JP2019177587A - 液体吐出装置 - Google Patents

Abstract

【課題】液体の乾燥によるノズルの吐出不良を防止する液体吐出装置の提供。【解決手段】ノズルプレート２０とノズルプレートと接合された流路ユニット２１と、を備え、流路ユニットは第１流路部材と第１流路部材と接合された第２流路部材と、を有し、第２流路部材には第１圧力室２１１ａと、第２圧力室２１１ｂと、第１開口２７２ａと、第２開口２７２ｂと、第１圧力室と第１開口とを接続する第１接続路２１３ａと、第２圧力室と第２開口とを接続する第２接続路２１３ｂと、が形成され、第１流路部材には第１開口を通じて第１接続路と連通し且つ第２開口を通じて第２接続路と連通することにより、第１圧力室と第２圧力室とを連結する第３接続路２１４が形成され、第１面と平行な方向を第１方向とするとき、第３接続路のノズルと連通する連通部分の第１方向に垂直な断面における断面積が第３接続路の他の部分の第１方向に垂直な断面における断面積よりも小さい。【選択図】図４

Description

本発明は、ノズルから液体を吐出する液体吐出装置に関する。

液体吐出装置として、例えば特許文献１に開示されるように、一つのノズルに対応して配置された２つのピエゾ素子を備え、ノズル近傍のインクを循環させる液体吐出装置が知られている。

特開２０１１−２４５７９５号公報

ところで、上記構成を有する液体吐出装置では、ノズル近傍のインクを循環させることで液体を流通させたとしても、その流速が遅いと、増粘したインクや固化したインクを下流側に流し出すことが困難となり、増粘したインクや固化したインクがノズル近傍に留まるおそれがある。

そこで本発明は、圧力室と、ノズルが配置された連結路とを備える液体吐出装置において、液体の乾燥によるノズルの吐出不良を防止することを目的とする。

上記課題を解決するために、本発明の一態様に係る液体吐出装置は、ノズルを有するノズルプレートと、前記ノズルプレートに対向する第１面を有し、前記第１面が前記ノズルプレートと接合された流路ユニットと、を備え、前記流路ユニットは、前記第１面を有する第１流路部材と、前記第１流路部材に対向する第２面を有し且つ前記第２面が前記第１流路部材と接合された第２流路部材と、を有し、前記第２流路部材には、第１圧力室と、第２圧力室と、前記第２面により画定される第１開口と、前記第２面により画定される第２開口と、前記第１圧力室と前記第１開口とを接続する第１接続路と、前記第２圧力室と前記第２開口とを接続する第２接続路と、が形成され、前記第１流路部材には、前記第１開口を通じて前記第１接続路と連通し且つ前記第２開口を通じて前記第２接続路と連通することにより、前記第１圧力室と前記第２圧力室とを連結する第３接続路が形成され、前記第１面と平行な方向を第１方向とするとき、前記第３接続路の前記ノズルと連通する連通部分の前記第１方向に垂直な断面における断面積が、前記第３接続路の他の部分の前記第１方向に垂直な断面における断面積よりも小さい。

また、本発明の別の態様に係る液体吐出装置は、ノズルを有するノズルプレートと、前記ノズルプレートに対向する第１面を有し、前記第１面が前記ノズルプレートと接合された流路ユニットと、を備え、前記流路ユニットには、第１圧力室と、第２圧力室と、前記第１圧力室と前記第２圧力室とを連結する連結路と、が形成され、前記第１面には、前記連結路の前記ノズルプレート側の端部の輪郭を画定する開口が形成されており、前記開口は、前記ノズルプレートで覆われており、前記第１圧力室と前記第２圧力室とは、前記第１面と平行な方向である第１方向に沿って並んでおり、前記連結路は、前記ノズルと連通する連通部分の前記第１方向に垂直な断面における断面積が、前記第１圧力室及び前記第２圧力室の前記第１方向に垂直な各断面における断面積よりも小さい。

上記各構成によれば、連結路において、連通部分を流通する液体の流速を高速化できるため、ノズル近傍に乾燥した液体が留まることを防止できる。

本発明によれば、圧力室と、ノズルが配置された連結路とを備える液体吐出装置において、液体の乾燥によるノズルの吐出不良を防止できる。

第１実施形態に係るプリンタの概略構成図である。 図１のインクジェットヘッドの平面図である。 図２の一点鎖線で囲んだ部分の拡大図である。 図３のＩＶ−ＩＶ線矢視断面図である。 図４の拡大図である。 図４の流路の拡大図である。 図４の流路の斜視図である。 第１実施形態の変形例に係るインクジェットヘッドの断面図である。 図８の流路の拡大図である。 第２実施形態に係るインクジェットヘッドの断面図である。 図１０の流路の拡大図である。 第２実施形態の変形例に係るインクジェットヘッドの断面図である。 第３実施形態に係るインクジェットヘッドの平面図である。 図１３のＸＩＶ−ＸＩＶ線矢視断面図である。 図１３のＸＶ−ＸＶ線矢視断面図である。 第４実施形態に係るインクジェットヘッドの断面図である。

以下、図面を参照して各実施形態を説明する。以下の説明において、面Ｓ１は、第１面に相当し、面Ｓ２は、第２面に相当し、面Ｓ３は、第３面に相当する。また、プレート３７は、第１流路部材に相当し、プレート３１〜３６の積層体は、第２流路部材に相当する。またディセンダ流路２１３ａは、第１接続路に相当し、ディセンダ流路２１３ｂは、第２接続路に相当し、流路２１４は、第３接続路に相当する。

また開口３６ａは、第１開口に相当し、開口３６ｂは、第２開口に相当する。また圧力室２１１ａ，４１１ａは、第１圧力室に相当し、圧力室２１１ｂ，４１１ｂは、第２圧力室に相当する。また開口２７２ａは、第３開口に相当し、開口２７２ｂは、第４開口に相当する。また部分２１９ａは、第１部分に相当し、部分２１９ｂは、第２部分に相当する。

（第１実施形態）
＜プリンタの全体構成＞
図１は、第１実施形態に係るプリンタ１の概略構成図である。プリンタ１は、液体吐出システムの一例である。図１に示すように、プリンタ１は、キャリッジ２、インクジェットヘッド３、プラテン４、搬送ローラ５，６、加圧タンク１１、負圧タンク１２、エアポンプＰ１，Ｐ２、インクポンプＰ３、タンク１４、及び制御部１５を備える。

キャリッジ２は、走査方向に延びた２本のガイドレール７，８に支持され、ガイドレール７，８に沿って、インクジェットヘッド３と共に所定の走査方向に往復移動する。以下では、図１の紙面右側を走査方向右側、紙面左側を走査方向左側と定義する。

