JP7298247B2 - 液体吐出装置 - Google Patents

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Description

本発明は、インク等の液体を吐出する液体吐出装置に関する。
従来、インク等の液体を吐出する液体吐出装置として、特許文献１に記載されたような構成を備えるものがある。この液体吐出装置は、各記録ヘッドユニットに供給する液体を貯えるタンク、タンクから記録ヘッドのノズル吐出口へインクを供給する供給マニホールド（液体供給路）、記録ヘッドのノズル吐出口から吐出されなかった液体を戻す帰還マニホールド（液体排出路）と、を備えている。そして、ノズル面からみて供給マニホールドと帰還マニホールドとが重なるように、換言すると上下２階建ての構造となるように配置され、装置構成の小型化を図っている。
また、液滴をノズル吐出口から吐出する際に、圧電体（圧力付与手段）によって圧力室内の液体に圧力を付与する構成となっている。このため、特許文献１に記載されたような構成では、圧力室から帰還マニホールドへ圧力波に起因する残留振動が伝わる。そこで、特許文献１では、帰還マニホールドへ伝わる残留振動を逃がすために帰還マニホールドに対向してダンパー部（エアダンパ）を配置している。
特開２００８－２９０２９２号公報
特許文献１では、上下２階建てとなる供給マニホールドと帰還マニホールドとの配置構成において、下側に配置された帰還マニホールドに対向してダンパー部が配置されているが、上側に配置された供給マニホールドに対してはダンパー部が配置されていない。このため、圧力室から伝わる残留振動の影響に対して、特に供給マニホールド側では十分な抑制が困難である。
そこで本発明は、ハンドリング性の高い簡易な構成により、供給マニホールド内および帰還マニホールド内における残留振動の影響を抑制することができる液体吐出装置を提供することを目的とする。
本発明のある態様に係る液体吐出装置は、液体を貯留し、ノズル吐出口と連通する圧力室と、前記圧力室内の前記液体へ圧力を付与する圧電体と、前記液体を前記圧力室に供給する供給マニホールドと、前記ノズル吐出口から吐出されなかった前記液体が流通する帰還マニホールドと、前記ノズル吐出口が形成されたノズル面からみて重なるように配置された前記供給マニホールドと前記帰還マニホールドとの間に設けられ、凹部領域が形成されたプレートから構成されるダンパー部と、を備える。
上記構成によると、ダンパー部は、凹部領域が形成されたプレートから構成されている。このため、凹部領域の形成部分に空間（ダンパー空間）を設けることができる。また、凹部領域が形成されたプレート部分は厚みが薄くなるため、残留振動により変形することができる。それゆえ残留振動が伝播してくると、凹部領域が形成されているプレート部分が変形し、この残留振動を空間内の空気により吸収することができる。
また、ダンパー部は、凹部領域が形成されたプレート部分においても適度な厚みを持たせることができる。このため、凹部領域が形成されたプレート部分を、例えば、極薄のフィルムで構成する場合と比較して製作過程におけるハンドリング性を高めることができる。
また、重なるように配置された供給マニホールドと帰還マニホールドとの間にダンパー部が設けられているため、供給マニホールド内および帰還マニホールド内における残留振動の影響をともに抑制することができる。
本発明は、以上に説明した構成を有し、ハンドリング性の高い簡易な構成により、供給マニホールド内および帰還マニホールド内における残留振動の影響を抑制することができるという効果を奏する。
本発明の実施の形態に係る液体吐出装置の概略構成を示す模式図である。 本発明の実施の形態に係る液体吐出装置を上方から平面視したときの概略構成を示す模式図である。 図１に示す液体吐出装置が備える液体吐出ヘッドの構成の一部を拡大した模式図であり、同図（ａ）は液体吐出ヘッドの平面構造を示す模式図、同図（ｂ）は液体吐出ヘッドの断面構造を示す模式図である。 図３に示す液体吐出ヘッドが備える個別チャンネルの詳細な構成を示す断面図である。 図３に示す液体吐出ヘッドが備えるダンパー部の変形例を示す断面図である。 図３に示す液体吐出ヘッドが備えるダンパー部の変形例を示す断面図である。 第８プレートに設けられた凹部領域部分の圧力に対する変形と第９プレートに設けられた凹部領域部分の圧力に対する変形の一例を示す模式図である。
本発明の実施の形態に係る液体吐出装置について、図面を参照しつつ説明する。なお、以下では液体吐出装置として、インクを被記録シートへ吐出するインク吐出装置を例として説明する。
＜液体吐出装置の構成＞
図１は、本発明の実施の形態に係る液体吐出装置１の概略構成を示す模式図である。液体吐出装置１は、下から順に、給紙トレイ１０、プラテン１１及びラインヘッド１２が組み付けられている。給紙トレイ１０は、複数の被記録シートＰを収容する。給紙トレイ１０の上方には、直交方向に長寸のプラテン１１が設けられている。プラテン１１は、平板部材であり、搬送される被記録シートＰを下から支える。プラテン１１の更に上方には、ラインヘッド１２が配置されている。詳細は後述するがラインヘッド１２には、複数の液体吐出ヘッド１３が設けられている。また、プラテン１１の前方には、排紙トレイ１４が設けられており、記録を終えた被記録シートＰを受け取る。
給紙トレイ１０の後方からは、シート搬送路２０が延設されている。シート搬送路２０は、給紙トレイ１０と排紙トレイ１４とを繋ぐ。シート搬送路２０は、湾曲パス２１、ストレートパス２２、及びエンドパス２３の３つのパスに分割できる。湾曲パス２１は、給紙トレイ１０から上方へ湾曲して、プラテン１１の後方近傍まで至っている。ストレートパス２２は、湾曲パス２１の終点からプラテン１１の前方近傍まで至っている。エンドパス２３は、ストレートパス２２の終点から排紙トレイ１４まで至っている。
液体吐出装置１は、被記録シートＰを搬送するシート搬送機構として、給送ローラ３０、搬送ローラ３１、及び排出ローラ３４を備えている。シート搬送機構は、給紙トレイ１０の被記録シートＰを、シート搬送路２０に沿って、排紙トレイ１４まで搬送する。
具体的には、給送ローラ３０が、給紙トレイ１０の直上に設けられ、被記録シートＰに上から当接している。搬送ローラ３１は、ピンチローラ３２と組んで搬送ローラ部３３を構成し、湾曲パス２１の下流端近傍に配置されている。搬送ローラ部３３は、湾曲パス２１とストレートパス２２とを繋ぐ。排出ローラ３４は、拍車ローラ３５と組んで排出ローラ部３６を構成し、ストレートパス２２の下流端近傍に配置されている。排出ローラ部３６は、ストレートパス２２とエンドパス２３を繋ぐ。
ここで、被記録シートＰは、給送ローラ３０によって、湾曲パス２１を介して搬送ローラ部３３へ供給される。さらに被記録シートＰは、搬送ローラ部３３により、ストレートパス２２から排出ローラ部３６へ送られる。該ストレートパス２２内では、プラテン１１上の被記録シートＰに対して、インクが液体吐出ヘッド１３から吐出される。被記録シートＰには、画像が記録される。この記録済みの被記録シートＰは、排出ローラ部３６によって、排紙トレイ１４まで搬送される。
