JP4186072B2

JP4186072B2 - インクジェットヘッドの製造方法及びインクジェットヘッド

Info

Publication number: JP4186072B2
Application number: JP2004150231A
Authority: JP
Inventors: 恭裕関口
Original assignee: Brother Industries Ltd
Current assignee: Brother Industries Ltd
Priority date: 2004-05-20
Filing date: 2004-05-20
Publication date: 2008-11-26
Anticipated expiration: 2024-05-20
Also published as: US20050259136A1; US7401904B2; JP2005329628A

Description

本発明は圧電式のインクジェットヘッド及びその製造方法に関するものである。

インクジェットプリンタに用いられるインクジェットヘッドとしては、複数個の微細なノズルと各ノズル毎に対応する圧力室とを備えたキャビティユニットに、前記各圧力室を選択的に駆動して前記ノズルからインクを吐出させる圧電アクチュエータを接合して固定する構造が知られている。

前記キャビティユニットは、レーザ加工等により微細なノズルが形成されたノズルプレートに、インク流路を形成するその他の複数のプレートが積層されている。また、圧電アクチュエータは、複数のシート状の圧電セラミックス層を電極層を挟んで積層し焼成してアクチュエータを構成している。そして、キャビティユニットにおける圧力室の背面に圧電アクチュエータを接合している。しかしながら、製造上、ノズル径の大小や圧電アクチュエータの静電容量値等のばらつきが大きく、キャビティユニットと圧電アクチュエータとの組み合せが、インクジェットヘッド全体の特性に大きく影響する。

そのため、従来は、全てのインクジェットヘッドにおいて適正なインクの吐出速度が得られるように、圧電アクチュエータに印加する駆動電圧を各ヘッド毎に調整していた。具体的には、ヘッド内にインクを注入し、前記駆動電圧を変えながら、インクの吐出状況や記録結果を観察して、各ヘッド毎に適正な駆動電圧を決定していた。

しかしながら、この従来の方法では、ヘッド毎にそれぞれ実際にインクを注入して行う調整作業が煩雑であり、また肉眼による観察故に評価結果に個人差が生じたりする等の問題があった。

そこで、本出願人は、特許文献１に記載されているように、インクジェットヘッドに印加する駆動電圧値を、算出により予測して決定する方法を開発した。即ちこの方法では、キャビティユニットのノズル径の平均値と圧電アクチュエータの静電容量の平均値との関係式で駆動電圧を表すようにしたので、組立てられたインクジェットヘッド毎に、そのノズル径の平均値及び静電容量の平均値がわかれば、個別にその駆動電圧を算出することができる。これにより、インクジェットヘッド毎にインクを入れてわざわざ吐出確認を行わなくても、その駆動電圧値を決定できるようになった。
特開２００３−１１３７６号公報（図２参照）

しかしながら、特許文献１の方法では、インクジェットヘッド毎に個別に駆動電圧値を算出して決めているから、インクジェットプリンタの装置本体に内蔵するヘッド駆動回路（ヘッドドライバ）には、あらかじめ複数の駆動電圧値を有する出力部を備える必要があり、製造コストが高くなる。また、組立工程においては、対応する出力部とヘッドとを接続する作業に手間がかかるという問題があった。

また、１つのインクジェットプリンタに複数のヘッドを取り付ける場合に、これらのヘッドへ装置本体から出力する電圧値を揃えようとすると、多数のヘッドの中から、同じ駆動電圧値を有するヘッドを必要数だけわざわざ選び出さなければならなかった。

本発明は、上記課題を解消するものであり、所定の吐出速度でインクを吐出するインクジェットヘッドを、ヘッド毎の駆動電圧値のバラツキを抑えて製造することを目的とするものである。

前記目的を達成するために、請求項１に記載の発明におけるインクジェットヘッドの製造方法は、複数個のノズル及びこの各ノズル毎の圧力室を備えたキャビティユニットと、前記各圧力室を選択的に駆動して前記ノズルからインクを吐出させる圧電アクチュエータとを備えるインクジェットヘッドの製造方法において、キャビティユニットのノズル径と圧電アクチュエータの静電容量値との組み合せに基づいて、所定駆動電圧で所定速度のインクを吐出するためのキャビティユニットと圧電アクチュエータとの組み合わせ規則をあらかじめ定める工程と、キャビティユニット毎の複数個のノズルの平均のノズル径と、圧電アクチュエータ毎の各圧力室に対応して変形する部位の平均の静電容量値とを、それぞれ測定する工程と、前記組み合せ規則に基づいて、対応する前記平均のノズル径と前記平均の静電容量値とをそれぞれ有するキャビティユニットと圧電アクチュエータとを選択し組み合わせる工程とを備えることを特徴とするものである。