インクジェットヘッド３は、液体吐出装置の一例であり、キャリッジ２に搭載されている。インクジェットヘッド３は、後述するように、液体の一例としてインクを吐出する７２個のノズル２０１（図２参照）、４つの供給口３ａ、及び３つの排出口３ｂが設けられている。なお図１では、図示都合上、単一の供給口３ａと排出口３ｂとを示している。

供給口３ａには、配管９の一端が接続され、排出口３ｂには、配管９の他端が接続されている。配管９の途中には、加圧タンク１１、負圧タンク１２、及びインクポンプＰ３が接続されている。加圧タンク１１にはインクが貯留されている。加圧タンク１１には、空気によりインクを加圧するエアポンプＰ２と、インクを加圧タンク１１へ供給する供給タンク１４とが接続されている。加圧タンク１１は、配管９の供給口３ａに近接する部分に接続されている。エアポンプＰ２が加圧タンク１１内の空気の圧力を高めることにより加圧タンク１１内のインクが加圧され、加圧タンク１１に貯留されたインクは、配管９に供給される。

負圧タンク１２にはインクが貯留されている。負圧タンク１２には、空気によりインクを減圧するエアポンプＰ１が接続されている。負圧タンク１２は、配管９の排出口３ｂに近接する部分に接続されている。エアポンプＰ１が負圧タンク１２内の空気の圧力を減圧することにより、配管９を流通するインクの一部が、負圧タンク１２内へ吸い上げられる。

インクポンプＰ３は、配管９のタンク１１，１２の間の部分に配置されている。インクポンプＰ３は、負圧タンク１２から加圧タンク１１へインクを供給する。プリンタ１では、ポンプＰ１〜Ｐ３の駆動に伴い、インクが配管９及びインクジェットヘッド３の各内部を循環する。

プラテン４は、インクジェットヘッド３のノズル２０１と対向して配置され、走査方向と、走査方向に直交する搬送方向とに延びている。プラテン４には、記録シートＭが載置される。搬送ローラ５，６は、搬送方向に記録シートＭを搬送する。搬送ローラ５は、キャリッジ２よりも搬送方向上流側に配置され、搬送ローラ６は、キャリッジ２よりも搬送方向下流側に配置されている。制御部１５は、キャリッジ２、ポンプＰ１〜Ｐ３、ローラ５，６、及び圧電素子２２ｃ（図４参照）をそれぞれ個別に制御する。

プリンタ１では、制御部１５の制御により、記録シートＭが搬送ローラ５，６により搬送方向に所定距離ずつ搬送される毎に、キャリッジ２が走査方向に移動させられながら、インクジェットヘッド３の７２個のノズル２０１からインクが吐出する。これにより、記録シートＭに印刷が行われる。

＜インクジェットヘッド＞
図２は、図１のインクジェットヘッド３の平面図である。図３は、図２の一点鎖線で囲んだ部分Ａの拡大図である。図４は、図３のＩＶ−ＩＶ線矢視断面図である。図４では、紙面に垂直な方向が第２方向に相当する。図５は、図４の拡大図である。図２〜５に示すように、インクジェットヘッド３は、ノズルプレート２０、流路ユニット２１、及び圧電素子２２ｃを有する。

ノズルプレート２０は、ノズル２０１を有する。本実施形態のノズルプレート２０には、板厚方向に貫通する７２個のノズル２０１が形成されている。ノズルプレート２０では、それぞれ１２個のノズル２０１で構成された６列のノズル列が、走査方向に間隔をおいた所定位置に配置されている。また、各ノズル列の１２個のノズル２０１は、所定間隔をおいて搬送方向に沿って並べられている。

［流路ユニット］
流路ユニット２１は、ノズルプレート２０に対向する面Ｓ１を有する。面Ｓ１は、ノズルプレート２０と接合されている。流路ユニット２１には、７２個の圧力室２１１ａ，７２個の圧力室２１１ｂ、７２個の絞り流路２１２ａ，７２個の絞り流路２１２ｂ、７２個のディセンダ流路２１３ａ，７２個のディセンダ流路２１３ｂ、７２個の流路２１４、４つのマニホールド２１５ａ，３つのマニホールド２１５ｂ、４つのダンパ室２１６ａ，及び３つのダンパ室２１６ｂを有する。

圧力室２１１ａと圧力室２１１ｂとは、ディセンダ流路２１３ａ、流路２１４、及びディセンダ流路２１３ｂによって連結されている。流路２１４は、ディセンダ流路２１３ａとディセンダ流路２１３ｂとを接続する流路である。ここで流路ユニット２１には、連結路２６０が形成されている。本実施形態においては、ディセンダ流路２１３ａ、流路２１４、及びディセンダ流路２１３ｂから構成される流路を、連結路２６０と称す。

図４及び５に示すように、流路ユニット２１は、面Ｓ１に垂直な方向に７枚のプレート３１〜３７が積層された積層体により構成されている。プレート３１〜３７は、面Ｓ１に垂直な方向におけるプラテン４に近接する向きに、この順に積層されている。積層体における７枚のプレート３１〜３７は、互いに熱硬化性接着剤により接着されている。

プレート３７は、ノズルプレート２０と対向する面Ｓ１と、プレート３６と対向する面Ｓ３とを有する。面Ｓ１は、プレート３７の下面である。面Ｓ３は、プレート３７の上面である。プレート３７は、流路２１４を形成する空間２７０が形成されている。空間２７０のノズルプレート２０側の開口である開口２７１は、ノズルプレート２０によって覆われている。即ち、流路２１４のノズルプレート２０側の端部の輪郭は、開口２７１によって画定されている。

プレート３７の上面Ｓ３には、詳細を後述するように、開口３６ａを通じてディセンダ流路２１３ａと連通する開口２７２ａと、開口３６ｂを通じてディセンダ流路２１３ｂと連通する開口２７２ｂとが形成されている。

ここでインクジェットヘッド３は、ノズル２０１の数と同数の７２個の連結路２６０を有する。即ち、プレート３７の面Ｓ１は、ノズル２０１の数と同数の７２個の開口２７１を画定している。

プレート３６は、プレート３７に対向する面Ｓ２を有する。面Ｓ２はプレート３６の下面であり、プレート３７と接合されている。プレート３６には、７２個の開口３６ａと、７２個の開口３６ｂとが形成されている。開口３６ａは、ディセンダ流路２１３ａと、面Ｓ１と平行な方向に延在する流路２１４との境界となる開口である。開口３６ｂは、ディセンダ流路２１３ｂと、流路２１４との境界となる開口である。

面Ｓ２は、ノズル２０１の数と同数の７２個の開口３６ａと、ノズル２０１の数と同数の７２個の開口３６ｂとを画定している。開口３６ａは、ディセンダ流路２１３ａの面Ｓ２における開口であり、開口３６ｂは、ディセンダ流路２１３ｂの面Ｓ２における開口である。またプレート３６は、面Ｓ１と平行な方向である第１方向における開口３６ａと開口３６ｂとの間に配置された板部２１ｇを有する。

