JP2022150345A - 液体噴射ヘッド及び液体噴射装置 - Google Patents

Abstract

【課題】共通液室における液体の流れの乱れ等に伴うクロストークの発生を抑制することができる液体噴射ヘッド及び液体噴射装置を提供する。【解決手段】液体を噴射するノズル２１が形成されたノズル基板２０と、ノズル基板２０に接合され、ノズル２１に連通する複数の圧力室３１と、圧力室３１のそれぞれに供給路３４を介して供給される液体を貯留する第１共通液室３２と、を有する流路基板３０と、を備える液体噴射ヘッド１０であって、第１共通液室３２に連通して第１共通液室３２内の液体の圧力変動を吸収するためのメニスカスが形成される第１貫通孔６１を備える貫通孔基板６０と、第１共通液室３２内を、供給路３４側の第１メイン液室３２ａと第１貫通孔６１側の第１サブ液室３２ｂとに区画すると共に、液体が流通する第１開口部７１を有する第１フィルター７０と、を備える構成とする。【選択図】図２

Description

本発明は、液体を噴射する液体噴射ヘッド及び液体噴射装置に関し、特に、液体としてインクを噴射するインクジェット式記録ヘッド及びインクジェット式記録装置に関する。

圧電デバイスの一つである液体噴射ヘッドの代表例としては、インク滴を噴射するインクジェット式記録ヘッドが挙げられる。インクジェット式記録ヘッドとしては、例えばノズルに連通する圧力室が形成された流路基板と、この流路基板の一方面側に振動板を介して設けられた圧電アクチュエーターと、を具備し、圧電アクチュエーターによって圧力室内のインクに圧力変化を生じさせることで、ノズルからインク滴を噴射するものが知られている。

また、インクジェット式記録ヘッドとしては、複数の圧力室に共通する共通液室を備え、この共通液室から各圧力室にインクが供給されるものがある。この場合、圧電アクチュエーターの駆動による圧力室内の圧力変動が、ノズル側だけでなく共通液室側にも伝搬する。それにより共通液室内で圧力変動が生じると、各圧力室に供給されるインクの流れに乱れが生じる、いわゆるクロストークが発生し、インク滴の噴射特性が低下する虞がある。

このようなクロストークの発生に対し、共通液室内での圧力変動を抑制する構造が様々提案されている（例えば、特許文献１参照）。

特許文献１には、圧力室である圧送チャンバと、流体を圧送チャンバから吐出させるアクチュエーターと、各圧送チャンバに連通する共通液室である給送チャネルとを具備する印刷ヘッドが記載されている。そして、給送チャネル内の圧力変動を吸収するためのコンプライアント微小構造として、給送チャンバの底部表面に複数のダミーノズルが形成された構造が提案されている。

特表２０１８－５１３０４１号公報

特許文献１に記載の技術のように、共通液室である給送チャンバの底面表面にダミーノズルを設けることで、共通液室における液体の流れの乱れや衝撃をある程度は緩和することができる。しかしながら、近年の液体噴射ヘッドの高速化・高密度化・高精度化等に伴い、共通液室における液体の流れの乱れ等に伴うクロストークが発生し易くなっている。このため、共通液室における液体の流れの乱れや衝撃について、さらなる緩和が求められている。

上記課題を解決する本発明の一つの態様は、液体を噴射するノズルが形成されたノズル基板と、前記ノズル基板に接合され、前記ノズルに連通する複数の圧力室と、前記圧力室のそれぞれに供給路を介して供給される液体を貯留する第１共通液室と、を有する流路基板と、を備える液体噴射ヘッドであって、前記第１共通液室に連通して前記第１共通液室内の液体の圧力変動を吸収するためのメニスカスが形成される第１貫通孔を備える貫通孔基板と、前記第１共通液室内を、前記供給路側の第１メイン液室と前記第１貫通孔側の第１サブ液室とに区画すると共に、液体が流通する第１開口部を有する第１フィルターと、を備えることを特徴とする液体噴射ヘッドにある。

