JP7251211B2 - 液体吐出ヘッドおよび液体吐出装置 - Google Patents

Description

本開示は、液体吐出ヘッドおよび液体吐出装置に関する。

従来、液体吐出ヘッドを備えるインクジェット記録装置が知られている（例えば特許文献１）。このインクジェット記録装置において、液体吐出ヘッドは、連通路と、圧力発生室に共通して連通する第１共通液室としての共通液体室と、第２共通液室としての循環流路と、を有する。

特開２０１２－１４３９４８号公報

従来の液体吐出ヘッドにおいて、圧力発生室内の液体に圧力変化が生じた場合に、共通液体室と循環流路とに圧力室から液体が流入する場合がある。この場合には、液体の流入とともに、圧力発生室内で発生した圧力波が共通液体室と循環流路とに伝播し、さらに共通液体室と循環流路とに連通する他の圧力発生室に伝播する場合がある。このように一の圧力発生室から他の圧力発生室に振動が伝播する場合には、液体吐出ヘッドから吐出される液滴量が不安定になるクロストークが発生しうる。このため、クロストークの発生を低減するためには、共通液体室と循環流路とのそれぞれのコンプライアンス能力を、流入する液体の量に応じて向上させる必要がある。コンプライアンス能力は、例えば、共通液体室と循環流路との容積を大きくすることによって向上する。しかしながら、共通液体室と循環流路との容積を大きくする場合には、液体吐出ヘッドの大型化の原因となりうる。

本開示の一形態によれば、液体吐出ヘッドが提供される。この液体吐出ヘッドは、ノズルと圧力室とを含む個別流路と、第１共通液室と、第２共通液室と、を形成する流路形成基板と、前記圧力室内の液体に圧力変化を生じさせるための圧力発生素子と、を備え、前記第１共通液室は、前記第２共通液室と前記個別流路を介して接続され、前記第１共通液室のコンプライアンス能力は、前記第２共通液室のコンプライアンス能力より大きく、前記個別流路において、前記第１共通液室との第１接続部から前記圧力室までの間の流路抵抗は、前記第２共通液室との第２接続部から前記圧力室までの間の流路抵抗より小さい。

本発明の実施形態の液体吐出装置の構成を模式的に示す説明図である。 液体吐出ヘッドのＸＹ平面における模式断面図である。 図２の３－３断面における液体吐出ヘッドの模式断面図である。 一点鎖線で示された図３の領域４における流路構造の拡大図である。 液体吐出ヘッドのＸＹ平面における模式断面図である。 図５の６－６断面における液体吐出ヘッドの模式断面図である。 第３実施形態における液体吐出ヘッドの構成を示す一例である。 第１の他の実施形態における液体吐出ヘッドの構造の一例を示す図である。 第２の他の実施形態における液体吐出ヘッドの一例を示す模式図である。

Ａ．第１実施形態：
図１は、本発明の実施形態の液体吐出装置１００の構成を模式的に示す説明図である。液体吐出装置１００は、液体の一例であるインクを媒体１２に吐出するインクジェット方式の印刷装置である。液体吐出装置１００は、印刷用紙の他、樹脂フィルムや布等の任意の材質の印刷対象を媒体１２とし、これらの各種の媒体１２に対して液体を吐出することにより印刷を行う。互いに直交するＸ方向、Ｙ方向、Ｚ方向について、図１以降の各図においては、一例として、後述する液体吐出ヘッド２６の移動方向である主走査方向をＸ方向とし、主走査方向と直交した媒体送り方向である副走査方向をＹ方向とし、インク吐出方向をＺ方向として説明する。また、向きを特定する場合には、正の方向を「＋」、負の方向を「－」として、方向表記に正負の符合を併用する。なお、液体吐出ヘッド２６がＸ方向に移動しなくてもよいし、液体吐出ヘッド２６が媒体１２に対してＹ方向に相対的に移動してもよい。

液体吐出装置１００は、液体収容容器１４と、媒体１２を送り出す搬送機構２２と、制御ユニット２０と、ヘッド移動機構２４と、液体吐出ヘッド２６とを備える。液体収容容器１４は、液体吐出ヘッド２６に供給されるインクを収容する。液体収容容器１４としては、可撓性フィルムで形成された袋状のインクパックや、インク補充が可能なインクタンクなどが利用可能である。制御ユニット２０は、ＣＰＵ（Central Processing Unit）等の処理回路と半導体メモリー等の記憶回路とを含み、搬送機構２２やヘッド移動機構２４、液体吐出ヘッド２６等を統括制御する。搬送機構２２は、制御ユニット２０の制御下で動作し、媒体１２を＋Ｙ方向に送り出す。

ヘッド移動機構２４は、媒体１２の印刷範囲に亘ってＸ方向に掛け渡された搬送ベルト２３と、液体吐出ヘッド２６を収容して搬送ベルト２３に固定するキャリッジ２５とを備える。ヘッド移動機構２４は、制御ユニット２０の制御下で動作し、液体吐出ヘッド２６を主走査方向であるＸ方向においてキャリッジ２５を往復移動させる。キャリッジ２５の往復移動の際、キャリッジ２５は図示しないガイドレールにより案内される。液体吐出ヘッド２６は、副走査方向であるＹ方向に配列された複数のノズル３６２を有する。なお、複数の液体吐出ヘッド２６をキャリッジ２５に搭載したヘッド構成や、液体収容容器１４を液体吐出ヘッド２６と共にキャリッジ２５に搭載したヘッド構成としてもよい。

図２は、液体吐出ヘッド２６のＸＹ平面における模式断面図である。液体吐出ヘッド２６は、複数の個別流路３６と、１個の第１共通液室３２と、１個の第２共通液室３４と、を形成する流路形成基板を備える。第１共通液室３２と第２共通液室３４とは、互いに複数の個別流路３６を介して連通可能に接続されている。

液体収容容器１４と液体吐出ヘッド２６は、供給流路１４２と、回収流路１４４とを介して液体の循環が可能な状態で接続されている。供給流路１４２は、液体吐出ヘッド２６の第１共通液室３２に形成された供給口３２２に接続されている。回収流路１４４は、液体吐出ヘッド２６の第２共通液室３４に形成された排出口３４２に接続されている。回収流路１４４には、ポンプ１４６が設けられている。ポンプ１４６は、液体吐出ヘッド２６側から液体収容容器１４側に液体を送り出し、液体吐出ヘッド２６と液体収容容器１４との間で液体を循環させる。なお、供給流路１４２にポンプを設けてもよい。

液体吐出ヘッド２６の液体は、以下の経路を通って循環する。供給流路１４２を介して液体収容容器１４から供給される液体は、まず第１共通液室３２へと流入する。第１共通液室３２に流入した液体は、第１共通液室３２に接続された複数の個別流路３６のそれぞれに流入する。複数の個別流路３６に流入した液体は、複数の個別流路３６に共通して接続されている第２共通液室３４に流入する。第２共通液室３４の液体は、回収流路１４４を介して液体収容容器１４に回収される。液体収容容器１４に回収された液体は、再び供給流路１４２を介して液体吐出ヘッド２６に供給される。

図３は、図２の３－３断面における液体吐出ヘッド２６の模式断面図である。上述のように、液体吐出ヘッド２６は、流路構造として、第１共通液室３２と、第２共通液室３４と、個別流路３６と、を備える。図３において、個別流路３６は、１個のみが図示されているが、紙面奥行き方向であるＹ方向において複数配列されている。また、第１共通液室３２および第２共通液室３４は、複数の個別流路３６に共通で接続されている。このため、第１共通液室３２および第２共通液室３４の奥行き、図３においてＹ方向における寸法は、各個別流路３６の奥行きより大きい。以下において、Ｙ方向に配列された複数の個別流路３６を個別流路群３６ｓとも呼ぶ。

第１共通液室３２は、第２共通液室３４より大きな容積を有する。第１共通液室３２のＺ方向における寸法である第１寸法Ｌ１は、第２共通液室３４のＺ方向における寸法である第２寸法Ｌ２より大きい。本実施形態において、第１寸法Ｌ１は、第２寸法Ｌ２の３倍以上である。これにより、第１共通液室３２の容積を大きくすることが容易である。本実施形態において、第２寸法Ｌ２は、１ｍｍ以下である。

複数の個別流路３６のそれぞれは、液体を吐出するための開口を有するノズル３６２と、圧力室３６４を有する。個別流路３６内の液体は、圧力室３６４において圧力を付与される。圧力が付与された液体の一部は、ノズル３６２から吐出される。また、ノズル３６２から吐出されなかった液体の一部は、個別流路３６に接続された第１共通液室３２と第２共通液室３４とに移動する。この際に、圧力が付与される際に圧力室３６４において発生した振動は、液体の流入とともに第１共通液室３２と第２共通液室３４とに残留振動として伝播する。これにより、個別流路３６内に自身によって発生された振動が残留することが低減される。なお、圧力室３６４において圧力を付与される場合には、液体をノズル３６２から吐出するために圧力発生素子７０を駆動させる場合と、ノズル３６２から液体が吐出されない程度にノズル３６２のメニスカスを揺動させるために圧力発生素子７０を駆動させる場合と、がある。

個別流路３６は、第１共通液室３２との接続部である第１接続部３２４と、第２共通液室３４との接続部である第２接続部３４４と、を有する。個別流路３６は、第１接続流路３６６と、圧力室３６４と、第２接続流路３６８と、ノズル３６２とを有する。第１接続流路３６６は、第１接続部３２４と圧力室３６４とを接続し、Ｚ方向に延びる流路である。第２接続流路３６８は、第２接続部３４４とノズル３６２とを接続し、Ｘ方向に延びる流路と、ノズル３６２と圧力室３６４とを接続し、Ｚ方向に延びる流路とによって構成されている。圧力室３６４は、第１接続流路３６６と第２接続流路３６８との間に位置する空間であり、圧力発生素子に対応して設けられる空間である。

