JP2023023374A - 液体吐出ヘッドおよび液体吐出装置 - Google Patents

Abstract

【課題】液体吐出ヘッドにおいて、流路内での液体同士の衝突による液体の流動の緩衝や滞留などを緩和し、液体の吐出性能の低下を低減または防止する技術を提供する。【解決手段】液体吐出ヘッドは、第１方向に沿って延在する第１圧力室と、第１方向に沿って延在する第２圧力室と、第１圧力室に接続され、第１方向に沿って延在する第１連通路と、第２圧力室に接続され、第１方向に沿って延在する第２連通路と、第１連通路に接続され、第１方向と交差する第２方向に沿って延在する第３連通路と、第２連通路に接続され、第２方向に沿って延在する第４連通路と、第３連通路および第４連通路に接続し、第１方向に沿って延在する第５連通路と、第５連通路に設けられたノズルと、を備える。【選択図】図３

Description

本開示は、液体吐出ヘッドおよび液体吐出装置に関する。

圧力室と、圧力室内の液体に圧力を付与する圧電素子と、液体を吐出するノズルと、圧力室とノズルとを接続する流路とを備える液体吐出ヘッドが知られている（例えば、特許文献１）。

特開２０１３－１８４３７２号公報

圧力室とノズルとを接続する流路において、例えば、流動する液体同士による緩衝や液体の滞留などが発生すると、ノズルからの液体の吐出性能が充分に得られない可能性がある。

本開示は、以下の形態として実現することが可能である。

本開示の第１の形態によれば、液体吐出ヘッドが提供される。この液体吐出ヘッドは、第１方向に沿って延在する第１圧力室と、前記第１方向に沿って延在する第２圧力室と、前記第１圧力室に接続され、前記第１方向に沿って延在する第１連通路と、前記第２圧力室に接続され、前記第１方向に沿って延在する第２連通路と、前記第１連通路に接続され、前記第１方向と交差する第２方向に沿って延在する第３連通路と、前記第２連通路に接続され、前記第２方向に沿って延在する第４連通路と、前記第３連通路および前記第４連通路に接続し、前記第１方向に沿って延在する第５連通路と、前記第５連通路に設けられたノズルと、を備える。

本開示の第２の形態によれば、液体吐出装置が提供される。この液体吐出装置は、上記第１の形態における液体吐出ヘッドと、前記液体吐出ヘッドからの液体の吐出動作を制御する制御装置と、を備える。

第１実施形態に係る液体吐出装置の一例を示す説明図。 液体吐出ヘッドの分解斜視図。 図２におけるIII－III線の断面図。 液体吐出ヘッド内のインクの流路を平面視で模式的に示す説明図。 圧電素子の近傍を拡大した断面図。 液体吐出ヘッドのノズルＮｚ近傍の流路の断面を拡大して示す説明図。 比較例としての従来の液体吐出ヘッドのインクの流路を模式的に示す断面図。 第２実施形態としての液体吐出ヘッドの内部構造を示す断面図。 第２実施形態としての液体吐出ヘッドのノズル近傍を拡大して示す説明図。

Ａ．第１実施形態：
図１は、第１実施形態に係る液体吐出装置１００の一例を示す説明図である。第１実施形態の液体吐出装置１００は、例えば、印刷用紙などの媒体ＰＰに、液体の一例としてのインクを吐出するインクジェット方式の印刷装置である。媒体ＰＰには、印刷用紙のほか、樹脂フィルムや布帛等の任意の印刷対象が利用されてよい。図１ならびに図１以降の各図に示すＸ、Ｙ、Ｚは、互いに直交する３つの空間軸を表している。本明細書では、これらの軸に沿った方向をＸ軸方向、Ｙ軸方向、及びＺ軸方向とも呼ぶ。Ｘ軸方向は、第１方向の一例であり、Ｚ軸方向は、第２方向の一例である。向きを特定する場合には、正の方向を「＋」、負の方向を「－」として、方向表記に正負の符合を併用し、各図の矢印が向かう向きを＋方向、その反対方向を－方向として説明する。本実施形態では、Ｚ方向が鉛直方向と一致する例を示しており、＋Ｚ方向は鉛直下向き、－Ｚ方向は鉛直上向きである例を示す。さらに、正方向及び負方向を限定しない場合には、３つのＸ、Ｙ、ＺがＸ軸、Ｙ軸、Ｚ軸であるとして説明する。なお、第１方向と、第２方向とは、互いに直交していなくてもよく、任意の内角で互いに交差していてもよい。

図１に示すように、液体吐出装置１００は、液体を吐出する複数の液体吐出ヘッド１と、制御装置９０と、移動機構９１と、搬送機構９２と、液体容器９３と、循環機構９４と、を備えている。制御装置９０は、例えば、ＣＰＵまたはＦＰＧＡ等のマイクロプロセッサーと、半導体メモリー等の記憶回路とを含むマイクロコンピューターである。制御装置９０は、記憶回路に予め格納されたプログラムを実行することにより、液体吐出装置１００の各部の動作を制御する。制御装置９０は、例えば、液体吐出ヘッド１からのインクの吐出動作を制御することができる。具体的には、液体吐出ヘッド１には、インクの吐出を制御するための信号などが制御装置９０から供給される。液体吐出ヘッド１は、液体容器９３から供給されるインクを、制御装置９０から供給される信号に応じた量、及びタイミングで吐出する。

液体容器９３には、インクが貯留されている。インクとしては、例えば、色材としての顔料が溶媒中に分散されたインクのほか、染料を含有するインクや、顔料と染料との双方を色材として含有するインクを用いることができる。インクには、一般的な水性インクおよび油性インク並びにジェルインク、ホットメルトインク等の各種の液体状組成物が含まれてよい。液体容器９３には、例えば、液体吐出装置１００に着脱可能なカートリッジ、可撓性のフィルムで形成された袋状のインクパック、または、インクを補充可能なインクタンク等を採用することができる。

循環機構９４は、制御装置９０による制御のもとで、液体容器９３に貯留された液体を、液体吐出ヘッド１に供給するためのポンプである。循環機構９４は、液体吐出ヘッド１内に貯留されたインクを回収し、回収したインクを、液体吐出ヘッド１に還流させる。

移動機構９１は、制御装置９０による制御のもとで、媒体ＰＰを＋Ｙ方向に向かって搬送する。搬送機構９２は、複数の液体吐出ヘッド１を収容する収納ケース９２１と、収納ケース９２１が固定された無端ベルト９２２とを備えている。搬送機構９２は、制御装置９０による制御のもとで、収納ケース９２１が固定された無端ベルト９２２を動作させることによって、液体吐出ヘッド１をＸ軸方向に沿って往復移動させる。媒体ＰＰの搬送方向と、液体吐出ヘッド１の移動方向とは、直交のみには限らず、所定の角度で交差していてもよい。液体容器９３及び循環機構９４は、液体吐出ヘッド１とともに収納ケース９２１に収納されてもよい。

図１に示すように、制御装置９０は、液体吐出ヘッド１を駆動するための駆動信号Ｃｏｍと、液体吐出ヘッド１を制御するための制御信号ＳＩとを液体吐出ヘッド１に出力する。液体吐出ヘッド１は、制御信号ＳＩによる制御のもとで駆動信号Ｃｏｍにより駆動されて、液体吐出ヘッド１に設けられた複数のノズルの一部またはすべてのノズルからインクを吐出させる。本実施形態において、インクの吐出方向は、＋Ｚ方向である。液体吐出ヘッド１は、移動機構９１による媒体ＰＰの搬送と、搬送機構９２による液体吐出ヘッド１の往復動とを連動させながらノズルからインクを吐出させて、媒体ＰＰの表面にインクを着弾させる。この結果、媒体ＰＰの表面に所望の画像が形成される。インクの吐出方向は、＋Ｚ方向に限らず、Ｘ－Ｙ平面に交差する任意の方向であってもよい。

図２から図５を用いて液体吐出ヘッド１の構成について説明する。図２は、液体吐出ヘッド１の分解斜視図である。図３は、図２におけるIII－III線の断面図である。図３では、技術の理解を容易にするために、各流路間の境界が破線を用いて模式的に示されている。図４は、液体吐出ヘッド１内のインクの流路を平面視で模式的に示す説明図である。図５は、圧電素子ＰＺｑの近傍を拡大した断面図である。図２に示すように、液体吐出ヘッド１は、ノズル基板６０と、連通板２と、圧力室基板３と、振動板４と、貯留室形成基板５と、配線基板８と、コンプライアンスシート６１と、コンプライアンスシート６２と、を備えている。

図２に示すように、ノズル基板６０は、Ｙ軸方向に沿って長尺な板状部材である。ノズル基板６０は、例えば、エッチング等の半導体製造技術を利用してシリコンの単結晶基板を加工することで製造される。ノズル基板６０には、Ｍ個のノズルＮｚが形成される。Ｍは、１以上の自然数である。ノズルＮｚは、ノズル基板６０に設けられた貫通孔である。本実施形態では、ノズル基板６０において、Ｍ個のノズルＮｚは、Ｙ軸方向に延在するノズル列Ｌｎを形成するように直線状に配列されている。ノズル基板６０の材料としては、シリコン基板には限定されず、例えば、ガラス基板、ＳＯＩ基板、各種セラミック基板、金属基板を用いることができる。金属基板としては、例えば、ステンレス基板等が挙げられる。ノズル基板６０の材料としては、ポリイミド樹脂のような有機物などを用いることもできる。ただし、ノズル基板６０は、連通板２の熱膨張率と略同一の材料を用いることが好ましい。これにより、ノズル基板６０及び連通板２の温度が変化した際、熱膨張率の違いに起因するノズル基板６０及び連通板２の反りを抑制することができる。ノズル基板６０の一方の面であるノズル基板６０の－Ｚ方向側の面を「上面ＴＮ」とも呼ぶ。図３に示すように、ノズル基板６０の上面ＴＮには、連通板２が設けられている。

図２に示すように、連通板２は、Ｙ軸方向に沿って長尺な板状部材である。連通板２は、例えば、半導体製造技術を利用してシリコンの単結晶基板を加工することで製造される。連通板２は、シリコン基板には限定されず、例えば、ガラス基板、ＳＯＩ基板、各種セラミック基板、金属基板等を用いた平板状の部材を用いることができる。金属基板としては、例えば、ステンレス基板等が挙げられる。連通板２は、熱膨張率が圧力室基板３と略同一の材料を用いることが好ましい。これにより、圧力室基板３及び連通板２の温度が変化した際、熱膨張率の違いに起因する圧力室基板３及び連通板２の反りを抑制することができる。本実施形態では、連通板２が１枚である例を示したが、連通板２は１枚には限らず複数枚であってもよい。連通板２の一方の面、具体的には、－Ｚ方向側の面を「上面ＴＲ」とも呼び、連通板２の他方の面、具体的には＋Ｚ方向側の面を「下面ＢＲ」とも呼ぶ。

