JP2021088081A - 液体噴射ヘッドおよび液体噴射システム - Google Patents

Abstract

【課題】液体噴射ヘッドにおいて多数の流路を効率的に配置する。【解決手段】液体噴射ヘッドは、第１軸の方向に液体を噴射するノズルに連通する複数の個別流路が、前記第１軸に直交する第２軸に沿って並設された個別流路列と、前記複数の個別流路に連通する第１共通液室とを具備する液体噴射ヘッドであって、前記複数の個別流路の各々は、液体を貯留する圧力室を含む。【選択図】図２

Description

本発明は、液体噴射ヘッドおよび液体噴射システムに関する。

例えばインク等の液体を複数のノズルから噴射する液体噴射ヘッドが従来から提案されている。例えば特許文献１には、圧力室内の液体の圧力を圧電素子により変化させることで、当該圧力室に連通するノズルから液体を噴射する液体噴射ヘッドが開示されている。

特開２０１３−１８４３７２号公報

近年の液体噴射ヘッドにおいては、多数のノズルを高密度に配置することが要求される。多数のノズルを高密度に配置するには、圧力室を含む流路を効率的に配置する必要がある。従来の液体噴射ヘッドにおいては、多数の流路の効率的な配置という観点で更なる改善の余地がある。

以上の課題を解決するために、本発明の第１態様に係る液体噴射ヘッドは、複数の個別流路であって、それぞれが圧力室を有するとともに、第１軸の方向に液体を噴射するノズルに連通する個別流路と、前記複数の個別流路に連結される第１共通液室とを具備し、前記第１軸の方向にみたときに、前記複数の個別流路が前記第１軸に直交する第２軸の方向に沿って並設されて個別流路列を構成する液体噴射ヘッドであって、前記個別流路列において相互に隣合う二の前記個別流路を第１個別流路および第２個別流路としたとき、前記第１個別流路は、前記圧力室と前記ノズルとを連通させる第１局所流路を含み、前記第１局所流路は、前記第２軸の方向にみて、前記第２個別流路に重ならない。

本発明の第２態様に係る液体噴射ヘッドは、複数の個別流路であって、それぞれが圧力室を有するとともに、第１軸の方向に液体を噴射するノズルに連通する個別流路と、前記複数の個別流路に連結される第１共通液室とを具備し、前記第１軸の方向にみたときに、前記複数の個別流路が前記第１軸に直交する第２軸の方向に沿って並設されて個別流路列を構成する液体噴射ヘッドであって、前記個別流路列において相互に隣合う二の前記個別流路を第１個別流路および第２個別流路としたとき、前記第１個別流路は、前記第２軸の方向にみて、前記第２個別流路に連通する前記ノズルに重なる第５局所流路を含む。

本発明の第３態様に係る液体噴射ヘッドは、複数の個別流路であって、それぞれが圧力室を有するとともに、第１軸の方向に液体を噴射するノズルに連通する個別流路と、前記複数の個別流路に連結される第１共通液室とを具備し、前記第１軸の方向にみたときに、前記複数の個別流路が前記第１軸に直交する第２軸の方向に沿って並設されて個別流路列を構成する液体噴射ヘッドであって、前記個別流路列において相互に隣合う二の前記個別流路を第１個別流路および第２個別流路としたとき、前記第１個別流路は、第１部分流路を含み、前記第２個別流路は、第２部分流路を含み、前記第１部分流路は、前記１軸に直交する方向に延在する第７局所流路および第８局所流路と、前記第７局所流路と前記第８局所流路とを連通させる第９局所流路とを含み、前記第７局所流路は、前記第８局所流路よりも前記ノズルの噴射面に近い階層にあり、前記第２部分流路は、前記１軸に直交する方向に延在する第１０局所流路および第１１局所流路と、前記第１０局所流路と前記第１１局所流路とを連通させる第１２局所流路とを含み、前記第１０局所流路は、前記第１１局所流路よりも前記ノズルの噴射面に近い階層にあり、前記第１部分流路と前記第２部分流路とは、前記第２軸の方向にみて少なくとも一部が重ならない。

本発明の第４態様に係る液体噴射ヘッドは、複数の個別流路であって、それぞれが圧力室を有するとともに、第１軸の方向に液体を噴射するノズルに連通する個別流路と、前記複数の個別流路に連結される第１共通液室とを具備し、前記第１軸の方向にみたときに、前記複数の個別流路が前記第１軸に直交する第２軸の方向に沿って並設されて個別流路列を構成する液体噴射ヘッドであって、前記個別流路列において相互に隣合う二の前記個別流路を第１個別流路および第２個別流路としたとき、前記第１個別流路は、前記第１軸の方向にみて前記第２個別流路に部分的に重なる第１３局所流路を含む。

第１実施形態に係る液体噴射システムの構成を例示するブロック図である。 液体噴射ヘッドにおける流路の模式図である。 第１個別流路を通過する断面における液体噴射ヘッドの断面図である。 第２個別流路を通過する断面における液体噴射ヘッドの断面図である。 ノズルの構造を例示する断面図である。 第１個別流路の構成を例示する側面図および平面図である。 第２個別流路の構成を例示する側面図および平面図である。 第１局所流路に着目した第１個別流路の側面図および平面図である。 第３局所流路に着目した第２個別流路の側面図および平面図である。 第１局所流路および第２局所流路の模式図である。 第１個別流路を部分的に拡大した側面図である。 第２個別流路を部分的に拡大した側面図である。 第２実施形態における液体噴射ヘッドの断面図である。 第２実施形態における液体噴射ヘッドの断面図である。 第１個別流路を部分的に拡大した側面図である。 第２個別流路を部分的に拡大した側面図である。 第１個別流路および第２個別流路の平面図である。 変形例における第１局所流路および第２局所流路の平面図である。

Ａ：第１実施形態
図１に図示される通り、以下の説明においては、相互に直交するＸ軸とＹ軸とＺ軸とを想定する。任意の地点にみてＸ軸に沿う一方向をＸa方向と表記し、Ｘa方向の反対の方向をＸb方向と表記する。Ｘ軸とＹ軸とを含むＸ-Ｙ平面は水平面に相当する。Ｚ軸は、鉛直方向に沿う軸線であり、Ｚ軸の正方向は鉛直方向の下方に相当する。

図１は、第１実施形態に係る液体噴射システム１００の部分的な構成を例示する構成図である。第１実施形態の液体噴射システム１００は、液体の一例であるインクの液滴を媒体１１に対して噴射するインクジェット方式の印刷装置である。媒体１１は、例えば印刷用紙である。なお、例えば樹脂フィルムまたは布帛等の任意の材質の印刷対象も媒体１１として利用される。

液体噴射システム１００には液体容器１２が設置される。液体容器１２はインクを貯留する。例えば、液体噴射システム１００に着脱可能なカートリッジ、可撓性のフィルムで形成された袋状のインクパック、または、インクを補充可能なインクタンクが、液体容器１２として利用される。なお、液体容器１２に貯留されるインクの種類数は任意である。

図１に例示される通り、液体噴射システム１００は、制御ユニット２１と搬送機構２２と移動機構２３と液体噴射ヘッド２４とを具備する。制御ユニット２１は、例えばＣＰＵ（Central Processing Unit）またはＦＰＧＡ（Field Programmable Gate Array）等の処理回路と半導体メモリー等の記憶回路とを含み、液体噴射システム１００の各要素を制御する。

搬送機構２２は、制御ユニット２１による制御のもとで媒体１１をＹ軸に沿って搬送する。移動機構２３は、制御ユニット２１による制御のもとで液体噴射ヘッド２４をＸ軸に沿って往復させる。第１実施形態の移動機構２３は、液体噴射ヘッド２４を収容する略箱型の搬送体２３１と、搬送体２３１が固定された無端状の搬送ベルト２３２とを具備する。なお、複数の液体噴射ヘッド２４を搬送体２３１に搭載した構成、または、液体容器１２を液体噴射ヘッド２４とともに搬送体２３１に搭載した構成も採用され得る。

液体噴射ヘッド２４は、液体容器１２から供給されるインクを、制御ユニット２１による制御のもとで、複数のノズルの各々から媒体１１に噴射する。搬送機構２２による媒体１１の搬送と搬送体２３１の反復的な往復とに並行して液体噴射ヘッド２４が媒体１１にインクを噴射することで、媒体１１の表面に画像が形成される。

図２は、液体噴射ヘッド２４をＺ軸の方向からみたときの当該液体噴射ヘッド２４内の流路を模式的に表す構成図である。図２に例示される通り、液体噴射ヘッド２４のうち媒体１１に対向する表面には複数のノズルＮ（Ｎa，Ｎb）が形成される。複数のノズルＮはＹ軸に沿って配列する。複数のノズルＮの各々からＺ軸の方向にインクが噴射される。すなわち、Ｚ軸は、各ノズルＮからインクが噴射される方向に相当する。Ｚ軸は、「第１軸」の一例である。

第１実施形態における複数のノズルＮは、第１ノズル列Ｌaと第２ノズル列Ｌbとに区分される。第１ノズル列Ｌaは、Ｙ軸に沿って直線状に配列する複数のノズルＮaの集合である。同様に、第２ノズル列Ｌbは、Ｙ軸に沿って直線状に配列する複数のノズルＮbの集合である。第１ノズル列Ｌaと第２ノズル列Ｌbとは、Ｘ軸の方向に所定の間隔をあけて並設される。また、Ｙ軸の方向における各ノズルＮaの位置と、Ｙ軸の方向における各ノズルＮbの位置とは相違する。図２に例示される通り、ノズルＮaとノズルＮbとを含む複数のノズルＮがピッチ（周期）θで配列する。ピッチθは、Ｙ軸の方向におけるノズルＮaとノズルＮbとの中心間の距離である。以下の説明においては、第１ノズル列ＬaのノズルＮaに関連する要素の符号に添字ａを付加し、第２ノズル列ＬbのノズルＮbに関連する要素の符号に添字ｂを付加する。なお、第１ノズル列ＬaのノズルＮaと第２ノズル列ＬbのノズルＮbとを特に区別する必要がない場合には、単に「ノズルＮ」と表記する。他の要素の符号についても同様である。

図２に例示される通り、液体噴射ヘッド２４には個別流路列２５が設置される。個別流路列２５は、相異なるノズルＮに対応する複数の個別流路Ｐ（Ｐa，Ｐb）の集合である。複数の個別流路Ｐの各々は、当該個別流路Ｐに対応するノズルＮに連通する流路である。各個別流路Ｐは、Ｘ軸に沿って延在する。個別流路列２５は、Ｙ軸に沿って並設された複数の個別流路Ｐにより構成される。なお、図２においては各個別流路Ｐを便宜的に単純な直線として図示したが、各個別流路Ｐの実際の形状については後述する。Ｙ軸は「第２軸」の一例である。

各個別流路Ｐは圧力室Ｃ（Ｃa，Ｃb）を含む。各個別流路Ｐ内の圧力室Ｃは、当該個別流路Ｐに連通するノズルＮから噴射されるインクを貯留する空間である。すなわち、圧力室Ｃ内のインクの圧力が変化することでノズルＮからインクが噴射される。なお、第１ノズル列Ｌaに対応する圧力室Ｃaと第２ノズル列Ｌbに対応する圧力室Ｃbとを特に区別する必要がない場合には単に「圧力室Ｃ」と表記する。

図２に例示される通り、液体噴射ヘッド２４には第１共通液室Ｒ1と第２共通液室Ｒ2とが設置される。第１共通液室Ｒ1および第２共通液室Ｒ2の各々は、複数のノズルＮが分布する範囲の全域にわたりＹ軸の方向に延在する。Ｚ軸の方向からの平面視（以下では単に「平面視」という）において、第１共通液室Ｒ1と第２共通液室Ｒ2との間に個別流路列２５と複数のノズルＮとが位置する。

複数の個別流路Ｐは、第１共通液室Ｒ1に共通に連通する。具体的には、各個別流路ＰのうちＸb方向に位置する端部Ｅ1が第１共通液室Ｒ1に連結される。また、複数の個別流路Ｐは、第２共通液室Ｒ2に共通に連通する。具体的には、各個別流路ＰのうちＸa方向に位置する端部Ｅ2が第２共通液室Ｒ2に連結される。以上の説明から理解される通り、各個別流路Ｐは、第１共通液室Ｒ1と第２共通液室Ｒ2とを相互に連通させる。第１共通液室Ｒ1から各個別流路Ｐに供給されるインクが当該個別流路Ｐに対応するノズルＮから噴射される。また、第１共通液室Ｒ1から各個別流路Ｐに供給されるインクのうちノズルＮから噴射されない部分が第２共通液室Ｒ2に排出される。

図２に例示される通り、第１実施形態の液体噴射システム１００は、循環機構２６を具備する。循環機構２６は、各個別流路Ｐから第２共通液室Ｒ2に排出されるインクを第１共通液室Ｒ1に環流させる機構である。具体的には、循環機構２６は、第１供給ポンプ２６１と第２供給ポンプ２６２と貯留容器２６３と循環流路２６４と供給流路２６５とを具備する。

第１供給ポンプ２６１は、液体容器１２に貯留されたインクを貯留容器２６３に供給するポンプである。貯留容器２６３は、液体容器１２から供給されるインクを一時的に貯留するサブタンクである。循環流路２６４は、第２共通液室Ｒ2と貯留容器２６３とを連通させる流路である。貯留容器２６３には、液体容器１２に貯留されたインクが第１供給ポンプ２６１から供給されるほか、各個別流路Ｐから第２共通液室Ｒ2に排出されたインクが循環流路２６４を介して供給される。第２供給ポンプ２６２は、貯留容器２６３に貯留されたインクを送出するポンプである。第２供給ポンプ２６２から送出されたインクは、供給流路２６５を介して第１共通液室Ｒ1に供給される。

個別流路列２５の複数の個別流路Ｐは、複数の第１個別流路Ｐaと複数の第２個別流路Ｐbとを含む。複数の第１個別流路Ｐaの各々は、第１ノズル列Ｌaの１個のノズルＮaに連通する個別流路Ｐである。複数の第２個別流路Ｐbの各々は、第２ノズル列Ｌbの１個のノズルＮbに連通する個別流路Ｐである。第１個別流路Ｐaと第２個別流路Ｐbとは、Ｙ軸に沿って交互に配列する。すなわち、第１個別流路Ｐaと第２個別流路ＰbとはＹ軸の方向に隣合う。なお、第１個別流路Ｐaと第２個別流路Ｐbとを特に区別する必要がない場合には単に「個別流路Ｐ」と表記する。

第１個別流路Ｐaは、第１部分Ｐa1と第２部分Ｐa2とを含む。各第１個別流路Ｐaの第１部分Ｐa1は、当該第１個別流路Ｐaのうち第１共通液室Ｒ1に連結される端部Ｅ1と、当該第１個別流路Ｐaに連通するノズルＮaとの間の流路である。第１部分Ｐa1は圧力室Ｃaを含む。他方、各第１個別流路Ｐaの第２部分Ｐa2は、当該第１個別流路Ｐaに連通するノズルＮaと、当該第１個別流路Ｐaのうち第２共通液室Ｒ2に連結される端部Ｅ2との間の流路である。

第２個別流路Ｐbは、第３部分Ｐb3と第４部分Ｐb4とを含む。各第２個別流路Ｐbの第３部分Ｐb3は、当該第２個別流路Ｐbのうち第１共通液室Ｒ1に連結される端部Ｅ1と、当該第２個別流路Ｐbに連通するノズルＮbとの間の流路である。他方、各第２個別流路Ｐbの第４部分Ｐb4は、当該第２個別流路Ｐbに連通するノズルＮbと、当該第２個別流路Ｐbのうち第２共通液室Ｒ2に連結される端部Ｅ2との間の流路である。第４部分Ｐb4は圧力室Ｃbを含む。

以上の説明から理解される通り、第１ノズル列Ｌaの相異なるノズルＮaに対応する複数の圧力室Ｃaは、Ｙ軸に沿って直線状に配列する。同様に、第２ノズル列Ｌbの相異なるノズルＮbに対応する複数の圧力室Ｃbは、Ｙ軸に沿って直線状に配列する。複数の圧力室Ｃaの配列と複数の圧力室Ｃbの配列とは、Ｘ軸の方向に所定の間隔をあけて並設される。Ｙ軸の方向における各圧力室Ｃaの位置と、Ｙ軸の方向における各圧力室Ｃbの位置とは相違する。

また、図２から理解される通り、各第１個別流路Ｐaの第１部分Ｐa1と各第２個別流路Ｐbの第３部分Ｐb3とがＹ軸の方向に配列し、各第１個別流路Ｐaの第２部分Ｐa2と各第２個別流路Ｐbの第４部分Ｐb4とがＹ軸の方向に配列する。

