JP5228842B2 - 圧電アクチュエータの製造方法 - Google Patents

Description

本発明は、圧電層を変形させることにより駆動する圧電アクチュエータの製造方法に関する。

特許文献１に記載の液体移送装置においては、流路ユニットの上面に、複数の圧力室を覆うように配置された共通電極を兼ねる振動板と、振動板の上面に配置された圧電層と、圧電層の上面の複数の圧力室と対向する部分にそれぞれ形成された個別電極とを有する圧電アクチュエータが配置されている。圧電層の各個別電極と共通電極としての振動板とに挟まれた部分はその厚み方向に分極されており、個別電極に駆動電位を付与すると、圧電層の個別電極と振動板とに挟まれた部分に分極方向と同じ方向の電界が発生し、この電界により圧電層のこの部分が水平方向に収縮する。これにより、振動板及び圧電層の圧力室と対向する部分が全体として圧力室側に凸となるように変形（いわゆるユニモルフ変形）し、この変形により圧力室の容積が小さくなることで圧力室内のインクの圧力が上昇して、圧力室に連通するノズルからインクが吐出される。

特開２００８−２６５３５３号公報

また、いわゆるユニモルフ変形により駆動する圧電アクチュエータの構成として、特許文献１に記載されているもの以外に、特願２００８−０９４１５０に記載されているようなものがある。特願２００８−０９４１５０に記載の圧電アクチュエータにおいては、振動板の上面に互いに２つの圧電層が積層されて配置されており、これら２つの圧電層のうち下側の圧電層の下面、２つの圧電層の間、及び、上側の圧電層の上面に、それぞれ電極（下部電極、中間電極及び上部電極）が形成されている。そして、上側の圧電層（上部圧電層）の圧力室の中央部と対向する部分（第１活性部）が中間電極と上部電極とにより挟まれているとともに中間電極から上部電極に向かう方向に分極されている。一方、２つの圧電層の圧力室と対向する部分のうち平面視で第１活性部よりも外側の部分（第２活性部）が、上部電極と下部電極とにより挟まれているとともに、上部電極から下部電極に向かう方向に分極されている（当該出願の図６４など参照）。

そして、このような圧電アクチュエータは、下部電極をグランド電位に保持するとともに、中間電極を所定の正の電位（例えば、２０Ｖ程度）に保持した状態で、上部電極の電位をグランド電位と上記正の電位との間で切り替えることにより、振動板及び２つの圧電層の圧力室と対向する部分を、圧力室側及び圧力室と反対側に凸となるように変形させることができ、これにより、圧電層及び振動板を大きく変形させることができる。

ここで、特願２００８−０９４１５０に記載の圧電アクチュエータにおいては、上記第１活性部と上記第２活性部とを分極させる必要がある。このとき、第１活性部と第２活性部とを同時に分極しようとすると、上部電極を中間電極よりも低電位とし、下部電極を上部電極よりも低電位とする必要がある。しかしながら、この場合には、下部電極と中間電極との電位差が大きくなってしまう。その結果、下部圧電層のこれらの電極に挟まれた部分に大きな電界が発生し、下部圧電層のこれらの部分にクラックが発生してしまう虞がある。

そこで、第１活性部と第２活性部とを別々に分極することが考えられるが、この場合でも、分極の際の各電極の電位によっては、第１活性部を分極する際に、下部圧電層の下部電極と中間電極とに挟まれた部分や、第２活性部に大きな電界が発生して、これらの部分にクラックが発生してしまう、あるいは、第２活性部を分極する際に、下部圧電層の下部電極と中間電極とに挟まれた部分や、第１活性部に大きな電界が発生して、これらの部分にクラックが発生してしまう虞がある。

本発明の目的は、圧電層に発生する電界を極力小さくすることが可能な圧電アクチュエータの製造方法を提供することである。

第１の発明に係る圧電アクチュエータの製造方法は、振動板と、前記振動板の一表面側に配置された下部圧電層と、前記下部圧電層の前記振動板と反対側の面に配置された上部圧電層と、前記下部圧電層の前記振動板側の面に形成された下部電極と、前記下部圧電層と前記上部圧電層との間に形成されており、前記下部電極の一部分と対向する中間電極と、前記上部圧電層の前記下部圧電層と反対側の面に形成されており、前記中間電極と対向しているとともに、前記中間電極と対向しない部分において前記下部電極と対向した上部電極とを備えており、前記上部圧電層の前記上部電極と前記中間電極とに挟まれた部分が、前記中間電極から前記上部電極に向かって分極された第１活性部となっており、前記下部圧電層及び前記上部圧電層の前記下部電極と前記上部電極とに挟まれており且つ前記中間電極と対向しない部分が、前記上部電極から前記下部電極に向かって分極された第２活性部となった圧電アクチュエータの製造方法であって、前記第２活性部を分極する第２活性部分極工程と、前記第２活性部分極工程の後、前記第１活性部を分極する第１活性部分極工程とを備えており、前記第２活性部分極工程において、前記下部電極を前記上部電極よりも低い電位とするとともに、前記中間電極を前記上部電極及び前記下部電極の間の電位とすることによって、前記上部電極と前記下部電極との間に分極電圧を印加し、前記第１活性部分極工程において、前記上部電極と前記下部電極とを同電位にした状態で、前記中間電極を前記上部電極及び前記下部電極よりも高い電位とすることによって、前記上部電極と前記中間電極との間に、分極電圧を印加することを特徴とするものである。

第１活性部及び第２活性部を分極する際に、上部圧電層及び下部圧電層に過度に大きな電界が発生してしまうと、上部圧電層及び下部圧電層にクラックが発生してしまう虞がある。しかしながら、本発明では、互いに反対方向に分極させるべき第１活性部及び第２活性部を分極させる際に、上部圧電層及び下部圧電層に発生する電界を極力小さくすることができ、上部圧電層及び下部圧電層にクラックが発生してしまうのを防止することができる。なお、第１活性部は、第２活性部において上部電極から中間電極に向かう方向に分極された後、第１活性部分極工程において分極の向きが反転して中間電極から上部電極に向かう方向に分極される。また、本発明において、電極間に分極電圧を印加するというのは、電極間に電界を印加することと同じ意味である。

第２の発明に係る圧電アクチュエータの製造方法は、振動板と、前記振動板の一表面側に配置された下部圧電層と、前記下部圧電層の前記振動板と反対側の面に配置された上部圧電層と、前記下部圧電層の前記振動板側の面に形成された下部電極と、前記下部圧電層と前記上部圧電層との間に形成されており、前記下部電極の一部分と対向する中間電極と、前記上部圧電層の前記下部圧電層と反対側の面に形成されており、前記中間電極と対向しているとともに、前記中間電極と対向しない部分において前記下部電極と対向した上部電極とを備えており、前記上部圧電層の前記上部電極と前記中間電極とに挟まれた部分が、前記上部電極から前記中間電極に向かって分極された第１活性部となっており、前記下部圧電層及び前記上部圧電層の前記下部電極と前記上部電極とに挟まれており且つ前記中間電極と対向しない部分が、前記下部電極から前記上部電極に向かって分極された第２活性部となった圧電アクチュエータの製造方法であって、前記第２活性部を分極する第２活性部分極工程と、前記第２活性部分極工程の後、前記第１活性部を分極する第１活性部分極工程とを備えており、前記第２活性部分極工程において、前記上部電極を前記下部電極よりも低い電位とするとともに、前記中間電極を前記上部電極及び前記下部電極の間の電位とすることによって、前記上部電極と前記下部電極との間に分極電圧を印加し、前記第１活性部分極工程において、前記上部電極と前記下部電極とを同電位にした状態で、前記中間電極を前記上部電極及び前記下部電極よりも低い電位とすることによって、前記上部電極と前記中間電極との間に、分極電圧を印加することを特徴とするものである。

