JP2010201730A - 液体吐出ヘッド及びこれを含む記録装置の製造方法、並びに、液体吐出ヘッド及び記録装置 - Google Patents

Abstract

【課題】比較的高粘度の液体を用いる場合にも、液体の流動性を均一化することができ、良質な記録を実現可能とする。
【解決手段】流路モジュールをそれぞれ配置領域に応じて、流路モジュールの配列方向である主走査方向及び副走査方向に関して末端領域に該当する群及びそれ以外の中央領域に該当する群を含む（１）（２）（３）の領域群に区分する。アクチュエータモジュールをそれぞれアクチュエータの静電容量の大きさに基づいて、３ランクにランク分けする。そして、第１ランク（静電容量が最大のランク）にランク分けされたアクチュエータモジュールを（１）四隅領域群、第２ランク（静電容量が中程度のランク）にランク分けされたアクチュエータモジュールを（２）端部領域群、第３ランク（静電容量が最小のランク）にランク分けされたアクチュエータモジュールを（３）中央領域群として区分された流路モジュールにそれぞれ配置する。
【選択図】図８

Description

本発明は、記録媒体に液体を吐出して画像を形成する液体吐出ヘッド及びこれを含む記録装置の製造方法、並びに、液体吐出ヘッド及び記録装置に関する。

例えばインクジェット式の記録装置に用いられるインクジェットヘッドにおいて、アクチュエータを変形させることで圧力室内のインクに圧力を付与し、ノズルからインクを吐出させる所謂ピエゾ式のものがある。ピエゾ式のインクジェットヘッドでは、アクチュエータに駆動電圧を供給するドライバＩＣ等の駆動部が設けられており、当該駆動部は駆動により発熱することが知られている（特許文献１参照）。

特開２００８−０７４０４１号公報

また、比較的高粘度で流動性が低いインクを用いる場合において、上記特許文献１に記載の駆動部の発熱を利用し、インクの温度を上昇させることで、インクの流動性を高め、適切な記録を実現することが考えられる。しかしながら、１のヘッド内、又は、複数のヘッドを含むインクジェット式記録装置内において、温度にバラツキがあることで、インクの流動性に差が生じ、良質な記録が実現できないという問題がある。

本発明の目的は、比較的高粘度の液体を用いる場合にも、ヘッド流路内の液体の流動性を均一化することができ、良質な記録を実現可能な液体吐出ヘッド及びこれを含む記録装置の製造方法、並びに、液体吐出ヘッド及び記録装置を提供することである。

上記目的を達成するため、本発明の第１観点によると、圧力室を経て液体を吐出する液体吐出口に至る個別流路を複数含む３以上の流路モジュール、各流路モジュールにおける前記複数の圧力室内の液体にそれぞれ圧力を付加する複数のアクチュエータを含む３以上のアクチュエータモジュール、及び、前記流路モジュールと熱的に結合すると共に当該流路モジュールに対応する前記アクチュエータモジュールに駆動電圧を供給する駆動部を有する液体吐出ヘッドの製造方法において、前記アクチュエータモジュールをそれぞれ前記アクチュエータの静電容量の大きさに基づいてランク分けするアクチュエータモジュールランク分け工程と、前記流路モジュールをそれぞれ、当該流路モジュールの少なくとも１の配列方向に関して末端領域に配置された少なくとも２つの流路モジュールを含む末端領域群と、前記末端領域を除く中央領域に配置された少なくとも１の流路モジュールを含む中央領域群とに区分する流路モジュール区分工程と、前記アクチュエータモジュールランク分け工程において所定の静電容量以上の静電容量を有するものとしてランク分けされたアクチュエータモジュールが、前記流路モジュール区分工程において前記末端領域群として区分された流路モジュールに対応し、前記アクチュエータモジュールランク分け工程において前記所定の静電容量未満の静電容量を有するものとしてランク分けされたアクチュエータモジュールが、前記流路モジュール区分工程において前記中央領域群として区分された流路モジュールに対応するよう、前記流路モジュールに前記アクチュエータモジュールを固定するアクチュエータモジュール固定工程と、を備えていることを特徴とする液体吐出ヘッドの製造方法が提供される。

本発明の第２観点によると、圧力室を経て液体を吐出する液体吐出口に至る個別流路を複数含む１以上の流路モジュール、前記流路モジュールにおける前記複数の圧力室内の液体にそれぞれ圧力を付加する複数のアクチュエータを含む１以上のアクチュエータモジュール、及び、前記流路モジュールと熱的に結合すると共に当該流路モジュールに対応する前記アクチュエータモジュールに駆動電圧を供給する駆動部を有する液体吐出ヘッドを複数含み、３以上の前記流路モジュールを有する記録装置の製造方法において、前記アクチュエータモジュールをそれぞれ前記アクチュエータの静電容量の大きさに基づいてランク分けするアクチュエータモジュールランク分け工程と、前記複数の液体吐出ヘッドにおける前記流路モジュールをそれぞれ、当該流路モジュールの少なくとも１の配列方向に関して末端領域に配置された少なくとも２つの流路モジュールを含む末端領域群と、前記末端領域を除く中央領域に配置された少なくとも１の流路モジュールを含む中央領域群とに区分する流路モジュール区分工程と、前記アクチュエータモジュールランク分け工程において所定の静電容量以上の静電容量を有するものとしてランク分けされたアクチュエータモジュールが、前記流路モジュール区分工程において前記末端領域群として区分された流路モジュールに対応し、前記アクチュエータモジュールランク分け工程において前記所定の静電容量未満の静電容量を有するものとしてランク分けされたアクチュエータモジュールが、前記流路モジュール区分工程において前記中央領域群として区分された流路モジュールに対応するよう、前記流路モジュールに前記アクチュエータモジュールを固定するアクチュエータモジュール固定工程と、を備えていることを特徴とする記録装置の製造方法が提供される。

本発明の第３観点によると、圧力室を経て液体を吐出する液体吐出口に至る個別流路を複数含む３以上の流路モジュールと、各流路モジュールにおける前記複数の圧力室内の液体にそれぞれ圧力を付加する複数のアクチュエータを含む３以上のアクチュエータモジュールと、前記流路モジュールと熱的に結合すると共に当該流路モジュールに対応する前記アクチュエータモジュールに駆動電圧を供給する駆動部と、を備え、所定の静電容量以上の静電容量を有するアクチュエータモジュールが、前記流路モジュールの少なくとも１の配列方向に関して末端領域に配置された少なくとも２つの流路モジュールを含む末端領域群に属する流路モジュールに対応し、前記所定の静電容量未満の静電容量を有するアクチュエータモジュールが、前記末端領域を除く中央領域に配置された少なくとも１の流路モジュールを含む中央領域群に属する流路モジュールに対応するよう、前記流路モジュールに前記アクチュエータモジュールが固定されていることを特徴とする液体吐出ヘッドが提供される。

本発明の第４観点によると、圧力室を経て液体を吐出する液体吐出口に至る個別流路を複数含む１以上の流路モジュール、前記流路モジュールにおける前記複数の圧力室内の液体にそれぞれ圧力を付加する複数のアクチュエータを含む１以上のアクチュエータモジュール、及び、前記流路モジュールと熱的に結合すると共に当該流路モジュールに対応する前記アクチュエータモジュールに駆動電圧を供給する駆動部を有する液体吐出ヘッドを複数含み、３以上の前記流路モジュールを有する記録装置において、所定の静電容量以上の静電容量を有するアクチュエータモジュールが、前記流路モジュールの少なくとも１の配列方向に関して末端領域に配置された少なくとも２つの流路モジュールを含む末端領域群に属する流路モジュールに対応し、前記所定の静電容量未満の静電容量を有するアクチュエータモジュールが、前記末端領域を除く中央領域に配置された少なくとも１の流路モジュールを含む中央領域群に属する流路モジュールに対応するよう、前記流路モジュールに前記アクチュエータモジュールが固定されていることを特徴とする記録装置が提供される。

上記第１〜第４観点は、１のヘッド又は記録装置においては中央ほど熱が籠もり高温になり易いこと、及び、アクチュエータの静電容量が駆動部に生ずる発熱量に影響を及ぼすことに着目したものである。上記のように静電容量の大きさに基づいてアクチュエータモジュールを適宜の領域群の流路モジュールに対応させることにより、比較的高粘度の液体を用いる場合にも、１のヘッドの流路内において、及び／又は、１の装置に含まれる複数の液体吐出ヘッド間において、液体の流動性を均一化することができ、良質な記録を実現することができる。

上記第１及び第２観点に係る製造方法においては、前記流路モジュールをそれぞれ前記個別流路の流路抵抗の大きさに基づいてランク分けする流路モジュールランク分け工程と、前記流路モジュールランク分け工程において、前記個別流路が所定の流路抵抗未満の流路抵抗を有するものとしてランク分けされた流路モジュールが前記末端領域群として、さらに、前記個別流路が前記所定の流路抵抗以上の流路抵抗を有するものとしてランク分けされた流路モジュールが前記中央領域群として、それぞれ区分されるよう、前記流路モジュールを配置する流路モジュール配置工程と、を備えていることが好ましい。また、第３観点に係るヘッドにおいて、前記末端領域群に属する前記流路モジュールは、当該個別流路が所定の流路抵抗未満の流路抵抗を有し、前記中央領域群に属する前記流路モジュールは、当該個別流路が前記所定の流路抵抗以上の流路抵抗を有することが好ましい。個別流路の流路抵抗が液体の流動性に影響を及ぼすことから、流路モジュールを上記のようにランク分けして適宜の領域群として区分されるよう配置することにより、液体の流動性の均一化がより確実に実現される。

上記第１及び第２観点に係る製造方法においては、前記流路モジュールランク分け工程において、前記個別流路における流路を絞って前記圧力室に供給される液体の流量を調整する絞り部の寸法を、ランク分けに係る前記流路抵抗の要素とすることが好ましい。この場合、絞り部は流路抵抗に大きな影響を及ぼす箇所であることから、当該ランク分けをより的確に行うことができる。

また、上記第１及び第２観点に係る製造方法においては、前記流路モジュールランク分け工程において、前記液体吐出口の寸法を、ランク分けに係る前記流路抵抗の要素とすることが好ましい。この場合、液体吐出口は流路抵抗に大きな影響を及ぼす箇所であることから、当該ランク分けをより的確に行うことができる。

さらに、上記第３観点に係るヘッドにおいては、前記流路モジュールが、前記複数の個別流路に共有され、一時的に液体を貯留する共通流路と、各個別流路において、前記共通流路の出口と前記圧力室とを繋ぐ流路に介在し、当該流路を絞って前記圧力室に供給される液体の流量を調整する絞り部と、を有し、前記液体吐出口及び前記絞り部の少なくともいずれか一方の寸法が、前記流路抵抗の要素とされていることが好ましい。この場合、液体吐出口及び絞り部は流路抵抗に大きな影響を及ぼす箇所であることから、流路抵抗の大きさに基づいてより的確に流路モジュールにアクチュエータモジュールを対応付けることができる。