液体噴射ヘッド２４の具体的な構成を以下に詳述する。図３は、図２におけるａ−ａ線の断面図であり、図４は、図２におけるｂ−ｂ線の断面図である。第１個別流路Ｐaを通過する断面が図３に図示され、第２個別流路Ｐbを通過する断面が図４に図示される。

図３および図４に例示される通り、液体噴射ヘッド２４は、流路構造体３０と複数の圧電素子４１と筐体部４２と保護基板４３と配線基板４４とを具備する。流路構造体３０は、第１共通液室Ｒ1と第２共通液室Ｒ2と複数の個別流路Ｐと複数のノズルＮとを含む流路が内部に形成された構造体である。

流路構造体３０は、ノズル板３１と第１流路基板３２と第２流路基板３３と圧力室基板３４と振動板３５とが、Ｚ軸の負方向に以上の順番で積層された構造体である。流路構造体３０を構成する各部材は、例えば半導体製造技術を利用してシリコンの単結晶基板を加工することで製造される。

ノズル板３１には複数のノズルＮが形成される。複数のノズルＮの各々は、インクを通過させる円形状の貫通孔である。第１実施形態のノズル板３１は、Ｚ軸の正方向に位置する表面Ｆa1と負方向に位置する表面Ｆa2とを含む板状部材である。

図５は、任意の１個のノズルＮを拡大した断面図である。図５に例示される通り、１個のノズルＮは第１区間ｎ1と第２区間ｎ2とを含む。第１区間ｎ1は、ノズルＮのうちインクが噴射される開口を含む区間である。すなわち、第１区間ｎ1は、ノズル板３１の表面Ｆa1に連続する区間である。他方、第２区間ｎ2は、第１区間ｎ1と個別流路Ｐとの間の区間である。すなわち、第２区間ｎ2は、ノズル板３１の表面Ｆa2に連続する区間である。第２区間ｎ2は第１区間ｎ1よりも大径である。

図３および図４の第１流路基板３２は、Ｚ軸の正方向に位置する表面Ｆb1と負方向に位置する表面Ｆb2とを含む板状部材である。第２流路基板３３は、Ｚ軸の正方向に位置する表面Ｆc1と負方向に位置する表面Ｆc2とを含む板状部材である。第２流路基板３３は第１流路基板３２よりも厚い。

圧力室基板３４は、Ｚ軸の正方向に位置する表面Ｆd1と負方向に位置する表面Ｆd2とを含む板状部材である。振動板３５は、Ｚ軸の正方向に位置する表面Ｆe1と負方向に位置する表面Ｆe2とを含む板状部材である。

流路構造体３０を構成する各部材は、Ｙ軸の方向に長尺な矩形状に成形され、例えば接着剤により相互に接合される。例えば、ノズル板３１の表面Ｆa2は第１流路基板３２の表面Ｆb1に接合され、第１流路基板３２の表面Ｆb2は第２流路基板３３の表面Ｆc1に接合される。また、第２流路基板３３の表面Ｆc2は圧力室基板３４の表面Ｆd1に接合され、圧力室基板３４の表面Ｆd2は振動板３５の表面Ｆe1に接合される。

第１流路基板３２には、空間Ｏ11と空間Ｏ21とが形成される。空間Ｏ11および空間Ｏ21の各々は、Ｙ軸の方向に長尺な開口である。また、第２流路基板３３には、空間Ｏ12と空間Ｏ22とが形成される。空間Ｏ12および空間Ｏ22の各々は、Ｙ軸の方向に長尺な開口である。空間Ｏ11と空間Ｏ12とは相互に連通する。同様に、空間Ｏ21と空間Ｏ22とは相互に連通する。第１流路基板３２の表面Ｆb1には、空間Ｏ11を閉塞する吸振体３６１と空間Ｏ21を閉塞する吸振体３６２とが設置される。吸振体３６１および吸振体３６２は、弾性材料で形成された層状部材である。

筐体部４２は、インクを貯留するためのケースである。第２流路基板３３の表面Ｆc2に筐体部４２が接合される。筐体部４２には、空間Ｏ12に連通する空間Ｏ13と、空間Ｏ22に連通する空間Ｏ23とが形成される。空間Ｏ13および空間Ｏ23の各々は、Ｙ軸の方向に長尺な空間である。空間Ｏ11と空間Ｏ12と空間Ｏ13とは、相互に連通することで第１共通液室Ｒ1を構成する。同様に、空間Ｏ21と空間Ｏ22と空間Ｏ23とは、相互に連通することで第２共通液室Ｒ2を構成する。吸振体３６１は、第１共通液室Ｒ1の壁面を構成し、第１共通液室Ｒ1内のインクの圧力変動を吸収する。吸振体３６２は、第２共通液室Ｒ2の壁面を構成し、第２共通液室Ｒ2内のインクの圧力変動を吸収する。

筐体部４２には供給口４２１と排出口４２２とが形成される。供給口４２１は、第１共通液室Ｒ1に連通する管路であり、循環機構２６の供給流路２６５に連結される。第２供給ポンプ２６２から供給流路２６５に送出されたインクは、供給口４２１を経由して第１共通液室Ｒ1に供給される。他方、排出口４２２は、第２共通液室Ｒ2に連通する管路であり、循環機構２６の循環流路２６４に連結される。第２共通液室Ｒ2内のインクは排出口４２２を経由して循環流路２６４に供給される。

圧力室基板３４には複数の圧力室Ｃ（Ｃa，Ｃb）が形成される。各圧力室Ｃは、第２流路基板３３の表面Ｆc2と振動板３５の表面Ｆe1との間隙である。各圧力室Ｃは、平面視でＸ軸に沿う長尺状に形成される。

振動板３５は、弾性的に振動可能な板状部材である。振動板３５は、例えば、酸化シリコン（ＳｉＯ_２）の第１層と、酸化ジルコニウム（ＺｒＯ_２）の第２層との積層で構成される。なお、所定厚の板状部材のうち圧力室Ｃに対応する領域について厚さ方向の一部を選択的に除去することで、振動板３５と圧力室基板３４とを一体に形成してもよい。また、振動板３５を単層で形成してもよい。

振動板３５の表面Ｆe2には、相異なる圧力室Ｃに対応する複数の圧電素子４１が設置される。各圧力室Ｃに対応する圧電素子４１は、平面視で当該圧力室Ｃに重なる。具体的には、各圧電素子４１は、相互に対向する第１電極および第２電極と、両電極間に形成された圧電体層との積層により構成される。各圧電素子４１は、圧力室Ｃ内のインクの圧力を変動させることで当該圧力室Ｃ内のインクをノズルＮから噴射させるエネルギー発生素子である。すなわち、駆動信号の供給により圧電素子４１が変形することで振動板３５が振動し、振動板３５の振動により圧力室Ｃが膨張および収縮することでノズルＮからインクが噴射される。圧力室Ｃ（Ｃa，Ｃb）は、個別流路Ｐのうち、圧電素子４１の変形により振動板３５が振動する範囲として画定される。

保護基板４３は、振動板３５の表面Ｆe2に設置された板状部材であり、複数の圧電素子４１を保護するとともに振動板３５の機械的な強度を補強する。保護基板４３と振動板３５との間に複数の圧電素子４１が収容される。また、振動板３５の表面Ｆe2には配線基板４４が実装される。配線基板４４は、制御ユニット２１と液体噴射ヘッド２４とを電気的に接続するための実装部品である。例えばＦＰＣ（Flexible Printed Circuit）またはＦＦＣ（Flexible Flat Cable）等の可撓性の配線基板４４が好適に利用される。配線基板４４には、各圧電素子４１に駆動信号を供給するための駆動回路４５が実装される。

個別流路Ｐの具体的な構成を以下に説明する。図６は、各第１個別流路Ｐaの構成を例示する側面図および平面図である。なお、以下の説明においては、Ｙ軸の方向における流路の幅を単に「流路幅」と表記する。図６および後掲の図７から理解される通り、第１個別流路Ｐaの形状と第２個別流路Ｐbの形状とは、平面視において、Ｚ軸に平行な対称軸に関する回転対称（すなわち点対称）の関係にある。

図６に例示される通り、第１個別流路Ｐaは、第１流路Ｑa1と連通流路Ｑa21と圧力室Ｃaと第２流路Ｑa22と第３流路Ｑa3と第４流路Ｑa4と第５流路Ｑa5と第６流路Ｑa6と第７流路Ｑa7と第８流路Ｑa8と第９流路Ｑa9とを、第１共通液室Ｒ1から第２共通液室Ｒ2にかけて以上の順番で直列に連結した流路である。

第１流路Ｑa1は、第２流路基板３３に形成された空間である。具体的には、第１流路Ｑa1は、第１共通液室Ｒ1を構成する空間Ｏ12から第２流路基板３３の表面Ｆc2までＺ軸に沿って延在する。第１流路Ｑa1のうち空間Ｑ12に連結される端部が第１個別流路Ｐaの端部Ｅ1である。連通流路Ｑa21は、圧力室Ｃaとともに圧力室基板３４に形成された空間であり、第１流路Ｑa1と圧力室Ｃaとを連通させる。すなわち、連通流路Ｑa21は、圧力室Ｃaと第１共通液室Ｒ1との間に位置する。連通流路Ｑa21は、圧力室Ｃaと比較して流路断面積が狭窄された絞り流路である。連通流路Ｑa21の流路断面積は、第２部分Ｐa2における最小の流路断面積を下回る。すなわち、第１個別流路Ｐaのうち連通流路Ｑa21においては流路抵抗が局所的に高い。

第２流路Ｑa22は、圧力室Ｃaと第３流路Ｑa3とを連通させる流路であり、圧力室ＣaのうちＸa方向の端部に連通する。第２流路Ｑa22の流路断面積は圧力室Ｃaの流路断面積よりも小さい。

第３流路Ｑa3は、第２流路基板３３を貫通する空間である。第３流路Ｑa3は、第２流路Ｑa22に平面視で重なる。すなわち、第３流路Ｑa3は、第２流路Ｑa22を介して圧力室Ｃaに連通する。第３流路Ｑa3は、Ｚ軸に沿って長尺な流路である。第３流路Ｑa3の流路幅は、圧力室Ｃaの流路幅を僅かに下回る。ただし、第３流路Ｑa3の流路幅を圧力室Ｃaの最大幅と同等としてもよい。また、第３流路Ｑa3の流路幅は、第２流路Ｑa22の流路幅を上回る。

第４流路Ｑa4は、第１流路基板３２を貫通する空間であり、Ｘ軸に沿って延在する。第４流路Ｑa4の流路幅は、第３流路Ｑa3の流路幅よりも小さい。第４流路Ｑa4は、Ｘ軸に沿って部分Ｑa41と部分Ｑa42と部分Ｑa43とに区分される。部分Ｑa41は部分Ｑa42に対してＸb方向に位置し、部分Ｑa43は部分Ｑa42に対してＸa方向に位置する。部分Ｑa41と部分Ｑa42と部分Ｑa43とで流路幅は同等である。部分Ｑa41は平面視で第３流路Ｑa3に重なる。すなわち、部分Ｑa41は第３流路Ｑa3に連通する。第１個別流路Ｐaに対応するノズルＮaは、平面視で第４流路Ｑa4の部分Ｑa42に重なる。すなわち、ノズルＮaは部分Ｑa42に連通する。ノズルＮaは、第３流路Ｑa3および第５流路Ｑa5には平面視で重ならない。ただし、第４流路Ｑa4に対するノズルＮaの位置は適宜に変更され得る。

第５流路Ｑa5は、第２流路基板３３の表面Ｆc1に形成された溝部であり、Ｘ軸に沿って延在する。第５流路Ｑa5は、Ｘ軸に沿って部分Ｑa51と部分Ｑa52と部分Ｑa53とに区分される。部分Ｑa51は部分Ｑa52に対してＸb方向に位置し、部分Ｑa53は部分Ｑa52に対してＸa方向に位置する。第５流路Ｑa5の部分Ｑa51が第４流路Ｑa4の部分Ｑa43に平面視で重なる。部分Ｑa52および部分Ｑa53の流路幅は部分Ｑa51の流路幅よりも小さい。具体的には、部分Ｑa51の流路幅は第４流路Ｑa4の流路幅よりも大きく、部分Ｑa52および部分Ｑa53の流路幅は第４流路Ｑa4の流路幅と同等である。部分Ｑa51の流路幅は、第３流路Ｑa3の流路幅と同等である。

部分Ｑa51の上面は、Ｘa側の縁端がＸb側の縁端よりも高位となる傾斜面を含む。また、部分Ｑa53の上面は、Ｘb側の縁端がＸa側の縁端よりも高位となる傾斜面を含む。すなわち、第５流路Ｑa5は、Ｙ軸の方向にみて略台形状である。

第６流路Ｑa6は、第１流路基板３２を貫通する空間であり、Ｘ軸に沿って延在する。第５流路Ｑa5の部分Ｑa53は第６流路Ｑa6に平面視で重なる。すなわち、第６流路Ｑa6は部分Ｑa53に連通する。また、第６流路Ｑa6の流路幅は、第５流路Ｑa5の部分Ｑa53の流路幅と同等である。

第７流路Ｑa7は、ノズル板３１の表面Ｆa2に形成された溝部であり、Ｘ軸に沿って延在する。第７流路Ｑa7は、Ｘ軸に沿って部分Ｑa71と部分Ｑa72とに区分される。部分Ｑa71は部分Ｑa72に対してＸb方向に位置する。部分Ｑa71の流路幅は部分Ｑa72の流路幅よりも大きい。具体的には、部分Ｑa71の流路幅は、第５流路Ｑa5の部分Ｑa51および第３流路Ｑa3の流路幅と同等であり、部分Ｑa72の流路幅は、第５流路Ｑa5の部分Ｑa52および部分Ｑa53の流路幅と同等である。第６流路Ｑa6は、第７流路Ｑa7の部分Ｑa71のうちＸb方向に位置する端部に平面視で重なる。すなわち、第６流路Ｑa6は第７流路Ｑa7の部分Ｑa71に連通する。

第８流路Ｑa8は、第１流路基板３２を貫通する空間であり、Ｘ軸に沿って延在する。第８流路Ｑa8の流路幅は第７流路Ｑa7の部分Ｑa72の流路幅と同等である。第８流路Ｑa8は、第７流路Ｑa7の部分Ｑa72のうちＸa方向に位置する端部に平面視で重なる。すなわち、第８流路Ｑa8は第７流路Ｑa7の部分Ｑa72に連通する。

第９流路Ｑa9は、第２流路基板３３の表面Ｆc1に形成された溝部であり、Ｘ軸に沿って延在する。第９流路Ｑa9のうちＸb方向の端部は第８流路Ｑa8に平面視で重なる。すなわち、第９流路Ｑa9は第８流路Ｑa8に連通する。第９流路Ｑa9のうちＸa方向の端部は第２共通液室Ｒ2に連結される。第９流路Ｑa9のうち第２共通液室Ｒ2に連結される端部が第１個別流路Ｐaの端部Ｅ2である。第９流路Ｑa9の流路幅は、第３流路Ｑa3の流路幅と同等である。

以上の構成において、第１共通液室Ｒ1内のインクは、第１流路Ｑa1と連通流路Ｑa21とを経由して圧力室Ｃaに供給される。圧力室Ｃaから第２流路Ｑa22と第３流路Ｑa3とを経由して第４流路Ｑa4に供給されるインクの一部がノズルＮaから噴射される。また、第４流路Ｑa4に供給されるインクのうちノズルＮaから噴射されない部分は、第４流路Ｑa4から第９流路Ｑa9を順番に経由して第２共通液室Ｒ2に供給される。以上の説明から理解される通り、第１部分Ｐa1はノズルＮaの上流側の流路であり、第２部分Ｐa2はノズルＮaの下流側の流路である。

第１個別流路Ｐaの第１部分Ｐa1は、第１流路Ｑa1と連通流路Ｑa21と圧力室Ｃaと第２流路Ｑa22と第３流路Ｑa3と第４流路Ｑa4の部分Ｑa41とで構成される。第１個別流路Ｐaの第２部分Ｐa2は、第４流路Ｑa4の部分Ｑa43と第５流路Ｑa5から第９流路Ｑa9とで構成される。第１個別流路Ｐaにおいて、圧力室Ｃaに対応する圧電素子４１の変形に連動して振動板３５が振動すると、当該圧力室Ｃa内の圧力が変動することで、圧力室Ｃa内に充填されたインクがノズルＮaから噴射される。

