JP7434997B2 - 液体吐出ヘッドおよび液体吐出装置 - Google Patents

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Description

本発明は、液体吐出ヘッドおよび液体吐出装置に関する。
インクなどの液体を複数のノズルから吐出する液体吐出ヘッドが従来から提案されている。例えば特許文献１には、圧力室内の液体の圧力を圧電素子によって変化させることにより、ノズルから液体を吐出する液体吐出ヘッドが開示されている。この液体吐出ヘッドは、ノズルが設けられたノズル流路を複数有し、それらの複数のノズル流路が所定方向に沿って配列されている。また、ノズル流路に連通する連通流路を複数有し、それらの複数の連通流路もまた所定方向に沿って配列されている。
特開２０１３－１８４３７２号公報
一般に液体吐出ヘッドでは、ノズル流路と連通流路ともに所定方向の幅を大きくすることが好ましい。当該幅を大きくすることにより、ノズル流路、連通流路の流路断面積が大きくなるため、流路抵抗を小さくすることができるためである。しかし、特に高画質化のためにノズル流路や連通流路を所定方向に高密度で配置する場合、当該幅を大きくすると、隣接するノズル流路間、または隣接する連通流路間で、隔壁の厚さが十分でなくなってしまう。その場合、一方のノズル流路や連通流路における振動が、他方のノズル流路や連通流路に伝搬し、他方のノズル流路や連通流路に対応するノズルからの吐出特性を低下せしめる、いわゆる構造クロストークが大きく発生する虞がある。この大きな構造クロストークがノズル流路、連通流路の両方で生じると、ノズルからの吐出に与える影響が大きくなる虞がある。
以上の課題を解決するために、本発明の好適な態様に係る液体吐出ヘッドは、第１方向に延在し、液体に圧力を付与する第１圧力室と、前記第１方向に延在し、液体に圧力を付与する第２圧力室と、前記第１方向に延在し、液体を吐出する第１ノズルが設けられる第１ノズル流路と、前記第１方向と交差する第２方向に延在し、前記第１圧力室と前記第１ノズル流路とに連通する第１連通流路と、前記第２方向に延在し、前記第２圧力室と前記第１ノズル流路とに連通する第２連通流路と、を具備し、前記第１ノズル流路の前記第１方向における幅は、前記第１連通流路の前記第２方向における幅よりも大きく、前記第１方向および前記第２方向に交差する第３方向における前記第１ノズル流路の幅は、前記第３方向における前記第１連通流路の幅よりも小さい。
以上の課題を解決するために、本発明の他の好適な態様に係る液体吐出ヘッドは、第１方向に延在し、液体に圧力を付与する第１圧力室と、前記第１方向に延在し、液体に圧力を付与する第２圧力室と、前記第１方向に延在し、液体を吐出する第１ノズルが設けられる第１ノズル流路と、前記第１方向と交差する第２方向に延在し、前記第１圧力室と前記第１ノズル流路とに連通する第１連通流路と、前記第２方向に延在し、前記第２圧力室と前記第１ノズル流路とに連通する第２連通流路と、を具備し、前記第１ノズル流路の前記第１方向における幅は、前記第１連通流路の前記第２方向における幅よりも大きく、前記第１方向から見たときの前記第１ノズル流路の断面積は、前記第２方向から見たときの前記第１連通流路の断面積よりも小さい。
以上の課題を解決するために、本発明の他の好適な態様に係る液体吐出ヘッドは、第１方向に延在し、液体に圧力を付与する第１圧力室と、前記第１方向に延在し、液体に圧力を付与する第２圧力室と、前記第１方向に延在し、液体を吐出する第１ノズルが設けられる第１ノズル流路と、前記第１方向と交差する第２方向に延在し、前記第１圧力室と前記第１ノズル流路とに連通する第１連通流路と、前記第２方向に延在し、前記第２圧力室と前記第１ノズル流路とに連通する第２連通流路と、を具備し、前記第１ノズル流路の前記第１方向における幅は、前記第１連通流路の前記第２方向における幅よりも小さく、前記第１方向および前記第２方向に交差する第３方向における前記第１ノズル流路の幅は、前記第３方向における前記第１連通流路の幅よりも大きい。
以上の課題を解決するために、本発明の他の好適な態様に係る液体吐出ヘッドは、第１方向に延在し、液体に圧力を付与する第１圧力室と、前記第１方向に延在し、液体に圧力を付与する第２圧力室と、前記第１方向に延在し、液体を吐出する第１ノズルが設けられる第１ノズル流路と、前記第１方向と交差する第２方向に延在し、前記第１圧力室と前記第１ノズル流路とに連通する第１連通流路と、前記第２方向に延在し、前記第２圧力室と前記第１ノズル流路とに連通する第２連通流路と、を具備し、前記第１ノズル流路の前記第１方向における幅は、前記第１連通流路の前記第２方向における幅よりも小さく、前記第１方向から見たときの前記第１ノズル流路の断面積は、前記第２方向から見たときの前記第１連通流路の断面積よりも大きい。
第１実施形態に係る液体吐出装置の部分的な構成例を示す模式図である。 液体吐出ヘッド内の流路構造を示す模式図である。 図２のａ－ａ線の断面図である。 図２のｂ－ｂ線の断面図である。 図３および図４のｃ－ｃ線の部分断面図である。 図３および図４のｄ－ｄ線の部分断面図である。 第２実施形態に係る図２のａ－ａ線の断面図である。 第２実施形態に係る図２のｂ－ｂ線の断面図である。 図７および図８のｃ－ｃ線の部分断面図である。 図７および図８のｄ－ｄ線の部分断面図である。 第３実施形態に係る液体吐出装置の部分的な構成例を示す模式図である。 図１１のａ－ａ線の断面図である。 図１１のｂ－ｂ線の断面図である。 変形例に係る図２のａ－ａ線の断面図である。 変形例に係る図２のａ－ａ線の断面図である。 変形例に係る図２のａ－ａ線の断面図である。 変形例に係る図２のａ－ａ線の断面図である。 図１７のｅ－ｅ線の断面図である。 変形例に係る液体吐出装置の部分的な構成例を示す模式図である。 図１９のａ－ａ線の断面図である。 図１９のｂ－ｂ線の断面図である。
Ａ：第１実施形態
以下の説明では、相互に交差するＸ軸、Ｙ軸およびＺ軸を想定する。Ｘ軸、Ｙ軸およびＺ軸は、以降の説明で例示される全図において共通である。図１に例示される通り、任意の地点からみてＸ軸に沿う一方向をＸ１方向と表記し、Ｘ１方向と反対の方向をＸ２方向と表記する。Ｘ１方向は、「第１方向」に相当する。同様に、任意の地点からＹ軸に沿って相互に反対の方向をＹ１方向およびＹ２方向と表記する。Ｙ２方向は、「第３方向」に相当する。また、任意の地点からＺ軸に沿って相互に反対の方向をＺ１方向およびＺ２方向と表記する。Ｚ１方向は、「第２方向」に相当する。さらに、Ｘ軸とＹ軸とを含むＸ－Ｙ平面は水平面に相当する。Ｚ軸は鉛直方向に沿う軸線であり、Ｚ２方向は鉛直方向の下方向に相当する。
図１は、本実施形態に係る液体吐出装置１００の部分的な構成例を示す模式図である。液体吐出装置１００は、インクなどの液体の液滴を媒体１１に対して吐出するインクジェット方式の印刷装置である。媒体１１は、例えば、印刷用紙である。媒体１１は、例えば、樹脂フィルムまたは布帛等の任意の材質の印刷対象であってもよい。
液体吐出装置１００には、液体容器１２が設けられる。液体容器１２は、インクを貯留する。液体容器１２は、例えば、液体吐出装置１００に着脱可能なカートリッジ、可撓性のフィルムで形成された袋状のインクパック、または、インクを補充可能なインクタンクであってもよい。なお、液体容器１２に貯留されるインクの種類は任意である。
液体吐出装置１００は、図１に示すように、制御ユニット２１と、搬送機構２２と、移動機構２３と、液体吐出ヘッド２４とを有する。制御ユニット２１は、例えば、ＣＰＵ（Central Processing Unit）またはＦＰＧＡ（Field Programmable Gate Array）等の処理回路と半導体メモリー等の記憶回路とを含み、液体吐出ヘッド２４の吐出動作等、液体吐出装置１００の各要素を制御する。制御ユニット２１は、「制御部」の一例である。
搬送機構２２は、制御ユニット２１の制御に基づき、媒体１１をＹ軸に沿って搬送する。移動機構２３は、制御ユニット２１の制御に基づき、液体吐出ヘッド２４をＸ軸に沿って往復させる。移動機構２３は、液体吐出ヘッド２４を収容する略箱型の搬送体２３１と、搬送体２３１が固定された無端の搬送ベルト２３２とを有する。なお、本実施形態では、複数の液体吐出ヘッド２４を搬送体２３１に搭載した構成や、液体容器１２を液体吐出ヘッド２４と共に搬送体２３１に搭載した構成も採用され得る。
液体吐出ヘッド２４は、制御ユニット２１の制御に基づき、液体容器１２から供給されるインクを複数のノズルの各々から媒体１１に吐出する。搬送機構２２による媒体１１の搬送と搬送体２３１の反復的な往復とに並行して液体吐出ヘッド２４が媒体１１にインクを吐出することで、媒体１１の表面に画像が形成される。
図２は、液体吐出ヘッド２４をＺ軸から見たときの液体吐出ヘッド２４内の流路構造を示す模式図である。液体吐出ヘッド２４の媒体１１に対向する表面には、図２に示すように、複数のノズルＮａと複数のノズルＮｂが形成される。複数のノズルＮａおよび複数のノズルＮｂは、Ｙ軸に沿って配列する。複数のノズルＮａおよび複数のノズルＮｂの各々は、Ｚ軸方向にインクを吐出する。従って、Ｚ軸方向は、複数のノズルＮａおよび複数のノズルＮｂの各々からインクが吐出される方向に相当する。ノズルＮａは「第１ノズル」の一例であり、ノズルＮｂは「第２ノズル」の一例である。
図２に示すように、複数のノズルＮａおよび複数のノズルＮｂの各々は、同一直線上に位置し、ノズル列Ｌを構成する。ノズル列Ｌは、Ｙ軸に沿って直線上に配列する複数のノズルＮａおよび複数のノズルＮｂの各々の集合である。また、図２に示すように、ノズルＮａとノズルＮｂとを含むノズルＮはピッチθで配列する。ピッチθは、Ｙ軸方向におけるノズルＮａの中心とノズルＮｂの中心との間の距離である。
以降の説明においては、ノズルＮａに関連する要素の符号に添字ａを付加し、ノズルＮｂに関連する要素の符号に添字ｂを付加する。なお、ノズルＮａとノズルＮｂとを特に区別する必要がない場合には、単に「ノズルＮ」と表記する。
