JP6357968B2 - 液体噴射装置及び電極位置決定方法 - Google Patents

Description

本発明は、ノズルから液体を噴射する液体噴射装置、及び、液体噴射装置において電極の位置を決定する電極位置決定方法に関する。

ノズルから液体を噴射する液体噴射装置として、特許文献１には、ノズルからインクを噴射するインクジェットヘッドが記載されている。特許文献１に記載のインクジェットヘッドは、キャビティユニットと圧電アクチュエータとを備えている、キャビティユニットは、記録用紙の配列方向に配列された複数の圧力室を有している。圧電アクチュエータは、キャビティユニットの上面に互いに積層されて配置された３つの圧電材料層と、常時第１の定電位が付与される第１の定電位電極と、常時第２定電位が付与される第２定電位電極と、個別電極とを備えている。第１定電位電極は、３枚の圧電材料層のうち、中央の圧電材料層と上側の圧電材料層との間の、圧力室の中央部と重なる部分に配置されている。第２定電位電極は、３枚の圧電材料層のうち下側の圧電材料層と中央の圧電材料層との間の、記録用紙の搬送方向における圧力室の両端部と重なる部分に配置されている。個別電極は、３枚の圧電材料層のうち上側の圧電材料層の上面の圧力室と重なる部分に、第１定電位電極及び第２定電位電極の両方と重なっている。また、上側の圧電材料層の第１定電位電極と個別電極とに挟まれた部分は厚み方向の上向きに分極されている。また、上側及び中央の圧電材料層の第２定電位電極と個別電極とに挟まれた部分は、厚み方向の下向きに分極されている。

そして、個別電極に第１の定電位が付与されると、圧電材料層の個別電極と第２定電位電極とに挟まれた部分に、分極方向と平行な厚み方向下向きの電界が発生する。これにより、圧電材料層のこの部分が面方向に収縮し、圧電アクチュエータの圧力室と重なる部分が、圧力室と反対側に撓む。一方、個別電極に第２の定電位が付与されると、圧電材料層の個別電極と第１定電位電極とに挟まれた部分に、分極方向と平行な厚み方向上向きの電界が発生する。これにより、圧電材層層のこの部分が面方向に収縮し、圧電アクチュエータの圧力室と重なる部分が、圧力室側に撓む。

そして、個別電極に付与する電位を第１の定電位と第２の定電位との間で切り替えて圧電アクチュエータを駆動すると、圧電層の個別電極と第１定電位電極とに挟まれた部分が面方向に収縮するときに、圧電層の個別電極と第２定電位電極とに挟まれた部分が収縮前の状態に面方向に伸長する。また、圧電層の個別電極と第２定電位電極とに挟まれた部分が面方向に収縮するときに、圧電層の個別電極と第１定電位電極とに挟まれた部分が収縮前の状態に面方向に伸長する。このとき、圧電層の個別電極と第１定電位電極とに挟まれた部分、及び、圧電層の個別電極と第２定電位電極とに挟まれた部分のうち、一方の部分の面方向の収縮が、他方の部分の面方向の伸長によって相殺される。これにより、圧電層のある圧力室と重なる部分の変形が、圧電層の隣接する圧力室と重なる部分の変形に影響を与える、いわゆるクロストークを抑制することができる。

特開２０１１−５１１２１号公報

ここで、特許文献１に記載されているようなインクジェットヘッドでは、通常、個別電極を第１の定電位にしたときの、圧電アクチュエータの圧力室と反対側への撓みが、個別電極を第２の定電位にしたときの、圧電アクチュエータの圧力室側への撓みよりも小さい。このとき、圧電アクチュエータの、圧力室側の撓みと、圧力室と反対側への撓みとの差が大きすぎると、クロストークの抑制の効果を十分に得られない虞がある。

一方で、特許文献１では、記録用紙の搬送方向において、第１定電位電極の端部と第２定電位電極の端部とが重なっている。しかしながら、第１定電位電極と第２定電位電極との間の電位差による下側の圧電層の変形の抑制や、第１定電位電極と第２定電位電極との間の絶縁性の確保などの観点から、第１定電位電極と第２定電位電極とは、記録用紙の搬送方向に隙間をあけて配置されていることが好ましい。ただし、この場合には、第１定電位電極と第２定電位電極とが重なっている場合と比較して、第１定電位電極及び第２定電位電極のうち、少なくとも一方の電極と個別電極とが対向する面積が小さくなってしまい、個別電極を第１の定電位と第２の定電位との間で切り替えたときの、圧電アクチュエータの撓みが小さくなってしまう虞がある。

本発明の目的は、圧電アクチュエータの撓みの減少を極力抑えつつ、クロストークを確実に抑制することが可能な液体噴射装置、及び、液体噴射装置における電極位置決定方法を提供することである。

本発明に係る液体噴射装置は、液体を噴射するためのノズルと連通し、一方向に配列された複数の圧力室を有する流路ユニットと、前記複数の圧力室内の液体に圧力を付与するための圧電アクチュエータと、を備え、前記圧電アクチュエータは、前記複数の圧力室にまたがって連続的に延びた圧電層と、前記圧電層の前記圧力室の中央部と重なる部分に配置された第１電極と、前記圧電層の前記圧力室と重なる部分のうち、前記一方向における前記第１電極よりも外側の部分に配置された第２電極と、を備え、前記第１電極と前記第２電極とは、前記一方向に隙間をあけて配置され、前記隙間の中心は、前記一方向において、前記圧電層の前記圧力室の中央の領域と重なる領域である所定領域に位置し、前記所定領域は、前記所定領域全体に厚み方向の電界を発生させたときに、前記圧電アクチュエータの前記圧力室側への撓みが最大となる領域のである。

本発明に係る電極位置決定方法は、液体を噴射するためのノズルと連通し、一方向に配列された複数の圧力室を有する流路ユニットと、前記複数の圧力室内の液体に圧力を付与するための圧電アクチュエータと、を備え、前記圧電アクチュエータは、前記複数の圧力室にまたがって連続的に延びた圧電層と、前記圧電層の前記圧力室の中央部と重なる部分に配置された第１電極と、前記圧電層の前記圧力室と重なる部分のうち、前記一方向における前記第１電極よりも外側の部分に配置された第２電極と、を備えた液体噴射装置において、前記第１電極及び前記第２電極の位置を決定する電極位置決定方法であって、前記第１電極と前記第２電極とが、前記一方向に隙間をあけて配置され、且つ、前記隙間の中心が、前記一方向において、前記圧電層の前記圧力室の中央の領域と重なる領域である所定領域に位置するように、前記第１電極及び前記第２電極の位置を決定し、前記所定領域は、前記所定領域全体に厚み方向に電界を発生させたときに、前記圧電アクチュエータの前記圧力室側への撓みが最大となる領域である。

第１電極と第２電極とが圧電層の同じ面に配置される場合には、第１電極と第２電極との間に隙間を設ける必要がある。また、第１電極と第２電極とが圧電層の異なる面に配置されている場合でも、電極間の絶縁信頼性の確保などの観点から、第１電極と第２電極との間に隙間があることが好ましい。

