JP7380104B2 - 液体吐出装置 - Google Patents

液体吐出装置 Download PDF

Info

Publication number
JP7380104B2
JP7380104B2 JP2019204421A JP2019204421A JP7380104B2 JP 7380104 B2 JP7380104 B2 JP 7380104B2 JP 2019204421 A JP2019204421 A JP 2019204421A JP 2019204421 A JP2019204421 A JP 2019204421A JP 7380104 B2 JP7380104 B2 JP 7380104B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
plate
liquid
elastic deformation
nozzle
shielding plate
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Active
Application number
JP2019204421A
Other languages
English (en)
Other versions
JP2021074995A (ja
Inventor
啓太 杉浦
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Brother Industries Ltd
Original Assignee
Brother Industries Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Brother Industries Ltd filed Critical Brother Industries Ltd
Priority to JP2019204421A priority Critical patent/JP7380104B2/ja
Priority to US17/032,298 priority patent/US11247465B2/en
Publication of JP2021074995A publication Critical patent/JP2021074995A/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP7380104B2 publication Critical patent/JP7380104B2/ja
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Classifications

    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
    • B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
    • B41J2/00—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed
    • B41J2/005—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by bringing liquid or particles selectively into contact with a printing material
    • B41J2/01—Ink jet
    • B41J2/135—Nozzles
    • B41J2/14—Structure thereof only for on-demand ink jet heads
    • B41J2/14201—Structure of print heads with piezoelectric elements
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
    • B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
    • B41J2/00—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed
    • B41J2/005—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by bringing liquid or particles selectively into contact with a printing material
    • B41J2/01—Ink jet
    • B41J2/135—Nozzles
    • B41J2/14—Structure thereof only for on-demand ink jet heads
    • B41J2/14201—Structure of print heads with piezoelectric elements
    • B41J2/14233—Structure of print heads with piezoelectric elements of film type, deformed by bending and disposed on a diaphragm
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
    • B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
    • B41J2/00—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed
    • B41J2/005—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by bringing liquid or particles selectively into contact with a printing material
    • B41J2/01—Ink jet
    • B41J2/135—Nozzles
    • B41J2/14—Structure thereof only for on-demand ink jet heads
    • B41J2/1433—Structure of nozzle plates
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
    • B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
    • B41J2/00—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed
    • B41J2/005—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by bringing liquid or particles selectively into contact with a printing material
    • B41J2/01—Ink jet
    • B41J2/135—Nozzles
    • B41J2/16—Production of nozzles
    • B41J2/1607—Production of print heads with piezoelectric elements
    • B41J2/1612—Production of print heads with piezoelectric elements of stacked structure type, deformed by compression/extension and disposed on a diaphragm
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
    • B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
    • B41J2/00—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed
    • B41J2/005—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by bringing liquid or particles selectively into contact with a printing material
    • B41J2/01—Ink jet
    • B41J2/135—Nozzles
    • B41J2/14—Structure thereof only for on-demand ink jet heads
    • B41J2002/14419—Manifold
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
    • B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
    • B41J2202/00—Embodiments of or processes related to ink-jet or thermal heads
    • B41J2202/01—Embodiments of or processes related to ink-jet heads
    • B41J2202/12—Embodiments of or processes related to ink-jet heads with ink circulating through the whole print head

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Particle Formation And Scattering Control In Inkjet Printers (AREA)
  • Ink Jet (AREA)