図２〜４に示すように、ノズル２０１の数と同数である７２個の圧力室２１１ａと、ノズル２０１の数と同数である７２個の圧力室２１１ｂは、プレート３１に形成されている。圧力室２１１ａ，２１１ｂは、それぞれ走査方向及び第１方向を長手方向とする形状を有する。面Ｓ１に垂直な方向から見た圧力室２１１ａ，２１１ｂの形状は矩形である。圧力室２１１ａ，２１１ｂは、それぞれ、走査方向と搬送方向とに平行な平面に沿って延びている。

７２個の圧力室２１１ａは、それぞれが１２個の圧力室２１１ａから構成される６列の圧力室列Ｑａを構成する。また、７２個の圧力室２１１ｂは、それぞれが１２個の圧力室２１１ｂから構成される６列の圧力室列Ｑｂを構成する。各圧力室列に属する１２個の圧力室２１１ａ、又は、１２個の圧力室２１１ｂは、互いに、所定の間隔をあけて搬送方向に沿って配列している。

６列の圧力室列Ｑａ、及び、６列の圧力室列Ｑｂは、搬送方向に沿って並んでいる。６列の圧力室列Ｑａ、及び、６列の圧力室列Ｑｂは、走査方向の左側から右側に向かって、Ｑａ、Ｑｂ、Ｑｂ、Ｑａ、Ｑａ、Ｑｂ、Ｑｂ、Ｑａ、Ｑａ，Ｑｂ、Ｑｂ、Ｑａの順に並んでいる。

即ち、走査方向左右両側の２つの圧力室列Ｑａを除き、圧力室列Ｑａと、圧力室列Ｑｂとが、走査方向に２つずつ連続しながら配列されている。走査方向に隣接する圧力室列Ｑａと圧力室列Ｑｂでは、圧力室２１１ａ，２１１ｂの搬送方向におけるピッチが互いにずれている。

プレート３２〜３６は、４つのマニホールド２１５ａと、３つのマニホールド２１５ｂとを画定する。各マニホールド２１５ａは、搬送方向に延び、その長手方向一端が供給口３ａと繋っている。また、各マニホールド２１５ｂは、搬送方向に延び、その長手方向一端が、排出口３ｂと繋っている。

４つのマニホールド２１５ａと、３つのマニホールド２１５ｂとは、走査方向に並んでいる。マニホールド２１５ａ、２１５ｂは、走査方向の左側から右側へ向かって、２１５ａ、２１５ｂ，２１５ａ、２１５ｂ、２１５ａ、２１５ｂ、２１５ａの順に並んでいる。

圧力室２１１ａは、絞り流路２１２ａを介してマニホールド２１５ａと接続されている。また、圧力室２１１ｂは、絞り流路２１２ｂを介してマニホールド２１５ｂと接続されている。圧力室２１１ａと圧力室２１１ｂとは、面Ｓ１と平行な方向である第１方向に沿って並んでいる。一例として、圧力室２１１ａと圧力室２１１ｂとは、第１方向に垂直な断面における断面積が、それぞれ一定である。また、圧力室２１１ａと圧力室２１１ｂとの前記断面積は、同一である。

図４に示すように、絞り流路２１２ａ，２１２ｂは、プレート３２，３３に跨って形成されている。絞り流路２１２ａ，２１２ｂは、圧力室２１１ａ，２１１ｂに対して個別に設けられている。

図２の紙面左から奇数番目に位置する圧力室列Ｑａ，Ｑｂの圧力室２１１ａ，２１１ｂに対して設けられた絞り流路２１２ａは、該圧力室列Ｑａ，Ｑｂの圧力室２１１ａ，２１１ｂの左端部と接続されて左側へ延び、マニホールド２１５ａ又はマニホールド２１５ｂと接続されている。図２の紙面左から偶数番目に位置する圧力室列Ｑａ，Ｑｂの圧力室２１１ａ，２１１ｂに対して設けられた絞り流路２１２ｂは、該圧力室列Ｑａ，Ｑｂの圧力室２１１ａ，２１１ｂの右端部と接続されて右側へ延び、マニホールド２１５ａ又はマニホールド２１５ｂと接続されている。

ディセンダ流路２１３ａ，２１３ｂは、面Ｓ１に垂直な方向に延びている。ディセンダ流路２１３ａ，２１３ｂは、プレート３２〜３７の各々に板厚方向に貫通して形成された貫通孔が、面Ｓ１に垂直な方向に重なることで形成されている。ディセンダ流路２１３ａ，２１３ｂは、圧力室２１１ａ，２１１ｂに対して個別に設けられている。

プレート３７の面Ｓ３には、プレート３６の７２個の開口３６ａと連通する７２個の開口２７２ａと、プレート３６の７２個の開口３６ｂと連通する７２個の開口２７２ｂとが形成されている。面Ｓ３は、開口２７２ａと開口２７２ｂとを画定している。開口２７２ａ，２７２ｂは、プレート３７に形成された空間２７０のプレート３６側の開口である。またプレート３７は、第１方向における開口２７２ａと開口２７２ｂとの間に配置された板部２１ｃを有する。板部２１ｃは、板部２１ｇと重ねられている。板部２１ｃは、第１方向に延びる平滑な表面を有する平滑部であるプレート３６の板部２１ｇからノズル２０１に向けて突出する突出部に相当する。

図２の紙面左から奇数番目に位置する圧力室列Ｑａ，Ｑｂの圧力室２１１ａ，２１１ｂに対して設けられたディセンダ流路２１３ａは、該圧力室列Ｑａ，Ｑｂの圧力室２１１ａ，２１１ｂの右端部と接続されて、ノズルプレート２０に向けて延び、開口３６ａと開口２７２ａとを介して、流路２１４と接続されている。図２の紙面左から偶数番目に位置する圧力室列Ｑａ，Ｑｂの圧力室２１１ａ，２１１ｂに対して設けられたディセンダ流路２１３ｂは、該圧力室列Ｑａ，Ｑｂの圧力室２１１ａ，２１１ｂの左端部と接続されて、ノズルプレート２０に向けて延び、開口３６ｂと開口２７２ｂとを介して、流路２１４と接続されている。

図６は、図４の流路２１４の拡大（正面）図である。図６では、プレート３７を介して見下ろした流路２１４の形状を示すと共に、ノズル２０１の輪郭形状と、開口３６ａに重ねられる開口２７２ａの輪郭形状と、開口３６ｂに重ねられる開口２７２ｂの輪郭形状とを併せて示している。図７は、図４の流路２１４の斜視図である。

