JP2019171841A - 液体噴射ヘッド、液体噴射装置 - Google Patents

Abstract

【課題】液体噴射ヘッドにおいて、固有振動周期Ｔｃの変化を小さくしてクロストークの発生を抑制する技術を提供する。【解決手段】液体を外部に噴射する液体噴射ヘッドは、前記液体を噴射する複数のノズルと、複数の圧力室の各々に個別に配置され、前記圧力室の圧力を変化させて前記ノズルから前記液体を噴射させる複数の圧力発生部と、前記複数のノズルの各々が個別に配置され、前記複数の圧力室の各々と連通する複数の連通路と、前記複数の連通路と前記複数の圧力室とを含む複数の流路に前記液体を供給又は排出の少なくとも一方を行う共通流路と、を備える。前記複数の連通路は、隣接する連通路と隔壁を介して配列され、前記複数の圧力室は、隣接する圧力室と隔壁を介して配列され、前記連通路の隔壁のコンプライアンスを、前記圧力室の隔壁のコンプライアンスよりも大きくする。【選択図】図５

Description

本発明は、液体噴射ヘッドおよび液体噴射装置に関する。

並列した複数の液体の流路と、ノズルと、流路の一部に圧力を発生させる圧力発生部とが流路毎に備えられ、インクなどの液体を複数のノズルから噴射する液体噴射ヘッドが知られている（例えば特許文献１）。

特開２０１６−１６３９６５号公報

このような液体噴射ヘッドでは、圧力発生部により圧力を発生させると、流路内のインクに固有振動周期Ｔｃとする圧力振動が生じるため、インクの噴射タイミングは、この固有振動周期Ｔｃを前提として設定される。固有振動周期Ｔｃは、圧力室を含む流路の大きさの違いなどによる影響を受けることが知られている。

複数のノズルを有する液体噴射ヘッドでは、ノズル毎にインクの噴射が制御される。発明者等は、複数のノズルに対応する圧力室で圧力を発生させると、各圧力室でインクを取り合うために、共通流路から圧力室を含む各流路への入口でイナータンスが増加し、噴射の状況によってインクの固有振動周期Ｔｃが変動してしまう、という新たな課題を見出した。固有振動周期Ｔｃが変動すると，圧力室で圧力を発生させるタイミングに固有振動周期Ｔｃが変動した分のずれが生じる。その結果、インクの噴射量や噴射速度が変動してしまう（以下、「クロストーク」とも呼ぶ）という課題が発生する。

本発明の一形態によれば、液体を外部に噴射する液体噴射ヘッドが提供される。この液体噴射ヘッドは、前記液体を噴射する複数のノズルと、複数の圧力室の各々に個別に配置され、前記圧力室の圧力を変化させて前記ノズルから前記液体を噴射させる複数の圧力発生部と、前記複数のノズルの各々が個別に配置され、前記複数の圧力室の各々と連通する複数の連通路と、前記複数の連通路と前記複数の圧力室とを含む複数の流路に前記液体を供給又は排出の少なくとも一方を行う共通流路と、を備える。前記複数の連通路は、隣接する連通路と隔壁を介して配列され、前記複数の圧力室は、隣接する圧力室と隔壁を介して配列され、前記連通路の隔壁のコンプライアンスを、前記圧力室の隔壁のコンプライアンスよりも大きくする。

第１実施形態の液体噴射装置の構成を模式的に示す説明図。 液体噴射ヘッドの主要なヘッド構成材を分解視して示す説明図。 図２におけるＩＩＩ−ＩＩＩ位置での液体噴射ヘッドの断面図。 液体噴射ヘッドの平面視におけるインクの経路を模式的に表す説明図。 図４の範囲Ａｒを拡大した平面図。

Ａ．第１実施形態：
図１は、本発明の実施形態の液体噴射装置１００の構成を模式的に示す説明図である。
液体噴射装置１００は、液体の一例であるインクを媒体１２に噴射するインクジェット方式の印刷装置である。液体噴射装置１００は、印刷用紙の他、樹脂フィルムや布等の任意の材質の印刷対象を媒体１２とし、これらの各種の媒体１２に対して印刷を行う。図１以降の各図に示したＸ方向は、後述する液体噴射ヘッド２６の搬送方向（主走査方向）であり、Ｙ方向は、主走査方向と直交した媒体送り方向（副走査方向）であり、Ｚ方向は、ＸＹ平面に直交したインク噴射方向である。また、向きを特定する場合には、正の方向を「＋」、負の方向を「−」として、方向表記に正負の符合を併用する。

液体噴射装置１００は、液体容器１４と、媒体１２を送り出す搬送機構２２と、制御ユニット２０と、ヘッド移動機構２４と、液体噴射ヘッド２６とを備える。液体容器１４は、液体噴射ヘッド２６から噴出される複数種のインクを個別に貯留する。液体容器１４としては、可撓性フィルムで形成された袋状のインクパックや、インク補充が可能なインクタンクなどが利用可能である。制御ユニット２０は、ＣＰＵ（Central Processing Unit）やＦＰＧＡ（Field Programmable Gate Array）等の処理回路と半導体メモリー等の記憶回路とを含み、搬送機構２２やヘッド移動機構２４、液体噴射ヘッド２６等を統括制御する。搬送機構２２は、制御ユニット２０の制御下で動作し、媒体１２を＋Ｙ方向に送り出す。

ヘッド移動機構２４は、媒体１２の印刷範囲に亘ってＸ方向に掛け渡された搬送ベルト２３と、液体噴射ヘッド２６を収容して搬送ベルト２３に固定するキャリッジ２５とを備える。ヘッド移動機構２４は、制御ユニット２０の制御下で動作し、液体噴射ヘッド２６を主走査方向（Ｘ方向）においてキャリッジ２５を往復移動させる。キャリッジ２５の往復移動の際、キャリッジ２５は図示しないガイドレールにより案内される。なお、複数の液体噴射ヘッド２６をキャリッジ２５に搭載したヘッド構成や、液体容器１４を液体噴射ヘッド２６と共にキャリッジ２５に搭載したヘッド構成としてもよい。

液体噴射ヘッド２６は、液体容器１４から供給されるインクを、制御ユニット２０の制御下で、複数のノズルＮｚから媒体１２に向けて噴射する。液体噴射ヘッド２６の往復移動の間のノズルＮｚからのインク噴射により、媒体１２に所望の画像等の印刷がなされる。液体噴射ヘッド２６は、図１に示すように、複数のノズルＮｚを副走査方向に沿って並べたノズル列を備え、このノズル列を主走査方向に沿って予め定められた間隔を隔てて２列有する。この２列のノズル列は、図においては第１ノズル列Ｌ１、第２ノズル列Ｌ２として示されており、第１ノズル列Ｌ１のノズルＮｚと第２ノズル列Ｌ２のノズルＮｚとを、主走査方向に並ぶように備える。以下の説明においては、第１ノズル列Ｌ１と第２ノズル列Ｌ２の中央を中心軸としこの中心軸を含んでＹ方向に貫くＹＺ平面を、説明の便宜上、中心面ＡＸとする。なお、第１ノズル列Ｌ１と第２ノズル列Ｌ２におけるノズルＮｚの並びは、媒体送り方向（Ｙ方向）にずれた千鳥状の並びでもよい。また、第１ノズル列Ｌ１と第２ノズル列Ｌ２は、液体容器１４が備える複数種類のインクに合わせて設けられているが、他のノズル列については、その図示を省略する。

図２は、液体噴射ヘッド２６の主要なヘッド構成材を分解視して示す説明図である。第１ノズル列Ｌ１と第２ノズル列Ｌ２とを有する液体噴射ヘッド２６は、ヘッド構成材を積層した積層体である。図２では、理解の便を図って、構成材である第１流路基板３１の一部部位を破断して示している。また、図３は、図２におけるＩＩＩ−ＩＩＩ断面図である。また、図３の破断位置の理解を容易にするため、後述する図４にもＩＩＩ−ＩＩＩ破断面を示している。以下、両図を適宜参照しながら、液体噴射ヘッド２６の構造については説明する。なお、図２、図３において、図示される各構成部材の厚みは、実際の構成材の厚みを示しているものではない。