一方で、複数の圧力室が一方向に配列され、且つ、圧電層がこれら複数の圧力室にまたがって連続的に延びている場合、圧電層のある圧力室と重なる部分の変形が、圧電アクチュエータの隣接する圧力室と重なる部分の撓みに影響を与える、いわゆるクロストークが発生する虞がある。本発明では、第１電極を用いて圧電層に電界を発生させて圧電アクチュエータを圧力室側に撓ませた状態と、第２電極を用いて圧電層に電界を発させて圧電アクチュエータを圧力室と反対側に撓ませた状態とを切り替える際に、圧電層の第１電極と重なる部分及び第２電極と重なる部分のうち、一方の部分が収縮し、他方の部分が収縮前の状態に伸長する。これにより、上記一方の部分の収縮と、上記他方の部分の伸長とが相殺され、クロストークを抑制することができる。ただし、第１電極が圧力室の中央部と重なり、第２電極が圧力室の第１電極と重なる部分よりも外側の部分と重なるような圧電アクチュエータでは、圧力室側への撓みが、圧力室と反対側への撓みよりも大きくなる。このとき、圧力室側への撓みと、圧力室と反対側への撓みとの差が大きいと、クロストークの抑制効果は小さくなってしまう。

そこで、本発明では、第１電極と第２電極との隙間の中心が、一方向において、圧電層の圧力室の中央の領域と重なる所定領域に位置するように、第１電極及び第２電極を配置している。ここで、所定領域とは、所定領域全体に厚み方向の電界を発生させたときの、圧電アクチュエータの圧力室側への撓みが最も大きくなる領域のことである。これにより、上記隙間の中心が、一方向における所定領域よりも外側に位置している場合と比較して、圧電アクチュエータの圧力室側への撓みと圧力室と反対側への撓みとの差を小さくすることができる。これにより、クロストークを確実に抑制することができる。

また、本発明では、上記隙間の中心が、一方向における所定領域よりも外側に位置している場合と比較して、圧電アクチュエータの圧力室側への撓みが小さくなる。しかしながら、上述したように、圧電アクチュエータは、圧力室側への撓みが圧力室と反対側への撓みよりも大きい。そのため、上記隙間の中心が、一方向における所定領域に位置するようにした場合には、上記隙間の中心が、一方向における所定領域よりも外側に位置するようにした場合と比較して、隙間を形成することによる圧電アクチュエータの撓みへの影響を小さくすることができる。

第１実施形態に係るプリンタの概略構成図である。 図１のインクジェットヘッドの平面図である。 図２のIII−III線断面図である。 図２のVI−IV線断面図である。 （ａ）が第１実施形態との比較例を示す図４相当の図であり、（ｂ）が（ａ）とは別の比較例を示す図４相当の図である。 （ａ）が第１実施形態における圧力室の長さと所定領域の長さとの関係を示す表であり、（ｂ）が（ａ）の関係を、横軸を圧力室の長さ、縦軸を所定領域の長さとする平面上に示した図である。 第２実施形態に係るインクジェットヘッドの平面図である。 （ａ）が下側圧電層の上面図であり、（ｂ）が中間圧電層の上面図であり、（ｃ）が上側圧電層の上面図である。 図２のIX−IX線断面図である。 図２のＸ−Ｘ線断面図である。 （ａ）が第２実施形態との比較例を示す図１０相当の図であり、（ｂ）が（ａ）とは別の比較例を示す図１０相当の図である。 （ａ）が第２実施形態における圧力室の長さと所定領域の長さとの関係を示す表であり、（ｂ）が（ａ）の関係を、横軸を圧力室の長さ、縦軸を所定領域の長さとする平面上に示した図である。 （ａ）が変形例１の図１０相当の図であり、（ｂ）が変形例２の図１０相当の図である。 （ａ）が変形例３の図１０相当の図であり、（ｂ）が変形例４の図１０相当の図である。

［第１実施形態］
以下、本発明の好適な第１実施形態について説明する。

（プリンタ）
図１に示すように、第１実施形態に係るプリンタ１は、キャリッジ２、インクジェットヘッド３、搬送ローラ４などを備えている。キャリッジ２は、走査方向に延びた２本のガイドレール５に支持され、ガイドレール５に沿って走査方向に往復移動する。なお、以下では、図１に示すように、走査方向の右側及び左側を定義して説明を行う。

インクジェットヘッド３は、キャリッジ２に搭載され、その下面に形成された複数のノズル１５からインクを噴射する。搬送ローラ４は、走査方向と直交する搬送方向におけるキャリッジ２の両側に配置され、記録用紙Ｐを搬送方向に搬送する。

そして、プリンタ１では、搬送ローラ４により記録用紙Ｐを搬送方向に搬送させつつ、キャリッジ２とともに走査方向に往復移動するインクジェットヘッド３からインクを噴射させることによって、記録用紙Ｐに印刷を行う。

（インクジェットヘッド）
インクジェットヘッド３は、図２〜図４に示すように、複数のノズル１５や、複数のノズル１５に連通する複数の圧力室１０等のインク流路を有する流路ユニット２１と、圧力室１０内のインクに圧力を付与する圧電アクチュエータ２２とを備えている。

＜流路ユニット＞
流路ユニット２１は、４枚のプレート３１〜３４が積層されることによって形成されている。４枚のプレート３１〜３４のうち、上側３枚のプレート３１〜３３は、ステンレスなどの金属材料からなる。プレート３４は、ポリイミドなどの合成樹脂材料からなる。あるいは、プレート３４も、プレート３１〜３３と同様の金属材料によって構成されていてもよい。

プレート３１には、複数の圧力室１０が形成されている。圧力室１０は、走査方向を長手方向とする略楕円形状を有し、搬送方向の長さＸが２５０〜４００［μｍ］程度となっている。複数の圧力室１０は、搬送方向に配列されることによって圧力室列９を形成している。プレート３１には、４つの圧力室列９が走査方向に配列されている。プレート３２には、複数の圧力室１０の左側の端部と重なる部分に略円形の複数の貫通孔１２が形成されている。また、プレート３２には、複数の圧力室１０の右側の端部と重なる部分に、略円形の複数の貫通孔１３が形成されている。

プレート３３には、４つのマニホールド流路１１が形成されている。４つのマニホールド流路１１は、４つの圧力室列９に対して設けられたものであり、搬送方向に延び、対応する圧力室列９の右端部を除く部分と重なっている。４つのマニホールド流路１１には、右側に配置されたものから順に、搬送方向における下流側の端部に設けられたインク供給口８からブラック、イエロー、シアン、マゼンタのインクが供給される。また、プレート３３には、複数の貫通孔１３と重なる部分に、略円形の複数の貫通孔１４が形成されている。プレート３４には、複数の貫通孔１４と重なる部分に複数のノズル１５が形成されている。

＜圧電アクチュエータ＞
圧電アクチュエータ２２は、インク分離層４０、圧電層４１、４２、共通電極４３、複数の第１駆動電極４４、複数の第２駆動電極４５などを備えている。インク分離層４０は、ステンレスなどの金属材料からなり、流路ユニット２１の上面に、複数の圧力室１０を覆うように配置されている。インク分離層４０は、圧力室１０内のインクが、圧電層４１に接触してしまうのを防止するためのものである。また、インク分離層４０の厚みは、例えば、１０［μｍ」程度である。

