JP7230980B2 - 液体吐出ヘッドおよび液体吐出装置 - Google Patents

Description

本発明は、インク等の液体を吐出する技術に関する。

液体貯留室（リザーバー）から複数の圧力室に供給されるインク等の液体を、各圧力室にて圧力を発生させることによってノズルから吐出する液体吐出ヘッドが従来から提案されている。例えば特許文献１には、液体貯留室の導入口と同じ側に開口部を形成し、その開口部を可撓性のコンプライアンス基板で封止する技術が開示されている。このような構成によれば、液体貯留室の導入口から導入される液体による液体貯留室の圧力変動をコンプライアンス基板で吸収させることで、圧力変動の影響が各圧力室に及ばないようにすることができる。

特開２０１６－１８２８１１号公報

特許文献１のように、液体貯留室の圧力変動をコンプライアンス基板で吸収させる場合には、コンプライアンス基板のうち変形する部分である能動部の面積が大きい方が、液体貯留室の圧力変動を吸収する効果が高くなる。ところが、特許文献１では、液体貯留室の導入口と同じ側にコンプライアンス基板を設けるので、導入口が形成される金属部分が変形しないように、導入口を避けてコンプライアンス基板の能動部を配置しなければならない。したがって、コンプライアンス基板の能動部の面積や形は、導入口の位置や大きさによって制限されてしまう。以上の事情を考慮して、本発明は、導入口の配置に関わらず、液体による圧力変動の吸収効果を向上させることを目的とする。

以上の課題を解決するために、本発明の液体吐出ヘッドは、圧力室の圧力を変動させてノズルから液体を吐出させる駆動素子と、圧力室に連通する個別流路と、導入口から導入された液体を、個別流路を介して圧力室に供給する液体貯留室と、を備え、液体貯留室は、導入口側に配置される第１貯留室と、個別流路側に配置される第２貯留室と、第１貯留室と第２貯留室とを連通する中間貯留室と、を有し、第１貯留室の少なくとも一部は、第２貯留室に平面視で重なり、第１貯留室のうち導入口とは反対側の第２貯留室側に第１コンプライアンス基板が設けられ、第２貯留室のうち第１貯留室とは反対側に第２コンプライアンス基板が設けられる。以上の態様によれば、第１貯留室のうち導入口とは反対側の第２貯留室側に第１コンプライアンス基板が設けられるから、導入口と同じ側にコンプライアンス基板が設けられる場合に比較して、導入口の配置や大きさに関わらず、第１コンプライアンス基板の能動部の面積を大きくすることができる。このように、本態様によれば、導入口の配置に関わらず、液体による圧力変動の吸収効果を向上できる。また、第１貯留室のうち導入口とは反対側に第１コンプライアンス基板が設けられるから、導入口から導入される液体が第１コンプライアンス基板に押し当たるように配置できるので、導入口と同じ側に第１コンプライアンス基板が設けられる場合よりも、液体の圧力が第１コンプライアンス基板に伝わり易い。したがって、導入口から導入された液体による圧力変動が第１コンプライアンス基板で吸収され易くなる。また、個別流路側に配置される第２貯留室において、第１貯留室とは反対側に第２コンプライアンス基板が設けられるので、第２コンプライアンス基板は、第１コンプライアンス基板よりも圧力室に近い位置に配置される。したがって、個別流路を介して第２貯留室に伝わる圧力室の圧力変動を、第２コンプライアンス基板で効果的に吸収できる。したがって、本態様によれば、液体による圧力変動を効果的に吸収できるので、ノズルからの液体の吐出の安定性を高めることができる。なお、第１貯留室の少なくとも一部は、第２貯留室に平面視で重なるから、液体吐出ヘッドを小型化も可能である。

本発明の好適な態様において、第１コンプライアンス基板の少なくとも一部は、第２コンプライアンス基板に平面視で重なる。以上の態様によれば、第１コンプライアンス基板の少なくとも一部は、第２コンプライアンス基板に平面視で重なるから、重ならない場合と比較して、液体吐出ヘッドを小型化できる。