図２、図３に示すように、液体噴射ヘッド２６は、筐体部４８と、流路形成部材３０を構成する第２流路基板３２、第１連通板３１１および第２連通板３１２が、−Ｚ方向上側からこの順に積層される。第１連通板３１１および第２連通板３１２は、互いに対向する面を接着剤によって接続されて１枚のプレート体である第１流路基板３１を構成する。図２には、第１流路基板３１の一部である第１連通板３１１の−Ｚ方向側の面（以下、「第１流路基板３１の上面Ｆａ」とも呼ぶ）と、第１流路基板３１の一部である第２連通板３１２の−Ｚ方向側の面（以下、「第１流路基板３１の下面Ｆｂ」とも呼ぶ）とが示されている。

第１流路基板３１の下面Ｆｂには、ノズルプレート５０および吸振体５４が、互いに重ならない位置に貼付される。筐体部４８は、第１流路基板３１および後述する保護部材４６の外表面を覆う部材であり、樹脂材料の射出成形により形成される。筐体部４８および保護部材４６は、技術の理解を容易にするため、図２には図示されていない。

液体噴射ヘッド２６は、第１ノズル列Ｌ１のノズルＮｚに関連する構成と、第２ノズル列Ｌ２のノズルＮｚに関連する構成と、各ノズルＮｚに接続される各流路とを、中心面ＡＸを挟んだ面対称となるように備える。すなわち、液体噴射ヘッド２６のうち、中心面ＡＸを挟んで＋Ｘ方向側の第１部分Ｐ１と−Ｘ方向側の第２部分Ｐ２とでは、その構成が共通する。第１ノズル列Ｌ１のノズルＮｚは第１部分Ｐ１に属し、第２ノズル列Ｌ２のノズルＮｚは第２部分Ｐ２に属し、中心面ＡＸは第１部分Ｐ１と第２部分Ｐ２の境界面となる。

流路形成部材３０は、Ｘ方向に並列された２つの第２流路基板３２を第１流路基板３１の上面Ｆａ側に積層して構成される。第２流路基板３２は、Ｙ方向に長尺なプレート体である。

以下に説明するように、液体流路は、第１流路基板３１を構成する第１連通板３１１および第２連通板３１２と、第２流路基板３２とに設けられた開口部や溝を組み合わせることにより形成される。また、第１流路基板３１の下面Ｆｂに設けられた溝は、ノズルプレート５０や吸振体５４が第１流路基板３１の下面Ｆｂに貼付されることにより、ノズルプレート５０や吸振体５４との間に流路を形成する。

第１流路基板３１では、第１連通板３１１と第２連通板３１２とが接続されることによって、第二流入室５９と、供給液室６０と、個別供給路６１と、連通路６３と、第一個別流路７１と、第一流入室６５と、が備えられる。第一流入室６５は、Ｙ方向を長手方向とする開口であり、第１流路基板３１のＸ方向の中心に、Ｙ方向に延在するように設けられる。他方、第二流入室５９は、Ｙ方向を長手方向とする開口であり、第１流路基板３１のＸ方向両側に、それぞれＹ方向に延在するよう設けられる。第１流路基板３１の下面Ｆｂであって、第一流入室６５の両側には、第一個別流路７１として、各連通路６３に至る溝が形成されている。

第１連通板３１１は、シリコン基板であり、連通路６３の一部と第二共通流路５２の一部である第二流入室５９とを含んでいる。第２連通板３１２は、ガラス基板であり、連通路６３の一部と第二共通流路５２の一部である供給液室６０とを含んでいる。第１連通板３１１および第２連通板３１２は、−Ｚ方向上側からこの順に積層されることで、連通路６３の一部および第二共通流路５２の一部の各々を互いに接続している。

また、第１連通板３１１と第２連通板３１２とを接続することで、第１流路基板３１の下面Ｆｂには、第二流入室５９から第１流路基板３１の中心側に続く流路が、供給液室６０として形成される。以下、各部の構成の説明の際には、第１連通板３１１および第２連通板３１２を接続させた第１流路基板３１として扱う。第二流入室５９と供給液室６０とは、筐体部４８に設けられた他の構成部材と共に、第二共通流路５２を構成する。第一流入室６５は、同じく筐体部４８に設けられた他の構成部材と共に第一共通流路５１を構成する。これら第一共通流路５１，第二共通流路５２の構成については、後で詳しく説明する。

第一流入室６５と第２流入室第５９とに挟まれた位置に、ノズルＮｚの数に対応した数の連通路６３と個別供給路６１とが設けられている。これらの連通路６３と個別供給路６１とは、第１流路基板３１に設けられた角形の開口である。連通路６３と個別供給路６１とは、第２流路基板３２に設けられた圧力室６２と共に、第二個別流路７２を形成している。個別供給路６１は、第１流路基板３１のうち第１連通板３１１にのみ形成され、−Ｚ方向側は圧力室６２と接続され、Ｚ方向側は第２連通板３１２の供給液室６０と接続されている。第二個別流路７２の詳細な構成と働きについては、第一個別流路７１と共に、後で詳しく説明する。

２つの第２流路基板３２は、第１流路基板３１における−Ｚ方向側の上面Ｆａに、接着剤を用いて固定される。２つの第２流路基板３２は、第１流路基板３１の上面Ｆａの第１部分Ｐ１と第２部分Ｐ２とにそれぞれ設置される。この第２流路基板３２の下面側には、長方形状の複数の溝が形成されている。この溝は、第２流路基板３２が、第１流路基板３１の第１部分Ｐ１，第２部分Ｐ２に接着されると、第１流路基板３１の上面Ｆａと共に、圧力室６２を形成する。第２流路基板３２のそれぞれの圧力室６２の＋Ｚ方向側の外形は、第１流路基板３１のそれぞれの個別供給路６１および連通路６３の−Ｚ方向側の外形を含む。これにより、圧力室６２と、個別供給路６１および連通路６３とが接続され、第二個別流路７２が構成される。

図３には、個別供給路６１内のインクの流通方向に沿った向きの個別供給路６１の長さＤ１と、連通路６３内のインクの流通方向に沿った向きの連通路６３の長さＤ２とが示されている。本明細書において、流路内のインクの流通方向に沿った向きとは、流路の中央部分における巨視的なインクの流通方向のことを表す。本実施形態において、個別供給路６１の長さＤ１は、連通路６３の長さＤ２よりも小さい。

第２流路基板３２の上面（−Ｚ方向側の面）であって、圧力室６２に対応する部位のそれぞれには、圧電素子４４が貼付されており、振動部４２を構成する。圧力室６２を構成する溝の深さは、第２流路基板３２の厚みより僅かに短いものとされている。つまり、圧力室６２の部位において、第２流路基板３２は薄肉とされ、圧電素子４４の歪みに併せて変形動可能な壁面とされている。

第１流路基板３１の下面Ｆｂに貼付されるノズルプレート５０は、複数のノズルＮｚを備える平面状の部材である。ノズルプレート５０は、シリコン（Ｓｉ）の単結晶基板で形成され、半導体製造技術、例えば、ドライエッチングやウェットエッチング等の加工技術によってノズルＮｚが形成される。

ノズルＮｚは、インクを外部に噴射するための貫通孔である。本実施形態において、ノズルＮｚのインクの噴射方向はＺ方向である。複数のノズルＮｚは、第１ノズル列Ｌ１と、第２ノズル列Ｌ２として、それぞれ直線上に配列されている。

ノズルプレート５０の−Ｚ方向側の壁面は、各ノズルＮｚが、各連通路６３の真下（Ｚ方向側）となる位置となるようにして第１流路基板３１の下面Ｆｂに貼付される。このとき、ノズルプレート５０のノズルＮｚ以外の−Ｚ方向側の壁面は、第１流路基板３１の第一流入室６５と、連通路６３と、第一流入室６５と連通路６３との間に溝として設けられた第一個別流路７１を覆う。したがって、ノズルプレート５０は、第１流路基板３１の第一流入室６５、第一個別流路７１、連通路６３の部位において、流路の内壁となる。