Description

本発明は、インク等の液体を吐出する液体吐出装置に関する。
従来、インク等の液体を吐出する液体吐出装置として、特許文献１に記載されたような構成を備えるものがある。特許文献１に記載された液体吐出装置は、複数の圧力室に液体を供給する供給マニホールド（供給流路）と、圧力室と連通し液体の一部が戻される帰還マニホールド（循環流路）と、を備えている。そして、供給マニホールドと帰還マニホールドとの双方が対向する部位には、弾性変形部（薄膜部）と、弾性変形部の間に空間部とが形成されている。
また、特許文献１に記載された液体吐出装置は、この空間部を遮蔽板（仕切流路板）によって第１の空間部と第２の空間部とに隔てることにより、一方の弾性変形部の変形の影響を他方の弾性変形部に与えない構成となっている。
特開２０１７－７７６４３号公報
しかしながら、特許文献１では、遮蔽板について十分に検討がなされていなかった。このため、遮蔽板を構成する材料および弾性変形部を構成する材料それぞれが有する性質の違いによっては、遮蔽版を備えた構成であっても一方の弾性変形部の変形の影響を他方の弾性変形部に及ぼしてしまう可能性がある。
そこで本発明は、一方の弾性変形部の変形の影響が、他方の弾性変形部に及ぶことを防ぐことができる液体吐出装置を提供することを目的とする。
本発明のある態様に係る液体吐出装置は、液体を貯留し、ノズルと連通する圧力室と、前記圧力室内の前記液体へ圧力を付与する圧電体と、前記液体を前記圧力室に供給する供給マニホールドと、前記ノズルから吐出されなかった前記液体が流通する帰還マニホールドと、前記ノズルが形成されたノズル面からみて重なるように配置された前記供給マニホールドと前記帰還マニホールドとの間に設けられた一対の薄板状の弾性変形部と、一対の前記弾性変形部の間に形成されたダンパー空間を、供給マニホールド側の第１ダンパー空間と帰還マニホールド側の第２ダンパー空間とに隔てる遮蔽板と、を備え、前記遮蔽板の有するヤング率は、前記弾性変形部の有するヤング率よりも大きくなるように構成されている。
上記構成によると、遮蔽板の有するヤング率は弾性変形部の有するヤング率よりも大きい。ここで、ヤング率が大きくなればなるほど部材の剛性は高くなる。このため、供給マニホールドまたは帰還マニホールドを伝播する圧力波の影響により、一方の弾性変形部が大きく変形するような場合であっても、２つの弾性変形部間のダンパー空間に生じる圧力変動が他方の弾性変形部に作用するのを、剛性の高い遮蔽板によって抑え、他方の弾性変形部に影響が及ぶことを防ぐことができる。
本発明は、以上に説明した構成を有し、一方の弾性変形部の変形の影響が、他方の弾性変形部に及ぶことを防ぐことができるという効果を奏する。
本発明の実施の形態に係る液体吐出装置の概略構成を示す模式図である。 本発明の実施の形態に係る液体吐出装置を上方から平面視したときの概略構成を示す模式図である。 図１に示す液体吐出装置が備える液体吐出ヘッドの構成の一部を拡大した模式図であり、同図（ａ）は液体吐出ヘッドの平面構造を模式的に示す図、同図（ｂ）は液体吐出ヘッドの断面構造を模式的に示す図である。 図３に示す液体吐出ヘッドが備える個別チャンネルの詳細な構成の一例を示す断面図である。 図３に示す液体吐出ヘッドが備える個別チャンネルの詳細な構成の一例を示す断面図である。
本発明の実施の形態に係る液体吐出装置について、図面を参照しつつ説明する。なお、以下では液体吐出装置として、インクを被記録シートへ吐出するインク吐出装置を例として説明する。
＜液体吐出装置の構成＞
図１は、本発明の実施の形態に係る液体吐出装置１の概略構成を示す模式図である。液体吐出装置１は、下から順に、給紙トレイ１０、プラテン１１及びラインヘッド１２が組み付けられている。給紙トレイ１０は、複数の被記録シートＰを収容する。給紙トレイ１０の上方にはプラテン１１が設けられている。プラテン１１は、平板部材であり、搬送される被記録シートＰを下から支える。プラテン１１の更に上方には、ラインヘッド１２が配置されている。詳細は後述するがラインヘッド１２には、複数の液体吐出ヘッド１３が設けられている。また、プラテン１１の前方には、排紙トレイ１４が設けられており、記録を終えた被記録シートＰを受け取る。
給紙トレイ１０の後方からは、シート搬送路２０が延設されている。シート搬送路２０は、給紙トレイ１０と排紙トレイ１４とを繋ぐ。シート搬送路２０は、湾曲パス２１、ストレートパス２２、及びエンドパス２３の３つのパスに分割できる。湾曲パス２１は、給紙トレイ１０から上方へ湾曲して、プラテン１１の後方近傍まで至っている。ストレートパス２２は、湾曲パス２１の終点からプラテン１１の前方近傍まで至っている。エンドパス２３は、ストレートパス２２の終点から排紙トレイ１４まで至っている。
液体吐出装置１は、被記録シートＰを搬送するシート搬送機構として、給送ローラ３０、搬送ローラ３１、及び排出ローラ３４を備えている。シート搬送機構は、給紙トレイ１０の被記録シートＰを、シート搬送路２０に沿って、排紙トレイ１４まで搬送する。
具体的には、給送ローラ３０が、給紙トレイ１０の直上に設けられ、被記録シートＰに上から当接している。搬送ローラ３１は、ピンチローラ３２と組んで搬送ローラ部３３を構成し、湾曲パス２１の下流端近傍に配置されている。搬送ローラ部３３は、湾曲パス２１とストレートパス２２とを繋ぐ。排出ローラ３４は、拍車ローラ３５と組んで排出ローラ部３６を構成し、ストレートパス２２の下流端近傍に配置されている。排出ローラ部３６は、ストレートパス２２とエンドパス２３を繋ぐ。
ここで、被記録シートＰは、給送ローラ３０によって、湾曲パス２１を介して搬送ローラ部３３へ供給される。さらに被記録シートＰは、搬送ローラ部３３により、ストレートパス２２から排出ローラ部３６へ送られる。該ストレートパス２２内では、プラテン１１上の被記録シートＰに対して、インクが液体吐出ヘッド１３から吐出される。被記録シートＰには、画像が記録される。この記録済みの被記録シートＰは、排出ローラ部３６によって、排紙トレイ１４まで搬送される。
図２は、本発明の実施の形態に係る液体吐出装置１を上方から平面視したときの概略構成を示す模式図である。図２に示すように、ラインヘッド１２は、下面が被記録シートＰと対向し、被記録シートＰが搬送される方向（搬送方向）に直交する方向（直交方向）における被記録シートＰの長さ以上の長さを有している。下面は、複数の個別チャンネル１００（後述の図３（ａ）、（ｂ）参照）のノズル吐出口１８が設けられたノズル面である。
各ノズル吐出口１８には、タンク１６が接続されている。タンク１６は、ラインヘッド１２上に配置されたサブタンク１６ｂ、及びサブタンク１６ｂにチューブ１７によって接続された貯留タンク１６ａを有している。このサブタンク１６ｂ及び貯留タンク１６ａに液体が貯留されている。タンク１６は、ノズル吐出口１８から吐出される液体の色の数に応じて設けられ、例えば、４色（ブラック、イエロー、シアン、マゼンタ）の液体に対して４つのタンク１６が設けられている。これにより、ラインヘッド１２は複数種類の液体を吐出する。
このように、ラインヘッド１２が移動せずに固定されて、複数のノズル吐出口１８から液体を吐出する。この吐出と共に、搬送機構により被記録シートＰを搬送方向に搬送する。これによって、被記録シートＰに画像が記録される。
なお、上記では、液体吐出ヘッド１３がラインヘッドである場合を例に挙げて説明したが、ラインヘッドの代わりにシリアルヘッドであってもよい。
（液体吐出ヘッドの構成）