図２は、本発明の実施の形態に係る液体吐出装置１を上方から平面視したときの概略構成を示す模式図である。図２に示すように、ラインヘッド１２は、下面が被記録シートＰと対向し、被記録シートＰが搬送される方向（搬送方向）に直交する方向（直交方向）における被記録シートＰの長さ以上の長さを有している。下面は、複数の個別チャンネル１００（後述の図３（ａ）、（ｂ）参照）のノズル吐出口１８が設けられたノズル面である。
各ノズル吐出口１８には、タンク１６が接続されている。タンク１６は、ラインヘッド１２上に配置されたサブタンク１６ｂ、及びサブタンク１６ｂにチューブ１７によって接続された貯留タンク１６ａを有している。このサブタンク１６ｂ及び貯留タンク１６ａに液体が貯留されている。タンク１６は、ノズル吐出口１８から吐出される液体の色の数に応じて設けられ、例えば、４色（ブラック、イエロー、シアン、マゼンタ）の液体に対して４つのタンク１６が設けられている。これにより、ラインヘッド１２は複数種類の液体を吐出する。
このように、ラインヘッド１２が移動せずに固定されて、複数のノズル吐出口１８から液体を吐出する。この吐出と共に、搬送機構により被記録シートＰを搬送方向に搬送する。これによって、被記録シートＰに画像が記録される。
なお、上記では、液体吐出ヘッド１３がラインヘッドである場合を例に挙げて説明したが、ラインヘッドの代わりにシリアルヘッドであってもよい。
（液体吐出ヘッドの構成）
図３及び図４を参照して液体吐出ヘッド１３の構成について説明する。図３は図１に示す液体吐出装置１が備える液体吐出ヘッド１３の構成の一部を拡大した模式図であり、同図（ａ）は液体吐出ヘッド１３の平面構造を示す模式図、同図（ｂ）は液体吐出ヘッド１３の断面構造を示す模式図である。なお、図３（ｂ）は、図３（ａ）に示す液体吐出ヘッド１３を個別チャンネル１００に沿って切断したときの断面構造を示す。また、図３では、説明の便宜上、後述する圧力室５０の上方に配置される圧電プレート６０については図示を省略している。図４は、図３に示す液体吐出ヘッド１３が備える個別チャンネル１００の詳細な構成を示す断面図である。図４では、図３（ｂ）と同様に液体吐出ヘッド１３を個別チャンネル１００に沿って切断したときの断面を示す。
図３（ａ）に示すように、液体吐出ヘッド１３は、一方向に沿って配置された複数の個別チャンネル１００を備える。そして、タンク１６から供給された液体が、供給ポート５６を介して、供給マニホールド５１内に供給される。供給マニホールド５１に供給された液体は、該供給マニホールド５１を、主として一方向に流通して各個別チャンネル１００に供給される。
個別チャンネル１００は、圧力室５０、圧力室５０と連通するディセンダ１５、およびディセンダ１５と連通し、液滴が吐出されるノズル吐出口１８を有する。ノズル吐出口１８が設けられている側を下方向とし、その反対側を上方向としたとき、ディセンダ１５の上方には圧力室５０が設けられている。圧力室５０の上面には図４に示すように圧電プレート６０（圧電体）が配置され、圧力室５０内の液体へ圧力を付与する。すなわち、圧電プレート６０に電圧を印加すると圧電プレート６０が変形し液体へ圧力を付与する。これによりノズル吐出口１８から液滴を吐出させることができる。
個別チャンネル１００は、液体供給路５３を備え、この液体供給路５３を介して、供給マニホールド５１と、個別チャンネル１００の圧力室５０とが接続される。供給マニホールド５１は液体を圧力室５０に送出させるために、内部は正圧となっている。
また、液体吐出ヘッド１３は、ノズル吐出口１８から吐出されなかった液体を流通させるため、液体を一旦貯留する帰還マニホールド５２と、タンク１６に液体を戻すための排出口である排出ポート５７とを備える。排出ポート５７は、図３（ａ）に示すように帰還マニホールド５２における、ノズル面からみて供給ポート５６と重畳しない位置に配置される。つまり、供給マニホールド５１よりも帰還マニホールドの方がその延伸方向において突出するように配置されており、排出ポート５７と供給ポート５６とは、この延伸方向においてずれた位置に設けられている。個別チャンネル１００は、液体帰還路５４を備え、この液体帰還路５４を介して、個別チャンネル１００のノズル吐出口１８と、帰還マニホールド５２とが接続される。帰還マニホールド５２は、ノズル吐出口１８から吐出されなかった液体を引き込むために、内部は負圧となっている。
液体供給路５３は、供給マニホールド５１から圧力室５０に向かって延伸する供給絞り部５３ａと、供給絞り部５３ａの一方の端部に設けられた供給絞り流入口５３ｂと、他方の端部に設けられた供給絞り排出口５３ｃとを備える。液体供給路５３は、供給絞り流入口５３ｂによって供給マニホールド５１と連結され、供給絞り排出口５３ｃによって圧力室５０と連結されている。また、供給絞り部５３ａは、供給絞り流入口５３ｂおよび供給絞り排出口５３ｃよりも流路径が小さくなっている。このように、圧力室５０と供給マニホールド５１との間において、流路径が小さい供給絞り部５３ａが設けられているため、圧電プレート６０の変形に伴い生じた圧力が付与された液体が圧力室５０から押し出され供給マニホールド５１に向かって逆流することを抑制することができる。
液体帰還路５４は、ノズル吐出口１８から帰還マニホールド５２に向かって延伸するとともに、一方の端部がノズル吐出口１８およびディセンダ１５と連結されている帰還絞り部５４ａと、帰還絞り部５４ａの他方の端部に設けられた帰還絞り排出口５４ｂとを備える。液体帰還路５４は、帰還絞り排出口５４ｂによって帰還マニホールド５２と連結されている。また、帰還絞り部５４ａは、帰還絞り排出口５４ｂよりも流路径が小さくなっている。このように、ノズル吐出口１８と帰還マニホールド５２との間に流路径が小さい帰還絞り部５４ａが設けられているため、圧電プレート６０の変形によって圧力室５０から押し出された液体の大部分が液体帰還路５４を介して帰還マニホールド５２に流れてしまいノズル吐出口１８から吐出される液滴量が少なくなることを防ぐことができる。
また、供給マニホールド５１と帰還マニホールド５２とは、ノズル吐出口１８が形成されたノズル面からみて重なるように配置されている。そして、供給マニホールド５１と帰還マニホールド５２との間にはダンパー部５５が設けられている。このダンパー部５５によって、液体供給路５３を介して圧力室５０から供給マニホールド５１に伝播してきた残留振動の影響を抑制するとともに、液体帰還路５４を介して帰還マニホールド５２に伝播してきた残留振動の影響を抑制することができる。
以上のように、供給マニホールド５１には複数の個別チャンネル１００が液体供給路５３を介して接続され、帰還マニホールド５２にも、複数の個別チャンネル１００が液体帰還路５４を介して接続されている。
上記した液体吐出ヘッド１３が備える各部は、図４に示すように、複数のプレートそれぞれに対してエッチング（ハーフエッチング）もしくは切削などの加工を施し、これらのプレートを積層させて形成することができる。あるいは、所定の形状に成形された複数の樹脂製プレートを積層させて形成してもよい。
図４に示すように、液体吐出ヘッド１３は、積層された複数のプレートから構成される流路ユニット７０と、その流路ユニット７０の上面に重ねて接着される、アクチュエータとして機能する圧電プレート６０とを備えている。
