JP2021041569A - 液体吐出ヘッド及び液体吐出記録装置 - Google Patents

Abstract

【課題】ノズルから液滴を噴射したときに、他の圧力室への影響を抑制できる液体吐出ヘッド及び液体吐出記録装置を提供すること。【解決手段】一実施形態に係る液体吐出ヘッドは、基板と、ノズルプレートと、ダンパー部材と、を備える。基板は、複数の圧力室を有する。ノズルプレートは、前記基板の一方の主面に設けられ、前記複数の圧力室と対向する複数のノズルを有する。ダンパー部材は、前記基板の他方の主面の少なくとも隣り合う前記圧力室の間に設けられ、前記圧力室の変形による圧力変動によって弾性変形する。【選択図】 図２

Description

本発明の実施形態は、液体吐出ヘッド及び液体吐出記録装置に関する。

各種の液体吐出記録装置に用いられる液体吐出ヘッドにおいて、小型化や高解像度化のため、ノズルを高密度に配置する技術が知られている。このため、圧力室の容積を変動させてノズルから液滴を噴射したときに生じる圧力波が、液体吐出ヘッドの共通流路を経由して、他の圧力室に伝播し、他の圧力室のノズルの液滴の噴射に影響を及ぼす虞が知られている。

特開２０１５−２２３７３７号公報

発明が解決しようとする課題は、ノズルから液滴を噴射したときの他の圧力室への影響を抑制できる液体吐出ヘッド及び液体吐出記録装置を提供することである。

一実施形態に係る液体吐出ヘッドは、基板と、ノズルプレートと、ダンパー部材と、を備える。基板は、複数の圧力室を有する。ノズルプレートは、前記基板の一方の主面に設けられ、前記複数の圧力室と対向する複数のノズルを有する。ダンパー部材は、前記基板の他方の主面の少なくとも隣り合う前記圧力室の間に設けられ、前記圧力室の変形による圧力変動によって弾性変形する。

第１の実施形態に係る液体吐出ヘッドの構成を示す斜視図。 同液体吐出ヘッドの構成を模式的に示す断面図。 同液体吐出ヘッドの要部構成を示す斜視図。 同液体吐出ヘッドのノズルプレートの構成を示す平面図。 同液体吐出ヘッドを用いた液体吐出記録装置の構成を示す説明図。 第２の実施形態に係る液体吐出ヘッドの構成を示す断面図。 第３の実施形態に係る液体吐出ヘッドの構成を示す断面図。 第４の実施形態に係る液体吐出ヘッドの構成を示す断面図。 第５の実施形態に係る液体吐出ヘッドの構成を示す断面図。 第６の実施形態に係る液体吐出ヘッドの要部構成を示す平面図。

（第１の実施形態）
以下、第１の実施形態に係る液体吐出ヘッド１及び液体吐出記録装置１００について、図１乃至図４を用いて説明する。また、各図において、説明のため、適宜構成を拡大、縮小または省略して示す。

図１は、第１実施形態に係る液体吐出ヘッド１の構成を示す斜視図である。図２は、液体吐出ヘッド１の液体吐出部１１及び液体供給部１２の構成を模式的に示す断面図であり、図３は、液体吐出部１１の基板２１、ノズルプレート２２及びダンパー部材２３の構成を模式的に示す斜視図である。図４は、ノズルプレート２２の構成を拡大して外面側から示す平面図である。

図１及び図２に示すように、液体吐出ヘッド１は、液体吐出部１１と、液体供給部１２と、駆動信号供給部１３と、を備えている。液体吐出ヘッド１は、例えば、図５に示される液体吐出記録装置１００に設けられる。

図２及び図３に示すように、液体吐出部１１は、基板２１と、ノズルプレート２２と、ダンパー部材２３と、を備える。

図２及び図３に示すように、基板２１は、矩形板状に形成される。基板２１は、一方の主面にノズルプレート２２が一体に固定され、他方の主面に液体供給部１２が一体に固定される。基板２１は、複数の圧力室２１ａを有する。