第１活性部及び第２活性部を分極する際に、上部圧電層及び下部圧電層に過度に大きな電界が発生してしまうと、上部圧電層及び下部圧電層にクラックが発生してしまう虞がある。しかしながら、本発明では、互いに反対方向に分極させるべき第１活性部及び第２活性部を分極させる際に、上部圧電層及び下部圧電層に発生する電界を極力小さくすることができ、上部圧電層及び下部圧電層にクラックが発生してしまうのを防止することができる。なお、第１活性部は、第２活性部において中間電極から上部電極に向かう方向に分極された後、第１活性部分極工程において分極の向きが反転して上部電極から中間電極に向かう方向に分極される。また、本発明において、電極間に分極電圧を印加するというのは、電極間に電界を印加することと同じ意味である。

第３の発明に係る圧電アクチュエータの製造方法は、第１又は第２の発明に係る圧電アクチュエータの製造方法であって、前記中間電極が、前記下部電極の中央部と対向するように配置されており、前記下部電極が、前記中間電極、及び、前記下部電極の前記中間電極と対向する部分よりも外側の部分と対向するように配置されていることを特徴とするものである。

これによると、このような構成の圧電アクチュエータであっても、互いに反対方向に分極させるべき第１活性部及び第２活性部を分極させる際に、上部圧電層及び下部圧電層に発生する電界を極力小さくすることができ、上部圧電層及び下部圧電層にクラックが発生してしまうのを防止することができる。
第４の発明に係る圧電アクチュエータの製造方法は、第１〜第３のいずれかの発明に係る圧電アクチュエータの製造方法であって、前記振動板、前記下部圧電層及び前記上部圧電層の積層方向から見て、前記下部電極と前記中間電極とが重なる面積と、前記上部電極と前記中間電極とが重なる面積とが、異なっていることを特徴とするものである。
第５の発明に係る圧電アクチュエータの製造方法は、第１〜第４のいずれかの発明に係る圧電アクチュエータの製造方法であって、前記圧電アクチュエータが、ノズル、及び、前記ノズルに連通する圧力室を含む液体流路が形成された流路ユニットに組み付けられた、前記圧力室内の液体に圧力を付与するためのものであって、前記第１活性部及び前記第２活性部が分極される前の状態の前記圧電アクチュエータが前記流路ユニットに組み付けられた後に、前記第１活性部分極工程及び前記第２活性部分極工程を行うことを特徴とするものである。

本発明によれば、第１活性部及び第２活性部を分極する際に、上部圧電層及び下部圧電層に過度に大きな電界が発生してしまうと、上部圧電層及び下部圧電層にクラックが発生してしまう虞がある。しかしながら、本発明では、互いに反対方向に分極させるべき第１活性部及び第２活性部を分極させる際に、上部圧電層及び下部圧電層に発生する電界を極力小さくすることができ、上部圧電層及び下部圧電層にクラックが発生してしまうのを防止することができる。

以下、本発明の好適な実施の形態について説明する。

図１は、本実施の形態に係るプリンタの概略構成図である。図１に示すように、プリンタ１は、キャリッジ２、インクジェットヘッド３、搬送ローラ４などを備えている。

キャリッジ２は走査方向（図１の左右方向）に往復移動する。インクジェットヘッド３はキャリッジ２の下面に取り付けられており、その下面に形成されたノズル１５（図３参照）からインクを吐出する。搬送ローラ４は、記録用紙Ｐを紙送り方向（図１の手前方向）に搬送する。そして、プリンタ１においては、キャリッジ２とともに走査方向に往復移動するインクジェットヘッド３のノズル１５から、記録用紙Ｐにインクが吐出されることにより、記録用紙Ｐに印刷が行われる。また、印刷が完了した記録用紙Ｐは、搬送ローラ４によって紙送り方向に排出される。

次にインクジェットヘッド３について詳細に説明する。図２は、図１のインクジェットヘッド３の分解斜視図である。図３は、図２のインクジェットヘッド３の平面図である。図４（ａ）は図３の部分拡大図である。図４（ｂ）〜（ｄ）は、それぞれ、図４（ａ）における、後述する振動板４０、下部圧電層４１及び上部圧電層４２の上面を示した図である。図５は、図４（ａ）のＶ−Ｖ線断面図である。図６は、図４（ａ）のＶＩ−ＶＩ線断面図である。

なお、図面を分かりやすくするため、図３、図４においては、後述する流路ユニット３１の圧力室１０及びノズル１５除くインク流路の図示を省略し、図３においては、圧電アクチュエータ３２の下部電極４３及び中間電極４４の図示を省略している。また、図４（ａ）においては、ともに点線で図示すべき下部電極４３及び中間電極４４を、それぞれ二点鎖線及び一点鎖線で図示している。さらに、図４（ｂ）〜（ｄ）においては、それぞれ、後述する下部電極４３、中間電極４４及び上部電極４５にハッチングを付している。また、図６においては、流路ユニット３１の圧力室１０よりも下の部分の図示を省略している。

図２〜図６に示すように、インクジェットヘッド３は、流路ユニット３１と圧電アクチュエータ３２とを備えている。流路ユニット３１は、複数のプレート２１〜２７が互いに積層されることによって、インク供給口９からインクが供給されるマニホールド流路１１、及び、マニホールド流路１１の出口からアパーチャ流路１２を経て圧力室１０に至り、さらに、圧力室１０からディセンダ流路１４を経てノズル１５に至る複数の個別インク流路を有するインク流路（液体移送流路）が形成されている。そして、後述するように、圧電アクチュエータ３２により、圧力室１０内のインクに圧力が付与されると、圧力室１０に連通するノズル１５からインクが吐出される。

複数の圧力室１０は、走査方向（図３の左右方向）を長手方向とする略楕円形の平面形状を有しており、紙送り方向（図３の上下方向）に沿って配列されて１つの圧力室列８を構成しており、このような圧力室列８が、走査方向に２列に配列されることによって１つの圧力室群７を構成している。さらに、このような圧力室群７が走査方向に沿って５つ配列されている。ここで、１つの圧力室群７に含まれる２列の圧力室列８を構成する圧力室１０同士は、紙送り方向に関して互いにずれて配置されている。また、複数のノズル１５も、複数の圧力室１０と同様に配置されている。

