JP6447218B2 - インクジェットヘッド及びダンパー部材の製造方法 - Google Patents

Description

本発明はインクジェットヘッド及びダンパー部材の製造方法に関し、詳しくは、共通インク室内に設けられたダンパー部材によってクロストークに起因する圧力室の列間の影響を低減することのできるインクジェットヘッド及びダンパー部材の製造方法に関する。

インクジェットヘッドは、駆動によって圧力室内に発生する圧力波が原因で射出性能が不均一になることがある。駆動によって圧力室内に発生した圧力波が、共通インク室によって連通している他の圧力室に伝播し、その圧力波が伝播した圧力室の射出特性に変動を生じさせるいわゆるクロストークを発生させるためである。

従来、クロストークに起因する圧力室間の影響を低減する技術として、圧力室のインク入口とインク出口とを結ぶ直線の延長線に対して交叉する壁面部材を、体積弾性率４０ＧＰａ以下の材質によって形成する技術（特許文献１）、共通インク室に面して弾性変形するダンパー壁を形成する技術（特許文献２）、共通インク室内に空気が充填されたダンパー室を有するダンパー部材を別部材として配置する技術（特許文献３）等が提案されている。

特開２００７−１６８１８５号公報 特開２０１２−１０６５１３号公報 特開２００７−１１８３１２号公報

近年、インクジェットヘッドは、より高速で高精細な画像記録を行うことができる性能が求められている。このため、複数の圧力室が配列された圧力室の列を複数列並設することによって、高密度な画像記録を行うことができるようにしたインクジェットヘッドが提案されている。

ところが、本発明者が確認したところ、複数の圧力室の列を有するインクジェットヘッドを駆動すると、圧力室の列が１列だけのインクジェットヘッドに比べて、クロストークの影響が大きくなり、射出特性の変動の問題が顕著に見られることがわかった。

すなわち、圧力室が複数の列によって構成され、列間の圧力室のインク入口が共通インク室によって連通する構造を有するインクジェットヘッドは、１つの圧力室の列を駆動したことによって圧力室内に発生した圧力波が、共通インク室を介して他の列の圧力室に伝播し、他の列の圧力室の射出特性に影響を与える。

特許文献１、２に記載の技術は、クロストークを抑制するために、圧力波を減衰させる機能を有する部材を共通インク室の壁面に使用している。しかしながら、例えば、クロストークを抑制するために該壁面をインク入口に近接させると、それだけ共通インク室が狭小となって、必要量のインクを貯留させるだけの容積を確保することができなくなる問題がある。

一方、特許文献３に記載の技術は、共通インク室内にダンパー部材を別部材として配置する構成であるため、ダンパー部材を自由に配置でき、共通インク室の容積も確保できる利点がある。しかし、ダンパー室に空気が充填されたダンパー部材は、ダンパー面に可撓膜が用いられるため、インクジェットヘッドの駆動によって発生する熱や、例えばゲルＵＶインクやセラミックインク等のように吐出のためにヒーター等によって高温にする必要があるインクを使用する場合では、その高温のインクの熱によって、ダンパー室の空気が膨張してダンパー面を圧力室方向へ凸状に大きく突出させてしまう。これにより圧力室へのインク流路が狭められてしまい、円滑なインク供給が妨げられてしまうおそれがある。

特許文献３には、ダンパー部材内の気圧を大気圧以上にする記載がある。また、使用環境下でダンパー室の空気の温度が高くなるほど、空気の膨張によってダンパー室の容積が大きくなると共にダンパー室の圧力が上昇して大気圧よりも大きくなり、減衰特性が向上する、と記載されている。従って、特許文献３は、ダンパー部材の膨張によりインク流路を狭めてしまうことを全く考慮していない。

ダンパー室の空気の膨張によってインク流路を狭めてしまうことを防止するため、ダンパー面を構成する膜の厚みを厚くして、膨張時の突出量を抑えることも考えられるが、厚みを厚くすると圧力波減衰の効率低下を招き、ダンパー効果が損なわれてしまう問題がある。

そこで、本発明は、ダンパー効果を発揮しつつ、使用時にダンパー面が圧力室へのインク供給を妨げることのないダンパー部材を搭載したインクジェットヘッドを提供することを課題とする。

また、本発明は、ダンパー効果を発揮しつつ、使用時にダンパー面が圧力室へのインク供給を妨げることのないダンパー部材が搭載されたインクジェットヘッドを備えたインクジェット記録装置を提供することを課題とする。

さらに、本発明は、ダンパー効果を発揮しつつ、使用時にダンパー面が圧力室へのインク供給を妨げることのないダンパー部材を容易に製造することのできるダンパー部材の製造方法を提供することを課題とする。

本発明の他の課題は、以下の記載により明らかとなる。

上記課題は、以下の各発明によって解決される。

１．
２列以上配列された圧力室と、
前記圧力室のインク入口を介して全ての前記圧力室と連通する共通インク室と、
前記共通インク室内に配置されたダンパー部材とを有するインクジェットヘッドであって、
前記ダンパー部材は、ダンパーフレームと少なくとも前記インク入口に対向する面に張設された可撓膜とによってダンパー室が画成され、該ダンパー室を外部と連通させるための圧力調整用穴を有していると共に、前記圧力調整用穴が封止部材によって封止されていることにより前記ダンパー室に封入された気体が、常温では収縮して前記可撓膜の面が凹んだ湾曲面を形成してなり、前記共通インク室内のインクが常温よりも高い使用温度にあるときは膨張して前記可撓膜の面が略平坦面又は凹んだ湾曲面を形成してなることを特徴とするインクジェットヘッド。

２．
前記圧力調整用穴は、前記ダンパー部材において、前記可撓膜とは反対側の面に配置されていることを特徴とする前記１記載のインクジェットヘッド。

３．
前記圧力調整用穴は、前記ダンパー部材において、前記インク入口の配列領域の外側に対応する部位に配置されていることを特徴とする前記１又は２記載のインクジェットヘッド。

４．
前記可撓膜の厚みは、１０μｍ以上１５０μｍ以下であることを特徴とする前記１、２又は３記載のインクジェットヘッド。

５．
前記ダンパーフレームは、少なくとも一部が金属で形成されていることを特徴とする前記１〜４の何れかに記載のインクジェットヘッド。

６．
前記ダンパー部材は、前記インク入口と前記可撓膜との離間距離が、隣り合う前記圧力室の列同士の前記インク入口間の離間距離よりも小さくなるように配置されていることを特徴とする前記１〜５の何れかに記載のインクジェットヘッド。