圧電層４１は、チタン酸鉛とジルコン酸鉛との混晶であるチタン酸ジルコン酸鉛を主成分とする圧電材料からなり、インク分離層４０の上面に配置され、複数の圧力室１０にまたがって連続的に延びている。また、圧電層４１の厚みは、例えば、１５［μｍ］程度である。ここで、圧電層４１は、後述の共通電極４３とインク分離層４０とを絶縁するためのものである。圧電層４２は、圧電層４１と同様の圧電材料からなり、圧電層４１の上面に配置されている。また、圧電層４２の厚みは、例えば、１８［μｍ］程度である。

共通電極４３は、圧電層４１と圧電層４２との間のほぼ全域にわたって延びている。共通電極４３は、常にグランド電位に保持されている。複数の第１個別電極４４は、複数の圧力室１０に対して個別に設けられている。第１個別電極４４は、搬送方向における圧力室１０の中央部と重なるように配置されている。また、第１個別電極４４は、左側に圧力室１０と重ならない部分まで延び、その先端部が接続端子４４ａとなっている。接続端子４４ａには図示しない配線部材を介して図示しないドライバＩＣが接続されている。これにより、複数の第１個別電極４４には、ドライバＩＣにより個別に、グランド電位、及び、例えば２０Ｖ程度の駆動電位のうち、いずれかの電位が選択的に付与される。

複数の第２個別電極４５は、複数の圧力室１０に対して個別に設けられている。第２個別電極４５は、２つの重なり部４５ａと連結部４５ｂとを備えている。２つの重なり部４５ａは、搬送方向における圧力室１０の上流側の端部及び下流側の端部と重なっている。また、第１個別電極４４と、各重なり部４５ａは、搬送方向に隙間４６をあけて配置されている。隙間４６の位置については、後程詳細に説明する。連結部４５ｂは、搬送方向に延びて、２つの重なり部４５ａの右端部同士を連結させている。連結部４５ｂには、図示しない配線部材を介して図示しないドライバＩＣに接続されている。そして、複数の第２個別電極４５には、ドライバＩＣにより個別に、グランド電位、及び、上記駆動電位のうち、いずれかの電位が選択的に付与される。

また、共通電極４３、複数の第１個別電極４４及び複数の第２個別電極４５が上記のように配置されているのに対応して、圧電層４２の、共通電極４３と各第１個別電極４４とに挟まれた第１活性部Ｔ１、及び、共通電極４３と各第２個別電極４５とに挟まれた第２活性部Ｔ２は、厚み方向の下向きに分極されている。

（圧電アクチュエータの駆動方法）
ここで、圧電アクチュエータ２２の駆動方法について説明する。圧電アクチュエータ２２では、予め、複数の第１個別電極４４が駆動電位に保持され、複数の第２個別電極４５がグランド電位に保持されている。この状態では、第１個別電極４４と共通電極４３との電位差により、第１活性部Ｔ１に分極方向と平行な厚み方向下向きの電界が発生し、第１活性部Ｔ１が分極方向と直交する面方向に収縮している。これにより、圧電層４１、４２及びインク分離層４０の圧力室１０と重なる部分が全体として、圧力室１０側に撓んでいる。

あるノズル１５からインクを噴射させるときには、まず、このノズル１５に対応する第１個別電極４４の電位をグランド電位に切り替えるとともに、このノズル１５に対応する第２個別電極４５の電位を駆動電位に切り替える。すると、第１個別電極４４と共通電極４３とが同電位となることにより、第１活性部Ｔ１が収縮前の状態に伸長する。また、第２個別電極４５と共通電極４３との電位差により、第２活性部Ｔ２に分極方向と平行な厚み方向下向きの電界が発生し、この電界により第２活性部Ｔ２が面方向に収縮する。これらのことから、圧電層４１、４２及びインク分離層４０の圧力室１０と重なる部分が全体として、圧力室１０と反対側に撓む。これにより、圧力室１０の容積が増大して、圧力室１０内のインクの圧力が低下し、マニホールド流路１１から圧力室１０にインクが流れ込む。ただし、このときの圧力室１０と反対側への撓みは、第１個別電極４４が駆動電位に保持され、第２駆動電極４５がグランド電位に保持されているときの、圧力室１０側への撓みよりも小さくなっている。

また、このときには、第１活性部Ｔ１の伸長と第２活性部Ｔ２の収縮とが相殺されることにより、圧電層４２の圧力室１０と重なる部分の変形が、圧電層４２の搬送方向に隣接する圧力室１０と重なる部分の変形に影響を与える、いわゆるクロストークを抑制することができる。

そして、所定時間経過後、第１個別電極４４を駆動電位に戻すとともに、第２個別電極４５をグランド電位に戻す。すると、第１活性部Ｔ１が収縮し、第２活性部Ｔ２が収縮前の状態に伸長することにより、圧電層４１、４２、インク分離層４０の圧力室１０と重なる部分が全体として圧力室１０側に撓む。これにより、圧力室１０の容積が減少して、圧力室１０内のインクの圧力が増大し、圧力室１０に連通するノズル１５からインクが噴射される。そして、このときには、第１活性部Ｔ１の収縮と第２活性部Ｔ２の伸長とが相殺される。これにより、クロストークを抑制することができる。

（隙間の位置）
次に、第１個別電極４４と第２個別電極４５との間の隙間４６の位置について説明する。隙間４６の位置は、圧電層４２の所定領域Ｒａの位置に応じて決められている。ここで、所定領域Ｒａは、圧電層４２の圧力室１０中央の領域と重なり、所定領域Ｒａ全体に厚み方向の電界を発生させたときに、圧電アクチュエータ２２の圧力室１０側への撓みが最大となるような領域である。すなわち、所定領域Ｒａは、圧電層４２の、厚み方向の電界を発生させたときに、圧電アクチュエータ２２を圧力室１０側に撓ませることに寄与する領域である。一方、圧電層４２の圧力室１０と重なる部分のうち、所定領域Ｒａよりも外側の領域は、厚み方向の電界を発生させたときに、圧電アクチュエータ２２を圧力室１０と反対側に撓ませることに寄与する領域となる。圧電層４２の所定領域Ｒａの位置は、搬送方向における圧力室１０の長さ、インク分離層４０及び圧電層４１、４２の厚みや材質など、インクジェットヘッド３の構造が決まれば１つに決まるものである。なお、図４では、所定領域Ｒａに、直線同士が交差するハッチングを付している。

そして、第１実施形態では、搬送方向における第１個別電極４４の端が、搬送方向における所定領域Ｒａの端よりも内側に位置している。また、搬送方向における重なり部４５ａの第１個別電極４４側の端が、搬送方向における所定領域Ｒａの端と重なっている。これにより、隙間４６は、搬送方向における中心４６ａを含めた全体が、所定領域Ｒａに位置している。