上記第１及び第２観点に係る製造方法においては、前記流路モジュールランク分け工程において、前記流路モジュールにおける前記複数の個別流路のうちの一部の流路抵抗に基づいて、前記流路モジュールのランク分けを行うことが好ましい。この場合、流路モジュールにおける全ての個別流路の流路抵抗に基づいてランク分けを行う場合に比べ、当該工程を効率よく行うことができる。

さらに、上記第１及び第２観点に係る製造方法においては、前記アクチュエータモジュールランク分け工程において、前記アクチュエータモジュールにおける前記複数のアクチュエータのうちの一部の静電容量に基づいて、前記アクチュエータモジュールのランク分けを行い、前記アクチュエータモジュールランク分け工程において用いられる前記一部のアクチュエータが、前記流路モジュールランク分け工程において用いられる前記流路モジュールにおける前記一部の個別流路に対応することが好ましい。この場合、アクチュエータモジュールにおける全てのアクチュエータの静電容量に基づいてランク分けを行う場合に比べ、当該工程を効率よく行うことができる。また、流路モジュールランク分け工程及びアクチュエータモジュールランク分け工程のそれぞれにおいて互いに対応しない流路モジュール及びアクチュエータを用いる場合、各モジュール内での流路抵抗や静電容量の大きさのバラツキの影響を受けて、ランク分けを的確に行えないという問題が生じ得る。これに対し、上記構成の場合、当該問題が軽減され、ランク分けの精度が向上する。

上記第１観点に係る液体吐出ヘッドの製造方法においては、１の基部に、互いに独立した部材からなる前記３以上の流路モジュールを組み付けることにより、前記３以上の流路モジュールを含む流路ユニットを作製する流路ユニット作製工程を備えていることが好ましい。また、上記第２観点に係る記録装置の製造方法においては、前記液体吐出ヘッド毎に、１の基部に、互いに独立した部材からなる前記複数の流路モジュールを組み付けることにより、前記複数の流路モジュールを含む流路ユニットを作製する流路ユニット作製工程を備えていることが好ましい。これらの場合、流路ユニット作製工程が容易になる。さらに、上述した流路モジュールランク分け工程も容易になる。

上記第１及び第２観点に係る製造方法においては、前記アクチュエータモジュールのそれぞれに対して１の前記駆動部を設けることが好ましい。この場合、アクチュエータモジュールと駆動部とが１対１の関係になることから、アクチュエータモジュールランク分け工程を行うことによる液体の流動性の均一化の効果が、より一層確実に実現される。

上記第１観点に係る製造方法においては、前記流路モジュール及び前記アクチュエータモジュールをそれぞれ前記液体吐出ヘッドの長手方向に沿って配列し、複数の前記駆動部を、前記複数の流路モジュールのそれぞれに対応するように、前記液体吐出ヘッドの長手方向に沿って配列することが好ましい。上記第２観点に係る製造方法においては、前記液体吐出ヘッド毎に、前記流路モジュール及び前記アクチュエータモジュールをそれぞれ前記液体吐出ヘッドの長手方向に沿って配列し、複数の前記駆動部を、前記複数の流路モジュールのそれぞれに対応するように、前記液体吐出ヘッドの長手方向に沿って配列することが好ましい。また、上記第３観点に係る液体吐出ヘッドにおいては、前記流路モジュール及び前記アクチュエータモジュールがそれぞれ前記液体吐出ヘッドの長手方向に沿って配列し、複数の前記駆動部が、前記複数の流路モジュールのそれぞれに対応するように、前記液体吐出ヘッドの長手方向に沿って配列していることが好ましい。これらの場合、ライン式のようにヘッドが一方向に長尺な場合にも、ヘッドの長手方向に沿った温度のバラツキを抑制し、液体の流動性の均一化を実現することができる。

上記第１及び第２観点に係る製造方法においては、前記ランク分け工程において、３ランク以上のランク分けを行うことが好ましい。を特徴とする１〜９のいずれか１項に記載の液体吐出ヘッドの製造方法。この場合、より適切なアクチュエータモジュールの配置が実現され、液体の流動性の均一化の効果をより一層確実に得ることができる。

本発明によると、静電容量の大きさに基づいてアクチュエータモジュールを適宜の領域群の流路モジュールに対応させることにより、比較的高粘度の液体を用いる場合にも、１のヘッドの流路内において、及び／又は、１の装置に含まれる複数の液体吐出ヘッド間において、液体の流動性を均一化することができ、良質な記録を実現することができる。

本発明の液体吐出ヘッドの一実施形態に係るインクジェットヘッドを４つ含む、本発明の記録装置の一実施形態に係るインクジェットプリンタの側断面図である。 インクジェットヘッドを示す斜視図である。 インクジェットヘッドのヘッド本体を示す平面図である。 図３において一点鎖線で囲まれた領域の拡大図である。 図４におけるＶ‐Ｖ線断面図である。 （ａ）は、図５において一点鎖線で囲まれた領域の拡大図である。（ｂ）は、個別電極を示す平面図である。 インクジェットプリンタの製造方法を示す工程図である。 流路モジュール及びアクチュエータモジュールの配置を示す説明図である。 流路モジュールのランク分けに用いられる流路抵抗の算出式を説明するための模式図である。 アクチュエータモジュールにおけるアクチュエータの静電容量を実測する際の測定回路を示す模式図である。 （ａ）は、８つの流路モジュールそれぞれにおけるアパーチャの幅の実測値を示すグラフである。（ｂ）は、８つの流路モジュールそれぞれにおけるアパーチャ部分の流路抵抗の算定値を示すグラフである。 本発明の別の実施形態に係るインクジェットヘッドのヘッド本体を示す、図３に対応する平面図である。 図１２の別の実施形態に係るインクジェットヘッドを含むインクジェットプリンタの製造方法の一例を示す、図７に対応する工程図である。 ７つのアクチュエータモジュールそれぞれにおける流路モジュールとの固定前後の静電容量の実測値を示すグラフである。 変形例に係る流路モジュールを示す平面図である。

以下、本発明の好適な実施の形態について、図面を参照しつつ説明する。

先ず、図１を参照し、本発明の記録装置の一実施形態に係るインクジェットプリンタ１の全体構成について説明する。インクジェットプリンタ１には、本発明の液体吐出ヘッドの一実施形態に係る４つのインクジェットヘッド１０が含まれている。

図１に示すように、インクジェットプリンタ１は、直方体形状の筐体１ａを有する。筐体１ａの天板上部には、開口１３０から排出された記録済みの用紙Ｐを受容する排紙部１３１が形成されている。筐体１ａの内部空間は上から順に空間Ａ，Ｂ，Ｃに区分されており、空間Ａにはマゼンタ、シアン、イエロー、ブラックの各色インクを吐出する４つのインクジェットヘッド１０、用紙Ｐを搬送する搬送ユニット１２２、及び、プリンタ１の各部の動作を制御するコントローラ１００が配置されている。ヘッド１０は長手方向が主走査方向に沿うように配置され、搬送ユニット１２２は副走査方向に用紙Ｐを搬送する。空間Ｂ及びＣは、それぞれ、共に筐体１ａに対して主走査方向に沿って着脱可能な給紙ユニット１ｂ及びインクタンクユニット１ｃが配置される空間である。

インクタンクユニット１ｃは、４つのヘッド１０に対応する各色インクを貯留する４つのメインタンク１２１を含む。メインタンク１２１はそれぞれ、図２に示すように、対応するヘッド１０とチューブを介して接続されている。

給紙ユニット１ｂは、複数枚の用紙Ｐを収納することが可能な給紙トレイ１２３、及び、給紙トレイ１２３に取り付けられた給紙ローラ１２５を有する。給紙トレイ１２３内の用紙Ｐは、最も上側のものから順に、給紙ローラ１２５によって送り出され、ガイド１２７ａ，１２７ｂによりガイドされ且つ送りローラ対１２６によって挟持されつつ搬送ユニット１２２へと送られる。

搬送ユニット１２２は、２つのベルトローラ６，７、両ローラ６，７間に架け渡されるように巻回されたエンドレスの搬送ベルト８、搬送ベルト８の下側ループの内周面に接触しつつ下方に付勢されることで搬送ベルト８に張力を付加するテンションローラ９、及び、ローラ６，７，９を回転可能に支持する支持フレーム１１を有する。駆動ローラであるベルトローラ７が図１中時計回りに回転すると、搬送ベルト８が走行し、従動ローラであるベルトローラ６も図１中時計回りに回転する。なお、ベルトローラ７には、搬送モータＭからの駆動力がいくつかのギアを介して伝達される。

搬送ベルト８の上側ループは、ベルト表面が４つのヘッド１０の下面（インクを吐出する吐出口１８（図４及び図５参照）が多数開口した吐出面）と所定距離離隔しつつ当該下面と平行に延在するよう、プラテン１９により支持されている。４つのヘッド１０は、副走査方向に沿って並設され、フレーム３を介して筐体１ａに支持されている。

搬送ユニット１２２の下方には、くの字状に屈曲された落下防止プレート１２が配置されており、当該落下防止プレート１２によって、用紙Ｐや搬送ベルト８等から落下した異物が保持されるようになっている。

搬送ベルト８の表面には、弱粘着性のシリコン層が形成されている。搬送ユニット１２２に送られた用紙Ｐは、押さえローラ４によって搬送ベルト８の表面に押え付けられた後、搬送ベルト８表面の粘着力によって当該表面に保持されつつ、黒塗り矢印に沿って副走査方向に搬送されていく。押さえローラ４の副走査方向直ぐ下流側には、搬送ベルト８の上側ループ表面と対向するように、用紙Ｐを検出するセンサ１５が設けられている。コントローラ１００は、当該センサ１５からの検知信号に基づいて用紙Ｐの位置を把握し、ヘッド１０の駆動を制御する。

用紙Ｐが４つのヘッド１０の直ぐ下方を通過する際に、各ヘッド１０の吐出面から用紙Ｐの上面に向けて各色のインクが順に吐出されることで、用紙Ｐ上に所望のカラー画像が形成される。そして用紙Ｐは、剥離プレート５によって搬送ベルト８表面から剥離され、ガイド１２９ａ，１２９ｂによりガイドされ且つ二組の送りローラ対１２８によって挟持されつつ上方に搬送され、筐体１ａ上部に形成された開口１３０から排紙部１３１へと排出される。