７．
前記使用温度であるときに前記可撓膜の面が平坦面又は凹んだ湾曲面を形成してなることを特徴とする前記１〜６の何れかに記載のインクジェットヘッド。

８．
前記１〜７の何れかに記載のインクジェットヘッドを備えたインクジェット記録装置。

９．
インクジェットヘッドの複数の圧力室のインク入口を介して全ての前記圧力室と連通する共通インク室内に配置され、ダンパーフレームと少なくとも前記インク入口に対向する面に設けられた可撓膜とによって画成されるダンパー室に封入された気体が、常温では収縮して前記可撓膜の面が凹んだ湾曲面を形成してなり、前記共通インク室内のインクが常温よりも高い使用温度にあるときは膨張して前記可撓膜の面が略平坦面又は凹んだ湾曲面を形成してなるダンパー部材の製造方法であって、
前記ダンパーフレームに前記可撓膜を平坦になるように張設して前記ダンパー室を画成すると共に、前記ダンパー室を圧力調整用穴によって外部と連通させた状態で前記ダンパー室の気体を加熱し、その後、前記圧力調整用穴を封止部材によって封止することによって、前記ダンパー室に前記加熱された気体を封入することを特徴とするダンパー部材の製造方法。

１０．
前記ダンパー室を圧力調整用穴によって外部と連通させた状態で前記ダンパー室の気体を加熱し、その後、該気体が前記共通インク室内のインクの使用温度に達したときに、前記封止部材による封止を開始することによって前記圧力調整用穴を塞ぎ、前記ダンパー室に前記加熱された気体を封入することを特徴とする前記９記載のダンパー部材の製造方法。

１１．
前記圧力調整用穴は、前記可撓膜とは反対側の面に配置されていることを特徴とする前記９又は１０記載のダンパー部材の製造方法。

１２．
ホットプレートの上面に前記可撓膜側の面を配置させた状態で、前記ダンパー室の気体を加熱することを特徴とする前記９、１０又は１１記載のダンパー部材の製造方法。

１３．
加熱時の前記可撓膜側の面と前記ホットプレートとの間の距離を、３ｍｍ以下に保持することを特徴とする前記１２記載のダンパー部材の製造方法。

１４．
前記封止部材は熱硬化型樹脂であり、前記ダンパー室の気体を加熱する際の熱を利用して該封止部材を硬化させることを特徴とする前記９〜１３の何れかに記載のダンパー部材の製造方法。

１５．
前記圧力調整用穴は、直径３ｍｍ以下であることを特徴とする前記９〜１４の何れかに記載のダンパー部材の製造方法。

本発明によれば、ダンパー効果を発揮しつつ、使用時にダンパー面が圧力室へのインク供給を妨げることのないダンパー部材を搭載したインクジェットヘッドを提供することができる。

また、本発明によれば、ダンパー効果を発揮しつつ、使用時にダンパー面が圧力室へのインク供給を妨げることのないダンパー部材が搭載されたインクジェットヘッドを備えたインクジェット記録装置を提供することができる。

また、本発明によれば、ダンパー効果を発揮しつつ、使用時にダンパー面が圧力室へのインク供給を妨げることのないダンパー部材を容易に製造することのできるダンパー部材の製造方法を提供することができる。

本発明に係るインクジェットヘッドの第１の実施形態を示す分解斜視図 図１中の(ii)−(ii)線に沿って切断したインクジェットヘッドの断面図 ダンパー部材の断面図 隣り合う圧力室の列におけるインク入口間の距離を説明する図 脚部を突設したダンパー部材の一態様を示す斜視図 ダンパー部材の製造工程を説明する図 ダンパー部材の製造工程を説明する図 ダンパー部材の製造工程を説明する図 ダンパー部材の製造工程を説明する図 ダンパー部材の製造工程を説明する図 本発明に係るインクジェットヘッドの第２の実施形態を示す断面図 本発明に係るインクジェット記録装置の一例を示す斜視図 インクジェットヘッドユニットの一例を示す斜視図

以下、本発明の実施形態について図面を用いて詳細に説明する。

（インクジェットヘッドの第１の実施形態）
図１は本発明に係るインクジェットヘッドの第１の実施形態を示す分解斜視図、図２は図１中の(ii)−(ii)線に沿って切断したインクジェットヘッドの断面図、図３はダンパー部材の断面図である。

インクジェットヘッド１は、図１中の下から順に、ノズルプレート１１、ヘッドチップ１２、基板１３、インクマニホールド１４を有し、これらが互いに接合されることによって構成されている。インクマニホールド１４の内側の共通インク室１４１にはダンパー部材１５が配置されている。

本実施形態に示すヘッドチップ１２は六面体形状であり、本発明における圧力室であるチャネル１２１が複数配列されている。各チャネル１２１は、ヘッドチップ１２のノズルプレート１１側の面と基板１３側の面とに亘ってストレート状に貫通するように形成されている。複数のチャネル１２１は、図１中のＸ方向に沿って並設されることによって１列のチャネル列を形成している。そして、このチャネル列がＸ方向と交差するＹ方向に沿って複数並設されることによって、複数のチャネル列を形成している。

ここでは７つのチャネル１２１でＸ方向に延びる１列のチャネル列が形成され、このチャネル列がＹ方向に４列並設されたヘッドチップを例示している。しかし、本発明において１列のチャネル１２１の数は問わない。

Ｙ方向に並設されるチャネル列の数は２列以上であればよく、４列に限定されない。本発明は、ダンパー部材１５によって、１つのチャネル列で発生した圧力波が、共通インク室１４１を介して隣りのチャネル列に影響を与えるクロストークの問題を防止する。また、３列以上のチャネル列を有するインクジェットヘッドを使用する場合、１つのチャネル列で発生した圧力波がその両隣りのチャネル列に影響を与えることから、クロストークの影響がより顕著となる場合がある。この場合においても本発明を好適に使用することができる。

なお、チャネル列（圧力室の列）とは、インクジェットヘッド１と被記録材との一方向の相対的な移動時に被記録材に所定の幅で記録される画像の記録幅を形成するチャネル１２１（圧力室）の集合のことである。記録幅は、例えば、インクジェットヘッド１が被記録材に対して固定配置され、被記録材を一方向に搬送させながら画像記録を行うものである場合、この被記録材の搬送時に形成される画像の幅である。インクジェットヘッド１におけるチャネル列の配列方向であるＸ方向は、この被記録材に形成される画像の記録幅の幅方向と平行な方向に限らず、記録幅に対して斜めに交差する方向でもよい。

また、インクジェットヘッド１と被記録材との相対的な移動は、インクジェットヘッド１を固定配置させ、被記録材を搬送させる態様の他、例えば、インクジェットヘッド１を被記録材の幅方向に沿って走査移動させて画像記録を行い、一走査移動毎に被記録材をインクジェットヘッド１の走査移動方向と交差する方向に移動させる態様や、被記録材を固定配置させ、インクジェットヘッド１を被記録材の幅方向に沿って走査移動させて画像記録を行い、一走査移動毎にインクジェットヘッド１を走査移動方向と交差する方向に移動させる態様等であってもよい。