図２および図３に示すように、連通板２には、インクの流路が形成されている。連通板２に形成される流路は、例えば、連通板２のエッチングにより形成することができる。図２に示すように、連通板２には、Ｙ軸方向に延在する一つの共通供給流路ＲＡ１と、Ｙ軸方向に延在する一つの共通排出流路ＲＡ２とが形成されている。連通板２には、さらに、図２および図３に示すように、Ｍ個のノズルＮｚのそれぞれに対応するＭ個の第５連通路ＲＲ５、Ｍ個の連通流路ＲＸ１、Ｍ個の連通流路ＲＫ１、Ｍ個の第１連通路ＲＲ１、Ｍ個の第３連通路ＲＲ３、Ｍ個の第４連通路ＲＲ４、Ｍ個の第２連通路ＲＲ２、Ｍ個の連通流路ＲＫ２、ならびにＭ個の連通流路ＲＸ２が形成されている。本開示において、連通流路ＲＸ１、連通流路ＲＫ１、第１連通路ＲＲ１、第３連通路ＲＲ３、第５連通路ＲＲ５、第４連通路ＲＲ４、第２連通路ＲＲ２、連通流路ＲＫ２、ならびに連通流路ＲＸ２によって構成される流路を「個別流路」とも呼ぶ。連通板２には、一つの共通供給流路ＲＡ１と、一つの共通排出流路ＲＡ２との間に、Ｍ個の個別流路が形成されている。なお、連通板２には、Ｍ個のノズルＮｚに共通に設けられた一つの連通流路ＲＸ１が形成されてもよく、Ｍ個のノズルＮｚに共通に設けられた一つの連通流路ＲＸ２が形成されてもよい。

図３に示すように、連通流路ＲＸ１の一端は、共通供給流路ＲＡ１と接続されている。連通流路ＲＸ１は、Ｘ軸方向に沿って共通供給流路ＲＡ１から－Ｘ方向に向かって延在するように設けられている。連通流路ＲＸ１の他端には、連通流路ＲＫ１の一端が接続されている。連通流路ＲＫ１は、Ｚ軸方向に沿って連通流路ＲＸ１から－Ｚ方向に向かって延在するように設けられている。連通流路ＲＫ１の他端は、第１圧力室ＣＢ１の一端に接続されている。第１圧力室ＣＢ１の他端には、第１連通路ＲＲ１の一端が接続されている。

第１連通路ＲＲ１は、連通板２の上面ＴＲにおいてＸ軸方向に沿って延在するように設けられている。第１連通路ＲＲ１は、連通板２のエッチングによって連通板２の上面ＴＲに形成される溝と、圧力室基板３の下面ＢＣとによって規定される流路である。連通板２の上面ＴＲに形成される溝のうち、第１連通路ＲＲ１に対応する溝を「第１連通板溝部」とも呼ぶ。第１連通路ＲＲ１は、第１連通板溝部が圧力室基板３の下面ＢＣによって閉塞されることによって形成される。第１連通路ＲＲ１の他端には、第３連通路ＲＲ３の一端が接続されている。

第３連通路ＲＲ３は、連通板２をＺ軸方向に沿って貫通する貫通孔である。第３連通路ＲＲ３は、連通板２の上面ＴＲからＺ軸方向に沿って＋Ｚ方向に向かって延在するように設けられている。第３連通路ＲＲ３の他端は、第５連通路ＲＲ５の一端に接続されている。

第５連通路ＲＲ５には、一つのノズルＮｚが設けられている。第５連通路ＲＲ５は、連通板２の下面ＢＲにおいて、Ｘ軸方向に沿って延在するように設けられている。第５連通路ＲＲ５は、連通板２のエッチングによって連通板２の下面ＢＲに形成される溝と、ノズル基板６０の上面ＴＮとによって規定される流路である。連通板２の下面ＢＲに形成される溝のうち、第５連通路ＲＲ５に対応する溝を「第３連通板溝部」とも呼ぶ。第５連通路ＲＲ５は、第３連通板溝部がノズル基板６０の上面ＴＮによって閉塞されることによって形成される。第５連通路ＲＲ５の他端には、第４連通路ＲＲ４の一端が接続されている。

本実施形態では、第５連通路ＲＲ５と、第１連通路ＲＲ１および第２連通路ＲＲ２とは、同じウェットエッチング工程で形成される。これにより、製造工程を簡略化してコストの低減を図ることができる。また、本実施形態では、第５連通路ＲＲ５の形成位置にエッチングマスクを配置し、等方性のウェットエッチングを行うことにより、第５連通路ＲＲ５の形成位置がエッチングされるタイミングを、第１連通路ＲＲ１および第２連通路ＲＲ２がエッチングされるタイミングに対して相対的に遅らせている。つまり、第１連通路ＲＲ１および第２連通路ＲＲ２に対するエッチングレートよりも、第５連通路ＲＲ５に対するエッチングレートを低くしている。これにより、第５連通路ＲＲ５の深さＤ５を、第１連通路ＲＲ１および第２連通路ＲＲ２の深さＤ１，Ｄ２よりも浅くすることができる。なお、第５連通路ＲＲ５の深さＤ５を、第１連通路ＰＲ１および第２連通路ＲＲ２の深さＤ１、Ｄ２と等しくしても良い。この場合、エッチングマスクを配置することなく、第５連通路ＲＲ５、第１連通路ＲＲ１、第２連通路ＲＲ２のウェットエッチング工程を同じタイミングで開始すればよい。

第４連通路ＲＲ４は、連通板２をＺ軸方向に沿って貫通する貫通孔である。第４連通路ＲＲ４は、連通板２の下面ＢＲからＺ軸方向に沿って－Ｚ方向に向かって延在するように設けられている。第４連通路ＲＲ４の他端は、第２連通路ＲＲ２の一端に接続されている。

第２連通路ＲＲ２は、連通板２の上面ＴＲにおいてＸ軸方向に沿って延在するように設けられている。第２連通路ＲＲ２は、連通板２のエッチングによって連通板２の上面ＴＲに形成される溝と、圧力室基板３の下面ＢＣとによって規定される流路である。連通板２の上面ＴＲに形成される溝のうち、第２連通路ＲＲ２に対応する溝を「第２連通板溝部」とも呼ぶ。第２連通路ＲＲ２は、第２連通板溝部が圧力室基板３の下面ＢＣによって閉塞されることによって形成される。第２連通路ＲＲ２の他端には、第２圧力室ＣＢ２の一端が接続されている。

第２圧力室ＣＢ２の他端には、連通流路ＲＫ２が接続されている。連通流路ＲＫ２は、第２圧力室ＣＢ２からＺ軸方向に沿って＋Ｚ方向に向かって延在するように設けられている。連通流路ＲＫ２には、連通流路ＲＸ２の一端が接続されている。連通流路ＲＸ２は、Ｘ軸方向に沿って連通流路ＲＫ２から－Ｘ方向に延在するように設けられている。連通流路ＲＸ２の他端は、共通排出流路ＲＡ２に接続されている。

図２及び図３に示すように、連通板２の下面ＢＲにおける幅方向の両側には、コンプライアンスシート６１，６２が設けられている。コンプライアンスシート６１は、共通供給流路ＲＡ１、連通流路ＲＸ１、ならびに連通流路ＲＫ１を閉塞している。コンプライアンスシート６１としては、例えば、弾性材料が用いられる。コンプライアンスシート６１は、共通供給流路ＲＡ１、連通流路ＲＸ１、ならびに連通流路ＲＫ１内のインクの圧力変動を吸収する。コンプライアンスシート６２は、共通排出流路ＲＡ２、連通流路ＲＸ２、ならびに連通流路ＲＫ２を閉塞している。コンプライアンスシート６２は、例えば、弾性材料であり、共通排出流路ＲＡ２、連通流路ＲＸ２、ならびに連通流路ＲＫ２内のインクの圧力変動を吸収する。

図２および図３に示すように、連通板２の上面ＴＲ上には、貯留室形成基板５が設けられている。貯留室形成基板５は、図２に示すように、Ｙ軸方向に長尺な部材である。貯留室形成基板５は、例えば、樹脂材料を用いた射出成形により形成される。貯留室形成基板５の内部には、インクの流路が形成されている。具体的には、図３に示すように、貯留室形成基板５には、一つの共通供給流路ＲＢ１と、一つの共通排出流路ＲＢ２とが形成されている。共通供給流路ＲＢ１は、共通供給流路ＲＡ１と連通し、共通排出流路ＲＢ２は、共通排出流路ＲＡ２と連通する。

貯留室形成基板５には、さらに、共通供給流路ＲＢ１と連通する導入口５１と、共通排出流路ＲＢ２と連通する排出口５２とが設けられている。共通供給流路ＲＢ１には、液体容器９３から供給されるインクが導入口５１を介して導入される。また、共通排出流路ＲＢ２に流入したインクは、排出口５２を介して液体容器９３に回収される。

図２に示すように、貯留室形成基板５には、開口部５０が設けられている。開口部５０には、圧力室基板３と、振動板４と、配線基板８とが配置されている。開口部５０には、第１圧電素子ＰＺ１および第２圧電素子ＰＺ２を保護するための保護部材が設けられてもよい。

図２に示すように、圧力室基板３は、Ｙ軸方向に長尺な板状部材である。図３に示すように、圧力室基板３は、連通板２の上面ＴＲ上に設けられている。圧力室基板３は、例えば、半導体製造技術を利用してシリコンの単結晶基板を加工することで製造される。圧力室基板３には、インクの流路が形成されている。具体的には、圧力室基板３には、Ｍ個のノズルＮｚのそれぞれに対応するＭ個の第１圧力室ＣＢ１およびＭ個の第２圧力室ＣＢ２が形成されている。圧力室基板３は、シリコン基板には限らず、例えば、ガラス基板、ＳＯＩ基板、各種セラミック基板等を用いて形成されてもよい。圧力室基板３の一方の面である圧力室基板３の＋Ｚ方向側の面を「下面ＢＣ」とも呼び、圧力室基板３の他方の面である圧力室基板３の－Ｚ方向側の面を「上面ＴＣ」とも呼ぶ。