圧力室２１ａは、例えば、ノズルプレート２２に形成された円柱状の貫通孔である。圧力室２１ａの一方の開口はノズルプレート２２により覆われ、他方の開口は、液体供給部１２により覆われる。複数の圧力室２１ａは、行方向及び列方向にアレイ状に配列される。

図１乃至図４に示すように、ノズルプレート２２は、複数のノズル３１、駆動素子３２及び電極３３を含む。

ノズル３１は、ノズルプレート２２に形成された貫通孔である。ノズル３１は、例えば、円柱状又は円錐台形状に形成される。複数のノズル３１は、例えば、図４に示すように、ノズルプレート２２に、複数の圧力室２１ａと同様に行方向及び列方向にアレイ状に配列される。また、複数のノズル３１は、ノズルプレート２２が基板２１に固定されることで、複数の圧力室２１ａと対向する。具体的には、ノズル３１は、圧力室２１ａと同軸上に配置される。

図４に示すように、駆動素子３２は、複数のノズル３１の周囲にそれぞれ配置される。駆動素子３２は、アクチュエータである。駆動素子３２は、例えば、円環形状に形成される。駆動素子３２は、例えば、ノズル３１と同軸に配置される。

図４に示すように、電極３３は、複数の駆動素子３２にそれぞれ接続される。電極３３は、例えば、配線電極３３ａ及び共有電極３３ｂを含む。配線電極３３ａは、駆動素子３２を独立して駆動するための個別電極として用いられる。

ダンパー部材２３は、基板２１の他方の主面の少なくとも隣り合う圧力室２１ａの間に設けられる。ダンパー部材２３は、例えば、図２及び図３に示すように、基板２１よりも小さい矩形板状に形成される。

ダンパー部材２３は、弾性変形可能な材料により形成される。ダンパー部材２３は、基板２１と異なる材料で形成される。具体例として、ダンパー部材２３は、ダンパー部材２３の固有音響インピーダンスをＺ１、前記圧力室内に供給される液体の固有音響インピーダンスをＺ２、反射率Ｒ＝（Ｚ２−Ｚ１）／（Ｚ１＋Ｚ２）としたときに、反射率Ｒが０．５≦Ｒ≦２となる材料により形成される。

ダンパー部材２３は、例えば、圧力室２１ａと対向して設けられる複数のダンパー室２３ａを有する。ダンパー室２３ａは、例えば、圧力室２１ａと同じ内径の円筒状の開口である。複数のダンパー室２３ａは、ダンパー部材２３に、複数の圧力室２１ａと同様に行方向及び列方向にアレイ状に配列される。

液体供給部１２は、基板２１の他方の主面及びダンパー部材２３を覆う。液体供給部１２は、基板２１の他方の主面及びダンパー部材２３との間に共通液室４１を形成する。また、液体供給部１２は、吸込口４２と、吐出口４３と、を備える。

共通液室４１は、一方向に延びる流路を形成する。共通液室４１は、ダンパー部材２３のダンパー室２３ａを介して圧力室２１ａと連続する。吸込口４２は、共通液室４１の一次側に設けられる。吐出口４３は、共通液室４１の二次側に設けられる。

駆動信号供給部１３は、例えば、フレキシブル配線基板５１と、ドライバＩＣ５２と、を備えている。フレキシブル配線基板５１は、一端が配線電極３３ａ及び共有電極３３ｂに接続される。ドライバＩＣ５２は、例えば、フレキシブル配線基板５１を介して、配線電極３３ａに接続される。

このように構成された液体吐出ヘッド１は、隣り合う圧力室２１ａの間にダンパー部材２３が配置される。このため、駆動素子３２が駆動してノズル３１から液滴が噴射され、圧力室２１ａ内の残留圧力波がダンパー室２３ａの液体に伝播したときに、ダンパー部材２３は、圧力波を吸収することができる。また、ダンパー室２３ａを通過して共通液室４１に伝播した圧力波は、共通液室４１で減衰される。また、クロストークによって隣接するダンパー室２３ａに伝播した圧力波は、さらにダンパー部材２３で吸収される。

このように、液体吐出ヘッド１は、ダンパー部材２３によって、液滴の噴射により生じる圧力波の吸収、及び、クロストークの抑制が可能となり、圧力室２１ａのノズル３１から液滴を吐出したときに生じた圧力波が隣接する圧力室２１ａに伝播することを抑制できる。このため、液体吐出ヘッド１は、ノズル３１からの液体噴射速度や体積のばらつきを抑制でき、高い精度で液滴を噴射することが可能となる。

また、ダンパー部材２３は、反射率Ｒが０．５≦Ｒ≦２となる材料で形成される。よって、ダンパー部材２３は、圧力室２１ａ内で生じた圧力波を効果的に吸収することができる。

上述したように、本実施形態に係る液体吐出ヘッド１によれば、圧力波を吸収できるダンパー部材２３を設けることで、ノズル３１から液滴を噴射したときに、他の圧力室２１ａへの影響を抑制できる。

次に、液体吐出ヘッド１を有する液体吐出記録装置１００について、図５を参照して説明する。図５は液体吐出記録装置１００としてインクジェットプリンタの構成を示す説明図である。図５に示すように、液体吐出記録装置１００は、筐体１１１と、媒体供給部１１２と、画像形成部１１３と、媒体排出部１１４と、支持装置である搬送装置１１５と、制御部１１６と、を備える。

液体吐出記録装置１００は、媒体供給部１１２から画像形成部１１３を通って媒体排出部１１４に至る所定の搬送路Ａ１に沿って、吐出対象物である記録媒体として例えば用紙Ｐを搬送しながらインク等の液体を吐出することで、用紙Ｐに画像形成処理を行うインクジェットプリンタである。

媒体供給部１１２は複数の給紙カセット１１２ａを備える。媒体排出部１１４は、排紙トレイ１１４ａを備える。画像形成部１１３は、用紙を支持する支持部１１７と、支持部１１７の上方に対向配置された複数のヘッドユニット１３０と、を備える。

支持部１１７は、画像形成を行う所定領域にループ状に備えられる搬送ベルト１１８と、搬送ベルト１１８を裏側から支持する支持プレート１１９と、搬送ベルト１１８の裏側に備えられた複数のベルトローラ１２０と、を備える。

ヘッドユニット１３０は、複数の液体吐出ヘッド１と、各液体吐出ヘッド１上にそれぞれ搭載された液体タンクとしての複数の供給タンク１３２と、液体吐出ヘッド１と供給タンク１３２とを接続する接続流路１３３と、循環部である循環ポンプ１３４と、を備える。ヘッドユニット１３０は、液体としてのインクを循環させる循環型のヘッドユニットである。

本実施形態において、液体吐出ヘッド１としてシアン、マゼンダ、イエロー、ブラックの４色の液体吐出ヘッド１Ｃ，１Ｍ，１Ｙ，１Ｋと、これらの各色のインクをそれぞれ収容する供給タンク１３２として、供給タンク１３２Ｃ，１３２Ｍ，１３２Ｙ，１３２Ｋを備える。供給タンク１３２は接続流路１３３によって液体吐出ヘッド１に接続される。接続流路１３３は、液体吐出ヘッド１の吸込口４２に接続される供給流路１３３ａと、液体吐出ヘッド１の吐出口４３に接続される回収流路１３３ｂと、を備える。

また、供給タンク１３２には、図示しないポンプなどの負圧制御装置が連結されている。そして、液体吐出ヘッド１と供給タンク１３２との水頭値に対応して、負圧制御装置により供給タンク１３２内を負圧制御することで、液体吐出ヘッド１の各ノズルに供給されたインクを所定形状のメニスカスに形成する。

循環ポンプ１３４は、例えば圧電ポンプで構成される送液ポンプである。循環ポンプ１３４は、供給流路１３３ａに設けられている。循環ポンプ１３４は、配線により制御部１１６に接続される。循環ポンプ１３４は、制御部１１６により制御される。循環ポンプ１３４は、液体吐出ヘッド１と供給タンク１３２を含む循環流路で液体を循環させる。