ヘッドチップ１２は、各チャネル列において隣り合うチャネル１２１、１２１の間を仕切る隔壁１２２の少なくとも一部が、分極処理された圧電素子によって形成されている。各隔壁１２２の両面には駆動電極（図示せず）が形成されている。隔壁１２２は、その両面の駆動電極に所定電圧の駆動信号が印加されることによってせん断変形する。これによって、一対の隔壁１２２、１２２に挟まれるチャネル１２１は、容積が膨張、収縮するように変化し、チャネル１２１内のインクに吐出のための圧力を付与する。

ノズルプレート１１には複数のノズル１１１が形成されている。各ノズル１１１は、チャネル１２１のインク出口１２１ａと連通している。隔壁１２２の変形によって吐出のための圧力が付与されたチャネル１２１内のインクは、インク出口１２１ａを通ってノズル１１１から吐出される。なお、インク出口１２１ａは、ヘッドチップ１２における図２中の下側のチャネル１２１の開口部である。

基板１３は、ヘッドチップ１２との接合面よりも大きな面積を有する平板状の薄板であり、例えばガラス、セラミックス、シリコン、合成樹脂等によって形成されている。基板１３のヘッドチップ１２側の面に、ヘッドチップ１２の各駆動電極と電気的に接続される不図示の配線が形成されている。ヘッドチップ１２から張り出した基板１３の領域は、この配線と駆動回路（図示せず）との間を電気的に接続するＦＰＣ等の外部配線部材（図示せず）の接続部として機能している。

また、基板１３には、ヘッドチップ１２のチャネル１２１にそれぞれ対応する貫通孔１３１が形成されている。すなわち、ヘッドチップ１２のチャネル１２１と同様、図１中のＸ方向に沿って７個の貫通孔１３１が並設されて１つの列が形成され、この列がＹ方向に沿って４列形成されている。

チャネル１２１の内部は、それと対応する貫通孔１３１と連通している。貫通孔１３１のヘッドチップ１２側の開口部は、チャネル１２１の開口部と同一形状となるように形成されている。各貫通孔１３１は、共通インク室１４１内に向けて開口しており、共通インク室１４１のインクをチャネル１２１内に流入させる個別のインク流路を構成している。従って、各貫通孔１３１の共通インク室１４１側の開口部は、それに対応するチャネル１２１のインク入口１３１ａを構成している。

インクマニホールド１４は、一面が開口する箱型に形成され、この開口を塞ぐように基板１３と接合されている。これにより、インクマニホールド１４の内側に、インクを吐出させる全てのチャネル１２１に共通にインクを供給する共通インク室１４１が形成される。インクマニホールド１４は、インク流入口１４２からインクを流入させ、インク流出口１４３から外部に排出させるようになっている。

ダンパー部材１５は、ダンパーフレーム１５１と、圧力波を緩衝するダンパー面として機能する可撓膜１５２とを有し、これらによって画成されるダンパー室１５３に空気等の気体が封入されている。ダンパーフレーム１５１は、剛性を有する部材によって、可撓膜１５２が張設される面が開口した薄い箱型に形成されている。可撓膜１５２が張設される面は、少なくともインク入口１３１ａに対向する面にあればよい。ここでは六面体からなるダンパー部材１５の６つの面のうち、インク入口１３１ａに対向する１つの面のみに可撓膜１５２が張設されたダンパー部材１５を例示している。

可撓膜１５２は、基板１３に開口している全てのインク入口１３１ａを覆うことができる大きさを有しており、ダンパーフレーム１５１に接着剤によって接着されることによって、ダンパー部材１５の一つの面を構成している。可撓膜１５２としては、例えばＰＩ（ポリイミド）、ＬＣＰ（液晶ポリマー）、ＰＥＴ（ポリエチレンテレフタレート）、ＰＥ（ポリエチレン）、ＰＰ（ポリプロピレン）等の合成樹脂フィルムを用いることができる。可撓膜１５２の厚みは、圧力波を減衰させて緩衝するダンパー効果を効果的に発揮させる観点から、５０μｍ以上１５０μｍ以下とすることが好ましい。

ダンパー部材１５は、可撓膜１５２側の面がインク入口１３１ａと向かい合うように共通インク室１４１内に配置されている。これにより、チャネル１２１からインク入口１３１ａを介して共通インク室１４１に伝播する圧力波を、ダンパー面である可撓膜１５２に当て、ダンパー室１５３に封入されている気体の圧縮によって可撓膜１５２が撓み変形することによって吸収する。

ダンパー部材１５は、図１に示すように、基板１３に開口している全てのインク入口１３１ａの配列領域よりも広い領域を覆うことができる大きさを有しているが、インクマニホールド１４の開口面積よりは小さい。このため、図２に示すように、ダンパー部材１５の周囲と共通インク室１４１の内壁面との間に、インク入口１３１ａへのインク流路１４１ａが確保されている。また、ダンパー部材１５は、基板１３との間にインク流路１４１ｂとなる所定の間隔をおいて配置されている。

図３に示すように、ダンパーフレーム１５１には、ダンパー室１５３をダンパー部材１５の外部と連通させる圧力調整用穴１５４が設けられている。圧力調整用穴１５４の具体的な機能については後述するが、この圧力調整用穴１５４を用いることによって、ダンパー部材１５の製造時にダンパー室１５３の内部圧力が所定の圧力となるように調整することが容易となる。

ダンパー部材１５は、圧力調整用穴１５４が封止部材１５５によって封止されている。封止部材１５５は、圧力調整用穴１５４を塞ぐことができるものであれば特に問わず、例えば接着剤、粘着テープ等を用いることができる。また、圧力調整用穴１５４を溶着によって封止するようにしてもよい。本実施形態に示す封止部材１５５には熱硬化型樹脂を用いている。

そして、ダンパー部材１５は、圧力調整用穴１５４が封止部材１５５によって封止されることによりダンパー室１５３に封入された気体が、常温では収縮して可撓膜１５２の面がインク入口１３１ａ側とは反対側に凹んだ湾曲面を形成し、共通インク室１４１内のインクが常温よりも高い使用温度にあるときは膨張して可撓膜１５２の面が略平坦面又はインク入口１３１ａ側とは反対側に凹んだ湾曲面を形成している。なお、常温とは２５℃を示す。

図３中の実線で示す可撓膜１５２は、ダンパー室１５３の気体が膨張して平坦面を形成した状態を示し、１点鎖線で示す可撓膜１５２は、ダンパー室１５３の気体が膨張して凹んだ湾曲面を形成した状態を示している。但し、ダンパー室１５３の気体が膨張した時の凹んだ湾曲面は、ダンパー室１５３の気体が常温の時の凹んだ湾曲面よりも凹み具合が小さい。