本発明の好適な態様において、第２コンプライアンス基板のヤング率は、第１コンプライアンス基板のヤング率以下である。以上の態様によれば、圧力室の圧力変動を吸収し易い第２コンプライアンス基板の方のヤング率を、導入口からの液体の導入による圧力変動を吸収し易い第１コンプライアンス基板のヤング率以下とすることで、第２コンプライアンス基板の方が、第１コンプライアンス基板よりも柔らかくすることができる。これにより、導入口からの液体の導入による圧力変動よりも微小な圧力室の圧力変動を、第２コンプライアンス基板で吸収し易くすることができる。

本発明の好適な態様において、第２コンプライアンス基板の厚みは、第１コンプライアンス基板の厚み以下である。以上の態様によれば、第２コンプライアンス基板の方の厚みを、第１コンプライアンス基板の厚み以下とすることで、第２コンプライアンス基板の方が、第１コンプライアンス基板よりも柔らかくすることができる。これにより、導入口からの液体の導入による圧力変動よりも微小な圧力室の圧力変動を、第２コンプライアンス基板で吸収し易くすることができる。

本発明の好適な態様において、圧力室は、第１貯留室と第１コンプライアンス基板との双方に平面視で重なる。以上の態様によれば、圧力室が、第１貯留室と第１コンプライアンス基板との双方に平面視で重ならない場合に比較して、液体吐出ヘッドを小型化できる。

本発明の好適な態様において、駆動素子を駆動する駆動ＩＣを備え、駆動ＩＣは、圧力室と第１コンプライアンス基板との双方に平面視で重なる。以上の態様によれば、駆動ＩＣが、圧力室と第１コンプライアンス基板との双方に平面視で重ならない場合に比較して、液体吐出ヘッドを小型化できる。

本発明の好適な態様において、液体貯留室が形成されるケース部材を備え、ケース部材は、第１貯留室が形成される第１ケース部材と、中間貯留室が形成される第２ケース部材と、を有し、第１ケース部材と第２ケース部材とは、第１貯留室の少なくとも一部が第２貯留室に平面視で重なるように積層され、第１ケース部材と第２ケース部材の間に、第１コンプライアンス基板が設けられる。以上の態様によれば、第１ケース部材と第２ケース部材の間に、第１コンプライアンス基板が設けられるから、第１コンプライアンス基板の能動部が第１ケース部材と第２ケース部材の外側に露出しない。したがって、第１コンプライアンス基板が第１ケース部材と第２ケース部材の外側に露出する場合に比較して、水分の蒸発を抑えることができ、水分の蒸発を抑える対策を取り易い。また、本態様では、ケース部材を、第１ケース部材と第２ケース部材とに分けて、第１ケース部材の方に第１貯留室を形成するので、第１ケース部材を第２ケース部材よりも加工し易い材質にすることで、第１貯留室の天井の形状を変え易くすることができる。例えば第１貯留室の天井の角部の形状を、インクの流れに沿った曲面形状などにすることで、上方に移動し易い気泡の排出性を高めることができる。気泡の排出性を高めることで、気泡の排出に必要なインクの流速を低下させることができるので、インクの無駄を省くことができる。また、第１ケース部材と第２ケース部材とを分けるため、第１ケース部材の方を交換するだけで、例えば異なる形状の第１貯留室ＲＢや異なる機能を備える第１貯留室に、容易に変えることができる。

本発明の好適な態様において、第２ケース部材には、第１コンプライアンス基板を挟んで、第１貯留室とは反対側にダンパー室が設けられる。以上の態様によれば、第２ケース部材には、第１コンプライアンス基板を挟んで、第１貯留室とは反対側にダンパー室が設けられるから、導入口から液体が第１貯留室に流入する方向の圧力によって、ダンパー室側に第１コンプライアンス基板を撓ませることができる。これにより、導入口から第１貯留室に流入する液体の圧力変動を効果的に抑制できる。

本発明の好適な態様において、第１コンプライアンス基板のうち変形する能動部の長さは、導入口の開口幅よりも長い。以上の態様によれば、第１コンプライアンス基板の能動部の長さは、導入口の開口幅よりも長いから、能動部の面積が導入口の開口幅よりも大きくなるので、変形も大きくすることができる。これにより、第１コンプライアンス基板によって、インクの圧力変動を吸収し易くなる。