図３及び図４を参照して液体吐出ヘッド１３の構成について説明する。図３は図１に示す液体吐出装置１が備える液体吐出ヘッド１３の構成の一部を拡大した模式図であり、同図（ａ）は液体吐出ヘッド１３の平面構造を模式的に示す図、同図（ｂ）は液体吐出ヘッド１３の断面構造を模式的に示す図である。また、図３では、説明の便宜上、後述する圧力室５０の上方に配置される圧電プレート６０については図示を省略している。図４は、図３に示す液体吐出ヘッド１３が備える個別チャンネル１００の詳細な構成の一例を示す断面図である。なお、図４は、図３（ａ）に示す液体吐出ヘッド１３の左側のノズル列における任意の個別チャンネル１００に沿って切断したときの断面構造の一例を示す。
図３（ａ）に示すように、液体吐出ヘッド１３は、一方向に沿って配置された複数の個別チャンネル１００を備える。そして、タンク１６から供給された液体が、供給ポート５８を介して、供給マニホールド５１内に供給される。供給マニホールド５１に供給された液体は、該供給マニホールド５１を、主として一方向に流通して各個別チャンネル１００に供給される。
個別チャンネル１００は、圧力室５０、圧力室５０と連通するディセンダ１５、およびディセンダ１５と連通し、液滴が吐出されるノズル吐出口１８を有する。ノズル吐出口１８が設けられている側を下方向とし、その反対側を上方向としたとき、ディセンダ１５の上方には圧力室５０が設けられている。圧力室５０の上面には図４に示すように圧電プレート６０（圧電体）が配置され、圧力室５０内の液体へ圧力を付与する。すなわち、圧電プレート６０に電圧を印加すると圧電プレート６０が変形し液体へ圧力を付与する。これによりノズル吐出口１８から液滴を吐出させることができる。
個別チャンネル１００は、液体供給路５３を備え、この液体供給路５３を介して、供給マニホールド５１と、個別チャンネル１００の圧力室５０とが接続される。供給マニホールド５１は液体を圧力室５０に送出させるために、内部は正圧となっている。
また、液体吐出ヘッド１３は、ノズル吐出口１８から吐出されなかった液体を流通させるため、液体を一旦貯留する帰還マニホールド５２と、タンク１６に液体を戻すための排出口である排出ポート５７とを備える。排出ポート５７は、図３（ａ）に示すように帰還マニホールド５２における、ノズル面からみて供給ポート５８と重畳しない位置に配置される。図３では、供給マニホールド５１よりも帰還マニホールド５２の方がその延伸方向において突出するように配置されており、排出ポート５７と供給ポート５８とは、この延伸方向においてずれた位置に設けられている。個別チャンネル１００は、液体帰還路５４を備え、この液体帰還路５４を介して、個別チャンネル１００のノズル吐出口１８と、帰還マニホールド５２とが接続される。帰還マニホールド５２は、ノズル吐出口１８から吐出されなかった液体を引き込むために、内部は負圧となっている。
液体供給路５３は、供給マニホールド５１から圧力室５０に向かって延伸する供給絞り部５３ａと、供給絞り部５３ａの一方の端部に設けられた供給絞り流入口５３ｂと、他方の端部に設けられた供給絞り排出口５３ｃとを備える。液体供給路５３は、供給絞り流入口５３ｂによって供給マニホールド５１と連結され、供給絞り排出口５３ｃによって圧力室５０と連結されている。また、供給絞り部５３ａは、供給絞り流入口５３ｂおよび供給絞り排出口５３ｃよりも流路径が小さくなっている。このように、圧力室５０と供給マニホールド５１との間において、流路径が小さい供給絞り部５３ａが設けられているため、圧電プレート６０の変形に伴い生じた圧力が付与された液体が圧力室５０から押し出され供給マニホールド５１に向かって逆流することを抑制することができる。
液体帰還路５４は、ノズル吐出口１８から帰還マニホールド５２に向かって延伸するとともに、一方の端部がノズル吐出口１８およびディセンダ１５と連結されている帰還絞り部５４ａと、帰還絞り部５４ａの他方の端部に設けられた帰還絞り排出口５４ｂとを備える。液体帰還路５４は、帰還絞り排出口５４ｂによって帰還マニホールド５２と連結されている。また、帰還絞り部５４ａは、帰還絞り排出口５４ｂよりも流路径が小さくなっている。このように、ノズル吐出口１８と帰還マニホールド５２との間に流路径が小さい帰還絞り部５４ａが設けられているため、圧電プレート６０の変形によって圧力室５０から押し出された液体の大部分が液体帰還路５４を介して帰還マニホールド５２に流れてしまいノズル吐出口１８から吐出される液滴量が少なくなることを防ぐことができる。
以上のように、供給マニホールド５１には複数の個別チャンネル１００が液体供給路５３を介して接続され、帰還マニホールド５２にも、複数の個別チャンネル１００が液体帰還路５４を介して接続されている。
また、供給マニホールド５１と帰還マニホールド５２とは、ノズル吐出口１８が形成されたノズル面からみて重なるように配置されている。そして、供給マニホールド５１と帰還マニホールド５２との間にはダンパー部５５が設けられている。このダンパー部５５によって、液体供給路５３を介して圧力室５０から供給マニホールド５１に伝播してきた残留振動の影響を抑制するとともに、液体帰還路５４を介して帰還マニホールド５２に伝播してきた残留振動の影響を抑制することができる。
すなわち、ダンパー部５５は、供給マニホールド５１と帰還マニホールド５２との間に設けられた一対の薄板状の第１弾性変形部７６ａ１（図４参照）および第２弾性変形部７８ａ１（図４参照）と、第１弾性変形部７６ａ１と第２弾性変形部７８ａ１との間に形成されたダンパー空間５６とを有する。また、ダンパー空間５６は、第１弾性変形部７６ａ１と第２弾性変形部７８ａ１との間に配置された遮蔽板７７（図４参照）によって供給マニホールド５１側の第１ダンパー空間５６ａ（図４参照）と帰還マニホールド側の第２ダンパー空間５６ｂ（図４参照）とに隔てられている。
ここで、本発明の実施の形態に係る液体吐出ヘッド１３では、遮蔽板７７の有するヤング率の方が、第１弾性変形部７６ａ１および第２弾性変形部７８ａ１の有するヤング率よりも大きくなる関係を満たすように適宜、構成材料が選定される。例えば、液体吐出ヘッド１３のダンパー部５５を３枚のプレートからハーフエッチングを用いて形成する場合、遮蔽板７７をステンレス鋼（例えば、ＳＵＳ４１０またはＳＵＳ４３０）で構成し、第１弾性変形部７６ａ１および第２弾性変形部７８ａ１を、遮蔽板７７を構成するステンレス鋼よりもヤング率が小さいステンレス鋼（例えば、ＳＵＳ３０４）により構成してもよい。また、図５に示すように液体吐出ヘッド１３のダンパー部５５を複数の５枚のプレートを積層させて形成してもよい。図５は、図３に示す液体吐出ヘッド１３が備える個別チャンネル１００の詳細な構成の一例を示す断面図である。なお、図５は、図３（ａ）に示す液体吐出ヘッド１３の左側のノズル列における任意の個別チャンネル１００に沿って切断したときの断面構造の一例を示す。
図５に示すように、ダンパー部５５は、上から順に第１弾性変形部７６ａ１を構成するプレート、第１弾性変形部支持プレート７６ａ２、遮蔽板７７、第２弾性変形部支持プレート７８ａ２、および第２弾性変形部７８ａ１を構成するプレートが積層されて構成される。第１弾性変形部７６ａ１と遮蔽板７７との間に配置された第１弾性変形部支持プレート７６ａ２は、貫通孔を有しており、この貫通孔の周面と遮蔽板７７と第１弾性変形部７６ａ１とによって第１ダンパー空間５６ａを形成する。同様に、第２弾性変形部７８ａ１と遮蔽板７７との間に配置された第２弾性変形部支持プレート７８ａ２は、貫通孔を有しており、この貫通孔の周面と遮蔽板７７と第２弾性変形部７８ａ１とによって第２ダンパー空間５６ｂを形成する。換言すると、第６プレート７６が第１弾性変形部７６ａ１を構成するプレートと第１弾性変形部支持プレート７６ａ２の２枚のプレートから構成され、第７プレート７８が第２弾性変形部７８ａ１を構成するプレートと第２弾性変形部支持プレート７８ａ２の２枚のプレートから構成されている。