第１圧力室ＣＢ１は、連通流路ＲＫ１と第１連通路ＲＲ１とが連通するように、Ｘ軸方向に延在して設けられている。第２圧力室ＣＢ２は、連通流路ＲＫ２と第２連通路ＲＲ２とが連通するように、Ｘ軸方向に延在して設けられている。以下の説明において、第１圧力室ＣＢ１および第２圧力室ＣＢ２を区別しない場合には、圧力室ＣＢｑとも呼ぶ。

図２に示すように、振動板４は、Ｙ軸方向に長尺な板状部材である。図３に示すように、振動板４は、圧力室基板３の上面ＴＣ上に設けられている。振動板４は、弾性的に振動可能な部材であり、圧力室ＣＢｑ内の液体に圧力を付与する。振動板４は、例えば、圧力室基板３側に設けられた酸化シリコンからなる弾性膜と、弾性膜上に設けられた酸化ジルコニウム膜からなる絶縁体膜とによって形成することができる。振動板４の上面上には、Ｍ個の第１圧力室ＣＢ１のそれぞれに対応するＭ個の第１圧電素子ＰＺ１と、Ｍ個の第２圧力室ＣＢ２のそれぞれに対応するＭ個の第２圧電素子ＰＺ２と、が設けられている。以下の説明において、第１圧電素子ＰＺ１および第２圧電素子ＰＺ２を区別しない場合には、圧電素子ＰＺｑとも呼ぶ。圧電素子ＰＺｑは、駆動信号Ｃｏｍの電気エネルギーを運動エネルギーに変換するエネルギー変換素子である。本実施形態において、圧電素子ＰＺｑは、駆動信号Ｃｏｍの電位変化に応じて変形する受動素子である。

配線基板８は、振動板４の－Ｚ方向側において、第１圧電素子ＰＺ１と、第２圧電素子ＰＺ２との間に実装されている。配線基板８は、制御装置９０と、液体吐出ヘッド１とを電気的に接続するための部品であり、第１圧電素子ＰＺ１および第２圧電素子ＰＺ２に電力を供給する。配線基板８としては、例えば、ＦＰＣまたはＦＦＣ等の可撓性の配線基板が用いられる。配線基板８には、駆動回路８１が実装されている。駆動回路８１は、制御信号ＳＩに基づいて、圧電素子ＰＺｑに駆動信号Ｃｏｍを供給するか否かを切り替える。

図５に示すように、圧電素子ＰＺｑは、下部電極ＺＤｑと、上部電極ＺＵｑとの間に、圧電体ＺＭｑを介在させた積層体である。圧電素子ＰＺｑの＋Ｚ方向側には、圧力室ＣＢｑが設けられている。下部電極ＺＤｑには、所定の基準電位が供給される。駆動回路８１は、配線８１０を介して、上部電極ＺＵｑに対して駆動信号Ｃｏｍを供給する。第１圧電素子ＰＺ１に供給される駆動信号Ｃｏｍを、駆動信号Ｃｏｍ１とも呼び、第２圧電素子ＰＺ２に供給される駆動信号Ｃｏｍを、駆動信号Ｃｏｍ２とも呼ぶ。本実施形態では、ノズルＮｚからインクを吐出させる際に、駆動回路８１がノズルＮｚに対応する第１圧電素子ＰＺ１に供給する駆動信号Ｃｏｍ１の波形と、駆動回路８１がノズルＮｚに対応する第２圧電素子ＰＺ２に供給する駆動信号Ｃｏｍ２の波形とは、互いに略同じ波形である。

圧電素子ＰＺｑは、駆動信号Ｃｏｍの電位変化に応じて変形する。振動板４は、圧電素子ＰＺｑの変形に連動して振動する。振動板４の振動によって、圧力室ＣＢｑ内の圧力は変動する。圧力室ＣＢｑ内の圧力が変動することによって、圧力室ＣＢｑの内部に充填されたインクは、第１連通路ＲＲ１、第２連通路ＲＲ２、第３連通路ＲＲ３、第４連通路ＲＲ４、ならびに第５連通路ＲＲ５を経由して、ノズルＮｚから吐出される。具体的には、駆動信号Ｃｏｍ１により第１圧電素子ＰＺ１が駆動される場合、第１圧力室ＣＢ１内部に充填されているインクの一部は、第１連通路ＲＲ１、第３連通路ＲＲ３、ならびに第５連通路ＲＲ５を経由して、ノズルＮｚから吐出される。駆動信号Ｃｏｍ２により第２圧電素子ＰＺ２が駆動される場合、第２圧力室ＣＢ２内部に充填されているインクの一部は、第２連通路ＲＲ２、第４連通路ＲＲ４、ならびに第５連通路ＲＲ５を経由して、ノズルＮｚから吐出される。

図３に示すように、循環機構９４によって液体容器９３から導入口５１に導入されたインクは、共通供給流路ＲＢ１を経由して、共通供給流路ＲＡ１に流入する。共通供給流路ＲＡ１に流入したインクの一部は、各個別流路の連通流路ＲＸ１に分流される。連通流路ＲＸ１に流入したインクは、連通流路ＲＫ１を介して第１圧力室ＣＢ１に流入する。第１圧力室ＣＢ１に流入したインクの一部は、第１連通路ＲＲ１と、第３連通路ＲＲ３と、第５連通路ＲＲ５と、第４連通路ＲＲ４と、第２連通路ＲＲ２と、をこの順に経由して、第２圧力室ＣＢ２に流入する。第２圧力室ＣＢ２に流入したインクの一部は、連通流路ＲＫ２と、連通流路ＲＸ２とをこの順に経由した後に、共通排出流路ＲＡ２で合流する。共通排出流路ＲＡ２に流入したインクは、共通排出流路ＲＢ２を経由して、排出口５２から排出される。図４に示すように、共通供給流路ＲＡ１から共通排出流路ＲＡ２までのインクの流路を、「循環流路ＲＪ」とも呼ぶ。具体的には、循環流路ＲＪには、共通供給流路ＲＡ１と、個別流路と、共通排出流路ＲＡ２とが含まれる。

本実施形態の液体吐出装置１００は、共通供給流路ＲＡ１から循環流路ＲＪを経由して共通排出流路ＲＡ２へとインクを循環させる。そのため、圧力室ＣＢｑ内部のインクがノズルＮｚから吐出されない期間が存在する場合であっても、ノズルＮｚ内部において、インクが滞留することを低減または防止できる。したがって、本実施形態の液体吐出装置１００は、圧力室ＣＢｑ内部のインクがノズルＮｚから吐出されない期間において、ノズルＮｚからのインクの液体成分の蒸発等によりノズルＮｚ内部でインクが増粘したとしても、増粘したインクを、インクの循環によってノズルＮｚ内部から共通排出流路ＲＡ２側へと排出することができる。これにより、増粘したインクがノズルＮｚに滞留することに由来するノズルＮｚからインクが吐出できなくなる吐出異常の発生を低減または防止し、インクの吐出性能が低下することを低減または防止することができる。

本実施形態の液体吐出装置１００は、第１圧力室ＣＢ１内部に充填されているインクと、第２圧力室ＣＢ２内部に充填されているインクとを、一つのノズルＮｚから吐出する。したがって、液体吐出装置１００は、例えば、１個の圧力室ＣＢｑ内部に充填されているインクのみをノズルＮｚから吐出する態様と比較して、ノズルＮｚからのインクの吐出量を増大させることができる。

図６を用いて、液体吐出ヘッド１のノズルＮｚ近傍の流路設計の詳細について説明する。図６は、液体吐出ヘッド１のノズルＮｚ近傍の流路の断面を拡大して示す説明図である。図６に示す断面図は、図３におけるノズルＮｚ近傍の拡大図に相当する。図６では、技術の理解を容易にするために、各流路間の境界が破線により模式的に示されている。本開示では、Ｘ軸方向における流路の長さを、「幅」とも呼び、Ｚ軸方向における流路の長さを、「深さ」とも呼ぶ。

図６に示すように、第１連通路ＲＲ１の幅Ｌ１は、第１圧力室ＣＢ１の幅ＬＰ１よりも短くなるように設計されている。本実施形態では、第１連通路ＲＲ１の幅Ｌ１は、第１圧力室ＣＢ１の幅ＬＰ１の３／５の幅で設定されている。第１連通路ＲＲ１の幅Ｌ１は、３／５には限らず、第１圧力室ＣＢ１の幅ＬＰ１の２／３，１／３，１／４，３／４，４／５，２／５，１／５などの任意の比率の幅で設定されてもよい。また、第１連通路ＲＲ１の幅Ｌ１が第１圧力室ＣＢ１の幅ＬＰ１よりも短い形態に限らず、幅Ｌ１が幅ＬＰ１以上の幅で設定されてもよい。

第２連通路ＲＲ２の幅Ｌ２は、第２圧力室ＣＢ２の幅ＬＰ２よりも短くなるように設計されている。本実施形態では、第２連通路ＲＲ２の幅Ｌ２は、第２圧力室ＣＢ２の幅ＬＰ２の３／５の幅で設定されている。第２連通路ＲＲ２の幅Ｌ２は、３／５には限らず、第２圧力室ＣＢ２の幅ＬＰ２の２／３，１／３，１／４，３／４，４／５，２／５，１／５などの任意の比率の幅で設定されてもよい。また、第２連通路ＲＲ２の幅Ｌ２が第２圧力室ＣＢ２の幅ＬＰ２よりも短い形態に限らず、幅Ｌ２が幅ＬＰ２以上の幅で設定されてもよい。

本実施形態では、第５連通路ＲＲ５の幅Ｌ５は、第１連通路ＲＲ１の幅Ｌ１よりも短く、かつ第２連通路ＲＲ２の幅Ｌ２よりも短くなるように設計されている。したがって、本実施形態では、第５連通路ＲＲ５の幅Ｌ５は、第１連通路ＲＲ１の幅Ｌ１と、第２連通路ＲＲ２の幅Ｌ２との合計よりも短い。なお、幅Ｌ５は、幅Ｌ１と幅Ｌ２とのいずれかに対してのみ短く設計されてもよい。この場合において、幅Ｌ５は、幅Ｌ１と幅Ｌ２との合計よりも短い幅であることが好ましい。ただし、この限りではなく、幅Ｌ５は、例えば、幅Ｌ１と幅Ｌ２との合計以上の長さにすることもできる。

第５連通路ＲＲ５の幅Ｌ５は、第１連通路ＲＲ１の幅Ｌ１の２／３の幅で設定されている。第５連通路ＲＲ５の幅Ｌ５は、２／３には限らず、第１連通路ＲＲ１の幅Ｌ１の１／３，１／４，３／４，４／５，３／５，２／５，１／５などの任意の比率の幅で設定されてもよい。また、第５連通路ＲＲ５の幅Ｌ５が第１連通路ＲＲ１の幅Ｌ１よりも短い形態に限らず、例えば、第１圧力室ＣＢ１からノズルＮｚまでの距離が短く、幅Ｌ１が比較的短い場合などには、幅Ｌ５が幅Ｌ１以上の幅で設定されてもよい。