そして、これら５つの圧力室群７のうち、図３の右側の２つを構成する圧力室１０に対応するノズル１５からはブラックのインクが吐出され、図３の左側の３つを構成する圧力室１０に対応するノズル１５からは、図３の右側に配列されているものから順に、イエロー、シアン、マゼンタのインクが吐出される。なお、インク流路の他の部分の構成については、従来のものと同様であるので、ここでは、その詳細な説明を省略する。

圧電アクチュエータ３２は、振動板４０及び下部圧電層４１、上部圧電層４２、下部電極４３、中間電極４４及び上部電極４５を備えている。振動板４０は、チタン酸鉛とジルコン酸鉛との混晶であるチタン酸ジルコン酸鉛を主成分とする圧電材料からなり、複数の圧力室１０を覆うように、流路ユニット３１の上面に配置されている。また、振動板４０の厚みは２０μｍ程度となっている。この振動板４０は必ずしも圧電材料からなる必要はない。

下部圧電層４１及び上部圧電層４２は、振動板４０と同様の圧電材料からなり、互いに積層されて振動板４０の上面に配置されている。また、下部圧電層４１及び上部圧電層４２の厚みは、それぞれ２０μｍ程度となっている。

下部電極４３は、振動板４０と下部圧電層４１との間（下部圧電層４１の振動板４０側の面）に配置されており、各圧力室群７に対応して、各圧力室群７を構成する２列の圧力室列８に沿って紙送り方向に延びており、これら２列の圧力室列８を構成する複数の圧力室１０と対向している。また、図示しないが、上記紙送り方向に延びた部分同士は互いに接続されている。また、下部電極４３は、圧電アクチュエータ３２の上方に配置されたフレキシブルプリント基板（ＦＰＣ）５０を介してドライバＩＣ５１に接続されており、ドライバＩＣ５１により常にグランド電位に保持されている。

中間電極４４は、下部圧電層４１と上部圧電層４２との間に配置されており、圧力室群７毎に、それぞれ、複数の対向部４４ａ及び接続部４４ｂ、４４ｃを有している。複数の対向部４４ａは、紙送り方向に関する長さが圧力室１０よりも短い略矩形の平面形状を有しており、複数の圧力室１０の紙送り方向に関する略中央部と対向するように配置されている。

接続部４４ｂは、紙送り方向に延びて、各圧力室群７を構成する２列の圧力室列８のうち、図４の右側に配置された圧力室列８を構成する複数の圧力室１０に対応する複数の対向部４４ａの図４右側の端同士を接続している。接続部４４ｃは、紙送り方向に延びて、各圧力室群７を構成する２列の圧力室列８のうち、図４の左側に配置された圧力室列８を構成する複数の圧力室１０に対応する複数の対向部４４ａの図４左側の端同士を接続している。また、中間電極４４は、ＦＰＣ５０を介してドライバＩＣ５１に接続されており、ドライバＩＣ５１により、常に、グランド電位とは異なる所定の電位（例えば、２０Ｖ程度）に保持されている。

複数の上部電極４５は、上部圧電層４２の上面（下部圧電層４１と反対側の面）に、
複数の圧力室１０に対応して、複数の圧力室１０のほぼ全域と対向するように配置されており、紙送り方向に関する長さが中間電極４４の対向部４４ａよりも長い、略矩形の平面形状を有している。また、上部電極４５は、走査方向に関するノズル１５と反対側の端における一部分が、走査方向に圧力室１０と対向しない部分まで延びており、この部分がＦＰＣ５０に接続される接続端子４５ａとなっている。また、上部電極４５は、ＦＰＣ５０を介してドライバＩＣ５１に接続されており、グランド電位と上記所定の電位（例えば、２０Ｖ）との間でその電位が切り替えられる。

そして、このように下部電極４３、中間電極４４及び上部電極４５が配置されることにより、上部圧電層４２における圧力室１０（上部電極４５）の略中央部と対向する部分（第１活性部Ｒ１）において、上部電極４５と中間電極４４とが対向することとなる。この第１活性部Ｒ１は、中間電極４４から上部電極４５に向かって上向きに分極されている。

さらに、上部圧電層４２及び下部圧電層４１における圧力室１０と対向する部分のうち、中間電極４４と対向する部分よりも外側の部分（中間電極４４と対向しない部分、第２活性部Ｒ２）において、上部電極４５と下部電極４３とが対向することとなる。そして、第２活性部Ｒ２は、上部電極４５から下部電極４３に向かって下向きに分極されている。

なお、下部圧電層４１のうち、中間電極４４と下部電極４３とに挟まれた部分は、中間電極４４から下部電極４３に向かって下向きに分極されている。

ここで、圧電アクチュエータ３２の動作について説明する。まず、圧電アクチュエータ３２がインクを吐出させる動作を行う前の待機状態においては、前述したように、下部電極４３及び中間電極４４が、それぞれ、常にグランド電位及び上記所定の電位（例えば、２０Ｖ）に保持されているとともに、上部電極４５の電位が予めグランド電位に保持されている。この状態では、上部電極４５が中間電極４４よりも低電位になっているとともに、下部電極４３と同電位となっている。

これにより、上部電極４５と中間電極４４との間の電位差が生じ、第１活性部Ｒ１にはその分極方向と同じ上向きの電界が発生し、第１活性部Ｒ１がこの電界と直交する水平方向に収縮する。これにより、いわゆるユニモルフ変形が生じ、上部圧電層４２、下部圧電層４１及び振動板４０の圧力室１０と対向する部分が全体として圧力室１０に向かって凸となるように変形する。この状態では、上部圧電層４２、下部圧電層４１及び振動板４０が変形していない場合と比較して、圧力室１０の容積が小さくなっている。

そして、インクを吐出させるべく圧電アクチュエータ３２を駆動させる際には、上部電極４５の電位を、一旦、上記所定の電位に切り替えた後、グランド電位に戻す。上部電極４５の電位を上記所定の電位に切り替えると、上部電極４５が中間電極４４と同電位となるとともに、下部電極４３よりも高電位となる。これにより、第１活性部Ｒ１の上記収縮が元に戻る。そしてこれと同時に、上部電極４５と下部電極４３との間に電位差が生じ、第２活性部にはその分極方向と同じ下向きの電界が発生し、第２活性部Ｒ２が水平方向に収縮する。これにより、上部圧電層４２、下部圧電層４１及び振動板４０が全体として、圧力室１０と反対側に凸となるように変形し、圧力室１０の容積が増加する。

この後、上部電極４５の電位をグランド電位に戻すと、前述したのと同様、上部圧電層４２、下部圧電層４１及び振動板４０の圧力室１０と対向する部分が全体として圧力室１０に向かって凸となるように変形し、圧力室１０の容積が小さくなる。これにより、圧力室１０内のインクの圧力が上昇し（圧力室１０内のインクに圧力が付与され）、圧力室１０に連通するノズル１５からインクが吐出される。