図７は、各第２個別流路Ｐbの構成を例示する側面図および平面図である。第２個別流路Ｐbは、第１個別流路ＰaをＸ軸の方向に反転させた構成である。具体的には、第２個別流路Ｐbは、第１流路Ｑb1と連通流路Ｑb21と圧力室Ｃbと第２流路Ｑb22と第３流路Ｑb3と第４流路Ｑb4と第５流路Ｑb5と第６流路Ｑb6と第７流路Ｑb7と第８流路Ｑb8と第９流路Ｑb9とを、第２共通液室Ｒ2から第１共通液室Ｒ1にかけて以上の順番で直列に連結した流路である。第１個別流路Ｐaにおける各流路（Ｑa1〜Ｑb9）の構造に関する説明（具体的には段落００４６−００５４）は、各要素の符号における添字ａを添字ｂに置換することで、第２個別流路Ｐbにおける各流路（Ｑb1〜Ｑb9）の構造に関する説明として同様に成立する。

以上の構成において、第１共通液室Ｒ1内のインクは、第９流路Ｑb9と第８流路Ｑb8と第７流路Ｑb7と第６流路Ｑb6と第５流路Ｑb5と第４流路Ｑb4と第３流路Ｑb3と第２流路Ｑb22とを経由して圧力室Ｃbに供給される。第４流路Ｑb4に供給されるインクの一部がノズルＮbから噴射される。また、第４流路Ｑb4に供給されるインクのうちノズルＮbから噴射されない部分は、第４流路Ｑb4と第３流路Ｑb3と第２流路Ｑb22と圧力室Ｃbと連通流路Ｑb21と第１流路Ｑb1とを順番に経由して第２共通液室Ｒ2に供給される。以上の説明から理解される通り、第３部分Ｐb3はノズルＮbの上流側の流路であり、第４部分Ｐb4はノズルＮbの下流側の流路である。

第２個別流路Ｐbの第３部分Ｐb3は、第４流路Ｑb4の部分Ｑb43と第５流路Ｑb5から第９流路Ｑb9とで構成される。第２個別流路Ｐbの第４部分Ｐb4は、第１流路Ｑb1と連通流路Ｑb21と圧力室Ｃbと第２流路Ｑb22と第３流路Ｑb3と第４流路Ｑb4の部分Ｑb41とで構成される。第２個別流路Ｐbにおいて、圧力室Ｃbに対応する圧電素子４１の変形に連動して振動板３５が振動すると、当該圧力室Ｃb内の圧力が変動することで、圧力室Ｃb内に充填されたインクがノズルＮbから噴射される。

第１実施形態においては、第１部分Ｐa1のイナータンスＭ1が第２部分Ｐa2のイナータンスＭ2よりも小さく（Ｍ1＜Ｍ2）、かつ、第４部分Ｐb4のイナータンスＭ4が第３部分Ｐb3のイナータンスＭ3よりも小さい（Ｍ4＜Ｍ3）。流路のイナータンスＭは、例えば以下の数式(1)で表現される。なお、数式(1)における記号ρはインクの密度を意味し、記号Ｌは流路長を意味し、記号Ｓは流路断面積を意味する。流路断面積Ｓが相違する複数の区間で構成される流路のイナータンスＭは、各区間におけるイナータンスの合計値として算定される。数式(1)から理解される通り、流路長Ｌおよび流路断面積Ｓを調整することでイナータンスＭを設定することが可能である。
Ｍ＝ρＬ／Ｓ …(1)

圧電素子４１の動作により圧力室Ｃa内に発生した圧力変動は、第１部分Ｐa1内においてノズルＮaに向かうインクの流動を発生させる。第１部分Ｐa1内においてノズルＮaに向かうインクの一部は当該ノズルＮaから噴射され、残余のインクは第２部分Ｐa2に流入する。ノズルＮaから噴射されずに第２部分Ｐa2に流入するインクを相対的に減少させることでノズルＮaからの噴射効率を向上させるためには、第２部分Ｐa2のイナータンスを相対的に大きくする構成が好適である。以上の観点から、第１実施形態においては、第１部分Ｐa1のイナータンスＭ1が第２部分Ｐa2のイナータンスＭ2よりも小さい構成を採用する。具体的には、第１部分Ｐa1の流路長Ｌ1は、第２部分Ｐa2の流路長Ｌ2よりも短い（Ｌ1＜Ｌ2）。

同様に、圧電素子４１の動作により圧力室Ｃb内に発生した圧力変動は、第４部分Ｐb4内においてノズルＮbに向かうインクの流動を発生させる。第４部分Ｐb4内においてノズルＮbに向かうインクの一部は当該ノズルＮbから噴射され、残余のインクは第３部分Ｐb3に流入する。ノズルＮbから噴射されずに第３部分Ｐb3に流入するインクを相対的に減少させることでノズルＮbからの噴射効率を向上させるためには、第３部分Ｐb3のイナータンスを相対的に大きくする構成が好適である。以上の観点から、第１実施形態においては、第４部分Ｐb4のイナータンスＭ4が第３部分Ｐb3のイナータンスＭ3よりも小さい構成を採用する。具体的には、第４部分Ｐb4の流路長Ｌ4は、第３部分Ｐb3の流路長Ｌ3よりも短い（Ｌ4＜Ｌ3）。

図２から理解される通り、第２部分Ｐa2よりもイナータンスが小さい第１部分Ｐa1と第４部分Ｐb4よりもイナータンスが大きい第３部分Ｐb3とがＹ軸の方向に配列する。同様に、第１部分Ｐa1よりもイナータンスが大きい第２部分Ｐa2と第３部分Ｐb3よりもイナータンスが小さい第４部分Ｐb4とがＹ軸の方向に配列する。すなわち、イナータンスが大きい範囲とイナータンスが小さい範囲とがＸ-Ｙ平面内において適度に分散される。したがって、第１個別流路Ｐaおよび第２個別流路Ｐbの一方のみで個別流路列２５を構成した場合と比較して効率的に流路を配置できる。

前述の通り、第１共通液室Ｒ1内のインクは、第１個別流路Ｐaの第１部分Ｐa1を経由してノズルＮaに供給され、第２個別流路Ｐbの第３部分Ｐb3を経由してノズルＮbに供給される。ここで、第１部分Ｐa1の流路抵抗λa1と第３部分Ｐb3の流路抵抗λb3とが相違する構成を対比例として想定する。対比例においては、第１共通液室Ｒ1からノズルＮaまでの圧力損失と第１共通液室Ｒ1からノズルＮbまでの圧力損失が相違する。したがって、ノズルＮaにおけるインクの圧力とノズルＮbにおけるインクの圧力とが相違し、結果的にノズルＮaの噴射特性とノズルＮbの噴射特性との間に誤差が発生する。噴射特性は、例えば噴射量または噴射速度である。

以上の課題を解決するために、第１実施形態においては、第１部分Ｐa1の流路抵抗λa1と第３部分Ｐb3の流路抵抗λb3とが実質的に等しい（λa1＝λb3）。以上の構成によれば、第１共通液室Ｒ1からノズルＮaまでの圧力損失と、第１共通液室Ｒ1からノズルＮbまでの圧力損失とが実質的に等しい。すなわち、ノズルＮaにおけるインクの圧力とノズルＮbにおけるインクの圧力とが実質的に等しい。したがって、ノズルＮaの噴射特性とノズルＮbの噴射特性との誤差を低減できる。

ただし、第１部分Ｐa1の流路抵抗λa1と第３部分Ｐb3の流路抵抗λb3とが実質的に同等でも、第２部分Ｐa2の流路抵抗λa2と第４部分Ｐb4の流路抵抗λb4とが顕著に相違する構成では、第２共通液室Ｒ2からノズルＮaまでの圧力損失と第２共通液室Ｒ2からノズルＮbまでの圧力損失とが相違する。したがって、ノズルＮaにおけるインクの圧力とノズルＮbにおけるインクの圧力とが相違し、結果的にノズルＮaの噴射特性とノズルＮbの噴射特性との間に誤差が発生する場合がある。

以上の課題を解決するために、第１実施形態においては、第２部分Ｐa2の流路抵抗λa2と第４部分Ｐb4の流路抵抗λb4とが実質的に等しい（λa2＝λb4）。以上の構成によれば、第２共通液室Ｒ2からノズルＮaまでの圧力損失と第２共通液室Ｒ2からノズルＮbまでの圧力損失とが実質的に等しい。したがって、ノズルＮaの噴射特性とノズルＮbの噴射特性との誤差を有効に低減できる。

また、前述の説明から理解される通り、第１実施形態においては、第１個別流路Ｐaの第２部分Ｐa2の形状と、第２個別流路Ｐbの第３部分Ｐb3の形状とが相互に対応する。したがって、第２部分Ｐa2の流路抵抗λa2と第３部分Ｐb3の流路抵抗λb3とは実質的に等しい。同様に、第１個別流路Ｐaの第１部分Ｐa1の形状と、第２個別流路Ｐbの第４部分Ｐb4の形状とは相互に対応する。したがって、第１部分Ｐa1の流路抵抗λa1と第４部分Ｐb4の流路抵抗λb4とは実質的に等しい。ここで、前述の通り、第１部分Ｐa1の流路抵抗λa1と第３部分Ｐb3の流路抵抗λb3とは実質的に等しく、かつ、第２部分Ｐa2の流路抵抗λ2と第４部分Ｐb4の流路抵抗λb4とは実質的に等しい。したがって、第１個別流路Ｐaにおいて、第１部分Ｐa1の流路抵抗λa1と第２部分Ｐa2の流路抵抗λa2とは実質的に等しく（λa1＝λa2）、第２個別流路Ｐbにおいて、第３部分Ｐb3の流路抵抗λb3と第４部分Ｐb4の流路抵抗λb4とは実質的に等しい（λb3＝λb4）。

また、逆説的な見方をすれば、流路抵抗λa1と流路抵抗λa2とが実質的に等しく、流路抵抗λb3と流路抵抗λb4とが実質的に等しくなるように第１個別流路Ｐaおよび第２個別流路Ｐbが設計される。したがって、ノズルＮの上流側と下流側との間で第１個別流路Ｐaと第２個別流路Ｐbとが互い違いの構造を有しているにも関わらず、流路抵抗λa1と流路抵抗λb3とを実質的に等しくでき、かつ、流路抵抗λa2と流路抵抗λb4とを実質的に等しくできている、とも言える。

以上の通り、結局、第１実施形態においては、流路抵抗λa1と流路抵抗λa2と流路抵抗λb3と流路抵抗λb4とが実質的に等しい。したがって、第１個別流路Ｐaの流路抵抗λaと第２個別流路Ｐbの流路抵抗λbとは実質的に等しい。第１個別流路Ｐaの流路抵抗λaは、第１部分Ｐa1の流路抵抗λa1と第２部分Ｐa2の流路抵抗λa2との合計値である。第２個別流路Ｐbの流路抵抗λbは、第３部分Ｐb3の流路抵抗λb3と第４部分Ｐb4の流路抵抗λb4との合計値である。以上のように第１個別流路Ｐaの流路抵抗λaと第２個別流路Ｐbの流路抵抗λbとが実質的に等しい構成によれば、第１ノズル列Ｌaの各ノズルＮaと第２ノズル列Ｌbの各ノズルＮbとの間における噴射特性の誤差を低減できる。

なお、「流路抵抗λ1と流路抵抗λ2とが実質的に等しい」とは、流路抵抗λ1と流路抵抗λ2とが厳密に一致する場合のほか、流路抵抗λ1と流路抵抗λ2とが実質的には等しいと評価できる程度に両者間の相違が小さい場合も包含する。具体的には、例えば流路抵抗λ1と流路抵抗λ2とが製造誤差の範囲内にある場合には、「実質的に等しい」と解釈できる。例えば、流路抵抗λ1と流路抵抗λ2とについて以下の数式(2)が成立する場合、流路抵抗λ1と流路抵抗λ2とは実質的に等しいと解釈できる。
０．４５≦λ1／（λ1＋λ2）≦０．５５ …(2)

以上の通り、第１個別流路Ｐaにおいては、第１部分Ｐa1のイナータンスＭ1と第２部分Ｐa2のイナータンスＭ2とを相違させながら（Ｍ1＜Ｍ2）、第１部分Ｐa1の流路抵抗λa1と第２部分Ｐa2の流路抵抗λa2とは実質的に同等である（λa1＝λa2）、という特徴的な構成が採用される。

前掲の数式(1)から理解される通り、流路におけるイナータンスは流路断面積に反比例する。一方、流路抵抗は流路断面積の二乗に反比例する。すなわち、連通流路Ｑa21のような流路断面積の小さな狭窄流路には、イナータンスの増大に比して流路抵抗を著しく増大させる作用があると言え、また逆の見方をすれば、狭窄流路は、流路抵抗の付加作用に比して小さなイナータンスの付加作用しかないと言うことができる。このため、上記のような特徴をもった第１個別流路Ｐaを設計する場合には、イナータンスが相対的に小さな第１部分Ｐa1について、流路断面積を相対的に小さくする構成が好適である。このため、第１実施形態においては、第１部分Ｐa1の連通流路Ｑa21が第１個別流路Ｐaの全体を通して最も流路断面積の絞られた狭窄流路とされている。また、仮にこのような狭窄流路を圧力室ＣaとノズルＮaとの連通部分（第１局所流路Ｈ1）に設けてしまうと、圧力室ＣaとノズルＮaとの間の流動が阻害されて噴射効率が低下してしまう。そこで、第１実施形態における連通流路Ｑa21は、圧力室Ｃaと第１共通液室Ｒ1との間に設けられている。第２個別流路Ｐbと連通流路Ｑb21との関係についても同様である。

ところで、各圧力室Ｃ内に発生した圧力変動は、第１共通液室Ｒ1または第２共通液室Ｒ2に伝播する場合がある。したがって、相互に隣合う第１個別流路Ｐaおよび第２個別流路Ｐbの一方から他方に対して、第１共通液室Ｒ1または第２共通液室Ｒ2を介して圧力変動が伝播する現象（以下「クロストーク」という）が問題となり得る。

以上の事情を考慮して、第１実施形態においては、第１個別流路Ｐaのうち第１共通液室Ｒ1に連結される端部Ｅ1と、第２個別流路Ｐbのうち第１共通液室Ｒ1に連結される端部Ｅ1との間で、Ｚ軸の方向における位置が相違する。以上の構成によれば、第１個別流路Ｐaの端部Ｅ1と第２個別流路Ｐbの端部Ｅ1との距離を確保し易い。したがって、第１個別流路Ｐaの端部Ｅ1の近傍で発生する流束と、第２個別流路Ｐbの端部Ｅ1の近傍で発生する流束との相互的な影響が低減される。すなわち、相互に隣合う２個の個別流路Ｐの間におけるクロストークを低減できる。

同様に、第１個別流路Ｐaのうち第２共通液室Ｒ2に連結される端部Ｅ2と、第２個別流路Ｐbのうち第２共通液室Ｒ2に連結される端部Ｅ2との間で、Ｚ軸の方向における位置が相違する。以上の構成によれば、第１個別流路Ｐaの端部Ｅ2と第２個別流路Ｐbの端部Ｅ2との距離を確保し易い。したがって、相互に隣合う２個の個別流路Ｐの間におけるクロストークを低減できる。

また、第１実施形態においては、第１共通液室Ｒ1に対する端部Ｅ1における第１個別流路Ｐaの方向と、第１共通液室Ｒ1に対する端部Ｅ1における第２個別流路Ｐbの方向とが相違する。具体的には、第１個別流路Ｐa（第１流路Ｑa1）は、端部Ｅ1においてＺ軸の方向から第１共通液室Ｒ1に連結されるのに対し、第２個別流路Ｐb（第９流路Ｑb9）は、端部Ｅ1においてＸ軸の方向から第１共通液室Ｒ1に連結される。以上の構成によれば、第１個別流路Ｐaの端部Ｅ1の近傍で発生する流束と、第２個別流路Ｐbの端部Ｅ1の近傍で発生する流束とが相互に影響しにくい。したがって、相互に隣合う２個の個別流路Ｐの間におけるクロストークを低減できる。

同様に、第２共通液室Ｒ2に対する端部Ｅ2における第１個別流路Ｐaの方向と、第２共通液室Ｒ2に対する端部Ｅ2における第２個別流路Ｐbの方向とが相違する。具体的には、第１個別流路Ｐa（第９流路Ｑa9）は、端部Ｅ2においてＸ軸の方向から第２共通液室Ｒ2に連結されるのに対し、第２個別流路Ｐb（第１流路Ｑb1）は、端部Ｅ2においてＺ軸の方向から第２共通液室Ｒ2に連結される。以上の構成によれば、第１個別流路Ｐaの端部Ｅ2の近傍で発生する流束と、第２個別流路Ｐbの端部Ｅ2の近傍で発生する流束とが相互に影響しにくい。したがって、相互に隣合う２個の個別流路Ｐの間におけるクロストークを低減できる。