また、請求項２に記載の発明は、請求項１に記載のインクジェットヘッドの製造方法において、前記組み合せ規則は、キャビティユニットの前記平均のノズル径及び圧電アクチュエータの前記平均の静電容量値を、それぞれ複数のランクに分類し、ランク同士の組み合せを定めていることを特徴とするものである。

また、請求項３に記載の発明は、請求項１または２に記載のインクへットヘッドの製造方法において、前記組み合せ規則は、所定駆動電圧で所定速度のインクを吐出するためのキャビティユニットの前記平均のノズル径と圧電アクチュエータの前記平均の静電容量値との組み合せを複数有することを特徴とするものである。

また、請求項４に記載の発明におけるインクジェットヘッドは、複数個のノズル及びこの各ノズル毎の圧力室を備えたキャビティユニットと、前記各圧力室を選択的に駆動して前記ノズルからインクを吐出させる圧電アクチュエータとを備えるインクジェットヘッドにおいて、キャビティユニット毎の複数個のノズルの平均のノズル径と圧電アクチュエータ毎の各圧力室に対応して変形する部位の平均の静電容量値との組み合せに基づいてあらかじめ定められた、所定駆動電圧で所定速度のインクを吐出するためのキャビティユニットと圧電アクチュエータとの組み合わせ規則に従って、それに対応する前記平均のノズル径と前記平均の静電容量値をそれぞれ有するキャビティユニットと圧電アクチュエータとが選択的に組み合わされていることを特徴とするものである。

請求項１に記載の発明によれば、インクジェットヘッドは、所定駆動電圧で所定速度のインクを吐出するようにあらかじめ定められた組み合せ規則に基づいて選びだされたキャビティユニットと圧電アクチュエータとにより形成されているので、インクジェットヘッドがいずれも同じ駆動電圧となるように容易に製造することができる。その結果、個別のインクジェットヘッド毎にインクジェットプリンタ装置本体の出力電圧の設定を変える必要がないので、一種類の駆動電圧値を有するヘッド駆動回路を準備するだけで良く、製造コストの削減が可能となる。また、記録品質が一定になるので、品質管理も容易になるという効果を奏する。

請求項２に記載の発明によれば、組み合せ規則がランク同士の組み合せで定められているから、キャビティユニットと圧電アクチュエータの組み合せを簡略化できるという効果を奏する。

請求項３に記載の発明によれば、所定駆動電圧で所定のインク吐出速度が得られるキャビティユニットと圧電アクチュエータとの組み合せが複数存在するので、同じ駆動電圧に設定でき且つ記録品質が一定のインクジェットヘッドを多数製造することができる。

請求項４に記載の発明によれば、インクジェットヘッドは、所定駆動電圧で所定速度のインクを吐出するようにあらかじめ定められた組み合せ規則に基づいて選びだされたキャビティユニットと圧電アクチュエータとにより形成されているので、製造されたインクジェットヘッドはいずれも同じ駆動電圧となる。その結果、個別のインクジェットヘッド毎にインクジェットプリンタ装置本体の出力電圧の設定を変える必要がないので、一種類の駆動電圧値を有するヘッド駆動回路を準備するだけで良く、製造コストの削減が可能となる。また、記録品質が一定になるので、品質管理も容易になるという効果を奏する。

以下に、本発明の実施形態を図面に基づいて説明する。図１は本発明の実施形態のインクジェットヘッドの斜視図、図２はインクジェットヘッドの分解斜視図、図３はキャビティユニットの拡大分解斜視図、図４は図１のIV−IV線矢視拡大断面図、図５は図１のＶ−Ｖ線矢視拡大断面図、図６（ａ）は静電容量の変化がインクの吐出速度に与える影響を示す図、図６（ｂ）はノズル径の変化がインクの吐出速度に与える影響を示す図、図７は組み合せ規則に従ったインクジェットヘッドの場合のノズル径の変化がインクの吐出速度に与える影響を示す図である。

図１は、本発明の第１実施形態による圧電式のインクジェットヘッド１００におけるキャビティユニット１と圧電アクチュエータ２の斜視図であり、金属板製の複数枚のプレートからなるキャビティユニット１にプレート型の圧電アクチュエータ２が接合され、このプレート型の圧電アクチュエータ２の上面に外部機器との接続のためのフレキシブルフラットケーブル３（図４参照）が重ね接合されている。そして、最下層のキャビティユニット１の下面側に開口されたノズル４から、下向きにインクが吐出するものとする。