また、上述したようにして圧電アクチュエータ３２を駆動させる場合、上部電極４５の電位をグランド電位から所定の電位に切り替えたときには、第１活性部Ｒ１が収縮した状態から収縮前の状態に伸長すると同時に、第２活性部Ｒ２が収縮するため、第１活性部Ｒ１の伸長が第２活性部Ｒ２の収縮に一部吸収される。一方、上部電極４５の電位を所定の電位からグランド電位に戻したときには、第１活性部Ｒ１が収縮するとともに、第２活性部Ｒ２が収縮前の状態まで伸長するため、第１活性部Ｒ１の収縮が第２活性部Ｒ２の伸長によって一部吸収される。

以上のことから、下部圧電層４１及び上部圧電層４２の圧力室１０と対向する部分の変形が、他の圧力室１０と対向する部分に伝達して当該他の圧力室１０に連通するノズル１５からのインクの吐出特性が変動してしまう、いわゆるクロストークが抑制される。

なお、上述した待機状態及び圧電アクチュエータ３２が駆動されている間においては、下部圧電層４１の中間電極４４と下部電極４３との間の部分には常に電位差が生じており、下部圧電層４１のこの部分には、その分極方向と同じ方向の電界が発生している。これにより、下部圧電層４１のこの部分は常に収縮した状態となっている。

次に、インクジェットヘッド３（圧電アクチュエータ３２）の製造方法、より詳細には、上部圧電層４２及び下部圧電層４１（第１活性部Ｒ１及び第２活性部Ｒ２）の分極方法について説明する。図７は、上記分極の工程を示す工程図である。

第１活性部Ｒ１及び第２活性部Ｒ２を分極させる際には、まず、図７（ａ）に示すように、第１活性部Ｒ１及び第２活性部Ｒ２が分極されていない状態の圧電アクチュエータ３２において、下部電極４３を上部電極４５よりも低電位（例えば、上部電極４５を３０Ｖ程度、下部電極４３を−３０Ｖ程度）にするとともに、中間電極４４の電位を上部電極４５と下部電極４３との間の電位（例えば、グランド電位（０Ｖ））にする（第２活性部分極工程）。すると、上部電極４５と下部電極４３との間に電位差が生じ（分極電圧（電界）が印加され）、上部電極４５と下部電極４３とに挟まれた第２活性部Ｒ２に、上部電極４５から下部電極４３に向かって１．５ｋＶ／ｍｍ程度の電界が発生し、これにより、第２活性部Ｒ２が下向きに（上部電極４５から下部電極４３に向かって）分極される。

このとき、上部電極４５と中間電極４４との間にも電位差が生じており、これらの電極に挟まれた第１活性部Ｒ１には、１．５ｋＶ／ｍｍ程度の上部電極４５から中間電極４４に向かう下向きの電界が発生している。これにより、第１活性部Ｒ１は分極させるべき方向と反対向きに分極されることとなる。

また、このとき、中間電極４４と下部電極４３との間にも電位差が生じており、下部圧電層４１のこれらの電極に挟まれた部分に１．５ｋＶ／ｍｍ程度の中間電極４４から下部電極４３に向かう下向きの電界が発生している。これにより、下部圧電層４１のこの部分は下向きに分極されることになる。

次に、図７（ｂ）に示すように、上部電極４５及び下部電極４３を同電位（例えば、グランド電位（０Ｖ））にするとともに、中間電極４４の電位をこれよりも高電位（例えば、３０Ｖ程度）にする（第１活性部分極工程）。すると、上部電極４５と中間電極４４との間に電位差が生じ、上部電極４５と中間電極４４とに挟まれた第１活性部Ｒ１に１．５ｋＶ／ｍｍ程度の中間電極４４から上部電極４５に向かう上向きの電界が発生する。これにより、第１活性部Ｒ１の分極方向が反転し、中間電極４４から上部電極４５に向かって上向きに分極される。

このとき、中間電極４４と下部電極４３との間にも電位差が生じており、下部圧電層４１のこれらの電極に挟まれた部分に１．５ｋＶ／ｍｍ程度の中間電極４４から下部電極４３に向かう下向きの電界が発生している。これにより、下部圧電層４１のこの部分は下向きに分極された状態に保持される。

ここで、第１活性部Ｒ１及び第２活性部Ｒ２を分極させるために、例えば、図８に示すように、上部電極４５をグランド電位（０Ｖ）、中間電極４４を上部電極４５よりも高電位（例えば、３０Ｖ程度）、下部電極４３を上部電極４５及び中間電極４４よりも低電位（例えば、−６０Ｖ程度）にするなどして、第１活性部Ｒ１と第２活性部Ｒ２とを同時に分極させることも考えられる。そして、このようにして第１活性部Ｒ１及び第２活性部Ｒ２を同時に分極すれば、圧電アクチュエータ３２の製造工程が簡略化される。

しかしながら、この場合には、図８に示すように、下部圧電層４１の中間電極４４と下部電極４３とに挟まれた部分に４．５ｋＶ／ｍｍ程度の、第１活性部Ｒ１及び第２活性部Ｒ２を分極させるための電界（１．５ｋＶ／ｍｍ程度）に比べて大きな電界が発生することとなり、この電界によって、下部圧電層４１の中間電極４４と下部電極４３とに挟まれた部分にクラックが発生してしまう虞がある。クラックがあるとそこから徐々に大きな亀裂が生じる場合があるので、耐久性の面で好ましくない。

そこで、第１活性部Ｒ１及び第２活性部Ｒ２を別々に分極することが考えられるが、第１活性部Ｒ１及び第２活性部Ｒ２を別々に分極する方法としては、上述の図７に示すような方法以外に、
（ｉ）図９（ａ）に示すように、下部電極４３を上部電極４５よりも低電位（例えば、上部電極４５を３０Ｖ程度、下部電極４３を−３０Ｖ程度）にするとともに、中間電極４４を下部電極４３と同電位（例えば、−３０Ｖ程度）にすることによって、第２活性部Ｒ２を分極した後、図９（ｂ）に示すように、本実施の形態と同様にして第１活性部Ｒ１を分極する方法、
（ｉｉ）図１０（ａ）に示すように、下部電極４３を上部電極４５よりも低電位（上部電極４５を３０Ｖ程度、下部電極４３を−３０Ｖ程度）にするとともに、中間電極４４を上部電極４５と同電位（例えば、３０Ｖ程度）にすることによって、第２活性部Ｒ２を分極した後、図１０（ｂ）に示すように、本実施の形態と同様にして第１活性部Ｒ１を分極する方法、
（ｉｉｉ）図１１（ａ）に示すように、本実施の形態と同様にして、第１活性部Ｒ１を分極した後、図１１（ｂ）に示すように、下部電極４３を上部電極４５よりも低電位（例えば、上部電極４５を３０Ｖ程度、下部電極４３を−３０Ｖ程度）にするとともに、中間電極４４を上部電極４５と同電位（例えば、３０Ｖ程度）にすることによって第２活性部Ｒ２を分極する方法などが考えられる。