個別流路列２５のうちＹ軸に沿って相互に隣合う２個の個別流路Ｐ（第１個別流路Ｐaおよび第２個別流路Ｐb）に着目して各個別流路Ｐの特徴的な構造を説明する。個別流路Ｐのうち着目すべき部位が相違する第１ないし第４の特徴の各々について個別流路Ｐの構造を説明する。なお、個別流路列２５から相互に隣合う２個の個別流路Ｐを選択する全通りの組合せについて以下の構成が採用されてもよいし、個別流路列２５のうちＹ軸の方向に隣合う一部の組合せのみについて以下の構成が採用されてもよい。

なお、以下の説明において、流路に関する「密度」とは、Ｚ軸の方向に個別流路列２５をみたときに把握される、Ｙ軸の方向における単位長あたりの流路の個数を意味する。流路の密度が高いほど、Ｙ軸の方向における当該流路のピッチが小さいという関係がある。また、流路について「低密度」とは、ノズルＮaおよびノズルＮbを含む複数のノズルＮに関する密度（ノズル密度）と比較して流路の密度が低いことを意味する。流路について「高密度」とは、複数のノズルＮに関する密度と同等であることを意味する。流路が低密度に配置される構成によれば、例えば、流路幅の確保により流路抵抗またはイナータンスが低減される。なお、流路が高密度に配置される構成では、Ｙ軸の方向に隣合う各流路を画定する隔壁の厚さを充分に確保することが困難である。したがって、流路内のインクの圧力変動に連動して流路間の隔壁が変形し、結果的に各流路間において圧力変動が相互に影響するクロストークが発生する可能性がある。流路が低密度に配置される構成によれば、流路間の隔壁の厚さを確保し易いから、流路間のクロストークを低減できるという利点もある。他方、流路が高密度に配置される構成によれば、液体噴射ヘッド２４の内部において流路が形成されないデッドスペースが低減される。すなわち、液体噴射ヘッド２４内の限定的な空間を流路の形成に効率的に利用できる。

流路が高密度にのみ配置される構成を対比例として想定すると、流路幅を充分に確保することが困難であるから、流路全体の流路抵抗を充分に低減することは困難である。したがって、流路内を流動するインクの圧力損失が大きく、結果的に噴射量または噴射速度を充分に確保することが困難である。また、前述の通り、クロストークが顕在化するという課題もある。他方、流路が低密度にのみ配置される構成を対比例として想定すると、低密度配置の実現のためには個別流路Ｐの引き回し位置に関して様々な制約を受けることになるため、そのような制約のもとで充分に高いノズル密度を実現することが困難である。以上の説明から理解される通り、流路内の圧力損失またはクロストークの低減と高いノズル密度の実現とを高い水準で両立するためには、流路の全体としては低密度の配置を基本としつつ部分的には流路を高密度に配置するという設計思想が非常に重要である。以下に説明する各特徴は、以上に説明した事情を背景とした特徴的な構成である。

Ａ１：第１の特徴
図８は、第１個別流路Ｐaの側面図および平面図であり、図９は、第２個別流路Ｐbの側面図および平面図である。図８には、第２個別流路Ｐbの外形が網掛で並記され、図９には、第１個別流路Ｐaの外形が網掛で並記されている。

図８に例示される第１局所流路Ｈ1は、第１個別流路Ｐaのうち圧力室ＣaとノズルＮaとを連通させる部分である。具体的には、第１局所流路Ｈ1は、第１個別流路Ｐaのうち第２流路Ｑa22と第３流路Ｑa3と第４流路Ｑa4の部分Ｑa41とで構成される。図８から把握される通り、Ｙ軸の方向にみて、第１局所流路Ｈ1は第２個別流路Ｐbに重ならない。すなわち、Ｙ軸の方向に隣合う各第１個別流路Ｐaの第１局所流路Ｈ1の間隙には、第２個別流路Ｐbが存在しない。

以上の構成によれば、Ｙ軸の方向にみて第１局所流路Ｈ1が第２個別流路Ｐbに重なる構成と比較して、各第１個別流路Ｐaの第１局所流路Ｈ1をＹ軸の方向に低密度に配置できる。圧力室ＣaとノズルＮaとを連通させる第１局所流路Ｈ1は、第１個別流路ＰaのなかでもノズルＮaからのインクの噴射特性に対する影響が大きい流路である。したがって、第１局所流路Ｈ1が低密度に配置される以上の構成は格別に有効である。

図８から理解される通り、第１実施形態において、第１個別流路Ｐa内の圧力室Ｃaは、Ｙ軸の方向にみて第２個別流路Ｐbに重ならない。したがって、Ｙ軸の方向にみて圧力室Ｃaが第２個別流路Ｐbに重なる構成と比較して、圧力室ＣaをＹ軸の方向に低密度に配置できる。圧力室Ｃaが低密度に配置される構成によれば、圧力室Ｃaの流路幅を確保し易い。したがって、圧力室Ｃaの排除体積を増加させることでノズルＮaからのインクの噴射量を充分に確保できるという利点がある。また、圧力室Ｃaが低密度に配置される構成により、各圧力室Ｃaを画定する隔壁の厚さを確保し易い。したがって、圧力室Ｃa間のクロストークを効果的に低減できる。

図８に例示される第２局所流路Ｈ2は、第１個別流路ＰaのうちＹ軸の方向にみて第２個別流路Ｐbに重なる部分である。具体的には、第２局所流路Ｈ2は、第１個別流路Ｐaのうち第５流路Ｑa5の部分Ｑa52および部分Ｑa53で構成される。具体的には、第２局所流路Ｈ2は、Ｙ軸の方向にみて、第２個別流路Ｐbのうち第５流路Ｑb5の部分Ｑb52および部分Ｑb53に重なる。すなわち、第２局所流路Ｈ2に対応する部分では、個別流路Ｐが高密度に配置される。

図１０は、第１局所流路Ｈ1および第２局所流路Ｈ2を拡大した平面図である。以上の説明の通り、第１実施形態においては、第１局所流路Ｈ1は低密度に配置され、第２局所流路Ｈ2は高密度に配置される。低密度に配置される第１局所流路Ｈ1については、流路幅を充分に確保した設計を選択できる。具体的には、図１０に例示される通り、第１局所流路Ｈ1の最大幅Ｗ1が、第２局所流路Ｈ2の最大幅Ｗ2よりも大きい構成を採用できる。第１局所流路Ｈ1の最大幅Ｗ1は、第１個別流路Ｐaのうち第３流路Ｑa3の流路幅である。他方、第２局所流路Ｈ2の最大幅Ｗ2は、第１個別流路Ｐaのうち第５流路Ｑa5の部分Ｑa52および部分Ｑb53の流路幅である。以上のように第１局所流路Ｈ1の最大幅Ｗ1が第２局所流路Ｈ2の最大幅Ｗ2を上回る構成によれば、第１局所流路Ｈ1の流路幅が充分に確保される。したがって、第１局所流路Ｈ1の流路抵抗を効果的に低減できるという利点がある。

図１０には、Ｙ軸の方向に隣合う第１個別流路Ｐaおよび第２個別流路Ｐbに加えて、当該第１個別流路Ｐaとは反対側において第２個別流路Ｐbに隣合う第１個別流路Ｐa'が並記されている。すなわち、第１個別流路Ｐaと第１個別流路Ｐa'との間に第２個別流路Ｐbが位置する。第１個別流路Ｐa'は「第３個別流路」の一例である。

図１０には、Ｙ軸の方向における各第１個別流路ＰaのピッチΔが図示されている。ピッチΔは、第１個別流路Ｐaと第１個別流路Ｐa'との中心線間の距離である。ピッチΔは、ノズルＮaおよびノズルＮbを含む複数のノズルＮのピッチθの２倍に相当する（Δ＝２θ）。前述の第１局所流路Ｈ1の最大幅Ｗ1は、第１個別流路Ｐaと第１個別流路Ｐa'とのピッチΔの半分（Δ/２）よりも大きい。第１局所流路Ｈ1の最大幅Ｗ1が複数のノズルＮのピッチθを上回ると換言してもよい。以上の構成によれば、第１局所流路Ｈ1の流路幅が充分に確保されるから、第１局所流路Ｈ1の流路抵抗を効果的に低減できる。

なお、以上の説明においては第１個別流路Ｐaに着目したが、第２個別流路Ｐbについても同様の構成が成立する。例えば、図９に例示される第３局所流路Ｈ3は、第２個別流路Ｐbのうち圧力室ＣbとノズルＮbとを連通させる部分である。具体的には、第３局所流路Ｈ3は、第２個別流路Ｐbのうち第２流路Ｑb22と第３流路Ｑb3と第４流路Ｑb4の部分Ｑb41とで構成される。図９から理解される通り、Ｙ軸の方向にみて、第３局所流路Ｈ3は第１個別流路Ｐaに重ならない。したがって、第３局所流路Ｈ3をＹ軸の方向に低密度に配置できる。また、第２個別流路Ｐb内の圧力室Ｃbは、Ｙ軸の方向にみて第１個別流路Ｐaに重ならない。したがって、圧力室ＣbをＹ軸の方向に低密度に配置できる。

図９に例示される第４局所流路Ｈ4は、第２個別流路ＰbのうちＹ軸の方向にみて第１個別流路Ｐaに重なる部分である。具体的には、第４局所流路Ｈ4は、第２個別流路Ｐbのうち第５流路Ｑb5の部分Ｑb52および部分Ｑb53で構成される。第４局所流路Ｈ4は、Ｙ軸の方向にみて、第１個別流路Ｐaのうち第５流路Ｑa5の部分Ｑa52および部分Ｑa53に重なる。すなわち、第４局所流路Ｈ4に対応する部分では、個別流路Ｐが高密度に配置される。

Ａ２：第２の特徴
図１１は、第１個別流路Ｐaの側面図であり、図１２は、第２個別流路Ｐbの側面図である。図１１には、第２個別流路Ｐbの外形が網掛で並記され、図１２には、第１個別流路Ｐaの外形が網掛で並記されている。

図１１および図１２に例示される通り、第１個別流路Ｐaの第７流路Ｑa7と第２個別流路Ｐbの第７流路Ｑb7とは、ノズルＮaおよびノズルＮbとともに共通のノズル板３１に設置される。以上の構成によれば、第７流路Ｑa7および第７流路Ｑb7がノズルＮaおよびノズルＮbとは別個の基板に設置される構成と比較して液体噴射ヘッド２４の構成が簡素化される。なお、第７流路Ｑa7は「第５局所流路」の一例であり、第７流路Ｑb7は「第６局所流路」の一例である。

第１個別流路Ｐaの第７流路Ｑa7は、前述の通り、第６流路Ｑa6と第５流路Ｑa5と第４流路Ｑa4とを介してノズルＮaに連通する。すなわち、第７流路Ｑa7は、ノズル板３１以外の部材（具体的には第１流路基板３２および第２流路基板３３）に形成された流路を介して間接的にノズルＮaに連通する。そして、図６および図７から把握される通り、第７流路Ｑa7とノズルＮaとを連通させる溝または凹部は、ノズル板３１の表面（Ｆa1，Ｆa2）および内部の何れにも形成されない。すなわち、第７流路Ｑa7とノズルＮaとは、ノズル板３１内において直接には連通しない。

同様に、第２個別流路Ｐbの第７流路Ｑb7は、前述の通り、第６流路Ｑb6と第５流路Ｑb5と第４流路Ｑb4とを介してノズルＮbに連通する。すなわち、第７流路Ｑb7は、ノズル板３１以外の部材に形成された流路を介して間接的にノズルＮbに連通する。そして、図６および図７から把握される通り、第７流路Ｑb7とノズルＮbとを連通させる溝または凹部は、ノズル板３１の表面（Ｆa1，Ｆa2）および内部の何れにも形成されない。すなわち、第７流路Ｑb7とノズルＮbとは、ノズル板３１内において直接には連通しない。

図１１から理解される通り、第１個別流路Ｐaの第７流路Ｑa7は、Ｙ軸の方向にみて、第２個別流路Ｐbに連通するノズルＮbに重なる。具体的には、第７流路Ｑa7は、Ｙ軸の方向にみてノズルＮbの第２区間ｎ2に重なる。第７流路Ｑa7は、Ｙ軸の方向にみて当該ノズルＮbの第１区間ｎ1には重ならない。以上の通り、第１実施形態においては、第１個別流路Ｐaの第７流路Ｑa7と第２個別流路Ｐbに連通するノズルＮbとがＹ軸の方向にみて重なる。したがって、第７流路Ｑa7をＹ軸の方向に低密度に配置できる。なお、個別流路Ｐと比較してノズルＮは小径であるから、Ｙ軸の方向におけるノズルＮの占有幅は小さい。したがって、第７流路Ｑa7の流路幅や当該第７流路Ｑa7を画定する側壁の厚さに関する設計の自由度が過度に低下することはない。

同様に、第２個別流路Ｐbの第７流路Ｑb7は、図１２に例示される通り、Ｙ軸の方向にみて、第１個別流路Ｐaに連通するノズルＮaに重なる。具体的には、第７流路Ｑb7は、Ｙ軸の方向にみてノズルＮaの第２区間ｎ2に重なる。第７流路Ｑb7は、Ｙ軸の方向にみて当該ノズルＮaの第１区間ｎ1には重ならない。以上の通り、第１実施形態においては、第２個別流路Ｐbの第７流路Ｑb7と第１個別流路Ｐaに連通するノズルＮaとがＹ軸の方向にみて重なる。したがって、第７流路Ｑb7をＹ軸の方向に低密度に配置できる。なお、図１１および図１２から理解される通り、Ｙ軸の方向にみてノズルＮaとノズルＮbとは重ならない。

ここで、第７流路Ｑa7とノズルＮaとをノズル板３１内において直接的に連通させる流路（以下「直接連通路」という）を有する構成を第１実施形態の対比例として想定する。ノズルＮａと第７流路Ｑb7とは前述のとおりＹ軸の方向にみて重なるため、対比例においては直接連通路と第７流路Ｑb7の一部（少なくともノズルＮaの近傍）もＹ軸の方向にみて重なる。すなわち、直接連通路と第７流路Ｑb7の一部とが高密度の流路配置となることが避けられない。第１実施形態のように、第７流路Ｑa7とノズルＮaとがノズル板３１内において直接連通しない構成は、以上の問題を回避するのに好適である。なお、第１実施形態において第７流路Ｑb7とノズルＮbとがノズル板３１内において直接連通しない構成を採用する理由も同様である。

ノズル板３１となる板状部材の表面Ｆa1に対するエッチングにより、ノズルＮaの第１区間ｎ1とノズルＮbの第１区間ｎ1とが形成される。他方、板状部材の表面Ｆa2に対するエッチングにより、第７流路Ｑa7と第７流路Ｑb7とノズルＮaおよびノズルＮbの第２区間ｎ2とが一括的に形成される。表面Ｆa1から形成される第１区間ｎ1と表面Ｆa2から形成される第２区間ｎ2とが相互に連通することでノズルＮが形成される。したがって、第７流路Ｑa7と第７流路Ｑb7と各ノズルＮの第２区間ｎ2とは、同等の深さに形成される。以上の説明から理解される通り、第１実施形態によれば、ノズル板３１の素材となる板状部材のうち厚さ方向の一部を選択的に除去する工程により、第７流路Ｑa7と第７流路Ｑb7と各ノズルＮの第２区間ｎ2とを一括的に形成できる。また、以上のように第７流路Ｑa7および第７流路Ｑb7と各ノズルＮの第１区間ｎ1とは、別個の工程における逆方向のエッチングにより形成されるから、前述の通りＹ軸の方向にみて相互に重ならない。以上の説明から理解される通り、第１実施形態によれば、板状部材の表面Ｆa1に対する１回のエッチングと表面Ｆa2に対する１回のエッチングとを含む簡便な工程によりノズル板３１を形成できる。

ところで、ノズル板３１に第７流路Ｑa7および第７流路Ｑb7を設けるためには、流路の深さや流路を構成する底壁の厚みを確保するために、ノズル板３１自体にある程度の厚みが必要となる。しかしながら、そのような厚みのあるノズル板３１を用いたときに、ノズルＮの全体を小径の第１区間ｎ1のみで構成した場合、ノズルＮの流路抵抗およびイナータンスが大きくなり、結果的にインクの噴射効率が低下する。他方、ノズルＮの全体を大径の第２区間ｎ2のみで構成した場合にはインクの噴射速度が低下する。第１実施形態のように第１区間ｎ1と第２区間ｎ2との２段構造でノズルＮを構成すれば、第１区間ｎ1により噴射速度を維持しながら第２区間ｎ2により噴射効率の低下を抑制できる。すなわち、ノズルＮの２段構造により噴射性能の低下が抑制される。他方、ノズル板３１に第７流路Ｑa7や第７流路Ｑb7を形成する構成によれば、前述の通り、第７流路Ｑa7および第７流路Ｑb7をＹ軸の方向に低密度に配置できる。以上の説明から理解される通り、第１実施形態によれば、流路の低密度な配置に寄与する構造と、噴射性能の低下を回避できる２段構造とを、共通の工程により一括的に形成できるという効果がある。