液体吐出ヘッド２６は、流路構造を形成する部材の流路形成基板として、第１連通板４２と、第２連通板４４と、ケース５２と、圧力室形成基板４６と、を備える。液体吐出ヘッド２６では、第１連通板４２と、第２連通板４４と、ケース５２と、がこの順番で－Ｚ方向から＋Ｚ方向に積層されている。また、第２連通板４４と、圧力室形成基板４６と、がこの順番で－Ｚ方向から＋Ｚ方向に積層されている。第１連通板４２および第２連通板４４は、それぞれＸＹ平面に延びる板状部材である。第１連通板４２と第２連通板４４とは、同一の材質で形成された第１流路基板４０である。ケース５２は、第１流路基板４０とは異なる材質で形成された第２流路基板５０である。第２流路基板５０と第１流路基板４０とが互いに異なる材質で形成されていることにより、例えば、第１流路基板４０を高精度の加工が可能なシリコン単結晶板で形成し、第２流路形成部材を低コストに成形可能な樹脂成形品で形成することができる。それにより、液体吐出ヘッド２６における設計の自由度が向上する。なお、第２流路基板５０と第１流路基板４０とが互いに同じ材質で形成されていてもよい。

第１連通板４２は、シリコン単結晶板によって形成され、－Ｚ方向側である一方側の面から＋Ｚ方向側である他方側の面に貫通する複数の開口部を有する。第１連通板４２に形成された開口部によって、第１共通液室３２の一部と、第２共通液室３４と、個別流路３６の一部と、のそれぞれが形成される。第１連通板４２のうち－Ｚ方向側の開口は、第１フィルム６２と、ノズルプレート６０が貼り付けられている。なお、第１連通板４２は、シリコン単結晶板以外の材質、例えば金属や樹脂やガラス等の種々の材質によって形成されていてもよい。

第２連通板４４は、第２フィルム６４を介して、＋Ｚ方向側から第１連通板４２に取り付けられている。第２連通板４４は、第１連通板４２と同様に、シリコン単結晶板によって形成され、－Ｚ方向側である一方側の面から＋Ｚ方向側である他方側の面に貫通する複数の開口部を有する。また、第２連通板４４は、第１共通液室３２および個別流路３６の一部を形成する開口部とは別に、－Ｚ方向側が開口した凹部４４６を有する。第２連通板４４に形成された開口部は、第２連通板４４に形成された開口部とともに、第１共通液室３２の一部と、個別流路群３６ｓの一部と、のそれぞれが形成される。凹部４４６は、Ｚ方向において第１連通板４２によって形成される第２共通液室３４と重なる位置に形成されている。第２連通板４４の＋Ｚ方向側には、ケース５２と圧力室形成基板４６とが取り付け得られている。なお、第２連通板４４は、シリコン単結晶板以外の材質、例えば金属や樹脂やガラス等の種々の材質によって形成されていてもよい。

第１フィルム６２は、第１連通板４２の開口部うち第１共通液室３２を形成する開口部を覆うように、－Ｚ方向側から第１連通板４２に貼り付けられている。第１フィルム６２は、可撓性を有する樹脂によって形成されたフィルム部材である。なお、第１フィルム６２は、樹脂以外の材質、例えば薄膜状の金属等の種々の材質によって形成されていてもよい。

ノズルプレート６０は、第１連通板４２の開口部うち第２共通液室３４を形成する開口部と個別流路群３６ｓを形成する開口部とを覆うように、－Ｚ方向側から第１連通板４２に貼り付けられている。ノズルプレート６０は、シリコン単結晶板によって形成された剛性を有する板状部材である。ノズルプレート６０は、第１連通板４２によって規定される個別流路３６のそれぞれとＺ方向において重なる位置に、ノズル開口を有する。ノズル開口によって、複数の個別流路３６のそれぞれにノズル３６２が形成される。なお、ノズルプレート６０は、シリコン単結晶板以外の材質、例えば金属や樹脂やガラス等の種々の材質によって形成されていてもよい。

第２フィルム６４は、第１フィルム６２と同様に、可撓性を有するフィルム部材である。第２フィルム６４は、第１共通液室３２と重なる位置と、複数の個別流路３６のそれぞれと、に重なる位置と、に開口が形成されている。これにより、第１連通板４２と第２連通板４４とに形成された開口部が互いに連通する。なお、第２フィルム６４は、樹脂以外の材質、例えば薄膜状の金属等の種々の材質によって形成されていてもよい。

第２フィルム６４は、第１連通板４２によって規定される第２共通液室３４と第２連通板４４に形成された凹部４４６との間に開口を有さない。このため、第２フィルム６４は、第２共通液室３４と凹部４４６とを互いに非連通の状態で区画する。

ケース５２は、第２流路形成部材であり、第１連通板４２や第２連通板４４と異なり、プラスチックなどの樹脂成形品によって形成されている。ケース５２は、第１連通板４２と第２連通板４４とに形成された開口部のうち第１共通液室３２の一部を形成する開口と、Ｚ方向において重なる位置に、凹部を有する。ケース５２に形成された凹部は、第２連通板４４が接続されている－Ｚ方向側が開口している。また、供給口３２２を除き、＋Ｚ方向側が閉塞している。ケース５２は、第１連通板４２および第２連通板４４とともに、第１共通液室３２を形成する。ケース５２の凹部のうち、＋Ｚ方向側の面には、供給口３２２が形成されている。なお、ケース５２は、プラスチック以外の材質、例えばシリコン単結晶板や金属等の種々の材質によって形成されていてもよい。

圧力室形成基板４６は、シリコン単結晶板で形成されている。圧力室形成基板４６は、第１連通板４２と第２連通板４４とに形成された開口部のうち複数の個別流路３６の一部を形成する開口のそれぞれと、Ｚ方向において重なる位置に、複数の凹部を有する。圧力室形成基板４６に形成された凹部は、第２連通板４４が接続されている－Ｚ方向側が開口し、＋Ｚ方向側が閉塞している。圧力室形成基板４６の複数の凹部のそれぞれは、個別流路３６のうち圧力室３６４を形成する。なお、圧力室形成基板４６は、シリコン単結晶板以外の材質、例えば金属や樹脂やガラス等の種々の材質によって形成されていてもよい。

圧力室形成基板４６のうち＋Ｚ方向側には、圧力室３６４内の液体に圧力変化を生じさせるための圧力発生素子７０が、保護基板４８によって覆われた状態で配置されている。すなわち、圧力発生素子７０の駆動により圧力変化が生じる空間が圧力室３６４となる。本実施形態において、圧力発生素子７０には、圧電素子が用いられている。圧力発生素子７０は、電極７２に電気的に接続されている。電極７２は、図示しないフレキシブルケーブルやバンプ等と電気的に接続される。なお、本実施形態において、液体吐出装置１００は、圧力発生素子として圧電素子であるピエゾアクチュエーターを採用したピエゾ式のインクジェットプリンターであるが、これに限定されない。例えば、液体吐出装置１００は、圧電素子に代えて、圧力室３６４内の液体を加熱することによって圧力室３６４内の圧力を変化させる圧力発生素子を備える、サーマル式のインクジェットプリンターであってもよい。

電極７２は、第２共通液室３４とＺ方向において重なる位置に配置されている。これにより、第１共通液室３２とＺ方向において重なる位置に配置に電極７２が配置されている場合と比べて、第１共通液室３２のＺ方向における寸法が大きくすることが容易である。また、電極７２がＺ方向における寸法が相対的に小さい第２共通液室３４の＋Ｚ方向側に配置されることにより、液体吐出ヘッド２６のＺ方向における小型化が容易である。

以上のように、第１共通液室３２は、第１流路基板４０である第１連通板４２および第２連通板４４と、第２流路基板５０であるケース５２と、によって形成されている。また、第１共通液室３２の底面は、可撓性を有する第１フィルム６２によって規定されている。これにより、第１共通液室３２のコンプライアンス能力が向上されている。また、第１共通液室３２の一部が、プラスチックによって形成されたケース５２によって規定されているため、第１共通液室３２の容積を大きくするためのコストが低減されている。また、第１共通液室３２のうち個別流路３６との第１接続部３２４を有する部分は、高精度の加工が可能なシリコン単結晶板によって形成された第２連通板４４によって形成されている。このため、例えば、製造時において、第１接続部３２４の開口面積の調整を高い精度で行うことが可能である。

第２共通液室３４は、第１流路基板４０である第１連通板４２によって形成されている。第２共通液室３４の底面は、ノズルプレート６０によって規定されている。第２共通液室３４の天面は、第２フィルム６４によって規定されている。

第２フィルム６４を挟んで第２共通液室３４の反対側には凹部４４６が形成されている。このため、第２フィルム６４のうち第２共通液室３４の天面を規定する領域は、Ｚ方向に変形することが可能である。これにより、第２共通液室３４のコンプライアンス能力が向上されている。

第２共通液室３４は、高精度の加工が可能なシリコン単結晶板によって形成された第１連通板４２によって形成されている。このため、例えば、製造時において、第２共通液室３４の大きさの調整を高い精度で行うことが可能である。また例えば、第２接続部３４４の開口面積の調整を高い精度で行うことが可能である。

個別流路群３６ｓは、第１流路基板４０である第１連通板４２および第２連通板４４と、圧力室形成基板４６と、によって形成されている。具体的には、個別流路３６のうち、第１接続部３２４から圧力室３６４に向って延びる第２接続流路３６８および第２接続部３４４から圧力室３６４に向かって伸びる第１接続流路３６６は、第１流路基板４０によって形成されている。また、個別流路３６のうち、圧力室３６４は、圧力室形成基板４６によって形成されている。個別流路３６は、高精度の加工が可能なシリコン単結晶板によって形成された第１流路基板４０と圧力室形成基板４６とによって形成されている。このため、例えば、製造時において、個別流路３６の流路形状の調整を高い精度で行うことが可能である。

ノズルプレート６０は、液体吐出ヘッド２６のノズル面６１を規定する。ノズル面６１は、ノズルプレート６０のうち第２共通液室３４の底面とは反対の壁面である。また、ノズル面６１は、液体吐出ヘッド２６の外壁面うちノズル３６２が形成された壁面である。本実施形態において、ノズル面６１は、Ｚ方向に垂直な方向、つまりＸＹ平面に沿って延びている。

第１共通液室３２は、圧力発生素子７０より＋Ｚ方向側と、圧力発生素子７０より－Ｚ方向側と、の両方に延びる内部空間を有している。一方、第２共通液室３４は、圧力発生素子７０より－Ｚ方向側にのみ延びる内部空間を有する。このため、第１共通液室３２の容積を大きくすることが容易である。

