CN114851711A - 液体喷出头 - Google Patents
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Abstract
一种液体喷出头,能够抑制相邻的喷嘴之间的串扰。实施方式所涉及的液体喷出头具备多个驱动流路、多个虚拟流路以及侧壁。多个驱动流路与喷出液体的喷出喷嘴连通,并且填充有所述液体。多个虚拟流路与多个所述驱动流路相邻配置,与不喷出液体的虚拟喷嘴连通,并且填充有所述液体。侧壁形成于所述驱动流路与所述虚拟流路之间,根据驱动信号使所述驱动流路的容积和所述虚拟流路的容积同时变化。所述虚拟流路内的液体的声学共振周期比所述驱动流路内的液体的声学共振周期短。
Description
技术领域
本发明的实施方式涉及液体喷出头。
背景技术
例如,喷墨头等液体喷出头具备:喷嘴板,具有多个喷嘴;以及基座板,与喷嘴板对置配置,并构成与喷嘴连通的多个压力室及与多个压力室连通的共用室。通过对设置于压力室的驱动元件施加电压而使压力室产生压力变动,从而从喷嘴喷出液体。液体喷出头连接着收容液体的液体罐,使液体在经过液体喷出头和液体罐的循环路中循环。
在共享模式共壁方式的喷墨打印头中,存在以交替的方式设置用于喷出油墨的压力室和不喷出油墨的虚拟室。喷出供给到压力室的油墨的喷嘴开口。另一方面,虚拟室不设置喷嘴并被喷嘴板封闭。
发明内容
本发明要解决的问题是提供一种能够抑制相邻的压力室之间的串扰的液体喷出头。
实施方式所涉及的液体喷出头具备多个驱动流路、多个虚拟流路以及侧壁。多个驱动流路与喷出液体的喷出喷嘴连通,并且填充有所述液体。多个虚拟流路与多个所述驱动流路相邻配置,与不喷出液体的虚拟喷嘴连通,并且填充有所述液体。侧壁形成于所述驱动流路与所述虚拟流路之间,根据驱动信号使所述驱动流路的容积和所述虚拟流路的容积同时变形。所述虚拟流路内的液体的声学共振周期比所述驱动流路内的液体的声学共振周期短。
附图说明
图1是示出第一实施方式所涉及的喷墨头的立体图。
图2是示出该喷墨头的一部分的构成的分解立体图。
图3是该喷墨头的剖视图。
图4是该喷墨头的剖视图。
图5是示出该喷墨头的一部分的构成的立体图。
图6是示出该喷墨头中的驱动流路和虚拟流路的声学共振周期的坐标图。
图7是示出第二实施方式所涉及的喷墨记录装置的构成的说明图。
图8是示出其它实施方式所涉及的液体喷出头的一部分的构成的立体图。
图9是示出其它实施方式所涉及的液体喷出头的一部分的构成的立体图。
附图标记说明
10…喷墨头;11…基座板;12…喷嘴板;13…框部件;14…致动器;16…油墨室;17…电路基板;18…歧管;21…安装面;25…供给孔;26…排出孔;28…喷出喷嘴;29…虚拟喷嘴;31…驱动流路;32…虚拟流路;33…侧壁;34…电极;35…图案布线;51…膜;53…各向异性导电性膜;100…喷墨记录装置;110…喷墨头;111…箱体;112…介质供给部;113…图像形成部;114…介质排出部;115…输送装置;116…控制部;117…支承部;118…输送带;119…支承板;120…带辊;121…引导板对;122…输送用辊;130…头单元;132…油墨罐;133…连接流路;134…循环泵;161…供给室;162…排出室;181…油墨供给部;182…油墨排出部;210…喷墨头;290…虚拟喷嘴。
具体实施方式
以下,参照图1至图5对作为第一实施方式所涉及的液体喷出头的喷墨头10的构成进行说明。图1是示出第一实施方式所涉及的喷墨头的立体图,图2是喷墨头的一部分的分解立体图。图3和图4是剖视图,图5是将喷墨头的一部分放大后示出的立体图。图中X、Y、Z分别示出相互正交的第一方向、第二方向以及第三方向。需要说明的是,在本实施方式中,以分别是喷墨头10的喷出喷嘴28及驱动流路31的并列方向沿着X轴、驱动流路31的延伸方向沿着Y轴、液体的喷出方向沿着Z轴的姿势为基准来记载方向的说明,但不限于此。