図示したように、ノズルプレート５０のＸ方向の両側に配置された２つの吸振体５４は、可撓性を有する膜を有する。吸振体５４は、例えばコンプライアンス基板によって形成される。それぞれの吸振体５４の−Ｚ方向側の面は、接着剤を用いて第１流路基板３１の下面Ｆｂの第１部分Ｐ１と第２部分Ｐ２とに貼付される。このとき、吸振体５４は、第１流路基板３１の供給液室６０および第二流入室５９を覆うようにして配置される。これにより、吸振体５４は、−Ｚ方向側の面が、供給液室６０および第二流入室５９の部位において、各流路の内壁となる。

図３に示すように、この流路形成部材３０の−Ｚ方向側の上面Ｆａには、筐体部４８が接着剤により固定される。筐体部４８には、第１流路基板３１に設けられた第二流入室５９に対応する位置に、第二流入室５９と同形状の溝である第二液室５８が設けられている。この第二流入室５９には、Ｙ方向中心に第二循環口５７が設けられている。第二液室５８および第二循環口５７は、既に説明した供給液室６０、第二流入室５９と共に、第二共通流路５２を形成する。このように、第二液室５８は、第二流入室５９と接続されることによって一つの空間を形成し、インク貯留室（リザーバーＲｓ２）としての機能を果たす。これにより、複数の連通路６３と圧力室６２とに、共通にインクを供給又は排出の少なくとも一方を行う共通流路である第二共通流路５２を構成する。また、上述したように、本実施形態の液体噴射ヘッド２６における第１流路基板３１は、第１連通板３１１および第２連通板３１２を積層することで、第二共通流路５２の一部の各々を互いに接続している。これにより、第二個別流路７２に接続された第二共通流路５２の容積をより大きくすることができ、第二個別流路７２へのインクの供給がより容易となる。

筐体部４８のＸ方向中心には、第一流入室６５に対応する位置に、第一流入室６５と同形状の溝である第一液室６６が設けられ、この第一液室６６のＹ方向両端には、貫通孔である第一循環口６７が設けられている。この第一液室６６および第一循環口６７は、既に説明した第一流入室６５と共に、第一共通流路５１を形成する。第一液室６６および第一流入室６５とは、インク貯留室（リザーバーＲｓ１）を形成する。これにより、複数の連通路６３と圧力室６２とに、共通にインクを供給又は排出の少なくとも一方を行う共通流路である第一共通流路５１を構成する。

更に、筐体部４８は、第２流路基板３２に対応する位置にも、第２流路基板３２と同形状の溝部が形成されており、ここに第２流路基板３２とその上面に貼付された圧電素子４４を保護する保護部材４６とを収容する。

以上説明した液体噴射ヘッド２６の構造を整理すると、以下の通りである。液体噴射ヘッド２６のＸ方向中心には、Ｙ方向に沿って第一共通流路５１が形成されている。他方、液体噴射ヘッド２６のＸ方向両側には、それぞれＹ方向に沿って第二共通流路５２が形成されている。ノズルＮｚが存在する連通路６３を中心にみると、第一共通流路５１との間には第一個別流路７１が存在しており、第二共通流路５２との間には第二個別流路７２が存在する。従って、第一共通流路５１から第二共通流路５２までが液体に満たされていれば、第一共通流路５１の第一循環口６７から流体が流入すると、流体は、共通流路である第一共通流路５１から、複数設けられた第一個別流路７１を通って個別の連通路６３に至り、更に、ここから複数設けられた第二個別流路７２を通って、共通流路である第二共通流路５２に再び集まる。流体が、第二共通流路５２の第二循環口５７から流入する場合は、流体の流れはこの逆となる。このように、本実施形態の液体噴射ヘッド２６は、図１に示した中心面ＡＸを挟んで、両側に対称な構造を備える。第一共通流路５１から第二共通流路５２に至る流路を、循環流路９０と総称する。循環流路９０内の流体は、少なくともノズルＮｚからの液体噴射時に循環することが好ましい。これにより、クロストークの発生を抑制させることができる。また、循環流路９０内の流体は、非噴射時であっても循環することがさらに好ましい。これにより、ノズルＮｚの乾燥防止や循環流路９０の気泡や異物の除去を促進させることができる。

本実施形態の液体噴射ヘッド２６では、１つの第一共通流路５１に対して、第１部分Ｐ１側に複数の個別流路７０および１つの第二共通流路５２が備えられ、第２部分Ｐ２側に複数の個別流路７０および１つの第二共通流路５２が備えられる。なお、一つの循環流路９０内の複数の個別流路７０を「個別流路群１７」とも呼ぶ。液体噴射ヘッド２６は、第１部分Ｐ１と、第２部分Ｐ２とにそれぞれ個別流路群１７を備える。すなわち、本実施形態の液体噴射ヘッド２６は、１つの第一共通流路５１と、２つの第二共通流路５２とが、２つの個別流路群１７によって接続されて２つの循環流路９０を構成する。このように、本実施形態の液体噴射ヘッド２６では、複数の循環流路９０を備えていることによって一つの液体噴射ヘッド２６に備えられるノズルＮｚの数を増加させている。

圧電素子４４は、いわゆるピエゾ素子であり、制御ユニット２０からの駆動信号を受けて変形する能動素子である。圧電素子４４は、この変形によって振動を発生させる。圧電素子４４による振動は、振動部４２に伝達され、圧力室６２の内部のインクに圧力の変化を発生させる。このように、圧電素子４４を備えた振動部４２は、第１ノズル列Ｌ１および第２ノズル列Ｌ２のノズルＮｚごとの圧力室６２の液体の圧力を変化させる圧力発生部として機能する。この圧力変化は、連通路６３を経てノズルＮｚに到達し、インクをノズルＮｚから噴射させる。

本実施形態の液体噴射ヘッド２６は、インクが流路の内部を流通される場合において、連通路６３の上流側の第一個別流路７１での流路抵抗は、連通路６３の下流側にあたる圧力室６２、個別供給路６１のそれぞれの流路抵抗よりも大きく設定されている。したがって、液体噴射時における第一個別流路７１へのインクの供給に伴うクロストークの発生を抑制することができる。

連通路６３の上流側の第一個別流路７１での流路抵抗が、連通路６３の下流側にあたる圧力室６２、個別供給路６１のそれぞれの流路抵抗よりも大きく設定されている時は、本実施形態の液体噴射ヘッド２６のように、吸振体５４が流路の下流側にあたる第二共通流路５２の内壁となる位置に設けられるのが好ましい。特に、第二共通流路５２のうち、個別供給路６１に最も近い供給液室６０に吸振体５４を設けることが最も好ましい。液体噴射時において、圧力室６２に発生する圧力によって、第一個別流路７１内のインクに加え、流路抵抗が小さい側となる第二共通流路５２からも連通路６３にインクが供給される。そのため、この第二共通流路５２に吸振体５４が設けられることによって、第二共通流路５２のイナータンスを増加させることができ、クロストークの発生を抑制できるからである。

図４は、液体噴射ヘッド２６の上面側からの平面視におけるインクの経路を模式的に表す説明図である。図４には、技術の理解を容易にするため、図中の手前側に位置する部材によって視認することができない部材も図示されている。

本実施形態の液体噴射ヘッド２６は、上述したように、第一共通流路５１と、第二共通流路５２と、第一個別流路７１と、第二個別流路７２とによって構成される循環流路９０を、中心面ＡＸを中心とした両側に２つ備える。液体噴射ヘッド２６は、更に、液体容器１４と、ポンプ１５と、供給管１６と、循環機構７５と、を備える。

液体容器１４は、インクを貯留するタンクである。液体容器１４は、ポンプ１５と接続されている。供給管１６は、液体容器１４から供給されたインクを循環流路９０に供給するための配管である。本実施形態において、供給管１６は、４つ備えられ、２つの第一循環口６７と、２つの第二循環口５７とにそれぞれ接続されている。