次いで、図１〜図６を参照し、各ヘッド１０の構成について詳細に説明する。

ヘッド１０は、図１及び図２に示すように、下から順に、ヘッド本体１０ａ及びリザーバユニット１０ｂを有する。ヘッド本体１０ａは、図３に示すように、平面視において主走査方向に細長な矩形状の積層体である。ヘッド本体１０ａは、主走査方向に沿って千鳥状に台形の開口が形成された基板３１ｂと、各開口に組み付けられた、互いに独立した８つの台形の流路モジュール３１ａとを含む流路ユニット３１、及び、流路モジュール３１ａの上面にそれぞれ配置された８つの台形のアクチュエータモジュール２１を有する。

流路モジュール３１ａ及びアクチュエータモジュール２１は、平面視における形状及び寸法が略同じであり、１対１の関係で対になり積層・接着されることで、１のヘッドモジュール１０ｘを構成している（図５参照）。つまり、ヘッド本体１０ａは、基板３１ｂに対し、互いに独立した８つのヘッドモジュール１０ｘを組み付けることにより、構成されている。隣接するヘッドモジュール１０ｘの斜辺同士は、副走査方向に関してオーバーラップしている。

各ヘッドモジュール１０ｘは、主走査方向に沿って所定間隔で、千鳥状に（即ち、副走査方向に関して、ヘッド１０の副走査方向の中心に対して互いに平行な相反する外側方向に交互に等距離偏倚して）配置されている。ヘッドモジュール１０ｘは、台形の下底に相当する部分がヘッド１０の副走査方向端部近傍に位置するよう、配置されている。これにより、用紙Ｐの主走査方向全域に亘って、所定の解像度で記録可能となっている。

なお、ヘッドモジュール１０ｘを構成する流路モジュール３１ａとアクチュエータモジュール２１とは、それぞれ、個別インク流路３２の抵抗の大きさ及びアクチュエータの静電容量の大きさに基づいてランク分けされ、適宜の位置に配置されている。これについては、後述する製造方法の説明において、詳細に述べる。

リザーバユニット１０ｂは、流路ユニット３１の基板３１ｂの上面に積層されており、流路ユニット３１とでアクチュエータモジュール２１を挟んでいる。即ち、リザーバユニット１０ｂは、基板３１ｂにおけるヘッドモジュール１０ｘが配置されていない上面部分（図３において二点鎖線で区画された開口１０５ｂを含む領域）に固定されると共に、僅かな隙間を介してアクチュエータモジュール２１と対向するように配置されている。

リザーバユニット１０ｂの上面には、図２に示すように、メインタンク１２１に接続するチューブが固定されたジョイント９１、及び、廃液タンクに接続するチューブが固定されたジョイント９２が設けられている。リザーバユニット１０ｂは、メインタンク１２１からジョイント９１を介して供給されたインクを一時的に貯溜し、当該インクを後述の開口１０５ｂ（図３参照）を介して流路ユニット３１内の流路に供給する。また、ヘッド１０の吐出性能を良好に維持するために行われるパージ等のメンテナンス時においては、リザーバユニット１０ｂ内のインクが、ジョイント９２を介して廃液タンクに排出されるようになっている。

流路ユニット３１の基板３１ｂ及び流路モジュール３１ａは共に、内部に流路が形成されるよう、貫通孔を有する複数のプレートを互いに積層し接着して構成されている。

基板３１ｂには、台形の開口を有する８つの貫通孔が主走査方向に沿って所定間隔で千鳥状に形成されている。基板３１ｂの上面には、上記８つの台形の開口を避けるようにして、開口１０５ｂ（図３参照）が形成されている。１の基板３１ｂに形成された計１８個の開口１０５ｂは、主走査方向に沿った２つの列を形成しており、上記台形の各開口の上底に対向する位置に２つずつ、上記台形の８つの開口のうち主走査方向両端に配置された開口のさらに端部側（即ち、基板３１ｂの主走査方向両端近傍）に１つずつ形成されている。基板３１ｂの内部には、開口１０５ｂに接続したマニホールド流路１０５が形成されている。マニホールド流路１０５は、その一端において、流路モジュール３１ａに形成された副マニホールド流路１０５ａと接続するように、開口している。基板３１ｂは、複数の金属プレートの積層体であっても、例えば樹脂のような金属以外の材料からなる一体成型品であってもよい。

流路モジュール３１ａは、図５に示すように、９枚の金属プレート２２，２３，２４，２５，２６，２７，２８，２９，３０を有する。図４に示すように、流路モジュール３１ａの下面（吐出面）には、吐出口１８がマトリクス状に多数（例えば６６４個）形成されている。流路モジュール３１ａの上面、即ちアクチュエータモジュール２１が接着される面には、各吐出口１８に対応した圧力室３３が吐出口１８と同様マトリクス状に多数開口している。なお、図４では、アクチュエータモジュール２１を省略すると共に、それぞれ流路モジュール３１ａの内部及び下面に形成されていて破線で描くべきアパーチャ３４及び吐出口１８を実線で描いている。

流路モジュール３１ａには、主走査方向に延在する４本の副マニホールド流路１０５ａ、及び、副マニホールド流路１０５ａから分岐した個別のインク流路３２（図５参照）が形成されている。個別インク流路３２は、吐出口１８毎に形成されており、副マニホールド流路１０５ａの出口（図５における個別インク流路３２を示す矢印の基端）から、絞り部としてのアパーチャ３４、そして圧力室３３を経て、吐出口１８に至る流路のことをいう。なお、副マニホールド流路１０５ａは、その一端において、基板３１ｂに形成されたマニホールド流路１０５と接続するように、開口している。

圧力室３３は、それぞれ略菱形の平面形状を有すると共に、１の流路モジュール３１ａ内において、主走査方向に沿った１６本の圧力室列を形成している（図４参照）。主走査方向に沿った圧力室列は、副走査方向に所定間隔で並んでおり、当該各列に含まれる圧力室３３の数は、流路モジュール３１ａの台形形状に対応して、上底側に近づくほど少なくなっている。各圧力室３３は、その略菱形の鋭角部近傍が、隣接する列に属する互いに隣り合う２つの圧力室３３の鋭角部に挟まれている。

吐出口１８は、圧力室３３と同様、主走査方向に沿った１６本の吐出口列を形成している。当該吐出口列は、平面視において、１の副マニホールド流路１０５ａに対して２列ずつ、即ち１の副マニホールド流路１０５ａの幅方向両側に配置されている。

アパーチャ３４は、個別インク流路３２において最も流路抵抗が大きい部分であって、圧力室３３に供給されるインクの流量を調整する機能を有する。また、アパーチャ３４は、個別インク流路３２において、吐出口１８に次いで流路面積が小さい。例えば、吐出口１８の開口面積は約３００μｍ^２（２０μｍΦ）であり、アパーチャ３４は、流路面積が約１２００μｍ^２（６０μｍ×２０μｍ）、長さが約３００μｍである。

本実施形態では、図５に示すように、基板３１ｂは流路モジュール３１ａと同様の金属プレート２２〜３０により構成されている。したがって、基板３１ｂの総厚は流路モジュール３１ａ総厚と同じである。基板３１ｂには、開口１０５ｂとこれに連通するマニホールド流路１０５が形成されている。基板３１ｂにおいて、流路モジュール３１ａが組み付けられる台形の開口（貫通孔）を画定する周壁には、流路モジュール３１ａを支持する突起（図示せず）が開口内に突出するように形成されていると共に、マニホールド流路１０５における副マニホールド流路１０５ａと接続する一端が開口している。流路モジュール１０ａは、上記突起に対応する位置に接続部（例えば突起に係合する凹部）を有しており、上記基板３１ｂの周壁に形成された突起に接続部を介して支持されるようにして、基板３１ｂの開口に組み付けられる。このとき、流路モジュール３１ａにおける副マニホールド流路１０５ａの一端と上記基板３１ｂの周壁に開口したマニホールド流路流路１０５の一端とが対向し、これら流路１０５，１０５ａが互いに連通する。また、基板３１ｂの下面と流路モジュール３１ａの吐出面（下面）とは同じ高さにある。

アクチュエータモジュール２１は、図６（ａ）に示すように、互いに積層された３枚の圧電セラミック層４１,４２，４３、最上層の圧電セラミック層４１の上面において各圧力室３３に対応して形成された個別電極１３５、個別電極１３５と電気的に接続された個別ランド１３６、及び、圧電セラミック層４１とその下側の圧電セラミック層４２との間に全面に亘って形成された内部共通電極１３４を含む。圧電セラミック層４２と圧電セラミック層４３との間に電極は配置されていない。圧電セラミック層４１〜４３は、共に強誘電性を有するチタン酸ジルコン酸鉛（ＰＺＴ）系のセラミック材料からなり、１５μｍ程度の厚みで、アクチュエータモジュール２１の外形を画定する台形形状を有する。

個別電極１３５は、図６（ｂ）に示すように、略菱形平面形状の主電極部１３５ａ、主電極部１３５ａの一方の鋭角部から延びた延出部１３５ｂ、及び、延出部１３５ｂの先端に形成された個別ランド１３６を含む。主電極部１３５ａは、圧力室３３と略相似であり、サイズは圧力室３３より一回り小さい。主電極部１３５ａは、圧電セラミック層４１,４２，４３の積層方向に関して圧力室３３に対向配置され、延出部１３５ｂは、圧力室３３との対向領域外へと平面方向に延びている。個別ランド１３６は、上記積層方向に関して、金属プレート２２における圧力室３３を画定する壁に対向配置されており、高さは約１０μｍである。なお、圧電セラミック層４１の表面には、共通電極用のランドも配置されており、スルーホールを介して内部共通電極１３４と導通している。共通電極用ランドは、個別ランド１３６と同じサイズ及び形状を有している。

圧電セラミック層４１の各個別電極１３５と内部共通電極１３４とで挟まれた活性部が、圧力室３３内のインクに圧力を付加するアクチュエータとして機能する。つまり、アクチュエータモジュール２１には、流路モジュール３１ａに形成された圧力室３３と同数のアクチュエータがそれぞれプレート２２等の積層方向に関して対向するように形成されている。

各アクチュエータモジュール２１の上記個別ランド１３６及び共通電極用ランドには、図２に示すフレキシブルプリント基板（ＦＰＣ）８０の一端が接続されている。ＦＰＣ８０は、流路ユニット３１とリザーバユニット１０ｂとの間から上方に引き出され、他端において制御基板（図示せず）と接続されている。また、ＦＰＣ８０におけるアクチュエータモジュール２１から制御基板に至る途中部分に、ドライバＩＣ８１が実装されている。ＦＰＣ８０は、制御基板から出力された画像信号をドライバＩＣ８１に伝達し、ドライバＩＣ８１から出力された駆動電圧をアクチュエータモジュール２１に供給する。リザーバユニット１０ｂ及び流路モジュール３１ａは、ＦＰＣ８０を介して、ドライバＩＣ８１と熱的に結合している。ドライバＩＣ８１は、図２に示すように、１のＦＰＣ８０に対して１つずつ設けられている。

