JP2011054684A - 圧電アクチュエータ - Google Patents
圧電アクチュエータ Download PDFInfo
- Publication number
- JP2011054684A JP2011054684A JP2009200744A JP2009200744A JP2011054684A JP 2011054684 A JP2011054684 A JP 2011054684A JP 2009200744 A JP2009200744 A JP 2009200744A JP 2009200744 A JP2009200744 A JP 2009200744A JP 2011054684 A JP2011054684 A JP 2011054684A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- connection
- wiring
- common electrode
- disposed
- portions
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Images
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
- B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
- B41J2/00—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed
- B41J2/005—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by bringing liquid or particles selectively into contact with a printing material
- B41J2/01—Ink jet
- B41J2/135—Nozzles
- B41J2/14—Structure thereof only for on-demand ink jet heads
- B41J2/14201—Structure of print heads with piezoelectric elements
- B41J2/14233—Structure of print heads with piezoelectric elements of film type, deformed by bending and disposed on a diaphragm
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N—ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N30/00—Piezoelectric or electrostrictive devices
- H10N30/20—Piezoelectric or electrostrictive devices with electrical input and mechanical output, e.g. functioning as actuators or vibrators
- H10N30/204—Piezoelectric or electrostrictive devices with electrical input and mechanical output, e.g. functioning as actuators or vibrators using bending displacement, e.g. unimorph, bimorph or multimorph cantilever or membrane benders
- H10N30/2047—Membrane type
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N—ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N30/00—Piezoelectric or electrostrictive devices
- H10N30/80—Constructional details
- H10N30/87—Electrodes or interconnections, e.g. leads or terminals
- H10N30/875—Further connection or lead arrangements, e.g. flexible wiring boards, terminal pins
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
- B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
- B41J2/00—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed
- B41J2/005—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by bringing liquid or particles selectively into contact with a printing material
- B41J2/01—Ink jet
- B41J2/135—Nozzles
- B41J2/14—Structure thereof only for on-demand ink jet heads
- B41J2/14201—Structure of print heads with piezoelectric elements
- B41J2/14209—Structure of print heads with piezoelectric elements of finger type, chamber walls consisting integrally of piezoelectric material
- B41J2002/14225—Finger type piezoelectric element on only one side of the chamber
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
- B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
- B41J2/00—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed
- B41J2/005—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by bringing liquid or particles selectively into contact with a printing material
- B41J2/01—Ink jet
- B41J2/135—Nozzles
- B41J2/14—Structure thereof only for on-demand ink jet heads