液体容器１４に貯留されたインクは、ポンプ１５によって供給管１６の内部を圧送される。圧送されたインクは、循環流路９０のインクの流通方向に応じて、第二循環口５７または第一循環口６７に選択的に供給される。本実施形態において、液体容器１４に貯留されたインクは、第一循環口６７に供給される。

循環機構７５は、第二循環口５７または第一循環口６７に供給されたインクを、循環流路９０を通過させて移動させる流動機構である。本実施形態において、循環機構７５は、液体噴射ヘッド２６のノズルＮｚを備える側とは逆側（すなわち、上面側）に接続されている。循環機構７５は、インク貯留槽７６と、圧力調整部７７とを備える。圧力調整部７７は、インク貯留槽７６の内部のインクの圧力をポンプ１５の圧送圧より低圧に調整する。循環流路９０でのインクの循環は、ポンプ１５および圧力調整部７７による圧力を調整することによって実現される。

図４に示された矢印は、本実施形態におけるインクの流通方向を模式的に表している。液体容器１４に貯留されたインクと、インク貯留槽７６とに貯留されたインクは、第一共通流路５１の第一循環口６７に圧送される。第一循環口６７から供給されたインクは、第一液室６６を通過して、第一流入室６５に到達する。第一流入室６５に到達したインクは、ノズルプレート５０の内壁に接触しノズルプレート５０の面方向に沿って流通する。このとき、インクは、Ｙ方向に沿って行き渡るとともに、第１部分Ｐ１および第２部分Ｐ２のそれぞれの個別流路群１７の第一個別流路７１に分配される。

第一個別流路７１に流入されたインクは、ノズルプレート５０の面方向に沿って流通して第二個別流路７２の連通路６３に供給される。連通路６３に流入されたインクは、連通路６３に接続された圧力室６２に導かれる。このとき、圧電素子４４による振動がインクに伝達される場合、連通路６３のインクは、ノズルＮｚから外部に向けて噴射される。

圧力室６２に流入されたインクは、個別供給路６１に導かれる。個別流路群１７のそれぞれの個別供給路６１から排出されたインクは、第二共通流路５２の供給液室６０で合流する。供給液室６０のインクは、吸振体５４の壁面に沿って第二流入室５９に導かれる。第二流入室５９に流入されたインクは、第二液室５８に流入し、第二循環口５７から後述するインク貯留槽７６に排出される。

以上のように、本実施形態の液体噴射ヘッド２６では、第一共通流路５１に供給されたインクが、第一個別流路７１および第二個別流路７２を通過して第二共通流路５２に供給される。すなわち、第一共通流路５１は、本実施形態におけるインクの流路の上流側であり、第二共通流路５２は、インクの流路の下流側である。第二共通流路５２を通ったインクは循環機構７５に送り出され、再び第一共通流路５１に供給される。以上のように、本実施形態の液体噴射ヘッド２６は、２つの循環流路９０と、循環機構７５とによってインクを循環させる。なお、下流側の流路の内圧は、圧送されたインクにかかる圧力の減衰によって上流側の流路の内圧よりも低くなる。

図５は、図４の範囲Ａｒを拡大した平面図である。図５には、循環流路９０のうち、第一共通流路５１と、第二共通流路５２のほか、＋Ｙ方向の端部側における３つの個別流路７０が示されている。以下、この３つの個別流路７０は、＋Ｙ方向側の端部に位置する個別流路７０Ｄと、個別流路７０Ｄに隣接する個別流路７０ａと、個別流路７０ａに隣接する個別流路７０ｂとして表す。

個別流路７０Ｄは、いわゆるダミー流路である。本実施形態において、個別流路７０Ｄの流路構成は、他の個別流路７０の流路構成と同じであり、個別流路７０Ｄにもインクが流通される。しかし、個別流路７０Ｄの圧電素子４４は駆動されず、インクは個別流路７０のノズルＮｚから噴射されない。なお、この個別流路７０ＤのノズルＮｚは備えられなくても差し支えない。同様に、圧電素子４４が備えられなくても差し支えない。このような態様においては、個別流路７０Ｄによってインクが噴射されない態様であればよい。

本実施形態の液体噴射ヘッド２６では、最も端部側に位置する個別流路７０Ｄは、−Ｙ方向側に個別流路７０ａを備えるが、＋Ｙ方向側には部材による壁面が備えられる。すなわち、＋Ｙ方向側の壁面のコンプライアンスは略ゼロである。そのため、各循環流路９０には、Ｙ方向に沿って配列された両端側にはダミー流路となる個別流路７０Ｄが備えられる。これにより、ダミー流路に隣接する個別流路７０ａは、ダミー流路である個別流路７０Ｄの隔壁のコンプライアンスも得ることができる。

以下、本実施形態の液体噴射ヘッド２６のコンプライアンスの構成について、図５とともに図３を参照して説明する。本実施形態の液体噴射ヘッド２６では、個別流路７０ａの連通路６３は、−Ｙ方向側に隣接する個別流路７０ｂの連通路６３とは隔壁Ｗ５を介して配列され、＋Ｙ方向側に隣接する個別流路７０Ｄの連通路６３とは隔壁Ｗ１を介して配列されている。隔壁Ｗ１の厚みは厚みＴ１である。個別流路７０ａの圧力室６２は、個別流路７０ｂの圧力室６２とは隔壁Ｗ６を介して配列され、個別流路７０Ｄの圧力室６２とは隔壁Ｗ２を介して配列されている。同様に、個別流路７０ａの個別供給路６１および第一個別流路７１は、個別流路７０ｂとはそれぞれ隔壁Ｗ７および隔壁Ｗ８を介して配列され、個別流路７０Ｄとはそれぞれ隔壁Ｗ３および隔壁Ｗ４を介して配列されている。図５には、隔壁Ｗ１、Ｗ２、Ｗ５、Ｗ６のそれぞれの厚みＴ１、Ｔ２、Ｔ５、Ｔ６が示されている。

本実施形態の液体噴射ヘッド２６は、連通路６３に隣接する隔壁Ｗ１、Ｗ５のコンプライアンスＣ１、Ｃ５の合計値は、圧力室６２の両側の隔壁Ｗ２、Ｗ６のコンプライアンスＣ２、Ｃ６と、第一個別流路７１の両側の隔壁Ｗ４，Ｗ８のコンプライアンスＣ４、Ｃ８と、個別供給路６１の隔壁Ｗ３，Ｗ７のコンプライアンスＣ３、Ｃ７との合計値よりも大きい。すなわち、以下の式（１）で表される。
（Ｃ１＋Ｃ５）＞ （Ｃ２＋Ｃ３＋Ｃ４＋Ｃ６＋Ｃ７＋Ｃ８） …（１）

個別流路７０ａには、個別流路７０ａの圧力発生部によって圧力室の容積の変動によって、インクには固有振動周期Ｔｃの圧力振動が生じる。より具体的には、圧力発生部によって圧力室６２内のインクに圧力変動を生じさせてノズルＮｚからインクを噴射させると、圧力室６２内のインクには、その圧力変動に伴って圧力室６２内があたかも音響管であるかのように振る舞う圧力振動（インクの固有振動）が励起される。この固有振動周期Ｔｃは、以下の式（２）で表すことができる。
Ｔｃ＝２Π√（Ｍ×Ｃ） …（２）
Ｍ：個別流路７０ａのイナータンス
Ｃ：個別流路７０ａのコンプライアンス

