JP2005021771A - 圧電アクチュエータ、液体吐出装置及び電子機器 - Google Patents
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Abstract
【課題】均一な変位が起こり、且つ安定した変位を示す圧電アクチュエータ、液体吐出装置及び電子機器を提供する。
【解決手段】軸心12が中空で、該軸心12に対して、圧電体層15と、これを挟持する一対の電極14、16とが同心円状に配置されてなることを特徴とし、前記電極の一方14が、内部電極として絶縁体17中に設けられ、前記電極の他方16が、外部電極として絶縁体中、または外側表面に設けられていることが好ましい。
【選択図】図2
【解決手段】軸心12が中空で、該軸心12に対して、圧電体層15と、これを挟持する一対の電極14、16とが同心円状に配置されてなることを特徴とし、前記電極の一方14が、内部電極として絶縁体17中に設けられ、前記電極の他方16が、外部電極として絶縁体中、または外側表面に設けられていることが好ましい。
【選択図】図2
Description
【0001】
【発明の属する技術分野】
本発明は、圧電アクチュエータ、液体吐出装置及び電子機器に関し、より詳しくは例えばインクジェットヘッドのように、広がり振動、伸び振動、厚み立て振動を利用した液体吐出装置として好適に用いられる圧電アクチュエータ、及び接着剤やインク等の精密吐出・液体搬送に用いられるポンプ等に好適に用いられる圧電アクチュエータと、これを用いた液体吐出装置、並びに液体吐出装置を用いた電子機器に関するものである。
【0002】
【従来技術】
従来から、圧電セラミックスを利用した製品としては、例えば圧電アクチュエータ、フィルタ、圧電共振子(発信子を含む)、超音波振動子、超音波モーター、圧電センサ等がある。
【0003】
これらの中で、圧電アクチュエータは電気信号に対する応答速度が10−6秒台と非常に高速であるため、半導体製造装置のXYステージの位置決め用圧電アクチュエータやインクジェットプリンタの印刷ヘッドに用いられる圧電アクチュエータ等に応用されている。
【0004】
インクジェット方式を利用した印刷ヘッドは、例えば図6(a)に示したように、圧電アクチュエータ51が、流路部材53の上に設けられた構造を有する。流路部材53は、複数の液体加圧室53aが隔壁53bによって仕切られ、インク液体加圧室53aは圧電アクチュエータ51に当接するように並設されている(例えば、特許文献1参照)。なお、液体加圧室には液体導入口と、液体吐出口とが設けられ、さらに、図示していないが、液体導入口には、液体流路が連結され、液体貯蓄部から液体が随時供給される構造になっていることはいうまでもない。
【0005】
圧電アクチュエータ51は、共通電極の役割を兼ねた導電性の振動板55上に圧電セラミック層54が設けられ、圧電セラミック層54の上に表面電極56を設けられている。表面電極56は、図6(b)に示したように、圧電セラミック層54の表面に複数配列されることにより、複数の圧電変位部57が形成されたものである。この圧電アクチュエータ51は、液体加圧室53aの直上に表面電極56が位置するようにして流路部材53上に配置している。
【0006】
上記のような印刷ヘッドは、共通電極55と所定の表面電極56との間に電圧を印加して該表面電極56直下の圧電セラミック層54を変位させることにより、インク液体加圧室53a内の液体を加圧して、流路部材53の底面に開口した液体吐出口58より液滴を吐出することから、圧電アクチュエータからなる圧力発生装置が設けられている。
【0007】
このような構造を有する圧電アクチュエータは、平板の表面に複数の圧電変位素子が形成されたものであるため、該圧電アクチュエータに接続する流路部材の構造が複雑で、そのために気泡やごみ等が溜りやすいといった問題があった。
【0008】
そこで、外周面に電極を有する円筒形状の圧電体と、該圧電変位素子の内側に導電性の薄肉の中空パイプを配置し、中空パイプを介して駆動電圧を印加することによって、円筒形状の圧電変位素子が中空パイプを圧縮する方向に変位し、それにより中空パイプなどの内部の液体を押出すことにより、液体を中空パイプから外部に吐出することができる(例えば、特許文献2参照)。
【0009】
この圧電変位素子は共振周波数近傍の駆動周波数で連続的に駆動して継続的な圧力脈動を発生させ、液体の流路に配置された弁や流れの方向により流路抵抗の異なる流体要素との組み合わせでポンプとして使用されている。
【0010】
【特許文献1】
特開平11−34321号公報
【0011】
【特許文献2】
特開平7−317660号公報