個別流路群３６ｓに連通する第１共通液室３２および第２共通液室３４は、クロストークの発生を低減できる程度のコンプライアンス能力を有するように構成される。クロストークとは、複数の個別流路３６のうちの１個の個別流路３６に取り付けられた圧力発生素子７０から発生する振動が、他の個別流路３６に影響を及ぼす現象をいう。上記構成によって、第１共通液室３２と第２共通液室３４とに個別流路３６から液体の流入とともに振動が伝播する場合であっても、第１共通液室３２および第２共通液室３４は、残留振動を低減することができる。このため、第１共通液室３２に伝播した残留振動が、さらに第１共通液室３２側から個別流路３６へと伝播することを低減できる。また第２共通液室３４に伝播した残留振動が、さらに第２共通液室３４側から個別流路３６へと伝播することを低減できる。

第１共通液室３２および第２共通液室３４のコンプライアンス能力は、液体の体積と、液体における音波の伝播速度と、第１フィルム６２または第２フィルム６４の張力と、第１フィルム６２または第２フィルム６４の面積と、によって変化する。例えば、液体の体積が大きいほど、コンプライアンス能力は大きくなる。また、コンプライアンス能力は、共通液室の可撓性を有する壁面、つまり第１フィルム６２または第２フィルム６４の面積が大きいほど、大きくなる。ここで第１共通液室３２は、第２共通液室３４と比べて、容積が大きい。また、第１フィルム６２は、第２フィルム６４より面積が大きい。これにより、第１共通液室３２のコンプライアンス能力は、第２共通液室３４のコンプライアンス能力より大きい。この場合において、第１共通液室３２のコンプライアンス能力は、第２共通液室３４のコンプライアンス能力の１．５倍より大きいことが好ましく、また、第２共通液室３４のコンプライアンス能力の２倍より大きいことがより好ましい。このため、第１共通液室３２は、第２共通液室３４と比べてより大きな量の液体が流入した場合であっても、残留振動をより低減できるのでクロストークの発生を低減できる。

上記のごとく第１共通液室３２のコンプライアンス能力を第２共通液室３４のコンプライアンス能力よりも大きくすることで、第１共通液室３２は大きな量の液体が流入してもクロストークの発生を低減できる。よって、本実施形態では、複数の個別流路３６は、第１接続部３２４から圧力室３６４までの間である第１接続流路３６６の流路抵抗は、第２接続部３４４から圧力室３６４までの間である第２接続流路３６８の流路抵抗より小さくなるように構成される。このため、圧力室３６４内の液体に圧力変化が生じた場合に、コンプライアンス能力が比較的大きい第１共通液室３２に、多くの液体を流入させることができる。また、コンプライアンス能力が比較的小さい第２共通液室３４に、コンプライアンス能力を超えた量の液体が流入する可能性を低減できる。流路抵抗は、流路長や流路断面等の流路の構造によって決まる。流路抵抗の大小は、液体における圧力損失を用いて比較できる。例えば、流路断面が同一形状である直線状の流路の場合、第１接続流路３６６の流路長を第２接続流路３６８の流路長よりも短くすることで、上記の流路抵抗の大小関係が生じる。

また複数の個別流路３６において、第１接続部３２４から圧力室３６４までの間、つまり第１接続流路３６６のイナータンスは、第２接続部３４４から圧力室３６４までの間、つまり第２接続流路３６８のイナータンスより小さい。イナータンスは、瞬間的な液体の流れやすさを決定するパラメーターである。すなわち、流路内の液体の動きやすさを記述し、運動の法則では質量で表されるが、これを管路内の流れに適応した時の相当質量がイナータンスである。圧力室３６４内の液体に圧力変化が生じた場合に、コンプライアンス能力が比較的大きい第１共通液室３２に、多くの液体を流入させることができる。また、コンプライアンス能力が比較的小さい第２共通液室３４に、コンプライアンス能力を超えた量の液体が流入する可能性を低減できる。イナータンスは、流路長や流路断面等の流路の構造によって決まる。

図４は、一点鎖線で示された図３の領域４における流路構造の拡大図である。個別流路３６のうち第２接続流路３６８には、個別流路３６の流路断面積を小さくする隔壁４２６が設けられている。隔壁４２６は、第２接続流路３６８のうちノズル３６２より第２接続部３４４側に設けられている。より具体的には、隔壁４２６は、分岐点３６９と第２接続部３４４との間に設けられている。分岐点３６９は、個別流路３６のうち、ノズル３６２から圧力室３６４に向かって伸びる流路とノズル３６２から第２共通液室３４に向かって伸びる流路とが分岐する位置である。つまり、個別流路３６において、ノズル３６２は、圧力室３６４と第２接続部３４４との間の分岐点３６９を介して第２接続部３４４と分岐している。

個別流路３６に隔壁４２６が設けられていることにより、分岐点３６９から第２接続部３４４までのイナータンスが大きくなる。また、第１接続流路３６６におけるイナータンスは、隔壁４２６が設けられている第２接続流路３６８のうち分岐点３６９より第２接続部３４４側のイナータンスより小さい。これにより、圧力室３６４からノズル３６２までのイナータンスを大きくすることなく、第１接続流路３６６のイナータンスが第２接続流路３６８のイナータンスより大きくなる。したがって、圧力室３６４からノズル３６２までの間での液体の移動が円滑にできるので、圧力発生素子７０により生じる圧力変化に基づいてノズル３６２から効率的に液体を吐出することができる。つまり、液体吐出ヘッド２６における液体の吐出効率が向上する。さらに、第１接続部３２４から圧力室３６４までの間のイナータンスは、第２接続部３４４からノズル３６２との分岐点３６９までの間のイナータンスより小さい。これにより、第２共通液室３４からノズル３６２への残留振動の伝播が低減される。したがって、第２共通液室３４からノズル３６２へと伝播する残留振動の減衰が早いため、液体吐出ヘッド２６は、液体吐出ヘッド２６の吐出周波数を小さくした場合であってもクロストークの発生を低減できる。

また、第１接続部３２４から圧力室３６４までの間の流路抵抗は、第２接続部３４４からノズル３６２との分岐点３６９までの間の流路抵抗より小さい。これにより、圧力室３６４からノズル３６２までの流路抵抗を大きくすることなく、第１接続流路３６６の流路抵抗を第２接続流路３６８の流路抵抗より小さくできる。したがって、圧力室３６４からノズル３６２までの間での液体の移動が円滑にできるので、液体吐出ヘッド２６における液体の吐出効率が向上する。

以上説明した第１実施形態の液体吐出ヘッド２６によれば、第１共通液室３２のコンプライアンス能力は、第２共通液室３４のコンプライアンス能力より大きく、第１接続部３２４から圧力室３６４までの間の流路抵抗は、第２接続部３４４から圧力室３６４までの間の流路抵抗より小さい。このため、液体吐出ヘッド２６は、圧力室３６４内の液体に圧力の変化が生じた場合に、圧力室３６４から第１共通液室３２側に向う圧力波による振動を第１共通液室３２のコンプライアンス能力によって吸収できる。したがって、液体吐出ヘッド２６は、第１共通液室３２側に伝播した後に残留する残留振動が個別流路３６に向うことによるクロストークの発生を低減できる。また、コンプライアンス能力が比較的小さい第２共通液室３４に接続された第２接続流路３６８の流路抵抗が相対的に大きいことによって、コンプライアンス能力を超えた量の液体が流入する可能性を低減できる。これにより、第２共通液室３４のコンプライアンス能力を大きくすることなく、第２共通液室３４側に伝播した後に残留する残留振動が個別流路３６に向うことによるクロストークの発生が低減されるので、第２共通液室３４のコンプライアンス能力を大きくする際に必要な第２共通液室３４の大型化を抑制できる。したがって、液体吐出ヘッド２６の小型化が容易になる。

また以上説明した第１実施形態によれば、第１接続部３２４から圧力室３６４までの間のイナータンスは、第２接続部３４４から圧力室３６４までの間のイナータンスより小さいので、個別流路３６内の液体は、第２共通液室３４より第１共通液室３２により流れやすい。したがって、液体吐出ヘッド２６の小型化がさらに容易になる。

Ｂ．第２実施形態
図５は、液体吐出ヘッド２６のＸＹ平面における模式断面図である。液体吐出ヘッド２２６は、２個の第１共通液室３２Ａ、３２Ｂと、１個の第２共通液室３４と、を備える点で第１実施形態と異なる。２個の第１共通液室３２Ａ、３２Ｂは、第２共通液室３４とそれぞれ異なる複数の個別流路３６Ａ、３６Ｂを介して接続されている。このため、液体吐出ヘッド２２６は、副走査方向であるＹ方向に配列された複数のノズル３６２を有するノズル列を、主走査方向であるＸ方向に２列有する。以下において、第１実施形態と同様の構成には、第１実施形態と同様の符号を付し、詳細な説明を省略する。

液体吐出ヘッド２２６の液体は、以下の経路を通って循環する。液体収容容器１４から供給される液体は、２個の供給流路１４２Ａ、１４２Ｂのうち一方の供給流路１４２Ａを介して一方の第１共通液室３２Ａへと流入し、２個の供給流路１４２Ａ、１４２Ｂのうち他方の供給流路１４２Ｂを介して他方の第１共通液室３２Ｂへと流入する。第１共通液室３２Ａ、３２Ｂに流入した液体は、２個の第１共通液室３２Ａ、３２Ｂに接続された異なる複数の個別流路３６のそれぞれに流入する。複数の個別流路３６に流入した液体は、全ての個別流路３６に共通して接続されている第２共通液室３４に流入する。第２共通液室３４の液体は、回収流路１４４を介して液体収容容器１４に回収される。液体収容容器１４に回収された液体は、再び２個の供給流路１４２Ａ、１４２Ｂを介して液体吐出ヘッド２２６に供給される。