第５連通路ＲＲ５の幅Ｌ５は、第２連通路ＲＲ２の幅Ｌ２の２／３の幅で設定されている。第５連通路ＲＲ５の幅Ｌ５は、２／３には限らず、第２連通路ＲＲ２の幅Ｌ２の１／３，１／４，３／４，４／５，３／５，２／５，１／５などの任意の比率の幅で設定されてもよい。また、第５連通路ＲＲ５の幅Ｌ５が第２連通路ＲＲ２の幅Ｌ２よりも短い形態に限らず、例えば、第２圧力室ＣＢ２からノズルＮｚまでの距離が短く、幅Ｌ２が比較的短い場合などには、幅Ｌ５が幅Ｌ２以上の幅で設定されてもよい。

本実施形態では、さらに、第５連通路ＲＲ５の幅Ｌ５は、第１圧力室ＣＢ１の幅ＬＰ１よりも短く、かつ第２圧力室ＣＢ２の幅ＬＰ２よりも短くなるように設計されている。したがって、本実施形態では、第５連通路ＲＲ５の幅Ｌ５は、第１圧力室ＣＢ１の幅ＬＰ１と、第２圧力室ＣＢ２の幅ＬＰ２との合計よりも短い。ただし、幅Ｌ５は、幅ＬＰ１と幅ＬＰ２とのいずれかに対してのみ短く設計されてもよい。この場合において、幅Ｌ５は、幅ＬＰ１と幅ＬＰ２との合計よりも短い幅であることが好ましい。ただし、この限りではなく、幅Ｌ５は、例えば、幅ＬＰ１と幅ＬＰ２との合計以上の長さにすることもできる。

本実施形態では、幅Ｌ５は、幅Ｌ１と、幅Ｌ２と、幅ＬＰ１と、幅ＬＰ２との合計よりも短くなるように設計されている。ただし、この限りではなく、幅Ｌ５は、例えば、幅Ｌ１と幅Ｌ２との合計以上の長さにすることもできる。

第５連通路ＲＲ５の幅Ｌ５は、第１圧力室ＣＢ１の幅ＬＰ１の２／５の幅で設定されている。第５連通路ＲＲ５の幅Ｌ５は、２／５には限らず、第１圧力室ＣＢ１の幅ＬＰ１の２／３，１／３，１／４，３／４，４／５，３／５，１／５などの任意の比率の幅で設定されてもよい。また、第５連通路ＲＲ５の幅Ｌ５が第１圧力室ＣＢ１の幅ＬＰ１よりも短い形態に限らず、例えば、幅ＬＰ１が比較的短い場合などには、幅Ｌ５が幅ＬＰ１以上の幅で設定されてもよい。

第５連通路ＲＲ５の幅Ｌ５は、第２圧力室ＣＢ２の幅ＬＰ２の２／５の幅で設定されている。第５連通路ＲＲ５の幅Ｌ５は、２／５には限らず、第２圧力室ＣＢ２の幅ＬＰ２の２／３，１／３，１／４，３／４，４／５，３／５，１／５などの任意の比率の幅で設定されてもよい。また、第５連通路ＲＲ５の幅Ｌ５が第２圧力室ＣＢ２の幅ＬＰ２よりも短い形態に限らず、例えば、幅ＬＰ２が比較的短い場合などには、幅Ｌ５が幅ＬＰ２以上の幅で設定されてもよい。

図６に示すように、本実施形態では、液体吐出ヘッド１内のインクの流路、具体的には、第１圧力室ＣＢ１および第２圧力室ＣＢ２、ならびに連通板２内に形成されるインクの流路は、ノズルＮｚを含むＺ軸を対称軸とする線対称の構造を有している。すなわち、第１連通路ＲＲ１の幅Ｌ１は、第２連通路ＲＲ２の幅Ｌ２と略同一の幅で設定されている。また、本実施形態では、第１圧力室ＣＢ１の幅ＬＰ１と、第２圧力室ＣＢ２の幅ＬＰ２とが互いに略同一の幅であるとともに、第１連通路ＲＲ１の幅Ｌ１と、第２連通路ＲＲ２の幅Ｌ２とが互いに略同一の幅である。ただし、液体吐出ヘッド１内のインクの流路は線対称の構造には限らず、非線対称であってもよく、例えば、第１圧力室ＣＢ１の幅ＬＰ１と、第２圧力室ＣＢ２の幅ＬＰ２とが互いに異なる幅であってよく、第１連通路ＲＲ１の幅Ｌ１と、第２連通路ＲＲ２の幅Ｌ２とが互いに異なる幅であってよい。

図６には、連通板２の厚さＴ２と、圧力室基板３の厚さＴ３とが模式的に示されている。連通板２の貫通孔としての第３連通路ＲＲ３の深さＤ３および第４連通路ＲＲ４の深さＤ４は、連通板２厚さＴ２と一致する。第１圧力室ＣＢ１の深さＤＰ１および第２圧力室ＣＢ２の深さＤＰ２は、圧力室基板３の厚さＴ３と一致する。図６に示すように、連通板２の厚さＴ２は、圧力室基板３の厚さＴ３よりも厚い。厚さＴ２と、厚さＴ３との比率は任意に設定することができる。本実施形態では、厚さＴ２は、厚さＴ３の４～６倍程度で設定されている。

第５連通路ＲＲ５の深さＤ５は、第１圧力室ＣＢ１の深さＤＰ１よりも浅く、かつ第２圧力室ＣＢ２の深さＤＰ２よりも浅くなるように設計されている。深さＤ５と深さＤＰ１との比率、ならびに深さＤ５と深さＤＰ２との比率は、任意に設定することができる。例えば、深さＤ５は、深さＤＰ１および深さＤＰ２の２０％～８０％程度で設定することができる。本実施形態では、深さＤ５は、深さＤＰ１および深さＤＰ２の７０％程度とされている。ただし、深さＤ５は、深さＤＰ１と同程度であってよく、深さＤＰ１と等しくてよい。深さＤ５は、深さＤＰ２と同程度であってもよく、深さＤＰ２と等しくてもよい。

第５連通路ＲＲ５の深さＤ５は、さらに、第１連通路ＲＲ１の深さＤ１よりも浅く、かつ第２連通路ＲＲ２の深さＤ２よりも浅くなるように設計されている。深さＤ５と深さＤ１との比率、深さＤ５と深さＤ２との比率は、任意に設定することができる。例えば、深さＤ５は、深さＤ１および深さＤ２の２０％～８０％程度で設定することができる。本実施形態では、深さＤ５は、深さＤ１および深さＤ２の７０％程度である。なお、本実施形態では、第１連通路ＲＲ１の深さＤ１と、第１圧力室ＣＢ１の深さＤＰ１とは略同一の深さであり、第２連通路ＲＲ２の深さＤ２と、第２圧力室ＣＢ２の深さＤＰ２とは略同一の深さで設定されている。ただし、深さＤ５は、深さＤ１と同程度であってよく、深さＤ１と等しくてよい。深さＤ５は、深さＤ２と同程度であってもよく、深さＤ２と等しくてもよい。

図７は、比較例としての従来の液体吐出ヘッド１Ｒのインクの流路を模式的に示す断面図である。図７に示すように、液体吐出ヘッド１Ｒは、本実施形態の液体吐出ヘッド１とは、連通板２内のインクの流路構造が異なっている。具体的には、液体吐出ヘッド１Ｒは、本実施形態の液体吐出ヘッド１が有する第１連通路ＲＲ１および第２連通路ＲＲ２を備えない。なお、第１圧力室ＣＢ１および第２圧力室ＣＢ２と、第３連通路ＲＲ３および第４連通路ＲＲ４との構成は、本実施形態の液体吐出ヘッド１と同様である。第１圧電素子ＰＺ１および第２圧電素子ＰＺ２間の距離ならびに第１圧力室ＣＢ１および第２圧力室ＣＢ２間の距離は、液体吐出ヘッド１での当該距離と同じである。

液体吐出ヘッド１Ｒは、第１圧力室ＣＢ１の他端の＋Ｚ方向側に第３連通路ＲＲ３が接続され、第２圧力室ＣＢ２の一端の＋Ｚ方向側に第４連通路ＲＲ４が接続されている。連通板２の下面ＢＲにおいて、第３連通路ＲＲ３と、第４連通路ＲＲ４と間には、第５連通路ＲＲ５が備えられている。液体吐出ヘッド１Ｒが有する第５連通路ＲＲ５の幅ＬＲ５は、本実施形態での第５連通路ＲＲ５の幅Ｌ５よりも長い。具体的には、幅ＬＲ５は、幅Ｌ５に対して、第１連通路ＲＲ１の幅Ｌ１および第２連通路ＲＲ２の幅Ｌ２の合計値に相当する幅だけ長い。

液体吐出ヘッド１Ｒでは、第１圧電素子ＰＺ１により圧力を付与された第１圧力室ＣＢ１の内部のインクは、第３連通路ＲＲ３に流入して＋Ｚ方向に向かって流動する。第３連通路ＲＲ３の他端まで移動したインクは、第５連通路ＲＲ５に流入し、流動方向が－Ｘ方向に切り替えられる。同様に、第２圧電素子ＰＺ２により圧力を付与された第２圧力室ＣＢ２内のインクは、第２圧力室ＣＢ２から第４連通路ＲＲ４に流入して＋Ｚ方向に向かって流動する。第４連通路ＲＲ４の他端まで移動したインクは、第５連通路ＲＲ５に流入し、流動方向が＋Ｘ方向に切り替えられる。そのため、第５連通路ＲＲ５では、第４連通路ＲＲ４から供給され＋Ｘ方向に向かうインクと、第３連通路ＲＲ３から供給され－Ｘ方向に向かうインクとが衝突する。第５連通路ＲＲ５のインクは、ノズルＮｚから吐出される。液体吐出ヘッド１Ｒでは、第５連通路ＲＲ５の幅ＬＲ５が長いため、本実施形態の液体吐出ヘッド１と比較して、第５連通路ＲＲ５内でインクの衝突が発生しやすく、また、インクの流動の緩衝や滞留などが発生しやすい。この場合には、ノズルＮｚからのインクの吐出性能が充分に得られない可能性がある。