リザーバユニット１０ｂから開口１０５ｂを介して流路ユニット３１内に供給されたインクは、基板３１ｂ内のマニホールド流路１０５を通り、各流路モジュール３１ａにおける副マニホールド流路１０５ａを介して各個別インク流路３２へと流れる。そしてコントローラ１００（図１参照）の制御の下、ドライバＩＣ８１からの駆動電圧にしたがってアクチュエータモジュール２１が駆動されると、圧力室３３の容積変化に伴って当該圧力室３３内のインクに圧力が付与され、対応する吐出口１８からインクが吐出される。

次いで、図７を参照し、プリンタ１の製造方法について説明する。

先ず、流路モジュール３１ａ及びアクチュエータモジュール２１を作製する前に、図８に示すように、流路モジュール３１ａ（及びアクチュエータモジュール２１を含むヘッドモジュール１０ｘ）を配置領域に応じて（１）（２）（３）の各領域群に区分する（Ｓ０）。図８は、流路モジュール３１ａ及びアクチュエータモジュール２１の配置を示す説明図であって、副走査方向に並列した４つのヘッド１０の各流路ユニット３１におけるヘッドモジュール１０ｘの配置領域を模式的に示したものである。本実施形態では、流路モジュール３１ａ（及びアクチュエータモジュール２１を含むヘッドモジュール１０ｘ）の配置領域を（１）四隅領域群、（２）端部領域群、及び（３）中央領域群の３つの領域群に区分する。

その後、１のヘッド１０につき、ヘッドモジュール１０ｘを構成する流路モジュール３１ａ及びアクチュエータモジュール２１を８つずつ別々に作製する（図７のＳ１及びＳ２）。さらに、ヘッドモジュール１０ｘを収容する基板３１ｂも作製する（図７のＳ３）。流路モジュールの作製（Ｓ１）、アクチュエータモジュールの作製（Ｓ２）、及び基板３１ｂの作製（Ｓ３）は、独立に行われるものであるため、いずれを先に行ってもよいし、並行して行ってもよい。

流路モジュール作製工程（Ｓ１）では、先ず、９枚のステンレス鋼等の金属プレートにそれぞれパターニングされたフォトレジストをマスクとしたエッチングを施して孔を形成し、流路モジュール３１ａを構成するプレート２２〜３０（図５参照）を作製する。その後、プレート２２〜３０を、個別インク流路３２が形成されるように接着剤を介して積層し、加熱しながら加圧する。これにより、接着剤が硬化してプレート２２〜３０が互いに固着され、流路モジュール３１ａが完成する。このとき接着剤としては、熱硬化性のエポキシ系接着剤を用いる。

なお、Ｓ１においてプレート２２〜３０を接合する前に、いくつかのパラメータを実測しておく。これらのパラメータは、後に行うランク分け工程（Ｓ４）において、流路抵抗の大きさを算定するのに用いられる。本実施形態では、各流路モジュール３１ａに含まれる多数（例えば６６４個）の個別インク流路３２のうち一部（例えば無作為抽出された９０個）の個別インク流路３２のみを、パラメータの実測に用いる。また、個別インク流路３２の中でも、流路抵抗に大きく影響する部分である吐出口１８及びアパーチャ３４の寸法を実測する。ここで、吐出口１８及びアパーチャ３４の寸法とは、吐出口１８を構成する孔の直径、アパーチャ３４を構成する溝の幅及び長さ、当該孔及び溝が形成されたプレート３０，２４の厚み等を指す。

アクチュエータモジュール作製工程（Ｓ２）では、アクチュエータモジュール２１毎に、先ず、圧電セラミック層４１〜４３（図６（ａ）参照）となるグリーンシートを３枚用意する。そして、圧電セラミック層４１となるグリーンシート上には個別電極１３５のパターンで、圧電セラミック層４２となるグリーンシート上には内部共通電極１３４のパターンで、それぞれＡｇ−Ｐｄ系の導電性ペーストをスクリーン印刷する。その後、治具を用いて位置合わせしつつ、印刷がされていない圧電セラミック層４３となるグリーンシート上に、内部共通電極１３４の印刷面を上にして圧電セラミック層４２となるグリーンシートを重ね、さらにその上に、個別電極１３５の印刷面を上にして圧電セラミック層４１となるグリーンシートを重ねる。そして、グリーンシートの積層体を、公知のセラミックと同様に脱脂し、所定の温度で焼成する。その後、各個別電極１３５の延出部１３５ｂ上に、個別ランド１３６となるガラスフリットを含むＡｕ系の導電性ペーストを印刷する。このとき、共通電極用ランドも同様に印刷する。これにより、アクチュエータモジュール２１が完成する。

基板作製工程（Ｓ３）においては、流路モジュール作製工程（Ｓ１）と同様に、９枚の金属プレートを用意する。そして、パターニングされたフォトレジストをマスクとして、各プレートにエッチング処理を施す。その後、各プレートを、上記エッチングにより形成された孔が連通するように接着剤を介して積層し、加熱・加圧する。これにより、各プレートが相互に固着し、内部には開口１０５ｂからマニホールド流路１０５に続くインク流路が形成された基板３１ｂが完成する。なお、基板作製工程（Ｓ３）で用いられる各プレートは、流路モジュール作製工程（Ｓ１）で用いられるプレートと同じ材質・厚みを有し、接着剤も同じ熱硬化性接着剤が用いられる。

上記のようにして流路モジュール３１ａ及びアクチュエータモジュール２１を1のヘッド１０につき８つずつ別々に作製した後、これらのランク分けを行う（Ｓ４及びＳ５）。流路モジュールのランク分け（Ｓ４）及びアクチュエータモジュールのランク分け（Ｓ５）は、上記Ｓ１，Ｓ２，Ｓ３と同様、独立に行われるものであるため、いずれを先に行ってもよいし、並行して行ってもよい。

流路モジュールのランク分け（Ｓ４）は、流路モジュール３１ａに含まれる個別インク流路３２（図５参照）の流路抵抗の大きさに基づいて行う。本実施形態では、上述のようにＳ１においてプレート２２〜３０を接合する前に実測された、各流路モジュール３１ａにつき一部の個別インク流路３２における吐出口１８及びアパーチャ３４の寸法をパラメータとして、図９の模式図による下記式（１）（２）（３）とを用い、流路抵抗を算出する。式（１）〜（３）において、μはインクの粘性係数、Ｒは流路抵抗、ｄＳは流路断面積、ｄＺは流路長さ、ｄＰは流路の両端間の圧力差、ｄＱは図９の仮想流路管内におけるインクの体積流量、ｗは仮想管内におけるインクのｚ方向の流速である。インクの粘性係数（μ）は、ヘッド１０に用いるインクの種類により定まる。流路断面積（ｄＳ）は、吐出口１８においては孔の直径、アパーチャ３４においては溝の幅とプレート２４の厚みとにより定まる。流路長さ（ｄＺ）は、吐出口１８においてはプレート３０の厚み、アパーチャ３４においては溝の長さにより定まる。なお、高精度の値を得るべく、有限要素解析等を行ってよい。

そして上記のようにして算出した吐出口１８及びアパーチャ３４における流路抵抗を合成したものを、当該個別インク流路３２の流路抵抗とし、９０個の個別インク流路３２それぞれの流路抵抗を求める。さらに、これら９０個の個別インク流路３２の流路抵抗の平均値を求め、これを当該流路モジュール３１ａにおける個別インク流路３２の流路抵抗とする。

そして流路モジュール３１ａ（図３参照）をそれぞれ、個別インク流路３２の流路抵抗の大きさに基づいて、小さいものから順に第１、第２及び第３の３ランクに分ける（Ｓ４）。具体的には、第２及び第３ランクの下限値Ｌ２，Ｌ３（Ｌ２＜Ｌ３）を設定し、流路モジュール３１ａにおける個別インク流路３２の流路抵抗がＬ２未満のものを第１ランク、Ｌ２以上Ｌ３未満のものを第２ランク、Ｌ３以上のものを第３ランクにそれぞれランク分けする。

アクチュエータモジュールのランク分け（Ｓ５）は、アクチュエータモジュール２１に含まれるアクチュエータ（圧電セラミック層４１の各個別電極１３５と内部共通電極１３４とで挟まれた活性部）の静電容量の大きさに基づいて行う。本実施形態では、上述した流路モジュール３１ａのランク分けと同様、静電容量の算出において、各アクチュエータモジュール２１に含まれる多数（例えば６６４個）のアクチュエータのうち、一部（例えば無作為抽出された９０個）のアクチュエータのみを用いる。ここで用いられる９０個のアクチュエータは、それぞれ流路モジュール３１ａのランク分け（Ｓ４）において抽出された９０個の個別インク流路３２に対応する（即ち、当該個別インク流路３２における圧力室３３に対向してその圧力室３３内のインクに圧力を付加する）ものとする。また、図７に示すように、当該工程Ｓ５において、アクチュエータモジュール２１は流路モジュール３１ａに固定されていない状態である。

先ず、アクチュエータモジュール２１毎に、図１０に示すような測定回路を設定し、実測を行う。測定対象のアクチュエータにパルス電圧を印加し、このとき発生する充放電電流から静電容量を求める。具体的には、アクチュエータモジュール２１に含まれる全アクチュエータのうち、上記９０個のアクチュエータそれぞれについて１つずつ順番に、周波数２０ｋＨｚのパルス電圧で駆動し、アクチュエータの充放電を繰り返す。このときのＶＤＤ２電源からの供給電流Ｉ_１を測定する。このとき測定対象以外のアクチュエータは、接地電位に保持される。さらに、上記９０個のアクチュエータそれぞれについて１つずつ順番に直流電圧で駆動し、そのときのＶＤＤ２電源からの供給電流Ｉ_２を測定する。そして、これらの値Ｉ_１，Ｉ_２とＶＤＤ２電源の電圧Ｖ及び駆動周波数Ｆとを用いて、下記式（４）より静電容量Ｃを算出する。

上記式（４）は、式（５）（６）（７）（８）（９）から得られるものである。式（５）〜（９）において、Ｑは電荷、Ｉは充放電電流、Ｉ_Ｌ１Ｄはパルス電圧駆動時におけるドライバＩＣ８１の内部リーク電流、Ｉ_Ｌ１ＣＨはパルス電圧駆動時における隣接アクチュエータ間のリーク電流、Ｉ_Ｌ２Ｄは直流電圧駆動時におけるドライバＩＣ８１の内部リーク電流、Ｉ_Ｌ２ＣＨは直流電圧駆動時における隣接アクチュエータ間のリーク電流を示す。

さらに、１のアクチュエータモジュール２１につき９０個のアクチュエータの静電容量の平均値を求め、これを当該アクチュエータモジュール２１におけるアクチュエータの静電容量とする。そして、アクチュエータモジュール２１（図３参照）をそれぞれ、アクチュエータの静電容量の大きさに基づいて、大きいものから順に第１、第２及び第３の３ランクに分ける（Ｓ５）。具体的には、第１及び第２ランクの下限値Ａ１，Ａ２（Ａ１＞Ａ２）を設定し、アクチュエータモジュール２１におけるアクチュエータの静電容量がＡ１以上のものを第１ランク、Ａ２以上Ａ１未満のものを第２ランク、Ａ２未満のものを第３ランクにそれぞれランク分けする。

その後、Ｓ４及びＳ５にてランク分けされた流路モジュール３１ａ及びアクチュエータモジュール２１それぞれの配置を、図８右方に示す対応関係となるように決定する（Ｓ６及びＳ７）。Ｓ６及びＳ７は、上記Ｓ１，Ｓ２，Ｓ３等と同様、独立に行われるものであるため、いずれを先に行ってもよいし、並行して行ってもよい。

本実施形態では、第１ランク（流路抵抗が最小のランク）にランク分けされた流路モジュール３１ａ及び第１ランク（静電容量が最大のランク）にランク分けされたアクチュエータモジュール２１を（１）四隅領域群、第２ランク（流路抵抗が中程度のランク）にランク分けされた流路モジュール３１ａ及び第２ランク（静電容量が中程度のランク）にランク分けされたアクチュエータモジュール２１を（２）端部領域群、第３ランク（流路抵抗が最大のランク）にランク分けされた流路モジュール３１ａ及び第３ランク（静電容量が最小のランク）にランク分けされたアクチュエータモジュール２１を（３）中央領域群として区分された領域にそれぞれ配置するものとする。

なお、Ｓ１及びＳ２の前に、流路モジュール３１ａ（及びアクチュエータモジュール２１を含むヘッドモジュール１０ｘ）の各領域群（１）（２）（３）への区分（Ｓ０）が行われ、（１）（２）（３）の各領域群に含まれる領域の数は予め定まっているため、Ｓ４及びＳ５のランク分けは、各領域群における領域の数に応じて行うのが望ましい。本実施形態では、流路モジュール３１ａ及びアクチュエータモジュール２１はそれぞれ、第１ランクに４つ、第２ランクに１６個、第３ランクに１２個ずつランク分けされる。そして、ヘッドモジュール１０ｘの各配置領域に、流路モジュール３１ａ及びアクチュエータモジュール２１がそれぞれ１つずつ配置されるようにする。

Ｓ６及びＳ７の後、同じ領域に配置されるものと決定された流路モジュール３１ａ及びアクチュエータモジュール２１を、熱硬化性接着剤等を用いて、互いに固定する（Ｓ８）。

次に、ヘッド１０毎に、流路ユニット３１の基板３１ｂに形成された台形の開口に、Ｓ８にて作製された８つのヘッドモジュール１０ｘ（流路モジュール３１ａ及びアクチュエータモジュール２１の積層体）を任意の接着剤等により組み付ける（Ｓ９）。これにより、ヘッド本体１０ａが完成する。

その後、個別ランド１３６及び共通電極用ランド上に導電性接着剤を塗布する等して、各アクチュエータモジュール２１にＦＰＣ８０（図２参照）の一端を接合する（Ｓ１０）。さらにその後、ヘッド１０毎に、流路ユニット３１の上面にリザーバユニット１０ｂ（図２参照）を固定する（Ｓ１１）。これによって、４つのヘッド１０が完成する。さらに、こうして製造された４つのヘッド１０を筐体１ａ内に配置し、フレーム３に固定する等の工程を経て、プリンタ１が完成する。なお、ＦＰＣ８０には、予めドライバＩＣ８１が別の工程で実装される。

以上に述べた本実施形態に係るヘッド１０及びプリンタ１の製造方法並びにヘッド１０及びプリンタ１は、１のヘッド１０又はプリンタ１においては中央ほど熱が籠もり高温になり易いこと、及び、アクチュエータの静電容量がドライバＩＣ８１に生ずる発熱量に影響を及ぼすことに着目したものである。アクチュエータの静電容量が大きいと、ドライバＩＣ８１からの発熱量が大きくなる。そこで上記のように、冷却され易い位置にある流路モジュール３１ａには静電容量の大きなアクチュエータモジュール２１（この場合、ドライバＩＣ８１の発熱量が大きくなる）を組合せることで、特に低温時におけるインクの流動性の均一化が図られている。さらに、静電容量の大きさに基づいてアクチュエータモジュール２１を適宜の領域群の流路モジュール３１ａに対応させることにより（図７のＳ４、Ｓ５、Ｓ６、Ｓ７及び図８参照）、比較的高粘度のインクを用いる場合にも、１のヘッド１０の流路内において、及び／又は、１のプリンタ１に含まれる４つのヘッド１０間において、インクの流動性を均一化することができ、良質な記録を実現することができる。

また、本実施形態に係る製造方法においては、アクチュエータモジュール２１のランク分け（Ｓ５）のみならず、個別インク流路３２の流路抵抗がインクの流動性に影響を及ぼすことから、流路モジュール３１ａについても上記のようにランク分けを行う（Ｓ４）。流路抵抗が大きいと、インクの流動性が低くなる。そこで上記のように、インクの流動性が低い流路を持つ流路モジュール３１ａを熱が籠り易い位置に配置することで、特に低温時におけるインクの流動性の低下の抑制が図られている。さらに、ランク分けした流路モジュール３１ａを適宜の領域群として区分されるよう配置することにより（図７のＳ６及び図８参照）、インクの流動性の均一化がより確実に実現される。

流路モジュールランク分け工程（Ｓ４）において、吐出口１８及びアパーチャ３４の寸法を、ランク分けに係る流路抵抗の要素としている。この場合、吐出口１８及びアパーチャ３４は流路抵抗に大きな影響を及ぼす箇所であることから、当該ランク分けをより的確に行うことができる。

流路モジュールランク分け工程（Ｓ４）において、流路モジュール３１ａにおける多数の個別インク流路３２のうちの一部（例えば全６６４個のうちの９０個の個別インク流路）の流路抵抗に基づいて、流路モジュール３１ａのランク分けを行う。この場合、流路モジュール３１ａにおける全ての個別インク流路３２の流路抵抗に基づいてランク分けを行う場合に比べ、当該工程を効率よく行うことができる。

同様に、アクチュエータモジュールランク分け工程（Ｓ５）において、アクチュエータモジュール２１における多数のアクチュエータのうちの一部（例えば全６６４個のうちの９０個のアクチュエータ）の静電容量に基づいて、アクチュエータモジュール２１のランク分けを行う。この場合、アクチュエータモジュール２１における全てのアクチュエータの静電容量に基づいてランク分けを行う場合に比べ、当該工程を効率よく行うことができる。

さらに、アクチュエータモジュールランク分け工程（Ｓ５）において用いられる一部のアクチュエータは、流路モジュールランク分け工程（Ｓ４）において用いられる流路モジュール３１ａにおける個別インク流路３２のうちの一部（即ち、無作為抽出した９０個の個別インク流路３２）に対応している。Ｓ４及びＳ５のそれぞれにおいて互いに対応しない個別インク流路３２及びアクチュエータを用いた場合、各モジュール３１ａ，２１内での流路抵抗や静電容量の大きさのバラツキの影響を受けて、ランク分けを的確に行えないという問題が生じ得る。これに対し、上記構成の場合、当該問題が軽減され、ランク分けの精度が向上する。

１の基板３１ｂに互いに独立した部材からなる８つの流路モジュール３１ａを組み付けることにより、８つの流路モジュール３１ａを含む流路ユニット３１を作製する流路ユニット作製工程（図７のＳ９に相当）を有する。換言すると、ヘッド１０は、互いに独立した部材からなる８つの流路モジュール３１ａと、当該８つの流路モジュール３１ａが組み付けられた１の基板３１ｂと、を含む流路ユニット３１を有する。これにより、上述した流路モジュールランク分け工程（Ｓ４）が容易になる。さらに、流路モジュール３１ａ間でインクの流動性を揃え易く、インクの流動性のバラツキのない（即ち、インク流動性が均一化された）流路ユニット３１を容易に作製することができる。

図２及び図３に示すように、８つのアクチュエータモジュール２１のそれぞれに対して１のドライバＩＣ８１を設けている。この場合、アクチュエータモジュール２１とドライバＩＣ８１とが１対１の関係になることから、アクチュエータモジュールランク分け工程（Ｓ５）を行うことによるインクの流動性の均一化の効果が、より一層確実に実現される。

ヘッド１０毎に、流路モジュール３１ａ及びアクチュエータモジュール２１をそれぞれヘッド１０の長手方向に沿って配列し、８つのドライバＩＣ８１を、流路モジュール３１ａのそれぞれに対応するように、ヘッド１０の長手方向に沿って配列している。この場合、ライン式のようにヘッド１０が一方向に長尺な場合にも、ヘッド１０の長手方向に沿った温度のバラツキを抑制し、インクの流動性の均一化を実現することができる。

流路モジュールランク分け工程（Ｓ４）及びアクチュエータモジュールランク分け工程（Ｓ５）のそれぞれにおいて、３ランクのランク分けを行う（図８参照）。この場合、例えば２ランクにランク分けを行う場合に比べ、より適切なアクチュエータモジュール２１の配置が実現され、インクの流動性の均一化の効果をより一層確実に得ることができる。

なお、本願発明は、複数のアクチュエータモジュール間におけるアクチュエータの静電容量に差があることを前提とし、上記のようにアクチュエータモジュールのランク分け（Ｓ５）を行い、適宜の位置に固定したものである。またさらに、上述の実施形態では、複数の流路モジュール間における個別流路の流路抵抗に差があることを前提とし、上記のように流路モジュールのランク分け（Ｓ３）を行い、適宜の位置に固定することとしている。これに関して、上述の実施形態のように１のヘッド１０に８つの流路モジュール３１ａが含まれる場合に、各流路モジュール３１ａについての、アパーチャ３４を構成する溝の幅（設計値：６０μｍ）の実測値（平均値（１の流路モジュール３１ａに含まれる６６４個の個別インク流路のうち９０個の個別インク流路におけるアパーチャ３４について平均化したもの）及び最小値）を図１１（ａ）に示す。当該図から、８つの流路モジュール３１ａ間においてアパーチャ３４の幅にバラツキがあること、また、１の流路モジュール３１ａにおけるアパーチャ３４間においても幅にバラツキがあることが解かる。このようなバラツキは、基材の寸法、エッチング等の製造工程等によって生じ得る。また、このような寸法のバラツキによって、流路抵抗にもバラツキが生じる。図１１（ｂ）は、図１１（ａ）のグラフを基とした各流路モジュール３１ａにおけるアパーチャ３４部分についての流路抵抗（平均値及び最大値）を、上記の式（１）〜（３）により算出し、グラフ化したものである。当該図から、８つの流路モジュール３１ａ間においてアパーチャ３４部分の流路抵抗にバラツキがあること、また、１の流路モジュール３１ａにおけるアパーチャ３４間においても流路抵抗にバラツキがあることが解かる。

