する内側面に設けられた共通電極Ｅｃ（コモン電極）と、非吐出チャネルＣ１ｄに面する内側面に設けられた個別電極Ｅａ（アクティブ電極）とが、存在している（図３，図４参照）。言い換えると、各吐出チャネルＣ１ｅには、駆動電極Ｅとしての共通電極Ｅｃが個別に内部形成されており、各非吐出チャネルＣ１ｄには、駆動電極Ｅとしての個別電極Ｅａが個別に内部形成されている。

このような駆動電極Ｅと、駆動基板（不図示）における駆動回路との間は、フレキシブル基板（不図示）に形成された複数の引き出し電極を介して、電気的に接続されている。これにより、このフレキシブル基板を介して、後述する駆動部４９を含む駆動回路から各駆動電極Ｅに対し、後述する駆動電圧Ｖｄ（駆動信号Ｓｄ）等が印加されるようになっている。

（Ｂ－３．カバープレート４３）
カバープレート４３は、図３，図４に示したように、アクチュエータプレート４２における各チャネルＣ１（および後述する各ダミーチャネルＣ２ｄ）を閉塞するように配置されている。具体的には、このカバープレート４３は、アクチュエータプレート４２の上面（表面）に接着されており、板状構造となっている。

（Ｂ－４．駆動部４９）
駆動部４９は、図５に示したように、駆動信号Ｓｄ（駆動電圧Ｖｄ）を用いたインク９の吐出駆動を行うものである。この際に駆動部４９は、プリンタ１内（インクジェットヘッド４の内部）の印刷制御部１１から供給される各種のデータ（信号）に基づいて、そのような駆動信号Ｓｄ（駆動電圧Ｖｄ）を出力するようになっている（図５参照）。

具体的には、駆動部４９は、印刷制御部１１から供給される印刷データＤｐが、インク９を吐出するデータである場合には、その印刷データＤｐに基づいて、駆動信号Ｓｄを生成する（図５参照）。

そして駆動部４９は、前述した吐出チャネルＣ１ｅに充填されているインク９がノズル孔Ｈｎから吐出されるように、アクチュエータプレート４２を駆動して吐出駆動を行う（図２～図５参照）。具体的には、駆動部４９は、アクチュエータプレート４２に対して上記した駆動電圧Ｖｄ（駆動信号Ｓｄ）を印加して、吐出チャネルＣ１ｅを膨張または収縮させることで、各ノズル孔Ｈｎからインク９を噴射させる（噴射動作を行わせる）ようになっている。

［Ｃ．アクチュエータプレート４２における端部領域付近の詳細構成］
続いて、図６，図７を参照して、アクチュエータプレート４２における前述した端部領域付近の詳細構成例について説明する。

（Ｃ－１．断面構成）
図６は、図５に示した端部領域Ａｅ１付近の断面構成例（Ｚ－Ｘ断面構成例）を、模式的に表したものである。図７は、図６に示した端部領域Ａｅ１付近の等価回路例を、回路図で表したものである。なお、端部領域Ａｅ２付近の断面構成例および等価回路例（追加浮遊容量部４２Ｃ２の構成）についても、図６，図７と基本的には同様（Ｘ軸方向に沿って左右対称の構成）であるため、図示を省略する。この点は、後述する各比較例および各変形例においても同様である。

図６に示したように、アクチュエータプレート４２の端部領域Ａｅ１には、１または複数のダミー壁Ｗｄと、このダミー壁Ｗｄによって区画されるダミーチャネルＣ２ｄと、ダミー壁Ｗｄに形成された１または複数のダミー電極Ｅｄと、を含んで構成された追加浮遊容量部４２Ｃ１が設けられている。同様に、アクチュエータプレート４２の端部領域Ａｅ２には、そのようなダミー壁Ｗｄ、ダミーチャネルＣ２ｄおよびダミー電極Ｅｄを含んで構成された、追加浮遊容量部４２Ｃ２が設けられている。

ここで、これらの追加浮遊容量部４２Ｃ１，４２Ｃ２では、Ｘ軸方向に沿って、ダミー壁ＷｄおよびダミーチャネルＣ２ｄと、後述する共通配線Ｗｉｃが接続されたダミー電極Ｅｄとがそれぞれ、複数設けられている。なお、このようなダミー壁Ｗｄ、ダミーチャネルＣ２ｄおよびダミー電極Ｅｄの個数はそれぞれ、特に限定されるものではなく、任意の個数とすることが可能である。

追加浮遊容量部４２Ｃ１は、詳細は後述するが、吐出領域Ａｍ内における隣接領域（Ｘ軸方向に沿って端部領域Ａｅ１に隣接する領域）に位置する個別電極Ｅａとの間で生じる浮遊容量を増加させて、その隣接領域付近での浮遊容量の不均一性を低減させるものである。同様に、追加浮遊容量部４２Ｃ２は、吐出領域Ａｍ内における隣接領域（Ｘ軸方向に沿って端部領域Ａｅ２に隣接する領域）に位置する個別電極Ｅａとの間で生じる浮遊容量を増加させて、その隣接領域付近での浮遊容量の不均一性を低減させるものである。

ダミーチャネルＣ２ｄは、基本的には、前述した吐出チャネルＣ１ｅと同様の構成を有するチャネル（溝部）であるが、インク９の吐出には寄与しないチャネルとなっている。つまり、このダミーチャネルＣ２ｄでは、吐出チャネルＣ１ｅとは異なり、前述した非吐出チャネルＣ１ｄと同様に、ノズル孔Ｈｎには連通しないようになっている（図６参照）。

ダミー壁Ｗｄは、基本的には、前述した駆動壁Ｗと同様の構成を有する壁部であるが、各吐出チャネルＣ１ｅ内を個別に加圧するための素子（圧電素子）としては、機能しないようになっている。このダミー壁Ｗｄには、図６に示したように、Ｘ軸方向に沿って対向する側面Ｓ１，Ｓ２と、アクチュエータプレート４２の表面に相当する上面Ｓｕ（側面Ｓ１，Ｓ２同士を繋ぐ表面）とが、それぞれ設けられている。

このようなダミー壁Ｗｄの側面Ｓ１，Ｓ２にはそれぞれ、ダミー電極Ｅｄが配置されている（図６参照）。各ダミー電極Ｅｄは、基本的には、前述した共通電極Ｅｃおよび個別電極Ｅａと同様の構成を有している。

ただし、各個別電極Ｅａには、個別の駆動信号Ｓｄを供給するための個別配線Ｗｉａが接続されており、各共通電極Ｅｃには、共通電位に設定するための共通配線Ｗｉｃが共通接続されている（図６参照）。具体的には、端部領域Ａｅ１に最も近いノズル孔Ｈｎ１に対して、Ｘ軸方向に沿った両端に位置する一対の個別電極Ｅａにはそれぞれ、駆動信号Ｓｄ１を供給するための個別配線Ｗｉａが、接続されている。同様に、端部領域Ａｅ１から２番目に近いノズル孔Ｈｎ２に対して、Ｘ軸方向に沿った両端に位置する一対の個別電極Ｅａにはそれぞれ、駆動信号Ｓｄ２を供給するための個別配線Ｗｉａが、接続されている。また、これらのノズル孔Ｈｎ１，Ｈｎ２等の各ノズル孔Ｈの両端に位置する一対の共通電極Ｅｃにはそれぞれ、上記した共通配線Ｗｉｃが共通接続されている。

一方、上記した側面Ｓ１，Ｓ２上のダミー電極Ｅｄの各々に対しては、所定の電位に設定するための配線が、共通接続されている。具体的には、本実施の形態では図６に示したように、これらの各ダミー電極Ｅｄに対して、各共通電極Ｅｃと同様に、共通電位に設定するための共通配線Ｗｉｃが共通接続されている。つまり、図６に示した例では、これらの各ダミー電極Ｅｄにおける電位が、各共通電極Ｅｃにおける電位（共通電位）と等しくなっている。このような各ダミー電極Ｅｄに対する配線の結果、ダミー壁Ｗｄにおける側面Ｓ１，Ｓ２間の電位差は常に０Ｖとなり、このダミー壁Ｗｄにおいては、後述する圧電厚み滑り効果による屈曲変形は生じないようになっている。

なお、上記したダミーチャネルＣ２ｄは、本開示における「ダミー溝」の一具体例に対応している。また、上記した側面Ｓ１，Ｓ２はそれぞれ、本開示における「第１の側面」および「第２の側面」の一具体例に対応している。

