CN110654116A - 液体喷出头、液体喷出装置以及液体喷出头的制造方法 - Google Patents

Abstract

本发明涉及液体喷出头、液体喷出装置及液体喷出头的制造方法，在具有喷嘴板的流道基板上安装配线基板时抑制对喷嘴板造成损伤的不良现象。具有喷出液体的喷嘴的液体喷出头具备：流道基板，其在内部具备所述液体的流道；喷嘴板，其被安装于所述流道基板上，且形成有所述喷嘴；压力室基板，其隔着所述流道基板而被安装于与所述喷嘴板对置的位置上，且具有压力室；压力产生部，其通过来自与被设置于所述压力室基板上的电极连接的配线基板的电信号来进行动作，且通过使所述压力室的压力发生变化，而使液体从喷嘴被喷出。喷嘴板以及配线基板被配置为，在沿着流道基板的厚度方向进行观察时，喷嘴板同配线基板和电极之间的连接部位于相互不重叠的位置上。

Description

液体喷出头、液体喷出装置以及液体喷出头的制造方法

技术领域

本公开内容涉及一种液体喷出头、液体喷出装置以及液体喷出头的制造方法。

背景技术

在使液体从喷嘴喷出的液体喷出装置中，有时会在内部具有流道的流道基板上连接有具有喷嘴的喷嘴板和与压力室连接的压力产生部。在这样的液体喷出装置中，有时会在从压力产生部被引出的配线上电连接有具有驱动电路的配线基板。例如，在专利文献1中，记载了一种如下的技术，即，通过从驱动电路经由配线而被供给的驱动信号来对压力产生部进行驱动，而使压力室的压力发生变化，从而使液体从喷嘴被喷出。

在这样的液体喷出装置中，在于流道基板上安装配线基板时，例如，使用了被称为NCF(Non Conductive Film：非导电薄膜)或ACF(Anisotropic Conductive Film：各向异性传导薄膜)的薄膜状的粘合剂。配线基板隔着该粘合剂而被热压接，从而与从压力产生部被引出的配线电连接。因此，虽然流道基板将承受由该安装时的热压接所产生的载荷，但是在现有技术中，并不能说充分地考虑了该热压接将会对流道基板产生何种影响。发明者们了解到，由于将配线基板安装于流道基板时的热压接，从而存在对被连接于流道基板上的喷嘴板造成损伤等的不良现象。

专利文献1：日本特开2012-143948号公报

发明内容

根据本公开内容的一个方式，提供了一种具有喷出液体的喷嘴的液体喷出头。液体喷出头具备：流道基板，其在内部具备所述液体的流道；喷嘴板，其被安装于所述流道基板上，且形成有所述喷嘴；压力室基板，其被安装于隔着所述流道基板而与所述喷嘴板对置的位置上，且具有压力室；压力产生部，其通过来自与被设置于所述压力室基板上的电极连接的配线基板的电信号来进行动作，且通过使所述压力室的压力发生变化，而使所述液体从所述喷嘴被喷出。所述喷嘴板以及所述配线基板也可以被配置为，在沿着所述流道基板的厚度方向进行观察时，所述喷嘴板跟所述配线基板与所述电极之间的连接部位于相互不重叠的位置上。

附图说明

图1为示意性地表示第一实施方式的液体喷出装置100的结构的说明图。

图2为从上方侧对液体喷出头的主要的头结构件进行观察时的分解立体图。

图3为从下方侧对液体喷出头的主要的头结构件进行观察时的分解立体图。

图4为沿着图2中的4-4线的液体喷出头的剖视图。

图5为表示本实施方式的液体喷出头的制造方法的流程图。

图6为表示液体喷出头的+Z方向侧的表面的说明图。

具体实施方式

A.第一实施方式

图1为示意性地表示本发明的第一实施方式的液体喷出装置100的结构的说明图。液体喷出装置100为，向介质12喷出作为液体的一个示例的油墨的液滴从而进行印刷的喷墨式印刷装置。介质12除了印刷纸张之外，能够采用树脂薄膜或布等任意的材质的印刷对象。在图1之后的各个附图中，X方向为沿着液体喷出头26的输送方向的主扫描方向，Y方向为与主扫描方向正交的、作为介质12的输送方向的副扫描方向。Z方向为油墨的喷出方向，且在本实施方式中，与铅直方向平行。在以下的说明中，为了便于说明，在确定朝向的情况下，将正方向设作“+”、将负方向设作“-”，且在方向标记上一并使用正负符号。

液体喷出装置100具备液体容器14、将介质12送出的输送机构22、控制单元20、头移动机构24、液体喷出头26。液体容器14单独地对从液体喷出头26被喷出的多种油墨进行贮留。液体容器14具备由泵构成的未图示的流动机构。液体喷出装置100通过该流动机构，而使油墨穿过液体喷出头26的内部的流道而移动，并从喷嘴Nz喷出油墨，并且，使油墨循环而再次将油墨贮留于液体容器14中。作为液体容器14，能够利用由可挠性薄膜形成的袋状的油墨袋、或可补充油墨的油墨罐等。喷嘴Nz为喷出油墨的圆形形状的贯穿孔。

控制单元20包括CPU(Central Processing Unit：中央处理器)或FPGA(FieldProgrammable Gate Array：现场可编程门阵列)等处理电路和半导体存储器等存储电路，且对输送机构22、头移动机构24、液体喷出头26进行统一控制。输送机构22在控制单元20的控制之下进行动作，并沿着Y方向而对介质12进行输送。

头移动机构24具备输送带23和滑架25，所述输送带23沿着X方向跨及介质12的印刷范围而被架设，所述滑架25对液体喷出头26进行收纳且固定于输送带23上。头移动机构24在控制单元20的控制之下进行动作，并使液体喷出头26沿着主扫描方向而与滑架25一起进行往复移动。在滑架25的往复移动时，滑架25通过未图示的导轨而被引导。另外，也可以设为将液体容器14与液体喷出头26一起搭载于滑架25上的头结构。

液体喷出头26为层压了头结构件的层压体。如图1所示，液体喷出头26具备将喷嘴Nz的列沿着副扫描方向而排列的喷嘴列。液体喷出头26针对液体容器14所贮留的每种油墨颜色而进行准备，并在控制单元20的控制之下，从多个喷嘴Nz朝向介质12喷出从液体容器14供给的油墨。通过在液体喷出头26的往复移动期间的来自喷嘴Nz的油墨喷出，从而在介质12上实施所需的图像等的印刷。由图1的虚线所示的箭头标记示意性地表示液体容器14和液体喷出头26的油墨的移动。本实施方式的液体喷出头26通过未图示的流动机构而使油墨在其与液体容器14之间进行循环。

图2为从上方侧对液体喷出头26的主要的头结构件进行观察时的分解立体图。图3为从下方侧对液体喷出头26的主要的头结构件进行观察时的分解立体图。图4为沿着图2中的4-4线的液体喷出头26的剖视图。所图示的各个结构部件的厚度并不表示实际的厚度。以下，参照图2至图4，对本实施方式的液体喷出头26的油墨的流道结构进行说明。

液体喷出头26具备：流道基板30，其在内部形成油墨的流道；喷嘴板52；压力室基板40；保护部件50，其对压电元件44进行保护；油墨供给用的第一壳部件60；油墨回收用的第二壳部件70；第一吸振体53；第二吸振体54。