Ａ３：第３の特徴
図１１に例示される通り、第１個別流路Ｐaは第１部分流路Ｇaを含む。第１部分流路Ｇaは、第７流路Ｑa7と第６流路Ｑa6と第５流路Ｑa5とを含む。第７流路Ｑa7および第５流路Ｑa5の各々は、Ｘ軸に沿って延在する流路である。第６流路Ｑa6は、第７流路Ｑa7と第５流路Ｑa5とを連通させる流路である。図１１から理解される通り、第７流路Ｑa7は、第６流路Ｑa6および第５流路Ｑa5よりもノズル板３１の表面Ｆa1に近い階層に形成される。なお、第７流路Ｑa7は「第７局所流路」の一例であり、第６流路Ｑa6は「第９局所流路」の一例であり、第５流路Ｑa5は「第８局所流路」の一例である。また、ノズル板３１の表面Ｆa1は「噴射面」の一例である。

図１２に例示される通り、第２個別流路Ｐbは第２部分流路Ｇbを含む。第２部分流路Ｇbは、第１部分流路Ｇaと同様に、第７流路Ｑb7と第６流路Ｑb6と第５流路Ｑb5とを含む。第７流路Ｑb7および第５流路Ｑb5の各々は、Ｘ軸に沿って延在する流路である。第６流路Ｑb6は、第７流路Ｑb7と第５流路Ｑb5とを連通させる流路である。図１２から理解される通り、第７流路Ｑb7は、第６流路Ｑb6および第５流路Ｑb5よりもノズル板３１の表面Ｆa1に近い階層に形成される。なお、第７流路Ｑb7は「第１０局所流路」の一例であり、第６流路Ｑb6は「第１２局所流路」の一例であり、第５流路Ｑb5は「第１１局所流路」の一例である。

図１１および図１２から把握される通り、第１部分流路Ｇaと第２部分流路Ｇbとは、Ｙ軸の方向にみて一部が重ならない。すなわち、第１部分流路Ｇaと第２部分流路Ｇbとは、Ｙ軸の方向にみて一部が重なる。具体的には、第１部分流路Ｇaのうち第５流路Ｑa5の一部（部分Ｑa52および部分Ｑa53）と、第２部分流路Ｇbのうち第５流路Ｑb5の一部（部分Ｑb52および部分Ｑb53）とが、Ｙ軸の方向にみて重なり、第１部分流路Ｇaの他の部分と第２部分流路Ｇbの他の部分とはＹ軸の方向にみて重ならない。例えば、第１個別流路Ｐaの第７流路Ｑa7と第２個別流路Ｐbの第５流路Ｑb5とは、Ｙ軸の方向にみて重ならない。また、第１個別流路Ｐaの第５流路Ｑa5と第２個別流路Ｐbの第７流路Ｑb7とは、Ｙ軸の方向にみて重ならない。以上の構成によれば、第１部分流路Ｇaおよび第２部分流路ＧbにおいてＹ軸の方向にみて相互に重ならない部分を、Ｙ軸の方向に低密度に配置できる。

例えば第１部分流路Ｇaおよび第２部分流路Ｇbを、ノズル板３１に形成された単層の流路のみで構成した場合を対比例として想定する。対比例においては、第１部分流路Ｇaと第２部分流路Ｇbとの大部分がＹ軸の方向にみて重なる。したがって、流路が高密度に配置される範囲を縮小することが困難である。以上の対比例とは対照的に、第１実施形態においては、第１部分流路Ｇaおよび第２部分流路Ｇbの各々が複数層の流路で構成されるから、層間の違いを利用することで第１部分流路Ｇaと第２部分流路ＧbとがＹ軸の方向にみて重なる範囲（すなわち流路が高密度に配置される範囲）が縮小される。具体的には、第１部分流路Ｇaのうち第５流路Ｇa5の一部（Ｑa52，Ｑa53）と第２部分流路Ｇbのうち第５流路Ｇb5の一部（Ｑb52，Ｑb53）とのみがＹ軸の方向にみて重なる構成を採用できる。他方、第１部分流路Ｇaのうち第５流路Ｇa5の部分Ｑa51、第６流路Ｇa6および第７流路Ｇa7と、第２部分流路Ｇbのうち第５流路Ｇb5の部分Ｑb51、第６流路Ｇb6および第７流路Ｇb7とは、Ｙ軸の方向にみて重ならない。したがって、第１実施形態によれば、流路を低密度に配置できる範囲を充分に確保できるという利点がある。

図１１および図１２から理解される通り、第１部分流路Ｇaの第６流路Ｑa6と第２部分流路Ｇbの第６流路Ｑb6とは、Ｙ軸の方向にみて重ならない。第１部分流路Ｇaの第６流路Ｑa6と第２部分流路Ｇbの第６流路Ｑb6とがＹ軸の方向にみて重なる構成を対比例として想定する。対比例においては、高密度に配置される範囲が、第６流路Ｑa6の部分だけでなく、第６流路Ｑa6に連結された第５流路Ｑa5の一部および第７流路Ｑa7の一部にも及ぶ。同様に、対比例においては、高密度に配置される範囲が、第６流路Ｑb6の部分だけでなく、第６流路Ｑb6に連結された第５流路Ｑb5の一部および第７流路Ｑb7の一部にも及ぶ。すなわち、個別流路ＰのうちＹ軸の方向に高密度に配置される区間の比率が増加する。第１実施形態においては、第６流路Ｑa6と第６流路Ｑb6とがＹ軸の方向にみて重ならないから、各個別流路ＰのうちＹ軸の方向に高密度に配置される区間の比率を低減できる。例えば、第７流路Ｑa7と第７流路Ｑb7とはＹ軸の方向にみて重ならない。

図１１および図１２から理解される通り、第１個別流路Ｐaのうち上位の階層に位置する第５流路Ｑa5は、第１個別流路Ｐa内の流線軸の方向に対して、第６流路Ｑa6および第７流路Ｑa7よりも第１共通液室Ｒ1に近い。なお、流線軸の方向に対して「近い」とは、流路の流線軸に沿って測定した距離が小さいことを意味する。また、第２個別流路Ｐbのうち下位の階層に位置する第７流路Ｑb7は、第２個別流路Ｐb内の流線軸の方向に対して、第５流路Ｑb5および第６流路Ｑb6よりも第１共通液室Ｒ1に近い。他方、第１個別流路Ｐaのうち下位の階層に位置する第７流路Ｑa7は、第１個別流路Ｐa内の流線軸の方向に対して、第５流路Ｑa5および第６流路Ｑa6よりも第２共通液室Ｒ2に近い。また、第２個別流路Ｐbのうち上位の階層に位置する第５流路Ｑb5は、第２個別流路Ｐb内の流線軸の方向に対して、第６流路Ｑb6および第７流路Ｑb7よりも第２共通液室Ｒ2に近い。

以上の構成において、例えば個別流路Ｐ内の任意の地点にみて流線軸の方向に対して第１共通液室Ｒ1に近い位置を上流側とし、第２共通液室Ｒ2に近い位置を下流側として個別流路Ｐの方向を便宜的に観念する。第１個別流路Ｐaにおいては、上位層の部分（Ｑa5）が上流側に位置し、下位層の部分（Ｑa7）が下流側に位置する。他方、第２個別流路Ｐbにおいては、上位層の部分（Ｑb5）が下流側に位置し、下位層の部分（Ｑb7）が上流側に位置する。以上に例示したレイアウトを採用することで、第１個別流路Ｐaと第２個別流路Ｐbとの間において同階層の流路同士が相互に隣合うことが抑制される。したがって、流路の低密度化を実現し易いという利点がある。

前述の通り、第７流路Ｑa7および第７流路Ｑb7は、ノズルＮaおよびノズルＮbとともに共通のノズル板３１に形成される。そして、第７流路Ｑa7と第７流路Ｑb7とは、Ｙ軸の方向にみて重ならない。以上の構成によれば、第７流路Ｑa7および第７流路Ｑb7の各々を、Ｙ軸の方向に低密度に配置できる。一般的にノズル板３１の厚さは目標の噴射特性に応じて決定されるから、流路の形成に充分な厚さをノズル板３１に確保することは困難である。以上のようにノズル板３１が充分に薄い構成のもとで第７流路Ｑa7および第７流路Ｑb7がＹ軸の方向にみて重なる場合、第７流路Ｑa7および第７流路Ｑb7について充分な流路断面積を確保することは困難である。第１実施形態においては、第７流路Ｑa7と第７流路Ｑb7とがＹ軸の方向にみて重ならないから、第７流路Ｑa7および第７流路Ｑb7の各々をＹ軸の方向に低密度に配置できる。したがって、ノズル板３１が充分に薄い構成でも、第７流路Ｑa7および第７流路Ｑb7の流路断面積を確保し易いという利点がある。

Ａ４：第４の特徴
図８および図９の平面図から把握される通り、第１個別流路Ｐaは、Ｚ軸の方向からの平面視において第２個別流路Ｐbに部分的に重なる流路（以下「重複流路」という）と、平面視で第２個別流路Ｐbに重ならない流路（以下「非重複流路」という）とを含む。重複流路は、Ｙ軸の方向における複数のノズルＮの密度（ノズル密度）と比較して流路の密度が低い。すなわち、重複流路は、Ｙ軸の方向に低密度に配置される流路である。他方、非重複流路は、複数のノズルＮに関する密度と同等の高密度で形成される流路である。

重複流路は、第１個別流路Ｐaのうち、圧力室Ｃaと、第３流路Ｑa3と、第５流路Ｑa5の部分Ｑa51と、第７流路Ｑa7の部分Ｑa71と、第９流路Ｑa9とを含む。重複流路は、平面視で第２個別流路Ｐbに重なるから、Ｙ軸の方向にみて第２個別流路Ｐbには重ならない。重複流路（Ｃa，Ｑa3，Ｑa51，Ｑa71，Ｑa9）は「第１３局所流路」の一例である。以上の通り、第１実施形態においては、第１個別流路Ｐaが、平面視で第２個別流路Ｐbに部分的に重なる重複流路を含む。

第１実施形態に対する対比例として、第１個別流路Ｐaと第２個別流路Ｐbとが高密度に配置された構成を想定する。対比例においては、例えば第１個別流路Ｐaおよび第２個別流路Ｐbの一方の流路幅を広げると、流路同士が干渉しないように他方の流路幅を狭くせざるを得ず、その部分の流路抵抗およびイナータンスの増加を回避できないという問題がある。第１実施形態のように重複流路があるということは、対比例における流路間の干渉限界を超えて第１個別流路Ｐaまたは第２個別流路Ｐbの流路幅が拡幅されているということであり、これにより個別流路列２５の流路抵抗またはイナータンスを低減できるという利点がある。第１実施形態においては特に、重複流路が第１局所流路Ｈ1および圧力室Ｃaを含む。具体的には、第１局所流路Ｈ1および圧力室Ｃaが、Ｚ軸の方向にみて第２個別流路Ｐbに重なるほど大きく拡幅されている。これにより、第１局所流路Ｈ1における流路抵抗およびイナータンスが低減され、また圧力室Ｃaの排除体積が増大されて、優れたインクの噴射特性が実現されている。

他方、非重複流路は、第１個別流路Ｐaのうち、第２流路Ｑa22と、第４流路Ｑa4と、第５流路Ｑa5の部分Ｑa52および部分Ｑa53と、第６流路Ｑa6と、第７流路Ｑa7の部分Ｑa72と、第８流路Ｑa8とを含む。非重複流路は、平面視で第２個別流路Ｐbに重ならないから、Ｙ軸の方向にみて第２個別流路Ｐbに重なることが許容される。例えば、前述の通り、非重複流路のうち第５流路Ｑa5の部分Ｑa52および部分Ｑa53は、Ｙ軸の方向にみて第２個別流路Ｐbに重なる。非重複流路（Ｑa22，Ｑa4，Ｑa52，Ｑa53，Ｑa6，Ｑa72，Ｑa8）は「第１４局所流路」の一例である。第１個別流路Ｐaのうち非重複流路は、Ｙ軸の方向に高密度に配置される。したがって、液体噴射ヘッド２４内の限定的な空間を流路の形成に効率的に利用できる。以上の説明の通り、第１実施形態の第１個別流路Ｐaは重複流路と非重複流路との双方を含む。したがって、第１個別流路Ｐaの全体的な流路抵抗を重複流路により低減しつつ、非重複流路により部分的に流路を高密度化できるという効果が実現される。

以上の例示の通り、重複流路は第２個別流路Ｐbに重なるから、重複流路の最大幅は、非重複流路の最大幅よりも大きい。具体的には、重複流路の最大幅は、図１０を参照して説明したピッチΔの半分（Δ/２）よりも大きい。他方、非重複流路の最大幅は、当該ピッチΔの半分（Δ/２）よりも小さい。以上の構成によれば、重複流路の流路幅が充分に確保されるから、重複流路の流路抵抗を効果的に低減できる。

以上の説明においては第１個別流路Ｐaに着目したが、第２個別流路Ｐbについても同様の構成が成立する。具体的には、第２個別流路Ｐbは、平面視で第１個別流路Ｐaに部分的に重なる重複流路と、平面視で第１個別流路Ｐaに重ならない非重複流路とを含む。

第２個別流路Ｐbの重複流路は、圧力室Ｃbと、第３流路Ｑb3と、第５流路Ｑb5の部分Ｑb51と、第７流路Ｑb7の部分Ｑb71と、第９流路Ｑb9とを含む。第２個別流路Ｐbの重複流路（Ｃb，Ｑb3，Ｑb51，Ｑb71，Ｑb9）は「第１５局所流路」の一例である。以上の構成においては、第１個別流路Ｐaの重複流路について前述した通り、流路間の干渉限界を超えて第１個別流路Ｐaまたは第２個別流路Ｐbの流路幅が拡幅されている。したがって、個別流路列２５の流路抵抗またはイナータンスを低減できるという利点がある。第１実施形態においては特に、重複流路が第３局所流路Ｈ3および圧力室Ｃbを含む。具体的には、第３局所流路Ｈ3および圧力室Ｃbが、Ｚ軸の方向にみて第２個別流路Ｐbに重なるほど大きく拡幅されている。これにより、第３局所流路Ｈ3における流路抵抗およびイナータンスが低減され、また圧力室Ｃbの排除体積が増大されるから、優れたインクの噴射特性が実現されている。

他方、非重複流路は、第２個別流路Ｐbのうち、第２流路Ｑb22と、第４流路Ｑb4と、第５流路Ｑb5の部分Ｑb52および部分Ｑb53と、第６流路Ｑb6と、第７流路Ｑb7の部分Ｑb72と、第８流路Ｑb8とを含む。重複流路の最大幅が非重複流路の最大幅よりも大きい構成は、第１個別流路Ｐaと同様である。以上の説明の通り、第１実施形態の第２個別流路Ｐbは重複流路と非重複流路との双方を含む。したがって、第２個別流路Ｐbの全体的な流路抵抗を重複流路により低減しつつ、非重複流路により部分的に流路を高密度化できるという効果が実現される。

Ｂ：第２実施形態
本発明の第２実施形態を説明する。なお、以下に例示する各形態において機能が第１実施形態と同様である要素については、第１実施形態の説明で使用した符号を流用して各々の詳細な説明を適宜に省略する。

図１３および図１４は、第２実施形態における液体噴射ヘッド２４の断面図である。個別流路列２５のうち第１個別流路Ｐaを通過する断面が図１３に図示され、第２個別流路Ｐbを通過する断面が図１４に図示されている。図１３および図１４に例示される通り、第２実施形態においては、第１実施形態と比較して充分に薄い第１流路基板３２が利用される。なお、第２実施形態のうち第１実施形態と相違するのは第１流路基板３２および第２流路基板３３のみであり、ノズル板３１および圧力室基板３４を含む他の要素の構成は第１実施形態と同様である。

図１５は、第１個別流路Ｐaを部分的に拡大した断面図であり、図１６は、第２個別流路Ｐbを部分的に拡大した断面図である。図１５には、第２個別流路Ｐbの外形が網掛で並記され、図１６には、第１個別流路Ｐaの外形が網掛で並記されている。また、図１７は、第１個別流路Ｐaおよび第２個別流路Ｐbのうち図１５および図１６に図示された部分の平面図である。なお、図１７においては、第３流路Ｑa3および第５流路Ｑa5と第３流路Ｑb3および第５流路Ｑb5とに便宜的に網掛が付加されている。