（Ｃ－２．等価回路）
ここで、このような端部領域Ａｅ１付近の等価回路例（電気容量モデルによる等価回路例）は、図７に示したようになる。

具体的には、まず、駆動信号Ｓｄ１が供給される吐出チャネルＣ１ｅ（ノズル孔Ｈｎ１）の両端に位置する駆動壁Ｗにはそれぞれ、個別電極Ｅａと共通電極Ｅｃとの間に生ずる容量成分（容量Ｃ１Ｒ，Ｃ１Ｌ）が、形成されている。同様に、駆動信号Ｓｄ２が供給される吐出チャネルＣ１ｅ（ノズル孔Ｈｎ２）の両端に位置する駆動壁Ｗにもそれぞれ、個別電極Ｅａと共通電極Ｅｃとの間の容量成分（容量Ｃ２Ｒ，Ｃ２Ｌ）が、形成されている。

また、ノズル孔Ｈｎ１の両端に位置する各駆動壁Ｗ上の個別電極Ｅａと、他の電極（他のチャネル内の共通電極Ｅｃまたはダミー電極Ｅｄ）との間にも、容量成分（浮遊容量Ｃｓ１Ｒ，Ｃｓ１Ｌ）が形成されている。同様に、ノズル孔Ｈｎ２の両端に位置する各駆動壁Ｗ上の個別電極Ｅａと、他の電極（他のチャネル内の共通電極Ｅｃまたはダミー電極Ｅｄ）との間にも、容量成分（浮遊容量Ｃｓ２Ｒ，Ｃｓ２Ｌ）が形成されている。なお、詳細は後述するが、上記した追加浮遊容量部４２Ｃ１が設けられていることで、上記した浮遊容量Ｃｓ１Ｌの分の浮遊容量が、追加的に形成されるようになっている（図７参照）。これは、ノズル孔Ｈｎ１が位置する吐出チャネルＣ１ｅの両側にも、ノズル孔Ｈｎ２が位置する吐出チャネルＣ１ｅの両側と同様に、他の電極（他のチャネル内の共通電極Ｅｃまたはダミー電極Ｅｄ）が配置されていることに起因している。

［動作および作用・効果］
（Ａ．プリンタ１の基本動作）
このプリンタ１では、以下のようにして、記録紙Ｐに対する画像や文字等の記録動作（印刷動作）が行われる。なお、初期状態として、図１に示した４種類のインクタンク３（３Ｙ，３Ｍ，３Ｃ，３Ｋ）にはそれぞれ、対応する色（４色）のインク９が十分に封入されているものとする。また、インクタンク３内のインク９は、インク供給管５０を介して、インクジェットヘッド４内に充填された状態となっている。

このような初期状態において、プリンタ１を作動させると、搬送機構２ａ，２ｂにおけるグリッドローラ２１がそれぞれ回転することで、グリッドローラ２１とピンチローラ２２と間に、記録紙Ｐが搬送方向ｄ（Ｘ軸方向）に沿って搬送される。また、このような搬送動作と同時に、駆動機構６３における駆動モータ６３３が、プーリ６３１ａ，６３１ｂをそれぞれ回転させることで、無端ベルト６３２を動作させる。これにより、キャリッジ６２がガイドレール６１ａ，６１ｂにガイドされながら、記録紙Ｐの幅方向（Ｙ軸方向）に沿って往復移動する。そしてこの際に、各インクジェットヘッド４（４Ｙ，４Ｍ，４Ｃ，４Ｋ）によって、４色のインク９を記録紙Ｐに適宜吐出させることで、この記録紙Ｐに対する画像や文字等の記録動作がなされる。

（Ｂ．インクジェットヘッド４における詳細動作）
続いて、インクジェットヘッド４における詳細動作（吐出駆動による動作）について説明する。

まず、このインクジェットヘッド４では、以下のようにして、せん断（シェア）モードを用いたインク９の噴射動作が行われる。言い換えると、駆動部４９からアクチュエータプレート４２に対し、前述した駆動信号Ｓｄを用いた吐出駆動が行われることで、吐出チャネルＣ１ｅ内に充填されているインク９が、ノズル孔Ｈｎから吐出される。

このような吐出駆動の際に、駆動部４９は、アクチュエータプレート４２内の駆動電極Ｅ（共通電極Ｅｃおよび個別電極Ｅａ）に対し、駆動電圧Ｖｄ（駆動信号Ｓｄ）を印加する（図２～図５参照）。具体的には、駆動部４９は、吐出チャネルＣ１ｅを画成する一対の駆動壁Ｗに配置された各駆動電極Ｅ（共通電極Ｅｃおよび個別電極Ｅａ）に対し、駆動電圧Ｖｄを印加する。これにより、これら一対の駆動壁Ｗがそれぞれ、その吐出チャネルＣ１ｅに隣接する非吐出チャネルＣ１ｄ側へ、突出するように変形する。

このとき、駆動壁Ｗにおける深さ方向の中間位置を中心として、駆動壁ＷがＶ字状に屈曲変形することになる。そして、このような駆動壁Ｗの屈曲変形により、吐出チャネルＣ１ｅがあたかも膨らむように変形する（図４中に示した膨張方向ｄａ参照）。このように、一対の駆動壁Ｗでの圧電厚み滑り効果による屈曲変形によって、吐出チャネルＣ１ｅの容積が増大する。そして、吐出チャネルＣ１ｅの容積が増大することにより、インク９が吐出チャネルＣ１ｅ内へ誘導されることになる。

次いで、このようにして吐出チャネルＣ１ｅ内へ誘導されたインク９は、圧力波となって吐出チャネルＣ１ｅの内部に伝播する。そして、ノズルプレート４１のノズル孔Ｈｎにこの圧力波が到達したタイミング（またはその近傍のタイミング）で、駆動電極Ｅに印加される駆動電圧Ｖｄが、０（ゼロ）Ｖとなる。これにより、上記した屈曲変形の状態から駆動壁Ｗが復元する結果、一旦増大した吐出チャネルＣ１ｅの容積が、再び元に戻ることになる（図４中に示した収縮方向ｄｂ参照）。

このようにして、吐出チャネルＣ１ｅの容積が元に戻る過程で、吐出チャネルＣ１ｅ内部の圧力が増加し、吐出チャネルＣ１ｅ内のインク９が加圧される。その結果、液滴状のインク９が、ノズル孔Ｈｎを通って外部へと（記録紙Ｐ等へ向けて）吐出される（図２～図５参照）。このようにしてインクジェットヘッド４におけるインク９の噴射動作（吐出動作）がなされ、その結果、記録紙Ｐに対する画像や文字等の記録動作（印刷動作）が行われる。

（Ｃ．作用・効果）
続いて、インクジェットヘッド４における作用・効果について、比較例（比較例１，２）と比較しつつ、詳細に説明する。

（Ｃ－１．比較例１）
図８は、比較例１に係るインクジェットヘッド１０４における端部領域Ａｅ１付近の断面構成例（Ｚ－Ｘ断面構成例）を、模式的に表したものである。図９は、図７に示したインクジェットヘッド１０４における端部領域Ａｅ１付近の等価回路例を、回路図で表したものである。また、図１０は、比較例１と、実施の形態における実施例とに係る、吐出領域Ａｍ内での吐出速度Ｖｉの特性例をそれぞれ、模式的に表したものである。

図８に示した比較例１のインクジェットヘッド１０４は、図６に示した本実施の形態のインクジェットヘッド４において、アクチュエータプレート４２の代わりに、アクチュエータプレート１０２を設けるようにしたものに対応している。このアクチュエータプレート１０２は、アクチュエータプレート４２において、前述した追加浮遊容量部４２Ｃ１，４２Ｃ２を設けないようにしたものとなっている。具体的には、アクチュエータプレート１０２では、例えば図８に示したように、端部領域Ａｅ１（および端部領域Ａｅ２）内に、ダミー壁ＷｄおよびダミーチャネルＣ２ｄは設けられているものの、前述したダミー電極Ｅｄは設けられていない。

したがって、図９に示したように、この比較例１のアクチュエータプレート１０２における等価回路例では、図７に示した本実施の形態のアクチュエータプレート４２における等価回路例とは異なり、以下のようになっている。すなわち、駆動信号Ｓｄ１，Ｓｄ２が供給される吐出チャネルＣ１ｅ（ノズル孔Ｈｎ１，Ｈｎ２）において、容量Ｃ１Ｒ，Ｃ１Ｌ，Ｃ２Ｒ，Ｃ２Ｌおよび浮遊容量Ｃｓ１Ｒ，Ｃｓ２Ｒ，Ｃｓ２Ｌはそれぞれ、形成されているものの、浮遊容量Ｃｓ１Ｌは形成されていない（図９中の符号Ｐ１１付近を参照）。これは、ノズル孔Ｈｎ２が位置する吐出チャネルＣ１ｅの両側には、他の電極（他のチャネル内の共通電極Ｅｃまたはダミー電極Ｅｄ）が配置されている一方、ノズル孔Ｈｎ１が位置する吐出チャネルＣ１ｅの片方側（端部領域Ａｅ１側）には、そのような他の電極が配置されていないことに起因している。