- B41J2/14201—Structure of print heads with piezoelectric elements
- B41J2/14233—Structure of print heads with piezoelectric elements of film type, deformed by bending and disposed on a diaphragm
- B41J2002/14266—Sheet-like thin film type piezoelectric element
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
- B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
- B41J2/00—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed
- B41J2/005—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by bringing liquid or particles selectively into contact with a printing material
- B41J2/01—Ink jet
- B41J2/135—Nozzles
- B41J2/14—Structure thereof only for on-demand ink jet heads
- B41J2002/14491—Electrical connection
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C08—ORGANIC MACROMOLECULAR COMPOUNDS; THEIR PREPARATION OR CHEMICAL WORKING-UP; COMPOSITIONS BASED THEREON
- C08G—MACROMOLECULAR COMPOUNDS OBTAINED OTHERWISE THAN BY REACTIONS ONLY INVOLVING UNSATURATED CARBON-TO-CARBON BONDS
- C08G63/00—Macromolecular compounds obtained by reactions forming a carboxylic ester link in the main chain of the macromolecule
- C08G63/02—Polyesters derived from hydroxycarboxylic acids or from polycarboxylic acids and polyhydroxy compounds
- C08G63/06—Polyesters derived from hydroxycarboxylic acids or from polycarboxylic acids and polyhydroxy compounds derived from hydroxycarboxylic acids
- C08G63/08—Lactones or lactides
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N—ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N30/00—Piezoelectric or electrostrictive devices
- H10N30/80—Constructional details
- H10N30/87—Electrodes or interconnections, e.g. leads or terminals
Landscapes
- Particle Formation And Scattering Control In Inkjet Printers (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Health & Medical Sciences (AREA)
- Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
- Medicinal Chemistry (AREA)
- Polymers & Plastics (AREA)
- Organic Chemistry (AREA)
Abstract
【解決手段】圧電層42の上面には、共通電極44、45が配置されている。共通電極44は、紙送り方向に2列に配列された複数の個別電極43の略中央部と対向する複数の対向部44aと、各列の対向部44aを互いに接続する2つの接続部44bと、2つの接続部44bの上端部を互いに接続する連結部44cを備えている。共通電極45は、2つの接続部44bと連結部44cとにより三方を囲まれるように配置されている。共通電極44、45には、振動板41の上面に引き出された配線47a〜47dが接続されており、このうち、配線47eは、共通電極44、45を覆うように圧電層42の上面に配置された絶縁層の上面において、絶縁層に形成された貫通孔46aを介して共通電極44に接続されているとともに連結部44cをまたいで延びている。
【選択図】図4
Description
以下、本発明の好適な第1実施形態について説明する。
次に、本発明の第2実施形態について説明する。ただし、第2実施形態は、圧電アクチュエータの構成の一部が第1実施形態と異なるだけであるので、以下では、第1実施形態と異なる部分についてのみ説明する。
41 振動板
42 圧電層
43 個別電極
44、45 共通電極
44a、45a 対向部
44b、45b 接続部
44c 連結部
46 絶縁層
47(47a〜47l) 配線
74、75 共通電極
74a、75a 対向部
74b、75b 接続部
101、102 バイパス配線
Claims (7)
- 振動板と、
前記振動板上に積層された圧電層と、
前記圧電層の一方の面に配置された複数の個別電極と、
前記圧電層の前記複数の個別電極と反対側の面に配置されているとともに、互いに異なる電位に保持された第1共通電極及び第2共通電極と、
前記振動板上に配置され、前記第1共通電極と接続される複数の第1配線部と、
前記第1共通電極と前記複数の第1配線部をそれぞれ接続する複数の第1接続配線と、
前記振動板上に配置され、前記第2共通電極と接続される複数の第2配線部と、
前記第2共通電極と前記複数の第2配線部をそれぞれ接続する複数の第2接続配線と、
を備えており、
前記複数の個別電極は、一方向に沿って2列に配列されており、
前記第1共通電極は、
前記複数の個別電極のそれぞれにおける一部分と対向する複数の第1対向部と、
前記複数の第1対向部をそれぞれ互いに接続する第1接続部とを有しており、
前記第2共通電極は、
前記複数の個別電極のそれぞれにおける前記一部分とは別の部分と対向する複数の第2対向部と、
前記複数の第2対向部をそれぞれ互いに接続する第2接続部とを有しており、
前記複数の第1接続配線は、前記第1接続部における互いに離隔した複数箇所に接続されており、
前記複数の第2接続配線は、前記第2接続部における互いに離隔した複数個所に接続されており、