このように５枚のプレートからダンパー部５５を構成する場合、遮蔽板７７をステンレス鋼（例えば、ＳＵＳ４３０）で構成し、第１弾性変形部７６ａ１および第２弾性変形部７８ａ１は、遮蔽板７７よりもヤング率が小さい、例えば、ポリイミド等の樹脂としてもよい。また、この構成の場合、第１弾性変形部支持プレート７６ａ２および第２弾性変形部支持プレート７８ａ２は、遮蔽板７７と同様のステンレス鋼としてもよい。
すなわち、遮蔽板７７を構成するステンレス鋼として、ヤング率が１５０から２５０GPaとなる。例えば、オーステナイト系ステンレス鋼、マルテンサイト系ステンレス鋼、フェライト系ステンレス鋼等が利用できる。一方、第１弾性変形部７６ａ１および第２弾性変形部７８ａ１を構成するポリイミドは、ヤング率は、２から１０GPaとなるものとする。第１弾性変形部７６ａ１および第２弾性変形部７８ａ１を構成するポリイミドのヤング率が２から１０GPaの範囲である場合、遮蔽板７７を構成するステンレス鋼のヤング率が１５０から２５０GPaの範囲であるため、遮蔽板７７の有するヤング率が、第１弾性変形部７６ａ１および第２弾性変形部７８ａ１の有するヤング率よりも大きくなるという関係を満たす。そして、遮蔽板７７と第１弾性変形部７６ａ１および第２弾性変形部７８ａ１とが上記した関係を満たす場合、第１弾性変形部７６ａ１および第２弾性変形部７８ａ１よりも遮蔽板７７の方が、剛性は高くなる。このため、供給マニホールド５１または帰還マニホールド５２を伝播する圧力波の影響により、一方の弾性変形部が大きく変形するような場合であっても、２つの弾性変形部間のダンパー空間に生じる圧力変動が他方の弾性変形部に作用するのを剛性の高い遮蔽板７７によって抑え、他方の弾性変形部に影響が及ぶことを防ぐことができる。
なお、遮蔽板７７は、上記したステンレス鋼に限定されるものではなく、例えば、シリコンにより構成されてもよい。一方、第１弾性変形部７６ａ１および第２弾性変形部７８ａ１は、ＰＥＴ（ポリエチレンテレフタラート）またはＰＰ（ポリプロピレン）等の樹脂系材料により構成されてもよい。
上記した液体吐出ヘッド１３が備える各部は、図４に示すように、複数のプレートそれぞれに対してエッチング（ハーフエッチング）もしくは切削などの加工を施し、これらのプレートを積層させて形成することができる。あるいは、所定の形状に成形された複数のプレートを積層させて形成してもよい。以下において、液体吐出ヘッド１３の組み立て構成の一例を説明する。
図４に示すように、液体吐出ヘッド１３は、積層された複数のプレートから構成される流路ユニット７０と、その流路ユニット７０の上面に重ねて接着される、アクチュエータとして機能する圧電プレート６０とを備えている。
圧電プレート６０は、図４に示すように、ノズル面からみたとき、第１プレート７１の上面において圧力室５０と重なる位置に配置されている。圧電プレート６０は、上から順に、個別電極６１、圧電層６２、共通電極６３、および振動板６４が積層された構成となっている。個別電極６１を除く各層は１つのノズル列に共通して配置され、個別電極６１は、各圧力室５０に個別に対応して配置されている。圧電層６２は、例えばチタン酸ジルコン酸鉛（ＰＺＴ）を含む圧電材料からなる。
共通電極６３は、グランド電位に保持されている。個別電極６１は、液体吐出装置１が備える不図示のドライバＩＣに接続されている。各個別電極６１の電位は、このドライバＩＣにより個別に、グランド電位または所定の駆動電位に設定される。圧電層６２の共通電極６３と個別電極６１とに挟まれた各部分は、個別電極６１の通電時には積層方向（上下方向）に分極された活性部として機能する。
圧電プレート６０では、ノズル吐出口１８から液滴を吐出させないとき（待機状態）には、全ての個別電極６１が共通電極６３と同様にグランド電位に保持される。また圧電プレート６０では、特定のノズル吐出口１８から液滴を吐出させるときには、この特定のノズル吐出口１８と連通する圧力室５０に対応する個別電極６１の電位が、不図示の制御部により所定の駆動電位に切り換えられる。これにより圧電プレート６０は、圧力室５０側に凸となるように変形する。その結果、圧力室５０の容積が縮小して圧力室５０内の液体の圧力（正圧）が上昇し、上記特定のノズル吐出口１８から液滴が吐出される。液滴の吐出後、個別電極６１の電位はグランド電位に戻される。これにより圧電プレート６０は、変形前の状態に戻る。
また制御部は、全てのノズル吐出口１８のうち、液体を吐出しないノズル吐出口１８に対応する圧電プレート６０を、液体に対して後退状態に変形させる。このとき圧電プレート６０は、圧力室５０側に凹部となるように変形する。その結果、圧力室５０の容積が拡大して圧力室５０内の液体の圧力が負圧となる。これにより、液体を吐出させたくないノズル吐出口１８から液体が吐出されるのが抑制する。なお、ノズル吐出口１８から液体を吐出させるときに圧電プレート６０に印加する電圧の制御態様は様々のものが公知である。従って、本実施形態に係る液体吐出装置１に適用可能な制御態様は上記したものに限られず、公知の他の制御態様を採用してもよい。
流路ユニット７０は、上から順に、第１プレート７１～第１１プレート８２が積層されて構成されており、下面に設けられたノズル吐出口１８から下向きに液滴が吐出される。
すなわち、第１プレート７１において積層方向に延伸する貫通孔が形成されており、この貫通孔と、第１プレート７１の上面に配置された圧電プレート６０と、下面に配置された第２プレート７２とによって、圧力室５０を構成する。
また、第２プレート７２の下面において、圧力室５０の右側端部位置から右方向に向かって延伸するように凹部領域が形成されている。また、第２プレート７２では、凹部領域の一方の端部（圧力室５０の右側端部位置）において、圧力室５０と連通するように積層方向に延伸する貫通孔が形成されている。そして、第２プレート７２の貫通孔によって、液体供給路５３の供給絞り排出口５３ｃを構成し、第２プレート７２の凹部領域と第２プレート７２の下に配置された第３プレート７３とによって供給絞り部５３ａを構成する。
また、第２プレート７２に形成された凹部領域の他方の端部位置と重畳する第３プレート７３の位置に、供給マニホールド５１と連通する、積層方向に延伸した貫通孔が形成されている。そして、この第３プレート７３に形成された貫通孔により、液体供給路５３の供給絞り流入口５３ｂを構成する。
また、第３プレート７３の下面には、供給マニホールド５１の上部内壁面５１ａを画定する凹部領域が形成されている。また、第４プレート７４および第５プレート７５には積層方向に延伸した貫通孔が形成されており、この貫通孔の周面によって供給マニホールド５１の側部内壁面５１ｂを画定する。さらに第６プレート７６の上面によって、供給マニホールド５１の下部内壁面５１ｃ（第１内壁面）を画定する。これら第３プレート７３から第６プレート７６を積層させることによって、供給マニホールド５１を構成することができる。
また、第６プレート７６と第６プレート７６の下に配置された遮蔽板７７と、遮蔽板７７の下に配置された第７プレート７８とによってダンパー部５５を構成する。ダンパー部５５の詳細な説明は後述する。なお、第６プレート７６は、供給マニホールド側プレートと称する場合がある。また、第８プレート７９は、帰還マニホールド側プレートと称する場合がある。
ダンパー部５５の下方には、第７プレート７８から第１０プレート８１により構成された帰還マニホールド５２が配置されている。すなわち、第７プレート７８の下面によって、帰還マニホールド５２の上部内壁面５２ａ（第２内壁面）を画定する。第７プレート７８の下方に配置される第８プレート７９および第９プレート８０には積層方向に延伸した貫通孔が形成されており、この貫通孔の周面によって帰還マニホールド５２の側部内壁面５２ｂを画定する。また、第１０プレート８１の上面によって、帰還マニホールド５２の下部内壁面５２ｃを画定する。