このようにして、比較例１のアクチュエータプレート１０２では、ノズル孔Ｈｎ２が位置する吐出チャネルＣ１ｅ（浮遊容量Ｃｓ２Ｒ，Ｃｓ２Ｌが形成されている）と比べ、ノズル孔Ｈｎ１が位置する吐出チャネルＣ１ｅ（浮遊容量Ｃｓ１Ｒのみが形成されている）のほうが、浮遊容量が小さくなる。すると、駆動信号Ｓｄ（Ｓｄ１，Ｓｄ２等）を供給する駆動部４９にとって、ノズル孔Ｈｎ２が位置する吐出チャネルＣ１ｅを吐出駆動する際の駆動エネルギーと比べ、ノズル孔Ｈｎ１が位置する吐出チャネルＣ１ｅを吐出駆動する際の駆動エネルギーのほうが、低くなる。その結果、ノズル孔Ｈｎ２からインク９が吐出される際の吐出速度Ｖｉと比べ、ノズル孔Ｈｎ１からインク９が吐出される際の吐出速度Ｖｉのほうが、大きくなる。

このようにして、例えば図１０に示したように、この比較例１では、各ノズル孔Ｈｎからインク９が吐出される際に、吐出領域Ａｍ内における端部領域Ａｅ１，Ａｅ２との隣接領域付近において、インク９の吐出速度Ｖｉが増大する。その結果、この比較例１では、本実施の形態に係る実施例と比べ、吐出領域Ａｍ内においてインク９の吐出速度Ｖｉがばらつき（記録紙Ｐに対するインク９の着弾位置ずれて）、印刷画質が低下してしまうおそれがある（図１０中の符号Ｐ２１，Ｐ２２付近を参照）。

（Ｃ－２．比較例２）
一方、図１１は、比較例２に係るインクジェットヘッド２０４における端部領域Ａｅ１付近の断面構成例（Ｚ－Ｘ断面構成例）を、模式的に表したものである。

この図１１に示した比較例２のインクジェットヘッド２０４は、図６に示した本実施の形態のインクジェットヘッド４において、アクチュエータプレート４２の代わりに、アクチュエータプレート２０２を設けるようにしたものに対応している。このアクチュエータプレート２０２では、アクチュエータプレート４２と同様にして、端部領域Ａｅ１，Ａｅ２に追加浮遊容量部２０４Ｃが設けられている（図１１参照）。

ただし、図１１に示したように、この比較例２のアクチュエータプレート２０２では、図６に示した本実施の形態のアクチュエータプレート４２とは異なり、追加浮遊容量部２０４Ｃ内のダミー壁Ｗｄも、吐出領域Ａｍ内の駆動壁Ｗと同様にして、吐出駆動がなされる。

具体的には、このアクチュエータプレート２０２では、ダミー壁Ｗｄにおける側面Ｓ１，Ｓ２上の各ダミー電極Ｅｄのうち、一方のダミー電極Ｅｄは、共通配線Ｗｉｃに共通接続されて共通電位に設定されているものの、他方のダミー電極Ｅｄは、個別配線Ｗｉａを介して駆動信号Ｓｄｄ（ダミーの駆動信号）が、供給されている（図１１参照）。つまり、アクチュエータプレート２０２ではアクチュエータプレート４２とは異なり、ダミー壁Ｗｄ上の各ダミー電極Ｅｄに対する電位設定が、駆動壁Ｗ上の個別電極Ｅａおよび共通電極Ｅｃに対する電位設定と、同様なものとなっている。

ここで、ダミーチャネルＣ２ｄ（ダミー壁Ｗｄ）にも吐出チャネルＣ１ｅ（駆動壁Ｗ）と同様にして、吐出駆動の際に駆動エネルギーを伝達するということは、その吐出駆動のための駆動回路を設ける必要があるため、駆動部４９等での回路規模の増大につながる。また、ダミーチャンネルＣ２ｄでは、実際にはインク９が吐出されないものの、吐出チャネルＣ１ｅと同様の吐出駆動がなされることから、インクジェットヘッド２０４全体としては、このダミーチャンネルＣ２ｄの分の、無駄な電力消費が生じることになる。ちなみに、上記した駆動信号Ｓｄｄ（ダミーの駆動信号）がダミーチャネルＣ２ｄに供給されると、このダミーチャネルＣ２ｄと隣接する吐出チャネルＣ１ｅに対応するノズル孔Ｈｎ（ノズル孔Ｈｎ１）において、インク９の吐出動作に影響を受ける。そして、そのようなノズル孔Ｈｎ１での吐出動作の影響（吐出変動）に対処しようとすると、吐出駆動が複雑化してしまうおそれもある。

このようにして比較例２では、上記したようにして、回路規模の増大や、無駄な電力消費が生じてしまうおそれがある。

これらのことから、上記した比較例１，２では、回路規模の増大や無駄な電力消費を防止しつつ、印刷画質を向上させることが、困難であると言える。

（Ｃ－３．本実施の形態）
これに対して本実施の形態のインクジェットヘッド４では、図５，図６に示したように、アクチュエータプレート４２の端部領域Ａｅ１，Ａｅ２に、ダミー壁Ｗｄおよびダミー電極Ｅｄを含む追加浮遊容量部４２Ｃ１，４２Ｃ２が設けられている。そして、このような追加浮遊容量部４２Ｃ１，４２Ｃ２が設けられていることで、吐出領域Ａｍ内における端部領域Ａｅ１，Ａｅ２との隣接領域に位置する個別電極Ｅａとの間で生じる浮遊容量が増加し（図７に示した浮遊容量Ｃｓ１Ｌの分が追加的に形成され）、その隣接領域付近での浮遊容量の不均一性が、低減される（図７参照）。これによりインクジェットヘッド４では、各ノズル孔Ｈｎからインク９が吐出される際に、その隣接領域付近でのインク９の吐出速度Ｖｉの増大が抑えられる。その結果、本実施の形態では上記比較例１と比べ、吐出領域Ａｍ内でのインク９の吐出速度Ｖｉのばらつきが低減され（図１０参照）、印刷画質が向上することになる。

また、このインクジェットヘッド４では、アクチュエータプレート４２において上記した追加浮遊容量部４２Ｃ１，４２Ｃ２を設けるだけで、上記したようにして、インク９の吐出速度Ｖｉのばらつきが低減されることから、以下のようになる。すなわち、本実施の形態では上記比較例２とは異なり、例えば上記したような、回路規模の増大や無駄な電力消費の発生が、防止される。

以上のようにして本実施の形態では、回路規模の増大や無駄な電力消費を防止しつつ、印刷画質を向上させることが可能となる。

また、アクチュエータプレート４２における吐出領域Ａｍおよび端部領域Ａｅ１，Ａｅ２をそれぞれ、同様の製造方法にて形成することができるため、ヘッドチップ（アクチュエータプレート４２およびノズルプレート４１）を容易に作製することが可能となる。更に、上記したようにして、無駄な電力消費の発生が防止されることから、上記比較例２と比べてヘッドチップにおける発熱を抑えることができ、ひいては、上記比較例２よりもヘッドチップの耐久性を向上させることが可能となる。

また、本実施の形態では、追加浮遊容量部４２Ｃ１，４２Ｃ２におけるダミー電極Ｅｄの電位が、共通電極Ｅｃの電位（共通電位）と等しくなっていることから、上記した回路規模の増大や無駄な電力消費の発生が、より効果的に防止されることになる。具体的には、例えば、個別電極Ｅａの電位（個別電位）と等しい電位に設定されたダミー電極Ｅｄが存在する場合（上記比較例２）には、各個別電極Ｅａと同様にして、駆動部４９からの個別配線をそのダミー電極Ｅｄに接続する必要があると共に、インク９を吐出する場合と同様の駆動がなされることになる。その結果、この比較例２では上記したようにして、回路規模の増大や、無駄な電力消費が生じるおそれがある。これに対して本実施の形態では、ダミー電極Ｅｄの電位が上記共通電位と等しくなっていることから、上記比較例２のような回路規模の増大や無駄な電力消費の発生が、容易に防止される。よって本実施の形態では、回路規模の増大や無駄な電力消費をより効果的に防止しつつ、印刷画質を向上させることが可能となる。