圧電プレート６０は、図４に示すように、第１プレート７１の上面において圧力室５０と積層方向に重なる位置に配置されている。圧電プレート６０は、上から順に、個別電極６１、圧電層６２、共通電極６３、および振動板６４が積層された構成となっている。個別電極６１を除く各層は１つのノズル列に共通して配置され、個別電極６１は、各圧力室５０に個別に対応して配置されている。圧電層６２は、例えばチタン酸ジルコン酸鉛（ＰＺＴ）を含む圧電材料からなる。
共通電極６３は、グランド電位に保持されている。個別電極６１は、液体吐出装置１が備える不図示のドライバＩＣに接続されている。各個別電極６１の電位は、このドライバＩＣにより個別に、グランド電位または所定の駆動電位に設定される。圧電層６２の共通電極６３と個別電極６１とに挟まれた各部分は、個別電極６１の通電時には積層方向に分極された活性部として機能する。
圧電プレート６０では、ノズル吐出口１８から液滴を吐出させないとき（待機状態）には、全個別電極４４が共通電極４２と同様にグランド電位に保持される。また圧電プレート６０では、特定のノズル吐出口１８から液滴を吐出させるときには、この特定のノズル吐出口１８と連通する圧力室５０に対応する個別電極６１の電位が、不図示の制御部により所定の駆動電位に切り換えられる。これにより圧電プレート６０は、圧力室５０側に凸となるように変形する。その結果、圧力室５０の容積が縮小して圧力室５０内の液体の圧力（正圧）が上昇し、上記特定のノズル吐出口１８から液滴が吐出される。液滴の吐出後、個別電極６１の電位はグランド電位に戻される。これにより圧電プレート６０は、変形前の状態に戻る。
また制御部は、全てのノズル吐出口１８のうち、液体を吐出しないノズル吐出口１８に対応する圧電プレート６０を、液体に対して後退状態に変形させる。このとき圧電プレート６０は、圧力室５０側に凹部となるように変形する。その結果、圧力室５０の容積が拡大して圧力室５０内の液体の圧力が負圧となる。これにより、液体を吐出させたくないノズル吐出口１８から液体が吐出されるのが抑制する。なお、ノズル吐出口１８から液体を吐出させるときに圧電プレート６０に印加する電圧の制御態様は様々のものが公知である。従って、本実施形態に係る液体吐出装置１に適用可能な制御態様は上記したものに限られず、公知の他の制御態様を採用してもよい。
流路ユニット７０は、上から順に、第１プレート７１～第１５プレート８５が積層されて構成されており、下面に設けられたノズル吐出口１８から下向きに液滴が吐出される。
すなわち、第１プレート７１において積層方向に延伸する貫通孔が形成されており、この貫通孔と、第１プレート７１の上面に配置された圧電プレート６０と、下面に配置された第２プレート７２とによって、圧力室５０を構成する。
また、第２プレート７２には下方側の主面において左右方向に延伸するように凹部領域が形成されている。また、第２プレート７２では、凹部領域の一方の端部（圧力室５０が設けられている側の端部）において、圧力室５０と連通するように積層方向に延伸する貫通孔が形成されている。そして、第２プレート７２の貫通孔によって、液体供給路５３の供給絞り排出口５３ｃを構成し、第２プレート７２の凹部領域と第３プレート７３との間に供給絞り部５３ａを構成する。
また、第３プレート７３では、第２プレート７２の凹部領域の他方の端部で供給マニホールド５１と連通するように積層方向に延伸する貫通孔が形成されており、この第３プレート７３の貫通孔により、液体供給路５３の供給絞り流入口５３ｂを構成する。また、第３プレート７３における下方側の主面には凹部領域が形成されており、この凹部領域によって、供給マニホールド５１の上面を構成する。
そして、この第３プレート７３と、第４プレート７４～第７プレート７７それぞれにおいて形成された積層方向に延伸する貫通孔と、第８プレート７８とによって、供給マニホールド５１を構成する。
第９プレート７９における下方側の主面には凹部領域７９ａが形成されており、この凹部領域７９ａによって帰還マニホールド５２の上面を構成する。
そして、この第９プレート７９と、第１０プレート８０～第１３プレート８３それぞれにおいて形成された積層方向に延伸する貫通孔と、第１４プレート８４とによって帰還マニホールド５２を構成する。
また、圧力室５０における液体供給路５３と連通する側の端部とは反対側の端部位置で、この圧力室５０と連通するように、積層方向に延伸する貫通孔が第２プレート７２～第１４プレート８４それぞれに形成されている。また、第１５プレート８５には、下方に向けて徐々に縮径するテーパ形状の孔が形成されている。この第２プレート７２～第１４プレート８４それぞれに形成された貫通孔でディセンダ１５を形成し、第１５プレート８５でノズル吐出口１８を形成する。
また、第１４プレート８４では、ディセンダ１５の一部をなす貫通孔および第１５プレート８５に形成されたノズル吐出口１８と連通するように左右方向に延伸した凹部領域が形成されており、この凹部領域と第１５プレート８５との間に帰還絞り部５４ａを構成する。また第１４プレート８４に形成された凹部領域においてディセンダ１５が配される側とは反対側の端部に、帰還マニホールド５２と連通するように積層方向に延伸した貫通孔が形成されており、帰還絞り排出口５４ｂを構成する。
また、供給マニホールド５１の外壁の一部、すなわち下面をなす第８プレート７８の凹部領域７８ａと、帰還マニホールド５２の外壁の一部、すなわち上面をなす第９プレート７９の凹部領域７９ａとによってダンパー部５５を構成する。以下において、ダンパー部５５の構成について詳細に説明する。なお、第８プレート７８は、供給マニホールド側プレートと称する場合がある。また、第９プレート７９は、帰還マニホールド側プレートと称する場合がある。
（ダンパー部）
図４に示すように、第８プレート７８および第９プレート７９は、ともに下方側の主面に凹部領域７８ａ、７９ａが形成されており、両者を積層させることで第８プレート７８の凹部領域７８ａと、第９プレート７９の凹部領域７９ａが形成されていない側の主面との間にダンパー空間５５ａを設けることができる。また第８プレート７８および第９プレート７９それぞれの凹部領域形成部分ではプレートの厚みが薄くなる。このため、供給マニホールド５１内を残留振動が伝播すると、第８プレート７８の凹部領域７８ａが変形し、この残留振動をダンパー空間５５ａ内の空気により吸収することができる。一方、帰還マニホールド５２内を残留振動が伝播すると、第９プレート７９の凹部領域７９ａが変形し、この残留振動をダンパー空間５５ａ内の空気により吸収することができる。
以上のように、ダンパー部５５は、第８プレート７８の凹部領域７８ａおよび第９プレート７９の凹部領域７９ａによって構成することができる。ここで凹部領域７８ａおよび凹部領域７９ａがそれぞれ形成されているプレート部分では適度な厚みを持たせることができる。このため、凹部領域７８ａおよび凹部領域７９ａが形成されている第８プレート７８および第９プレート７９部分は、適度な厚みを有しているため、ダンパー部５５を、例えば極薄のフィルムで構成した場合と比較して製作過程におけるハンドリング性を高めることができる。