また本願発明の他の態様は、上記液体噴射ヘッドを具備することを特徴とする液体噴射装置にある。

本発明の一実施形態に係るインクジェット式記録装置の模式図である。 本発明の実施形態１に係るインクジェット式記録ヘッドの断面図である。 本発明の実施形態１に係るインクジェット式記録ヘッドの平面図である。 本発明の実施形態１に係るインクジェット式記録ヘッドの拡大断面図である。 本発明の実施形態２に係るインクジェット式記録ヘッドの断面図である。 本発明の実施形態２に係るインクジェット式記録ヘッドの平面図である。

以下、本発明を実施形態に基づいて詳細に説明する。ただし、以下の説明は、本発明の一態様についての説明であり、本発明の構成は、発明の範囲内で任意に変更可能である。各図において同一部材には同一符号を付し、重複する説明は省略する。

また、各図においてＸ、Ｙ、Ｚは、互いに直交する３つの空間軸を表している。本明細書では、これらの軸に沿った方向をＸ方向、Ｙ方向、及びＺ方向とする。各図の矢印が向かう方向を正（＋）方向、矢印の反対方向を負（－）方向として説明する。またＺ方向は、鉛直方向を示し、＋Ｚ方向は鉛直下向き、－Ｚ方向は鉛直上向きを示す。さらに、正方向及び負方向を限定しない３つのＸ、Ｙ、Ｚの空間軸については、Ｘ軸、Ｙ軸、Ｚ軸として説明する。

（実施形態１）
図１は、本発明に係る液体噴射装置の一例であるインクジェット式記録装置を模式的に示す図である。図２は、記録ヘッドの断面図であり、図３は、インクが流れる流路を説明する図であり、記録ヘッドの平面図である。また図４は、記録ヘッドの変形例を示す図であり、記録ヘッドの拡大断面図である。

本発明に係るインクジェット式記録装置（以下、単に「記録装置」ともいう）は、液体の一種であるインクをインク滴として印刷用紙等の媒体に噴射・着弾させて、当該媒体に形成されるドットの配列により画像等の印刷を行う印刷装置である。なお、媒体としては、記録用紙の他、樹脂フィルムや布等の任意の材質を用いることができる。

以下において、Ｘ、Ｙ、Ｚの３つの空間軸のうち、後述するインクジェット式記録ヘッドの移動方向（換言すると、主走査方向）をＸ軸とし、当該主走査方向と直交した媒体の搬送方向をＹ軸とする。またインクジェット式記録ヘッドのノズルが形成されたノズル面に平行な面をＸＹ平面とする。さらにノズル面、すなわち、ＸＹ平面に交差する（本実施形態では、直交する）方向をＺ軸とし、インク滴はＺ軸に沿った＋Ｚ方向に噴射されるものとする。

図１に示すように、記録装置１は、液体容器２と、媒体Ｓを送り出す搬送機構３と、制御部である制御ユニット４と、移動機構５と、液体噴射ヘッドの一例であるインクジェット式記録ヘッド（以下、単に「記録ヘッド」ともいう）１０と、を具備する。

液体容器２は、記録ヘッド１０から噴射される複数種類（例えば、複数色）のインクを個別に貯留する。液体容器２としては、例えば、記録装置１に着脱可能なカートリッジ、可撓性のフィルムで形成された袋状のインクパック、インクを補充可能なインクタンクなどが挙げられる。なお液体容器２には、例えば、色や成分等が異なる複数種類のインクが貯留されている。

制御ユニット４は、例えば、ＣＰＵ（Central Processing Unit）またはＦＰＧＡ（Field Programmable Gate Array）等の制御装置と、半導体メモリー等の記憶装置と、を備えている。制御ユニット４は、記憶装置に記憶されたプログラムを制御装置が実行することで記録装置１の各要素、すなわち、搬送機構３、移動機構５、記録ヘッド１０等を統括的に制御する。

搬送機構３は、制御ユニット４によって制御されて媒体ＳをＹ軸方向に搬送するものであり、搬送ローラー３ａを有する。すなわち搬送機構３は、搬送ローラー３ａが回転することで媒体ＳをＹ軸方向に搬送する。なお媒体Ｓを搬送する搬送機構３は、搬送ローラー３ａを備えるものに限られず、例えば、ベルトやドラムによって媒体Ｓを搬送するものであってもよい。