圧電アクチュエータ２２では、第１個別電極４４と第２個別電極４５とが、圧電層４２の上面に配置されている。そのため、搬送方向において、第１個別電極４４と第２個別電極４５の重なり部４５ａとの間に隙間４６を設ける必要がある。このとき、本発明とは異なり、隙間４６の中心４６ａを、搬送方向における所定領域Ｒａの外側に位置させることも可能である。例えば、図５（ａ）に示すように、中心４６ａを含めた隙間４６全体を搬送方向における所定領域Ｒａの外側に位置させることも可能である。あるいは、図５（ｂ）に示すように、隙間４６を、一部分を搬送方向における所定領域Ｒａの外側に位置させることにより、中心４６ａを所定領域Ｒａの外側に位置させることも可能である。

しかしながら、これらの場合には、第１実施形態の場合と比較して、第１個別電極４４と共通電極４３とが対向する面積が大きくなり、第２個別電極４５と共通電極４３とが対向する面積が小さくなる。そのため、第１実施形態の場合と比較して、圧電アクチュエータ２２の圧力室１０側への撓みが大きくなり、圧力室１０と反対側への撓みが小さくなる。上述したように、圧電アクチュエータ２２は、元々、圧力室１０側への撓みが圧力室１０と反対側への撓みよりも大きい。そのため、これらの場合には、圧電アクチュエータ２２の圧力室１０側への撓みと、圧力室１０と反対側への撓みとの差が、大きくなってしまう。圧電アクチュエータ２２の圧力室１０側への撓みと、圧力室１０と反対側への撓みとの差が大きくなりすぎると、圧電アクチュエータ２２の駆動時に、第１活性部Ｔ１及び第２活性部Ｔ２のうち、一方の活性部の収縮と他方の活性部の伸長とが十分に相殺されず、クロストークを十分に抑制することができない虞がある。

これに対して、第１実施形態では、中心４６ａを含めた隙間４６全体が所定領域Ｒａに位置している、したがって、隙間４６の中心４６ａが搬送方向における所定領域Ｒａの外側に位置している場合と比較して、圧電アクチュエータ２２の圧力室１０側への撓みが小さくなり、圧力室１０と反対側への撓みが大きくなる。そのため、第１実施形態では、隙間４６の中心４６ａが搬送方向における所定領域Ｒａの外側に位置している場合と比較して、圧電アクチュエータ２２の圧力室１０側への撓みと、圧力室１０と反対側への撓みとの差を小さくすることができる。これにより、圧電アクチュエータ２２の駆動時に、第１活性部Ｔ１及び第２活性部Ｔ２のうち、一方の活性部の収縮と他方の活性部の伸長とが十分に相殺され、クロストークを確実に抑制することができる。

また、隙間４６全体が所定領域Ｒａに位置している場合には、隙間４６の中心４６ａが搬送方向における所定領域Ｒａの外側に位置している場合と比較して、圧電アクチュエータ２２の圧力室１０側への撓みが小さくなる。しかしながら、圧電アクチュエータ２２は、元々、圧力室１０側への撓みが、圧力室１０と反対側への撓みよりも大きい。したがって、圧電アクチュエータ２２の圧力室１０側への撓みが小さくなることは、圧電アクチュエータ２２の圧力室１０と反対側への撓みが小さくなることよりも、圧電アクチュエータ２２の撓みに与える影響が小さい。一方、搬送方向における重なり部４５ａの端を、搬送方向における所定領域Ｒａの端と重なるように配置した場合には、圧電層４２の所定領域Ｒａよりも外側の領域における第２個別電極４５と共通電極４３とが重なる面積が最大となり、且つ、第２個別電極４５が所定領域Ｒａと重ならない。したがって、圧電アクチュエータ２２の、圧力室１０と反対側への撓みを極力大きくすることができる。

（所定領域の位置の特定方法）
次に、所定領域Ｒａの位置を特定する方法について説明する。第１実施形態の圧電アクチュエータ２２では、搬送方向における圧力室１０の長さＸが、２５０［μｍ］以上且つ４００［μｍ］以下である場合には、長さＹａ［μｍ］を、Ｙａ＝（０．７２・Ｘ＋１１）／２によって算出される長さとし、搬送方向において、圧力室１０の中央の領域と重なり、且つ、搬送方向における両端の位置が、搬送方向における圧力室１０の中心１０ａからＹａ［μｍ］だけ搬送方向に離れている領域を所定領域Ｒａとして特定する。

ここで、図６（ａ）は、搬送方向における圧力室１０の長さＸ［μｍ］と、所定領域Ｒａの長さＺａ（＝２・Ｙａ）［μｍ］との関係を示す図である。なお、図６（ａ）は、インク分離層４０の厚みが１０［μｍ］、圧電層４１の厚みが１５［μｍ］、圧電層４２の厚みが１８［μｍ］であり、所定領域Ｒａが搬送方向において圧力室１０の中心１０ａに対称であるとした場合の、搬送方向における圧力室１０の長さＸと、所定領域Ｒａの長さＺａ［μｍ］との関係を示している。

そして、横軸を長さＸ［μｍ］、縦軸を長さＺａ［μｍ］とする平面上に、図６（ａ）の関係を図示すると、図６（ｂ）に示すようになる。図６（ｂ）の結果から、圧力室１０の長さＸ［μｍ］が２５０［μｍ］以上且つ４００［μｍ］以下の範囲では、長さＸ［μｍ］と長さＺａ［μｍ］とがほぼ一次比例することがわかる。そして、図６（ａ）の結果を最小二乗法などによって一次近似した直線Ｌａは、Ｚａ＝０．７２・Ｘ＋１１の関係を満たす直線となる。したがって、上述したように、長さＹａ（＝Ｚａ／２）［μｍ］を算出し、その算出結果に基づいて所定領域Ｒａの位置を特定すれば、所定領域Ｒａの位置を正確に特定することができる。また、このようにして、所定領域Ｒａの位置を特定すれば、所定領域Ｒａの位置を容易に特定することができる。

なお、第１実施形態では、圧電層４２が、本発明の圧電層に相当する。また、第１個別電極４４が本発明の第１電極に相当し、第２個別電極４５が本発明の第２電極に相当する。また、第１実施形態では、搬送方向が、本発明の一方向に相当する。

［第２実施形態］
次に、本発明の好適な第２実施形態について、説明する。ただし、第２実施形態は、第１実施形態の圧電アクチュエータ２２を、次に説明する圧電アクチュエータ１２２に置き換えたものであるため、以下では、主に圧電アクチュエータ１２２の構成について説明する。

（圧電アクチュエータ）
図７〜図１０に示すように、第２実施形態の圧電アクチュエータ１２２は、インク分離層１４０、下部圧電層１４１、中間圧電層１４２、上部圧電層１４３、第１定電位電極１４４、第２定電位電極１４５、複数の個別電極１４６等を備えている。

インク分離層１４０は、インク分離層４０（図３参照）と同様、ステンレスなどの金属材料からなり、流路ユニット２１の上面に配置され、複数の圧力室１０を覆っている。インク分離層１４０の厚みは、例えば、１０［μｍ］程度である。圧電層１４１〜１４３は、圧電層４１、４２（図３参照）と同様の圧電材料からなる。下部圧電層１４１は、インク分離層１４０の上面に、複数の圧力室１０にまたがって連続的に延びている。圧電層１４１の厚みは、例えば、１４［μｍ］程度である。ここで、圧電層１４１は、後述の第２定電位電極１４５とインク分離層４０とを絶縁するためのものである。中間圧電層１４２は、下部圧電層１４１の上面に配置されている。また、中間圧電層１４２の厚みは、例えば、１８［μｍ］程度である。上部圧電層１４３は、中間圧電層１４２の上面に配置されている。上部圧電層１４３の厚みは、例えば、１８［μｍ］程度である。