流道基板30为在Y方向上长条的平面状的板体。在将液体喷出头26的油墨的喷出方向侧设为下侧时，在流道基板30的上表面上安装有第一壳部件60和第二壳部件70，且在两个壳部件之间连接有压力室基板40。在流道基板30的下表面且在隔着流道基板30而与压力室基板40对置的位置上，连接有具备喷嘴的喷嘴板52、第一吸振体53和第二吸振体54。在本实施方式中，流道基板30为由硅制成的单晶基板。在流道基板30的内部，例如，通过应用干式蚀刻或湿式蚀刻等半导体制造技术中所使用的加工技术，从而形成后述的各种流道。流道基板30也可以通过3D打印机或由激光造型等实现的三维造型而被形成。

液体喷出头26的各种的流道通过对被设置于流道基板30的内部的贯穿孔或凹状的槽与各个板体进行连接，从而被形成。更具体而言，流道基板30通过利用喷嘴板52、第一吸振体53、第二吸振体54来对板下表面的凹状的槽进行封闭，从而在其与喷嘴板52、第一吸振体53、第二吸振体54之间形成流道。以下，将各部的结构与从作为油墨的供给侧的上游侧起至作为排出侧的下游侧的流道相关联地进行说明。

第一壳部件60为在Y方向上长条的板体，且在内部具备油墨纳入室61。油墨纳入室61为，Z方向侧开口了的凹状的槽沿着Y方向而延伸的长条的空间。油墨纳入室61构成了对从液体容器14经由油墨导入口62而被供给的油墨进行纳入的油墨贮留室的一部分。第一壳部件60通过树脂材料的注塑成型而被形成。虽然在本实施方式的液体喷出头26中，如上文所述的那样将油墨的循环流道中的上游侧设为油墨纳入室61，但是也可以使流道逆向而将油墨纳入室61设为下游侧。

在流道基板30的内部形成有油墨的流道。更具体而言，在流道基板30中，从上游侧起依次具有油墨流入室131、第一共用流道132、第一供给通道133、第一连通通道134、第一独立流道135、第二连通通道136、第二独立流道137、第二供给通道138、第二共用流道139、油墨排出室140。

如图2所示，油墨流入室131为沿着Y方向具有长条的开口的贯穿孔。如图4所示，以油墨流入室131与油墨纳入室61重叠的方式，而使第一壳部件60被组装于流道基板30上。因此，油墨流入室131与油墨纳入室61连接。

如图3以及图4所示，第一共用流道132为被形成于流道基板30的下表面侧的长条的凹状的槽。第一共用流道132与油墨流入室131连接，从而构成一个共用液室。第一共用流道132通过第一吸振体53而使流道基板30的板下表面侧的开口部分被封闭，从而作为流道而被形成。即，第一共用流道132的内壁的一部分由第一吸振体53而构成。

第一吸振体53为，对油墨流入室131以及第一共用流道132中的压力变动进行吸收的具有挠性的平面状的薄膜。在本实施方式中，第一吸振体53由柔性基板构成。因此，能够增加由油墨流入室131及第一共用流道132构成的共用流道的柔性，并对喷出油墨时的串扰的发生进行抑制。

如图2以及图4所示，第一供给通道133为，贯穿流道基板30而到达第一共用流道132的贯穿孔。第一供给通道133针对一个第一共用流道132而设置了与喷嘴Nz的数量相同的数量。因此，第一供给通道133成为从第一共用流道132向各个独立流道分支的供给口。第一供给通道133与针对每个喷嘴Nz而被设置的压力室Ch的一端连接。

如图2以及图4所示，压力室Ch为，被形成于压力室基板40的下表面上的凹状的槽。压力室Ch为被压力室基板40的槽和流道基板30的上表面所包围的流道，且通过压力室基板40与流道基板30的上表面连接而被形成。如此，压力室Ch以及第一供给通道133在压力室基板40以及流道基板30中的作为供给侧的第一连通通道134侧，通过压力室基板40的一部分和流道基板30的一部分而被形成。

如图2以及图4所示，第一连通通道134为在厚度方向上贯穿流道基板30的贯穿孔，且在流道基板30的压力室基板40侧和喷嘴板52侧分别具有开口。第一连通通道134为，被设置了喷嘴Nz的数量的独立流道的一部分。在本实施方式中，第一连通通道134的开口中的流道基板30的下表面侧的开口通过喷嘴板52而被封闭。喷嘴Nz位于该流道基板30的下表面侧的第一连通通道134的开口处。第一连通通道134的开口中的流道基板30的上表面侧的开口通过压力室基板40而被封闭，从而与压力室Ch的另一端侧连接。由此，压力室Ch和喷嘴Nz成为通过第一连通通道134而被连通的状态。

喷嘴板52为，被连接于流道基板30的下表面侧的板状的部件。在流道基板30的板的下表面侧处对第一连通通道134和后述的第一独立流道135及第二连通通道136进行封闭。在本实施方式中，喷嘴板52为硅制的单晶基板。喷嘴板52与流道基板30同样地通过应用加工技术，从而形成如图2那样的列状的喷嘴Nz。由此，能够高精度地对喷嘴Nz进行加工。在本实施方式中，如上文所述，由喷嘴Nz喷出油墨的喷出方向为Z方向，喷嘴板52的面方向与垂直于喷出方向的XY平面平行。

如图3以及图4所示，第一独立流道135为，被形成于流道基板30的下表面侧与喷嘴板52的上表面的界面侧的凹状的槽，且被设置了喷嘴Nz的数量。第一独立流道135也可以不在界面侧、而在流道基板30的内部侧作为中空的流道而被形成。另外，第一独立流道135既可以在流道基板30与喷嘴板52的界面侧处跨及流道基板30与压力室基板40的双方而被形成，也可以如被形成于喷嘴板52的上表面的凹状的槽那样，被形成于流道基板30或喷嘴板52的任意一方的单面侧。在本实施方式中，第一独立流道135在流道基板30的下表面即喷嘴板52侧处与第一连通通道134连接。第一独立流道135通过喷嘴板52而对流道基板30的下表面侧进行封闭，且作为沿着喷嘴板52的面方向而延伸的独立流道而被形成。由此，第一独立流道135被形成为使第一独立流道135的油墨的流通方向沿着X方向的朝向，所述沿着X方向的朝向为，与作为从喷嘴Nz喷出油墨的喷出方向的Z方向垂直的朝向。即，第一独立流道135的内壁的一部分由喷嘴板52构成。第一独立流道135为独立流道的一部分，所述独立流道作为使油墨向喷嘴Nz之后的下游侧、即排出侧流通的排出口而发挥功能。第一独立流道135对第一连通通道134的喷嘴板52侧的端部与第二连通通道136的喷嘴板52侧的端部进行连通。

第二连通通道136为与第一独立流道135连接的流道。第二连通通道136被设置了与喷嘴Nz的数量相同的数量，且构成排出侧的独立流道的一部分。在本实施方式中，如图2以及图4所示，第二连通通道136为，在厚度方向上贯穿流道基板30的贯穿孔，且在流道基板30的压力室基板40侧和喷嘴板52侧上分别具有开口。在图4的第二连通通道136上，标记有示意性地表示第二连通通道136的油墨的流通方向D1的箭头标记。在本实施方式中，由于第二连通通道136为流道基板30的贯穿孔，因此第二连通通道136中的油墨的流通方向D1的宽度与流道基板30的厚度的大小大致相同。在本说明书中，油墨的流通方向表示，对流道宏观性地进行观察时油墨在流道内流动的方向。

第二独立流道137为与第二连通通道136连接的流道，且被设置了与喷嘴Nz的数量相同的数量。如图2以及图4所示，第二独立流道137为，被形成于流道基板30的板的上表面、即与压力室基板40的界面侧的凹状的槽。第二独立流道137也可以不在界面侧、而在流道基板30的内部侧作为中空的流道而被形成。另外，第二独立流道137既可以在流道基板30与压力室基板40的界面侧跨及流道基板30和压力室基板40的双方而被形成，也可以如被形成于流道基板30的上表面侧或压力室基板40的下表面侧的凹状的槽那样，被形成于流道基板30或压力室基板40的任意一方的单面侧处。第二独立流道137构成与喷嘴Nz相比靠排出侧的独立流道的一部分。在本实施方式中，第二独立流道137的一端在流道基板30的上表面侧、即压力室基板40侧与第二连通通道136连接。第二独立流道137通过压力室基板40而被封闭，且作为沿着压力室基板40的面方向而延伸的流道而被形成。即，第二独立流道137的内壁的一部分由压力室基板40构成。第二独立流道137以与第二供给通道138连续的方式而被形成。

如图2以及图4所示，第二供给通道138为，贯穿流道基板30而到达第二共用流道139的贯穿孔。第二供给通道138为，在第二独立流道137的另一端侧处被连接、且与第二共用流道139连通的流道。第二供给通道138为被设置了与喷嘴Nz的数量相同的数量的排出侧的独立流道的一部分。第二供给通道138分别与成为一个共用液室的第二共用流道139连接。由此，第二供给通道138作为从独立流道向排出侧的共用液室的供给口、即独立流道的排出侧的出口而发挥功能。

如此，独立流道通过第一供给通道133、压力室Ch、第一连通通道134、第一独立流道135、第二连通通道136、第二独立流道137、第二供给通道138而被构成。使喷嘴Nz和压力产生部被连接于在该独立流道上，从而构成一个液体喷出部80。在本实施方式的液体喷出头26中，与喷嘴Nz具有数量相同的液体喷出部80沿着作为流道基板30的长边方向的Y方向的朝向而被排列。因此，能够使油墨从多个喷嘴Nz被喷出，并且能够提高每一个液体喷出头26的分辨率。

如图3以及图4所示，第二共用流道139为，被形成于流道基板30的下表面侧的一个长条的凹状的槽。第二共用流道139与油墨排出室140连接，从而构成一个共用液室。第二共用流道139通过第二吸振体54而使流道基板30的板下表面侧的开口部分被封闭，从而作为流道而被形成。即，第二共用流道139的内壁的一部分由第二吸振体54构成。第二吸振体54为，通过与第一吸振体53相同的材料而形成的柔性基板。因此，能够增加由油墨排出室140以及第一共用流道132构成的排出侧的共用流道的柔性，并且对喷出油墨时的串扰的发生进行抑制。

板安装座141为，在如图4所示的流道基板30的截面上被第一连通通道134、第二独立流道137、第二供给通道138、第二共用流道139所包围而形成的流道基板30的一部分。板安装座141构成了用于使流道基板30、喷嘴板52以及第二吸振体54粘合在流道基板30的下表面侧的壁面上的安装座。

如图2所示，油墨排出室140为沿着Y方向而具有长条的开口的贯穿孔。如图4所示，油墨排出室140以与油墨收纳室71重叠的方式而组装有后述的第二壳部件70和流道基板30。由此，油墨排出室140与第二壳部件70内的油墨收纳室71连接。

第二壳部件70为在Y方向上长条的板体，且在内部具备油墨收纳室71。油墨收纳室71为，将Z方向侧开口的凹状的槽沿着Y方向而延伸的长条的空间。油墨收纳室71纳入从油墨排出室140被排出的油墨，从而构成了排出侧的油墨贮留室的一部分。油墨收纳室71内的油墨如图4的涂黑的箭头标记所示，经由油墨排出口72而回流至液体容器14中。虽然在本实施方式中，第二壳部件70利用与第一壳部件60相同的树脂材料并通过注塑成型而被形成，但是也可以通过与第二壳部件70和第一壳部件60不同的材料而被形成。另外，来自第二壳部件70的油墨回流通过未图示的流动机构来实现。另外，第二壳体部件70向流道基板30的安装利用适当的粘合剂而实现液密。

压力室基板40为，针对每个喷嘴Nz而形成上述的压力室Ch的板体。压力室基板40与流道基板30同样地，能够经由前述的半导体制造技术的对硅的单晶基板的应用而形成。压力室基板40除了压力室Ch之外，还具备振动部42。

振动部42为，以能够弹性振动的方式而被形成为薄板状的压力室Ch的壁面。振动部42被设置于压力室基板40中的与流道基板30侧为相反侧的面上，且构成了面对压力室Ch的压力室基板40的一部分、即压力室Ch的顶侧的壁面。在振动部42的与压力室Ch侧为相反侧的面上，针对每个压力室Ch而设置有压电元件44。各个压电元件44为，与喷嘴Nz单独对应，且接收驱动信号而发生变形的受动元件。压电元件44与喷嘴Nz的排列相对应地设置于振动部42上，且作为压力产生部而发挥功能。压电元件44的振动传递至振动部42，从而引起被填充于压力室Ch内的油墨的压力变化。通过该压力变化经由第一连通通道134而达到喷嘴Nz，从而实现油墨从喷嘴Nz的喷出。在本实施方式中，压电元件44被设置于压力室基板40的面中的与具备压力室Ch侧为相反侧的面上、即压力室基板40的上表面侧。由此，缩短了配线基板90与压力产生部的距离，从而易于实现与引线电极45的连接。

保护部件50对压力室基板40进行夹持，并且相对于压力室基板40而对与向每个压力室Ch的压电元件44通电的引线电极45进行固定。如图2所示，保护部件50为在Y方向上长条的板体，且在振动部42的上表面侧上形成凹状的空间，并与压电元件44一起对振动部42进行覆盖。保护部件50通过适当的树脂材料的注塑成型而被形成。另外，为了设置与引线电极45电接触的配线基板90，保护部件50沿着Y方向具有长条的矩形贯穿孔51。

如图2所示，配线基板90为将Y方向作为长边方向的一个柔性基板。在配线基板90的一个面上，配置有由驱动IC构成的平面状的驱动电路92。在本实施方式中，配线基板90从驱动电路92接收来自控制单元20的驱动信号，且经由引线电极45而分别向压电元件44供给。配线基板90经由粘合剂而被热压接于从压力产生部被引出的引线电极45上，从而与引线电极45电连接。在本实施方式中，对于粘合剂而使用了薄膜状的粘合剂的NCF(NonConductive Film：非导电膜)。粘合剂也可以使用ACF(Anisotropic Conductive Film：各向异性导电膜)。在图4中，示出了配线基板90与引线电极45被电连接的位置、即连接部Cn。更具体而言，连接部Cn为，配线基板90和引线电极45进行电连接、且被夹于-X方向侧的端部Ea和+X方向侧的端部Eb之间的区域。配线基板90通过使Z方向侧的端部一带向沿着引线电极45的表面的方向而折弯，从而确保用于构成连接部Cn的区域。配线基板90沿着作为流道基板30的长边方向的Y方向，而具有分别与多个液体喷出部80的压力产生部对应的连接部Cn，从而与各个液体喷出部80的引线电极45电连接。此时，配线基板90以短边方向沿着作为流道基板的厚度方向的Z方向的状态而被安装在流道基板30上。

