JP2010125760A - 液滴噴射装置及びその製造方法 - Google Patents

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Abstract

【課題】湾曲面を有する対象物、又は、湾曲された状態の対象物に対して、対象物と複数のノズルとの間のそれぞれの距離が大きく異なるのを避けるとともに、構成部品となる構造体の接合が容易な液滴噴射装置を提供すること。
【解決手段】ラインヘッド1は、複数のノズル61が開口する液滴噴射面60を有するノズルプレート72と、ノズルプレート72に接合されるプレート70,71,及び、圧電アクチュエータ57とを備えている。そして、ノズルプレート72は、液滴噴射面60と反対側に平面状の接合面を有し、前記接合面にはベースプレート71が接合されており、さらに、液滴噴射面60が曲面状に形成されている。
【選択図】図5

Description

本発明は、湾曲面を有する対象物、又は、湾曲された状態の対象物に液滴を噴射する液滴噴射装置に関する。
従来から、湾曲面を有する対象物、又は、湾曲された状態の対象物に液滴を噴射して印刷を行う液滴噴射装置が知られている。例えば、特許文献1には、記録媒体を保持するドラムと、このドラムと対向して配置されたインクジェットヘッドを有し、ドラムの回転によって搬送される記録媒体にインクジェットヘッドからインクの液滴を噴射して、記録媒体の印刷を行うように構成されたプリンタが開示されている。このようなプリンタにおいては、インクジェットヘッドの多数のノズルが配置された液滴噴射面が平面状を有するため、液滴噴射面と円筒状のドラムに保持された記録媒体の印刷面との隙間が一様にならず、複数のノズルと記録媒体とのギャップが一定ではなくなり、印刷の際に、インクの着弾位置にズレが生じる問題があった。
上記問題を解決するためには、液滴噴射面が、ドラムに保持された記録媒体の印刷面に対して平行に形成されていることが好ましい。例えば、特許文献2に記載の印字ヘッド(液滴噴射装置)は、多数のノズルが形成された吐出口プレート(ノズルプレート)と、複数のノズルにそれぞれ対応する複数の圧力発生室が形成された基板と、基板に接合される振動板と、振動板の複数の圧力発生室に対応する位置に設けられた圧電素子とを有する。そして、上記吐出口プレート、基板、振動板、及び、圧電素子を含む、ヘッド全体が湾曲した形状に形成されており、その結果、ノズルプレートの液滴噴射面も湾曲形状を有するものとなっている。
特開平10−175341号公報 特開2006−327108号公報
上述したように、特許文献2の印字ヘッドにおいてはヘッド全体が湾曲形状に形成されている。そのため、この印字ヘッドを組み立てる際には、上記吐出口プレート、基板、振動板、及び、圧電素子をそれぞれ湾曲した形状に形成した上で、これら湾曲状に形成された印字ヘッドの構成部品を積層して接合することになる。しかし、湾曲状に形成された印字ヘッドの構成部品は、平板状のものに比べて、接合面に均等に力を作用させることが困難で、接合が不確実なものとなるという問題もある。特に、圧電素子等の脆い材料を湾曲状に形成することは難しく、また、接合時には局所的に応力が集中して割れ等が生じる虞もある。
そこで、本発明の目的は、湾曲面を有する対象物、又は、湾曲された状態の対象物に対して、対象物と複数のノズルとの間のそれぞれの距離が大きく異なるのを避けるとともに、構成部品となる構造体の接合が容易な液滴噴射装置及びその製造方法を提供することである。
第1の発明の液滴噴射装置は、湾曲面を有する対象物、又は、湾曲された状態の対象物に液滴を噴射する液滴噴射装置であって、液滴を噴射するノズルを含む液体流路の少なくとも一部が形成され、複数の前記ノズルが開口する液滴噴射面を有する第1構造体と、前記第1構造体に接合される第2構造体とを備え、前記第1構造体は、前記液滴噴射面と反対側に平面状の接合面を有し、前記接合面には前記第2構造体が接合されており、前記液滴噴射面が曲面状に形成されていることを特徴とするものである。
湾曲面を有する対象物、又は、湾曲された状態の対象物に液滴を噴射する場合には、ノズルと湾曲面を有する対象物、又は、湾曲された状態の対象物との距離がノズル毎に大きく異なるのを避けるために、ノズルが開口する液滴噴射面を、湾曲面を有する対象物、又は、湾曲された状態の対象物に沿って配置することが好ましい。しかし、液滴噴射装置が、複数の構造体(少なくとも第1構造体と第2構造体の2つの構造体)で構成される場合に、液滴噴射装置全体を湾曲状にしようとすると、各構造体をそれぞれ湾曲状に成形する必要があり、また、成形後のハンドリングが難しい。さらに、複数の部材の接合面が湾曲状になることから、確実な接合も難しくなる。上記の発明において、第1構造体は、液滴噴射面が曲面状に形成されており、液滴噴射面と反対側に平面状の接合面が形成されている。曲面状の液滴噴射面は、平面状の液滴噴射面に比べて、液滴噴射面に直交する方向において、対象物の湾曲面、又は、湾曲した状態の対象物との間の距離が大きく異なるのを避けて、対象物に位置付けることができる。その為、複数のノズルは、各ノズルと対象物との間のそれぞれの距離が大きく異なるのを避けて配置できる。また、接合面が平面状であるため、曲面状の接合面に比べると、第2構造体を接合する際に均等に接合面へ力を加えることが可能となり、確実な接合を容易に行うことができる。
また、第2の発明の液滴噴射装置は、上記の第1の発明において、前記液滴噴射面は、その全域が前記対象物の前記湾曲面、又は、前記湾曲された状態の対象物の湾曲面と直交する方向において前記対象物との間の距離が等しくなる位置関係を前記対象物と取り得る形状を有していることを特徴とするものである。
上記の発明において、前記液滴噴射面は、その全域が、前記対象物に液滴を噴射する際に、前記対象物の前記湾曲面、又は、前記湾曲された状態の対象物の湾曲面と直交する方向において、前記対象物との間の距離を等しくすることができる。このため、液滴噴射時に、液滴噴射面全体と前記対象物の前記湾曲面、又は、前記湾曲された状態の対象物との間の距離が均一になって、両者間で気流が安定化し、ノズルから噴射された液滴の挙動が安定する。
また、第3の発明の液滴噴射装置は、第1又は第2の発明において、前記ノズルの軸線が、前記対象物の前記湾曲面、又は、前記湾曲された状態の対象物の湾曲面と直交していることを特徴とするものである。