液体吐出ヘッド２４には、図２に示すように、個別流路列２５が設けられる。個別流路列２５は、複数の個別流路Ｐａおよび複数の個別流路Ｐｂの集合である。複数の個別流路Ｐａの各々はＸ１方向に延在し、相異なるノズルＮａに対応する。複数の個別流路Ｐａの各々は、ノズルＮａに連通する。同様に、複数の個別流路Ｐｂの各々はＸ１方向に延在し、相異なるノズルＮｂに対応する。複数の個別流路Ｐｂの各々は、ノズルＮｂに連通する。なお、以降の説明においては、個別流路Ｐａと個別流路Ｐｂとを特に区別する必要がない場合には、単に「個別流路Ｐ」と表記する。
本実施形態では、Ｙ軸方向に互いに隣接する個別流路Ｐａと個別流路Ｐｂは、互いに同じ構成である。個別流路Ｐａおよび個別流路Ｐｂの詳細な構成については後述する。なお、本願において、要素Ａと要素Ｂとが「隣接する」とは、要素Ａと要素Ｂとを特定の方向に沿ってみた場合に、要素Ａの少なくとも一部と要素Ｂの少なくとも一部が互いに向い合うことを意味する。要素Ａの全部と要素Ｂの全部が相互に向い合う必要はなく、要素Ａの少なくとも一部と要素Ｂの少なくとも一部が向い合えば、「要素Ａと要素Ｂとが隣接する」と解釈される。
図２に示すように、個別流路Ｐａは圧力室Ｃａ１と圧力室Ｃａ２とを有する。個別流路Ｐａ内の圧力室Ｃａ１および圧力室Ｃａ２はＸ１方向に延在する。圧力室Ｃａ１および圧力室Ｃａ２には、個別流路Ｐａに連通するノズルＮａから吐出されるインクが貯留される。圧力室Ｃａ１および圧力室Ｃａ２内の圧力が変化するとノズルＮａからインクが吐出される。圧力室Ｃａ１は「第１圧力室」の一例であり、圧力室Ｃａ２は「第２圧力室」の一例である。
同様に、個別流路Ｐｂは圧力室Ｃｂ１と圧力室Ｃｂ２とを有する。個別流路Ｐｂの圧力室Ｃｂ１および圧力室Ｃｂ２はＸ１方向に延在する。圧力室Ｃｂ１および圧力室Ｃｂ２には、個別流路Ｐｂに連通するノズルＮｂから吐出されるインクが貯留される。圧力室Ｃｂ１および圧力室Ｃｂ２内の圧力が変化するとノズルＮｂからインクが吐出される。圧力室Ｃｂ１は「第３圧力室」の一例であり、圧力室Ｃｂ２は「第４圧力室」の一例である。
なお、以降の説明では、圧力室Ｃａ１、圧力室Ｃａ２、圧力室Ｃｂ１および圧力室Ｃｂ２を特に区別する必要がない場合には、単に「圧力室Ｃ」と表記する。
液体吐出ヘッド２４には、図２に示すように、第１共通液室Ｒ１と第２共通液室Ｒ２とが設けられる。第１共通液室Ｒ１と第２共通液室Ｒ２の各々は、複数のノズルＮが分布する全範囲に亘ってＹ軸方向に延在する。Ｚ軸方向に見た平面視において、第１共通液室Ｒ１と第２共通液室Ｒ２との間に個別流路列２５と複数のノズルＮが位置する。以降の説明では、Ｚ軸方向に見た平面視を単に「平面視」と述べる。
複数の個別流路Ｐは、第１共通液室Ｒ１に共通に連通する。具体的には、各個別流路ＰのＸ２方向に位置する端部Ｅ１が第１共通液室Ｒ１に接続される。同様に、複数の個別流路Ｐは、第２共通液室Ｒ２に共通に連通する。具体的には、各個別流路ＰのＸ１方向に位置する端部Ｅ２が第２共通液室Ｒ２に接続される。液体吐出ヘッド２４においては、各個別流路Ｐが第１共通液室Ｒ１と第２共通液室Ｒ２とを相互に連通させる。これにより、第１共通液室Ｒ１から各個別流路Ｐに供給されるインクがノズルＮから吐出される。吐出されなかったインクは第２共通液室Ｒ２に排出される。
液体吐出ヘッド２４は、図２に示すように、循環機構２６を有する。循環機構２６は、各個別流路Ｐから第２共通液室Ｒ２に排出されるインクを第１共通液室Ｒ１に還流させる機構である。循環機構２６は、第１供給ポンプ２６１と、第２供給ポンプ２６２と、貯留容器２６３と、循環流路２６４と、供給流路２６５とを有する。
第１供給ポンプ２６１は、液体容器１２に貯留されたインクを貯留容器２６３に供給するポンプである。貯留容器２６３は、液体容器１２から供給されるインクを一時的に貯留するサブタンクである。
循環流路２６４は、第２共通液室Ｒ２と貯留容器２６３とを連通させる流路であり、第２共通液室Ｒ２を介して後述する排出流路Ｒａ２と排出流路Ｒｂ２とから共通にインクを排出する。循環流路２６４および第２共通液室Ｒ２は、「共通排出流路」の一例である。
貯留容器２６３には、液体容器１２に貯留されたインクが第１供給ポンプ２６１から供給されるほか、各個別流路Ｐから第２共通液室Ｒ２に排出されたインクが循環流路２６４を介して供給される。
第２供給ポンプ２６２は、貯留容器２６３に貯留されたインクを送出するポンプである。第２供給ポンプ２６２から送出されたインクは、供給流路２６５を介して第１共通液室Ｒ１に供給される。供給流路２６５は、後述する供給流路Ｒａ１と供給流路Ｒｂ１とに共通に液体を供給する。供給流路２６５および第１共通液室Ｒ１は、「共通供給流路」の一例である。
個別流路列２５の複数の個別流路Ｐは、複数の個別流路Ｐａと複数の個別流路Ｐｂとを有する。複数の個別流路Ｐａの各々は、ノズル列Ｌの１個のノズルＮａに連通する個別流路Ｐである。同様に、複数の個別流路Ｐｂの各々は、ノズル列Ｌの１個のノズルＮｂに連通する個別流路Ｐである。個別流路Ｐａと個別流路Ｐｂとは、Ｙ軸方向に沿って交互に配列する。これにより、個別流路Ｐａと個別流路ＰｂとはＹ軸方向に相互に隣接する構成となる。
個別流路Ｐａは、図２に示すように、ノズル流路Ｎｆａを有する。ノズル流路ＮｆａはＸ１方向に延在し、同図に示すように、Ｚ２方向に見て圧力室Ｃａ１と圧力室Ｃａ２との間に位置する。ノズル流路Ｎｆａは、圧力室Ｃａ１と圧力室Ｃａ２とに連通し、圧力室Ｃａ１から供給されたインクを吐出するノズルＮａが設けられる。ノズル流路Ｎｆａは、「第１ノズル流路」の一例である。
個別流路Ｐｂは、図２に示すように、ノズル流路Ｎｆｂを有する。ノズル流路ＮｆｂはＸ１方向に延在し、同図に示すように、Ｚ２方向に見て圧力室Ｃｂ１と圧力室Ｃｂ２との間に位置する。ノズル流路Ｎｆｂは、圧力室Ｃｂ１と圧力室Ｃｂ２とに連通し、圧力室Ｃｂ１から供給されたインクを吐出するノズルＮｂが設けられる。ノズル流路Ｎｆｂは、「第２ノズル流路」の一例である。
ノズル流路Ｎｆａとノズル流路Ｎｆｂは、Ｙ軸方向に沿って交互に配列する。ノズル流路Ｎｆａとノズル流路Ｎｆｂは、Ｙ軸方向に所定の間隔をあけて隣接する。
本実施形態の液体吐出ヘッド２４においては、図２に示すように、ノズル列Ｌの相異なるノズルＮａに対応する複数の圧力室Ｃａ１と、ノズル列Ｌの相異なるノズルＮｂに対応する複数の圧力室Ｃｂ１は、Ｙ軸方向に沿って直列状に配列する。同様に、ノズル列Ｌの相異なるノズルＮａに対応する複数の圧力室Ｃａ２と、ノズル列Ｌの相異なるノズルＮｂに対応する複数の圧力室Ｃｂ２は、Ｙ軸方向に沿って直列状に配列する。複数の圧力室Ｃａ１と複数の圧力室Ｃｂ１とから構成される配列と、複数の圧力室Ｃａ２と複数の圧力室Ｃｂ２とから構成される配列は、Ｘ軸方向に所定の間隔をあけて並設される。ここでは、Ｙ軸方向における各圧力室Ｃａ１の位置と、Ｙ軸方向における各圧力室Ｃａ２との位置が同一であるが、異なっていてもよい。同様に、ここでは、Ｙ軸方向における各圧力室Ｃｂ１の位置と、Ｙ軸方向における各圧力室Ｃｂ２との位置も同一であるが、異なっていてもよい。
次に、液体吐出ヘッド２４の詳細な構成について述べる。図３は、図２のａ－ａ線の断面図であり、図４は図２のｂ－ｂ線の断面図である。図３では個別流路Ｐａを通過する断面が示され、図４では個別流路Ｐｂを通過する断面が示される。
液体吐出ヘッド２４は、図３および図４に示すように、流路構造体３０と、複数の圧電素子４１と、筐体部４２と、保護基板４３と、配線基板４４とを有する。流路構造体３０は、第１共通液室Ｒ１と、第２共通液室Ｒ２と、複数の個別流路Ｐと、複数のノズルＮとを有する流路が形成された構造体である。
流路構造体３０は、Ｚ１方向に向かって、ノズル基板３１と、連通板３３と、圧力室基板３４と、振動板３５とが順に積層された構造体である。流路構造体３０を構成するこれらの要素は、例えば半導体を製造する一般的な加工方法によって、シリコンの単結晶基板を加工することで製造される。
ノズル基板３１には、複数のノズルＮが形成される。複数のノズルＮの各々は、インクを通過させる円筒状の貫通孔である。ノズル基板３１は、図３および図４に示すように、Ｚ２方向を向く表面Ｆａ１とＺ１方向を向く表面Ｆａ２とを有する板状部材である。連通板３３は、Ｚ２方向を向く表面Ｆｃ１とＺ１方向を向く表面Ｆｃ２とを有する板状部材である。
流路構造体３０を構成する各要素は、Ｙ軸方向に長尺な矩形状に形成され、例えば接着剤により相互に接合される。例えば、ノズル基板３１の表面Ｆａ２は連通板３３の表面Ｆｃ１に接合され、連通板３３の表面Ｆｃ２は圧力室基板３４の表面Ｆｄ１に接合される。圧力室基板３４の表面Ｆｄ２は、振動板３５の表面Ｆｅ１に接合される。
連通板３３には、空間Ｏ１２と空間Ｏ２２とが形成される。空間Ｏ１２および空間Ｏ２２の各々は、Ｙ軸方向に長尺な開口である。連通板３３の表面Ｆｃ１には、空間Ｏ１２を閉塞する吸振体３６１と空間Ｏ２２を閉塞する吸振体３６２とが設置される。吸振体３６１および吸振体３６２は、弾性材料で形成された層状部材である。連通板３３は、「第１連通板」の一例である。
筐体部４２は、インクを貯留するためのケースである。連通板３３の表面Ｆｃ２に筐体部４２が接合される。筐体部４２には、空間Ｏ１２に連通する空間Ｏ１３と、空間Ｏ２２に連通する空間Ｏ２３とが形成される。空間Ｏ１３および空間Ｏ２３の各々は、Ｙ軸方向に長尺な空間である。空間Ｏ１２と空間Ｏ１３とは、相互に連通することで第１共通液室Ｒ１を構成する。同様に、空間Ｏ２２と空間Ｏ２３とは、相互に連通することで第２共通液室Ｒ２を構成する。吸振体３６１は第１共通液室Ｒ１の壁面を構成し、第１共通液室Ｒ１内のインクの圧力変動を吸収する。吸振体３６２は第２共通液室Ｒ２の壁面を構成し、第２共通液室Ｒ２内のインクの圧力変動を吸収する。
筐体部４２には供給口４２１と排出口４２２とが形成される。供給口４２１は、第１共通液室Ｒ１に連通する管路であり、循環機構２６の供給流路２６５に連結される。第２供給ポンプ２６２から供給流路２６５に送出されたインクは、供給口４２１を経由して第１共通液室Ｒ１に供給される。他方、排出口４２２は、第２共通液室Ｒ２に連通する管路であり、循環機構２６の循環流路２６４に連結される。第２共通液室Ｒ２内のインクは排出口４２２を経由して循環流路２６４に供給される。
圧力室基板３４には、圧力室Ｃａ１および圧力室Ｃａ２と、圧力室Ｃｂ１および圧力室Ｃｂ２とが設けられる。各圧力室Ｃは、連通板３３の表面Ｆｃ２と振動板３５との間隔である。各圧力室Ｃは、平面視でＸ軸に沿う長尺状に形成され、Ｘ１方向に延在する。