更に、本実施の形態では、追加浮遊容量部４２Ｃ１，４２Ｃ２におけるダミー壁Ｗｄの両側面（側面Ｓ１，Ｓ２）に配置された各ダミー電極Ｅｄに対して、所定の電位に設定するための配線（図６の例では、共通電位に設定するための共通配線Ｗｉｃ）が、共通接続されていることから、以下のようになる。すなわち、既存の製造工程をほぼ変更する必要が無く、追加浮遊容量部４２Ｃ１，４２Ｃ２による上記した浮遊容量の増加を、実現できるようになる。よって、本実施の形態では、簡易な手法にて、印刷画質を向上させることが可能となる。

加えて、本実施の形態では、追加浮遊容量部４２Ｃ１，４２Ｃ２において、Ｘ軸方向に沿ってダミー壁Ｗｄとダミー電極Ｅｄとがそれぞれ、複数設けられていることから、以下のようになる。すなわち、追加される浮遊容量が更に増加する結果、吐出領域Ａｍ内でのインク９の吐出速度Ｖｉのばらつきが更に低減され、印刷画質が更に向上する。よって、回路規模の増大や無駄な電力消費を防止しつつ、印刷画質の更なる向上を図ることが可能となる。

なお、追加浮遊容量部４２Ｃ１，４２Ｃ２内におけるダミー壁Ｗｄの個数としては、吐出領域Ａｍ内における駆動壁Ｗの個数に対し、例えば、０．５％～３％の範囲内であるのが望ましい。ダミー壁Ｗｄの個数を、駆動壁Ｗの個数を基準としたそのような範囲内に抑えるようにした場合、インクジェットヘッド４におけるＸ軸方向の長さ（ノズル孔Ｈｎの並置方向に沿った長さ）への影響を最小限に抑えつつ、インク９の吐出速度Ｖｉのばらつきを低減する（印刷画質を向上させる）ことが可能となる。

また、本実施の形態では、一対の端部領域Ａｅ１，Ａｅ２の双方に、追加浮遊容量部（追加浮遊容量部４２Ｃ１，４２Ｃ２）が設けられていることから、以下のようになる。すなわち、これら双方の端部領域Ａｅ１，Ａｅ２の各々について、上記した隣接領域に位置する個別電極Ｅａとの間で生じる浮遊容量が増加し、その隣接領域付近での浮遊容量の不均一性が、低減されることになる（図１０参照）。このようにして、双方の隣接領域付近において、インク９の吐出速度Ｖｉの増大がそれぞれ抑えられる結果、吐出領域Ａｍ内でのインク９の吐出速度Ｖｉのばらつきが更に低減され、印刷画質が更に向上することになる。よって、回路規模の増大や無駄な電力消費を防止しつつ、印刷画質の更なる向上を図ることが可能となる。

＜２．変形例＞
続いて、上記実施の形態の変形例（変形例１～５）について説明する。以下の各変形例では、実施の形態における構成要素と同一のものには同一の符号を付し、適宜説明を省略する。

なお、以下の各変形例に係るインクジェットヘッド（後述するインクジェットヘッド４ａ～４ｅ）はそれぞれ、本開示における「液体噴射ヘッド」の一具体例に対応している。また、これらの各インクジェットヘッドにおけるノズルプレート４１およびアクチュエータプレート（後述するアクチュエータプレート４２ａ～４２ｅ）はそれぞれ、本開示における「ヘッドチップ」の一具体例に対応している。更に、これらの各インクジェットヘッドを備えたプリンタはそれぞれ、本開示における「液体噴射記録装置」の一具体例に対応している。

［変形例１］
（構成）
図１２は、変形例１に係るインクジェットヘッド４ａにおける端部領域Ａｅ１付近の断面構成例（Ｚ－Ｘ断面構成例）を、模式的に表したものである。この変形例１のインクジェットヘッド４ａは、図６に示した本実施の形態のインクジェットヘッド４において、アクチュエータプレート４２の代わりに、アクチュエータプレート４２ａを設けるようにしたものに対応している。

このアクチュエータプレート４２ａでは、アクチュエータプレート４２と同様に、端部領域Ａｅ１，Ａｅ２にそれぞれ、追加浮遊容量部が設けられている。具体的には図１２に示したように、端部領域Ａｅ１には、追加浮遊容量部４２Ｃ１ａが設けられている。

この追加浮遊容量部４２Ｃ１ａでは、追加浮遊容量部４２Ｃ１（図６参照）とは異なり、ダミー壁Ｗｄによって区画されるダミーチャネルＣ２ｄにおけるＸ軸方向の幅が、吐出領域Ａｍ内の各チャネルＣ１（吐出チャネルＣ１ｅおよび非吐出チャネルＣ１ｄ）におけるＸ軸方向の幅と比較して、以下のようになっている。すなわち、図１２に示したように、所定の電位（共通電位）に設定するための共通配線Ｗｉｃが接続されたダミー電極Ｅｄが設けられているダミー壁Ｗｄによって区画される、ダミーチャネルＣ２ｄにおけるＸ軸方向の幅（チャネル幅Ｌｃ）が、吐出チャネルＣ１ｅおよび非吐出チャネルＣ１ｄにおけるＸ軸方向の幅（チャネル幅Ｌｃ，Ｌａ）よりも、小さくなっている。つまり、このようなダミーチャネルＣ２ｄのチャネル幅Ｌｄが、吐出チャネルＣ１ｅのチャネル幅Ｌｃおよび非吐出チャネルＣ１ｄのチャネル幅Ｌａの各々と比べて小さくなるように、設定されている（Ｌｄ＜Ｌｃ，Ｌｄ＜Ｌｄ）。

ここで、浮遊容量の大きさ（浮遊容量値Ｃｓ）は一般に、電極間の誘電率ε、電極の面積（有効面積）Ｓｅおよび電極間距離ｄｅを用いて、以下の（１）式により規定される。したがって、詳細は後述するが、この（１）式中の電極間距離ｄｅに相当する、上記した各チャネル幅（図１２の例では、特にチャネル幅Ｌｄ）の大きさを調整することで、浮遊容量値Ｃｓも調整可能となる。
Ｃｓ＝{（ε×Ｓｅ）／ｄｅ} ……（１）

なお、この図１２の例では、追加浮遊容量部４２Ｃ１ａ内において、ダミー壁Ｗｄ、ダミー溝Ｃ２ｄおよびダミー電極Ｅｄ（共通配線Ｗｉｃが接続されたダミー電極Ｅｄ）がそれぞれ、１つだけ設けられているが、この例には限られない。すなわち、このようなダミー壁Ｗｄ、ダミー溝Ｃ２ｄおよびダミー電極Ｅｄがそれぞれ、追加浮遊容量部４２Ｃ１ａ内に複数設けられているようにしてもよい。このような各部材の個数が追加浮遊容量部内で任意に設定可能であることは、後述する各変形例（変形例２～５）においても同様である。

（作用・効果）
このような構成の変形例１においても、アクチュエータプレート４２ａの端部領域Ａｅ１，Ａｅ２に、追加浮遊容量部を設けるようにしたので、基本的には実施の形態と同様の作用により、同様の効果を得ることが可能である。すなわち、この変形例１においても実施の形態と同様に、回路規模の増大や無駄な電力消費を防止しつつ、印刷画質を向上させることが可能となる。

また、特にこの変形例１では、上記した構成のダミーチャネルＣ２ｄにおけるチャネル幅Ｌｄが、吐出チャネルＣ１ｅのチャネル幅Ｌｃおよび非吐出チャネルＣ１ｄのチャネル幅Ｌａの各々と比べて小さくなるようにしたので、例えば以下のような効果を得ることも可能となる。すなわち、所定の電位（共通電位）に設定するための共通配線Ｗｉｃが接続されたダミー電極Ｅｄと、他の電極（図１２の例では個別電極Ｅａ）との間の距離（電極間距離ｄｅ）が、小さくなる。これにより、追加浮遊容量部４２Ｃ１ａによって追加される浮遊容量値Ｃｓ（図７に示した浮遊容量Ｃｓ１Ｌの大きさに相当）が大きくなることから（上記（１）式参照）、例えばダミー壁Ｗｄやダミー電極Ｅｄの個数を増加させることなく、必要となる浮遊容量値Ｃｓを確保することができる。よって、この変形例１では、追加浮遊容量部４２Ｃ１ａの配置領域を小さく抑えつつ、印刷画質を向上させることが可能となる。