従来の液体吐出ヘッド１Ｒでは、本実施形態での第５連通路ＲＲ５に比べて幅が長くなる分だけインクが第５連通路ＲＲ５内に滞在する時間が長くなる。そのため、例えば、第５連通路ＲＲ５内のインクは、ノズル基板６０を介して、液体吐出ヘッド１Ｒの外部に対して放熱し易くなる。この放熱により、インクの温度が想定していた値よりも低くなってしまう虞がある。インクの温度が変わると、インクの粘度も変わってしまう。インクの粘度は、吐出特性に大きく影響を与えうる。そのため、従来の液体吐出ヘッド１Ｒでは、第５連通路ＲＲ５内のインクの外部への放熱に伴って、実際の吐出特性が所望の吐出特性からずれてしまう虞がある。

これに対して、本実施形態の液体吐出ヘッド１では、第１圧力室ＣＢ１および第２圧力室ＣＢ２に、第１連通路ＲＲ１および第２連通路ＲＲ２を接続している。圧力室ＣＢｑからＸ軸方向に沿ってノズルＮｚに近付く向きに延在する流路を形成することにより、従来の液体吐出ヘッド１Ｒと比較して、ノズルＮｚの直上となる第５連通路ＲＲ５の幅Ｌ５が短くなるように設定されている。

第３連通路ＲＲ３および第４連通路ＲＲ４からノズルＮｚまでの距離が短くなるため、従来の液体吐出ヘッド１Ｒと比較して、ノズルＮｚの直上において、インクのＺ軸方向の運動エネルギーが残留しやすくなる。そのため、第３連通路ＲＲ３および第４連通路ＲＲ４からノズルＮｚまでの距離が長い従来の液体吐出ヘッド１Ｒに比べて、インクがノズルＮｚから吐出されやすくなり得る。また、第５連通路ＲＲ５内において、インクのＸ軸方向の運動エネルギーが従来よりも弱くなり、インクの衝突によるインクの流動の緩衝や滞留などが緩和され得る。

本実施形態の液体吐出ヘッド１では、第５連通路ＲＲ５の幅Ｌ５を従来よりも短くすることにより、インクが第５連通路ＲＲ５内に滞在する期間を短くしている。したがって、本実施形態の液体吐出ヘッド１によれば、第５連通路ＲＲ５内のインクがノズル基板６０を介した外部への放熱を小さくし、これによりインクの温度変化や粘度変化を低減し、もってインクの吐出性能が低下することを低減または防止することができる。

更に、本実施形態の液体吐出ヘッド１では、連通板２の上面ＴＲに第１連通路ＲＲ１および第２連通路ＲＲ２を設けることにより、第１圧電素子ＰＺ１と第２圧電素子ＰＺ２との間に実装されている配線基板８に対して、インクの流路を従来よりも近い位置に設けることができる。したがって、流路内のインクが配線基板８で発生する熱を伝熱されやすくなる。このため、第５連通路ＲＲ５でインクの外部への放熱が発生したとしても、第１連通路ＲＲ１や第２連通路ＲＲ２でインクの温度を保つことができ、これによりインクの温度変化や粘度変化をより低減または防止することができる。その結果、従来の液体吐出ヘッド１Ｒに比べて、ノズルＮｚからのインクの吐出性能が低下することを低減または防止することができる。

以上、説明したように、本実施形態の液体吐出ヘッド１は、第１方向に沿って延在する第１圧力室ＣＢ１と、第１方向に沿って延在する第２圧力室ＣＢ２と、第１圧力室ＣＢ１に接続され、第１方向に沿って延在する第１連通路ＲＲ１と、第２圧力室ＣＢ２に接続され、第１方向に沿って延在する第２連通路ＲＲ２と、第１連通路ＲＲ１に接続され、第１方向と交差する第２方向に沿って延在する第３連通路ＲＲ３と、第２連通路ＲＲ２に接続され、第２方向に沿って延在する第４連通路ＲＲ４と、第３連通路ＲＲ３および第４連通路ＲＲ４に接続し、第１方向に沿って延在する第５連通路ＲＲ５と、第５連通路ＲＲ５に設けられたノズルＮｚと、を備えている。本実施形態の液体吐出ヘッド１によれば、第１圧力室ＣＢ１および第２圧力室ＣＢ２からＸ軸方向に延在する第１連通路ＲＲ１および第２連通路ＲＲ２を備えることにより、第５連通路ＲＲ５の幅Ｌ５を短くすることができる。したがって、第５連通路ＲＲ５内において、第３連通路ＲＲ３および第４連通路ＲＲ４から供給されるインクのＺ軸方向の運動エネルギーが残留しやすくなり、従来の液体吐出ヘッド１Ｒに比べて、インクがノズルＮｚから吐出されやすくなる。また、第５連通路ＲＲ５内において、インクのＸ軸方向の運動エネルギーが従来よりも弱くなり、インクの衝突によるインクの流動の緩衝や滞留などが緩和され得る。したがって、ノズルＮｚからのインクの吐出性能が低下することを低減または防止することができる。また、インクが第５連通路ＲＲ５内に滞在する期間が従来よりも短くなることにより、第５連通路ＲＲ５内のインクがノズル基板６０を介して外部の熱の影響を受ける不具合を低減し、インクの吐出性能が低下することを低減または防止することができる。

本実施形態の液体吐出ヘッド１によれば、第５連通路ＲＲ５の幅は、第１連通路ＲＲ１の幅よりも短く、かつ第２連通路ＲＲ２の幅よりも短い。Ｘ軸方向に延伸する流路のうち、第１連通路ＲＲ１および第２連通路ＲＲ２の幅Ｌ１，Ｌ２よりも第５連通路ＲＲ５の幅Ｌ５を短く設定することにより、第５連通路ＲＲ５の幅Ｌ５をより小さく設計し、インクの吐出性能が低下することを低減または防止することができる。

本実施形態の液体吐出ヘッド１によれば、第５連通路ＲＲ５の幅Ｌ５は、第１連通路ＲＲ１の幅Ｌ１と、第２連通路ＲＲ２の幅Ｌ２との合計よりも短い。Ｘ軸方向に延伸する流路のうち、第１連通路ＲＲ１および第２連通路ＲＲ２の幅Ｌ１，Ｌ２の合計値よりも第５連通路ＲＲ５の幅Ｌ５を短く設定することにより、第５連通路ＲＲ５の幅Ｌ５をより小さく設計し、インクの吐出性能が低下することを低減または防止することができる。

本実施形態の液体吐出ヘッド１によれば、第５連通路ＲＲ５の幅Ｌ５は、第１圧力室ＣＢ１の幅ＬＰ１よりも短く、第２圧力室ＣＢ２の幅ＬＰ２よりも短い。Ｘ軸方向に延伸する流路のうち、第１圧力室ＣＢ１および第２圧力室ＣＢ２の幅ＬＰ１，ＬＰ２よりも第５連通路ＲＲ５の幅Ｌ５を短く設定することにより、第５連通路ＲＲ５の幅Ｌ５をより小さく設計し、インクの吐出性能が低下することを低減または防止することができる。

本実施形態の液体吐出ヘッド１によれば、第１連通路ＲＲ１の幅Ｌ１は、第１圧力室ＣＢ１の幅ＬＰ１よりも短く、第２連通路ＲＲ２の幅Ｌ２は、第２圧力室ＣＢ２の幅ＬＰ２よりも短い。第１連通路ＲＲ１および第２連通路ＲＲ２の幅Ｌ１，Ｌ２が第１圧力室ＣＢ１および第２圧力室ＣＢ２の幅ＬＰ１，ＬＰ２以上に大きくなることを抑制し、インクの流路が過剰に長くなることを抑制し、インクの吐出性能の低下、および液体吐出ヘッド１の過剰な大型化を低減または抑制することができる。

本実施形態の液体吐出ヘッド１によれば、第５連通路ＲＲ５の深さＤ５は、第１連通路ＲＲ１の深さＤ１よりも浅く、且つ、第２連通路ＲＲ２の深さＤ２よりも浅い。第１連通路ＲＲ１および第２連通路ＲＲ２の流路の断面積を大きく設計することにより、第１連通路ＲＲ１および第２連通路ＲＲ２内での流路抵抗を小さくするとともに、外気の影響を受けやすく粘度が高くなりやすい第５連通路ＲＲ５内ではインクの流速を早めることにより、インクの吐出性能を向上することができる。

本実施形態の液体吐出ヘッド１によれば、第５連通路ＲＲ５の深さＤ５は、第１圧力室ＣＢ１の深さＤＰ１よりも浅く、かつ、第２圧力室ＣＢ２の深さＤＰ２よりも浅い。第１圧力室ＣＢ１および第２圧力室ＣＢ２の流路の断面積を大きく設計することにより、第１圧力室ＣＢ１および第２圧力室ＣＢ２内での流路抵抗を小さくするとともに、外気の影響を受けやすく粘度が高くなりやすい第５連通路ＲＲ５内ではインクの流速を早めることにより、インクの吐出性能を向上することができる。

本実施形態の液体吐出ヘッド１によれば、第１連通路ＲＲ１は、連通板２の上面ＴＲに形成される第１連通板溝部と、連通板２の上面ＴＲと対向する圧力室基板３の下面ＢＣとによって規定されている。第２連通路ＲＲ２は、連通板２の上面ＴＲに形成される第２連通板溝部と、連通板２の上面ＴＲと対向する圧力室基板３の下面ＢＣとによって規定されている。したがって、第１連通路ＲＲ１および第２連通路ＲＲ２と、第１圧力室ＣＢ１および第２圧力室ＣＢ２との流路の接続が容易になる。また、第１連通路ＲＲ１および第２連通路ＲＲ２が、連通板２の厚さ方向の中央に設けられる形態と比較して、第１連通路ＲＲ１および第２連通路ＲＲ２を連通板２に容易に形成することができる。

本実施形態の液体吐出ヘッド１によれば、第３連通路ＲＲ３、第４連通路ＲＲ４、および第５連通路ＲＲ５は、連通板２に設けられている。したがって、第３連通路ＲＲ３、第４連通路ＲＲ４、および第５連通路ＲＲ５が複数の基板に亘って形成される形態と比較して、容易に形成することができる。

本実施形態の液体吐出ヘッド１によれば、第３連通路ＲＲ３および第４連通路ＲＲ４は、連通板２をＺ方向に沿って貫通する貫通孔である。第５連通路ＲＲ５は、連通板２の下面ＢＲに形成される第３連通板溝部と、ノズル基板６０の上面ＴＮとによって規定されている。第５連通路ＲＲ５が、連通板２の厚さ方向の中央に設けられる形態と比較して、第５連通路ＲＲ５を形成することが容易となる。