本発明の好適な態様において、第１コンプライアンス基板は、導入口に平面視で重なる。以上の態様によれば、第１コンプライアンス基板は、導入口に平面視で重なるから、導入口から導入されたインクは、第１コンプライアンス基板に押し当たり易くなる。このため、液体の圧力が第１コンプライアンス基板に伝わり易くなり、導入口から導入された液体による圧力変動が第１コンプライアンス基板で吸収され易くなる。

本発明の好適な態様において、第１コンプライアンス基板は、可撓性膜と金属部材との複合部材である。以上の態様によれば、第１コンプライアンス基板は、可撓性膜と金属部材との複合部材であるから、第１コンプライアンス基板自体に剛性を持たせることができる。

本発明の好適な態様において、第１コンプライアンス基板は、金属部材を含まない単体の部材である。以上の態様によれば、第１コンプライアンス基板は、金属部材を含まない単体の部材とすることで、第１コンプライアンス基板自体が剛性を持たないようにすることができる。本態様では、第１貯留室の導入口とは反対側に第１コンプライアンス基板が配置されるので、第１コンプライアンス基板を導入口とは別に構成することができる。このため、導入口を形成する金属部材と第１コンプライアンス基板とを複合部品として第１コンプライアンス基板自体に剛性を持たせる必要もない。したがって、第１コンプライアンス基板を単体の部材にすることで、部品点数を減少させることができる。

本発明の好適な態様において、第１コンプライアンス基板は、互いに対向する第２貯留室の開口部とダンパー室の開口部との間に配置され、第２ケース部材に固定され、第１ケース部材には固定されない。以上の態様によれば、第１コンプライアンス基板は、互いに対向する第２貯留室の開口部とダンパー室の開口部との間に配置され、第２ケース部材に固定され、第１ケース部材には固定されないから、第１ケース部材と第２ケース部材との両方に固定される場合に比較して、例えば部材間に生じる熱応力などによる応力集中を緩和できる。

本発明の好適な態様において、液体貯留室が形成されるケース部材を備え、ケース部材は、第１貯留室が形成される第１ケース部材と、中間貯留室が形成される第２ケース部材と、を有し、第１ケース部材と第２ケース部材とは、第１貯留室の少なくとも一部が第２貯留室に平面視で重なるように積層され、第２ケース部材は、第１貯留室側に、第１貯留室に連通する拡張空間を備えると共に、第１貯留室とは反対側に、駆動素子を駆動する駆動ＩＣを収容する収容空間を備え、拡張空間は、収容空間側に開口するように貫通し、第１コンプライアンス基板は、拡張空間の収容空間側に開口する開口部を封止するように、第２ケース部材に固定される。以上の構成によれば、第１コンプライアンス基板は、拡張空間の収容空間側の開口部を封止するように、第２ケース部材に固定されるので、第１貯留室の容量を拡張空間の分だけ増やすことができる。また、第１コンプライアンス基板が駆動ＩＣを収容する収容空間側に配置されるので、例えば第１コンプライアンス基板を可撓性膜と金属部材との複合材料で構成した場合に、その金属部分を駆動ＩＣに接触させることができる。第１コンプライアンス基板の金属部分を駆動ＩＣに接触させることで、第１コンプライアンス基板の金属部分を介して駆動ＩＣの熱を液体に伝えることができるので、駆動ＩＣを放熱できる。

本発明の好適な態様において、第１ケース部材において第１貯留室側に開口する開口部を封止する第３コンプライアンス基板を備える。以上の構成によれば、第１貯留室のコンプライアンス基板として、第２ケース部材の第１コンプライアンス基板だけでなく、第１ケース部材にも第３コンプライアンス基板が配置される。第１貯留室では、導入口からのインクの突入による急激な圧力変動が起こり易いので、本態様のように第１貯留室のコンプライアンス基板の数が増えることによって、第１貯留室内の急激な圧力変動を効果的に吸収することができる。