搬送装置１１５は、媒体供給部１１２の給紙カセット１１２ａから画像形成部１１３を通って媒体排出部１１４の排紙トレイ１１４ａに至る搬送路Ａ１に沿って、用紙Ｐを搬送する。搬送装置１１５は、搬送路Ａ１に沿って配置される複数のガイドプレート対１２１ａ〜１２１ｈと、複数の搬送用ローラ１２２ａ〜１２２ｈと、を備えている。搬送装置１１５は、用紙Ｐを液体吐出ヘッド１に相対移動可能に支持する。

制御部１１６は、プロセッサの一例としてのＣＰＵ（Ｃｅｎｔｒａｌ Ｐｒｏｃｅｓｓｉｎｇ Ｕｎｉｔ）１１６ａと、各種のプログラムなどを記憶するＲＯＭ（Ｒｅａｄ Ｏｎｌｙ Ｍｅｍｏｒｙ）と、各種の可変データや画像データなどを一時的に記憶するＲＡＭ（Ｒａｎｄｏｍ Ａｃｃｅｓｓ Ｍｅｍｏｒｙ）と、外部からのデータの入力及び外部へのデータの出力をするインターフェイスと、を備える。

液体吐出ヘッド１及び液体吐出記録装置１００において、ノズル１１ａから液体を吐出する駆動時には、制御部１１６は、ドライバＩＣ５２により、駆動素子３２に駆動電圧を印加する。例えば、制御部１１６は、駆動素子３２を駆動し、駆動する圧力室２１ａの容積が増加する方向にノズル３１の周囲を変形させ圧力室２１ａ内を負圧にすることで、インクを圧力室２１ａ内に導く。続いて、制御部１１６は、駆動素子３２を駆動し、圧力室２１ａの容積が増加する方向にノズル３１の周囲を変形させ、圧力室２１ａ内を加圧することで、ノズル３１から液滴を噴射させる。

本実施形態に係る液体吐出記録装置１００は、ダンパー部材２３を有する液体吐出ヘッド１を用いることで、ノズル３１からの液体噴射速度や体積のばらつきを抑制でき、高い精度で液滴を噴射することが可能となる。よって、液体吐出記録装置１００は、用紙Ｐに高精度に印字することが可能となる。

（第２の実施形態）
次に、第２の実施形態に係る液体吐出ヘッド１について、図６を用いて説明する。図６は、第２の実施形態に係る液体吐出ヘッド１の構成を示す断面図である。なお、第２の実施形態に係る液体吐出ヘッド１のうち、上述した第１の実施形態に係る液体吐出ヘッド１と同様の構成には同一の符号を付し、その詳細な説明は省略する。また、図６において、説明のため、適宜構成を拡大、縮小または省略して示す。

第２の実施形態に係る液体吐出ヘッド１は、液体吐出部１１Ａと、液体供給部１２と、駆動信号供給部１３と、を備えている。図６に示すように、液体吐出部１１Ａは、基板２１と、ノズルプレート２２と、ダンパー部材２３Ａと、を備える。なお、第２の実施形態に係る液体吐出ヘッド１は、液体吐出部１１Ａのダンパー部材２３Ａの構成が第１の実施形態に係る液体吐出ヘッド１と異なる。

ダンパー部材２３Ａは、基板２１の他方の主面の少なくとも隣り合う圧力室２１ａの間に設けられる。ダンパー部材２３Ａは、例えば、図６に示すように、基板２１よりも小さい矩形板状に形成される。ダンパー部材２３Ａは、圧力室２１ａと対向して設けられる複数のダンパー室２３ａを有する。ダンパー室２３ａは、例えば、圧力室２１ａよりも大径の内径を有する円筒状の開口である。なお、ダンパー部材２３Ａは、第１の実施形態に係るダンパー部材２３と同様の材料で形成される。

このように構成された第２の実施形態に係る液体吐出部１１Ａを有する液体吐出ヘッド１によれば、上述した第１の実施形態に係る液体吐出ヘッド１と同様に、圧力波を吸収できるダンパー部材２３Ａを設けることで、ノズル３１から液滴を噴射したときに、他の圧力室２１ａへの影響を抑制できる。また、ダンパー部材２３Ａのダンパー室２３ａは、圧力室２１ａよりも大径の開口であることから、ダンパー室２３ａを設けても、共通液室４１から圧力室２１ａへの液体の流れが阻害されることを抑制できる。