【0012】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、特許文献2の圧電変位素子は、例えば内径0.2mm、外形0.4mmの中空パイプを圧電変位素子の内側に緩やかに嵌合させたものであり、中空パイプと圧電変位素子との接触面積が低いため、駆動電圧が不均一に圧電変位素子に印加され、圧電変位素子の変位が安定せず、変位量がばらつくという問題があった。
【0013】
また、この方法は中空パイプの変形を介して液体を吐出させるため、中空パイプが金属疲労を起こし、あるいは変形し、変位特性が長期的に安定しないという問題があった。
【0014】
従って、本発明は、均一な変位が起こり、且つ安定した変位を示す圧電アクチュエータ、液体吐出装置及び電子機器を提供することを目的とする。
【0015】
【課題を解決するための手段】
本発明は、中空の円筒形状積層体として電極と圧電体とを一体化することにより、均一な変位が起こり、且つ安定した変位を示す圧電アクチュエータ、液体吐出装置及び電子機器を実現できるという知見に基づくものである。
【0016】
即ち、本発明の圧電アクチュエータは、軸心が中空で、該軸心に対して、圧電体層と、これを挟持する一対の電極とが同心円状に配置されてなることを特徴とするものである。
【0017】
特に、前記電極の一方が、内部電極として絶縁体中に設けられていることが好ましい。また、前記電極の他方が、外部電極として絶縁体中、または外側表面に設けられていることが好ましい。
【0018】
さらに、前記圧電体層が、軸心方向に変形駆動することが好ましく、さらに、前記軸心の中空部直径が、1mm以下であることが好ましい。
【0019】
また、本発明の液体吐出装置は、液体供給口と、請求項1〜5のいずれかに記載の圧電アクチュエータからなる液体加圧室と、液体吐出口とを具備し、前記軸心の中空部が液体流路を構成してなることを特徴とするものである。
【0020】
さらに、本発明の電子機器は、上記の液体吐出装置を具備することを特徴とするものである。
【0021】
【発明の実施の形態】
本発明の圧電アクチュエータを、図を用いて詳細に説明する。
【0022】
図1は、本発明の圧電アクチュエータ1の構造を示すもので、(a)は中心軸に平行な面の断面図、(b)は中心軸に垂直な面の断面図である。
【0023】
本発明は、図1に示したように、円筒状の圧電アクチュエータ1に関するものであり、例えば、中心軸の軸心2に対してその周囲に中空部3が設けられ、その外側へ同心円状に第1電極4、圧電体層5、第2電極6がこの順に設けられた構造を有している。これらの第1電極4、圧電体層5、第2電極6が一体化されて圧電変位素子を形成していることが重要である。
【0024】
このように、第1電極4、圧電体層5、第2電極6が一体化されていることにより、軸心2に対して対象な変位を得ることができる。従って、従来のように、中空パイプが一方の電極である場合に、中空パイプが圧電体層と接している部分のみが変位するため、部分的な変位しか得られず、しかも圧電変位素子が複数配列している場合には、中空パイプと圧電体層の接触状態がそれぞれの圧電変位素子間でことなるため、圧電変位素子の変位量が異なるため、液滴吐出装置に用いた場合には吐出する液滴の量と速度に大きなバラツキがあったが、本発明においては、円周方向に均一に変位するのみならず、多数の圧電変位素子を配列しても、圧電変位素子間で均一な変位量を示すことができる。
【0025】
また、同心円状に圧電変位素子が形成されているため、これを液滴吐出装置として用いた場合には、液体を略直線状に輸送するため、気泡やごみ等が溜まり難いという利点がある。
【0026】
第1電極4と、第2電極6との間に駆動電圧が印加されると、圧電変位素子が、中心軸に垂直な方向に圧電体層5が収縮・膨張を伴う振動をする。
【0027】
図2は、本発明の他の構造を有するアクチュエータであり、(a)は中心軸に平行な面の断面図、(b)は中心軸に垂直な面の断面図である。図2によれば、図1に加えて、軸心12の周囲に設けられた中空部13と接するように第1電極14の内側に絶縁体(以下、セラミック層と言う)17aが形成されている。また、第2電極15の外側にもセラミック層17bが設けられている。
【0028】
第1電極14と第2電極16はセラミック層17a、17b及び圧電セラミック層15からなる絶縁体の内部に形成された内部電極となっており、外気から遮断されるため、電極を構成する金属の酸化や劣化を低減し、断線を防止するので、長寿命が期待でき、さらに信頼性を高めることができる。
【0029】