第１定電位電極１４４は、中間圧電層１４２と上部圧電層１４３との間に配置されている。第１定電位電極１４４は、複数の重なり部１４４ａと、４つの連結部１４４ｂと、連結部１４４ｃと、引出部１４４ｄとを有している。重なり部１４４ａは、複数の圧力室１０に対して個別に設けられ、搬送方向における圧力室１０の中央部と重なっている。４つの連結部１４４ｂは、４つの圧力室列９に対応して設けられており、搬送方向に延びて各圧力室列９に対応する複数の重なり部１４４ａの右側の端部同士を連結している。連結部１４４ｃは、走査方向に延びて、４つの連結部１４４ｂの搬送方向下流側の端部同士を連結させている。引出部１４４ｄは、連結部１４４ｃ左端部に接続され、連結部１４４ｃとの接続部から搬送方向に延びている。引出部１４４ｄは、上部圧電層１４３に形成されたスルーホール１３９ａを介して上部圧電層１４３の上面に引き出され、上部圧電層１４３の上面に形成された表面電極１４８と接続されている。表面電極１４８は、図示しない配線部材を介して図示しないドライバＩＣに接続されている。そして、第１定電位電極１４４は、ドライバＩＣにより、常に、例えば２０Ｖ等、所定の駆動電位に保持されている。

第２定電位電極１４５は、下部圧電層１４１と中間圧電層１４２との間に配置されている。第２定電位電極１４５は、複数の重なり部１４５ａと、４つの連結部１４５ｂと、連結部１４５ｃと、引出部１４５ｄとを有している。複数の重なり部１４５ａは、搬送方向における複数の圧力室１０の両端部と重なるように配置されている。また、第２定電位電極１４５の重なり部１４５ａは、第１定電位電極１４４の重なり部１４４ａと、搬送方向に隙間１４７をあけて配置されている。隙間１４７の位置については、後程詳細に説明する。４つの連結部１４５ｂは４つの圧力室列９に対応して設けられており、搬送方向に延びて、各圧力室列９に対応する複数の重なり部１４５ａの左側の端部同士を連結している。連結部１４５ｃは、走査方向に延びて、４つの連結部１４５ｂの搬送方向における上流側の端部同士を接続させている。引出部１４５ｄは、接続部１４５ｃの左端部から搬送方向の下流側に延びている。引出部１４５ｄは、中間圧電層１４２及び上部圧電層１４３にまたがって延びたスルーホール１３９ｂを介して上部圧電層１４３の上面に引き出され、上部圧電層１４３の上面に配置された表面電極１４９に接続されている。表面電極１４９は、図示しない配線部材を介して、図示しない電源に接続されている。そして、第２定電位電極１４５は、図示しない電源によって常にグランド電位に保持されている。

複数の個別電極１４６は、複数の圧力室１０に対して個別に設けられている。個別電極１４６は、圧力室１０のほぼ全体と重なっており、第１定電位電極１４４の重なり部１４４ａ及び第２定電位電極１４５の重なり部１４５ａの両方と重なっている。また、個別電極１４６の左端部には、圧力室１０よりも重ならない位置まで延びた接続端子１４６ａが設けられている。接続端子１４６ａは、図示しない配線部材を介して図示しないドライバＩＣに接続されている。そして、複数の個別電極１４６には、ドライバＩＣにより個別に、グランド電位、及び、上記駆動電位のうち、いずれかの電位が選択的に付与される。

また、第１定電位電極１４４、第２定電位電極１４５及び複数の個別電極１４６がこのように配置されているのに対応して、上部圧電層１４３の個別電極１４６と第１定電位電極１４４の重なり部１４４ａとに挟まれた第１活性部Ｓ１が、厚み方向の上向きに分極されている。また、中間圧電層１４２及び上部圧電層１４３の、個別電極１４６と第２定電位電極１４５の重なり部１４５ａとに挟まれた第２活性部Ｓ２が、厚み方向の下向きに分極されている。

（圧電アクチュエータの駆動方法）
次に、圧電アクチュエータ１２２の駆動方法について説明する。圧電アクチュエータ１２２では、予め、全ての個別電極１４６がグランド電位に保持されている。この状態では、個別電極１４６と第１定電位電極１４４との電位差により、第１活性部Ｓ１に、分極方向と平行な厚み方向上向きの電界が発生している。これにより、上部圧電層１４３の上記部分が面方向に収縮し、圧電層１４１〜１４３、インク分離層１４０の圧力室１０と重なる部分が全体として、圧力室１０側に撓んでいる。

あるノズル１５からインクを噴射させるときには、まず、そのノズル１５に対応する個別電極１４６の電位を上記駆動電位に切り替える。すると、個別電極１４６が第１定電位電極１４４と同電位となり、第１活性部Ｓ１が収縮前の状態に伸長する。一方、個別電極１４６と第２定電位電極１４５との電位差により、第２活性部Ｓ２に分極方向と平行な厚み方向下向きの電界が発生し、第２活性部Ｓ２が面方向に収縮する。これにより、圧電層１４１〜１４３及びインク分離層１４０の圧力室１０と重なる部分が、全体として圧力室１０と反対側に撓む。その結果、圧力室１０の容積が増大して圧力室１０内のインクの圧力が低下し、圧力室１０にマニホールド流路１１側からインクが供給される。ただし、このときの圧力室１０と反対側への撓みは、個別電極１４６が駆動電位に保持されているときの、圧力室１０側への撓みよりも小さくなっている。また、このときには、第１活性部Ｓ１の伸長と第２活性部Ｓ２の収縮とが相殺されることにより、クロストークを抑制することができる。

そして、所定時間経過後、個別電極１４６の電位をグランド電位に戻す。すると、上述したように、第１活性部Ｓ１が面方向に収縮し、第２活性部Ｓ２が収縮前の状態に伸長する。これにより、圧電層１４１〜１４３及びインク分離層１４０の圧力室１０と重なる部分が、全体として圧力室１０側に撓む。その結果、圧力室１０の容積が減少して圧力室１０内のインクの圧力が増大し、圧力室１０に連通するノズル１５からインクが噴射される。そして、このときには、第１活性部Ｓ１の収縮と第２活性部Ｓ２の伸長とが相殺され、クロストークを抑制することができる。

（隙間の位置）
次に、第１定電位電極１４４の重なり部１４４ａと第２定電位電極１４５の重なり部１４５ａとの間の隙間１４７の位置について説明する。隙間１４７の位置は、圧電層１４２、１４３の所定領域Ｒｂの位置に応じて決められている。ここで、所定領域Ｒｂは、上部圧電層、１４２、１４３の圧力室１０の中央の領域と重なり、所定領域Ｒｂ全体に厚み方向の電界を発生させたときに、圧電アクチュエータ１２２の圧力室１０側への撓みが最大となる領域である。所定領域Ｒｂの位置は、搬送方向における圧力室１０の長さ、インク分離層１４０及び圧電層１４１〜１４３の厚みや材質など、インクジェットヘッド３の構造が決まれば１つに決まるものである。