前記第1接続配線の少なくとも1つが、前記第2接続部をまたいで前記第1接続部と前記第1配線部を接続するように配置されているか、または、前記第2接続配線の少なくとも1つが、前記第1接続部をまたいで前記第2接続部と前記第2配線部を接続するように配置されていることを特徴とする圧電アクチュエータ。 - 前記第1接続配線の少なくとも1つが、前記第2接続部をまたいで前記第1接続部と前記第1配線部を接続するように配置されているとともに、前記第1接続配線と前記第2接続部とが絶縁材料を介して隔離されているか、または、前記第2配線部材の少なくとも1つが、前記第1接続部をまたいで前記第2接続部と前記第2配線部を接続するように配置されているとともに、前記第2配線部材と前記第1接続部とが絶縁材料を介して隔離されていることを特徴とする請求項1に記載の圧電アクチュエータ。
- 前記圧電層の前記複数の個別電極と反対側の面に配置された絶縁層をさらに備えており、
前記絶縁層が前記第2接続部を覆っているとともに、前記複数の第1接続配線の前記少なくとも1つにおける前記第2接続部をまたいでいる部分が、前記絶縁層の前記圧電層と反対側の面上に配置されているか、または、前記絶縁層が前記第1接続部を覆っているとともに、前記複数の第2接続配線の前記少なくとも1つにおける前記第1接続部をまたいでいる部分が、前記絶縁層の前記圧電層と反対側の面上に配置されていることを特徴とする請求項2に記載の圧電アクチュエータ。 - 振動板と、
前記振動板上に積層された圧電層と、
前記圧電層の一方の面に配置された複数の個別電極と、
前記圧電層の前記複数の個別電極と反対側の面に配置されているとともに、互いに異なる電位に保持された第1共通電極及び第2共通電極と、
前記振動板上に配置され、前記第1共通電極と接続される複数の第1配線部と、
前記第1共通電極と前記第1配線部を接続する複数の第1接続配線と、
前記振動板上に配置され、前記第2共通電極と接続される複数の第2配線部と、
前記第2共通電極と前記第2配線部を接続する複数の第2接続配線と、
を備えており、
前記複数の個別電極は、一方向に沿って2列に配列されており、
前記第1共通電極は、
前記複数の個別電極のそれぞれにおける一部分と対向する複数の第1対向部と、
少なくとも2つの前記第1対向部をそれぞれ互いに接続する2以上の第1接続部とを有しており、
前記第2共通電極は、
前記複数の個別電極のそれぞれにおける前記一部分とは別の部分と対向する複数の第2対向部と、
前記複数の第2対向部をそれぞれ互いに接続する第2接続部とを有しており、
前記複数の第1接続配線は、前記第1接続部における互いに離隔した複数箇所に接続されており、
前記複数の第2接続配線は、前記第2接続部における互いに離隔した複数個所に接続されており、
前記2以上の第1接続部は、前記第2共通電極をまたいで延びたバイパス配線を介して互いに接続されていることを特徴とする圧電アクチュエータ。 - 前記バイパス配線が、絶縁材料を介して前記第2共通電極と隔離されていることを特徴とする請求項4に記載の圧電アクチュエータ。
- 前記圧電層の前記複数の個別電極と反対側の面に配置されており、前記第2共通電極の少なくとも一部を覆う絶縁層をさらに備えており、
前記バイパス配線が、前記絶縁層の前記圧電層と反対側の面上に配置されていることを特徴とする請求項5に記載の圧電アクチュエータ。 - 前記複数の個別電極が、前記圧電層の前記振動板側の面に配置されており、
前記複数の個別電極に接続された配線部、前記第1配線部及び前記第2配線部が、前記振動板の前記圧電層側の面に配置されたドライバICに接続されていることを特徴とする請求項1〜4のいずれかに記載の圧電アクチュエータ。
Priority Applications (9)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2009200744A JP5564858B2 (ja) | 2009-08-31 | 2009-08-31 | 圧電アクチュエータ |
US12/872,410 US8833910B2 (en) | 2009-08-31 | 2010-08-31 | Piezoelectric actuator and liquid discharge apparatus provided with the same |
US14/458,870 US9238368B2 (en) | 2009-08-31 | 2014-08-13 | Ink-jet head |
US14/997,036 US9527284B2 (en) | 2009-08-31 | 2016-01-15 | Piezoelectric actuator |
US15/375,917 US10316138B2 (en) | 2009-08-31 | 2016-12-12 | Piezoelectric actuator |
US16/433,508 US10669372B2 (en) | 2009-08-31 | 2019-06-06 | Piezoelectric actuator |
US16/856,658 US11081636B2 (en) | 2009-08-31 | 2020-04-23 | Piezoelectric actuator |
US17/388,197 US11569435B2 (en) | 2009-08-31 | 2021-07-29 | Piezoelectric actuator |
US18/161,444 US11793079B2 (en) | 2009-08-31 | 2023-01-30 | Piezoelectric actuator |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2009200744A JP5564858B2 (ja) | 2009-08-31 | 2009-08-31 | 圧電アクチュエータ |
Related Child Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2014125039A Division JP5900539B2 (ja) | 2014-06-18 | 2014-06-18 | インクジェットヘッド |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2011054684A true JP2011054684A (ja) | 2011-03-17 |
JP5564858B2 JP5564858B2 (ja) | 2014-08-06 |
Family
ID=43624260
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2009200744A Active JP5564858B2 (ja) | 2009-08-31 | 2009-08-31 | 圧電アクチュエータ |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
US (8) | US8833910B2 (ja) |
JP (1) | JP5564858B2 (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2015030118A (ja) * | 2013-07-31 | 2015-02-16 | 京セラ株式会社 | 圧電アクチュエータ基板、それを用いた液体吐出ヘッドおよび記録装置 |