図６は、図５の６－６断面における液体吐出ヘッド２２６の模式断面図である。本実施形態においても、Ｚ方向において第２共通液室３４と重なる位置に、圧力発生素子７０と電気的に接続された電極７２が配置されている。以下においては、一方の第１共通液室３２Ａと第２共通液室３４とを接続する複数の個別流路３６Ａを個別流路群３６Ａｓと呼び、一方の第１共通液室３２Ｂと第２共通液室３４とを接続する複数の個別流路３６Ｂを個別流路群３６Ｂｓと呼ぶ。なお、本実施形態において、一方の個別流路群３６Ａｓと他方の個別流路群３６Ｂｓとのそれぞれに含まれる個別流路３６Ａ、３６Ｂの数は同一であるが、個別流路３６Ａ、３６Ｂの数を異ならせてもよい。

それぞれの個別流路群３６Ａｓ、３６Ｂｓの圧力室３６４において同時に液体の圧力が変化した場合には、第１共通液室３２Ａ、３２Ｂのそれぞれには、それぞれに接続された個別流路群３６Ａｓ、３６Ｂｓから振動が伝播する。一方、第２共通液室３４には、接続された個別流路群３６Ａｓ、３６Ｂｓの両方から振動が伝播する。このため、第２共通液室３４に伝播する振動の発生源となる圧力室３６４の数は、第１共通液室３２Ａ、３２Ｂに伝播する振動の発生源となる圧力室３６４の数の２倍である。このため、液体吐出ヘッド２２６では、第２共通液室３４に接続された個別流路３６の数と、第１共通液室３２Ａ、３２Ｂのそれぞれに接続された個別流路３６の数と、の比を考慮して、コンプライアンス能力を設定する必要がある。

第１共通液室３２Ａ、３２Ｂのそれぞれのコンプライアンス能力は、第２共通液室３４のコンプライアンス能力の１／２より大きいコンプライアンス能力を有する。この場合において、第１共通液室３２のコンプライアンス能力は、第２共通液室３４のコンプライアンス能力の１／２の１．５倍より大きいことが好ましく、また、第２共通液室３４のコンプライアンス能力の１／２の２倍より大きいことがより好ましい。このため、第１共通液室３２は、第２共通液室３４と比べてより大きな量の液体が流入した場合であっても、クロストークの発生を低減できる。このため、２個の第１共通液室３２Ａ、３２Ｂに流入する液体の量の和が、第２共通液室３４に流入する液体の量と比べてより大きな量であっても、クロストークの発生を低減できる。

個別流路群３６Ａｓにおいて、第１共通液室３２Ａにおける第１接続部３２４Ａから圧力室３６４までの間である第１接続流路３６６の流路抵抗は、第２接続部３４４から圧力室３６４までの間である第２接続流路３６８の流路抵抗より小さい。同様に、個別流路群３６Ｂｓにおいて、第１共通液室３２Ｂにおける第１接続部３２４Ｂから圧力室３６４までの間である第１接続流路３６６の流路抵抗は、第２接続部３４４から圧力室３６４までの間である第２接続流路３６８の流路抵抗より小さい。また、個別流路群３６Ａｓにおける第１接続流路３６６のイナータンスは、第２接続流路３６８のイナータンスより小さく、個別流路群３６Ｂｓにおける第１接続流路３６６のイナータンスは、第２接続流路３６８のイナータンスより小さい。さらに、個別流路群３６Ａｓにおいて、第１接続部３２４Ａから圧力室３６４までの間のイナータンスは、第２接続部３４４からノズル３６２との分岐点３６９までの間のイナータンスより小さく、個別流路群３６Ｂｓにおいて、第１接続部３２４Ｂから圧力室３６４までの間のイナータンスは、第２接続部３４４からノズル３６２との分岐点３６９までの間のイナータンスより小さい。これにより、圧力室３６４からノズル３６２までのイナータンスを大きくすることなく、第１接続流路３６６の流路抵抗を第２接続流路３６８の流路抵抗より大きくできる。したがって、圧力室３６４からノズル３６２までの間での液体の移動が円滑にできるので、液体吐出ヘッド２２６における液体の吐出効率が向上する。

以上説明した第２実施形態の液体吐出ヘッド２２６によれば、上記第１実施形態と同様の構成を有する点において、同様の効果を有する。また、第２実施形態の液体吐出ヘッド２２６によれば、第１共通液室３２Ａ、３２Ｂのそれぞれのコンプライアンス能力は、第２共通液室３４のコンプライアンス能力の１／２倍より大きい。また、第１共通液室３２Ａ、３２Ｂと第２共通液室３４との間の個別流路群３６Ａｓ、３６Ｂｓにおいて、第１接続部３２４Ａ、３２４Ｂから圧力室３６４までの間のそれぞれの流路抵抗は、第２接続部３４４から圧力室３６４までの間の流路抵抗より小さい。このため、液体吐出ヘッド２２６は、圧力室３６４内の液体に圧力の変化が生じた場合に、圧力室３６４から第１共通液室３２Ａ，３２Ｂ側に向う圧力波による振動を第１共通液室３２Ａ，３２Ｂのコンプライアンス能力によって吸収できる。したがって、液体吐出ヘッド２２６は、第１共通液室３２Ａ，３２Ｂ側に伝播した後に残留する残留振動が個別流路３６に向うことによるクロストークの発生を低減できる。また、コンプライアンス能力が比較的小さい第２共通液室３４に接続された第２接続流路３６８の流路抵抗が相対的に大きいことによって、コンプライアンス能力を超えた量の液体が流入する可能性を低減できる。これにより、第２共通液室３４のコンプライアンス能力を大きくすることなく、第２共通液室３４側に伝播した後に残留する残留振動が個別流路３６に向うことによるクロストークの発生が低減されるので、第２共通液室３４のコンプライアンス能力を大きくする際に必要な第２共通液室３４の大型化を抑制できる。したがって、液体吐出ヘッド２６の小型化が容易になる。

また以上説明した第２実施形態によれば、Ｚ方向において第２共通液室３４と重なる位置に、圧力発生素子７０と電気的に接続された電極７２が配置されている。ここで、第２共通液室３４は、コンプライアンス能力が比較的小さく、第１寸法Ｌ１より小さい第２寸法Ｌ２を有している。このため、Ｚ方向において第１共通液室３２と重なる位置に電極７２が配置されている場合と比べて、液体吐出ヘッド２２６の全体としてのＺ方向の寸法を小型化することが容易である。また、Ｘ方向に複数列のノズル３６２を有する液体吐出ヘッド２２６において、電極７２が第１共通液室３２や第２共通液室３４とＺ方向に重ならない位置に配置される場合と比べて、液体吐出ヘッド２２６におけるＸＹ方向の寸法を小型化することが容易である。

Ｃ．第３実施形態
図７は、第３実施形態における液体吐出ヘッド３２６の構成を示す一例である。第３実施形態では、液体吐出ヘッド３２６は、Ｍ個（Ｍは１以上の整数）の第１共通液室３２と、Ｎ個（Ｎは１以上の整数）の第２共通液室３４と、を有している点において、第２実施形態と異なる。複数の個別流路３６の少なくとも１個の個別流路３６によって形成された個別流路群３６ｓのそれぞれは、Ｍ個のうちの１個の第１共通液室３２と、Ｎ個のうちの１個の第２共通液室３４と、を接続させる。以下において、第１実施形態と同様の構成については、同様の符号を付し、詳細な説明を省略する。なお、本実施形態において、複数の個別流路群３６ｓのそれぞれに含まれる個別流路３６の数は同一であるが、個別流路３６Ａ、３６Ｂの数を異ならせてもよい。

Ｍ個の第１共通液室３２のうちの一つを、代表第１共通液室３２とした場合において、代表第１共通液室３２は、ｎ個（ｎは１以上Ｍ以下の整数）の第２共通液室３４のそれぞれと、異なる個別流路群３６ｓを介して接続されている。また、代表第１共通液室３２に接続されたｎ個の第２共通液室３４のうちの一つを代表第２共通液室３４として場合において、代表第２共通液室３４は、代表第１共通液室３２を含むｍ個（ｍは１以上Ｍ以下の整数）の第１共通液室３２のそれぞれと、異なる個別流路群３６ｓを介して接続されている。

それぞれの個別流路群３６ｓの圧力室３６４において同時に液体の圧力が変化した場合には、第１共通液室３２のそれぞれには、それぞれに接続された個別流路群３６ｓから振動が伝播する。一方、第２共通液室３４のそれぞれには、それぞれに接続された個別流路群３６ｓから振動が伝播する。このため、代表第２共通液室３４に伝播する振動の発生源となる圧力室３６４の数は、代表第１共通液室３２に伝播する振動の発生源となる圧力室３６４の数のｍ／ｎ倍である。このため、液体吐出ヘッド２２６では、第２共通液室３４に接続された個別流路群３６ｓの数と、第１共通液室３２のそれぞれに接続された個別流路群３６ｓの数と、の比を考慮して、コンプライアンス能力を設定する必要がある。

代表第１共通液室３２のコンプライアンス能力は、代表第１共通液室３２に接続された１つの第２共通液室３４である代表第２共通液室３４のコンプライアンス能力のｎ／ｍ倍より大きい。この場合において、第１共通液室３２のコンプライアンス能力は、第２共通液室３４のコンプライアンス能力のｎ／ｍ倍の１．５倍より大きいことが好ましく、また、第２共通液室３４のｎ／ｍ倍のコンプライアンス能力の２倍より大きいことがより好ましい。

この場合において、代表第１共通液室３２における第１接続流路３６６の流路抵抗は、代表第２共通液室３４における第２接続流路３６８の流路抵抗より小さい。また、代表第１共通液室３２における第１接続流路３６６のイナータンスは、代表第２共通液室３４における第２接続流路３６８のイナータンスより小さい。さらに、代表第１共通液室３２と代表第２共通液室３４とを接続する個別流路群３６ｓにおいて、第１接続部３２４から圧力室３６４までの間のイナータンスは、第２接続部３４４からノズル３６２との分岐点３６９までの間のイナータンスより小さい。これにより、圧力室３６４からノズル３６２までのイナータンスを大きくすることなく、第１接続流路３６６の流路抵抗を第２接続流路３６８の流路抵抗より大きくできる。したがって、圧力室３６４からノズル３６２までの間での液体の移動が円滑にできるので、液体吐出ヘッド３２６における液体の吐出効率が向上する。