如图1所示,喷墨头10是所谓的侧射型的共享模式共壁方式喷墨头。喷墨头10是用于喷出油墨的装置,例如搭载于喷墨打印机的内部。
喷墨头10具备基座板11、喷嘴板12以及框部件13。基座板11是基材的一个例子。在喷墨头10的内部形成油墨室16,所述油墨室16供给作为液体的一个例子的油墨。
在喷墨头10还安装控制喷墨头10的电路基板17、形成喷墨头10与油墨罐之间的路径的一部分的歧管18等器件。
如图1所示,基座板11例如通过矾土等陶瓷形成为矩形的板状。基座板11具有平坦的安装面21。在安装面21设置有多个供给孔25、一对致动器14以及多个排出孔26。
供给孔25在基座板11的中央部,在基座板11的长边方向上排列设置。供给孔25与歧管18的油墨供给部181连通。供给孔25经由油墨供给部181连接到油墨罐。油墨罐的油墨从供给孔25供给到油墨室16。
如图2所示,排出孔26夹着供给孔25及一对致动器14排列设置成两列。排出孔26与歧管18的油墨排出部182连通。排出孔26经由油墨排出部182连接到所述油墨罐。油墨室16的油墨从排出孔26排出到油墨罐。这样,油墨在油墨罐与油墨室16之间循环。
一对致动器14与基座板11的安装面21粘接。夹着供给孔25排列配置成两列。各致动器14例如分别通过由锆钛酸铅(PZT)形成的板状的两个压电体形成。所述两个压电体以极化方向在其厚度方向上成为相互相反的方向的方式贴合。致动器14例如通过具有热固化性的环氧类粘接剂与安装面21粘接。如图2所示,致动器14与排列为两列的喷嘴28对应地在油墨室16中平行地排列配置。致动器14将油墨室16划分为供给孔25开口的供给室161和排出孔26开口的两个排出室162。
致动器14形成为剖面梯形形状。致动器14的顶部与喷嘴板12粘接。致动器14具备多个驱动流路31和多个虚拟流路32。驱动流路31和虚拟流路32分别是由在致动器14的顶部形成为相同形状的槽形成的压力室,在形成驱动流路31和虚拟流路32的槽之间形成作为驱动元件的侧壁33。需要说明的是,驱动流路31的形状与虚拟流路32的形状也可以不同。侧壁33形成于驱动流路31与虚拟流路32之间,根据驱动信号使驱动流路31的容积和虚拟流路32的容积同时变化。
驱动流路31和虚拟流路32以交替的方式配置,并被侧壁33分别隔开。驱动流路31和虚拟流路32在与致动器14的长边方向交叉的方向上分别延伸,在作为致动器14的长边方向的第一方向(图中X轴)上并列多个。
在多个驱动流路31中,喷嘴板12的多个喷嘴28开口。驱动流路31的一个端部开口于油墨室16的供给室161。驱动流路31的另一个端部开口于油墨室16的排出室162。即,驱动流路31的两端向油墨室16开放。因此,油墨从驱动流路31的一个端部流入,油墨从驱动流路31的另一个端部流出。
多个虚拟流路32的喷嘴板12的多个虚拟喷嘴29开口。虚拟流路32的一个端部开口于油墨室16的供给室161。虚拟流路32的另一个端部开口于油墨室16的排出室162。即,虚拟流路32的两端向油墨室16开放。因此,油墨从虚拟流路32的一个端部流入,油墨从虚拟流路32的另一个端部流出。
在驱动流路31和虚拟流路32分别设置有电极34。电极34例如由镍薄膜形成。电极34将驱动流路31和虚拟流路32的内面覆盖。
油墨室16是被基座板11、喷嘴板12以及框部件13包围而形成的。即,油墨室16形成于基座板11与喷嘴板12之间。
如图2所示,在基座板11的安装面21形成有图案布线35。图案布线35例如由镍薄膜形成。图案布线35具有共用图案、个别图案,构成为到达形成于致动器14的电极34的规定的图案形状。
喷嘴板12例如由聚酰亚胺制成的矩形的膜形成。喷嘴板12与基座板11的安装面21对置。在喷嘴板12形成有将喷嘴板12在厚度方向上贯通的多个喷出喷嘴28和虚拟喷嘴29。