前記キャビティユニット１は、図２に示すように、ノズルプレート１１、スペーサプレート１２、ダンパープレート１３、２枚のマニホールドプレート１４ａ、１４ｂ、サプライプレート１５、ベースプレート１６、及びキャビティプレート１７の合計８枚の薄い板をそれぞれ接着剤にて重ね接合した構造となっている。

実施形態では、各プレート１１〜１７は５０〜１５０μｍ程度の厚さを有し、ノズルプレート１１はポリイミド等の合成樹脂製で、その他のプレート１２〜１７は４２％ニッケル合金鋼板製である。前記ノズルプレート１１には、微小径（約２０〜２３μｍ程度）のインク吐出用のノズル４が微小間隔で多数個穿設されている。このノズル４は、当該ノズルプレート１１における長辺方向（Ｘ方向）に沿って、千鳥配列状で５列に配列されている。

また、前記キャビティプレート１７には、図３に示すように、複数の圧力室３６がキャビティプレート１７の長辺（前記Ｘ方向）に沿って千鳥配列状で５列に配列されている。実施形態では、前記各圧力室３６は、平面視細長形状に形成され、その長手方向がキャビティプレート１７の短辺方向（Ｙ方向）に沿うようにして穿設され、長手方向の一端部３６ａがノズル４と連通し、他端部３６ｂが後述する共通インク室７と連通する。

各圧力室３６における先端部３６ａは、サプライプレート１５、ベースプレート１６と２枚のマニホールドプレート１４ａ、１４ｂ、ダンパープレート１３、及びスペーサプレート１２に、同じく千鳥配列状にて穿設されている微小径の連通孔３７を介して、ノズルプレート１１における前記各ノズル４に連通している。

キャビティプレート１７の下面に隣接するベースプレート１６には、各圧力室３６の他端部３６ｂに接続する貫通孔３８が穿設されている。

ベースプレート１６の下面に隣接するサプライプレート１５には、後述する共通インク室７から前記各圧力室３６へインクを供給するための接続流路４０が設けられる。そして各接続流路４０には、共通インク室７からインクが入る入口孔と、圧力室３６側（前記貫通孔３８）に開口する出口孔と、入口孔と出口孔との間にあって、接続流路４０中で最も大きな流路抵抗となるように断面積を小さくして形成された絞り部とが備えられている。

２枚のマニホールドプレート１４ａ，１４ｂには、その長辺方向（Ｘ方向）に沿って長い５つの共通インク室７が前記ノズル４の各列に沿って延びるように板厚さを貫通して形成されている。すなわち、図２及び図４に示すように、２枚のマニホールドプレート１４ａ、１４ｂを積層し、かつその上面をサプライプレート１５にて覆い、下面をダンパープレート１３にて覆うことにより、合計５つの共通インク室（マニホールド室）７が密閉状に形成される。各共通インク室７は、各プレートの積層方向から平面視したときに、前記圧力室３６の一部と重なって圧力室３６の列方向（ノズル４の列方向）に沿って長く延びている。

図３及び図４に示すように、マニホールドプレート１４ａの下面に隣接するダンパープレート１３の下面側には、共通インク室７と隔絶されたダンパ室４５が凹み形成されている。この各ダンパ室４５の位置および形状は、図２に示すように、前記各共通インク室７と一致させている。このダンパプレート１３は、適宜弾性変形し得る金属素材であるため、ダンパ室４５上部の薄い板状の天井部は、共通インク室７側にも、ダンパ室４５側にも自由に振動することができる。インク吐出時に、圧力室３６で発生した圧力変動が共通インク室７に伝播しても、前記天井部が弾性変形して振動することにより、前記圧力変動を吸収減衰させるというダンパ効果を奏し、圧力変動が他の圧力室３６へ伝播するというクロストークを防止することができるものである。

また、図２に示すように、キャビティプレート１７、ベースプレート１６、及びサプライプレート１５の一方の短辺側の端部には、上下の位置を対応させて、それぞれ４つのインク供給口４７が穿設されている。インク供給源からのインクが、これらインク供給口４７から共通インク室７の一端部に連通するようになっている。４つのインク供給口４７を、図２の左側から順に個別に４７ａ、４７ｂ、４７ｃ、４７ｄと付す。