圧電アクチュエータ11には、セラミック層17a、第1電極14、圧電体層15、第2電極16、及びセラミック層17bからなる圧電変位素子が形成され、第1電極14と第2電極16との間に駆動電圧を印加すると、圧電変位素子が振動する。
【0030】
圧電アクチュエータの駆動方法については、円筒形状の圧電変位素子が中空部を圧縮する方向に変位し、中空部に液体が充填されている場合には、その液体を押し出す作用が働き、液体を中空部から外部に吐出することができる。
【0031】
例えば、図3に示したような変化を伴う。即ち、図3(a)駆動電圧の印加前の状態を示し、図3(b)は駆動電圧を印加した直後の状態を示したものであり、セラミック層17a、第1電極14、圧電体層15、第2電極16、及びセラミック層17bは軸心12方向に変位し、中空部13の体積を減少させる。
【0032】
なお、圧電アクチュエータは、中心軸方向において中心でも、端部でも軸心12方向への同様な収縮を示すが、実際には、両端を流体通路等と接続して固定されるため、実質的に端部は変位が小さくなり、中央部が大きいため、図3(b)のような変位を示すが、変位の仕方はこれに限るものではない。
【0033】
前記圧電アクチュエータの圧電体層15は、圧電性を示すセラミックスを用いることができ、具体的には、Bi層状化合物、タングステンブロンズ構造物質、Nb酸アルカリ化合物のペロブスカイト構造化合物、マグネシウムニオブ酸鉛(PMN系)、ニッケルニオブ酸鉛(PNN系)、Pbを含有するジルコン酸チタン酸鉛(PZT)やチタン酸鉛等を含有する物質を例示できる。
【0034】
これらのうち、特に、少なくともPbを含むペロブスカイト型化合物であるのが良い。例えば、マグネシウムニオブ酸鉛(PMN系)、ニッケルニオブ酸鉛(PNN系)、Pbを含有するジルコン酸チタン酸鉛(PZT)やチタン酸鉛等を含有する物質が好ましい。このような組成にすることで、高い圧電定数を有する圧電振動層が得られる。
【0035】
特に、上記ペロブスカイト型結晶の一例として、Aサイト構成元素としてPbを含有し、且つ、Bサイト構成元素としてZr及びTiを含有する結晶であるPbZrTiO3を好適に使用できる。また、他の酸化物を混合しても良く、さらに、副成分として、特性に悪影響がない範囲であれば、Aサイト及び/又はBサイトに他元素が置換しても良い。例えば、副成分としてZn、Sb、Ni及びTeを添加し、Pb(Zn1/3Sb2/3)O3及びPb(Ni1/2Te1/2)O3の固溶体であっても良い。
【0036】
本発明によれば、上記ペロブスカイト型結晶におけるAサイト構成元素として、さらにアルカリ土類元素を含有することが望ましい。アルカリ土類元素としてはBa、Sr、Caなどが有り、特にBa、Srが高い変位を得られる点で好ましい。これにより、比誘電率が向上する結果、さらに高い圧電定数を示すことが可能となる。
【0037】
具体的には、Pb1−x―ySrxBay(Zn1/3Sb2/3)a(Ni1/2Te1/2)bZr1−a−b−cTicO3+α質量%Pb1/2NbO3(0≧x≧0.14、0≧y≧0.14、0.05≧a≧0.1、0.002≧b≧0.01、0.44≧c≧0.50、α=0.1〜1.0)で表される化合物を例示できる。
【0038】
前記圧電アクチュエータの電極材質としては、導電性を有するものならば何れでも良く、Au、Ag、Pd、Pt、Cu、Alやそれらの合金などが用いられる。また、電極厚みとしては、導電性を有し且つ変位を妨げない程度である必要があり、0.5〜5μm、特に1〜3μm程度が好ましい。
【0039】
絶縁体は、電気的絶縁性を有するものであればどのようなものでも使用できるが、高硬度で、振動の信頼性を高めるため、絶縁性セラミックスが好ましい。例えば、アルミナ、窒化アルミニウム、ムライト、コージェライト、窒化珪素、ジルコニア、シリカ、ガラス等を例示できる。
【0040】
次に、前記円筒状圧電アクチュエータを用いた液体吐出装置について説明する。
【0041】
図4は、本発明の圧電アクチュエータを用いた液体吐出装置の構造を示す断面図である。液体吐出装置は、図4に示したように、円筒状の圧電アクチュエータ31と、液体導入部32と、液体吐出部33とを具備している。
【0042】
液体導入部32には圧電アクチュエータ31を固定するための上部保持体32aと、液体導入口38とが備えられ、液体導入口38から液体が圧電アクチュエータに供給される。また、液体吐出部33には、下部保持体部33aと、液体吐出口(ノズル)39とが備えられ、液体吐出口39から液体が吐出する。
【0043】
圧電アクチュエータ31の中空部がインク加圧室40を形成し、上部にインク供給路、下部にノズル(吐出口)を接続することで簡易の液体吐出装置として利用できる。