多个喷出喷嘴28设置成与驱动流路31的数量相同,并与驱动流路31分别对置配置。喷出喷嘴28沿着第一方向排列多个,与一对致动器14对应地排列成两列。各喷出喷嘴28分别构成为筒状。例如喷出喷嘴28也可以是尽管直径固定但朝向中央部或者顶端部缩径的形状,例如在一部分缩径的情况下,缩径部的直径成为喷出喷嘴28的直径。喷出喷嘴28与形成于一对致动器14的驱动流路31对置配置,并与驱动流路31分别连通。喷出喷嘴28在各驱动流路31的长边方向中央部各配置1个。
虚拟喷嘴29分别与形成于一对致动器14的多个虚拟流路32对置配置,并分别与虚拟流路32连通。设定虚拟喷嘴29的开口面积,使得不从虚拟流路32喷出油墨,填充于虚拟流路32的内部的油墨的声学共振周期比填充于驱动流路31的内部的油墨的声学共振周期短。例如形成有虚拟喷嘴29的虚拟流路32的虚拟喷嘴的开口面积构成为比喷出喷嘴28的某驱动流路31的喷出喷嘴的开口面积大。优选虚拟流路32的声学共振周期设定为驱动流路31的声学共振周期的1/2以下,进一步优选虚拟流路32的声学共振周期是驱动流路31的声学共振周期的1/2,例如在将驱动流路31的声学共振周期的半周期设为AL时,下式成立:
其中,c是虚拟流路内的油墨的压力传播速度,Sn是虚拟喷嘴的开口面积,Ln是虚拟喷嘴的长度,Vd是每一个虚拟喷嘴的虚拟流路的容积。
在本实施方式中,作为一个例子,排列有多个构成为与喷出喷嘴28相同的形状的虚拟喷嘴29。在各虚拟流路32的长边方向整个长度或者大致整个长度上,沿着第二方向(图中Y轴)并列配置有多个虚拟喷嘴29。例如,在第二方向上排列有多个虚拟喷嘴29的情况下,多个虚拟喷嘴29中的配置于第二方向的两端的虚拟喷嘴29配置于虚拟流路32的两端或者虚拟流路32的两端的附近。需要说明的是,例如虚拟喷嘴29也可以是尽管直径固定但喷出方向的中央部缩径或者朝向喷出方向的顶端部缩径的形状,例如在一部分缩径的情况下,缩径部的直径成为虚拟喷嘴29的直径。
作为实施例,当用喷嘴板12的厚度是50μm、喷出喷嘴28的直径是Φ20μm、虚拟喷嘴29的直径是Φ20μm、1个虚拟流路中排列的个数是20个、驱动流路31的流路=(40μm×150μm×2mm)、虚拟流路32的流路为(40μm×150μm×2mm)的例子进行说明时,在设为油墨密度ρ:1000[kg/m^3]、流路内的油墨的压力传播速度c=920[m/s]、槽宽度Wc=40μm、槽深度Hc=150μm、流路长度Lc=2mm、虚拟喷嘴29的直径Dn=20μm、喷嘴长度Ln=50μm、虚拟喷嘴间隔Ld=0.1mm(虚拟喷嘴20个)、喷嘴剖面面积Sn=π·Dn^2/4的情况下,每一个虚拟喷嘴29的虚拟流路32的容积成为Vd=Wc·Hc·Ld,因此,虚拟流路32的声学共振周期T是成为2.11μs(亥姆霍兹共振频率)。
另一方面,驱动流路31的声学共振周期是2Lc/c=4.35μs。即,虚拟流路的声学共振周期设定为驱动流路的声学共振周期的1/2以下。
框部件13例如通过镍合金形成为矩形的框状。框部件13介于基座板11的安装面21与喷嘴板12之间。框部件13分别与安装面21和喷嘴板12粘接。即,喷嘴板12经由框部件13安装于基座板11。
歧管18与基座板11的与喷嘴板12相反的一侧接合。在歧管18的内部,设置与供给孔25连通的流路亦即油墨供给部181、与排出孔26连通的流路亦即油墨排出部182。
电路基板17是膜载封装(FCP:film carrier package),分别具有形成多个布线并且具有柔软性的树脂制的膜51、以及与膜51的多个布线连接的IC52。需要说明的是,FCP也被称为带载封装(TCP)。膜51是卷带自动接合(TAB)。膜51的端部通过各向异性导电性膜(ACF)53与安装面21上的图案布线35以热压接连接。IC52是用于对电极34施加电压的器件。IC52例如通过树脂固定于膜51。即,IC52经由膜51的布线、图案布线35电连接到电极34。