（第３の実施形態）
次に、第３の実施形態に係る液体吐出ヘッド１について、図７を用いて説明する。図７は、第３の実施形態に係る液体吐出ヘッド１の構成を示す断面図である。なお、第３の実施形態に係る液体吐出ヘッド１のうち、上述した第１の実施形態に係る液体吐出ヘッド１と同様の構成には同一の符号を付し、その詳細な説明は省略する。また、図７において、説明のため、適宜構成を拡大、縮小または省略して示す。

第３の実施形態に係る液体吐出ヘッド１は、液体吐出部１１Ｂと、液体供給部１２と、駆動信号供給部１３と、を備えている。図７に示すように、液体吐出部１１Ｂは、基板２１と、ノズルプレート２２と、ダンパー部材２３Ｂと、を備える。なお、第３の実施形態に係る液体吐出ヘッド１は、液体吐出部１１Ｂのダンパー部材２３Ｂの構成が第１の実施形態に係る液体吐出ヘッド１と異なる。

ダンパー部材２３Ｂは、基板２１の他方の主面の少なくとも隣り合う圧力室２１ａの間に設けられる。ダンパー部材２３Ｂは、例えば、図７に示すように、基板２１よりも小さい矩形板状に形成される。ダンパー部材２３Ｂは、圧力室２１ａと対向して設けられる複数のダンパー室２３ａを有する。ダンパー室２３ａは、例えば、圧力室２１ａよりも小径の内径を有する円筒状の開口である。なお、ダンパー部材２３Ｂは、第１の実施形態に係るダンパー部材２３と同様の材料で形成される。

このように構成された第３の実施形態に係る液体吐出部１１Ｂを有する液体吐出ヘッド１によれば、上述した第１の実施形態に係る液体吐出ヘッド１と同様に、圧力波を吸収できるダンパー部材２３Ｂを設けることで、ノズル３１から液滴を噴射したときに、他の圧力室２１ａへの影響を抑制できる。また、ダンパー部材２３Ｂのダンパー室２３ａは、圧力室２１ａよりも小径の開口であることから、第１の実施形態と比較して、隣り合う圧力室２１ａ間に存するダンパー部材２３Ｂの厚さが大きくなる。よって、液体吐出ヘッド１は、第１の実施形態と比較して、ダンパー部材２３Ｂでより圧力波を吸収することができる。

（第４の実施形態）
次に、第４の実施形態に係る液体吐出ヘッド１について、図８を用いて説明する。図８は、第４の実施形態に係る液体吐出ヘッド１の構成を示す断面図である。なお、第４の実施形態に係る液体吐出ヘッド１のうち、上述した第１の実施形態に係る液体吐出ヘッド１と同様の構成には同一の符号を付し、その詳細な説明は省略する。また、図８において、説明のため、適宜構成を拡大、縮小または省略して示す。

第４の実施形態に係る液体吐出ヘッド１は、液体吐出部１１Ｃと、液体供給部１２と、駆動信号供給部１３と、を備えている。図７に示すように、液体吐出部１１Ｃは、基板２１と、ノズルプレート２２と、ダンパー部材２３Ｃと、を備える。なお、第４の実施形態に係る液体吐出ヘッド１は、液体吐出部１１Ｃのダンパー部材２３Ｃの構成が第１の実施形態に係る液体吐出ヘッド１と異なる。

ダンパー部材２３Ｃは、基板２１の他方の主面の少なくとも隣り合う圧力室２１ａの間に設けられる。ダンパー部材２３Ｃは、例えば、図８に示すように、基板２１よりも小さく、且つ、共通液室４１の流れ方向に沿った開口の開口面積と同じ大きさの矩形板状に形成される。ダンパー部材２３Ｃは、圧力室２１ａと対向して設けられる複数のダンパー室２３ａを有する。ダンパー室２３ａは、例えば、圧力室２１ａとよりも小径の内径を有する円筒状の複数の貫通孔２３ｂを有する。すなわち、ダンパー室２３ａは、複数の貫通孔２３ｂにより形成され、この複数の貫通孔２３ｂの組が一つの圧力室２１ａと対向して配置される。なお、ダンパー部材２３Ｃは、第１の実施形態に係るダンパー部材２３と同様の材料で形成される。