本実施形態の液体吐出ヘッド１によれば、連通板２の厚さＴ２は、圧力室基板３の厚さＴ３よりも厚い。したがって、連通板２に複数の流路を形成することが容易となる。

本実施形態の液体吐出ヘッド１によれば、第１圧力室ＣＢ１の圧力を変動させるための第１圧電素子ＰＺ１と、第２圧力室ＣＢ２の圧力を変動させるための第２圧電素子ＰＺ２と、第１圧電素子ＰＺ１と第２圧電素子ＰＺ２との間に設けられ、第１圧電素子ＰＺ１および第２圧電素子ＰＺ２に電力を供給するための配線基板８と、を備える。配線基板８に近い位置に第１連通路ＲＲ１および第２連通路ＲＲ２を設けることにより、インクが配線基板８からの伝熱を受けやすくなり、例えば、インクの粘度が低下する不具合を低減または防止することができ、ノズルＮｚからのインクの吐出性能が低下することを低減または防止することができる。

本実施形態の液体吐出ヘッド１によれば、さらに、第１圧力室ＣＢ１、第２圧力室ＣＢ２、第１連通路ＲＲ１、第２連通路ＲＲ２、第３連通路ＲＲ３、第４連通路ＲＲ４、および第５連通路ＲＲ５を含む個別流路を複数備えている。複数の個別流路に共通して連通し、複数の個別流路のそれぞれにインクを供給するための共通供給流路ＲＡ１と、複数の個別流路に共通して連通し、複数の個別流路のそれぞれからインクを排出するための共通排出流路ＲＡ２と、を備えている。インクの循環構造を備える液体吐出ヘッド１において、ノズルＮｚからのインクの吐出性能が低下することを低減または防止することができる。

Ｂ．第２実施形態：
図８および図９を用いて第２実施形態としての液体吐出ヘッド１ｂの構成について説明する。図８は、第２実施形態としての液体吐出ヘッド１ｂの内部構造を示す断面図である。図８および図９では、技術の理解を容易にするために、各流路間の境界が破線を用いて模式的に示されている。第２実施形態の液体吐出ヘッド１ｂは、第１実施形態の液体吐出ヘッド１とは、第１連通路ＲＲ１および第２連通路ＲＲ２に代えて、第１連通路ＲＲ１ｂおよび第２連通路ＲＲ２ｂを備える点において相違し、それ以外の構成は同様である。なお、第１圧電素子ＰＺ１および第２圧電素子ＰＺ２間の距離ならびに第１圧力室ＣＢ１および第２圧力室ＣＢ２間の距離も、液体吐出ヘッド１での当該距離と同様である。

第１実施形態では、第１連通路ＲＲ１および第２連通路ＲＲ２は、連通板２のエッチングによって連通板２の上面ＴＲに形成される溝と、圧力室基板３の下面ＢＣとによって規定される流路である例を示した。これに対して、図８に示すように、本実施形態では、第１連通路ＲＲ１ｂは、連通板２の上面ＴＲに形成される第１連通板溝部ＲＲ１２と、圧力室基板３のエッチングによって圧力室基板３の下面ＢＣに形成される溝ＲＲ１１とによって規定される流路である。圧力室基板３の下面ＢＣに形成される溝のうち、第１連通路ＲＲ１ｂに対応する溝ＲＲ１１を、「第１圧力室基板溝部ＲＲ１１」とも呼ぶ。

第２連通路ＲＲ２ｂは、連通板２の上面ＴＲに形成される第２連通板溝部ＲＲ２２と、圧力室基板３のエッチングによって圧力室基板３の下面ＢＣに形成される溝ＲＲ２１とによって規定される流路である。圧力室基板３の下面ＢＣに形成される溝のうち、第２連通路ＲＲ２ｂに対応する溝ＲＲ２１を、「第２圧力室基板溝部ＲＲ２１」とも呼ぶ。

図９は、第２実施形態としての液体吐出ヘッド１ｂのノズルＮｚ近傍の流路の断面を拡大して示す説明図である。図９には、第１連通路ＲＲ１ｂの深さＤ２１と、第２連通路ＲＲ２ｂの深さＤ２２とが示されている。本実施形態では、第１連通路ＲＲ１ｂの深さＤ２１は、第１圧力室ＣＢ１の深さＤＰ１と略同一の深さである。深さＤ２１は、第１圧力室基板溝部ＲＲ１１の深さＤ２１１と、第１連通板溝部ＲＲ１２の深さＤ２１２との合計値である。本実施形態では、溝ＲＲ２１の深さＤ２２１と、溝ＲＲ２２の深さＤ２２２とは互いに等しい深さで設定されているが、これに限らず、互いに異なる深さで設定されてもよい。

本実施形態では、第２連通路ＲＲ２ｂの深さＤ２２は、第２圧力室ＣＢ２の深さＤＰ２と略同一の深さである。第２連通路ＲＲ２ｂの深さＤ２２は、第２圧力室基板溝部ＲＲ２１の深さＤ２２１と、第２連通板溝部ＲＲ２２の深さＤ２２２との合計値である。本実施形態では、溝ＲＲ２１の深さＤ２２１と、溝ＲＲ２２の深さＤ２２２とは互いに等しい深さで設定されているが、これに限らず、互いに異なる深さで設定されてもよい。

本実施形態において、第５連通路ＲＲ５は、第１連通板溝部ＲＲ１２および第２連通板溝部ＲＲ２２を形成するためのエッチング工程と同じ工程で形成されている。これにより、製造工程を簡略化してコストの低減を図ることができる。また、本実施形態では、第５連通路ＲＲ５と、第１連通板溝部ＲＲ１２および第２連通板溝部ＲＲ２２とのエッチングレートを同じにしている。これにより、第５連通路ＲＲ５の深さＤ５は、第１連通板溝部ＲＲ１２の深さＤ２１２と等しく、かつ第２連通板溝部ＲＲ２２の深さＤ２２２と等しくされている。

図９に示すように、本実施形態では、第１連通路ＲＲ１ｂの幅Ｌ２１は、第１実施形態での第１連通路ＲＲ１の幅Ｌ１よりも短い。これは、第１実施形態では、第１連通路ＲＲ１が第１圧力室ＣＢ１の端部に対して＋Ｚ方向側で接続されるのに対し、本実施形態では、第１連通路ＲＲ１ｂが第１圧力室ＣＢ１の端部に対して－Ｘ方向側で接続される構造であることに起因する。本実施形態では、第１連通路ＲＲ１ｂの幅Ｌ２１は、第５連通路ＲＲ５の幅Ｌ５と略等しい。第１圧力室基板溝部ＲＲ１１の幅と、第１連通板溝部ＲＲ１２の幅とは、互いに等しく、第１連通路ＲＲ１ｂの幅Ｌ２１に等しい。ただし、例えば、第１連通板溝部ＲＲ１２の幅を、幅Ｌ２１よりも大きくしてもよい。この場合には、第１連通板溝部ＲＲ１２は、例えば、第１圧力室ＣＢ１の＋Ｚ方向側まで延伸する構造であってよく、第１圧力室ＣＢ１の＋Ｚ方向側と接続されてよい。同様に、溝ＲＲ１１の幅は、幅Ｌ２１よりも大きくされてよく、この場合には、第３連通路ＲＲ３の－Ｚ方向側まで遠心して接続されてもよい。

本実施形態では、第２連通路ＲＲ２ｂの幅Ｌ２２は、第１実施形態での第２連通路ＲＲ２の幅Ｌ２よりも短い。これは、第１実施形態では、第２連通路ＲＲ２が第２圧力室ＣＢ２の端部に対して＋Ｚ方向側で接続されるのに対し、本実施形態では、第２連通路ＲＲ２ｂが第２圧力室ＣＢ２の端部に対して＋Ｘ方向側で接続される構造であることに起因する。本実施形態では、第２連通路ＲＲ２ｂの幅Ｌ２２は、第５連通路ＲＲ５の幅Ｌ５と略等しい。ただし、例えば、第２連通板溝部ＲＲ２２の幅を、幅Ｌ２２よりも大きくしてもよい。この場合には、第２連通板溝部ＲＲ２２は、例えば、第２圧力室ＣＢ２の＋Ｚ方向側まで延伸する構造であってよく、第２圧力室ＣＢ２の＋Ｚ方向側と接続されてよい。同様に、溝ＲＲ２１の幅は、幅Ｌ２２よりも大きくされてよく、この場合には、第４連通路ＲＲ４の－Ｚ方向側まで延伸して接続されてもよい。

本実施形態の液体吐出ヘッド１ｂによれば、第１連通路ＲＲ１ｂは、連通板２の上面ＴＲに形成される第１連通板溝部ＲＲ１２と、圧力室基板３の下面ＢＣに形成される溝ＲＲ１１とによって規定される流路である。第２連通路ＲＲ２ｂは、連通板２の上面ＴＲに形成される第２連通板溝部ＲＲ２２と、圧力室基板３の下面ＢＣに形成される溝ＲＲ２１とによって規定される流路である。したがって、第１連通路ＲＲ１ｂおよび第２連通路ＲＲ２ｂの流路の一部を圧力室基板３に形成することにより、第１連通路ＲＲ１ｂおよび第２連通路ＲＲ２ｂでのイナータンスの増加を低減または防止することができる。

本実施形態の液体吐出ヘッド１ｂによれば、第５連通路ＲＲ５の深さＤ５は、第１連通板溝部ＲＲ１２の深さＤ２１２と等しく、かつ第２連通板溝部ＲＲ２２の深さＤ２２２と等しくされている。第５連通路ＲＲ５と、第１連通路ＲＲ１ｂおよび第２連通路ＲＲ２ｂとのエッチングレートを同じにすることができ、第５連通路ＲＲ５と、第１連通路ＲＲ１ｂおよび第２連通路ＲＲ２ｂとを同じ工程で形成することが容易となる。

Ｃ．他の形態：
本開示は、上述の実施形態に限られるものではなく、その趣旨を逸脱しない範囲において種々の構成で実現することができる。例えば、発明の概要の欄に記載した各形態中の技術的特徴に対応する実施形態中の技術的特徴は、上述の課題の一部又は全部を解決するために、あるいは、上述の効果の一部又は全部を達成するために、適宜、差し替えや、組み合わせを行うことが可能である。また、その技術的特徴が本明細書中に必須なものとして説明されていなければ、適宜、削除することが可能である。

（１）本開示の一形態によれば、液体吐出ヘッドが提供される。この液体吐出ヘッドは、第１方向に沿って延在する第１圧力室と、前記第１方向に沿って延在する第２圧力室と、前記第１圧力室に接続され、前記第１方向に沿って延在する第１連通路と、前記第２圧力室に接続され、前記第１方向に沿って延在する第２連通路と、前記第１連通路に接続され、前記第１方向と交差する第２方向に沿って延在する第３連通路と、前記第２連通路に接続され、前記第２方向に沿って延在する第４連通路と、前記第３連通路および前記第４連通路に接続し、前記第１方向に沿って延在する第５連通路と、前記第５連通路に設けられたノズルと、を備える。この形態の液体吐出ヘッドによれば、第１圧力室および第２圧力室から第１方向に延在する第１連通路および第２連通路を備えることにより、第５連通路の第１方向における長さを短くすることができる。第５連通路内において、第３連通路および第４連通路から供給される液体の第２方向の運動エネルギーが残留しやすくなり、第１方向の運動エネルギーは弱くなりやすくなる。その結果、第５連通路内での液体同士の衝突による液体の流動の緩衝や滞留などが緩和され得る。したがって、ノズルからの液体の吐出性能が低下することを低減または防止することができる。

（２）上記形態の液体吐出ヘッドにおいて、前記第５連通路の前記第１方向における長さは、前記第１連通路の前記第１方向における長さよりも短くてもよく、前記第２連通路の前記第１方向における長さよりも短くてもよい。この形態の液体吐出ヘッドによれば、第５連通路の第１方向における長さをより小さく設計し、液体の吐出性能が低下することを低減または防止することができる。

（３）上記形態の液体吐出ヘッドにおいて、前記第５連通路の前記第１方向における長さは、前記第１連通路の前記第１方向における長さと、前記第２連通路の前記第１方向における長さとの合計よりも短くてもよい。この形態の液体吐出ヘッドによれば、第５連通路の第１方向における長さをより小さく設計し、液体の吐出性能が低下することを低減または防止することができる。

（４）上記形態の液体吐出ヘッドにおいて、前記第５連通路の前記第１方向における長さは、前記第１圧力室の前記第１方向における長さよりも短くてもよく、前記第２圧力室の前記第１方向における長さよりも短くてもよい。この形態の液体吐出ヘッドによれば、第５連通路の第１方向における長さをより小さく設計し、液体の吐出性能が低下することを低減または防止することができる。

（５）上記形態の液体吐出ヘッドにおいて、前記第５連通路の前記第１方向における長さは、前記第１圧力室の前記第１方向における長さと、前記第２圧力室の前記第１方向における長さとの合計よりも短くてもよい。この形態の液体吐出ヘッドによれば、第５連通路の第１方向における長さをより小さく設計し、液体の吐出性能が低下することを低減または防止することができる。

（６）上記形態の液体吐出ヘッドにおいて、前記第１連通路の前記第１方向における長さは、前記第１圧力室の前記第１方向における長さよりも短くてもよく、前記第２連通路の前記第１方向における長さは、前記第２圧力室の前記第１方向における長さよりも短くてもよい。この形態の液体吐出ヘッドによれば、液体の流路が過剰に長くなることを抑制し、液体の吐出性能の低下、および液体吐出ヘッドの大型化を低減または抑制することができる。

（７）上記形態の液体吐出ヘッドにおいて、前記第５連通路の前記第１方向における長さは、前記第１連通路の前記第１方向における長さと、前記第２連通路の前記第１方向における長さと、前記第１圧力室の前記第１方向における長さと、前記第２圧力室の前記第１方向における長さとの合計よりも短くてもよい。この形態の液体吐出ヘッドによれば、第５連通路の第１方向における長さをより小さく設計し、液体の吐出性能が低下することを低減または防止することができる。

（８）上記形態の液体吐出ヘッドにおいて、前記第５連通路の前記第２方向における長さは、前記第１連通路の前記第２方向における長さよりも短く、且つ、前記第２連通路の前記第２方向における長さよりも短くてもよい。この形態の液体吐出ヘッドによれば、第１連通路および第２連通路での流路抵抗を小さくするとともに、外気の影響を受けやすく粘度が高くなりやすい第５連通路内では液体の流速を早めることにより、液体の吐出性能を向上することができる。

（９）上記形態の液体吐出ヘッドにおいて、前記第５連通路の前記第２方向における長さは、前記第１連通路の前記第２方向における長さと等しく、且つ、前記第２連通路の前記第２方向における長さと等しくてもよい。この形態の液体吐出ヘッドによれば、製造コストを低減することができる。

（１０）上記形態の液体吐出ヘッドにおいて、前記第５連通路の前記第２方向における長さは、前記第１圧力室の前記第２方向における長さよりも短く、前記第２圧力室の前記第２方向における長さよりも短くてもよい。この形態の液体吐出ヘッドによれば、第１圧力室および第２圧力室での流路抵抗を小さくするとともに、外気の影響を受けやすく粘度が高くなりやすい第５連通路内では液体の流速を早めることにより、液体の吐出性能を向上することができる。

（１１）上記形態の液体吐出ヘッドにおいて、前記第１連通路、前記第２連通路、前記第３連通路、前記第４連通路、および前記第５連通路を備える連通板と、前記連通板の一方の面に積層され、前記第１圧力室および前記第２圧力室を備える圧力室基板と、前記連通板の他方の面に積層され、前記ノズルを備えるノズル基板と、を有してもよい。

（１２）上記形態の液体吐出ヘッドにおいて、前記第１連通路は、前記連通板の一方の面に形成される第１連通板溝部と、前記連通板の一方の面と対向する前記圧力室基板の一方の面とによって規定されてよく、前記第２連通路は、前記連通板の一方の面に形成される第２連通板溝部と、前記連通板の一方の面と対向する前記圧力室基板の一方の面とによって規定されてもよい。この形態の液体吐出ヘッドによれば、第１連通路および第２連通路と、第１圧力室および第２圧力室との流路の接続が容易になる。

（１３）上記形態の液体吐出ヘッドにおいて、前記第１連通路は、前記連通板の一方の面に形成される第１連通板溝部と、前記連通板の一方の面と対向する前記圧力室基板の一方の面に形成される第１圧力室基板溝部とによって規定されてよい。前記第２連通路は、前記連通板の一方の面に形成される第２連通板溝部と、前記連通板の一方の面と対向する前記圧力室基板の一方の面に形成される第２圧力室基板溝部とによって規定されていてもよい。この形態の液体吐出ヘッドによれば、第１連通路および第２連通路の流路の一部を圧力室基板に形成することにより、第１連通路および第２連通路でのイナータンスの増加を低減または防止することができる。

（１４）上記形態の液体吐出ヘッドにおいて、前記第５連通路の前記第２方向における長さは、前記第１連通板溝部の前記第２方向における長さと等しく、かつ前記第２連通板溝部の前記第２方向における長さと等しくてもよい。この形態の液体吐出ヘッドによれば、第５連通路と、第１連通路および第２連通路とを同じ工程で形成することが容易となる。

（１５）上記形態の液体吐出ヘッドにおいて、前記第３連通路、前記第４連通路、および前記第５連通路は、前記連通板に設けられてもよい。この形態の液体吐出ヘッドによれば、第３連通路、第４連通路、および第５連通路が複数の基板に亘って形成される形態と比較して、容易に形成することができる。

（１６）上記形態の液体吐出ヘッドにおいて、前記第３連通路および前記第４連通路は、前記連通板を前記第２方向に沿って貫通する貫通孔でありってよく、前記第５連通路は、前記連通板の他方の面に形成される第３連通板溝部と、前記連通板の他方の面と対向する前記ノズル基板の一方の面とによって規定されていてもよい。この形態の液体吐出ヘッドによれば、第５連通路が、連通板の厚さ方向の中央に設けられる形態と比較して、第５連通路を形成することが容易となる。

（１７）上記形態の液体吐出ヘッドにおいて、前記連通板の前記第２方向における厚さは、前記圧力室基板の前記第２方向における厚さよりも厚くてもよい。この形態の液体吐出ヘッドによれば、連通板に複数の流路を形成することが容易となる。

（１８）上記形態の液体吐出ヘッドにおいて、前記第１圧力室の圧力を変動させるための第１圧電素子と、前記第２圧力室の圧力を変動させるための第２圧電素子と、前記第１圧電素子と前記第２圧電素子との間に設けられ、前記第１圧電素子および前記第２圧電素子に電力を供給するための配線基板と、を備えてもよい。この形態の液体吐出ヘッドによれば、液体が配線基板からの伝熱を受けやすくなり、液体の粘度の低下を低減または抑制し、液体の吐出性能が低下することを低減または防止することができる。

（１９）上記形態の液体吐出ヘッドにおいて、さらに、前記第１圧力室、前記第２圧力室、前記第１連通路、前記第２連通路、前記第３連通路、前記第４連通路、および前記第５連通路を含む個別流路であって、複数の個別流路と、前記複数の個別流路に共通して連通し、前記複数の個別流路のそれぞれに液体を供給するための共通供給流路と、前記複数の個別流路に共通して連通し、前記複数の個別流路のそれぞれから液体を排出するための共通排出流路と、を備えてもよい。この形態の液体吐出ヘッドによれば、液体の循環構造を備える液体吐出ヘッドにおいて、ノズルからの液体の吐出性能が低下することを低減または防止することができる。

（２０）本開示の他の形態によれば、液体吐出装置が提供される。この液体吐出装置は、上記形態の液体吐出ヘッドと、前記液体吐出ヘッドからの液体の吐出動作を制御する制御装置と、を備える。

本開示は、液体吐出ヘッド、液体吐出装置以外の種々の形態で実現することも可能である。例えば、流路構造、液体吐出ヘッドの製造方法、液体吐出装置の製造方法等の形態で実現することができる。

本開示は、インクジェット方式に限らず、インク以外の他の液体を吐出する任意の液体吐出装置及びそれらの液体吐出装置に用いられる液体吐出ヘッドにも適用することができる。例えば、以下のような各種の液体吐出装置およびその液体吐出ヘッドに適用可能である。
（１）ファクシミリ装置等の画像記録装置。
（２）液晶ディスプレイ等の画像表示装置用のカラーフィルターの製造に用いられる色材吐出装置。
（３）有機ＥＬ(Electro Luminescence)ディスプレイや、面発光ディスプレイ(Field Emission Display、ＦＥＤ)等の電極形成に用いられる電極材吐出装置。
（４）バイオチップ製造に用いられる生体有機物を含む液体を吐出する液体吐出装置。
（５）精密ピペットとしての試料吐出装置。
（６）潤滑油の吐出装置。
（７）樹脂液の吐出装置。
（８）時計やカメラ等の精密機械にピンポイントで潤滑油を吐出する液体吐出装置。
（９）光通信素子等に用いられる微小半球レンズ（光学レンズ）などを形成するために紫外線硬化樹脂液等の透明樹脂液を基板上に吐出する液体吐出装置。
（１０）基板などをエッチングするために酸性又はアルカリ性のエッチング液を吐出する液体吐出装置。
（１１）他の任意の微小量の液滴を吐出させる液体消費ヘッドを備える液体吐出装置。