在本实施方式的液体喷出头26中，通过未图示的流动机构而从液体容器14被供给的油墨通经由第一壳部件60中的油墨纳入室61，而流入至流道基板30的油墨流入室131和第一共用流道132，并将作为共用供给通道的油墨流入室131和第一共用流道132填满。填满于共用供给通道的油墨通过持续被供给的油墨，而被压出至每个喷嘴Nz的独立流道内，且被供给至液体喷出部80。更具体而言，被压出的油墨形成分支被供给至成为独立流道的入口的各个第一供给通道133，进而被供给至各个压力室Ch。在该压力室Ch中，油墨受到通过控制单元20而被驱动控制的压电元件44的振动，而被从喷嘴Nz喷出。无论在进行了来自喷嘴Nz的油墨喷出的印刷状况下，还是在未伴随有来自喷嘴Nz的油墨喷出的状况下，均继续实施从液体容器14的油墨供给。

在持续向压力室Ch供给油墨的状况中，未从喷嘴Nz进行油墨喷出的油墨流通于喷嘴Nz以后的排出侧的流道中。更具体而言，从第一连通通道134向第一独立流道135流通，且经由第二连通通道136和第二供给通道138而被压出至作为共用液室的第二共用流道139及油墨排出室140，从而被送出至第二壳部件70的油墨收纳室71中。之后，油墨回流至液体容器14中。

图5为表示本实施方式的液体喷出头26的制造方法的流程图。在步骤S10中，利用粘合剂而对在内部具备油墨的流道的平面状的流道基板30、形成有喷嘴Nz的喷嘴板52、具有压力室Ch的压力室基板40、由压电元件44构成的压力产生部进行粘合从而进行层压。此时，喷嘴板52使喷嘴Nz对准与第一连通通道134连通的位置，并被安装于流道基板30的一个面上。压力室基板40被安装于流道基板30的另一个面、即隔着流道基板30而与喷嘴板52对置的位置上。压力产生部被设置于压力室基板40的上表面侧。虽然在本实施方式的液体喷出头26的制造方法中，依次对流道基板30、喷嘴板52、压力室基板40和压力产生部进行层压，但是层压的顺序也可以为任意的顺序。在步骤S20中，将配线基板90安装在上述的流道基板30、喷嘴板52、压力室基板40、压力产生部的层压体上。更具体而言，配线基板90在从压力产生部被引出的引线电极45上经由粘合剂而进行热压接，从而被安装于层压体上。此时，配线基板90被安装于，沿着流道基板30的厚度方向进行观察时，喷嘴板52与、连接配线基板90和引线电极45之间的连接部相互不重叠的位置上。

图6为表示图4的液体喷出头26的+Z方向侧的表面上的区域EF的说明图。即，图6为表示沿着厚度方向而从+Z方向对流道基板30进行观察的情况下的液体喷出头26的主视图。以下，同时使用图4和图6，来对本实施方式的液体喷出头26所具备的各部的位置关系进行详细记述。

在图6中，为了便于技术上的理解，对于喷嘴板52、第一吸振体53、第二吸振体54省略了图示，而示意性示出了它们的配置位置。在图6中由虚线所示的E1～E6表示，为了便于说明而标记的各部的端部的位置。端部E1为第二共用流道139的+X方向侧的端部。端部E2为第二连通通道136的-X方向侧的端部。端部E3为第二连通通道136的+X方向侧的端部。端部E4为第一连通通道134的-X方向侧的端部。端部E5为第一连通通道134的+X方向侧的端部。端部E6为第一共用流道132的-X方向侧的端部。图6所示的Ar1～Ar5是为了便于说明而标记的区域，且表示分别被端部E1～E6包围的沿着X方向的区域。另外，在图6中，为了便于说明，通过交叉影线来表示配线基板90与引线电极45的连接部Cn，并且一并表示上述的连接部Cn的-X方向侧的端部Ea和连接部Cn的+X方向侧的端部Eb。

区域Ar1为被端部E1和端部E2夹着的区域。区域Ar1为，构成了将第二吸振体54以及喷嘴板52粘合于流道基板30上的板安装座141的区域。被粘合于流道基板30上的第二吸振体54的+X方向侧的端部和喷嘴板52的-X方向侧的端部位于区域Ar1上。

区域Ar2为被端部E2和端部E3夹着的区域。即，区域Ar2的X方向上的宽度与第二连通通道136的X方向上的宽度相等。在本实施方式的液体喷出头26中，如上文所述，第二连通通道136的油墨的流通方向D1的宽度与流道基板30的厚度大致相同。当对由区域Ar2所表示的第二连通通道136的X方向上的宽度与图4所示的第二连通通道136的油墨的流通方向D1的宽度进行比较时，第二连通通道136的油墨的流通方向D1上的宽度、即流道基板30的厚度更大。

区域Ar3为被端部E3和端部E4夹着的区域。区域Ar2和区域Ar3为，通过被粘合于流道基板30上的喷嘴板52而被封闭的区域。区域Ar4为被端部E4和端部E5夹着的区域。即，区域Ar4的X方向上的宽度与第一连通通道134的X方向上的宽度相等。区域Ar4为，通过喷嘴板52而被封闭并且配置有喷嘴Nz的区域。

区域Ar5为被端部E5和端部E6夹着的区域。区域Ar5为将第一吸振体53以及喷嘴板52粘合于流道基板30上的区域。喷嘴板52的+X方向侧的端部和被粘合于流道基板30上的第一吸振体53的-X方向侧的端部位于区域Ar5上。如此，在本实施方式的液体喷出头26中，喷嘴板52在喷嘴Nz与区域Ar4的第一连通通道134重叠，并且使-X方向侧的端部被粘合于区域Ar1内，并将+X方向侧的端部粘合于区域Ar5上。

在本实施方式中，第二连通通道136经由第一独立流道135而与第一连通通道134的喷嘴板52侧的开口连通，且沿着流道基板30的厚度方向朝向压力室基板40侧延伸而被形成。由此，在流道基板30上形成有端部E2。通过端部E2的形成，从而形成有用于确保区域Ar1的宽度的板安装座141，所示区域Ar1为用于配置第二吸振体54的+X方向侧的端部和喷嘴板52的-X方向侧的端部的区域。由此，能够对于一块流道基板30而具备小型化了的喷嘴板52。在本实施方式的液体喷出头26中，在沿着作为厚度方向的Z方向而对流道基板30进行观察时，上述的配线基板90与引线电极45的连接部Cn位于板安装座141上。此时，连接部Cn和喷嘴板52被配置于相互不重叠的位置上。即，在流道基板30的厚度方向上，在配线基板90与喷嘴板52相互不重叠的条件下，驱动电路92和喷嘴板52也被配置在相互不重叠的位置上。