振動板３５は、弾性的に振動可能な板状部材である。振動板３５は、例えば、酸化シリコン（ＳｉＯ２）の第１層と、酸化ジルコニウム（ＺｒＯ２）の第２層との積層で構成される。なお、所定厚の板状部材のうち圧力室Ｃに対応する領域について厚さ方向の一部を選択的に除去することで、振動板３５と圧力室基板３４とを一体に形成してもよい。また、振動板３５を単層で形成してもよい。
振動板３５の表面Ｆｅ２には、相異なる圧力室Ｃに対応する複数の圧電素子４１が設置される。各圧力室Ｃに対応する圧電素子４１は、平面視で圧力室Ｃに重なる。具体的には、各圧電素子４１は、相互に対向する第１電極および第２電極と、両電極間に形成された圧電体層との積層により構成される。各圧電素子４１は、エネルギーを生成し、当該エネルギーによって圧力室Ｃ内のインクの圧力を変動させることで圧力室Ｃ内のインクをノズルＮから吐出させるエネルギー生成素子である。圧電素子４１は、駆動信号を受信することで自身を変形させることにより振動板３５を振動させる。振動板３５が振動すると圧力室Ｃが膨張および伸縮する。圧力室Ｃが膨張および伸縮することによって、圧力室Ｃからインクに圧力が付与される。これにより、ノズルＮからインクが吐出される。
保護基板４３は、振動板３５の表面Ｆｅ２に設置された板状部材であり、複数の圧電素子４１を保護するとともに振動板３５の機械的な強度を補強する。保護基板４３と振動板３５との間に複数の圧電素子４１が収容される。また、振動板３５の表面Ｆｅ２には配線基板４４が実装される。配線基板４４は、制御ユニット２１と液体吐出ヘッド２４とを電気的に接続するための実装部品である。例えばＦＰＣ（Flexible Printed Circuit）またはＦＦＣ（Flexible Flat Cable）等の可撓性の配線基板４４が好適に利用される。配線基板４４には各圧電素子４１に駆動信号を供給するための駆動回路４５が実装される。
次に、個別流路Ｐの構成について述べる。以降の説明では、前述のとおり個別流路Ｐａと個別流路Ｐｂとが同じ構成であるので、個別流路Ｐの構成を説明する際に、個別流路Ｐａと個別流路Ｐｂのうち主に個別流路Ｐａの構成を代表して説明する。なお、個別流路Ｐｂの構成については、個別流路Ｐａを構成する各要素の符号の添字ａを添字ｂに置換することによって、個別流路Ｐｂを構成する各要素の説明として同様に成立する。ここで、供給流路Ｒｂ１は「第２個別供給流路」の一例であり、排出流路Ｒｂ２は「第２個別排出流路」の一例である。また、ノズル流路Ｎｆｂは「第２ノズル流路」の一例である。
個別流路Ｐａは、図３に示すように、供給流路Ｒａ１と、圧力室Ｃａ１と、第１連通流路Ｎａ１と、ノズル流路Ｎｆａと、第２連通流路Ｎａ２と、圧力室Ｃａ２と、排出流路Ｒａ２とを有する。個別流路Ｐａは、これらの要素が一体的に構成された流路であり、前述した要素が前述した順番に連結された流路である。
供給流路Ｒａ１は、連通板３３に形成された空間である。具体的には、供給流路Ｒａ１は、図３に示すように、第１共通液室Ｒ１を構成する空間Ｏ１２から連通板３３の表面Ｆｃ２までＺ軸に沿って延在する。供給流路Ｒａ１の空間Ｏ１２に連結される端部が個別流路Ｐａの端部Ｅ１である。供給流路Ｒａ１は圧力室Ｃａ１に連通し、第１共通液室Ｒ１から供給されたインクを圧力室Ｃａ１へ導く流路である。供給流路Ｒａ１は、「第１個別供給流路」の一例である。
第１連通流路Ｎａ１は、図３に示すように、連通板３３を貫通する空間である。第１連通流路Ｎａ１は、Ｚ軸に沿う長尺な流路である。第１連通流路Ｎａ１はＺ１方向に延在し、圧力室Ｃａ１とノズル流路Ｎｆａとに連通する。第１連通流路Ｎａ１は、圧力室Ｃａ１から押し出されたインクをノズル流路Ｎｆａへ導く流路である。
ノズル流路Ｎｆａは連通板３３に設けられ、Ｘ軸方向に延在する流路である。ノズル流路Ｎｆａは、図２に示すように、Ｚ軸方向に見て第１連通流路Ｎａ１と第２連通流路Ｎａ２との間に位置する。ノズル流路Ｎｆａは、第１連通流路Ｎａ１と第２連通流路Ｎａ２とに連通し、ノズルＮａが設けられる。ノズル流路Ｎｆａは、第１連通流路Ｎａ１から供給され、ノズルＮａから吐出されなかったインクを第２連通流路Ｎａ２へ導く流路である。
ノズル流路ＮｆａのＸ１方向の幅Ｗａは、図３に示すように、第１連通流路Ｎａ１および第２連通流路Ｎａ２のＺ１方向の幅ｈａよりも大きい。即ち、ノズル流路Ｎｆａの流路長は、第１連通流路Ｎａ１および第２連通流路Ｎａ２の流路長よりも長い。本実施形態では、幅Ｗａの幅ｈａに対する比率、つまり、Ｗａ／ｈａは、１．５以上４．０以下であることが好ましい。
第２連通流路Ｎａ２は、図３に示すように、連通板３３を貫通する空間である。第２連通流路Ｎａ２は、Ｚ軸に沿う長尺な流路である。第２連通流路Ｎａ２はＺ１方向に延存し、圧力室Ｃａ２とノズル流路Ｎｆａとに連通する。第２連通流路Ｎａ２は、ノズル流路Ｎｆａから供給されたインクを圧力室Ｃａ２へ導く流路である。
排出流路Ｒａ２は、連通板３３に形成された空間である。具体的には、排出流路Ｒａ２は、第２共通液室Ｒ２を構成する空間Ｏ２２から連通板３３の表面Ｆｃ２までＺ軸に沿って延在する。排出流路Ｒａ２の空間Ｏ２２に連結される端部が個別流路Ｐａの端部Ｅ２である。排出流路Ｒａ２は圧力室Ｃａ２に連通し、圧力室Ｃａ２から押し出されたインクを第２共通液室Ｒ２へ導く流路である。排出流路Ｒａ２は、「第１個別排出流路」の一例である。
以上の構成において、液体吐出ヘッド２４は、液体吐出装置１００の稼動時において、インクを循環させながらインクの吐出を行う。具体的には、液体容器１２からのインクを、供給流路２６５を介して第１共通液室Ｒ１に供給する。その後、駆動回路４５などを含む駆動手段が圧電素子を駆動させる駆動信号を圧力室Ｃａ１側の圧電素子４１と圧力室Ｃａ２側の圧電素子４１とに出力することで、圧力室Ｃａ１側の圧電素子４１と圧力室Ｃａ２側の圧電素子４１とを同時に駆動させる。これにより、第１共通液室Ｒ１に供給されたインクがノズルＮａから吐出される。また、ノズル流路Ｎｆａに供給されるインクのうちノズルＮａから吐出されないインクは、排出流路Ｒａ２を経由して第２共通液室Ｒ２に供給される。圧力室Ｃａ１側の圧電素子４１は「第１エネルギー生成素子」の一例であり、圧力室Ｃａ２側の圧電素子４１は「第２エネルギー生成素子」の一例である。なお、前述した、個別流路Ｐａに関するインクを循環させる動作は、個別流路Ｐｂに関するインクを循環させる動作と同様である。
本実施形態の液体吐出ヘッド２４は、インク吐出時にインクを循環させることで、ノズルＮａおよびノズルＮｂの近傍のインクの増粘や成分の沈殿を抑制してインクの吐出特性の悪化を防止することができる。これにより、インクの吐出特性をほぼ一定にそろえることができ、吐出特性のバラつきを抑制してインクの吐出品質を向上させることができる。なお、前述した「吐出特性」とは、例えば、インクの吐出量または吐出速度である。この点は、以下の説明においても同様である。
図５は図３および図４のｃ－ｃ線の部分断面図であり、図６は図３および図４のｄ－ｄ線の部分断面図である。図６では、ノズル基板３１の図示は省略する。
ノズル流路ＮｆａのＹ２方向の幅Ｄａは第１連通流路Ｎａ１のＹ２方向の幅Ｄａ１よりも小さく、第２連通流路Ｎａ２のＹ２方向の幅Ｄａ２よりも小さい。同様に、ノズル流路ＮｆｂのＹ２方向の幅Ｄｂは第３連通流路Ｎｂ１のＹ２方向の幅Ｄｂ１よりも小さく、第４連通流路Ｎｂ２のＹ２方向の幅Ｄｂ２よりも小さい。
また、図５に示すように、Ｙ軸方向におけるノズル流路Ｎｆａとノズル流路Ｎｆｂとの間の距離、即ち、Ｙ軸方向におけるノズル流路Ｎｆａとノズル流路Ｎｆｂとの間に設けられる隔壁の厚みＤ１は、Ｙ軸方向における第１連通流路Ｎａ１と第３連通流路Ｎｂ１との間に設けられる隔壁の厚みＤ２と、Ｙ軸方向における第２連通流路Ｎａ２と第４連通流路Ｎｂ２との間に設けられる隔壁の厚みＤ３よりも厚い。
さらに、本実施形態では、Ｘ軸方向に見たときのノズル流路Ｎｆａの断面積は、図５の縦線で示す、Ｚ軸方向に見たときの第１連通流路Ｎａ１および第２連通流路Ｎａ２の断面積よりも小さい。同様に、Ｘ軸方向に見たときのノズル流路Ｎｆｂの断面積は、図５の縦線で示す、Ｚ軸方向に見たときの第３連通流路Ｎｂ１および第４連通流路Ｎｂ２の断面積よりも小さい。
上記構成とした理由について説明する。なお、以降の説明では簡単のため、ノズル流路Ｎｆａおよびノズル流路Ｎｆｂと、第１連通流路Ｎａ１および第３連通流路Ｎｂ１についてのみ記載する。第２連通流路Ｎａ２および第４連通流路Ｎｂ２については特に記載しないが、ノズル流路Ｎｆａおよびノズル流路Ｎｆｂとの関係は第１連通流路Ｎａ１および第３連通流路Ｎｂ１と同様である。
上述のとおり、第１実施形態では、ノズル流路Ｎｆａ、ノズル流路ＮｆｂのＸ１方向の幅Ｗａおよび幅Ｗｂは、第１連通流路Ｎａ１および第３連通流路Ｎｂ１のＺ１方向の幅ｈａおよび幅ｈｂよりも大きい。ここで、隣接するノズル流路間、および隣接する連通流路間では、一方の流路の内圧変化に起因する振動が他方の流路に伝搬し、当該流路に連通するノズルの吐出特性が低下する現象（以下、「構造クロストーク」という）が生じる虞がある。この構造クロストークは、それらの流路の隣接している幅が長いほど、振動が伝わる時間が長くなるため、影響が大きくなる。つまり、各流路のＹ軸方向における幅が仮に同一である場合、第１連通流路Ｎａ１と第３連通流路Ｎｂ１との間よりもノズル流路Ｎｆａとノズル流路Ｎｆｂとの間の方が、構造クロストークが顕著に発生し得る。
上記の点を鑑み、第１実施形態では、図５および図６に示すように、ノズル流路Ｎｆａおよびノズル流路ＮｆｂのＹ軸方向における幅Ｄａおよび幅Ｄｂを比較的小さい値とする。これにより、ノズル流路Ｎｆａとノズル流路Ｎｆｂとの間の隔壁の厚みＤ１を比較的大きくすることができ、一方のノズル流路内で振動が生じたとしても他方のノズル流路まで当該振動が伝搬しにくい。よって、ノズル流路Ｎｆａとノズル流路Ｎｆｂと間における構造クロストークを低減できる。
一方で、第１連通流路Ｎａ１および第３連通流路Ｎｂ１も、ノズル流路Ｎｆａおよびノズル流路Ｎｆｂと同じくＹ軸方向における幅を小さくすれば、構造クロストークの影響をより小さくすることはできる。しかしながら、上述のように第１連通流路Ｎａ１および第３連通流路Ｎｂ１はＺ軸方向の幅がｈａおよびｈｂと小さいため、そもそも構造クロストークが顕著なものとならない。むしろ、第１連通流路Ｎａ１および第３連通流路Ｎｂ１のＹ軸方向における幅を小さくすると、第１連通流路Ｎａ１の流路断面積とノズル流路Ｎｆａの流路断面積の両方が小さくなり、ノズルＮａに対応する流路全体の流路抵抗が大きくなってしまう。ノズルＮｂについても同様である。したがって、第１連通流路Ｎａ１および第３連通流路Ｎｂ１については、Ｙ軸方向における幅Ｄａ１と幅Ｄｂ１を比較的大きくすることで、流路抵抗の増加が抑制される。
以上記載したように、第１実施形態によれば、各連通流路での流路抵抗の増加を抑制しつつノズル流路での構造クロストークを低減することができる。
Ｂ：第２実施形態
図７は第２実施形態に係る図２のａ－ａ線の断面図であり、図８は第２実施形態に係る図２のｂ－ｂ線の断面図である。以下、第１実施形態と同様の構成については同様の符号を付し、その詳細な説明を省略または簡略化する。
第２実施形態の液体吐出ヘッド２４は、ノズル流路Ｎｆａおよびノズル流路Ｎｆｂの流路長および流路幅が第１実施形態と異なる。具体的には、ノズル流路ＮｆａのＸ１方向の幅Ｗａは、第１連通流路Ｎａ１および第２連通流路Ｎａ２のＺ１方向の幅ｈａよりも小さい。即ち、ノズル流路Ｎｆａの流路長は、第１連通流路Ｎａ１および第２連通流路Ｎａ２の流路長よりも短い。
図９は図７および図８のｃ－ｃ線の部分断面図であり、図１０は図７および図８のｄ－ｄ線の部分断面図である。図１０では、ノズル基板３１の図示は省略する。
ノズル流路ＮｆａのＹ２方向の幅Ｄａは第１連通流路Ｎａ１のＹ２方向の幅Ｄａ１よりも大きく、第２連通流路Ｎａ２のＹ２方向の幅Ｄａ２よりも大きい。同様に、ノズル流路ＮｆｂのＹ２方向の幅Ｄｂは第３連通流路Ｎｂ１のＹ２方向の幅Ｄｂ１よりも大きく、第４連通流路Ｎｂ２のＹ２方向の幅Ｄｂ２よりも大きい。
また、図９に示すように、Ｙ軸方向におけるノズル流路Ｎｆａとノズル流路Ｎｆｂとの間の距離、即ち、Ｙ軸方向におけるノズル流路Ｎｆａとノズル流路Ｎｆｂとの間に設けられる隔壁の厚みＤ１は、Ｙ軸方向における第１連通流路Ｎａ１と第３連通流路Ｎｂ１との間に設けられる隔壁の厚みＤ２と、Ｙ軸方向における第２連通流路Ｎａ２と第４連通流路Ｎｂ２との間に設けられる隔壁の厚みＤ３よりも小さい。
さらに、第２実施形態では、Ｘ軸方向に見たときのノズル流路Ｎｆａの断面積は、図９の縦線で示す、Ｚ軸方向に見たときの第１連通流路Ｎａ１および第２連通流路Ｎａ２の断面積よりも大きい。同様に、Ｘ軸方向に見たときのノズル流路Ｎｆｂの断面積は、図９の縦線で示す、Ｚ軸方向に見たときの第３連通流路Ｎｂ１および第４連通流路Ｎｂ２の断面積よりも大きい。
第２実施形態では、ノズル流路Ｎｆａおよびノズル流路ＮｆｂのＸ１方向の幅Ｗａおよび幅Ｗｂは、第１連通流路Ｎａ１および第３連通流路Ｎｂ１のＺ１方向の幅ｈａおよび幅ｈｂよりも小さい。よって、各流路のＹ軸方向における幅が仮に同一である場合、ノズル流路Ｎｆａとノズル流路Ｎｆｂとの間よりも、第１連通流路Ｎａ１と第３連通流路Ｎｂ１との間の方が、構造クロストークが顕著に発生し得る。
上記の点に鑑み、第２実施形態では、図９および図１０に示すように、第１連通流路Ｎａ１および第３連通流路Ｎｂ１のＹ軸方向における幅をＤａ１と比較的小さい値とする。これにより、第１連通流路Ｎａ１と第３連通流路Ｎｂ１との間の隔壁の厚みＤ２を比較的大きくすることができ、一方の連通流路内で振動が生じたとしても他方の連通流路まで当該振動が伝搬しにくい。第２連通流路Ｎａ２と第４連通流路Ｎｂ２との間についても同様である。よって、第１連通流路Ｎａ１と第３連通流路Ｎｂ１との間と、第２連通流路Ｎａ２と第４連通流路Ｎｂ２との間における構造クロストークが低減される。
一方で、第２実施形態では、構造クロストークが生じにくいノズル流路Ｎｆａおよびノズル流路Ｎｆｂについては、Ｙ軸方向における幅Ｄａおよび幅Ｄｂを比較的大きくすることで、流路抵抗の増加を抑制することができる。
以上記載したように、第２実施形態によれば、ノズル流路の流路抵抗の増加を抑制しつつ連通流路での構造クロストークを低減することができる。
Ｃ：第３実施形態
図１１は、第３実施形態に係る液体吐出ヘッド２４をＺ軸方向に見たときの液体吐出ヘッド２４内の流路構造を示す模式図である。図１１に例示される通り、液体吐出ヘッド２４のうち媒体１１に対向する表面には複数のノズルＮ（Ｎａ，Ｎｂ）が形成される。複数のノズルＮはＹ軸に沿って配列する。複数のノズルＮの各々からＺ軸方向にインクが吐出される。すなわち、Ｚ軸は、各ノズルＮからインクが吐出される方向に相当する。
第３実施形態における複数のノズルＮは、第１ノズル列Ｌａと第２ノズル列Ｌｂとに区分される。第１ノズル列Ｌａは、Ｙ軸に沿って直線状に配列する複数のノズルＮａの集合である。同様に、第２ノズル列Ｌｂは、Ｙ軸に沿って直線状に配列する複数のノズルＮｂの集合である。第１ノズル列Ｌａと第２ノズル列Ｌｂとは、Ｘ軸方向に所定の間隔をあけて並設される。また、Ｙ軸方向における各ノズルＮａの位置と、Ｙ軸方向における各ノズルＮｂの位置とは相違する。図１１に例示される通り、ノズルＮａとノズルＮｂとを含む複数のノズルＮがピッチ（周期）θで配列する。ピッチθは、Ｙ軸方向におけるノズルＮａとノズルＮｂとの中心間の距離である。
図１１に例示される通り、液体吐出ヘッド２４には個別流路列２５が設置される。個別流路列２５は、相異なるノズルＮに対応する複数の個別流路Ｐ（Ｐａ，Ｐｂ）の集合である。複数の個別流路Ｐの各々は、当該個別流路Ｐに対応するノズルＮに連通する流路である。各個別流路Ｐは、Ｘ軸に沿って延在する。個別流路列２５は、Ｙ軸に沿って並設された複数の個別流路Ｐにより構成される。なお、図１１においては各個別流路Ｐを便宜的に単純な直線として図示したが、各個別流路Ｐの実際の形状については後述する。
各個別流路Ｐは圧力室Ｃ（Ｃａ，Ｃｂ）を含む。各個別流路Ｐ内の圧力室Ｃは、当該個別流路Ｐに連通するノズルＮから吐出されるインクを貯留する空間である。すなわち、圧力室Ｃ内のインクの圧力が変化することでノズルＮからインクが吐出される。
図１１に例示される通り、液体吐出ヘッド２４には第１共通液室Ｒ１と第２共通液室Ｒ２とが設置される。第１共通液室Ｒ１および第２共通液室Ｒ２の各々は、複数のノズルＮが分布する範囲の全域にわたりＹ軸方向に延在する。平面視において、第１共通液室Ｒ１と第２共通液室Ｒ２との間に個別流路列２５と複数のノズルＮとが位置する。
複数の個別流路Ｐは、第１共通液室Ｒ１に共通に連通する。具体的には、各個別流路ＰのうちＸ２方向に位置する端部Ｅ１が第１共通液室Ｒ１に連結される。また、複数の個別流路Ｐは、第２共通液室Ｒ２に共通に連通する。具体的には、各個別流路ＰのうちＸ１方向に位置する端部Ｅ２が第２共通液室Ｒ２に連結される。以上の説明から理解される通り、各個別流路Ｐは、第１共通液室Ｒ１と第２共通液室Ｒ２とを相互に連通させる。第１共通液室Ｒ１から各個別流路Ｐに供給されるインクが当該個別流路Ｐに対応するノズルＮから吐出される。また、第１共通液室Ｒ１から各個別流路Ｐに供給されるインクのうちノズルＮから吐出されない部分が第２共通液室Ｒ２に排出される。
図１１に例示される通り、第３実施形態の液体吐出装置１００は、循環機構２６を具備する。循環機構２６は、各個別流路Ｐから第２共通液室Ｒ２に排出されるインクを第１共通液室Ｒ１に環流させる機構である。具体的には、循環機構２６は、第１供給ポンプ２６１と第２供給ポンプ２６２と貯留容器２６３と循環流路２６４と供給流路２６５とを具備する。
第１供給ポンプ２６１は、液体容器１２に貯留されたインクを貯留容器２６３に供給するポンプである。貯留容器２６３は、液体容器１２から供給されるインクを一時的に貯留するサブタンクである。循環流路２６４は、第２共通液室Ｒ２と貯留容器２６３とを連通させる流路である。貯留容器２６３には、液体容器１２に貯留されたインクが第１供給ポンプ２６１から供給されるほか、各個別流路Ｐから第２共通液室Ｒ２に排出されたインクが循環流路２６４を介して供給される。第２供給ポンプ２６２は、貯留容器２６３に貯留されたインクを送出するポンプである。第２供給ポンプ２６２から送出されたインクは、供給流路２６５を介して第１共通液室Ｒ１に供給される。
個別流路列２５の複数の個別流路Ｐは、複数の個別流路Ｐａと複数の個別流路Ｐｂとを含む。複数の個別流路Ｐａの各々は、第１ノズル列Ｌａの１個のノズルＮａに連通する個別流路Ｐである。複数の個別流路Ｐｂの各々は、第２ノズル列Ｌｂの１個のノズルＮｂに連通する個別流路Ｐである。個別流路Ｐａと個別流路Ｐｂとは、Ｙ軸に沿って交互に配列する。すなわち、個別流路Ｐａと個別流路ＰｂとはＹ軸方向に隣接する。
個別流路Ｐａは、第１部分Ｐａ１と第２部分Ｐａ２とを含む。各個別流路Ｐａの第１部分Ｐａ１は、当該個別流路Ｐａのうち第１共通液室Ｒ１に連結される端部Ｅ1と、当該個別流路Ｐａに連通するノズルＮａとの間の流路である。第１部分Ｐａ１は圧力室Ｃａを含む。他方、各個別流路Ｐａの第２部分Ｐａ２は、当該個別流路Ｐａに連通するノズルＮａと、当該個別流路Ｐａのうち第２共通液室Ｒ２に連結される端部Ｅ２との間の流路である。
個別流路Ｐｂは、第３部分Ｐｂ１と第４部分Ｐｂ２とを含む。各個別流路Ｐｂの第３部分Ｐｂ１は、当該個別流路Ｐｂのうち第１共通液室Ｒ１に連結される端部Ｅ１と、当該個別流路Ｐｂに連通するノズルＮｂとの間の流路である。他方、各個別流路Ｐｂの第４部分Ｐｂ２は、当該個別流路Ｐｂに連通するノズルＮｂと、当該個別流路Ｐｂのうち第２共通液室Ｒ２に連結される端部Ｅ２との間の流路である。第４部分Ｐｂ２は圧力室Ｃｂを含む。
以上の説明から理解される通り、第１ノズル列Ｌａの相異なるノズルＮａに対応する複数の圧力室Ｃａは、Ｙ軸に沿って直線状に配列する。同様に、第２ノズル列Ｌｂの相異なるノズルＮｂに対応する複数の圧力室Ｃｂは、Ｙ軸に沿って直線状に配列する。複数の圧力室Ｃａの配列と複数の圧力室Ｃｂの配列とは、Ｘ軸方向に所定の間隔をあけて並設される。Ｙ軸方向における各圧力室Ｃａの位置と、Ｙ軸方向における各圧力室Ｃｂの位置とは相違する。
また、図１１から理解される通り、各個別流路Ｐａの第１部分Ｐａ１と各個別流路Ｐｂの第３部分Ｐｂ１とがＹ軸方向に配列し、各個別流路Ｐａの第２部分Ｐａ２と各個別流路Ｐｂの第４部分Ｐｂ２とがＹ軸方向に配列する。