ここで、インクの使用温度とは、印字動作のためにノズル１１１からインクを射出する際の共通インク室１４１内のインクの温度のことである。具体的な温度はインクの種類等によって異なるが、常温よりも高い温度に設定される。

共通インク室１４１内のインクを使用温度に設定する手段としては、図示しないが、例えばマニホールド１４の表面、壁内部又は共通インク室１４１内にヒーターを設け、共通インク室１４１内に貯留されているインクを直接加温する手段、ヒーターによって加温されたインクタンク内のインクを共通インク室１４１に供給する手段、インクジェットヘッド１にインクを供給する供給管にヒーターを設け、インクの供給過程で加温されたインクを共通インク室１４１に供給する手段等が挙げられる。また、インクジェットヘッド１は圧電素子（隔壁１２２）の駆動によって発熱し、インクの温度を上昇させるため、圧電素子の発熱によって共通インク室１４１内のインクが使用温度とされる場合もある。

このようにダンパー部材１５は、圧力調整用穴１５４が封止部材１５５によって封止されてダンパー室１５１に封入された気体が、常温では収縮して可撓膜１５２の面が凹んだ湾曲面を形成し、共通インク室１４１内のインクが常温よりも高い使用温度にあるときは膨張して可撓膜１５２の面が略平坦面又は凹んだ湾曲面を形成することにより、インクジェットヘッド１の駆動時において可撓膜１５２がインク入口１３１ａ側に凸状に大きく膨らむことがなく、可撓膜１５２と基板１３との間にインク流路１４１ｂを確保することができる。すなわち、ダンパー部材１５は、ダンパー効果を発揮しつつ、使用時にチャネル１２１へのインク供給を妨げることがない。

なお、全てのチャネル１２１に対して均等にダンパー効果を発揮する観点から、ダンパー部材１５がインクの使用温度の環境下にあるときの可撓膜１５２の面は平坦面であることが好ましい。

ダンパー室１５３の具体的な内部圧力は、常温かつ１気圧の条件下で５０ｋＰａ以上大気圧未満となるように減圧されていることが好ましい。これにより、可撓膜１５２がインク流路１４１ｂを狭めてしまうことのない効果を発揮しつつ、ダンパー効果を良好に得ることができる。なお、大気圧とは、常温かつ１気圧の条件下で測定した際に１気圧となる気圧である。

圧力調整用穴１５４はダンパー部材１５の一部にあればよい。例えば、ダンパー部材１５の側面に設けられていても良いことは言うまでもない。本実施形態に示す圧力調整用穴１５４は、可撓膜１５２と反対側のダンパーフレーム１５１の面に形成されているが、可撓膜１５２に設けることもできる。しかし、圧力調整用穴１５４をダンパーフレーム１５１側に設けることにより、ダンパー部材１５のインク流路１４１ｂ側の面に封止部材１５５による凸状の部位が形成されることがないため、インク入口１３１ａへのインクの流れを阻害するおそれがない。また、可撓膜１５２によるダンパー効果を損なうおそれもない。

封止部材１５５によって封止された圧力調整用穴１５４は、図１、図２に示すように、基板１３に開口するインク入口１３１ａの配列領域の外側に対応する部位に配置されていることが好ましい。すなわち、基板１３の面１３ａに対して垂直方向からダンパー部材１５を投影したときに、圧力調整用穴１５４及び封止部材１５５が配置される部位は、インク入口１３１ａの配列領域よりも外側に位置する。

これにより、粘度が低下した硬化前の熱硬化型樹脂が圧力調整用穴１５４から可撓膜１５２の裏面に滴下しても、インク入口１３１ａの配列領域からは外れているため、滴下した熱硬化型樹脂が可撓膜１５２によるダンパー効果に与える影響を少なくできる。また、圧力調整用穴１５４を可撓膜１５２に設けたとしても、封止部材１５５はインク入口１３１ａの配列領域から外れているため、封止部材１５５がインク入口１３１ａへのインクの流れを阻害するおそれを低減できると共に、可撓膜１５２によるダンパー効果を大きく損なうおそれも低減できる。

ダンパー部材１５は、インク流路１４１ｂを確保しつつ可撓膜１５２によるダンパー効果を効率良く発揮させる観点から、インク入口１３１ａと可撓膜１５２との離間距離Ｄが、隣り合うチャネル列同士のインク入口１３１ａ、１３１ａ間の離間距離ｄよりも小さくなるように配置されることが好ましい。

離間距離Ｄは、インク入口１３１ａからダンパー部材１５の可撓膜１５２に向けた垂直の距離である。この離間距離Ｄは、図４に示すように、Ｙ方向に隣り合うチャネル列におけるインク入口１３１ａ、１３１ａ間の離間距離をそれぞれｄ１、ｄ２、ｄ３とするとき、Ｄ＜ｄ１、且つ、Ｄ＜ｄ２、且つ、Ｄ＜ｄ３であることが好ましい。

具体的には、ダンパー部材１５は、離間距離Ｄが、隣り合うチャネル列のインク入口１３１ａ、１３１ａ間の距離ｄ１、ｄ２、ｄ３のいずれとの比較でも、その距離ｄ１、ｄ２、ｄ３よりも小さくなるように共通インク室１４１内に配置されることである。離間距離ｄ１、ｄ２、ｄ３は、１つのチャネル列内のインク入口（これをインク入口Ａとする。）と、その隣りのチャネル列内においてインク入口Ａに最も近接したインク入口（これをインク入口Ｂとする。）との間の最短距離である。この離間距離ｄ１、ｄ２、ｄ３は、一般には、隣り合うチャネル列のインク入口Ａ、Ｂ間に形成される列間間隙の幅となる。離間距離ｄ１、ｄ２、ｄ３は同一の値でなくてもよい。

これにより、インク入口１３１ａからダンパー部材１５を見た場合、隣りのチャネル列のインク入口１３１ａまでの距離よりもダンパー部材１５の可撓膜１５２までの距離の方が近くなるため、チャネル１２１からインク入口１３１ａを通って共通インク室１４１内に伝播した圧力波のうち、ダンパー部材１５に向けて直進する成分を直ちに可撓膜１５２に吸収させて減衰させることができる。従って、隣り合うチャネル列間のクロストークの影響を低減する効果を高めることができる。

本実施形態に示すインクジェットヘッド１は、図２中に破線で示す直線Ｌのように、インク入口１３１ａ、インク出口１２１ａ及びノズル１１１が一直線上に配置され、この直線Ｌがダンパー部材１５の可撓膜１５２と交差している。この構成によれば、チャネル１２１内で発生してインク入口１３１ａからダンパー部材１５に向かう圧力波の成分を可撓膜１５２で直接吸収させて減衰させることができるため、圧力波の吸収効果が最も高く、クロストークの影響を低減する効果が顕著に得られるために好ましい。