Families Citing this family (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US20140063132A1 (en) * | 2011-06-29 | 2014-03-06 | Joseph E. Scheffelin | Piezoelectric printhead trace layout |
US8888254B2 (en) | 2012-09-13 | 2014-11-18 | Xerox Corporation | High density three-dimensional electrical interconnections |
JP6110182B2 (ja) | 2013-03-29 | 2017-04-05 | 日本碍子株式会社 | 圧電/電歪素子 |
JP6558191B2 (ja) * | 2015-10-01 | 2019-08-14 | ブラザー工業株式会社 | 液体吐出装置 |
TWI692581B (zh) * | 2018-08-13 | 2020-05-01 | 科際精密股份有限公司 | 流體驅動系統 |
TWI677628B (zh) * | 2018-08-13 | 2019-11-21 | 科際精密股份有限公司 | 壓電驅動裝置 |
JP7459614B2 (ja) * | 2020-03-30 | 2024-04-02 | ブラザー工業株式会社 | 圧電アクチュエータ |
WO2022010833A1 (en) * | 2020-07-08 | 2022-01-13 | Kampanics, L.L.C. | Acoustic wave devices for microfluidic applications |
Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2009132075A (ja) * | 2007-11-30 | 2009-06-18 | Brother Ind Ltd | 圧電アクチュエータ |
Family Cites Families (18)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP3317308B2 (ja) | 1992-08-26 | 2002-08-26 | セイコーエプソン株式会社 | 積層型インクジェット記録ヘッド、及びその製造方法 |
JP3674496B2 (ja) | 2000-10-31 | 2005-07-20 | ブラザー工業株式会社 | インクジェットプリンタヘッド |
US6648452B2 (en) | 2000-10-31 | 2003-11-18 | Brother Kogyo Kabushiki Kaisha | Manifold plate of ink jet head |
JP3994255B2 (ja) | 2001-10-12 | 2007-10-17 | セイコーエプソン株式会社 | インクジェット式記録ヘッド及びインクジェット式記録装置 |
JP3801057B2 (ja) * | 2002-01-30 | 2006-07-26 | ブラザー工業株式会社 | 圧電トランスデューサおよびそれを用いた液滴噴射装置 |
JP4258605B2 (ja) | 2002-03-25 | 2009-04-30 | セイコーエプソン株式会社 | 液体噴射ヘッド及び液体噴射装置 |
JP4218309B2 (ja) | 2002-11-05 | 2009-02-04 | セイコーエプソン株式会社 | 液体噴射ヘッド及び液体噴射装置 |
JP4379583B2 (ja) * | 2003-12-04 | 2009-12-09 | ブラザー工業株式会社 | インクジェット記録ヘッド |
US7479729B2 (en) | 2004-05-19 | 2009-01-20 | Brother Kogyo Kabushiki Kaisha | Piezoelectric actuator, ink-jet head provided with the same, ink-jet printer, and method for manufacturing piezoelectric actuator |
JP4609182B2 (ja) | 2004-05-19 | 2011-01-12 | ブラザー工業株式会社 | 圧電アクチュエータ、この圧電アクチュエータを備えたインクジェットヘッド、及び、圧電アクチュエータの製造方法 |
US7591542B2 (en) * | 2004-06-03 | 2009-09-22 | Brother Kogyo Kabushiki Kaisha | Piezoelectric actuator, method for producing the same and ink-jet head |
US7527361B2 (en) * | 2005-07-27 | 2009-05-05 | Brother Kogyo Kabushiki Kaisha | Liquid transporting apparatus, actuator unit, and method of producing liquid transporting apparatus |
JP2007288153A (ja) | 2006-03-20 | 2007-11-01 | Brother Ind Ltd | 圧電アクチュエータの製造方法、液滴噴射装置の製造方法、圧電アクチュエータ、及び、液滴噴射装置 |
EP1837181A3 (en) | 2006-03-20 | 2009-04-29 | Brother Kogyo Kabushiki Kaisha | Method for producing piezoelectric actuator, method for producing liquid droplet jetting apparatus, piezoelectric actuator, and liquid droplet jetting apparatus |
JP5082337B2 (ja) | 2006-08-23 | 2012-11-28 | ブラザー工業株式会社 | 圧電アクチュエータ、インクジェットプリンタ及び圧電アクチュエータの製造方法 |
US8132897B2 (en) | 2007-09-29 | 2012-03-13 | Brother Kogyo Kabushiki Kaisha | Liquid-droplet jetting apparatus and liquid-droplet jetting head |
JP4915381B2 (ja) | 2007-09-29 | 2012-04-11 | ブラザー工業株式会社 | 液滴吐出装置及び液滴吐出ヘッド |
JP5428656B2 (ja) * | 2009-08-31 | 2014-02-26 | ブラザー工業株式会社 | 液滴吐出装置 |
-
2009
- 2009-08-31 JP JP2009200744A patent/JP5564858B2/ja active Active
-
2010
- 2010-08-31 US US12/872,410 patent/US8833910B2/en active Active
-
2014