また、上記した圧力室５０における液体供給路５３と連通する側の端部とは反対側の端部位置（圧力室５０の左側端部位置）には、この圧力室５０と連通するように、積層方向に延伸する貫通孔が第２プレート７２から第１０プレート８１それぞれに形成されている。また、第１１プレート８２には、下方に向けて徐々に縮径するテーパ形状の孔が形成されている。この第２プレート７２から第１０プレート８１それぞれに形成された貫通孔でディセンダ１５を形成し、第１１プレート８２でノズル吐出口１８を形成する。
また、第１０プレート８１では、ディセンダ１５の一部をなす貫通孔および第１１プレート８２に形成されたノズル吐出口１８と連通するように右側に向かって延伸した凹部領域が形成されており、この凹部領域と第１１プレート８２との間に帰還絞り部５４ａを構成する。また第１０プレート８１に形成された凹部領域においてディセンダ１５が配される側とは反対側の端部に、帰還マニホールド５２と連通するように積層方向に延伸した貫通孔が形成されており、この貫通孔によって帰還絞り排出口５４ｂを構成する。
（ダンパー部）
図４に示すように、ダンパー部５５は、第６プレート７６、遮蔽板７７、および第７プレート７８から構成される。第６プレート７６は、遮蔽板７７側から供給マニホールド５１の下部内壁面５１ｃ側に向かって凹んだ第１凹部領域７６ａを有する。この第１凹部領域７６ａは、例えば第６プレート７６の下面をハーフエッチングすることで形成することができる。そして、第６プレート７６の下方にある遮蔽板７７とこの第６プレート７６とを積層させることで、第１凹部領域７６ａと遮蔽板７７とによって囲まれた空間である第１ダンパー空間５６ａを形成することができる。また、第６プレート７６において、第１凹部領域７６ａの薄板部が第１弾性変形部７６ａ１となっており、この第１弾性変形部７６ａ１と第１ダンパー空間５６ａとによって供給マニホールド５１内を伝播した圧力波の影響を抑制するダンパーとして機能させることができる。すなわち、供給マニホールド５１内を残留振動による圧力波が伝播すると、第１弾性変形部７６ａ１が変形し、この圧力波による力を第１ダンパー空間５６ａ内の空気により吸収することができる。また、第１弾性変形部７６ａ１にかかる圧力が大きく、第１弾性変形部７６ａ１と対になって配置されている第２弾性変形部７８ａ１と当接する程度まで変形する場合であっても、この変形を第１弾性変形部７６ａ１よりもヤング率が大きい遮蔽板７７によって抑制し、第２弾性変形部７８ａ１と当接することを防ぐことができる。
遮蔽板７７の下に配置された第７プレート７８は、遮蔽板７７側から帰還マニホールド５２の上部内壁面５２ａ側に向かって凹んだ第２凹部領域７８ａを有する。この第２凹部領域７８ａも第１凹部領域７６ａと同様に、例えば第７プレート７８の上面をハーフエッチングすることで形成することができる。そして、第７プレート７８の上方にある遮蔽板７７とこの第７プレート７８とを積層させることで、第２凹部領域７８ａと遮蔽板７７とによって囲まれた空間である第２ダンパー空間５６ｂを形成することができる。また、第７プレート７８において、第２凹部領域７８ａの薄板部が第２弾性変形部７８ａ１となっており、この第２弾性変形部７８ａ１と第２ダンパー空間５６ｂとによって帰還マニホールド５２内を伝播した圧力波の影響を抑制するダンパーとして機能させることができる。すなわち、帰還マニホールド５２内を残留振動による圧力波が伝播すると、第２弾性変形部７８ａ１が変形し、この圧力波による力を第２ダンパー空間５６ｂ内の空気により吸収することができる。また、第２弾性変形部７８ａ１にかかる圧力が大きく、第２弾性変形部７８ａ１と対になって配置されている第１弾性変形部７６ａ１と当接する程度まで変形する場合であっても、この変形を第２弾性変形部７８ａ１よりもヤング率が大きい遮蔽板７７によって抑制し、第１弾性変形部７６ａ１と当接することを防ぐことができる。
以上のように、本実施の形態に係る液体吐出ヘッド１３は、第６プレート７６において、例えば、ハーフエッチングにより第１凹部領域７６ａを形成することができる。そして、このように第１凹部領域７６ａが形成された第６プレート７６を、供給マニホールド５１の下部内壁面５１ｃ、第１ダンパー空間５６ａ、および第１弾性変形部７６ａ１として共用できる。同様に、第７プレート７８において、例えば、ハーフエッチングにより第２凹部領域７８ａを形成することができる。そして、このように第２凹部領域７８ａが形成された第７プレート７８を、帰還マニホールド５２の上部内壁面５２ａ、第２ダンパー空間５６ｂ、および第２弾性変形部７８ａ１として共用できる。したがって、液体吐出ヘッド１３は、部品点数を削減することができる。
また、第６プレート７６および第７プレート７８においてハーフエッチングにより第１凹部領域７６ａおよび第２凹部領域７８ａを形成することで、第１弾性変形部７６ａ１および第２弾性変形部７８ａ１を設ける場合、第６プレート７６および第７プレート７８は適度な厚みを有するためダンパー部５５の製作過程におけるハンドリング性を高めることができる。なお、上記したように遮蔽板７７の有するヤング率の方が第１弾性変形部７６ａ１および第２弾性変形部７８ａ１が有するヤング率よりも大きくなるように構成されていた。このため、第６プレート７６および第７プレート７８の構成材料を、例えば、ポリイミド等の樹脂材料とし、遮蔽板７７の構成材料を、例えば、ステンレス鋼としてもよい。
また、ダンパー空間５６は、第６プレート７６の第１凹部領域７６ａと、第７プレート７８の第２凹部領域７８ａとの間に形成された空間領域であり、遮蔽板７７によって第１ダンパー空間５６ａと第２ダンパー空間５６ｂに隔てられている。本実施の形態に係る液体吐出ヘッド１３では、ダンパー空間５６と供給マニホールド５１および帰還マニホールド５２との配置関係は以下のようになっている。すなわち、液体吐出ヘッド１３をノズル面から見たときに、第６プレート７６において、第１凹部領域７６ａの第１弾性変形部７６ａ１は、供給マニホールド５１の下部内壁面５１ｃをなす領域に含まれる。また、第７プレート７８において、第２凹部領域７８ａの第２弾性変形部７８ａ１は、帰還マニホールド５２の上部内壁面５２ａをなす領域に含まれるようにそれぞれ配置されている。
つまり、ノズル面から見たときに第６プレート７６において供給マニホールド５１が形成されている範囲の方が、第１ダンパー空間５６ａが形成されている範囲よりも大きくなる。また、第７プレート７８において帰還マニホールド５２が形成されている範囲の方が、第２ダンパー空間５６ｂが形成されている範囲よりも大きくなる。
このため、第６プレート７６および第７プレート７８をそれぞれ積層させる際に貼ずれが生じたとしても、供給マニホールド５１と帰還マニホールド５２との間においてダンパー空間５６として必要な空間領域を維持することができる。このため、ダンパー部５５のダンパー性能を維持することができる。
また、図４に示すように、液体吐出ヘッド１３では、第６プレート７６、遮蔽板７７、および第７プレート７８それぞれの積層方向（上下方向）の厚み寸法は同じであってもよい。特に、第６プレート７６および第７プレート７８を同寸法とする場合、第６プレート７６および第７プレート７８を同じプレートで構成することができコスト低減を図ることができる。
さらにまた、第１ダンパー空間５６ａおよび第２ダンパー空間５６ｂそれぞれの、積層方向の寸法は、遮蔽板７７の積層方向の厚み寸法より小さくなっている。このような構成により液体吐出ヘッド１３は、厚みを全体的に薄くすることができる。それゆえ、圧力室５０からノズル吐出口１８までのディセンダ１５の距離を短くすることができる。つまり、液体吐出ヘッド１３はアコースティックレングス（ＡＬ）を短くすることができ、それゆえ、圧力室５０からノズル吐出口１８に向かう圧力波が反射して戻ってくる時間を短くすることができる。このため、液体吐出ヘッド１３は、高周波駆動を実現することができる。
ここで、液体吐出ヘッド１３を高周波駆動させると、供給マニホールド５１または帰還マニホールド５２に圧力波が伝播する頻度が高くなり、その結果、第１弾性変形部７６ａ１と第２弾性変形部７８ａ１とが干渉しあう可能性が高くなる。しかしながら、液体吐出ヘッド１３では、遮蔽板７７が所定の厚み（第１ダンパー空間５６ａおよび第２ダンパー空間５６ｂよりも大きくなる厚み）を有しているため、この干渉による影響を防ぐことができる。
また、液体吐出ヘッド１３では、第１ダンパー空間５６ａおよび第２ダンパー空間５６ｂが密閉された空間となるように構成されている。このため、第１ダンパー空間５６ａ内および第２ダンパー空間５６ｂ内にインク等の液体が浸入し第１弾性変形部７６ａ１および第２弾性変形部７８ａ１の変形が阻害されることを防ぐことができる。
以上のように、本発明のある態様に係る液体吐出装置１は、液体を貯留し、ノズル吐出口１８と連通する圧力室５０と、圧力室５０内の液体へ圧力を付与する圧電プレート６０と、液体を圧力室５０に供給する供給マニホールド５１と、ノズル吐出口１８から吐出されなかった液体が流通する帰還マニホールド５２と、ノズル吐出口１８が形成されたノズル面からみて重なるように配置された前記供給マニホールドと前記帰還マニホールドとの間に設けられた一対の薄板状の第１弾性変形部７６ａ１および第２弾性変形部７８ａ１と、一対の第１弾性変形部７６ａ１および第２弾性変形部７８ａ１の間に形成されたダンパー空間５６を、供給マニホールド５１側の第１ダンパー空間５６ａと帰還マニホールド５２側の第２ダンパー空間５６ｂとに隔てる遮蔽板７７と、を備える。そして、遮蔽板７７の有するヤング率は、第１弾性変形部７６ａ１および第２弾性変形部７８ａ１の有するヤング率よりも大きくなるように構成されている。
上記構成によると、遮蔽板７７によって一方の弾性変形部の変形の影響が、他方の弾性変形部に及ぶことを防ぐことができる。
また、本発明のある態様に係る液体吐出装置１は、上記した構成において、遮蔽板７７はステンレス鋼で構成され、第１弾性変形部７６ａ１および第２弾性変形部７８ａ１は、ポリイミドで構成されていてもよい。
上記構成によると、第１弾性変形部７６ａ１および第２弾性変形部７８ａ１がポリイミドで構成されているため供給マニホールド５１または帰還マニホールド５２を伝播してきた圧力波を適切に吸収することができる。また、遮蔽板７７が第１弾性変形部７６ａ１および第２弾性変形部７８ａ１を構成するポリイミドよりもヤング率が大きく硬いステンレス鋼で構成されているため、一方の弾性変形部の変形による影響を他方の弾性変形部に及ぼすことを防ぐことができる。
また、本発明のある態様に係る液体吐出装置１は、上記した構成において、遮蔽板７７は、供給マニホールド５１の下部内壁面５１ｃを画定する第６プレート７６と帰還マニホールド５２の上部内壁面５２ａを画定する第７プレート７８との間に設けられている。そして、第６プレート７６は、遮蔽板７７側から下部内壁面５１ｃ側に向かって凹んでいる、第１ダンパー空間５６ａを形成する第１凹部領域７６ａを有する。また、第７プレート７８は、遮蔽板７７側から上部内壁面５２ａ側に向かって凹んでいる、第２ダンパー空間５６ｂを形成する第２凹部領域７８ａを有する。そして、一対の弾性変形部のうち、第１弾性変形部７６ａ１は、第１凹部領域７６ａにおける薄板部であり、第２弾性変形部７８ａ１は、第２凹部領域７８ａにおける薄板部であってもよい。
上記構成によると、第１凹部領域７６ａを有した第６プレート７６を、供給マニホールド５１の下部内壁面５１ｃ、第１ダンパー空間５６ａ、および第１弾性変形部７６ａ１として共用することができる。また、第２凹部領域７８ａを有した第７プレート７８を、帰還マニホールド５２の上部内壁面５２ａ、第２ダンパー空間５６ｂ、および第２弾性変形部７８ａ１として共用することができる。このため、液体吐出装置１は部品点数を削減することができる。
また、本発明のある態様に係る液体吐出装置１は、上記した構成において、ダンパー空間５６は、積層させた第６プレート７６の第１凹部領域７６ａと、第７プレート７８の第２凹部領域７８ａとの間に形成された空間領域である。そして、ノズル面から見たときに、第６プレート７６において、第１弾性変形部７６ａ１は、下部内壁面５１ｃをなす領域に含まれ、第７プレート７８において、第２弾性変形部７８ａ１は、上部内壁面５２ａをなす領域に含まれる構成であってもよい。
上記構成によると、ノズル面から見たときに第６プレート７６において供給マニホールド５１が形成されている範囲の方が、ダンパー空間５６が形成されている範囲よりも大きくなる。また、第７プレート７８において帰還マニホールド５２が形成されている範囲の方が、ダンパー空間５６が形成されている範囲よりも大きくなる。
このため、第６プレート７６および第７プレート７８をそれぞれ積層させる際に貼ずれが生じたとしても、供給マニホールド５１と帰還マニホールド５２との間においてダンパー空間５６として必要な空間領域を維持することができる。このため、貼ずれが生じたとしてもダンパー部５５のダンパー性能を維持することができる。
また、本発明のある態様に係る液体吐出装置１は、上記した構成において、第１ダンパー空間５６ａおよび第２ダンパー空間５６ｂそれぞれの、積層方向（上下方向）の寸法は、遮蔽板７７の積層方向の厚み寸法よりも小さくなっていてもよい。
上記構成によると、第１ダンパー空間５６ａおよび第２ダンパー空間５６ｂそれぞれの、積層方向の寸法を遮蔽板７７の厚み寸法よりも小さくすることができるため、液体吐出装置１の厚みを全体的に薄くすることができる。それゆえ、圧力室５０からノズル吐出口１８までのディセンダ１５の距離を短くすることができる。換言すると、液体吐出装置１は、アコースティックレングス（ＡＬ）を短くすることができる。このため、圧力室５０からノズル吐出口１８に向かう圧力波が反射して圧力室５０に戻ってくる時間を短くすることができ、液体吐出装置１の高周波駆動を実現することができる。
なお、液体吐出装置１を高周波駆動させると、供給マニホールド５１内または帰還マニホールド５２内を圧力波が伝播する頻度が高くなり、その結果、一対の弾性変形部が干渉しあう可能性が高くなる。しかしながら、遮蔽板７７は所定の厚みを維持しているため、この干渉による影響を防ぐことができる。
また、本発明のある態様に係る液体吐出装置１は、上記した構成において、ダンパー空間５６は密閉された空間であってもよい。
上記構成によると、ダンパー空間５６が密閉された空間であるため、ダンパー空間５６内に、例えば、インク等の液体が浸入し、第１弾性変形部７６ａ１および第２弾性変形部７８ａ１の変形が阻害されることを防ぐことができる。
本発明は、ノズル吐出口から液滴を用紙に対して吐出させる、例えば、インクジェットプリンタ等に適用することができる。
１ 液体吐出装置
１５ ディセンダ
１８ ノズル吐出口
１６ タンク
５０ 圧力室
５１ 供給マニホールド
５２ 帰還マニホールド
５５ ダンパー部
５６ ダンパー空間
５６ａ 第１ダンパー空間
５６ｂ 第２ダンパー空間
６０ 圧電プレート
７６ 第６プレート
７６ａ 第１凹部領域
７６ａ１ 第１弾性変形部
７６ａ２ 第１弾性変形部支持プレート
７７ 遮蔽板
７８ 第７プレート
７８ａ 第２凹部領域
７８ａ１ 第２弾性変形部
７８ａ２ 第２弾性変形部支持プレート