ダンパー部材１５をインク入口１３１ａから離間距離Ｄをおいて配置させる手段は特に問わない。例えば図５に示すように、ダンパー部材１５に基板１３側に突出する適宜数の脚部１５７を突設しておくことが挙げられる。この脚部１５７を基板１３の面１３ａに当接させれば、脚部１５７の突出高さによって離間距離Ｄを容易に規定することができる。脚部はダンパーフレーム１５１の側面に設けてもよい。

その他、図示しないが、脚部を基板１３の面１３ａ上に突設したり、あるいは、ダンパー部材１５と共通インク室１４１の内壁面との間に支柱を架け渡したりすることにより、ダンパー部材１５を支持するようにしてもよい。

ダンパー部材１５は、可撓膜１５２によって全てのインク入口１３１ａを覆うことができる大きさに形成されている。すなわち、図１に示すように、インク入口１３１ａが存在する基板１３の面１３ａに対して垂直な方向からダンパー部材１５を投影したとき、ダンパー部材１５がインク入口１３１ａの全てを包含している。これにより、全てのチャネル１２１からの圧力波をダンパー部材１５によって減衰させることができる。また、チャネル１２１毎に圧力波の吸収性能がばらつくことを低減できる。このため、クロストークの影響の低減効果を各チャネル１２１間で均一化できるために好ましい態様である。

さらに、ダンパー部材１５は、可撓膜１５２が平坦面であると仮定した場合に、該可撓膜１５が基板１３の面１３ａと平行であると、全てのチャネル１２１に対して均等にダンパー効果を発揮することができるために好ましい。

しかし、本発明において、ダンパー部材１５は、少なくとも一つのインク入口１３１ａと可撓膜１５２との離間距離Ｄが、当該インク入口１３１ａと、当該インク入口１３１ａに連通するチャネル１２１を含むチャネル列の隣りのチャネル列におけるインク入口１３１ａとの間の離間距離よりも小さくなる位置に配置されていれば、当該インク入口１３１ａからの圧力波をダンパー効果によって減衰させ、隣接チャネル１２１へ与えるクロストークの影響を低減する効果を得ることができる。

もちろん、ダンパー部材１５によって隣りのインク入口１３１ａに到達する前に圧力波が減衰されるインク入口１３１ａの数が多い程好ましい。すなわち、インク入口１３１ａとダンパー部材１５の可撓膜１５２との離間距離Ｄが、隣りのチャネル列におけるインク入口１３１ａとの間の距離よりも小さくなるように配置されるインク入口１３１ａの数の割合が、全てのインク入口１３１ａの数の９０％以上となるようにダンパー部材１５が配置されることが、クロストークの影響を低減する観点からは好ましい。

なお、ダンパー部材１５の可撓膜１５２が、インクの使用温度の環境下で凹んだ湾曲面を形成している場合（図３中の１点鎖線で示す場合）、インク入口１３１ａと可撓膜１５２との離間距離Ｄは、可撓膜１５２の最も凹んだ部位と、この部位に最も近いインク入口１３１ａとの間の距離によって規定することが好ましい。これによって、どのインク入口１３１ａでも、それと隣接するチャネル列のインク入口１３１ａとの間の距離よりも可撓膜１５２までの距離の方が近くなり、隣接する列間のクロストークの影響を低減する効果をより顕著に得ることができる。

ダンパー部材１５のダンパーフレーム１５１は剛性を有する材質によって形成されるが、少なくとも一部が金属で形成されていることが好ましい。一般に、金属はインク（液体）よりも熱伝導率が高いため、共通インク室１４１内のインクの温度分布を素早く均一化することができる。金属としては、例えばアルミニウム、銅、ステンレス等の熱伝導率が良好な金属を好ましく使用することができる。このような金属は、ダンパーフレーム１５１の一部の壁面に使用されていてもよいし、ダンパーフレーム１５１の全体に使用されていてもよいが、共通インク室１４１内のインクと直に接するように、少なくともダンパーフレーム１５１の表面に露出していることが好ましい。

本発明において使用されるインクは特に問わないが、例えばゲルＵＶインクやセラミックインク等のように、ヒーター等の加温手段によってインクを所定温度まで加温し、インクの粘度を吐出に適した粘度まで低下させる必要のあるインクを使用することが好ましい。インクの種類によって異なるが、例えば使用温度が６０℃以上９０℃以下であるゲルＵＶインク等のインクは、使用温度が他のインクに比べて高温になり、ダンパー室１５３の気体が大きく膨張し易いため、本発明によって顕著な効果が得られるからである。

本実施形態では、共通インク室１４１に１つのダンパー部材１５を配置したが、共通インク室１４１に複数のダンパー部材１５を配置してもよい。また、ダンパー部材１５の平面形状は矩形状に限定されず、円形状、楕円形状、多角形状等任意である。

（ダンパー部材の製造方法）
次に、かかるダンパー部材１５の製造方法の一例について、図６〜図９を用いて説明する。

まず、予め一部に圧力調整用穴１５４が形成されたダンパーフレーム１５１を用意する。そして、ダンパーフレーム１５１の開口縁１５１ａに接着剤１５６を塗布した後、可撓膜１５２を平坦になるように貼り付ける（図６）。接着剤１５６は特に限定されないが、本実施形態では熱硬化型接着剤を使用している。

次いで、可撓膜１５２を貼り付けたダンパーフレーム１５１をベーク炉１００内に配置し、接着剤１５６の硬化温度まで加熱することにより接着剤１５６を硬化させる（図７）。ベーク炉１００を用いることにより、接着剤１５６を効率良く硬化させることができる。

接着剤１５６が硬化したら、可撓膜１５２付きのダンパーフレーム１５１をベーク炉１００から取り出し、その後、加熱手段を用いて、ダンパー室１５３の気体を共通インク室１４１内のインクの使用温度となるように加熱する（図８）。

加熱手段としてはホットプレート２００を用いることが好ましい。ホットプレート２００の表面２００ａは平板状であるため、ダンパー室１５１の気体を全体に亘って直接且つ均一に効率良く加熱することができる。このため、製品毎の性能のばらつきも小さくできる。

ダンパー室１５３の気体の加熱は、ホットプレート２００の表面２００ａに可撓膜１５２側の面を向け、ダンパー室１５３が圧力調整用穴１５４によってダンパーフレーム１５１の外部と連通した状態で、可撓膜１５２を介して行う。このとき、ダンパー室１５３内の気体は膨張するが、圧力調整用穴１５４からダンパー室１５３の外部に放出されるため、可撓膜１５２は膨らんだり剥がれたりすることはなく、平坦面を維持する。

その後、加熱によりダンパー室１５３内の気体がインクの使用温度に達したときに、圧力調整用穴１５４に対して封止部材１５５による封止作業を開始し、圧力調整用穴１５４を塞ぎ、ダンパー室１５３に加熱された気体を封入する（図９）。