インク供給口４７からノズル４に至るインク流通路では、インクは、インク供給口４７からインク供給チャンネルとしての共通インク室７に供給された後、図３に示すように、サプライプレート１５の接続流路４０及びベースプレート１６の貫通孔３８を経由して各圧力室３６に分配供給される。そして、後述するように、圧電アクチュエータ２の駆動により、インクは各圧力室３６内から前記連通孔３７を通って、その圧力室３６に対応するノズル４に至るという構成になっている。

この実施形態では、図２に示すように、インク供給口４７が４つ設けられているのに対して、共通インク室７が５つ設けられており、インク供給口４７ａだけが、２つの共通インク室７，７に接続されている。インク供給口４７ａには、ブラックインクが供給されるように設定されており、ブラックインクがその他のカラーインクに比べて使用頻度が高いことを考慮したものである。他のインク供給口４７ｂ、４７ｃ、４７ｄには、イエロー、マゼンタ、シアンの各インクがそれぞれ単独に供給される。インク供給口４７ａ，４７ｂ，４７ｃ，４７ｄには、それぞれの開口に対応する濾過部２０ａを有するフィルタ体２０が接着剤等で貼着されている（図１参照）。

このキャビティユニット１は、製造工程において、ノズルプレート１１とスペーサプレート１２との２枚からなる第１サブユニット１ａと、ダンパープレート１３、マニホールドプレート１４ａ、１４ｂ、サプライプレート１５、ベースプレート１６、及びキャビティプレート１７の計６枚からなる第２サブユニット１ｂとが別個に作製された後に、これら第１サブユニット１ａと第２サブユニット１ｂとが積層接着される（図４参照）。

前記各金属製のプレート１２〜１７におけるインク供給口４７、共通インク室７、連通孔３７、貫通孔３８、接続流路４０、ダンパ室４５等の凹み形成や貫通する孔等は、エッチング加工、放電加工、プラズマ加工、レーザ加工等により形成されている。ポリイミド等の合成樹脂製で平面視ほぼ矩形薄シート状の１枚のフィルタ体２０には、レーザ加工等にて極小孔が穿設された濾過部２０ａが形成される。フィルタ体２０を金属製にする場合には、電鋳加工により形成すればよい。

一方、前記圧電アクチュエータ２は、特開平４−３４１８５３号公報等に開示された公知のものと同様に、図５に示すように１枚の厚さが３０μｍ程度の複数枚の圧電シート４１〜４３を積層した構造で、各圧電シートのうち下から所定数の偶数段目の圧電シート４２の上面（広幅面）には、前記キャビティユニット１における各圧力室３６に対応した箇所ごとに細幅の個別電極４４が長辺方向（Ｘ方向）に沿って列状に形成されている。下から所定数の奇数段目の圧電シート４１の上面（広幅面）には、複数個の圧力室３６に対して共通のコモン電極４６が形成されており、最上段のシートの上面には、積層方向に対応する前記個別電極の各々に対して電気的に接続される表面電極４８と、前記コモン電極に対して電気的に接続される表面電極とが設けられている。

公知のように個別電極４４とコモン電極４６との間に高電圧を印加することで、両電極間に位置する圧電シートの部分が分極され、活性部として形成される。また、両電極間に挟まれる部分は、静電容量を形成することとなる。

このような構成のプレート型の圧電アクチュエータ２における下面（圧力室３６と対面する広幅面）全体に、接着剤としてのインク非浸透性の合成樹脂材からなる接着剤シート（図示せず）を予め貼着し、次いで、前記キャビティユニット１に対して、圧電アクチュエータ２が、その各個別電極を前記キャビティユニット１における各圧力室３６の各々に対応させて接着、固定される。また、この圧電アクチュエータ２における上側の表面には、前記フレキシブルフラットケーブル３（図４参照）が重ね押圧されることにより、このフレキシブルフラットケーブル３における各種の配線パターン（図示せず）が、前記各表面電極４８に電気的に接合される。

このような構成において、フレキシブルフラットケーブル３を介して任意の個別電極に所定の駆動電圧、すなわち所定の電圧値を有する駆動パルスを選択的に供給すると、活性部に圧電効果による積層方向の歪みが発生する。そして、この歪みにより圧力室３６の内容積が縮小されると、インクがノズル４から液滴状に吐出して、所定の記録が行われる。従って、この駆動電圧値が異なれば、インクの吐出速度も異なることになる。