Claims (7)

  1. 液体を貯留し、ノズルと連通する圧力室と、
    前記圧力室内の前記液体へ圧力を付与する圧電体と、
    前記液体を前記圧力室に供給する供給マニホールドと、
    前記ノズルから吐出されなかった前記液体が流通する帰還マニホールドと、
    前記ノズルが形成されたノズル面からみて重なるように配置された前記供給マニホールドと前記帰還マニホールドとの間に設けられた一対の薄板状の弾性変形部と、
    一対の前記弾性変形部の間に形成されたダンパー空間を、供給マニホールド側の第１ダンパー空間と帰還マニホールド側の第２ダンパー空間とに隔てる遮蔽板と、
    前記ノズル面からみて前記第１ダンパー空間の全体よりも広い範囲を覆うように配置されると共に、前記一対の弾性変形部のうちの一方の前記弾性変形部と前記遮蔽板との間に配置され、且つ、前記第１ダンパー空間を形成する貫通孔を有する第１弾性変形部支持プレートと、
    前記ノズル面からみて前記第２ダンパー空間の全体よりも広い範囲を覆うように配置されると共に、前記一対の弾性変形部のうちの他方の前記弾性変形部と前記遮蔽板との間に配置され、且つ、前記第２ダンパー空間を形成する貫通孔を有する第２弾性変形部支持プレートと、を備え、
    前記一方の弾性変形部及び前記第１弾性変形部支持プレートは、前記遮蔽板と、前記供給マニホールドを構成するプレートとの間に挟まれるよう積層され、且つ、
    前記他方の弾性変形部及び前記第２弾性変形部支持プレートは、前記遮蔽板と、前記帰還マニホールドを構成するプレートとの間に挟まれるよう積層され、
    前記遮蔽板の有するヤング率は、前記弾性変形部の有するヤング率よりも大きくなるように構成されている、液体吐出装置。
  2. 液体を貯留し、ノズルと連通する圧力室と、
    前記圧力室内の前記液体へ圧力を付与する圧電体と、
    前記液体を前記圧力室に供給する供給マニホールドと、
    前記ノズルから吐出されなかった前記液体が流通する帰還マニホールドと、
    前記ノズルが形成されたノズル面からみて重なるように配置された前記供給マニホールドと前記帰還マニホールドとの間に設けられた一対の薄板状の弾性変形部と、
    一対の前記弾性変形部の間に形成されたダンパー空間を、供給マニホールド側の第１ダンパー空間と帰還マニホールド側の第２ダンパー空間とに隔てる遮蔽板と、を備え、
    前記遮蔽板及び前記一対の弾性変形部は、ステンレス鋼で構成され、且つ、
    前記遮蔽板及び前記一対の弾性変形部の各周縁が、前記供給マニホールドを構成するプレートと、前記帰還マニホールドを構成するプレートとにより、互いに重なる位置で挟まれ、
    前記遮蔽板の有するヤング率は、前記弾性変形部の有するヤング率よりも大きくなるように構成されている、液体吐出装置。
  3. 液体を貯留し、ノズルと連通する圧力室と、
    前記圧力室内の前記液体へ圧力を付与する圧電体と、
    前記液体を前記圧力室に供給する供給マニホールドと、
    前記ノズルから吐出されなかった前記液体が流通する帰還マニホールドと、
    前記ノズルが形成されたノズル面からみて重なるように配置された前記供給マニホールドと前記帰還マニホールドとの間に設けられた一対の薄板状の弾性変形部と、
    一対の前記弾性変形部の間に形成されたダンパー空間を、供給マニホールド側の第１ダンパー空間と帰還マニホールド側の第２ダンパー空間とに隔てる遮蔽板と、を備え、
    前記遮蔽板の有するヤング率は、前記弾性変形部の有するヤング率よりも大きくなるように構成され、
    前記遮蔽板はステンレス鋼で構成され、前記弾性変形部は、ポリイミドで構成されている、液体吐出装置。
  4. 液体を貯留し、ノズルと連通する圧力室と、
    前記圧力室内の前記液体へ圧力を付与する圧電体と、
    前記液体を前記圧力室に供給する供給マニホールドと、
    前記ノズルから吐出されなかった前記液体が流通する帰還マニホールドと、
    前記ノズルが形成されたノズル面からみて重なるように配置された前記供給マニホールドと前記帰還マニホールドとの間に設けられた一対の薄板状の弾性変形部と、
    一対の前記弾性変形部の間に形成されたダンパー空間を、供給マニホールド側の第１ダンパー空間と帰還マニホールド側の第２ダンパー空間とに隔てる遮蔽板と、を備え、
    前記遮蔽板の有するヤング率は、前記弾性変形部の有するヤング率よりも大きくなるように構成され、
    前記遮蔽板は、前記供給マニホールドの第１内壁面を画定する供給マニホールド側プレートと前記帰還マニホールドの第２内壁面を画定する帰還マニホールド側プレートとの間に設けられ、
    前記供給マニホールド側プレートは、前記遮蔽板側から前記第１内壁面側に向かって凹んでいる、前記第１ダンパー空間を形成する第１凹部領域を有し、
    前記帰還マニホールド側プレートは、前記遮蔽板側から前記第２内壁面側に向かって凹んでいる、前記第２ダンパー空間を形成する第２凹部領域を有しており、
    一対の前記弾性変形部のうち、第１弾性変形部は、前記第１凹部領域における薄板部であり、第２弾性変形部は、前記第２凹部領域における薄板部である、液体吐出装置。
  5. 前記ダンパー空間は、積層させた前記供給マニホールド側プレートの前記第１凹部領域と、前記帰還マニホールド側プレートの前記第２凹部領域との間に形成された空間領域であり、
    前記ノズル面から見たときに、前記供給マニホールド側プレートにおいて、前記第１弾性変形部は前記第１内壁面をなす領域に含まれ、
    前記帰還マニホールド側プレートにおいて、前記第２弾性変形部は前記第２内壁面をなす領域に含まれる、請求項４に記載の液体吐出装置。
  6. 前記第１ダンパー空間および第２ダンパー空間それぞれの、積層方向の寸法は、前記遮蔽板の積層方向の厚み寸法よりも小さい請求項５に記載の液体吐出装置。
  7. 前記ダンパー空間は密閉された空間である請求項１から６のいずれか１項に記載の液体吐出装置。
JP2019204421A 2019-11-12 2019-11-12 液体吐出装置 Active JP7380104B2 (ja)

