JP2022148859A - 液体吐出ヘッド - Google Patents

Abstract

【課題】チャネルから液体を吐出する際の影響が別のチャネルの吐出特性に及ぶのを抑えることのできる液体吐出ヘッドを提供する。【解決手段】実施形態の液体吐出ヘッドは、圧力室、共通液体室、アクチュエーター、及びノズル部を備える。液体を吐出する複数のチャネルは、圧力室を各々備える。共通液体室は、各圧力室の長手方向の少なくとも一端に連通する。アクチュエーターは、圧力室の容積を変化させる。ノズル部は、液体吐出用ノズルと、液体を吐出しないノズルを備える。液体吐出用ノズルは、アクチュエーターを駆動させた際に生じる圧力室内の長手方向の液柱共鳴によって該圧力室内の圧力変化が大きくなる位置に設ける。液体を吐出しないノズルは、別のチャネルの前記圧力室との連通路上であって且つ液柱共鳴の圧力変化が小さい位置に設ける。【選択図】図７

Description

本発明の実施形態は、液体吐出ヘッドに関する。

所定量の液体を所定の位置に供給する液体吐出ヘッドが知られている。液体吐出ヘッドは、例えばインクジェットプリンタ、３Ｄプリンタ、分注装置などに搭載する。インクジェットプリンタは、インクの液滴をインクジェットヘッドから吐出して、記録媒体の表面に画像等を形成する。３Ｄプリンタは、造形材の液滴を造形材吐出ヘッドから吐出し、硬化させて、三次元造形物を形成する。分注装置は、試料の液滴を吐出して複数の容器等へ所定量供給する。

液体吐出ヘッドは、複数の液体を吐出するチャネルを複数有している。各チャネルは、液体を吐出するノズル、ノズルに連通する圧力室、及びアクチュエーターを備える。各チャネルの圧力室は、共通液体室に連通する。液体吐出ヘッドは、複数のチャネルの中から液体を吐出するチャネルを選択し、アクチュエーターに駆動信号を与えて駆動させる。アクチュエーターを駆動すると液体で満たされている圧力室の容積が変わり、ノズルから液体を吐出する。

圧力室の容積が変化する際に、圧力室と共通液室との間に液体の出入りがあるが、液体の出入りの際の共通液体室の圧力変化はできるだけ小さいことが望ましい。圧力変化が大きいと、液体を吐出するよう選択したチャネルのアクチュエーターを駆動したときの圧力変化の影響が、共通液体室を介して周囲に伝搬し、別のチャネルの吐出特性に及んでしまうからである。

特開２０１５－０８０９２３公報 特開２０１２－１６６４６２公報 特開２０１０－２３２４１公報

本発明が解決しようとする課題は、チャネルから液体を吐出する際の影響が別のチャネルの吐出特性に及ぶのを抑えることのできる液体吐出ヘッドを提供することにある。

本発明の実施形態の液体吐出ヘッドは、圧力室、共通液体室、アクチュエーター、及びノズル部を備える。液体を吐出する複数のチャネルは、圧力室を各々備える。共通液体室は、各圧力室の長手方向の少なくとも一端に連通する。アクチュエーターは、圧力室の容積を変化させる。ノズル部は、液体吐出用ノズルと、液体を吐出しないノズルを備える。液体吐出用ノズルは、アクチュエーターを駆動させた際に生じる圧力室内の長手方向の液柱共鳴によって該圧力室内の圧力変化が大きくなる位置に設ける。液体を吐出しないノズルは、別のチャネルの前記圧力室との連通路上であって且つ液柱共鳴の圧力変化が小さい位置に設ける。