在如上所示构成的喷墨头10中,例如IC52通过从喷墨打印机的控制部输入的信号将驱动电压经由膜51的布线施加到驱动流路31的电极34,从而在驱动流路31的电极34与虚拟流路32的电极34之间产生电位差,由此,使侧壁33选择性地进行共享模式变形。根据驱动信号将在驱动流路31与虚拟流路32之间形成的侧壁33变形,从而使驱动流路31的容积和虚拟流路32的容积同时变化。
侧壁33进行共享模式变形,从而设置有该电极34的驱动流路31的容积增加,压力减少。由此,油墨室16的油墨流入该驱动流路31。另一方面,同时地与该驱动流路31相邻的虚拟流路32的容积减少,压力增加。当虚拟流路32的压力增加时,虚拟流路32的油墨从虚拟流路32的两端向油墨室16流出,降低虚拟流路32的压力变化。
在驱动流路31的容积增加了的状态下,IC52对驱动流路31的电极34施加相反电位的驱动电压。由此,侧壁33进行共享模式变形,设置有该电极34的驱动流路31的容积减少,压力增加。由此,驱动流路31中的油墨被加压,被从喷嘴28喷出。
根据以上说明的实施方式所涉及的液体喷出头,能够抑制相邻的喷嘴之间的串扰。即,在喷墨头10中,在构成与喷出喷嘴28连通的压力室的驱动流路31之间,形成具有虚拟喷嘴29的虚拟流路32,通过虚拟喷嘴29使驱动流路31与虚拟流路32的声学共振周期不同,从而能够降低相邻的喷出喷嘴28之间的串扰。
即,例如在从夹着虚拟流路而相邻的三个喷出喷嘴同时喷出油墨的情况下,在从中央的喷嘴喷出油墨时,如果为了对中央的驱动流路进行加压而使成为驱动元件的侧壁变形,则相邻的虚拟流路的压力降低,其相邻的驱动元件的变形量变小,因此,相邻的驱动流路的加压量降低。
因而,在如现有技术这样的在虚拟流路中没有喷嘴的构成中,在驱动多个喷出喷嘴28的情况下,与仅驱动中央的喷出喷嘴28来喷出油墨的情况相比,墨滴的速度、体积降低,打印质量恶化。因而,无法维持液体喷出性能。该点在如本实施方式所涉及的喷墨头10这样将虚拟喷嘴29所连通的虚拟流路32的声学共振周期设为例如驱动流路31的1/2时,在驱动流路31的压力振动的半周期的期间,来自虚拟流路32的压力的影响被+和-抵消。因而,虚拟流路32的压力振动的影响得到降低。因此,相邻的喷出喷嘴28之间的串扰得到抑制,能够维持高液体喷出性能。
而且,根据上述的喷墨头10,驱动流路31和虚拟流路32以交替的方式配置,因此,能够从各驱动流路31同时喷出油墨,喷墨头10的驱动频率提高。虚拟流路32的两端向油墨室16分别开放,因此能够将油墨容易填充于虚拟流路32,从而能够抑制空气停留于虚拟流路32。而且,虚拟流路32的油墨从油墨室16的供给室161流到排出室162,因此能够抑制虚拟流路32的油墨的温度上升。由此,即使设置有虚拟流路32,也能够抑制驱动流路31的串扰量不同或者虚拟流路32的油墨的温度上升所造成的对油墨喷出的影响。
[第二实施方式]
以下,作为第二实施方式,参照图7对具备喷墨头10的喷墨记录装置100的一个例子进行说明。喷墨记录装置100具备箱体111、介质供给部112、图像形成部113、介质排出部114、输送装置115以及控制部116。
喷墨记录装置100是如下液体喷出装置:沿着从介质供给部112通过图像形成部113到达介质排出部114的规定的输送路A,一边输送例如纸张P作为喷出对象亦即记录介质,一边喷出油墨等液体,从而在纸张P上进行图像形成处理。
箱体111构成喷墨记录装置100的轮廓。在箱体111的规定部位具备将纸张P向外部排出的排出口。
介质供给部112具备多个供纸盒,构成为能够将各种尺寸的纸张P层叠多张并保持。
介质排出部114具备排纸托盘,所述排纸托盘构成为能够保持被从排出口排出的纸张P。
图像形成部113具备:支承部117,支承纸张P;以及多个头单元130,在支承部117的上方对置配置。
支承部117具备:输送带118,在进行图像形成的规定区域配置为环状;支承板119,从里侧支承输送带118;以及多个带辊120,配置于输送带118的里侧。
支承部117当形成图像时将纸张P支承于输送带118的上表面亦即保持面,并且通过带辊120的旋转按规定的时机输送输送带118,从而将纸张P向下游侧输送。
头单元130具备:多个(四色)喷墨头10;油墨罐132,作为分别搭载于各喷墨头10上的液体罐;连接流路133,连接喷墨头10和油墨罐132;以及循环泵134,作为循环部。头单元130是使液体始终在油墨罐132和在喷墨头10的内部制作的驱动流路31、虚拟流路32以及油墨室16中循环的循环型头单元。
在本实施方式中,具备:青色、品红色、黄色、黑色的四色喷墨头10、以及分别收容这些各色油墨的油墨罐132。油墨罐132通过连接流路133连接到喷墨头10。连接流路133具备连接到喷墨头10的供给口的供给流路、以及连接到喷墨头10的排出口的回收流路。
另外,油墨罐132连结未图示的泵等负压控制装置。并且,与喷墨头10和油墨罐132的水头值对应地,通过负压控制装置对油墨罐132内进行负压控制,从而使供给到喷墨头10的各喷出喷嘴28的油墨形成为规定形状的弯液面。
循环泵134例如是由压电泵构成的送液泵。循环泵134设置于供给流路。循环泵134通过布线与控制部116的驱动电路连接,构成为通过CPU(Central Processing Unit:中央处理单元)的控制能够进行控制。循环泵134使液体在包括喷墨头10和油墨罐132的循环流路中循环。
输送装置115将纸张P沿着从介质供给部112通过图像形成部113到达介质排出部114的输送路A输送。输送装置115具备沿着输送路A配置的多个引导板对121、以及多个输送用辊122。
多个引导板对121分别具备夹着所输送的纸张P对置配置的一对板部件,将纸张P沿着输送路A引导。
输送用辊122通过控制部116的控制被驱动并旋转,从而将纸张P沿着输送路A送到下游侧。需要说明的是,在输送路A中检测纸张的输送状况的传感器配置于各处。
控制部116具备:作为控制器的CPU等控制电路、存储各种程序等的ROM(Read OnlyMemory:只读存储器)、将各种可变数据、图像数据等暂时存储的RAM(Random AccessMemory:随机存取存储器)、以及进行来自外部的数据的输入和向外部的数据的输出的接口部。
在如上所示构成的喷墨记录装置100中,例如当在接口中检测出用户基于操作输入部的操作的印刷指示时,控制部116驱动输送装置115并输送纸张P,并且按规定的时机对头单元130输出打印信号,从而驱动喷墨头10。作为喷出动作,喷墨头10通过与图像数据相应的图像信号,对IC输送驱动信号,经由布线对驱动流路31的电极34施加驱动电压而选择性地驱动致动器14的侧壁33并从喷嘴28喷出油墨,从而在保持于输送带118上的纸张P上形成图像。另外,作为液体喷出动作,控制部116通过驱动循环泵134,从而使液体在通过油墨罐132和喷墨头10的循环流路中循环。通过循环动作,油墨罐132内的油墨通过循环泵134被驱动,从而油墨罐132的油墨通过歧管18的油墨供给部181从供给孔25供给到油墨室16的供给室161。该油墨被供给到一对致动器14的多个驱动流路31和多个虚拟流路32。油墨通过驱动流路31和虚拟流路32流入油墨室16的排出室162。该油墨从排出孔26通过歧管18的油墨排出部182排出到油墨罐132。
需要说明的是,本发明不限于上述实施方式的原样,能够在实施阶段在不脱离其主旨的范围内将构成要素变形并具体化。