「液滴」とは、液体吐出装置から吐出される液体の状態をいい、粒状、涙状、糸状に尾を引くものも含むものとする。また、「液体」とは、液体吐出装置が消費できるような材料であれば良い。例えば、「液体」は、物質が液相であるときの状態の材料であれば良く、粘性の高い又は低い液状態の材料、及び、ゾル、ゲル水、その他の無機溶剤、有機溶剤、溶液、液状樹脂、液状金属（金属融液）のような液状態の材料も「液体」に含まれる。また、物質の一状態としての液体のみならず、顔料や金属粒子などの固形物からなる機能材料の粒子が溶媒に溶解、分散または混合されたものなども「液体」に含まれる。また、第１液体と第２液体との組み合わせの代表的な例としては上記実施形態で説明したようなインクと反応液との組み合わせのほか、以下のものが挙げられる。
（１）接着剤の主剤および硬化剤
（２）塗料のベース塗料および希釈剤や、クリア塗料および希釈剤
（３）細胞用インクの細胞を含有する主溶媒および希釈溶媒
（４）金属光沢感を発現するインク（メタリックインク）のメタリックリーフ顔料分散液および希釈溶媒
（５）車両用燃料のガソリン・軽油およびバイオ燃料
（６）薬品の薬主成分および保護成分
（７）発光ダイオード（ＬＥＤ）の蛍光体および封止材

１，１ｂ，１Ｒ…液体吐出ヘッド、２…連通板、３…圧力室基板、４…振動板、５…貯留室形成基板、８…配線基板、５０…開口部、５１…導入口、５２…排出口、６０…ノズル基板、６１，６２…コンプライアンスシート、８１…駆動回路、９０…制御装置、９１…移動機構、９２…搬送機構、９３…液体容器、９４…循環機構、１００…液体吐出装置、８１０…配線、９２１…収納ケース、９２２…無端ベルト、ＣＢ１…第１圧力室、ＣＢ２…第２圧力室、ＣＢｑ…圧力室、Ｌｎ…ノズル列、Ｎｚ…ノズル、ＰＰ…媒体、ＰＺ１…第１圧電素子、ＰＺ２…第２圧電素子、ＰＺｑ…圧電素子、ＲＡ１…共通供給流路、ＲＡ２…共通排出流路、ＲＢ１…共通供給流路、ＲＢ２…共通排出流路、ＲＪ…循環流路、ＲＫ１，ＲＫ２，ＲＸ１，ＲＸ２…連通流路、ＲＲ１，ＲＲ１ｂ…第１連通路、ＲＲ１１…第１圧力室基板溝部、ＲＲ１２…第１連通板溝部、ＲＲ２，ＲＲ２ｂ…第２連通路、ＲＲ２１…第２圧力室基板溝部、ＲＲ２２…第２連通板溝部、ＲＲ３…第３連通路、ＲＲ４…第４連通路、ＲＲ５…第５連通路、ＺＤｑ…下部電極、ＺＭｑ…圧電体、ＺＵｑ…上部電極

Claims (20)

1. 液体吐出ヘッドであって、
   第１方向に沿って延在する第１圧力室と、
   前記第１方向に沿って延在する第２圧力室と、
   前記第１圧力室に接続され、前記第１方向に沿って延在する第１連通路と、
   前記第２圧力室に接続され、前記第１方向に沿って延在する第２連通路と、
   前記第１連通路に接続され、前記第１方向と交差する第２方向に沿って延在する第３連通路と、
   前記第２連通路に接続され、前記第２方向に沿って延在する第４連通路と、
   前記第３連通路および前記第４連通路に接続し、前記第１方向に沿って延在する第５連通路と、
   前記第５連通路に設けられたノズルと、を備える、
   液体吐出ヘッド。
2. 請求項１に記載の液体吐出ヘッドであって、
   前記第５連通路の前記第１方向における長さは、前記第１連通路の前記第１方向における長さよりも短く、前記第２連通路の前記第１方向における長さよりも短い、
   液体吐出ヘッド。
3. 請求項１または請求項２に記載の液体吐出ヘッドであって、
   前記第５連通路の前記第１方向における長さは、前記第１連通路の前記第１方向における長さと、前記第２連通路の前記第１方向における長さとの合計よりも短い、
   液体吐出ヘッド。
4. 請求項１から請求項３までのいずれか一項に記載の液体吐出ヘッドであって、
   前記第５連通路の前記第１方向における長さは、前記第１圧力室の前記第１方向における長さよりも短く、前記第２圧力室の前記第１方向における長さよりも短い、
   液体吐出ヘッド。
5. 請求項１から請求項４までのいずれか一項に記載の液体吐出ヘッドであって、
   前記第５連通路の前記第１方向における長さは、前記第１圧力室の前記第１方向における長さと、前記第２圧力室の前記第１方向における長さとの合計よりも短い、
   液体吐出ヘッド。
6. 請求項４または請求項５に記載の液体吐出ヘッドであって、
   前記第１連通路の前記第１方向における長さは、前記第１圧力室の前記第１方向における長さよりも短く、
   前記第２連通路の前記第１方向における長さは、前記第２圧力室の前記第１方向における長さよりも短い、
   液体吐出ヘッド。
7. 請求項１から請求項６までのいずれか一項に記載の液体吐出ヘッドであって、
   前記第５連通路の前記第１方向における長さは、前記第１連通路の前記第１方向における長さと、前記第２連通路の前記第１方向における長さと、前記第１圧力室の前記第１方向における長さと、前記第２圧力室の前記第１方向における長さとの合計よりも短い、
   液体吐出ヘッド。
8. 請求項１から請求項７までのいずれか一項に記載の液体吐出ヘッドであって、
   前記第５連通路の前記第２方向における長さは、前記第１連通路の前記第２方向における長さよりも短く、且つ、前記第２連通路の前記第２方向における長さよりも短い、
   液体吐出ヘッド。
9. 請求項１から請求項７までのいずれか一項に記載の液体吐出ヘッドであって、
   前記第５連通路の前記第２方向における長さは、前記第１連通路の前記第２方向における長さと等しく、且つ、前記第２連通路の前記第２方向における長さと等しい、
   液体吐出ヘッド。
10. 請求項１から請求項９までのいずれか一項に記載の液体吐出ヘッドであって、
    前記第５連通路の前記第２方向における長さは、前記第１圧力室の前記第２方向における長さよりも短く、前記第２圧力室の前記第２方向における長さよりも短い、
    液体吐出ヘッド。
11. 請求項１から請求項１０までのいずれか一項に記載の液体吐出ヘッドであって、
    前記第１連通路、前記第２連通路、前記第３連通路、前記第４連通路、および前記第５連通路を備える連通板と、
    前記連通板の一方の面に積層され、前記第１圧力室および前記第２圧力室を備える圧力室基板と、
    前記連通板の他方の面に積層され、前記ノズルを備えるノズル基板と、を有する、
    液体吐出ヘッド。
12. 請求項１１に記載の液体吐出ヘッドであって、
    前記第１連通路は、前記連通板の一方の面に形成される第１連通板溝部と、前記連通板の一方の面と対向する前記圧力室基板の一方の面とによって規定され、
    前記第２連通路は、前記連通板の一方の面に形成される第２連通板溝部と、前記連通板の一方の面と対向する前記圧力室基板の一方の面とによって規定されている、
    液体吐出ヘッド。
13. 請求項１１に記載の液体吐出ヘッドであって、
    前記第１連通路は、前記連通板の一方の面に形成される第１連通板溝部と、前記連通板の一方の面と対向する前記圧力室基板の一方の面に形成される第１圧力室基板溝部とによって規定され、
    前記第２連通路は、前記連通板の一方の面に形成される第２連通板溝部と、前記連通板の一方の面と対向する前記圧力室基板の一方の面に形成される第２圧力室基板溝部とによって規定されている、
    液体吐出ヘッド。
14. 請求項１３に記載の液体吐出ヘッドであって、
    前記第５連通路の前記第２方向における長さは、前記第１連通板溝部の前記第２方向における長さと等しく、かつ前記第２連通板溝部の前記第２方向における長さと等しい、
    液体吐出ヘッド。
15. 前記第３連通路、前記第４連通路、および前記第５連通路は、前記連通板に設けられる、請求項１１から請求項１４までのいずれか一項に記載の液体吐出ヘッド。
16. 請求項１１から請求項１５までのいずれか一項に記載の液体吐出ヘッドであって、
    前記第３連通路および前記第４連通路は、前記連通板を前記第２方向に沿って貫通する貫通孔であり、
    前記第５連通路は、前記連通板の他方の面に形成される第３連通板溝部と、前記連通板の他方の面と対向する前記ノズル基板の一方の面とによって規定されている、
    液体吐出ヘッド。
17. 請求項１１から請求項１６までのいずれか一項に記載の液体吐出ヘッドであって、
    前記連通板の前記第２方向における厚さは、前記圧力室基板の前記第２方向における厚さよりも厚い、
    液体吐出ヘッド。
18. 請求項１から請求項１７までのいずれか一項に記載の液体吐出ヘッドであって、
    前記第１圧力室の圧力を変動させるための第１圧電素子と、
    前記第２圧力室の圧力を変動させるための第２圧電素子と、
    前記第１圧電素子と前記第２圧電素子との間に設けられ、前記第１圧電素子および前記第２圧電素子に電力を供給するための配線基板と、を備える、
    液体吐出ヘッド。
19. 請求項１から請求項１８までのいずれか一項に記載の液体吐出ヘッドであって、
    さらに、前記第１圧力室、前記第２圧力室、前記第１連通路、前記第２連通路、前記第３連通路、前記第４連通路、および前記第５連通路を含む個別流路であって、複数の個別流路と、
    前記複数の個別流路に共通して連通し、前記複数の個別流路のそれぞれに液体を供給するための共通供給流路と、
    前記複数の個別流路に共通して連通し、前記複数の個別流路のそれぞれから液体を排出するための共通排出流路と、を備える、
    液体吐出ヘッド。
20. 請求項１から請求項１９までのいずれか一項に記載の液体吐出ヘッドと、
    前記液体吐出ヘッドからの液体の吐出動作を制御する制御装置と、を備える、
    液体吐出装置。

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