CN110293758B - 液体喷射头 - Google Patents

Abstract

本发明提供一种液体喷射头。在液体喷射头中，在不使装置大型化的条件下具备吸振体和喷嘴板。向外部喷射液体的液体喷射头具备：喷嘴板，其上形成有喷射液体的喷嘴；压力产生部，其被设置于与配置有喷嘴的连通通道连通的压力室内，并从喷嘴喷射液体；共用流道，其向连通通道和压力室进排液体；吸振体，其对共用流道中的压力的变化进行吸收。吸振体以及喷嘴板各自的一个面成为共用流道的内壁的一部分，另一个面被配置于成为液体喷射头的外壁的一部分的位置上。

Description

液体喷射头

技术领域

本发明涉及一种液体喷射头。

背景技术

将油墨等流体从喷嘴中喷射的头具备使向喷嘴供给油墨的流道的一部分产生压力的压力产生部，并通过所产生的压力而从喷嘴喷射液体。此时，实施如下方式，即，为了使因从压力产生部产生的压力而在流道中产生的残留振动迅速地衰减，而在流道的一部分上设置可塑性部(例如专利文献1)。

近年来，为了抑制由于流体的增粘或异物的混入等而造成的喷嘴堵塞，采取了各种各样的对策。例如，提出了一种欲通过使设置于压力产生部与喷嘴之间的连通通道的油墨进行循环从而消除油墨的增粘或喷嘴堵塞的问题的技术。

在这种使液体循环的类型的液体喷射头中，关于在压力产生部中产生的压力变动如何影响流道各部的问题，不能说进行了充分的研究。发明人等在使所喷射的液体进行循环的类型的液体喷射头中，对如下的结构进行了研究，即，优选为在不使装置大型化的条件下用于使残留振动衰减的作为可塑性部的吸振体的结构。

专利文献1：日本特开2015-039794号公报

发明内容

根据本发明的一个方式，提供了一种向外部喷射液体的液体喷射头。该液体喷射头具备：喷嘴板，其上形成有喷射所述液体的喷嘴；压力产生部，其被设置于与配置有所述喷嘴的连通通道连通的压力室内，并使所述液体从所述喷嘴被喷射；共用流道，其对所述连通通道和所述压力室进排所述液体；流动机构，其使对所述共用流道进行进排的所述液体通过包含所述压力室以及所述连通通道在内的流道而进行移动；吸振体，其为平面状，且对所述共用流道中的压力的变化进行吸收。所述吸振体的一个面成为所述共用流道的内壁的一部分，另一个面被配置于成为所述液体喷射头的外壁的一部分的位置上，所述喷嘴板的一个面成为与所述吸振体不同的位置上的所述共用流道的内壁的一部分，另一个面被配置于成为所述液体喷射头的外壁的一部分的位置上。

附图说明

图1为示意性地表示第一实施方式的液体喷射装置的结构的说明图。

图2为将液体喷射头的主要的头构成部件进行分解观察来进行表示的说明图。

图3为图2中的III-III位置上的液体喷射头的剖视图。

图4为示意性地表示液体喷射头的俯视观察时的油墨的路径的说明图。

图5为本发明的第二实施方式的液体喷射装置所具备的液体喷射头的剖视图。

图6为本发明的第三实施方式的液体喷射装置所具备的液体喷射头的剖视图。

图7为示意性地表示第四实施方式的液体喷射头的油墨的路径的说明图。

具体实施方式

A.第一实施方式：

图1为示意性地表示本发明的实施方式的液体喷射装置100的结构的说明图。液体喷射装置100为向介质12喷射作为液体的一个示例的油墨的喷墨方式的印刷装置。液体喷射装置100除了将印刷纸张之外，还将树脂薄膜或布等任意的材质的印刷对象设为介质12，并针对这些各种介质12而进行印刷。图1以后的各图所示的X方向为，后述的液体喷射头26的输送方向(主扫描方向)，Y方向为与主扫描方向正交的介质输送方向(副扫描方向)，Z方向为与XY平面正交的油墨喷射方向。另外，在对方向进行指定的情况下，在方向标记中一并使用正负的符号。

液体喷射装置100具备液体容器14、将介质12送出的输送机构22、控制单元20、头移动机构24和液体喷射头26。液体容器14单独地对从液体喷射头26喷出的多种油墨进行贮留。作为液体容器14，能够利用由挠性薄膜形成的袋状的油墨袋、或可补充油墨的油墨罐等。控制单元20包括CPU(Central Processing Unit，中央处理单元)或FPGA(FieldProgrammable Gate Array，现场可编程门阵列)等处理电路和半导体存储器等存储电路，并统一地对输送机构22或头移动机构24、液体喷射头26等进行控制。输送机构22在控制单元20的控制下进行动作，并将介质12向+Y方向送出。

头移动机构24具备跨及介质12的印刷范围而在X方向上被架设的输送带23、和对液体喷射头26进行收纳并将其固定在输送带23上的滑架25。头移动机构24在控制单元20的控制下进行动作，且在液体喷射头26的主扫描方向(X方向)上使滑架25进行往复移动。在滑架25进行往复移动时，滑架25通过未图示的导轨而被引导。并且，也可以设为将多个液体喷射头26搭载在滑架25上的头结构、或将液体容器14与液体喷射头26一起搭载在滑架25上的头结构。

液体喷射头26在控制单元20的控制下使从液体容器14所供给的油墨从多个喷嘴Nz朝向介质12喷射。通过从液体喷射头26的往复移动期间的从喷嘴Nz的油墨喷射，从而在介质12上完成所期望的图像等的印刷。如图1所示，液体喷射头26具备使多个喷嘴Nz沿着副扫描方向而排列的喷嘴列，并使该喷嘴列以沿着主扫描方向而隔开预先规定的间隔的方式具有两列。该两列喷嘴列在图中作为第一喷嘴列L1、第二喷嘴列L2而被示出，并以在主扫描方向上并排的方式而具备第一喷嘴列L1的喷嘴Nz和第二喷嘴列L2的喷嘴Nz。在以下的说明中，为了便于说明，将第一喷嘴列L1和第二喷嘴列L2的中央设为中心轴，将包含该中心轴而贯穿于Y方向的YZ平面设为中心面AX。并且，第一喷嘴列L1和第二喷嘴列L2中的喷嘴Nz的排列也可以为在介质输送方向(Y方向)上错开的交错状的排列。另外，虽然第一喷嘴列L1和第二喷嘴列L2配合于液体容器14所具备的多个种类的油墨而被设置，但关于其他的喷嘴列，省略其图示。

图2为将液体喷射头26的主要的头构成部件分解观察来进行表示的说明图。具有第一喷嘴列L1和第二喷嘴列L2的液体喷射头26为，使头构成部件层压的层压体。在图2中，为了便于理解，以将作为构成部件的第一流道基板31的一部分部位切断的方式而进行图示。另外，图3为图2中的III-III剖视图。另外，为了易于理解图3的切断位置，在后述的图4中也示出了III-III切断面。以下，适当地参照两个图，对液体喷射头26的结构进行说明。并且，在图2、图3中，所图示的各构成部件的厚度并非表示实际的构成部件的厚度。