在本实施方式中，配线基板90以在流道基板30上层压了压力室基板40和喷嘴板52的状态而被安装于流道基板30上。此时，在流道基板30上安装配线基板90时的流道基板30的支承位置为，从将配线基板90连接于电极上的位置起沿着作为流道基板30的厚度方向的Z方向的位置，且为隔着流道基板30而与配线基板90对置的位置、即板安装座141中的与连接部Cn对应的区域，且成为图中的阴影处的区域。根据该方式的液体喷出头26，在沿着流道基板30的厚度方向的位置上，流道基板30和配线基板90以位于相互不重叠的位置的方式被配置。因此，在被安装有喷嘴板52的流道基板30上安装配线基板90时，能够抑制对喷嘴板52造成损伤等不良现象的发生。另外，在流道基板30上安装配线基板90时施加载荷的方向多数情况为，沿着被搭载于配线基板90上的驱动电路92的面方向而被实施。根据本实施方式的液体喷出头26，在沿着流道基板30的厚度方向的位置上，被搭载于配线基板90上的驱动电路92和喷嘴板52被配置于相互不重叠的位置上。因此，能够避免在安装时使喷嘴板52被配置在与对配线基板90施加载荷的朝向一致的位置上。因此，能够抑制由于在安装有喷嘴板52的流道基板30上对配线基板90进行安装时以及安装后的驱动电路的重量而导致的对喷嘴板52造成损伤等的不良现象的发生。

根据本实施方式的液体喷出头26，多个液体喷出部80沿着作为流道基板30的长边方向的Y方向而排列。由此，能够在流道基板30的整体上避免配线基板安装时对喷嘴板52的损伤。另外，由于分别获得了多个液体喷出部80的各自的独立流道间的壁面，因此通过使该壁面发挥与梁同样的作用，从而增强了作为厚度方向的Z方向上的流道基板30的强度。因此，能够增加在流道基板30上安装配线基板90时的载荷，并且能够减少配线基板90与电极的连接不良的发生。

另外，在本实施方式的液体喷出头26中，在沿着Z方向进行观察时，第二吸振体54和连接部Cn被配置于相互不重叠的位置上。第一吸振体53也与第二吸振体54同样地，在Z方向上进行观察时，与连接部Cn同样地被配置于相互不重叠的位置上。根据本实施方式的液体喷出头26，在沿着流道基板30的厚度方向的位置上，配线基板90和第一吸振体53以及第二吸振体54被配置于相互不重叠的位置上。因此，能够避免在安装时使第一吸振体53以及第二吸振体54被配置在与对配线基板90施加载荷的朝向一致的位置上。因此，能够抑制在粘合有第一吸振体53以及第二吸振体54的流道基板30上安装配线基板90时对第一吸振体53以及第二吸振体54造成损伤等的不良情况的发生。

另一方面，在本实施方式的液体喷出头26中，将连接部Cn和第二独立流道137配置在，当沿着流道基板30的厚度方向进行观察时、连接部Cn与第二独立流道137的至少一部分相互重叠的位置上。由此，能够使在配线基板90上施加电压时所产生的热量经由流通于第二独立流道137内的油墨而释放。另外，在本实施方式的液体喷出头26中，如上文所述，第二独立流道137被配置在与喷嘴Nz相比靠下游侧的排出侧处。因此，即使来自配线基板90的热量向第二独立流道137内的油墨被释放的情况下，热量也难以到达喷嘴Nz附近的油墨。因此，由来自配线基板90的热量引起的对喷嘴Nz附近的油墨的温度的影响变小，从而能够抑制印刷时的品质下降。另外，在本实施方式的液体喷出头26中，如上文所述，第二连通通道136的油墨的流通方向D1的宽度与流道基板30的厚度大致相同。在对第二连通通道136的X方向上的宽度和第二连通通道136的油墨的流通方向D1上的宽度进行比较时，第二连通通道136的油墨的流通方向D1上的宽度、即流道基板30的厚度更大。因此，从第二独立流道137至喷嘴的油墨的流道的距离发挥作用。因此，第二独立流道137内的油墨的热量的上升变得难以从第二连通通道136传递至喷嘴Nz。

另外，在本实施方式的液体喷出头26中，第一独立流道135被形成为，使第一独立流道135的油墨的流通方向沿着X方向的朝向，所述沿着X方向朝向为，与作为从喷嘴Nz喷出油墨的方向的Z方向垂直的朝向。由此，获得了多个液体喷出部80的各自的独立流道间的壁面，因此能够通过使该壁面发挥与梁同样的作用，从而增强了作为厚度方向的Z方向上的流道基板30的强度。因此，能够增加在流道基板30上安装配线基板90时的载荷，从而减少配线基板90与电极的连接不良的发生。

另外，在本实施方式的液体喷出头26中，构成供给侧的共用流道的油墨流入室131和第一共用流道132跨及其流道区域而被具有挠性的第一吸振体53封闭，而构成排出侧的共用流道的第二共用流道139和油墨排出室140跨及其流道区域而被具有挠性的第二吸振体54封闭。因此，对填满油墨流入室131和第一共用流道132的油墨施加的油墨供给压通过第一吸振体53的挠曲而被衰减。另外，对填满第二共用流道139和油墨排出室140的油墨施加的油墨供给压或油墨喷出时的油墨喷出压通过第二吸振体54的挠曲而被衰减。其结果为，根据本实施方式的液体喷出头26，能够减少压力室的振动波形和因液体的流通而产生的振动波形的振幅增大的串扰的发生。

B.其他的实施方式

(B1)在上述实施方式中，第一独立流道135通过喷嘴板52而被封闭，且作为沿着喷嘴板52的面方向而延伸的独立流道而被形成。相对于此，也可以采用如下方式，即，不形成第一独立流道，且第一连通通道的喷嘴板侧的开口与第二连通通道的喷嘴板侧的部分在喷嘴板侧被直接连接。根据该方式的液体喷出头，通过省略例如图6的区域Ar2，从而能够使喷嘴板更加小型化。

(B2)在上述实施方式中，第一独立流道135为被形成于流道基板30的下表面侧的凹状的槽。相对于此，第一独立流道既可以被设置于喷嘴板上，也可以通过喷嘴板的一部分和流道基板的一部分而被形成。

(B3)在上述实施方式的液体喷出头26中，针对多个独立流道而连接一个共用流道。相对于此，独立流道并非必须被设置多个，也可以采用如下方式，即，针对一个独立流道而形成一个共用流道。另外，共用流道并非必须为一个，也可以采用设置多个共用流道的方式。另外，可以采用如下方式，即，并非多个独立流道全部与一个共用流道连接，而是将多个独立流道分成几组并被连接于与每个组相对应的多个共用流道，也可以使独立流道和共用流道通过各种各样的组合而被连接。

(B4)在上述实施方式的液体喷出头26中，第二独立流道137被形成于流道基板30的板上表面上。相对于此，也可以采用第二独立流道未被形成于流道基板上、而被形成于压力室基板上的方式。只要第二流道与压力室被划分开、且通过压力室基板的一部分和流道基板的一部分中的至少一方来形成即可。

(B5)在上述实施方式的液体喷出头26中，第一吸振体53为，由柔性基板构成的具有挠性的平面状的薄膜。相对于此，既可以采用不具备第一吸振体、而利用例如SUS板那样的其他的材料来对由油墨流入室及第一共用流道构成的共用流道进行封闭的方式，也可以采用通过流道基板的流道结构而构成壁面并对共用流道进行封闭的方式。

(B6)在上述实施方式的液体喷出头26中，第二吸振体54为，由柔性基板构成的具有挠性的平面状的薄膜。相对于此，既可以采用不具备第二吸振体、利用例如SUS板那样的其他的材料来对由油墨排出室及第二共用流道构成的排出侧的共用流道进行封闭的方式，也可以采用利用流道基板来进行封闭的方式。另外，第一吸振体和第二吸振体不需要为相同的材料，可以为各自不同的材料，并且也可以采用在一方的共用流道上设置第一吸振体和第二吸振体的任意一方、而在其他的共用流道上设置不具有吸振功能的基板的方式。

(B7)在上述实施方式的液体喷出头26中，从第一供给通道133以及压力室Ch侧对与喷嘴Nz连接的第一连通通道134供给油墨。相对于此，也可以如从第二连通通道侧的第二独立道侧供给油墨的方式那样，上述实施方式的液体喷出头26的供给侧与排出侧相反。另外，也可以采用如下方式，即，通过被设置于液体喷出装置中的流动机构来对油墨的供给方向进行切换，从而适当地对供给侧和排出侧进行切换。根据该方式的液体喷出头，通过适当地改变油墨的循环方向，从而能够提高残留于喷嘴附近的油墨的流通性，由此对油墨增粘的不良现象的发生进行抑制。另外，也可以采用如下方式，即，从第一供给通道及压力室侧和第二独立流道及第二连通通道侧的双方供给油墨。根据该方式的液体喷出头，能够提高喷嘴附近的液体的填充率。

(B8)在上述实施方式的液体喷出头26中，具备第一共用流道132和油墨流入室131被连接在一起的供给侧的共用液室、第二共用流道139和油墨排出室140被连接在一起的排出侧的共用液室。相对于此，既可以采用同时不设置供给侧及排出侧的共用液室的方式，也可以采用仅设置任意一方的共用液室的方式。优选为，在不具备共用液室的方式中，第一壳部件及第二壳部件的流道与液体喷出部的流道被直接连通。

(B9)在上述实施方式的液体喷出头26中，在流道基板30上连接有第一壳部件以及第二壳部件。相对于此，也可以采用如下方式，即，在流道基板未连接有第一壳部件以及第二壳部件。在这样的方式中，压力室基板、保护部件即第一壳部件以及第二壳部件通过不同的层压基板、其他部件来形成油墨纳入室以及油墨收纳室。

(B10)在上述实施方式的液体喷出头26中，压力室Ch为，被形成于压力室基板40的下表面上的凹状的槽。相对于此，也可以采用压力室被设置于流道基板上的方式。只要为压力室通过压力室基板的一部分和流道基板的一部分而被形成在压力室基板以及流道基板的第一连通通道侧的方式即可。

(B11)在上述实施方式的液体喷出头26中，在流道基板30的厚度方向上，在配线基板90与喷嘴板52相互不重叠的条件下，驱动电路92和喷嘴板52也被配置于相互不重叠的位置上。相对于此，驱动电路和喷嘴板也可以被配置于相互重叠的位置上。在这样的方式中，只要配线基板和引线电极之间的连接部Cn与喷嘴板被配置在相互不重叠的位置上即可。

(B12)在上述实施方式的液体喷出头26中，连接部Cn和第二独立流道137被配置于，在沿着流道基板30的厚度方向进行观察时，连接部Cn与第二独立流道137的至少一部分相互重叠的位置上。相对于此，第二独立流道和连接部Cn也可以被设置于相互不重叠的位置上。

(B13)在上述实施方式的液体喷出头26中，第一独立流道135被形成为，使第一独立流道135的油墨的流通方向沿着X方向的朝向，所述沿着X方向的朝向为，与作为从喷嘴Nz喷出油墨的喷出方向的Z方向垂直的朝向。相对于此，第一独立流道的油墨的流通方向并不限定于此，可以不是相对于从喷嘴喷出油墨的喷出方向而垂直的朝向，可以是相对于油墨的喷出方向而平行的朝向。

(B14)在上述实施方式的液体喷出头26中，在对第二连通通道136的X方向上的宽度和第二连通通道136的油墨的流通方向D1上的宽度进行比较时，第二连通通道136的油墨的流通方向D1的宽度、即流道基板30的厚度的更大。相对于此，也可以采用如下方式，即，第二连通通道的油墨的流通方向上的宽度可以不与流道基板的厚度大致相同，第二连通通道的油墨的流通方向的宽度可以小于第二连通通道的X方向上的宽度。

(B15)在上述实施方式的液体喷出头26中，在沿着Z方向进行观察时，第二吸振体54和连接部Cn被配置于相互不重叠的位置上。第一吸振体53也与第二吸振体54同样地，在Z方向进行观察时，也同样地被配置于与连接部Cn相互不重叠的位置上。相对于此，在Z方向上对流道基板进行观察时，既可以使第一吸振体以及第二吸振体的任意一方被配置于与连接部Cn重叠的位置上，也可以使第一吸振体以及第二吸振体均被配置于与连接部Cn重叠的位置上。

C.其他的方式

本公开内容并不限于上述的实施方式，在不脱离其主旨的范围内能够以各种各样的方式来实现。例如，本发明也能够通过以下的方式(aspect)来实现。为了解决本发明的课题的一部分或全部，或者为了实现本发明的效果的一部分或全部，能够与以下所记载的各个方式中的技术特征相对应的上述实施方式中的技术特征适当地进行替换或组合。另外，只要在本说明书中并未将该技术特征作为必要技术特征来进行说明，则能够适当地删除。

(1)根据本公开内容的一个方式，提供一种具有喷出液体的喷嘴的液体喷出头。该液体喷出头具备：流道基板，其在内部具备所述液体的流道；喷嘴板，其被安装于所述流道基板上，且形成有所述喷嘴；压力室基板，其隔着所述流道基板而被安装于与所述喷嘴板对置的位置上，且具有压力室；压力产生部，其通过来自与被设置于所述压力室基板上的电极连接的配线基板的电信号来进行动作，且通过使所述压力室的压力发生变化，而使所述液体从所述喷嘴被喷出。所述喷嘴板以及所述配线基板也可以被配置为，在沿着所述流道基板的厚度方向进行观察时，所述喷嘴板跟所述配线基板与所述电极之间的连接部位于相互不重叠的位置上。在流道基板上层压了压力室基板和喷嘴板的状态下，将配线基板安装在流道基板上。此时，在流道基板上安装配线基板时的流道基板的支承位置为，从将配线基板与电极连接的位置起沿着流道基板的厚度方向的位置，且成为隔着流道基板而与配线基板对置的位置。根据该方式的液体喷出头，在沿着流道基板的厚度方向的位置上，流道基板和配线基板被配置于相互不重叠的位置上。因此，能够抑制在被安装有喷嘴板的流道基板上对配线基板进行安装时对喷嘴板造成损伤等的不良现象的发生。

(2)在上述方式的液体喷出头中，所述配线基板也可以具备驱动电路。所述喷嘴板以及所述驱动电路也可以被配置为，在沿着所述流道基板的厚度方向进行观察时，所述喷嘴板与所述驱动电路位于相互不重叠的位置上。在将配线基板安装在流道基板时的、施加载荷的方向多数情况为，沿着被搭载于配线基板上的驱动电路的面方向而被实施。根据该方式的液体喷出头，在沿着流道基板厚度方向的位置上，被搭载于配线基板上的驱动电路和喷嘴板均被配置于相互不重叠的位置上。因此，能够避免在安装时使喷嘴板被配置在与对配线基板施加载荷的朝向一致的位置上。因此，能够抑制由于在安装有喷嘴板的流道基板上2配线基板进行安装时以及安装后的驱动电路的重量而导致的对喷嘴板造成损伤等的不良现象的发生。

(3)在上述方式的液体喷出头中，所述流道基板的所述流道也可以包括：第一连通通道，其在厚度方向上贯穿所述流道基板，且在所述喷嘴板侧和所述压力室基板侧分别具有开口；第一独立流道，其一端侧与所述第一连通通道连接；第二连通通道，其与所述第一独立流道的另一端侧连接，且向所述压力室基板侧延伸；第二独立流道，其与所述第二连通通道连接，且沿着所述压力室基板的面方向而延伸。根据该方式的液体喷出头，即使在具备循环流道的流道基板上被安装有喷嘴板的情况下，也能够抑制在安装配线基板时对喷嘴板造成损伤等的不良现象的发生。

(4)在上述方式的液体喷出头中，也可以具备多组液体喷出部，所述液体喷出部包括所述压力室、所述压力产生部、所述第一连通通道、所述第一独立流道、所述喷嘴、所述第二连通通道、所述第二独立流道。根据该方式的液体喷出头，能够针对一个液体喷出头而设置多个流道和喷嘴。因此，能够使油墨从多个喷嘴喷出，从而能够提高每一个液体喷出头的分辨率。

(5)在上述方式的液体喷出头中，多个所述液体喷出部也可以在沿着所述流道基板的长边方向的方向上被排列。所述配线基板也可以沿着所述长边方向而具备多个所述连接部，多个所述连接部分别与多个所述液体喷出部的所述压力产生部电连接。根据该方式的液体喷出头，多个液体喷出部沿着流道基板的长边方向而被排列。因此，能够在流道基板的整体上避免配线基板安装时对喷嘴板造成的损伤。另外，由于获得了多个液体喷出部的每一个的独立流道间的壁面，因此能够增强沿着厚度方向的流道基板的强度。因此，能够增加在流道基板上安装配线基板时的载荷，从而能够减少配线基板与电极的连接不良的发生。

(6)在上述方式的液体喷出头中，所述第二独立流道也可以被形成于所述流道基板与所述压力室基板的界面侧。所述连接部以及所述第二独立流道也可以被配置为，在沿着所述流道基板的厚度方向进行观察时，所述连接部与所述第二独立流道的至少一部分位于相互重叠的位置上。根据该方式的液体喷出头，形成于流道基板与压力室基板的界面侧的第二独立流道的至少一部分被配置于与配线基板和电极之间的连接部相互重叠的位置上。由此，能够使对配线基板施加电压时所产生的热量经由流通于第二独立流道内的液体而释放。

(7)在上述方式的液体喷出头中，所述第二独立流道也可以被设置在所述流道中的、与连接有所述喷嘴的所述流道相比靠所述液体的排出侧的所述流道处。在该方式的液体喷出头中，第二独立流道被配置于与喷嘴相比靠下游侧的排出侧。因此，即使在使从配线基板产生的热量释放至第二独立流道内的液体的情况下时，对于喷嘴附近的液体的温度的影响变小，从而能够抑制印刷时的品质的降低。

(8)在上述方式的液体喷出头中，所述第一独立流道的所述液体的流通方向也可以被设置为，成为与从所述喷嘴喷出所述液体的喷出方向垂直的朝向。根据该方式的液体喷出头，由于可以获得多个液体喷出部的每一个的独立流道间的壁面，从而增强了沿着厚度方向的流道基板的强度。因此，能够增加在流道基板上安装配线基板时的载荷，从而能够减少配线基板与电极的连接不良的发生。

(9)在上述方式的液体喷出头中，所述第一独立流道也可以被形成于所述流道基板与所述喷嘴板的界面侧，且沿着所述喷嘴板的面方向而延伸。根据该方式的液体喷出头，通过形成用于在流道基板上安装第一板的安装座，从而能够设置小型化的喷嘴板。

(10)在上述方式的液体喷出头中，所述第二连通通道的所述液体的流通方向上的宽度也可以大于所述第二连通通道的与所述液体的流通方向垂直的宽度。根据该方式的液体喷出头，从配线基板受到的第二独立流道内的液体的热量的上升变得难以从第二连通通道136传递至喷嘴Nz。

(11)在上述方式的液体喷出头中，所述压力产生部也可以被设置于所述压力室基板的面中的、与具备所述压力室侧为相反侧的面上。根据该方式的液体喷出头，缩短了配线基板与压力产生部的距离，从而易于实施与电极的连接。

(12)在上述方式的液体喷出头中，所述流道基板也可以具备：第一共用流道，其与多个所述压力室分别连通；第二共用流道，其与多个所述第二独立流道在与所述第二连通通道相反侧分别连通。根据该方式的液体喷出头，针对多个独立流道而连接有一个共用流道。由此，能够提高独立流道各自的液体的填充率。

(13)在上述方式的液体喷出头中，在所述第一共用流道中，对所述第一共用流道内的所述液体的压力变动进行缓和的第一吸振体也可以被配置于成为所述第一共用流道的内壁的一部分的位置上。在所述第二共用流道中，对所述第二共用流道内的所述液体的压力变动进行缓和的第二吸振体也可以被配置于成为所述第二共用流道的内壁的一部分的位置上。根据该方式的液体喷出头，能够增加共用流道中的柔性，从而能够抑制喷出液体时的串扰的发生。

(14)在上述方式的液体喷出头中，所述第一吸振体以及所述第二吸振体也可以被配置为，在沿着所述流道基板的厚度方向进行观察时，所述第一吸振体以及所述第二吸振体跟所述连接部位于相互不重叠的位置上。根据该方式的液体喷出头，能够抑制在安装有第一吸振体以及第二吸振体的流道基板上安装配线基板时对第一吸振体以及第二吸振体造成损伤等的不良现象的发生。

(15)在上述方式的液体喷出头中，所述喷嘴板也可以为硅基板。根据该方式的液体喷出头，能够高精度地对喷嘴板的喷嘴进行加工。

(16)根据本公开内容的其他的方式，提供一种液体喷出装置。液体喷出装置具备：上述各个方式的液体喷出头；流动机构，其使所述液体在所述流道被穿过而进行移动。

(17)根据本公开内容的其他的方式，提供一种具有喷出液体的喷嘴的液体喷出头的制造方法。在该液体喷出头的制造方法中对流道基板、喷嘴板、压力室基板以及压力产生室进行层压，其中，所述流道基板在内部具备所述液体的流道，所述喷嘴板被安装于所述流道基板上，且形成有所述喷嘴，所述压力室基板隔着所述流道基板而被安装于与所述喷嘴板对置的位置上，且具有压力室，所述压力产生部利用来自配线基板的电信号来进行动作，并通过使所述压力室的压力发生变化而使所述液体从所述喷嘴被喷出，所述配线基板具有与被设置在所述压力室基板上的电极之间的电连接部。将所述配线基板安装于，在从沿着所述流道基板的厚度方向进行观察时使所述喷嘴板与所述电极的向所述配线基板的连接部的位置相互不重叠的位置上。

本公开内容也能够以液体喷出头或液体喷出装置以外的各种各样的方式来实现。例如，能够以液体喷出头或液体喷出装置的制造方法、液体喷出头或液体喷出装置的控制方法、实现该控制方法的计算机程序、记录了该计算机程序的非临时性的记录介质(non-transitory storage medium：非临时性存储介质)等方式来实现。另外，并不限于喷出油墨的液体喷出装置，也能够应用于喷出油墨以外的其他的液体的任意的液体喷出装置中。例如，本发明能够应用于以下这样的各种的液体喷出装置中。并能够以如下方式来实现，即，传真装置等图像记录装置、在液晶显示器等图像显示装置用的滤色器的制造中所使用的颜色材料喷出装置、在有机EL(Electro Luminescence：电致发光)显示器、面发光显示器(Field Emission Display，FED)等的电极形成中所使用的电极材料喷出装置、喷出包含在生物芯片制造中所使用的生物体有机物的液体的液体喷出装置、作为精密移液器的试料喷出装置、润滑油的喷出装置、树脂液的喷出装置、在利用针头而向钟表或照相机等精密机械中喷出润滑油的液体喷出装置、为了形成在光通信元件等中所使用的微小半球透镜(光学透镜)等而将紫外线固化树脂液等透明树脂液喷出在基板上的液体喷出装置、为了对基板等进行蚀刻而喷出酸性或碱性的蚀刻液的液体喷出装置、具备其他的任意的使微小量的液滴喷出的液体喷出头的液体喷出装置等的方式。

符号说明

12…介质；14…液体容器；20…控制单元；22…输送机构；23…输送带；24…头移动机构；25…滑架；26…液体喷出头；30…流道基板；40…压力室基板；42…振动部；44…压电元件；45…引线电极；50…保护部件；51…矩形贯穿孔；52…喷嘴板；53…第一吸振体；54…第二吸振体；60…第一壳部件；61…油墨纳入室；62…油墨导入口；70…第二壳部件；71…油墨收纳室；72…油墨排出口；80…液体喷出部；90…配线基板；92…驱动电路；100…液体喷出装置；131…油墨流入室；132…第一共用流道；133…第一供给通道；134…第一连通通道；135…第一独立流道；136…第二连通通道；137…第二独立流道；138…第二供给通道；139…第二共用流道；140…油墨排出室；141…板安装座；Nz…喷嘴。

Claims (17)

1.一种液体喷出头，其具有喷出液体的喷嘴，并具备：

流道基板，其在内部具备所述液体的流道；

喷嘴板，其被安装于所述流道基板上，且形成有所述喷嘴；

压力室基板，其隔着所述流道基板而被安装于与所述喷嘴板对置的位置上，且具有压力室；

压力产生部，其通过来自与被设置于所述压力室基板上的电极连接的配线基板的电信号来进行动作，且通过使所述压力室的压力发生变化，而使所述液体从所述喷嘴被喷出，

所述喷嘴板以及所述配线基板被配置为，在沿着所述流道基板的厚度方向进行观察时，所述喷嘴板跟所述配线基板与所述电极之间的连接部位于相互不重叠的位置上。

2.如权利要求1所述的液体喷出头，其中，

所述配线基板具备驱动电路，

所述喷嘴板以及所述驱动电路被配置为，在沿着所述流道基板的厚度方向进行观察时，所述喷嘴板与所述驱动电路位于相互不重叠的位置上。

3.如权利要求1所述的液体喷出头，其中，

所述流道基板的所述流道包括：

第一连通通道，其在厚度方向上贯穿所述流道基板，且在所述喷嘴板侧和所述压力室基板侧分别具有开口；

第一独立流道，其一端侧与所述第一连通通道连接；

第二连通通道，其与所述第一独立流道的另一端侧连接，且向所述压力室基板侧延伸；

第二独立流道，其与所述第二连通通道连接，且沿着所述压力室基板的面方向而延伸。

4.如权利要求3所述的液体喷出头，其中，

具备多组液体喷出部，所述液体喷出部包括所述压力室、所述压力产生部、所述第一连通通道、所述第一独立流道、所述喷嘴、所述第二连通通道、所述第二独立流道。

5.如权利要求4所述的液体喷出头，其中，

多个所述液体喷出部在沿着所述流道基板的长边方向的朝向上被排列，

所述配线基板沿着所述长边方向而具备多个所述连接部，多个所述连接部与多个所述液体喷出部的所述压力产生部分别电连接。

6.如权利要求3所述的液体喷出头，其中，

所述第二独立流道被形成于所述流道基板与所述压力室基板的界面侧，

所述连接部以及所述第二独立流道被配置为，在沿着所述流道基板的厚度方向进行观察时，所述连接部与所述第二独立流道的至少一部分位于相互重叠的位置上。

7.如权利要求6所述的液体喷出头，其中，

所述第二独立流道被设置在所述流道中的与连接有所述喷嘴的所述流道相比靠所述液体的排出侧的所述流道处。

8.如权利要求3所述的液体喷出头，其中，

所述第一独立流道的所述液体的流通方向被设置为，成为与从所述喷嘴喷出所述液体的喷出方向垂直的朝向。

9.如权利要求3所述的液体喷出头，其中，

所述第一独立流道被形成于所述流道基板与所述喷嘴板的界面侧，且沿着所述喷嘴板的面方向而延伸。

10.如权利要求3所述的液体喷出头，其中，

所述第二连通通道的所述液体的流通方向上的宽度大于所述第二连通通道的与所述液体的流通方向垂直的宽度。

11.如权利要求3所述的液体喷出头，其中，

所述压力产生部被设置于所述压力室基板的面中的与具备所述压力室侧为相反侧的面上。

12.如权利要求3所述的液体喷出头，其中，

所述流道基板具备：

第一共用流道，其与多个所述压力室分别连通；

第二共用流道，其与多个所述第二独立流道在与所述第二连通通道相反的一侧分别连通。

13.如权利要求12所述的液体喷出头，其中，

在所述第一共用流道中，对所述第一共用流道内的所述液体的压力变动进行缓和的第一吸振体被配置于成为所述第一共用流道的内壁的一部分的位置上，

在所述第二共用流道中，对所述第二共用流道内的所述液体的压力变动进行缓和的第二吸振体被配置于成为所述第二共用流道的内壁的一部分的位置上。

14.如权利要求13所述的液体喷出头，其中，

所述第一吸振体以及所述第二吸振体被配置为，在沿着所述流道基板的厚度方向进行观察时，所述第一吸振体以及所述第二吸振体跟所述连接部位于相互不重叠的位置上。

15.一种液体喷出头，具备：

喷嘴板，其上形成有喷出液体的喷嘴；

压力室基板，其具有与所述喷嘴连通的压力室和用于使所述压力室内的液体产生压力变动的驱动元件；

配线基板，

所述喷嘴板以在俯视观察时与所述压力室基板重叠的方式而被配置于所述压力室基板的第一面侧，

在所述压力室基板中的与所述第一面相反的第二面上，形成有从所述驱动元件引出的电极，

所述电极与所述配线基板的连接部位在俯视观察时与所述喷嘴板不重叠。

16.一种液体喷出装置，具备：

权利要求1至权利要求15中的任意一项所述的液体喷出头；

流动机构，其使所述液体在所述流道内穿过而进行移动。

17.一种液体喷出头的制造方法，所述液体喷出头具有喷出液体的喷嘴，在所述液体喷出头的制造方法中，

对流道基板、喷嘴板、压力室基板以及压力产生部进行层压，其中，所述流道基板在内部具备所述液体的流道，所述喷嘴板被安装于所述流道基板上且形成有所述喷嘴，所述压力室基板隔着所述流道基板而被安装于与所述喷嘴板对置的位置上且具有压力室，所述压力产生部利用来自配线基板的电信号而进行动作，并通过使所述压力室的压力发生变化而使所述液体从所述喷嘴被喷出，所述配线基板具有与被设置在所述压力室基板上的电极之间的电连接部，

将所述配线基板安装于，在从沿着所述流道基板的厚度方向进行观察时使所述喷嘴板与所述电极的向所述配线基板的连接部的位置相互不重叠的位置上。

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