JP6721013B2 - 液体吐出ヘッドおよび流路構造体 - Google Patents

Description

本発明は、インク等の液体を吐出する技術に関する。

液体貯留室から圧力室に供給されるインクなどの液体を、圧力室内に圧力変化を生じさせることによってノズルから吐出する液体吐出ヘッドが従来から提案されている。この種の液体吐出ヘッドでは、液体貯留室への液体導入や圧力室の圧力変化によって、液体貯留室内に圧力変動が発生すると、その圧力が圧力室に伝わってしまい、液体の吐出不良を引き起こす虞がある。このため、例えば特許文献１の液体吐出ヘッドでは、液体貯留室（マニホールド）を構成する凹部を可撓膜（フィルム）で閉塞してシールすることによって壁面の一部を可撓膜で構成する。この構成によれば、可撓膜が撓むことによって液体貯留室の圧力変動を吸収させることで、吐出不良を抑制できる。さらに特許文献１では、可撓膜を挟んで液体貯留室とは反対側に可撓膜が撓む空間を形成し、その空間を液体貯留室の周囲に延びる連通路によって大気開放口（貫通孔）に連通する。このように構成することで、可撓膜が撓む空間の空気が可撓膜の動きに応じて大気開放口から出入りすることができるので、可撓膜が動き易くなる。

特開２０１５−０５７３１５号公報

しかしながら、特許文献１のように可撓膜が撓む空間を大気に連通する連通路を設ける構成では、連通路の幅が狭いほど連通路の断面積も小さくなるから空気抵抗が大きくなるので、可撓膜が撓む空間の空気が連通路を介して大気との間で出入りし難くなる。そのため、可撓膜が動き難くなって液体貯留室の圧力変動の吸収効果が低下してしまう。逆に、連通路の幅が広いほど、連通路内に露出する可撓膜は連通路内に撓み易くなるから、液体貯留室の周囲の領域において流路部材と可撓膜とのシール性が低下し、液体のリークが発生してしまう虞がある。以上の事情を考慮して、本発明は、液体貯留室の圧力変動の吸収効果を高めつつ、液体貯留室の周囲における流路部材と可撓膜とのシール性の低下を抑制することを目的とする。

［態様１］
以上の課題を解決するために、本発明の好適な態様（態様１）に係る流路構造体は、液体貯留室の壁面の一部を構成する流路部材と、流路部材に積層されて液体貯留室の壁面の一部を構成する可撓膜と、可撓膜を挟んで流路部材とは反対側に積層され、可撓膜が露出する空間を形成する封止体と、流路部材と可撓膜とが積層される方向から封止体を平面視した場合に、封止体のうち、液体貯留室の周囲の領域に形成され、空間を大気に連通するための連通路と、連通路において可撓膜を支持する支持部と、を備える。以上の態様によれば、封止体のうち、流路部材と可撓膜とをシールする液体貯留室の周囲の領域に形成される連通路において可撓膜を支持部で支持するから、連通路の幅を大きくしても、連通路内に露出する可撓膜が撓んで流路部材と接合され難くなってシール性が低下してしまうことを抑制できる。

なお、「液体貯留室の周囲の領域」とは、封止体の平面視において液体貯留室の外側の領域である。例えば流路部材を貫通する開口が液体貯留室の一部を構成する場合、当該開口を構成する流路部材に重なる領域が「液体貯留室の周囲の領域」に相当する。なお、支持部の直上において可撓膜が流路部材に接着されていなくてもよい。

［態様２］
態様１の好適例（態様２）において、連通路が延びる方向に交差する連通路の断面のうち支持部を含む断面において、支持部が占める部分の面積がそれ以外の部分の面積よりも小さい。以上の態様によれば、連通路が延びる方向に交差する連通路の断面のうち支持部を含む断面において、支持部が占める部分の面積がそれ以外の部分の面積よりも小さいから、支持部による空気抵抗を低減できる。このため、可撓膜が撓む空間の空気が連通路を介して大気との間で出入りし易くなるから、封止体の空間に露出する可撓膜が動き易くなるので、液体貯留室の圧力変動の吸収効果を高めることができる。このように本態様によれば、液体貯留室の圧力変動の吸収効果を高めつつ、液体貯留室の周囲における流路部材と可撓膜とのシール性の低下を抑制できる。

［態様３］
態様１または態様２の好適例（態様３）において、連通路は、液体貯留室から離間した大気開放口を介して大気に連通し、連通路が延びる方向に交差する連通路の断面における連通路の幅は、大気開放口の径よりも大きい。以上の態様によれば、連通路が延びる方向に交差する連通路の断面における連通路の幅は、大気開放口の径よりも大きいから、連通路の幅が大気開放口の径よりも小さい場合に比較して、連通路が延びる方向における連通路内の空気抵抗を低減できる。

［態様４］
態様３の好適例（態様４）において、大気開放口は、可撓膜に形成された貫通孔である。以上の態様によれば、可撓膜に形成された大気開放口の径よりも連通路の幅が大きいから、連通路の幅が大気開放口の径よりも小さい構成と比較して、連通路が延びる方向における連通路内の空気抵抗を低減できる。

［態様５］
態様４の好適例（態様５）において、大気開放口は、流路部材に形成される。以上の態様によれば、大気開放口は、液体貯留室がある流路部材に形成されるから、大気開放口を液体貯留室から離間して形成し易いので、連通路の引き回しを容易にすることができる。また、流路部材に形成された大気開放口の径よりも連通路の幅が大きいから、連通路の幅が大気開放口の径よりも小さい構成と比較して、連通路が延びる方向における連通路内の空気抵抗を低減できる。

［態様６］
態様１から態様５の何れかの好適例（態様６）において、支持部は、連通路内に配置される島部である。以上の態様によれば、支持部は、連通路内に配置される島部であるから、その島部の数や配置や形状によって、支持部が占める部分の面積がそれ以外の部分の面積よりも小さくできるので、連通路内の空気抵抗を低減し易い。

［態様７］
態様６の好適例（態様７）において、連通路が延びる方向に島部が複数並べて配置される。以上の態様によれば、連通路が延びる方向に島部が複数並べて配置されるから、その方向から見て複数の島部が重なるので、連通路が延びる方向、すなわち空気が通り抜ける方向の抵抗を低減できる。

［態様８］
態様１から態様７の何れかの好適例（態様８）において、支持部は、連通路の互いに対向する側面のうちの片側または両側から連通路内に張り出す桟部である。以上の態様によれば、支持部は、連通路の互いに対向する側面のうちの片側または両側から連通路内に張り出す桟部であるから、その桟部の数や配置や形状によって、支持部が占める部分の面積がそれ以外の部分の面積よりも小さくできるので、連通路内の空気抵抗を低減し易い。