液体吐出ヘッド２４の具体的な構成を以下に詳述する。図１２は図１１のａ－ａ線の断面図であり、図１３は図１１のｂ－ｂ線の断面図である。個別流路Ｐａを通過する断面が図１２に図示され、個別流路Ｐｂを通過する断面が図１３に図示される。
図１２および図１３に例示される通り、液体吐出ヘッド２４は、流路構造体３０と複数の圧電素子４１と筐体部４２と保護基板４３と配線基板４４とを具備する。流路構造体３０は、第１共通液室Ｒ１と第２共通液室Ｒ２と複数の個別流路Ｐと複数のノズルＮとを含む流路が内部に形成された構造体である。
流路構造体３０は、ノズル基板３１と連通板３３と圧力室基板３４と振動板３５とが、Ｚ１方向に以上の順番で積層された構造体である。流路構造体３０を構成する各部材は、例えば半導体製造技術を利用してシリコンの単結晶基板を加工することで製造される。
ノズル基板３１には複数のノズルＮが形成される。複数のノズルＮの各々は、インクを通過させる円形状の貫通孔である。第１実施形態のノズル基板３１は、Ｚ２方向に位置する表面Ｆａ１とＺ１方向に位置する表面Ｆａ２とを含む板状部材である。
図１２および図１３の連通板３３は、Ｚ２方向に位置する表面Ｆｃ１とＺ１方向に位置する表面Ｆｃ２とを含む板状部材である。
圧力室基板３４は、Ｚ２方向に位置する表面Ｆｄ１とＺ１方向に位置する表面Ｆｄ２とを含む板状部材である。振動板３５は、Ｚ２方向に位置する表面Ｆｅ１とＺ１方向に位置する表面Ｆｅ２とを含む板状部材である。
流路構造体３０を構成する各部材は、Ｙ軸方向に長尺な矩形状に成形され、例えば接着剤により相互に接合される。例えば、ノズル基板３１の表面Ｆａ２は連通板３３の表面Ｆｃ１に接合される。また、連通板３３の表面Ｆｃ２は圧力室基板３４の表面Ｆｄ１に接合され、圧力室基板３４の表面Ｆｄ２は振動板３５の表面Ｆｅ１に接合される。
連通板３３には、空間Ｏ１２と空間Ｏ２２とが形成される。空間Ｏ１２および空間Ｏ２２の各々は、Ｙ軸方向に長尺な開口である。連通板３３の表面Ｆｃ１には、空間Ｏ１２を閉塞する吸振体３６１と空間Ｏ２２を閉塞する吸振体３６２とが設置される。吸振体３６１および吸振体３６２は、弾性材料で形成された層状部材である。
筐体部４２は、インクを貯留するためのケースである。連通板３３の表面Ｆｃ２に筐体部４２が接合される。筐体部４２には、空間Ｏ１２に連通する空間Ｏ１３と、空間Ｏ２２に連通する空間Ｏ２３とが形成される。空間Ｏ１３および空間Ｏ２３の各々は、Ｙ軸方向に長尺な空間である。空間Ｏ１２と空間Ｏ１３とは、相互に連通することで第１共通液室Ｒ１を構成する。同様に、空間Ｏ２２と空間Ｏ２３とは、相互に連通することで第２共通液室Ｒ２を構成する。吸振体３６１は、第１共通液室Ｒ１の壁面を構成し、第１共通液室Ｒ１内のインクの圧力変動を吸収する。吸振体３６２は、第２共通液室Ｒ２の壁面を構成し、第２共通液室Ｒ２内のインクの圧力変動を吸収する。
筐体部４２には供給口４２１と排出口４２２とが形成される。供給口４２１は、第１共通液室Ｒ１に連通する管路であり、循環機構２６の供給流路２６５に連結される。第２供給ポンプ２６２から供給流路２６５に送出されたインクは、供給口４２１を経由して第１共通液室Ｒ１に供給される。他方、排出口４２２は、第２共通液室Ｒ２に連通する管路であり、循環機構２６の循環流路２６４に連結される。第２共通液室Ｒ２内のインクは排出口４２２を経由して循環流路２６４に供給される。
圧力室基板３４には複数の圧力室Ｃ（Ｃａ，Ｃｂ）が形成される。各圧力室Ｃは、連通板３３の表面Ｆｃ２と振動板３５の表面Ｆｅ１との間隙である。各圧力室Ｃは、平面視でＸ軸に沿う長尺状に形成される。
振動板３５は、弾性的に振動可能な板状部材である。振動板３５は、例えば、酸化シリコン（ＳｉＯ２）の第１層と、酸化ジルコニウム（ＺｒＯ２）の第２層との積層で構成される。なお、所定厚の板状部材のうち圧力室Ｃに対応する領域について厚さ方向の一部を選択的に除去することで、振動板３５と圧力室基板３４とを一体に形成してもよい。また、振動板３５を単層で形成してもよい。
振動板３５の表面Ｆｅ２には、相異なる圧力室Ｃに対応する複数の圧電素子４１が設置される。各圧力室Ｃに対応する圧電素子４１は、平面視で当該圧力室Ｃに重なる。具体的には、各圧電素子４１は、相互に対向する第１電極および第２電極と、両電極間に形成された圧電体層との積層により構成される。各圧電素子４１は、圧力室Ｃ内のインクの圧力を変動させることで当該圧力室Ｃ内のインクをノズルＮから吐出させるエネルギー生成素子である。すなわち、駆動信号の供給により圧電素子４１が変形することで振動板３５が振動し、振動板３５の振動により圧力室Ｃが膨張および収縮することでノズルＮからインクが吐出される。
保護基板４３は、振動板３５の表面Ｆｅ２に設置された板状部材であり、複数の圧電素子４１を保護するとともに振動板３５の機械的な強度を補強する。保護基板４３と振動板３５との間に複数の圧電素子４１が収容される。また、振動板３５の表面Ｆｅ２には配線基板４４が実装される。配線基板４４は、制御ユニット２１と液体吐出ヘッド２４とを電気的に接続するための実装部品である。例えばＦＰＣ（Flexible Printed Circuit）またはＦＦＣ（Flexible Flat Cable）等の可撓性の配線基板４４が好適に利用される。配線基板４４には、各圧電素子４１に駆動信号を供給するための駆動回路４５が実装される。
次に、個別流路Ｐの詳細な構成について述べる。個別流路Ｐａの形状と個別流路Ｐｂの形状とは、平面視において、Ｚ軸に平行な対称軸を中心とした回転対称な関係にある。
個別流路Ｐａは、図１２に示すように、供給流路Ｒａ１と、圧力室Ｃａ１と、第１連通流路Ｎａ１と、ノズル流路Ｎｆａと、第２連通流路Ｎａ２と、横連通流路Ｃｑ１と、排出流路Ｒａ２とを有する。個別流路Ｐａは、これらの要素が一体的に構成された流路であり、前述した要素が前述した順番に連結された流路である。
供給流路Ｒａ１は、連通板３３に形成された空間である。具体的には、供給流路Ｒａ１は、図１２に示すように、第１共通液室Ｒ１を構成する空間Ｏ１２から連通板３３の表面Ｆｃ２までＺ軸に沿って延在する。供給流路Ｒａ１の空間Ｏ１２に連結される端部が個別流路Ｐａの端部Ｅ１である。供給流路Ｒａ１は圧力室Ｃａ１に連通し、第１共通液室Ｒ１から供給されたインクを圧力室Ｃａ１へ導く流路である。供給流路Ｒａ１は、「第１個別供給流路」の一例である。
第１連通流路Ｎａ１は、図１２に示すように、連通板３３を貫通する空間である。第１連通流路Ｎａ１は、Ｚ軸に沿う流路である。第１連通流路Ｎａ１はＺ１方向に延在し、圧力室Ｃａ１とノズル流路Ｎｆａとに連通する。第１連通流路Ｎａ１は、圧力室Ｃａ１から押し出されたインクをノズル流路Ｎｆａへ導く流路である。
ノズル流路Ｎｆａは連通板３３に設けられ、Ｘ軸方向に延在する流路である。ノズル流路Ｎｆａは、Ｚ軸方向に見て、第１連通流路Ｎａ１と第２連通流路Ｎａ２との間に位置する。ノズルＮａは、ノズル流路Ｎｆａに設けられる。
第２連通流路Ｎａ２は、連通板３３に設けられた空間である。第２連通流路Ｎａ２は、Ｚ軸に沿う流路である。第２連通流路Ｎａ２はＺ１方向に延存し、横連通流路Ｃｑ１とノズル流路Ｎｆａとに連通する。第２連通流路Ｎａ２は、ノズル流路Ｎｆａから供給されたインクを横連通流路Ｃｑ１へ導く流路である。
横連通流路Ｃｑ１は、連通板３３に設けられた空間である。横連通流路Ｃｑ１は、Ｘ軸に沿う長尺な流路である。横連通流路Ｃｑ１はＸ１方向に延存し、第２連通流路Ｎａ２と排出流路Ｒａ２とに連通する。横連通流路Ｃｑ１は、第２連通流路Ｎａ２から導かれたインクを排出流路Ｒａ２へ導く流路である。
排出流路Ｒａ２は、連通板３３に設けられた空間である。排出流路Ｒａ２の空間Ｏ２２に連結される端部が個別流路Ｐａの端部Ｅ２である。排出流路Ｒａ２は横連通流路Ｃｑ１に連通し、横連通流路Ｃｑ１から導かれたインクを第２共通液室Ｒ２へ導く流路である。排出流路Ｒａ２は、「第１個別排出流路」の一例である。
個別流路Ｐｂは、図１３に示すように、供給流路Ｒｂ１と、横連通流路Ｃｑ２と、第３連通流路Ｎｂ１と、ノズル流路Ｎｆｂと、第４連通流路Ｎｂ２と、圧力室Ｃｂ１と、排出流路Ｒｂ２とを有する。個別流路Ｐｂは、これらの要素が一体的に構成された流路であり、前述した要素が前述した順番に連結された流路である。
供給流路Ｒｂ１は、連通板３３に設けられた空間である。供給流路Ｒｂ１の空間Ｏ１２に連結される端部が個別流路Ｐｂの端部Ｅ１である。供給流路Ｒｂ１は横連通流路Ｃｑ２に連通し、第１共通液室Ｒ１から供給されたインクを横連通流路Ｃｑ２へ導く流路である。供給流路Ｒｂ１は、「第２個別供給流路」の一例である。
横連通流路Ｃｑ２は、連通板３３に設けられた空間である。横連通流路Ｃｑ２は、Ｘ軸に沿う長尺な流路である。横連通流路Ｃｑ２はＸ１方向に延存し、供給流路Ｒｂ１と第３連通流路Ｎｂ１とに連通する。横連通流路Ｃｑ２は、供給流路Ｒｂ１から供給されたインクを第３連通流路Ｎｂ１へ導く流路である。
第３連通流路Ｎｂ１は、図１３に示すように、連通板３３に設けられた空間である。第３連通流路Ｎｂ１は、Ｚ軸に沿う流路である。第３連通流路Ｎｂ１はＺ１方向に延在し、横連通流路Ｃｑ２とノズル流路Ｎｆｂとに連通する。第３連通流路Ｎｂ１は、横連通流路Ｃｑ２から供給されたインクをノズル流路Ｎｆｂへ導く流路である。
ノズル流路Ｎｆｂは連通板３３に設けられ、Ｘ軸方向に延在する流路である。ノズル流路Ｎｆｂは、Ｚ軸方向に見て、第３連通流路Ｎｂ１と第４連通流路Ｎｂ２との間に位置する。ノズルＮｂはノズル流路Ｎｆｂに設けられる。
第４連通流路Ｎｂ２は、連通板３３を貫通する空間である。第４連通流路Ｎｂ２は、Ｚ軸に沿う流路である。第４連通流路Ｎｂ２はＺ１方向に延存し、圧力室Ｃｂ１とノズル流路Ｎｆｂとに連通する。第４連通流路Ｎｂ２は、ノズル流路Ｎｆｂから供給されたインクを圧力室Ｃｂ１へ導く流路である。
排出流路Ｒｂ２は、連通板３３に設けられた空間である。排出流路Ｒｂ２の空間Ｏ２２に連結される端部が個別流路Ｐｂの端部Ｅ２である。排出流路Ｒｂ２は圧力室Ｃｂ１に連通し、圧力室Ｃｂ１から押し出されたインクを第２共通液室Ｒ２へ導く流路である。排出流路Ｒｂ２は、「第２個別排出流路」の一例である。