そして、第１定電位電極１４４は、搬送方向における重なり部１４４ａの端が、搬送方向における所定領域Ｒｂの端よりも内側に位置するように配置されている。また、第２定電位電極１４５は、搬送方向における重なり部１４５ａの重なり部１４４ａ側の端が、搬送方向における所定領域Ｒｂの端と重なっている。これにより、隙間１４７は、搬送方向における中心１４７ａを含めた全体が、所定領域Ｒｂに位置している。

（隙間の位置）
次に、第１定電位電極１４４と第２定電位電極１４５との隙間１４７の位置について説明する。第２実施形態では、第１定電位電極１４４が中間圧電層１４２と上部圧電層１４３との間に配置されているのに対して、第２定電位電極１４５が下部圧電層１４１と中間圧電層１４２との間に配置されている。そのため、第１実施形態とは異なり、第１定電位電極１４４及び第２定電位電極１４５を、重なり部１４４ａと重なり部１４５ａとが重なるように配置するように配置することも可能である。あるいは、搬送方向における重なり部１４４ａの端及び重なり部１４５ａの端の両方が、搬送方向における所定領域Ｒｂの端に位置するように配置することも可能である。すなわち、重なり部１４４ａと重なり部１４５ａとの間に隙間１４７を設けないことも可能である。

しかしながら、重なり部１４４ａと重なり部１４５ａとが重なっていると、中間圧電層１４２の、重なり部１４４ａと重なり部１４５ａとに挟まれた部分が、これらの電位差によって生じる電界により常に収縮した状態となり、圧電アクチュエータ１２２の撓みが阻害されてしまう虞がある。また、重なり部１４４ａと重なり部１４５ａとの間に隙間１４７がないと、重なり部１４４ａと重なり部１４５ａとの間の絶縁性を十分に確保することができない虞がある。

これらのことから、重なり部１４４ａと重なり部１４５ａとは、隙間１４７をあけて配置されることが好ましい。ただし、本発明とは異なり、隙間１４７の中心１４７ａを、搬送方向における所定領域Ｒｂの外側に位置させることも可能である。例えば、図１１（ａ）に示すように、中心１４７ａを含めた隙間１４７全体を、搬送方向における所定領域Ｒｂの外側に位置させることも可能である。あるいは、図１１（ｂ）に示すように、隙間１４７の一部分を搬送方向における所定領域Ｒｂの外側に位置させることにより、隙間１４７の中心１４７ａを所定領域Ｒｂの外側に位置させることも可能である。

しかしながら、これらの場合には、第２実施形態の場合と比較して、重なり部１４４ａと個別電極１４６とが対向する面積が大きくなり、重なり部１４５ａと個別電極１４６とが対向する面積が小さくなる。そのため、第２実施形態の場合と比較して、圧電アクチュエータ１２２の圧力室１０側への撓みが大きくなり、圧力室１０と反対側への撓みが小さくなる。上述したように、圧電アクチュエータ１２２は、元々、圧力室１０側への撓みが圧力室１０と反対側への撓みよりも大きい。そのため、これらの場合には、圧電アクチュエータ１２２の圧力室１０側への撓みと、圧力室１０と反対側への撓みとの差が大きくなってしまう。圧電アクチュエータ１２２の圧力室１０側への撓みと、圧力室１０と反対側への撓みとの差が大きくなりすぎると、上述したように、クロストークを十分に抑制することができない虞がある。

これに対して、第２実施形態では、上述したように、中心１４７ａを含めた隙間１４７全体が所定領域Ｒｂに位置している。したがって、隙間１４７の中心１４７ａが搬送方向における所定領域Ｒｂの外側に位置している場合と比較して、圧電アクチュエータ１２２の圧力室１０側への撓みが小さくなり、圧力室１０と反対側への撓みが大きくなる。そのため、隙間１４７の中心１４７ａが搬送方向における所定領域Ｒｂの外側に位置している場合と比較して、圧電アクチュエータ１２２の圧力室１０側への撓みと、圧力室１０と反対側への撓みとの差を小さくすることができる。これにより、圧電アクチュエータ１２２の駆動時に、第１活性部Ｓ１及び第２活性部Ｓ２のうち、一方の活性部の収縮と他方の活性部の伸長とが十分に相殺され、クロストークを確実に抑制することができる。

また、隙間１４７全体が所定領域Ｒｂに位置している場合には、隙間１４７の中心１４７ａが搬送方向における所定領域Ｒｂの外側に位置している場合と比較して、圧電アクチュエータ１２２の圧力室１０側への撓みが小さくなる。しかしながら、圧電アクチュエータ１２２は、元々、圧力室１０側への撓みが、圧力室１０と反対側への撓みよりも大きい。したがって、圧電アクチュエータ１２２の圧力室１０側への撓みが小さくなることは、圧電アクチュエータ１２２の圧力室１０と反対側への撓みが小さくなることよりも、が圧電アクチュエータ１２２の撓みに与える影響が小さい。一方、搬送方向における重なり部１４５ａの端を、搬送方向における所定領域Ｒｂの端と重なるように配置した場合には、圧電層１４２、１４３の所定領域Ｒｂよりも外側の領域において第２定電位電極１４５と個別電極１４６とが重なる面積が最大となり、且つ、第２定電位電極１４５が所定領域Ｒｂと重ならない。したがって、圧電アクチュエータ１２２の、圧力室１０と反対側への撓みを極力大きくすることができる。

（所定領域の位置の決定方法）
次に、所定領域Ｒｂの位置を特定する方法について説明する。第２実施形態の圧電アクチュエータ１２２では、搬送方向における圧力室１０の長さＸが、２５０［μｍ］以上且つ４００［μｍ］以下である場合には、長さＹｂ［μｍ］を、Ｙｂ＝（０．７・Ｘ＋２８．３３３）／２によって算出される長さとし、搬送方向において、圧力室１０の中央の領域と重なり、且つ、搬送方向における両端の位置が、搬送方向における圧力室１０の中心１０ａからＹｂ［μｍ］だけ搬送方向に離れている領域を所定領域Ｒｂとして特定する。

ここで、図１２（ａ）は、第２実施形態における、搬送方向における圧力室１０の長さＸ［μｍ］と、所定領域Ｒｂの長さＺｂ［μｍ］との関係を示す図である。なお、図１２（ａ）は、インク分離層１４０の厚みが１０［μｍ］、下部圧電層１４１の厚みが１４［μｍ、］中間圧電層１４２の厚みが１８［μｍ］、上部圧電層１４３の厚みが１８［μｍ］であり、所定領域Ｒｂが搬送方向において圧力室１０の中心１０ａに対称であるとした場合の、搬送方向における圧力室１０の長さＸ［μｍ］と、所定領域Ｒｂの長さＺｂ［μｍ］との関係を示している。