移動機構５は、制御ユニット４によって制御されて記録ヘッド１０をＸ軸方向に往復移動させる。移動機構５によって記録ヘッド１０が往復移動するＸ軸方向は、媒体Ｓが搬送されるＹ軸方向に交差する方向である。

具体的には、本実施形態の移動機構５は、搬送体６と搬送ベルト７とを具備する。搬送体６は、記録ヘッド１０が収容される略箱形の構造体、いわゆるキャリッジであり、搬送ベルト７に固定されている。搬送ベルト７は、Ｘ軸方向に沿って架設された無端ベルトである。そして、制御ユニット４による制御のもと搬送ベルト７が回転することで、記録ヘッド１０が搬送体６と共にＸ軸方向に沿って往復移動する。なお搬送体６は、記録ヘッド１０と共に液体容器２を搭載する構成であってもよい。

記録ヘッド１０は、液体容器２から供給されるインクを複数のノズルから媒体Ｓに噴射する。そして記録装置１では、移動機構５による媒体Ｓの搬送と、搬送体６の反復的な往復とに並行して複数の各記録ヘッド１０が媒体Ｓにインクを噴射することで、媒体Ｓの表面に所望の画像が形成される。

図２及び図３に示すように、記録ヘッド１０は、ノズル基板２０と、流路基板３０と、振動板４０とを具備する。これらノズル基板２０と、流路基板３０と、振動板４０とは、それぞれＹ軸に沿う長尺な板状部材であり、例えば、接着剤を利用して相互に接合される。すなわち流路基板３０の一方面側にノズル基板２０が接合され、流路基板３０の他方面側に振動板４０が接合される。具体的には、流路基板３０における＋Ｚ方向側の表面にノズル基板２０が接合され、流路基板３０における－Ｚ方向側の表面に振動板４０が接合される。

なお、ノズル基板２０、流路基板３０は、例えばシリコン（Ｓｉ）の単結晶基板をエッチング等の半導体製造技術により加工することで形成される。

ノズル基板２０には、インク滴を噴射するノズル２１が、Ｚ軸方向に貫通して設けられる。また、これら複数のノズル２１は、Ｙ軸方向に沿って一列に配置される。

流路基板３０は、ノズル２１に繋がるインク流路が形成される部材である。流路基板３０には、インク流路を構成する圧力室３１、第１共通液室３２、第２共通液室３３、供給路３４、連結路３５及び排出路３６が形成される。

圧力室３１は、内部に充填されたインクに対し、後述する圧電素子の駆動により圧力を付与するための空間であり、各ノズル２１に対応して複数設けられる。複数の圧力室３１は、Ｙ軸方向に沿って一列に並設される。また各圧力室３１は、流路基板３０の－Ｚ方向側の表面に開口して形成され、圧力室３１の－Ｚ方向側の面は振動板４０によって構成される。

複数の圧力室３１は、＋Ｘ方向の端部で、Ｚ軸方向に延在する供給路３４を介して第１共通液室３２に連通する。第１共通液室３２は、液体容器２から図示しない導入口を介して供給されるインクが貯留される空間である。この第１共通液室３２は、流路基板３０における＋Ｚ方向の表面に開口し、複数の圧力室３１に亘って連続するようにＹ軸方向に沿って長尺状に形成される。

また各圧力室３１は、－Ｘ方向の端部で、Ｚ軸方向に延在する連結路３５を介してノズル２１に連通する。なおＹ軸方向における供給路３４の幅は、Ｙ軸方向における圧力室３１の幅よりも小さい。同様に、Ｙ軸方向における連結路３５の幅は、Ｙ軸方向における圧力室３１の幅よりも小さい。

連結路３５には、排出路３６を介して第２共通液室３３が連通している。第２共通液室３３は、圧力室３１から連結路３５に供給されたインクのうちノズル２１から噴射されないインクが排出される空間である。第２共通液室３３は、第１共通液室３２と同様に、流路基板３０における＋Ｚ方向の表面に開口し、複数の圧力室３１に亘って連続するようにＹ軸方向に沿って長尺状に形成される。なお第１共通液室３２と第２共通液室３３とは、Ｚ軸方向の平面視においてノズル２１を挟んだ反対側に位置する。

また排出路３６は、流路基板３０における＋Ｚ方向の表面に開口して設けられ、その一端側が連結路３５の＋Ｚ方向側の端部近傍に連結する。なおＹ軸方向における排出路３６の幅は、Ｙ軸方向における連結路３５の幅よりも小さい。また各排出路３６を介して第２共通液室３３に排出されたインクは、図示しない流出路から流出し、例えば、ポンプ等を含む循環機構により第１共通液室３２に環流される。

振動板４０は、弾性的に変形可能な板状部材である。振動板４０は、例えば、酸化ケイ素（ＳｉＯ_２）で形成された第１層と、酸化ジルコニウム（ＺｒＯ_２）で形成された第２層との積層で構成される。勿論、振動板４０の構成は、特に限定されるものではない。

振動板４０の表面には、各圧力室３１に対応する複数の圧電素子５０が設けられる。各圧電素子５０は、圧力室３１の圧力を変動させる駆動素子である。具体的には、圧電素子５０は、駆動波形の供給により変形する圧電アクチュエーターであり、平面視でＸ軸方向に沿う長尺状に形成される。複数の各圧電素子５０は、複数の各圧力室３１に対応してＹ軸方向に沿って一列に配置される。

そして、この圧電素子５０の変形に連動して振動板４０が撓み変形すると、圧力室３１内の圧力が変動し、圧力室３１に充填されたインクが連結路３５を通過してノズル２１から噴射される。また圧力室３１から連結路３５に供給されたインクのうちノズル２１から噴射されないインクは、排出路３６を介して第２共通液室３３に排出される。

また、このような記録ヘッド１０は、第１共通液室３２内のインクの圧力変動を吸収するためのメニスカスが形成される第１貫通孔６１を備える貫通孔基板６０を具備する。本実施形態では、ノズル基板２０が貫通孔基板６０を兼ねており、ノズル基板２０の第１共通液室３２に対応する領域に複数の第１貫通孔６１が形成される。すなわち第１貫通孔６１は、Ｚ軸方向において第１共通液室３２に重なる位置に設けられる。

この第１貫通孔６１には、上記のように第１共通液室３２内のインクの圧力変動を吸収するためのメニスカスが形成される。すなわち、第１貫通孔６１内のメニスカスが圧力室３１から供給路３４を介して第１共通液室３２に伝播する圧力変動に応じて振動することで、第１共通液室３２内の圧力変動が吸収される。

さらに、貫通孔基板６０を兼ねるノズル基板２０には、第２共通液室３３内のインクの圧力変動を吸収するためのメニスカスが形成される第２貫通孔６２が形成される。第２貫通孔６２は、Ｚ軸方向において第２共通液室３３に重なる位置に設けられる。これにより、第２貫通孔６２内のメニスカスが、排出路３６を介して第２共通液室３３に伝播する圧力変動に応じて振動することで、第２共通液室３３内の圧力変動が吸収される。

なお本実施形態では、ノズル基板２０が貫通孔基板６０を兼ねていることで、製造工程を煩雑化することなく、第１貫通孔６１及び第２貫通孔６２を比較的容易に製造することができる。

また第１貫通孔６１及び第２貫通孔６２の個数は、特に限定されず、例えば、圧力室３１毎に１つであってもよい。さらに第１貫通孔６１及び第２貫通孔６２の形状や大きさは、特に限定されず、メニスカスが適切に形成されるように適宜決定されればよい。しかしながら、第１貫通孔６１及び第２貫通孔６２は、ノズル２１と同一形状及び大きさとすることが好ましい。これにより、第１貫通孔６１及び第２貫通孔６２をノズル２１と同時に形成することができ、製造がより容易となる。

さらに、記録ヘッド１０は、第１共通液室３２内に配される第１フィルターであるフィルター部材７０を具備する。第１共通液室３２は、このフィルター部材７０によって二つの空間に区切られる。詳しくは、第１共通液室３２は、供給路３４側の第１メイン液室３２ａと、第１貫通孔６１側の第１サブ液室３２ｂとに区画される。またフィルター部材７０は、第１共通液室３２内に第１開口部７１を有し、第１メイン液室３２ａと第１サブ液室３２ｂとは、この第１開口部７１によって連通される。すなわち第１メイン液室３２ａと第１サブ液室３２ｂとの間では、この第１開口部７１を介してインクが流通する。

本実施形態では、流路基板３０は、第１基板３７と、第１基板３７の＋Ｚ方向側に接合される第２基板３８とで構成される。フィルター部材７０は、これら第１基板３７と第２基板３８との間に配設される。

フィルター部材７０の第１開口部７１は、本実施形態では、各圧力室３１に対応して複数個所に設けられる。第１開口部７１には、Ｚ軸方向に貫通する複数の孔部７２が形成され、これら複数の孔部７２を介して第１メイン液室３２ａと第１サブ液室３２ｂとが連通される。なお第１開口部７１の構成は特に限定されず、インクが通過可能な構成であればよい。

このようなフィルター部材７０が設けられていることで、圧力室３１の上流側に配置される第１共通液室３２での液体の流れの乱れや衝撃が効果的に緩和される。したがって、第１共通液室３２でのクロストークの発生を抑制することができる。例えば、記録ヘッド１０が比較的高精度化・高密度化される場合には、特に効果的である。

ここで、フィルター部材７０の第１開口部７１の開口面積は、第１貫通孔６１の開口面積よりも大きいことが好ましい。これにより、第１共通液室３２内でのインクの適切な流れを維持しつつ、クロストークの発生を抑制することができる。

なお第１開口部７１の開口面積とは、本実施形態では、第１開口部７１に設けられた孔部７２の開口面積の合計である。また第１貫通孔６１を複数備える場合、第１貫通孔６１の開口面積とは、複数の第１貫通孔６１の開口面積の合計である。

またＺ軸方向において、フィルター部材７０の厚さは、貫通孔基板６０の厚さよりも薄いことが好ましい。本実施形態では、フィルター部材７０の厚さは、貫通孔基板６０を兼ねるノズル基板２０の厚さよりも薄いことが好ましい。これにより、第１共通液室３２内でのインクの適切な流れをより確実に維持でき、且つクロストークの発生も抑制することができる。

またフィルター部材７０は、貫通孔基板６０を兼ねるノズル基板２０と同様に、例えばシリコン（Ｓｉ）の単結晶基板で形成されている。なおフィルター部材７０の材料は、特に限定されないが、貫通孔基板６０を兼ねるノズル基板２０や流路基板３０と線膨張係数が近い材料で形成されていることが好ましい。これにより、複数の孔部７２を備える第１開口部７１を高精度に形成することができ、ひいては記録ヘッド１０の高品質化を図ることができる。

また第１開口部７１が備える複数の孔部７２は、本実施形態では、Ｚ軸方向に亘って略一定の内径で形成されているが、孔部７２の形状は、特に限定されない。例えば、図４に示すように、孔部７２を、貫通孔基板６０を兼ねるノズル基板２０側ほど内径が狭いテーパー形状としてもよい。すなわち、孔部７２を、第１メイン液室３２ａ側の内径ｄ１よりも第１サブ液室３２ｂ側の内径ｄ２が狭いテーパー形状としてもよい。孔部７２をこのような形状とすることで、第１貫通孔６１側の第１サブ液室３２ｂから供給路３４側の第１メイン液室３２ａへの異物の流入を防ぎつつ、クロストークの発生を抑制することができる。

またフィルター部材７０は、第１メイン液室３２ａ側の面よりも第１サブ液室３２ｂ側の面の撥液性が高くなっていることが好ましい。そのために、例えば、フィルター部材７０の第１サブ液室３２ｂ側の面は、撥液処理が施されていることが好ましい。あるいは、フィルター部材７０の第１メイン液室３２ａ側の面が、親液処理が施されていることが好ましい。さらには、フィルター部材７０の第１サブ液室３２ｂ側の面に撥液処理が施され、且つ第１メイン液室３２ａ側の面に親液処理が施されていることが好ましい。

これにより、フィルター部材７０の第１サブ液室３２ｂ側の面は、第１メイン液室３２ａ側の面よりも気泡が付きやすくなることで、ダンパー効果が高まりクロストークの発生をさらに抑制することができる。一方で、フィルター部材７０の第１メイン液室３２ａ側の面は気泡が付きにくくなるため、気泡に起因する不良、例えば、ドット抜け等の発生を抑制することができる。

以上説明したように、本実施形態に係る記録ヘッド１０は、第１共通液室３２に連通して第１共通液室３２内の液体の圧力変動を吸収するためのメニスカスが形成される第１貫通孔６１を備える貫通孔基板６０を兼ねるノズル基板２０と、第１共通液室３２内を、供給路３４側の第１メイン液室３２ａと第１貫通孔６１側の第１サブ液室３２ｂとに区画すると共に、インクが流通する第１開口部７１を有する第１フィルターであるフィルター部材７０と、を備える。これにより、第１共通液室３２での液体の流れの乱れや衝撃を緩和して、第１共通液室３２でのクロストークの発生を抑制することができる。

（実施形態２）
図５は、実施形態２に係る記録ヘッドの断面図であり、図６は、実施形態２に係る記録ヘッドの平面図である。なお同一部材には、同一符号を付し重複する説明は省略する。

本実施形態は、第２共通液室内を、第２メイン液室と第２貫通孔側の第２サブ液室とに区画する第２フィルターを具備する以外は、実施形態１と同様である。

具体的には、図５及び図６に示すように、記録ヘッド１０Ａは、第２フィルターを兼ねるフィルター部材７０Ａを備えている。第２共通液室３３は、フィルター部材７０Ａによって二つの空間に区切られる。詳しくは、第２共通液室３３は、フィルター部材７０Ａによって、流出路側の第２メイン液室３３ａと、第２メイン液室３３ａよりも第２貫通孔６２側の第２サブ液室３３ｂとに区画される。このフィルター部材７０Ａは、第２共通液室３３内に第２開口部７３を有し、第２メイン液室３３ａと第２サブ液室３３ｂとは、この第２開口部７３によって連通される。すなわち第２メイン液室３３ａと第２サブ液室３３ｂとの間では、この第２開口部７３を介してインクが流通する。

フィルター部材７０Ａの第２開口部７３には、第１開口部７１と同様、Ｚ軸方向に貫通する複数の孔部７４が形成されており、これら複数の孔部７４を介して第２メイン液室３３ａと第２サブ液室３３ｂとが連通される。なお第２開口部７３の構成は特に限定されず、インクが通過可能な構成であればよい。

このようなフィルター部材７０Ａが設けられていることで、第１共通液室３２及び第２共通液室３３での液体の流れの乱れや衝撃が効果的に緩和される。したがって、第１共通液室３２及び第２共通液室３３でのクロストークの発生を抑制することができる。例えば、記録ヘッド１０Ａが比較的高精度化・高密度化される場合には、特に効果的である。

なお本実施形態では、フィルター部材７０Ａが、第１共通液室３２に対応して設けられる第１フィルターと、第２共通液室３３に対応して設けられる第２フィルターとを兼ねるようにしたが、勿論、第１フィルターと第２フィルターとは別部材であってもよい。

（他の実施形態）
以上、本発明の実施形態について説明したが、本発明は、上述した実施形態に限定されるものではない。

例えば、上述の実施形態では、第１開口部７１が各圧力室３１に対応して設けられた構成を例示したが、第１開口部７１は、第１共通液室３２内の流路抵抗が適切な範囲となるように形成されていればよく、例えば、第１共通液室３２内の全体に亘って、すなわちＹ軸方向に亘って連続して設けられていてもよい。同様に、第２開口部７３も、第２共通液室３３内の全体に亘って連続して設けられていてもよい。

また上述の実施形態では、第１貫通孔６１及び第２貫通孔６２が、全長に亘って内径が略一定の円柱状である構成を例示したが、第１貫通孔６１及び第２貫通孔６２の形状は特に限定されない。第１貫通孔６１及び第２貫通孔６２は、例えば、－Ｚ方向側の内径が＋Ｚ方向側の内径よりも大きいテーパー形状である部分を含んで構成されていてもよい。