如图2、图3所示，液体喷射头26具备如下的结构，即，框体部48、和构成流道形成部件30的第二流道基板32以及第一流道基板31从-Z方向上侧起依次被层压，而且在第一流道基板31的Z方向侧的下表面Fb上，喷嘴板50以及吸振体54被粘贴在相互不重叠的位置上。框体部48为对第一流道基板31以及保护部件46的外表面进行覆盖的部件，并通过树脂材料的注射成形而被形成。为了易于理解技术，框体部48未被图示于图2中。

本实施方式的液体喷射头26以成为隔着中心面AX的面对称的方式而具备与第一喷嘴列L1的喷嘴Nz相关联的结构、与第二喷嘴列L2的喷嘴Nz相关联的结构、和与各喷嘴Nz连接的各流道。即，在液体喷射头26中，在隔着中心面AX而位于+X方向侧的第一部分P1和位于-X方向侧的第二部分P2中，其结构是共同的。第一喷嘴列L1的喷嘴Nz属于第一部分P1，第二喷嘴列L2的喷嘴Nz属于第二部分P2，中心面AX成为第一部分P1和第二部分P2的分界面。

流道形成部件30被构成为，使在X方向上并列的两个第二流道基板32层压在第一流道基板31上。第一流道基板31和第二流道基板32为在Y方向上长条的板体。如以下所说明的那样，液体流道通过对被设置于第一流道基板31和第二流道基板32上的开口部或槽进行组合而被形成。另外，通过喷嘴板50和吸振体54被粘贴在第一流道基板31的下表面Fb上，从而设置于第一流道基板31的下表面Fb上的槽在喷嘴板50与吸振体54之间形成流道。

第一流道基板31具备第二流入室59、供给液室60、供给通道61、连通通道63、第一单独流道71和第一流入室65。第一流入室65为以Y方向为长度方向的开口，并以向Y方向延伸的方式被设置于第一流道基板31的X方向上的中心处。另一方面，第二流入室59为以Y方向为长度方向的开口，并分别以向Y方向延伸的方式而被设置于第一流道基板31的X方向两侧。在第一流道基板31的下表面Fb上，且在第一流入室65的两侧，作为第一单独流道71而形成有到达各连通通道63的槽。

此外，在第一流道基板31的下表面上、且从第二流入室59连续至第一流道基板的中心侧的部位作为供给液室60而以与第一流道基板31整体的下表面Fb相比靠近-Z方向的方式而形成。第二流入室59和供给液室60与设置于框体部48上的其他的结构部件一起构成第二共用流道52。第一流入室65与同样地设置于框体部48上的其他的构成部件一起构成第一共用流道51。关于这些第一共用流道51、第二共用流道52的结构，将在后文中进行详细的说明。

在被第一流入室65和第二流入室第59夹持的位置上，设置有与喷嘴Nz数相对应的数量的连通通道63和供给通道61。这些连通通道63和供给通道61为设置于第一流道基板31上的方形的开口。连通通道63和供给通道61与被设置于第二流道基板32上的压力室62一起形成第二单独流道72。关于第二单独流道72的详细的结构和作用，将与第一单独流道71一起在后文中进行详细说明。

两个第二流道基板32利用粘合剂而被固定于第一流道基板31中的-Z方向侧的上表面Fa上。两个第二流道基板32分别被设置于第一流道基板31的上表面Fa的第一部分P1和第二部分P2上。在该第二流道基板32的下表面侧，形成有长方形形状的多个槽。当第二流道基板32与第一流道基板31的第一部分P1、第二部分P2粘合时，该槽与第一流道基板31的上表面Fa一起形成压力室62。第二流道基板32的各自的压力室62的+Z方向侧的外形包括第一流道基板31的各自的供给通道61以及连通通道63的-Z方向侧的外形。由此，压力室62与供给通道61以及连通通道63被连接在一起，从而构成第二单独流道72。

在第二流道基板32的上表面(-Z方向侧的面)上，在与压力室62相对应的各个部位上粘贴有压电元件44，从而构成振动部42。构成压力室62的槽的深度被设为，略小于第二流道基板32的厚度。也就是说，在压力室62的部位中，第二流道基板32被设为薄壁，并被设为可与压电元件44的应变一并进行变形运动的壁面。

粘贴于第一流道基板31的下表面Fb上的喷嘴板50为具备多个喷嘴Nz的平面状的部件。喷嘴板50由硅(Si)的单晶基板形成，并通过半导体制造技术，例如，通过干法蚀刻或湿法蚀刻等加工技术而形成喷嘴Nz。

喷嘴Nz为用于向外部喷射油墨的贯穿孔。在本实施方式中，喷嘴Nz的油墨的喷射方向为Z方向。多个喷嘴Nz被分别排列在直线上，以作为第一喷嘴列L1和第二喷嘴列L2。

喷嘴板50的-Z方向侧的壁面以各喷嘴Nz成为处于各连通通道63的正下方(Z方向侧)的位置的方式而被粘贴于第一流道基板31的下表面Fb上。此时，喷嘴板50的喷嘴Nz以外的-Z方向侧的壁面对第一流道基板31的第一流入室65、连通通道63、和作为槽而被设置于第一流入室65与连通通道63之间的第一单独流道71进行覆盖。因此，喷嘴板50在第一流道基板31的第一流入室65、第一单独流道71、连通通道63的部位上成为流道的内壁。另外，喷嘴板50的+Z方向侧的面成为液体喷射头26的外壁。

如附图所示，配置于喷嘴板50的X方向的两侧的两个吸振体54为具有挠性的平面状的薄膜。吸振体54例如由可塑性基板而形成。各个吸振体54的-Z方向侧的面利用粘合剂而被粘贴于第一流道基板31的下表面Fb的第一部分P1和第二部分P2上。此时，吸振体54以对第一流道基板31的供给液室60以及第二流入室59进行覆盖的方式而被配置。由此，吸振体54的-Z方向侧的面在供给液室60以及第二流入室59的部位上成为各流道的内壁。另外，吸振体54的+Z方向侧的面成为液体喷射头26的外壁。在此，成为液体喷射头26的外壁的情况是指，喷嘴板50或吸振体54构成液体喷射头26的外侧的实质的壁面的至少一部分。因此，如果是喷嘴板50，则可以说，在喷嘴板50的+Z方向侧的面上除了喷嘴Nz的部位之外均完成了涂装或被膜形成的情况下，或者即使在除了喷嘴Nz的部位之外均设置有罩的那样的情况下，喷嘴板50也将成为液体喷射头26的外壁。另外，如果是吸振体54，则可以说，在吸振体54的+Z方向侧的面上完成了涂装或被膜形成的情况下，或者即使如后述的罩部80那样，存在对吸振体54的一部分或全部进行覆盖那样的罩，吸振体54也将成为液体喷射头26的外壁。

在吸振体54的外壁侧，还具备两个罩部80。罩部80为由不锈钢(也被称为SUS板)形成的长条的板状的部件。罩部80的一个面侧具备长条的凹部。罩部80以在该凹部上覆盖各自的吸振体54的方式而被固定于第一流道基板31的下表面Fb上。由此，罩部80对吸振体54的液体喷射头26的外壁侧进行保护。因此，通过罩部80，从而保护吸振体54以免与液体喷射头26的外部的物体接触。并且，罩部80的一部分也可以为构成液体喷射头26的外壁的一部分的方式。

