JP5679008B2 - 記録ヘッド及びその製造方法 - Google Patents
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本発明の主な目的は、FPCが伸縮した場合に、ランドとバンプとの接点に加えられるFPCの水平方向内側又は外側への力を低減することができる記録ヘッド及びその製造方法を提供することである。
の搬送と用紙への画像形成が行われる。空間Bでは、用紙が給紙される。空間Cには、インク供給源が収納されており、ここでインクの供給が行われる。
る。上面では、インク供給口105aに対応してプレート94の凸部94aが接合され、圧力室群(複数の圧力室110の集合)に対応してアクチュエータユニット21が接合されている。これにより、インク供給口105aがリザーバユニット71のインク流出流路73と連通する。また、アクチュエータユニット21は、複数の圧力室110の開口を封止しており、インク流路の壁部材でもある。
び図4に示すように、マトリクス状に配置されており、アクチュエータユニット21と相似の台形領域を占有している。
方、圧電シート142、143は、個別電極135に対応した部分(非活性部)でも、自発的に変位しない。このような組み合わせの部分は、所謂ユニモルフタイプの圧電アクチュエータとして機能し、アクチュエータユニット21には、圧力室110と同数のアクチュエータが作り込まれている。
59を含めて各配線57a、57bを覆う。しかし、パターニングされた塗布膜では、各ランド58、59上において、各ランド58、59は周縁部を残して中央部が露出されている。なお、写真現像型ソルダレジスト61として、エポキシ系、アクリル系、ポリイミド系等の樹脂が使用可能であるが、ここではエポキシ系樹脂が用いられている。
チュエータユニット21の内向きに大きな応力が加えられることになる。しかし、本実施形態のように補強部材67が設けられていることで、最外周にある接点Cに加えられる応力が小さくなって、その破損が抑制される。
9 流路ユニット
21 アクチュエータユニット
50 COF
58 ランド
59 ダミーランド
61 ソルダレジスト
69 補強部
67 補強部材
101 インクジェットプリンタ
136 個別バンプ
137 ダミーバンプ
C 接点
C’ ダミー接点
Claims (10)
- 液体を吐出する流路ユニットと、
前記流路ユニット内の液体に吐出エネルギーを付与するアクチュエータユニットであって平面視において、多角形形状を有するアクチュエータユニットと、
前記アクチュエータユニットに固定され、前記アクチュエータユニットに駆動信号を供給する平型柔軟基板であって前記アクチュエータユニットを越えて延在した、前記アクチュエータユニットに固定されていない非固定部分を有する平型柔軟基板と、
平面視において、前記アクチュエータユニットの輪郭内に設けられ、前記アクチュエータユニットと前記平型柔軟基板とを電気的に接続する複数の接点と、
前記アクチュエータユニットの外周部の少なくとも一部である補強部であって前記アクチュエータユニットの辺のうち前記非固定部分に最も近い一辺以外の全ての辺に沿った前記外周部である補強部と前記平型柔軟基板とを固定する補強部材と、
前記複数の接点と同様の形状を有し、前記複数の接点よりも前記非固定部分に近い位置に設けられた複数のダミー接点と、を備えており、
前記アクチュエータユニットが、前記平型柔軟基板と対向する表面A、前記表面Aに配置された複数の個別電極、前記駆動信号が供給されると共に前記個別電極と電気的にそれぞれ接続された複数のバンプ、及び、前記複数のバンプと同様の形状を有し前記駆動信号が供給されない複数のダミーバンプを有しており、
前記平型柔軟基板が、前記アクチュエータユニットと対向する表面B、前記表面Bに配置され前記バンプにそれぞれ接合された複数のランド、及び、前記複数のランドと同様の形状を有し前記ダミーバンプにそれぞれ接合された複数のダミーランドを有しており、
前記複数の接点が、前記バンプ及び前記ランドをそれぞれ含んでおり、
前記複数のダミー接点が、前記ダミーバンプ及び前記ダミーランドをそれぞれ含んでいることを備えていることを特徴とする記録ヘッド。 - 前記平型柔軟基板が、前記ランドにそれぞれ接続された複数の配線、及び、前記複数の配線を被覆する絶縁性の配線被覆層を有しており、
前記補強部材が、前記補強部と前記配線被覆層との間に介在するように設けられていることを特徴とする請求項1に記載の記録ヘッド。 - 前記平型柔軟基板が、前記ランドにそれぞれ接続された複数の配線、及び、前記複数の配線を被覆する絶縁性の配線被覆層を有しており、