そして、横軸を長さＸ［μｍ］、縦軸を長さＺｂ［μｍ］とする平面上に、図１２（ａ）の関係を図示すると、図１２（ｂ）に示すようになる。図１２（ｂ）の結果から、長さＸ［μｍ］と長さＺｂ［μｍ］とはほぼ一次比例していることがわかる。そして、図１２（ａ）の結果を最小二乗法などによって一次近似した直線Ｌｂは、Ｚｂ＝０．７・Ｘ＋２８．３３３の関係を満たす直線となる。したがって、上述したように、長さＹｂ（＝Ｚｂ／２）［μｍ］を算出し、その算出結果に基づいて所定領域Ｒｂの位置を特定すれば、所定領域Ｒｂの位置を正確に特定することができる。また、このようにして、所定領域Ｒｂの位置を特定すれば、所定領域Ｒｂの位置を容易に特定することができる。

なお、第２実施形態では、圧電層１４２、１４３が、本発明の圧電層に相当する。また、第１定電位電極１４４の重なり部１４４ａが本発明の第１電極に相当し、第２定電位電極１４５の重なり部１４５ａが本発明の第２電極に相当する。

次に、第１、第２実施形態に種々の変更を加えた変形例について説明する。

第１実施形態では、Ｙａ＝（０．７２・Ｘ＋１１）／２によって算出される長さＹａ［μｍ］に基づいて、圧電アクチュエータ２２における所定領域Ｒａの位置を特定し、第２実施形態では、Ｙｂ＝（０．７・Ｘ＋２８．３３３）／２によって算出される長さＹｂ［μｍ］に基づいて、圧電アクチュエータ１２２における所定領域Ｒｂの位置を特定したが、これには限られない。

第２実施形態においても、第１実施形態と同様、Ｙａ＝（０．７２・Ｘ＋１１）／２によって算出される長さＹａ［μｍ］に基づいて、圧電アクチュエータ１２２における所定領域Ｒｂの位置を特定する。この場合には、圧電アクチュエータが、第１実施形態の圧電アクチュエータ２２であるか、第２実施形態の圧電アクチュエータ１２２であるかなど、圧電アクチュエータの構成によらず、同一の関係式を用いて、所定領域の位置を特定することができる。

ここで、第２実施形態では、上述したように、搬送方向における圧力室１０の長さＸと、所定領域Ｒａの長さＹとの関係を一次近似すると、Ｙｂ＝０．７・Ｘ＋２８．３３３のようになる。一方、長さＹａ［μｍ］と長さＹｂ［μｍ］とを比較すると、圧力室１０の長さＸ［μｍ］が２５０［μｍ］以上且つ４００［μｍ］以下の場合には、長さＹａと長さＹｂとは、Ｙａ＜Ｙｂの関係を満たす。したがって、第２実施形態において、長さＹａ［μｍ］に基づいて特定された所定領域は、長さＹｂ［μｍ］に基づいて特定された所定領域Ｒｂの一部分となる。そのため、隙間１４７全体が所定領域Ｒｃに位置するように第１定電位電極１４４及び第２定電位電極１４５を配置すれば、必ず、隙間１４７全体が所定領域Ｒｂに位置する。

また、圧力室１０の長さＸ［μｍ］が２５０［μｍ］以上且つ４００［μｍ］以下の場合には、長さＺａ（＝２・Ｙａ）［μｍ］と長さＺｂ（＝２・Ｙｂ）［μｍ］との差（Ｚｂ−Ｚａ）［μｍ］は、最小で９．３３３［μｍ］（Ｘ＝４００のとき）となり、最大で１２．３３３［μｍ］（Ｘ＝２５０のとき）となる。したがって、所定領域Ｒｃの長さＺｃ［μｍ］の所定領域Ｒｂの長さＺｂ［μｍ］との差は、圧力室１０の長さＸ［μｍ］のに対して十分に小さい。

また、圧電アクチュエータ２２、１２２の各層の厚みは、第１、第２実施形態のものには限られない。圧電アクチュエータ２２、１２２では、各層の厚みの違いによる搬送方向における所定領域Ｒａ、Ｒｂの長さの違いは、圧力室１０の長さＸ［μｍ］の違いによる搬送方向における所定領域Ｒａ、Ｒｂの長さの違いと比較して小さいものである。したがって、圧電アクチュエータ２２、１２２の各層の厚みが、第１、第２実施形態の場合と多少異なっていても、第１、第２実施形態と同様にして所定領域Ｒａ、Ｒｂの位置を特定すれば、正確に所定領域Ｒａ、Ｒｂの位置を特定することができる。

また、第１、第２実施の形態では、搬送方向における圧力室１０の長さＸ［μｍ］が２５０［μｍ］以上且つ４００［μｍ］以下であったが、これには限られない。搬送方向における圧力室１０の長さＸ［μｍ］が、２５０［μｍ］未満であってもよいし、４００［μｍ］よりも大きくてもよい。

これらの場合には、解析などによって、圧力室１０の長さを、実際の圧力室１０の長さＸ［μｍ］を含む範囲で変化させたときの、図６（ａ）や図１２（ａ）のような長さＸと、搬送方向における所定領域の長さとの関係を取得し、取得した関係から得られる近似式を用いて、長さＹａ、Ｙｂに対応する長さを算出するなどしてもよい。

また、第１、第２実施の形態では、算出した長さＹａ［μｍ］、Ｙｂ［μｍ］に基づいて、所定領域Ｒａ、Ｒｂの位置を決定したが、これには限られない。例えば、圧電アクチュエータ２２を備えたインクジェットヘッド３を、隙間４６の位置を異ならせて複数種類製造し、これら複数種類のインクジェットヘッド３のうち、第１個別電極４４に駆動電位を付与したときの、圧電アクチュエータの圧力室１０側への撓みが最も大きくなる圧電アクチュエータにおいて、第１個別電極４４が配置されている領域を、所定領域Ｒａとしてもよい。また、圧電アクチュエータ１２２を備えたインクジェットヘッド３を、搬送方向における第１定電位電極１４４の重なり部１４４ａの長さを異ならせて複数種類製造し、これら複数種類のインクジェットヘッド３のうち、個別電極１４６に駆動電位を付与したときの、圧電アクチュエータの圧力室１０側への撓みが最も大きくなる圧電アクチュエータにおいて、重なり部１４４ａが配置されている領域を、所定領域Ｒｂとしてもよい。なお、これらの場合には、例えば、第１個別電極４４、個別電極１４６に駆動電位を付与したときにノズル１５から噴射されるインク滴のサイズが大きいほど、圧電アクチュエータ２２、１２２の圧力室１０側への撓みが大きいと判断すればよい。

また、第１実施形態では、搬送方向における第１個別電極４４の端が、搬送方向における所定領域Ｒａの端よりも内側に位置し、第２個別電極４５の重なり部４５ａの第１個別電極４４側の端が、搬送方向における所定領域Ｒａの端と重なるように、第１個別電極４４及び第２個別電極４５を配置したが、これには限られない。