また、前記駆動電圧値を一定にした場合でも、圧電アクチュエータ２の静電容量やノズル４の径が変わると、インクの吐出速度は変化する。ノズル径は、極めて微小であるため、加工による大小のバラツキを生じ易く、また静電容量は、電極の形状や圧電素材等のバラツキによって変化し易い。

そこで、駆動電圧及びノズル径が一定のときの静電容量の相違が、インクの吐出速度に与える影響を調べた実験結果を図６（ａ）に示す。なお、以降の実験で言うノズル径は、１つのキャビティユニット１内のノズル径の平均値を意味し、静電容量は、１つの圧電アクチュエータ２における各圧力室に対応して変形する部位（活性部）の静電容量の平均値を意味するものとする。図６（ａ）に示す実験は、ノズル径が所定値となっている複数のキャビティユニット１に、静電容量が相違する圧電アクチュエータ２をそれぞれ組み合せて、同じ値の駆動電圧を印加したものである。図６（ａ）は一例として、ノズル径が２１μｍのキャビティユニット１に、静電容量が９００ｐＦ〜１０３０ｐＦ程度の圧電アクチュエータ２を組み合せた結果である。図６（ａ）のグラフから、駆動電圧及びノズル径が一定のときには、インクの吐出速度は、静電容量が大きいほど速くなり小さいほど遅くなることがわかる。

次に、駆動電圧及び静電容量が一定のときのノズル径の相違が、インクの吐出速度に与える影響を調べた実験結果を図６（ｂ）に示す。この実験は、静電容量が所定値となっている複数の圧電アクチュエータ２に、ノズル径が相違するキャビティユニット１をそれぞれ組み合せて、同じ値の駆動電圧を印加したものである。図６（ｂ）は一例として、静電容量値が９６０ｐＦの圧電アクチュエータ２に、ノズル径が２０μｍ〜２２．５μｍ程度のキャビティユニット１を組み合せた結果である。図６（ｂ）のグラフから、駆動電圧及び静電容量が一定のときには、インクの吐出速度は、ノズル径が小さいほど速くなり大きいほど遅くなることがわかる。

従って、同じ駆動電圧で同じインク吐出速度を得るためには、ノズル径が大きいキャビティユニット１と静電容量が大きい圧電アクチュエータ２とを組み合せ、ノズル径が小さいキャビティユニット１と静電容量が小さい圧電アクチュエータ２とを組み合せることが望ましい。本実施形態では、図６（ａ）及び図６（ｂ）（いずれも同じ駆動電圧）のグラフの傾きに基づいて、インクの吐出速度を同じとするときのノズル径に対する静電容量の変化率を求め、これをキャビティユニット１と圧電アクチュエータ２との組み合せ規則として定めている。ここでは、ノズル径２１μｍのキャビティユニット１と静電容量９６０ｐＦの圧電アクチュエータ２との組み合せを基準（中心）とし、この基準から（２０ｐＦ／０．５μｍ）の変化率に従って相違するノズル径と静電容量をそれぞれ有するキャビティユニット１と圧電アクチュエータ２を組み合せることを組み合せ規則としている。

製造工程において、キャビティユニット１毎のノズル径の平均値が得られ、圧電アクチュエータ毎の静電容量の平均値が得られる。そして、これらキャビティユニット１と圧電アクチュエータ２とは、前記組み合せ規則に従って、例えば、ノズル径２１．５μｍのキャビティユニット１には静電容量が９８０ｐＦの圧電アクチュエータ２が組み合せられ、ノズル径２０μｍのキャビティユニット１には静電容量が９２０ｐＦの圧電アクチュエータ２が組み合わせられる。

この組み合せ規則に従って選択されたキャビティユニット１と圧電アクチュエータ２とで形成されたインクジェットヘッド１００において、駆動電圧を一定としたときの、ノズル径の相違がインクの吐出速度に与える影響を調べた結果を図７に示す。この図７のグラフは、その近似直線の傾きが略ゼロとなっていることから、ノズル径が変わってもインクの吐出速度は略一定となることがわかる。換言すれば、キャビティユニット１と圧電アクチュエータ２とを、前記組み合せ規則に基づいて組み合せると、いずれの組み合わせでも、同じ駆動電圧で同じインク吐出速度を得ることができる。

このように、前記組み合せ規則では、前記変化率に従う範囲で、キャビティユニット１と圧電アクチュエータ２とには複数種類の組み合せが存在するから、ノズル径や静電容量値にバラツキがあっても、キャビティユニット１と圧電アクチュエータ２とを容易に組み合せることができる。