なお、加熱時のダンパー室１５３内の気体の温度をインクの使用温度以上とすることにより、ダンパー部材１５がインクの使用温度の環境下にあるときに、可撓膜１５２の面は略平坦面か又は凹んだ湾曲面を形成するのでインク流路１４１ｂを狭めてしまうことがない。

ここで、略平坦面とは、ダンパー室１５３内の気体の温度がインクの使用温度の±１０％の下で圧力調整用穴１５４の封止を完了した時に形成される面である。

より好ましくは、ダンパー部材１５がインクの使用温度の環境下にあるときの可撓膜１５２の面を平坦面とすることである。平坦面とは、ダンパー室１５３内の気体の温度がインクの使用温度の±５％の下で圧力調整用穴１５４の封止を完了した時に形成される面である。平坦面とすることで、全てのチャネル１２１に対して均等にダンパー効果を発揮できるのでより好ましい。

本実施形態では、可撓膜１５２と反対側のダンパーフレーム１５１の面に圧力調整用穴１５４が配置されているため、可撓膜１５２側をホットプレート２００の表面２００ａに対面させたまま容易に封止作業を行うことができる。また、熱硬化型樹脂からなる封止部材１５５をホットプレート２００の熱をそのまま利用して硬化させることができるため、封止作業も簡略化できる。

圧力調整用穴１５４の封止は、ダンパー室１５３の気体の温度が使用温度よりも高い時に開始する場合に限定されず、例えばインクの使用温度よりも低い温度のときに開始してもよい。封止部材１５５である熱硬化型樹脂が未硬化であれば、ダンパー室１５３の気体がさらに加熱されても、未硬化の熱硬化型樹脂を介して圧力を逃がすことができるので、封止開始のタイミングは特に限定されない。なお、収率の観点からは、使用温度に達した時に圧力調整用穴１５４の封止を開始することが好ましい。

ダンパー室１５３内の気体がインクの使用温度に達したかどうかは、例えば、ダンパーフレーム１５１の近傍に温度計（図示せず）を配置し、ダンパーフレーム１５１の周囲の環境温度を測定することによって判断することができる。

圧力調整用穴１５４の大きさは、封止部材１５５による封止作業性を良好にする観点から、直径３ｍｍ以下とすることが好ましい。特に本実施形態の示すように封止部材１５５として熱硬化型樹脂を用いる場合は、塗布した未硬化の熱硬化型樹脂が圧力調整用穴１５４からダンパー室１５３内に入り込んでしまうことを防止する観点から、直径１ｍｍとすることが好ましい。穴形状は円形に限らないが、円形でない場合、圧力調整用穴１５４の直径は、穴の開口面積と同じ面積の円に置き換えた場合のその円の直径とする。

封止部材１５５による圧力調整用穴１５４の封止は、ホットプレート２００による加熱状態を維持したまま行われる。封止部材１５５としての熱硬化型樹脂が硬化する前にダンパー室１５３内の気体の温度が低下すると、気体の収縮によって圧力調整用穴１５４から熱硬化型樹脂を引き込んでしまい、可撓膜１５２の裏面に熱硬化型樹脂による膜を形成してしまうおそれがあるためである。この場合、可撓膜１５２とホットプレート２００の表面２００ａとの間の距離を３ｍｍ以下に保持することにより、ダンパー室１５３内の気体の温度変化を極力抑えるようにすることが好ましい。

封止部材１５５である熱硬化型樹脂が硬化することにより圧力調整用穴１５４が封止され、ダンパー室１５３内に気体が封入されたダンパー部材１５が得られる。圧力調整用穴１５４の封止は、ダンパー室１５３内の気体がインクの使用温度に達したときに行われるため、このダンパー部材１５が常温環境下にあるときは、ダンパー室１５３内の気体は収縮し、可撓膜１５２の面は凹んだ湾曲面を形成する。一方、ダンパー部材１５がインクの使用温度にあるときは、ダンパー室１５３内の気体は膨張するが、可撓膜１５２の面は図３に示すように略平坦面か又は凹んだ湾曲面を形成する程度であり、インク入口１３１ａ側に凸状に大きく膨らんでインク流路１４１ｂを狭めてしまうことがない。

かかる製造方法によれば、ダンパー室１５３内の気体を加熱して、該気体がインクの使用温度に達したときに圧力調整用穴１５４を封止部材１５５によって封止するだけで、ダンパー室１５３内の気体の圧力調整を極めて簡単に行うことができる。従って、ダンパー効果を発揮しつつ、共通インク室１４１内のインクが使用温度となっても可撓膜１５２がチャネル１２１へのインク供給を妨げることのないダンパー部材１５を容易に製造することができる。

なお、以上の製造方法では、加熱によりダンパー室１５３内の気体がインクの使用温度に達したときに、圧力調整用穴１５４に対する封止作業を開始するようにしたが、特に封止部材１５５として熱硬化型樹脂を使用する場合は、ダンパー室１５３内の気体がインク使用温度に達する前に封止作業を開始するようにしてもよい。この場合、封止部材１５５による封止が完了しない間（熱硬化型樹脂が未硬化の間）に加熱が継続され、膨張した気体が未硬化の熱硬化型樹脂を押し退けて外部に放出されることで、封止完了時点（熱硬化型樹脂の硬化完了時点）で、ダンパー室１５３にインクの使用温度に達した気体を封入することができる。

また、以上の製造方法では、接着剤１５６を硬化させる際、ベーク炉１００を使用したが、図１０に示すように、ホットプレート２００上に配置させた可撓膜１５２付きのダンパーフレーム１５１をカバー３００で覆うようにしてもよい。ホットプレート２００の熱によって、カバー３００内部の温度を硬化条件温度まで昇温させることができるので、ベーク炉１００を使用しなくても効率良く接着剤１５６を硬化させることができる。また、接着剤硬化後に直ちにダンパー室１５３の気体を加熱する工程に移行できるため、製造工程も簡略化できる。

（インクジェットヘッドの第２の実施形態）
図１１は本発明に係るインクジェットヘッドの第２の実施形態を示す断面図である。

このインクジェットヘッド２は、ヘッド基板２１と配線基板２２とが接着樹脂層２３によって積層一体化されている。配線基板２２の上面には、上述したインクマニホールド１４と同様の箱型形状のインクマニホールド２４が接合されている。このインクマニホールド２４と配線基板２２との間で、内部にインクが貯留される共通インク室２４１が形成されている。２４２はインク流入口、２４３はインク流出口である。そして、この共通インク室２４１内にダンパー部材２５が配置されている。