［変形例２］
（構成）
図１３は、変形例２に係るインクジェットヘッド４ｂにおける端部領域Ａｅ１付近の断面構成例（Ｚ－Ｘ断面構成例）を、模式的に表したものである。この変形例２のインクジェットヘッド４ｂは、図６に示した本実施の形態のインクジェットヘッド４において、アクチュエータプレート４２の代わりに、アクチュエータプレート４２ｂを設けるようにしたものに対応している。

このアクチュエータプレート４２ｂでは、アクチュエータプレート４２と同様に、端部領域Ａｅ１，Ａｅ２にそれぞれ、追加浮遊容量部が設けられている。具体的には図１３に示したように、端部領域Ａｅ１には、追加浮遊容量部４２Ｃ１ｂが設けられている。

この追加浮遊容量部４２Ｃ１ａでは、追加浮遊容量部４２Ｃ１（図６参照）とは異なり、所定の電位（共通電位）に設定するための共通配線Ｗｉｃが接続されたダミー電極Ｅｄにおいて、その表面の少なくとも一部の領域が、粗面となっている。具体的には、図１３の例では、そのようなダミー電極Ｅｄにおけるダミー壁Ｗｄ側（ダミーチャネルＣ２ｄとは反対側）の表面の全領域が、粗面Ｓｒとなっている。なお、このような粗面Ｓｒは、ダミー電極Ｅｄにおけるダミー壁Ｗｄ側の表面およびダミーチャネルＣ２ｄ側の表面の、一方または双方のいずれに形成されていてもよく、また、そのようは表面の全領域には限られず、一部の領域のみに形成されていてもよい。

ここで、このようなダミー電極Ｅｄの表面に粗面Ｓｒが形成されていると、その表面における表面積が増加し、そのダミー電極Ｅｄにおける有効面積も増加する。したがって、前述した（１）式を参照すると、そのようなダミー電極Ｅｄの粗化を利用して、そのダミー電極Ｅｄにおける有効面積（電極の面積Ｓｅに相当）の大きさを調整することで、浮遊容量値Ｃｓも調整可能となる。

（作用・効果）
このような構成の変形例２においても、アクチュエータプレート４２ｂの端部領域Ａｅ１，Ａｅ２に、追加浮遊容量部を設けるようにしたので、基本的には実施の形態と同様の作用により、同様の効果を得ることが可能である。すなわち、この変形例２においても実施の形態と同様に、回路規模の増大や無駄な電力消費を防止しつつ、印刷画質を向上させることが可能となる。

また、特にこの変形例２では、上記したダミー電極Ｅｄにおける表面の少なくとも一部の領域が、粗面となっているようにしたので、例えば以下のような効果を得ることも可能となる。すなわち、そのダミー電極Ｅｄにおける表面積が増加し、所定の電位（共通電位）に設定するための共通配線Ｗｉｃが接続されたダミー電極Ｅｄにおける有効面積（電極の面積Ｓｅ）が、増加することになる。これにより、追加浮遊容量部４２Ｃ１ｂによって追加される浮遊容量値Ｃｓ（図７に示した浮遊容量Ｃｓ１Ｌの大きさに相当）が大きくなることから（上記（１）式参照）、例えばダミー壁Ｗｄやダミー電極Ｅｄの個数を増加させることなく、必要となる浮遊容量値Ｃｓを確保することができる。よって、この変形例２においても変形例１と同様に、追加浮遊容量部４２Ｃ１ｂの配置領域を小さく抑えつつ、印刷画質を向上させることが可能となる。

［変形例３］
（構成）
図１４は、変形例３に係るインクジェットヘッド４ｃにおける端部領域Ａｅ１付近の断面構成例（Ｚ－Ｘ断面構成例）を、模式的に表したものである。この変形例３のインクジェットヘッド４ｃは、図６に示した本実施の形態のインクジェットヘッド４において、アクチュエータプレート４２の代わりに、アクチュエータプレート４２ｃを設けるようにしたものに対応している。

このアクチュエータプレート４２ｃでは、アクチュエータプレート４２と同様に、端部領域Ａｅ１，Ａｅ２にそれぞれ、追加浮遊容量部が設けられている。具体的には図１４に示したように、端部領域Ａｅ１には、追加浮遊容量部４２Ｃ１ｃが設けられている。

この追加浮遊容量部４２Ｃ１ｃでは、追加浮遊容量部４２Ｃ１（図６参照）とは異なり、所定の電位（共通電位）に設定するための共通配線Ｗｉｃが接続されたダミー電極Ｅｄが、ダミー壁Ｗｄにおいて以下のように配置されている。すなわち、図１４に示したように、そのような共通配線Ｗｉｃが接続されたダミー電極Ｅｄが、ダミー壁Ｗｄにおける両側面（Ｘ軸方向に沿って対向する側面Ｓ１，Ｓ２）と、前述した上面Ｓｕ（側面Ｓ１，Ｓ２同士を繋ぐ表面）とをそれぞれ、覆うように配置されている。

（作用・効果）
このような構成の変形例３においても、アクチュエータプレート４２ｃの端部領域Ａｅ１，Ａｅ２に、追加浮遊容量部を設けるようにしたので、基本的には実施の形態と同様の作用により、同様の効果を得ることが可能である。すなわち、この変形例３においても実施の形態と同様に、回路規模の増大や無駄な電力消費を防止しつつ、印刷画質を向上させることが可能となる。

また、特にこの変形例３では、上記したダミー電極Ｅｄが、ダミー壁Ｗｄにおける側面Ｓ１，Ｓ２および上面Ｓｕをそれぞれ覆うように配置されているので、例えば以下のような効果を得ることも可能となる。すなわち、ダミー電極Ｅｄの製造工程を特に複雑化させずに、上記したダミー電極Ｅｄにおける有効面積（電極の面積Ｓｅ）を、増加させることができる。これにより、追加浮遊容量部４２Ｃ１ｃによって追加される浮遊容量値Ｃｓ（図７に示した浮遊容量Ｃｓ１Ｌの大きさに相当）が大きくなることから（上記（１）式参照）、例えばダミー壁Ｗｄやダミー電極Ｅｄの個数を増加させることなく、必要となる浮遊容量値Ｃｓを確保することができる。よって、この変形例３においても変形例１，２と同様に、追加浮遊容量部４２Ｃ１ｃの配置領域を小さく抑えつつ、印刷画質を向上させることが可能となる。

［変形例４］
（構成）
図１５は、変形例４に係るインクジェットヘッド４ｄにおける端部領域Ａｅ１付近の断面構成例（Ｚ－Ｘ断面構成例）を、模式的に表したものである。この変形例４のインクジェットヘッド４ｄは、図６に示した本実施の形態のインクジェットヘッド４において、アクチュエータプレート４２の代わりに、アクチュエータプレート４２ｄを設けるようにしたものに対応している。

このアクチュエータプレート４２ｄでは、アクチュエータプレート４２と同様に、端部領域Ａｅ１，Ａｅ２にそれぞれ、追加浮遊容量部が設けられている。具体的には図１５に示したように、端部領域Ａｅ１には、追加浮遊容量部４２Ｃ１ｄが設けられている。

この追加浮遊容量部４２Ｃ１ｄでは、追加浮遊容量部４２Ｃ１（図６参照）とは異なり、複数のダミー電極Ｅｄのうちの一部のダミー電極Ｅｄに、共通配線Ｗｉｃおよび他の配線がいずれも接続されておらず、共通電位等の所定の電位が設定されていない。具体的には、図１５の例では、各ダミー壁Ｗｄにおける両側面（側面Ｓ１，Ｓ２）上の一対のダミー電極Ｅｄとしての、ダミー電極Ｅｄ１，Ｅｄ２のうち、ダミー電極Ｅｄ１には共通配線Ｗｉｃが共通接続される一方、ダミー電極Ｅｄ２には配線が接続されないようになっている。つまり、このようなダミー電極Ｅｄ２は、回路としては浮いた状態（オープン状態）に設定されている。

このように、追加浮遊容量部内における複数のダミー電極Ｅｄ１のうちの一部のダミー電極Ｅｄが、所定の電位に設定するための配線に接続されておらず、オープン状態に設定されているようにしてもよい。この点は、実施の形態および他の変形例（変形例１～３，５）においても、同様である。