上記の発明において、液滴を噴射するノズルの軸線が対象物の湾曲面、又は、湾曲された状態の対象物の湾曲面と直交する方向を向くことにより、精度よく対象物に液滴を噴射させることができる。
また、第4の発明の液滴噴射装置は、第1〜第3の発明において、第2構造体には、前記液体流路内の液体に圧力を付与する圧力付与手段が設けられていることを特徴とするものである。
上記の発明において、圧力付与手段が、湾曲状の液滴噴射面を有する第1構造体ではなく、この第1構造体の平面状の接合面に接合される第2構造体に設けられているため、圧力付与手段を湾曲状に形成する必要がなく、製造が容易になる。
また、第5の発明の液滴噴射装置は、第1〜第4の発明において、前記液体流路は、液体に噴射圧力を付与するための複数の圧力室と、前記複数の圧力室と前記複数のノズルとをそれぞれ連通させる複数の連通流路とを含んでおり、前記複数の連通流路が前記複数のノズルとともに前記第1構造体に形成されていることを特徴とするものである。
このように、第1構造体に、前記複数のノズルだけでなく、これら複数のノズルと複数の圧力室とを連通させる、複数の連通流路を形成してもよい。
また、第6の発明の液滴噴射装置は、第5の発明において、前記複数の圧力室は、前記接合面と平行な平面に沿って形成されていることを特徴とするものである。
上記の発明によれば、複数の圧力室を第1構造体の平面状の接合面に対して平行な平面に配置することで、液体流路をコンパクトにすることができる。
また、第7の発明の液滴噴射装置は、第6の発明において、前記液滴噴射面の、前記液滴噴射面に直交し且つ前記第1構造体の中心を通る対称軸に対して対称な位置に、前記ノズルがそれぞれ開口し、各連通流路は、対応する前記圧力室から、前記接合面と直交する方向に前記ノズルまで延在していることを特徴とするものである。
ノズルが形成された液滴噴射面が曲面状である一方で、ノズルに対応する圧力室が、接合面と平行に平面状に配置される場合に、圧力室とノズルとを連通させる連通流路を、全て、接合面と直交する方向に延在させると、ノズルの位置によって連通流路の長さが異なってしまう。そこで、本発明では、液滴噴射面に直交し且つ前記第1構造体の中心を通る対称軸に対して、対称な2つの位置にノズルが開口することで、これら2つの位置にそれぞれ開口されたノズルに連通する連通流路の長さを等しくすることができる。これにより、連通流路の流路抵抗を一様にすることができる。
また、第8の発明の液滴噴射装置は、第6の発明において、前記複数の連通流路は、前記圧力室から前記ノズルまでの所定方向に直線状にそれぞれ延びており、前記所定方向における長さが互いに等しくなるように配置されており、前記複数の連通流路のうちの一部の連通流路は、前記接合面に対して傾斜していることを特徴とするものである。
ノズルが形成された液滴噴射面が曲面状である一方で、ノズルと対応する圧力室が、接合面と平行に平面状に配置される場合に、圧力室とノズルとを連通させる連通流路を接合面と直交する方向に直線状に延在させると、ノズルの位置によって連通流路の長さが異なってしまう。そこで、本発明では、複数の連通流路のうち一部の連通流路を接合面と直交する方向に対して傾斜して配置することで、圧力室から液体噴射面まで延びる連通流路の長さを均一にすることができる。
また、第9の発明の液滴噴射装置は、第8の発明において、前記液滴噴射面の、前記対象物の前記湾曲面、又は、前記湾曲された状態の対象物の湾曲面に沿う方向に直交、且つ、前記接合面と平行に配置された前記複数の圧力室に沿ってノズルがそれぞれ開口し、各連通流路の前記接合面に対する傾斜方向は、前記対象物の前記湾曲面、又は、前記湾曲された状態の対象物の湾曲面に沿う方向に直交、且つ、前記接合面と平行に配置された前記複数の圧力室に沿う方向であることを特徴とするものである。
上記の発明によれば、ノズルと圧力室を結ぶ連通流路の接合面に対する傾斜方向を、対象物の湾曲面、又は、湾曲された状態の対象物の湾曲面に沿う方向に直交、且つ、接合面と平行に配置された複数の圧力室に沿う方向に揃えることで、圧力室が対象物の湾曲面、又は、湾曲された状態の対象物の湾曲面に沿う方向にずれて配置されるのを避けることができ、第1構造体の大型化を避けることができる。
また、第10の発明の液滴噴射装置は、第4〜第9の発明において、前記液体流路は、前記複数の圧力室に連通する共通液室をさらに含んでおり、前記第1構造体に前記共通液室が形成されていることを特徴とするものである。
このように、第1構造体に、前記複数のノズルだけでなく、複数の圧力室に連通する、容積の大きな共通液室を形成してもよい。
また、第11の発明の液滴噴射装置は、第10の発明において、前記第1構造体は、樹脂材料で形成されていることを特徴とするものである。
上記の発明によれば、第1構造体に樹脂材料を用いると、ノズルや共通液室を含む複雑な流路を比較的容易に形成することができる。また、複数の圧力室に共通に連通する共通液室が、軟質材料である樹脂材料で形成されることになることから、共通液室内の圧力変動減衰効果を高めることができる。
また、第12の発明は、液滴を噴射するノズルを含む液体流路を有し、湾曲面を有する対象物、又は、湾曲された状態の対象物に液滴を噴射する液滴噴射装置の製造方法であって、前記液体流路の少なくとも一部が形成されるものであって、複数のノズルが開口する液滴噴射面を有する第1構造体を作製する、第1構造体作製工程と、前記第1構造体に接合される第2構造体を作製する、第2構造体作製工程と、前記第1構造体と前記第2構造体とを接合する接合工程とを備え、前記第1構造体作製工程において、前記液滴噴射面を曲面状に形成するとともに、前記液滴噴射面と反対側に平面状の接合面を形成し、前記接合工程において、前記接合面に前記第2構造体を接合することを特徴とする液滴噴射装置の製造方法である。
液滴噴射装置が、複数の部材(少なくとも第1構造体と第2構造体の2つの部材)で構成される場合には、液滴噴射装置全体を湾曲状に形成する場合、成形後のハンドリングが難しく、さらに、複数の部材の接合面が湾曲状になることから、確実な接合も難しくなる。上記の発明によれば、第1構造体の液滴噴射面を曲面状に形成するとともに、第2構造体と接合される接合面は平面状に形成することで、第2構造体を接合する際に均等に接合面へ力を加えることが可能となり、確実な接合を容易に行うことができる。
また、第13の発明は、第12の発明における前記接合工程において、前記接合面に対して直交方向に押圧することにより前記第1構造体と前記第2構造体とを接合することを特徴とする液滴噴射装置の製造方法である。