また、ダンパー部５５は、第８プレート７８および第９プレート７９の一方の主面側において凹部領域を形成し、第８プレート７８および第９プレート７９の厚みを薄くすることでダンパー空間５５ａを形成している。つまり、ダンパー部５５は、２枚のプレート（第８プレート７８および第９プレート７９）によって構成されている。
また、このダンパー部５５は、供給マニホールド５１と帰還マニホールド５２との間に配置されている。このため、供給マニホールド５１を伝播する残留振動を吸収するためのダンパー空間と帰還マニホールド５２を伝播する残留振動を吸収するためのダンパー空間とを共用することができる。
よって、供給マニホールド５１を伝播する残留振動を吸収するためのダンパー空間および帰還マニホールド５２を伝播する残留振動を吸収するためのダンパー空間をそれぞれ形成するためのプレートを別途用意する必要がない。したがって、ダンパー部５５を構成するために積層させるプレート枚数を低減させて簡易な構成とすることができる。
なお、ダンパー部５５が備えるダンパー空間５５ａは、密閉された空間であってもよい。ダンパー空間５５ａが密閉された空間の場合、ダンパー空間５５ａ内に、例えば、インク等の液体が浸入し、凹部領域７８ａが形成されている第８プレート７８部分および凹部領域７９ａが形成されている第９プレート７９部分の変形が阻害されることを防ぐことができる。
あるいは、ダンパー部５５は、ダンパー空間５５ａと大気とを連通させる流路である連通部（不図示）を備えた構成としてもよい。このように構成した場合、残留振動により第８プレート７８の凹部領域７８ａまたは第９プレート７９の凹部領域７９ａが変形した場合、ダンパー空間５５ａ内の空気を大気中に逃がすことができる。それゆえ、凹部領域７８ａが形成された第８プレート７８部分の変形、あるいは凹部領域７９ａが形成された第９プレート７９部分の変形に対するダンパー空間５５ａ内の空気抵抗を小さくし、残留振動の吸収性を高めることができる。
なお、図４では、ダンパー部５５は、第８プレート７８において凹部領域７８ａが形成されている側の主面と、第９プレート７９において凹部領域７９ａが形成されている側の主面とが、積層方向においてそれぞれ同じ側となるように配置されている。図４に示す例では、第８プレート７８の下側の主面に凹部領域７８ａが、第９プレート７９の下側の主面に凹部領域７９ａが形成されている。そして、凹部領域７８ａによってダンパー空間５５ａを形成し、凹部領域７９ａによって帰還マニホールド５２の上面を形成する。このため、帰還マニホールド５２側の容積を増やすことができる。逆に、第８プレート７８の上側の主面に凹部領域７８ａが、第９プレート７９の上側の主面に凹部領域７９ａがそれぞれ形成された構成の場合は、供給マニホールド５１側の容積を増やすことができる。
なお、ダンパー部５５の構成は上記した構成に限定されるものではなく、例えば、図５に示すように、第８プレート７８において凹部領域７８ａが設けられている側の主面と、第９プレート７９において凹部領域７９ａが設けられている側の主面とが向い合せに接触する構成であってもよい。図５は、図３に示す液体吐出ヘッド１３が備えるダンパー部５５の変形例を示す断面図である。
この構成の場合、ダンパー部５５が備えるダンパー空間５５ａを大きくすることができる。このため、第８プレート７８の凹部領域７８ａが形成された部分および第９プレート７９の凹部領域７９ａが形成された部分それぞれの変形可能な範囲を大きく保つことができる。
また、図４に示す液体吐出ヘッド１３では、第８プレート７８に形成されている凹部領域７８ａの寸法と第９プレート７９に形成されている凹部領域７９ａの寸法は同様の寸法となっていたが、両者の寸法は異なっていてもよい。例えば、図６に示すように、ダンパー空間５５ａを形成する第８プレート７８の凹部領域７８ａの寸法の方が、帰還マニホールド５２の上面を形成する第９プレート７９の凹部領域７９ａの寸法の方よりも小さくなってもよい。図６は、図３に示す液体吐出ヘッド１３が備えるダンパー部５５の変形例を示す断面図である。
この構成の場合、第８プレート７８と第９プレート７９とを貼りあわせる際に貼りずれが生じても、ダンパー空間５５ａの寸法に変更がなくダンパー性能を貼りずれが生じていない場合と同等とすることができる。このため複数の液体吐出ヘッド１３においてダンパー性能にバラつきが生じることを防ぐことができる。例えば、異なる液体吐出ヘッド１３間でダンパー性能にばらつきが生じた場合、各液体吐出ヘッド１３に同じ波形の電圧を印加したとしても各液体吐出ヘッド１３のマニホールド内における圧力伝播の状態がそれぞれ異なる。このため、複数の液体吐出ヘッド１３間で吐出のばらつきが生じてしまう。
また、図６に示すように、第８プレート７８は供給マニホールド５１内と連通する第１連通孔７８ｂを有し、第９プレート７９は、一方の端部で帰還マニホールド５２内と連通し、他方の端部で第１連通孔７８ｂと連通する第２連通孔７９ｂを有してもよい。第１連通孔７８ｂおよび第２連通孔７９ｂは、第８プレート７８および第９プレート７９において、ダンパー部５５が形成されない領域に形成することができる。
このように構成された場合、第１連通孔７８ｂおよび第２連通孔７９ｂを介して、正圧の供給マニホールド５１から負圧の帰還マニホールド５２に液体を流通させ、貯留タンク１６ａに戻して循環させるマニホールド循環を行うことができる。このため、例えば、供給マニホールド５１に存在する気泡や固形物が、個別チャンネル側へ流れることを防ぐことができる。
なお、第１連通孔７８ｂの開口寸法と第２連通孔７９ｂの開口寸法は同じであってもよいし、異なっていてもよい。第１連通孔７８ｂの開口寸法と第２連通孔７９ｂの開口寸法とが異なる構成の場合、以下の利点を有する。
すなわち、第８プレート７８と第９プレート７９とを貼りあわせて積層する際、第１連通孔７８ｂと第２連通孔７９ｂとの中心軸がずれる可能性がある。そこで、第１連通孔７８ｂおよび第２連通孔７９ｂのうち一方の開口寸法を小さくし、他方の開口寸法を大きくすることで、両者に貼りずれがあっても、少なくとも一方（開口寸法が小さい方）の連通孔の開口寸法は確保することができる。
（ダンパー部の配置範囲）
次に、液体吐出ヘッド１３におけるダンパー部５５の配置範囲、換言すると第８プレート７８の凹部領域７８ａおよび第９プレート７９の凹部領域７９ａが形成される範囲について再度、図３を参照して説明する。
第８プレート７８の凹部領域７８ａおよび第９プレート７９の凹部領域７９ａの配置範囲、つまりダンパー部５５の配置範囲は、残留振動の影響を受ける可能性のある範囲を含む範囲となっていることが好適である。
具体的には、ダンパー部５５は、ノズル面からみて供給絞り排出口５３ｃの領域と重なるように配置される。このため、ダンパー部５５がノズル面からみて供給絞り排出口５３ｃの領域と重なるように配置されてない構成と比較して、液体吐出ヘッド１３の平面方向におけるサイズの小型化を図ることができる。
さらに、ダンパー部５５は、ノズル面からみて供給絞り流入口５３ｂの領域とも重なるように配置される。このため、供給絞り部５３ａを通じて供給マニホールド５１に伝播する残留振動の影響を効果的にダンパー部５５で抑制することができる。つまり、供給絞り部５３ａを通じて供給マニホールド５１に伝播する残留振動は、供給絞り流入口５３ｂから積層方向において下に向かう。このため、ダンパー部５５が供給絞り流入口５３ｂの下方でかつノズル面からみて供給絞り流入口５３ｂの領域と重なる位置に配置されていると、残留振動を吸収しやすくなる。
また、ダンパー部５５は、ノズル面からみて、帰還絞り排出口５４ｂと重なるようにも配置される。このため、帰還絞り部５４ａを通じて帰還マニホールド５２に伝播する残留振動の影響を効果的にダンパー部５５で抑制することができる。つまり、帰還絞り部５４ａを通じて帰還マニホールド５２に伝播する残留振動は、帰還絞り排出口５４ｂから積層方向において上に向かう。このため、ダンパー部５５が帰還絞り排出口５４ｂの上方でかつノズル面からみて帰還絞り排出口５４ｂの領域と重なる位置に配置されていると、残留振動を吸収しやすくなる。
さらに、ダンパー部５５は、ノズル面からみて供給ポート５６の領域とも重なるように配置される。このため、タンク１６に設けられたポンプ（不図示）から伝播してきた残留振動の影響を効果的にダンパー部５５で抑制することができる。
（ダンパー部の変形体積）
次に、ダンパー部５５に作用する圧力に対して、ダンパー部５５が変形可能な範囲について図７を参照して説明する。図７は、第８プレート７８に設けられた凹部領域７８ａ部分の圧力に対する変形と第９プレート７９に設けられた凹部領域７９ａ部分の圧力に対する変形の一例を示す模式図である。
供給マニホールド５１内は正圧となっている。このため、供給マニホールド５１側の第８プレート７８に設けられた凹部領域７８ａ部分は、供給マニホールド５１の外周に向かって、すなわち、積層方向において下方側に向かって変形する。そして、第８プレート７８に設けられた凹部領域７８ａ部分は、図７に示すように、下方側が凸となるように湾曲する。
一方、帰還マニホールド５２内は負圧となっている。このため、帰還マニホールド５２側の第９プレート７９に設けられた凹部領域７９ａ部分は、帰還マニホールド５２の内部に向かって、すなわち、積層方向において下方側に向かって変形する。そして、第９プレート７９に設けられた凹部領域７９ａ部分は、図７に示すように、下方側が凸となるように湾曲する。
このため、第８プレート７８の凹部領域７８ａ部分の単位圧力あたりの変形体積が、第９プレート７９の凹部領域７９ａ部分の単位圧力あたりの変形体積よりも大きくなる場合、第８プレート７８の凹部領域７８ａ部分が第９プレート７９の凹部領域７９ａ部分と当接してしまう可能性がある。このように第８プレート７８の凹部領域７８ａ部分が第９プレート７９の凹部領域７９ａ部分と当接してしまうとダンパー部５５のダンパー性能が不十分となる。
そこで、本実施形態では、第８プレート７８の凹部領域７８ａ部分と、第９プレート７９の凹部領域７９ａ部分との体積変化を以下のように規定する。
すなわち、単位圧力あたりの第８プレート７８に設けられた凹部領域７８ａ部分の変形体積を示す指標をCp1〔ｍｍ2／ｋＰａ〕、単位圧力あたりの第９プレート７９に設けられた凹部領域７９ａ部分の変形体積を示す指標をCp2〔ｍｍ2／ｋＰａ〕とする。そして、供給マニホールド５１内の圧力の絶対値をP1〔ｋＰａ〕、帰還マニホールド５２内の圧力の絶対値をP2〔ｋＰａ〕としたとき、P1≦P2の場合、Cp1≦Cp2の関係を充たすようにする。P１≦P2の場合、Cp１≦Cp2の関係を充たすため、第８プレート７８の凹部領域７８ａ部分の単位圧力あたりの変形体積は、第９プレート７９の凹部領域７９ａ部分の単位圧力あたりの変形体積と同じか、もしくは小さくなる。このため、変形した第８プレート７８の凹部領域７８ａ部分が第９プレート７９の凹部領域７９ａ部分に当接してしまいダンパー性能が発揮できなくなることを防ぐことができる。
なお、変形体積を示す指標であるCp1、Cp2は、単位マニホールド長あたりにおける単位圧力あたりのダンパー部５５の変形量を示す指標である。
また、第８プレート７８の凹部領域７８ａ部分、および第９プレート７９の凹部領域７９ａ部分の単位圧力あたりの変形体積が共に大きすぎると、これらの変形により帰還マニホールド５２の容積が小さくなってしまう場合がある。そこで、第８プレート７８の凹部領域７８ａ部分、および第９プレート７９の凹部領域７９ａ部分それぞれの単位圧力あたりの変形体積の上限を以下のように規定することが好適である。
すなわち、供給マニホールド５１における液体の流通方向に直交する断面の断面積をA1〔ｍｍ２〕とし、帰還マニホールド５２における液体の流通方向に直交する断面の断面積をA2〔ｍｍ２〕としたとき、Cp1≦０．５ P1・A1かつ、Cp2≦０．５ P2・A2の関係を充たすようにする。ここで、供給マニホールド５１における液体の流通方向とは、図３に示すように、供給マニホールド５１の一方の端部に設けられた供給ポート５６から、各個別チャンネルに液体を供給するように他方の端部に向かって流れる方向である。一方、帰還マニホールド５２における液体の流通方向とは、各個別チャンネルから排出された液体が、ノズル面からみて供給ポート５６と重畳する位置に配置された排出ポートに向かって流れる方向である。本実施形態では、供給マニホールド５１における液体の流通方向と帰還マニホールド５２における液体の流通方向とは逆向きとなるが、これら流通方向に直交する断面は同じ断面を指すこととなる。
なお、上記した第８プレート７８の凹部領域７８ａ部分、および第９プレート７９の凹部領域７９ａ部分それぞれの単位圧力あたりの変形体積の大きさの調整は、以下のように実施することができる。すなわち、例えば、凹部領域７８ａおよび凹部領域７９ａをハーフエッチングにより形成する場合、エッチング量を変更させることによって調整可能である。あるいは、第８プレート７８および第９プレート７９それぞれの板厚を変更させることによっても調整可能である。特には、第８プレート７８および第９プレート７９それぞれにおいての板厚とエッチング深さとを変更させて変形体積の大きさを調整することが好適である。
以上のように、本発明のある態様に係る液体吐出装置１は、液体を貯留し、ノズル吐出口１８と連通する圧力室５０と、圧力室５０内の液体へ圧力を付与する圧電プレート６０（圧電体）と、液体を圧力室５０に供給する供給マニホールド５１と、ノズル吐出口１８から吐出されなかった液体が流通する帰還マニホールド５２と、ノズル吐出口１８が形成されたノズル面からみて重なるように配置された供給マニホールド５１と帰還マニホールド５２との間に設けられ、凹部領域が形成されたプレートから構成されるダンパー部５５と、を備える。
上記構成によるとハンドリング性の高い簡易な構成により、供給マニホールド５１内および帰還マニホールド５２内における残留振動の影響を抑制することができる。
また、本発明のある態様に係る液体吐出装置１は、上記した構成において、ダンパー部５５は、凹部領域７８ａが形成され、供給マニホールド５１の外壁の一部をなす供給マニホールド側プレート（第８プレート７８）と、凹部領域７９ａが形成され、帰還マニホールド５２の外壁の一部をなす帰還マニホールド側プレート（第９プレート７９）と、積層される供給マニホールド側プレートと帰還マニホールド側プレートとの間に形成されたダンパー空間５５ａと、を備える構成としてもよい。
通常、供給マニホールド内の圧力および帰還マニホールド内の圧力を受けることができるダンパー部を構成するためには、供給マニホールドと接するプレートＡ、圧力によるこのプレートＡの体積変形を受けるダンパー空間を形成するためのプレートＢ、帰還マニホールドと接するプレートＣ、圧力によるプレートＣの体積変形を受けるダンパー空間を形成するためのプレートＤが必要となる。
ここで、本発明に係る液体吐出装置１では、上記した構成によると、ダンパー部５５は凹部領域７８ａが形成された供給マニホールド側プレートと、凹部領域７９ａが形成された帰還マニホールド側プレートとが積層され、両者の間にダンパー空間５５ａが形成される構成である。このため、ダンパー空間５５ａを形成するためのプレート（上記したプレートＢおよびプレートＤ）を不要とすることができ、ダンパー部５５を構成するために積層させるプレート枚数を低減させて簡易な構成とすることができる。
また、本発明のある態様に係る液体吐出装置１は、上記した構成において、ダンパー空間５５ａと大気とを連通させる連通部を備える構成としてもよい。
上記構成によると、ダンパー空間５５ａと大気とを連通させる連通部を備えるため、ダンパー部５５の凹部領域７８ａ、７９ａが変形した場合、ダンパー空間５５ａ内の空気を大気中に逃がすことができる。それゆえ、凹部領域７８ａ、７９ａが形成されている第８プレート７８、第９プレート７９部分の変形に対するダンパー空間５５ａ内の空気抵抗を小さくし、残留振動の吸収性を高めることができる。
また、本発明のある態様に係る液体吐出装置１は、上記した構成において、ダンパー空間５５ａは密閉されていてもよい。
上記構成によると、ダンパー空間５５ａが密閉されているため、ダンパー空間５５ａ内に、例えば、インク等の液体が浸入し、ダンパー部５５の変形が阻害されることを防ぐことができる。
また、本発明のある態様に係る液体吐出装置１は、上記した構成において、ダンパー部５５は、供給マニホールド側プレート（第８プレート７８）において凹部領域７８ａが形成されている側の主面と帰還マニホールド側プレート（第９プレート７９）において凹部領域７９ａが形成されている側の主面とが、積層方向においてそれぞれ同じ側となるように供給マニホールド側プレートおよび帰還マニホールド側プレートが積層された構成としてもよい。
上記構成によると、供給マニホールド側プレートの凹部領域７８ａが形成されている側の主面と帰還マニホールド側プレートの凹部領域７９ａが形成されている側の主面とがそれぞれ積層方向において同じ側となるため、供給マニホールド側プレートまたは帰還マニホールド側プレートのいずれかの凹部領域が形成されている側の主面を外壁の一部とするマニホールド（供給マニホールド５１または帰還マニホールド５２）の容積を増やすことができる。
また、本発明のある態様に係る液体吐出装置１は、上記した構成において、ダンパー部５５は、供給マニホールド側プレートにおいて凹部領域７８ａが形成されている側の主面と帰還マニホールド側プレートにおいて凹部領域７９ａが形成されている側の主面とが接するように供給マニホールド側プレートおよび帰還マニホールド側プレートが積層された構成としてもよい。
上記構成によると、供給マニホールド側プレートの凹部領域７８ａと帰還マニホールド側プレートの凹部領域７９ａとによってダンパー空間５５ａを形成することができるため、ダンパー空間５５ａの容積を大きくすることができる。このため、供給マニホールド側プレートおよび帰還マニホールド側プレートそれぞれの凹部領域７８ａ、７９ａが変形できる範囲を大きく保つことができる。
また、本発明のある態様に係る液体吐出装置１は、上記した構成において、供給マニホールド側プレートは、供給マニホールド５１内と連通する第１連通孔７８ｂを有し、帰還マニホールド側プレートは、一方の端部で帰還マニホールド５２内と連通し、他方の端部で第１連通孔７８ｂと連通する第２連通孔７９ｂを有する構成としてもよい。
上記構成によると、供給マニホールド側プレートおよび帰還マニホールド側プレートそれぞれにおいて第１、第２連通孔７８ｂ、７９ｂが設けられているため、正圧の供給マニホールド５１から負圧の帰還マニホールド５２に液体を流通させて循環させるマニホールド循環を行うことができる。このため、例えば、供給マニホールド５１に存在する気泡や固形物が、個別チャンネル１００側へ流れることを防ぐことができる。
また、本発明のある態様に係る液体吐出装置１は、上記した構成において、供給マニホールド側プレートに設けられた第１連通孔７８ｂの開口寸法と、帰還マニホールド側プレートに設けられた第２連通孔７９ｂの開口寸法とが異なるように構成されていてもよい。
ここで、開口寸法とは、例えば、第１、第２連通孔７８ｂ、７９ｂの断面形状が円の場合はその直径、方形の場合はその一辺の長さとしてもよい。
上記構成によると、供給マニホールド側プレートの第１連通孔７８ｂの開口寸法と帰還マニホールド側プレートの第２連通孔７９ｂの開口寸法とが異なっている。このため、供給マニホールド側プレートと帰還マニホールド側プレートとを貼りあわせて積層する際、第１連通孔７８ｂと第２連通孔７９ｂとの中心軸がずれる可能性がある。そこで、第１連通孔７８ｂおよび第２連通孔７９ｂのうち一方の開口寸法を小さくし、他方の開口寸法を大きくすることで、両者に貼りずれがあっても、少なくとも一方の連通孔の開口寸法は確保することができる。
また、本発明のある態様に係る液体吐出装置１は、上記した構成において、一方の端部で供給マニホールド５１から液体が流入する供給絞り流入口５３ｂと連結され、他方の端部で該液体を圧力室５０へ排出する供給絞り排出口５３ｃと連結されており、供給マニホールド５１と圧力室５０とを連通させる供給絞り部５３ａを備える。そして、供給マニホールド側プレートの凹部領域７８ａおよび帰還マニホールド側プレートの凹部領域７９ａは、ノズル面からみて、供給絞り排出口５３ｃと重なるように配置されるように構成されていてもよい。
上記構成によると、供給マニホールド側プレートの凹部領域７８ａと帰還マニホールド側プレートの凹部領域７９ａとが、ノズル面からみて供給絞り排出口５３ｃの領域と重なるように配置されるため、ダンパー部５５がノズル面からみて供給絞り排出口５３ｃの領域と重なるように配置されてない構成と比較して、液体吐出ヘッド１３の平面方向におけるサイズの小型化を図ることができる。
また、本発明のある態様に係る液体吐出装置１は、上記した構成において、供給マニホールド側プレートの凹部領域７８ａおよび帰還マニホールド側プレートの凹部領域７９ａは、ノズル面からみて、供給絞り流入口５３ｂと重なるように配置されるように構成されていてもよい。
上記構成によると、供給マニホールド側プレートの凹部領域７８ａと帰還マニホールド側プレートの凹部領域７９ａとが、ノズル面からみて供給絞り流入口５３ｂと重なるように配置されるため、供給絞り部５３ａを通じて供給マニホールド５１に伝播してくる残留振動の影響を効果的にダンパー部５５で抑制することができる。
また、本発明のある態様に係る液体吐出装置１は、上記した構成において、一方の端部でノズル吐出口１８と連結され、他方の端部で液体を帰還マニホールド５２へ排出する帰還絞り排出口５４ｂと連結されており、ノズル吐出口１８と帰還マニホールド５２とを連通させる帰還絞り部５４ａを備える。そして、供給マニホールド側プレートの凹部領域７８ａおよび帰還マニホールド側プレートの凹部領域７９ａは、ノズル面からみて、帰還絞り排出口５４ｂと重なるように配置されるように構成されていてもよい。