例えば、個別流路７０の複数の圧力発生部を同時に駆動させた場合、第一流入室６５内のインクは、複数の第一個別流路７１に供給される。そうすると、隣接する第一個別流路７１同士でインクを取り合うような振る舞いが発生する。そのため、各流路間の隔壁が擬似的に延長され、第一個別流路７１のイナータンスが増加する場合がある。したがって、複数の個別流路７０の圧力発生部を同時に駆動させた場合のイナータンスＭ２は、以下の式（３）で表すことができる。
Ｍ２＝Ｍ１＋ΔＭ …（３）
Ｍ１：１つの個別流路７０の圧力発生部を駆動した場合の流路のイナータンス
ΔＭ：１つの個別流路７０に隣接する第一個別流路７１の間の隔壁が擬似的に延長されて増加するイナータンスの推定値
したがって、固有振動周期Ｔｃ２は、固有振動周期Ｔｃ１に対してΔＭの分だけイナータンスが増加し，周期の値が増加する。

一つの個別流路７０の圧力発生部を駆動させた場合の固有振動周期Ｔｃを固有振動周期Ｔｃ１としたとき、以下の式（４）によって表すことができる。
Ｔｃ１＝２Π√（Ｍ１×Ｃ１） …（４）
Ｍ１：インクが流動する個別流路７０のイナータンスの合計値
Ｃ１：１つの個別流路７０の圧力発生部を駆動させた場合のコンプライアンスの合計値
このとき、コンプライアンスＣ１は、以下の式（５）によって表すことができる。
Ｃ１＝Ｃｉ１＋Ｃｄ１＋Ｃｗ１ …（５）
Ｃｉ１：１つの個別流路７０の圧力発生部を駆動させた場合の個別流路７０内のインクのコンプライアンス
Ｃｄ１：１つの個別流路７０の圧力発生部を駆動させた場合の振動部４２の振動板のコンプライアンス
Ｃｗ１：１つの個別流路７０の圧力発生部を駆動させた場合の個別流路７０の隔壁のコンプライアンス

複数の個別流路７０の圧力発生部を同時に駆動させた場合の固有振動周期Ｔｃを固有振動周期Ｔｃ２としたとき、以下の式（６）によって表すことができる。
Ｔｃ２＝２Π√（Ｍ２×Ｃ２） …（６）
Ｃ２：複数の圧力発生部を同時に駆動させた場合のコンプライアンスの合計値
上述した通り、固有振動周期Ｔｃ２は固有振動周期Ｔｃ１よりも大きい。

また、複数の個別流路７０の圧力発生部を同時に駆動させた場合、各圧力室６２で略同一の圧力が発生する。そのため、各圧力室６２の間の隔壁は、略同一の圧力が互いに向き合う（釣り合う）ことによって変形せず、個別流路７０の隔壁のコンプライアンスＣｗ２は略ゼロとなる。したがって、コンプライアンスＣ２は、以下の式（７）によって表すことができる。
Ｃ２＝Ｃｉ２＋Ｃｄ２ …（７）
Ｃｉ２：複数の個別流路７０の圧力発生部を駆動させた場合の個別流路７０内のインクのコンプライアンス
Ｃｄ２：複数の個別流路７０の圧力発生部を駆動させた場合の振動部４２の振動板のコンプライアンス
ここで，個別流路７０内のインクのコンプライアンスＣｉは、インクの物性値および流路の体積によって規定される。そのため，１つの個別流路７０の圧力発生部を駆動させた場合と、複数の個別流路７０の圧力発生部を駆動させた場合とでは、インクのコンプライアンスＣｉの大きさは変わらない。そのため、Ｃｉ１＝Ｃｉ２とみなすことができる。同様に，振動板の変形する方向は，複数の個別流路７０が配列される方向に対して垂直な方向である。そのため，振動部４２の振動板のコンプライアンスＣｄは，複数の個別流路７０において相互の影響を受けない。これにより，Ｃｄ１＝Ｃｄ２とみなすことができる。
したがって、１つの個別流路７０の圧力発生部を駆動させた場合のコンプライアンスＣ１は、複数の個別流路７０の圧力発生部を駆動させた場合のコンプライアンスＣ２よりも、個別流路７０の隔壁のコンプライアンスＣｗ１の分だけ大きい。以上をまとめると，上記の式（４）、式（６）で表される固有振動周期Ｔｃ１，Ｔｃ２の内訳における関係は，Ｍ１＜Ｍ２，Ｃ１＞Ｃ２であり、Ｃ１はＣ２よりもＣｗ１分だけ大きい。そのため、個別流路７０の隔壁のコンプライアンスＣｗ１を増加させることによって、固有振動周期Ｔｃ１と固有振動周期Ｔｃ２との差を小さくすることができる。

本実施形態の液体噴射ヘッド２６は、連通路６３に隣接する隔壁Ｗ１、Ｗ５のコンプライアンスＣ１、Ｃ５の合計値は、圧力室６２の両側の隔壁Ｗ２、Ｗ６のコンプライアンスＣ２、Ｃ６と、第一個別流路７１の両側の隔壁Ｗ４，Ｗ８のコンプライアンスＣ４、Ｃ８と、個別供給路６１の隔壁Ｗ３，Ｗ７のコンプライアンスＣ３、Ｃ７との合計値よりも大きい。そのため、流路の隔壁のコンプライアンスＣｗ１を増加させることができる。したがって、固有振動周期Ｔｃ１とＴｃ２との差を小さくすることができる。これにより、隣接する複数の個別流路７０のうち、一つの圧力発生部を駆動させる場合と、複数の圧力発生部を駆動させる場合との固有振動周期Ｔｃの変化が小さくなり、クロストークの発生を抑制することができる。

また、本実施形態の液体噴射ヘッド２６では、連通路６３の隔壁Ｗ５の厚みＴ５は、圧力室６２の隔壁Ｗ６の厚みＴ６より小さく、連通路６３の隔壁Ｗ１の厚みＴ１は、圧力室６２の隔壁Ｗ２の厚みＴ２より小さい。ここで、コンプライアンスＣｗは、以下の式（８）によって表すことができる。
Ｃｗ＝（１−ｐ^２）×Ｗ^５×Ｌ／（６０×Ｅ×Ｔ^３） …（８）
ｐ：隔壁のポアソン比
Ｗ：隔壁の短手方向の長さ
Ｌ：隔壁の長手方向の長さ
Ｅ：隔壁のヤング率
Ｔ：隔壁の厚み
本実施形態の液体噴射ヘッド２６では、連通路６３の隔壁Ｗ２の厚みは、圧力室６２の隔壁Ｗ６の厚みより小さく、連通路６３の隔壁Ｗ１の厚みは、圧力室６２の隔壁Ｗ２の厚みより小さい。したがって、ノズルＮｚ近傍の流路である連通路６３のコンプライアンスを増加させることができる。

図３に示されるように、本実施形態の液体噴射ヘッド２６は、２枚の連通板である第１連通板３１１および第２連通板３１２を接続し、連通路６３の一部を互いに接続している。これにより連通路６３の隔壁の面積をより大きくさせて、連通路６３の隔壁のコンプライアンスを増加させている。なお、連通板は２枚には限定されず、３枚以上であってもよい。これにより、連通板を積層する量に応じて連通路の隔壁のコンプライアンスを増加させることができる。

図３に示されるように、本実施形態の液体噴射ヘッド２６では、個別供給路６１の長さＤ１は、連通路６３の長さＤ２よりも小さい。したがって、個別供給路６１のイナータンスが小さくなり、固有振動周期Ｔｃを短くすることができ、ノズルＮｚからの液体の噴射周期を短くすることができる。

個別供給路６１は、第１流路基板３１のうち第１連通板３１１にのみ形成され、この第１連通板３１１に第２連通板３１２を積層することによって個別供給路６１の流路の長さに対し、連通路６３および供給液室６０の流路の長さを延長させている。これにより、個別供給路６１の流路の長さを維持しつつ、連通路６３の隔壁のコンプライアンスを増加させ、供給液室６０の容積をより大きくさせている。したがって、個別供給路６１のイナータンスを維持しつつ、リザーバーＲｓ２を拡大させることによって第二個別流路７２に対しインクをより容易に供給することができる。