以上の課題を解決するために、本発明の液体吐出装置は、媒体を搬送する搬送機構と、前記媒体に液体を吐出する、請求項１から請求項１５のいずれかの液体吐出ヘッドと、を具備する。以上の態様によれば、第１貯留室のうち導入口とは反対側の第２貯留室側に第１コンプライアンス基板が設けられるから、導入口と同じ側にコンプライアンス基板が設けられる場合に比較して、導入口の配置や大きさに関わらず、第１コンプライアンス基板の能動部の面積を大きくすることができる。このように、本態様によれば、導入口の配置に関わらず、液体による圧力変動の吸収効果を向上できる。また、第１貯留室のうち導入口とは反対側に第１コンプライアンス基板が設けられるから、導入口から導入される液体が第１コンプライアンス基板に押し当たるように配置できるので、導入口と同じ側に第１コンプライアンス基板が設けられる場合よりも、液体の圧力が第１コンプライアンス基板に伝わり易い。したがって、導入口から導入された液体による圧力変動が第１コンプライアンス基板で吸収され易くなる。また、個別流路側に配置される第２貯留室において、第１貯留室とは反対側に第２コンプライアンス基板が設けられるので、第２コンプライアンス基板は、第１コンプライアンス基板よりも圧力室に近い位置に配置される。したがって、個別流路を介して第２貯留室に伝わる圧力室の圧力変動を、第２コンプライアンス基板で効果的に吸収できる。したがって、本態様によれば、液体による圧力変動を効果的に吸収できるので、ノズルからの液体の吐出の安定性を高めることができる。

本発明の第１実施形態に係る液体吐出装置の構成図である。 液体吐出ヘッドの分解斜視図である。 図２に示す液体吐出ヘッドのＩＩＩ－ＩＩＩ断面図である。 図２に示すケース部材をＺ方向から見た平面図である。 比較例に係る液体吐出ヘッドの断面図である。 比較例に係るケース部材をＺ方向から見た平面図である。 第２実施形態に係る液体吐出ヘッドの断面図である。 第３実施形態に係る液体吐出ヘッドの断面図である。

＜第１実施形態＞
図１は、本発明の第１実施形態に係る液体吐出装置１０を例示する構成図である。第１実施形態の液体吐出装置１０は、液体の例示であるインクを媒体１２に吐出するインクジェット方式の印刷装置である。媒体１２は、典型的には印刷用紙であるが、樹脂フィルムまたは布帛等の任意の印刷対象が媒体１２として利用され得る。図１に示すように、液体吐出装置１０には、インクを貯留する液体容器１４が固定される。例えば液体吐出装置１０に着脱可能なカートリッジ、可撓性のフィルムで形成された袋状のインクパック、またはインクを補充可能なインクタンクが液体容器１４として利用される。色彩が相違する複数種のインクが液体容器１４には貯留される。

図１に示すように、液体吐出装置１０は、制御装置２０と搬送機構２２と移動機構２４と複数の液体吐出ヘッド２６とを具備する。制御装置２０は、例えばＣＰＵ（Ｃｅｎｔｒａｌ Ｐｒｏｃｅｓｓｉｎｇ Ｕｎｉｔ）またはＦＰＧＡ（Ｆｉｅｌｄ Ｐｒｏｇｒａｍｍａｂｌｅ Ｇａｔｅ Ａｒｒａｙ）等の処理回路と半導体メモリ等の記憶回路とを包含し、液体吐出装置１０の各要素を統括的に制御する。搬送機構２２は、制御装置２０による制御のもとで媒体１２をＹ方向に搬送する。

移動機構２４は、制御装置２０による制御のもとで複数の液体吐出ヘッド２６をＸ方向に往復させる。Ｘ方向は、媒体１２が搬送されるＹ方向に交差（典型的には直交）する方向である。第１実施形態の移動機構２４は、複数の液体吐出ヘッド２６を搭載するキャリッジ２４２と、キャリッジ２４２が固定された無端ベルト２４４とを具備する。なお、液体容器１４を液体吐出ヘッド２６とともにキャリッジ２４２に搭載することも可能である。

複数の液体吐出ヘッド２６の各々は、液体容器１４から供給されるインクを制御装置２０による制御のもとで複数のノズル（吐出孔）から媒体１２に吐出する。搬送機構２２による媒体１２の搬送とキャリッジ２４２の反復的な往復とに並行して各液体吐出ヘッド２６が媒体１２にインクを吐出することで媒体１２の表面に所望の画像が形成される。なお、Ｘ－Ｙ平面（例えば媒体１２の表面に平行な平面）に垂直な方向を以下ではＺ方向と表記する。各液体吐出ヘッド２６によるインクの吐出方向（典型的には鉛直方向）がