CN108025551A - 喷墨头以及喷墨记录装置 - Google Patents

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Abstract

本发明的课题在于提供能够实现小型且高分辨率化、是墨水能够循环的结构、并且能够稳定且高频率地排出液滴的喷墨头以及喷墨记录装置。本发明的喷墨头(1)的特征在于，具备：多个喷嘴(N)，喷出墨水；多个压力室(202)，分别与多个喷嘴(N)连通，填充有墨水；多个压力产生部(40)，向多个压力室(202)内的墨水施加压力；循环流路(206)，从自压力室(202)的入口(202a)到喷嘴(N)的出口(Nb)的墨水流路分支设置，能够排出多个压力室(202)内的墨水；以及第一阻尼器(212)、第二阻尼器(222)，与循环流路(206)相面对设置，能够根据压力而弹性变形来改变循环流路的容积。

Description

喷墨头以及喷墨记录装置
技术领域
本发明涉及喷墨头以及喷墨记录装置。
背景技术
以往，已知有从喷墨头所具备的多个喷嘴喷出墨水的液滴而在记录介质形成图像的喷墨记录装置。
在这样的喷墨记录装置中，存在由于在喷墨头内产生的气泡或混入的异物等，而喷嘴堵塞，产生喷出不良等问题的情况。另外，根据墨水的种类，存在若长时间不使用，则由于墨水粒子的沉降等喷嘴附近的墨水粘度增高，难以得到稳定的墨水的喷出性能的情况。
因此，已知有能够通过在喷墨头的头芯片设置墨水的循环流路，来使头内的气泡等与墨水一起在该循环流路中流动的喷墨记录装置。
例如，专利文献1公开有一种喷墨头，具备：喷嘴，排列成多列；共用供给流路(流体入口通路)，对与各喷嘴连通的各压力室(泵室)的每一个共同地供给墨水；以及共用循环流路(再循环通道)，连通多个排出各喷嘴附近的墨水的循环流路。
专利文献1：日本专利第5563332号公报
另外，近年来，为了喷墨的小型化或图像的高分辨率化而需要将喷嘴高密度地配置。然而，在如专利文献1所记载那样的、在头芯片具备共用供给流路和共用循环流路的构成中，在头芯片内部需要比较大的容积的共用循环流路以及共用供给流路(共用供给液体室)，所以存在头芯片容易大型化，难以高密度地配置喷嘴这样的问题。
另外，若为了减小头芯片而简单地缩窄循环流路，则存在容易产生循环流路内的压力变动这样的问题，或在液滴排出后从墨水循环流路侧向压力室的墨水供给不足。因此，产生为了高效地进行气泡等的除去而加快循环流速的情况、或供给力不足时喷嘴的弯月面破裂而墨水从喷嘴漏出等的担忧。
发明内容
本发明是鉴于这样的问题而完成的，本发明的课题在于提供能够实现小型且高分辨率化、是墨水能够循环的结构、并且能够稳定且高频率地排出液滴的喷墨头以及喷墨记录装置。
为了解决上述课题，技术方案1所记载的发明是喷墨头，其特征在于，具备：
多个喷嘴，喷出墨水；
多个压力室，分别与上述多个喷嘴连通，填充有墨水；
多个压力产生单元，分别与上述多个压力室对应地设置，向压力室内的墨水施加压力；
循环流路，从自上述压力室的入口到上述喷嘴的出口的墨水流路分支设置，能够排出上述多个压力室内的墨水；以及
阻尼器，与上述循环流路相面对设置，能够根据压力而弹性变形来改变上述循环流路的容积。
技术方案2所记载的发明是根据技术方案1所记载的喷墨头，其特征在于，
上述循环流路从上述墨水流路中的从上述压力室的出口侧的端部到上述喷嘴的出口的部分分支设置。
技术方案3所记载的发明是根据技术方案1或者2所记载的喷墨头，其特征在于，
上述墨水流路具有将上述喷嘴与上述压力室连通的连通路，
上述循环流路从上述连通路分支设置。
技术方案4所记载的发明是根据技术方案1～3中的任意一项所记载的喷墨头，其特征在于，
上述循环流路具有：与上述墨水流路连通的多个独立循环流路以及使上述多个独立循环流路中的至少两个独立循环流路连通的共用循环流路，
上述阻尼器与上述共用循环流路相面对设置。
技术方案5所记载的发明是根据技术方案4所记载的喷墨头，其特征在于，
上述阻尼器被设置于上述共用循环流路的上部以及下部中的至少一方，在与上述共用循环流路侧相反侧，与该阻尼器相面对具有空气室。
技术方案6所记载的发明是根据技术方案5所记载的喷墨头，其特征在于，
上述空气室的容积小于上述共用循环流路的容积。
技术方案7所记载的发明是根据技术方案5或者6所记载的喷墨头，其特征在于，
上述空气室具有与大气连通的大气连通部。
技术方案8所记载的发明是根据技术方案4～7中的任意一项所记载的喷墨头，其特征在于，
上述多个喷嘴以一列或者多列来进行排列，
设置有上述阻尼器的区域与设置有上述多个喷嘴的区域的上述多个喷嘴的排列方向的端部的喷嘴的位置相比向上述多个喷嘴的排列方向延伸突出。
技术方案9所记载的发明是根据技术方案4～8中的任意一项所记载的喷墨头，其特征在于，
上述多个喷嘴以多列进行排列，
按上述多列中的每一列或者每两列设置有上述共用循环流路。
技术方案10所记载的发明是一种喷墨记录装置，其特征在于，具备：
技术方案1～9中的任意一项所记载的喷墨头；以及
循环单元，用于使从上述墨水流路向上述循环流路的循环流产生。
根据本发明，在具有墨水能够循环的流路的喷墨头中，能够实现小型且高分辨率化，是墨水能够循环的结构，并且能够稳定且高频率地排出液滴。
附图说明
图1是表示喷墨记录装置的概略结构的立体图。
图2A是从喷墨头的上方观察的立体图。
图2B是从喷墨头的下方观察的立体图。
图3A是表示头芯片内的致动器基板的上表面的主要部分的俯视图。
图3B是喷嘴基板的仰视图。
图4是表示图3A的IV-IV的剖面的喷墨头的剖视图。
图5是喷墨头的剖面的放大图。
图6是对墨水的循环机构的构成进行说明的示意图。
具体实施方式
以下，参照附图对本发明优选的实施方式进行说明。其中，发明的范围并不局限于图示例。另外，在以下的说明中，对具有相同的功能以及构成的部件标注相同的附图标记，并省略其说明。
此外，在以下的说明中，将仅通过使用了行式头的记录介质的输送来进行绘制的单遍绘制方式的实施方式作为例子进行了说明，但能够应用于适当的绘制方式，例如，也可以采用使用了扫描方式或鼓方式的绘制方式。
另外，在以下的说明中，将记录介质R的输送方向作为前后方向，将在记录介质R的输送面上与该输送方向正交的方向作为左右方向，将与前后方向以及左右方向垂直的方向(墨水的喷出方向)作为上下方向来进行说明。
[喷墨记录装置的概要]
喷墨记录装置100具备台板101、输送辊102、行式头103、104、105、106以及墨水的循环机构6等(参照图1以及图6)。
在台板101的上表面支承记录介质R，若输送辊102被驱动，则将记录介质R沿输送方向(前后方向)输送。
行式头103、104、105、106从记录介质R的输送方向(前后方向)的上游侧到下游侧在与输送方向正交的宽度方向(左右方向)上并排设置。而且，在行式头103、104、105、106的内部设置有至少一个后述的喷墨头1，例如将青色(C)、品红(M)、黄色(Y)、黑色(K)的墨水朝向记录介质R排出。
此外，将在后面描述墨水的循环机构6(参照图6)。
[喷墨头]
基于图2～5对喷墨头1的构成进行说明。
此外，图3A是用于对头芯片内部的压电体41和独立布线414的配置进行说明的、表示致动器基板23的上表面的主要部分的俯视图。另外，图3B是喷嘴基板21的仰视图。另外，在图3A以及图3B中，由虚线表示形成于其他层的构成要素的一部分。
另外，图4是对于与图3A中由虚线所示的IV-IV部分平行的面而表示喷墨头1的剖面的图。
喷墨头1具备头芯片2、保持部3以及共用墨水室5等(图2A以及图2B等)。
(头芯片)
头芯片2通过喷嘴基板21、中间基板22、致动器基板23以及保护基板24在内部从下侧起按顺序层叠一体化而构成(参照图5)。
喷嘴基板21例如通过由喷嘴层21a、氧化膜层21b、喷嘴支承层21c这3层构成的SOI基板构成。
喷嘴层21a是形成有用于喷出墨水的液滴的喷嘴N的层，由厚度例如是10～20μm的Si基板构成。喷嘴N例如沿着左右方向并排设置多列(例如，4列)(参照图2、图3B)。另外，在喷嘴层21a的下表面亦即喷嘴面形成有拒墨膜(省略图示)。
