WO2017047534A1 - インクジェットヘッド及びインクジェット記録装置 - Google Patents
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Abstract
本発明の課題は、小型で高解像度化が可能であり、インクの循環が可能な構造でありながら、安定的に且つ高周波数で液滴を吐出することができる、インクジェットヘッド及びインクジェット記録装置を提供することである。本発明に係るインクジェットヘッド1は、インクを射出する複数のノズルNと、複数のノズルNのそれぞれに連通し、インクが充填された複数の圧力室202と、複数の圧力室202内のインクに圧力を加える複数の圧力発生部40と、圧力室202の入口202aからノズルNの出口Nbに至るインク流路から分岐して設けられ、複数の圧力室202内のインクを排出可能な循環流路206と、循環流路206に面して設けられ、圧力により弾性変形して循環流路の容積を変更可能な第1ダンパー212,第2ダンパー222を備えたことを特徴とする。
Description
本発明は、インクジェットヘッド及びインクジェット記録装置に関する。
従来、インクジェットヘッドに備えられた複数のノズルからインクの液滴を射出して記録媒体に画像を形成するインクジェット記録装置が知られている。
このようなインクジェット記録装置では、インクジェットヘッド内に発生した気泡や混入した異物等によって、ノズルが詰まり、射出不良等の問題が生じる場合がある。また、インクの種類によっては、長時間使用しないままにしておくと、インク粒子の沈降等によってノズル付近のインク粘度が高まり、安定したインクの射出性能が得難い場合がある。
このようなインクジェット記録装置では、インクジェットヘッド内に発生した気泡や混入した異物等によって、ノズルが詰まり、射出不良等の問題が生じる場合がある。また、インクの種類によっては、長時間使用しないままにしておくと、インク粒子の沈降等によってノズル付近のインク粘度が高まり、安定したインクの射出性能が得難い場合がある。
そこで、インクジェットヘッドのヘッドチップにインクの循環流路を設けることによって、ヘッド内の気泡等をインクとともに当該循環流路に流すことができるインクジェット記録装置が知られている。
例えば、特許文献1には、複数列に配列されたノズルと、各ノズルに連通する各圧力室(ポンプ室)のそれぞれに対してインクを共通に供給する共通供給流路(流体入口通路)と、各ノズル付近のインクを排出する循環流路が複数連通する共通循環流路(再循環チャンネル)を備えたインクジェットヘッドが開示されている。
ところで、近年、インクジェットの小型化や画像の高解像度化のためノズルを高密度に配置することが求められている。しかしながら、特許文献1に記載したような、ヘッドチップに共通供給流路と共通循環流路を備えた構成では、ヘッドチップ内部に比較的大きな容積の共通循環流路及び共通供給流路(共通供給液室)が必要となるので、ヘッドチップが大型化し易く、ノズルを高密度に配置することが難しいという問題がある。
また、ヘッドチップを小さくするために、単に循環流路を狭くすると、循環流路内の圧力変動が生じやすくなるという問題や、液滴吐出後において、インク循環流路側から圧力室へのインク供給が不足することがある。そのため、気泡等の除去を効率的に行うために循環流速を速くした場合や、供給力が不足した時に、ノズルのメニスカスがブレークし、インクがノズルから漏れてしまう等の恐れが生じる。
また、ヘッドチップを小さくするために、単に循環流路を狭くすると、循環流路内の圧力変動が生じやすくなるという問題や、液滴吐出後において、インク循環流路側から圧力室へのインク供給が不足することがある。そのため、気泡等の除去を効率的に行うために循環流速を速くした場合や、供給力が不足した時に、ノズルのメニスカスがブレークし、インクがノズルから漏れてしまう等の恐れが生じる。
本発明は、このような問題に鑑みてなされたものであり、本発明の課題は、小型で高解像度化が可能であり、インクの循環が可能な構造でありながら、安定的に且つ高周波数で液滴を吐出することができる、インクジェットヘッド及びインクジェット記録装置を提供することである。
上記課題の解決のために、請求項1に記載の発明は、インクジェットヘッドであって、
インクを射出する複数のノズルと、
前記複数のノズルのそれぞれに連通し、インクが充填される複数の圧力室と、
前記複数の圧力室の各々に対応して設けられ、圧力室内のインクに圧力を加える複数の圧力発生手段と、
前記圧力室の入口から前記ノズルの出口に至るインク流路から分岐して設けられ、前記複数の圧力室内のインクを排出可能な循環流路と、
前記循環流路に面して設けられ、圧力に応じて弾性変形して前記循環流路の容積を変更可能なダンパーを備えたことを特徴とする。
インクを射出する複数のノズルと、
前記複数のノズルのそれぞれに連通し、インクが充填される複数の圧力室と、
前記複数の圧力室の各々に対応して設けられ、圧力室内のインクに圧力を加える複数の圧力発生手段と、
前記圧力室の入口から前記ノズルの出口に至るインク流路から分岐して設けられ、前記複数の圧力室内のインクを排出可能な循環流路と、
前記循環流路に面して設けられ、圧力に応じて弾性変形して前記循環流路の容積を変更可能なダンパーを備えたことを特徴とする。
請求項2に記載の発明は、請求項1に記載のインクジェットヘッドであって、
前記循環流路は、前記インク流路のうち前記圧力室の出口側の端部から前記ノズルの出口に至る部分から分岐して設けられていることを特徴とする。
前記循環流路は、前記インク流路のうち前記圧力室の出口側の端部から前記ノズルの出口に至る部分から分岐して設けられていることを特徴とする。
請求項3に記載の発明は、請求項1又は2に記載のインクジェットヘッドであって、
前記インク流路は、前記ノズルと、前記圧力室とを連通する連通路を有し、
前記循環流路は、前記連通路から分岐して設けられていることを特徴とする。
前記インク流路は、前記ノズルと、前記圧力室とを連通する連通路を有し、
前記循環流路は、前記連通路から分岐して設けられていることを特徴とする。
請求項4に記載の発明は、請求項1~3のいずれか一項に記載のインクジェットヘッドであって、