図４〜７に示すように、連結路２６０の流路２１４は、第１方向に延び、圧力室２１１ａと圧力室２１１ｂとを連結する。流路２１４の第１方向一端には、開口２７２ａが設けられ、第１方向他端には、開口２７２ｂが設けられている。

本実施形態では、第１方向における開口２７２ａの寸法は、面Ｓ１と平行な方向であって第１方向と直交する方向である第２方向における開口２７２ａの寸法よりも大きい。また第１方向における開口２７２ｂの寸法は、第２方向における開口２７２ｂの寸法よりも大きい（図６参照）。

流路２１４は、面Ｓ１に垂直な方向から見て、長手方向中央部（ノズル２０１と連通する連通部分２１ｄ）の幅寸法Ｗ１が、面Ｓ１に垂直な方向から見た開口３６ａの最大径Ｄ１及び開口３６ｂの最大径Ｄ２よりも小さい。また流路２１４は、その輪郭が滑らかな曲線状に形成されている。

流路２１４は、連通部分２１ｄの第１方向に垂直な断面Ｆ１における断面積が、流路２１４の他の部分（図６及び７では、一例として、第１方向における連通部分２１ｄと開口３６ａとの間の部分２１９ａと、第１方向における連通部分２１ｄと開口３６ｂとの間の部分２１９ｂ）の第１方向に垂直な断面Ｆ２，Ｆ３における断面積よりも小さい。即ち、断面Ｆ２，Ｆ３における断面積は、断面Ｆ１における断面積よりも大きい。

このため、流路２１４を第１方向にインクが流通する際、連通部分２１ｄを流通するインクの流速は、流路２１４における連通部分２１ｄの第１方向両側を流通するインクの流速よりも速くなる。このように流路２１４における上記した他の部分は、部分２１９ａと部分２１９ｂとを有する。

また本実施形態では、流路２１４の断面積が、連通部分２１ｄから部分２１９ａに向けて増大し、且つ、連通部分２１ｄから部分２１９ｂに向けて増大している。一例として、部分２１９ａと部分２１９ｂの幅寸法及び断面積は、それぞれ同一である。

また流路２１４は、断面Ｆ１における断面積が、圧力室２１１ａ及び圧力室２１１ｂの第１方向に垂直な各断面における断面積よりも小さい。このため、流路２１４を第１方向にインクが流通する際、連通部分２１ｄを流通するインクの流速は、圧力室２１１ａ及び圧力室２１１ｂを流通するインクの流速よりも速くなる。

連通部分２１ｄは、ストレート部２１ｅを有する。ストレート部２１ｅは、第１方向における流路２１４の中央（本実施形態ではノズル２０１のノズル軸中心）から両端に向けて、断面積と断面形状とが共に一定に設定されている。面Ｓ１に垂直な方向から見て、ストレート部２１ｅの幅方向両側を画定する内壁に沿って第１方向に延びる一対の仮想線Ｌ１，Ｌ２の間に、開口３６ａの開口中心Ｃａと、開口３６ｂの開口中心Ｃｂとが位置している。本実施形態では、ストレート部２１ｅの第１方向における長さ寸法ｄ１は、開口３６ａの最大径Ｄ１及び開口３６ｂの最大径Ｄ２よりも小さい。

流路２１４は、幅広部２２０ａ，２２０ｂを有する。幅広部２２０ａ，２２０ｂは、面Ｓ１に垂直な方向から見て、ストレート部２１ｅから第１方向両端に向かうに従って、流路２１４の幅が広がるように湾曲しながら延びている。また面Ｓ１に垂直な方向から見て、幅広部２２０ａ，２２０ｂを画定する内壁の曲率半径は、ノズル２０１の入射径（ノズル２０１の最も流路２１４側における内径）の曲率半径よりも大きい。

本実施形態では、幅広部２２０ａ，２２０ｂは、面Ｓ１に垂直な方向から見て、ノズル２０１のノズル軸心を通り且つ第２方向に平行な線に対して対称な形状を有する。また一例として、流路２１４は、面Ｓ１に垂直な方向から見て、ノズル２０１のノズル中心を通り第２方向に平行な線に対して対称な形状を有する。

また面Ｓ１に垂直な方向から見て、開口３６ａ及び開口３６ｂは、流路２１４の投影内に収まっている。即ち、面Ｓ１に垂直な方向から見て、開口３６ａ及び開口３６ｂは、開口２７１の投影内に収まっている。また面Ｓ１に垂直な方向から見て、開口３６ａは、開口２７２ａの投影内に収まっており、開口３６ｂは、開口２７２ｂの投影内に収まっている。

また面Ｓ１に垂直な方向から見て、開口３６ａの最大径Ｄ１と開口３６ｂの最大径Ｄ２は、開口２７２ａ及び開口２７２ｂの最大幅寸法Ｗ２（言い換えると、開口２７１の最大幅寸法）よりも小さい。また、第１方向における開口３６ａの最大径Ｄ１は、第１方向における開口２７２ａの最大径Ｄ３よりも小さい。また、第１方向における開口３６ｂの最大径Ｄ２は、第１方向における開口２７２ｂの最大径Ｄ４よりも小さい。面Ｓ１に垂直な方向から見て、開口２７２ａ，２７２ｂは、最大径Ｄ３，Ｄ４が最大幅寸法Ｗ２よりも大きい細長い開口である。

なお図４及び５に示すように、ノズル２０１は、面Ｓ１に垂直な方向をノズル方向として配置されている。面Ｓ１に垂直な方向から見て、ストレート部２１ｅの幅寸法Ｗ１は、ノズル２０１の入射径よりも８０μｍ以上大きい値に設定されている。

図２〜４に示すように、マニホールド２１５ａ，２１５ｂは、プレート３４，３５に板厚方向に貫通して形成された貫通孔と、プレート３６のプレート３６と対向する表面に形成された凹部２１８ａ及び凹部２１８ｂとが、面Ｓ１に垂直な方向に重なることで形成されている。

４つのマニホールド２１５ａの各々は、搬送方向に延び、走査方向に間隔を空けて並んでいる。また、３つのマニホールド２１５ｂの各々は、搬送方向に延び、走査方向に間隔を空けて並んでいる。マニホールド２１５ｂは、走査方向に隣接する２つのマニホールド２１５ａの間に配置されている。

ポンプＰ１〜Ｐ３の駆動により、配管９を流通して供給口３ａからインクジェットヘッド３に供給されたインクは、マニホールド２１５ａに供給される。マニホールド２１５ａでは、供給口３ａから供給されたインクが、絞り流路２１２ａ，２１２ｂへ供給される。