上記発明の液滴噴射装置の製造方法によれば、前記接合工程において、第1構造体の接合面が平面状であるため、第1構造体の接合面に対して直交方向に押圧することができる。これにより、接合面において均等に力を加えることができ、第1構造体と第2構造体とを確実に接合させることができる。
また、第14の発明の液滴噴射装置は、第12の発明における前記第1構造体作製工程において、前記第1構造体を射出成形により形成することを特徴とする液滴噴射装置の製造方法である。
上記発明の液滴噴射装置の製造方法によれば、前記第1構造体作製工程において、前記第1構造体を射出成形により形成することにより、複雑な形状の液体流路を含む第1構造体を、容易に形成することができる。
また、第15の発明は、第14の発明における前記第1構造体作製工程において、前記第1構造体を樹脂材料で形成することを特徴とする液滴噴射装置の製造方法である。
上記発明の液滴噴射装置の製造方法によれば、前記第1構造体作製工程において、前記第1構造体を樹脂材料で形成することにより、複雑な形状の液体流路を含む第1構造体を、容易に形成することができる。
また、第16の発明は、第15の発明における前記第1構造体作製工程において、前記複数のノズルをレーザー加工により形成することを特徴とする液滴噴射装置の製造方法である。
上記発明の液滴噴射装置の製造方法によれば、前記第1構造体作製工程において、前記複数のノズルをレーザー加工により形成することにより、複数のノズルを高精度且つ容易に形成することができる。
本発明によれば、第1構造体は、液滴噴射面が曲面状に形成されており、液滴噴射面と反対側に平面状の接合面が形成されている。曲面状の液滴噴射面は、平面状の液滴噴射面に比べて、液滴噴射面に直交する方向において、対象物の湾曲面、又は、湾曲した状態の対象物との間の距離が大きく異なるのを避けて、対象物に位置付けることができる。その為、複数のノズルは、各ノズルと対象物との間のそれぞれの距離が大きく異なるのを避けて配置できる。また、接合面が平面状であるため、曲面状の接合面に比べると、第2構造体を接合する際に均等に接合面へ力を加えることが可能となり、確実な接合を容易に行うことができる。
次に、本発明の実施の形態について説明する。図1は、本実施形態のラインヘッド1(液滴噴射装置)を備えたプリンタ100の概略構成図である。
図1に示すように、プリンタ100は、印刷用紙P(湾曲された状態の対象物)にインク(液滴)を噴射して印刷を行う4つのライン型インクジェットヘッド1(以下、ラインヘッド1と略称する)と、印刷用紙Pを搬送する搬送機構2a・2bと、搬送ドラム3等を備えている。
そして、このプリンタ100は、印刷用紙Pにそれぞれ文字や画像等を印刷することが可能に構成されている。図1には、印刷用紙Pの搬送経路10が矢印で示されている。プリンタ100は、搬送機構2aにより搬送ドラム3に送り、搬送ドラム3に吸着された印刷用紙Pの表面に4つのラインヘッド1で印刷した後に、搬送機構2bにより印刷用紙Pをプリンタ100の外へ排出する。上記作用を実現するプリンタ100の具体的構成について、以下、順を追って詳細に説明する。
(プリンタ100の構成)
4つのラインヘッド1は、それぞれが搬送ドラム3と対向して配置されている。そして、4つのラインヘッド1は、搬送ドラム3によって4つのラインヘッド1との間を搬送される印刷用紙Pに対して、4色(イエロー、マゼンタ、シアン、ブラック)のインクをそれぞれ噴射し、文字や画像等を印刷する。
搬送機構2aは、円筒状の第1搬送ローラ6aと、印刷用紙Pの搬送経路10を挟んで第1搬送ローラ6aと対向する円筒状の第1搬送ローラ6bと、第1搬送ローラ6a・6bと搬送ドラム3との間で印刷用紙Pをガイドする用紙ガイド8a・8bとを備えている。そして、第1搬送ローラ6a・6bにおいて、第1搬送ローラ6bが図示しないモータによって回転駆動されることで、第1搬送ローラ6bと第1搬送ローラ6aにより印刷用紙Pがニップされ、用紙ガイド8a・8bを介して搬送ドラム3に搬送される。
搬送ドラム3は、搬送機構2aにより搬送されてきた印刷用紙Pを、その表面に吸着させる吸着手段を備えている。この吸着手段としては、エア吸引式や、静電気式等、公知の吸着手段を採用できる。そして、吸着手段により搬送ドラム3の表面に印刷用紙Pが保持された状態で、図示しない駆動モータにより搬送ドラム3が回転駆動されることで、湾曲した状態の印刷用紙Pが、搬送ドラム3と4つのラインヘッド1との間において周方向に搬送されることになる。
搬送機構2bは、円筒状の第2搬送ローラ7aと、印刷用紙Pの搬送経路10を挟んで第2搬送ローラ7aと対向する円筒状の第2搬送ローラ7bと、第2搬送ローラ7a・7bと搬送ドラム3との間で印刷用紙Pをガイドする用紙ガイド9a・9bとを備えている。そして、第2搬送ローラ7a・7bにおいて、第2搬送ローラ7bが図示しないモータによって回転駆動されることで、搬送ドラム3から用紙ガイド9a・9bを介して搬送されてきた印刷用紙Pが、第2搬送ローラ7bと第2搬送ローラ7aによりニップされ、プリンタ100外へ排出搬送されることになる。
(ラインヘッド1の構成)
次に、ラインヘッド1について図2〜図4を参照して詳細に説明する。図2は、1つのラインヘッド1と搬送ドラム3の位置関係を示した斜視図である。図3は、図2のラインヘッド1を図の矢印(a)方向から見た平面図である。図4は、図2のラインヘッド1を図の矢印(b)方向から見た平面図を示す。図2に示すようにラインヘッド1は、後述する複数のノズル61及び圧力室52を含む液体流路等が形成された流路ユニット56と、この流路ユニット56の上面に配置されて、圧力室52内のインクに噴射圧力を付与する圧電アクチュエータ57(圧力付与手段)とを備えた構造をしている。なお、インク色毎に設けられている各ラインヘッド1の構造は共通しているので、以下ラインヘッド1として説明する。
さらに、図5及び図6をも参照して、ラインヘッド1の詳細な構造について説明する。図5は、図3及び図4に示すラインヘッド1をA−Bの破線面から見たA−B断面図である。図6は、図5の一部拡大図である。本実施形態のラインヘッド1は、各種プレート部材を多数積層することによって形成されている。