前記循環流路は、前記インク流路に連通する複数の個別循環流路と、前記複数の個別循環流路のうち少なくとも二つが連通する共通循環流路を有し、
前記ダンパーは、前記共通循環流路に面して設けられていることを特徴とする。
前記循環流路は、前記インク流路に連通する複数の個別循環流路と、前記複数の個別循環流路のうち少なくとも二つが連通する共通循環流路を有し、
前記ダンパーは、前記共通循環流路に面して設けられていることを特徴とする。
請求項5に記載の発明は、請求項4に記載のインクジェットヘッドであって、
前記ダンパーは、前記共通循環流路の上部及び下部の少なくとも一方に設けられ、前記共通循環流路の側とは反対側に、当該ダンパーに面して空気室を有していることを特徴とする。
前記ダンパーは、前記共通循環流路の上部及び下部の少なくとも一方に設けられ、前記共通循環流路の側とは反対側に、当該ダンパーに面して空気室を有していることを特徴とする。
請求項6に記載の発明は、請求項5に記載のインクジェットヘッドであって、
前記空気室の容積は、前記共通循環流路の容積よりも小さいことを特徴とする。
前記空気室の容積は、前記共通循環流路の容積よりも小さいことを特徴とする。
請求項7に記載の発明は、請求項5又は6に記載のインクジェットヘッドであって、
前記空気室は、大気に連通する大気連通部を有することを特徴とする。
前記空気室は、大気に連通する大気連通部を有することを特徴とする。
請求項8に記載の発明は、請求項4~7のいずれか一項に記載のインクジェットヘッドであって、
前記複数のノズルは、1又は複数の列で配列されており、
前記ダンパーが設けられた領域は、前記複数のノズルが設けられた領域の前記複数のノズルの配列方向の端部のノズルの位置よりも、前記複数のノズルの配列方向に延出していることを特徴とする。
前記複数のノズルは、1又は複数の列で配列されており、
前記ダンパーが設けられた領域は、前記複数のノズルが設けられた領域の前記複数のノズルの配列方向の端部のノズルの位置よりも、前記複数のノズルの配列方向に延出していることを特徴とする。
請求項9に記載の発明は、請求項4~8のいずれか一項に記載のインクジェットヘッドであって、
前記複数のノズルは、複数列で配列されており、
前記複数列の各列又は2列毎に、前記共通循環流路が設けられていることを特徴とする。
前記複数のノズルは、複数列で配列されており、
前記複数列の各列又は2列毎に、前記共通循環流路が設けられていることを特徴とする。
請求項10に記載の発明は、
請求項1~9のいずれか一項に記載のインクジェットヘッドと、
前記インク流路から前記循環流路への循環流を発生させるための循環手段を備えたことを特徴とするインクジェット記録装置である。
請求項1~9のいずれか一項に記載のインクジェットヘッドと、
前記インク流路から前記循環流路への循環流を発生させるための循環手段を備えたことを特徴とするインクジェット記録装置である。
本発明によれば、インクの循環が可能な流路を有するインクジェットヘッドにおいて、小型で高解像度化が可能であり、インクの循環が可能な構造でありながら、安定的で且つ高周波数で液滴を吐出することができる。
以下、図面を参照しながら、本発明の好ましい実施形態について説明する。但し、発明の範囲は図示例に限定されない。また、以下の説明において、同一の機能及び構成を有するものについては、同一の符号を付し、その説明を省略する。
なお、以下の説明では、ラインヘッドを用いた記録媒体の搬送のみで描画を行う1パス描画方式での実施形態を例にして説明するが、適宜の描画方式に適用可能であり、例えば、スキャン方式やドラム方式を用いた描画方式を採用しても良い。
また、以下の説明では、記録媒体Rの搬送方向を前後方向、記録媒体Rの搬送面において当該搬送方向に直交する方向を左右方向とし、前後方向及び左右方向に垂直な方向(インクの射出方向)を上下方向として説明する。
なお、以下の説明では、ラインヘッドを用いた記録媒体の搬送のみで描画を行う1パス描画方式での実施形態を例にして説明するが、適宜の描画方式に適用可能であり、例えば、スキャン方式やドラム方式を用いた描画方式を採用しても良い。
また、以下の説明では、記録媒体Rの搬送方向を前後方向、記録媒体Rの搬送面において当該搬送方向に直交する方向を左右方向とし、前後方向及び左右方向に垂直な方向(インクの射出方向)を上下方向として説明する。
[インクジェット記録装置の概略]
インクジェット記録装置100は、プラテン101、搬送ローラー102、ラインヘッド103,104,105,106、及びインクの循環機構6等を備える(図1及び図6参照)。
プラテン101は、上面に記録媒体Rを支持しており、搬送ローラー102が駆動されると、記録媒体Rを搬送方向(前後方向)に搬送する。
ラインヘッド103,104,105,106は、記録媒体Rの搬送方向(前後方向)の上流側から下流側にかけて、搬送方向に直交する幅方向(左右方向)に並列して設けられている。そして、ラインヘッド103,104,105,106の内部には、後述するインクジェットヘッド1が少なくとも一つ設けられており、例えば、シアン(C),マゼンタ(M),イエロー(Y),黒(K)のインクを記録媒体Rに向けて吐出する。
なお、インクの循環機構6については、後述する(図6参照)。
インクジェット記録装置100は、プラテン101、搬送ローラー102、ラインヘッド103,104,105,106、及びインクの循環機構6等を備える(図1及び図6参照)。
プラテン101は、上面に記録媒体Rを支持しており、搬送ローラー102が駆動されると、記録媒体Rを搬送方向(前後方向)に搬送する。
ラインヘッド103,104,105,106は、記録媒体Rの搬送方向(前後方向)の上流側から下流側にかけて、搬送方向に直交する幅方向(左右方向)に並列して設けられている。そして、ラインヘッド103,104,105,106の内部には、後述するインクジェットヘッド1が少なくとも一つ設けられており、例えば、シアン(C),マゼンタ(M),イエロー(Y),黒(K)のインクを記録媒体Rに向けて吐出する。
なお、インクの循環機構6については、後述する(図6参照)。
[インクジェットヘッド]
インクジェットヘッド1の構成について、図2~5に基づいて説明する。