以下では、上記の説明におけるＭとＮとｍとｎとに、具体的な数字を当てはめて液体吐出ヘッド３２６を説明する。図７における例示では、Ｍ＝３であり、かつＮ＝４の例の場合における液体吐出ヘッド３２６の模式図である。

図７に示した液体吐出ヘッド３２６は、３個の第１共通液室３２ａ～３２ｃと、４個の第２共通液室３４ａ～３４ｄと、を有する。例えば、第１共通液室３２ａを代表第１共通液室とした場合には、代表第１共通液室３２ａには、４つの第２共通液室３４ａ～３４ｄが接続されている。この場合において、代表第１共通液室３２ａに接続された４つの第２共通液室３４ａ～３４ｄのうちの一つである第２共通液室３４ａを代表第２共通液室とした場合には、代表第２共通液室３４ａは、代表第１共通液室３２ａを含む３つの第１共通液室３２ａ～３２ｃと接続されている。

代表第１共通液室３２ａのコンプライアンス能力は、代表第２共通液室３４ａのコンプライアンス能力の３／４倍より大きい。また、代表第１共通液室３２ａのそれぞれにおける第１接続部３２４から圧力室３６４までの間の流路抵抗は、第２接続部３４４から圧力室３６４までの間の流路抵抗より小さい。個別流路群３６ｓにおいて、代表第１共通液室３２における第１接続部３２４から圧力室３６４までの間のイナータンスは、代表第２共通液室３４ａにおける第２接続部３４４から圧力室３６４までの間のイナータンスより小さい。さらに、個別流路群３６ｓにおいて、代表第１共通液室３２における第１接続部３２４から圧力室３６４までの間のイナータンスは、第２接続部３４４からノズル３６２との分岐点３６９までの間のイナータンスより小さい。

また例えば、第１共通液室３２ｂを代表第１共通液室とした場合には、代表第１共通液室３２ｂには、１個の第２共通液室３４ａが接続されている。この場合において、代表第１共通液室３２ｂに接続された唯一の第２共通液室３４ｂが代表第２共通液室３４ａである。代表第２共通液室３４ａは、代表第１共通液室３２ｂを含む３つの第１共通液室３２ａ～３２ｃと接続されている。

代表第１共通液室３２ｂのコンプライアンス能力は、代表第２共通液室３４ａのコンプライアンス能力の３倍より大きい。また、代表第１共通液室３２ｂのそれぞれにおける第１接続部３２４から圧力室３６４までの間の流路抵抗は、第２接続部３４４から圧力室３６４までの間の流路抵抗より小さい。個別流路群３６ｓにおいて、代表第１共通液室３２ｂにおける第１接続部３２４から圧力室３６４までの間のイナータンスは、代表第２共通液室３４ｂにおける第２接続部３４４から圧力室３６４までの間のイナータンスより小さい。さらに、個別流路群３６ｓにおいて、代表第１共通液室３２ｂにおける第１接続部３２４から圧力室３６４までの間のイナータンスは、第２接続部３４４からノズル３６２との分岐点３６９までの間のイナータンスより小さい。これにより、代表第２共通液室３４ａからノズル３６２への残留振動の伝播が低減される。

以上説明した第３実施形態によれば、第１実施形態または第２実施形態と同様の構成を有する点において、同様の効果を奏する。また、第３実施形態によれば、第１実施形態及び第２実施形態に示した第１共通液室３２と第２共通液室３４とにおけるコンプライアンス能力の関係を一般化ができる。これにより、第１共通液室３２と第２共通液室３４との数をそれぞれ任意の数に変更する場合であっても、クロストークの発生の低減と小型化との両立が可能である。なお、Ｍ＝１であり、かつＮ＝１である場合には、第１実施形態と同様の構成となる。またＭ＝２であり、かつＮ＝１である場合には、第２実施形態と同様の構成となる。

Ｄ．他の実施形態
Ｄ１．第１の他の実施形態
上記実施形態において、第１共通液室３２と第２共通液室３４との形状や構造は、適宜変更可能である。例えば、第１共通液室３２の天面は、ＸＹ平面に沿って延びているが、第１共通液室３２における天面の形状はこれに限定されない。例えば、第１共通液室３２における天面の形状は、ＸＹ平面に交差する方向に延びるテーパー形状を有していてもよい。この場合において、第１共通液室３２のＺ方向における寸法である第１寸法Ｌ１は、天面と対向する底面とのＺ方向における距離のうち最大の距離である。また、上記実施形態において、供給口３２２は、第１共通液室３２の天面に設けられているが、これに限定されない。例えば、供給口３２２は、第１共通液室３２の側面に設けられていてもよい。また、上記実施形態において、排出口３４２は、第２共通液室３４の天面に設けられているが、これに限定されない。例えば、第１接続部３２４は、第２共通液室３４の側面に設けられていてもよい。

また、例えば、第１共通液室３２は、底面を規定する第１フィルム６２によってコンプライアンス能力が担保されているが、これに限定されない。また、例えば、第２共通液室３４は、天面を規定する第２フィルム６４によってコンプライアンス能力が担保されているが、これに限定されない。例えば、第１フィルム６２を第１共通液室３２の天面や側面に設けてもよいし、第２フィルム６４を第２共通液室３４の底面や側面に設けてもよい。また、第１共通液室３２や第２共通液室３４のコンプライアンス能力を、第１フィルム６２や第２フィルム６４以外の部材を用いて担保してもよい。

図８は、第１の他の実施形態における液体吐出ヘッド２６Ａの構造の一例を示す図である。第２共通液室３４の小型化が容易になったことにより、第２共通液室３４の形状の変更が容易になる。このため、例えば図７のように、第２共通液室３４の形状、具体的には第２共通液室３４の天面Ｔｓの形状を一部にテーパー形状を有するアーチ状にしてもよい。この場合には、第２共通液室３４を規定する壁面を厚くできるので、液体吐出ヘッド２６Ａの剛性を向上させることができる。また、液体吐出ヘッド２６Ａにおいて、第２共通液室３４のＺ方向における寸法Ｌ２Ａは、天面Ｔｓと対向する底面ＢｓとのＺ方向における距離のうち最大の距離である。さらに、図８のように、第２共通液室３４のコンプライアンス能力を、ノズルプレート６０を用いて担保してもよい。すなわち、ノズルプレート６０のうち、第２共通液室３４を形成する開口部を覆う部分について、他の部分よりもＺ方向の厚みを薄くすることにより、第２共通液室３４の残留振動を吸収してもよい。

Ｄ２．第２の他の実施形態
上記実施形態において、１個の個別流路３６によって１個の第１共通液室３２と１個の第２共通液室３４とが接続されているが、１個の個別流路３６によって接続される第１共通液室３２と第２共通液室３４とのそれぞれの数はこれに限定されない。例えば、１個の個別流路３６によって接続される第１共通液室３２と第２共通液室３４との少なくとも一方は、２以上であってもよい。

図９は、第２の他の実施形態における液体吐出ヘッド２６Ｂの一例を示す模式図である。図９に示した例では、１個の個別流路３６に２個の第２共通液室３４が接続されている場合の様子が示されている。この場合において、この１個の個別流路３６に接続される第１共通液室３２の数が１個である場合には、第１共通液室３２のコンプライアンス能力は、第１共通液室３２に接続された２つの第２共通液室３４のコンプライアンス能力の２倍より大きいことが好ましい。この場合において、第１共通液室３２のコンプライアンス能力は、第２共通液室３４のコンプライアンス能力の２倍の１．５倍より大きいことが好ましく、また、第２共通液室３４の２倍のコンプライアンス能力の２倍より大きいことがより好ましい。

図９の例では、ノズルプレート６０のうち第２共通液室３４の底面Ｂｓを規定する領域を薄くすることによって第２共通液室３４のコンプライアンス能力を向上させている。また、この場合において、液体吐出ヘッド２６Ｂは、第２フィルム６４を備えなくてもよい。また、さらにこの場合には、第１流路基板４０は、第１連通板４２のみであってもよい。

Ｄ３．第３の他の実施形態
第１共通液室３２と第２共通液室３４とのそれぞれのコンプライアンス能力を向上させる方法は、上記実施形態に限定されない。例えば、第１共通液室３２および第２共通液室３４のコンプライアンス能力は、第１共通液室３２および第２共通液室３４に形成されている開口、例えば供給口３２２や排出口３４２の大きさを大きくすることによって向上されてもよい。例えば、ノズルプレート６０のうち第２共通液室３４の底面を規定する領域を薄くすることでノズルプレート６０の可撓性を向上させ、これにより第２共通液室３４のコンプライアンス能力を向上させてもよい。また、例えば、ノズルプレート６０のうち第２共通液室３４の底面を規定する領域を切欠き、切欠いた領域にフィルム部材で塞ぐ構成に変更することで、第２共通液室３４のコンプライアンス能力を向上させてもよい。

Ｄ４．第４の他の実施形態
第１共通液室３２の第１寸法Ｌ１と第２共通液室３４の第２寸法Ｌ２との関係は、上記実施形態に限定されず、第１共通液室３２と第２共通液室３４とのコンプライアンス能力の関係が担保される限りにおいて変更可能である。例えば、第１寸法Ｌ１は、第２寸法Ｌ２の３倍未満であってもよい。また、第１共通液室３２と第２共通液室３４とは、共に圧力発生素子７０よりノズルプレート６０側と圧力発生素子７０よりノズルプレート６０の反対側との両方に延びる内部空間を有していてもよい。また、第１共通液室３２と第２共通液室３４とは、共に圧力発生素子７０よりノズルプレート６０に延びる内部空間のみを有していてもよい。さらに、第１寸法Ｌ１は、第２寸法以下であってもよい。第２寸法Ｌ２は、１ｍｍ以上であってもよい。

また、第１共通液室３２の容積と第２共通液室３４の容積との関係は、上記実施形態に限定されず、第１共通液室３２と第２共通液室３４とのコンプライアンス能力の関係を担保しつつ変更可能である。例えば、第１実施形態において、容積以外の要素によって第１共通液室３２のコンプライアンス能力が第２共通液室３４のコンプライアンス能力より大きくなるように設計されている場合には、第１共通液室３２の容積は、第２共通液室３４の容積以下でもよい。