このように構成された第２の実施形態に係る液体吐出部１１Ｃを有する液体吐出ヘッド１によれば、上述した第１の実施形態に係る液体吐出ヘッド１と同様に、圧力波を吸収できるダンパー部材２３Ｃを設けることで、ノズル３１から液滴を噴射したときに、他の圧力室２１ａへの影響を抑制できる。

また、ダンパー部材２３Ｃのダンパー室２３ａは、圧力室２１ａよりも小径の複数の貫通孔２３ｂにより構成されることから、第１の実施形態と比較して、ダンパー部材２３Ｂでより圧力波を吸収することができる。また、ダンパー室２３ａは、圧力室２１ａよりも小径の貫通孔２３ｂを複数有することから、ダンパー室２３ａの開口面積を極力確保でき、共通液室４１から圧力室２１ａへの液体の流れが阻害されることを極力抑制できる。

また、例えば、ダンパー部材２３Ｃは、共通液室４１の液体の流れ方向の大きさ、即ち共通液室４１の液体の流れ方向に沿った開口の開口面積と同じ大きさに形成されることから、共通液室４１の流れ方向において、ダンパー室２３ａ以外に段差ができることを防止できる。よって、ダンパー部材２３Ｃは、共通液室４１内の流れを乱すことを抑制できる。なお、ダンパー部材の大きさを共通液室４１の液体の流れ方向で同じ大きさに形成する構成は、他の実施形態に適用してもよい。

（第５の実施形態）
次に、第５の実施形態に係る液体吐出ヘッド１について、図９を用いて説明する。図９は、第５の実施形態に係る液体吐出ヘッド１の構成を示す断面図である。なお、第５の実施形態に係る液体吐出ヘッド１のうち、上述した第１の実施形態に係る液体吐出ヘッド１と同様の構成には同一の符号を付し、その詳細な説明は省略する。また、図９において、説明のため、適宜構成を拡大、縮小または省略して示す。

第５の実施形態に係る液体吐出ヘッド１は、液体吐出部１１Ｄと、液体供給部１２と、駆動信号供給部１３と、を備えている。図９に示すように、液体吐出部１１Ｄは、基板２１と、ノズルプレート２２と、第１ダンパー部材２３と、第２ダンパー部材２４と、を備える。なお、第５の実施形態に係る液体吐出ヘッド１は、液体吐出部１１Ｄが第２ダンパー部材２４をさらに備える構成が、第１の実施形態に係る液体吐出ヘッド１と異なる。

第１ダンパー部材２３は、例えば、第１の実施形態に係る液体吐出部１１のダンパー部材２３と同じ構成である。

第２ダンパー部材２４は、共通液室４１に設けられる。第２ダンパー部材２４は、主面が複数の圧力室２１ａ及び複数のダンパー室２３ａと対向する。第２ダンパー部材２４は、例えば、中空であって、且つ、ダンパー部材２３と対向する部位が弾性変形可能か、又は、可撓性を有する膜状に形成される。第２ダンパー部材２４は、例えば、第１ダンパー部材２３と同じ材料により形成される。

このように構成された第５の実施形態に係る液体吐出部１１Ｄを有する液体吐出ヘッド１によれば、上述した第１の実施形態に係る液体吐出ヘッド１と同様に、第１ダンパー部材２３によって、液滴の噴射により生じる圧力波の吸収、及び、クロストークの抑制が可能となり、圧力室２１ａのノズル３１から液滴を吐出したときに生じた圧力波が隣接する圧力室２１ａに伝播することを抑制できる。