なお、図3Aは、ヘッドチップ内部の圧電体41と個別配線414の配置を説明するための、アクチュエーター基板23の上面の要部を示す平面図である。また、図3Bは、ノズル基板21の底面図である。また、図3A及び図3Bでは、他層に形成される構成要素の一部を破線で示している。
また、図4は、図3A中に破線で示したIV-IV部分に平行な面について、インクジェットヘッド1の断面を表した図である。
インクジェットヘッド1の構成について、図2~5に基づいて説明する。
なお、図3Aは、ヘッドチップ内部の圧電体41と個別配線414の配置を説明するための、アクチュエーター基板23の上面の要部を示す平面図である。また、図3Bは、ノズル基板21の底面図である。また、図3A及び図3Bでは、他層に形成される構成要素の一部を破線で示している。
また、図4は、図3A中に破線で示したIV-IV部分に平行な面について、インクジェットヘッド1の断面を表した図である。
インクジェットヘッド1は、ヘッドチップ2、保持部3及び共通インク室5等を備える(図2A及び図2B等)。
(ヘッドチップ)
ヘッドチップ2は、内部に、下側から順にノズル基板21、中間基板22、アクチュエーター基板23及び保護基板24が積層一体化されることによって構成されている(図5参照)。
ヘッドチップ2は、内部に、下側から順にノズル基板21、中間基板22、アクチュエーター基板23及び保護基板24が積層一体化されることによって構成されている(図5参照)。
ノズル基板21は、例えば、ノズル層21a、酸化膜層21b、ノズル支持層21cの3層から構成されるSOI基板からなる。
ノズル層21aは、インクの液滴を射出するためのノズルNが形成された層であり、厚さ、例えば、10~20μmのSi基板からなる。ノズルNは、例えば、左右方向に沿って、複数列(例えば、4列)に並んで設けられている(図2、図3B参照)。また、ノズル層21aの下面であるノズル面には、撥インク膜(図示省略)が形成されている。
酸化膜層21bは、例えば、厚さ0.3~1.0μmのSiO2基板からなる。
ノズル支持層21cは、例えば、厚さ100~300μmのSi基板からなる。ノズル支持層21cには、ノズルNと連通しノズルNよりも径の大きな大径部211と、大径部211から前後方向に分岐して設けられ、インクの循環に使用される個別循環流路204と、が形成されている。また、個別循環流路204の下面に面して、第1ダンパー212が形成されている。
第1ダンパー212は、ノズル層21aの薄いSi基板からなり、圧力に応じてわずかに弾性変形して個別循環流路204の容積を変更可能にする。例えば、インクの循環流速を速くすると、個別循環流路204内に加わった圧力が高まり、これにより第1ダンパー212が下方向に向かって弾性変形することで、インク流路の急激な圧力変動を防ぐことができる。また、第1ダンパー212が変形することにより、大径部211を経由して、液滴吐出後の圧力室202へ速やかにインクを供給できる。
ノズル層21aは、インクの液滴を射出するためのノズルNが形成された層であり、厚さ、例えば、10~20μmのSi基板からなる。ノズルNは、例えば、左右方向に沿って、複数列(例えば、4列)に並んで設けられている(図2、図3B参照)。また、ノズル層21aの下面であるノズル面には、撥インク膜(図示省略)が形成されている。
酸化膜層21bは、例えば、厚さ0.3~1.0μmのSiO2基板からなる。
ノズル支持層21cは、例えば、厚さ100~300μmのSi基板からなる。ノズル支持層21cには、ノズルNと連通しノズルNよりも径の大きな大径部211と、大径部211から前後方向に分岐して設けられ、インクの循環に使用される個別循環流路204と、が形成されている。また、個別循環流路204の下面に面して、第1ダンパー212が形成されている。
第1ダンパー212は、ノズル層21aの薄いSi基板からなり、圧力に応じてわずかに弾性変形して個別循環流路204の容積を変更可能にする。例えば、インクの循環流速を速くすると、個別循環流路204内に加わった圧力が高まり、これにより第1ダンパー212が下方向に向かって弾性変形することで、インク流路の急激な圧力変動を防ぐことができる。また、第1ダンパー212が変形することにより、大径部211を経由して、液滴吐出後の圧力室202へ速やかにインクを供給できる。
ノズル層21a及びノズル支持層21cは、それぞれSi基板で構成されているため、ドライエッチングやウェットエッチングによって容易に加工することが可能である。また、酸化膜層21bはエッチングレートが非常に低い層であるため、ノズル層21aとノズル支持層21cをそれぞれ酸化膜層21bに向かって加工した場合に、ノズル層21a又はノズル支持層21cに加工ムラがあっても、酸化膜層21bで加工を制御することが可能である。
ここで、個別循環流路204は、酸化膜層21bに面した空隙部によって形成されているため、高精度に加工されて製造されている。なお、酸化膜層21bに面した空隙部を形成した後に、バッファード・フッ酸(BHF)等を用いたウェットエッチング処理で酸化膜層21bを除去しても良い。
ここで、個別循環流路204は、酸化膜層21bに面した空隙部によって形成されているため、高精度に加工されて製造されている。なお、酸化膜層21bに面した空隙部を形成した後に、バッファード・フッ酸(BHF)等を用いたウェットエッチング処理で酸化膜層21bを除去しても良い。
中間基板22は、例えば、厚さ100~300μmのSi基板からなり、中間基板22には、連通孔221、共通循環流路205及び第2ダンパー222が設けられている。
連通孔221は、中間基板22を上下方向に貫通し大径部211に連通している。連通孔221と大径部211は、圧力室202とノズルNを連通する連通路203となっており、インクの射出時にインク流路となる。
なお、連通孔221は、インクが通過する経路の径を絞る形状とする等、インクの流路の形状を調整することによって、インクの射出においてインクに加えられる運動エネルギーを調整するように形成しても良い。
連通孔221は、中間基板22を上下方向に貫通し大径部211に連通している。連通孔221と大径部211は、圧力室202とノズルNを連通する連通路203となっており、インクの射出時にインク流路となる。
なお、連通孔221は、インクが通過する経路の径を絞る形状とする等、インクの流路の形状を調整することによって、インクの射出においてインクに加えられる運動エネルギーを調整するように形成しても良い。
共通循環流路205は、後述する実装部4(図5参照)の下部に位置する箇所に設けられており、ノズル支持層21cに形成された複数の個別循環流路204が連通し、複数の個別循環流路204から流れてきたインクが合流する。また、以下の説明では、個別循環流路204と共通循環流路205をあわせて、循環流路206という。
第2ダンパー222は、例えば、厚さ1~30μmからなるSi基板からなり、共通循環流路205の上面に面して設けられ、第2ダンパー222の上面には空気室223が形成されている。第2ダンパー222は、共通循環流路205と空気室223との圧力差によって弾性変形して、共通循環流路205の容積を変更可能である。例えば、圧力室202に一度に圧力が加えられて共通循環流路205に一度にインクが流れた場合、共通循環流路205内の圧力が高まり、第2ダンパー222が上方向に向かって弾性変形することによって、インク流路の急激な圧力変動を防ぐことができる。
そして、液滴吐出直後においては、上方向に弾性変形した第2ダンパー222が、速やかに下方向に弾性変形することで、吐出によりインクを失った圧力室202へ微小ながら速やかに一定量インク供給を可能とするので、途中の位置にあるノズルNにおけるメニスカスブレイクを防ぐことができる。
また、第2ダンパー222の設けられる領域は、図3Bに示すように、複数のノズルNが設けられた領域A1のノズルの配列方向(左右方向)において、右端のノズルNr及び左端のノズルNlの位置よりも、それぞれノズルNの配列方向(左右方向)に延出するように形成されている。
なお、第2ダンパー222は、共通循環流路205の下面に面して設けてもよく、上面及び下面の両方に面して設けても良い。
そして、液滴吐出直後においては、上方向に弾性変形した第2ダンパー222が、速やかに下方向に弾性変形することで、吐出によりインクを失った圧力室202へ微小ながら速やかに一定量インク供給を可能とするので、途中の位置にあるノズルNにおけるメニスカスブレイクを防ぐことができる。
また、第2ダンパー222の設けられる領域は、図3Bに示すように、複数のノズルNが設けられた領域A1のノズルの配列方向(左右方向)において、右端のノズルNr及び左端のノズルNlの位置よりも、それぞれノズルNの配列方向(左右方向)に延出するように形成されている。
なお、第2ダンパー222は、共通循環流路205の下面に面して設けてもよく、上面及び下面の両方に面して設けても良い。
空気室223は、第2ダンパー222が弾性変形できる厚み(例えば、1~100μm)を有して形成されている。また、空気室223の容積は、共通循環流路205の容積よりも小さくなるように形成されている。
また、空気室223は、大気に連通する大気連通部224(図5参照)を有し、大気連通部224を蓋等で開け閉めできる構成となっている。これにより、空気室223の圧力を調整でき、第2ダンパー222が弾性変形する際の変形量を調整することができる。
なお、空気室223は、必ずしも大気連通部224を有する必要はなく、ヘッドチップ2内部に密閉された空間としても良い。
また、空気室223は、大気に連通する大気連通部224(図5参照)を有し、大気連通部224を蓋等で開け閉めできる構成となっている。これにより、空気室223の圧力を調整でき、第2ダンパー222が弾性変形する際の変形量を調整することができる。
なお、空気室223は、必ずしも大気連通部224を有する必要はなく、ヘッドチップ2内部に密閉された空間としても良い。
複数の圧力発生部40(圧力発生手段)が配置される基板としてのアクチュエーター基板23は、圧力室層23a、振動層23bから構成されており、SOI基板によって形成されている。
圧力室層23aは、例えば、100~300μm程度のSi基板からなり、圧力室層23aには、圧力室202が形成されている。圧力室202は、中間基板22の連通路203に連通しており、ノズルNから射出されるインクが充填されている。
圧力室層23aは、例えば、100~300μm程度のSi基板からなり、圧力室層23aには、圧力室202が形成されている。圧力室202は、中間基板22の連通路203に連通しており、ノズルNから射出されるインクが充填されている。
振動層23bは、例えば、20~30μm程度の薄い弾性変形可能なSi基板であり、圧力室層23aの上面の一面に形成されている。振動層23bの上面に設けられた圧電体41の動作に応じて振動層が振動され、圧電体41の下部に設けられた圧力室202内のインクに圧力が加えられる。また、振動層23bの上面には、圧力発生部40が設けられている。
圧力発生手段としての圧力発生部40は、下から順に、下部電極411、圧電体41及び上部電極413等によって構成されており、電極間に外部から電圧が印加されると、圧電体41が伸縮することによって、上下方向に変位が生じる。
具体的には、振動層23bの上面に、チタン(Ti)や白金(Pt)等の薄膜状の層を成膜して下部電極411が形成され、スパッタ法やゾルゲル法等でチタン酸ジルコン酸鉛(PZT)等の圧電材料の薄膜状の層を成膜して圧電体41が形成され、クロム(Cr)や金(Au)等の薄膜状の層を成膜することによって上部電極413が形成されている。ここで、下部電極411と、上部電極413に接続する個別配線414との間には、SiO2等の絶縁層412が形成されている。また、これらの層は、フォトリソグラフィーやエッチング等によりパターニングされ、支持層であるSi基板をエッチングすることで形成される。
このように、圧力発生部40は、振動層23bと一体的に形成されている。ここでいう「一体的に形成」とは、具体的には、振動層23bの上面に、例えば、上述したような各電極及び圧電体の積層工程を有する半導体プロセスによって形成することであるが、これに限らず、層同士を接着する接着剤が使用されることなく形成されることを意味する。なお、上記圧力発生部40は、例えば、特許第4935965号公報に記載される半導体プロセス等によって製造することができる。