図１３および図１５に例示される通り、第２実施形態の第１個別流路Ｐaにおいては、第３流路Ｑa3と第５流路Ｑa5とが第２流路基板３３内において相互に連通する。具体的には、第５流路Ｑa5は、部分Ｑa51と部分Ｑa52とを含む。部分Ｑa51は第３流路Ｑa3と部分Ｑa52とを連通させる流路である。部分Ｑa51および部分Ｑa52は、Ｘ軸の方向に延在する。図１７に例示される通り、部分Ｑa52の流路幅は、部分Ｑa51の流路幅よりも小さい。部分Ｑa52の上面は、Ｘb側の縁端がＸa側の縁端よりも高位となる傾斜面を含む。また、第４流路Ｑa4は、第５流路Ｑa5とノズルＮaとを連通させる流路である。第４流路Ｑa4は、ノズルＮaの第２区間ｎ2よりも小径で第１流路基板３２に形成された貫通孔である。

図１４および図１６に例示される通り、第２個別流路Ｐbにおいても同様に、第３流路Ｑb3と第５流路Ｑb5とが第２流路基板３３内において相互に連通する。具体的には、第５流路Ｑb5は、部分Ｑb51と部分Ｑb52とを含む。部分Ｑb51および部分Ｑb52は、Ｘ軸の方向に延在する。図１７に例示される通り、部分Ｑb52の流路幅は、部分Ｑb51の流路幅よりも小さい。部分Ｑb52の上面は、Ｘa側の縁端がＸb側の縁端よりも高位となる傾斜面を含む。また、ノズルＮbの第２区間ｎ2よりも小径な第４流路Ｑb4を介して第５流路Ｑb5とノズルＮbとが連通する。

図１７に例示される通り、ノズル板３１に設置される第７流路Ｑa7は、部分Ｑa71と部分Ｑa72と部分Ｑa73と部分Ｑa74とをＸa方向に以上の順番で連結した流路である。部分Ｑa71および部分Ｑa73の流路幅は、部分Ｑa72および部分Ｑa74の流路幅よりも小さい。部分Ｑa74のうちＸa方向に位置する端部が第８流路Ｑa8に連通する。

同様に、第２個別流路Ｐbを構成する第７流路Ｑb7は、部分Ｑb71と部分Ｑb72と部分Ｑb73と部分Ｑb74とをＸb方向に以上の順番で連結した流路である。部分Ｑb71および部分Ｑb73の流路幅は、部分Ｑb72および部分Ｑb74の流路幅よりも小さい。部分Ｑb74のうちＸb方向に位置する端部が第８流路Ｑb8に連通する。

図１７から理解される通り、第１個別流路Ｐaの部分Ｑa71と第２個別流路Ｐbの部分Ｑb71とは、Ｙ軸に沿って交互に配列する。部分Ｑa71と部分Ｑb71とは、複数のノズルＮと同等のピッチθでＹ軸の方向に配列する。他方、各第１個別流路Ｐaにおける第７流路Ｑa7の部分Ｑa72から部分Ｑa74は、ピッチθの２倍のピッチでＹ軸の方向に配列する。Ｙ軸の方向に隣合う２個の第７流路Ｑa7における部分Ｑa73の間隙に、第４流路Ｑb4が形成される。同様に、各第２個別流路Ｐbにおける第７流路Ｑb7の部分Ｑb72から部分Ｑb74は、ピッチθの２倍のピッチでＹ軸の方向に配列する。Ｙ軸の方向に隣合う２個の第７流路Ｑb7における部分Ｑb73の間隙に、第４流路Ｑa4が形成される。

第１個別流路Ｐaにおける第５流路Ｑa5の部分Ｑa51は、当該第１個別流路Ｐaに対してＹ軸の方向に隣合う第２個別流路Ｐbにおける第７流路Ｑb7（部分Ｑb72から部分Ｑb74）に平面視で重なる。以上のように第５流路Ｑa5の部分Ｑa51については充分な流路幅が確保される。同様に、第２個別流路Ｐbにおける第５流路Ｑb5の部分Ｑb51は、当該第２個別流路Ｐbに対してＹ軸の方向に隣合う第１個別流路Ｐaにおける第７流路Ｑa7（部分Ｑa72から部分Ｑa74）に平面視で重なる。すなわち、第５流路Ｑb5の部分Ｑb51については充分な流路幅が確保される。

第１個別流路Ｐaにおける第５流路Ｑa5の部分Ｑa52と、当該第１個別流路Ｐaにおける第７流路Ｑa7の部分Ｑa71とはＺ軸に沿って対向する。部分Ｑa52と部分Ｑa71とは、両者間に位置する第６流路Ｑa6を介して相互に連通する。第６流路Ｑa6は、Ｘ軸に沿って延在する流路である。なお、第７流路Ｑa7と第６流路Ｑa6と第５流路Ｑa5とにより第１部分流路Ｇaが構成される点は第１実施形態と同様である。

同様に、第２個別流路Ｐbにおける第５流路Ｑb5の部分Ｑb52と、当該第２個別流路Ｐbにおける第７流路Ｑb7の部分Ｑb71とはＺ軸に沿って対向する。部分Ｑb52と部分Ｑb71とは、両者間に位置する第６流路Ｑb6を介して相互に連通する。第６流路Ｑb6は、Ｘ軸に沿って延在する流路である。なお、第７流路Ｑb7と第６流路Ｑb6と第５流路Ｑb5とにより第２部分流路Ｇbが構成される点は第１実施形態と同様である。

図１７から理解される通り、第１個別流路Ｐaの第６流路Ｑa6と第２個別流路Ｐbの第６流路Ｑb6とはＹ軸に沿って交互に配列する。すなわち、第６流路Ｑa6と第６流路Ｑb6とは、Ｙ軸の方向にみて重なる。前述の通り、第６流路Ｑa6は「第９局所流路」の一例であり、第６流路Ｑb6は「第１２局所流路」の一例である。

第６流路Ｑa6と第６流路Ｑb6とがＹ軸の方向にみて重ならない構成（例えば前述の第１実施形態）を対比例として想定する。対比例においては、第６流路Ｑa6および第６流路Ｑb6のＸ軸の方向における範囲を縮小せざるを得ず、この部分がいわゆる狭窄流路となることによって、結果的に第６流路Ｑa6および第６流路Ｑb6の流路抵抗が大きくなってしまう可能性がある。第２実施形態においては、Ｙ軸の方向からみた第６流路Ｑa6と第６流路Ｑb6との重複が許容されるから、Ｘ軸の方向における第６流路Ｑa6および第６流路Ｑb6の範囲を確保し易い。したがって、第６流路Ｑa6および第６流路Ｑb6における流路抵抗を低減し易いという利点がある。他方、第６流路Ｑa6と第６流路Ｑb6とがＹ軸の方向にみて重ならない第１実施形態の構成によれば、前述の通り、各個別流路ＰのうちＹ軸の方向に高密度に配置される区間の比率を低減できるという利点がある。

第１個別流路Ｐaのうち第１共通液室Ｒ1とノズルＮaとを連通させる第１部分Ｐa1は、第１流路Ｑa1と連通流路Ｑa21と圧力室Ｃaと第２流路Ｑa22と第３流路Ｑa3と第４流路Ｑa4とで構成される。第１個別流路ＰaのうちノズルＮaと第２共通液室Ｒ2とを連通させる第２部分Ｐa2は、第５流路Ｑa5から第９流路Ｑa9により構成される。他方、第２個別流路Ｐbのうち第１共通液室Ｒ1とノズルＮbとを連通させる第３部分Ｐb3は、第５流路Ｑb5から第９流路Ｑb9により構成される。第２個別流路ＰbのうちノズルＮbと第２共通液室Ｒ2とを連通させる第４部分Ｐb4は、第１流路Ｑb1と連通流路Ｑb21と圧力室Ｃbと第２流路Ｑb22と第３流路Ｑb3と第４流路Ｑb4とで構成される。

各流路の流路抵抗およびイナータンスの関係は第１実施形態と同様である。例えば、第１部分Ｐa1のイナータンスＭ1は第２部分Ｐa2のイナータンスＭ2よりも小さく（Ｍ1＜Ｍ2）、かつ、第４部分Ｐb4のイナータンスＭ4は第３部分Ｐb3のイナータンスＭ3よりも小さい（Ｍ4＜Ｍ3）。具体的には、第１部分Ｐa1の流路長Ｌ1は、第２部分Ｐa2の流路長Ｌ2よりも短く（Ｌ1＜Ｌ2）、第４部分Ｐb4の流路長Ｌ4は、第３部分Ｐb3の流路長Ｌ3よりも短い（Ｌ4＜Ｌ3）。以上の構成によれば、各ノズルＮから噴射されないインクを相対的に減少させることでノズルＮからの噴射効率を向上させることが可能である。

また、第１部分Ｐa1の流路抵抗λa1と第３部分Ｐb3の流路抵抗λb3とが実質的に等しく（λa1＝λb3）、かつ、第２部分Ｐa2の流路抵抗λa2と第４部分Ｐb4の流路抵抗λb4とが実質的に等しい（λa2＝λb4）。以上の構成によれば、ノズルＮaの噴射特性とノズルＮbの噴射特性との誤差を低減できる。また、第１部分Ｐa1の流路抵抗λa1と第２部分Ｐa2の流路抵抗λa2とは実質的に等しく（λa1＝λa2）、かつ、第３部分Ｐb3の流路抵抗λb3と第４部分Ｐb4の流路抵抗λb4とは実質的に等しい（λb3＝λb4）。以上の構成によれば、第１個別流路Ｐaと第２個別流路Ｐbとが対称的に形成された構成において、第１部分Ｐa1の流路抵抗λa1と第３部分Ｐb3の流路抵抗λb3とが実質的に等しく、かつ、第２部分Ｐa2の流路抵抗λa2と第４部分Ｐb4の流路抵抗λb4とが実質的に等しい構成を採用し易い。結局、第２実施形態においても第１実施形態と同様に、第１個別流路Ｐaの流路抵抗λaと第２個別流路Ｐbの流路抵抗λbとは実質的に等しい。

なお、第１実施形態について前述した第１ないし第４の特徴は、第２実施形態においても同様に採用される。具体的には以下の通りである。第１ないし第４の特徴により実現される効果は、第１実施形態と同様である。

Ｂ１：第１の特徴
第２実施形態における第１局所流路Ｈ1は、第１個別流路Ｐaのうち圧力室ＣaとノズルＮaとを連通させる部分である。具体的には、図１５に例示される通り、第１局所流路Ｈ1は、第１個別流路Ｐaのうち第２流路Ｑa22と第３流路Ｑa3と第４流路Ｑa4とで構成される。図１５から理解される通り、第１局所流路Ｈ1は、Ｙ軸の方向にみて第２個別流路Ｐbに重ならない。また、第１個別流路Ｐa内の圧力室Ｃaは、Ｙ軸の方向にみて第２個別流路Ｐbに重ならない。

第２実施形態における第２局所流路Ｈ2は、第１個別流路ＰaのうちＹ軸の方向にみて第２個別流路Ｐbに重なる部分である。具体的には、第２局所流路Ｈ2は、第１個別流路Ｐaのうち第５流路Ｑa5の部分Ｑa52で構成される。第２局所流路Ｈ2に対応する部分では、個別流路Ｐが高密度に配置される。図１７に例示される通り、第１局所流路Ｈ1の最大幅Ｗ1は、第２局所流路Ｈ2の最大幅Ｗ2よりも大きい。また、第１局所流路Ｈ1の最大幅Ｗ1は、各第１個別流路ＰaのピッチΔの半分よりも大きい。

第２実施形態における第３局所流路Ｈ3は、図１６に例示される通り、第２個別流路Ｐbのうち第２流路Ｑb22と第３流路Ｑb3と第４流路Ｑb4とで構成される。第３局所流路Ｈ3は、Ｙ軸の方向にみて第１個別流路Ｐaに重ならない。また、第２個別流路Ｐb内の圧力室Ｃbは、Ｙ軸の方向にみて第１個別流路Ｐaに重ならない。

第２個別流路ＰbのうちＹ軸の方向にみて第１個別流路Ｐaに重なる第４局所流路Ｈ4は、図１６に例示される通り、第２個別流路Ｐbのうち第５流路Ｑb5の部分Ｑb52で構成される。第４局所流路Ｈ4に対応する部分では、個別流路Ｐが高密度に配置される。

Ｂ２：第２の特徴
図１５から理解される通り、第１個別流路Ｐaの第７流路Ｑa7は、Ｙ軸の方向にみて、第２個別流路Ｐbに連通するノズルＮbに重なる。具体的には、第７流路Ｑa7は、ノズルＮbの第２区間ｎ2に重なる。同様に、図１６から理解される通り、第２個別流路Ｐbの第７流路Ｑb7は、Ｙ軸の方向にみて、第１個別流路Ｐaに連通するノズルＮaに重なる。具体的には、第７流路Ｑb7は、ノズルＮaの第２区間ｎ2に重なる。第１実施形態と同様に、第１個別流路Ｐaの第７流路Ｑa7と第２個別流路Ｐbの第７流路Ｑb7とは、ノズルＮaおよびノズルＮbとともに共通のノズル板３１に設置される。なお、第７流路Ｑa7は「第５局所流路」の一例であり、第７流路Ｑb7は「第６局所流路」の一例である。

Ｂ３：第３の特徴
図１５に例示される通り、第１個別流路Ｐaは、第５流路Ｑa5と第６流路Ｑa6と第７流路Ｑa7とで構成される第１部分流路Ｇaを含む。第５流路Ｑa5および第７流路Ｑa7の各々はＸ軸に沿って延在する。第７流路Ｑa7は「第７局所流路」の一例であり、第６流路Ｑa6は「第９局所流路」の一例であり、第５流路Ｑa5は「第８局所流路」の一例である。

同様に、図１６に例示される通り、第２個別流路Ｐbは、第５流路Ｑb5と第６流路Ｑb6と第７流路Ｑb7とで構成される第２部分流路Ｇbを含む。第５流路Ｑb5および第７流路Ｑb7の各々はＸ軸に沿って延在する。なお、第７流路Ｑb7は「第１０局所流路」の一例であり、第６流路Ｑb6は「第１２局所流路」の一例であり、第５流路Ｑb5は「第１１局所流路」の一例である。

図１５および図１６から理解される通り、第１部分流路Ｇaと第２部分流路Ｇbとは、Ｙ軸の方向にみて一部が重ならない。すなわち、第１部分流路Ｇaと第２部分流路Ｇbとは、Ｙ軸の方向にみて一部が重なる。具体的には、第１部分流路Ｇaのうち第５流路Ｑa5の一部（部分Ｑa52）と、第２部分流路Ｇbのうち第５流路Ｑb5の一部（部分Ｑb52）とが、Ｙ軸の方向にみて重なり、第１部分流路Ｇaの他の部分と第２部分流路Ｇbの他の部分とはＹ軸の方向にみて重ならない。また、第１部分流路Ｇaの第６流路Ｑa6と第２部分流路Ｇbの第６流路Ｑb6とは、Ｙ軸の方向にみて重ならない。

第１個別流路Ｐaのうち上位の階層に位置する第５流路Ｑa5は、第１個別流路Ｐa内の流線軸の方向に対して、第６流路Ｑa6および第７流路Ｑa7よりも第１共通液室Ｒ1に近い。また、第２個別流路Ｐbのうち下位の階層に位置する第７流路Ｑb7は、第２個別流路Ｐb内の流線軸の方向に対して、第５流路Ｑb5および第６流路Ｑb6よりも第１共通液室Ｒ1に近い。

Ｂ４：第４の特徴
図１７から把握される通り、第１個別流路Ｐaは、Ｚ軸の方向からの平面視において第２個別流路Ｐbに部分的に重なる重複流路と、平面視で第２個別流路Ｐbに重ならない非重複流路とを含む。重複流路は「第１３局所流路」の一例であり、非重複流路は「第１４局所流路」の一例である。

重複流路は、第１個別流路Ｐaのうち、圧力室Ｃaと、第３流路Ｑa3と、第５流路Ｑa5の部分Ｑa51と、第７流路Ｑa7の部分Ｑa72から部分Ｑa73と、第９流路Ｑa9とを含む。重複流路は、Ｙ軸の方向にみて第２個別流路Ｐbには重ならない。