ここで、ヘッド１０の駆動制御について、説明する。画像形成にあたってプリンタ１が駆動開始すると、搬送ベルト８の走行に伴って、筐体１ａ内に気流が発生する。このとき１のヘッド１０においては主走査方向両端側が、４つのヘッド全体においては副走査方向両端側が冷え易くなる。そこで本実施形態では、図８に示すように、（１）四隅領域群のヘッドモジュール１０ｘを、流路抵抗の小さい流路モジュール３１ａと静電容量の大きいアクチュエータモジュール２１とで構成し、（２）端部領域群を、流路抵抗が中庸の流路モジュール３１ａと静電容量が中庸のアクチュエータモジュール２１とで構成し、（３）中央領域群のヘッドモジュール１０ｘを、流路抵抗の大きな流路モジュール３１ａと静電容量の小さなアクチュエータモジュール２１とで構成している。これにより、４つのヘッド１０全体として、ヘッドモジュール１０ｘの位置に関わらず、インクの流動性に大きな差が生じないようになっている。また、ヘッド１０の駆動時間が長くなると、ドライバＩＣ８１からの発熱により、特に（３）中央領域群において熱が籠り易く、当該部分は他の位置に比べて温度が高くなり易い。しかし本実施形態では、このような場合においても、（３）中央領域群のヘッドモジュール１０ｘを流路抵抗の大きな流路モジュール３１ａと静電容量の小さなアクチュエータモジュール２１（この場合、ドライバＩＣ８１の発熱量が小さくなる）とで構成しているため、（３）中央領域群で熱が籠りにくくなり、４つのヘッド１０全体として、ヘッドモジュール１０ｘの位置に関わらず、インクの流動性に大きな差が生じないようになっている。ここで、さらにインクの流動性の均一化を図るには、以下のようにヘッド１０の駆動制御を行うことが好ましい。

即ち、アクチュエータの駆動により生ずるドライバＩＣ８１の発熱量を利用して、熱が籠り易い１のヘッド１０又はプリンタ１の中央（例えば、図８の（３）中央領域）よりも端部（例えば、図８の（１）四隅領域及び（２）端部領域）においてドライバＩＣ８１の発熱量が大きくなるように、ドライバＩＣ８１からアクチュエータモジュール２１に供給される駆動電圧の大きさ、ドライバＩＣ８１に供給される単発のパルスの印加時間、及び、パルスの総印加時間の少なくともいずれかを調整する。このような駆動の調整は、上述の実施形態のように流路モジュール３１ａ及びアクチュエータモジュール２１をそれぞれランク分けして適宜の位置に配置した上で、それでもなおヘッド１０内又はプリンタ１内において温度にバラツキが出る場合に行うことが好ましい。なお、プリンタ１の制御については、１のヘッド１０内の温度の均一化は考慮せず（即ち、１のヘッド１０における各アクチュエータモジュール２１への駆動電圧等に差異を設けず）、プリンタ１に含まれる４つのヘッド１０間の温度の均一化のみを考慮し、上記のように駆動を調整してもよいし、両方（１のヘッド１０内及び４つのヘッド１０間の温度の均一化）を考慮しつつ駆動を調整してもよい。

ドライバＩＣ８１に生ずる発熱量を増加させるには、所謂不吐出フラッシング（ドライバＩＣ８１からの駆動電圧の大きさ、ドライバＩＣ８１に供給される単発パルスの印加時間、パルス幅等を調整し、吐出口１８からインクを吐出させることなくドライバＩＣ８１を駆動すること）を行うのが有効である。

上記のような制御方法によって、１のヘッド１０内、及び／又は、１のプリンタ１に含まれる複数のヘッド１０間における、インクの流動性を均一化することができる。

以上、本発明の好適な実施の形態について説明したが、本発明は上述の実施形態に限られるものではなく、特許請求の範囲に記載した限りにおいて様々な設計変更が可能なものである。

例えば、アクチュエータモジュールは、上述の実施形態においては圧電式のアクチュエータを含むものであるが、これに限定されず、静電式等その他のタイプのアクチュエータを含むものであってもよい。

流路モジュールは、上述の実施形態ではエッチングにより孔が形成された複数のプレートを積層して作製されるが、エッチング以外の方法により孔が形成されてもよいし、プレート積層構造にも限定されない。

ランク分け工程（Ｓ４及びＳ５）において用いられる一部の個別インク流路３２及びアクチュエータは、互いに対応しなくてもよい。

ランク分け工程（Ｓ４及びＳ５）について、上述の実施形態では、全６６４個の個別インク流路３２及びアクチュエータの一部である９０個のみを用いているが、これらの数値は一例であり、任意に変更可能である。また、このように一部のみではなく、流路モジュール３１ａにおける全ての個別インク流路３２に基づいて、また、アクチュエータモジュール２１における全てのアクチュエータに基づいて、上記ランク分け工程を行ってよい。

流路モジュールランク分け工程（Ｓ４）において、流路抵抗の要素として、上述の実施形態では吐出口１８及びアパーチャ３４の寸法を用いているが、これに限定されず、吐出口１８及びアパーチャ３４のいずれかの寸法を用いてもよいし、個別インク流路３２における任意の箇所を流路抵抗の要素としてもよい。また、個別インク流路３２における特定の箇所ではなく、個別インク流路３２全体の構成に基づいて流路抵抗を算出してもよい。

本発明の製造方法において、流路モジュール３１ａのランク分け（Ｓ４）及び当該ランク分けに基づく配置の決定（Ｓ６）は、必須要件ではない。また、本発明の液体吐出ヘッドにおいて、領域群（１）（２）（３）によって流路モジュール３１ａの流路抵抗のランクが異なることは、必須要件ではない。つまり、流路モジュール３１ａについてはランク分けを行わず、流路モジュール３１ａの流路抵抗のランクが領域群（１）（２）（３）によって異ならなくとも、アクチュエータモジュール２１のランク分け（Ｓ５）及び当該ランク分けに基づく配置の決定（Ｓ７）を行えばよい。

複数の流路モジュール３１ａが組み付けられる基部について、上述の実施形態に係る基板３１ｂは、各流路モジュール３１ａ内の副マニホールド流路１０５ａに通ずるマニホールド流路１０５が内部に形成されているが、このような流路が形成されていなくてもよい。例えば図１５に示すように、１の流路モジュール１３１ａが、上述の流路構成に加えて、開口１０５ｂ及びマニホールド流路１０５をも有してよい。この場合、基板３１ｂに開口１０５ｂ及びマニホールド流路１０５を形成する必要がなく、基板３１ｂは各流路モジュール１３１ａを支持する支持部材として機能することになる。

また、上述の実施形態では、流路モジュール３１ａは基板３１ｂに形成された開口に組み付けられるが、開口ではなく、基板３１ｂに形成された凹部、基板３１ｂの上面等に組み付けられてもよい。

ここで、基板３１ｂに凹部を形成し、各凹部に流路モジュールを組み付ける形態の例について説明する。例えば、図５のプレート２２〜２５部分のみを流路モジュールとする。当該流路モジュールには、個別インク流路３２のうちプレート２２〜２５により形成される部分（即ち、副マニホールド流路１０５ａの出口から圧力室３３までの流路と圧力室３３と圧力室３３から吐出口１８までの上側半部の流路とからなる部分）が形成される。基板３１ｂは、プレート２２〜２５（上部積層体）及びプレート２６〜３０（下部積層体）を有し、プレート２２〜２５（上部積層体）には上記流路モジュールを組み付け収容するための貫通孔が形成され、プレート２６〜３０（下部積層体）には全てのヘッドモジュール１０ｘに跨る共通のインク流路（開口１０５ｂからマニホールド流路１０５を通って副マニホールド流路１０５ａに至る流路）と圧力室３３から吐出口１８までの下側半部の流路とが形成される。上部及び下部積層体が互いに積層された状態において、プレート２２〜２５（上部積層体）に形成された貫通孔によって、流路モジュールを組み付けるための凹部が構成される。当該凹部の底面（プレート２６上面）には、副マニホールド流路１０５ａが開口することになる。この例において、流路モジュールのランク分けは、アパーチャ３４の流路抵抗の大きさに基づいて行えばよい。この例では、流路モジュールが外部にほとんど露出しない態様で基板の凹部内に略完全に収容されるため、流路モジュールに対して外部からの直接的な力が加わりにくい。これにより、ヘッドモジュールの脱落等が生じにくいという利点がある。また、別の例として、図５のプレート２２〜２４部分を流路モジュールをとしてもよい。この場合、流路モジュールの部品点数が少なく、製造が容易になる。

さらに、基板３１ｂの上面に流路モジュールを組み付ける形態の例について説明する。例えば、図５のプレート２２〜２４部分を流路モジュールとし、プレート２５〜３０部分を基板とする。この場合、流路モジュールには、個別インク流路３２のうちプレート２２〜２４により形成される部分（即ち、アパーチャ３４から圧力室３３までの流路と圧力室３３と圧力室３３から吐出口１８までの上記とは別の上側半部の流路とからなる部分）が形成される。基板３１ｂの上面（本例ではプレート２５の上面）には、開口１０５ｂが形成されると共に、副マニホールド流路１０５ａとアパーチャ３４とを繋ぐ孔、及び、圧力室３３から吐出口１８までの上記とは別の下側半部の流路が開口する。基板の内部には、図５のプレート２５〜３０により形成される流路（即ち、全てのヘッドモジュール１０ｘに跨る共通のインク流路（開口１０５ｂからマニホールド流路１０５及び副マニホールド流路１０５ａを通ってアパーチャ３４の手前までの流路）、及び、上記別の下側半部の流路）が形成される。この例においても、流路モジュールのランク分けは、アパーチャ３４の流路抵抗の大きさに基づいて行えばよい。

上述の実施形態では、流路ユニット３１（図３参照）が、基板３１ｂと、これに組み付けられた互いに独立した部材からなる８つの流路モジュール３１ａとを有するが、これに限定されない。例えば、図１２に示すように、本発明の別の実施形態によると、ヘッド本体２１０ａに含まれる流路ユニット２３１は、上述の流路ユニット３１のように別々に作製された基板３１ｂと８つの流路モジュール３１ａとを組み付けたものではなく、主走査方向に長い矩形プレート（上述の実施形態における基板３１ｂを構成するプレートと同様の外形を有するプレート）を複数積層し接着して構成されている。当該プレートの積層体内には、マニホールド流路１０５から各個別インク流路３２の吐出口１８に至る流路が形成されている。本実施形態の場合、流路ユニット２３１におけるアクチュエータモジュール２１の接着部分（図１２に示す台形部分）が流路モジュールに該当する。