具体的には、振動層23bの上面に、チタン(Ti)や白金(Pt)等の薄膜状の層を成膜して下部電極411が形成され、スパッタ法やゾルゲル法等でチタン酸ジルコン酸鉛(PZT)等の圧電材料の薄膜状の層を成膜して圧電体41が形成され、クロム(Cr)や金(Au)等の薄膜状の層を成膜することによって上部電極413が形成されている。ここで、下部電極411と、上部電極413に接続する個別配線414との間には、SiO2等の絶縁層412が形成されている。また、これらの層は、フォトリソグラフィーやエッチング等によりパターニングされ、支持層であるSi基板をエッチングすることで形成される。
このように、圧力発生部40は、振動層23bと一体的に形成されている。ここでいう「一体的に形成」とは、具体的には、振動層23bの上面に、例えば、上述したような各電極及び圧電体の積層工程を有する半導体プロセスによって形成することであるが、これに限らず、層同士を接着する接着剤が使用されることなく形成されることを意味する。なお、上記圧力発生部40は、例えば、特許第4935965号公報に記載される半導体プロセス等によって製造することができる。
圧電体41は、ノズル列に対応して複数列で配列されている(図3B参照)。また、当該複数列のうち一対の隣り合う列の向かい合う方向に、上部電極413から個別配線414が列状に引き出されており、個別配線414の端部と電装部材としてのフレキシブルプリント基板42が、実装部4で電気的に接続されている。個別配線414とフレキシブルプリント基板42は、例えば、異方性導電フィルム(ACF)を挟んで熱圧着することによって、各々に設けられた接続端子が電気的に接続されている。
そして、フレキシブルプリント基板42に接続された駆動IC43から、フレキシブルプリント基板42を通じて電気が供給されることで、圧電体41を挟む電極間に電圧が印加される。
個別配線414は、上述した圧力発生部40を形成する半導体プロセスによって、アクチュエーター基板上と一体的に形成される。また、実装部4をアクチュエーター基板上に形成できるため、別途配線用の基板を設ける必要がなく、ヘッドチップ2の構成を簡略化することができる。
そして、フレキシブルプリント基板42に接続された駆動IC43から、フレキシブルプリント基板42を通じて電気が供給されることで、圧電体41を挟む電極間に電圧が印加される。
個別配線414は、上述した圧力発生部40を形成する半導体プロセスによって、アクチュエーター基板上と一体的に形成される。また、実装部4をアクチュエーター基板上に形成できるため、別途配線用の基板を設ける必要がなく、ヘッドチップ2の構成を簡略化することができる。
保護基板24は、例えば、42アロイにより構成された基板であり、圧力発生部40等を収容する空間部が形成されている。また、保護基板24には、当該空間部とは独立して、上下方向に貫通する供給流路201が形成されており、共通供給液室51と圧力室202とを連通している。
次に、ヘッドチップ2内部のインクの循環経路について説明する。インクは、共通インク室5の共通供給液室51から、各ノズルNに対応して設けられた供給流路201にそれぞれ供給される。次に、インクは、圧力室202,・・・、連通路203,・・・に流れ、連通路203から分岐して個別循環流路204,・・・に流れる。次に、各個別循環流路204,・・・からのインクが共通循環流路205で合流してヘッドチップ2の左右方向の端部に向かって流れ、最終的に、共通インク室5の共通排出液室52に排出される(図3~図5等参照)。
なお、実装部4及び共通循環流路205を設けるスペースを確保する観点から、上述したように、実装部4及び共通循環流路205を、複数のノズル列のうち2列毎に設けることが望ましいが、各列毎に設ける構成としても良い。
また、上述した説明では、循環流路206は、ノズルNと圧力室202とを連通する連通路203から分岐して設けられた例を示したが、圧力室202の入口202aからノズルNの出口Nbに至るインク流路から分岐して設けられていればよい。ここで、循環流路206は、当該インク流路のうち、圧力室202の出口202b側の端部からノズルNの出口Nbに至る部分から分岐して設けられていることが好ましい。
圧力室202の入口202a(インク入口)及び出口202b(ノズルNの入口Naに連通するインク出口)、並びに、ノズルNの入口Na(インク入口)及び出口Nb(インク出口)は、それぞれ図5に示している。
圧力室202の入口202a(インク入口)及び出口202b(ノズルNの入口Naに連通するインク出口)、並びに、ノズルNの入口Na(インク入口)及び出口Nb(インク出口)は、それぞれ図5に示している。
また、循環流路206をノズルNから分岐する場合は、ノズルNが貫通孔として形成された基板をノズル形成基板としたとき、当該ノズル形成基板の圧力室202側の面に各ノズルNに対応して形成され循環流路206となる溝を形成し、このノズル形成基板がノズルNに連通する流路が形成された流路基板に接合されることにより、循環流路206を構成することが好ましい。
ここで、共通循環流路205はノズル形成基板に形成しても良いし流路基板に形成しても良い。
例えば、流路基板に形成する場合は、ノズル形成基板に各ノズルNに対応して形成され一方側に隣接する共通循環流路205に達する溝(個別循環流路204)を形成し、このノズル形成基板が、共通循環流路205が形成された流路基板に接合されることにより、循環流路206を構成することが好ましい。
ここで、共通循環流路205はノズル形成基板に形成しても良いし流路基板に形成しても良い。
例えば、流路基板に形成する場合は、ノズル形成基板に各ノズルNに対応して形成され一方側に隣接する共通循環流路205に達する溝(個別循環流路204)を形成し、このノズル形成基板が、共通循環流路205が形成された流路基板に接合されることにより、循環流路206を構成することが好ましい。
例えば、図5の実施形態で、酸化膜層21bやノズル支持層21cをなくし、ノズル層21aを例えば厚さ100~300μmのノズル形成基板とし、このノズル形成基板の中間基板22側の面に各ノズルNに連通して形成され他方側に隣接する共通循環流路205に達し、個別循環流路204となる溝を形成し、このノズル形成基板が中間基板22(流路基板)に接合されることにより、個別循環流路204、共通循環流路205を形成できる。中間基板22を設けない場合は、圧力室層23aを構成する圧力室基板に共通循環流路205、第2ダンパー222、空気室223を設け、ノズル形成基板が圧力室基板(流路基板)に接合されることにより、個別循環流路204、共通循環流路205を形成すればよい。