Priority Applications (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2019204421A JP7380104B2 (ja) 2019-11-12 2019-11-12 液体吐出装置
US17/032,298 US11247465B2 (en) 2019-11-12 2020-09-25 Liquid discharging apparatus

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2019204421A JP7380104B2 (ja) 2019-11-12 2019-11-12 液体吐出装置

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2021074995A JP2021074995A (ja) 2021-05-20
JP7380104B2 true JP7380104B2 (ja) 2023-11-15

Family

ID=75846356

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2019204421A Active JP7380104B2 (ja) 2019-11-12 2019-11-12 液体吐出装置

Country Status (2)

Country Link
US (1) US11247465B2 (ja)
JP (1) JP7380104B2 (ja)

Citations (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2001034063A (ja) 1999-07-23 2001-02-09 Minolta Co Ltd 現像装置
WO2017047533A1 (ja) 2015-09-18 2017-03-23 コニカミノルタ株式会社 インクジェットヘッド及びインクジェット記録装置
JP2017077643A (ja) 2015-10-19 2017-04-27 株式会社リコー 液滴吐出ヘッド及び画像形成装置
JP2018142775A (ja) 2017-02-27 2018-09-13 太陽誘電株式会社 電気音響変換装置
JP2019055492A (ja) 2017-09-20 2019-04-11 ブラザー工業株式会社 液体吐出装置
JP2019155905A (ja) 2018-03-13 2019-09-19 セイコーエプソン株式会社 液体噴射ヘッド、及び、液体噴射装置
JP2019155873A (ja) 2018-03-16 2019-09-19 株式会社リコー 液体吐出ヘッド、液体吐出ユニットおよび液体を吐出する装置

Patent Citations (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2001034063A (ja) 1999-07-23 2001-02-09 Minolta Co Ltd 現像装置
WO2017047533A1 (ja) 2015-09-18 2017-03-23 コニカミノルタ株式会社 インクジェットヘッド及びインクジェット記録装置
JP2017077643A (ja) 2015-10-19 2017-04-27 株式会社リコー 液滴吐出ヘッド及び画像形成装置
JP2018142775A (ja) 2017-02-27 2018-09-13 太陽誘電株式会社 電気音響変換装置
JP2019055492A (ja) 2017-09-20 2019-04-11 ブラザー工業株式会社 液体吐出装置
JP2019155905A (ja) 2018-03-13 2019-09-19 セイコーエプソン株式会社 液体噴射ヘッド、及び、液体噴射装置
JP2019155873A (ja) 2018-03-16 2019-09-19 株式会社リコー 液体吐出ヘッド、液体吐出ユニットおよび液体を吐出する装置

Also Published As

Publication number Publication date
JP2021074995A (ja) 2021-05-20
US11247465B2 (en) 2022-02-15
US20210138788A1 (en) 2021-05-13

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP6029497B2 (ja) 液体噴射ヘッド及び液体噴射装置
JP6492891B2 (ja) 液体吐出装置及び液体吐出装置ユニット
JP2015077774A (ja) 液体吐出ヘッド及び画像形成装置
JP2012192641A (ja) 液滴噴射装置
JP2018144474A (ja) 液滴噴射装置
JP5348011B2 (ja) 液滴吐出ヘッド及び液滴吐出装置
JP2022107048A (ja) 液滴噴射装置
US7766460B2 (en) Liquid-droplet jetting apparatus
US6260963B1 (en) Ink jet print head with damping feature
JP7298247B2 (ja) 液体吐出装置
JP7380104B2 (ja) 液体吐出装置
JP2016016638A (ja) 液体噴射ヘッドおよび液体噴射装置
CN110099797B (zh) 喷墨头以及图像形成装置
JP4453965B2 (ja) インクジェット記録ヘッド、および記録装置
JP7215537B2 (ja) 液体吐出装置及び液体吐出装置ユニット
US11318742B2 (en) Liquid discharge head and liquid discharge recording apparatus
JP7468080B2 (ja) 液体吐出ヘッド
JP4680805B2 (ja) インクジェットヘッド
JP2019171687A (ja) 液体吐出ヘッド及び液体吐出装置
JP7392290B2 (ja) 吐出ヘッド
JP2017061061A (ja) 液体噴射ヘッドおよび液体噴射装置
JP2018094866A (ja) 液体噴射ヘッド及び液体噴射記録装置
JP5668479B2 (ja) 液体噴射ヘッド、及び、液体噴射装置
JP7268450B2 (ja) 液体吐出ヘッド
JP4894798B2 (ja) インクジェットプリンタ

Legal Events

Date Code Title Description
A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20221101

A977 Report on retrieval

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007

Effective date: 20230831

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20230905

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20230927

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20231003

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20231016

R150 Certificate of patent or registration of utility model

Ref document number: 7380104

Country of ref document: JP

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150