まず、図5及び図6に示すように、流路ユニット56はキャビティプレート70、ベースプレート71、及びノズルプレート72を備えており、これら3枚のプレート70〜72が積層状態で接合されている。このうち、キャビティプレート70及びベースプレート71はステンレス鋼製の板であり、これら2枚のプレート70〜71に、圧力室52等の液体流路の一部をエッチングにより容易に形成することができるようになっている。また、ノズルプレート72は、ポリイミド等の合成樹脂材料により形成され、ベースプレート71の下面に接着される。
図5及び図6に示すように、3枚のプレート70〜72のうち、最も上方に位置するキャビティプレート70には、各々が印刷用紙Pの搬送方向と直交する方向に沿って延在し且つ平面に沿って配列された複数の圧力室52がキャビティプレート70を貫通する孔により形成され、これら複数の圧力室52は上下両側から後述の振動板73及びベースプレート71によりそれぞれ覆われている。また、複数の圧力室52は、印刷用紙Pの搬送方向99(図3の左右方向)に4列に配列されている。また、各圧力室52は、平面視で印刷用紙Pの搬送方向99(図3の左右方向)に長い、略楕円形状に形成されている。
このように、それぞれの圧力室52が、接合面98と平行な平面に沿って配置されると、流路ユニット56内のインク流路がコンパクトなものとなり、流路ユニット56全体を小型化することが可能である。
図5及び図6に示すように、ベースプレート71の、平面視で圧力室52の両端部と重なる位置には、それぞれ連通孔74・75が形成されている。
図2、図5及び図6に示すように、ノズルプレート72の下面(液滴噴射面60)は、印刷用紙Pの搬送方向99に、搬送ドラム3の周方向の湾曲に合わせて湾曲している。その一方で、ノズルプレート72の、ベースプレート71と接合される上面は平面形状を有する。
このノズルプレート72には、複数の圧力室52にそれぞれ対応した複数のノズル61が形成されている。複数のノズル61は、ノズルプレート72の湾曲した下面(液滴噴射面60)において開口している。図4に示すように、複数のノズル61は、湾曲した液滴噴射面60上において4列のノズル列60b・60c・60d・60eを構成している。より詳細には、各ノズル61は、4列に配列された複数の圧力室52にそれぞれ対応して、搬送方向と直交する方向に等間隔で配列されて、4列のノズル列を構成している。つまり、これら4列のノズル列はそれぞれ同数のノズル61からなり、それらの配列方向に関するノズル61の間隔(ピッチ)は全て等しい。
このように、複数のノズル61が開口する液滴噴射面60が、搬送ドラム3の表面(湾曲状の印刷用紙P)に沿って湾曲している。そのため、液滴噴射面60上に配置された複数のノズル61の開口と印刷用紙Pとの距離が一様になり、ノズル61から噴射された液滴の着弾位置ズレを防止できる。さらに、液滴噴射面60全体が湾曲しており、液滴噴射面60の全域にわたって印刷用紙Pとの間の距離が等しい形状を有するため、ラインヘッド1と印刷用紙Pとの間で気流が安定化し、ノズル61から噴射された液滴の挙動が安定する。
また、このノズルプレート72には、前記ノズル61だけでなく、それ以外のインク流路も形成されている。即ち、ノズルプレート72には、平面視で、搬送方向99の直角方向に配列された圧力室52の連通孔74側の部分と重なるように、搬送方向99と直交する方向に延びる3つのマニホールド76(共通液室)が形成されている。3つのマニホールド76のうち、図3中の左側のマニホールド76は最も左側に配列された圧力室52に連通している。また、中央のマニホールド76は、中央で2列に配列された圧力室52に連通している。さらに、右側のマニホールド76は最も右側に配列された圧力室52に連通している。そして、各マニホールド76は、それに連通する複数の圧力室52に対してインクを供給する。また、3つのマニホールド76は、後述の振動板73に形成されたインク供給流路58に連通しており、図示しないインクタンクからインク供給流路58を介してマニホールド76へインクが供給される。
また、ノズルプレート72の、平面視で複数の圧力室52のマニホールド76と反対側の端部と重なる位置には、それぞれ、複数の連通孔75に連なる複数のディセンダ77(連通流路)が形成されている。図5、図6に示すように、各ディセンダ77は、対応する連通孔75(圧力室52)から、ノズルプレート72の上面と直交する方向に、ノズル61まで延在している。
尚、上述したように、複数のノズル61が開口する液滴噴射面60が湾曲形状である一方で、複数のノズル61にそれぞれ連通する複数の圧力室52が、ノズルプレート72の平面状の上面に平行な一平面上に配置されている。この場合に、複数の圧力室52と複数のノズル61とをそれぞれ連通させる複数のディセンダ77を、全て、圧力室52の配置平面(ノズルプレート72の上面)と直交する方向(図5、図6の上下方向)に延在させると、ノズル61の位置によってディセンダ77の長さが異なってしまう。このように、ノズル61によってディセンダ77の長さが異なると、後述する圧電アクチュエータ57により圧力室52内に付与された圧力波の、圧力室52からノズル61までの伝播時間が異なってしまい、最終的にインクに付与される噴射エネルギーにばらつきが生じる。また、ディセンダ77間で流路抵抗が異なってしまうという問題もある。このように、ノズル61毎でインクに付与される噴射エネルギーやディセンダ77の流路抵抗が異なると、噴射特性(液滴体積や噴射速度)のばらつきが生じ、印字品質の低下の要因となる。
そこで、本実施形態では、図4、図5に示すように、ノズルプレート72に設けられた4列のノズル列のうち、ノズル列60bとノズル列60cは、液滴噴射面60の中心軸60a(ノズルプレート72の短手方向(印刷用紙Pの搬送方向)に関する中央を通過する鉛直軸)に対して対称な位置に配置されている。即ち、中心軸60aとノズル列60bとの距離Cと中心軸60aとノズル列60cとの距離Dが等しくなるように配列されている。同様に、ノズル列60dとノズル列60eは、液滴噴射面60の中心軸60aに対して対称な位置に配置されている。即ち、図5に示すように中心軸60aとノズル列60dとの距離Eと中心軸60aとノズル列60eとの距離Fが等しくなるように配列されている。このように、液滴噴射面60の中心軸60aに対して対称な位置にノズル61をそれぞれ配置することで、これら対称な位置にそれぞれ配置されたノズル61に連通するディセンダ77の長さを等しくすることができる。