また、循環流路206をノズルNから分岐する場合は、ノズルNの孔径がノズルNの入口Na側から漸次減少するテーパー状とすることが好ましい。
循環流路206を圧力室202の出口202b側の端部から分岐する場合は、圧力室202が形成された圧力室基板のノズルN側の面に各圧力室202に対応して形成され循環流路206となる溝を形成し、この圧力室基板が圧力室202に連通する流路が形成された流路基板に接合されることにより、循環流路206を構成することが好ましい。
循環流路206を圧力室202の出口202b側の端部から分岐する場合は、圧力室202が形成された圧力室基板のノズルN側の面に各圧力室202に対応して形成され循環流路206となる溝を形成し、この圧力室基板が圧力室202に連通する流路が形成された流路基板に接合されることにより、循環流路206を構成することが好ましい。
共通循環流路205は圧力室基板に形成しても良いし流路基板に形成しても良い。
流路基板に形成する場合は、圧力室基板に各圧力室202に対応して形成され一方側に隣接する共通循環流路205に達する溝(個別循環流路204)を形成し、この圧力室基板が、共通循環流路205が形成された流路基板に接合されることにより、循環流路206を構成することが好ましい。
流路基板に形成する場合は、圧力室基板に各圧力室202に対応して形成され一方側に隣接する共通循環流路205に達する溝(個別循環流路204)を形成し、この圧力室基板が、共通循環流路205が形成された流路基板に接合されることにより、循環流路206を構成することが好ましい。
例えば、図5の実施形態で、酸化膜層21bやノズル支持層21cをなくし、中間基板22の空気室223と共通循環流路205の上下の位置を入れ替えて共通循環流路205を上部に配置させ、圧力室層23aを構成する圧力室基板の中間基板22側の面に各圧力室202に連通して形成され他方側に隣接する共通循環流路205に達し、個別循環流路204となる溝を形成し、この圧力室基板が中間基板22(流路基板)に接合されることにより、個別循環流路204、共通循環流路205を形成できる。中間基板22を設けない場合は、例えば、圧力室層23aを構成する圧力室基板に共通循環流路205、第2ダンパー222、空気室223を設け、圧力室基板がノズル層21aを構成するノズル形成基板(流路基板)に接合されることにより、個別循環流路204、共通循環流路205を形成すればよい。
(保持部)
保持部3は、ヘッドチップ2の上面に接合されており、共通インク室5を支持している。保持部3をヘッドチップ2の上面に位置合わせして設けた後に、保持部3を目印として、共通インク室5を設けることができるため、高精度に共通インク室5をヘッドチップ2の上面に形成することができる。
また、高精度に位置合わせを行う観点から、ヘッドチップ2と保持部3のそれぞれにアライメントマーク(図示省略)を設けて、接合することが望ましい。
保持部3は、ヘッドチップ2の上面に接合されており、共通インク室5を支持している。保持部3をヘッドチップ2の上面に位置合わせして設けた後に、保持部3を目印として、共通インク室5を設けることができるため、高精度に共通インク室5をヘッドチップ2の上面に形成することができる。
また、高精度に位置合わせを行う観点から、ヘッドチップ2と保持部3のそれぞれにアライメントマーク(図示省略)を設けて、接合することが望ましい。
(共通インク室)
共通インク室5は、共通供給液室51と、2つの共通排出液室52を有しており(図2A等参照)、それぞれのインク室には、例えば、シアン(C)、マゼンタ(M)、イエロー(Y)及び黒(K)のうち1色が充填されている。また、共通インク室5には、実装部4に接続されたフレキシブルプリント基板42が、共通インク室5の外側に引き出せるように、実装部4の上部の部分には空間部を有している。
共通供給液室51は、圧力室202の上部、かつ共通インク室5の中央部に設けられており、下面において、ヘッドチップ2に設けられた供給流路201に連通している。また、共通供給液室51には、上部に設けられたインク供給口501からインクが供給され、ヘッドチップ2に供給するインクが充填されている。
共通排出液室52は、共通インク室5の左右方向の端部側に2つ設けられており、ヘッドチップ内の共通循環流路と連通している。また、共通排出液室52には、ヘッドチップ2の内部から排出されたインクが充填されており、当該インクは、上部に設けられたインク排出口502から排出される。
共通インク室5は、共通供給液室51と、2つの共通排出液室52を有しており(図2A等参照)、それぞれのインク室には、例えば、シアン(C)、マゼンタ(M)、イエロー(Y)及び黒(K)のうち1色が充填されている。また、共通インク室5には、実装部4に接続されたフレキシブルプリント基板42が、共通インク室5の外側に引き出せるように、実装部4の上部の部分には空間部を有している。
共通供給液室51は、圧力室202の上部、かつ共通インク室5の中央部に設けられており、下面において、ヘッドチップ2に設けられた供給流路201に連通している。また、共通供給液室51には、上部に設けられたインク供給口501からインクが供給され、ヘッドチップ2に供給するインクが充填されている。
共通排出液室52は、共通インク室5の左右方向の端部側に2つ設けられており、ヘッドチップ内の共通循環流路と連通している。また、共通排出液室52には、ヘッドチップ2の内部から排出されたインクが充填されており、当該インクは、上部に設けられたインク排出口502から排出される。
[インクの循環機構]
インクの循環手段としてのインクの循環機構6は、メインタンク61、供給用サブタンク62及び循環用サブタンク63等によって構成されている(図6)。
インクの循環手段としてのインクの循環機構6は、メインタンク61、供給用サブタンク62及び循環用サブタンク63等によって構成されている(図6)。
供給用サブタンク62は、共通インク室5の共通供給液室51に供給するためのインクが充填されており、インク流路72によってインク供給口501に接続されている。