如图3所示，在该流道形成部件30的-Z方向侧的上表面Fa上，通过粘合剂而固定有框体部48。在框体部48中，在与设置于第一流道基板31上的第二流入室59相对应的位置上，设置有作为与第二流入室59相同形状的槽的第二液室58。在该第二流入室59中，在Y方向上的中心处设置有第二循环口57。第二液室58以及第二循环口57与已经说明的供给液室60、第二流入室59一起形成第二共用流道52。这样，第二液室58通过与第二流入室59连接而形成一个空间，从而实现作为油墨贮留室(贮液器Rs2)的功能。由此，构成了对连通通道63和压力室62共通地对油墨进行进排的共用流道。

在框体部48的X方向上的中心处，在与第一流入室65相对应的位置上，设置有作为与第一流入室65相同形状的槽的第一液室66，在该第一液室66的Y方向上的两端，设置有作为贯穿孔的第一循环口67。该第一液室66以及第一循环口67与已经说明的第一流入室65一起形成第一共用流道51。第一液室66以及第一流入室65形成油墨贮留室(贮液器Rs1)。由此，构成了对连通通道63和压力室62共通地对油墨进行进排的共用流道。

而且，框体部48也在与第二流道基板32对应的位置上形成有与第二流道基板32相同形状的槽部，在此，对第二流道基板32和保护被粘贴在其上表面上的压电元件44的保护部件46进行收纳。

当对以上说明的液体喷射头26的结构进行整理时，如下文所示。在液体喷射头26的X方向上的中心处，沿着Y方向而形成有第一共用流道51。另一方面，在液体喷射头26的X方向上的两侧，分别沿着Y方向而形成有第二共用流道52。当以喷嘴Nz所存在的连通通道63为中心来进行观察时，在所述连通通道63与第一共用流道51之间存在有第一单独流道71，而在所述连通通道63与第二共用流道52之间存在有第二单独流道72。因此，如果液体从第一共用流道51填满至第二共用流道52，则当流体从第一共用流道51的第一循环口67流入时，流体从作为共用流道的第一共用流道51穿过设置有多个的第一单独流道71而到达单独的连通通道63，进而，从此穿过设置有多个的第二单独流道72而在作为共用流道的第二共用流道52中再次汇集。在流体从第二共用流道52的第二循环口57流入的情况下，流体的流动与此相反。这样，本实施方式的液体喷射头26具备隔着图1所示的中心面AX而在两侧对称的结构。将从第一共用流道51至第二共用流道52的流道统称为循环流道90。

在本实施方式的液体喷射头26中，相对于一个第一共用流道51，而在第一部分P1侧设置多个单独流道70以及一个第二共用流道52，且在第二部分P2侧设置多个单独流道70以及一个第二共用流道52。并且，也将一个循环流道90内的多个单独流道70称为“单独流道组17”。本实施方式的液体喷射头26在第一部分P1和第二部分P2中分别具备单独流道组17。即，在本实施方式的液体喷射头26中，一个第一共用流道51和两个第二共用流道52通过两个单独流道组17而被连接，从而构成两个循环流道90。这样，在本实施方式的液体喷射头26中，通过具备多个循环流道90，从而使一个液体喷射头26所具备的喷嘴Nz的数量增加。

在图3中，示意性地图示了第一共用流道51的第一流入室65所具备的内壁的壁面Wl。壁面Wl为，第一共用流道51的壁面中的第一共用流道51内的沿着作为油墨的流通方向的Z方向的壁面，且为与第一共用流道51相比靠具备喷嘴Nz的一侧(在图3中为X方向侧)的壁面。在本实施方式中，第一单独流道71通过第一共用流道51的壁面Wl中的、作为喷嘴板50的内壁侧的端部的位置Ed1的壁面而与第一共用流道51直接连接。该“通过位置Ed1的壁面而与第一共用流道51直接连接”表示，在壁面Wl的位置Ed1上设置有第一共用流道51的流道的开口的状态(所谓的、壁面Wl与该开口对齐的状态)的情况。由此，例如，与第一单独流道71和第一共用流道51在从第一共用流道51的壁面Wl深入到喷嘴Nz侧的位置上被连接的方式相比，来自第一共用流道51的油墨易于均等地被供给至多个单独流道70。

在图3中，图示了供给通道61和供给液室60被连接的位置Ed2。该供给通道61和供给液室60被连接的位置Ed2为，与吸振体54相比分离了预先规定的距离的位置。在本实施方式中，供给通道61和供给液室60在沿着供给液室60的与吸振体54对置的壁面的位置Ed2上被连接。

压电元件44为，接受来自控制单元20的驱动信号而发生变形的有源元件。压电元件44通过该变形而产生振动。由压电元件44所产生的振动被传递至振动部42，并使压力室62的内部的油墨产生压力的变化。这样，具备压电元件44的振动部42作为使第一喷嘴列L1以及第二喷嘴列L2的每个喷嘴Nz的压力室62的液体的压力发生变化的压力产生部而发挥功能。该压力变化经由连通通道63而到达喷嘴Nz，并使油墨从喷嘴Nz被喷射。

对本实施方式的液体喷射头26的内部的油墨的流动进行说明。在本实施方式中，油墨从第一循环口67向液体喷射头26进行供给。从第一循环口67被供给的油墨通过第一液室66而到达第一流入室65。到达第一流入室65的油墨与喷嘴板50的内壁接触并沿着喷嘴板50的面方向流通。此时，油墨沿着Y方向而扩展，并且被分配至第一部分P1以及第二部分P2的各自的单独流道组17的第一单独流道71中。

流入第一单独流道71的油墨沿着喷嘴板50的面方向而流通，并向第二单独流道72的连通通道63被供给。流入连通通道63的油墨向与连通通道63连接的压力室62被引导。在由压电元件44所产生的振动被传递至油墨的情况下，连通通道63的油墨从喷嘴Nz朝向外部被喷射。

流入压力室62的油墨被引导至供给通道61。从单独流道组17的各自的供给通道61被排出的油墨在第二共用流道52的供给液室60中汇合。供给液室60的油墨沿着吸振体54的壁面而被引导至第二流入室59。流入第二流入室59的油墨流入第二液室58，并从第二循环口57向后述的油墨贮留槽76排出。

如上文所述，在本实施方式的液体喷射头26中，被供给至第一共用流道51的油墨通过第一单独流道71以及第二单独流道72而向第二共用流道52被供给。即，第一共用流道51为本实施方式中的油墨的流道的上游侧，第二共用流道52为油墨的流道的下游侧。下游侧的流道的内压通过第一单独流道71以及第二单独流道72的流道阻力而产生压力损失，从而低于上游侧的流道的内压。