［態様９］
態様１から態様８の何れかの好適例（態様９）において、連通路の幅は、連通路が延びる方向に交差する連通路の断面のうち空間の断面の最大幅の１／２以上である。以上の態様によれば、連通路の幅を、連通路が延びる方向に交差する連通路の断面における空間の最大幅の１／２以上とすることで、連通路が延びる方向における連通路内の空気抵抗を大幅に低減できる。

［態様１０］
態様１から態様９の何れかの好適例（態様１０）において、封止体は、可撓膜に積層される支持板と、可撓膜とは反対側で支持板に積層される固定板とで構成され、支持部は、固定板から可撓膜に向けて突出して可撓膜を支持する。以上の態様によれば、支持部は、固定板から可撓膜に向けて突出して可撓膜を支持するから、流路部材から連通路内への可撓膜の撓みを抑制できる。

［態様１１］
態様１から態様１０の何れかの好適例（態様１１）において、連通路は、封止体の平面視において当該封止体のうち液体貯留室の一端に対応する領域に形成される。

［態様１２］
態様１から態様１１の何れかの好適例（態様１２）において、流路部材には、液体貯留室が複数形成され、封止体には、複数の液体貯留室にそれぞれ対応する複数の空間が形成され、連通路は、各空間を連通する。

［態様１３］
以上の課題を解決するために、本発明の好適な態様（態様１３）に係る液体吐出ヘッドは、態様１から態様１２の何れかに記載の流路構造体と、液体貯留室から供給された液体を吐出するためのノズルと、を備える。以上の態様によれば、液体貯留室の圧力変動の吸収効果を高めつつ、液体貯留室の周囲における流路部材と可撓膜とのシール性の低下を抑制できる流路構造体を備えた液体吐出ヘッドを提供できる。

［態様１４］
本発明の好適な態様（態様１４）に係る液体吐出装置は、態様１３に記載の液体吐出ヘッドと、液体吐出ヘッドから液体を吐出させる制御装置とを具備する。

第１実施形態に係る液体吐出装置の構成図である。 液体吐出ヘッドの分解斜視図である。 図２に示す液体吐出ヘッドのＩＩＩ−ＩＩＩ断面図である。 液体吐出ヘッドの部分的な断面斜視図である。 流路構造体の一部を構成するコンプライアンスプレートの平面図である。 図５に示すＱ部の拡大図である。 第１比較例に係るコンプライアンスプレートの平面図である。 図７に示すＶＩＩＩ−ＶＩＩＩ断面図である。 特定の印刷パターンにおける液体貯留室の圧力推移を示すグラフである。 第２比較例に係るコンプライアンスプレートの構成を示す平面図である。 図１０に示すＸＩ−ＸＩ断面図である。 図１０に示すＸＩＩ−ＸＩＩ断面図である。 第１実施形態のコンプライアンスプレートの作用説明図である。 図１３に示すＸＩＶ−ＸＩＶ断面図である。 図１３に示すＸＶ−ＸＶ断面図である。 第１変形例に係るコンプライアンスプレートの断面図である。 第２変形例に係るコンプライアンスプレートの断面図である。 第３変形例に係るコンプライアンスプレートの平面図である。 第４変形例に係るコンプライアンスプレートの平面図である。 第５変形例にかかるコンプライアンスプレートの構成を示す平面図である。 図２０のＸＸＩ−ＸＸＩ断面図である。 第２実施形態に係るコンプライアンスプレートを示す平面図である。

＜第１実施形態＞
図１は、本発明の第１実施形態に係る液体吐出装置１０の部分的な構成図である。第１実施形態の液体吐出装置１０は、液体の例示であるインクを印刷用紙等の媒体１１に吐出するインクジェット方式の印刷装置である。図１に示す液体吐出装置１０は、制御装置１２と搬送機構１５とキャリッジ１８と液体吐出ヘッド２０とを具備する。液体吐出装置１０にはインクを貯留する液体容器１４が装着される。

液体容器１４は、液体吐出装置１０の本体に着脱可能な箱状の容器からなるインクタンクタイプのカートリッジである。なお、液体容器１４は、箱状の容器に限られず、袋状の容器からなるインクパックタイプのカートリッジであってもよい。液体容器１４には、インクが貯留される。インクは、黒色インクであってもよく、カラーインクであってもよい。液体容器１４に貯留されるインクは、液体吐出ヘッド２０にポンプ（図示略）で圧送される。

制御装置１２は、液体吐出装置１０の各要素を統括的に制御する。搬送機構１５は、制御装置１２による制御のもとで媒体１１をＹ方向に搬送する。液体吐出ヘッド２０は、液体容器１４から供給されるインクを制御装置１２による制御のもとで複数のノズルＮの各々から媒体１１に吐出する。

液体吐出ヘッド２０はキャリッジ１８に搭載される。図１では、キャリッジ１８に１つの液体吐出ヘッド２０を搭載した場合を例示したが、これに限られず、キャリッジ１８に複数の液体吐出ヘッド２０を搭載してもよい。制御装置１２は、Ｙ方向に交差（図１では直交）するＸ方向にキャリッジ１８を往復させる。媒体１１の搬送とキャリッジ１８の往復との反復に並行して液体吐出ヘッド２０が媒体１１にインクを吐出することで媒体１１の表面に所望の画像が形成される。なお、キャリッジ１８には、複数の液体吐出ヘッド２０を搭載してもよい。Ｘ−Ｙ平面（媒体１１の表面に平行な平面）に垂直な方向をＺ方向と表記する。

（液体吐出ヘッド）
図２は、液体吐出ヘッド２０の分解斜視図である。図３は、図２に示す液体吐出ヘッド２０のＩＩＩ−ＩＩＩ断面図である。図２および図３に示すように、液体吐出ヘッド２０は、インクを吐出するノズルＮが形成される吐出面を有するヘッド本体３０に、ケース部材４０を固定（接合）して構成される。ヘッド本体３０は、流路部材３２を備え、その一方側（Ｚ方向の正側の面）に、複数のノズルＮが形成されたノズル板６２とコンプライアンスプレート５０と固定板５６が積層され、他方側（Ｚ方向の負側の面）に、圧力室基板３８２を含む積層部３８が積層された構造体である。これらのヘッド本体３０の各要素は、例えば接着剤で相互に固定される。本実施形態の流路部材３２とコンプライアンスプレート５０と固定板５６は、流路構造体を構成する。

ノズル板６２は、Ｙ方向に配列する複数のノズルＮが形成された吐出面を構成する平板材である。ノズル板６２は、例えばシリコン材料で構成される。複数のノズルＮは、２列のノズル列Ｌ１、Ｌ２からなる。ノズル列Ｌ１、Ｌ２の各々は、Ｙ方向に沿って配列された複数のノズルＮの集合である。なお、ノズル列Ｌ１、Ｌ２の配置は本実施形態で図示するものに限られない。例えばノズル列Ｌ１、Ｌ２をそれぞれ、Ｙ方向にずらして配置してもよい。また、ノズル板６２に形成されるノズル列は２列に限られるものではなく、１列でもよい。

本実施形態に係る液体吐出ヘッド２０には、ノズル列Ｌ１に対応する構造（図３の左側部分）とノズル列Ｌ２に対応する構造（図３の右側部分）とが、Ｘ方向の仮想線Ｏ−Ｏに対して略線対称に形成され、両構造は実質的に共通する。このため、以下の説明ではノズル列Ｌ１に対応する構造（図３の仮想線Ｏ−Ｏよりも左側部分）に着目し、ノズル列Ｌ２に対応する要素の説明を便宜的に省略する。図４は、ノズル列Ｌ１に対応する構造の部分的な断面斜視図である。図４では、複数の圧力室ＳＣを破線で示している。

図２乃至図４に示す流路部材３２は、インクの流路を構成する平板状の流路基板である。流路部材３２は、例えばシリコン材料で構成される。流路部材３２には、第２液体貯留室３４と複数のノズル側連通流路３２６が形成される。第２液体貯留室３４は、インクが流入する流入口３４２と複数の供給側連通流路３４４を備える。複数の供給側連通流路３４４と複数のノズル側連通流路３２６とはノズルＮ毎に形成された貫通孔であり、第２液体貯留室３４は、複数のノズルＮにわたり共通する開口である。

積層部３８は、ノズルＮに連通する圧力室ＳＣを形成する圧力室基板３８２と振動板３８４と保護板３８６をこの順番で積層して構成される。ただし、このような構成に限られるものではなく、積層部３８は、保護板３８６がない構成でもよい。また、振動板３８４と圧力室基板３８２とを一体で構成してもよい。圧力室基板３８２には、各ノズルＮに連通する圧力室ＳＣ（キャビティ）を構成する複数の開口部３８３が形成される。圧力室基板３８２は、例えば流路部材３２と同様にシリコン材料で構成される。

圧力室基板３８２のうち流路部材３２とは反対側の表面には振動板３８４が設置される。振動板３８４は、弾性的に振動可能な平板材である。振動板３８４と流路部材３２とは、圧力室基板３８２に形成された各開口部３８３の内側で相互に間隔をあけて対向する。圧力室基板３８２の開口部３８３の内側で流路部材３２と振動板３８４とに挟まれた空間によって、各ノズルＮからインクを吐出するための圧力を発生させる圧力室ＳＣが構成される。流路部材３２の各供給側連通流路３４４は、後述する第２液体貯留室３４と圧力室ＳＣとを連通し、流路部材３２の各ノズル側連通流路３２６は圧力室ＳＣとノズルＮとを連通する。

振動板３８４のうち圧力室基板３８２とは反対側の表面には、相異なるノズルＮ（圧力室ＳＣ）に対応する複数の圧電素子３８５が形成される。各圧電素子３８５は、相互に対向する電極間に圧電体を介在させた駆動素子である。各圧電素子３８５は、制御装置１２から供給される駆動信号により個別に振動する。保護板３８６は、各圧電素子３８５を保護する要素であり、圧力室基板３８２（振動板３８４）の表面に例えば接着剤で固定される。保護板３８６のうち振動板３８４側の表面に形成された凹部３８７に各圧電素子３８５が収容されている。制御装置１２から供給される駆動信号に応じて各圧電素子３８５は振動すると、圧電素子３８５に連動して振動板３８４が振動する。これにより、圧力室ＳＣ内のインクの圧力が変動してノズルＮからインクが吐出される。このように、圧電素子３８５は、圧力室ＳＣ内の圧力を変動させて圧力室ＳＣ内のインクをノズルＮから吐出させる圧力発生素子として機能する。なお、圧電素子３８５は、不図示のフレキシブルプリントケーブル（ＦＰＣ：Ｆｌｅｘｉｂｌｅ Ｐｒｉｎｔｅｄ Ｃｉｒｃｕｉｔ）やチップオンフィルム（ＣＯＦ：Ｃｈｉｐ Ｏｎ Ｆｉｌｍ）などを経由して制御装置１２に接続される。

ケース部材４０のＺ方向の正側の表面（以下「接合面」という）は、例えば接着剤で流路部材３２のＺ方向の負側の表面に固定される。ケース部材４０は、例えばプラスチック材料などの成形樹脂材料で構成される。ケース部材４０を成形樹脂材料で構成する場合には、成形樹脂材料の射出成形によって一体成形できる。ケース部材４０は、複数の圧力室ＳＣに供給されるインクを貯留するためのケースであり、開口部としての流入口３４２により第２液体貯留室３４に連通する第１液体貯留室４２が形成された構造体である。第１液体貯留室４２は、インクを導入するための導入口４３に連通している。

このような第２液体貯留室３４と第１液体貯留室４２とは、複数のノズルＮにわたる共通の空間であり、液体容器１４から導入口４３に供給されたインクを貯留する。第２液体貯留室３４は、Ｙ方向に長尺な空間から成る。本実施形態の第２液体貯留室３４は、流入口３４２側から供給側連通流路３４４（流出口）側に向けて流路が拡大する形状である。複数の圧力室ＳＣは、一方向（Ｙ方向）に配列しており、複数の供給側連通流路３４４は、複数の圧力室ＳＣの配列に沿ってＹ方向に並んでいる。

図４に示すように、第１液体貯留室４２から第２液体貯留室３４内に流入したインクは、複数の供給側連通流路３４４に分岐されて、各圧力室ＳＣに並列に供給され、充填される。そして、振動板３８４の振動に応じた圧力変動により圧力室ＳＣからノズル側連通流路３２６とノズルＮとを通過して外部に吐出される。すなわち、圧力室ＳＣは、インクをノズルＮから吐出するための圧力を発生させる空間として機能し、第２液体貯留室３４と第１液体貯留室４２とは、複数の圧力室ＳＣに供給されるインクを貯留する液体貯留室ＳＲ（リザーバーまたはマニホールド）として機能する。