図１２および図１３において、互いに隣接する個別流路Ｐａと個別流路Ｐｂについて、個別流路Ｐａの圧力室Ｃａ１や横連通流路Ｃｑ１にはＹ軸方向の隣接する位置に流路が存在しない。また、個別流路Ｐｂの圧力室Ｃｂ１や横連通流路Ｃｑ２にもＹ軸方向の隣接する位置に流路が存在しない。よって、第１および第２実施形態に比べて、ピッチθを小さくしたとしても、構造クロストークが発生しにくい。したがって、ピッチθを小さくし、Ｚ軸方向におけるノズル解像度を高くすることができ、高画質画像を記録することができる。
第３実施形態の液体吐出ヘッド２４は、Ｘ軸方向に見たときのノズル流路Ｎｆａの断面積は、Ｚ軸方向に見たときの第１連通流路Ｎａ１および第２連通流路Ｎａ２の断面積よりも小さい。また、Ｘ軸方向に見たときのノズル流路Ｎｆｂの断面積は、Ｚ軸方向に見たときの第３連通流路Ｎｂ１および第４連通流路Ｎｂ２の断面積よりも小さい。
上記構成とした理由について説明する。なお、以降の説明では簡単のため、ノズル流路Ｎｆａおよびノズル流路Ｎｆｂと、第１連通流路Ｎａ１および第３連通流路Ｎｂ１についてのみ記載する。第２連通流路Ｎａ２および第４連通流路Ｎｂ２については特に記載しないが、ノズル流路Ｎｆａおよびノズル流路Ｎｆｂとの関係は第１連通流路Ｎａ１および第３連通流路Ｎｂ１と同様である。
第３実施形態では、第１連通流路Ｎａ１と第３連通流路Ｎｂ１がＺ１方向に重なる幅は、第１連通流路Ｎａ１よりも第３連通流路Ｎｂ１の方がＺ１方向に短いため、第３連通流路Ｎｂ１の幅ｈｂ２となる。つまり、ノズル流路Ｎｆａおよびノズル流路ＮｆｂのＸ１方向に重なる幅Ｗａは、第１連通流路Ｎａ１および第３連通流路Ｎｂ１のＺ１方向に重なる幅ｈｂ２よりも大きい。よって、構造クロストークを低減するため、ノズル流路Ｎｆａおよびノズル流路ＮｆｂのＹ軸方向における幅を比較的小さい値とする。
一方で、第１連通流路Ｎａ１および第３連通流路Ｎｂ１は、Ｚ１方向に重なる幅が小さく、構造クロストークの影響を受けにくいため、Ｙ軸方向における断面積を比較的大きくする。これにより、流路抵抗の増加が抑制される。
以上記載したように、第３実施形態によれば、各連通流路での流路抵抗の増加を抑制しつつノズル流路での構造クロストークを低減することができる。
なお、ノズル流路Ｎｆａおよびノズル流路ＮｆｂのＸ１方向に重なる幅Ｗａが、第１連通流路Ｎａ１および第３連通流路Ｎｂ１のＺ１方向に重なる幅ｈｂ２よりも小さい場合、ノズル流路Ｎｆａおよびノズル流路ＮｆｂのＹ軸方向における幅を比較的大きくし、第１連通流路Ｎａ１および第３連通流路Ｎｂ１のＹ軸方向における幅を比較的小さくすればよい。
Ｄ：他の実施形態
液体吐出ヘッド２４は、前述の第１実施形態から第３実施形態で例示した構成に限定されない。液体吐出ヘッド２４は、第１実施形態から第３実施形態で例示された構成のうちから任意の選択された２以上の構成が相互に矛盾しない範囲で組み合わされた構成であってもよい。
Ｅ：変形例
以上、本開示の実施形態について説明したが、本開示は上述の実施形態に限定されるものではなく種々の変更を加え得る。前述の態様に付与され得る具体的な変形の態様を以下に例示する。以下の例示から任意に選択された態様を、相互に矛盾しない範囲で適宜に併合してもよい。なお、以下の例示では、構造が同じである個別流路Ｐａと個別流路Ｐｂのうち、主に個別流路Ｐａの構成を代表して説明する。
（変形例１）
図１４は、変形例に係る図２のａ－ａ線の断面図である。液体吐出ヘッド２４は、図２～図１３に示す構成に限定されない。例えば、液体吐出ヘッド２４は、図１４に示すようにノズル流路Ｎｆａがノズル基板３１に設けられる構成であってもよい。この構成の場合、以下の関係１および関係２を満たすことが好ましい。
関係１：ｈａ≦ＷａならばＡ≧Ｂ。
関係２：ｈａ＞ＷａならばＡ＜Ｂ。
なお、前述した「Ａ」は第１連通流路Ｎａ１のＸＹ平面における流路断面積であり、「Ｂ」はノズル流路ＮｆａのＺＹ平面における流路断面積である。「Ａ」および「Ｂ」の定義は、以下の説明でも同様である。
（変形例２）
図１５は、変形例に係る図２のａ－ａ線の断面図である。前述の態様では、ノズル流路Ｎｆａが連通板３３に設けられる構成を例示したが、ノズル流路Ｎｆａは、図１５に示すように、ノズル基板３１と連通板３３とにまたがって設けられてもよい。この構成の場合、前述の関係１および関係２を満たすことが好ましい。
（変形例３）
図１６は、変形例に係る図２のａ－ａ線の断面図である。前述の態様では、ノズル基板３１が連通板３３に設けられる構成を例示したが、ノズル基板３１と連通板３３との間に連通板４６が設けられてもよい。この場合、ノズル流路Ｎｆａは、図１６に示すように、連通板４６に設けられる。変形例３で例示した構成の場合、前述の関係１および関係２を満たすことが好ましい。なお、連通板４６は特許請求の範囲の「第２連通板」の一例である。
（変形例４）
図１７は変形例に係る図２のａ－ａ線の断面図であり、図１８は図１７のｅ－ｅ線の部分断面図である。前述の態様では、第１連通流路Ｎａ１のＺ１方向の幅と第２連通流路Ｎａ２のＺ１方向の幅が同一である構成を例示したが、第１連通流路Ｎａ１と第２連通流路Ｎａ２のＺ１方向の幅が互いに異なっていてもよい。この構成の場合、例えば、第１連通流路Ｎａ１のＺ１方向における幅ｈａ１は、図１７に示すように、第２連通流路Ｎａ２のＺ１方向における幅ｈａ２よりも大きい。また、第１連通流路Ｎａ１のＹ２方向における幅Ｄａ１は、図１８に示すように、第２連通流路Ｎａ２のＹ２方向における幅Ｄａ２よりも小さい。この構成により、第１実施形態と同様の作用効果が得られる。なお、液体吐出ヘッド２４に変形例４に係る構成が採用された場合、以下の関係３～関係８を満たすことが好ましい。なお。後述する「Ｃ」は、第２連通流路Ｎａ２のＸＹ平面における流路断面積である。
関係３：ｈａ１≦Ｗａ≦ｈａ２ならばＡ≧Ｂ≧Ｃ。
関係４：ｈａ１＜Ｗａ＜ｈａ２ならばＡ＞Ｂ＞Ｃ。
関係５：Ｗａ≦ｈａ２＜ｈａ１ならばＢ≧Ｃ＞Ａ。
関係６：Ｗａ＜ｈａ１＜ｈａ２ならばＢ＞Ａ＞Ｃ。
関係７：ｈａ２＜ｈａ１≦ＷａならばＣ＞Ａ≧Ｂ。
関係８：ｈａ２＜Ｗａ＜ｈａ１ならばＣ＞Ｂ＞Ａ。
（変形例５）
図１９は、変形例に係る液体吐出ヘッド２４をＺ軸から見たときの液体吐出ヘッド２４内の流路構造を示す模式図である。図２０は図１９のａ－ａ線の断面図であり、図２１は図１９のｂ－ｂ線の断面図である。
前述の態様では、液体吐出ヘッド２４がインクを循環させる方向の上流側に圧力室Ｃａ１および圧力室Ｃｂ１が設けられ、下流側に圧力室Ｃａ２および圧力室Ｃｂ２が設けられるが、上流側に圧力室Ｃａ２および圧力室Ｃｂ２が設けられ、下流側に圧力室Ｃａ１および圧力室Ｃｂ１が設けられてもよい。
この構成の場合、図２０に示すように、供給流路Ｒａ１は圧力室Ｃａ２に連通し、第１共通液室Ｒ１から供給されたインクを圧力室Ｃａ２へ導く流路である。同様に、供給流路Ｒｂ１は、図２１に示すように、圧力室Ｃｂ２に連通し、第１共通液室Ｒ１から供給されたインクを圧力室Ｃｂ２へ導く流路である。変形例５に係る供給流路２６５は供給流路Ｒａ１と供給流路Ｒｂ１とに共通に液体を供給する。
また、変形例５に係る液体吐出ヘッド２４の排出流路Ｒａ２は、図２０に示すように、圧力室Ｃａ１に連通し、圧力室Ｃａ１から押し出されたインクを第２共通液室Ｒ２へ導く流路である。同様に、排出流路Ｒｂ２は、図２１に示すように、圧力室Ｃｂ１に連通し、圧力室Ｃｂ１から押し出されたインクを第２共通液室Ｒ２へ導く流路である。変形例５に係る循環流路２６４は、第２共通液室Ｒ２と貯留容器２６３とを連通させる流路であり、第２共通液室Ｒ２を介して排出流路Ｒａ２と排出流路Ｒｂ２とから共通にインクを排出する。
（変形例６）
圧力室Ｃ内のインクの圧力を変化させるエネルギー生成素子は、前述の形態で例示した圧電素子４１に限定されない。例えば、加熱により圧力室Ｃの内部に気泡を発生させることでインクの圧力を変動させる発熱素子をエネルギー生成素子として利用してもよい。
（変形例７）
前述の形態では、液体吐出ヘッド２４を搭載した搬送体２３１を往復させるシリアル方式の液体吐出装置１００を例示したが、複数のノズルＮが媒体１１の全幅にわたり分布するライン方式の液体吐出装置にも本発明は適用される。
Ｆ：補足
液体吐出装置１００の構成は図２～図２１で例示された構成に限定されず、例えば、これらの図に示された構成以外のインクを循環する一般的な液体吐出装置であってもよい。さらに、前述の形態で例示した液体吐出装置１００は、印刷に専用される機器のほか、ファクシミリ装置やコピー機等の各種の機器に採用されてもよく、本発明の用途は特に限定されない。もっとも、液体吐出装置の用途は印刷に限定されない。例えば、色材の溶液を吐出する液体吐出装置は、液晶表示パネル等の表示装置のカラーフィルターを形成する製造装置として利用される。また、導電材料の溶液を噴出する液体吐出装置は、配線基板の配線や電極を形成する製造装置として利用される。また、生体に関する有機物の溶液を噴出する液体吐出装置は、例えばバイオチップを製造する製造装置として利用される。
加えて、本明細書に記載された効果は、あくまで説明的または例示的なものであって限定的ではない。つまり、本発明は、上記の効果とともに、または上記の効果に代えて、本明細書の記載から当業者には明らかな他の効果を奏しうる。
以上、添付図面を参照しながら本発明の好適な実施形態について詳細に説明したが、本発明はかかる例に限定されない。本発明の技術分野における通常の知識を有する者であれば、特許請求の範囲に記載された技術的思想の範疇内において、各種の変更例または修正例に想到し得ることは明らかであり、これらについても、当然に本発明の技術的範囲に属するものと了解される。
Ｇ：付記
以上に例示した形態から、例えば以下の構成が把握される。
なお、本願において、要素Ａと要素Ｂとが特定の方向に見て「重なる」とは、当該方向に沿ってみた場合に、要素Ａの少なくとも一部と要素Ｂの少なくとも一部とが相互に重複することを意味する。要素Ａの全部と要素Ｂの全部とが相互に重なる必要はなく、要素Ａの少なくとも一部と要素Ｂの少なくとも一部とが重なれば、「要素Ａと要素Ｂとは重なる」と解釈される。
本開示のひとつの態様（態様１）に係る液体吐出ヘッドは、第１方向に延在し、液体に圧力を付与する第１圧力室と、前記第１方向に延在し、液体に圧力を付与する第２圧力室と、前記第１方向に延在し、液体を吐出する第１ノズルが設けられる第１ノズル流路と、前記第１方向と交差する第２方向に延在し、前記第１圧力室と前記第１ノズル流路とに連通する第１連通流路と、前記第２方向に延在し、前記第２圧力室と前記第１ノズル流路とに連通する第２連通流路と、を具備し、前記第１ノズル流路の前記第１方向における幅は、前記第１連通流路の前記第２方向における幅よりも大きく、前記第１方向および前記第２方向に交差する第３方向における前記第１ノズル流路の幅は、前記第３方向における前記第１連通流路の幅よりも小さい。この態様によれば、第１連通流路での流路抵抗の増加を抑制しつつ第１ノズル流路での構造クロストークを低減することができる。
態様１の具体例（態様２）によれば、第１方向に延在し、液体に圧力を付与する第３圧力室と、前記第１方向に延在し、液体に圧力を付与する第４圧力室と、前記第１方向に延在し、液体を吐出する第２ノズルが設けられる第２ノズル流路と、前記第２方向に延在し、前記第３圧力室と前記第２ノズル流路とに連通する第３連通流路と、前記第２方向に延在し、前記第４圧力室と前記第２ノズル流路とに連通する第４連通流路と、をさらに具備し、前記第２ノズル流路の前記第１方向における幅は、前記第３連通流路の前記第２方向における幅よりも大きく、前記第３方向における前記第２ノズル流路の幅は、前記第３方向における前記第３連通流路の幅よりも小さい。この態様によれば、第２連通流路での流路抵抗の増加を抑制しつつ第２ノズル流路での構造クロストークを低減することができる。
態様２の具体例（態様３）によれば、前記第１ノズル流路と前記第２ノズル流路は、前記第３方向に隣接する。
態様３の具体例（態様４）によれば、前記第１ノズル流路と前記第２ノズル流路との間に設けられた隔壁の厚さは、前記第１連通流路と前記第３連通流路との間に設けられた隔壁の厚さよりも厚い。この態様によれば、第１ノズル流路および第２ノズル流路のうち一方のノズル流路内で振動が生じたとしても他方のノズル流路まで伝搬しにくい。よって、第１連通流路と第３連通流路との間における構造クロストークが低減される。
態様２から態様４のいずれかの具体例（態様５）によれば、前記第１圧力室に連通し、前記第１圧力室に液体を供給する第１個別供給流路と、前記第３圧力室に連通し、前記第３圧力室に液体を供給する第２個別供給流路と、前記第１個別供給流路と前記第２個別供給流路に共通に液体を供給する共通供給流路と、前記第２圧力室に連通し、前記第２圧力室から液体が排出される第１個別排出流路と、前記第４圧力室に連通し、前記第４圧力室から液体が排出される第２個別排出流路と、前記第１個別排出流路と前記第２個別排出流路から共通に液体が排出される共通排出流路と、をさらに具備する。
態様２から態様４のいずれかの具体例（態様６）によれば、前記第２圧力室に連通し、前記第２圧力室に液体を供給する第１個別供給流路と、前記第４圧力室に連通し、前記第４圧力室に液体を供給する第２個別供給流路と、前記第１個別供給流路と前記第２個別供給流路に共通に液体を供給する共通供給流路と、前記第３圧力室に連通し、前記第３圧力室から液体が排出される第１個別排出流路と、前記第１圧力室に連通し、前記第１圧力室から液体が排出される第２個別排出流路と、前記第１個別排出流路と前記第２個別排出流路から共通に液体が排出される共通排出流路と、をさらに具備する。
態様１から態様６のいずれかの具体例（態様７）によれば、前記第１ノズル流路の前記第１方向における幅は、前記第２連通流路の前記第２方向における幅よりも大きく、前記第３方向における前記第１ノズル流路の幅は、前記第２連通流路の前記第３方向における幅よりも小さい。この態様によれば、第２連通流路での流路抵抗の増加を抑制しつつ第１ノズル流路での構造クロストークを低減することができる。
態様１から態様７のいずれかの具体例（態様８）によれば、前記第１連通流路の前記第２方向における幅は、前記第２連通流路の前記第２方向における幅よりも大きく、前記第１連通流路の前記第３方向における幅は、前記第２連通流路の前記第３方向における幅よりも小さい。
態様１から態様８のいずれかの具体例（態様９）によれば、前記第１方向から見たときの前記第１ノズル流路の断面積は、前記第２方向から見たときの前記第１連通流路の断面積よりも小さい。
態様１から態様９のいずれかの具体例（態様１０）によれば、前記第１圧力室と前記第２圧力室とが形成される圧力室基板と、前記第１連通流路と前記第２連通流路とが形成される第１連通板と、前記第１ノズルが形成されるノズル基板と、をさらに具備する。
態様１０の具体例（態様１１）によれば、前記第１ノズル流路は、前記第１連通板に形成される。
態様１０の具体例（態様１２）によれば、前記第１ノズル流路は、前記ノズル基板に形成される。
態様１０の具体例（態様１３）によれば、前記第１ノズル流路は、前記第１連通板と前記ノズル基板にまたがって形成される。
態様１０の具体例（態様１４）によれば、前記第１ノズル流路が設けられる第２連通板をさらに具備し、前記第２連通板は、前記第１連通板と前記ノズル基板との間に設けられる。
態様１０の具体例（態様１５）によれば、前記第１連通流路の前記第２方向における幅は、前記第２連通流路の前記第２方向における幅と異なる。
態様１から態様１５のいずれかの具体例（態様１６）によれば、駆動電圧が印可されることで、前記第１圧力室の液体に圧力を付与するためのエネルギーを生成する第１エネルギー生成素子と、駆動電圧が印可されることで、前記第２圧力室の液体に圧力を付与するためのエネルギーを生成する第２エネルギー生成素子と、をさらに具備する。
本開示のひとつの態様（態様１７）に係る液体吐出ヘッドは、第１方向に延在し、液体に圧力を付与する第１圧力室と、前記第１方向に延在し、液体に圧力を付与する第２圧力室と、前記第１方向に延在し、液体を吐出する第１ノズルが設けられる第１ノズル流路と、前記第１方向と交差する第２方向に延在し、前記第１圧力室と前記第１ノズル流路とに連通する第１連通流路と、前記第２方向に延在し、前記第２圧力室と前記第１ノズル流路とに連通する第２連通流路と、を具備し、前記第１ノズル流路の前記第１方向における幅は、前記第１連通流路の前記第２方向における幅よりも大きく、前記第１方向から見たときの前記第１ノズル流路の断面積は、前記第２方向から見たときの前記第１連通流路の断面積よりも小さい。
本開示のひとつの態様（態様１８）に係る液体吐出ヘッドは、第１方向に延在し、液体に圧力を付与する第１圧力室と、前記第１方向に延在し、液体に圧力を付与する第２圧力室と、前記第１方向に延在し、液体を吐出する第１ノズルが設けられる第１ノズル流路と、前記第１方向と交差する第２方向に延在し、前記第１圧力室と前記第１ノズル流路とに連通する第１連通流路と、前記第２方向に延在し、前記第２圧力室と前記第１ノズル流路とに連通する第２連通流路と、を具備し、前記第１ノズル流路の前記第１方向における幅は、前記第１連通流路の前記第２方向における幅よりも小さく、前記第１方向および前記第２方向に交差する第３方向における前記第１ノズル流路の幅は、前記第３方向における前記第１連通流路の幅よりも大きい。この態様によれば、第１ノズル流路での流路抵抗の増加を抑制しつつ、第１連通流路での構造クロストークを低減することができる。
本開示のひとつの態様（態様１９）に係る液体吐出ヘッドは、第１方向に延在し、液体に圧力を付与する第１圧力室と、前記第１方向に延在し、液体に圧力を付与する第２圧力室と、前記第１方向に延在し、液体を吐出する第１ノズルが設けられる第１ノズル流路と、前記第１方向と交差する第２方向に延在し、前記第１圧力室と前記第１ノズル流路とに連通する第１連通流路と、前記第２方向に延在し、前記第２圧力室と前記第１ノズル流路とに連通する第２連通流路と、を具備し、前記第１ノズル流路の前記第１方向における幅は、前記第１連通流路の前記第２方向における幅よりも小さく、前記第１方向から見たときの前記第１ノズル流路の断面積は、前記第２方向から見たときの前記第１連通流路の断面積よりも小さい。
本開示のひとつの態様（態様２０）に係る液体吐出装置は、態様１から態様１９のいずれか一項に記載の液体吐出ヘッドと、前記液体吐出ヘッドの吐出動作を制御する制御部とを具備する。
４１…圧電素子、２６４…循環流路、供給流路…２６５、圧力室…Ｃ,Ｃａ,Ｃｂ,Ｃａ１,Ｃａ２,Ｃｂ１,Ｃｂ２、Ｎａ１…第１連通流路、Ｎａ２…第２連通流路、Ｎｂ１…第３連通流路、Ｎｂ２…第４連通流路、Ｎｆａ，Ｎｆｂ…ノズル流路、Ｒａ１,Ｒｂ１…供給流路、Ｒａ２,Ｒｂ２…排出流路。

Claims (21)

  1. 液体に圧力を付与する第１圧力室と、
    液体に圧力を付与する第２圧力室と、
    第１方向に延在し、液体を吐出する第１ノズルが設けられる第１ノズル流路と、
    前記第１方向と交差する第２方向に延在し、前記第１圧力室と前記第１ノズル流路とに連通する第１連通流路と、
    前記第２方向に延在し、前記第２圧力室と前記第１ノズル流路とに連通する第２連通流路と、を具備し、
    前記第１ノズルから液体を吐出するとき、前記第１圧力室、前記第１連通流路、前記第１ノズル流路、前記第２連通流路、前記第２圧力室の順に流れる液体の流れが形成されており、
    前記第１ノズル流路の前記第１方向における幅は、前記第１連通流路の前記第２方向における幅よりも大きく、
    前記第１方向および前記第２方向に交差する第３方向における前記第１ノズル流路の幅は、前記第３方向における前記第１連通流路の幅よりも小さい
    ことを特徴とする液体吐出ヘッド。
  2. 液体に圧力を付与する第１圧力室と、
    液体に圧力を付与する第２圧力室と、
    第１方向に延在し、液体を吐出する第１ノズルが設けられる第１ノズル流路と、
    前記第１方向と交差する第２方向に延在し、前記第１圧力室と前記第１ノズル流路とに連通する第１連通流路と、
    前記第２方向に延在し、前記第２圧力室と前記第１ノズル流路とに連通する第２連通流路と、
    駆動電圧が印可されることで、前記第１圧力室の液体に圧力を付与するためのエネルギーを生成する第１エネルギー生成素子と、
    駆動電圧が印可されることで、前記第２圧力室の液体に圧力を付与するためのエネルギーを生成する第２エネルギー生成素子と、を具備し、
    前記第１ノズル流路の前記第１方向における幅は、前記第１連通流路の前記第２方向における幅よりも大きく、
    前記第１方向および前記第２方向に交差する第３方向における前記第１ノズル流路の幅は、前記第３方向における前記第１連通流路の幅よりも小さい