実施形態に従うインクジェットヘッドを備えたインクジェットプリンタの全体構成図である。 上記インクジェットヘッドの斜視図である。 上記インクジェットヘッドのノズルヘッド部を部分拡大した斜視図である。 上記インクジェットヘッドのノズルヘッド部を部分拡大した断面図である。 上記インクジェットヘッドのアクチュエーターに与える駆動波形である。 上記駆動波形で駆動するアクチュエーターの動作説明図である。 上記インクジェットヘッドの吐出用ノズル及び圧力緩和ノズルの配置図である。 上記インクジェットヘッドの吐出用ノズル及び圧力緩和ノズルの配置と、圧力室内に生じる液柱共鳴を説明する図である。 上記吐出用ノズルと上記圧力緩和ノズルの断面形状を示す図である。 上記インクジェットヘッドの吐出用ノズル及び圧力緩和ノズルの配置と圧力伝搬の説明図である。 上記インクジェットヘッドの吐出用ノズル及び圧力緩和ノズルの配置と圧力伝搬の説明図である。 上記インクジェットヘッドの吐出用ノズル及び圧力緩和ノズルの配置と圧力伝搬の説明図である。

以下、実施形態に従う液体吐出ヘッドについて、添付図面を参照しながら詳述する。なお、各図において、同一構成は同一の符号を付している。

実施形態の液体吐出ヘッドを搭載した画像形成装置の一例として、記録媒体に画像を印刷するインクジェットプリンタ１０を説明する。図１は、インクジェットプリンタ１０の概略構成を示す。インクジェットプリンタ１０は、筐体１１の内部に、記録媒体の一例であるシートＳを収納するカセット１２、シートＳの上流搬送路１３、カセット１２内から取り出したシートＳを搬送する搬送ベルト１４、搬送ベルト１４上のシートＳに向けてインクの液滴を吐出する複数のインクジェットヘッド１００～１０３、シートＳの下流搬送路１５、排出トレイ１６、及び制御基板１７を配置する。ユーザーインターフェイスである操作部１８は、筐体１１の上部側に配置する。

シートＳに印刷する画像データは、例えば外部接続機器であるコンピュータ２００で生成する。コンピュータ２００で生成した画像データは、ケーブル２０１、コネクタ２０２，２０３を通してインクジェットプリンタ１０の制御基板１７に送る。

ピックアップローラ２０４は、カセット１２からシートＳを一枚ずつ上流搬送路１３へ供給する。上流搬送路１３は、送りローラ対１３１、１３２と、シート案内板１３３、１３４で構成する。シートＳは、上流搬送路１３を経由して、搬送ベルト１４の上面に送る。図中の矢印１０４は、カセット１２から搬送ベルト１４へのシートＳの搬送経路を示す。

搬送ベルト１４は、表面に多数の貫通孔を形成した網状の無端ベルトである。駆動ローラ１４１、従動ローラ１４２，１４３の３本のローラは、搬送ベルト１４を回転自在に支持する。モータ２０５は、駆動ローラ１４１を回転することによって搬送ベルト１４を回転させる。モータ２０５は、駆動装置の一例である。図中１０５は、搬送ベルト１４の回転方向を示す。搬送ベルト１４の裏面側に、負圧容器２０６を配置する。負圧容器２０６は、減圧用のファン２０７と連結する。ファン２０７は、形成する気流によって負圧容器２０６内を負圧にし、搬送ベルト１４の上面にシートＳを吸着保持させる。図中１０６は、気流の流れを示す。

液体吐出ヘッドの一例であるインクジェットヘッド１００～１０３は、搬送ベルト１４上に吸着保持したシートＳに対して、例えば１ｍｍの僅かな隙間を介して対向するように配置する。インクジェットヘッド１００～１０３は、シートＳに向けてインクの液滴を夫々吐出する。インクジェットヘッド１００～１０３は、下方をシートＳが通過する際に画像を印刷する。各インクジェットヘッド１００～１０３は、吐出するインクの色が異なることを除けば、同じ構造である。インクの色は、例えば、シアン，マゼンタ，イエロー，ブラックである。

インクジェットヘッド１００～１０３は、夫々、インク流路３１１～３１４を介してインクタンク３１５～３１８及びインク供給圧力調整装置３２１～３２４と連結する。各インクタンク３１５～３１８は、各インクジェットヘッド１００～１０３の上方に配置する。待機時に、インクジェットヘッド１００～１０３の吐出用ノズル３及び圧力緩和ノズル３１（図２参照）からインクが漏れ出ないように、各インク供給圧力調整装置３２１～３２４は、各インクジェットヘッド１００～１０３内を大気圧に対して負圧、例えば－１．２ｋＰａに調整している。画像形成時、各インクタンク３１５～３１８のインクは、インク供給圧力調整装置３２１～３２４によって各インクジェットヘッド１００～１０３に供給する。