（流路構造体）
図５は、第１実施形態の流路構造体の一部を構成するコンプライアンスプレート５０をＺ方向から見た平面図である。図６は、図５に示すＱ部の拡大図である。図３および図５に示すように、本実施形態のコンプライアンスプレート５０は、液体貯留室ＳＲ内のインクの圧力変動を抑制するための要素であり、可撓膜５２（コンプライアンス基板）と支持板５４とを具備する。可撓膜５２は、フィルム状に形成された可撓性の部材であり、液体貯留室ＳＲの壁面（具体的には底面）の一部を構成する。可撓膜５２の材質について、可撓膜５２が撓むことができればよく、例えばポリフェニレンサルファイド（ＰＰＳ）、芳香族ポリアミド（アラミド）、ステンレス鋼（ＳＵＳ）等を用いることができる。図３ではノズル列Ｌ１に対応する第２液体貯留室３４とノズル列Ｌ２に対応する第２液体貯留室３４とを単一の可撓膜５２で封止する場合を説明したが、これに限られるものではなく、双方の第２液体貯留室３４を別々の可撓膜５２で封止するようにしてもよい。可撓膜５２は、流路部材３２のＺ方向に積層され、支持板５４は、可撓膜５２を挟んで流路部材３２とは反対側に積層される。本実施形態のＺ方向は、流路部材３２と可撓膜５２と支持板５４との積層方向に相当する。

図５に示すように、支持板５４は、ステンレス鋼（ＳＵＳ）等の高剛性の材料で形成された平板であり、液体貯留室ＳＲが可撓膜５２で閉塞されるように可撓膜５２を支持する。支持板５４には、平面視（Ｚ方向からの平面視）で液体貯留室ＳＲに重なるコンプライアンス領域Ａに、可撓膜５２が露出する空間を構成する開口部５４１が形成される。コンプライアンス領域Ａ（可撓膜５２のうち開口部５４１に露出する領域）は、可撓膜５２の変形（撓み振動）によって液体貯留室ＳＲ内の圧力変動を吸収可能なコンプライアンス機能を有する領域である。平面視で液体貯留室ＳＲに重ならない液体貯留室ＳＲの周囲の領域Ｂでは、流路部材３２と可撓膜５２とが接着される。これにより、液体貯留室ＳＲからインクが漏れないように流路部材３２と可撓膜５２とがシールされる。また、支持板５４の開口部５４１で構成される空間（開口部５４１の内部空間）は、連通路５４４を介して大気に連通しており、液体貯留室ＳＲ内の圧力変動が吸収されるように可撓膜５２を変形させるためのコンプライアンス空間ＳＧとして機能する。

コンプライアンスプレート５０は、固定板５６に固定される。固定板５６は、例えばステンレス鋼等の高剛性の材料で所定の形状に成形される。固定板５６にはそれぞれ、各ノズル板６２に対応する複数の開口部６２２が形成されている。可撓膜５２には複数の開口部６２２に対応する開口部５２２が形成され、支持板５４にも複数の開口部６２２に対応する開口部５４２が形成される。開口部５２２、５４２、５６２からノズル板６２が露出するように、コンプライアンスプレート５０の支持板５４が固定板５６に固定される。なお、開口部５２２、５４２、５６２の内側の空間（具体的には開口部５２２、５４２、５６２の内周面とノズル板６２の外周面との隙間）には、例えば樹脂材料で形成された充填材が充填される。

また、支持板５４が固定板５６に固定されることで、支持板５４の開口部５４１のＺ方向の正側が固定板５６で封止され、開口部５４１の内側で可撓膜５２と固定板５６との間に挟まれた空間が、上述したコンプライアンス空間ＳＧとなる。本実施形態の支持板５４と固定板５６は、可撓膜５２が露出する空間（コンプライアンス空間ＳＧ）が形成される封止体として機能する。このように、本実施形態では、支持板５４と固定板５６とを別体として封止体を構成した場合を例示するが、これに限られず、支持板５４と固定板５６とを一体として封止体を構成してもよい。以上のように構成されたコンプライアンスプレート５０によれば、液体貯留室ＳＲ内に圧力変動が生じても、可撓膜５２が変形することで、その圧力変動を吸収できる。支持板５４の開口部５４１は、連通路５４４を介して大気に連通しているので、開口部５４１内の空気が可撓膜５２の動きに応じて連通路５４４を介して大気との間で出入りするため、可撓膜５２が動き易い。なお、固定板５６とノズル板６２とを一体で構成してもよく、この場合には固定板５６にノズルＮが形成されていてもよいし、ノズル板６２で開口部５４１を封止してもよい。

（連通路）
ここで、上述した支持板５４の開口部５４１を大気に連通する連通路５４４の具体的構成例について図面を参照しながら説明する。図５および図６に示すように、連通路５４４は、支持板５４のうち、流路部材３２と可撓膜５２とをシールする液体貯留室ＳＲの周囲の領域Ｂに形成される。領域Ｂは、開口部５４１が液体貯留室ＳＲに重ならない非コンプライアンス領域である。可撓膜５２は、領域Ｂで流路部材３２に接着されることで、流路部材３２と可撓膜５２とが液体貯留室ＳＲの周囲でシールされる。流路部材３２および可撓膜５２には、領域Ｂにおいて液体貯留室ＳＲからノズル列の方向（図５ではＹ方向の負側）に離間した位置に、大気開放口ＨＡが形成される。図２に示すように、大気開放口ＨＡは、流路部材３２と可撓膜５２とケース部材４０を貫通して、支持板５４の連通路５４４を大気に連通する貫通孔である。大気開放口ＨＡは、液体貯留室ＳＲからＹ方向の負側に離間して配置され、連通路５４４は、開口部５４１からＹ方向の負側に延びて大気開放口ＨＡに連通する。このように、本実施形態の連通路５４４は、支持板５４の開口部５４１に連続し、開口部５４１を大気開放口ＨＡに連通する空気の通路である。また、大気開放口ＨＡは、液体貯留室ＳＲがある流路部材３２に形成されるから、大気開放口ＨＡを液体貯留室ＳＲから離間して形成し易いので、連通路５４４の引き回しを容易にすることができる。

ところで、連通路５４４が延びる方向（Ｙ方向）に交差する連通路５４４の断面の幅が狭いほど、その断面積も小さくなって空気抵抗が大きくなるので、可撓膜５２が撓むときに開口部５４１の空気が連通路５４４を介して大気開放口ＨＡから出入りし難くなる。そのため、可撓膜５２が動き難くなって液体貯留室ＳＲの圧力変動の吸収効果が低下してしまう。