例如在上述第一实施方式中示出了排列多个构成为与喷出喷嘴28相同形状的虚拟喷嘴29的例子,但不限于此。例如也可以使各个虚拟喷嘴29的开口面积大于喷出喷嘴28并使数量少于喷出喷嘴28,也可以使各个虚拟喷嘴29的开口面积小于喷出喷嘴28并使数量多于喷出喷嘴28地配置。另外,在上述第一实施方式中,虚拟喷嘴29沿着成为虚拟流路32的长边方向的第二方向在整个长度上排列有多个,但不限于此。例如作为其它实施方式如图8所示的喷墨头110这样,也可以仅在第二方向上的、以与喷出喷嘴28并排的位置为中心的中央部位形成多个虚拟喷嘴29。或者作为其它实施方式,也可以如图9所示的喷墨头210这样,具备构成为沿着第二方向延伸的狭缝状的虚拟喷嘴290。
在上述实施方式中,例示了喷墨记录装置100在成为记录介质的纸张P上形成基于油墨的二维图像的喷墨打印机,但不限于此。例如,也可以是3D打印机、工业用制造机械、或者医疗用机械等。在是3D打印机的情况下,使成为原材料的物质或者用于固定原材料的粘合剂等从喷墨头喷出,从而形成立体物。另外,喷墨头10的数量或使用的油墨的颜色及特性等也能够适当地变更。也能够喷出透明光泽油墨、当照射红外线或紫外线等时显色的油墨、或者其它特殊油墨等。而且,喷墨头10也可以是能够喷出油墨以外的液体的喷墨头,也可以是悬浊液等分散液。作为喷墨头10所喷出的油墨以外的液体,例如可列举用于形成印刷布线基板的布线图案的掩模等的液体、包括用于人工地形成组织或脏器等的细胞等的液体、粘接剂等粘合剂、蜡、或者液体状的树脂等。
根据以上描述的至少一个实施方式所涉及的液体喷出头和液体喷出装置,能够抑制相邻的喷嘴之间的串扰。
另外,对本发明的几个实施方式进行了说明,但这些实施方式只是作为示例而提出的,并非旨在限定发明的范围。这些实施方式能够以其他各种方式进行实施,能够在不脱离发明的宗旨的范围内进行各种省略、替换、变更。这些实施方式及其变形被包括在发明的范围和宗旨中,同样地被包括在权利要求书所记载的发明及其均等的范围内。
Claims (10)
1.一种液体喷出头,其中,具备:
多个驱动流路,与喷出液体的喷出喷嘴连通,并且填充有所述液体;
多个虚拟流路,与多个所述驱动流路相邻配置,与不喷出液体的虚拟喷嘴连通,并且填充有所述液体;以及
侧壁,形成于所述驱动流路与所述虚拟流路之间,根据驱动信号使所述驱动流路的容积和所述虚拟流路的容积同时变化,
所述虚拟流路内的液体的声学共振周期比所述驱动流路内的液体的声学共振周期短。
2.根据权利要求1所述的液体喷出头,其中,
所述虚拟流路内的液体的声学共振周期是所述驱动流路内的液体的声学共振周期的1/2以下。
3.根据权利要求1或2所述的液体喷出头,其中,具备:
基座,形成为在第一方向上以交替的方式并列多个所述驱动流路和所述虚拟流路;以及
喷嘴板,与所述基座的一侧对置配置,形成有所述喷出喷嘴和所述虚拟喷嘴,
所述驱动流路和所述虚拟流路在与所述第一方向交叉的第二方向上分别延伸,
所述虚拟喷嘴沿着所述第二方向配置多个,或者在所述第二方向上延伸。
4.根据权利要求3所述的液体喷出头,其中,
所述虚拟喷嘴在所述虚拟流路的延伸方向上的整个长度上形成。
5.根据权利要求3所述的液体喷出头,其中,
所述液体喷出头具备与所述基座粘接的致动器,
所述致动器由板状的两个压电体形成,其中,两个所述压电体以极化方向在所述压电体的厚度方向上成为相互相反的方向的方式贴合,所述驱动流路和所述虚拟流路分别是由在所述致动器的顶部的槽形成的压力室。
6.根据权利要求4所述的液体喷出头,其中,
所述液体喷出头具备与所述基座粘接的致动器,
所述致动器由板状的两个压电体形成,其中,两个所述压电体以极化方向在所述压电体的厚度方向上成为相互相反的方向的方式贴合,所述驱动流路和所述虚拟流路分别是由在所述致动器的顶部形成的槽形成的压力室。
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