【0044】
圧電アクチュエータには、上述した本発明の円筒状のものを使用できる。図4には、図2に記載の圧電アクチュエータを例として示した。即ち、圧電アクチュエータ31には、セラミック層37a、第1電極34、圧電体層35、第2電極36、及びセラミック層37bからなる圧電変位素子が形成され、第1電極34と第2電極36との間に駆動電圧を印加すると、圧電変位素子が図3に示したような振動を発生する。
【0045】
圧電アクチュエータ31の圧電変位素子が液体加圧室40の液体を圧縮する方向に変位し、圧縮された液体は液体吐出口39から外部に吐出することができる。
【0046】
圧電変位素子の変位量は、液体加圧室40の容積、及び吐出する液滴量によって適宜決定すればよく、また、液滴の吐出速度を考慮して設計すれば良い。
【0047】
また、本発明の液体吐出装置は、円筒状の圧電アクチュエータを高密度に配列し、微細な領域に液体を吐出することができる。図5は圧電アクチュエータを特定の間隔を置いて配列したもので、(a)は断面図、(b)は平面図である。液体吐出装置は、図5に示したように、円筒状の圧電アクチュエータ41と、液体導入部42と、液体吐出部43とを具備している。
【0048】
液体導入部42は、圧電アクチュエータ41の一方の端部を固定するとともに、内部に液体流路44が設けられ、液体流路44から分岐した液体導入口48とが備えられ、液体導入口48から液体が圧電アクチュエータ41の液体加圧室50に供給される。
【0049】
また、液体吐出部43は、圧電アクチュエータ41の一方の端部を固定するとともに、表面に液体吐出口(ノズル)49とが備えられ、圧電アクチュエータ41が液体加圧室50の体積を減少するように変位すると、液体に圧力が加わって、液体吐出口49から液滴が吐出する。
【0050】
このように、本発明の液体吐出装置は、本発明の圧電アクチュエータを多連多列に配置することができ、しかもノズルピッチを自由に設定することが可能となるため、高密度のノズル配置も容易に実現することができる。また、液体通路を単純化できるため、気泡やごみ等が溜まり難いという利点がある。
【0051】
前記円筒状圧電アクチュエータを用いた吐出装置は、微量の液滴を吐出するために、インクジェットプリンタ、印刷機、接着剤やインク等の精密吐出、液体搬送に用いられるポンプ等の様々な分野で応用することが可能である。そして、インクジェットヘッドを利用したプリンタのような電子機器に対して好適に用いることができる。
【0052】
【発明の効果】
本発明の圧電アクチュエータは、中空の円筒形状積層体として電極と圧電体とを一体化しているため、気泡が滞留しにくく、均一な変位が起こり、安定した変位を示すことができる。また、小型化、高密度化に対しても大きな寄与ができる。
【0053】
また、本発明の液体吐出装置は、上記の円筒型圧電アクチュエータを用いるため、高密度のインク吐出口を具備する印刷ヘッド又はそれを用いたプリンタや印刷機に好適に用いることができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の圧電アクチュエータの構造を示すもので、(a)概略断面図、(b)平面図である。
【図2】本発明の圧電アクチュエータの他の構造を示すもので、(a)概略断面図、(b)平面図である。
【図3】本発明の圧電アクチュエータの変位状態を説明するための概略断面図で、(a)は駆動電圧印加前、(b)駆動電圧印加時である。
【図4】本発明の液体吐出装置の構造を示す概略断面図である。
【図5】本発明の液体吐出装置の他の構造を示す概略断面図である。
【図6】従来の圧電アクチュエータの構造を示す概略断面図である。
【符号の説明】
1、11、31・・・圧電アクチュエータ
2、12・・・軸心
3、13・・・中空部
4、14、34・・・第1電極
5、15、35・・・圧電体層
6、16、36・・・第2電極
17・・・セラミック層
17a・・・セラミック層
17b・・・セラミック層
32、52・・・液体導入部
32a・・・上部保持体
33、53・・・液体吐出部
33a・・・下部保持体
38、58・・・液体導入口
39、59・・・液体吐出口
40・・・液体加圧室
【発明の属する技術分野】
本発明は、圧電アクチュエータ、液体吐出装置及び電子機器に関し、より詳しくは例えばインクジェットヘッドのように、広がり振動、伸び振動、厚み立て振動を利用した液体吐出装置として好適に用いられる圧電アクチュエータ、及び接着剤やインク等の精密吐出・液体搬送に用いられるポンプ等に好適に用いられる圧電アクチュエータと、これを用いた液体吐出装置、並びに液体吐出装置を用いた電子機器に関するものである。