尚、近接するノズル列60bとノズル列60d(ノズル列60cとノズル列60e)は、中心軸60aからの距離が若干異なるため、それらに対応するディセンダ77の長さは厳密には異なることになる。しかし、図からもわかるように、近接するノズル列の中心軸60aからの距離の違いは非常に小さいものであることから、ディセンダ77の長さの違いも微小なものとなり、印字品質への影響はほとんどない。
また、図6に示すようにノズル61の軸線61aは、ディセンダ77の軸線77aに対して傾斜しており、搬送ドラム3の曲面と直交している。このように、インクを噴射するノズル61の軸線61aが搬送ドラム3上に吸着され湾曲された状態の印刷用紙Pの湾曲面と直交する方向を向くことにより、インクの液滴を精度よく印刷用紙Pに噴射させることができる。
図5及び図6に示すように、マニホールド76は連通孔74を介して圧力室52に連通し、さらに、圧力室52は、連通孔75及びディセンダ77を介してノズル61に連通している。このように、流路ユニット56内には、マニホールド76から圧力室52及びディセンダ77を経てノズル61に至る液体流路が複数形成されている。
尚、前述したように、本実施形態のノズルプレート72は、キャビティプレート70やベースプレート71とは異なり、合成樹脂材料によって形成されている。そして、ノズルプレート72には、ノズル61だけでなく、複数の圧力室52に共通に連通するマニホールド76が形成されている。このように、マニホールド76が形成される部材が、軟質材料である合成樹脂材料で形成されていると、マニホールド76内での圧力変動減衰効果を高まり、隣接する圧力室52の間でのマニホールド76を介した圧力波の相互伝播(流体的クロストーク)が抑制される。
次に、圧電アクチュエータ57について説明する。図2〜図6に示すように、圧電アクチュエータ57は、流路ユニット56の上面に配置された金属製の振動板73と、この振動板73の上面に複数の圧力室52に跨って連続的に形成された圧電層78と、この圧電層78の上面に複数の圧力室52にそれぞれ対応して形成された複数の個別電極79とを有する。
振動板73は、平面視で略矩形状の金属材料からなる導電性を有する板部材である。この振動板73は、キャビティプレート70の上面に複数の圧力室52を覆うように配設されて、このキャビティプレート70に接合されている。また、この振動板73は常にグランド電位に保持されており、複数の個別電極79に対向して個別電極79と振動板73との間の圧電層78に厚み方向の電界を作用させる共通電極を兼ねている。
振動板73の上面には、チタン酸ジルコン酸鉛(PZT)等の圧電セラミックス材料を主成分とする圧電層78が形成されている。この圧電層78は、複数の圧力室52に跨って連続的に形成されている。
圧電層78の上面には、圧力室52よりも一回り小さい略楕円形の平面形状を有する複数の個別電極79が形成されている。これら個別電極79は、平面視で対応する圧力室52の中央部に重なる位置にそれぞれ形成されている。個別電極79は金、銅、銀、パラジウム、白金、あるいは、チタンなどの導電性材料からなる。さらに、複数の個別電極79から、それぞれ複数の接点部80が引き出されている。そして、これら複数の接点部80には、フレキシブルプリント配線板(Flexible Printed Circuit:FPC)等の可撓性を有する配線部材(図示省略)の接点が接合され、複数の接点部80は、この配線部材を介して複数の個別電極79に対して選択的に駆動電圧を供給するドライバIC(図示省略)と電気的に接続されている。
次に、インクの噴射時における圧電アクチュエータ57の作用について簡単に説明する。複数の個別電極79に対してドライバICから選択的に駆動電圧が印加されると、駆動電圧が印加された圧電層78上側の個別電極79とグランド電位に保持されている圧電層78下側の共通電極としての振動板73の電位が異なる状態となり、個別電極79と振動板73の間に挟まれた圧電層78の厚み方向の電界が生じる。ここで、圧電層78の分極方向と電界の方向とが同じ場合には、圧電層78はその分極方向である厚み方向に伸びて水平方向に収縮する。そして、この圧電層78の収縮変形に伴って振動板73が圧力室52側に凸となるように変形するため、圧力室52内の容積が減少して圧力室52内のインクに圧力が付与され、圧力室52に連通するノズル61からインクの液滴が噴射される。
尚、以上説明したラインヘッド1において、ノズル61、ディセンダ77、及び、マニホールド76が形成されるとともに、湾曲状の液滴噴射面60を有する合成樹脂製のノズルプレート72が本願発明の第1構造体に相当する。また、このノズルプレート72の平面状の上面に接合される、ベースプレート71、キャビティプレート70、及び、さらにその上に位置する振動板73及び圧電層78を含む圧電アクチュエータ57が、第1構造体に接合される第2構造体に相当する。
(ラインヘッド1の製造方法)
次に、ラインヘッド1の製造方法について説明する。本実施形態では、上述したラインヘッド1のうち、ノズルプレート72(第1構造体)と、それ以外の構造(第2構造体)とをそれぞれ作製し、その後、両者を接合するという工程を経る。
(第1構造体作製工程)
まず、第1構造体としてのノズルプレート72を作製する工程について説明する。本実施形態では、ノズルプレート72を射出成形により作製する。即ち、所定の形状を有する金型内に流動状の合成樹脂材料を投入し、金型内で合成樹脂材料を硬化させることで、湾曲面、この湾曲面と反対側に位置する平面、及び、内部のマニホールド76やディセンダ77等のインク流路を成形し、成型品を金型から取り外す。
その後、成型品に形成された湾曲面の、複数のディセンダ77に対応する位置に、レーザー加工により複数のノズル61をそれぞれ形成し、湾曲面を、複数のノズル61が開口した液滴噴射面60とする。尚、この湾曲した液滴噴射面60と反対側の平面は、次述の第2構造体との接合面98となる(図5及び図6参照)。以上でノズルプレート72(第1構造体)の作製工程が完了する。
このように、ノズルプレート72を合成樹脂材料で形成する場合には、ノズル61やマニホールド76を含む複雑な流路を、射出成形によって比較的容易に形成することができる。さらに、レーザー加工により、複数のノズル61を高精度且つ容易に形成することができる。加えて、ディセンダ77が流路ユニット56の接合面に対して垂直に延びている場合には、ディセンダ77の成形時に、流路ユニット56の成形品が金型から容易に取り出すことができる。
