JP6337703B2 - 液体噴射ヘッドおよび液体噴射装置 - Google Patents
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Description
図1は、本発明の第1実施形態に係るインクジェット方式の印刷装置10の部分的な構成図である。第1実施形態の印刷装置10は、液体の例示であるインクを印刷用紙等の媒体(噴射対象)12に噴射する液体噴射装置であり、制御装置22と搬送機構24と液体噴射モジュール26とを具備する。印刷装置10には、インクを貯留する液体容器(カートリッジ)14が装着される。
本発明の第2実施形態を説明する。以下に例示する各形態において作用や機能が第1実施形態と同様である要素については、第1実施形態の説明で使用した符号を流用して各々の詳細な説明を適宜に省略する。
図9は、第3実施形態における振動板36の表面を拡大した平面図および断面図(IX-IX線断面)である。図9に例示される通り、第3実施形態では、複数の第1電極382と圧電体層384と第2電極386とに加えて金属層54が振動板36の面上に形成される。金属層54は、第2電極386に積層された導電膜である。具体的には、金属層54は、第2電極386のうちY方向の正側の周縁を覆うようにX方向に沿って直線状(帯状)に延在する。金属層54の材料は任意であるが、例えば、金(Au)やニクロム(NiCr)等の単体金属やこれらの金属を含有する合金等が金属層54の材料として好適に採用される。また、金属層54の製法は任意であるが、例えばスパッタリング等の公知の成膜技術により50nm以上の膜厚に形成することが可能である。以上のように第3実施形態では金属層54が第2電極386に積層されるから、第2電極386の抵抗の影響が低減される。以上の効果を実現する観点からは、第2電極386と比較して低抵抗な導電材料で金属層54を形成した構成が好適である。
第4実施形態の液体噴射ヘッド100は、第3実施形態と同様に、第2電極386に積層された金属層54を具備する。図11は、第4実施形態における金属層54と各空間Sとの関係を示す平面図および断面図(XI-XI線断面図)である。図11から理解される通り、第4実施形態における金属層54は、第1空間S1および第2空間S2の双方の端部Pに平面視で重なるように配置される。すなわち、金属層54の縁辺542は、第1空間S1および第2空間S2の各々の端部PからみてY方向の負側にてX方向に沿って直線状に延在する。図11から理解される通り、第1空間S1のうち平面視で金属層54に重なる領域の面積は、第2空間S2のうち金属層54に重なる領域の面積を上回る。
第5実施形態は、第1実施形態の支持部52(図7)と第3実施形態の金属層54(図10)との双方を設置した形態である。図12は、第5実施形態における支持部52および金属層54と圧力室基板34の各空間Sとの関係を示す平面図および断面図(XII-XII線断面図)である。図12に例示される通り、第5実施形態では、各第1空間S1における第1端EA側の端部Pに、保護部材44を構成する支持部52と、第2電極386に積層された金属層54との双方が平面視で重なる。したがって、第1実施形態および第3実施形態と同様の効果が実現される。また、第5実施形態によれば、支持部52のみが第1空間S1に重なる第1実施形態や、金属層54のみが第1空間S1に重なる第3実施形態と比較して、振動板36の対向領域A1の振動を充分に抑制できるという利点がある。
第6実施形態は、第2実施形態の支持部52(図8)と第4実施形態の金属層54(図11)との双方を設置した形態である。図13は、第6実施形態における支持部52および金属層54と圧力室基板34の各空間Sとの関係を示す平面図および断面図(XIII-XIII線断面図)である。図13に例示される通り、第6実施形態では、第1空間S1および第2空間S2の双方における第1端EA側の端部Pに支持部52と金属層54とが平面視で重なる。したがって、第2実施形態および第4実施形態と同様の効果が実現される。また、第6実施形態によれば、支持部52および金属層54の一方のみが各空間Sに重なる構成と比較して、振動板36の各対向領域A(A1,A2)の振動を充分に抑制できるという利点がある。
以上に例示した各形態は多様に変形され得る。具体的な変形の態様を以下に例示する。以下の例示から任意に選択された2以上の態様は、相互に矛盾しない範囲で適宜に併合され得る。
図14には、液体噴射ヘッド100の各要素の接合に利用される接着剤で形成された接着層56を振動拘束手段として利用した形態が例示されている。図14の接着層56は、保護部材44を振動板36の表面に固定するために利用される。接着層56の材料は任意であるが、例えばエポキシ系やシリコン系等の接着剤が好適に利用される。接着層56は、各第1空間S1における第1端EA側の端部Pに平面視で重なり、振動板36の対向領域A1のうち第1空間S1の端部Pに対応した領域の振動を抑制する。なお、第2実施形態や第4実施形態の例示から類推される通り、第1空間S1および第2空間S2の双方における第1端EA側の端部Pに接着層56が重なる構成や、支持部52または金属層54が接着層56とともに第1空間S1および第2空間S2の片方または双方に重なる構成も採用され得る。