    ことを特徴とする液体吐出ヘッド。
  3. 液体に圧力を付与する第３圧力室と、
    液体に圧力を付与する第４圧力室と、
    前記第１方向に延在し、液体を吐出する第２ノズルが設けられる第２ノズル流路と、
    前記第２方向に延在し、前記第３圧力室と前記第２ノズル流路とに連通する第３連通流路と、
    前記第２方向に延在し、前記第４圧力室と前記第２ノズル流路とに連通する第４連通流路と、をさらに具備し、
    前記第２ノズル流路の前記第１方向における幅は、前記第３連通流路の前記第２方向における幅よりも大きく、
    前記第３方向における前記第２ノズル流路の幅は、前記第３方向における前記第３連通流路の幅よりも小さい
    ことを特徴とする請求項１または２に記載の液体吐出ヘッド。
  4. 前記第１ノズル流路と前記第２ノズル流路は、前記第３方向に隣接する
    ことを特徴とする請求項３に記載の液体吐出ヘッド。
  5. 前記第１ノズル流路と前記第２ノズル流路との間に設けられた隔壁の厚さは、前記第１連通流路と前記第３連通流路との間に設けられた隔壁の厚さよりも厚い
    ことを特徴とする請求項４に記載の液体吐出ヘッド。
  6. 前記第１圧力室に連通し、前記第１圧力室に液体を供給する第１個別供給流路と、
    前記第３圧力室に連通し、前記第３圧力室に液体を供給する第２個別供給流路と、
    前記第１個別供給流路と前記第２個別供給流路に共通に液体を供給する共通供給流路と、
    前記第２圧力室に連通し、前記第２圧力室から液体が排出される第１個別排出流路と、
    前記第４圧力室に連通し、前記第４圧力室から液体が排出される第２個別排出流路と、
    前記第１個別排出流路と前記第２個別排出流路から共通に液体が排出される共通排出流路と、をさらに具備する
    ことを特徴とする請求項３から請求項５のいずれか一項に記載の液体吐出ヘッド。
  7. 前記第２圧力室に連通し、前記第２圧力室に液体を供給する第１個別供給流路と、
    前記第４圧力室に連通し、前記第４圧力室に液体を供給する第２個別供給流路と、
    前記第１個別供給流路と前記第２個別供給流路に共通に液体を供給する共通供給流路と、
    前記第３圧力室に連通し、前記第３圧力室から液体が排出される第１個別排出流路と、
    前記第１圧力室に連通し、前記第１圧力室から液体が排出される第２個別排出流路と、
    前記第１個別排出流路と前記第２個別排出流路から共通に液体が排出される共通排出流路と、をさらに具備する
    ことを特徴とする請求項３から請求項５のいずれか一項に記載の液体吐出ヘッド。
  8. 前記第１ノズル流路の前記第１方向における幅は、前記第２連通流路の前記第２方向における幅よりも大きく、
    前記第１ノズル流路の前記第３方向における幅は、前記第２連通流路の前記第３方向における幅よりも小さい
    ことを特徴とする請求項１から請求項７のいずれか一項に記載の液体吐出ヘッド。
  9. 液体に圧力を付与する第１圧力室と、
    液体に圧力を付与する第２圧力室と、
    第１方向に延在し、液体を吐出する第１ノズルが設けられる第１ノズル流路と、
    前記第１方向と交差する第２方向に延在し、前記第１圧力室と前記第１ノズル流路とに連通する第１連通流路と、
    前記第２方向に延在し、前記第２圧力室と前記第１ノズル流路とに連通する第２連通流路と、を具備し、
    前記第１ノズル流路の前記第１方向における幅は、前記第１連通流路の前記第２方向における幅よりも大きく、
    前記第１方向および前記第２方向に交差する第３方向における前記第１ノズル流路の幅は、前記第３方向における前記第１連通流路の幅よりも小さく、
    前記第１連通流路の前記第２方向における幅は、前記第２連通流路の前記第２方向における幅よりも大きく、
    前記第１連通流路の前記第３方向における幅は、前記第２連通流路の前記第３方向における幅よりも小さい
    ことを特徴とする液体吐出ヘッド。
  10. 前記第１方向から見たときの前記第１ノズル流路の断面積は、前記第２方向から見たときの前記第２連通流路の断面積よりも小さい
    ことを特徴とする請求項１から請求項９のいずれか一項に記載の液体吐出ヘッド。
  11. 前記第１圧力室と前記第２圧力室とが形成される圧力室基板と、
    前記第１連通流路と前記第２連通流路とが形成される第１連通板と、
    前記第１ノズルが形成されるノズル基板と、をさらに具備する
    ことを特徴とする請求項１から請求項１０のいずれか一項に記載の液体吐出ヘッド。
  12. 前記第１ノズル流路は、前記第１連通板に形成される
    ことを特徴とする請求項１１に記載の液体吐出ヘッド。
  13. 前記第１ノズル流路は、前記ノズル基板に形成される
    ことを特徴とする請求項１１に記載の液体吐出ヘッド。
  14. 前記第１ノズル流路は、前記第１連通板と前記ノズル基板にまたがって形成される
    ことを特徴とする請求項１１に記載の液体吐出ヘッド。
  15. 前記第１ノズル流路が設けられる第２連通板をさらに具備し、
    前記第２連通板は、前記第１連通板と前記ノズル基板との間に設けられる
    ことを特徴とする請求項１１に記載の液体吐出ヘッド。
  16. 液体に圧力を付与する第１圧力室と、
    液体に圧力を付与する第２圧力室と、
    第１方向に延在し、液体を吐出する第１ノズルが設けられる第１ノズル流路と、
    前記第１方向と交差する第２方向に延在し、前記第１圧力室と前記第１ノズル流路とに連通する第１連通流路と、
    前記第２方向に延在し、前記第２圧力室と前記第１ノズル流路とに連通する第２連通流路と、
    前記第１圧力室と前記第２圧力室とが形成される圧力室基板と、
    前記第１連通流路と前記第２連通流路とが形成される第１連通板と、
    前記第１ノズルが形成されるノズル基板と、を具備し、
    前記第１ノズル流路の前記第１方向における幅は、前記第１連通流路の前記第２方向における幅よりも大きく、
    前記第１方向および前記第２方向に交差する第３方向における前記第１ノズル流路の幅は、前記第３方向における前記第１連通流路の幅よりも小さく、
    前記第１連通流路の前記第２方向における幅は、前記第２連通流路の前記第２方向における幅と異なる
    ことを特徴とする液体吐出ヘッド。
  17. 液体に圧力を付与する第１圧力室と、
    液体に圧力を付与する第２圧力室と、
    第１方向に延在し、液体を吐出する第１ノズルが設けられる第１ノズル流路と、
    前記第１方向と交差する第２方向に延在し、前記第１圧力室と前記第１ノズル流路とに連通する第１連通流路と、
    前記第２方向に延在し、前記第２圧力室と前記第１ノズル流路とに連通する第２連通流路と、を具備し、
    前記第１ノズルから液体を吐出するとき、前記第１圧力室、前記第１連通流路、前記第１ノズル流路、前記第２連通流路、前記第２圧力室の順に流れる液体の流れが形成されており、
    前記第１ノズル流路の前記第１方向における幅は、前記第１連通流路の前記第２方向における幅よりも大きく、
    前記第１方向から見たときの前記第１ノズル流路の断面積は、前記第２方向から見たときの前記第１連通流路の断面積よりも小さい
    ことを特徴とする液体吐出ヘッド。
  18. 液体に圧力を付与する第１圧力室と、
    液体に圧力を付与する第２圧力室と、
    第１方向に延在し、液体を吐出する第１ノズルが設けられる第１ノズル流路と、
    前記第１方向と交差する第２方向に延在し、前記第１圧力室と前記第１ノズル流路とに連通する第１連通流路と、
    前記第２方向に延在し、前記第２圧力室と前記第１ノズル流路とに連通する第２連通流路と、
    駆動電圧が印可されることで、前記第１圧力室の液体に圧力を付与するためのエネルギーを生成する第１エネルギー生成素子と、
    駆動電圧が印可されることで、前記第２圧力室の液体に圧力を付与するためのエネルギーを生成する第２エネルギー生成素子と、を具備し、
    前記第１ノズル流路の前記第１方向における幅は、前記第１連通流路の前記第２方向における幅よりも大きく、
    前記第１方向から見たときの前記第１ノズル流路の断面積は、前記第２方向から見たときの前記第１連通流路の断面積よりも小さい
    ことを特徴とする液体吐出ヘッド。
  19. 液体に圧力を付与する第１圧力室と、
    液体に圧力を付与する第２圧力室と、
    第１方向に延在し、液体を吐出する第１ノズルが設けられる第１ノズル流路と、
    前記第１方向と交差する第２方向に延在し、前記第１圧力室と前記第１ノズル流路とに連通する第１連通流路と、
    前記第２方向に延在し、前記第２圧力室と前記第１ノズル流路とに連通する第２連通流路と、を具備し、
    前記第１ノズル流路の前記第１方向における幅は、前記第１連通流路の前記第２方向における幅よりも小さく、
    前記第１方向および前記第２方向に交差する第３方向における前記第１ノズル流路の幅は、前記第３方向における前記第１連通流路の幅よりも大きい
    ことを特徴とする液体吐出ヘッド。
  20. 液体に圧力を付与する第１圧力室と、
    液体に圧力を付与する第２圧力室と、
    第１方向に延在し、液体を吐出する第１ノズルが設けられる第１ノズル流路と、
    前記第１方向と交差する第２方向に延在し、前記第１圧力室と前記第１ノズル流路とに連通する第１連通流路と、
    前記第２方向に延在し、前記第２圧力室と前記第１ノズル流路とに連通する第２連通流路と、を具備し、
    前記第１ノズル流路の前記第１方向における幅は、前記第１連通流路の前記第２方向における幅よりも小さく、
    前記第１方向から見たときの前記第１ノズル流路の断面積は、前記第２方向から見たときの前記第１連通流路の断面積よりも大きい
    ことを特徴とする液体吐出ヘッド。
  21. 請求項１から請求項２０のいずれか一項に記載の液体吐出ヘッドと、
    前記液体吐出ヘッドの吐出動作を制御する制御部と
    を具備する液体吐出装置。
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