JP5082337B2 - 圧電アクチュエータ、インクジェットプリンタ及び圧電アクチュエータの製造方法 - Google Patents
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Description
図1は本発明の第1実施形態に係るインクジェットプリンタ1の概略斜視図である。図1に示すように、インクジェットプリンタ1は、筐体2に架設されたガイドロッド3を有し、そのガイドロッド3にキャリッジ4がスライド可能に支持されている。キャリッジ4の下部にはインクジェットヘッド10が設けられており、その下方で紙送りローラ5により搬送される記録用紙6に向けてインクジェットヘッド10からインクが噴射される構成となっている。キャリッジ4は、一対のプーリー7に巻き掛けられたタイミングベルト8に接合されており、タイミングベルト8はガイドロッド3の軸線方向と平行に配設されている。一方のプーリー7には正逆回転駆動するモータ9が設けられており、そのプーリー7が正逆回転駆動されることでタイミングベルト8が往復移動し、キャリッジ4に取り付けられたインクジェットヘッド10がガイドロッド3に沿って走査される。
図14乃至図16は第1実施形態の圧電アクチュエータの製造手順の変形例を示している。なお、第1圧電層14を成膜する工程までは前述した図6乃至図8と同様であるため説明を省略する。図14に示すように、非成膜領域にマスクM6を被せた状態で、電極材料をスクリーン印刷で成膜して個別電極15を夫々の圧力室32に対応して形成する。この際、振動板13の露出領域13dと、第1圧電層14の上面の側端部14aに沿った部分は非成膜領域としている。
図17は参考形態のインクジェットヘッド40の斜視図である。図18は図17に示すインクジェットヘッド40の平面図である。なお、インクジェットヘッド40の流路ユニット11は第1実施形態と同様であるので同一符号を付して説明を省略する。図17及び図18に示すように、インクジェットヘッド40の圧電アクチュエータ41は、ステンレス等の導電性材料からなり下部共通電極(第1電極)を兼ねた1枚の振動板42と、振動板42上に形成された1枚の第1圧電層43と、第1圧電層43の上面にそれぞれ多数配列された個別電極(第2電極)44と、個別電極44を第1圧電層43との間で挟むように形成された一対の第2圧電層45と、第2圧電層45の上面にそれぞれ形成された上部共通電極(第3電極)46とを備えている。
図21は第2実施形態のインクジェットヘッドの左辺側から見た要部断面図である。図22は第2実施形態のインクジェットヘッドの前辺側から見た要部断面図である。第1実施形態との相違点は、圧電アクチュエータ51の圧電層の積層数を4枚に増やしている点である。なお、インクジェットヘッド50の流路ユニット11及び振動板13は第1実施形態と同様であるので同一符号を付して説明を省略する。図21及び図22に示すように、圧電アクチュエータ51は、下から順に、振動板13、第1圧電層52、下部個別電極53、第2圧電層54、中間共通電極55、第3圧電層56、上部個別電極57、第4圧電層58及び上部共通電極59を有している。
11 流路ユニット
12,41,51 圧電アクチュエータ
13,42 振動板
13a,14a,16a 側端部
14,43 第1圧電層
15,44 個別電極(第2電極)
16,45 第2圧電層
17,46 上部共通電極(第3電極)
25 振動板本体
26 非導電層
27 下部共通電極(第1電極)
Claims (8)
- 少なくとも一方面の少なくとも一部が第1電極として導電性を有する振動板と、前記振動板の一方面上に形成された第1圧電層と、前記第1圧電層の前記振動板とは反対側の面上に形成された第2電極と、前記第2電極を前記第1圧電層との間で挟むように形成された第2圧電層と、前記第2圧電層の前記第1圧電層とは反対側の面上に形成された第3電極とを備え、
前記第1圧電層及び前記第2圧電層は平面視で矩形状であり、
前記第1圧電層の側端部が前記第2圧電層の対応する側端部よりも側方に突出し、かつ、前記振動板の側端部が前記第1圧電層の対応する側端部よりも側方に突出し、
前記第3電極は、前記第1圧電層及び第2圧電層の前記側端部を通過して前記振動板の一方面上まで階段状に延設されており、