在本实施方式的液体喷射头26中，吸振体54的一个面构成在油墨循环于循环流道90的内部的情况下具有与连通通道63的内压相比而较低的内压的循环流道90的内壁。即，吸振体54构成与连通通道63相比靠下游侧的内壁。另一方面，喷嘴板50的一个面构成循环流道90中的、在油墨循环于循环流道90的内部的情况下具有与连通通道63的内压相比而较高的内压的循环流道90的内壁。即，喷嘴板50构成与连通通道63相比靠上游侧的内壁。由此，与在循环流道90中的与连通通道63相比靠上游侧的循环流道90上具备吸振体54的方式相比，能够抑制吸振体54在液体喷射头26的外部侧发生变形的情况，并能够使装置小型化。

而且，在本实施方式的液体喷射头26中，吸振体54的一个面被构成为，在油墨循环于循环流道90的内部的情况下，成为具有与喷嘴板50的外壁侧的气压相比而较低的内压的循环流道90的内壁。“喷嘴板50的外壁侧的气压”为，喷嘴板50的外部的气压，也可以利用常数而被设定。在本实施方式中，喷嘴板50的外壁侧的气压作为常数1atm而被设定。由此，在本实施方式的液体喷射头26中，吸振体54构成具有与液体喷射头26的外部的气压相比而较低的内压的循环流道90的壁面。由此，吸振体54变得易于在循环流道90的内部侧发生变形。因从，能够抑制吸振体54与罩部80接触的不良现象的产生。

图4为示意性地表示液体喷射头26的俯视观察时的油墨的路径的说明图。在图4中，为了易于理解技术，还图示了因位于图中的近前(Z方向)侧的部件而无法目视确认的部件。

如上文所述，本实施方式的液体喷射头26在以中心面AX为中心的两侧具备两个由第一共用流道51、第二共用流道52、第一单独流道71和第二单独流道72构成的循环流道90。液体喷射头26还具备液体容器14、泵15、供给管16、循环机构75、油墨贮留槽76和压力调节部77。

液体容器14为对油墨进行贮留的罐。液体容器14与泵15连接。供给管16为用于向循环流道90供给从液体容器14被供给的油墨的配管。在本实施方式中，供给管16被设置有四个，并分别与两个第一循环口67和两个第二循环口57连接。

贮留于液体容器14中的油墨通过泵15而被压送至供给管16的内部。被压送的油墨根据循环流道90的油墨的流通方向，而选择性地向第二循环口57或第一循环口67进行供给。在本实施方式中，贮留于液体容器14中的油墨向第一循环口67进行供给。

循环机构75为，使对第二循环口57或第一循环口67进行进排的油墨通过循环流道90而移动的流动机构。循环机构75具备油墨贮留槽76和压力调节部77。压力调节部77通过泵15的压送压而将油墨贮留槽76的内部的油墨的压力调节为低压。循环流道90中的油墨的循环通过对由泵15以及压力调节部77产生的压力进行调节从而被实现。

图4所示的箭头标记示意性地表示本实施方式中的油墨的流通方向。更具体而言，贮留于液体容器14中的油墨、和贮留于油墨贮留槽76中的油墨向第一共用流道51的第一循环口67被压送。供给至第一共用流道51的油墨被分配至在第一流入室65的X方向的两侧所具备的第一部分P1以及第二部分P2的第一单独流道71。供给至第一单独流道71的油墨向与第一单独流道71连接的第二单独流道72进行供给。被供给至第二单独流道72的油墨从喷嘴Nz向外部被喷射，或者向与第二单独流道72连接的第二共用流道52被供给。供给至第二共用流道52的油墨经由第二循环口57而向油墨贮留槽76被压送。

即，在本实施方式的液体喷射头26中，供给至第一共用流道51的油墨被分配至第一部分P1以及第二部分P2各自的第一单独流道71，并穿过第二共用流道52而到达循环机构75。到达了循环机构75的油墨再次向第一共用流道51被供给。如上文所述，本实施方式的液体喷射头26通过两个循环流道90、和循环机构75而使油墨循环。

以上，对本实施方式的液体喷射头26的结构以及油墨的流动进行了详细的说明。根据该液体喷射头26，吸振体54和喷嘴板50构成循环流道90的内壁，并且构成液体喷射头26的外壁。由此，能够以较少的部件个数来构成具备循环流道90的液体喷射头26。因此，能够在不使装置大型化的条件下实现具备吸振体54和喷嘴板50的液体喷射头26。

B.第二实施方式：

图5为本发明的第二实施方式的液体喷射装置100b所具备的液体喷射头26b的剖视图。第二实施方式的液体喷射头26b在代替第一实施方式的循环流道90而具备循环流道90b的这一点、代替两个吸振体54而具备一个吸振体54b的这一点、代替两个罩部80而具备一个罩部80b的这一点、以及代替一个喷嘴板50而具备两个喷嘴板50b的这一点上有所不同，除此以外的结构均与第一实施方式的液体喷射头26相同。

液体喷射头26b具备两个循环流道90b。循环流道90b在代替第一实施方式的一个第一共用流道51而具备两个第一共用流道51b的这一点、代替第一实施方式的两个第二共用流道52而具备一个第二共用流道52b的这一点上有所不同。循环流道90b的除此以外的结构均与第一实施方式的循环流道90相同。

液体喷射头26b相对于一个第二共用流道52b而在第一部分P1侧具备单独流道组17以及一个第一共用流道51b，在第二部分P2侧具备单独流道组17以及一个第一共用流道51b。即，在本实施方式的液体喷射头26b中，一个第二共用流道52b和两个第一共用流道51b通过两个单独流道组17而被连接，从而构成两个循环流道90b。这样，在本实施方式的液体喷射头26中，通过具备多个循环流道90b，而使一个液体喷射头26b所具备的喷嘴Nz的数量增加。

在液体喷射头26b中，通过泵15和循环机构75而被压送的油墨穿过供给管16而向第一部分P1侧以及第二部分P2侧的第一循环口67被供给。在循环流道90b中，第一共用流道51b为油墨的流道的上游侧，第二共用流道52b为下游侧。即，在第二实施方式的液体喷射头26b中油墨流通的循环流道90b的各结构部件的顺序、和在第一实施方式的液体喷射头26中油墨流通的循环流道90的各结构部件的顺序相同。

与第一实施方式的液体喷射头26同样，吸振体54b以对位于油墨的流道的下游侧的供给液室60以及第二流入室59进行覆盖的方式而被设置。液体喷射头26b的第二共用流道52b的第二流入室59被构成于沿着中心面AX的位置上。因此，一个吸振体54b以对与第二流入室59的X方向的两侧连接的供给液室60进行覆盖的方式而被设置。罩部80被构成为，对该吸振体54b进行覆盖。喷嘴板50b构成位于油墨的流道的上游侧的第一流入室65b、第一单独流道71和连通通道63的内壁。

在本实施方式的液体喷射头26b中，吸振体54b和喷嘴板50b构成循环流道90b的上游侧以及下游侧的内壁，并构成液体喷射头26b的外壁。由此，能够以较少的部件个数来构成具备循环流道90b的液体喷射头26b。因此，能够在不使装置大型化的条件下实现具备吸振体54b和喷嘴板50b的液体喷射头26b。另外，在本实施方式中，由于喷嘴板50b被分离为两个，因此，能够提高第一喷嘴列L1以及第二喷嘴列L2的喷嘴列的配置的自由度。另外，由于吸振体54b以及罩部80b单独地被设置，因此，能够提高吸振性能，并且，能够减少与喷嘴板50b的部件个数的总和。

C.第三实施方式：

图6为本发明的第三实施方式的液体喷射装置100c所具备的液体喷射头26c的剖视图。第三实施方式的液体喷射头26c在代替第一实施方式的喷嘴板50而具备喷嘴板50c的这一点、代替循环流道90而具备循环流道90c的这一点、代替吸振体54而具备吸振体54c的这一点、以及代替罩部80而具备罩部80c的这一点上有所不同，除此以外的结构均与第一实施方式的液体喷射头26相同。

喷嘴板50c为，对第一流道基板31的下表面Fb进行覆盖的一个平面状的部件。喷嘴板50c构成循环流道90的内壁，并构成喷嘴Nz喷射油墨的方向侧(Z方向侧)的液体喷射头26c的外壁。更具体而言，本实施方式的喷嘴板50c构成第一流入室65和连通通道63的内壁，并且构成供给液室60以及第二流入室59的内壁。喷嘴板50c所具备的喷嘴Nz的其他结构与第一实施方式的喷嘴板50相同。

液体喷射头26c具备两个循环流道90c。循环流道90c在代替第二共用流道52的第二循环口57而具备第二共用流道52c的第二循环口57c的这一点上与第一实施方式的循环流道90不同。循环流道90c的除此以外的结构均与第一实施方式的循环流道90相同。

第二循环口57c为第二液室58的侧壁所具备的贯穿孔。第二循环口57c与第一实施方式的第二循环口57在被设置的位置上有所不同，除此以外的结构均与第一实施方式的第二循环口57相同。

在液体喷射头26c中，通过泵15和循环机构75而被压送的油墨穿过供给管16而向第一部分P1侧以及第二部分P2侧的第一循环口67被供给(参照图4)。即，在循环流道90c中，第一共用流道51为油墨的流道的上游侧，第二共用流道52c为下游侧。在第三实施方式的液体喷射头26c中油墨流通的循环流道90c的各构成部件的顺序、与在第一实施方式的液体喷射头26中油墨流通的循环流道90的各构成部件的顺序相同。

吸振体54c为对压力的变化进行吸收的平面状的薄膜。吸振体54c被设置于框体部48的用于形成第二液室58的空间中，并以将该空间分隔成空隙49和第二液室58的方式而被设置。空隙49为被设置于液体喷射头26c的内侧的空间。即，在吸振体54c的一面侧，设置有第二液室58，而在另一面侧，设置有空隙49。在本实施方式中，包括位于吸振体54c的另一面侧的空隙49在内的框体部48的一部分兼作罩部80c。

这样，吸振体54c的另一面侧构成如下的内壁，即，作为在油墨循环于循环流道90c的内部的情况下具有与连通通道63的内压相比而较低的内压的流道的连通通道63的下游侧的第二液室58的内壁，并且为与作为喷嘴Nz向喷射油墨的方向侧的Z方向侧相反的一侧的循环流道90的内壁。由此，吸振体54c变得易于在第二液室58侧发生变形。因此，能够减小用于使设置于与吸振体54c的流道侧相反的一侧的吸振体54c发生变形的空隙49，并能够使液体喷射头26c小型化。由此，能够在不使装置大型化的条件下实现具备吸振体54c和喷嘴板50c的液体喷射头26c。另外，在液体喷射头26c中，由于第一流道基板31的下表面Fb侧的整体被喷嘴板50c覆盖，因此，能够简化装置的结构。

D.第四实施方式：

图7为示意性地表示第四实施方式的液体喷射头26d的俯视观察时的油墨的路径的说明图。在图7中，为了易于理解技术，还图示了因位于图中的近前(Z方向)侧的部件而无法目视确认的部件。第四实施方式的液体喷射头26d的油墨的流通方向与第一实施方式的液体喷射头26不同。第四实施方式的液体喷射头26d的除此以外的结构均与第一实施方式的液体喷射头26相同。

图7所示的箭头标记示意性地表示本实施方式中的油墨的流通方向。更具体而言，贮留于液体容器14内的油墨、和贮留于油墨贮留槽76内的油墨向第一部分P1以及第二部分P2的第二共用流道52的第二循环口57被压送。供给至第二共用流道52的油墨被分配至单独流道组17中的第二单独流道72的供给通道61。供给至第二单独流道72的油墨流通于连通通道63中，并从喷嘴Nz向外部被喷射，或者，向与第二单独流道72连接的第一单独流道71被供给。供给至第一单独流道71供给的油墨经由第一共用流道51的第一循环口67而向油墨贮留槽76被送出。

在本实施方式的液体喷射头26d中，供给至第二共用流道52供给的油墨被分配至第一部分P1以及第二部分P2的各自的第二单独流道72，并穿过单独流道组17以及第一共用流道51而到达循环机构75。到达了循环机构75的油墨再次向第二共用流道52进行供给。如上文所述，本实施方式的液体喷射头26d通过两个循环流道90、和循环机构75而使油墨在与第一实施方式的液体喷射头26反向的流通方向上循环。即，在本实施方式的液体喷射头26d中，在循环流道90中，第一共用流道51为油墨的流道的下游侧，第二共用流道52为上游侧。第一单独流道71具有与连通通道63的内压相比而较低的内压。

用于通过压电元件44而压送油墨的力被施加于油墨上。该力、与通过该力而产生的油墨的加速度之比(以下，也称为“惯性”)的大小给油墨的流动性带来影响。在惯性较大的情况下，油墨的流动性变小，而在惯性较小的情况下，油墨的流动性变大。惯性的大小能够根据油墨的密度以及流道的长度或形状而来规定。具体而言，由惯性M＝(ρL)/S表示。在此，ρ为油墨密度，L为流道长度，S为流道截面面积。当流道的截面面积在流道的长度方向上发生变化的情况下，将上述的式在长度方向上进行积分，从而能够设为流道的惯性。由于油墨的密度ρ不依赖于流道的形状而为固定，因此，惯性能够根据充满了油墨的流道的形状、即长度L、截面面积S来对其大小进行调节，并能够对各流道间的惯性的大小关系进行设定。因此，在以下的说明中，也将其称为流道的惯性。

在本实施方式中，第一单独流道71和第一共用流道51在第一共用流道51的壁面Wl中的、作为喷嘴板50侧的端部的位置Ed1上被连接。第二单独流道72的供给液室60和第二共用流道52的供给通道61在沿着供给液室60的与吸振体54对置的壁面的位置Ed2上被连接(参照图3)。

在本实施方式的液体喷射头26d中，以第一单独流道71的惯性大于将压力室62的惯性的大致二分之一与供给通道61的惯性相加而得的惯性的方式而设定了流道形状。由此，在作为循环流道90中的油墨的供给侧、且设置有吸振体54的一侧的第二共用流道52中，液体的流动变多。因此，与第一单独流道71的惯性小于将压力室62的惯性的大致二分之一与供给通道61的惯性相加而得的惯性的方式相比，能够通过吸振体54来减少伴随于液体的喷出而产生的压力波的振动，因此能够对因压力室62的振动波形与共用流道内的压力振动之间的干涉而使在压力室62内产生的压力发生变动的不良现象(以下，也称为“串扰”)的产生进行抑制。