【0002】
【従来技術】
従来から、圧電セラミックスを利用した製品としては、例えば圧電アクチュエータ、フィルタ、圧電共振子(発信子を含む)、超音波振動子、超音波モーター、圧電センサ等がある。
【0003】
これらの中で、圧電アクチュエータは電気信号に対する応答速度が10−6秒台と非常に高速であるため、半導体製造装置のXYステージの位置決め用圧電アクチュエータやインクジェットプリンタの印刷ヘッドに用いられる圧電アクチュエータ等に応用されている。
【0004】
インクジェット方式を利用した印刷ヘッドは、例えば図6(a)に示したように、圧電アクチュエータ51が、流路部材53の上に設けられた構造を有する。流路部材53は、複数の液体加圧室53aが隔壁53bによって仕切られ、インク液体加圧室53aは圧電アクチュエータ51に当接するように並設されている(例えば、特許文献1参照)。なお、液体加圧室には液体導入口と、液体吐出口とが設けられ、さらに、図示していないが、液体導入口には、液体流路が連結され、液体貯蓄部から液体が随時供給される構造になっていることはいうまでもない。
【0005】
圧電アクチュエータ51は、共通電極の役割を兼ねた導電性の振動板55上に圧電セラミック層54が設けられ、圧電セラミック層54の上に表面電極56を設けられている。表面電極56は、図6(b)に示したように、圧電セラミック層54の表面に複数配列されることにより、複数の圧電変位部57が形成されたものである。この圧電アクチュエータ51は、液体加圧室53aの直上に表面電極56が位置するようにして流路部材53上に配置している。
【0006】
上記のような印刷ヘッドは、共通電極55と所定の表面電極56との間に電圧を印加して該表面電極56直下の圧電セラミック層54を変位させることにより、インク液体加圧室53a内の液体を加圧して、流路部材53の底面に開口した液体吐出口58より液滴を吐出することから、圧電アクチュエータからなる圧力発生装置が設けられている。
【0007】
このような構造を有する圧電アクチュエータは、平板の表面に複数の圧電変位素子が形成されたものであるため、該圧電アクチュエータに接続する流路部材の構造が複雑で、そのために気泡やごみ等が溜りやすいといった問題があった。
【0008】
そこで、外周面に電極を有する円筒形状の圧電体と、該圧電変位素子の内側に導電性の薄肉の中空パイプを配置し、中空パイプを介して駆動電圧を印加することによって、円筒形状の圧電変位素子が中空パイプを圧縮する方向に変位し、それにより中空パイプなどの内部の液体を押出すことにより、液体を中空パイプから外部に吐出することができる(例えば、特許文献2参照)。
【0009】
この圧電変位素子は共振周波数近傍の駆動周波数で連続的に駆動して継続的な圧力脈動を発生させ、液体の流路に配置された弁や流れの方向により流路抵抗の異なる流体要素との組み合わせでポンプとして使用されている。
【0010】
【特許文献1】
特開平11−34321号公報
【0011】
【特許文献2】
特開平7−317660号公報
【0012】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、特許文献2の圧電変位素子は、例えば内径0.2mm、外形0.4mmの中空パイプを圧電変位素子の内側に緩やかに嵌合させたものであり、中空パイプと圧電変位素子との接触面積が低いため、駆動電圧が不均一に圧電変位素子に印加され、圧電変位素子の変位が安定せず、変位量がばらつくという問題があった。
【0013】
また、この方法は中空パイプの変形を介して液体を吐出させるため、中空パイプが金属疲労を起こし、あるいは変形し、変位特性が長期的に安定しないという問題があった。
【0014】
従って、本発明は、均一な変位が起こり、且つ安定した変位を示す圧電アクチュエータ、液体吐出装置及び電子機器を提供することを目的とする。
【0015】
【課題を解決するための手段】
本発明は、中空の円筒形状積層体として電極と圧電体とを一体化することにより、均一な変位が起こり、且つ安定した変位を示す圧電アクチュエータ、液体吐出装置及び電子機器を実現できるという知見に基づくものである。
【0016】
即ち、本発明の圧電アクチュエータは、軸心が中空で、該軸心に対して、圧電体層と、これを挟持する一対の電極とが同心円状に配置されてなることを特徴とするものである。
【0017】
特に、前記電極の一方が、内部電極として絶縁体中に設けられていることが好ましい。また、前記電極の他方が、外部電極として絶縁体中、または外側表面に設けられていることが好ましい。
【0018】