前記補強部材が、前記配線被覆層に設けられた凹部内に設けられていることを特徴とする請求項2に記載の記録ヘッド。 - 前記平型柔軟基板が、前記複数のバンプそれぞれとの接合箇所を除いて少なくとも前記複数のランドを被覆する絶縁性のランド被膜層を有しており、
前記表面Bの面内方向に関して、前記ランド被膜層が前記配線被覆層に接触していることを特徴とする請求項1〜3のいずれか一項に記載の記録ヘッド。 - 前記ランド被覆層は、熱硬化性接着剤であって、前記複数の接点及び前記複数のダミー接点をそれぞれ全周に亘って覆うと共に、前記表面A及び前記表面Bを接続していることを特徴とする請求項4に記載の記録ヘッド。
- 前記補強部材は、熱硬化性接着剤であることを特徴とする請求項1〜5のいずれか一項に記載の記録ヘッド。
- 液体を吐出する流路ユニットに、前記流路ユニット内の液体に吐出エネルギーを付与するアクチュエータユニットであって平面視において、多角形形状を有するアクチュエータユニットが固定されており、前記アクチュエータユニットに、前記アクチュエータユニットに駆動信号を供給する平型柔軟基板であって前記アクチュエータユニットを越えて延在した、前記アクチュエータユニットに固定されていない非固定部分を有する平型柔軟基板が固定されており、平面視において、前記アクチュエータユニットの輪郭内に設けられ、前記アクチュエータユニットと前記平型柔軟基板とを電気的に接続する複数の接点を有する記録ヘッドの製造方法であって、
前記アクチュエータユニットの外周部の少なくとも一部である補強部であって前記アクチュエータユニットの辺のうち前記非固定部分に最も近い一辺以外の全ての辺に沿った前記外周部である補強部、または、前記平型柔軟基板における前記補強部に対応する位置に、半硬化状態の熱硬化性接着剤からなる補強部材を形成する補強部材形成工程と、
前記平型柔軟基板と前記補強部材とが接触し、且つ、前記補強部材と前記補強部とが接触している状態において前記補強部材を加熱により硬化させることによって、前記アクチュエータユニットと前記平型柔軟基板とを固定する固定工程とを備え、
前記固定工程において、前記複数の接点、及び、前記複数の接点と同様の形状を有する複数のダミー接点を、前記複数のダミー接点が前記複数の接点よりも前記非固定部分に近くなるように形成し、
前記アクチュエータユニットが、前記平型柔軟基板と対向する表面A、前記表面Aに配置された複数の個別電極、前記駆動信号が供給され前記個別電極と電気的にそれぞれ接続された複数のバンプ、及び、前記複数のバンプと同様の形状を有すると共に前記駆動信号が供給されない複数のダミーバンプを有しており、
前記平型柔軟基板が、前記アクチュエータユニットと対向する表面B、前記表面Bに配置され前記バンプにそれぞれ接合された複数のランド、及び、前記複数のランドと同様の形状を有し前記ダミーバンプにそれぞれ接合された複数のダミーランドを有しており、
前記複数の接点が、前記バンプ及び前記ランドをそれぞれ含んでおり、
前記複数のダミー接点が、前記ダミーバンプ及び前記ダミーランドをそれぞれ含んでおり、
前記固定工程において、前記バンプ及び前記ランドがそれぞれ接合され、且つ、前記ダミーバンプ及び前記ダミーランドがそれぞれ接合されるように、前記アクチュエータユニットと前記平型柔軟基板とを固定することを特徴とする記録ヘッドの製造方法。 - 前記平型柔軟基板が、前記ランドにそれぞれ接続された複数の配線、及び、前記複数の配線を被覆する絶縁性の配線被覆層を有しており、
前記補強部材形成工程において、前記配線被覆層における前記アクチュエータユニットの前記補強部に対応する位置、または、前記補強部に、前記補強部材を形成し、
前記固定工程において、前記配線被覆層と前記補強部材とが接触し、且つ、前記補強部材と前記補強部とが接触している状態において前記補強部材を加熱により硬化させることによって、前記アクチュエータユニットと前記平型柔軟基板とを固定することを特徴とする請求項7に記載の記録ヘッドの製造方法。 - 前記平型柔軟基板が、前記表面Bの面内方向に関して、前記配線被覆層に接触していると共に少なくとも前記ランドを被膜する絶縁性のランド被膜層を備えており、
前記固定工程において、前記複数のバンプが前記ランド被覆層を貫通して前記複数のランドに接合されるように、前記アクチュエータユニットと前記平型柔軟基板とを固定することを特徴とする請求項8に記載の記録ヘッド製造方法。 - 前記補強部材及び前記ランド被覆層が同一の樹脂であって、
前記補強部材形成工程において、前記ランド被覆層を形成するのと同時に、前記平型柔軟基板における前記補強部に対応する位置に設けられた凹部内に前記補強部材を形成することを特徴とする請求項9に記載の記録ヘッドの製造方法。
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