しかしながら、上記（ｉ）の方法により分極を行った場合には、図９（ａ）に示すように、第２活性部Ｒ２を分極する際に、第１活性部Ｒ１に３．０ｋＶ／ｍｍ程度の下向きの電界が発生する。また、上記（ｉｉ）の方法により分極を行った場合には、図１０（ａ）に示すように、第２活性部Ｒ２を分極する際に、下部圧電層４１の下部電極４３と中間電極４４とに挟まれた部分に３．０ｋＶ／ｍｍ程度の下向きの電界が発生する。また、上記（ｉｉｉ）の方法により分極を行った場合には、図１１（ｂ）に示すように、第２活性部Ｒ２を分極する際に、下部圧電層４１の下部電極４３と中間電極４４とに挟まれた部分に３．０ｋＶ／ｍｍ程度の下向きの電界が発生する。

そして、これらの電界の電界強度（３．０ｋＶ／ｍｍ程度）は、上述したように第１活性部Ｒ１と第２活性部Ｒ２とを同時に分極したときに、下部圧電層４１の中間電極４４と下部電極４３とに挟まれた部分に発生する電界の電界強度（４．５ｋＶ／ｍｍ程度）を比較すれば小さいものの、第１活性部Ｒ１及び第２活性部Ｒ２の分極に用いられる電界の電界強度（１．５ｋＶ／ｍｍ程度）に比べて大きく、この電界により、下部圧電層４１及び上部圧電層４２のこれらの電界が発生した部分にクラックが発生してしまう虞がある。この場合も、クラックがあるとそこから徐々に大きな亀裂が生じる場合があるので、耐久性の面で好ましくない。

これに対して、本実施の形態では、第２活性部Ｒ２を分極する際に、第１活性部Ｒ１、及び下部圧電層４１の下部電極４３と中間電極４４とに挟まれた部分に発生する電界の電界強度は、第２活性部Ｒ２の分極に用いられる電界と同程度（１．５ｋＶ／ｍｍ程度）となり、第１活性部Ｒ１を分極する際に、下部圧電層４１の下部電極４３と中間電極４４とに挟まれた部分に発生する電界の電界強度は、第１活性部Ｒ１の分極に用いられる電界と同程度（１．５ｋＶ／ｍｍ程度）となる。したがって、第１活性部Ｒ１及び第２活性部Ｒ２の分極の際に下部圧電層４１及び上部圧電層４２に発生する電界を極力小さくし、下部圧電層４１及び上部圧電層４２にクラックが発生してしまうのを防止することができる。

以上に説明した実施の形態によると、第１活性部Ｒ１及び第２活性部Ｒ２を分極する際に、下部電極４３を上部電極４５よりも低電位（例えば、上部電極４５を３０Ｖ程度、下部電極４３を−３０Ｖ程度）にするとともに、中間電極４４の電位を上部電極４５と下部電極４３との間の電位（例えば、グランド電位（０Ｖ））にすることによって第２活性部Ｒ２を分極した後、上部電極４５及び下部電極４３を同電位（例えば、グランド電位（０Ｖ））にするとともに、中間電極４４の電位をこれよりも高電位（例えば、３０Ｖ程度）にすることにより第１活性部Ｒ１を分極している。このため、第２活性部Ｒ２を分極する際に、第１活性部Ｒ１、及び下部圧電層４１の下部電極４３と中間電極４４とに挟まれた部分に発生する電界の電界強度は、第２活性部Ｒ２の分極に用いられる電界と同程度（１．５ｋＶ／ｍｍ程度）となり、第１活性部Ｒ１を分極する際に、下部圧電層４１の下部電極４３と中間電極４４とに挟まれた部分に発生する電界の電界強度は、第１活性部Ｒ１の分極に用いられる電界と同程度（１．５ｋＶ／ｍｍ程度）となる。したがって、第１活性部Ｒ１及び第２活性部Ｒ２の分極の際に下部圧電層４１及び上部圧電層４２に発生する電界を極力小さくし、下部圧電層４１及び上部圧電層４２にクラックが発生してしまうのを防止することができる。

次に、本実施の形態に種々の変更を加えた変形例について説明する。ただし、本発明と同様の構成を有するものについては同じ符号を付し、適宜その説明を省略する。

一変形例では、図１２に示すように、圧電アクチュエータ６２において、第１活性部Ｒ１及び第２活性部Ｒ２の分極方向が、本実施の形態とは逆になっている。すなわち、上部圧電層４２の上部電極４５と中間電極４４とに挟まれた部分である第１活性部Ｒ１が、上部電極４５から中間電極４４に向かって下向きに分極されているとともに、下部圧電層４１及び上部圧電層４２の、上部電極４５と下部電極４３とに挟まれており、且つ、中間電極４４と対向しない部分である第２活性部Ｒ２が、下部電極４３から上部電極４５に向かって上向きに分極されている。なお、下部圧電層４１の下部電極４３と中間電極４４とに挟まれた部分は、下部電極４３から中間電極４４に向かって上向きに分極されている。

また、下部電極４３が所定の電位（例えば、２０Ｖ）に保持されているとともに、中間電極４４がグランド電位に保持されている。なお、圧電アクチュエータ６２の他の構成は、上述した実施の形態の圧電アクチュエータ３２（図６参照）と同様であるので、ここではその詳細な説明を省略する。

そして、このような圧電アクチュエータ６２は、インクを吐出させる動作を行う前の待機状態においては、前述したように、下部電極４３及び中間電極４４が、それぞれ、常に上記所定の電位（例えば、２０Ｖ）及びグランド電位に保持されているとともに、上部電極４５の電位が予め上記所定の電位に保持されており、インクを吐出させるべく圧電アクチュエータ３２を駆動させる際には、上部電極４５の電位を、一旦、上記グランド電位に切り替えた後、上記所定の電位に戻す。これにより、振動板４０、下部圧電層４１及び上部圧電層４２が、上述の圧電アクチュエータ３２（図６参照）と同様に変形し、ノズル１５からインクが吐出される。

また、このような圧電アクチュエータ６２を製造する際に、第１活性部Ｒ１及び第２活性部Ｒ２を分極させるには、まず、図１３（ａ）に示すように、第１活性部Ｒ１及び第２活性部Ｒ２が分極されていない状態の圧電アクチュエータ６２において、上部電極４５を下部電極４３よりも低電位（例えば、下部電極４３を３０Ｖ程度、上部電極４５を−３０Ｖ程度）にするとともに、中間電極４４の電位を上部電極４５と下部電極４３との間の電位（例えば、グランド電位（０Ｖ））にする（第２活性部分極工程）。すると、上部電極４５と下部電極４３との間に電位差が生じ（分極電圧（電界）が印加され）、上部電極４５と下部電極４３とに挟まれた第２活性部Ｒ２に、下部電極４３から上部電極４５に向かって１．５ｋＶ／ｍｍ程度の電界が発生し、これにより、第２活性部Ｒ２が下部電極４３から上部電極４５に向かって上向きに分極される。

このとき、上部電極４５と中間電極４４との間にも電位差が生じており、これらの電極に挟まれた第１活性部Ｒ１には、１．５ｋＶ／ｍｍ程度の中間電極４４から上部電極４５に向かう上向きの電界が発生している。これにより、第１活性部Ｒ１は分極させるべき方向と反対向きに分極されることとなる。