その後インクは、絞り流路２１２ａ，２１２ｂのうち一方、ディセンダ流路２１３ａ，２１３ｂのうち一方、流路２１４、ディセンダ流路２１３ａ，２１３ｂのうち他方、及び、絞り流路２１２ａ，２１２ｂのうち他方を順に流通した後、マニホールド２１５ｂに供給される。

またポンプＰ１〜Ｐ３の駆動により、マニホールド２１５ｂに供給されたインクは、排出口３ｂから配管９へ排出される。排出口３ｂから排出されたインクは、配管９を通じて負圧タンク１２に戻される。これにより第１実施形態では、インクジェットヘッド３とタンク１１，１２との間でインクが循環する。

ダンパ室２１６ａ，２１６ｂは、プレート３７に形成されている。ダンパ室２１６ａは、プレート３６のマニホールド２１５ａと面Ｓ１に垂直な方向に重なる位置に形成され、ダンパ室２１６ｂは、プレート３６のマニホールド２１５ｂと面Ｓ１に垂直な方向に重なる位置に形成されている。

ダンパ室２１６ａは、プレート３６に形成された隔壁２１７ａを介してマニホールド２１５ａと隔てられている。ダンパ室２１６ｂは、プレート３６に形成された隔壁２１７ｂを介してマニホールド２１５ｂと隔てられている。ダンパ室２１６ａ，２１６ｂは、面Ｓ１に垂直な方向における隔壁２１７ａ，２１７ｂの変形を許容する。隔壁２１７ａ，２１７ｂがこのように変形することで、マニホールド２１５ａ，２１５ｂ内のインクの圧力変動がそれぞれ抑制される。

［圧電素子］
圧電素子２２ｃは、圧力室２１１ａ及び圧力室２１１ｂを流通するインクに圧力を付与することにより、ノズル２０１からインクを吐出させる。インクジェットヘッド３では、１４４個の圧電素子２２ｃが、圧力室２１１ａ及び圧力室２１１ｂの各々に個別に対応して設けられている。

図２〜４に示すように、流路ユニット２１のノズルプレート２０とは反対側の面には、アクチュエータ２２が設けられている。具体的にアクチュエータ２２は、２つの圧電層２５，２６と、共通電極２７と、１４４個の個別電極２８と、振動板とにより構成され、１４４個の圧電素子２２ｃを有する。圧電層２５，２６は、圧電材料からなる。圧電材料としては、例えばチタン酸ジルコン酸鉛（ＰＺＴ）を主成分とするものが挙げられる。

圧電層２５は、流路ユニット２１のプレート３１に重ねて配置され、圧電層２６は、圧電層２５に重ねて配置されている。圧電層２５は、圧電層２６とは異なる材料で構成されていてもよい。この場合の圧電層２５の材料としては、例えば合成樹脂材料等、圧電材料以外の絶縁性材料が挙げられる。

共通電極２７は、圧電層２５と圧電層２６との間に配置され、圧電層２５，２６の略全域にわたって連続的に延びている。共通電極２７は、グランド電位に保持されている。１４４個の個別電極２８は、合計１４４個の圧力室２１１ａ，２１１ｂに対して個別に設けられている。

面Ｓ１に垂直な方向から見て、個別電極２８は、走査方向を長手方向とする略矩形の平面形状を有する。個別電極２８は、対応する圧力室２１１ａ，２１１ｂの中央部と上下方向に重なるように配置されている。個別電極２８の走査方向におけるディセンダ流路２１３ａ，２１３ｂと反対側の端部は、圧力室２１１ａ，２１１ｂと重ならない位置まで延び、その先端部が、配線部材との接続を行うための接続端子２８ｃとなっている。

１４４個の個別電極２８の接続端子２８ｃは、配線部材を介して所定のドライバＩＣに接続されている。１４４個の個別電極２８の電位は、ドライバＩＣにより個別に、グランド電位、及び、所定の駆動電位（例えば２０Ｖ程度）のうちのいずれかに設定される。また、共通電極２７と１４４個の個別電極２８とがこのように配置されることで、圧電層２６の各個別電極２８と共通電極２７とに挟まれた各部分は、面Ｓ１に垂直な方向に分極された活性部として機能する。各圧電素子２２ｃは、面Ｓ１に垂直な方向に分極された活性部を有する。

圧電素子２２ｃは、ノズル２０１からインクを吐出させないとき（待機状態）には、全個別電極２８が共通電極２７と同様にグランド電位に保持される。また圧電素子２２ｃは、特定のノズル２０１からインクを吐出させるときには、この特定のノズル２０１に接続された圧力室２１１ａ及び圧力室２１１ｂに対応する２つの個別電極２８の電位が、所定の駆動電位に切り換えられる。

その後、上記２つの個別電極２８に対応する２つの圧電素子２２ｃに分極方向と平行な電界が発生し、上記２つの圧電素子２２ｃが分極方向と直交する水平方向に収縮する。これにより、圧電素子２２ｃにおいて、圧電層２５，２６の上記各圧力室２１１ａ，２１１ｂと上下方向に重なる部分が、全体として圧力室２１１ａ，２１１ｂ側に凸となるように変形する。

その結果、圧力室２１１ａ，２１１ｂの容積が縮小して圧力室２１１ａ，２１１ｂ内のインクの圧力が上昇し、上記特定のノズル２０１からインクが吐出される。インクの吐出後、上記２つの個別電極２８の電位は、グランド電位に戻される。これにより圧電層２５，２６は、変形前の状態に戻る。

以上説明したように、インクジェットヘッド３によれば、流路２１４において、連通部分２１ｄを流通するインクの流速を高速化できるため、循環中のインクがノズル２０１を通じて外気と接触する時間を短縮できる。これにより、ノズル２０１の近傍に乾燥したインクが留まることを防止できる。

また、流路２１４の連通部分２１ｄ以外の他の部分では、インクの流路抵抗を小さくできる。このため、インクを吐出する際に２つの圧力室２１１ａ，２１１ｂに発生した圧力がノズル２０１の近傍に伝えられる際に圧力損失が発生するのを抑制できる。また、流路２１４の連通部分２１ｄ以外の他の場所では、流路抵抗を小さくできるので、圧力室２１１ａ，２１１ｂ等の個別流路内での圧力損失を小さくできる。よって、例えば加圧タンク１１と負圧タンク１２との差圧を小さくしても、十分な流量のインクの循環を行うことができる。

また流路２１４が、部分２１９ａと部分２１９ｂとを有するため、流路２１４の連通部分２１ｄの第１方向両側を流通するインクに比べて、連通部分２１ｄを流通するインクの流速を一層高速化し易くすることができる。

また流路２１４の断面積が、連通部分２１ｄから流路２１４の第１方向両端に向けて増大しているので、流路２１４の第１方向一端（即ち上流端）から連通部分２１ｄに向けてインクの流速を漸増できると共に、連通部分２１ｄから第１方向他端（即ち下流端）に向けて、インクの流速を漸減できる。これにより、流路２１４内においてインクを円滑に流通させることができる。