- 2014-08-13 US US14/458,870 patent/US9238368B2/en active Active
-
2016
- 2016-01-15 US US14/997,036 patent/US9527284B2/en active Active
- 2016-12-12 US US15/375,917 patent/US10316138B2/en active Active
-
2019
- 2019-06-06 US US16/433,508 patent/US10669372B2/en active Active
-
2020
- 2020-04-23 US US16/856,658 patent/US11081636B2/en active Active
-
2021
- 2021-07-29 US US17/388,197 patent/US11569435B2/en active Active
-
2023
- 2023-01-30 US US18/161,444 patent/US11793079B2/en active Active
Patent Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2009132075A (ja) * | 2007-11-30 | 2009-06-18 | Brother Ind Ltd | 圧電アクチュエータ |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2015030118A (ja) * | 2013-07-31 | 2015-02-16 | 京セラ株式会社 | 圧電アクチュエータ基板、それを用いた液体吐出ヘッドおよび記録装置 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US20160279945A1 (en) | 2016-09-29 |
US9527284B2 (en) | 2016-12-27 |
US11793079B2 (en) | 2023-10-17 |
US11569435B2 (en) | 2023-01-31 |
US20230165151A1 (en) | 2023-05-25 |
US20150035912A1 (en) | 2015-02-05 |
US8833910B2 (en) | 2014-09-16 |
US10316138B2 (en) | 2019-06-11 |
US20170297335A1 (en) | 2017-10-19 |
JP5564858B2 (ja) | 2014-08-06 |
US20110050809A1 (en) | 2011-03-03 |
US11081636B2 (en) | 2021-08-03 |
US10669372B2 (en) | 2020-06-02 |
US20210359194A1 (en) | 2021-11-18 |
US9238368B2 (en) | 2016-01-19 |
US20210009752A1 (en) | 2021-01-14 |
US20200055981A1 (en) | 2020-02-20 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5564858B2 (ja) | 圧電アクチュエータ | |
JP2011212865A (ja) | 圧電アクチュエータ | |
JP4788764B2 (ja) | 圧電アクチュエータ及び液体移送装置 | |
US8899729B2 (en) | Piezoelectric actuator and liquid transport apparatus provided with piezoelectric actuator | |
JP4329734B2 (ja) | インクジェットヘッド | |
JP6323483B2 (ja) | 圧電アクチュエータ | |
US8474953B2 (en) | Droplet ejecting apparatus | |
JP4857986B2 (ja) | インクジェットプリンタ、及びインクジェットプリンタ用ヘッド | |
JP6525070B2 (ja) | 圧電アクチュエータ | |
JP5900539B2 (ja) | インクジェットヘッド | |
JP2019142237A (ja) | 圧電アクチュエータ | |
JP6011169B2 (ja) | 液滴吐出装置 | |
JP4687083B2 (ja) | 液体移送装置 | |
JP7201116B2 (ja) | アクチュエータ装置、及び、液体吐出装置 | |
JP5333132B2 (ja) | 圧力付与部の給電構造及び給電配線部材 | |
JP5035519B2 (ja) | 回路素子実装フレキシブル配線材 | |
JP6582962B2 (ja) | インクジェットヘッド及びインクジェット記録装置 | |
JP6179833B2 (ja) | 液滴吐出装置及び装置 | |
JP6597279B2 (ja) | インクジェットヘッド及びインクジェット記録装置 | |
JP2009160943A (ja) | インクジェットヘッド | |
JP2015066878A (ja) | 液体吐出装置 | |
JP2014046592A (ja) | 液体吐出装置、アクチュエータ装置、及び、液体吐出装置の製造方法 | |
JP2007055246A (ja) | インクジェットプリンタ、インクジェットプリンタ用ヘッド及びそれに用いるフレキシブルケーブル |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20120702 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20131111 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20131203 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A821 Effective date: 20140120 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20140120 |
|
RD02 | Notification of acceptance of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7422 Effective date: 20140120 |
|
RD04 | Notification of resignation of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7424 Effective date: 20140120 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20140520 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20140602 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 5564858 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |