JP2020001316A - 液体噴射ヘッドと液体噴射装置とその製造方法 - Google Patents
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Abstract
Description
図1は、本発明の第1実施形態の液体噴射装置100の構成を模式的に示す説明図である。液体噴射装置100は、液体の一例であるインクの液滴を媒体12に噴射するインクジェット方式の印刷装置である。以下、インクの液滴の噴射を、単にインク噴射と称する。液体噴射装置100は、印刷用紙の他、樹脂フィルムや布等の任意の材質の印刷対象を媒体12とし、これらの各種の媒体12に対して印刷を行う。図1以降の各図においては、互いに直交するX方向、Y方向およびZ方向のうち、後述する液体噴射ヘッド26の搬送方向(主走査方向)をX方向とし、媒体送り方向(副走査方向)をY方向とし、インク噴射方向をZ方向として説明する。また、以下の説明においては、説明の便宜上、主走査方向を印刷方向と、適宜、称する。また、向きを特定する場合には、図示方向を+(正)として、方向表記に正負の符合を併用する。なお、インク噴射方向は鉛直方向であってもよいし、それと交差する方向でもよい。液体噴射装置100は、媒体送り方向(副走査方向)と液体噴射ヘッド26の搬送方向(主走査方向)とが一致する、いわゆるラインプリンタでもよい。
図7は、第2実施形態の液体噴射装置における液体噴射ヘッド26Aを図4相当に断面視して示す説明図である。図8は、第2実施形態の液体噴射装置における液体噴射ヘッド26Aを図5相当に断面視して示す説明図である。なお、以下の説明に当たっては、既述した各流路構成や各構成部材については、その機能が同じであれば、説明の便宜上、同一の符合を用いることとする。
図9は、第3実施形態の液体噴射装置における液体噴射ヘッド26Bを図4相当に断面視して示す説明図である。図10は、第3実施形態の液体噴射装置における液体噴射ヘッド26Bを図5相当に断面視して示す説明図である。
図11は、第4実施形態の液体噴射装置における液体噴射ヘッド26Cを図4相当に断面視して示す説明図である。図12は、第4実施形態の液体噴射装置における液体噴射ヘッド26Cを図5相当に断面視して示す説明図である。
図13は、第5実施形態の液体噴射装置における液体噴射ヘッド26Dを図4相当に断面視して示す説明図である。図14は、第5実施形態の液体噴射装置における液体噴射ヘッド26Dを図5相当に断面視して示す説明図である。
(F−1)既述した実施形態では、流路形成基板30が形成するインク流入室131の側から圧力室Cにインクを供給し、圧力室Cを通過したインクをインク排出室140の側から回収したが、このインクの流れを逆向きとしてもよい。具体的には、図4に示すインク排出室140の側から圧力室Cにインクを供給し、圧力室Cを通過したインクをインク流入室131の側から回収してもよい。
(1)ファクシミリ装置等の画像記録装置。
(2)液晶ディスプレイ等の画像表示装置用のカラーフィルターの製造に用いられる色材噴射装置。
(3)有機EL(Electro Luminescence)ディスプレイや、面発光ディスプレイ(Field Emission Display、FED)等の電極形成に用いられる電極材噴射装置。
(4)バイオチップ製造に用いられる生体有機物を含む液体を噴射する液体噴射装置。
(5)精密ピペットとしての試料噴射装置。
(6)潤滑油の噴射装置。
(7)樹脂液の噴射装置。
(8)時計やカメラ等の精密機械にピンポイントで潤滑油を噴射する液体噴射装置。
(9)光通信素子等に用いられる微小半球レンズ(光学レンズ)などを形成するために紫外線硬化樹脂液等の透明樹脂液を基板上に噴射する液体噴射装置。
(10)基板などをエッチングするために酸性又はアルカリ性のエッチング液を噴射する液体噴射装置。
(11)他の任意の微小量の液滴を噴射させる液体噴射ヘッドを備える液体噴射装置。
本発明は、上述の実施形態や実施形態、変形例に限られるものではなく、その趣旨を逸脱しない範囲において種々の構成で実現することができる。例えば、発明の概要の欄に記載した各形態中の技術的特徴に対応する実施形態、実施形態、変形例中の技術的特徴は、上述の課題の一部又は全部を解決するために、あるいは、上述の効果の一部又は全部を達成するために、適宜、差し替えや、組み合わせを行うことが可能である。また、その技術的特徴が本明細書中に必須なものとして説明されていなければ、適宜、削除することが可能である。
Claims (11)
- 液体を噴射する複数のノズルを有する液体噴射ヘッドであって、
複数の前記ノズルを有するノズルプレートと、
複数の前記ノズルへの液体供給に共用される共用供給路と、前記共用供給路から分岐して前記ノズルごとの圧力室に至る個別供給路と、前記ノズルと前記圧力室とを連通する個別回収路と、複数の前記個別回収路が合流して複数の前記ノズルからの液体回収に共用される共用回収路とを有する流路形成基板と、
前記圧力室の圧力を変化させる圧力発生部に電気的に接続されたリード電極と、を備え、
前記リード電極と接触し、前記リード電極を介して前記圧力発生部へ信号を供給する通電部は、前記ノズルプレートと前記流路形成基板とが積層された積層方向からの平面視において、前記個別供給路または前記個別回収路の少なくとも一方の個別流路の流路域に重なる位置にある、
液体噴射ヘッド。 - 液体を噴射する複数のノズルを有する液体噴射ヘッドであって、
複数の前記ノズルを有するノズルプレートと、
複数の前記ノズルへの液体供給に共用される共用供給路と、前記共用供給路から分岐して前記ノズルごとの圧力室に至る個別供給路と、前記ノズルと前記圧力室とを連通する個別回収路と、複数の前記個別回収路が合流して複数の前記ノズルからの液体回収に共用される共用回収路とを有する流路形成基板と、
前記圧力室の圧力を変化させる圧力発生部に電気的に接続されたリード電極と、を備え、
前記リード電極と固定され、前記リード電極を介して前記圧力発生部へ信号を供給する通電部は、前記ノズルプレートと前記流路形成基板とが積層された積層方向からの平面視において、前記共用供給路と前記共用回収路との間にある、
液体噴射ヘッド。 - 請求項1または請求項2に記載の液体噴射ヘッドであって、
前記積層方向からの平面視において、前記通電部のうち前記リード電極と接触する接続部位の長さは、前記通電部が前記平面視において重なる流路の流路長より短い、
液体噴射ヘッド。 - 請求項1から請求項3のいずれか一項に記載の液体噴射ヘッドであって、
前記流路形成基板は、前記積層方向からの平面視において、前記共用供給路と前記共用回収路との少なくとも一方を、前記通電部のうち前記リード電極と接触する接続部位から離して備え、
前記共用供給路の流路域と前記共用回収路の流路域とは、可撓性の可撓プレートで液密に閉鎖される、
液体噴射ヘッド。 - 請求項1から請求項4のいずれか一項に記載の液体噴射ヘッドであって、
前記通電部のうち前記リード電極と接触する接続部位は、前記積層方向からの平面視において、前記通電部が重なる流路の流路域に重なる位置にあり、
前記接続部位と重なる前記流路の流路域は、前記圧力室以外の流路域である、
液体噴射ヘッド。 - 請求項5に記載の液体噴射ヘッドであって、
前記接続部位と重なる前記個別流路の流路域は、前記個別流路のうち前記ノズルに対して前記圧力室とは反対側の流路域である、
液体噴射ヘッド。 - 請求項1から請求項6のいずれか一項に記載の液体噴射ヘッドであって、
前記通電部のうち前記リード電極と接触する接続部位は、前記積層方向からの平面視において、前記通電部が重なる流路の流路域に重なる位置にあり、
前記積層方向において、前記接続部位と重なる前記流路の流路域の深さは、前記ノズルプレートと前記接続部位との間の距離の半分以下である、
液体噴射ヘッド。 - 請求項1から請求項7のいずれか一項に記載の液体噴射ヘッドであって、
さらに、前記圧力室が設けられた圧力室プレートと、
前記液体を導入する導入口と、前記導入口から導入された前記液体を受け入れる受入室とを有する供給流路基板と、
前記共用回収路から回収された前記液体を収容する収容室と、前記液体を排出する排出口とを有する回収流路基板と、を備え、
前記積層方向において、前記圧力室プレートと前記供給流路基板と前記回収流路基板とは、前記流路形成基板に対して同じ側にて、前記流路形成基板に積層されている、
液体噴射ヘッド。 - 請求項1から請求項8のいずれか一項に記載の液体噴射ヘッドであって、
前記積層方向において前記通電部が重なる流路の流路域に重なる位置に、前記通電部のうち前記リード電極と接触する接続部位がある、
液体噴射ヘッド。 - 請求項1から請求項9のいずれか一項に記載の液体噴射ヘッドと、
前記液体噴射ヘッドへ供給され、前記液体噴射ヘッドから環流される前記液体を貯留する液体容器と、を備える液体噴射装置。 - 液体を噴射する複数のノズルを有する液体噴射装置の製造方法であって、
複数の前記ノズルを有するノズルプレートを準備し、
複数の前記ノズルへの液体供給に共用される共用供給路と、前記共用供給路から分岐して前記ノズルごとの圧力室に至る個別供給路と、前記ノズルと前記圧力室とを連通する個別回収路と、複数の前記個別回収路が合流して複数の前記ノズルからの液体回収に共用される共用回収路とを有する流路形成基板を準備し、
前記圧力室の圧力を変化させる圧力発生部に電気的に接続されたリード電極と固定される通電部を準備し、
前記ノズルプレートと前記流路形成基板とが積層された積層方向からの平面視において、前記通電部を、前記個別供給路または前記個別回収路の少なくとも一方の個別流路の流路域に重なるように、前記リード電極に固定する、
液体噴射装置の製造方法。
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