他方、非重複流路は、第１個別流路Ｐaのうち、第２流路Ｑa22と、第４流路Ｑa4と、第５流路Ｑa5の部分Ｑa52と、第６流路Ｑa6と、第７流路Ｑa7の部分Ｑa71と、第８流路Ｑa8とを含む。非重複流路は、平面視で第２個別流路Ｐbに重ならないから、Ｙ軸の方向にみて第２個別流路Ｐbに重なることが許容される。例えば、非重複流路のうち第５流路Ｑa5の部分Ｑa52は、Ｙ軸の方向にみて第２個別流路Ｐbに重なる。

Ｃ：変形例
以上に例示した形態は多様に変形され得る。前述の形態に適用され得る具体的な変形の態様を以下に例示する。以下の例示から任意に選択された２以上の態様は、相互に矛盾しない範囲で適宜に併合され得る。

（１）前述の各形態においては、第１局所流路Ｈ1の最大幅Ｗ1が第２局所流路Ｈ2の最大幅Ｗ2よりも大きい構成を例示した。第１局所流路Ｈ1が低密度に配置される構成においては、第１局所流路Ｈ1の最大幅Ｗ1を確保する構成に代えて、第１局所流路Ｈ1を画定する側壁の厚さを確保してもよい。図１８には、変形例（１）における第１局所流路Ｈ1および第２局所流路Ｈ2を拡大した平面図である。図１８に例示される通り、第１局所流路Ｈ1の最大幅Ｗ1は、第２局所流路Ｈ2の最大幅Ｗ2と略同等の寸法に設定される。

図１８には、第１局所流路Ｈ1を画定する第１側壁３７１と、第２局所流路Ｈ2を画定する第２側壁３７２とが図示されている。第１側壁３７１は、第１局所流路Ｈ1の内壁面のうちＹ軸の方向に位置する壁面を構成する側壁である。すなわち、第１側壁３７１は、Ｙ軸の方向に隣合う２個の第１局所流路Ｈ1の間を仕切る隔壁である。同様に、第２側壁３７２は、第２局所流路Ｈ2の内壁面のうちＹ軸の方向に位置する壁面を構成する側壁である。第２局所流路Ｈ2はＹ軸の方向にみて第２個別流路Ｐbに重なる。したがって、第２側壁３７２は、第１個別流路Ｐaの第２局所流路Ｈ2と第２個別流路Ｐbとの間を仕切る隔壁である。

図１８には、第１側壁３７１の最大幅Ｔ1と第２側壁３７２の最大幅Ｔ2とが図示されている。最大幅Ｔ1は、Ｙ軸の方向における第１側壁３７１の寸法（すなわち幅）の最大値である。最大幅Ｔ2は、Ｙ軸の方向における第２側壁３７２の寸法の最大値である。図１８から理解される通り、第１側壁３７１の最大幅Ｔ1は、第２側壁３７２の最大幅Ｔ2よりも大きい（Ｔ1＞Ｔ2）。以上のように第１側壁３７１の最大幅Ｔ1が第２側壁３７２の最大幅Ｔ2を上回る構成によれば、第１局所流路Ｈ1の相互間におけるクロストークを効果的に低減できる。

なお、図１８においては、第１局所流路Ｈ1の最大幅Ｗ1と第２局所流路Ｈ2の最大幅Ｗ2とを略同等の寸法としたが、最大幅Ｗ1が最大幅Ｗ2を上回り、かつ、第１側壁３７１の最大幅Ｔ1が第２側壁３７２の最大幅Ｔ2を上回る構成も想定される。

（２）前述の各形態においては、第１部分流路Ｇaと第２部分流路Ｇbとが部分的に重なる構成を例示したが、第１部分流路Ｇaの全部と第２部分流路Ｇbの全部とがＹ軸の方向にみて重ならない構成も採用される。以上の構成によれば、第１部分流路Ｇaおよび第２部分流路ＧbをＹ軸の方向に低密度に配置できる。

（３）前述の各形態においては、第２共通液室Ｒ2から第１共通液室Ｒ1にインクを循環させる構成を例示したが、インクの循環は本発明において必須ではない。したがって、第２共通液室Ｒ2および循環機構２６を省略してもよい。

（４）圧力室Ｃ内のインクの圧力を変化させるエネルギー発生素子は、前述の形態で例示した圧電素子４１に限定されない。例えば、加熱により圧力室Ｃの内部に気泡を発生させることでインクの圧力を変動させる発熱素子をエネルギー発生素子として利用してもよい。発熱素子をエネルギー発生素子として利用する構成においては、個別流路Ｐのうち、発熱素子による加熱で気泡が発生する範囲が圧力室Ｃaとして画定される。

（５）前述の形態では、液体噴射ヘッド２４を搭載した搬送体２３１を往復させるシリアル方式の液体噴射システム１００を例示したが、複数のノズルＮが媒体１１の全幅にわたり分布するライン方式の液体噴射システムにも本発明は適用される。

（６）前述の形態で例示した液体噴射システム１００は、印刷に専用される機器のほか、ファクシミリ装置やコピー機等の各種の機器に採用され得る。もっとも、本発明の液体噴射システムの用途は印刷に限定されない。例えば、色材の溶液を噴射する液体噴射システムは、液晶表示パネル等の表示装置のカラーフィルターを形成する製造装置として利用される。また、導電材料の溶液を噴射する液体噴射システムは、配線基板の配線や電極を形成する製造装置として利用される。また、生体に関する有機物の溶液を噴射する液体噴射システムは、例えばバイオチップを製造する製造装置として利用される。

Ｄ：付記
以上に例示した形態から、例えば以下の構成が把握される。

なお、本願において、例えば「第１」「第２」等の「第ｎ」（ｎは自然数）という表記は、各要素を表記上において区別するための形式的かつ便宜的な標識（ラベル）としてのみ使用され、如何なる実質的な意味も持たない。すなわち、「第ｎ」という表記における数値ｎの大小や順番は、各要素に関する解釈には何ら影響しない。例えば「第１」要素および「第２」要素という表記は、各要素の位置または製造に関する順番を意味しない。したがって、例えば「第１」要素が「第２」要素よりも前方に位置するという限定的な解釈や、「第１」要素が「第２」要素に先行して製造されるという限定的な解釈の余地はない。また、前述の通り「第ｎ」という表記は形式的かつ便宜的な標識に過ぎないから、複数の要素にわたる数値ｎの連続性の有無は不問である。例えば「第１要素」が登場しない状況で「第２」要素が登場したとしても何ら問題はなく、各要素の解釈には何ら影響しない。また、例えば「第ｎ」要素の数値ｎを変更した場合、または、「第１」要素と「第２要素」との間で「第１」と「第２」とを相互に交換した場合でも、各要素の解釈には何ら影響しない。

また、要素Ａと要素Ｂとが特定の方向にみて「重なる」とは、当該方向に沿ってみた場合に、要素Ａの少なくとも一部と要素Ｂの少なくとも一部とが相互に重複することを意味する。要素Ａの全部と要素Ｂの全部とが相互に重なる必要はなく、要素Ａの少なくとも一部と要素Ｂの少なくとも一部とが重なれば、「要素Ａと要素Ｂとは重なる」と解釈される。

Ｄ１：態様Ａ
本発明のひとつの態様（態様Ａ１）に係る液体噴射ヘッドは、複数の個別流路であって、それぞれが圧力室を有するとともに、第１軸の方向に液体を噴射するノズルに連通する個別流路と、前記複数の個別流路に連結される第１共通液室とを具備し、前記第１軸の方向にみたときに、前記複数の個別流路が前記第１軸に直交する第２軸の方向に沿って並設されて個別流路列を構成する液体噴射ヘッドであって、前記個別流路列において相互に隣合う二の前記個別流路を第１個別流路および第２個別流路としたとき、前記第１個別流路は、前記圧力室と前記ノズルとを連通させる第１局所流路を含み、前記第１局所流路は、前記第２軸の方向にみて、前記第２個別流路に重ならない。

以上の態様においては、第１個別流路の第１局所流路が第２軸の方向にみて第２個別流路に重ならない。したがって、第２軸の方向にみて第１局所流路が第２個別流路に重なる構成と比較して、第１局所流路を第２軸の方向に低密度に設置できる。以上のように流路が低密度に配置される構成によれば、例えば、流路幅の確保により流路抵抗またはイナータンスが低減されるという利点、または、流路間の壁厚の確保によりクロストークが低減されるという利点がある。圧力室とノズルとを連通させる第１局所流路は、ノズルによる液体の噴射特性に対する影響が大きい流路であるから、第１局所流路が低密度に配置される構成は格別に有効である。

態様Ａ１の具体例（態様Ａ２）において、前記第１個別流路内の前記圧力室は、前記第２軸の方向にみて、前記第２個別流路に重ならない。以上の態様によれば、第２軸の方向にみて第１個別流路内の圧力室が第２個別流路に重なる構成と比較して、圧力室を第２軸の方向に低密度に配置できる。

態様Ａ１または態様Ａ２の具体例（態様Ａ３）において、前記第１個別流路は、前記第２軸の方向にみて前記第２個別流路に重なる第２局所流路を含む。以上の態様においては、第２局所流路が第２軸に沿って高密度に配置される。したがって、流路を形成するための空間を効率的に利用できる。

態様Ａ３の具体例（態様Ａ４）において、前記第１局所流路の最大幅は、前記第２局所流路の最大幅よりも大きい。以上の態様によれば、第１局所流路の流路幅が充分に確保される。したがって、第１局所流路の流路抵抗を効果的に低減できる。なお、個別流路の幅は、第２軸の方向における当該流路の寸法を意味する。

態様Ａ３または態様Ａ４の具体例（態様Ａ５）において、前記第１局所流路を画定する第１側壁と、前記第２局所流路を画定する第２側壁とを含み、前記第１側壁の最大幅は、前記第２側壁の最大幅よりも大きい。以上の態様によれば、第１局所流路を画定する側壁の壁厚が充分に確保される。したがって、第１局所流路におけるクロストークを効果的に低減できる。なお、側壁の幅は、第２軸の方向における当該側壁の寸法を意味する。

態様Ａ１から態様Ａ５の何れかの具体例（態様Ａ６）において、前記個別流路列は、前記第２個別流路に隣合う前記個別流路であって、前記第１個別流路とは異なる第３個別流路を含み、前記第１局所流路の最大幅は、前記第１個別流路と前記第３個別流路とのピッチの半分よりも大きい。以上の態様によれば、第１局所流路の流路幅が充分に確保されるから、第１局所流路の流路抵抗を効果的に低減できる。

態様Ａ１から態様Ａ６の何れかの具体例（態様Ａ７）において、前記第１局所流路は、前記第１軸の方向にみて、前記第２個別流路に部分的に重なる。以上の態様によれば、第１軸の方向にみて第１局所流路が第２個別流路に重ならない構成と比較して、第１局所流路の流路幅が充分に確保される。したがって、第１局所流路の流路抵抗を効果的に低減できる。

態様Ａ１から態様Ａ７の何れかの具体例（態様Ａ８）において、前記第２個別流路は、前記圧力室と前記ノズルとを連通させる第３局所流路を含み、前記第３局所流路は、前記第２軸の方向にみて、前記第１個別流路に重ならない。以上の態様においては、第２軸の方向にみて第３局所流路が第１個別流路に重なる構成と比較して、第３局所流路を第２軸の方向に低密度に配置できる。

態様Ａ８の具体例（態様Ａ９）において、前記第２個別流路内の前記圧力室は、前記第２軸の方向にみて、前記第１個別流路に重ならない。以上の態様によれば、第２軸の方向にみて第２個別流路の圧力室が第１個別流路に重なる構成と比較して、圧力室を第２軸の方向に低密度に配置できる。

態様Ａ１から態様Ａ９の何れかの具体例（態様Ａ１０）において、前記第２個別流路は、前記第２軸の方向にみて前記第１個別流路に重なる第４局所流路を含む。以上の態様においては、第４局所流路が第２軸の方向に高密度に配置される。したがって、流路を形成するための空間を効率的に利用できる。

Ｄ２：態様Ｂ
本発明のひとつの態様（態様Ｂ１）に係る液体噴射ヘッドは、複数の個別流路であって、それぞれが圧力室を有するとともに、第１軸の方向に液体を噴射するノズルに連通する個別流路と、前記複数の個別流路に連結される第１共通液室とを具備し、前記第１軸の方向にみたときに、前記複数の個別流路が前記第１軸に直交する第２軸の方向に沿って並設されて個別流路列を構成する液体噴射ヘッドであって、前記個別流路列において相互に隣合う二の前記個別流路を第１個別流路および第２個別流路としたとき、前記第１個別流路は、前記第２軸の方向にみて、前記第２個別流路に連通する前記ノズルに重なる第５局所流路を含む。

以上の態様によれば、第１個別流路の第５局所流路と第２個別流路に連通するノズルとが第２軸の方向にみて重なる。したがって、第５局所流路を第２軸の方向に低密度に配置できる。以上のように流路が低密度に配置される構成によれば、例えば、流路幅の確保により流路抵抗またはイナータンスが低減されるという利点、または、流路間の壁厚の確保によりクロストークが低減されるという利点がある。なお、個別流路と比較してノズルは一般的に小径であるから、第２軸の方向におけるノズルの占有幅は小さい。したがって、第５局所流路の流路幅や壁厚に関する設計の自由度が過度に低下することはない。

態様Ｂ１の具体例（態様Ｂ２）において、前記ノズルは、液体が噴射される開口を含む第１区間と、前記第１区間と前記個別流路との間に位置する第２区間とを含み、前記第２区間は前記第１区間よりも大径であり、前記第５局所流路は、前記第２軸の方向にみて、前記第２個別流路に連通する前記ノズルの前記第２区間に重なり、当該ノズルの前記第１区間に重ならない。以上の態様によれば、厚さ方向における基板の一部を除去する工程により第５局所流路と第２区間とを一括的に形成することが可能である。

態様Ｂ１または態様Ｂ２の具体例（態様Ｂ３）において、前記第２軸の方向にみて、前記第１個別流路に連通する前記ノズルと、前記第２個別流路に連通する前記ノズルとは重ならない。以上の態様によれば、流路およびノズルの形成のための空間を効率的に利用できる。

態様Ｂ１から態様Ｂ３の何れかの具体例（態様Ｂ４）において、前記第５局所流路と前記第２個別流路に連通するノズルとは、共通の基板に設置される。以上の構成によれば、第５局所流路と第２個別流路に連通するノズルとが共通の基板に設置される。したがって、第５局所流路と第２個別流路に連通するノズルとが別個の基板に設置される構成と比較して液体噴射ヘッドの構成が簡素化される。

態様Ｂ４の具体例（態様Ｂ５）において、前記第２個別流路は、前記基板に設置された第６局所流路を含み、前記第６局所流路と前記第２個別流路に連通する前記ノズルとは、前記基板内において直接には連通しない。第６局所流路と第２個別流路に連通するノズルとが基板内において直接に連通する構成では、第５局所流路と第６局所流路とが基板内において高密度に隣合う。他方、第６局所流路と第２個別流路に連通するノズルとが基板内において直接には連通しない構成によれば、第５局所流路と第６局所流路とを第２軸の方向に低密度に配置できる。なお、第６局所流路と第２個別流路に連通するノズルとが「基板内において直接には連通しない」とは、第６局所流路と第２個別流路に連通するノズルとを連通させる溝または凹部が、基板の表面または内部に形成されていないことを意味する。

態様Ｂ１から態様Ｂ４の何れかの具体例（態様Ｂ６）において、前記第２個別流路は、前記第２軸の方向にみて、前記第１個別流路に連通する前記ノズルに重なる第６局所流路を含む。以上の態様によれば、第２個別流路の第６局所流路と第１個別流路に連通するノズルとが第２軸の方向にみて重なるから、流路を形成するための空間を効率的に利用できる。

Ｄ３：態様Ｃ
本発明のひとつの態様（態様Ｃ１）に係る液体噴射ヘッドは、複数の個別流路であって、それぞれが圧力室を有するとともに、第１軸の方向に液体を噴射するノズルに連通する個別流路と、前記複数の個別流路に連結される第１共通液室とを具備し、前記第１軸の方向にみたときに、前記複数の個別流路が前記第１軸に直交する第２軸の方向に沿って並設されて個別流路列を構成する液体噴射ヘッドであって、前記個別流路列において相互に隣合う二の前記個別流路を第１個別流路および第２個別流路としたとき、前記第１個別流路は、第１部分流路を含み、前記第２個別流路は、第２部分流路を含み、前記第１部分流路は、前記１軸に直交する方向に延在する第７局所流路および第８局所流路と、前記第７局所流路と前記第８局所流路とを連通させる第９局所流路とを含み、前記第７局所流路は、前記第８局所流路よりも前記ノズルの噴射面に近い階層にあり、前記第２部分流路は、前記１軸に直交する方向に延在する第１０局所流路および第１１局所流路と、前記第１０局所流路と前記第１１局所流路とを連通させる第１２局所流路とを含み、前記第１０局所流路は、前記第１１局所流路よりも前記ノズルの噴射面に近い階層にあり、前記第１部分流路と前記第２部分流路とは、前記第２軸の方向にみて少なくとも一部が重ならない。