図１２の流路ユニット２３１を有するヘッドを含むプリンタは、例えば図１３に示す工程を経て製造される。なお、図７に示す工程と同一の工程については、同一の参照番号を付して説明を省略するものとする。先ず、各ヘッドにつき１の流路ユニット２３１及び８つのアクチュエータモジュール２１を別々に作製する（Ｓ２１及びＳ２）。その後、アクチュエータモジュール２１については上述の実施形態と同様にランク分け（Ｓ５）及び配置の決定（Ｓ７）を行うが、流路モジュールについてはランク分け（図７のＳ４）及び配置の決定（図７のＳ６）は行わない。そして、Ｓ７で決定された配置にしたがって、各流路ユニット２３１の上面における各流路モジュール（図１２に示す台形部分）に、対応するアクチュエータモジュール２１を固定する（Ｓ２８）。さらにその後、上述の実施形態と同様のＳ１０、Ｓ１１等の工程を経て、本実施形態に係るヘッド及びプリンタが完成する。

アクチュエータモジュール２１のランク分け工程（Ｓ５）においては、３ランクにランク分けを行うことに限定されず、流路モジュールの区分（Ｓ０）で決定された領域群の数に応じて２以上のランクにランク分けを行えばよい。

流路モジュールの区分（Ｓ０）は、図７に示す製造方法においては流路モジュール３１ａの作製（Ｓ１）の前、図１３に示す製造方法においては流路ユニット３１の作製（Ｓ２１）の前に行われるが、これに限定されない。つまり、当該工程は、アクチュエータモジュール２１を流路ユニット２１の各流路モジュールに固定する前に行えばよく、例えば流路モジュール３１ａや流路ユニット３１の作製後に行ってもよい。

流路モジュールの区分（Ｓ０）に関して、上述の実施形態では、１のプリンタ１について、（１）（２）（３）の３つの領域群を想定しており（図８参照）、（１）及び（２）が「末端領域群」（３）が「中央領域群」に相当する。しかしながら、流路モジュールは、少なくとも２つの流路モジュールを含む「末端領域群」及び少なくとも１の流路モジュールを含む「中央領域群」の、少なくとも２つの領域群に区分されればよい。或いは、「末端領域群」「中央領域群」の２つの領域群の間に位置する群を２以上想定し、区分及びランク分けをさらに細分化してもよい。

１のプリンタ１に着目するのではなく、ヘッド１０に着目し、ヘッド１０毎に、流路モジュールの区分を行い、ランク分けに基づいてアクチュエータモジュール２１の配置決定を行ってよい。

流路モジュールの区分（Ｓ０）は、以下のように行ってもよい。即ち、流路モジュールの配列方向は、上述の実施形態に係るプリンタ１においては、図８に示すように、主走査方向及び副走査方向の２つの方向が存在する。ここで、副走査方向に着目し、副走査方向に関して末端領域に配置された流路モジュール（図８において左側及び右側の２つのヘッド１０における全ての流路モジュール）を「末端領域群」、それ以外の流路モジュール（即ち、上記２つのヘッド１０に挟まれた２つのヘッド１０における全ての流路モジュール）を「中央領域群」として区分してよい。そしてランク分けに基づいてアクチュエータモジュール２１を配置することにより、ヘッド間におけるインクの流動性の均一化が実現される。また、主走査方向に着目し、主走査方向に関して末端領域に配置された流路モジュール（図８の各ヘッド１０における主走査方向両端に位置する２つの流路モジュール、又は、当該２つの流路モジュールに加えてこれらに隣接し且つこれらよりも中央寄りの１以上の流路モジュール）を「末端領域群」とし、それ以外の流路モジュール（即ち、各ヘッド１０において主走査方向中央に位置する１以上の流路モジュール）を「中央領域群」として区分してよい。

また、例えば、１のプリンタが上記ヘッド１０を２つ含む場合は、主走査方向に関して末端領域に配置された流路モジュール（各ヘッド１０における主走査方向両端に位置する２つの流路モジュール、又は、当該２つの流路モジュールに加えてこれらに隣接し且つこれらよりも中央寄りの１以上の流路モジュール）を「末端領域群」とし、それ以外の流路モジュール（即ち、各ヘッド１０において主走査方向中央に位置する１以上の流路モジュール）を「中央領域群」として区分してよい。

また、例えば、１のプリンタが副走査方向に並列した３つのヘッドを含み、各ヘッドが１の流路モジュール３１ａを有する場合、副走査方向に関して末端領域に配置された流路モジュール（当該方向に関して両端に位置する２つのヘッドの流路モジュール）を「末端領域群」とし、それ以外の流路モジュール（即ち、上記２つのヘッドに挟まれた中央のヘッドの流路モジュール）を「中央領域群」として区分してよい。そしてランク分けに基づいてアクチュエータモジュール２１を配置することにより、３つのヘッド間におけるインクの流動性の均一化が実現される。

上記は１のプリンタにおける流路モジュールの区分（Ｓ０）について様々な構成の例を説明したものであるが、１のヘッドにおいても、流路モジュールの区分（Ｓ０）について様々な構成が考えられる。例えば、上述の実施形態のようにヘッド１０が主走査方向に配列した８つの流路モジュールを有する場合、流路モジュールの配列方向は主走査方向のみであるが、１のヘッドにおいて流路モジュールが２方向にマトリクス状に配列している場合は、流路モジュールの配列方向としての当該２つの方向のいずれか一方又は両方に着目し、「末端領域群」及び「中央領域群」を定めてよい。

アクチュエータモジュール２１のランク分け（Ｓ５）は、図７に示す製造方法においては各流路モジュール３１ａへのアクチュエータモジュール２１の固定（Ｓ８）の前、図１３に示す製造方法においては流路ユニット３１へのアクチュエータモジュール２１の固定（Ｓ２８）の前に行われるが、これに限定されない。つまり、各流路モジュール３１ａへのアクチュエータモジュール２１の固定（Ｓ８）の後、図１３に示す製造方法においては流路ユニット３１へのアクチュエータモジュール２１の固定（Ｓ２８）の後に、当該ランク分け（Ｓ５）を行ってよい。例えば、１のプリンタ１において、各ヘッド１０を完成させた後、ランク分け（Ｓ５）に基づいて、プリンタ１内におけるヘッド１０の配置を決定し、アクチュエータモジュール２１が適宜の位置に配置されるようにすればよい。この場合、実際の使用時により近い静電容量に基づいて、より適切なランク分けが可能となる。

アクチュエータモジュール２１は、上記Ｓ８又はＳ２８において、流路モジュール３１ａ又は流路ユニット３１を構成する金属製のプレートに固定されることで、金属とセラミックという材料の線膨張係数の違いから、圧縮状態となる。図１４は、上述の実施形態に係るアクチュエータモジュール２１の７つ（Ｕ１〜Ｕ７）について、流路モジュール３１ａとの固定前後の静電容量を、上述のランク分け工程（Ｓ５）の方法と同様の方法により実測したものである。図１４に示すように、各アクチュエータモジュール２１の静電容量は固定前よりも固定後の方が増加する傾向にあるが、当該図に示された２つの屈曲線の形状が略同じであることから、アクチュエータモジュールＵ１〜Ｕ７間における静電容量の大きさの関係は固定前後において略同じであることが解かる。したがって、上述の実施形態のように固定前にランク分け（Ｓ５）を行う場合でも、固定後の静電容量の大きさの傾向が得られるため、ランク分けにしたがってアクチュエータモジュール２１を適宜の位置に配置することによって、インク流動性の均一化の効果を得ることができる。

ドライバＩＣ８１は、８つのアクチュエータモジュール２１のそれぞれに対して１つずつではなく、複数のアクチュエータモジュール２１に対して１つ設けてもよい。

１のヘッドにおいて、流路モジュール及びアクチュエータモジュールはそれぞれ、ヘッドの長手方向に沿って配列することに限定されず、ヘッドの幅方向に沿って配列してもよい。また、流路モジュール及びアクチュエータモジュールの平面形状は、台形に限定されるものではなく、例えば平行四辺形、三角形、正方形、長方形等であってよい。

記録装置に含まれる液体吐出ヘッドの数は４に限定されず、２以上であればよい。また、記録装置に含まれる複数の液体吐出ヘッドのそれぞれにおいて、流路モジュール及びアクチュエータモジュールは１以上あればよい。例えば１の流路モジュール及び１のアクチュエータモジュールを有するヘッドを２つ含む記録装置においては、２つのヘッド間において上記ランク分けが行われる。

本発明に係る液体吐出ヘッドは、インク以外の液体を吐出するヘッドであってもよく、また、インクジェット方式以外のサーマル、ドットインパクト方式等にも適用可能であると共に、プリンタ以外のファクシミリやコピー機等にも適用可能である。また、ライン式・シリアル式のいずれの記録装置にも適用可能である。

１ インクジェットプリンタ（記録装置）
１０ インクジェットヘッド（液体吐出ヘッド）
１０ａ，２１０ａ ヘッド本体
１０ｘ ヘッドモジュール
１８ 吐出口（液体吐出口）
２１ アクチュエータモジュール
３１ 流路ユニット
３１ａ；１３１ａ 流路モジュール
３１ｂ 基板（基部）
３２ 個別インク流路（個別流路）
３３ 圧力室
３４ アパーチャ（絞り部）
８１ ドライバＩＣ（駆動部）

Claims (25)