なお、連通路５４４の空気抵抗を抑制する構成としては、支持板５４の板厚を増加させることで連通路５４４の断面の高さを充分に確保する構成も考えられる。しかし、支持板５４の板厚を増加させた構成では、固定板５６の表面が媒体１１に近付くから、媒体１１が固定板５６の表面に接触する可能性が増加する。他方、固定板５６に対する媒体１１の接触を抑制するために、固定板５６の表面と媒体１１との間に所定の間隔が確保されるように液体吐出ヘッド２０のＺ方向の位置を設定することも可能である。しかし、以上の構成では、媒体１１とノズル板６２との距離が増大する。したがって、ノズルＮから吐出された液滴が媒体１１の表面に着弾する位置に誤差が発生しやすくなり、結果的に印刷画質が低下する可能性がある。以上の事情を考慮すると、連通路５４４の高さを確保する構成よりも、連通路５４４の幅を充分に確保することで空気抵抗を低減する構成が好適である。

図７および図８は、第１実施形態の第１比較例に係るコンプライアンスプレート５０’の構成を示す図である。図７は、第１比較例に係るコンプライアンスプレート５０’の連通路５４４’を示す平面図であり、図６に対応する。図８は、図７に示すＶＩＩＩ−ＶＩＩＩ断面図である。図７および図８の連通路５４４’は、図６の連通路５４４よりも幅が狭い。具体的には連通路５４４’の幅Ｗ’は、大気開放口ＨＡの径Ｍよりも小さく、連通路５４４の幅Ｗは、大気開放口ＨＡの径Ｍよりも大きい。

図７および図８のように連通路５４４’の幅Ｗ’が狭いほど、可撓膜５２が撓むときに開口部５４１の空気が連通路５４４を介して大気開放口ＨＡから出入りし難くなる。そうすると、可撓膜５２が動き難くなって液体貯留室ＳＲの圧力変動の吸収効果が低下し、印刷パターンによっては液体貯留室ＳＲの圧力振動の振幅が大きくなってノズルＮ内のメニスカス耐圧を超えることでメニスカスが破壊され、ドット抜けなどの吐出不良が発生してしまう。

例えばベタ吐出（吐出デューティーが１００％）と励振（例えば吐出（印刷）と非吐出（空白）を交互に繰り返す場合など）とベタ吐出が連続する印刷パターンで、液体貯留室ＳＲの圧力変動の吸収不足によるドット抜けが発生することが判明した。ここでの吐出デューティーとは、単位時間当たりの可能最大インク吐出量に対する吐出するインク量の割合である。

図９は、液体貯留室ＳＲの圧力変動の吸収不足によるドット抜けが発生するような特定の印刷パターンにおける液体貯留室ＳＲの圧力推移を示すグラフである。図５の縦軸は圧力（負圧）であり、横軸は時間である。図５に示すように、ベタ吐出ではインクの吐出量が多いため、ベタ吐出によってノズルＮ内の圧力は急激に低下するので、ノズルＮ内のメニスカスが圧力室ＳＣ側に大きく引っ張られる。このため、その後の励振による圧力振動を吸収し切れずに振幅が大きくなってメニスカス耐圧を超えることで、その後に連続するベタ吐出でドット抜けが発生する。

そのため、本実施形態では、連通路５４４の幅Ｗを広くすることで、可撓膜５２が撓むときに開口部５４１の空気が連通路５４４を介して大気開放口ＨＡから出入りし易くしている。これにより、可撓膜５２が動き易くなり、液体貯留室ＳＲの圧力変動の吸収効果を高めることができる。可撓膜５２が動き易くなると、図９に示すように励振しても、可撓膜５２の動きによって圧力変動が吸収されその振幅が小さくなるので、メニスカス耐圧を超えなくなる。これにより、その後に連続するベタ吐出におけるドット抜けの発生を抑制できる。

ところが、連通路５４４の幅Ｗが広いほど、連通路５４４内に露出する可撓膜５２は支えがないと、可撓膜５２が連通路５４４内に撓み易くなって、液体貯留室ＳＲの周囲における流路部材３２と可撓膜５２とのシール性が低下してしまう。

図１０乃至図１２は、第１実施形態の第２比較例に係るコンプライアンスプレート５０’’の構成を示す図である。図１０は、第２比較例に係るコンプライアンスプレート５０’’の連通路５４４’’を示す平面図であり、図７に対応する。図１１は、図１０に示すＸＩ−ＸＩ断面図であり、図１２は、図１０に示すＸＩＩ−ＸＩＩ断面図である。図１１および図１２に示す第２比較例の連通路５４４’’の幅Ｗは、図７に示す第１比較例の連通路５４４’の幅Ｗ’よりも広く、図６に示す第１実施形態の連通路５４４の幅Ｗと同じである。

図１０乃至図１２の連通路５４４’’のように幅Ｗが広いほど、連通路５４４内に露出する可撓膜５２は支えがないと、液体吐出ヘッド２０の製造時において流路部材３２と可撓膜５２と支持板５４とを積層する際に、可撓膜５２が連通路５４４内に撓み易くなってしまう。そのため、図１１および図１２の白矢印のように、可撓膜５２のうち連通路５４４に露出する部分が流路部材３２から離れてしまって接着され難くなるから、液体貯留室ＳＲの周囲における流路部材３２と可撓膜５２とのシール性が低下してしまう。シール性が低下すると、図１２の黒矢印のようにインクのリークが発生して、液体貯留室ＳＲのインクが大気開放口ＨＡに漏れ出すなどの不具合が生じてしまう虞がある。そこで、本実施形態では、図６に示すように連通路５４４に露出する可撓膜５２を支持部５４５で支持することで、液体貯留室ＳＲの周囲における流路部材３２と可撓膜５２とのシール性の低下を抑制する。

このような本実施形態のコンプライアンスプレート５０の作用効果について図面を参照しながらより詳細に説明する。図１３乃至図１５は、本実施形態のコンプライアンスプレート５０の作用説明図である。図１３は、連通路５４４の平面図であり、図６に対応する。図１４は、図１３に示すＸＩＶ−ＸＩＶ断面図であり、図１５は、図１３に示すＸＶ−ＸＶ断面図である。図１３では、流路部材３２と固定板５６を省略している。図１３乃至図１５に示すように、第１実施形態では、連通路５４４に露出する可撓膜５２を支持する支持部５４５を備える。図１３の支持部５４５は、連通路５４４に設けられる複数の島部で構成される。図１３には、２つの島部で支持部５４５を構成する場合を例示する。各島部は、支持板５４とは不連続に設けられており、固定板５６から流路部材３２に向けて突出して可撓膜５２を支持する。本実施形態の各島部は、固定板５６から可撓膜５２までの厚みを有する円柱状の部材であり、可撓膜５２と固定板５６の両方に接着剤などで固定される。図１４に示すように、本実施形態の各島部は、連通路５４４の中央を通りＹ方向に沿う直線上に並べて配置される。

図１４および図１５に示すように、本実施形態の構成によれば、連通路５４４の幅Ｗを広げても、可撓膜５２のうち連通路５４４に露出する部分を、流路部材３２に貼り付く方向（Ｚ方向の負側）へ支持部５４５で支えることができる。したがって、液体吐出ヘッド２０の製造時において流路部材３２と可撓膜５２と支持板５４とを積層する際に、可撓膜５２が連通路５４４内に撓むことを抑制できるから、液体貯留室ＳＲの周囲における流路部材３２と可撓膜５２とのシール性の低下を抑制できる。

図１３に示すように、本実施形態では、連通路５４４が延びる方向（Ｙ方向）に交差する連通路５４４の断面の幅Ｗ（Ｚ方向からの平面視におけるＸ方向の幅）は、大気開放口ＨＡの径Ｍよりも大きい。これにより、連通路５４４の幅Ｗが大気開放口ＨＡの径Ｍよりも小さい図７の場合に比較して、連通路５４４が延びる方向、すなわち空気が通り抜ける方向（Ｙ方向）の空気抵抗を低減できる。したがって、可撓膜５２が動き易くなり、液体貯留室ＳＲの圧力変動の吸収効果を高めることができる。さらに、Ｚ方向からの平面視において、連通路５４４の幅Ｗを、連通路５４４が延びる方向（Ｙ方向）に交差する連通路５４４の断面における開口部５４１の最大幅Ｗｍａｘ（Ｚ方向からの平面視においてＸ方向の最大幅）の１／２以上にすることで、連通路５４４が延びる方向における連通路５４４内の空気抵抗を大幅に低減できる。

しかも、図１４に示すように、連通路５４４が延びる方向（Ｙ方向）に交差する連通路５４４の断面Ｐのうち、支持部５４５が占める部分の面積がそれ以外の部分の面積（空気が通る部分の面積）よりも小さい。このように構成することで、支持部５４５による空気抵抗を低減できる。このため、可撓膜５２が撓む開口部５４１の空気が連通路５４４を介して大気開放口ＨＡから出入りし易くなるから、開口部５４１に露出するコンプライアンス領域Ａの可撓膜５２が動き易くなるので、液体貯留室ＳＲの圧力変動の吸収効果を高めることができる。このように本実施形態によれば、液体貯留室ＳＲの圧力変動の吸収効果を高めつつ、液体貯留室ＳＲの周囲における流路部材３２と可撓膜５２とのシール性も向上できる。

本実施形態の支持部５４５を構成する２つの島部は、連通路５４４が大気開放口ＨＡに向けて延びる方向（Ｙ方向）に並べて配置される。このように構成することで、Ｙ方向から見て複数の島部が重なるので、連通路５４４が延びる方向、すなわち大気開放口ＨＡに向けて連通路５４４を空気が通り抜ける方向の抵抗を低減できる。

なお、図１３の支持部５４５を構成する各島部は、可撓膜５２と固定板５６の両方に接着剤で固定される場合を例示したが、これに限られず、各島部は、可撓膜５２と固定板５６のいずれか一方に接着剤などで固定され、他方に固定されないようにしてもよい。例えば図１６に示す第１変形例は、支持部５４５を構成する各島部を可撓膜５２に接着して固定した場合を例示する。図１６は、第１変形例に係るコンプライアンスプレート５０の断面図であり、図１４に対応する。図１６の構成によっても、可撓膜５２が連通路５４４内に撓むことを抑制できるから、液体貯留室ＳＲの周囲における流路部材３２と可撓膜５２とのシール性の低下を抑制できる。また、図１６の構成では、各島部の厚みｈは、支持板５４の厚みＨよりも薄く、固定板５６との間に隙間が形成される。このように図１６の構成では、各島部を可撓膜５２と固定板５６の両方に固定する場合よりも、各島部の厚みｈを薄くできるので、連通路５４４の断面Ｐのうち支持部５４５が占める部分の面積を小さくできる。したがって、支持部５４５による空気抵抗を低減できる。

また、図１３の支持部５４５を構成する各島部は、固定板５６とは別体である場合を例示したが、これに限られず、例えば図１７に示す第２変形例のように各島部を固定板５６と一体で構成してもよい。図１７は、第２変形例に係るコンプライアンスプレート５０の断面図であり、図１４に対応する。図１７の各島部は、固定板５６から流路部材３２に向けて突出して可撓膜５２を支持する。このように、各島部を固定板５６と一体で構成する場合は、各島部を可撓膜５２に接着してもよく、接着しなくてもよい。このような構成でも、可撓膜５２が連通路５４４内に撓むことを抑制できるから、液体貯留室ＳＲの周囲における流路部材３２と可撓膜５２とのシール性の低下を抑制できる。さらに、島部だけでなく支持板５４も固定板５６と一体で構成してもよい。このような構成でも、可撓膜５２が連通路５４４内に撓むことを抑制できる。

また、支持部５４５を構成する島部の数や配置や形状（長さ、幅、外形、厚み、大きさなど）は、本実施形態の例示に限られない。例えば図１８に示す第３変形例のように、各島部の数を増やして、径を小さくしてもよい。図１８は、第３変形例に係るコンプライアンスプレート５０の平面図であり、図１３に対応する。図１８では、連通路５４４内に５つの島部を配置し、各島部の径を図１３の島部よりも小さくした場合を例示する。島部の数を多くすることで、可撓膜５２が連通路５４４内に撓むことを抑制できる効果を高めることができる。また、島部の径を小さくすることで、支持部５４５による空気抵抗を低減できる。

また、連通路５４４の形状は、第１実施形態の例示に限られない。液体貯留室ＳＲの形状に合わせて連通路５４４の形状を変えるようにしてもよい。例えば図１９に示す第４変形例の液体貯留室ＳＲは、図６の液体貯留室ＳＲよりも端部（Ｙ方向の端部）の長さが長い。液体貯留室ＳＲの端部を長くすることで、端部に配置されるノズルＮの数を増やすことができる。図１９は、第４変形例に係るコンプライアンスプレート５０の平面図であり、図１３に対応する。

図１９の液体貯留室ＳＲの端部は、図６の液体貯留室ＳＲの端部よりも大気開放口ＨＡ側に張り出しているため、連通路５４４の幅Ｗも液体貯留室ＳＲの形状に合わせて部分的に異なっている。図１９の連通路５４４において、Ｘ方向に液体貯留室ＳＲと重なる部分のＹ方向の幅Ｗ１は、Ｘ方向に液体貯留室ＳＲと重ならない部分のＹ方向の幅Ｗ２よりも小さい。そこで、図１９の支持部５４５は、連通路５４４の幅Ｗ１の中央と幅Ｗ２の中央に１つずつ配置した島部で構成する。このような構成によれば、各幅Ｗ１、Ｗ２の部分で支持部５４５による空気抵抗を低減しながら、液体貯留室ＳＲの周囲における流路部材３２と可撓膜５２とのシール性の低下を抑制できる。ただし、図１９の構成においても、島部の数や配置や形状（長さ、幅、外形、厚み、大きさなど）は図示したものに限られない。

また、図１３では、支持部５４５を島部で構成する場合を例示したが、これに限られず、支持部５４５を桟部で構成してもよい。図２０および図２１は、第５変形例にかかるコンプライアンスプレート５０の構成を示す図であり、支持部５４５を桟部で構成した場合を例示する。図２０は、第５変形例にかかるコンプライアンスプレート５０の平面図であり、図２１は、図２０のＸＸＩ−ＸＸＩ断面図である。図２０および図２１に示すように、第５変形例の支持部５４５は、複数の片持ち梁状の桟部で構成される。

各桟部は、連通路５４４の互いに対向する２つの側面（Ｘ方向の負側の側面と正側の側面）のうちの片側から連通路５４４内に張り出している。各桟部は、連通路５４４の片側の側面に連設され、それに対向する側面とは離間している。各桟部の厚みｈ’は、支持板５４の厚みＨよりも薄く、固定板５６との間に隙間が形成される。したがって、連通路５４４の断面Ｐのうち支持部５４５が占める部分の面積を小さくできるから、支持部５４５による空気抵抗を低減できる。なお、第５変形例では、連通路５４４の互いに対向する２つの側面から、３つの桟部が１つずつ交互に突出する場合を例示したが、これに限られない。桟部が２つ以上ずつ交互に突出するようにしてもよく、また交互でなくてもよい。また、連通路５４４の互いに対向する２つの側面のうちの一方のみから突出するようにしてもよい。また、桟部の数や配置や形状（長さ、幅、外形、厚み、大きさなど）は、例示したものに限られない。

＜第２実施形態＞
本発明の第２実施形態について説明する。以下に例示する各形態において作用や機能が第１実施形態と同様である要素については、第１実施形態の説明で使用した符号を流用して各々の詳細な説明を適宜に省略する。第１実施形態では、１つの液体貯留室ＳＲがＹ方向に連続する場合を例示したが、第２実施形態では、複数の液体貯留室ＳＲをＹ方向に並べて配置する場合を例示する。

図２２は、第２実施形態に係るコンプライアンスプレート５０を示す平面図である。図２２では、３つの液体貯留室ＳＲがＹ方向に並べて配置される。図２２の支持板５４には、Ｚ方向からの平面視で各液体貯留室ＳＲに重なるコンプライアンス領域Ａに、可撓膜５２が露出する開口部５４１が形成される。また、Ｙ方向の最も正側の開口部５４１は、第１連通路５４４Ａを介して大気開放口ＨＡに連通する。また、支持板５４の各開口部５４１同士は、各開口部５４１の間の領域Ｂ（流路部材３２と可撓膜５２とをシールする各液体貯留室ＳＲの周囲の領域）に配置される第２連通路５４４Ｂを介して連通している。これにより、各開口部５４１は、第１連通路５４４Ａおよび第２連通路５４４Ｂを介して大気開放口ＨＡに連通するから、各液体貯留室ＳＲに対応するコンプライアンス領域Ａの可撓膜５２が動き易くなる。このように、第１連通路５４４Ａおよび第２連通路５４４Ｂは、開口部５４１を大気に連通する連通路として機能する。

図２２の構成では、第１連通路５４４Ａのみならず、第２連通路５４４Ｂについても、幅Ｗを大きくすることで、可撓膜５２が撓むときに開口部５４１の空気が各連通路５４４Ａ、５４４Ｂを介して大気開放口ＨＡから出入りし易くしている。具体的には、Ｚ方向からの平面視において、各連通路５４４Ａ、５４４Ｂの幅Ｗ（Ｘ方向の幅）は、大気開放口ＨＡの径Ｍよりも大きい。これにより、各連通路５４４Ａ、５４４Ｂの幅Ｗが大気開放口ＨＡの径Ｍよりも小さい場合に比較して、各連通路５４４Ａ、５４４Ｂ内の空気抵抗を低減できる。したがって、可撓膜５２が動き易くなり、液体貯留室ＳＲの圧力変動の吸収効果を高めることができる。なお、Ｚ方向からの平面視において、各連通路５４４Ａ、５４４Ｂの幅Ｗを、Ｙ方向に交差する各連通路５４４Ａ、５４４Ｂの断面における開口部５４１の最大幅Ｗｍａｘ（Ｚ方向からの平面視においてＸ方向の最大幅）の１／２以上にすることで、各連通路５４４Ａ、５４４Ｂ内の空気抵抗を大幅に低減できる。

また、図２２の構成では、第１連通路５４４Ａのみならず、第２連通路５４４Ｂについても、各連通路５４４Ａ、５４４Ｂに露出する可撓膜５２を支持部５４５で支持する。図２２の支持部５４５は、複数の島部で構成した場合を例示する。ただし、図２２の支持部５４５を、図２０に示すような桟部で構成してもよい。島部や桟部の数や配置や形状（長さ、幅、外形、厚み、大きさなど）は、例示したものに限られない。このように、各連通路５４４Ａ、５４４Ｂ内に支持部５４５を配置することで、各連通路５４４Ａ、５４４Ｂの幅Ｗを大きくしても、各連通路５４４Ａ、５４４Ｂ内に露出する可撓膜５２が撓むことを抑制できるので、各液体貯留室ＳＲの周囲における流路部材３２と可撓膜５２とのシール性の低下を抑制できる。

しかも、図２２の構成では、第１連通路５４４Ａのみならず、第２連通路５４４Ｂについても、各連通路５４４Ａ、５４４Ｂが延びるＹ方向に交差する各連通路５４４Ａ、５４４Ｂの断面のうち支持部５４５を含む断面において、支持部５４５が占める部分の面積がそれ以外の部分の面積（空気が通る部分の面積）よりも小さい。これにより、支持部５４５による空気抵抗を低減できるから、可撓膜５２が撓む各開口部５４１の空気が各連通路５４４Ａ、５４４Ｂを介して大気開放口ＨＡから出入りし易くなる。これにより、開口部５４１に露出するコンプライアンス領域Ａの可撓膜５２が動き易くなるので、液体貯留室ＳＲの圧力変動の吸収効果を高めることができる。このように第２実施形態によっても、第１実施形態と同様に、液体貯留室ＳＲの圧力変動の吸収効果を高めつつ、液体貯留室ＳＲの周囲における流路部材３２と可撓膜５２とのシール性の低下を抑制できる。

なお、図２２においては、連通路５４４Ａおよび５４４Ｂの双方が形成された構成を例示したが、連通路５４４Ｂのみを支持板５４に形成してもよい。すなわち、連通路５４４Ａを省略してもよい。

＜変形例＞
以上に例示した態様および実施形態は多様に変形され得る。具体的な変形の態様を以下に例示する。以下の例示や上述の態様から任意に選択された２以上の態様は、相互に矛盾しない範囲で適宜に併合され得る。

（１）上述した実施形態では、液体吐出ヘッド２０を搭載したキャリッジ１８をＸ方向に沿って反復的に往復させるシリアルヘッドを例示したが、液体吐出ヘッド２０を媒体１１の全幅にわたり配列したラインヘッドにも本発明を適用可能である。

（２）上述した実施形態では、圧力室に機械的な振動を付与する圧電素子を利用した圧電方式の液体吐出ヘッド２０を例示したが、加熱により圧力室の内部に気泡を発生させる発熱素子を利用した熱方式の液体吐出ヘッドを採用することも可能である。

（３）上述した実施形態で例示した液体吐出装置１０は、印刷に専用される機器のほか、ファクシミリ装置やコピー機等の各種の機器に採用され得る。もっとも、本発明の液体吐出装置１０の用途は印刷に限定されない。例えば、色材の溶液を吐出する液体吐出装置は、液晶表示装置のカラーフィルターや有機ＥＬ（Ｅｌｅｃｔｒｏ Ｌｕｍｉｎｅｓｃｅｎｃｅ）ディスプレイ、ＦＥＤ（面発光ディスプレイ）等を形成する製造装置として利用される。また、導電材料の溶液を吐出する液体吐出装置は、配線基板の配線や電極を形成する製造装置として利用される。また、液体の一種として生体有機物の溶液を吐出するチップ製造装置としても利用される。

１０…液体吐出装置、１１…媒体、１２…制御装置、１４…液体容器、１５…搬送機構、１８…キャリッジ、２０…液体吐出ヘッド、３０…ヘッド本体、３２…流路部材、３２６…ノズル側連通流路、３４…第２液体貯留室、３４２…流入口、３４４…供給側連通流路、３８…積層部、３８２…圧力室基板、３８３…開口部、３８４…振動板、３８５…圧電素子、３８６…保護板、３８７…凹部、４０…ケース部材、４２…第１液体貯留室、４３…導入口、５０…コンプライアンスプレート、５０’…コンプライアンスプレート、５０’’…コンプライアンスプレート、５２…可撓膜、５２２…開口部、５４…支持板、５４１…開口部、５４２…開口部、５４４…連通路、５４４’…連通路、５４４’’…連通路、５４４Ａ…第１連通路、５４４Ｂ…第２連通路、５４５…支持部、５６…固定板、５６２…開口部、６２…ノズル板、６２２…開口部、ｈ…厚み、ｈ’…厚み、Ａ…コンプライアンス領域、Ｂ…領域、Ｈ…厚み、ＨＡ…大気開放口、Ｌ１、Ｌ２…ノズル列、Ｍ…径、Ｎ…ノズル、Ｏ−Ｏ…仮想線、ＳＣ…圧力室、ＳＧ…コンプライアンス空間、ＳＲ…液体貯留室、Ｗ…幅、Ｗ’…幅、Ｗｍａｘ…最大幅、Ｗ１、Ｗ２…幅。

Claims (14)

1. 液体貯留室の壁面の一部を構成する流路部材と、
   前記流路部材に積層されて前記液体貯留室の壁面の一部を構成する可撓膜と、
   前記可撓膜を挟んで前記流路部材とは反対側に積層され、前記可撓膜が露出する空間を形成する封止体と、
   前記流路部材と前記可撓膜とが積層される方向から前記封止体を平面視した場合に、前記封止体のうち、前記液体貯留室の周囲の領域に形成され、前記空間を大気に連通するための連通路と、
   前記連通路において前記可撓膜を支持する支持部と、を備える
   流路構造体。
2. 前記連通路が延びる方向に交差する前記連通路の断面のうち前記支持部を含む断面において、前記支持部が占める部分の面積がそれ以外の部分の面積よりも小さい
   請求項１に記載の流路構造体。
3. 前記連通路は、前記液体貯留室から離間した大気開放口を介して大気に連通し、
   前記連通路が延びる方向に交差する前記連通路の断面における前記連通路の幅は、前記大気開放口の径よりも大きい
   請求項１または請求項２に記載の流路構造体。
4. 前記大気開放口は、前記可撓膜に形成された貫通孔である
   請求項３の流路構造体。
5. 前記大気開放口は、前記流路部材に形成される
   請求項４に記載の流路構造体。
6. 前記支持部は、前記連通路内に配置される島部である
   請求項１から請求項５の何れかに記載の流路構造体。
7. 前記連通路が延びる方向に前記島部が複数並べて配置される
   請求項６に記載の流路構造体。
8. 前記支持部は、前記連通路の互いに対向する側面のうちの片側または両側から前記連通路内に張り出す桟部である
   請求項１から請求項７の何れかに記載の流路構造体。
9. 前記連通路の幅は、前記連通路が延びる方向に交差する前記連通路の断面のうち前記空間の断面の最大幅の１／２以上である
   請求項１から請求項８の何れかに記載の流路構造体。
10. 前記封止体は、前記可撓膜に積層される支持板と、前記可撓膜とは反対側で前記支持板に積層される固定板とで構成され、
    前記支持部は、前記固定板から前記可撓膜に向けて突出して前記可撓膜を支持する
    請求項１から請求項９の何れかに記載の流路構造体。
11. 前記連通路は、前記封止体の平面視において当該封止体のうち前記液体貯留室の一端に対応する領域に形成される
    請求項１から請求項１０の何れかに記載の流路構造体。
12. 前記流路部材には、前記液体貯留室が複数形成され、
    前記封止体には、前記複数の液体貯留室にそれぞれ対応する複数の空間が形成され、
    前記連通路は、前記各空間を連通する
    請求項１から請求項１１の何れかに記載の流路構造体。
13. 請求項１から請求項１２の何れかに記載の流路構造体と、
    前記液体貯留室から供給された液体を吐出するためのノズルと、を備える
    液体吐出ヘッド。
14. 請求項１３に記載の液体吐出ヘッドと、
    前記液体吐出ヘッドから液体を吐出させる制御装置と
    を具備する液体吐出装置。

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