JP6110182B2 - 圧電/電歪素子 - Google Patents
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Description
アクチュエータ100の構成について、図面を参照しながら説明する。図1は、アクチュエータ100の構成を示す平面図である。図2は、図1のX−X断面図である。以下の説明では、図1に示すように、圧電/電歪素子20が延びる方向を“長さ方向”と称し、長さ方向に直交する方向を“幅方向”と称する。また、図2に示すように、長さ方向及び幅方向に直交する方向を“厚み方向”と称する。
支持体10は、板状の焼成体である。支持体10は、絶縁材料によって構成される。支持体10を構成する絶縁材料としては、例えば、安定化された酸化ジルコニウム、酸化アルミニウム、酸化マグネシウム、ムライト、窒化アルミニウム及び窒化珪素などが挙げられる。
圧電/電歪素子20は、支持体10上において、長さ方向に延びるように形成される。複数の圧電/電歪素子20は、互いに平行に並べられる。
下部電極21は、振動膜11上に配置される薄板状の焼成体である。下部電極21は、平面視において、振動膜11よりも一回り小さいサイズに形成される。下部電極21の長さは、例えば500μm〜5000μmであり、下部電極21の幅は、例えば30μm〜500μmであり、下部電極21の厚みは、例えば0.1μm〜10.0μmである。
圧電体22は、下部電極21上に配置される薄板状の焼成体である。圧電体22は、第1主面22Sと、第2主面22Tと、側面22Uと、を有する。第1主面22S上には、上部電極23が配置される。第2主面22T上には、下部電極21が配置される。下部電極21と上部電極23に電圧を印加すると、圧電体22は厚み方向に垂直な方向に伸縮する。この圧電体22の伸縮に起因して、振動膜11が厚み方向に振動(変位)する。側面22Uは、第1主面22Sと第2主面22Tに連なる。側面22Uは、第1主面22S及び第2主面22Tに対して垂直でなくてもよい。
上部電極23は、圧電体22上に配置される薄板状の焼成体である。上部電極23は、電極側面23Sと、電極上面23Tと、を有する。電極側面23Sは、圧電体22の第1主面22Sに連なる。電極側面23Sは、第1主面22Sに垂直でなくてもよく、第1主面22Sに対して傾いていてもよい。電極上面23Tは、電極側面23Sに連なる。電極上面23Tは、電極側面23Sに垂直でなくてもよく、電極側面23Sに対して傾いていてもよい。
ガラス層24は、圧電体22の第1主面22S上と上部電極23の電極側面23S上とに連続して形成されている。ただし、ガラス層24は、圧電体22の側面22Uには形成されておらず、側面22Uから離れている。
次に、アクチュエータ100の製造方法について、図面を参照しながら説明する。
ガラス層24は、圧電体22の第1主面22S上と上部電極23の電極側面23S上とに連続して形成されている。従って、ガラス層24によって上部電極23が圧電体22に密着させることができるため、上部電極23が圧電体22から剥離することを抑制することができる。
本発明は以上のような実施形態に限定されるものではなく、本発明の範囲を逸脱しない範囲で種々の変形又は変更が可能である。
以下のようにして、サンプルNo.1に係る圧電/電歪素子を作製した。
以下のようにして、サンプルNo.2に係る圧電/電歪素子を作製した。サンプルNo.1との相違点は、図8に示すように、ガラス層を形成しなかった点である。
以下のようにして、サンプルNo.3に係る圧電/電歪素子を作製した。サンプルNo.1との相違点は、図9に示すように、ガラス層を圧電体の側面にも形成した点である。
以下のようにして、サンプルNo.4に係るインクジェットヘッド用アクチュエータを作製した。
以下のようにして、サンプルNo.5に係るインクジェットヘッド用アクチュエータを作製した。サンプルNo.4との相違点は、図11に示すように、ガラス層を形成しなかった点である。
以下のようにして、サンプルNo.6に係るインクジェットヘッド用アクチュエータを作製した。サンプルNo.4との相違点は、図12に示すように、ガラス層を圧電体の側面にも形成した点である。
サンプルNo.1〜6の電極の密着力を評価した。
サンプルNo.1,3,4,6の圧電/電歪素子の変位量を測定した。サンプルNo.2,5については、上記密着力評価試験において電極の剥離が確認されたため変位量を測定しなかった。
20 圧電/電歪素子
21 下部電極
22 圧電体
22S 第1主面
22T 第2主面
22U 側面
23 上部電極
23S 電極側面
23T 電極上面
24 ガラス層
100 アクチュエータ
Claims (2)
- 薄板状に形成された圧電体と、
前記圧電体の第1主面上に配置され、前記第1主面に連なる電極側面を有する第1電極と、
前記圧電体の第2主面上に配置される第2電極と、
前記第1主面上と前記電極側面上に連続して形成され、ガラスを主成分として含有するガラス層と、
を備え、
前記ガラス層は、前記圧電体の側面から離れており、
前記ガラス層の厚みは、前記第1電極の厚みよりも小さい、
圧電/電歪素子。 - 前記ガラス層は、メッシュ状に形成されている、
請求項1に記載の圧電/電歪素子。
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