氧化膜层21b例如由厚度为0.3～1.0μm的SiO2基板构成。
喷嘴支承层21c例如由厚度为100～300μm的Si基板构成。在喷嘴支承层21c形成有与喷嘴N连通且直径比喷嘴N大的大径部211、和从大径部211在前后方向上分支设置且使用于墨水的循环的独立循环流路204。另外，与独立循环流路204的下表面相面对地形成有第一阻尼器212。
第一阻尼器212由喷嘴层21a的较薄的Si基板构成，能够根据压力而稍微弹性变形来改变独立循环流路204的容积。例如，若加快墨水的循环流速，则施加于独立循环流路204内的压力增高，由此第一阻尼器212朝向下方向弹性变形，从而能够防止墨水流路的急剧的压力变动。另外，通过第一阻尼器212变形，能够经由大径部211向液滴排出后的压力室202迅速地供给墨水。
喷嘴层21a以及喷嘴支承层21c分别由Si基板构成，所以能够通过干式蚀刻或湿式蚀刻容易地加工。另外，氧化膜层21b是蚀刻速率非常低的层，所以在将喷嘴层21a和喷嘴支承层21c分别朝向氧化膜层21b加工的情况下，即使在喷嘴层21a或者喷嘴支承层21c有加工不匀，也能够利用氧化膜层21b控制加工。
这里，因为独立循环流路204由与氧化膜层21b相面对的空隙部形成，所以被高精度地加工制造。此外，也可以在形成了与氧化膜层21b相面对的空隙部之后，通过使用缓冲氢氟酸(BHF)等的湿式蚀刻处理除去氧化膜层21b。
中间基板22例如由厚度为100～300μm的Si基板构成，在中间基板22设置有连通孔221、共用循环流路205以及第二阻尼器222。
连通孔221沿上下方向贯通中间基板22并与大径部211连通。连通孔221和大径部211成为将压力室202和喷嘴N连通的连通路203，在墨水的喷出时成为墨水流路。
此外，连通孔221也可以形成为：通过成为缩小墨水通过的路径的直径的形状等调整墨水的流路的形状，来调整在墨水的喷出时施加于墨水的动能。
共用循环流路205设置于位于后述的安装部4(参照图5)的下部的位置，使形成于喷嘴支承层21c的多个独立循环流路204连通，从多个独立循环流路204流过来的墨水合流。另外，在以下的说明中，将独立循环流路204和共用循环流路205一起称为循环流路206。
第二阻尼器222例如由厚度为1～30μm的Si基板构成，与共用循环流路205的上表面相面对设置，在第二阻尼器222的上表面形成有空气室223。第二阻尼器222能够根据共用循环流路205与空气室223的压力差而弹性变形，来改变共用循环流路205的容积。例如，在一次对压力室202施加压力而墨水一次向共用循环流路205流入的情况下，共用循环流路205内的压力增高，第二阻尼器222朝向上方向弹性变形，从而能够防止墨水流路的急剧的压力变动。
而且，在紧接液滴排出之后，向上方向弹性变形了的第二阻尼器222迅速地向下方向弹性变形，从而能够向因排出而失去了墨水的压力室202微小并且迅速地供给恒定量墨水，所以能够防止位于中途位置的喷嘴N中的弯月面破裂。
另外，如图3B所示，第二阻尼器222所设置的区域形成为：在设置有多个喷嘴N的区域A1的喷嘴的排列方向(左右方向)上，与右端的喷嘴Nr以及左端的喷嘴Nl的位置相比，分别向喷嘴N的排列方向(左右方向)延伸突出。
此外，第二阻尼器222可以与共用循环流路205的下表面相面对设置，也可以与上表面以及下表面的双方相面对设置。
空气室223形成为具有第二阻尼器222能够弹性变形的厚度(例如，1～100μm)。另外，空气室223的容积形成为小于共用循环流路205的容积。
另外，空气室223成为具有与大气连通的大气连通部224(参照图5)，且能够用盖等开闭大气连通部224的构成。由此，能够调整空气室223的压力，能够调整第二阻尼器222弹性变形时的变形量。
此外，空气室223也不一定必须具有大气连通部224，也可以为封闭于头芯片2内部的空间。
作为配置有多个压力产生部40(压力产生单元)的基板的致动器基板23由压力室层23a、振动层23b构成，由SOI基板形成。
压力室层23a例如由100～300μm左右的Si基板构成，在压力室层23a形成有压力室202。压力室202与中间基板22的连通路203连通，填充有从喷嘴N喷出的墨水。
振动层23b例如是20～30μm左右的较薄的能够弹性变形的Si基板，形成于压力室层23a的上表面的一面。振动层根据设置于振动层23b的上表面的压电体41的动作而振动，向设置于压电体41的下部的压力室202内的墨水施加压力。另外，在振动层23b的上表面设置有压力产生部40。
作为压力产生单元的压力产生部40从下起按顺序由下部电极411、压电体41以及上部电极413等构成，若从外部向电极间施加电压，则压电体41伸缩，从而在上下方向上产生位移。
具体而言，在振动层23b的上表面，将钛(Ti)或白金(Pt)等薄膜状的层成膜而形成下部电极411，通过溅射法或溶胶-凝胶法等将锆钛酸铅(PZT)等压电材料的薄膜状的层成膜而形成压电体41，通过将铬(Cr)或金(Au)等薄膜状的层成膜而形成上部电极413。这里，在下部电极411和与上部电极413连接的独立布线414之间形成有SiO2等绝缘层412。另外，这些层通过光刻或蚀刻等被图案化，通过对作为支承层的Si基板进行蚀刻来形成。
这样，压力产生部40与振动层23b一体形成。这里所说的“一体形成”具体而言是在振动层23b的上表面例如通过具有上述那样的各电极以及压电体的层叠工序的半导体工艺来进行形成，但并不局限于此，是指不使用将层彼此粘合的粘合剂来进行形成。此外，上述压力产生部40例如能够通过日本专利第4935965号公报所记载的半导体工艺等来制造。
压电体41与喷嘴列对应地排列成多列(参照图3B)。另外，在该多列中的一对相邻的列的彼此面对的方向上，从上部电极413呈列状地引出独立布线414，独立布线414的端部和作为电器元件的柔性印刷电路基板42在安装部4电连接。独立布线414和柔性印刷电路基板42例如通过隔着各向异性导电膜(ACF)进行热压接，从而各自所设置的连接端子电连接。
而且，从与柔性印刷电路基板42连接的驱动IC43通过柔性印刷电路基板42供电，从而向夹着压电体41的电极间施加电压。
独立布线414通过形成上述的压力产生部40的半导体工艺，在致动器基板上一体形成。另外，因为能够在致动器基板上形成安装部4，所以不需要另外设置布线用的基板，能够简化头芯片2的构成。
保护基板24例如是由42合金构成的基板，形成有收容压力产生部40等的空间部。另外，在保护基板24独立于该空间部地形成有沿上下方向贯通的供给流路201，连通共用供给液体室51和压力室202。
接下来，对头芯片2内部的墨水的循环路径进行说明。墨水从共用墨水室5的共用供给液体室51分别供给至与各喷嘴N对应地设置的供给流路201。接下来，墨水流过压力室202、···、连通路203、···，并从连通路203分支流向独立循环流路204、···。接下来，来自各独立循环流路204、···的墨水在共用循环流路205合流并朝向头芯片2的左右方向的端部流动，最终排出到共用墨水室5的共用排出液体室52(参照图3～图5等)。
此外，从确保设置安装部4以及共用循环流路205的空间的观点来看，优选如上述那样按多个喷嘴列中的每两列来设置安装部4以及共用循环流路205，但也可以构成为按每一列来设置。
另外，在上述的说明中，示出了循环流路206从将喷嘴N和压力室202连通的连通路203分支设置的例子，但从自压力室202的入口202a到喷嘴N的出口Nb的墨水流路分支设置即可。这里，优选循环流路206从该墨水流路中的从压力室202的出口202b侧的端部到喷嘴N的出口Nb的部分分支设置。
在图5中分别示出压力室202的入口202a(墨水入口)及出口202b(与喷嘴N的入口Na连通的墨水出口)、和喷嘴N的入口Na(墨水入口)及出口Nb(墨水出口)。
另外，在将循环流路206从喷嘴N分支的情况下，优选在将喷嘴N作为贯通孔而形成的基板作为喷嘴形成基板时，在该喷嘴形成基板的压力室202侧的面形成与各喷嘴N对应地形成且成为循环流路206的槽，并且使该喷嘴形成基板与形成有与喷嘴N连通的流路的流路基板接合，由此来构成循环流路206。
这里，共用循环流路205既可以形成于喷嘴形成基板，也可以形成于流路基板。
例如，在形成于流路基板的情况下，优选在喷嘴形成基板形成与各喷嘴N对应地形成且到达与一侧邻接的共用循环流路205的槽(独立循环流路204)，并且使该喷嘴形成基板与形成有共用循环流路205的流路基板接合，由此来构成循环流路206。
例如，在图5的实施方式中，不形成氧化膜层21b或喷嘴支承层21c，将喷嘴层21a例如作为厚度为100～300μm的喷嘴形成基板，在该喷嘴形成基板的中间基板22侧的面形成与各喷嘴N连通地形成且到达与另一侧邻接的共用循环流路205且成为独立循环流路204的槽，并且使该喷嘴形成基板与中间基板22(流路基板)接合，由此能够形成独立循环流路204、共用循环流路205。在不设置中间基板22的情况下，在构成压力室层23a的压力室基板设置共用循环流路205、第二阻尼器222、空气室223，并且使喷嘴形成基板与压力室基板(流路基板)接合，由此来形成独立循环流路204、共用循环流路205即可。
另外，在将循环流路206从喷嘴N分支的情况下，优选成为喷嘴N的孔径从喷嘴N的入口Na侧起逐渐减少的锥状。
在将循环流路206从压力室202的出口202b侧的端部分支的情况下，优选在形成有压力室202的压力室基板的喷嘴N侧的面形成与各压力室202对应地形成且成为循环流路206的槽，并且使该压力室基板与形成有与压力室202连通的流路的流路基板接合，由此来构成循环流路206。
共用循环流路205既可以形成于压力室基板，也可以形成于流路基板。
在形成于流路基板的情况下，优选在压力室基板形成与各压力室202对应地形成且到达与一侧邻接的共用循环流路205的槽(独立循环流路204)，并且使该压力室基板与形成有共用循环流路205的流路基板接合，由此来构成循环流路206。
例如，在图5的实施方式中，不形成氧化膜层21b或喷嘴支承层21c，替换中间基板22的空气室223和共用循环流路205的上下的位置而使共用循环流路205位于上部，在构成压力室层23a的压力室基板的中间基板22侧的面形成与各压力室202连通地形成且到达与另一侧邻接的共用循环流路205并成为独立循环流路204的槽，并且使该压力室基板与中间基板22(流路基板)接合，由此能够形成独立循环流路204、共用循环流路205。在不设置中间基板22的情况下，例如，在构成压力室层23a的压力室基板设置共用循环流路205、第二阻尼器222、空气室223，并且使压力室基板与构成喷嘴层21a的喷嘴形成基板(流路基板)接合，由此来形成独立循环流路204、共用循环流路205即可。
(保持部)
保持部3与头芯片2的上表面接合，支承共用墨水室5。能够在将保持部3定位设置在头芯片2的上表面之后，将保持部3作为标记来设置共用墨水室5，所以能够高精度地将共用墨水室5形成在头芯片2的上表面。
另外，从高精度地进行定位的观点来看，优选在头芯片2和保持部3分别设置对准标记(省略图示)来进行接合。
(共用墨水室)
共用墨水室5具有共用供给液体室51和2个共用排出液体室52(参照图2A等)，在各个墨水室例如填充有青色(C)、品红(M)、黄色(Y)以及黑色(K)中的一种颜色。另外，在共用墨水室5，在安装部4的上部的部分具有空间部，以使与安装部4连接的柔性印刷电路基板42能拉出到共用墨水室5的外侧。
共用供给液体室51设置于压力室202的上部且共用墨水室5的中央部，在下表面与设置于头芯片2的供给流路201连通。另外，在共用供给液体室51，从设置于上部的墨水供给口501供给墨水，填充有供给至头芯片2的墨水。
共用排出液体室52在共用墨水室5的左右方向的端部侧设置有2个，与头芯片内的共用循环流路连通。另外，在共用排出液体室52填充有从头芯片2的内部排出的墨水，该墨水从设置于上部的墨水排出口502排出。
[墨水的循环机构]
作为墨水的循环单元的墨水的循环机构6由主储存箱61、供给用副储存箱62以及循环用副储存箱63等构成(图6)。
供给用副储存箱62填充有用于供给至共用墨水室5的共用供给液体室51的墨水，通过墨水流路72与墨水供给口501连接。
循环用副储存箱63填充有从共用墨水室5的共用排出液体室52排出的墨水，通过墨水流路73与墨水排出口502、502连接。
另外，供给用副储存箱62和循环用副储存箱63相对于头芯片2的喷嘴面(以下，也称为“位置基准面”。)设置于上下方向(重力方向)上不同的位置。因此，产生由位置基准面与供给用副储存箱62的水头差引起的压力P1和由位置基准面与循环用副储存箱63的水头差引起的压力P2。
另外，供给用副储存箱62和循环用副储存箱63通过墨水流路74连接。而且，能够通过由泵82施加的压力，将墨水从循环用副储存箱63返回到供给用副储存箱62。
主储存箱61填充有用于向供给用副储存箱62供给的墨水，通过墨水流路71与供给用副储存箱62连接。而且，能够通过由泵81施加的压力，将墨水从主储存箱61供给到供给用副储存箱62。
能够通过上述那样的各副储存箱内的墨水量的调整、甚至通过各副储存箱的上下方向(重力方向)的位置改变，来调整压力P1以及压力P2。而且，能够根据压力P1以及压力P2的压力差，以适当的循环流速循环喷嘴N的上部的墨水。由此，能够除去在头芯片2内产生的气泡，抑制喷嘴的堵塞或喷出不良等。
[本发明中的技术效果]
以上，如所说明的那样，本发明的喷墨头1具备：循环流路206，从自压力室202的入口202a到喷嘴N的出口Nb的墨水流路分支设置，并且能够排出压力室202内的墨水；以及第一阻尼器212、第二阻尼器222，与循环流路206相面对设置，能够根据压力而弹性变形来改变循环流路206的容积。
在本发明的构成中，能够通过在循环流路206设置第一阻尼器212、第二阻尼器222，来抑制墨水流路内的压力变动。由此，能够使喷墨头1小型化。另外，由于抑制了流路内的压力变动，所以是墨水能够循环的结构，并且能够稳定且高频率地排出液滴。由此，也能够得到能够抑制由于产生弯月面破裂而引起的墨水漏出这样的效果。
另外，本发明的喷墨头1能够通过将循环流路206从自压力室202的出口202b侧的端部到喷嘴N的出口Nb的部分分支设置，来使喷嘴N的附近的墨水循环。
另外，本发明的喷墨头1具有将喷嘴N与压力室202连通的连通路203，并且将循环流路206从该连通路203分支设置，由此能够使喷嘴N的附近的墨水循环。
另外，本发明的喷墨头1的第二阻尼器222与共用循环流路205相面对设置。由此，能够将第二阻尼器222设置在更广阔的区域，能够有效地抑制流路内的压力变动。
另外，本发明的喷墨头1的第二阻尼器222设置于共用循环流路205的上部或者下部中的至少一方，在与共用循环流路205侧相反侧，与该第二阻尼器222相面对具有空气室223。通过成为设置这样的空气室223的构成，能够在头芯片2的内部也形成第二阻尼器222。
另外，因为有时喷墨头1的喷嘴面侧与印刷物接触或者与记录装置的维护机构接触，所以为了提高喷墨头1的强度，也优选第二阻尼器222位于喷嘴面的相反侧的上部。
另外，本发明的喷墨头1的空气室223的容积小于共用循环流路205的容积。由此，能够在头芯片2内的有限的空间内设置空气室223，能够使共用循环流路205的容积比较大。
另外，本发明的喷墨头1的空气室223具有与大气连通的大气连通部224。由此，能够调整空气室223内的压力，能够进行第二阻尼器222弹性变形时的变形量的调整。
另外，本发明的喷墨头1将多个喷嘴N以1列或者多列进行排列，设置有共用循环流路205以及第二阻尼器222的区域与设置有多个喷嘴N的区域的喷嘴N的排列方向的端部的喷嘴N的位置相比，向喷嘴N的排列方向延伸突出。由此，能够有效地抑制喷嘴N的排列方向(左右方向)的端部的喷嘴N的喷出性能的降低。
另外，本发明的喷墨头1将喷嘴N以多列进行排列，按该多列的每一列或者每两列设置有共用循环流路205。由此，能够使头芯片2小型化。
[其他]
应该认为本发明这次公开的实施方式在全部的点都是例示，并不是限制性的内容。本发明的范围由权利要求书表示，并不局限于上述的详细的说明，意在包含有与权利要求书均等的意思以及范围内的全部的改变。
例如，第二阻尼器222由厚度为1～30μm的Si基板构成，但若能够弹性变形，则构成能够适当地改变。例如，也可以通过具有适当的厚度的不锈钢板或有弹力的树脂部件形成。
另外，第一阻尼器212、第二阻尼器222设置为与循环流路206相面对即可，大小或所设置的面能够适当地改变。此外，从制造效率的观点来看，优选设置在循环流路206的上表面或者下表面，但也可以相对于左表面或者右表面设置。
另外，从除去接近喷嘴N的位置的气泡或异物的观点来看，优选独立循环流路204如实施例所示那样设置在喷嘴基板21，但也可以设置在中间基板22。
另外，共用墨水室5将共用供给液体室51和共用排出液体室52在共用墨水室5的内部分离设置，但也可以设置为分别独立的墨水室。
另外，共用墨水室5成为空出用于向上拉出柔性印刷电路基板42的空间的形状，但形状能够适当地改变。
另外，作为墨水的循环机构6，对根据水头差控制墨水的循环的方法进行了说明，但只要是如本发明那样能够产生循环流的构成，则当然能够适当地改变。
产业上的可利用性
本发明能够利用于喷墨头以及喷墨记录装置。
附图标记说明：1...喷墨头；202...压力室；202a...压力室的入口；202b...压力室的出口；203...连通路；204...独立循环流路；205...共用循环流路；206...循环流路；212...第一阻尼器；222...第二阻尼器；224...大气连通部；23...致动器基板；4...安装部；40...压力产生部(压力产生单元)；41...压电体；414...独立布线；51...共用供给液体室；6...墨水的循环机构(墨水的循环单元)；100...喷墨记录装置；N...喷嘴；Nb...喷嘴的出口。

Claims (10)

1.一种喷墨头，其特征在于，具备：
多个喷嘴，喷出墨水；
多个压力室，分别与所述多个喷嘴连通，填充有墨水；
多个压力产生单元，分别与所述多个压力室对应地设置，向压力室内的墨水施加压力；
循环流路，从自所述压力室的入口到所述喷嘴的出口的墨水流路分支设置，能够排出所述多个压力室内的墨水；以及
阻尼器，与所述循环流路相面对设置，能够根据压力而弹性变形来改变所述循环流路的容积。
2.根据权利要求1所述的喷墨头，其特征在于，
所述循环流路从所述墨水流路中的从所述压力室的出口侧的端部到所述喷嘴的出口的部分分支设置。
3.根据权利要求1或者2所述的喷墨头，其特征在于，
所述墨水流路具有将所述喷嘴与所述压力室连通的连通路，
所述循环流路从所述连通路分支设置。
4.根据权利要求1～3中的任意一项所述的喷墨头，其特征在于，
所述循环流路具有：与所述墨水流路连通的多个独立循环流路以及使所述多个独立循环流路中的至少两个独立循环流路连通的共用循环流路，
所述阻尼器与所述共用循环流路相面对设置。
5.根据权利要求4所述的喷墨头，其特征在于，
所述阻尼器被设置于所述共用循环流路的上部以及下部中的至少一方，在与所述共用循环流路侧相反侧，与该阻尼器相面对具有空气室。
6.根据权利要求5所述的喷墨头，其特征在于，
所述空气室的容积小于所述共用循环流路的容积。
7.根据权利要求5或者6所述的喷墨头，其特征在于，
所述空气室具有与大气连通的大气连通部。
8.根据权利要求4～7中的任意一项所述的喷墨头，其特征在于，
所述多个喷嘴以一列或者多列来进行排列，
设置有所述阻尼器的区域与设置有所述多个喷嘴的区域的所述多个喷嘴的排列方向的端部的喷嘴的位置相比向所述多个喷嘴的排列方向延伸突出。
9.根据权利要求4～8中的任意一项所述的喷墨头，其特征在于，
所述多个喷嘴以多列进行排列，
按所述多列中的每一列或者每两列设置有所述共用循环流路。
10.一种喷墨记录装置，其特征在于，具备：
权利要求1～9中的任意一项所述的喷墨头；以及
循环单元，用于使从所述墨水流路向所述循环流路的循环流产生。
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