（作用・効果）
このような構成の変形例４においても、アクチュエータプレート４２ｄの端部領域Ａｅ１，Ａｅ２に、追加浮遊容量部を設けるようにしたので、基本的には実施の形態と同様の作用により、同様の効果を得ることが可能である。すなわち、この変形例４においても実施の形態と同様に、回路規模の増大や無駄な電力消費を防止しつつ、印刷画質を向上させることが可能となる。

また、特にこの変形例４では、前述した変形例１，２とは異なり、追加される浮遊容量Ｃｓの大きさが、実施の形態よりも少なくなることから、追加される浮遊容量Ｃｓの大きさを、より精密に調整することが可能となる。

［変形例５］
（構成）
図１６は、変形例５に係るインクジェットヘッド４ｅにおける端部領域Ａｅ１付近の断面構成例（Ｚ－Ｘ断面構成例）を、模式的に表したものである。この変形例５のインクジェットヘッド４ｅは、図６に示した本実施の形態のインクジェットヘッド４において、アクチュエータプレート４２の代わりに、アクチュエータプレート４２ｅを設けるようにしたものに対応している。

このアクチュエータプレート４２ｅでは、アクチュエータプレート４２と同様に、端部領域Ａｅ１，Ａｅ２にそれぞれ、追加浮遊容量部が設けられている。具体的には図１６に示したように、端部領域Ａｅ１には、追加浮遊容量部４２Ｃ１ｅが設けられている。

この追加浮遊容量部４２Ｃ１ｅでは、追加浮遊容量部４２Ｃ１（図６参照）とは異なり、少なくとも１つのダミー電極Ｅｄが、個別電極Ｅａに接続されている個別配線Ｗｉａおよび共通電極Ｅｃに接続されている共通配線Ｗｉｃとは異なる、他の配線を介して接地されている。具体的には、図１６の例では、追加浮遊容量部４２Ｃ１ｅ内の全てのダミー電極Ｅｄが、接地配線Ｗｉｇを介して共通接続され、接地されている（グランドに接続されている）。換言すると、これらの各ダミー電極Ｅｄにおける電位は、接地配線Ｗｉｇを介して、所定の電位としての接地電位（グランド電位）に設定されている。

（作用・効果）
このような構成の変形例５においても、アクチュエータプレート４２ｅの端部領域Ａｅ１，Ａｅ２に、追加浮遊容量部を設けるようにしたので、基本的には実施の形態と同様の作用により、同様の効果を得ることが可能である。すなわち、この変形例５においても実施の形態と同様に、回路規模の増大や無駄な電力消費を防止しつつ、印刷画質を向上させることが可能となる。

また、特にこの変形例５では、追加浮遊容量部４２Ｃ１ｅ内における少なくとも１つのダミー電極Ｅｄが、個別配線Ｗｉａおよび共通配線Ｗｉｃとは異なる接地配線Ｗｉｇを介して接地されているようにしたので、例えば以下のような効果を得ることも可能となる。すなわち、例えば、各共通電極Ｅｃに所定の電圧を印加した場合（例えば、いわゆる「コモンドライブ」を行う場合）であっても、追加浮遊容量部４２Ｃ１ｅによる浮遊容量Ｃｓ１Ｌ（図７参照）の増加を、ダミー電極Ｅｄの配置自由度を損なわずに実現できるようになる。よって、この変形例５では、利便性を向上させつつ、印刷画質を向上させることが可能となる。

＜３．その他の変形例＞
以上、実施の形態および変形例を挙げて本開示を説明したが、本開示はこれらの実施の形態等に限定されず、種々の変形が可能である。

例えば、上記実施の形態等では、プリンタおよびインクジェットヘッドにおける各部材の構成例（形状、配置、個数等）を具体的に挙げて説明したが、上記実施の形態等で説明したものには限られず、他の形状や配置、個数等であってもよい。また、上記実施の形態等で説明した各種パラメータの値や範囲、大小関係等についても、上記実施の形態等で説明したものには限られず、他の値や範囲、大小関係等であってもよい。

また、上記実施の形態等では基本的に、所定方向（Ｘ軸方向）に沿った一対の端部領域Ａｅ１，Ａｅ２の双方に、追加浮遊容量部が設けられている場合を例に挙げて説明したが、この例には限られない。すなわち、例えば、これら一対の端部領域Ａｅ１，Ａｅ２のうちの一方の端部領域にのみ、上記実施の形態等で説明した追加浮遊容量部が設けられているようにしてもよい。

また、インクジェットヘッドの構造としては、各タイプのものを適用することが可能である。すなわち、例えば上記実施の形態等では、アクチュエータプレートにおける各吐出チャネルの延在方向の中央部からインク９を吐出する、いわゆるサイドシュートタイプのインクジェットヘッドを例に挙げて説明した。ただし、この例には限られず、例えば、各吐出チャネルの延在方向に沿ってインク９を吐出する、いわゆるエッジシュートタイプのインクジェットヘッドであってもよい。

更に、上記実施の形態等では、インクタンクとインクジェットヘッドとの間でインク９を循環させずに利用する、非循環式のインクジェットヘッドを例に挙げて説明したが、この例には限られない。すなわち、例えば、インクタンクとインクジェットヘッドとの間でインク９を循環させて利用する、循環式のインクジェットヘッドにおいても、本開示を適用することが可能である。

加えて、上記実施の形態等では、アクチュエータプレートの吐出領域Ａｍ内に形成された複数の溝（チャネルＣ１）として、所定方向（Ｘ軸方向）に沿って交互に配置された、複数の吐出溝（吐出チャネルＣ１ｅ）と複数の非吐出溝（非吐出チャネルＣ１ｄ）とが含まれている場合を例に挙げて説明したが、この例には限られない。すなわち、例えば、吐出領域Ａｍ内における複数の溝として、吐出溝のみが形成されている（非吐出溝が形成されていない）ようにしてもよい。また、アクチュエータプレートの吐出領域Ａｍ内に形成された駆動電極Ｅとしても、例えば、共通電極Ｅｃおよび個別電極Ｅａのうちの、個別電極Ｅａのみが設けられている（共通電極Ｅｃが設けられていない）ようにしてもよい。

また、上記実施の形態等で説明した一連の処理は、ハードウェア（回路）で行われるようにしてもよいし、ソフトウェア（プログラム）で行われるようにしてもよい。ソフトウェアで行われるようにした場合、そのソフトウェアは、各機能をコンピュータにより実行させるためのプログラム群で構成される。各プログラムは、例えば、上記コンピュータに予め組み込まれて用いられてもよいし、ネットワークや記録媒体から上記コンピュータにインストールして用いられてもよい。

更に、上記実施の形態等では、本開示における「液体噴射記録装置」の一具体例として、プリンタ１（インクジェットプリンタ）を挙げて説明したが、この例には限られず、インクジェットプリンタ以外の他の装置にも、本開示を適用することが可能である。換言すると、本開示の「液体噴射ヘッド」（インクジェットヘッド）を、インクジェットプリンタ以外の他の装置に適用するようにしてもよい。具体的には、例えば、ファクシミリやオンデマンド印刷機などの装置に、本開示の「液体噴射ヘッド」を適用するようにしてもよい。