E.其他的实施方式：

(E1)在上述各实施方式中，液体喷射头26具备罩部80。与此相对，液体喷射头也可以为不具备罩部的方式。即使是这样的方式，也能够通过罩部来保护吸振体以免与液体喷射头的外部的物体接触。另外，罩部例如既可以为网眼状的罩部，也可以为覆盖吸振体的一部分的方式。即使是这样的方式，也能够在不使装置大型化的条件下实现具备吸振体和喷嘴板的液体喷射头。

(E2)在上述各实施方式中，吸振体54的一个面被构成为，在油墨循环于循环流道90的内部的情况下，成为具有与喷嘴板50的外壁侧的气压相比而较低的内压的循环流道90的内壁。与此相对，吸振体的一个面也可以被构成为，在油墨循环于循环流道的内部的情况下，成为具有与喷嘴板的外壁侧的气压相比而较高的内压的循环流道的内壁。即使是这样的方式，也能够在不使装置大型化的条件下实现具备吸振体和喷嘴板的液体喷射头。

(E3)在上述各实施方式中，吸振体54构成与连通通道63相比靠下游侧的内壁，喷嘴板50构成与连通通道63相比靠上游侧的内壁。与此相对，吸振体也可以构成与连通通道相比靠上游侧的内壁，喷嘴板也可以构成与连通通道相比靠下游侧的内壁。即使是这样的方式，也能够在不使装置大型化的条件下实现具备吸振体和喷嘴板的液体喷射头。

(E4)在上述第四实施方式的液体喷射头26d中，以第一单独流道71的惯性大于将压力室62的惯性的大致二分之一与供给通道61的惯性相加而得的惯性的方式设定了流道形状。与此相对，第一单独流道的惯性也可以被设定为，成为将压力室的惯性的大致二分之一与供给通道的惯性相加而得到的惯性以下。即使是这样的方式，也能够在不使装置大型化的条件下实现具备吸振体和喷嘴板的液体喷射头。

(E5)在上述各实施方式中，吸振体54构成与连通通道63相比靠下游侧的第二共用流道52的内壁。与此相对，吸振体既可以被设置于第一共用流道中，也可以以构成第一共用流道或第二共用流道的任意一方的内壁的方式而被设置。即使是这样的方式，也能够在不使装置大型化的条件下实现具备吸振体和喷嘴板的液体喷射头。

(E6)在上述各实施方式中，第一单独流道71通过第一共用流道51的壁面Wl中的、作为喷嘴板50的内壁侧的端部的位置Ed1的壁面而与第一共用流道51直接连接。与此相对，第一单独流道中的第一单独流道71和第一共用流道51也可以在从第一共用流道51的壁面Wl深入到喷嘴Nz侧的位置上被连接。即使是这样的方式，也能够在不使装置大型化的条件下实现具备吸振体和喷嘴板的液体喷射头。

(E7)在上述各实施方式中，喷嘴板50的一个面构成循环流道90中的第一单独流道71以及第一共用流道51的内壁。与此相对，喷嘴板的一个面也可以构成循环流道中的第二单独流道以及第二共用流道的内壁。即使是这样的方式，也能够在不使装置大型化的条件下实现具备吸振体和喷嘴板的液体喷射头。

(E8)在上述各实施方式中，第一单独流道71和第一共用流道51通过第一共用流道51的壁面Wl中的、作为喷嘴板50侧的端部的位置Ed1的壁面而被连接。与此相对，例如，如第一单独流道和第一共用流道从第一共用流道的壁面深入到喷嘴侧的位置那样，第一单独流道和第一共用流道也可以不通过第一共用流道的壁面中的、喷嘴板侧的端部的壁面而被连接。即使是这样的方式，也能够在不使装置大型化的条件下实现具备吸振体和喷嘴板的液体喷射头。

(E9)在上述各实施方式中，液体喷射头26采用了针对两个单独流道组17而准备一个第一共用流道51、且各单独流道组17共用第一共用流道51的结构。与此相对，也可以采用针对每个单独流道组而设置第一共用流道的结构。另外，在上述实施方式中，两个单独流道组17以各自的单独流道70相对于第一共用流道51而对置的方式而被配置。与此相对，单独流道的位置也可以被设置为，隔着第一共用流道而在Y方向上大致错开半个间距。此时，在两个单独流道组中，单独流道或设置于其上的喷嘴被配置为交错状，并能够将头的Y方向上的喷嘴分辨率设为一个单独流道组的倍数的分辨率。该情况在第二实施方式中也为相同的情况。

(E10)在上述第二实施方式中，关于液体喷射头26b中的第二共用流道52、第一共用流道51、单独流道组17等的关系、或将两个单独流道组17设为在Y方向上错开大致半个间距的这一点，也能够以与第一实施方式同样的方式进行处理。

(E11)在上述各实施方式中，流道形成部件30具备一个第一流道基板31。但是，第一流道基板例如既可以为使形成有各流道的两个基板层压的结构，也可以为使三个以上的流道基板层压的结构。在这样的方式中，更容易形成流道基板的内部的流道。

F.其他方式：

本发明并未被限定于上述的实施方式，在不脱离其主旨的范围内能够通过各种方式来实现。例如，本发明也能够通过以下的方式(aspect)来实现。为了解决本发明的课题的一部分或全部，或者为了实现本发明的效果的一部分或全部，能够对与以下所记载的各方式中的技术特征相对应的上述实施方式中的技术特征适当地进行替换或组合。另外，只要在本说明书中并未将该技术特征作为必要技术特征来进行说明，则能够适当地删除。

(1)根据本发明的一个方式，提供了一种向外部喷射液体的液体喷射头。该液体喷射头具备：喷嘴板，其上形成有喷射所述液体的喷嘴；压力产生部，其被设置于与配置有所述喷嘴的连通通道连通的压力室内，并使所述液体从所述喷嘴被喷射；共用流道，其对所述连通通道和所述压力室内进排所述液体；流动机构，其使对所述共用流道进行进排的所述液体通过包含所述压力室以及所述连通通道在内的流道而进行移动；吸振体，其为平面状，且对所述共用流道中的压力的变化进行吸收。所述吸振体的一个面成为所述共用流道的内壁的一部分，另一个面被配置于成为所述液体喷射头的外壁的一部分的位置上，所述喷嘴板的一个面成为与所述吸振体不同的位置上的所述共用流道的内壁的一部分，另一个面被配置于成为所述液体喷射头的外壁的一部分的位置上。根据该方式的液体喷射头，吸振体和喷嘴板构成循环流道的内壁和液体喷射头的外壁。由此，与在具备循环流道的液体喷射头中通过吸振体和喷嘴板以外的部件来构成液体喷射头的外壁和内壁的方式相比，能够减少部件个数。因此，能够在不使装置大型化的条件下实现具备吸振体和喷嘴板的液体喷射头。