上記構成によると、供給マニホールド側プレートの凹部領域７８ａと帰還マニホールド側プレートの凹部領域７９ａとが、ノズル面からみて、帰還絞り排出口５４ｂと重なるように配置されるため、帰還絞り部５４ａを通じて帰還マニホールド５２に伝播してくる残留振動の影響を効果的にダンパー部５５で抑制することができる。
また、本発明のある態様に係る液体吐出装置１は、上記した構成において、供給マニホールド５１は、タンク１６から供給される液体を流入させるための供給口である供給ポート５６を備え、供給マニホールド側プレートの凹部領域７８ａおよび帰還マニホールド側プレートの凹部領域７９ａは、ノズル面からみて、供給ポート５６と重なるように配置される構成であってもよい。
上記構成によると、供給マニホールド側プレートの凹部領域７８ａと帰還マニホールド側プレートの凹部領域７９ａとが、ノズル面からみて、供給ポート５６と重なるように配置されるため、タンク１６に設けられたポンプから伝播してきた残留振動の影響を効果的にダンパー部５５で抑制することができる。
また、本発明のある態様に係る液体吐出装置１は、上記した構成において、供給マニホールド側プレートの凹部領域７８ａの寸法と帰還マニホールド側プレートの凹部領域７９ａの寸法とが異なるように構成されていてもよい。
特に、供給マニホールド側プレートの凹部領域７８ａおよび帰還マニホールド側プレートの凹部領域７９ａのうち、一方の凹部領域によってダンパー空間５５ａを形成しており、一方の凹部領域の寸法は、他方の凹部領域の寸法よりも小さくなることが好適である。
上記構成によるとダンパー空間５５ａを形成する凹部領域の方が、寸法が小さくなるため、供給マニホールド側プレートと帰還マニホールド側プレートとを貼りあわせる際に貼りずれが生じても、ダンパー空間の寸法に変更がなくダンパー性能を貼りずれが生じていない場合と同等とすることができる。このためダンパー性能にバラつきが生じることを防ぐことができる。
また、本発明のある態様に係る液体吐出装置１は、上記した構成において、供給マニホールド側プレートの凹部領域７８ａの寸法と帰還マニホールド側プレートの凹部領域７９ａの寸法とが同じであってもよい。
上記構成によると、凹部領域７８ａおよび凹部領域７９ａの寸法がともに同じ寸法となっている。このため、一方の凹部領域でダンパー空間５５ａを形成し、他方の凹部領域でマニホールドの外壁をなす構成の場合、凹部領域７８ａと凹部領域７９ａとの寸法が異なる構成と比較して、ダンパー空間５５ａの容積およびマニホールドの容積をともに大きくすることができる。
また、本発明のある態様に係る液体吐出装置１は、上記した構成において、供給マニホールド側プレートにおいて凹部領域７８ａが形成されている部分の単位圧力あたりの変形体積を示す指標をCp1、帰還マニホールド側プレートにおいて凹部領域７９ａが形成されている部分の単位圧力あたりの変形体積を示す指標をCp2とし、供給マニホールド５１内の圧力の絶対値をP1、帰還マニホールド５２内の圧力の絶対値をP2としたとき、P1≦P2の場合、Cp1≦Cp2の関係を充たすように構成されていてもよい。
ここで、正圧となる供給マニホールド５１に対応して配置された供給マニホールド側プレートの凹部領域７８ａが形成されている部分は、供給マニホールド５１の外周に向かって変形する。一方、負圧となる帰還マニホールド５２に対応して配置された帰還マニホールド側プレートの凹部領域７９ａが形成されている部分は帰還マニホールド５２内部に向かって変形する。
上記構成によると、P１≦P2の場合、Cp１≦Cp2の関係を充たすため、供給マニホールド側プレートの凹部領域７８ａが形成されている部分の単位圧力あたりの変形体積は、帰還マニホールド側プレートの凹部領域７９ａが形成されている部分の単位圧力あたりの変形体積と同じか、もしくは小さくなる。このため、変形した供給マニホールド側プレートの凹部領域７８ａが形成されている部分が、帰還マニホールド側プレートの凹部領域７９ａが形成されている部分に当接してしまいダンパー部５５のダンパー性能が発揮できなくなることを防ぐことができる。
また、本発明のある態様に係る液体吐出装置１は、上記した構成において、供給マニホールド５１における液体の流通方向に直交する断面の断面積をA1とし、帰還マニホールド５２における液体の流通方向に直交する断面の断面積をA2としたとき、Cp1≦０．５ P1・A1かつ、Cp2≦０．５ P2・A2の関係を充たすように構成されてもよい。
上記構成によると、供給マニホールド側プレートの凹部領域７８ａが形成されている部分の変形体積を示す指標Cp1が０．５ P1・A1以下であり、帰還マニホールド側プレートの凹部領域７９ａが形成されている部分の変形体積を示す指標Cp2が０．５ P2・A2以下である。このため、供給マニホールド側プレートの凹部領域７８ａが形成されている部分および帰還マニホールド側プレートの凹部領域７９ａが形成されている部分が、圧力を受けて大きく変形し、帰還マニホールド５２の容積が小さくなってしまうことを防ぐことができる。
本発明は、ノズル吐出口から液滴を用紙に対して吐出させる、例えば、インクジェットプリンタ等に適用することができる。
１ 液体吐出装置
１５ ディセンダ
１８ ノズル吐出口
１６ タンク
５０ 圧力室
５１ 供給マニホールド
５２ 帰還マニホールド
５３ａ 供給絞り部
５３ｂ 供給絞り流入口
５３ｃ 供給絞り排出口
５４ａ 帰還絞り部
５４ｂ 帰還絞り排出口
５５ ダンパー部
５５ａ ダンパー空間
５６ 供給ポート
６０ 圧電プレート
７８ 第８プレート
７８ａ 凹部領域
７８ｂ 第１連通孔
７９ 第９プレート
７９ａ 凹部領域
７９ｂ 第２連通孔

Claims (13)

  1. 液体を貯留し、ノズル吐出口と連通する圧力室と、
    前記圧力室内の前記液体へ圧力を付与する圧電体と、
    前記液体を前記圧力室に供給する供給マニホールドと、
    前記ノズル吐出口から吐出されなかった前記液体が流通する帰還マニホールドと、
    前記ノズル吐出口が形成されたノズル面からみて重なるように配置された前記供給マニホールドと前記帰還マニホールドとの間に設けられ、凹部領域が形成されたプレートから構成されるダンパー部と、を備え、
    前記ダンパー部は、
    前記凹部領域が形成され、前記供給マニホールドの外壁の一部をなす供給マニホールド側プレートと、
    前記凹部領域が形成され、前記帰還マニホールドの外壁の一部をなす帰還マニホールド側プレートと、
    積層される前記供給マニホールド側プレートと前記帰還マニホールド側プレートとの間に形成されたダンパー空間と、を有し、
    前記供給マニホールド側プレートにおいて前記凹部領域が形成されている側の主面と前記帰還マニホールド側プレートにおいて前記凹部領域が形成されている側の主面とが、積層方向においてそれぞれ同じ側となるように前記供給マニホールド側プレートおよび前記帰還マニホールド側プレートが積層されている、液体吐出装置。
  2. 液体を貯留し、ノズル吐出口と連通する圧力室と、