さらに、前記圧電体層が、軸心方向に変形駆動することが好ましく、さらに、前記軸心の中空部直径が、1mm以下であることが好ましい。
【0019】
また、本発明の液体吐出装置は、液体供給口と、請求項1〜5のいずれかに記載の圧電アクチュエータからなる液体加圧室と、液体吐出口とを具備し、前記軸心の中空部が液体流路を構成してなることを特徴とするものである。
【0020】
さらに、本発明の電子機器は、上記の液体吐出装置を具備することを特徴とするものである。
【0021】
【発明の実施の形態】
本発明の圧電アクチュエータを、図を用いて詳細に説明する。
【0022】
図1は、本発明の圧電アクチュエータ1の構造を示すもので、(a)は中心軸に平行な面の断面図、(b)は中心軸に垂直な面の断面図である。
【0023】
本発明は、図1に示したように、円筒状の圧電アクチュエータ1に関するものであり、例えば、中心軸の軸心2に対してその周囲に中空部3が設けられ、その外側へ同心円状に第1電極4、圧電体層5、第2電極6がこの順に設けられた構造を有している。これらの第1電極4、圧電体層5、第2電極6が一体化されて圧電変位素子を形成していることが重要である。
【0024】
このように、第1電極4、圧電体層5、第2電極6が一体化されていることにより、軸心2に対して対象な変位を得ることができる。従って、従来のように、中空パイプが一方の電極である場合に、中空パイプが圧電体層と接している部分のみが変位するため、部分的な変位しか得られず、しかも圧電変位素子が複数配列している場合には、中空パイプと圧電体層の接触状態がそれぞれの圧電変位素子間でことなるため、圧電変位素子の変位量が異なるため、液滴吐出装置に用いた場合には吐出する液滴の量と速度に大きなバラツキがあったが、本発明においては、円周方向に均一に変位するのみならず、多数の圧電変位素子を配列しても、圧電変位素子間で均一な変位量を示すことができる。
【0025】
また、同心円状に圧電変位素子が形成されているため、これを液滴吐出装置として用いた場合には、液体を略直線状に輸送するため、気泡やごみ等が溜まり難いという利点がある。
【0026】
第1電極4と、第2電極6との間に駆動電圧が印加されると、圧電変位素子が、中心軸に垂直な方向に圧電体層5が収縮・膨張を伴う振動をする。
【0027】
図2は、本発明の他の構造を有するアクチュエータであり、(a)は中心軸に平行な面の断面図、(b)は中心軸に垂直な面の断面図である。図2によれば、図1に加えて、軸心12の周囲に設けられた中空部13と接するように第1電極14の内側に絶縁体(以下、セラミック層と言う)17aが形成されている。また、第2電極15の外側にもセラミック層17bが設けられている。
【0028】
第1電極14と第2電極16はセラミック層17a、17b及び圧電セラミック層15からなる絶縁体の内部に形成された内部電極となっており、外気から遮断されるため、電極を構成する金属の酸化や劣化を低減し、断線を防止するので、長寿命が期待でき、さらに信頼性を高めることができる。
【0029】
圧電アクチュエータ11には、セラミック層17a、第1電極14、圧電体層15、第2電極16、及びセラミック層17bからなる圧電変位素子が形成され、第1電極14と第2電極16との間に駆動電圧を印加すると、圧電変位素子が振動する。
【0030】
圧電アクチュエータの駆動方法については、円筒形状の圧電変位素子が中空部を圧縮する方向に変位し、中空部に液体が充填されている場合には、その液体を押し出す作用が働き、液体を中空部から外部に吐出することができる。
【0031】
例えば、図3に示したような変化を伴う。即ち、図3(a)駆動電圧の印加前の状態を示し、図3(b)は駆動電圧を印加した直後の状態を示したものであり、セラミック層17a、第1電極14、圧電体層15、第2電極16、及びセラミック層17bは軸心12方向に変位し、中空部13の体積を減少させる。
【0032】
なお、圧電アクチュエータは、中心軸方向において中心でも、端部でも軸心12方向への同様な収縮を示すが、実際には、両端を流体通路等と接続して固定されるため、実質的に端部は変位が小さくなり、中央部が大きいため、図3(b)のような変位を示すが、変位の仕方はこれに限るものではない。
【0033】
前記圧電アクチュエータの圧電体層15は、圧電性を示すセラミックスを用いることができ、具体的には、Bi層状化合物、タングステンブロンズ構造物質、Nb酸アルカリ化合物のペロブスカイト構造化合物、マグネシウムニオブ酸鉛(PMN系)、ニッケルニオブ酸鉛(PNN系)、Pbを含有するジルコン酸チタン酸鉛(PZT)やチタン酸鉛等を含有する物質を例示できる。
【0034】