(2)根据本发明的其他的方式，提供一种向外部喷射液体的液体喷射头。该液体喷射头具备：喷嘴板，其上形成有喷射所述液体的喷嘴；压力产生部，其被设置于与配置有所述喷嘴的连通通道连通的压力室内，并使所述液体从所述喷嘴被喷射；共用流道，其对所述连通通道和所述压力室内进排所述液体；流动机构，其使对所述共用流道进行进排的所述液体通过包含所述压力室以及所述连通通道在内的流道而进行移动；吸振体，其为平面状，且对所述共用流道中的压力的变化进行吸收。所述吸振体的一个面成为所述共用流道的内壁的一部分，另一个面被配置于在所述液体喷射头的内侧形成空隙的位置上，所述喷嘴板的一个面成为与所述吸振体不同的位置上的所述共用流道的内壁的一部分，另一个面被配置于成为所述液体喷射头的外壁的一部分的位置上。由此，吸振体变得易于在流道侧发生变形。因此，能够减小用于使设置在与吸振体的流道侧相反的一侧的吸振体发生变形的空隙。由此，能够在不使装置大型化的条件下实现具备吸振体和喷嘴板的液体喷射头。

(3)在上述方式的液体喷射头中，也可以采用如下的方式，即，所述吸振体的所述一个面构成在所述液体流通于所述流道的内部的情况下具有与所述喷嘴的外壁侧的气压相比而较低的内压的一侧的所述流道的所述内壁。根据该方式的液体喷射头，吸振体构成具有与液体喷射头的外部的气压相比而较低的内压的循环流道的内壁。由此，吸振体变得易于在循环流道的内部侧发生变形。

(4)在上述方式的液体喷射头中，也可以采用如下的方式，即，所述吸振体的所述一个面构成在所述液体流通于所述流道的内部的情况下具有与所述连通通道的内压相比而较低的内压的一侧的所述流道的所述内壁。所述喷嘴板的所述一个面构成在所述流通的情况下具有与所述连通通道的所述内压相比而较高的内压的一侧的所述流道的所述内壁。根据该方式的液体喷射头，在循环流道中的与连通通道相比而内压较低的一侧的循环流道中设置吸振体。由此，与在循环流道中的与连通通道相比而内压较高的一侧的循环流道中设置吸振体的方式相比，能够抑制吸振体在液体喷射头的外部侧发生变形的情况，并且能够使装置小型化。

(5)在上述方式的液体喷射头中，也可以采用如下的方式，即，所述共用流道具备：第一共用流道，其被供给有所述液体；第二共用流道，其接受通过了所述连通通道以及所述压力室的所述液体。所述连通通道以及所述压力室构成对所述第一共用流道与所述第二共用流道进行连接的多个单独流道的一部分。根据该方式的液体喷射头，设置有多个具备喷嘴的单独流道。因此，能够增加一个液体喷射头所具备的喷嘴数量。

(6)在上述方式的液体喷射头中，也可以采用如下的方式，即，所述吸振体仅构成所述第一共用流道或所述第二共用流道中的任一方的所述共用流道的所述内壁的一部分。共用流道与单独流道组之间的连接部分为流道形状发生变化的部分。因此，在吸振体与该连接部分接触的情况下，有时会使吸振体被损伤。根据该方式的液体喷射头，吸振体以构成第一共用流道或第二共用流道中的任意一方的内壁的方式而被设置。即，吸振体仅构成共用流道的内壁。由此，能够抑制共用流道与单独流道之间的连接部分同吸振体发生接触的不良现象的产生。

(7)在上述方式的液体喷射头中，也可以采用如下的方式，即，所述单独流道具备：第一单独流道，其对所述连通通道与所述第一共用流道进行连接；第二单独流道，其包括所述连通通道和所述压力室，并对所述连通通道与所述第二共用流道进行连接。所述第一单独流道的一部分由所述喷嘴板的所述内壁构成。根据该方式的液体喷射头，第一单独流道的一部分沿着喷嘴板的壁面而被构成。由此，与第一单独流道并未沿着喷嘴板的壁面而被构成的方式相比，由于喷嘴和第一单独流道较接近，因此，易于将喷嘴附近的液体向第一单独流道进行引导。因此，能够促进喷嘴附近的液体的循环。

(8)在上述方式的液体喷射头中，也可以采用如下的方式，即，还具备供给通道，所述供给通道对所述压力室与所述第二共用流道进行连接。所述第一单独流道的惯性大于将所述压力室的惯性的二分之一与所述供给通道的惯性相加而得的惯性。根据该方式的液体喷射头，当第一单独流道在循环流道中为液体的流通方向的下游侧的情况下，第一单独流道与第一共用流道被连接的位置上的惯性大于第二单独流道与第二共用流道被连接的位置上的惯性。由此，在循环流道的中的液体的供给侧、且设置有吸振体的一侧即第二单独流道以及第二共用流道中，液体的流动变多。因此，与第一单独流道和第一共用流道被连接的位置上的惯性小于第二单独流道和第二共用流道被连接的位置上的惯性的方式相比，能够抑制压力室的振动波形和由液体的流通而产生的振动波形的振幅增大的串扰的产生。

(9)在上述方式的液体喷射头中，也可以采用如下的方式，即，所述第一单独流道以及所述第一共用流道的所述内壁的一部份由所述喷嘴板构成。根据该方式的液体喷射头，沿着喷嘴板的壁面而被构成的第一单独流道在沿着喷嘴板的壁面的位置上与第一共用流道连接。由此，从第一共用流道被供给的液体变得易于沿着喷嘴板而被引导至第一单独流道。因此，促进了循环流道内的液体的循环。

(10)在上述方式的液体喷射头中，也可以采用如下的方式，即，所述第一单独流道在所述第一共用流道的沿着所述喷嘴板的所述内壁的位置上与所述第一共用流道直接连接。根据该方式的液体喷射头，第一单独流道与第一共用流道的连接位置通过沿着第一共用流道的流通方向的壁面而被连接。例如，与第一单独流道和第一共用流道在从第一共用流道的壁面深入到喷嘴侧的位置上被连接的方式相比，液体变得易于均等地被供给至多个单独流道。

(11)在上述方式的液体喷射头中，也可以采用如下的方式，即，具备循环流道，所述循环流道使所述第二共用流道通过由所述多个单独流道构成的单独流道组而与所述第一共用流道连接，并且具备两个所述循环流道，所述两个所述循环流道使两个所述第二共用流道通过两个所述单独流道组而与一个所述第一共用流道连接。根据该方式的液体喷射头，设置有两个具备多个喷嘴的循环流道。因此，能够进一步增加一个液体喷射头所具备的喷嘴数量。

(12)在上述方式的液体喷射头中，也可以采用如下的方式，即，具备循环流道，所述循环流道使所述第一共用流道通过由所述多个单独流道构成的单独流道组而与所述第二共用流道连接，并且具备两个所述循环流道，两个所述循环流道使两个所述第一共用流道通过两个所述单独流道组而与一个所述第二共用流道连接。根据该方式的液体喷射头，设置有两个具备多个喷嘴的循环流道。因此，能够进一步增加一个液体喷射头所具备的喷嘴数量。

(13)在上述方式的液体喷射头中，也可以采用如下的方式，即，具备罩部，所述罩部对所述吸振体的另一面侧进行保护。根据该方式的液体喷射头，设置有对吸振体的液体喷射头的外壁侧进行保护的罩部。由此，能够通过罩部而保护吸振体以免与液体喷射头的外部的物体接触。