また上述の実施形態では、ノズル基板２０が貫通孔基板６０を兼ねた構成を例示したが、貫通孔基板６０は、勿論、ノズル基板２０とは別体であってもよい。

また上述の実施形態では、第２共通液室を備える循環タイプの記録ヘッドを例示したが、勿論、本発明は、第２共通液室を備えない非循環タイプの記録ヘッドにも適用できる。

１…インクジェット式記録装置（記録装置）、２…液体容器、３…搬送機構、３ａ…搬送ローラー、４…制御ユニット、５…移動機構、６…搬送体、７…搬送ベルト、１０，１０Ａ…記録ヘッド、２０…ノズル基板、２１…ノズル、３０…流路基板、３１…圧力室、３２…第１共通液室、３２ａ…第１メイン液室、３２ｂ…第１サブ液室、３３…第２共通液室、３３ａ…第２メイン液室、３３ｂ…第２サブ液室、３４…供給路、３５…連結路、３６…排出路、３７…第１基板、３８…第２基板、４０…振動板、５０…圧電素子、６０…貫通孔基板、６１…第１貫通孔、６２…第２貫通孔、７０，７０Ａ…フィルター部材、７１…第１開口部、７２，７４…孔部、７３…第２開口部、Ｓ…媒体

Claims (11)

1. 液体を噴射するノズルが形成されたノズル基板と、
   前記ノズル基板に接合され、前記ノズルに連通する複数の圧力室と、前記圧力室のそれぞれに供給路を介して供給される液体を貯留する第１共通液室と、を有する流路基板と、を備える液体噴射ヘッドであって、
   前記第１共通液室に連通して前記第１共通液室内の液体の圧力変動を吸収するためのメニスカスが形成される第１貫通孔を備える貫通孔基板と、
   前記第１共通液室内を、前記供給路側の第１メイン液室と前記第１貫通孔側の第１サブ液室とに区画すると共に、液体が流通する第１開口部を有する第１フィルターと、を備える
   ことを特徴とする液体噴射ヘッド。
2. 前記ノズル基板、前記流路基板、前記貫通孔基板及び前記第１フィルターのそれぞれが、単結晶シリコンで形成される
   ことを特徴とする請求項１に記載の液体噴射ヘッド。
3. 前記第１フィルターの前記第１開口部の開口面積は、前記第１貫通孔の開口面積よりも大きい
   ことを特徴とする請求項１又は２に記載の液体噴射ヘッド。
4. 前記第１フィルターの厚さは、前記貫通孔基板の厚さよりも薄い
   ことを特徴とする請求項１～３の何れか一項に記載の液体噴射ヘッド。
5. 前記第１フィルターの前記第１開口部には、液体が通過する複数の孔部が形成され、これら複数の孔部は、前記貫通孔基板側ほど面積が狭いテーパー形状である
   ことを特徴とする請求項１～４の何れか一項に記載の液体噴射ヘッド。
6. 前記第１フィルターの前記第１サブ液室側の面は、撥液処理が施される
   ことを特徴とする請求項１～５の何れか一項に記載の液体噴射ヘッド。
7. 前記第１フィルターの前記第１メイン液室側の面は、親液処理が施される
   ことを特徴とする請求項１～６の何れか一項に記載の液体噴射ヘッド。
8. 前記ノズル基板が、前記貫通孔基板を兼ねる
   ことを特徴とする請求項１～７の何れか一項に記載の液体噴射ヘッド。
9. 前記第１貫通孔は、前記ノズルと同一形状である
   ことを特徴とする請求項８に記載の液体噴射ヘッド。
10. 前記流路基板は、前記圧力室を通過した液体のうち前記ノズルから噴射されない液体が排出される第２共通液室を有し、前記貫通孔基板は、前記第２共通液室に連通して前記第２共通液室の液体の圧力変動を吸収するためのメニスカスが形成される第２貫通孔を備え、
    さらに、前記第２共通液室内を、第２メイン液室と、前記第２メイン液室よりも前記第２貫通孔側の第２サブ液室とに区画すると共に、液体が流通する第２開口部を有する第２フィルターを備える
    ことを特徴とする請求項１～９の何れか一項に記載の液体噴射ヘッド。
11. 請求項１～１０の何れか一項に記載の前記液体噴射ヘッドを具備する
    ことを特徴とする液体噴射装置。

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