変形例１では、図１３（ａ）に示すように、搬送方向における重なり部４５ａの第１個別電極４４側の端が、搬送方向における所定領域Ｒａの端よりも内側に位置している。また、変形例２では、図１３（ｂ）に示すように、搬送方向における隙間４６の中心４６ａは、所定領域Ｒａに位置しているが、搬送方向における重なり部４５ａの第１個別電極４４側の端が、所定領域Ｒａの外側に位置している。

変形例１、２の場合にも、隙間４６の中心４６ａが所定領域Ｒａに位置しているため、図５（ａ）、（ｂ）の場合のように隙間４６の中心４６ａが搬送方向における所定領域Ｒａの外側に位置している場合と比較すれば、クロストークの抑制効果は高く、隙間４６を設けたことによる圧電アクチュエータ２２の撓みへの影響が小さい。

また、第２実施形態では、搬送方向における重なり部１４４ａの端が、搬送方向における所定領域Ｒｂの端よりも内側に位置し、搬送方向における重なり部１４５ａの重なり部１４４ａ側の端が、搬送方向における所定領域Ｒｂの端と重なるように、第１定電位電極１４４及び第２定電位電極１４５を配置したが、これには限られない。

変形例３では、図１４（ａ）に示すように、搬送方向における重なり部１４５ａの重なり部１４４ａ側の端が、搬送方向における所定領域Ｒｂの端よりも内側に位置している。また、変形例４では、図１４（ｂ）に示すように、搬送方向における隙間１４７の中心１４７ａは、所定領域Ｒｂに位置しているが、搬送方向における重なり部１４５ａの重なり部１４４ａ側の端が、所定領域Ｒｂの外側に位置している。

変形例３、４の場合にも、隙間１４７の中心１４７ａが所定領域Ｒｂに位置しているため、図１１（ａ）、（ｂ）の場合のように隙間１４７の中心１４７ａが搬送方向における所定領域Ｒｂの外側に位置している場合と比較すれば、クロストークの抑制効果は高く、隙間１４７を設けたことによる圧電アクチュエータ１２２の撓みへの影響が小さい。

また、圧電アクチュエータの構成は、第１実施形態の圧電アクチュエータ２２及び第２実施形態の圧電アクチュエータ１２２の構成であることには限られない。圧電アクチュエータは、圧電層の、搬送方向における圧力室１０の中央部と重なる第１電極と、圧電層の圧力室と重なる部分のうち、搬送方向における第１電極よりも外側の部分と重なる第２電極とを備えた、別の構成を有するものであってもよい。

また、以上では、ノズルからインクを噴射するインクジェットヘッドに本発明を適用した例について説明したが、これには限られない。ノズルからインク以外の液体を噴射する、インクジェットヘッド以外の液体噴射装置に本発明を適用することも可能である。

１０ 圧力室
１５ ノズル
２１ 流路ユニット
２２ 圧電アクチュエータ
４１、４２ 圧電層
４３ 共通電極
４４ 第１個別電極
４５ 第２個別電極
４６ 隙間
１２２ 圧電アクチュエータ
１４１、１４２、１４３ 圧電層
１４４ 第１定電位電極
１４５ 第２定電位電極
１４６ 個別電極
１４７ 隙間

Claims (6)

1. 液体を噴射するためのノズルと連通し、一方向に配列された複数の圧力室を有する流路ユニットと、
   前記複数の圧力室内の液体に圧力を付与するための圧電アクチュエータと、を備え、
   前記圧電アクチュエータは、
   前記複数の圧力室にまたがって連続的に延びた圧電層と、
   前記圧電層の前記圧力室の中央部と重なる部分に配置された第１電極と、
   前記圧電層の前記圧力室と重なる部分のうち、前記一方向における前記第１電極よりも外側の部分に配置された第２電極と、を備え、
   前記第１電極と前記第２電極とは、前記一方向に隙間をあけて配置され、
   前記隙間の中心は、前記一方向において、前記圧電層の前記圧力室の中央の領域と重なる領域である所定領域に位置し、
   前記所定領域は、前記所定領域全体に厚み方向の電界を発生させたときに、前記圧電アクチュエータの前記圧力室側への撓みが最大となる領域であることを特徴とする液体噴射装置。
2. 前記一方向における前記圧力室の長さＸ［μｍ］が２５０［μｍ］以上且つ４００［μｍ］以下であり、
   前記所定領域は、前記圧電層の前記圧力室の中央の領域と重なり、且つ、前記一方向における両端の位置が、前記一方向における前記圧力室の中心から、Ｙ＝（０．７２Ｘ＋１１）／２によって算出される長さＹ［μｍ］だけ前記一方向に離れている領域であることを特徴とする請求項１に記載の液体噴射装置。
3. 前記第１電極と前記第２電極とが、前記圧電層の同じ面に配置され、
   前記圧電アクチュエータは、前記圧電層の、前記第１電極及び前記第２電極が配置されているのと反対側の面に、前記第１電極及び前記第２電極の両方と重なる第３電極をさらに備えていることを特徴とする請求項１又は２に記載の液体噴射装置。
4. 前記圧電層として、第１圧電層と、前記第１圧電層の前記流路ユニットと反対側に積層された第２圧電層と、を有し、
   前記第１電極は、前記第１圧電層と前記第２圧電層との間に配置され、
   前記第２電極は、前記第１圧電層の前記第２圧電層と反対側の面に配置され、
   前記圧電アクチュエータは、前記第２圧電層の前記第１圧電層と反対側の面に、前記第１電極及び前記第２電極の両方と重なる第４電極をさらに備えていることを特徴とする請求項１又は２に記載の液体噴射装置。
5. 液体を噴射するためのノズルと連通し、一方向に配列された複数の圧力室を有する流路ユニットと、
   前記複数の圧力室内の液体に圧力を付与するための圧電アクチュエータと、を備え、
   前記圧電アクチュエータは、
   前記複数の圧力室にまたがって連続的に延びた圧電層と、
   前記圧電層の前記圧力室の中央部と重なる部分に配置された第１電極と、
   前記圧電層の前記圧力室と重なる部分のうち、前記一方向における前記第１電極よりも外側の部分に配置された第２電極と、を備えた液体噴射装置において、前記第１電極及び前記第２電極の位置を決定する電極位置決定方法であって、
   前記第１電極と前記第２電極とが、前記一方向に隙間をあけて配置され、且つ、前記隙間の中心が、前記一方向において、前記圧電層の前記圧力室の中央の領域と重なる領域である所定領域に位置するように、前記第１電極及び前記第２電極の位置を決定し、
   前記所定領域は、前記所定領域全体に厚み方向に電界を発生させたときに、前記圧電アクチュエータの前記圧力室側への撓みが最大となる領域であることを特徴とする電極位置決定方法。
6. 前記一方向における前記圧力室の長さＸ［μｍ］が２５０［μｍ］以上且つ４００［μｍ］以下である場合に、
   前記所定領域を、前記圧電層の前記圧力室の中央の領域と重なり、且つ、前記一方向における両端の位置が、前記一方向における前記圧力室の中心から、Ｙ＝（０．７２Ｘ＋１１）／２によって算出される長さＹ［μｍ］だけ前記一方向に離れている領域であるとして、前記第１電極及び前記第２電極の位置を決定することを特徴とする請求項５に記載の電極位置決定方法。

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