本发明并未被限定于喷射油墨的液体喷射装置，也能够应用于喷射油墨以外的其他的液体的任意的液体喷射装置中。例如，本发明能够应用于以下这样的各种液体喷射装置中。并能够以如下的方式来实现，即，传真机装置等图像记录装置、在液晶显示器等图像显示装置用的彩色滤波器的制造中所使用的颜色材料喷射装置、在有机EL(ElectroLuminescence，电致发光)显示器、或面发光显示器(Field Emission Display、FED)等的电极形成中所使用的电极材料喷射装置、喷射包含在生物芯片制造中所使用的生体有机物的液体的液体喷射装置、作为精密吸液管的样本喷射装置、润滑油的喷射装置、树脂液的喷射装置、在利用针头而向钟表或照相机等精密机械中喷射润滑油的液体喷射装置、为了形成在光通信元件等中所使用的微小半球透镜(光学透镜)等而将紫外线硬化树脂液等的透明树脂液喷射在基板上的液体喷射装置、为了对基板等进行蚀刻而喷射酸或碱等的蚀刻液的液体喷射装置、具备喷射其他的任意的微小量的液滴的液体喷射头的液体喷射装置等的方式。

符号说明

12…介质；14…液体容器；15…泵；16…供给管；17…单独流道组；20…控制单元；22…输送机构；23…输送带；24…头移动机构；25…滑架；26…液体喷射头；26b…液体喷射头；26c…液体喷射头；26d…液体喷射头；30…流道形成部件；31…第一流道基板；32…第二流道基板；42…振动部；44…压电元件；46…保护部件；48…框体部；49…空隙；50…喷嘴板；50b…喷嘴板；50c…喷嘴板；51…第一共用流道；51b…第一共用流道；52…第二共用流道；52b…第二共用流道；52c…第二共用流道；54…吸振体；54b…吸振体；54c…吸振体；57…第二循环口；57c…第二循环口；58…第二液室；59…第二流入室；60…供给液室；61…供给通道；62…压力室；63…连通通道；65…第一流入室；65b…第一流入室；66…第一液室；67…第一循环口；70…单独流道；71…第一单独流道；72…第二单独流道；75…循环机构；76…油墨贮留槽；77…压力调节部；80…罩部；80b…罩部；80c…罩部；90…循环流道；90b…循环流道；90c…循环流道；100…液体喷射装置；100c…液体喷射装置；100b…液体喷射装置；AX…中心面；Ed1…位置；Ed2…位置；Fa…上表面；Fb…下表面；L1…第一喷嘴列；L2…第二喷嘴列；Nz…喷嘴；P1…第一部分；P2…第二部分；Rs1…贮液器；Rs2…贮液器；Wl…壁面。

Claims (13)

1.一种液体喷射头，其向外部喷射液体，并具备：

喷嘴板，其上形成有喷射所述液体的喷嘴；

压力产生部，其被设置于与配置有所述喷嘴的连通通道连通的压力室内，并使所述液体从所述喷嘴喷射；

共用流道，其对所述连通通道和所述压力室进排所述液体；

吸振体，其对所述共用流道中的压力的变化进行吸收，

所述吸振体的一个面成为所述共用流道的内壁的一部分，

另一个面被配置于成为所述液体喷射头的外壁的一部分的位置上，

所述喷嘴板的一个面成为与所述吸振体不同的位置上的所述共用流道的内壁的一部分，

另一个面被配置于成为所述液体喷射头的外壁的一部分的位置上。

2.一种液体喷射头，其向外部喷射液体，并具备：

喷嘴板，其上形成有喷射所述液体的喷嘴；

压力产生部，其被设置于与配置有所述喷嘴的连通通道连通的压力室内，并使所述液体从所述喷嘴被喷射；

共用流道，其对所述连通通道和所述压力室进排所述液体；

吸振体，其对所述共用流道中的压力的变化进行吸收，

所述吸振体的一个面成为所述共用流道的内壁的一部分，

另一个面被配置于在所述液体喷射头的内侧形成空隙的位置上，

所述喷嘴板的一个面成为与所述吸振体不同的位置上的所述共用流道的内壁的一部分，

另一个面被配置于成为所述液体喷射头的外壁的一部分的位置上。

3.如权利要求1或权利要求2所述的液体喷射头，其中，

所述吸振体的所述一个面构成在所述液体流通于所述流道的内部的情况下具有与所述喷嘴的外壁侧的气压相比而较低的内压的一侧的所述流道的所述内壁。

4.如权利要求1或权利要求2所述的液体喷射头，其中，

所述吸振体的所述一个面构成在所述液体流通于所述流道的内部的情况下具有与所述连通通道的内压相比而较低的内压的一侧的所述流道的所述内壁，

所述喷嘴板的所述一个面构成在所述流通的情况下具有与所述连通通道的所述内压相比而较高的内压的一侧的所述流道的所述内壁。

5.如权利要求1或权利要求2所述的液体喷射头，其中，

所述共用流道具备：

第一共用流道，其被供给有所述液体；

第二共用流道，其接受通过了所述连通通道以及所述压力室的所述液体，

所述连通通道以及所述压力室构成对所述第一共用流道与所述第二共用流道进行连接的多个单独流道的一部分。

6.如权利要求5所述的液体喷射头，其中，

所述吸振体仅构成所述第一共用流道或所述第二共用流道中的任一方的所述共用流道的所述内壁的一部分。

7.如权利要求5所述的液体喷射头，其中，

所述单独流道具备：

第一单独流道，其对所述连通通道与所述第一共用流道进行连接；

第二单独流道，其包括所述连通通道和所述压力室，并对所述连通通道与所述第二共用流道进行连接，

所述第一单独流道的一部分由所述喷嘴板的所述内壁构成。

8.如权利要求7所述的液体喷射头，其中，

还具备供给通道，所述供给通道对所述压力室与所述第二共用流道进行连接，

所述第一单独流道的惯性大于将所述压力室的惯性的二分之一与所述供给通道的惯性相加而得的惯性。

9.如权利要求8所述的液体喷射头，其中，

所述第一单独流道以及所述第一共用流道的所述内壁的一部份由所述喷嘴板构成。

10.如权利要求9所述的液体喷射头，其中，

所述第一单独流道在所述第一共用流道的沿着所述喷嘴板的所述内壁的位置上与所述第一共用流道直接连接。

11.如权利要求5所述的液体喷射头，其中，

具备循环流道，所述循环流道使所述第二共用流道通过由所述多个单独流道构成的单独流道组而与所述第一共用流道连接，并且

具备两个所述循环流道，两个所述循环流道使两个所述第二共用流道通过两个所述单独流道组而与一个所述第一共用流道连接。

12.如权利要求5所述的液体喷射头，其中，

具备循环流道，所述循环流道使所述第一共用流道通过由所述多个单独流道构成的单独流道组而与所述第二共用流道连接，并且

具备两个所述循环流道，两个所述循环流道使两个所述第一共用流道通过两个所述单独流道组而与一个所述第二共用流道连接。

13.如权利要求1或权利要求2所述的液体喷射头，其中，

还具备罩部，所述罩部对所述吸振体的另一面侧进行保护。

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