加えて、これまでに説明した各種の例を、任意の組み合わせで適用させるようにしてもよい。

なお、本明細書中に記載された効果はあくまで例示であって限定されるものではなく、また、他の効果があってもよい。

また、本開示は、以下のような構成を取ることも可能である。
（１）
液体を噴射するヘッドチップであって、
所定方向に沿って、一対の端部領域と、前記一対の端部領域の間に位置する吐出領域と、を有するアクチュエータプレートと、
前記液体を吐出するための複数のノズル孔を有するノズルプレートと
を備え、
前記アクチュエータプレートは、
前記アクチュエータプレートの表面に形成され、前記吐出領域内において前記所定方向に沿って並設された複数の溝と、
前記所定方向に沿って前記溝同士を区画する複数の駆動壁と、
前記複数の溝のうちの少なくとも一部の溝内に形成された個別電極と、
前記一対の端部領域のうちの少なくとも一方の端部領域に設けられていると共に、１または複数のダミー壁と、前記ダミー壁に形成された１または複数のダミー電極と、を含んで構成された追加浮遊容量部と
を有しており、
前記追加浮遊容量部は、前記吐出領域内において前記所定方向に沿って前記端部領域に隣接する隣接領域に位置する前記個別電極との間で生じる浮遊容量を増加させて、前記隣接領域付近での浮遊容量の不均一性を低減させる
ヘッドチップ。
（２）
前記複数の溝として、前記所定方向に沿って交互に配置された、複数の吐出溝と複数の非吐出溝とが含まれており、
前記複数の吐出溝内にそれぞれ、共通電極が形成されていると共に、前記複数の非吐出溝内にそれぞれ、前記個別電極が形成されており、
前記１または複数のダミー電極のうちの少なくとも１つのダミー電極における電位が、前記共通電極における電位と等しくなっている
上記（１）に記載のヘッドチップ。
（３）
前記複数の溝として、前記所定方向に沿って交互に配置された、複数の吐出溝と複数の非吐出溝とが含まれており、
前記複数の吐出溝内にそれぞれ、共通電極が形成されていると共に、前記複数の非吐出溝内にそれぞれ、前記個別電極が形成されており、
前記１または複数のダミー電極のうちの少なくとも１つのダミー電極が、前記個別電極および前記共通電極にそれぞれ接続されている配線とは異なる、他の配線を介して接地されている
上記（１）に記載のヘッドチップ。
（４）
前記ダミー壁が、前記所定方向に沿って対向する第１および第２の側面を有しており、
前記ダミー壁における前記第１および第２の側面にそれぞれ、前記ダミー電極が配置されていると共に、
前記第１および第２の側面における前記ダミー電極の各々に対して、所定の電位に設定するための配線が、共通接続されている
上記（１）ないし（３）のいずれかに記載のヘッドチップ。
（５）
前記ダミー壁が、前記所定方向に沿って対向する第１および第２の側面を有しており、
所定の電位に設定するための配線が接続された前記ダミー電極が、前記ダミー壁における前記第１および第２の側面と、前記第１および第２の側面同士を繋ぐ前記表面とをそれぞれ、覆うように配置されている
上記（１）ないし（３）のいずれかに記載のヘッドチップ。
（６）
前記端部領域では、前記ダミー壁によって区画されるダミー溝が形成されており、
所定の電位に設定するための配線が接続された前記ダミー電極が設けられている前記ダミー壁によって区画される、前記ダミー溝における前記所定方向に沿った幅が、前記吐出領域内の前記溝における前記所定方向に沿った幅よりも、小さい
上記（１）ないし（５）のいずれかに記載のヘッドチップ。
（７）
所定の電位に設定するための配線が接続された前記ダミー電極において、その表面の少なくとも一部の領域が、粗面となっている
上記（１）ないし（６）のいずれかに記載のヘッドチップ。
（８）
前記追加浮遊容量部において、前記所定方向に沿って、前記ダミー壁と、所定の電位に設定するための配線が接続された前記ダミー電極とがそれぞれ、複数設けられている
上記（１）ないし（７）のいずれかに記載のヘッドチップ。
（９）
前記所定方向に沿った前記一対の端部領域の双方に、前記追加浮遊容量部が設けられている
上記（１）ないし（８）のいずれかに記載のヘッドチップ。
（１０）
上記（１）ないし（９）のいずれかに記載のヘッドチップと、
前記ノズル孔から前記液体を噴射させる駆動部と
を備えた液体噴射ヘッド。
（１１）
上記（１０）に記載の液体噴射ヘッドを備えた
液体噴射記録装置。

１…プリンタ、１０…筺体、１１…印刷制御部、２ａ，２ｂ…搬送機構、２１…グリッドローラ、２２…ピンチローラ、３（３Ｙ，３Ｍ，３Ｃ，３Ｋ）…インクタンク、４（４Ｙ，４Ｍ，４Ｃ，４Ｋ），４ａ～４ｅ…インクジェットヘッド、４１…ノズルプレート、４２…アクチュエータプレート、４２Ｃ１，４２Ｃ１ａ～４２Ｃ１ｅ，４２Ｃ２… 追加浮遊容量部、４３…カバープレート、４９…駆動部、５０…インク供給管、６…走査機構、６１ａ，６１ｂ…ガイドレール、６２…キャリッジ、６３…駆動機構、６３１ａ，６３１ｂ…プーリ、６３２…無端ベルト、６３３…駆動モータ、９…インク、Ｐ…記録紙、ｄ…搬送方向、Ｈｎ…ノズル孔、Ｓｄ（Ｓｄ１，Ｓｄ２，Ｓｄｄ）…駆動信号、Ｖｄ…駆動電圧、Ｃ１…チャネル、Ｃ１ｅ…吐出チャネル、Ｃ１ｄ…非吐出チャネル、Ｃ２ｄ… ダミーチャネル、Ｗ…駆動壁、Ｗｄ… ダミー壁、Ｅ…駆動電極、Ｅａ…個別電極（アクティブ電極）、Ｅｃ…共通電極（コモン電極）、Ｅｄ（Ｅｄ１，Ｅｄ２）…ダミー電極、ｄａ…膨張方向、ｄｂ…収縮方向、Ｄｐ…印刷データ、Ａｅ１，Ａｅ２… 端部領域、Ａｍ… 吐出領域（非端部領域）、Ｗｉｃ… 共通配線、Ｗｉａ… 個別配線、Ｗｉｇ… 接地配線、Ｃ１Ｒ，Ｃ１Ｌ，Ｃ２Ｒ，Ｃ２Ｌ…容量、Ｃｓ１Ｒ，Ｃｓ１Ｌ，Ｃｓ２Ｒ，Ｃｓ２Ｌ… 浮遊容量、Ｓ１，Ｓ２… 側面、Ｓｕ… 上面（表面）、Ｓｒ… 粗面、Ｖｉ… 吐出速度、Ｌａ，Ｌｃ，Ｌｄ… チャネル幅。

Claims (10)