画像形成後、搬送ベルト１４から下流搬送路１５へシートＳを送る。下流搬送路１５は、送りローラ対１５１，１５２，１５３，１５４と、シートＳの搬送経路を規定するシート案内板１５５，１５６で構成する。シートＳは、下流搬送路１５を経由し、排出口１５７から排出トレイ１６へ送る。図中矢印１０７は、シートＳの搬送経路を示す。

続いて、インクジェットヘッド１００～１０３の構成について説明する。以下は、図２～図４を参照しながら、インクジェットヘッド１００について説明しているが、インクジェットヘッド１０１～１０３もインクジェットヘッド１００と同じ構造である。

図２に示すように、インクジェットヘッド１００は、液体吐出部の一例であるノズルヘッド部２を備える。ノズルヘッド部２は、フレキシブルプリント配線板２１と接続する。ノズルヘッド部２は、インクを吐出するチャネルを複数備える。ノズルヘッド部２は、ノズルプレート２２、アクチュエーター基板２３、液体供給部の一例であるインク供給部２４を備える。インク供給部２４は、インク流路３１１を介して図１のインク供給圧力調整装置３２１に接続する。

フレキシブルプリント配線板２１は、ドライバチップである駆動用のＩＣ（Integrated Circuit）２５を搭載している（以下、駆動ＩＣと称す）。駆動ＩＣ２５は、インクジェットプリンタ１０の制御基板１７から送られてくるプリントデータを一時的に格納し、所定のタイミングでインクを吐出するよう各チャネルに駆動信号を与える。

ノズル部の一例であるノズルプレート２２は、例えばポリイミドなどの樹脂又はステンレスなどの金属で形成した矩形状のプレートである。インクを吐出するノズル（吐出用ノズル）３は、ノズルプレート２２の表面に、ノズルプレート２２の長手方向（Ｘ方向）に沿って配列する。ノズル密度は、例えば１５０～１２００ｄｐｉの範囲内に設定する。圧力緩和ノズル３１は、インクを吐出しないノズルである。圧力緩和ノズル３１は、ノズルプレート２２の短手方向（Ｙ方向）に、吐出用ノズル３の両サイドに配置する。すなわち、インクを吐出する各チャネルは、１個の吐出用ノズル３と２個の圧力緩和ノズル３１を各々備える。なお、図２では、吐出用ノズル３をノズルプレート２２の短手方向（Ｙ方向）に２列配列しているが、これに限らない。吐出用ノズル３は、例えば１列でもよい。

特に図３と図４に示すように、ノズルプレート２２は、枠状部材２６を介在してアクチュエーター基板２３上に取り付ける。アクチュエーター基板２３は、例えば絶縁性のセラミックスで形成した矩形状の基板である。ノズルプレート２２、枠状部材２６及びアクチュエーター基板２３によって囲われた空間内に、各チャネルのインクの圧力室４を複数形成する。圧力室４は、アクチュエーター基板２３上に基板長手方向に沿って複数配列する。各チャネルの圧力室４は、各チャネルの吐出用ノズル３及び圧力緩和ノズル３１と連通する。

圧力室４は、アクチュエーター基板２３の表面に、例えば分極方向が相反する方向（一例として対向方向）に積層した２枚の圧電部材４１を、例えば矩形の溝状に切り欠くことによって形成する。すなわち、圧電部材４１は、その長手方向がアクチェーター基板２３の短手方向に延びるように形成する。圧電部材４１は、例えば側面視が台形となるように形成しているが、側面視の形状は台形に限らない。