また、このとき、中間電極４４と下部電極４３との間にも電位差が生じており、下部圧電層４１のこれらの電極に挟まれた部分に１．５ｋＶ／ｍｍ程度の下部電極４３から中間電極４４に向かう上向きの電界が発生している。これにより、下部圧電層４１のこの部分は上向きに分極されることになる。

次に、図１３（ｂ）に示すように、上部電極４５及び下部電極４３を同電位（例えば、グランド電位（０Ｖ））にするとともに、中間電極４４の電位をこれよりも低電位（例えば、−３０Ｖ程度）にする（第１活性部分極工程）。すると、上部電極４５と中間電極４４との間に電位差が生じ、上部電極４５と中間電極４４とに挟まれた第１活性部Ｒ１に１．５ｋＶ／ｍｍ程度の上部電極４５から中間電極４４に向かう下向きの電界が発生する。これにより、第１活性部Ｒ１の分極方向が反転し、上部電極４５から中間電極４４に向かって下向きに分極される。

このとき、中間電極４４と下部電極４３との間にも電位差が生じており、下部圧電層４１のこれらの電極に挟まれた部分に１．５ｋＶ／ｍｍ程度の下部電極４３から中間電極４４に向かう上向きの電界が発生している。これにより、下部圧電層４１のこの部分は上向きに分極された状態に保持される。（変形例１）

この場合でも、第２活性部Ｒ２を分極する際に、第１活性部Ｒ１、及び下部圧電層４１の下部電極４３と中間電極４４とに挟まれた部分に発生する電界の電界強度は、第２活性部Ｒ２の分極に用いられる電界と同程度（１．５ｋＶ／ｍｍ程度）となり、第１活性部Ｒ１を分極する際に、下部圧電層４１の下部電極４３と中間電極４４とに挟まれた部分に発生する電界の電界強度は、第１活性部Ｒ１の分極に用いられる電界と同程度（１．５ｋＶ／ｍｍ程度）となる。したがって、第１活性部Ｒ１及び第２活性部Ｒ２の分極の際に下部圧電層４１及び上部圧電層４２に発生する電界を極力小さくし、下部圧電層４１及び上部圧電層４２にクラックが発生してしまうのを防止することができる。

なお、圧電アクチュエータ６２においても、第１活性部Ｒ１及び第２活性部Ｒ２を同時に分極する、あるいは、第１活性部Ｒ１及び第２活性部Ｒ２を変形例１とは別の手順で別々に分極することも可能であるが、いずれの場合にも、上述の実施の形態において説明したのと同様、第１活性部Ｒ１及び第２活性部Ｒ２を分極する際に、下部圧電層４１あるいは上部圧電層４２に、第１活性部Ｒ１及び第２活性部Ｒ２の分極に用いられる電界よりも大きな電界が発生することとなり、下部圧電層４１あるいは上部圧電層４２にクラックが発生してしまう虞がある。

ここで、圧電アクチュエータ６２において、第１活性部Ｒ１及び第２活性部Ｒ２を同時に分極する方法、及び、第１活性部Ｒ１及び第２活性部Ｒ２を変形例１とは別の手順で別々に分極する方法は、上述の図８〜図１１において、電極４３〜４５に付与する電位の大小関係を上述の実施の形態とは逆にしたもの（図８〜図１１において、＋３０Ｖを−３０Ｖに置き換えるとともに、−３０Ｖを＋３０Ｖに置き換えたもの）であり、下部圧電層４１及び上部圧電層４２に発生する電界は、図８〜図１１に示したものと同じ大きさであり、その向きが逆になるだけであるので、ここでは、これらの詳細な説明を省略する。

また、圧電アクチュエータの構成は、実施の形態のものには限られない。一変形例では、図１４（ａ）〜（ｄ）に示すように、上記実施の形態の下部電極４３及び中間電極４４（図４参照）の代わりに、下部電極１４３及び中間電極１４４が配置されている（変形例２）。

下部電極１４３は、各圧力室列８に沿って紙送り方向（図１４の上下方向）に延びており、圧力室列８を構成する複数の圧力室１０と対向している。また、図示しないが、これら紙送り方向に延びた部分同士が互いに接続されている。

中間電極１４４は、対向部４４ａ（図４参照）と同様、複数の圧力室１０と対向するように配置された複数の対向部１４４ａと、各圧力室列８の間と対向する部分において紙送り方向に延びて、隣接する圧力室列８を構成する複数の圧力室１０に対応する複数の対向部１４４ａの端部同士を接続させる接続部１４４ｂとを有している。

このような圧電アクチュエータにおいても、図６相当の断面は、圧電アクチュエータ３２と同様のもの（図６において、４３の符号を１４３の符号に、４４ａの符号を１４４ａの符号にそれぞれ置き換えたもの）となり、上記実施の形態と同様、下部電極１４３を上部電極４５よりも低電位にするとともに、中間電極１４４を上部電極４５と下部電極４３との間の電位とすることにより、第２活性部Ｒ２を分極する際に、第１活性部Ｒ１、及び下部圧電層４１の下部電極４３と中間電極４４とに挟まれた部分に発生する電界の電界強度は、第２活性部Ｒ２の分極に用いられる電界と同程度となり、第１活性部Ｒ１を分極する際に、下部圧電層４１の下部電極４３と中間電極４４とに挟まれた部分に発生する電界の電界強度は、第１活性部の分極に用いられる電界と同程度となる。したがって、第１活性部Ｒ１及び第２活性部Ｒ２の分極の際に下部圧電層４１及び上部圧電層４２に発生する電界を極力小さくし、下部圧電層４１及び上部圧電層４２にクラックが発生してしまうのを防止することができる。

別の一変形例では、図１５に示すように、圧電アクチュエータ７２において、本実施の形態における中間電極４４（図６参照）の代わりに、中間電極１５４が形成されている。中間電極１５４は、下部圧電層４１と上部圧電層４２との間における、平面視で圧力室１０の中央部を取り囲む部分に配置されており、これにより、上部圧電層４２における圧力室１０の中央部を取り囲む部分と対向する部分において、上部電極４５と中間電極１５４とが対向しており、下部圧電層４１及び上部圧電層４２における圧力室１０の略中央部（中間電極１５４と対向しない部分）と対向する部分において、下部電極４３と上部電極４５とが対向している。また、上部圧電層４２の上記上部電極４５と中間電極１５４とにより挟まれた部分が、中間電極１５４から上部電極４５に向かって上向きに分極された第１活性部Ｒ３となっており、下部圧電層４１及び上部圧電層４２の上部電極４５と下部電極４３とに挟まれており、且つ、中間電極１５４と対向しない部分が、上部電極４５から下部電極４３に向かって下向きに分極された第２活性部Ｒ４となっている。なお、下部電極４３と中間電極１５４とに挟まれた、下部圧電層４１の圧力室１０の中央部を取り囲む部分と対向する部分は、中間電極１５４から下部電極４３に向かって下向きに分極されている。