また連通部分２１ｄは、第１方向における流路２１４の中央から両端に向けて所定距離だけ、断面積と断面形状とが共に一定に設定されたストレート部２１ｅを有する。これにより、ストレート部２１ｅ内にインクを円滑に流通させることができ、連通部分２１ｄにおいて局所的にインクの流速を高速化できる。

また流路２１４は、一対の幅広部２２０ａ，２２０ｂを有し、面Ｓ１に垂直な方向から見て、幅広部２２０ａ，２２０ｂを画定する内壁の曲率半径が、ノズル２０１の入射径の曲率半径よりも大きい。これにより、幅広部２２０ａ，２２０ｂ内にインクを円滑に流通させることができる。

またノズル２０１は、面Ｓ１に垂直な方向をノズル軸方向として配置され、面Ｓ１に垂直な方向から見て、ストレート部２１ｅの幅寸法Ｗ１が、ノズル２０１の入射径よりも８０μｍ以上大きい値に設定されている。

これにより、インクジェットヘッド３の製造時において、ノズルプレート２０と流路ユニット２１とが多少位置ずれした状態で接合されても、ストレート部２１ｅの内部にノズル２０１を良好に配置でき、歩留まりの低下を抑制できる。

また、面Ｓ１に垂直な方向から見て、一対の仮想線Ｌ１，Ｌ２の間に、開口３６ａ及び開口３６ｂの開口中心Ｃａ，Ｃｂが位置しているので、第１方向に沿って、開口３６ａから開口３６ｂに向けて、インクを円滑に流通させることができる。

また、面Ｓ１に垂直な方向から見て、開口３６ａ及び開口３６ｂが、開口２７２ａ及び開口２７２ｂの投影内に収まっている。このため、ノズル２０１近傍に発生したエアを、流路２１４から、開口３６ｂを介して円滑にマニホールド２１５ｂに排出させることができる。

また面Ｓ１に垂直な方向から見て、開口３６ａ及び開口３６ｂの最大径Ｄ１，Ｄ２が、流路２１４の最大幅寸法Ｗ２よりも小さいので、例えば、ディセンダ流路２１３ａを流通したインクを、開口３６ａを介して流路２１４に効率よく供給できると共に、流路２１４を流通したインクを、開口３６ｂを介してディセンダ流路２１３ｂに効率よく排出できる。

なお第１実施形態では、空間２７０はプレート３７の一枚で画定されているが、空間２７０は２枚のプレートにより画定されていてもよい。この場合、２枚のプレートのうち上方のプレートには、２つの貫通孔が形成され、下方のプレートには、１つの貫通孔が形成されることとなる。

＜変形例＞
図８は、第１実施形態の変形例に係るインクジェットヘッド１０３の断面図である。図８は、図４に相当する図である。図９は、図８の流路２１４の拡大図である。図８及び９に示すように、面Ｓ１に垂直な方向から見た流路２１４の形状は、第１実施形態の流路２１４の形状と同様である。

インクジェットヘッド１０３は、第１実施形態のインクジェットヘッド３と同様のストレート部と幅広部とを有するが、プレート３７の板部２１ｃが省略されている。インクジェットヘッド１０３の流路２１４は、インクジェットヘッド３と同様に、連通部分２１ｄの第１方向に垂直な断面における断面積が、流路２１４の他の部分の第１方向に垂直な断面における断面積よりも小さい。

インクジェットヘッド１０３のプレート３７には、流路２１４を形成する貫通孔３０１が形成されている。貫通孔３０１は、プレート３７の上面側の開口３０１ａからプレート３７の下面側の開口３０１ｂまで延在する貫通孔である。プレート３７の上面によって画定される開口３０１ａは、第１方向の左端において、ディセンダ流路２１３ａの端部である開口３６ａと連通し、第１方向の右端において、ディセンダ流路２１３ｂの端部である開口３６ｂと連通する。

プレート３７の上面は、プレート３６と対向する面である面Ｓ３であって、面Ｓ３は、プレート３６の開口３６ａ及び開口３６ｂと連通する単一の開口３０１ａを画定している。面Ｓ１に垂直な方向から見て、開口３６ａ及び開口３６ｂは、開口３０１ａの投影内に収まっている。

このような構成においても、面Ｓ３を面Ｓ２と接合することで、開口３６ａと開口３６ｂとを流路２１４と連通させることができる。以下、その他の実施形態等について、第１実施形態との差異を中心に説明する。

（第２実施形態）
図１０は、第２実施形態に係るインクジェットヘッド２０３の断面図である。図１０は、図４の一部拡大図に相当する図である。図１１は、図１０の流路２１４の拡大図である。第２実施形態の流路２１４は、第１方向において、開口３６ａが最大径Ｄ１となる位置から開口３６ｂが最大径Ｄ２となる位置までの面Ｓ１に垂直な方向から見た幅（第２方向）寸法Ｎが、一定である。

流路２１４の連通部分２１ｄのうち、ノズル２０１と対向する内壁であるプレート１３６のプレート１３７側の面には、第１方向に延びる平滑な表面を有する平滑部２１ｈと、平滑部２１ｈからノズル２０１に向けて突出する突出部２１ｉとが形成されている。平滑部２１ｈは、プレート１３６の面Ｓ２に相当し、突出部２１ｉは、第１方向における開口３６ａと開口３６ｂとの間に配置されたプレート１３７の板部に相当する。第１方向において、突出部２１ｉの長さ寸法は、板部２１ｇの長さ寸法よりも小さい。

平滑部２１ｈと突出部２１ｉを有することにより、インクジェットヘッド２０３の流路２１４は、インクジェットヘッド３と同様に、連通部分２１ｄの第１方向に垂直な断面における断面積が、流路２１４の他の部分の第１方向に垂直な断面における断面積よりも小さい。

このような構成を有するインクジェットヘッド２０３においても、第１実施形態と同様の効果が奏される。即ち突出部２１ｉが設けられたことにより、連結路２６０において、連通部分２１ｄを流通するインクの流速を、連結路２６０の連通部分２１ｄよりも第１方向両側を流通するインクの流速に比べて高速化できる。このため、循環中のインクがノズル２０１を通じて外気と接触する時間を短縮できる。これにより、ノズル２０１の近傍に乾燥したインクが留まることを防止できる。

また、連結路２６０の連通部分２１ｄ以外の他の部分では、インクの流速を比較的低速化できる。このため、連結路２６０の連通部分２１ｄにおいて、局所的にインクの流速を高速化しながら、循環中のインクの圧力損失が発生するのを抑制できる。

図１２は、第２実施形態の変形例に係るインクジェットヘッド３０３の断面図である。図１２は、図１０の一部拡大図に相当する図である。インクジェットヘッド３０３における平滑部１２１ｈの表面には、突出部１２１ｉに近づくに従ってノズル２０１へ向かうように勾配が設けられている。このような構成によれば、第２実施形態に比べて、流路２１４の流路抵抗を良好に低減できる。これにより、流路２１４の連通部分２１ｄにインクを更に高速で流通させることができ、インクの乾燥をより一層防止できる。

（第３実施形態）
図１３は、第３実施形態に係るインクジェットヘッド４０３の平面図である。図１４は、図１３のＸＩＶ−ＸＩＶ線矢視断面図である。図１５は、図１３のＸＶ−ＸＶ線矢視断面図である。図１３〜１５に示すように、インクジェットヘッド４０３は、ノズルプレート４２０と、流路ユニット４２１とを備える。流路ユニット４２１では、圧力室４１１ａ、連結路４６０、及び圧力室２１１ｂが、第１方向に並んでいる。言い換えると、連結路４６０の第１方向一端は、圧力室２１１ａと第１方向に接続され、連結路４６０の第１方向他端は、圧力室４１１ｂと第１方向に接続されている。

インクジェットヘッド４０３では、圧力室４１１ａと連結路４６０との境界位置は、第１方向に沿って、圧力室４１１ａの第１方向に垂直な断面積が、ノズル４０１からマニホールド４１５ａに向かうにつれて最初に最大値の５０％となる位置（図１３及び１５中に破線Ｌ３で示した位置）である。

またインクジェットヘッド４０３では、圧力室４１１ｂと連結路４６０との境界位置は、第１方向に沿って、圧力室４１１ｂの第１方向に垂直な断面積が、ノズル４０１からマニホールド４１５ｂに向かうにつれて最初に最大値の５０％となる位置（図１３及び１５中に破線Ｌ４で示した位置）である。

圧力室４１１ａは、面Ｓ１に垂直な方向にマニホールド４１５ａと直接接続されている。圧力室４１１ｂは、面Ｓ１に垂直な方向にマニホールド４１５ｂと直接接続されている。マニホールド２１５ａ，４１５ｂは、第２方向に延びている。

マニホールド４１５ａの長手方向一端は、第１実施形態の供給口３ａに相当する供給口４０３ａに接続され、マニホールド４１５ｂの長手方向一端は、第１実施形態の排出口３ｂに相当する排出口４０３ｂに接続されている。

流路ユニット４２１には、圧力室４１１ａと圧力室４１１ｂとに面Ｓ１に垂直な方向に個別に重なるように、圧電素子４２２ｃが配置されている。流路ユニット４２１は、圧力室４１１ａ、連結路４６０、及び圧力室４１１ｂを形成する貫通孔５０１が形成された流路基板５００を備える。

貫通孔５０１は、流路基板５００の上面の開口５０１ａから流路基板５００の下面の開口５０１ｂまで延在した貫通孔である。流路基板５００によって画定される開口５０１ａは、第１方向の一端においてマニホールド４１５ａと連通し、第１方向の他端においてマニホールド４１５ｂと連通する。流路基板５００には、ノズル４０１と同数の貫通孔５０１が形成されている。

また、流路基板５００の下面によって画定される開口５０１ｂは、圧力室４１１ａ、連結路４６０、及び圧力室４１１ｂのノズルプレート４２０側の端部の輪郭をそれぞれ画定する。開口５０１ｂは、ノズル４０１を有するノズルプレート４２０により覆われている。インクジェットヘッド４０３は、ディセンダ流路を備えていない。

インクジェットヘッド４０３では、一組の圧力室４１１ａ、連結路４６０、及び圧力室４１１ｂの全体形状が、第１実施形態における流路２１４の全体形状（図６参照）と同様に設定されている。連結路４６０は、ノズル４０１と連通する連通部分４２１ｄの第１方向に垂直な断面における断面積が、連結路４６０の他の部分の第１方向に垂直な断面における断面積よりも小さい。

インクジェットヘッド４０３の駆動時には、マニホールド４１５ａから供給されるインクが、圧力室４１１ａ、連結路４６０、及び圧力室４１１ｂをこの順に流通した後、マニホールド４１５ｂへ送られて循環する。また、圧力室４１１ａと圧力室４１１ｂとに面Ｓ１に垂直な方向に重なるように配置された圧電素子４２２ｃが駆動されることで、ノズル４０１からインクが吐出される。このようなインクジェットヘッド４０３においても、第１実施形態と同様の効果が奏される。

（第４実施形態）
図１６は、第４実施形態に係るインクジェットヘッド５０３の断面図である。図１６は、第３実施形態の図１５に相当する図である。インクジェットヘッド４０３との違いとして、インクジェットヘッド５０３の流路ユニット５２１における連結路５６０は、第１方向の一端から他端までの間では、面Ｓ１に垂直な方向から見た幅寸法が一定である。インクジェットヘッド５０３は、インクジェットヘッド１０３と同様の平滑部５２１ｈと突出部５２１ｉとを有する。これにより、インクジェットヘッド５０３においても、第２実施形態と同様の効果が奏される。

なお、第２実施形態の変形例と同様に、平滑部５２１ｈの表面には、突出部５２１ｉに近づくに従ってノズル４０１へ向かうように勾配が設けられていてもよい。

本発明は、上記実施形態に限定されるものではなく、本発明の趣旨を逸脱しない範囲で、その構成を変更、追加、又は削除できる。

以上のように本発明は、圧力室と、ノズルが配置された連結路とを備える液体吐出装置において、液体の乾燥によるノズルの吐出不良を防止できる優れた効果を有する。従って、この効果の意義を発揮できる液体吐出装置に本発明を広く適用すると有益である。

Ｌ１，Ｌ２ 仮想線
Ｓ１ 面
Ｓ２ 面
Ｓ３ 面
Ｃａ 開口の開口中心
Ｃｂ 開口の開口中心
３，１０３，２０３，３０３，４０３，５０３ インクジェットヘッド
２０，４２０ ノズルプレート
２１，４２１，５２１ 流路ユニット
２１ｃ 板部
２１ｄ，４２１ｄ 連通部分
２１ｅ ストレート部
２１ｈ，１２１ｈ，５２１ｈ 平滑部
２１ｉ，１２１ｉ，５２１ｉ 突出部
３１〜３６ プレートの積層体
３６ａ，３６ｂ，２７２ａ，２７２ｂ，３０１ａ、３０１ｂ，５０１ａ、５０１ｂ 開口
３７ プレート
２０１，４０１ ノズル
２１１ａ，４１１ａ 圧力室
２１１ｂ，４１１ｂ 圧力室
２１３ａ ディセンダ流路
２１３ｂ ディセンダ流路
２１９ａ 他の部分
２１９ｂ 他の部分
２２０ａ，２２０ｂ 幅広部
２６０，４６０，５６０ 連結路

Claims (16)

1. ノズルを有するノズルプレートと、
   前記ノズルプレートに対向する第１面を有し、前記第１面が前記ノズルプレートと接合された流路ユニットと、を備え、
   前記流路ユニットは、
   前記第１面を有する第１流路部材と、
   前記第１流路部材に対向する第２面を有し且つ前記第２面が前記第１流路部材と接合された第２流路部材と、を有し、
   前記第２流路部材には、
   第１圧力室と、
   第２圧力室と、
   前記第２面により画定される第１開口と、
   前記第２面により画定される第２開口と、
   前記第１圧力室と前記第１開口とを接続する第１接続路と、
   前記第２圧力室と前記第２開口とを接続する第２接続路と、が形成され、
   前記第１流路部材には、前記第１開口を通じて前記第１接続路と連通し且つ前記第２開口を通じて前記第２接続路と連通することにより、前記第１圧力室と前記第２圧力室とを連結する第３接続路が形成され、
   前記第１面と平行な方向を第１方向とするとき、前記第３接続路の前記ノズルと連通する連通部分の前記第１方向に垂直な断面における断面積が、前記第３接続路の他の部分の前記第１方向に垂直な断面における断面積よりも小さいことを特徴とする、液体吐出装置。
2. 前記連通部分は、前記第１方向において、前記第１開口と前記第２開口との間の位置で前記ノズルと連通し、
   前記第３接続路の前記他の部分は、
   前記第１方向における前記連通部分と前記第１開口との間の部分であって、前記第１方向に垂直な断面における断面積が、前記連通部分の前記第１方向に垂直な断面における断面積よりも大きい第１部分と、
   前記第１方向における前記連通部分と前記第２開口との間の部分であって、前記第１方向に垂直な断面における断面積が、前記連通部分の前記第１方向に垂直な断面における断面積よりも大きい第２部分と、を有することを特徴とする、請求項１に記載の液体吐出装置。
3. 前記第３接続路の断面積が、前記連通部分から前記第１部分に向けて増大し、且つ、前記連通部分から前記第２部分に向けて増大している、請求項２に記載の液体吐出装置。
4. 前記第１流路部材は、前記第２流路部材と対向する面である第３面を有し、
   前記第３面は、前記第１開口と連通する第３開口と、前記第２開口と連通する第４開口とを画定し、
   前記第１流路部材は、前記第１方向における前記第３開口と前記第４開口との間に配置された板部を有し、
   前記第１方向における前記第３開口の寸法は、前記第１面と平行な方向であって前記第１方向と直交する方向である第２方向における前記第３開口の寸法よりも大きく、且つ、前記第１方向における前記第４開口の寸法は、前記第２方向における前記第４開口の寸法よりも大きいことを特徴とする、請求項１〜３のいずれか１項に記載の液体吐出装置。
5. 前記第１流路部材は、前記第２流路部材と対向する面である第３面を有し、
   前記第３面は、前記第１開口及び前記第２開口と連通する開口を画定することを特徴とする、請求項１〜４のいずれか１項に記載の液体吐出装置。
6. 前記連通部分は、前記第１方向における前記第３接続路の中央から両端に向けて所定距離だけ、前記断面積と断面形状とが共に一定に設定されたストレート部を有することを特徴とする、請求項１〜５のいずれか１項に記載の液体吐出装置。
7. 前記第３接続路は、前記第１面に垂直な方向から見て、前記ストレート部から前記第１方向両端に向かうに従って、前記第３接続路の幅が広がるように湾曲しながら延びる一対の幅広部を有し、
   前記第１面に垂直な方向から見て、前記幅広部を画定する内壁の曲率半径が、前記ノズルの入射径の曲率半径よりも大きいことを特徴とする、請求項６に記載の液体吐出装置。
8. 前記ノズルは、前記第１面に垂直な方向をノズル軸方向として配置され、
   前記第１面に垂直な方向から見て、前記ストレート部の幅寸法が、前記ノズルの入射径よりも８０μｍ以上大きい値に設定されている、請求項６又は７に記載の液体吐出装置。
9. 前記第１面に垂直な方向から見て、前記ストレート部の幅方向両側を画定する内壁に沿って前記第１方向に延びる一対の仮想線の間に、前記第１開口及び前記第２開口の開口中心が位置していることを特徴とする、請求項６〜８のいずれか１項に記載の液体吐出装置。
10. 前記第１面に垂直な方向から見て、前記第１開口が、前記第３開口の投影内に収まっており、前記第２開口が、前記第４開口の投影内に収まっていることを特徴とする、請求項４に記載の液体吐出装置。
11. 前記第１面に垂直な方向から見て、前記第１開口及び前記第２開口が、前記開口の投影内に収まっていることを特徴とする、請求項５に記載の液体吐出装置。
12. 前記第１面に垂直な方向から見て、前記第１開口及び前記第２開口の最大径が、前記第３接続路の最大幅寸法よりも小さいことを特徴とする、請求項１〜１１のいずれか１項に記載の液体吐出装置。
13. 前記第３接続路の前記連通部分のうち、前記ノズルと対向する内壁には、前記第１方向に延びる平滑な表面を有する平滑部と、前記平滑部から前記ノズルに向けて突出する突出部とが形成されていることを特徴とする、請求項１又は２に記載の液体吐出装置。
14. 前記平滑部の表面には、前記突出部に近づくに従って前記ノズルへ向かうように勾配が設けられていることを特徴とする、請求項１３に記載の液体吐出装置。
15. ノズルを有するノズルプレートと、
    前記ノズルプレートに対向する第１面を有し、前記第１面が前記ノズルプレートと接合された流路ユニットと、を備え、
    前記流路ユニットには、
    第１圧力室と、
    第２圧力室と、
    前記第１圧力室と前記第２圧力室とを連結する連結路と、が形成され、
    前記第１面には、前記連結路の前記ノズルプレート側の端部の輪郭を画定する開口が形成されており、
    前記開口は、前記ノズルプレートで覆われており、
    前記第１圧力室と前記第２圧力室とは、前記第１面と平行な方向である第１方向に沿って並んでおり、
    前記連結路は、前記ノズルと連通する連通部分の前記第１方向に垂直な断面における断面積が、前記第１圧力室及び前記第２圧力室の前記第１方向に垂直な各断面における断面積よりも小さいことを特徴とする、液体吐出装置。
16. 前記連結路の前記連通部分のうち、前記ノズルと対向する内壁には、前記第１方向に延びる平滑な表面を有する平滑部と、前記平滑部から前記ノズルに向けて突出する突出部とが形成されていることを特徴とする、請求項１５に記載の液体吐出装置。
    

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