図15には、各圧電素子38を保護するための保護層58が図示されている。図15の保護層58は、各圧電素子38の周縁部に平面視で重なるように第2電極386に積層された絶縁層であり、例えばポリイミド等の有機材料や酸化アルミニウム(Al2O3)等の無機材料で25nm以上の膜厚に形成される。保護層58は、各第1空間S1における第1端EA側の端部Pに平面視で重なり、振動板36の対向領域A1のうち第1空間S1の端部Pに対応した領域の振動を抑制する。第1空間S1および第2空間S2の双方の端部Pに保護層58が重なる構成や、支持部52または金属層54が保護層58とともに第1空間S1や第2空間S2に重なる構成も採用され得る。
Claims (8)
- 第1方向に沿う圧力室となるべき複数の空間が前記第1方向に直交する第2方向に形成された圧力室基板と、
前記圧力室基板に積層されて前記空間を封止する振動板と、
前記圧力室基板とは反対側で前記振動板に積層された圧電素子および振動拘束手段と
を具備し、
前記複数の空間のうちの第1空間と第2空間とは、前記第1方向における一端の位置が互いに異なり、前記第1方向における他端の位置が同じであり、
前記振動拘束手段は、平面視で少なくとも前記第1空間における前記一端側の部分に重なるように形成されて前記振動板の振動を抑制する
液体噴射ヘッド。 - 第1方向に沿う圧力室となるべき複数の空間が前記第1方向に直交する第2方向に形成された圧力室基板と、
前記圧力室基板に積層されて前記空間を封止する振動板と、
前記圧力室基板とは反対側で前記振動板に積層され、上電極と圧電体層と下電極とを含む圧電素子と、
前記上電極に積層された金属層と
を具備し、
前記複数の空間のうちの第1空間と第2空間とは、前記第1方向における一端の位置が互いに異なり、
前記金属層は、平面視で少なくとも前記第1空間における前記一端側の部分に重なるように形成されて前記振動板の振動を抑制する
液体噴射ヘッド。 - 第1方向に沿う圧力室となるべき複数の空間が前記第1方向に直交する第2方向に形成された圧力室基板と、
前記圧力室基板に積層されて前記空間を封止する振動板と、
前記圧力室基板とは反対側で前記振動板に積層された圧電素子と、
前記圧電素子が内部で変位可能な収容空間を有し前記圧電素子を覆うように前記振動板に積層される保護部材と
を具備し、
前記複数の空間のうちの第1空間と第2空間とは、前記第1方向における一端の位置が互いに異なり、
前記保護部材は、平面視で少なくとも前記第1空間における前記一端側の部分に重なるように形成されて前記振動板の振動を抑制する
液体噴射ヘッド。 - 第1方向に沿う圧力室となるべき複数の空間が前記第1方向に直交する第2方向に形成された圧力室基板と、
前記圧力室基板に積層されて前記空間を封止する振動板と、
前記圧力室基板とは反対側で前記振動板に積層された圧電素子および振動拘束手段と、
前記振動板とは反対側で前記圧力室基板に積層され、前記一端側で前記空間とノズルとを連通させる連通孔を有する連通板と
を具備し、
前記複数の空間のうちの第1空間と第2空間とは、前記第1方向における一端の位置が互いに異なり、
前記連通孔は、前記第2方向において前記空間よりも流路径が大きく、前記第1方向において前記空間の外側に一端が位置し、
前記振動拘束手段は、平面視で少なくとも前記第1空間における前記一端側の部分に重なるように形成されて前記振動板の振動を抑制する
液体噴射ヘッド。 - 第1方向に沿う圧力室となるべき複数の空間が前記第1方向に直交する第2方向に形成された圧力室基板と、
前記圧力室基板に積層されて前記空間を封止する振動板と、
前記圧力室基板とは反対側で前記振動板に積層された圧電素子および振動拘束手段と
を具備し、
前記複数の空間のうちの第1空間と第2空間とは、前記第1方向における一端の位置が互いに異なり、
前記振動拘束手段は、平面視で少なくとも前記第1空間における前記一端側の部分に重なるように前記第2方向に直線状に延在して形成されて前記振動板の振動を抑制する
液体噴射ヘッド。 - 第1方向に沿う圧力室となるべき複数の空間が前記第1方向に直交する第2方向に形成された圧力室基板と、
前記圧力室基板に積層されて前記空間を封止する振動板と、
前記圧力室基板とは反対側で前記振動板に積層された圧電素子および振動拘束手段と
を具備し、
前記複数の空間のうちの第1空間と第2空間とは、前記第1方向における一端の位置が互いに異なり、
前記振動拘束手段は、平面視で少なくとも前記第1空間における前記一端側の部分に重なり、かつ、前記第2空間には重ならないように形成されて前記振動板の振動を抑制する
液体噴射ヘッド。 - 第1方向に沿う圧力室となるべき複数の空間が前記第1方向に直交する第2方向に形成された圧力室基板と、
前記圧力室基板に積層されて前記空間を封止する振動板と、
前記圧力室基板とは反対側で前記振動板に積層された圧電素子と、
前記圧電素子が内部で変位可能な収容空間を有し前記圧電素子を覆うように前記振動板に積層される保護部材と、
前記保護部材を前記振動板に固定するための接着層と
を具備し、
前記複数の空間のうちの第1空間と第2空間とは、前記第1方向における一端の位置が互いに異なり、
前記接着層は、平面視で少なくとも前記第1空間における前記一端側の部分に重なるように形成されて前記振動板の振動を抑制する
液体噴射ヘッド。 - 請求項1から請求項7の何れかの液体噴射ヘッドを具備する液体噴射装置。
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