このような圧電アクチュエータ７２を駆動させるためには、まず、圧電アクチュエータ７２がインクを吐出させる動作を行う前の待機状態において、下部電極４３及び中間電極１５４を、それぞれ、常にグランド電位及び上記所定の電位（例えば、２０Ｖ）に保持しておくとともに、上部電極４５の電位を予めグランド電位に保持しておく。この状態では、上部電極４５が中間電極１５４よりも低電位になっているとともに、下部電極４３と同電位となっている。

これにより、上部電極４５と中間電極１５４との間の電位差が生じ、第１活性部Ｒ３にはその分極方向と同じ上向きの電界が発生し、第１活性部Ｒ３がこの電界と直交する水平方向に収縮する。これにより、いわゆるユニモルフ変形が生じ、上部圧電層４２、下部圧電層４１及び振動板４０の圧力室１０と対向する部分が全体として圧力室１０と反対側に凸となるように変形する。この状態では、上部圧電層４２、下部圧電層４１及び振動板４０が変形していない場合と比較して、圧力室１０の容積が大きくなっている。

そして、インクを吐出させるべく圧電アクチュエータ７２を駆動させる際には、上部電極４５の電位を、上記所定の電位に切り替える。すると、上部電極４５が中間電極１５４と同電位となるとともに、下部電極４３よりも高電位となる。これにより、第１活性部Ｒ１の上記収縮が元に戻る。そしてこれと同時に、上部電極４５と下部電極４３との間に電位差が生じ、第２活性部Ｒ４にはその分極方向と同じ下向きの電界が発生し、第２活性部Ｒ４が水平方向に収縮する。これにより、上部圧電層４２、下部圧電層４１及び振動板４０が全体として、圧力室１０に向かって凸となるように変形し、圧力室１０の容積が小さくなる。これにより、圧力室１０内のインクの圧力が上昇し（圧力室１０内のインクに圧力が付与され）、圧力室１０に連通するノズル１５からインクが吐出される。

また、このような圧電アクチュエータ７２の製造において、第１活性部Ｒ３及び第２活性部Ｒ４を分極する際には、まず、図１６（ａ）に示すように、下部電極４３を上部電極４５よりも低電位（例えば、上部電極４５が３０Ｖ程度、下部電極４３が−３０Ｖ程度）にするとともに、中間電極１５４の電位を上部電極４５と下部電極４３との間の電位（例えば、グランド電位（０Ｖ））にする（第２活性部分極工程）。すると、上部電極４５と下部電極４３との間に電位差が生じ（分極電圧（電界）が印加され）、上部電極４５と下部電極４３とに挟まれた第２活性部Ｒ４に、上部電極４５から下部電極４３に向かって１．５ｋＶ／ｍｍ程度の電界が発生し、これにより、第２活性部Ｒ４が上部電極４５から下部電極４３に向かって下向きに分極される。

このとき、上部電極４５と中間電極１５４との間にも電位差が生じており、これらの電極に挟まれた第１活性部Ｒ３には、１．５ｋＶ／ｍｍ程度の上部電極４５から中間電極１５４に向かう下向きの電界が発生している。これにより、第１活性部Ｒ３は分極させるべき方向と反対向きに分極されることとなる。

また、このとき、中間電極１５４と下部電極４３との間にも電位差が生じており、下部圧電層４１のこれらの電極に挟まれた部分に１．５ｋＶ／ｍｍ程度の中間電極１５４から下部電極４３に向かう下向きの電界が発生している。これにより、下部圧電層４１のこの部分は下向きに分極されることになる。

次に、図１６（ｂ）に示すように、上部電極４５及び下部電極４３を同電位（例えば、グランド電位（０Ｖ））にするとともに、中間電極１５４の電位をこれよりも高電位（例えば、３０Ｖ程度）にする（第１活性部分極工程）。すると、上部電極４５と中間電極１５４との間に電位差が生じ、上部電極４５と中間電極１５４とに挟まれた第１活性部Ｒ３に１．５ｋＶ／ｍｍ程度の中間電極１５４から上部電極４５に向かう上向きの電界が発生する。これにより、第１活性部Ｒ３の分極方向が反転し、中間電極１５４から上部電極４５に向かって上向きに分極される。

このとき、中間電極１５４と下部電極４３との間にも電位差が生じており、下部圧電層４１のこれらの電極に挟まれた部分に１．５ｋＶ／ｍｍ程度の中間電極１５４から下部電極４３に向かう下向きの電界が発生している。これにより、下部圧電層４１のこの部分は下向きに分極された状態に保持される（変形例４）。

この場合でも、本実施の形態と同様、第２活性部Ｒ４を分極する際に、第１活性部Ｒ３、及び下部圧電層４１の下部電極４３と中間電極１５４とに挟まれた部分に発生する電界の電界強度は、第２活性部Ｒ４の分極に用いられる電界と同程度（１．５ｋＶ／ｍｍ程度）となり、第１活性部Ｒ３を分極する際に、下部圧電層４１の下部電極４３と中間電極１５４とに挟まれた部分に発生する電界の電界強度は、第１活性部Ｒ３の分極に用いられる電界と同程度（１．５ｋＶ／ｍｍ程度）となる。したがって、第１活性部Ｒ３及び第２活性部Ｒ４の分極の際に下部圧電層４１及び上部圧電層４２に発生する電界を極力小さくし、下部圧電層４１及び上部圧電層４２にクラックが発生してしまうのを防止することができる。

なお、圧電アクチュエータ７２においても、第１活性部Ｒ３及び第２活性部Ｒ４の分極方向が、上述したのと逆であってもよい。この場合には、下部電極４３を上部電極４５よりも高電位（例えば、下部電極４３を３０Ｖ程度、上部電極４５を−３０Ｖ程度）にするとともに、中間電極１５４を上部電極４５と下部電極４３との間の電位（例えば、グランド電位（０Ｖ））にすることにより、第２活性部Ｒ４を分極した後、下部電極４３と上部圧電層４５とを同電位（例えば、グランド電位（０Ｖ））とするとともに、中間電極１５４を、下部電極４３及び上部電極４５よりも低電位（例えば、−３０Ｖ程度）とすることによって、第１活性部Ｒ３を分極すればよい。

また、本実施の形態では、第２活性部分極工程において、中間電極４４の電位を、上部電極４５の電位と下部電極４３の電位のちょうど中間の電位とした（上部電極４５を３０Ｖ程度、下部電極４３を−３０Ｖ程度にしたのに対して中間電極４４をグランド電位（０Ｖ）にした）が、このときの中間電極４４の電位は、上部電極４５の電位と下部電極４３の電位との間の電位であれば、他の電位であってもよい。