(第2構造体作製工程)
次に、流路ユニット56のうちの、ノズルプレート72を除く、2枚のプレート(キャビティプレート70及びベースプレート71)と、圧電アクチュエータ57とからなる第2構造体を作製する工程について説明する。
まず、キャビティプレート70、及び、ベースプレート71に圧力室52や連通孔74・75等のインク流路を構成する孔をエッチング等により形成する。そして、キャビティプレート70、ベースプレート71、及び、振動板73の、3枚の金属プレートを積層した状態で接合する。この接合工程においては、3枚のプレートを接着剤で接合してもよいし、積層した3枚のプレートを所定温度(例えば、1000℃)以上に加熱しながら加圧することにより、金属拡散接合により接合してもよい。
次に、振動板73の上面に圧電層78を形成する。この圧電層78は、例えば、エアロゾルデポジション法、スパッタ法、ゾルゲル法、CVD法等により、振動板73の上面に圧電材料を堆積させることによって形成することができる。あるいは、グリーンシートを焼成して得られた圧電シートを振動板73の上面に接着することにより圧電層78を形成することもできる。さらに、この圧電層78の上面に、複数の個別電極79を、スクリーン印刷、スパッタ法、蒸着法等により形成する。
以上により、キャビティプレート70、ベースプレート71、及び、振動板73と圧電層78を含む圧電アクチュエータ57で構成された、第2構造体の作製工程が完了する。
(接合工程)
次に、第1構造体と第2構造体とを接着剤を用いて接合する。ここで、前述したように、第1構造体としてのノズルプレート72には、湾曲形状の液滴噴射面60と、その反対側の平面状の接合面98が形成されている。そして、このノズルプレート72の接合面98に、第2構造体を構成するベースプレート71の下面(キャビティプレート70と反対側の面)を接合する。尚、この両者の接合は、前記接合面98に対して直交する方向に、一方の構造体を他方の構造体に押圧しながら行う。これにより、接合面98に均等に力を作用させて両接合体を確実に接合することが可能となる。
以上説明したラインヘッド1及びその製造方法によれば、次のような効果が得られる。
ノズルプレート72の、複数のノズル61が開口する液滴噴射面60が曲面状に形成されており、ノズル61が印刷用紙P(搬送ドラム3)の湾曲方向に沿って配置されているため、各ノズル61と印刷用紙Pとの距離が等しくなり、液滴の着弾位置ズレを防止できる。
その一方で、ノズルプレート72の、液滴噴射面60と反対側の面は、平面状の接合面98となっており、この接合面98において、ノズルプレート72以外を除く構造体(キャビティプレート70、ベースプレート71、及び、圧電アクチュエータ57からなる第2構造体)が接合されている。そのため、この第2構造体を構成する各部材を湾曲状に形成する必要がなく、平板状でよいため、これらの部材の作製が容易になる。また、第2構造体を構成するキャビティプレート70等が平板状であると、組立作業時の各部材のハンドリングが容易である。また、平面状の接合面98と直交する方向に押圧するだけでプレート間の確実な接合が可能となるなど、接合も容易になる。特に、インク流路が形成された流路ユニット56においてプレート間の接合が不十分であると、プレートの隙間からインクが漏れ出すなどの問題が生じることから、確実な接合を容易に実現できる本発明は非常に有効である。
また、圧力室52内のインクに圧力を付与する、圧力付与手段としての圧電アクチュエータ57は、湾曲状の液滴噴射面60を備えた第1構造体ではなく、その平面状の接合面98に接合される第2構造体に含まれている。従って、亀裂等が生じると問題になる個別電極79や、比較的脆い材料である圧電材料からなる圧電層78を含む、圧電アクチュエータ57を湾曲状に形成する必要がなく、圧電アクチュエータ57を平板構造とすることができるため、その製造が容易になる。また、先に例示したように、圧電層78を焼成後の圧電シートを振動板73に接合することにより形成する場合には、平板状の振動板73に平板状の圧電シートを貼り付けることになるため、容易且つ確実に接合することが可能である。
次に、前記実施形態に種々の変更を加えた変更形態について図7及び図8を参照して説明する。図7は、ラインヘッド401を上面から見た平面図である。図8(a)は、図7に示すラインヘッド401の破線G−H断面図である。図8(b)は、図7に示すラインヘッド401の破線I−J断面図である。図8(c)は、図7に示すラインヘッド401の破線K−L断面図である。図8(d)は、図7に示すラインヘッド401の破線M−N断面図である。図8(e)は、図7に示すラインヘッド401の破線O−P断面図である。但し、前記実施形態と同じ構成を有するものについては、同じ符号を付して適宜その説明を省略する。
前記実施形態では、湾曲状の液滴噴射面60を有するノズルプレート72に形成され、圧力室52とノズル61とを連通させるディセンダ77は、ノズルプレート72の接合面98と直交する方向に延在していた(図3、図4参照)。しかし、図7及び図8に示すように、ノズル61の位置により、ディセンダ77の長さが異なってしまうのを確実に避けるために、ディセンダ77を接合面98と直交する方向に対して傾斜した方向に延在させることで、全てのディセンダ77の長さを等しくしてもよい。以下その詳細について説明する。
(ラインヘッド401の構成)
ラインヘッド401は、インクを液滴として噴射するノズル461と、インクを噴射する際にインクに圧力を付与する圧力室52(圧力室)と、圧力室52とノズル461とを連通するディセンダ477(連通流路)と、圧力室52にインクを供給する4つのマニホールド476(共通液室)とを含んで構成される圧力室52が千鳥状の2次元マトリクス状に配列されている。また、圧力室52には、その対角線の一方の端がノズル461に連通しており、他方の端はマニホールド476と連通している。
また、図7に示すように、液滴噴射面60には、複数のノズル61が圧力室52の千鳥状の2次元マトリックスに対応して配置されている。また、液滴噴射面60はその短手方向において搬送ドラム3の周にあわせて湾曲した形状をしている。そして、ラインヘッド401は、その長手方向が、搬送ドラム3の外周面全幅に対応する長さとなるように1つのラインヘッド401を構成している。
(ラインヘッド401の積層構造)