第１流路基板３１は、複数の連通板によって構成され、そのうちの第２連通板３１２はガラス基板によって構成される。本実施形態のガラス基板には硼珪酸ガラスが用いられる。これにより、第１流路基板３１の流路の隔壁は、シリコン基板より低いヤング率を有する。これにより、上記式（８）に示されるようにコンプライアンスのより大きい隔壁を流路に備えることができる。

なお、ガラス基板には、シリコン（Ｓｉ）と類似した線膨張係数（シリコンの線膨張係数は、４２×１０^−７／℃程度である。）の材料を用いることが好ましい。また、硼珪酸ガラスとしては、コーニング社（米国）のパイレックス（登録商標）、ショット社（ドイツ）のテンパックス・フロート（登録商標）の線膨張係数は、共に３２×１０^−７／℃程度であり、シリコンと近い線膨張係数を有するためガラス基板への適用として好ましい。

第１流路基板３１のうち第１連通板３１１はシリコン基板によって構成される。硼珪酸ガラスに比べ、シリコンの方が微細な加工が容易である。したがって、個別供給路６１に対して、例えば、半導体技術を適用した微細な流路を形成できる。なお、ノズルＮｚのような微細な流路を備えるノズルプレート５０もシリコンを用いることが好ましい。

上述したように、本実施形態の液体噴射ヘッド２６には、流路の隔壁のコンプライアンスを大きくしている。そのため、例えば、吸振体５４を備えない態様とすることもできる。これにより、液体噴射ヘッド２６を小型化することができる。

Ｂ．他の実施形態：
（Ｂ１）上記実施形態の液体噴射ヘッド２６は、連通路６３に隣接する隔壁Ｗ１、Ｗ５のコンプライアンスＣ１、Ｃ５の合計値は、圧力室６２の両側の隔壁Ｗ２、Ｗ６のコンプライアンスＣ２、Ｃ６と、第一個別流路７１の両側の隔壁Ｗ４，Ｗ８のコンプライアンスＣ４、Ｃ８と、個別供給路６１の隔壁Ｗ３，Ｗ７のコンプライアンスＣ３、Ｃ７との合計値よりも大きい。これに対して、連通路の隔壁のコンプライアンスは、圧力室の隔壁のコンプライアンスより大きい態様であってもよい。連通路の隔壁のコンプライアンスＣ１が隣接する一方の圧力室の隔壁のコンプライアンスＣ２より大きくてもよく、連通路の両側の隔壁のコンプライアンス（Ｃ１＋Ｃ５）が、隣接する圧力室の両側の隔壁のコンプライアンス（Ｃ２＋Ｃ６）であってもよい。このような態様であっても、ノズル近傍の流路である連通路の隔壁のコンプライアンスを増加させることができる。

（Ｂ２）上記実施形態の液体噴射ヘッド２６では、連通路６３の隔壁Ｗ５の厚みＴ５は、圧力室６２の隔壁Ｗ６の厚みＴ６より小さく、連通路６３の隔壁Ｗ１の厚みＴ１は、圧力室６２の隔壁Ｗ２の厚みＴ２より小さい。これに対して、連通路の隔壁の厚みが圧力室の厚みより大きい態様であってもよい。このような態様においては、例えば連通路の流路の長さをより大きくして連通路の隔壁のコンプライアンスを増加させることがこのましい。
このような態様であってもノズル近傍の流路である連通路の隔壁のコンプライアンスを増加させることができる。

（Ｂ３）上記実施形態の液体噴射ヘッド２６では、配列された個別流路７０のうち最も端部側にダミー流路である個別流路７０Ｄが備えられる。これに対して、ダミー流路が備えられない態様であってもよい。このような態様であっても、連通路の隔壁のコンプライアンスを増加させることで、複数の圧力発生部を駆動させる場合との固有振動周期Ｔｃの変化が小さくすることができる。

（Ｂ４）上記実施形態の液体噴射ヘッド２６では、個別供給路６１の長さＤ１は、連通路６３の長さＤ２よりも小さい。これに対して、個別供給路の長さＤ１は、連通路の長さＤ２よりも大きい態様であってもよい。このような態様であっても、連通路の隔壁のコンプライアンスを増加させることで、複数の圧力発生部を駆動させる場合との固有振動周期Ｔｃの変化が小さくすることができる。

（Ｂ５）上記実施形態の液体噴射ヘッド２６において、第１流路基板３１は、第１連通板３１１と、第２連通板３１２とを備える。これに対して、第１流路基板は、１枚の連通板によって構成される態様とすることもできる。このような態様においては、１枚の連通板の内部において、連通路の長さが個別供給路の長さよりも大きくなるように加工することが好ましい。このような態様であっても、上記実施形態と同様な効果が得られることができる。

（Ｂ６）上記実施形態の液体噴射ヘッド２６において、個別供給路６１は、第１流路基板３１のうち第１連通板３１１にのみ形成される。これに対して、個別供給路は、複数の連通板に亘って形成される態様であってもよい。このような態様においては、連通路の流路の長さが個別供給路の流路の長さよりも長くなるように構成されることが好ましい。

（Ｂ７）上記実施形態の液体噴射ヘッド２６において、第２連通板３１２はガラス基板によって構成される。これに対して、第２連通板は、例えば、ガラス基板やセラミック基板、単結晶基板といったシリコン基板以外の種々の基板によって構成されていてもよい。このような態様であっても、連通路の隔壁のコンプライアンスを増加させることで、複数の圧力発生部を駆動させる場合との固有振動周期Ｔｃの変化が小さくすることができる。

（Ｂ８）上記実施形態の液体噴射ヘッド２６において、第１流路基板３１のうち第１連通板３１１はシリコン基板によって構成される。これに対して、第１連通板は、例えば、ガラス基板やセラミック基板、単結晶基板といったシリコン基板以外の種々の基板によって構成されていてもよい。このような態様であっても、連通路の隔壁のコンプライアンスを増加させることで、複数の圧力発生部を駆動させる場合との固有振動周期Ｔｃの変化が小さくすることができる。

（Ｂ９）上記実施形態では、液体噴射ヘッド２６は、１つの第一共通流路５１と、２つの第二共通流路５２とが、２つの個別流路群１７によって接続されて２つの循環流路９０を構成する。これに対して、第二共通流路は１つであってもよく、３以上を備える態様であってもよい。このような態様においては、第二共通流路と同じ数の個別流路群を備えることがより好ましい。

（Ｂ１０）上記実施形態の液体噴射ヘッド２６は、インクが流路の内部を流通される場合において、連通路６３の上流側の流路での流路抵抗は、連通路６３の下流側の流路抵抗よりも大きく設定されている。これに対して連通路６３の上流側の流路での流路抵抗は、連通路の下流側の流路抵抗よりも小さく設定されていてもよい。このような態様であっても、連通路の隔壁のコンプライアンスを増加させることで、複数の圧力発生部を駆動させる場合との固有振動周期Ｔｃの変化が小さくすることができる。連通路６３の上流側の流路での流路抵抗を、連通路の下流側の流路抵抗よりも小さく設定した場合には、上流側の共通流路に吸振体５４を設けるのが好ましい。この場合はインクの供給は、図３の第二循環口５７から行う。

（Ｂ１１）上記実施形態の液体噴射ヘッド２６では、圧電素子を用いてインクを噴射させる。これに対して、噴射駆動素子としてピエゾ素子以外の種々のものを利用することが可能である。例えば、インク通路に配置したヒータに通電し、インク通路内に発生する泡（バブル）によりインクを吐出するタイプの吐出駆動素子を備えたプリンタに適用することも可能である。

（Ｂ１２）上記実施形態の液体噴射ヘッド２６では、循環機構７５は、液体噴射ヘッド２６の上面側に接続されている。これに対して、液体噴射ヘッドは循環機構を備えず、液体噴射装置が循環機構を備える態様であってもよい。このような態様においては、循環機構は、第一共通流路および第二共通流路に対してインクを供給又は排出の少なくとも一方を行えるように流路を接続されることが好ましい。