    前記圧力室内の前記液体へ圧力を付与する圧電体と、
    前記液体を前記圧力室に供給する供給マニホールドと、
    前記ノズル吐出口から吐出されなかった前記液体が流通する帰還マニホールドと、
    前記ノズル吐出口が形成されたノズル面からみて重なるように配置された前記供給マニホールドと前記帰還マニホールドとの間に設けられ、凹部領域が形成されたプレートから構成されるダンパー部と、を備え、
    前記ダンパー部は、
    前記凹部領域が形成され、前記供給マニホールドの外壁の一部をなす供給マニホールド側プレートと、
    前記凹部領域が形成され、前記帰還マニホールドの外壁の一部をなす帰還マニホールド側プレートと、
    積層される前記供給マニホールド側プレートと前記帰還マニホールド側プレートとの間に形成されたダンパー空間と、を有し、
    前記供給マニホールド側プレートは、前記供給マニホールド内と連通する第１連通孔を有し、
    前記帰還マニホールド側プレートは、一方の端部で前記帰還マニホールド内と連通し、他方の端部で前記第１連通孔と連通する第２連通孔を有する、液体吐出装置。
  3. 前記供給マニホールド側プレートに設けられた前記第１連通孔の開口寸法と、前記帰還マニホールド側プレートに設けられた前記第２連通孔の開口寸法とが異なる、請求項２に記載の液体吐出装置。
  4. 液体を貯留し、ノズル吐出口と連通する圧力室と、
    前記圧力室内の前記液体へ圧力を付与する圧電体と、
    前記液体を前記圧力室に供給する供給マニホールドと、
    前記ノズル吐出口から吐出されなかった前記液体が流通する帰還マニホールドと、
    前記ノズル吐出口が形成されたノズル面からみて重なるように配置された前記供給マニホールドと前記帰還マニホールドとの間に設けられ、凹部領域が形成されたプレートから構成されるダンパー部と、
    一方の端部で前記供給マニホールドから液体が流入する供給絞り流入口と連結され、他方の端部で該液体を前記圧力室へ排出する供給絞り排出口と連結されており、前記供給マニホールドと前記圧力室とを連通させる供給絞り部と、を備え、
    前記ダンパー部は、
    前記凹部領域が形成され、前記供給マニホールドの外壁の一部をなす供給マニホールド側プレートと、
    前記凹部領域が形成され、前記帰還マニホールドの外壁の一部をなす帰還マニホールド側プレートと、
    積層される前記供給マニホールド側プレートと前記帰還マニホールド側プレートとの間に形成されたダンパー空間と、を有し、
    前記供給マニホールド側プレートの凹部領域および前記帰還マニホールド側プレートの凹部領域は、前記ノズル面からみて、前記供給絞り排出口と重なるように配置されている、液体吐出装置。
  5. 前記供給マニホールド側プレートの凹部領域および前記帰還マニホールド側プレートの凹部領域は、前記ノズル面からみて、前記供給絞り流入口と重なるように配置されている、請求項４に記載の液体吐出装置。
  6. 液体を貯留し、ノズル吐出口と連通する圧力室と、
    前記圧力室内の前記液体へ圧力を付与する圧電体と、
    前記液体を前記圧力室に供給する供給マニホールドと、
    前記ノズル吐出口から吐出されなかった前記液体が流通する帰還マニホールドと、
    前記ノズル吐出口が形成されたノズル面からみて重なるように配置された前記供給マニホールドと前記帰還マニホールドとの間に設けられ、凹部領域が形成されたプレートから構成されるダンパー部と、
    一方の端部で前記ノズル吐出口と連結され、他方の端部で液体を前記帰還マニホールドへ排出する帰還絞り排出口と連結されており、前記ノズル吐出口と前記帰還マニホールドとを連通させる帰還絞り部と、を備え、
    前記ダンパー部は、
    前記凹部領域が形成され、前記供給マニホールドの外壁の一部をなす供給マニホールド側プレートと、
    前記凹部領域が形成され、前記帰還マニホールドの外壁の一部をなす帰還マニホールド側プレートと、
    積層される前記供給マニホールド側プレートと前記帰還マニホールド側プレートとの間に形成されたダンパー空間と、を有し、
    前記供給マニホールド側プレートの凹部領域および前記帰還マニホールド側プレートの凹部領域は、前記ノズル面からみて、前記帰還絞り排出口と重なるように配置されている、液体吐出装置。
  7. 前記供給マニホールドは、タンクから供給される液体を流入させるための供給口である供給ポートを備え、
    前記供給マニホールド側プレートの凹部領域および前記帰還マニホールド側プレートの凹部領域は、前記ノズル面からみて、前記供給ポートと重なるように配置されている、請求項１～５のいずれか１項に記載の液体吐出装置。
  8. 前記供給マニホールド側プレートの前記供給マニホールドの幅方向における凹部領域の寸法と、前記帰還マニホールド側プレートの前記帰還マニホールドの幅方向における凹部領域の寸法とが異なる、請求項１に記載の液体吐出装置。
  9. 前記供給マニホールド側プレートの凹部領域および前記帰還マニホールド側プレートの凹部領域のうち、一方の凹部領域によって前記ダンパー空間を形成しており、
    マニホールドの幅方向において、一方の凹部領域の寸法は、他方の凹部領域の寸法よりも小さい、請求項８に記載の液体吐出装置。
  10. 前記供給マニホールド側プレートの前記供給マニホールドの幅方向における凹部領域の寸法と、前記帰還マニホールド側プレートの前記帰還マニホールドの幅方向における凹部領域の寸法とが同じである、請求項１に記載の液体吐出装置。
  11. 液体を貯留し、ノズル吐出口と連通する圧力室と、
    前記圧力室内の前記液体へ圧力を付与する圧電体と、
    前記液体を前記圧力室に供給する供給マニホールドと、
    前記ノズル吐出口から吐出されなかった前記液体が流通する帰還マニホールドと、
    前記ノズル吐出口が形成されたノズル面からみて重なるように配置された前記供給マニホールドと前記帰還マニホールドとの間に設けられ、凹部領域が形成されたプレートから構成されるダンパー部と、を備え、
    前記ダンパー部は、
    前記凹部領域が形成され、前記供給マニホールドの外壁の一部をなす供給マニホールド側プレートと、
    前記凹部領域が形成され、前記帰還マニホールドの外壁の一部をなす帰還マニホールド側プレートと、
    積層される前記供給マニホールド側プレートと前記帰還マニホールド側プレートとの間に形成されたダンパー空間と、を有し、
    前記供給マニホールドは、タンクから供給される液体を流入させるための供給口である供給ポートを有し、
    前記供給マニホールド側プレートの凹部領域および前記帰還マニホールド側プレートの凹部領域は、前記ノズル面からみて、前記供給ポートと重なるように配置されている、液体吐出装置。
  12. 前記ダンパー空間と大気とを連通させる連通部を備える、請求項１～１１のいずれか１項に記載の液体吐出装置。
  13. 前記ダンパー空間は密閉されている、請求項１～１１のいずれか１項に記載の液体吐出装置。
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