次に、図8に基づき、ラインヘッド401の積層構造について説明する。本実施形態のラインヘッド401は、各種プレート部材を多数積層することによって形成されている。なお、ここでは、実施の形態1とは異なるノズルプレート72について詳しく説明する。他の構成は、実施の形態1と同様である。
図7及び図8に示すように、ノズルプレート72は、少なくとも液滴噴射面60が搬送ドラム3の周の湾曲に合わせて湾曲した形状を有している。
そして、ノズルプレート72には、平面視で、搬送方向99の直角方向に配列された圧力室52の連通孔74側の部分と重なるように、搬送方向99の直角方向に延びる4つのマニホールド476が形成されている。また、これら4つのマニホールド476は、振動板73に形成されたインク供給流路58に連通しており、図示しないインクタンクからインク供給流路58を介してマニホールド476へインクが供給される。
また、ノズルプレート72の、平面視で複数の圧力室52のマニホールド476と反対側の端部と重なる位置には、それぞれ、複数の連通孔75に連なる複数のディセンダ477が形成されている。図8に示すように、各ディセンダ477(ディセンダ477a・477b・ディセンダ477c・ディディセンダ477d等)は、各圧力室52から各ノズル461(ノズル461a・461b・461c・461d等)まで直線状にそれぞれ延びており、その長さが互いに等しくなっている。即ち、複数のディセンダ477のうちの一部のディセンダ477は、接合面98に対して傾斜することとなる。具体的には、図7及び図8に示すように、圧力室52から液滴噴射面60までの直線距離が長い部分に該当するディセンダ477aは、接合面98に対して傾斜することなく、圧力室52からノズル461aまで直線状に延びている(図8(b)のI−J断面図参照)。一方、圧力室52から液滴噴射面60までの直線距離が短くなる部分に該当するディセンダ477b、ディセンダ477c及びディディセンダ477dは、接合面98に対して圧力室52から液滴噴射面60までの距離に合わせて傾斜しており、各圧力室52から各ノズル461b・461c・461dまで直線状に延びている(図8(c)のK−L断面図、図8(d)のM−N断面図及び図8(e)のO−P断面図参照)。
ノズル461a・461b・461c・461dが湾曲した液滴噴射面60上に配置される一方で、対応する圧力室52が接合面98と平行に、平面状に配置される場合に、流路ユニット56は、接合面98に対して直交する方向において、接合面98から液滴噴射面60までの直線距離が異なる。そこで、複数のディセンダ477a・477b・477c・477dのうち圧力室52から液滴噴射面60までの距離が短くなる部分に該当するディセンダ477b、ディセンダ477c及びディセンダ477dを接合面98に対して傾斜して配置することで、圧力室52から液滴噴射面60まで延びるディセンダ477a・477b・477c・477dの長さを均一にすることができる。これにより、全てのディセンダ477a・477b・477c・477dの長さを共通とすることができ、ディセンダ477a・477b・477c・477dの流路抵抗を一様にすることができる。
また、傾斜したディセンダ477(ディセンダ477b・477c・477d)の接合面98に対する傾斜方向491は、搬送ドラム3の湾曲面に沿う方向に直交し接合面98と平行に配置された複数の圧力室52に沿う方向である(図7及び図8の傾斜方向491参照)。
このように、ノズル61を定位置に定めた場合に、各ディセンダ477の接合面98に対する傾斜方向491を、搬送ドラム3の湾曲面に沿う方向に直交、且つ、接合面98と平行に配置された複数の圧力室52に沿う方向に揃えることで、各ディセンダ477と連通した各圧力室52が搬送ドラム3の湾曲面に沿う方向にずれて配置されるのを避けることができ、流路ユニット56の大型化を避けることができる。
また、ノズルプレート72の材質は、合成樹脂材料である必要は必ずしもなく、金属材料等の他の材料で形成することもできる。尚、金属材料を使用した場合でも、射出成形によりノズルプレート72を成形することは可能である。また、ノズルプレート72が金属製である場合には、プレス加工により、ノズル61を含む流路を形成することも可能である。
前記実施形態では、湾曲状の液滴噴射面60を有する第1構造体としてのノズルプレート72に、ノズル61以外のインク流路(マニホールド76やディセンダ77)が形成されていたが、ノズルプレート72にはノズル61のみが形成され、他の流路は全て平板状の別のプレートに形成されていてもよい。
あるいは、逆に、ノズル61が形成された第1構造体に、圧力室52等も含めたインク流路の全てが形成されてもよい。この場合には、第1構造体の平面状の接合面に接合される第2構造体は、圧力付与手段である圧電アクチュエータのみとなる。第1構造体、第2構造体は複数枚のプレートが積層して構成されたものに限られず、1個体の部材であっても構わない。また、第2構造体は圧力室等のインク流路の一部のみが形成され、圧電アクチュエータは第2構造体とは別の構成としてもよい。
インクに圧力を付与する圧力付与手段としては、圧電式のアクチュエータに限られるものではなく、従来から知られている様々なアクチュエータ等を使用できる。例えば、インクに熱エネルギーを与えたときのバブリングによって噴射圧力を生じさせるものであってもよい。また、圧力付与手段は流路ユニットに一体的に設けられる必要は特になく、流路ユニットとは離れた位置から圧力(エネルギー)を付与するものであってもよい。
第1構造体に設けられる液滴噴射面60は、その全面において湾曲した印刷用紙P(搬送ドラム3の表面)と等距離となるような形状に形成される必要は特になく、少なくとも複数のノズル61の開口と印刷用紙Pとが等距離となっていれば、液滴噴射面60全体の形状は特に限られない。
前記実施形態では、液滴を噴射するインクジェットヘッドは、印刷用紙Pの幅にわたって延びるノズル列を有し、位置決め固定された状態で搬送される印刷用紙Pにインクを噴射する、ライン型のヘッドであったが、印刷用紙Pに対してその幅方向に往復移動しながら液滴を噴射する、いわゆる、シリアル型のヘッドであってもよい。
液滴を噴射する対象物は、湾曲された印刷用紙Pには限られるものではなく、湾曲した面を有するものであれば特に限定されない。例えば、インクジェッドヘッドから噴射されたインクをその表面に受けて、インクジェットヘッドとは別の位置において、搬送される印刷用紙にインクを転写する、円筒(円柱)状の転写ドラムであってもよい。あるいは、それ自身が湾曲面を有する物体(例えば、コップやペットボトル、ボール、湾曲形状をした爪へのネイルアートとしての印字など)であってもよい。