循環用サブタンク63は、共通インク室5の共通排出液室52から排出されたインクが充填されており、インク流路73によってインク排出口502,502に接続されている。
また、供給用サブタンク62と循環用サブタンク63は、ヘッドチップ2のノズル面(以下、「位置基準面」ともいう。)に対して、上下方向(重力方向)に異なる位置に設けられている。よって、位置基準面と供給用サブタンク62の水頭差による圧力P1と、位置基準面と循環用サブタンク63との水頭差による圧力P2が生じている。
また、供給用サブタンク62と循環用サブタンク63は、インク流路74で接続されている。そして、ポンプ82によって加えられた圧力によって、循環用サブタンク63から供給用サブタンク62にインクを戻すことができる。
循環用サブタンク63は、共通インク室5の共通排出液室52から排出されたインクが充填されており、インク流路73によってインク排出口502,502に接続されている。
また、供給用サブタンク62と循環用サブタンク63は、ヘッドチップ2のノズル面(以下、「位置基準面」ともいう。)に対して、上下方向(重力方向)に異なる位置に設けられている。よって、位置基準面と供給用サブタンク62の水頭差による圧力P1と、位置基準面と循環用サブタンク63との水頭差による圧力P2が生じている。
また、供給用サブタンク62と循環用サブタンク63は、インク流路74で接続されている。そして、ポンプ82によって加えられた圧力によって、循環用サブタンク63から供給用サブタンク62にインクを戻すことができる。
メインタンク61は、供給用サブタンク62に供給するためのインクが充填されており、インク流路71によって供給用サブタンク62に接続されている。そして、ポンプ81によって加えられた圧力によって、メインタンク61から供給用サブタンク62にインクを供給することができる。
上述したような各サブタンク内のインク量の調整や、さらには、各サブタンクの上下方向(重力方向)の位置変更によって、圧力P1及び圧力P2を調整することができる。そして、圧力P1及び圧力P2の圧力差によって、適宜の循環流速で、ノズルNの上部のインクを循環できる。これにより、ヘッドチップ2内に発生した気泡を除去し、ノズルの詰まりや、射出不良等を抑制することができる。
[本発明における技術的効果]
以上、説明した通り、本発明のインクジェットヘッド1は、圧力室202の入口202aからノズルNの出口Nbに至るインク流路から分岐して設けられ、圧力室202内のインクを排出可能な循環流路206と、循環流路206に面して設けられ、圧力に応じて弾性変形して循環流路206の容積を変更可能な第1ダンパー212,第2ダンパー222を備えている。
本発明の構成では、循環流路206に第1ダンパー212,第2ダンパー222を設けることで、インク流路内の圧力変動を抑えることができる。これにより、インクジェットヘッド1を小型化することができる。また、流路内の圧力変動を抑えられることから、インクの循環が可能な構造でありながら、安定的に高周波数で液滴を吐出することができる。これにより、メニスカスブレイクの発生によるインク漏れも抑制できるという効果も得られる。
以上、説明した通り、本発明のインクジェットヘッド1は、圧力室202の入口202aからノズルNの出口Nbに至るインク流路から分岐して設けられ、圧力室202内のインクを排出可能な循環流路206と、循環流路206に面して設けられ、圧力に応じて弾性変形して循環流路206の容積を変更可能な第1ダンパー212,第2ダンパー222を備えている。
本発明の構成では、循環流路206に第1ダンパー212,第2ダンパー222を設けることで、インク流路内の圧力変動を抑えることができる。これにより、インクジェットヘッド1を小型化することができる。また、流路内の圧力変動を抑えられることから、インクの循環が可能な構造でありながら、安定的に高周波数で液滴を吐出することができる。これにより、メニスカスブレイクの発生によるインク漏れも抑制できるという効果も得られる。
また、本発明のインクジェットヘッド1は、循環流路206を、圧力室202の出口202b側の端部からノズルNの出口Nbに至る部分から分岐して設けることによって、ノズルNの近傍のインクを循環させることができる。
また、本発明のインクジェットヘッド1は、ノズルNと、圧力室202とを連通する連通路203を有し、循環流路206を、当該連通路203から分岐して設けることによって、ノズルNの近傍のインクを循環させることができる。
また、本発明のインクジェットヘッド1は、第2ダンパー222が、共通循環流路205に面して設けられている。これにより、第2ダンパー222をより広い領域に設けることができ、流路内の圧力変動を効果的に抑えることができる。
また、本発明のインクジェットヘッド1は、第2ダンパー222が、共通循環流路205の上部又は下部の少なくとも一方に設けられ、共通循環流路205の側とは反対側に、当該第2ダンパー222に面して空気室223を有している。このような空気室223を設ける構成とすることで、ヘッドチップ2の内部にも第2ダンパー222を形成することができる。
また、インクジェットヘッド1のノズル面側は、印画物と接触したり、記録装置のメンテナンス機構と接触することがあるため、インクジェットヘッド1の強度を高めるためにも、第2ダンパー222はノズル面の反対側である上部にある事が好ましい。
また、インクジェットヘッド1のノズル面側は、印画物と接触したり、記録装置のメンテナンス機構と接触することがあるため、インクジェットヘッド1の強度を高めるためにも、第2ダンパー222はノズル面の反対側である上部にある事が好ましい。
また、本発明のインクジェットヘッド1は、空気室223の容積が、共通循環流路205の容積よりも小さくなっている。これにより、ヘッドチップ2内の限られたスペース内に空気室223を設け、共通循環流路205の容積をより大きくとることができる。
また、本発明のインクジェットヘッド1は、空気室223が、大気に連通する大気連通部224を有している。これにより、空気室223内の圧力を調整することができ、第2ダンパー222が弾性変形する際の変形量の調整をすることができる。