Ｄ５．第５の他の実施形態
上記実施形態において、第１流路基板４０と第２流路基板５０であるケース５２とは互いに異なる材質であるが、第１流路基板４０と第２流路基板５０であるケース５２とは同一の材質であってもよい。具体的には、例えば、第１流路基板４０と第２流路基板５０との両方が、プラスチックによって形成されていてもよい。また例えば、第１流路基板４０と第２流路基板５０との両方が、シリコン単結晶板によって形成されていてもよい。

Ｄ６．第６の他の実施形態
上記実施形態において、第１共通液室３２は、液体の循環経路において、第２共通液室３４より上流側であるが、第２共通液室３４より下流側であってもよい。さらに、第１共通液室３２と第２共通液室３４との間の個別流路３６は１つでもよい。

Ｄ７．第７の他の実施形態
上記実施形態において、第１接続部３２４から圧力室３６４までの間のイナータンスは、第２接続部３４４から圧力室３６４までの間のイナータンスより小さく、かつ第１接続部３２４から圧力室３６４までの間の流路抵抗は、第２接続部３４４から圧力室３６４までの間のイナータンスより小さい。しかし、イナータンスおよび流路抵抗の関係は、クロストークの発生の低減が可能である限りにおいて、変更可能である。例えば、少なくともイナータンスと流路抵抗との少なくとも一方が、第１接続部３２４から圧力室３６４までの間において、第１接続部３２４から圧力室３６４までの間より小さければよい。

上記実施形態において、第１接続部３２４から圧力室３６４までの間のイナータンスは、第２接続部３４４から分岐点３６９までの間のイナータンスより小さいが、これに限定されない。例えば、第１接続部３２４から圧力室３６４までの間のイナータンスは、第２接続部３４４から分岐点３６９までの間のイナータンス以上であってもよい。この場合において、ノズル３６２は、第２接続部３４４と圧力室３６４との間に設けられていなくてもよい。具体的には、例えば、ノズル３６２は、第１接続部３２４と圧力室３６４との間に設けられていてもよい。

Ｄ８．第８の他の実施形態
上記実施形態において、第２接続流路３６８には、隔壁４２６が設けられているが、これに限定されない。例えば、第２接続部３４４は、隔壁４２６を有さなくてもよい。この場合には、第２接続部３４４は、隔壁４２６とは異なる構造を有するこのとによって、イナータンスまたは流路抵抗を大きくしてもよい。

Ｄ９．第９の他の実施形態
上記実施形態において、ノズル３６２は、第２接続流路３６８に設けられているが、これに限定されない。例えば、ノズル３６２は、第１接続流路３６６に設けられていてもよい。

Ｄ１０．第１０の他の実施形態
上記実施形態において、流路構造を形成する部材の流路形成基板として、第１連通板４２と、第２連通板４４と、ケース５２と、圧力室形成基板４６と、を備えていたが、第１共通液室３２と第２共通液室３４と個別流路３６とが形成される流路形成基板の組み合わせはこれに限定されない。例えば、第１連通板４２と、第２連通板４４と、ケース５２と、圧力室形成基板４６とのいずれか１つ以上に、第１共通液室３２と第２共通液室３４と個別流路３６とが形成されてもよい。また、第１連通板４２と、第２連通板４４と、ケース５２と、圧力室形成基板４６とを、三次元造形により一体的に形成してもよい。

Ｄ１１．第１１の他の実施形態
上記第２、第３実施形態において、複数の個別流路群３６ｓは、それぞれ同一の数の個別流路３６を含んでいるが、これに限定されない。例えば複数の個別流路群３６ｓは、それぞれ異なる数の個別流路３６を含んでいてもよい。

上記第１から第１１の他の実施液体であっても、上記実施形態と同様の構成を有する点において同様の効果を奏する。

Ｄ１２．第１２の他の実施形態
本開示は、インクジェットプリンター、及び、インクジェットプリンターにインクを供給するためのインクタンクに限らず、インクを含む種々の液体を吐出する任意の液体吐出装置及びその液体を収容するための液体タンクにも適用することができる。例えば、以下のような各種の液体吐出装置及びその液体収容容器に適用可能である。
（１）ファクシミリ装置等の画像記録装置
（２）液晶ディスプレイ等の画像表示装置用のカラーフィルターの製造に用いられる色材吐出装置
（３）有機ＥＬ(Electro Luminescence)ディスプレイや、面発光ディスプレイ (Field Emission Display、ＦＥＤ)等の電極形成に用いられる電極材吐出装置
（４）バイオチップ製造に用いられる生体有機物を含む液体を吐出する液体吐出装置
（５）精密ピペットとしての試料吐出装置
（６）潤滑油の吐出装置
（７）樹脂液の吐出装置
（８）時計やカメラ等の精密機械にピンポイントで潤滑油を吐出する液体吐出装置
（９）光通信素子等に用いられる微小半球レンズ（光学レンズ）などを形成するために紫外線硬化樹脂液等の透明樹脂液を基板上に吐出する液体吐出装置
（１０）基板などをエッチングするために酸性又はアルカリ性のエッチング液を吐出する液体吐出装置
（１１）他の任意の微小量の液滴を吐出させる液体吐出ヘッドを備える液体吐出装置。

なお、「液滴」とは、液体吐出装置から吐出される液体の状態をいい、粒状、涙状、糸状に尾を引くものも含むものとする。また、ここでいう「液体」とは、液体吐出装置が吐出させることができるような材料であれば良い。例えば、「液体」は、物質が液相であるときの状態の材料であれば良く、粘性の高い又は低い液状態の材料、及び、ゾル、ゲル水、その他の無機溶剤、有機溶剤、溶液、液状樹脂、液状金属（金属融液）のような液状態の材料も「液体」に含まれる。また、物質の一状態としての液体のみならず、顔料や金属粒子などの固形物からなる機能材料の粒子が溶媒に溶解、分散または混合されたものなども「液体」に含まれる。また、液体の代表的な例としては上記実施形態で説明したようなインクや液晶等が挙げられる。ここで、インクとは一般的な水性インクおよび油性インク並びにジェルインク等の各種の液体状組成物を包含するものとする。

本開示は、上述の実施形態に限られるものではなく、その趣旨を逸脱しない範囲において種々の構成で実現することができる。例えば、発明の概要の欄に記載した各形態中の技術的特徴に対応する実施形態の技術的特徴は、上述の課題の一部又は全部を解決するために、あるいは、上述の効果の一部又は全部を達成するために、適宜、差し替えや、組み合わせを行うことが可能である。また、その技術的特徴が本明細書中に必須なものとして説明されていなければ、適宜、削除することが可能である。

（１）本開示の一形態によれば、液体吐出ヘッドが提供される。この液体吐出ヘッドは、ノズルと圧力室とを含む個別流路と、第１共通液室と、第２共通液室と、を形成する流路形成基板と、前記圧力室内の液体に圧力変化を生じさせるための圧力発生素子と、を備え、前記第１共通液室は、前記第２共通液室と前記個別流路を介して接続され、前記第１共通液室のコンプライアンス能力は、前記第２共通液室のコンプライアンス能力より大きく、前記個別流路において、前記第１共通液室との第１接続部から前記圧力室までの間の流路抵抗は、前記第２共通液室との第２接続部から前記圧力室までの間の流路抵抗より小さい。この形態の液体吐出ヘッドによれば、第１共通液室のコンプライアンス能力は、第２共通液室のコンプライアンス能力より大きく、第１接続部から圧力室までの間の流路抵抗は、第２接続部から圧力室までの間の流路抵抗より小さい。このため、液体吐出ヘッドは、圧力室内の液体に圧力の変化が生じた場合に、圧力室から第１共通液室側に向う圧力波による振動を第１共通液室のコンプライアンス能力によって吸収できる。したがって、液体吐出ヘッドは、第１共通液室側に伝播した後に残留する残留振動が個別流路に向うことによるクロストークの発生を低減できる。また、第２接続部から圧力室までの間の流路抵抗が大きいことによって、第２共通液室への液体の流入を低減できるので、第２共通液室側に伝播した後に残留する残留振動が個別流路に向うことによるクロストークの発生が低減される。したがって、液体吐出ヘッドの小型化が容易になる。

（２）本開示の他形態によれば、液体吐出ヘッドが提供される。この液体吐出ヘッドは、ノズルと圧力室とを含む個別流路と、第１共通液室と、第２共通液室と、を形成する流路形成基板と、前記圧力室内の液体に圧力変化を生じさせるための圧力発生素子と、を備え、前記第１共通液室は、前記第２共通液室と前記個別流路を介して接続され、前記第１共通液室のコンプライアンス能力は、前記第２共通液室のコンプライアンス能力より大きく、前記個別流路において、前記第１共通液室との第１接続部から前記圧力室までの間のイナータンスは、前記第２共通液室との第２接続部から前記圧力室までの間のイナータンスより小さい。この形態の液体吐出ヘッドによれば、第１共通液室のコンプライアンス能力は、第２共通液室のコンプライアンス能力より大きく、第１接続部から圧力室までの間のイナータンスは、第２接続部から圧力室までの間のイナータンスより小さい。このため、液体吐出ヘッドは、圧力室内の液体に圧力の変化が生じた場合に、圧力室から第１共通液室側に向う圧力波による振動を第１共通液室のコンプライアンス能力によって吸収できる。したがって、液体吐出ヘッドは、第１共通液室側に伝播した後に残留する残留振動が個別流路に向うことによるクロストークの発生を低減できる。また、第２接続部から圧力室までの間のイナータンスが大きいことによって、第２共通液室への液体の流入を低減できるので、第２共通液室側に伝播した後に残留する残留振動が個別流路に向うことによるクロストークの発生が低減される。したがって、液体吐出ヘッドの小型化が容易になる。

（３）上記形態の液体吐出ヘッドであって、前記個別流路において、前記第１接続部から前記圧力室までの間のイナータンスは、前記第２接続部から前記圧力室までの間のイナータンスより小さくてもよい。この形態の液体吐出ヘッドによれば、第１接続部から圧力室までの間のイナータンスは、第２接続部から圧力室までの間のイナータンスより小さいので、個別流路内の液体は、第２共通液室より第１共通液室により流れやすい。したがって、液体吐出ヘッドの小型化がさらに容易になる。