隣り合う圧力室４は、圧電部材４１を側壁にして仕切られている。すなわち、各圧力室４は、その短手方向の両側に立設する圧電部材４１の側壁を有し、その長手方向の両端が開口している。圧力室４端部の一方の開口は、共通液体室の一例である中央の共通インク室４２と連通し、他方の開口は、共通液体室の一例である外側の共通インク室４３と連通する。中央の共通インク室４２は、アクチュエーター基板２３に形成したインク供給孔４４を介して、インク供給部２４のインク供給溝２７と連通する。外側の共通インク室４３は、アクチュエーター基板２３に形成したインク排出孔４５を介して、インク供給部２４のインク排出路２８と連通する。かかる構成により、各チャネルの圧力室４にインクを循環供給する。但し、インクの供給は循環方式でなくともよい。

電極４６は、圧力室４の底面及び両側面に一体的に形成する。各圧力室４の電極４６は、配線電極４７と接続する。圧電部材４１及び電極４６は、圧力室４の容積を変えるアクチュエーター５を構成する。配線電極４７は、枠部材２６の外側にまで引き出している。電極４６の表面、及び枠部材２６の内側にある配線電極４７は、インクと接液しないように保護膜（不図示）で被覆する。電極４６及び配線電極４７は、例えばニッケル薄膜で形成する。配線電極４７は、アクチュエーター基板２３端部でフレキシブル配線板２１と接続し、駆動ＩＣ２５の駆動ドライバ（すなわち、駆動回路）に接続する。各チャネルの駆動ドライバは、各チャネルのアクチュエーター５に対し、駆動信号として例えば駆動電圧を夫々与える。この構成により、駆動電圧を与えたアクチュエーター５は、圧電部材４１の分極軸と交差（望ましくは、直交）する方向に電界が印加され、圧力室４の両側の側壁となっている圧電部材４１がシアモードで変形する。

すなわち、インクの圧力室４は、圧電部材４１を用いた柱状の一対のアクチュエーター５に挟まれて形成している。その柱状のアクチュエーター５の両壁、すなわち圧力室４の内側の壁と外側の壁に電位差を与え、アクチュエーター５を充電することによってアクチュエーター５を変形させる。これにより圧力室４の容積が変化し、その結果、圧力室４内のインク圧が変化する。この変化の大きさとタイミングを調整することによって、吐出用ノズル３からインクを吐出する。

図５は、アクチュエーター５を駆動する駆動波形の一例として、駆動波形（ＤＲＰ波形）を示す。図５には、駆動時の圧力室４内のインクの圧力及びインクの流速の変化を併せて示している。駆動波形は、期間ｔ１で負電位の電圧（－Ｖ）、期間ｔ２でグランド電位（ＧＮＤ）、期間ｔ３で正電位の電圧（＋Ｖ）をアクチュエーター５に順に与える。期間ｔ１は、例えばノズルヘッド２の圧力振動周期の１／２の時間に設定する。圧力振動周期が例えば４．８［μｓ］のとき、期間ｔ１は、２．４［μｓ］とする。期間ｔ２は、例えば３．２５［μｓ］、期間ｔ３は、期間ｔ２よりも短い０．９［μｓ］とする。

アクチュエーター５の駆動は、例えば圧力室４を２つおきに３つの組に分けて分割駆動する、いわゆる３分割駆動とすることができる。図６（ａ）は、互いに隣接する３個一組の圧力室４の電極４６の電位がいずれもグラウンド電位（ＧＮＤ）である状態を示している。この状態では、圧力室４間の隔壁である圧電部材４１は何ら歪み作用を受けない。図６（ｂ）は、図５の駆動波形の期間ｔ１に、中央の圧力室４の電極４６に負電位の電圧（－Ｖ）を印加した状態を示している。この状態では、電圧（－Ｖ）を印加した中央の圧力室４の両側にある圧電部材４１に、その分極方向と直交する方向に電界が作用し、圧電部材４１がそれぞれ外側に変形することで、中央の圧力室４の容積が拡張する。

続く期間ｔ２に、中央の圧力室４の電極４６の電位をグラウンド電位（ＧＮＤ）にすることで、拡張していた中央の圧力室４の容積が図６（ａ）の状態まで収縮する。このように圧力振動周期の１／２の時間に設定した期間ｔ１の終点で圧力室４の容積を収縮させることによって、図５に示すように圧力室４内のインクの圧力が高まって、インクの液滴がノズル３から吐出する。