また、本発明のインクジェットヘッド1は、複数のノズルNは、1又は複数の列で配列されており、共通循環流路205及び第2ダンパー222が設けられた領域は、複数のノズルNが設けられた領域のノズルNの配列方向の端部のノズルNの位置よりも、ノズルNの配列方向に延出している。これにより、ノズルNの配列方向(左右方向)の端部のノズルNの射出性能の低下を効果的に抑制することができる。
また、本発明のインクジェットヘッド1は、ノズルNが、複数列で配列されており、当該複数列の各列又は2列毎に、共通循環流路205が設けられている。これにより、ヘッドチップ2を小型化することができる。
[その他]
本発明の今回開示された実施の形態は、全ての点で例示であって制限的なものではないと考えられるべきである。本発明の範囲は、上記した詳細な説明に限定されるものではなく特許請求の範囲によって示され、特許請求の範囲と均等の意味及び範囲内での全ての変更が含まれることが意図される。
本発明の今回開示された実施の形態は、全ての点で例示であって制限的なものではないと考えられるべきである。本発明の範囲は、上記した詳細な説明に限定されるものではなく特許請求の範囲によって示され、特許請求の範囲と均等の意味及び範囲内での全ての変更が含まれることが意図される。
例えば、第2ダンパー222は、厚さ1~30μmからなるSi基板からなるとしたが、弾性変形することができれば、構成は適宜変更可能である。例えば、適宜の厚みを有するステンレス板や、弾性力のある樹脂部材によって形成しても良い。
また、第1ダンパー212,第2ダンパー222は、循環流路206に面するように設ければよく、大きさや設ける面は、適宜変更可能である。なお、製造効率の観点から、循環流路206の上面又は下面に設けることが好ましいが、左面又は右面に対して設けることも可能である。
また、個別循環流路204は、ノズルNに近い位置の気泡や異物を除去する観点から、実施例で示したようにノズル基板21に設けることが好ましいが、中間基板22に設けても良い。
また、共通インク室5は、共通供給液室51と共通排出液室52を、共通インク室5の内部で分離して設けたが、それぞれ独立したインク室として設けても良い。
また、共通インク室5は、フレキシブルプリント基板42を上に引き出すためのスペースを空けた形状としたが、形状は適宜変更可能である。
また、共通インク室5は、フレキシブルプリント基板42を上に引き出すためのスペースを空けた形状としたが、形状は適宜変更可能である。
また、インクの循環機構6として、水頭差によってインクの循環を制御する方法を説明したが、本発明のように循環流を発生できる構成であれば、当然適宜変更可能である。
本発明は、インクジェットヘッド及びインクジェット記録装置に利用することができる。
1 インクジェットヘッド
202 圧力室
202a 圧力室の入口
202b 圧力室の出口
203 連通路
204 個別循環流路
205 共通循環流路
206 循環流路
212 第1ダンパー
222 第2ダンパー
224 大気連通部
23 アクチュエーター基板
4 実装部
40 圧力発生部(圧力発生手段)
41 圧電体
414 個別配線
51 共通供給液室
6 インクの循環機構(インクの循環手段)
100 インクジェット記録装置
N ノズル
Nb ノズルの出口
202 圧力室
202a 圧力室の入口
202b 圧力室の出口
203 連通路
204 個別循環流路
205 共通循環流路
206 循環流路
212 第1ダンパー
222 第2ダンパー
224 大気連通部
23 アクチュエーター基板
4 実装部
40 圧力発生部(圧力発生手段)
41 圧電体
414 個別配線
51 共通供給液室
6 インクの循環機構(インクの循環手段)
100 インクジェット記録装置
N ノズル
Nb ノズルの出口
Claims (10)
- インクを射出する複数のノズルと、
前記複数のノズルのそれぞれに連通し、インクが充填される複数の圧力室と、
前記複数の圧力室の各々に対応して設けられ、圧力室内のインクに圧力を加える複数の圧力発生手段と、
前記圧力室の入口から前記ノズルの出口に至るインク流路から分岐して設けられ、前記複数の圧力室内のインクを排出可能な循環流路と、
前記循環流路に面して設けられ、圧力に応じて弾性変形して前記循環流路の容積を変更可能なダンパーを備えたことを特徴とするインクジェットヘッド。 - 前記循環流路は、前記インク流路のうち前記圧力室の出口側の端部から前記ノズルの出口に至る部分から分岐して設けられていることを特徴とする請求項1に記載のインクジェットヘッド。
- 前記インク流路は、前記ノズルと、前記圧力室とを連通する連通路を有し、
前記循環流路は、前記連通路から分岐して設けられていることを特徴とする請求項1又は2に記載のインクジェットヘッド。 - 前記循環流路は、前記インク流路に連通する複数の個別循環流路と、前記複数の個別循環流路のうち少なくとも二つが連通する共通循環流路を有し、
前記ダンパーは、前記共通循環流路に面して設けられていることを特徴とする請求項1~3のいずれか一項に記載のインクジェットヘッド。 - 前記ダンパーは、前記共通循環流路の上部及び下部の少なくとも一方に設けられ、前記共通循環流路の側とは反対側に、当該ダンパーに面して空気室を有していることを特徴とする請求項4に記載のインクジェットヘッド。
- 前記空気室の容積は、前記共通循環流路の容積よりも小さいことを特徴とする請求項5に記載のインクジェットヘッド。
- 前記空気室は、大気に連通する大気連通部を有することを特徴とする請求項5又は6に記載のインクジェットヘッド。
- 前記複数のノズルは、1又は複数の列で配列されており、
前記ダンパーが設けられた領域は、前記複数のノズルが設けられた領域の前記複数のノズルの配列方向の端部のノズルの位置よりも、前記複数のノズルの配列方向に延出していることを特徴とする請求項4~7のいずれか一項に記載のインクジェットヘッド。 - 前記複数のノズルは、複数列で配列されており、
前記複数列の各列又は2列毎に、前記共通循環流路が設けられていることを特徴とする請求項4~8のいずれか一項に記載のインクジェットヘッド。 - 請求項1~9のいずれか一項に記載のインクジェットヘッドと、
前記インク流路から前記循環流路への循環流を発生させるための循環手段を備えたことを特徴とするインクジェット記録装置。
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