ヘッド基板２１は、図中下層側から、Ｓｉ（シリコン）基板によって形成されたノズルプレート２１１、ガラス基板によって形成された中間プレート２１２、Ｓｉ（シリコン）基板によって形成された圧力室プレート２１３、ＳｉＯ_２薄膜によって形成された振動板２１４と有している。ノズルプレート２１１には下面にノズル２１１ａが開口している。

圧力室プレート２１３には、インクを収容する圧力室２１３ａが形成されている。圧力室２１３ａの上壁は振動板２１４によって構成され、下壁は中間プレート２１２によって構成されている。中間プレート２１２には、圧力室２１３ａの内部とノズル２１１ａとを連通する連通路２１２ａが貫通形成されている。

振動板２１４の上面には、各圧力室２１３ａに１対１に対応してアクチュエータ２１５が積層されている。アクチュエータ２１５は、薄膜ＰＺＴ等の圧電素子からなるアクチュエータ本体が、駆動電極としての上部電極と下部電極とで挟まれた構造をしており、その下部電極側が振動板２１４の上面に配置されている。

配線基板２２は、各アクチュエータ２１５に対して所定電圧の駆動信号を印加するための配線が形成された基板であり、その端部にＦＰＣ等の外部配線部材２６がＡＣＦ（異方性導電フィルム）によって電気的に接続されている。

接着樹脂層２３は、例えば熱硬化性の感光性接着樹脂シートによって形成され、ヘッド基板２１と配線基板２２との間に介在されることによって、両基板２１、２２を積層一体化している。この接着樹脂層２３によって両基板２１、２２の間には該接着樹脂層２３の厚み分の間隔が設けられている。接着樹脂層２３は、アクチュエータ２１５及びその周囲に相当する領域が露光、現像によって除去されている。各アクチュエータ２１５は、この接着樹脂層２３が除去された空間内にそれぞれ収容されている。

接着樹脂層２３には、上下に貫通する貫通孔２３１が各圧力室２１３ａの数に対応して形成されている。各貫通孔２３１の一端（上端）は、配線基板２２に形成されているインク供給路２２１と連通し、他端（下端）は、振動板２１４に形成された開口部２１４ａを通して圧力室２１３ａの内部と連通している。インク供給路２２１は配線基板２２の上面に開口している。この開口部は共通インク室２４１内に対面しており、共通インク室２４１内のインクを各圧力室２１３ａ内に供給するインク入口２２１ａとして機能している。

このインクジェットヘッド２は、共通インク室２４１からインク入口２２１ａを介して圧力室２１３ａ内にインクが供給される。そして、外部配線部材２６からアクチュエータ２１５に駆動信号が印加されると、アクチュエータ２１５の変形動作によって振動板２１４が振動し、圧力室２１３ａ内に吐出のための圧力変化が付与され、該圧力室２１３ａ内のインクが連通路２１２ａを通ってノズル２１１ａから吐出される。

このインクジェットヘッド２は、複数の圧力室２１３ａが並設されることによって圧力室２１３ａの列を形成し、その圧力室２１３ａの列が複数配列されることによって複数列、好ましくは３列以上の圧力室２１３ａを備えている。このため、各列の圧力室２１３ａに対応するインク入口２２１ａが共通インク室２４１内に臨んでいる。

ダンパー部材２５は、インク入口２２１ａに近接して共通インク室２４１内に配置されている。このダンパー部材２５も、上述した第１の実施形態におけるダンパー部材１５と同様に、ダンパーフレーム２５１と可撓膜２５２とを有し、これらダンパーフレーム２５１と可撓膜２５２とによってダンパー室２５３が画成されている。ダンパーフレーム２５１には、圧力調整用穴２５４が形成され、封止部材２５５によって封止されている。これら圧力調整用穴２５４及び封止部材２５５は、上述した第１の実施形態における圧力調整用穴１５４及び封止部材１５５と同じ機能を有する。その他のダンパー部材２５の具体的構成及び製造方法は、上述したダンパー部材１５の構成及び製造方法と同一であるため、その詳細については第１の実施形態におけるダンパー部材１５及びその製造方法の説明を援用し、ここでは省略する。

このインクジェットヘッド２においても、圧力室２１３ａからインク入口２２１ａを通って共通インク室２４１内に伝播した圧力波をダンパー部材２５によって吸収することができる。ダンパー室２５３内の気体は、ダンパー部材１５と同様に、共通インク室２４１内のインクが使用温度であるときに可撓膜２５２がインク入口２２１ａ側に凸状に大きく膨らんで突出することがないように封入されていることで、高温インク使用時でもダンパー効果を発揮しつつ、可撓膜２５２が圧力室２１３ａへのインク流路を狭めてしまうことがない効果が得られる。

（インクジェット記録装置）
本発明に係るインクジェット記録装置は、以上の第１の実施形態又は第２の実施形態によって説明したインクジェットヘッド１又は２を備えてなる。

以下、図１２を参照して、インクジェット記録装置の好ましい一例を説明する。なお、以下に示すインクジェット記録装置は、ラインヘッドを用いて記録媒体の１方向の搬送のみで描画を行う１パス描画方式の実施形態を例示するが、本発明に係るインクジェットヘッド１、２は適宜の描画方式のインクジェット記録装置に適用可能であり、例えばスキャン方式やドラム方式を用いた描画方式を採用してもよい。

また、以下の説明では、記録媒体Ｋの搬送方向を前後方向、記録媒体Ｋの搬送面において当該搬送方向に直交する方向を左右方向、前後方向及び左右方向に垂直な方向を上下方向として説明する。

インクジェット記録装置３は、プラテン３１、搬送ローラー３２及びラインヘッド４１、４２、４３、４４を備えている。

プラテン３１は、上面に被記録材である長尺状の記録媒体Ｋを支持しており、搬送ローラー３２が駆動されると、記録媒体Ｋを搬送方向（前後方向）に搬送する。

ラインヘッド４１、４２、４３、４４は、記録媒体Ｋの搬送方向の上流側から下流側にかけて、搬送方向に直交する幅方向（左右方向）に並列して設けられている。そして、各ラインヘッド４１、４２、４３、４４の内部には、それぞれ後述するインクジェットユニット５が少なくとも一つ設けられており、例えばシアン（Ｃ）、マゼンタ（Ｍ）、イエロー（Ｙ）、黒（Ｋ）のインクを記録媒体Ｋに向けて吐出する。

図１３に、インクジェットヘッドユニット５の一例を示す。

インクジェットヘッドユニット５は、上述したインクジェットヘッド１又は２を保持部５１上に複数個（図１３では６個）搭載されてなる。保持部５１は、インクジェットヘッド１又は２の底面（ノズル面）が保持部５１の開口部から露出するように、インクジェットヘッド１又は２を着脱可能に保持している。また、保持部５１は、インクジェットヘッド１又は２を全体として千鳥格子状となるように保持している。

