JP7159018B2 - 液体吐出ヘッド、及び液体吐出装置 - Google Patents

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Description

本発明の実施形態は、液体吐出ヘッド及び液体吐出装置に関する。
液体を吐出する液体吐出ヘッドにおいて、ノズルを有する駆動ベースの吐出面に、電極などの実装部を配する構成が知られている。例えば、吐出面上に形成された電極は、ＡＣＦ（Ａｎｉｓｏｔｒｏｐｉｃ Ｃｏｎｄｕｃｔｉｖｅ Ｆｉｌｍ）を介して、駆動ＩＣを搭載したＣＯＦ（Ｃｈｉｐ ｏｎ Ｆｉｌｍ）に、接続される。このような液体吐出ヘッドにおいて、ノズルの周囲の実装部に液体が付着することを防止するために、吐出面上の実装部を覆うマスクプレートが設けられる。マスクプレートは例えば所定厚さを有する板状部材であり、例えば接着層を介して吐出面上に接着される。マスクプレートの表面は吐出面よりも吐出方向に突出することから、液体吐出ヘッドの吐出側の表面に段差ができる。このため、メンテナンス時のワイプ処理においてワイプ部材と吐出面とが接触し難くなる等、吐出面の処理が妨げられることがある。
特開２０１０－２６０３１１号公報
本発明が解決しようとする課題は、吐出面の処理が容易となる、液体吐出ヘッド、及び液体吐出装置を提供することである。
実施形態に係るインクジェットヘッドは、駆動ベースと、実装部と、マスクプレートと、を備える。駆動ベースは、複数のノズルを有する。実装部は前記駆動ベースの表面に配される。マスクプレートは、前記駆動ベースの表面の少なくとも一部を覆うとともに、前記駆動ベースと対向する対向面に、前記実装部に対向する凹部を有する。前記凹部の深さは前記マスクプレートの板厚の４／５未満である。
一実施形態にかかるインクジェットヘッドの斜視図。 同インクジェットヘッドの斜視図。 同インクジェットヘッドの一部を示す斜視図。 同インクジェットヘッドの一部を示す断面図。 同インクジェットヘッドの一部を拡大して示す説明図。 同インクジェットヘッドの駆動ベースの一部の構成を示す断面図。 同駆動ベースの一部の構成を示す断面図。 同インクジェットヘッドのマスクプレートの斜視図。 同インクジェットヘッドのマスクプレート及び駆動ベースの構成を示す説明図。 一実施形態にかかるインクジェット装置の説明図。 他の実施形態にかかるインクジェットヘッドの一部を示す断面図。 同インクジェットヘッドの一部を示す斜視図。
以下に、第１実施形態に係るインクジェットヘッド（液体吐出ヘッド）１及びインクジェット装置（液体吐出装置）１００について、図１乃至図１０を参照して説明する。図１及び図２は、一実施形態にかかるインクジェットヘッド１の斜視図である。図３及び図４はインクジェットヘッド１の一部を示す斜視図及び断面図である。図５はインクジェットヘッド１の一部を拡大して示す説明図である。図６及び図７は駆動ベースの一部の構成を示す断面図である。図８はマスクプレート３０の斜視図である。図９はインクジェットヘッド１の一部を分解して示す斜視図であり、マスクプレート３０及び駆動ベース１０を示している。
図１乃至図９に示すインクジェットヘッド１は、例えばベントモードのＭＥＭＳ方式のインクジェットヘッドである。インクジェットヘッド１は、例えば図１０に示すインクジェット装置１００などの液体吐出装置に、ノズル１２ａが下方に向く姿勢で配置される。インクジェットヘッド１は、液体として例えばインクを吐出することで、対向して配置される記録媒体に所望の画像を形成する。
なお、ベントモードのＭＥＭＳ方式のインクジェットヘッドに限らず、シェアモードシェアードウォール方式のインクジェットヘッドであっても良い。
図１乃至図９に示すように、インクジェットヘッド１は、複数のノズル１２ａを有する駆動ベース１０と、所定の流路を形成する流路ベース２０と、駆動ベース１０の吐出側の吐出面１０ａを保護するマスクプレート３０と、を備える。
駆動ベース１０は、例えば矩形の板状に構成されたＭＥＭＳチップであり、複数の圧力室１１ａを有するベース層１１に、圧力室１１ａに連通する複数のノズル１２ａが形成された圧電振動板１２が、一体に設けられて構成されている。
ベース層１１は、例えば単結晶シリコンウエハで構成され、複数の圧力室１１ａが形成されている。各圧力室１１ａは、インクを保持する例えば円柱状の空間を構成する。複数の圧力室１１ａは互いに隔てられる。
圧電振動板１２は、振動板１３、アクチュエータ１４、実装部１６、及び保護層１７を備える。圧電振動板１２には、貫通孔である複数のノズル１２ａが形成される。例えば本実施形態においては、所定の第１方向に沿って複数のノズル１２ａが並んで形成されるノズル列が２列配される。なお、ノズル１２ａは、列方向及び行方向に２次元配列し、行方向に並ぶノズル１２ａは、行方向の軸線上にノズル１２ａが重ならないように斜めに配列しても良い。また、ノズル列は２列に限らず、例えば８列であってもよい。
振動板１３は、ベース層１１上に成膜された層であり、例えばＳｉＯ２膜（二酸化ケイ素）で構成される。
アクチュエータ１４は、圧電体１４ａと、圧電体１４ａを挟む一対の電極１４ｂ、１４ｃを積層して備える。
圧電体１４ａは例えばＰＺＴ（チタン酸ジルコン酸鉛）等の圧電セラミック材料等で構成される。圧電体１４ａは、例えば駆動ベース１０の内部に作り込まれ、ノズル１２ａの周りを囲む円形状にパターニングされている。
第１の電極１４ｂは圧電体１４ａに接続される２つの電極のうちの一方であり、圧電体１４ａの圧力室１１ａ側に成膜される。第１の電極１４ｂは個別配線１４ｄに接続される。
第２の電極１４ｃは圧電体１４ａに接続される２つの電極のうちの他方であり、圧電体１４ａの吐出面側に成膜される。第２の電極１４ｃは共通配線１４ｅに接続される。
個別配線１４ｄ及び共通配線１４ｅは所定のパターンにて形成された配線であり、実装部１６に至って形成され、あるいは実装部１６に電気的に接続される。保護層１７と振動板１３の境界には、個別配線１４ｄと共通配線１４ｅの短絡を防ぐ絶縁層１４ｆが設けられる。絶縁層１４ｆはコンタクトホール１４ｇが形成され、コンタクトホール１４ｇによって第２の電極1４ｃと共通配線１４ｅとが電気的に接続される。
したがって、アクチュエータ１４は、実装部１６、ＡＣＦ（異方性導電フィルム）５３、及びＣＯＦ５２の配線パターンを介して、駆動ＩＣ５４に電気的に接続されている。
実装部１６は、例えば電極１６ａを有する。実装部１６は、例えば吐出面１０ａ上であってノズル列の側部に形成されている。実装部１６の電極１６ａは、個別配線１４ｄや共通配線１４ｅに接続されるとともに、ＡＣＦ５３を介してＣＯＦ５２に接続される。
流路ベース２０は、駆動ベース１０のインク吐出側とは反対側に組付けられ、駆動ベース１０に接合される。流路ベース２０は、矩形状に構成されインクジェットヘッド１の外郭を構成するとともに内部に所定のインク流路を有する、マニフォルドである。
インク流路は、複数の圧力室１１ａにそれぞれ連通する共通室２３を有する。流路ベース２０の、駆動ベース１０とは反対側の端部には、共通室２３に連通する流路を構成する供給管２７及び回収管２８が接続される。
供給管２７は、インク流路の上流側に連通する所定の流路を形成する管状部材である。回収管２８は、インク流路の下流側に連通する所定の流路を形成する管状部材である。
図２乃至図５に示すように、マスクプレート３０は、インクジェットヘッド１の外郭の一部を構成する。マスクプレート３０は、例えばＳＵＳ材等の金属材料で構成された板部材が曲成され、吐出面１０ａの所定領域を覆うトッププレート部３１と、駆動ベース１０の外周に配されるサイドプレート部３２とを一体に有する断面Ｌ字状に構成される。
トッププレート部３１の、駆動ベース１０と対向する対向面３１ａには、所定深さの凹部３３が形成される。例えば凹部３３の深さはマスクプレート３０の板厚の４／５未満である。本実施形態においては、マスクプレート３０の板厚は０．１ｍｍ、凹部３３の深さは０．０５～０．０８ｍｍとする。例えば、マスクプレート３０は、トッププレート部３１とサイドプレート部３２とが平面状に面一に連続した板状部材の所定箇所を、エッチング処理により抉り取ることで凹部３３を形成した後、Ｌ字に折曲して製造される。
ＣＯＦ５２は、表面に例えば駆動ＩＣ５４等の実装部品が実装されたフィルム状の配線基板である。ＣＯＦ５２の一端側はＡＣＦ５３を介して実装部１６の電極１６ａに接続されている。ＣＯＦ５２の他端側は各種の電子部品が実装された回路基板５０に接続されている。回路基板５０は、例えばフレキシブルケーブル５１により外部の電子機器に電気的に接続される。
ＡＣＦ５３は、異方性導電材料で構成され、例えば電極１６ａとＣＯＦ５２との間に介在して圧着されることで、電極１６ａとＣＯＦ５２とを機械的に接合するとともに電気的に接続する。
駆動ＩＣ５４は、ＣＯＦ５２の配線パターンを介して回路基板５０上の実装部品や配線パターンに接続される。また駆動ＩＣ５４はＣＯＦ５２の配線パターン及び実装部１６の電極１６ａを介して圧力室１１ａ内のアクチュエータ１４に電気的に接続される。
接着層５５はエポキシ系などの接着剤で構成されている。接着層５５は、ＣＯＦ５２とマスクプレート３０との間、及び吐出面１０ａとマスクプレート３０との間に配され、ＣＯＦ５２とマスクプレート３０と吐出面１０ａとを接着する。接着層５５は一部がマスクプレート３０の凹部３３に収容される。
すなわち、接合部分において、吐出面１０ａ上の実装部１６の電極１６ａの吐出側に、ＡＣＦ５３を介してＣＯＦ５２の一部が積層して配され、さらにＣＯＦ５２の吐出側に接着層５５を介してマスクプレート３０が積層して配され、これらが積層方向に圧着されることで、吐出面１０ａと電極１６ａとＣＯＦ５２とマスクプレート３０とが接合される。
以上のように構成されたインクジェットヘッド１は、駆動ＩＣ５４により駆動電圧を印加することで、アクチュエータ１４を変形させ、圧力室１１ａの容積を増減することで、圧力室１１ａに対向するノズル１２ａから液滴を吐出させる。
以下、インクジェットヘッド１を有するインクジェット装置１００について、図１０を参照して説明する。図１０はインクジェット装置１００としてインクジェットプリンタの構成を示す説明図である。図１０に示すように、インクジェット装置１００は、筐体１１１と、媒体供給部１１２と、画像形成部１１３と、媒体排出部１１４と、支持装置である搬送装置１１５と、メンテナンス装置１１６と、制御部１１７と、を備える。
インクジェット装置１００は、媒体供給部１１２から画像形成部１１３を通って媒体排出部１１４に至る所定の搬送路Ａ１に沿って、吐出対象物である記録媒体として例えば用紙Ｐを搬送しながらインク等の液体を吐出することで、用紙Ｐに画像形成処理を行うインクジェットプリンタである。
媒体供給部１１２は複数の給紙カセット１１２ａを備える。媒体排出部１１４は、排紙トレイ１１４ａを備える。画像形成部１１３は、用紙を支持する支持部１１８と、支持部１１８の上方に対向配置された複数のヘッドユニット１３０と、を備える。
支持部１１８は、画像形成を行う所定領域にループ状に備えられる搬送ベルト１１８ａと、搬送ベルト１１８ａを裏側から支持する支持プレート１１８ｂと、搬送ベルト１１８ａの裏側に備えられた複数のベルトローラ１１８ｃと、を備える。
ヘッドユニット１３０は、複数のインクジェットヘッド１と、各インクジェットヘッド１上にそれぞれ搭載された液体タンクとしての複数の供給タンク１３２と、インクジェットヘッド１と供給タンク１３２とを接続する接続流路１３３と、循環部である循環ポンプ１３４と、を備える。ヘッドユニット１３０は、液体を循環させる循環型のヘッドユニットである。
本実施形態において、インクジェットヘッド１としてシアン、マゼンダ、イエロー、ブラックの４色のインクジェットヘッド１Ｃ，１Ｍ，１Ｙ，１Ｂと、これらの各色のインクをそれぞれ収容する供給タンク１３２として、供給タンク１３２Ｃ，１３２Ｍ，１３２Ｙ，１３２Ｂを備える。供給タンク１３２は接続流路１３３によってインクジェットヘッド１に接続される。接続流路１３３は、インクジェットヘッド１の供給管２７に接続される供給流路１３３ａと、インクジェットヘッド１の回収管２８に接続される回収流路１３３ｂと、を備える。
また、供給タンク１３２には、図示しないポンプなどの負圧制御装置が連結されている。そして、インクジェットヘッド１と供給タンク１３２との水頭値に対応して、負圧制御装置により供給タンク１３２内を負圧制御することで、インクジェットヘッド１の各ノズルに供給されたインクを所定形状のメニスカスに形成させている。
循環ポンプ１３４は、例えば圧電ポンプで構成される送液ポンプである。循環ポンプ１３４は、供給流路１３３ａに設けられている。循環ポンプ１３４は、配線により制御部１１７に接続され、ＣＰＵ（Ｃｅｎｔｒａｌ Ｐｒｏｃｅｓｓｉｎｇ Ｕｎｉｔ）１１７ａの制御によって制御可能に構成されている。循環ポンプ１３４は、インクジェットヘッド１と供給タンク１３２を含む循環流路で液体を循環させる。
搬送装置１１５は、媒体供給部１１２の給紙カセット１１２ａから画像形成部１１３を通って媒体排出部１１４の排紙トレイ１１４ａに至る搬送路Ａ１に沿って、用紙Ｐを搬送する。搬送装置１１５は、搬送路Ａ１に沿って配置される複数のガイドプレート対１２１ａ～１２１ｈと、複数の搬送用ローラ１２２ａ～１２２ｈと、を備えている。搬送装置１１５は、用紙Ｐをインクジェットヘッド１に相対移動可能に支持する。
メンテナンス装置１１６は、例えば吐出面１０ａに当接して移動することで吐出面１０ａの液滴をぬぐうブレード状のワイプ部材１１６ｄを有するワイプ装置１１６ａと、吐出面１０ａの液滴を吸引するサクション装置１１６ｂと、移動装置１１６ｃと、を備える。メンテナンス装置１１６は、インクジェットヘッド１の下方の吐出面１０ａの下に対向配置されるメンテナンス位置と、インクジェットヘッド１の直下から退避した待機位置とで往復移動可能に構成されている。
制御部１１７は、プロセッサ１１７ａと、各種のプログラムなどを記憶するメモリと、外部からのデータの入力及び外部へのデータの出力をするインターフェースと、を備える。例えばメモリには、インクの循環動作、インクの供給動作、圧力調整、温度管理、インクの液面管理などの制御に必要な情報として、各種制御プログラムや動作条件が記憶されている。
搬送装置１１５は、インクジェットヘッド１に対して、記録媒体を相対的に移動する。例えば搬送装置１１５は、記録媒体を保持及び搬送する記録媒体移動機構を備える。また搬送装置１１５は各種の印刷条件に応じて所定のタイミングでインクジェットヘッド１を移動させるヘッド移動機構を備える。
以上のように構成されたインクジェット装置１００の動作について説明する。プロセッサ１１７ａは、例えばインターフェースにおいて印刷指示を検出すると、搬送装置１１５を駆動して用紙Ｐを搬送するとともに、所定のタイミングでインクジェットヘッド１に対して印字信号を出力することで、インクジェットヘッド１を駆動する。インクジェットヘッド１は吐出動作として、画像データに応じた画像信号により、圧電素子を選択的に駆動してノズル１２ａからインクを吐出して、対向位置に保持された記録媒体に画像を形成する。このとき、インクは、供給タンク１３２から、供給管２７を通って流路ベース２０内のインク流路を経て複数の圧力室１１ａへ至り、圧力室１１ａに対向配置されたノズル１２ａから吐出される。一方、インクは、圧力室１１ａから共通室２３、回収管２８、を通って供給タンク１３２に回収され、循環する。
また、プロセッサ１１７ａは、所定のタイミングでメンテナンス装置１１６の移動装置１１６ｃを駆動し、メンテナンス装置１１６をメンテナンス位置に移動するとともに、ワイプ装置１１６ａやサクション装置１１６ｂを駆動し、クリーニング処理を行う。具体的には例えばワイプ装置１１６ａのブレード状のワイプ部材１１６ｄを吐出面１０ａに当接させた状態で吐出面１０ａの面方向に沿って移動させ、吐出面１０ａに付着した液滴を除去する。また、サクション装置１１６ｂの吸引ノズルを吐出面１０ａに対向させて吸引処理を行う。
本実施形態にかかるインクジェットヘッド１及びインクジェット装置１００によれば、マスクプレート３０に凹部３３が形成されていることから、実装部１６及び接着層５５の一部が収容されることでマスクプレート３０による表面の凹凸や段差を小さくして平坦化することができる。したがって、接合部分の積層方向における段差の寸法ｔ１を小さく抑えられる。このため、例えばワイプ装置１１６ａのワイプ部材１１６ｄが吐出面１０ａに当接しやすく、ワイプメンテナンス処理を効果的に行うことが可能となる。
また、吐出面１０ａとマスクプレート３０との間の隙間が狭くなることから、接着層５５を薄くし、接着剤の量を少なくすることができる。
また、凹部３３の段差によって接着層５５の接着面積を確保できるためシール性が向上する。さらに凹部３３に一部の接着層５５が収容されることから、接着層５５がはみ出しにくくなる。
上述した実施形態によれば、吐出面１０ａの処理が容易に行える。
なお、本発明は上記実施形態の構成に限定されるものではない。
例えば上記実施形態においては、吐出面１０ａの片側であって第１方向の全長に亘る領域に、マスクプレート３０が配される例を示したが、これに限られるものではない。例えば両側にマスクプレート３０を設けてもよいし、全周に亘って設けてもよい。あるいは第１方向のうち一部にのみ設けてもよい。他の実施形態として図１１及び図１２に示すインクジェットヘッド１Ａは、吐出面１０ａの全周にわたってマスクプレート３０が形成されている。マスクプレート３０は、吐出面１０ａの全周を囲むトッププレート部３１と、両側部に配されるサイドプレート部３２と、を有し、中央部分にノズル１２ａが露出する開口を有している。インクジェットヘッド１Ａは、ノズル１２ａの列の両側に、それぞれ、電極１６ａが形成された実装部１６が設けられ、両側の実装部１６上のトッププレート部３１に、凹部３３が形成されている。本実施形態においても、上記第１実施形態と同様の効果が得られる。
上記実施形態において、マスクプレート３０はＬ字状に曲成された構成を例示したが、これに限られるものではない。例えばサイドプレート部３２を有さず、吐出面１０ａに対向する平板状のトッププレート部３１のみで構成されていてもよい。また、凹部３３の領域も上記に限られるものではなく、実装部や接着部の形状等の条件に応じて適宜設定可能であり、例えば実装部１６が複数箇所に配されている場合等に複数の凹部３３を形成してもよい。なお、吐出面１０ａにはさらに撥インク層などの被覆層が形成されていてもよい。
また、吐出する液体はインクに限られるものではなく、インク以外の液体を吐出することもできる。インク以外を吐出する液体吐出装置としては、例えばプリント配線基板の配線パターンを形成するための導電性粒子を含む液体を吐出する装置等であっても良い。
インクジェットヘッド１は、上記の他、例えば静電気で振動板を変形してインク滴を吐出する構造、あるいはヒータ等の熱エネルギーを利用してノズルからインク滴を吐出する構造等でもよい。
また、上記実施形態においては液体吐出装置はインクジェット装置に用いられる例を示したが、これに限られるものではない。例えば３Ｄプリンタ、産業用の製造機械、医療用途にも用いることが可能であり、小型軽量化及び低コスト化が可能である。
以上述べた少なくとも一つの実施形態によれば、ノズル面の処理がしやすい。
本発明のいくつかの実施形態を説明したが、これらの実施形態は、例として提示したものであり、発明の範囲を限定することは意図していない。これら新規な実施形態は、その他の様々な形態で実施されることが可能であり、発明の要旨を逸脱しない範囲で、種々の省略、置き換え、変更を行うことができる。これら実施形態やその変形は、発明の範囲や要旨に含まれるとともに、特許請求の範囲に記載された発明とその均等の範囲に含まれる。
以下に、本願出願の当初の特許請求の範囲に記載された発明を付記する。
[１]
複数のノズルを有する駆動ベースと、
前記駆動ベースの表面に配される実装部と、
前記駆動ベースの表面の少なくとも一部を覆うとともに、前記駆動ベースと対向する対向面に、前記実装部に対向する凹部を有する、マスクプレートと、
を備える、液体吐出ヘッド。
[２]
前記駆動ベースは、複数の前記ノズルにそれぞれ連通する空間である圧力室と、前記圧力室を駆動するアクチュエータと、を備え、
前記実装部は、前記駆動ベースの表面に形成され、前記アクチュエータに接続される電極を有し、
前記マスクプレートと前記駆動ベースの前記表面との間に、前記実装部と接着層とが配され、
前記凹部に前記実装部及び前記接着層の少なくとも一部が収容される、[１]に記載の、液体吐出ヘッド。
[３]
前記駆動ベースのインク吐出側の反対側に配されるとともに、圧力室に連通するインク流路を構成する流路ベースと、
前記実装部に異方性導電材を介して接続されるとともに駆動ＩＣを搭載するＣＯＦと、を備え、
前記マスクプレートは、金属材料で構成され、前記ノズルの前記表面に対向配置されるトッププレートと、前記駆動ベースの外周に配されるサイドプレートとを一体に有する、[２]に記載の液体吐出ヘッド。
[４]
前記凹部の深さは前記マスクプレートの板厚の４／５未満である、[１]に記載の液体吐出ヘッド。
[５]
[１]乃至[４]のいずれかに記載の液体吐出ヘッドと、
前記駆動ベースの表面に当接するワイプ部材を備えるメンテナンス装置と、
を備える、液体吐出装置。
１（１Ｃ，１Ｍ，１Ｙ，１Ｂ）、１Ａ…インクジェットヘッド、１０…駆動ベース、１０ａ…吐出面、１１…ベース層、１１ａ…圧力室、１２…圧電振動板、１２ａ…ノズル、１３…振動板、１４…アクチュエータ、１４ａ…圧電体、１４ｂ…第１の電極、１４ｃ…第２の電極、１４ｄ…個別配線、１４ｅ…共通配線、１４ｆ…絶縁層、１４ｇ…コンタクトホール、１６…実装部、１６ａ…電極、１７…保護層、２０…流路ベース、２３…共通室、２７…供給管、２８…回収管、３０…マスクプレート、３１…トッププレート部、３１ａ…対向面、３２…サイドプレート部、３３…凹部、５０…回路基板、５１…フレキシブルケーブル、５２…ＣＯＦ、５３…ＡＣＦ、５４…駆動ＩＣ、５５…接着層、１００…インクジェット装置、１１１…筐体、１１２…媒体供給部、１１２ａ…給紙カセット、１１３…画像形成部、１１４…媒体排出部、１１４ａ…排紙トレイ、１１５…搬送装置、１１６…メンテナンス装置、１１６ａ…ワイプ装置、１１６ｂ…サクション装置、１１６ｃ…移動装置、１１６ｄ…ワイプ部材、１１７…制御部、１１７ａ…プロセッサ、１１８…支持部、１１８ａ…搬送ベルト、１１８ｂ…支持プレート、１１８ｃ…ベルトローラ、１２１ａ～１２１ｈ…ガイドプレート対、１２２ａ～１２２ｈ…搬送用ローラ、１３０…ヘッドユニット、１３２…供給タンク、１３２Ｂ…供給タンク、１３２Ｃ…供給タンク、１３２Ｍ…供給タンク、１３２、Ｙ…供給タンク、１３３…接続流路、１３３ａ…供給流路、１３３ｂ…回収流路、１３４…循環ポンプ、Ａ１…搬送路。

Claims (4)

  1. 複数のノズルを有する駆動ベースと、
    前記駆動ベースの表面に配される実装部と、
    前記駆動ベースの表面の少なくとも一部を覆うとともに、前記駆動ベースと対向する対向面に、前記実装部に対向する凹部を有する、マスクプレートと、
    を備え、
    前記凹部の深さは前記マスクプレートの板厚の４／５未満である、液体吐出ヘッド。
  2. 前記駆動ベースは、複数の前記ノズルにそれぞれ連通する空間である圧力室と、前記圧力室を駆動するアクチュエータと、を備え、
    前記実装部は、前記駆動ベースの表面に形成され、前記アクチュエータに接続される電極を有し、
    前記マスクプレートと前記駆動ベースの前記表面との間に、前記実装部と接着層とが配され、
    前記凹部に前記実装部及び前記接着層の少なくとも一部が収容される、請求項１に記載の、液体吐出ヘッド。
  3. 前記駆動ベースのインク吐出側の反対側に配されるとともに、前記圧力室に連通するインク流路を構成する流路ベースと、
    前記実装部に異方性導電材を介して接続されるとともに駆動ＩＣを搭載するＣＯＦと、を備え、
    前記マスクプレートは、金属材料で構成され、前記ノズルの前記表面に対向配置されるトッププレートと、前記駆動ベースの外周に配されるサイドプレートとを一体に有する、請求項２に記載の液体吐出ヘッド。
  4. 請求項１乃至請求項３のいずれかに記載の液体吐出ヘッドと、
    前記駆動ベースの表面に当接するワイプ部材を備えるメンテナンス装置と、
    を備える、液体吐出装置。
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