前記第3電極が通過する前記側端部と交差する異なる辺において、前記振動板の側端部が前記第1圧電層の対応する側端部よりも側方に突出しており、
前記第2電極は、前記交差する異なる辺において前記第1圧電層の前記側端部を通過して、前記振動板の一方面上まで段差状に延設されていることを特徴とする圧電アクチュエータ。 - 前記第2電極は、互いに独立した複数の個別電極からなる個別電極群を有し、
前記第1電極及び前記第3電極は、前記個別電極群に対応する共通電極である請求項1に記載の圧電アクチュエータ。 - 前記複数の個別電極が第1方向に列状に並んで配置されるとともに、当該個別電極の列が前記第1方向に交差する第2方向に複数並んでおり、
前記共通電極は、前記第1方向に引き出されるように延設されており、前記個別電極は、前記第2方向に引き出されるように延設されている請求項2に記載の圧電アクチュエータ。 - 前記振動板が導電性材料で形成されて前記共通電極を兼ねており、
前記第3電極が前記振動板に導通接続されている請求項2又は3に記載の圧電アクチュエータ。 - 前記振動板が非導電層を有し、前記非導電層上に前記第1電極が形成され、
前記第3電極が前記振動板の一方面上で前記第1電極に導通接続されている請求項2又は3に記載の圧電アクチュエータ。 - 請求項3に記載の圧電アクチュエータと、
前記第1方向において前記圧電アクチュエータの一方側に配置されたインク供給口を有する流路ユニットと、を備え、
前記共通電極は、前記第1方向における前記インク供給口が形成されていない他方側から引き出されていることを特徴とするインクジェットプリンタ。 - 少なくとも一方面の少なくとも一部が第1電極となる導電性を有する振動板の一方面上に、その側端部に沿った露出領域を残しつつ平面視で矩形状の第1圧電層を形成する第1工程と、
前記第1圧電層の前記振動板とは反対側の面上に第2電極を形成する第2工程と、
前記第1圧電層の前記振動板とは反対側の面上に、その側端部に沿った露出領域を残した状態で、かつ、前記第2電極を前記第1圧電層との間で挟むように平面視で矩形状の第2圧電層を形成する第3工程と、
前記第2圧電層の前記第1圧電層とは反対側の面上から、前記第1圧電層及び第2圧電層の側端部を通過して、前記振動板まで階段状に延設される第3電極を形成する第4工程と、を備え、
前記第3電極が通過する前記側端部と交差する異なる辺において、前記振動板の側端部が前記第1圧電層の対応する側端部よりも側方に突出しており、
前記第2電極は、前記交差する異なる辺において前記第1圧電層の前記側端部を通過して、前記振動板の一方面上まで段差状に延設されており、
前記第4工程において、前記第3電極は成膜法によって形成され、
前記第4工程は少なくとも2回の成膜工程を含み、
先の成膜工程によって、前記第1圧電層及び振動板に対しての成膜が施され、
後の成膜工程によって、前記第2圧電層及び第1圧電層に対しての成膜が施されることで、前記第3電極が形成されることを特徴とする圧電アクチュエータの製造方法。 - 少なくとも一方面の少なくとも一部が第1電極となる導電性を有する振動板の一方面上に、その側端部に沿った露出領域を残しつつ平面視で矩形状の第1圧電層を形成する第1工程と、
前記第1圧電層の前記振動板とは反対側の面上に第2電極を形成する第2工程と、
前記第1圧電層の前記振動板とは反対側の面上に、その側端部に沿った露出領域を残した状態で、かつ、前記第2電極を前記第1圧電層との間で挟むように平面視で矩形状の第2圧電層を形成する第3工程と、
前記第2圧電層の前記第1圧電層とは反対側の面上から、前記第1圧電層及び第2圧電層の側端部を通過して、前記振動板まで階段状に延設される第3電極を形成する第4工程と、を備え、
前記第3電極が通過する前記側端部と交差する異なる辺において、前記振動板の側端部が前記第1圧電層の対応する側端部よりも側方に突出しており、
前記第2電極は、前記交差する異なる辺において前記第1圧電層の前記側端部を通過して、前記振動板の一方面上まで段差状に延設されており、
前記第4工程において、前記第3電極は成膜法によって形成され、
一回の成膜工程によって、前記第2圧電層、前記第1圧電層及び前記振動板に対しての成膜が施されることで前記第3電極が形成されることを特徴とする圧電アクチュエータの製造方法。
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