以上の態様においては、第１部分流路および第２部分流路において第２軸の方向にみて相互に重ならない部分を、第２軸の方向に低密度に配置できる。以上のように流路が低密度に配置される構成によれば、例えば、流路幅の確保により流路抵抗またはイナータンスが低減されるという利点、または、流路間の壁厚の確保によりクロストークが低減されるという利点がある。なお、第１部分流路と第２部分流路とが「第２軸の方向にみて少なくとも一部が重ならない」とは、第１部分流路と第２部分流路の一部が重なって別の一部が重ならない構成と、第１部分流路と第２部分流路とが全く重ならない構成とを含む。

態様Ｃ１の具体例（態様Ｃ２）において、前記第８局所流路は、前記第１個別流路内の流線軸の方向に対して、前記第７局所流路よりも前記第１共通液室に近く、前記第１０局所流路は、前記第２個別流路内の流線軸の方向に対して、前記第１１局所流路よりも前記第１共通液室に近い。以上の態様においては、第１個別流路における第８局所流路が、当該第８局所流路よりも噴射面に近い階層にある第７局所流路よりも第１共通液室に近く、第２個別流路における第１０局所流路が、当該第１０局所流路よりも噴射面から遠い階層にある第１１局所流路よりも第１共通液室に近い。以上の構成によれば、流路を形成するための空間を効率的に利用できる。

態様Ｃ１または態様Ｃ２の具体例（態様Ｃ３）において、前記第７局所流路と前記第１０局所流路と前記ノズルとは、共通の基板に設置される。以上の構成によれば、第７局所流路と第１０局所流路とノズルとが共通の基板に設置される。したがって、第７局所流路および第１０局所流路がノズルとは別個の基板に設置される構成と比較して、液体噴射ヘッドの構成を簡素化できる。

態様Ｃ３の具体例（態様Ｃ４）において、前記第７局所流路と前記第１０局所流路とは、前記第２軸の方向にみて重ならない。ノズルが形成される基板について充分な厚さを確保することは困難である。以上のように基板が充分に薄い構成のもとで第７局所流路と第１０局所流路とが第２軸の方向にみて重なる場合、第７局所流路と第１０局所流路とについて充分な流路断面積を確保することは困難である。第７局所流路と第１０局所流路とが第２軸の方向にみて重ならない前述の構成によれば、第７局所流路と第１０局所流路とを第２軸の方向に低密度に配置できる。したがって、例えば基板が充分に薄い構成でも、第７局所流路および第１０局所流路の流路断面積を確保し易いという利点がある。

態様Ｃ４の具体例（態様Ｃ５）において、前記第７局所流路と前記第１１局所流路とは、前記第２軸の方向にみて重ならない。

態様Ｃ５の具体例（態様Ｃ６）において、前記第８局所流路と前記第１０局所流路とは、前記第２軸の方向にみて重ならない。

態様Ｃ１から態様Ｃ６の何れかの具体例（態様Ｃ７）において、前記第７局所流路は、前記第２軸の方向にみて、前記第２個別流路に連通する前記ノズルに重なる。以上の態様においては、第１個別流路の第７局所流路と第２個別流路に連通するノズルとが第２軸の方向にみて重なる。したがって、第７局所流路を第２軸の方向に低密度に配置できる。

態様Ｃ１から態様Ｃ７の何れかの具体例（態様Ｃ８）において、前記第１０局所流路は、前記第２軸の方向にみて、前記第１個別流路に連通する前記ノズルに重なる。以上の態様においては、第２個別流路の第１０局所流路と第１個別流路に連通するノズルとが第２軸の方向にみて重なる。したがって、第１０局所流路を第２軸の方向に低密度に配置できる。

態様Ｃ１から態様Ｃ８の何れかの具体例（態様Ｃ９）において、前記第９局所流路と前記第１２局所流路とは、前記第２軸の方向にみて重ならない。第９局所流路と第１２局所流路とが第２軸の方向にみて重なる構成においては、第７局所流路と第１０局所流路との部分的な重なりと、第８局所流路と第１１局所流路との部分的な重なりが発生する。したがって、個別流路のうち第２軸の方向に高密度に配置される区間の比率が増加する。第９局所流路と第１２局所流路とが第２軸の方向にみて重ならない構成によれば、個別流路のうち高密度に配置される区間の比率を低減できる。

態様Ｃ１から態様Ｃ８の何れかの具体例（態様Ｃ１０）において、前記第９局所流路と前記第１２局所流路とは、前記第２軸の方向にみて重なる。第９局所流路と第１２局所流路とが第２軸の方向にみて重ならない構成では、第９局所流路および第１２局所流路が形成される範囲が制約されるから、第９局所流路および第１２局所流路の各々の流路幅が制限される。第９局所流路と第１２局所流路とが第２軸の方向にみて重なる構成によれば、第９局所流路および第１２局所流路に関する制約が緩和されるから、第９局所流路および第１２局所流路の流路幅を適切に確保することが可能である。

態様Ｃ１から態様Ｃ１０の何れかの具体例（態様Ｃ１１）において、前記第１部分流路と前記第２部分流路とは、前記第２軸の方向にみて少なくとも一部が重なる。

Ｄ４：態様Ｄ
本発明のひとつの態様（態様Ｄ１）に係る液体噴射ヘッドは、複数の個別流路であって、それぞれが圧力室を有するとともに、第１軸の方向に液体を噴射するノズルに連通する個別流路と、前記複数の個別流路に連結される第１共通液室とを具備し、前記第１軸の方向にみたときに、前記複数の個別流路が前記第１軸に直交する第２軸の方向に沿って並設されて個別流路列を構成する液体噴射ヘッドであって、前記個別流路列において相互に隣合う二の前記個別流路を第１個別流路および第２個別流路としたとき、前記第１個別流路は、前記第１軸の方向にみて前記第２個別流路に部分的に重なる第１３局所流路を含む。

以上の態様においては、第１個別流路が、第１軸の方向にみて第２個別流路に部分的に重なる第１３局所流路を含む。すなわち、流路間の干渉限界を超えて第１個別流路または第２個別流路の流路幅が拡幅されている。したがって、個別流路列の流路抵抗またはイナータンスが低減されるという利点がある。

態様Ｄ１の具体例（態様Ｄ２）において、前記第１３局所流路は、前記第２軸の方向にみて前記第２個別流路に重ならない。

態様Ｄ１または態様Ｄ２の具体例（態様Ｄ３）において、前記第１３局所流路は、前記第１個別流路内の前記圧力室の少なくとも一部を含む。また、圧力室が、第１軸の方向にみて第２個別流路に重なるほど大きく拡幅されているから、圧力室が第２個別流路に重ならない構成と比較して、圧力室の排除体積が増大される。したがって、優れたインクの噴射特性が実現される。

態様Ｄ１から態様Ｄ３の何れかの具体例（態様Ｄ４）において、前記第１個別流路は、前記第２軸の方向にみて前記第２個別流路に重なる第１４局所流路を含む。以上の態様においては、第１４局所流路が第２軸に沿って高密度に配置される。したがって、流路を形成するための空間を効率的に利用できる。

態様Ｄ４の具体例（態様Ｄ５）において、前記第１３局所流路の最大幅は、前記第１４局所流路の最大幅よりも大きい。以上の態様によれば、第１３局所流路の流路幅が充分に確保される。したがって、第１３局所流路の流路抵抗を効果的に低減できる。

態様Ｄ１から態様Ｄ５の何れかの具体例（態様Ｄ６）において、前記個別流路列は、前記第２個別流路に隣合う前記個別流路であって、前記第１個別流路とは異なる第３個別流路を含み、前記第１３局所流路の最大幅は、前記第１個別流路と前記第３個別流路とのピッチの半分よりも大きい。

態様Ｄ１から態様Ｄ６の何れかの具体例（態様Ｄ７）において、前記第２個別流路は、前記第１軸の方向にみて前記第１個別流路に部分的に重なる第１５局所流路を含む。以上の態様においては、第２個別流路が、第１軸の方向にみて第１個別流路に部分的に重なる第１５局所流路を含む。したがって、第２個別流路が第１軸の方向にみて第１個別流路に重ならない構成と比較して、第２個別流路を第２軸の方向に低密度に設置できる。

態様Ｄ７の具体例（態様Ｄ８）において、前記第１５局所流路は、前記第２個別流路内の前記圧力室の少なくとも一部を含む。以上の態様においては、圧力室が、第１軸の方向にみて第２個別流路に重なるほど大きく拡幅されているから、圧力室が第２個別流路に重ならない構成と比較して、圧力室の排除体積が増大される。したがって、優れたインクの噴射特性が実現される。

Ｄ５：他の態様
以上に例示した何れかの態様の具体例（態様Ｅ１）に係る液体噴射ヘッドは、液体を貯留する第２共通液室を具備し、前記複数の個別流路は、前記第１共通液室に連結される端部とは反対側の端部が前記第２共通液室に連結され、前記第１個別流路は、前記第１共通液室と当該第１個別流路に連通する前記ノズルとの間の第１部分と、当該ノズルと前記第２共通液室との間の第２部分とを含み、前記第２個別流路は、前記第１共通液室と当該第２個別流路に連通する前記ノズルとの間の第３部分と、当該ノズルと前記第２共通液室との間の第４部分とを含む。以上の態様においては、第１共通液室および第２共通液室の一方から複数の個別流路に供給された液体のうちノズルから噴射されない液体が第１共通液室および第２共通液室の他方に供給される。したがって、液体を循環させることが可能である。

態様Ｅ１の具体例（態様Ｅ２）において、前記第１部分は、前記第１個別流路内の前記圧力室を含み、前記第４部分は、前記第２個別流路内の前記圧力室を含む。以上の態様では、第１個別流路においては第１共通液室に近い位置に圧力室が設置され、第２個別流路においては第２共通液室に近い位置に圧力室が設置される。したがって、圧力室を第２軸の方向に低密度に配置できる。

態様Ｅ２の具体例（態様Ｅ３）において、前記第１部分のイナータンスは、前記第２部分のイナータンスよりも小さく、前記第４部分のイナータンスは、前記第３部分のイナータンスよりも小さい。以上の構成によれば、液体の噴射効率を向上させることが可能である。

態様Ｅ３の具体例（態様Ｅ４）において、前記第１部分の流路長は前記第２部分の流路長よりも短く、前記第４部分の流路長は前記第３部分の流路長よりも短い。

態様Ｅ１から態様Ｅ４の何れかの具体例（態様Ｅ５）において、前記第１部分の流路抵抗と前記第２部分の流路抵抗とは実質的に等しい。以上の構成によれば、第１部分からノズルにインクが供給される場合と第２部分からノズルにインクが供給される場合とについて噴射特性の誤差を低減できる。

態様Ｅ１から態様Ｅ５の何れかの具体例（態様Ｅ６）において、前記第１部分の流路抵抗と前記第３部分の流路抵抗とは実質的に等しい。以上の構成によれば、第１個別流路に連通するノズルと第２個別流路に連通するノズルとについて噴射特性の誤差を低減できる。

態様Ｅ５または態様Ｅ６の具体例（態様Ｅ７）において、前記第１部分は、前記第２部分における最小の流路断面積を下回る流路断面積の連通流路を含む。

態様Ｅ７の具体例（態様Ｅ８）において、前記連通流路は、前記第１個別流路における前記圧力室と前記第１共通液室との間に位置する。

本発明のひとつの態様（態様Ｅ９）に係る液体噴射システムは、以上に例示した何れかの態様に係る液体噴射ヘッドと、前記複数の個別流路から前記第２共通液室に排出される液体を前記第１共通液室に環流させる循環機構とを具備する。

１００…液体噴射システム、１１…媒体、１２…液体容器、２１…制御ユニット、２２…搬送機構、２３…移動機構、２３１…搬送体、２３２…搬送ベルト、２４…液体噴射ヘッド、２５…個別流路列、２６…循環機構、２６１…第１供給ポンプ、２６２…第２供給ポンプ、２６３…貯留容器、２６４…循環流路、２６５…供給流路、３０…流路構造体、３１…ノズル板、３２…第１流路基板、３３…第２流路基板、３４…圧力室基板、３５…振動板、３６１，３６２…吸振体、４１…圧電素子、４２…筐体部、４３…保護基板、４４…配線基板、４５…駆動回路、Ｒ1…第１共通液室、Ｒ2…第２共通液室。

Claims (15)

1. 複数の個別流路であって、それぞれが圧力室を有するとともに、第１軸の方向に液体を噴射するノズルに連通する個別流路と、
   前記複数の個別流路に連結される第１共通液室とを具備し、
   前記第１軸の方向にみたときに、前記複数の個別流路が前記第１軸に直交する第２軸の方向に沿って並設されて個別流路列を構成する液体噴射ヘッドであって、
   前記個別流路列において相互に隣合う二の前記個別流路を第１個別流路および第２個別流路としたとき、
   前記第１個別流路は、前記第２軸の方向にみて、前記第２個別流路に連通する前記ノズルに重なる第５局所流路を含む
   液体噴射ヘッド。
2. 前記ノズルは、液体が噴射される開口を含む第１区間と、前記第１区間と前記個別流路との間に位置する第２区間とを含み、前記第２区間は前記第１区間よりも大径であり、
   前記第５局所流路は、前記第２軸の方向にみて、前記第２個別流路に連通する前記ノズルの前記第２区間に重なり、当該ノズルの前記第１区間に重ならない
   請求項１の液体噴射ヘッド。
3. 前記第２軸の方向にみて、前記第１個別流路に連通する前記ノズルと、前記第２個別流路に連通する前記ノズルとは重ならない
   請求項１または請求項２の液体噴射ヘッド。
4. 前記第５局所流路と前記第２個別流路に連通するノズルとは、共通の基板に設置される
   請求項１から請求項３の何れかの液体噴射ヘッド。
5. 前記第２個別流路は、前記基板に設置された第６局所流路を含み、
   前記第６局所流路と前記第２個別流路に連通する前記ノズルとは、前記基板内において直接には連通しない
   請求項４の液体噴射ヘッド。
6. 前記第２個別流路は、前記第２軸の方向にみて、前記第１個別流路に連通する前記ノズルに重なる第６局所流路を含む
   請求項１から請求項４の何れかの液体噴射ヘッド。
7. 液体を貯留する第２共通液室を具備し、
   前記複数の個別流路は、前記第１共通液室に連結される端部とは反対側の端部が前記第２共通液室に連結され、
   前記第１個別流路は、
   前記第１共通液室と当該第１個別流路に連通する前記ノズルとの間の第１部分と、
   当該ノズルと前記第２共通液室との間の第２部分とを含み、
   前記第２個別流路は、
   前記第１共通液室と当該第２個別流路に連通する前記ノズルとの間の第３部分と、
   当該ノズルと前記第２共通液室との間の第４部分とを含む
   請求項１から請求項６の何れかの液体噴射ヘッド。
8. 前記第１部分は、前記第１個別流路内の前記圧力室を含み、
   前記第４部分は、前記第２個別流路内の前記圧力室を含む
   請求項７の液体噴射ヘッド。
9. 前記第１部分のイナータンスは、前記第２部分のイナータンスよりも小さく、
   前記第４部分のイナータンスは、前記第３部分のイナータンスよりも小さい
   請求項７または請求項８の液体噴射ヘッド。
10. 前記第１部分の流路長は前記第２部分の流路長よりも短く、
    前記第４部分の流路長は前記第３部分の流路長よりも短い
    請求項９の液体噴射ヘッド。
11. 前記第１部分の流路抵抗と前記第２部分の流路抵抗とは実質的に等しい
    請求項７から請求項１０の何れかの液体噴射ヘッド。
12. 前記第１部分の流路抵抗と前記第３部分の流路抵抗とは実質的に等しい
    請求項７から請求項１１の何れかの液体噴射ヘッド。
13. 前記第１部分は、前記第２部分における最小の流路断面積を下回る流路断面積の連通流路を含む
    請求項１１または請求項１２の液体噴射ヘッド。
14. 前記連通流路は、前記第１個別流路における前記圧力室と前記第１共通液室との間に位置する
    請求項１３の液体噴射ヘッド。
15. 請求項７から請求項１４の何れかの液体噴射ヘッドと、
    前記複数の個別流路から前記第２共通液室に排出される液体を前記第１共通液室に環流させる循環機構と
    を具備する液体噴射システム。

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