このインクジェットヘッドユニット５が、各ラインヘッド４１、４２、４３、４４の内部にそれぞれ少なくとも一つ設けられることにより、インクジェットヘッドユニット５の幅方向（左右方向）に亘る記録幅で描画を行うことができるようになっている。

このようなラインヘッド４１、４２、４３、４４によって１パス描画を行うインクジェット記録装置３では、一般に高速駆動による高速描画が行われるため、クロストークの影響が大きく、圧力室の列間でのクロストークの影響が問題となり易い。このため、本発明に係るインクジェットヘッド１又は２を適用することにより、ダンパー効果を発揮しつつ、使用時にダンパー面が圧力室へのインク供給を妨げることのないダンパー部材が搭載されたインクジェットヘッドを備えたインクジェット記録装置を提供することができる。

１：インクジェットヘッド
１１：ノズルプレート
１１１：ノズル
１２：ヘッドチップ
１２１：チャネル（圧力室）
１２１ａ：インク出口
１２２：隔壁
１３：基板
１３ａ：面
１３１：貫通孔
１３１ａ：インク入口
１４：インクマニホールド
１４１：共通インク室
１４１ａ：インク流路
１４２：インク流入口
１４３：インク流出口
１５：ダンパー部材
１５１：ダンパーフレーム
１５１ａ：開口縁
１５２：可撓膜
１５３：ダンパー室
１５４：圧力調整用穴
１５５：封止部材
１５６：接着剤
１５７：脚部
２：インクジェットヘッド
２１：ヘッド基板
２１１：ノズルプレート
２１１ａ：ノズル
２１２：中間プレート
２１２ａ：連通路
２１３：圧力室プレート
２１３ａ：圧力室
２１４：振動板
２１４ａ：開口部
２１５：アクチュエータ
２２：配線基板
２２１：インク供給路
２２１ａ：インク入口
２３：接着樹脂層
２３１：貫通孔
２４：インクマニホールド
２４１：共通インク室
２４２：インク流入口
２４３：インク流出口
２５：ダンパー部材
２５１：ダンパーフレーム
２５２：可撓膜
２５３：ダンパー室
２５４：圧力調整用穴
２５５：封止部材
２６：外部配線部材
３：インクジェット記録装置
３１：プラテン
３２：搬送ローラー
４１、４２、４３、４４：ラインヘッド
５：インクジェットユニット
５１：保持部
１００：ベーク炉
２００：ホットプレート
２００ａ：表面
３００：カバー
Ｋ：記録媒体

Claims (15)

1. ２列以上配列された圧力室と、
   前記圧力室のインク入口を介して全ての前記圧力室と連通する共通インク室と、
   前記共通インク室内に配置されたダンパー部材とを有するインクジェットヘッドであって、
   前記ダンパー部材は、ダンパーフレームと少なくとも前記インク入口に対向する面に張設された可撓膜とによってダンパー室が画成され、該ダンパー室を外部と連通させるための圧力調整用穴を有していると共に、前記圧力調整用穴が封止部材によって封止されていることにより前記ダンパー室に封入された気体が、常温では収縮して前記可撓膜の面が凹んだ湾曲面を形成してなり、前記共通インク室内のインクが常温よりも高い使用温度にあるときは膨張して前記可撓膜の面が略平坦面又は凹んだ湾曲面を形成してなることを特徴とするインクジェットヘッド。
2. 前記圧力調整用穴は、前記ダンパー部材において、前記可撓膜とは反対側の面に配置されていることを特徴とする請求項１記載のインクジェットヘッド。
3. 前記圧力調整用穴は、前記ダンパー部材において、前記インク入口の配列領域の外側に対応する部位に配置されていることを特徴とする請求項１又は２記載のインクジェットヘッド。
4. 前記可撓膜の厚みは、１０μｍ以上１５０μｍ以下であることを特徴とする請求項１、２又は３記載のインクジェットヘッド。
5. 前記ダンパーフレームは、少なくとも一部が金属で形成されていることを特徴とする請求項１〜４の何れかに記載のインクジェットヘッド。
6. 前記ダンパー部材は、前記インク入口と前記可撓膜との離間距離が、隣り合う前記圧力室の列同士の前記インク入口間の離間距離よりも小さくなるように配置されていることを特徴とする請求項１〜５の何れかに記載のインクジェットヘッド。
7. 前記使用温度であるときに前記可撓膜の面が平坦面又は凹んだ湾曲面を形成してなることを特徴とする請求項１〜６の何れかに記載のインクジェットヘッド。
8. 請求項１〜７の何れかに記載のインクジェットヘッドを備えたインクジェット記録装置。
9. インクジェットヘッドの複数の圧力室のインク入口を介して全ての前記圧力室と連通する共通インク室内に配置され、ダンパーフレームと少なくとも前記インク入口に対向する面に設けられた可撓膜とによって画成されるダンパー室に封入された気体が、常温では収縮して前記可撓膜の面が凹んだ湾曲面を形成してなり、前記共通インク室内のインクが常温よりも高い使用温度にあるときは膨張して前記可撓膜の面が略平坦面又は凹んだ湾曲面を形成してなるダンパー部材の製造方法であって、
   前記ダンパーフレームに前記可撓膜を平坦になるように張設して前記ダンパー室を画成すると共に、前記ダンパー室を圧力調整用穴によって外部と連通させた状態で前記ダンパー室の気体を加熱し、その後、前記圧力調整用穴を封止部材によって封止することによって、前記ダンパー室に前記加熱された気体を封入することを特徴とするダンパー部材の製造方法。
10. 前記ダンパー室を圧力調整用穴によって外部と連通させた状態で前記ダンパー室の気体を加熱し、その後、該気体が前記共通インク室内のインクの使用温度に達したときに、前記封止部材による封止を開始することによって前記圧力調整用穴を塞ぎ、前記ダンパー室に前記加熱された気体を封入することを特徴とする請求項９記載のダンパー部材の製造方法。
11. 前記圧力調整用穴は、前記可撓膜とは反対側の面に配置されていることを特徴とする請求項９又は１０記載のダンパー部材の製造方法。
12. ホットプレートの上面に前記可撓膜側の面を配置させた状態で、前記ダンパー室の気体を加熱することを特徴とする請求項９、１０又は１１記載のダンパー部材の製造方法。
13. 加熱時の前記可撓膜側の面と前記ホットプレートとの間の距離を、３ｍｍ以下に保持することを特徴とする請求項１２記載のダンパー部材の製造方法。
14. 前記封止部材は熱硬化型樹脂であり、前記ダンパー室の気体を加熱する際の熱を利用して該封止部材を硬化させることを特徴とする請求項９〜１３の何れかに記載のダンパー部材の製造方法。
15. 前記圧力調整用穴は、直径３ｍｍ以下であることを特徴とする請求項９〜１４の何れかに記載のダンパー部材の製造方法。

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