加えて、ダンパー室２３ａから共通液室４１に伝播した圧力波は、第２ダンパー部材２４で吸収される。よって、ダンパー室２３ａを通過して共通液室４１に伝播した圧力波は、共通液室４１で第２ダンパー部材２４により減衰される。このため、圧力室２１ａで生じた圧力波がクロストークによって隣接するダンパー室２３ａ及び圧力室２１ａに伝播することを極力抑制できる。なお、第２ダンパー部材２４は、他の実施形態に適用してもよい。

（第６の実施形態）
次に、第６の実施形態に係る液体吐出ヘッド１について、図１０を用いて説明する。図１０は、第６の実施形態に係る液体吐出ヘッド１の構成を示す平面図である。なお、第６の実施形態に係る液体吐出ヘッド１のうち、上述した第１の実施形態に係る液体吐出ヘッド１と同様の構成には同一の符号を付し、その詳細な説明は省略する。また、図１０において、説明のため、適宜構成を拡大、縮小または省略して示す。

第６の実施形態に係る液体吐出ヘッド１は、液体吐出部１１Ｅと、液体供給部１２と、駆動信号供給部１３と、を備えている。図１０に示すように、液体吐出部１１Ｅは、基板２１と、ノズルプレート２２と、複数のダンパー壁２５により構成されるダンパー部材２３Ｅと、を備える。なお、第６の実施形態に係る液体吐出ヘッド１は、液体吐出部１１Ｅのダンパー部材２３Ｅが複数のダンパー壁２５を有する構成が、第１の実施形態に係る液体吐出ヘッド１と異なる。

複数のダンパー壁２５は、基板２１の他方の主面に設けられる。図１０に示すように、ダンパー壁２５は、隣り合う圧力室２１ａの間に設けられる。ダンパー壁２５は、隣り合う圧力室２１ａの間を仕切る。また、隣り合うダンパー壁２５は、離間する。ダンパー壁２５は、例えば、矩形板状の壁である。

ダンパー壁２５は、弾性変形可能な材料により形成される。ダンパー壁２５は、基板２１と異なる材料で形成される。具体例として、ダンパー壁２５は、固有音響インピーダンスをＺ１、前記圧力室内に供給される液体の固有音響インピーダンスをＺ２、反射率Ｒ＝（Ｚ２−Ｚ１）／（Ｚ１＋Ｚ２）としたときに、反射率Ｒが０．５≦Ｒ≦２となる材料により形成される。

このように構成された第６の実施形態に係る液体吐出ヘッド１によれば、隣り合う圧力室２１ａの間にダンパー壁２５が設けられる。よって、液体吐出ヘッド１は、第１の実施形態に係る液体吐出ヘッド１と同様に、液滴の噴射により生じる圧力波の吸収、及び、クロストークの抑制が可能となる。また、ダンパー壁２５は、隣り合う圧力室２１ａの間を仕切るとともに、隣り合うダンパー壁２５は、離間する。よって、共通液室４１から圧力室２１ａへの液体の流れを阻害することを抑制できる。

なお、本発明は上記実施形態そのままに限定されるものではなく、実施段階ではその要旨を逸脱しない範囲で構成要素を変形して具体化できる。

例えば、上述した例では、各ダンパー部材２３、２３Ａ、２３Ｂ、２３Ｃ、２３Ｄ、２３Ｅ、２４は、反射率Ｒが０．５≦Ｒ≦２となる材料により形成される例を説明したがこれに限定されない。例えば、ダンパー部材２３、２３Ａ、２３Ｂ、２３Ｃ、２３Ｄ、２３Ｅ、２４は、基板２１よりもヤング率が小さい材料で形成されていてもよい。また、例えば、ダンパー部材２３、２３Ａ、２３Ｂ、２３Ｃ、２３Ｄ、２３Ｅ、２４は、基板２１よりもヤング率が小さく、且つ、反射率Ｒが０．５≦Ｒ≦２となる材料により形成されていてもよい。

また、吐出する液体は印字用のインクに限られるものではなく、例えばプリント配線基板の配線パターンを形成するための導電性粒子を含む液体を吐出する装置等であっても良い。