1. 圧力室を経て液体を吐出する液体吐出口に至る個別流路を複数含む３以上の流路モジュール、各流路モジュールにおける前記複数の圧力室内の液体にそれぞれ圧力を付加する複数のアクチュエータを含む３以上のアクチュエータモジュール、及び、前記流路モジュールと熱的に結合すると共に当該流路モジュールに対応する前記アクチュエータモジュールに駆動電圧を供給する駆動部を有する液体吐出ヘッドの製造方法において、
   前記アクチュエータモジュールをそれぞれ前記アクチュエータの静電容量の大きさに基づいてランク分けするアクチュエータモジュールランク分け工程と、
   前記流路モジュールをそれぞれ、当該流路モジュールの少なくとも１の配列方向に関して末端領域に配置された少なくとも２つの流路モジュールを含む末端領域群と、前記末端領域を除く中央領域に配置された少なくとも１の流路モジュールを含む中央領域群とに区分する流路モジュール区分工程と、
   前記アクチュエータモジュールランク分け工程において所定の静電容量以上の静電容量を有するものとしてランク分けされたアクチュエータモジュールが、前記流路モジュール区分工程において前記末端領域群として区分された流路モジュールに対応し、前記アクチュエータモジュールランク分け工程において前記所定の静電容量未満の静電容量を有するものとしてランク分けされたアクチュエータモジュールが、前記流路モジュール区分工程において前記中央領域群として区分された流路モジュールに対応するよう、前記流路モジュールに前記アクチュエータモジュールを固定するアクチュエータモジュール固定工程と、
   を備えていることを特徴とする液体吐出ヘッドの製造方法。
2. 前記流路モジュールをそれぞれ前記個別流路の流路抵抗の大きさに基づいてランク分けする流路モジュールランク分け工程と、
   前記流路モジュールランク分け工程において、前記個別流路が所定の流路抵抗未満の流路抵抗を有するものとしてランク分けされた流路モジュールが前記末端領域群として、さらに、前記個別流路が前記所定の流路抵抗以上の流路抵抗を有するものとしてランク分けされた流路モジュールが前記中央領域群として、それぞれ区分されるよう、前記流路モジュールを配置する流路モジュール配置工程と、
   を備えていることを特徴とする請求項１に記載の液体吐出ヘッドの製造方法。
3. 前記流路モジュールランク分け工程において、前記個別流路における流路を絞って前記圧力室に供給される液体の流量を調整する絞り部の寸法を、ランク分けに係る前記流路抵抗の要素とすることを特徴とする請求項２に記載の液体吐出ヘッドの製造方法。
4. 前記流路モジュールランク分け工程において、前記液体吐出口の寸法を、ランク分けに係る前記流路抵抗の要素とすることを特徴とする請求項２又は３に記載の液体吐出ヘッドの製造方法。
5. 前記流路モジュールランク分け工程において、前記流路モジュールにおける前記複数の個別流路のうちの一部の流路抵抗に基づいて、前記流路モジュールのランク分けを行うことを特徴とする請求項２〜４のいずれか一項に記載の液体吐出ヘッドの製造方法。
6. 前記アクチュエータモジュールランク分け工程において、前記アクチュエータモジュールにおける前記複数のアクチュエータのうちの一部の静電容量に基づいて、前記アクチュエータモジュールのランク分けを行い、
   前記アクチュエータモジュールランク分け工程において用いられる前記一部のアクチュエータが、前記流路モジュールランク分け工程において用いられる前記流路モジュールにおける前記一部の個別流路に対応することを特徴とする請求項５に記載の液体吐出ヘッドの製造方法。
7. １の基部に、互いに独立した部材からなる前記３以上の流路モジュールを組み付けることにより、前記３以上の流路モジュールを含む流路ユニットを作製する流路ユニット作製工程を備えていることを特徴とする請求項１〜６のいずれか一項に記載の液体吐出ヘッドの製造方法。
8. 前記アクチュエータモジュールのそれぞれに対して１の前記駆動部を設けることを特徴とする請求項１〜７のいずれか一項に記載の液体吐出ヘッドの製造方法。
9. 前記流路モジュール及び前記アクチュエータモジュールをそれぞれ前記液体吐出ヘッドの長手方向に沿って配列し、
   複数の前記駆動部を、前記複数の流路モジュールのそれぞれに対応するように、前記液体吐出ヘッドの長手方向に沿って配列することを特徴とする請求項８に記載の液体吐出ヘッドの製造方法。
10. 前記ランク分け工程において、３ランク以上のランク分けを行うことを特徴とする１〜９のいずれか１項に記載の液体吐出ヘッドの製造方法。
11. 圧力室を経て液体を吐出する液体吐出口に至る個別流路を複数含む１以上の流路モジュール、前記流路モジュールにおける前記複数の圧力室内の液体にそれぞれ圧力を付加する複数のアクチュエータを含む１以上のアクチュエータモジュール、及び、前記流路モジュールと熱的に結合すると共に当該流路モジュールに対応する前記アクチュエータモジュールに駆動電圧を供給する駆動部を有する液体吐出ヘッドを複数含み、３以上の前記流路モジュールを有する記録装置の製造方法において、
    前記アクチュエータモジュールをそれぞれ前記アクチュエータの静電容量の大きさに基づいてランク分けするアクチュエータモジュールランク分け工程と、
    前記複数の液体吐出ヘッドにおける前記流路モジュールをそれぞれ、当該流路モジュールの少なくとも１の配列方向に関して末端領域に配置された少なくとも２つの流路モジュールを含む末端領域群と、前記末端領域を除く中央領域に配置された少なくとも１の流路モジュールを含む中央領域群とに区分する流路モジュール区分工程と、
    前記アクチュエータモジュールランク分け工程において所定の静電容量以上の静電容量を有するものとしてランク分けされたアクチュエータモジュールが、前記流路モジュール区分工程において前記末端領域群として区分された流路モジュールに対応し、前記アクチュエータモジュールランク分け工程において前記所定の静電容量未満の静電容量を有するものとしてランク分けされたアクチュエータモジュールが、前記流路モジュール区分工程において前記中央領域群として区分された流路モジュールに対応するよう、前記流路モジュールに前記アクチュエータモジュールを固定するアクチュエータモジュール固定工程と、
    を備えていることを特徴とする記録装置の製造方法。
12. 前記流路モジュールをそれぞれ前記個別流路の流路抵抗の大きさに基づいてランク分けする流路モジュールランク分け工程と、
    前記流路モジュールランク分け工程において、前記個別流路が所定の流路抵抗未満の流路抵抗を有するものとしてランク分けされた流路モジュールが前記末端領域群として、さらに、前記流路モジュールランク分け工程において前記個別流路が前記所定の流路抵抗以上の流路抵抗を有するものとしてランク分けされた流路モジュールが前記中央領域群として、それぞれ区分されるよう、前記流路モジュールを配置する流路モジュール配置工程と、
    を備えていることを特徴とする請求項１１に記載の記録装置の製造方法。
13. 前記流路モジュールランク分け工程において、前記個別流路における流路を絞って前記圧力室に供給される液体の流量を調整する絞り部の寸法を、ランク分けに係る前記流路抵抗の要素とすることを特徴とする請求項１２に記載の記録装置の製造方法。
14. 前記流路モジュールランク分け工程において、前記液体吐出口の寸法を、ランク分けに係る前記流路抵抗の要素とすることを特徴とする請求項１２又は１３に記載の記録装置の製造方法。
15. 前記流路モジュールランク分け工程において、前記流路モジュールにおける前記複数の個別流路のうちの一部の流路抵抗に基づいて、前記流路モジュールをランク分けすることを特徴とする請求項１２〜１４のいずれか一項に記載の記録装置の製造方法。
16. 前記アクチュエータモジュールランク分け工程において、前記アクチュエータモジュールにおける前記複数のアクチュエータのうちの一部の静電容量に基づいて、前記アクチュエータモジュールのランク分けを行い、
    前記アクチュエータモジュールランク分け工程において用いられる前記一部のアクチュエータが、前記流路モジュールランク分け工程において用いられる前記流路モジュールにおける前記一部の個別流路に対応することを特徴とする請求項１５に記載の記録装置の製造方法。
17. 前記液体吐出ヘッド毎に、１の基部に、互いに独立した部材からなる前記複数の流路モジュールを組み付けることにより、前記複数の流路モジュールを含む流路ユニットを作製する流路ユニット作製工程を備えていることを特徴とする請求項１１〜１６のいずれか一項に記載の記録装置の製造方法。
18. 前記アクチュエータモジュールのそれぞれに対して１の前記駆動部を設けることを特徴とする請求項１１〜１７のいずれか一項に記載の記録装置の製造方法。
19. 前記液体吐出ヘッド毎に、
    前記流路モジュール及び前記アクチュエータモジュールをそれぞれ前記液体吐出ヘッドの長手方向に沿って配列し、
    複数の前記駆動部を、前記複数の流路モジュールのそれぞれに対応するように、前記液体吐出ヘッドの長手方向に沿って配列することを特徴とする請求項１８に記載の記録装置の製造方法。
20. 前記ランク分け工程において、３ランク以上のランク分けを行うことを特徴とする１１〜１９のいずれか１項に記載の記録装置の製造方法。
21. 圧力室を経て液体を吐出する液体吐出口に至る個別流路を複数含む３以上の流路モジュールと、
    各流路モジュールにおける前記複数の圧力室内の液体にそれぞれ圧力を付加する複数のアクチュエータを含む３以上のアクチュエータモジュールと、
    前記流路モジュールと熱的に結合すると共に当該流路モジュールに対応する前記アクチュエータモジュールに駆動電圧を供給する駆動部と、
    を備え、
    所定の静電容量以上の静電容量を有するアクチュエータモジュールが、前記流路モジュールの少なくとも１の配列方向に関して末端領域に配置された少なくとも２つの流路モジュールを含む末端領域群に属する流路モジュールに対応し、前記所定の静電容量未満の静電容量を有するアクチュエータモジュールが、前記末端領域を除く中央領域に配置された少なくとも１の流路モジュールを含む中央領域群に属する流路モジュールに対応するよう、前記流路モジュールに前記アクチュエータモジュールが固定されていることを特徴とする液体吐出ヘッド。
22. 前記末端領域群に属する前記流路モジュールは、当該個別流路が所定の流路抵抗未満の流路抵抗を有し、前記中央領域群に属する前記流路モジュールは、当該個別流路が前記所定の流路抵抗以上の流路抵抗を有することを特徴とする請求項２１に記載の液体吐出ヘッド。
23. 前記流路モジュールが、
    前記複数の個別流路に共有され、一時的に液体を貯留する共通流路と、
    各個別流路において、前記共通流路の出口と前記圧力室とを繋ぐ流路に介在し、当該流路を絞って前記圧力室に供給される液体の流量を調整する絞り部と、
    を有し、
    前記液体吐出口及び前記絞り部の少なくともいずれか一方の寸法が、前記流路抵抗の要素とされていることを特徴とする請求項２２に記載の液体吐出ヘッド。
24. 前記流路モジュール及び前記アクチュエータモジュールがそれぞれ前記液体吐出ヘッドの長手方向に沿って配列し、
    複数の前記駆動部が、前記複数の流路モジュールのそれぞれに対応するように、前記液体吐出ヘッドの長手方向に沿って配列していることを特徴とする請求項２１〜２３のいずれか一項に記載の液体吐出ヘッド。
25. 圧力室を経て液体を吐出する液体吐出口に至る個別流路を複数含む１以上の流路モジュール、前記流路モジュールにおける前記複数の圧力室内の液体にそれぞれ圧力を付加する複数のアクチュエータを含む１以上のアクチュエータモジュール、及び、前記流路モジュールと熱的に結合すると共に当該流路モジュールに対応する前記アクチュエータモジュールに駆動電圧を供給する駆動部を有する液体吐出ヘッドを複数含み、３以上の前記流路モジュールを有する記録装置において、
    所定の静電容量以上の静電容量を有するアクチュエータモジュールが、前記流路モジュールの少なくとも１の配列方向に関して末端領域に配置された少なくとも２つの流路モジュールを含む末端領域群に属する流路モジュールに対応し、前記所定の静電容量未満の静電容量を有するアクチュエータモジュールが、前記末端領域を除く中央領域に配置された少なくとも１の流路モジュールを含む中央領域群に属する流路モジュールに対応するよう、前記流路モジュールに前記アクチュエータモジュールが固定されていることを特徴とする記録装置。

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