1. 液体を噴射するヘッドチップであって、
   所定方向に沿って、一対の端部領域と、前記一対の端部領域の間に位置する吐出領域と、を有するアクチュエータプレートと、
   前記液体を吐出するための複数のノズル孔を有するノズルプレートと
   を備え、
   前記アクチュエータプレートは、
   前記アクチュエータプレートの表面に形成され、前記吐出領域内において前記所定方向に沿って並設された複数の溝と、
   前記所定方向に沿って前記溝同士を区画する複数の駆動壁と、
   前記複数の溝のうちの少なくとも一部の溝内に形成された個別電極と、
   前記一対の端部領域のうちの少なくとも一方の端部領域に設けられていると共に、１または複数のダミー壁と、前記ダミー壁に形成された１または複数のダミー電極と、を含んで構成された追加浮遊容量部と
   を有しており、
   前記駆動壁では屈曲変形が生じるように構成されていると共に、前記ダミー壁では前記屈曲変形が生じないように構成されており、
   前記複数の溝として、前記所定方向に沿って交互に配置された、複数の吐出溝と複数の非吐出溝とが含まれており、
   前記複数の吐出溝内にそれぞれ、共通電極が形成されていると共に、前記複数の非吐出溝内にそれぞれ、前記個別電極が形成されており、
   前記１または複数のダミー電極のうちの少なくとも１つのダミー電極における電位が、前記共通電極における電位と等しくなっており、
   前記追加浮遊容量部は、前記吐出領域内において前記所定方向に沿って前記端部領域に隣接する隣接領域に位置する前記個別電極との間で生じる浮遊容量を増加させて、前記隣接領域付近での浮遊容量の不均一性を低減させる
   ヘッドチップ。
2. 液体を噴射するヘッドチップであって、
   所定方向に沿って、一対の端部領域と、前記一対の端部領域の間に位置する吐出領域と、を有するアクチュエータプレートと、
   前記液体を吐出するための複数のノズル孔を有するノズルプレートと
   を備え、
   前記アクチュエータプレートは、
   前記アクチュエータプレートの表面に形成され、前記吐出領域内において前記所定方向に沿って並設された複数の溝と、
   前記所定方向に沿って前記溝同士を区画する複数の駆動壁と、
   前記複数の溝のうちの少なくとも一部の溝内に形成された個別電極と、
   前記一対の端部領域のうちの少なくとも一方の端部領域に設けられていると共に、１または複数のダミー壁と、前記ダミー壁に形成された１または複数のダミー電極と、を含んで構成された追加浮遊容量部と
   を有しており、
   前記駆動壁では屈曲変形が生じるように構成されていると共に、前記ダミー壁では前記屈曲変形が生じないように構成されており、
   前記複数の溝として、前記所定方向に沿って交互に配置された、複数の吐出溝と複数の非吐出溝とが含まれており、
   前記複数の吐出溝内にそれぞれ、共通電極が形成されていると共に、前記複数の非吐出溝内にそれぞれ、前記個別電極が形成されており、
   前記１または複数のダミー電極のうちの少なくとも１つのダミー電極が、前記個別電極および前記共通電極にそれぞれ接続されている配線とは異なる、他の配線を介して接地されており、
   前記追加浮遊容量部は、前記吐出領域内において前記所定方向に沿って前記端部領域に隣接する隣接領域に位置する前記個別電極との間で生じる浮遊容量を増加させて、前記隣接領域付近での浮遊容量の不均一性を低減させる
   ヘッドチップ。
3. 液体を噴射するヘッドチップであって、
   所定方向に沿って、一対の端部領域と、前記一対の端部領域の間に位置する吐出領域と、を有するアクチュエータプレートと、
   前記液体を吐出するための複数のノズル孔を有するノズルプレートと
   を備え、
   前記アクチュエータプレートは、
   前記アクチュエータプレートの表面に形成され、前記吐出領域内において前記所定方向に沿って並設された複数の溝と、
   前記所定方向に沿って前記溝同士を区画する複数の駆動壁と、
   前記複数の溝のうちの少なくとも一部の溝内に形成された個別電極と、
   前記一対の端部領域のうちの少なくとも一方の端部領域に設けられていると共に、１または複数のダミー壁と、前記ダミー壁に形成された１または複数のダミー電極と、を含んで構成された追加浮遊容量部と
   を有しており、
   前記駆動壁では屈曲変形が生じるように構成されていると共に、前記ダミー壁では前記屈曲変形が生じないように構成されており、
   前記ダミー壁が、前記所定方向に沿って対向する第１および第２の側面を有しており、
   前記ダミー壁における前記第１および第２の側面にそれぞれ、前記ダミー電極が配置されていると共に、
   前記第１および第２の側面における前記ダミー電極の各々に対して、所定の電位に設定するための配線が、共通接続されており、
   前記追加浮遊容量部は、前記吐出領域内において前記所定方向に沿って前記端部領域に隣接する隣接領域に位置する前記個別電極との間で生じる浮遊容量を増加させて、前記隣接領域付近での浮遊容量の不均一性を低減させる
   ヘッドチップ。
4. 液体を噴射するヘッドチップであって、
   所定方向に沿って、一対の端部領域と、前記一対の端部領域の間に位置する吐出領域と、を有するアクチュエータプレートと、
   前記液体を吐出するための複数のノズル孔を有するノズルプレートと
   を備え、
   前記アクチュエータプレートは、
   前記アクチュエータプレートの表面に形成され、前記吐出領域内において前記所定方向に沿って並設された複数の溝と、
   前記所定方向に沿って前記溝同士を区画する複数の駆動壁と、
   前記複数の溝のうちの少なくとも一部の溝内に形成された個別電極と、
   前記一対の端部領域のうちの少なくとも一方の端部領域に設けられていると共に、１または複数のダミー壁と、前記ダミー壁に形成された１または複数のダミー電極と、を含んで構成された追加浮遊容量部と
   を有しており、
   前記駆動壁では屈曲変形が生じるように構成されていると共に、前記ダミー壁では前記屈曲変形が生じないように構成されており、
   前記ダミー壁が、前記所定方向に沿って対向する第１および第２の側面を有しており、
   所定の電位に設定するための配線が接続された前記ダミー電極が、前記ダミー壁における前記第１および第２の側面と、前記第１および第２の側面同士を繋ぐ前記表面とをそれぞれ、覆うように配置されており、
   前記追加浮遊容量部は、前記吐出領域内において前記所定方向に沿って前記端部領域に隣接する隣接領域に位置する前記個別電極との間で生じる浮遊容量を増加させて、前記隣接領域付近での浮遊容量の不均一性を低減させる
   ヘッドチップ。
5. 液体を噴射するヘッドチップであって、
   所定方向に沿って、一対の端部領域と、前記一対の端部領域の間に位置する吐出領域と、を有するアクチュエータプレートと、
   前記液体を吐出するための複数のノズル孔を有するノズルプレートと
   を備え、
   前記アクチュエータプレートは、
   前記アクチュエータプレートの表面に形成され、前記吐出領域内において前記所定方向に沿って並設された複数の溝と、
   前記所定方向に沿って前記溝同士を区画する複数の駆動壁と、
   前記複数の溝のうちの少なくとも一部の溝内に形成された個別電極と、
   前記一対の端部領域のうちの少なくとも一方の端部領域に設けられていると共に、１または複数のダミー壁と、前記ダミー壁に形成された１または複数のダミー電極と、を含んで構成された追加浮遊容量部と
   を有しており、
   前記駆動壁では屈曲変形が生じるように構成されていると共に、前記ダミー壁では前記屈曲変形が生じないように構成されており、
   前記端部領域では、前記ダミー壁によって区画されるダミー溝が形成されており、
   所定の電位に設定するための配線が接続された前記ダミー電極が設けられている前記ダミー壁によって区画される、前記ダミー溝における前記所定方向に沿った幅が、前記吐出領域内の前記溝における前記所定方向に沿った幅よりも、小さくなっており、
   前記追加浮遊容量部は、前記吐出領域内において前記所定方向に沿って前記端部領域に隣接する隣接領域に位置する前記個別電極との間で生じる浮遊容量を増加させて、前記隣接領域付近での浮遊容量の不均一性を低減させる
   ヘッドチップ。
6. 液体を噴射するヘッドチップであって、
   所定方向に沿って、一対の端部領域と、前記一対の端部領域の間に位置する吐出領域と、を有するアクチュエータプレートと、
   前記液体を吐出するための複数のノズル孔を有するノズルプレートと
   を備え、
   前記アクチュエータプレートは、
   前記アクチュエータプレートの表面に形成され、前記吐出領域内において前記所定方向に沿って並設された複数の溝と、
   前記所定方向に沿って前記溝同士を区画する複数の駆動壁と、
   前記複数の溝のうちの少なくとも一部の溝内に形成された個別電極と、
   前記一対の端部領域のうちの少なくとも一方の端部領域に設けられていると共に、１または複数のダミー壁と、前記ダミー壁に形成された１または複数のダミー電極と、を含んで構成された追加浮遊容量部と
   を有しており、
   前記駆動壁では屈曲変形が生じるように構成されていると共に、前記ダミー壁では前記屈曲変形が生じないように構成されており、
   所定の電位に設定するための配線が接続された前記ダミー電極において、その表面の少なくとも一部の領域が、粗面となっており、
   前記追加浮遊容量部は、前記吐出領域内において前記所定方向に沿って前記端部領域に隣接する隣接領域に位置する前記個別電極との間で生じる浮遊容量を増加させて、前記隣接領域付近での浮遊容量の不均一性を低減させる
   ヘッドチップ。
7. 液体を噴射するヘッドチップであって、
   所定方向に沿って、一対の端部領域と、前記一対の端部領域の間に位置する吐出領域と、を有するアクチュエータプレートと、
   前記液体を吐出するための複数のノズル孔を有するノズルプレートと
   を備え、
   前記アクチュエータプレートは、
   前記アクチュエータプレートの表面に形成され、前記吐出領域内において前記所定方向に沿って並設された複数の溝と、
   前記所定方向に沿って前記溝同士を区画する複数の駆動壁と、
   前記複数の溝のうちの少なくとも一部の溝内に形成された個別電極と、
   前記一対の端部領域のうちの少なくとも一方の端部領域に設けられていると共に、１または複数のダミー壁と、前記ダミー壁に形成された１または複数のダミー電極と、を含んで構成された追加浮遊容量部と
   を有しており、
   前記駆動壁では屈曲変形が生じるように構成されていると共に、前記ダミー壁では前記屈曲変形が生じないように構成されており、
   前記追加浮遊容量部において、前記所定方向に沿って、前記ダミー壁と、所定の電位に設定するための配線が接続された前記ダミー電極とがそれぞれ、複数設けられており、
   前記追加浮遊容量部は、前記吐出領域内において前記所定方向に沿って前記端部領域に隣接する隣接領域に位置する前記個別電極との間で生じる浮遊容量を増加させて、前記隣接領域付近での浮遊容量の不均一性を低減させる
   ヘッドチップ。
8. 前記所定方向に沿った前記一対の端部領域の双方に、前記追加浮遊容量部が設けられている
   請求項１ないし請求項７のいずれか１項に記載のヘッドチップ。
9. 請求項１ないし請求項８のいずれか１項に記載のヘッドチップと、
   前記ノズル孔から前記液体を噴射させる駆動部と
   を備えた液体噴射ヘッド。
10. 請求項９に記載の液体噴射ヘッドを備えた
    液体噴射記録装置。

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