さらに続く期間ｔ３に、中央の圧力室４の電極４６に正電位の電圧（＋Ｖ）を印加する。この状態では、図６（ｃ）に示すように、中央の圧力室４の両側にある圧電部材４１に対し、図６（ｂ）のときとは逆の方向に電界が作用し、圧電部材４１がそれぞれ内側に変形することで、中央の圧力室４の容積が収縮する。期間ｔ３の経過後、中央の圧力室４の電極４６の電位をグラウンド電位（ＧＮＤ）にすることで、収縮していた中央の圧力室４の容積が図６（ａ）の状態まで復帰する。この収縮と復帰によって残量振動をキャンセルする。

続いて、図７～図９を参照しながら、吐出ノズル３と圧力緩和ノズル３１の配置について詳しく説明する。既述のように、インクの吐出は、圧力室４の容積を変えるアクチュエーター５を駆動し、圧力室４内の圧力を制御することによって行う。長手方向の端部が開口して共通インク室４２（４３）と連通している圧力室４の場合、アクチュエーター５を駆動させた際に生じる圧力室長手方向の液柱共鳴をインクの吐出に利用している。液柱共鳴の場合、上述の圧力振動周期に圧力室４内のインクの音速を乗じた値が波長となる。そして、図７（ａ）に示すように、長手方向の両端が開口している圧力室４の場合はこの波長の１／２波長共鳴管となる。一方、図７（ｂ）に示すように、長手方向の一方の端部が開口し他方の端部が閉じている圧力室４の場合は、１／４波長共鳴管となる。ヘルムホルツ共鳴を利用する構成のインクジェットヘッドとは異なる。

１／２波長共鳴管の場合、圧力室長手方向の中央部が圧力振幅最大であって流速振幅最小となる。つまり、図８のように模式的に示すと、圧力室長手方向の中央部が１／２波長の定在波Ｗの節の部分にあたる。一方、圧力室長手方向の両端部が圧力振幅最小であって流速振幅最大となる。つまり、圧力室長手方向の両端部が１／２波長の定在波Ｗの腹の部分にあたる。液柱共鳴の開口補正を考慮すると、圧力室４と共通インク室４２，４３の境界よりも外側で圧力振幅が始まる。

吐出用ノズル３は、液柱共鳴による圧力変化が大きくなる位置に配置する。図７（ａ）の１／２波長共鳴管の例では、好ましい一例として、圧力振幅が最も大きくなる長手方向の中央部に配置する。図７（ｂ）の１／４波長共鳴管の例では、好ましい一例として、圧力振幅が最も大きくなる長手方向の奥のところに配置する。勿論、厳密に圧力振幅が最も大きくなる位置に限らず、その付近であってもよい。特に限定するものではないが例えば１／１０波長の範囲内に配置する。吐出用ノズル３は、先端側に向かうにつれて径が小さくなるテーパー形状とする。吐出用ノズル３の基端側の直径は、例えば４０～５５μｍである。吐出用ノズル３の先端側の直径は、例えば例えば２０～３０μｍである。

このように、ノズルヘッド部２は、液柱共鳴による圧力変化が大きくなる位置に吐出用ノズル３を設けて開口付近にインクのメニスカスＭを形成し（図９参照）、アクチュエーター５を駆動した際に生じる液柱共鳴による圧力変化をこの吐出用ノズル３に導入して、インクを吐出する。テーパー形状とした吐出用ノズル３は、先端側を狭い開口に絞ることでインクの流速を上げ、基端側の広い開口によって圧力室４に負荷を与えている。なお、吐出用ノズル３及び圧力緩和ノズル３１共に、インクを吐出しない静止時の圧力室４に負圧を与えてメニスカスＭを凹型に保つ（図９参照）。すなわち、既述したように、インク供給圧力調整装置３２１によってインクジェットヘッド１００内を大気圧に対して負圧に調整する。