また、前記組み合せ規則では、あらかじめノズル径及び静電容量値の両方を、吐出結果に影響しない程度の幅値で複数にランク（グループ）分けしておき、ランク同士で組み合せるようにしてもよい。これにより、組み合せ規則に従ってキャビティユニット１と圧電アクチュエータ２とを選択する際に、それぞれを各ランク内から任意に取り出すことができるため、さらに容易に組み合せることができる。

また上述したインクジェットヘッド１００は、いずれも同じ駆動電圧で同じインク吐出速度を得ることができるから、インクジェットプリンタの装置本体では、ヘッドに駆動電圧を出力するための電源の設定を、ヘッド毎に変える必要がなく全て一定にできる。また、１つのインクジェットプリンタに複数のヘッドを搭載する場合でも、わざわざ同じ駆動電圧のヘッドを複数個選び出さなくても、任意に選んだヘッドで、出力する駆動電圧の設定を揃えることができる。従って、製造効率を向上し、製造コストの削減も可能となる。

本発明の第１実施形態のインクジェットヘッドの斜視図である。インクジェットヘッドの分解斜視図である。キャビティユニットの拡大分解斜視図である。図１のIV−IV線矢視拡大断面図である。図１のＶ−Ｖ線矢視拡大断面図である。（ａ）は静電容量の変化がインクの吐出速度に与える影響を示す図、（ｂ）はノズル径の変化がインクの吐出速度に与える影響を示す図である。組み合せ規則に従ったインクジェットヘッドの場合のノズル径の変化がインクの吐出速度に与える影響を示す図である。

符号の説明

１キャビティユニット
２圧電アクチュエータ
３フレキシブルフラットケーブル
４ノズル
７共通インク室
１１ノズルプレート
１２スペーサプレート
１３ダンパープレート
１４ａ、１４ｂマニホールドプレート
１５サプライプレート
１６ベースプレート
１７キャビティプレート
３６圧力室
４１〜４３圧電シート
４４個別電極
４５ダンパ室
４６コモン電極
４７インク供給口
４８表面電極
１００インクジェットヘッド

Claims

複数個のノズル及びこの各ノズル毎の圧力室を備えたキャビティユニットと、前記各圧力室を選択的に駆動して前記ノズルからインクを吐出させる圧電アクチュエータとを備えるインクジェットヘッドの製造方法において、
キャビティユニットのノズル径と圧電アクチュエータの静電容量値との組み合せに基づいて、所定駆動電圧で所定速度のインクを吐出するためのキャビティユニットと圧電アクチュエータとの組み合わせ規則をあらかじめ定める工程と、
キャビティユニット毎の複数個のノズルの平均のノズル径と、圧電アクチュエータ毎の各圧力室に対応して変形する部位の平均の静電容量値とを、それぞれ測定する工程と、
前記組み合せ規則に基づいて、対応する前記平均のノズル径と前記平均の静電容量値とをそれぞれ有するキャビティユニットと圧電アクチュエータとを選択し組み合わせる工程とを備えることを特徴とするインクジェットヘッドの製造方法。
前記組み合せ規則は、キャビティユニットの前記平均のノズル径及び圧電アクチュエータの前記平均の静電容量値を、それぞれ複数のランクに分類し、ランク同士の組み合せを定めていることを特徴とする請求項１に記載のインクジェットヘッドの製造方法。
前記組み合せ規則は、所定駆動電圧で所定速度のインクを吐出するためのキャビティユニットの前記平均のノズル径と圧電アクチュエータの前記平均の静電容量値との組み合せを複数有することを特徴とする請求項１または２に記載のインクジェットヘッドの製造方法。
複数個のノズル及びこの各ノズル毎の圧力室を備えたキャビティユニットと、前記各圧力室を選択的に駆動して前記ノズルからインクを吐出させる圧電アクチュエータとを備えるインクジェットヘッドにおいて、キャビティユニット毎の複数個のノズルの平均のノズル径と圧電アクチュエータ毎の各圧力室に対応して変形する部位の平均の静電容量値との組み合せに基づいてあらかじめ定められた、所定駆動電圧で所定速度のインクを吐出するためのキャビティユニットと圧電アクチュエータとの組み合わせ規則に従って、
それに対応する前記平均のノズル径と前記平均の静電容量値をそれぞれ有するキャビティユニットと圧電アクチュエータとが選択的に組み合わされていることを特徴とするインクジェットヘッド。