これらのうち、特に、少なくともPbを含むペロブスカイト型化合物であるのが良い。例えば、マグネシウムニオブ酸鉛(PMN系)、ニッケルニオブ酸鉛(PNN系)、Pbを含有するジルコン酸チタン酸鉛(PZT)やチタン酸鉛等を含有する物質が好ましい。このような組成にすることで、高い圧電定数を有する圧電振動層が得られる。
【0035】
特に、上記ペロブスカイト型結晶の一例として、Aサイト構成元素としてPbを含有し、且つ、Bサイト構成元素としてZr及びTiを含有する結晶であるPbZrTiO3を好適に使用できる。また、他の酸化物を混合しても良く、さらに、副成分として、特性に悪影響がない範囲であれば、Aサイト及び/又はBサイトに他元素が置換しても良い。例えば、副成分としてZn、Sb、Ni及びTeを添加し、Pb(Zn1/3Sb2/3)O3及びPb(Ni1/2Te1/2)O3の固溶体であっても良い。
【0036】
本発明によれば、上記ペロブスカイト型結晶におけるAサイト構成元素として、さらにアルカリ土類元素を含有することが望ましい。アルカリ土類元素としてはBa、Sr、Caなどが有り、特にBa、Srが高い変位を得られる点で好ましい。これにより、比誘電率が向上する結果、さらに高い圧電定数を示すことが可能となる。
【0037】
具体的には、Pb1−x―ySrxBay(Zn1/3Sb2/3)a(Ni1/2Te1/2)bZr1−a−b−cTicO3+α質量%Pb1/2NbO3(0≧x≧0.14、0≧y≧0.14、0.05≧a≧0.1、0.002≧b≧0.01、0.44≧c≧0.50、α=0.1〜1.0)で表される化合物を例示できる。
【0038】
前記圧電アクチュエータの電極材質としては、導電性を有するものならば何れでも良く、Au、Ag、Pd、Pt、Cu、Alやそれらの合金などが用いられる。また、電極厚みとしては、導電性を有し且つ変位を妨げない程度である必要があり、0.5〜5μm、特に1〜3μm程度が好ましい。
【0039】
絶縁体は、電気的絶縁性を有するものであればどのようなものでも使用できるが、高硬度で、振動の信頼性を高めるため、絶縁性セラミックスが好ましい。例えば、アルミナ、窒化アルミニウム、ムライト、コージェライト、窒化珪素、ジルコニア、シリカ、ガラス等を例示できる。
【0040】
次に、前記円筒状圧電アクチュエータを用いた液体吐出装置について説明する。
【0041】
図4は、本発明の圧電アクチュエータを用いた液体吐出装置の構造を示す断面図である。液体吐出装置は、図4に示したように、円筒状の圧電アクチュエータ31と、液体導入部32と、液体吐出部33とを具備している。
【0042】
液体導入部32には圧電アクチュエータ31を固定するための上部保持体32aと、液体導入口38とが備えられ、液体導入口38から液体が圧電アクチュエータに供給される。また、液体吐出部33には、下部保持体部33aと、液体吐出口(ノズル)39とが備えられ、液体吐出口39から液体が吐出する。
【0043】
圧電アクチュエータ31の中空部がインク加圧室40を形成し、上部にインク供給路、下部にノズル(吐出口)を接続することで簡易の液体吐出装置として利用できる。
【0044】
圧電アクチュエータには、上述した本発明の円筒状のものを使用できる。図4には、図2に記載の圧電アクチュエータを例として示した。即ち、圧電アクチュエータ31には、セラミック層37a、第1電極34、圧電体層35、第2電極36、及びセラミック層37bからなる圧電変位素子が形成され、第1電極34と第2電極36との間に駆動電圧を印加すると、圧電変位素子が図3に示したような振動を発生する。
【0045】
圧電アクチュエータ31の圧電変位素子が液体加圧室40の液体を圧縮する方向に変位し、圧縮された液体は液体吐出口39から外部に吐出することができる。
【0046】
圧電変位素子の変位量は、液体加圧室40の容積、及び吐出する液滴量によって適宜決定すればよく、また、液滴の吐出速度を考慮して設計すれば良い。
【0047】
また、本発明の液体吐出装置は、円筒状の圧電アクチュエータを高密度に配列し、微細な領域に液体を吐出することができる。図5は圧電アクチュエータを特定の間隔を置いて配列したもので、(a)は断面図、(b)は平面図である。液体吐出装置は、図5に示したように、円筒状の圧電アクチュエータ41と、液体導入部42と、液体吐出部43とを具備している。
【0048】
液体導入部42は、圧電アクチュエータ41の一方の端部を固定するとともに、内部に液体流路44が設けられ、液体流路44から分岐した液体導入口48とが備えられ、液体導入口48から液体が圧電アクチュエータ41の液体加圧室50に供給される。
【0049】