以上説明した実施形態及びその変更形態は、インクの液滴を噴射して対象物に文字や画像等を印刷するインクジェットヘッドに本発明を適用した例であるが、印刷用のインク以外の液体を噴射する、様々な分野で用いられる液滴噴射装置にも本発明を適用することももちろん可能である。
本実施形態のラインヘッドを備えたプリンタの概略構成図である。 1つのラインヘッドと搬送ドラムの位置関係を示した斜視図である。 図2のラインヘッドを図の矢印(a)方向から見た平面図である。 図2のラインヘッドを図の矢印(b)方向から見た平面図を示す。 図3及び図4に示すラインヘッドをA−Bの破線面から見たA−B断面図である。 図5の一部拡大図である。 変形形態に係るラインヘッドを上面から見た平面図である。 (a)図7に示すラインヘッドの破線G−H断面図である。(b)図7に示すラインヘッドの破線I−J断面図である。(c)図7に示すラインヘッドの破線K−L断面図である。(d)図7に示すラインヘッドの破線M−N断面図である。(e)図7に示すラインヘッドの破線O−P断面図である。
符号の説明
1 ラインヘッド
3 搬送ドラム
10 搬送経路
52 圧力室
56 流路ユニット
57 圧電アクチュエータ
60 液滴噴射面
61 ノズル
70 キャビティプレート
71 ベースプレート
72 ノズルプレート
73 振動板
76 マニホールド
77 ディセンダ
78 圧電層
98 接合面
100 プリンタ
P 印刷用紙

Claims (16)

  1. 湾曲面を有する対象物、又は、湾曲された状態の対象物に液滴を噴射する液滴噴射装置であって、
    液滴を噴射するノズルを含む液体流路の少なくとも一部が形成され、複数の前記ノズルが開口する液滴噴射面を有する第1構造体と、
    前記第1構造体に接合される第2構造体とを備え、
    前記第1構造体は、前記液滴噴射面と反対側に平面状の接合面を有し、前記接合面には前記第2構造体が接合されており、前記液滴噴射面が曲面状に形成されていることを特徴とする液滴噴射装置。
  2. 前記液滴噴射面は、その全域が前記対象物の前記湾曲面、又は、前記湾曲された状態の対象物の湾曲面と直交する方向において前記対象物との間の距離が等しくなる位置関係を前記対象物と取り得る形状を有していることを特徴とする請求項1に記載の液滴噴射装置。
  3. 前記ノズルの軸線が、前記対象物の前記湾曲面、又は、前記湾曲された状態の対象物の湾曲面と直交していることを特徴とする請求項1又は2に記載の液滴噴射装置。
  4. 第2構造体には、前記液体流路内の液体に圧力を付与する圧力付与手段が設けられていることを特徴とする請求項1〜3の何れかに記載の液滴噴射装置。
  5. 前記液体流路は、
    液体に噴射圧力を付与するための複数の圧力室と、前記複数の圧力室と前記複数のノズルとをそれぞれ連通させる複数の連通流路とを含んでおり、
    前記複数の連通流路が前記複数のノズルとともに前記第1構造体に形成されていることを特徴とする請求項1〜4の何れかに記載の液滴噴射装置。
  6. 前記複数の圧力室は、前記接合面と平行な平面に沿って形成されていることを特徴とする請求項5に記載の液滴噴射装置。
  7. 前記液滴噴射面の、前記液滴噴射面に直交し且つ前記第1構造体の中心を通る対称軸に対して対称な位置に、前記ノズルがそれぞれ開口し、
    各連通流路は、対応する前記圧力室から、前記接合面と直交する方向に前記ノズルまで延在していることを特徴とする請求項6に記載の液滴噴射装置。
  8. 前記複数の連通流路は、前記圧力室から前記ノズルまでの所定方向に直線状にそれぞれ延びており、前記所定方向における長さが互いに等しくなるように配置されており、
    前記複数の連通流路のうちの一部の連通流路は、前記接合面に対して傾斜していることを特徴とする請求項6に記載の液滴噴射装置。
  9. 前記液滴噴射面の、前記対象物の前記湾曲面、又は、前記湾曲された状態の対象物の湾曲面に沿う方向に直交、且つ、前記接合面と平行に配置された前記複数の圧力室に沿ってノズルがそれぞれ開口し、
    各連通流路の前記接合面に対する傾斜方向は、前記対象物の前記湾曲面、又は、前記湾曲された状態の対象物の湾曲面に沿う方向に直交、且つ、前記接合面と平行に配置された前記複数の圧力室に沿う方向であることを特徴とする請求項8に記載の液滴噴射装置。
  10. 前記液体流路は、前記複数の圧力室に連通する共通液室をさらに含んでおり、
    前記第1構造体に前記共通液室が形成されていることを特徴とする請求項4〜9の何れかに記載の液滴噴射装置。
  11. 前記第1構造体は、樹脂材料で形成されていることを特徴とする請求項10に記載の液滴噴射装置。
  12. 液滴を噴射するノズルを含む液体流路を有し、湾曲面を有する対象物、又は、湾曲された状態の対象物に液滴を噴射する液滴噴射装置の製造方法であって、
    前記液体流路の少なくとも一部が形成されるものであって、複数のノズルが開口する液滴噴射面を有する第1構造体を作製する、第1構造体作製工程と、
    前記第1構造体に接合される第2構造体を作製する、第2構造体作製工程と、
    前記第1構造体と前記第2構造体とを接合する接合工程とを備え、
    前記第1構造体作製工程において、前記液滴噴射面を曲面状に形成するとともに、前記液滴噴射面と反対側に平面状の接合面を形成し、
    前記接合工程において、前記接合面に前記第2構造体を接合することを特徴とする液滴噴射装置の製造方法。
  13. 前記接合工程において、前記接合面に対して直交方向に押圧することにより前記第1構造体と前記第2構造体とを接合することを特徴とする請求項12に記載の液滴噴射装置の製造方法。
  14. 前記第1構造体作製工程において、前記第1構造体を射出成形により形成することを特徴とする請求項12に記載の液滴噴射装置の製造方法。
  15. 前記第1構造体作製工程において、前記第1構造体を樹脂材料で形成することを特徴とする請求項14に記載の液滴噴射装置の製造方法。
  16. 前記第1構造体作製工程において、前記複数のノズルをレーザー加工により形成することを特徴とする請求項15に記載の液滴噴射装置の製造方法。
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