Ｃ．他の形態：
本発明は、上述した実施形態に限られるものではなく、その趣旨を逸脱しない範囲において種々の形態で実現することができる。例えば、本発明は、以下の形態（aspect）によっても実現可能である。以下に記載した各形態中の技術的特徴に対応する上記実施形態中の技術的特徴は、本発明の課題の一部又は全部を解決するために、あるいは、本発明の効果の一部又は全部を達成するために、適宜、差し替えや、組み合わせを行うことが可能である。また、その技術的特徴が本明細書中に必須なものとして説明されていなければ、適宜、削除することが可能である。

（１）本発明の一形態によれば、液体を外部に噴射する液体噴射ヘッドが提供される。この液体噴射ヘッドは、前記液体を噴射する複数のノズルと、複数の圧力室の各々に個別に配置され、前記圧力室の圧力を変化させて前記ノズルから前記液体を噴射させる複数の圧力発生部と、前記複数のノズルの各々が個別に配置され、前記複数の圧力室の各々と連通する複数の連通路と、前記複数の連通路と前記複数の圧力室とを含む複数の流路に前記液体を供給又は排出の少なくとも一方を行う共通流路と、を備える。前記複数の連通路は、隣接する連通路と隔壁を介して配列され、前記複数の圧力室は、隣接する圧力室と隔壁を介して配列され、前記連通路の隔壁のコンプライアンスを、前記圧力室の隔壁のコンプライアンスよりも大きくする。この形態の液体噴射ヘッドによれば、連通路の隔壁のコンプライアンスが圧力室のコンプライアンスよりも大きい。そのため、ノズル近傍の流路である連通路の隔壁のコンプライアンスを増加させることができる。したがって、固有振動周期Ｔｃ１とＴｃ２との差を小さくすることができる。これにより、隣接する複数の個別流路のうち、一つの圧力発生部を駆動させる場合と、複数の圧力発生部を駆動させる場合との固有振動周期Ｔｃの変化が小さくなり、クロストークの発生を抑制することができる。

（２）上記形態の液体噴射ヘッドにおいて、前記共通流路は、前記液体が前記圧力室に供給される第一共通流路と、前記連通路および前記圧力室を通過した前記液体が受け入れられる第二共通流路と、を備える。前記連通路および前記圧力室が、前記第一共通流路と前記第二共通流路とを接続する複数の個別流路の一部を構成する。前記複数の個別流路は、前記連通路と前記第一共通流路とを接続する複数の第一個別流路と、前記圧力室と前記第二共通流路とを接続する流路である複数の個別供給路と、を備える。前記複数の第一個別流路は、隣接する第一個別流路と隔壁を介して配列され、前記複数の個別供給路は、隣接する個別供給路と隔壁を介して配列され、前記連通路の隔壁のコンプライアンスを、前記圧力室の隔壁のコンプライアンスと、前記第一個別流路の隔壁のコンプライアンスと、前記個別供給路の隔壁のコンプライアンスとの合計値よりも大きくする。この形態の液体噴射ヘッドによれば、隣接する連通路間の隔壁のコンプライアンスは、圧力室間の隔壁のコンプライアンスと、第一個別流路間の隔壁のコンプライアンスと、第二個別流路間のコンプライアンスとの合計値よりも大きくなる。したがって、ノズル近傍の流路である連通路の隔壁のコンプライアンスがより大きくなる。したがって、隣接する複数の個別流路のうち、一つの圧力発生部を駆動させる場合と、複数の圧力発生部を駆動させる場合との固有振動周期Ｔｃの変化が小さくなり、クロストークの発生を抑制することができる。

（３）上記形態の液体噴射ヘッドにおいて、前記複数の個別流路のうち、配列の両端側に備えられる前記個別流路には、前記液体を前記外部に噴射しないダミー流路が隣接されてもよい。この形態の液体噴射ヘッドによれば、複数の個別流路の両端側にはダミー流路となる個別流路が備えられる。これにより、ダミー流路に隣接する個別流路は、ダミー流路である個別流路の隔壁によるコンプライアンスも得ることができる。

（４）上記形態の液体噴射ヘッドにおいて、前記個別供給路内の前記液体の流通方向に沿った向きの前記個別供給路の長さを、前記連通路の長さよりも小さくしてもよい。この形態の液体噴射ヘッドによれば、連通路に対して個別供給路の流路を短くすることができる。したがって、個別供給路のイナータンスが小さくなり、固有振動周期Ｔｃを短くすることができ、ノズルからの液体の噴射周期を短くすることができる。

（５）上記形態の液体噴射ヘッドにおいて、前記連通路の一部と前記第二共通流路との一部を含む板状の複数の連通板と、前記複数の連通板を積層し、前記連通路の一部および前記第二共通流路の一部の各々を互いに接続した流路基板と、を備えていてもよい。この形態の液体噴射ヘッドによれば、連通路の隔壁の面積を大きくすることができる。したがって、連通板を積層する量に応じて、連通路のコンプライアンスを増加させることができる。また、第二個別流路に接続された第二共通流路の容積をより大きくすることができ、第二個別流路へのインクの供給がより容易となる。

（６）上記形態の液体噴射ヘッドにおいて、前記個別供給路は、前記流路基板のうち前記圧力室と接続される前記連通板のみに含まれてもよい。この形態の液体噴射ヘッドによれば、個別供給路の流路の長さを維持しつつ、連通路と、第二共通流路との容積をより大きくすることができる。したがって、個別供給路のイナータンスを維持しつつ、連通路のコンプライアンスを増加し、第二個別流路に対しインクをより容易に供給することができる。

（７）上記形態の液体噴射ヘッドにおいて、前記個別供給路を含む前記連通板は、シリコン基板であってもよい。この形態の液体噴射ヘッドによれば、第二個別流路を備える連通板をシリコン基板で構成し、ガラス基板を含む連通板によって流路の隔壁が構成される。第二個別流路に対して半導体技術を適用した微細な流路を形成できるとともに、より大きいコンプライアンスを有する隔壁を流路に備えることができる。

（８）上記形態の液体噴射ヘッドにおいて、前記複数の連通板の少なくとも１つはガラス基板であってもよい。この形態の液体噴射ヘッドによれば、ガラス基板によって流路の隔壁が構成される。したがって、シリコン基板のみで流路の隔壁を構成する態様と比較して、低いヤング率を有する流路の隔壁を構成することができる。これにより、上記式（７）に示されるようにコンプライアンスのより大きい隔壁を流路に備えることができる。

（９）上記形態の液体噴射ヘッドにおいて、前記連通路の隔壁の厚みを、前記圧力室の隔壁の厚みよりも小さくしてもよい。この形態の液体噴射ヘッドによれば、連通路の隔壁の厚みＴは、圧力室の隔壁の厚みより小さくなる。したがって、ノズル近傍の流路である連通路のコンプライアンスを増加させることができる。

（１０）上記形態の液体噴射ヘッドにおいて、前記液体が前記流路の内部を流通される場合において、前記連通路の内圧よりも高い内圧を有する側の流路の流路抵抗を、前記連通路の内圧よりも低い内圧を有する側の流路の流路抵抗よりも大きくしてもよい。この形態の液体噴射ヘッドによれば、液体が流路内を流通している場合に連通路よりも上流側に下流側よりも流路抵抗の大きい流路が備えられる。したがって、流路へのインクの供給に伴うクロストークの発生を抑制することができる。

（１１）上記形態の液体噴射ヘッドにおいて、前記共通流路における圧力の変化を吸収する平面状の吸振体を備えてもよい。前記低い内圧を有する側の流路は、前記共通流路の一部を含み、前記吸振体は、前記低い内圧を有する側の共通流路の内壁を構成する。この形態の液体噴射ヘッドによれば、吸振体が、流路抵抗が小さい流路の下流側にあたる共通流路の内壁となる位置に備えられる。これにより、共通流路におけるイナータンスを増加させることができ、クロストークの発生を抑制することができる。

（１２）上記形態の液体噴射ヘッドにおいて、前記流路に前記液体を通過させて移動させる流動機構を備えていてもよい。この形態の液体噴射ヘッドによれば、流動機構が、液体噴射装置の液体噴射ヘッドに備えられる。したがって、装置を大型化させることなく流動機構を備えた液体噴射ヘッドを実現することができる。