この場合には、本実施の形態の場合と比較すると、第２活性部Ｒ２を分極する際に、第１活性部Ｒ１あるいは下部圧電層４１の下部電極４３と中間電極４４とに挟まれた部分のいずれか一方が、第２活性部Ｒ２を分極するための電界強度（１．５ｋＶ／ｍｍ程度）よりも小さくなるととともに、他方が、当該電界強度よりも大きくなってしまうものの、当該他方の電界強度は、中間電極４４の電位を上部電極４５又は下部電極４３と同電位（３０Ｖ程度又は−３０Ｖ程度）にした場合の当該他方における電界強度（３．０ｋＶ／ｍｍ程度、図９（ａ）、図１０（ａ）参照）と比較すれば小さなものとなるので、下部圧電層４１及び上部圧電層４２にクラックが発生してしまうのを防止することができる。

以上では、圧力室内のインクに圧力を付与することによりノズルからインクを吐出するインクジェットヘッドに用いられる圧電アクチュエータの製造に本発明を適用した例について説明したが、これには限られず、ノズルからインク以外の液体を吐出する液体吐出ヘッド、圧力室内の液体に圧力を付与することによって圧力室を含む液体流路内の液体を移送する液体移送装置、さらには、液体移送装置以外の装置に用いられる圧電アクチュエータに本発明を適用することも可能である。

本発明における実施の形態に係るプリンタの概略構成図である。 図１のインクジェットヘッドの分解斜視図である。 図２のインクジェットヘッドの平面図である。 （ａ）が図３の部分拡大図、（ｂ）〜（ｄ）が（ａ）の各プレートの表面の図である。 図４（ａ）のＶ−Ｖ線断面図である。 図４（ａ）のＶＩ−ＶＩ線断面図である。 インクジェットヘッド（圧電アクチュエータ）の製造工程を示す工程図である。 第１活性部及び第２活性部を同時に分極させる場合の、圧電アクチュエータの各電極の電位を示す図である。 実施の形態とは異なる方法で、第１活性部及び第２活性部を別々に分極する工程の一例を示す図である。 実施の形態とは異なる方法で、第１活性部及び第２活性部を別々に分極する工程の別の一例を示す図である。 実施の形態とは異なる方法で、第１活性部及び第２活性部を別々に分極する工程のさらに別の一例を示す図である。 変形例１の図６相当の図である。 変形例１の図７相当の図である。 変形例２の図４相当の図である。 変形例３の図６相当の図である。 変形例４の図７相当の図である。

符号の説明

１０ 圧力室
３１ 流路ユニット
３２ 圧電アクチュエータ
４０ 振動板
４１ 下部圧電層
４２ 上部圧電層
４３ 下部電極
４４ 中間電極
４５ 上部電極
６２ 圧電アクチュエータ
７２ 圧電アクチュエータ
１４３ 下部電極
１４４ 中間電極
１５４ 中間電極

Claims (5)

1. 振動板と、
   前記振動板の一表面側に配置された下部圧電層と、
   前記下部圧電層の前記振動板と反対側の面に配置された上部圧電層と、
   前記下部圧電層の前記振動板側の面に形成された下部電極と、
   前記下部圧電層と前記上部圧電層との間に形成されており、前記下部電極の一部分と対向する中間電極と、
   前記上部圧電層の前記下部圧電層と反対側の面に形成されており、前記中間電極と対向しているとともに、前記中間電極と対向しない部分において前記下部電極と対向した上部電極とを備えており、
   前記上部圧電層の前記上部電極と前記中間電極とに挟まれた部分が、前記中間電極から前記上部電極に向かって分極された第１活性部となっており、
   前記下部圧電層及び前記上部圧電層の前記下部電極と前記上部電極とに挟まれており且つ前記中間電極と対向しない部分が、前記上部電極から前記下部電極に向かって分極された第２活性部となった圧電アクチュエータの製造方法であって、
   前記第２活性部を分極する第２活性部分極工程と、
   前記第２活性部分極工程の後、前記第１活性部を分極する第１活性部分極工程とを備えており、
   前記第２活性部分極工程において、前記下部電極を前記上部電極よりも低い電位とするとともに、前記中間電極を前記上部電極及び前記下部電極の間の電位とすることによって、前記上部電極と前記下部電極との間に分極電圧を印加し、
   前記第１活性部分極工程において、前記上部電極と前記下部電極とを同電位にした状態で、前記中間電極を前記上部電極及び前記下部電極よりも高い電位とすることによって、前記上部電極と前記中間電極との間に、分極電圧を印加することを特徴とする圧電アクチュエータの製造方法。
2. 振動板と、
   前記振動板の一表面側に配置された下部圧電層と、
   前記下部圧電層の前記振動板と反対側の面に配置された上部圧電層と、
   前記下部圧電層の前記振動板側の面に形成された下部電極と、
   前記下部圧電層と前記上部圧電層との間に形成されており、前記下部電極の一部分と対向する中間電極と、
   前記上部圧電層の前記下部圧電層と反対側の面に形成されており、前記中間電極と対向しているとともに、前記中間電極と対向しない部分において前記下部電極と対向した上部電極とを備えており、
   前記上部圧電層の前記上部電極と前記中間電極とに挟まれた部分が、前記上部電極から前記中間電極に向かって分極された第１活性部となっており、
   前記下部圧電層及び前記上部圧電層の前記下部電極と前記上部電極とに挟まれており且つ前記中間電極と対向しない部分が、前記下部電極から前記上部電極に向かって分極された第２活性部となった圧電アクチュエータの製造方法であって、
   前記第２活性部を分極する第２活性部分極工程と、
   前記第２活性部分極工程の後、前記第１活性部を分極する第１活性部分極工程とを備えており、
   前記第２活性部分極工程において、前記上部電極を前記下部電極よりも低い電位とするとともに、前記中間電極を前記上部電極及び前記下部電極の間の電位とすることによって、前記上部電極と前記下部電極との間に分極電圧を印加し、
   前記第１活性部分極工程において、前記上部電極と前記下部電極とを同電位にした状態で、前記中間電極を前記上部電極及び前記下部電極よりも低い電位とすることによって、前記上部電極と前記中間電極との間に、分極電圧を印加することを特徴とする圧電アクチュエータの製造方法。
3. 前記中間電極が、前記下部電極の中央部と対向するように配置されており、
   前記下部電極が、前記中間電極、及び、前記下部電極の前記中間電極と対向する部分よりも外側の部分と対向するように配置されていることを特徴とする請求項１又は２に記載の圧電アクチュエータの製造方法。
4. 前記振動板、前記下部圧電層及び前記上部圧電層の積層方向から見て、前記下部電極と前記中間電極とが重なる面積と、前記上部電極と前記中間電極とが重なる面積とが異なっていることを特徴とする請求項１〜３のいずれかに記載の圧電アクチュエータの製造方法。
5. 前記圧電アクチュエータが、
   ノズル、及び、前記ノズルに連通する圧力室を含む液体流路が形成された流路ユニットに組み付けられた、前記圧力室内の液体に圧力を付与するためのものであって、
   前記第１活性部及び前記第２活性部が分極される前の状態の前記圧電アクチュエータが前記流路ユニットに組み付けられた後に、前記第１活性部分極工程及び前記第２活性部分極工程を行うことを特徴とする請求項１〜４のいずれかに記載の圧電アクチュエータの製造方法。

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