（４）上記形態の液体吐出ヘッドにおいて、前記個別流路において、前記ノズルは、前記圧力室と前記第２接続部との間の分岐点を介して前記第２接続部と分岐し、前記第１接続部から前記圧力室までの間のイナータンスは、前記個別流路のうち前記分岐点より前記第２接続部側のイナータンスより小さくてもよい。この形態の液体吐出ヘッドによれば、圧力室からノズルまでのイナータンスを大きくすることなく、第１接続部から圧力室までの間のイナータンスを第２接続部から圧力室までの間のイナータンスより小さくできる。したがって、圧力室からノズルまでの間での液体の移動が円滑にできるので、液体吐出ヘッドにおける液体の吐出効率が向上する。

（５）本開示の他の形態によれば、液体吐出ヘッドが提供される。この液体吐出ヘッドは、ノズルと圧力室とを含む複数の個別流路と、Ｍ個（Ｍは１以上の整数）の第１共通液室と、Ｎ個（Ｎは１以上の整数）の第２共通液室と、を形成する流路形成基板と、前記圧力室内の液体に圧力変化を生じさせるための圧力発生素子と、を備え、前記複数の個別流路は、前記複数の個別流路の少なくとも１個の個別流路によって形成された個別流路群であって、前記Ｍ個のうちの一の前記第１共通液室と、前記Ｎ個のうちの一の前記第２共通液室と、を接続させる個別流路群を有し、前記Ｍ個の第１共通液室のうちの１個である代表第１共通液室は、前記Ｎ個の第２共通液室のうちｎ個（ｎは１以上Ｎ以下の整数）の前記第２共通液室のそれぞれと前記個別流路群を介して接続され、前記ｎ個の第２共通液室のうちの１個である代表第２共通液室は、前記Ｍ個の第１共通液室のうち前記代表第１共通液室を含むｍ個（ｍは１以上Ｍ以下の整数）の前記第１共通液室のそれぞれと前記個別流路群を介して接続され、前記代表第１共通液室のコンプライアンス能力は、前記代表第２共通液室のコンプライアンス能力のｎ／ｍ倍より大きく、前記代表第１共通液室と前記代表第２共通液室との間の前記個別流路群において、前記代表第１共通液室との第１接続部から前記圧力室までの間の流路抵抗は、前記代表第２共通液室との第２接続部から前記圧力室までの間の流路抵抗より小さい。この形態の液体吐出ヘッドによれば、代表第１共通液室のコンプライアンス能力は、代表第２共通液室のコンプライアンス能力のｎ／ｍ倍より大きく、代表第１共通液室と代表第２共通液室との間の個別流路群において、代表第１共通液室との第１接続部から圧力室までの間の流路抵抗は、代表第２共通液室との第２接続部から圧力室までの間の流路抵抗より小さい。このため、液体吐出ヘッドは、圧力室内の液体に圧力の変化が生じた場合に、圧力室から第１共通液室側に向う圧力波による振動を第１共通液室のコンプライアンス能力によって吸収できる。したがって、液体吐出ヘッドは、第１共通液室側に伝播した後に残留する残留振動が個別流路に向うことによるクロストークの発生を低減できる。また、第２接続部から圧力室までの間の流路抵抗が大きいことによって、第２共通液室への液体の流入を低減できるので、第２共通液室側に伝播した後に残留する残留振動が個別流路に向うことによるクロストークの発生が低減される。したがって、液体吐出ヘッドの小型化が容易になる。

（６）本開示の他の形態によれば、液体吐出ヘッドが提供される。この液体吐出ヘッドは、ノズルと圧力室とを含む複数の個別流路と、Ｍ個（Ｍは１以上の整数）の第１共通液室と、Ｎ個（Ｎは１以上の整数）の第２共通液室と、を形成する流路形成基板と、前記圧力室内の液体に圧力変化を生じさせるための圧力発生素子と、を備え、前記複数の個別流路は、前記複数の個別流路の少なくとも１個の個別流路によって形成された個別流路群であって、前記Ｍ個のうちの少なくとも１個の前記第１共通液室と、前記Ｎ個のうちの少なくとも１個の前記第２共通液室と、を接続させる個別流路群を有し、前記Ｍ個の第１共通液室のうちの１個である代表第１共通液室は、前記Ｎ個の第２共通液室のうちｎ個（ｎは１以上Ｎ以下の整数）の前記第２共通液室のそれぞれと前記個別流路群を介して接続され、前記ｎ個の第２共通液室のうちの１個である代表第２共通液室は、前記Ｍ個の第１共通液室のうち前記代表第１共通液室を含むｍ個（ｍは１以上Ｍ以下の整数）の前記第１共通液室のそれぞれと前記個別流路群を介して接続され、前記代表第１共通液室のコンプライアンス能力は、前記代表第２共通液室のコンプライアンス能力のｎ／ｍ倍より大きく、前記代表第１共通液室と前記代表第２共通液室との間の前記個別流路群において、前記代表第１共通液室との第１接続部から前記圧力室までの間のイナータンスは、前記代表第２共通液室との第２接続部から前記圧力室までの間のイナータンスより小さい。このため、液体吐出ヘッドは、圧力室内の液体に圧力の変化が生じた場合に、圧力室から第１共通液室側に向う圧力波による振動を第１共通液室のコンプライアンス能力によって吸収できる。したがって、液体吐出ヘッドは、第１共通液室側に伝播した後に残留する残留振動が個別流路に向うことによるクロストークの発生を低減できる。また、第２接続部から圧力室までの間のイナータンスが大きいことによって、第２共通液室への液体の流入を低減できるので、第２共通液室側に伝播した後に残留する残留振動が個別流路に向うことによるクロストークの発生が低減される。したがって、液体吐出ヘッドの小型化が容易になる。

（７）上記形態の液体吐出ヘッドにおいて、前記代表第１共通液室と前記代表第２共通液室との間の前記個別流路群において、前記代表第１共通液室との第１接続部から前記圧力室までの間のイナータンスは、前記代表第２共通液室との第２接続部から前記圧力室までの間のイナータンスより小さくてもよい。この形態の液体吐出ヘッドによれば、第１接続部から圧力室までの間のイナータンスは、第２接続部から圧力室までの間のイナータンスより小さいので、個別流路内の液体は、第２共通液室より第１共通液室により流れやすい。したがって、液体吐出ヘッドの小型化がさらに容易になる。

（８）上記形態の液体吐出ヘッドにおいて、前記個別流路において、前記ノズルは、前記圧力室と前記第２接続部との間の分岐点を介して前記第２接続部と分岐し、前記代表第１共通液室と前記代表第２共通液室との間の前記個別流路群において、前記第１接続部から前記圧力室までの間のイナータンスは、前記個別流路のうち前記分岐点より前記第２接続部側のイナータンスより小さくてもよい。この形態の液体吐出ヘッドによれば、圧力室からノズルまでのイナータンスを大きくすることなく、第１接続部から圧力室までの間のイナータンスを第２接続部から圧力室までの間のイナータンスより小さくできる。したがって、圧力室からノズルまでの間での液体の移動が円滑にできるので、液体吐出ヘッドにおける液体の吐出効率が向上する。

（９）上記形態の液体吐出ヘッドにおいて、前記Ｍは、２であり、前記Ｎは１であり、前記ｍは２であり、前記ｎは１であり、前記ノズルが形成されているノズル面に垂直な方向において、前記第２共通液室と重なる位置に、前記圧力発生素子と電気的に接続された電極が配置されていてもよい。この形態の液体吐出ヘッドによれば、ノズル面に垂直な方向において、第１共通液室の寸法を大きくしやすい。これにより、第１共通液室の容積を大きくすることが容易である。したがって、第１共通液室のコンプライアンス能力を大きくすることが容易である。

（１０）上記形態の液体吐出ヘッドにおいて、前記ノズルが形成されたノズル面に垂直な方向における前記第１共通液室の寸法である第１寸法は、前記方向における前記第２共通液室の寸法である第２寸法より大きくてもよい。この形態の液体吐出ヘッドによれば、第１共通液室の容積を大きくすることが容易である。したがって、第１共通液室のコンプライアンス能力を大きくすることが容易である。

（１１）上記形態の液体吐出ヘッドにおいて、前記第１寸法は、前記第２寸法の３倍以上であってもよい。この形態の液体吐出ヘッドによれば、第１共通液室の容積を大きくすることがより容易である。したがって、第１共通液室のコンプライアンス能力を大きくすることが容易である。

（１２）上記形態の液体吐出ヘッドにおいて、前記第２寸法は、１ｍｍ以下であってもよい。この形態の液体吐出ヘッドによれば、第２共通液室の小型化が容易である。したがって、液体吐出ヘッドの小型化がさらに容易になる。

（１３）上記形態の液体吐出ヘッドにおいて、前記ノズルが形成されたノズル面に垂直な方向において、前記圧力発生素子側から前記ノズル面側に向う方向を一方向とし、前記ノズル面側から前記圧力発生素子側に向う方向を他方向とし、前記第１共通液室は、前記圧力発生素子より一方向側と、前記圧力発生素子より他方向側と、の両方に延びる内部空間を有し、前記第２共通液室は、前記圧力発生素子より一方向側にのみ延びる内部空間を有してもよい。この形態の液体吐出ヘッドによれば、第１共通液室の容積を大きくすることがより容易である。したがって、第１共通液室のコンプライアンス能力を大きくすることが容易である。

（１４）上記形態の液体吐出ヘッドにおいて、前記第１共通液室と前記第２共通液室とが形成された第１流路基板と、前記第１共通液室が形成され、前記第２共通液室が形成されていない第２流路基板と、を備え、前記第１流路基板と第２流路基板とは、前記ノズルが形成されたノズル面に垂直な方向に積層されていてもよい。この形態の液体吐出ヘッドによれば、上記形態の液体吐出ヘッドの形成が容易である。

（１５）上記形態の液体吐出ヘッドにおいて、前記第１流路基板と前記第２流路基板との材質は、互いに異なってもよい。この形態によれば、第１流路基板と第２流路基板との材質が互いに異なる液体吐出ヘッドを提供できる。したがって、液体吐出ヘッドにおける設計の自由度が向上する。