また、液体吐出部43は、圧電アクチュエータ41の一方の端部を固定するとともに、表面に液体吐出口(ノズル)49とが備えられ、圧電アクチュエータ41が液体加圧室50の体積を減少するように変位すると、液体に圧力が加わって、液体吐出口49から液滴が吐出する。
【0050】
このように、本発明の液体吐出装置は、本発明の圧電アクチュエータを多連多列に配置することができ、しかもノズルピッチを自由に設定することが可能となるため、高密度のノズル配置も容易に実現することができる。また、液体通路を単純化できるため、気泡やごみ等が溜まり難いという利点がある。
【0051】
前記円筒状圧電アクチュエータを用いた吐出装置は、微量の液滴を吐出するために、インクジェットプリンタ、印刷機、接着剤やインク等の精密吐出、液体搬送に用いられるポンプ等の様々な分野で応用することが可能である。そして、インクジェットヘッドを利用したプリンタのような電子機器に対して好適に用いることができる。
【0052】
【発明の効果】
本発明の圧電アクチュエータは、中空の円筒形状積層体として電極と圧電体とを一体化しているため、気泡が滞留しにくく、均一な変位が起こり、安定した変位を示すことができる。また、小型化、高密度化に対しても大きな寄与ができる。
【0053】
また、本発明の液体吐出装置は、上記の円筒型圧電アクチュエータを用いるため、高密度のインク吐出口を具備する印刷ヘッド又はそれを用いたプリンタや印刷機に好適に用いることができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の圧電アクチュエータの構造を示すもので、(a)概略断面図、(b)平面図である。
【図2】本発明の圧電アクチュエータの他の構造を示すもので、(a)概略断面図、(b)平面図である。
【図3】本発明の圧電アクチュエータの変位状態を説明するための概略断面図で、(a)は駆動電圧印加前、(b)駆動電圧印加時である。
【図4】本発明の液体吐出装置の構造を示す概略断面図である。
【図5】本発明の液体吐出装置の他の構造を示す概略断面図である。
【図6】従来の圧電アクチュエータの構造を示す概略断面図である。
【符号の説明】
1、11、31・・・圧電アクチュエータ
2、12・・・軸心
3、13・・・中空部
4、14、34・・・第1電極
5、15、35・・・圧電体層
6、16、36・・・第2電極
17・・・セラミック層
17a・・・セラミック層
17b・・・セラミック層
32、52・・・液体導入部
32a・・・上部保持体
33、53・・・液体吐出部
33a・・・下部保持体
38、58・・・液体導入口
39、59・・・液体吐出口
40・・・液体加圧室
Claims (7)
- 軸心が中空で、該軸心に対して、圧電体層と、これを挟持する一対の電極とが同心円状に配置されてなることを特徴とする圧電アクチュエータ。
- 前記電極の一方が、内部電極として絶縁体中に設けられていることを特徴とする請求項1記載の圧電アクチュエータ。
- 前記電極の他方が、外部電極として絶縁体中、または外側表面に設けられていることを特徴とする請求項1又は2記載の圧電アクチュエータ。
- 前記圧電体層が、軸心方向に変形駆動することを特徴とする請求項1〜3のいずれかに記載の圧電アクチュエータ。
- 前記軸心の中空部直径が、1mm以下であることを特徴とする請求項1〜4のいずれかに記載の圧電アクチュエータ。
- 液体供給口と、請求項1〜5のいずれかに記載の圧電アクチュエータからなる液体加圧室と、液体吐出口とを具備し、前記軸心の中空部が液体流路を構成してなることを特徴とする液体吐出装置。
- 請求項6記載の液体吐出装置を具備することを特徴とする電子機器。
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JP2003188607A JP2005021771A (ja) | 2003-06-30 | 2003-06-30 | 圧電アクチュエータ、液体吐出装置及び電子機器 |
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JP2008251833A (ja) * | 2007-03-30 | 2008-10-16 | Tokai Rubber Ind Ltd | アクチュエータおよびアクチュエータ集束体 |
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2003
- 2003-06-30 JP JP2003188607A patent/JP2005021771A/ja active Pending
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