圧力緩和ノズル３１は、液柱共鳴の圧力変化が小さくなる位置に配置する。図７（ａ）の１／２波長共鳴管の例では、好ましい一例として、圧力振幅が最も小さい場所である長手方向の両端部に配置する。図７（ｂ）の１／４波長共鳴管の例では、好ましい一例として、圧力振幅が最も小さい場所である長手方向の開口側の端部に配置する。液柱共鳴の圧力振幅が最も小さい場所は、既述のように圧力室４と共通インク室４２（４３）の境界よりも外側にあるので、その位置に圧力緩和ノズル３１を配置する。液柱共鳴の圧力振幅が最も小さい場所がどの位置にあるかは、例えば実際に試験を行うかシミュレーションなどによって確認する。勿論、厳密に圧力振幅が最も小さい位置に限らず、その付近であってもよい。すなわち、圧力緩和ノズル３１は、圧力室４と共通インク室４２（４３）の境界より外側でなくともよく、境界よりも内側或いは境界にまたがるように配置してよい。一例として、図７（ｃ）に示すように、圧力室４の端から１／１０波長内側の位置かそれよりも共通インク室４２（４３）側の位置に配置する。

圧力緩和ノズル３１は、液柱共鳴の圧力振幅が小さい位置に配置するので、アクチュエーター５を駆動してもインクは吐出しない。すなわち、圧力緩和ノズル３１は、インクを吐出しないノズルである。圧力緩和ノズル３１は、吐出用ノズル３よりもテーパー角が小さい形状とすることが望ましい。圧力緩和ノズル３１は、吐出を目的としないので、吐出用ノズル３の様なテーパー形状にする必要がないからである。圧力緩和ノズル３１の好ましい形状は、例えば２０～３０μｍの寸胴形状である。寸胴形状にすると、圧力緩和ノズル３１からの不要な誤吐出が起き難く、かつ圧力緩和ノズル３１から空気が混入するのを抑えることができる。

液柱共鳴管の動作原理上、解放端位置では圧力変化が無いことが望ましい。既述のとおり圧力室４と共通インク室４２，４３とは、液柱共鳴の圧力変化が最も小さく流速変化が最も大きくなる位置で連通しているが、現実にはアクチュエーター５を駆動すると共通インク室４２，４３と圧力室４の間を出入りするインクの流れによって圧力室４の両端部にも圧力変化が生じる。これが吐出特性に悪影響を与えることがある。この圧力変化は連通路を介して周囲の別のチャネルの圧力室４にも伝搬する。そこで圧力緩和ノズル３１を設ける。圧力緩和ノズル３１は、インクを吐出しないまでもノズル内のメニスカスＭ（図９参照）の位置や形状が変化するので、これにより圧力変化を抑えることができる。圧力緩和ノズル３１は図１０のようにチャネルとその隣のチャネルとの連通路３００上に設けられるが、その位置が圧力室４の端部から遠すぎると、その場所から圧力室４の端部までの間に圧力差が生じてしまうので、圧力室４の端部近傍が望ましい。

圧力緩和ノズル３１はその場の圧力変化を吸収するので連通路３００を介した圧力伝搬を減少させる作用を持つ。この作用は一方のチャネルの動作が他方のチャネルの動作に影響するという、所謂クロストークによる印字品質の低下を防ぐ効果を持つ。圧力緩和ノズル３１がある圧力室４とその圧力室４に隣接する別の圧力室４との連通路上にあたる共通インク室４２（４３）内にあれば、クロストークの低減効果は得られる。この目的では圧力緩和ノズル３１は必ずしも図７のようにチャネル毎に設けなくともよく、例えば図１１に示すように、共通インク室４２（４３）内の各圧電部材４１の端部側付近に圧力緩和ノズル３１を配置してもクロストークの低減効果が期待できる。或いは、例えば図１２に示すように、一つ置きの圧電部材４１の端部側に圧力緩和ノズル３１を配置してもクロストークの低減効果がある。なお、図中の矢印３００は、図１０と同様にチャネル間の連通路に沿った圧力伝搬を矢印で模式的に示したものである。

上述の実施形態によれば、長手方向の液柱共鳴を利用する圧力室４を備えたインクジェットヘッド１００において、圧力変化が大きくなる場所に吐出用ノズル３１を配置し、圧力室端部側であって且つ液柱共鳴の圧力変化が小さくなる位置に圧力緩和ノズル３１を設けたことによって、共通インク室４２，４３を介した圧力伝搬により別のチャネルの吐出特性が不安定になるクロストークの問題を抑えることができる。その結果、各チャネルの吐出特性が安定し、印字品質を向上させることができる。

さらに、上述の構成の場合、共通インク室４３側の圧力緩和ノズル３１は、流路の袋小路を防ぎ、共通インク室４３内にインクが充填し易くなるという効果も得ることができる。

吐出用ノズル３と圧力緩和ノズル３１は、ノズルプレート２２の同一面上に設けることが望ましい。これにより、インクのパージやパージ後のクリーニングが容易となる。また、圧力緩和ノズル３１は、必ずしも平面視が円形でなくともよい。

なお、上述の実施形態は、共通インク室４２側と共通インク室側の両方に圧力緩和ノズル３１を設けたが、両方に設ける構成に限らない。また、上述の実施形態は、サイドシューター型の構成であるが、エンドシューター型の構成であってもよい。

インクジェットヘッド１００は、圧力室４を複数配置したシアモード型のアクチュエーター５に限らない。ドロップオンデマンド・ピエゾ方式のアクチュエーターなどであってもよい。

上述の実施形態では、インクジェットプリンタ１０のインクジェットヘッド１００を液体吐出ヘッドの一例として説明したが、液体吐出ヘッドは、３Ｄプリンタの造形材吐出ヘッド、分注装置の試料吐出ヘッドであってもよい。

本発明の実施形態は、例として提示したものであり、発明の範囲を限定することは意図していない。これらの新規な実施形態は、その他の様々な形態で実施されることが可能であり、発明の要旨を逸脱しない範囲で、種々の省略、置き換え、変更を行うことができる。これらの実施形態やその変形は、発明の範囲や要旨に含まれるとともに、特許請求の範囲に記載された発明とその均等の範囲に含まれる。

１０ インクジェットプリンタ
１００～１０３ インクジェットヘッド
２ ノズルヘッド部
２２ ノズルプレート
２３ アクチュエーター基板
３ 吐出用ノズル
３１ 圧力緩和ノズル
４ 圧力室
４１ 圧電部材
４２ 共通インク室
４３ 共通インク室
５ アクチュエーター

Claims (5)

1. 液体を吐出する複数のチャネルの圧力室と、
   前記複数の圧力室の長手方向の少なくとも一端に連通する共通液体室と、
   前記圧力室の容積を変化させるアクチュエーターと、
   前記アクチュエーターを駆動させた際に生じる前記圧力室内の長手方向の液柱共鳴によって該圧力室内の圧力変化が大きくなる位置に設けた液体吐出用ノズルと、別のチャネルの前記圧力室との連通路上であって且つ前記液柱共鳴の圧力変化が小さい位置に設けた液体を吐出しないノズルと、を備えるノズル部と、を備えたことを特徴とする液体吐出ヘッド。
2. 前記液体吐出用ノズルと前記液体を吐出しないノズルは、ノズルプレートの同一面上に形成したことを特徴とする請求項１に記載の液体吐出ヘッド。
3. 前記液体を吐出しないノズルのテーパー角は、前記液体吐出用ノズルのテーパー角よりも小さいことを特徴とする請求項１又は２に記載の液体吐出ヘッド。
4. 前記液体を吐出しないノズルは、前記液体を吐出するチャネルごとに設けたことを特徴とする請求項１～３のいずれかに記載の液体吐出ヘッド。
5. 前記圧力室は、長手方向の両端が前記共通液体室と連通し、
   前記液体を吐出しないノズルは、前記長手方向の両端側に夫々設けたことを特徴とする請求項１～４のいずれかに記載の液体吐出ヘッド。

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