本開示は、液体吐出ヘッド以外の種々の形態で実現することも可能である。例えば、上記形態の液体吐出ヘッドを備える液体吐出装置や、液体吐出ヘッドまたは液体吐出装置の製造方法等の形態で実現することができる。

１２…媒体、１４…液体収容容器、２０…制御ユニット、２２…搬送機構、２３…搬送ベルト、２４…ヘッド移動機構、２５…キャリッジ、２６…液体吐出ヘッド、２６Ａ…液体吐出ヘッド、２６Ｂ…液体吐出ヘッド、３２…第１共通液室、３２Ａ…第１共通液室、３２Ｂ…第１共通液室、３２ａ～３２ｃ…第１共通液室、３４…第２共通液室、３４ａ～３４ｄ…第２共通液室、３６…個別流路、３６Ａ…個別流路、３６Ａｓ…個別流路群、３６Ｂ…個別流路、３６Ｂｓ…個別流路群、３６ｓ…個別流路群、４０…第１流路基板、４２…第１連通板、４４…第２連通板、４６…圧力室形成基板、４８…保護基板、５０…第２流路基板、５２…ケース、６０…ノズルプレート、６１…ノズル面、６２…第１フィルム、６４…第２フィルム、７０…圧力発生素子、７２…電極、１００…液体吐出装置、１４２…供給流路、１４２Ａ…供給流路、１４２Ｂ…供給流路、１４４…回収流路、１４６…ポンプ、２２６…液体吐出ヘッド、３２２…供給口、３２４…第１接続部、３２４Ａ…第１接続部、３２６…液体吐出ヘッド、３４２…排出口、３４４…第２接続部、３６２…ノズル、３６４…圧力室、３６６…第１接続流路、３６８…第２接続流路、３６９…分岐点、４２６…隔壁、４４６…凹部、Ｂｓ…底面、Ｔｓ…天面

Claims (16)

1. ノズルと圧力室とを含む個別流路と、第１共通液室と、第２共通液室と、を形成する流路形成基板と、
   前記圧力室内の液体に圧力変化を生じさせるための圧力発生素子と、を備え、
   前記第１共通液室は、前記第２共通液室と前記個別流路を介して接続され、
   前記第１共通液室のコンプライアンス能力は、前記第２共通液室のコンプライアンス能力より大きく、
   前記個別流路において、前記第１共通液室との第１接続部から前記圧力室までの間の流路抵抗は、前記第２共通液室との第２接続部から前記圧力室までの間の流路抵抗より小さい、液体吐出ヘッド。
2. ノズルと圧力室とを含む個別流路と、第１共通液室と、第２共通液室と、を形成する流路形成基板と、
   前記圧力室内の液体に圧力変化を生じさせるための圧力発生素子と、を備え、
   前記第１共通液室は、前記第２共通液室と前記個別流路を介して接続され、
   前記第１共通液室のコンプライアンス能力は、前記第２共通液室のコンプライアンス能力より大きく、
   前記個別流路において、前記第１共通液室との第１接続部から前記圧力室までの間のイナータンスは、前記第２共通液室との第２接続部から前記圧力室までの間のイナータンスより小さい、液体吐出ヘッド。
3. 請求項１に記載の液体吐出ヘッドであって、
   前記個別流路において、前記第１接続部から前記圧力室までの間のイナータンスは、前記第２接続部から前記圧力室までの間のイナータンスより小さい、液体吐出ヘッド。
4. 請求項１または請求項３に記載の液体吐出ヘッドであって、
   前記個別流路において、前記ノズルは、前記圧力室と前記第２接続部との間の分岐点を介して前記第２接続部と分岐し、
   前記第１接続部から前記圧力室までの間のイナータンスは、前記個別流路のうち前記分岐点より前記第２接続部側のイナータンスより小さい、液体吐出ヘッド。
5. ノズルと圧力室とを含む複数の個別流路と、Ｍ個（Ｍは１以上の整数）の第１共通液室と、Ｎ個（Ｎは１以上の整数）の第２共通液室と、を形成する流路形成基板と、
   前記圧力室内の液体に圧力変化を生じさせるための圧力発生素子と、を備え、
   前記複数の個別流路は、前記複数の個別流路の少なくとも１個の個別流路によって形成された個別流路群であって、前記Ｍ個のうちの一の前記第１共通液室と、前記Ｎ個のうちの一の前記第２共通液室と、を接続させる個別流路群を有し、
   前記Ｍ個の第１共通液室のうちの１個である代表第１共通液室は、前記Ｎ個の第２共通液室のうちｎ個（ｎは１以上Ｎ以下の整数）の前記第２共通液室のそれぞれと前記個別流路群を介して接続され、
   前記ｎ個の第２共通液室のうちの１個である代表第２共通液室は、前記Ｍ個の第１共通液室のうち前記代表第１共通液室を含むｍ個（ｍは１以上Ｍ以下の整数）の前記第１共通液室のそれぞれと前記個別流路群を介して接続され、
   前記代表第１共通液室のコンプライアンス能力は、前記代表第２共通液室のコンプライアンス能力のｎ／ｍ倍より大きく、
   前記代表第１共通液室と前記代表第２共通液室との間の前記個別流路群において、前記代表第１共通液室との第１接続部から前記圧力室までの間の流路抵抗は、前記代表第２共通液室との第２接続部から前記圧力室までの間の流路抵抗より小さい、液体吐出ヘッド。
6. ノズルと圧力室とを含む複数の個別流路と、Ｍ個（Ｍは１以上の整数）の第１共通液室と、Ｎ個（Ｎは１以上の整数）の第２共通液室と、を形成する流路形成基板と、
   前記圧力室内の液体に圧力変化を生じさせるための圧力発生素子と、を備え、
   前記複数の個別流路は、前記複数の個別流路の少なくとも１個の個別流路によって形成された個別流路群であって、前記Ｍ個のうちの少なくとも１個の前記第１共通液室と、前記Ｎ個のうちの少なくとも１個の前記第２共通液室と、を接続させる個別流路群を有し、
   前記Ｍ個の第１共通液室のうちの１個である代表第１共通液室は、前記Ｎ個の第２共通液室のうちｎ個（ｎは１以上Ｎ以下の整数）の前記第２共通液室のそれぞれと前記個別流路群を介して接続され、
   前記ｎ個の第２共通液室のうちの１個である代表第２共通液室は、前記Ｍ個の第１共通液室のうち前記代表第１共通液室を含むｍ個（ｍは１以上Ｍ以下の整数）の前記第１共通液室のそれぞれと前記個別流路群を介して接続され、
   前記代表第１共通液室のコンプライアンス能力は、前記代表第２共通液室のコンプライアンス能力のｎ／ｍ倍より大きく、
   前記代表第１共通液室と前記代表第２共通液室との間の前記個別流路群において、前記代表第１共通液室との第１接続部から前記圧力室までの間のイナータンスは、前記代表第２共通液室との第２接続部から前記圧力室までの間のイナータンスより小さい、液体吐出ヘッド。
7. 請求項５に記載の液体吐出ヘッドであって、
   前記代表第１共通液室と前記代表第２共通液室との間の前記個別流路群において、前記代表第１共通液室との第１接続部から前記圧力室までの間のイナータンスは、前記代表第２共通液室との第２接続部から前記圧力室までの間のイナータンスより小さい、液体吐出ヘッド。
8. 請求項５または請求項７に記載の液体吐出ヘッドであって、
   前記個別流路において、前記ノズルは、前記圧力室と前記第２接続部との間の分岐点を介して前記第２接続部と分岐し、
   前記代表第１共通液室と前記代表第２共通液室との間の前記個別流路群において、前記第１接続部から前記圧力室までの間のイナータンスは、前記個別流路のうち前記分岐点より前記第２接続部側のイナータンスより小さい、液体吐出ヘッド。
9. 請求項５から請求項８に記載の液体吐出ヘッドであって、
   前記Ｍは、２であり、
   前記Ｎは、１であり、
   前記ｍは、２であり、
   前記ｎは、１であり、
   前記ノズルが形成されているノズル面に垂直な方向において、前記第２共通液室と重なる位置に、前記圧力発生素子と電気的に接続された電極が配置されている、液体吐出ヘッド。
10. 請求項１から請求項９までのいずれか一項に記載の液体吐出ヘッドであって、
    前記ノズルが形成されたノズル面に垂直な方向における前記第１共通液室の寸法である第１寸法は、前記方向における前記第２共通液室の寸法である第２寸法より大きい、液体吐出ヘッド。
11. 請求項１０に記載の液体吐出ヘッドであって、
    前記第１寸法は、前記第２寸法の３倍以上である、液体吐出ヘッド。
12. 請求項１０または請求項１１に記載の液体吐出ヘッドであって、
    前記第２寸法は、１ｍｍ以下である、液体吐出ヘッド。
13. 請求項１から請求項１２までのいずれか一項に記載の液体吐出ヘッドであって、
    前記ノズルが形成されたノズル面に垂直な方向において、前記圧力発生素子側から前記ノズル面側に向う方向を一方向とし、前記ノズル面側から前記圧力発生素子側に向う方向を他方向とし、
    前記第１共通液室は、前記圧力発生素子より一方向側と、前記圧力発生素子より他方向側と、の両方に延びる内部空間を有し、
    前記第２共通液室は、前記圧力発生素子より一方向側にのみ延びる内部空間を有する、液体吐出ヘッド。
14. 請求項１から請求項１３までのいずれか一項に記載の液体吐出ヘッドであって、
    前記第１共通液室と前記第２共通液室とが形成された第１流路基板と、
    前記第１共通液室が形成され、前記第２共通液室が形成されていない第２流路基板と、を備え、
    前記第１流路基板と第２流路基板とは、前記ノズルが形成されたノズル面に垂直な方向に積層されている、液体吐出ヘッド。
15. 請求項１４に記載の液体吐出ヘッドであって、
    前記第１流路基板と前記第２流路基板との材質は、互いに異なる、液体吐出ヘッド。
16. 液体吐出装置であって、
    請求項１から請求項１５のいずれか一項に記載の液体吐出ヘッドと、
    前記液体吐出ヘッドに供給される液体を収容する液体収容容器と、
    前記液体吐出ヘッドと前記液体収容容器との間で前記液体を循環させるポンプと、を備える、液体吐出装置。

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