また、上記実施形態において、液体吐出ヘッドは、インクジェット記録装置等の液体吐出記録装置に用いられる例を示したが、これに限られるものではなく、例えば３Ｄプリンタ、産業用の製造機械、医療用途にも用いることが可能であり、小型軽量化及び低コスト化が可能である。

以上述べた少なくともひとつの実施形態の液体吐出ヘッド又は液体吐出記録装置によれば、ノズルから液滴を噴射したときに、他の圧力室への影響を抑制できる。

本発明のいくつかの実施形態を説明したが、これらの実施形態は、例として提示したものであり、発明の範囲を限定することは意図していない。これら新規な実施形態は、その他の様々な形態で実施されることが可能であり、発明の要旨を逸脱しない範囲で、種々の省略、置き換え、変更を行うことができる。これら実施形態やその変形は、発明の範囲や要旨に含まれるとともに、特許請求の範囲に記載された発明とその均等の範囲に含まれる。

１…液体吐出ヘッド、１１、１１Ａ、１１Ｂ、１１Ｃ、１１Ｄ、１１Ｅ…液体吐出部、１１ａ…ノズル、１２…液体供給部、１３…駆動信号供給部、２１…基板、２１ａ…圧力室、２２…ノズルプレート、２３、２３Ａ、２３Ｂ、２３Ｃ、２３Ｄ、２３Ｅ…ダンパー部材、２３ａ…ダンパー室、２３ｂ…貫通孔、２４…第２ダンパー部材、２５…ダンパー壁、３１…ノズル、３２…駆動素子、３３…電極、３３ａ…配線電極、３３ｂ…共有電極、４１…共通液室、４２…吸込口、４３…吐出口、５１…フレキシブル配線基板、５２…ドライバＩＣ、１００…液体吐出記録装置、１１１…筐体、１１２…媒体供給部、１１２ａ…給紙カセット、１１３…画像形成部、１１４…媒体排出部、１１４ａ…排紙トレイ、１１５…搬送装置、１１６…制御部、１１７…支持部、１１８…搬送ベルト、１１９…支持プレート、１２０…ベルトローラ、１２１ａ〜１２１ｈ…ガイドプレート対、１２２ａ〜１２２ｈ…搬送用ローラ、１３０…ヘッドユニット、１３２…供給タンク、１３３…接続流路、１３３ａ…供給流路、１３３ｂ…回収流路、１３４…循環ポンプ、Ｐ…用紙。

Claims (5)

1. 複数の圧力室を有する基板と、
   前記基板の一方の主面に設けられ、前記複数の圧力室と対向する複数のノズルを有するノズルプレートと、
   前記基板の他方の主面の少なくとも隣り合う前記圧力室の間に設けられ、前記圧力室で生じた圧力波を吸収するダンパー部材と、
   を備える液体吐出ヘッド。
2. 前記ダンパー部材は、前記複数の圧力室と対向する複数のダンパー室を有する、請求項１に記載の液体吐出ヘッド。
3. 前記ダンパー部材は、前記基板を形成する材料と異なる材料であって、前記ダンパー部材の固有音響インピーダンスをＺ１、前記圧力室内に供給される液体の固有音響インピーダンスをＺ２、反射率Ｒ＝（Ｚ２−Ｚ１）／（Ｚ１＋Ｚ２）としたときに、反射率Ｒが
   ０．５≦Ｒ≦２
   となる材料により形成される、請求項１又は請求項２に記載の液体吐出ヘッド。
4. 前記ダンパー部材を構成する材料は、前記基板を形成する材料よりもヤング率が小さい、請求項１又は請求項２に記載の液体吐出ヘッド。
5. 複数の圧力室を有する基板、前記基板の一方の主面に設けられ、前記複数の圧力室と対向する複数のノズルを有するノズルプレート、及び、前記基板の他方の主面の少なくとも隣り合う前記圧力室の間に設けられ、前記圧力室の変形による圧力変動によって弾性変形するダンパー部材を具備する液体吐出ヘッドと、
   対象物を前記液体吐出ヘッドに相対移動可能に支持する支持装置と、
   を備える液体吐出記録装置。

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