（１３）本発明の他の形態によれば、液体噴射装置が提供される。この液体噴射装置は、上記各形態の液体噴射ヘッドと、前記共通流路を介して前記流路に前記液体を通過させて移動させる流動機構と、を備える。この形態の液体噴射装置によれば、液体噴射ヘッド内の流路に液体を流通させる流動機構が液体噴射装置に備えられる。したがって、より出力の大きい流通機構によって、液体噴射ヘッドの流路に液体を流通させることができる。

本発明は、インクを噴射する液体噴射装置に限らず、インク以外の他の液体を噴射する任意の液体噴射装置にも適用することができる。例えば、以下のような各種の液体噴射装置に本発明は適用可能である。ファクシミリ装置等の画像記録装置、液晶ディスプレイ等の画像表示装置用のカラーフィルターの製造に用いられる色材噴射装置、有機ＥＬ（Ｅｌｅｃｔｒｏ Ｌｕｍｉｎｅｓｃｅｎｃｅ）ディスプレイや、面発光ディスプレイ（Ｆｉｅｌｄ Ｅｍｉｓｓｉｏｎ Ｄｉｓｐｌａｙ、ＦＥＤ）等の電極形成に用いられる電極材噴射装置、バイオチップ製造に用いられる生体有機物を含む液体を噴射する液体噴射装置、
精密ピペットとしての試料噴射装置、潤滑油の噴射装置、樹脂液の噴射装置、時計やカメラ等の精密機械にピンポイントで潤滑油を噴射する液体噴射装置、光通信素子等に用いられる微小半球レンズ（光学レンズ）などを形成するために紫外線硬化樹脂液等の透明樹脂液を基板上に噴射する液体噴射装置、基板などをエッチングするために酸性又はアルカリ性のエッチング液を噴射する液体噴射装置、他の任意の微小量の液滴を噴射させる液体噴射ヘッドを備える液体噴射装置等の形態で実現することができる。

１２…媒体、１４…液体容器、１５…ポンプ、１６…供給管、１７…個別流路群、２０…制御ユニット、２２…搬送機構、２３…搬送ベルト、２４…ヘッド移動機構、２５…キャリッジ、２６…液体噴射ヘッド、３０…流路形成部材、３１…第１流路基板、３２…第２流路基板、４２…振動部、４４…圧電素子、４６…保護部材、４８…筐体部、５０…ノズルプレート、５１…第一共通流路、５２…第二共通流路、５４…吸振体、５７…第二循環口、５８…第二液室、５９…第二流入室、６０…供給液室、６１…個別供給路、６２…圧力室、６３…連通路、６５…第一流入室、６６…第一液室、６７…第一循環口、７０…個別流路、７０Ｄ…個別流路、７０ａ…個別流路、７０ｂ…個別流路、７１…第一個別流路、７２…第二個別流路、７５…循環機構、７６…インク貯留槽、７７…圧力調整部、９０…循環流路、１００…液体噴射装置、３１１…第１連通板、３１２…第２連通板、ＡＸ…中心面、Ｆａ…上面、Ｆｂ…下面、Ｌ１…第１ノズル列、Ｌ２…第２ノズル列、Ｎｚ…ノズル、Ｐ１…第１部分、Ｐ２…第２部分、Ｒｓ１…リザーバー、Ｒｓ２…リザーバー

Claims (13)

1. 液体を外部に噴射する液体噴射ヘッドであって、
   前記液体を噴射する複数のノズルと、
   複数の圧力室の各々に個別に配置され、前記圧力室の圧力を変化させて前記ノズルから前記液体を噴射させる複数の圧力発生部と、
   前記複数のノズルの各々が個別に配置され、前記複数の圧力室の各々と連通する複数の連通路と、
   前記複数の連通路と前記複数の圧力室とを含む複数の流路に前記液体を供給又は排出の少なくとも一方を行う共通流路と、を備え、
   前記複数の連通路は、隣接する連通路と隔壁を介して配列され、
   前記複数の圧力室は、隣接する圧力室と隔壁を介して配列され、
   前記連通路の隔壁のコンプライアンスを、前記圧力室の隔壁のコンプライアンスよりも大きくした、
   液体噴射ヘッド。
2. 請求項１に記載の液体噴射ヘッドであって、
   前記共通流路は、
   前記液体が前記圧力室に供給される第一共通流路と、
   前記連通路および前記圧力室を通過した前記液体が受け入れられる第二共通流路と、
   を備え、
   前記連通路および前記圧力室が、前記第一共通流路と前記第二共通流路とを接続する複数の個別流路の一部を構成し、
   前記複数の個別流路は、
   前記連通路と前記第一共通流路とを接続する複数の第一個別流路と、
   前記圧力室と前記第二共通流路とを接続する流路である複数の個別供給路と、を備え、
   前記複数の第一個別流路は、隣接する第一個別流路と隔壁を介して配列され、
   前記複数の個別供給路は、隣接する個別供給路と隔壁を介して配列され、
   前記連通路の隔壁のコンプライアンスを、前記圧力室の隔壁のコンプライアンスと、前記第一個別流路の隔壁のコンプライアンスと、前記個別供給路の隔壁のコンプライアンスとの合計値よりも大きくした、液体噴射ヘッド。
3. 請求項２に記載の液体噴射ヘッドであって、
   前記複数の個別流路のうち、配列の両端側に備えられる前記個別流路には、前記液体を前記外部に噴射しないダミー流路が隣接される、液体噴射ヘッド。
4. 請求項２または請求項３に記載の液体噴射ヘッドであって、
   前記個別供給路内の前記液体の流通方向に沿った向きの前記個別供給路の長さを、前記連通路の長さよりも小さくした、液体噴射ヘッド。
5. 請求項４に記載の液体噴射ヘッドであって、
   前記連通路の一部と前記第二共通流路との一部を含む板状の複数の連通板と、
   前記複数の連通板を積層し、前記連通路の一部および前記第二共通流路の一部の各々を互いに接続した流路基板と、を備える、液体噴射ヘッド。
6. 請求項５に記載の液体噴射ヘッドであって、
   前記個別供給路は、前記流路基板のうち前記圧力室と接続される前記連通板のみに含まれる、液体噴射ヘッド。
7. 請求項６に記載の液体噴射ヘッドであって、
   前記個別供給路を含む前記連通板は、シリコン基板である、液体噴射ヘッド。
8. 請求項５から請求項７のいずれか一項に記載の液体噴射ヘッドであって、
   前記複数の連通板の少なくとも１つはガラス基板である、液体噴射ヘッド。
9. 請求項１から請求項８のいずれか一項に記載の液体噴射ヘッドであって、
   前記連通路の隔壁の厚みを、前記圧力室の隔壁の厚みよりも小さくした、液体噴射ヘッド。
10. 請求項１から請求項９のいずれか一項に記載の液体噴射ヘッドであって、
    前記液体が前記流路の内部を流通される場合において、前記連通路の内圧よりも高い内圧を有する側の流路の流路抵抗を、前記連通路の内圧よりも低い内圧を有する側の流路の流路抵抗よりも大きくした、液体噴射ヘッド。
11. 請求項１０に記載の液体噴射ヘッドであって、
    前記共通流路における圧力の変化を吸収する平面状の吸振体を備え、
    前記低い内圧を有する側の流路は、前記共通流路の一部を含み、
    前記吸振体は、前記低い内圧を有する側の共通流路の内壁を構成する、液体噴射ヘッド。
12. 請求項１から請求項１１のいずれか一項に記載の液体噴射ヘッドであって、
    前記流路に前記液体を通過させて移動させる流動機構を備える、液体噴射ヘッド。
13. 請求項１から請求項１１のいずれか一項に記載の液体噴射ヘッドを搭載した液体噴射装置であって、
    前記共通流路を介して前記流路に前記液体を通過させて移動させる流動機構を備える、液体噴射装置。

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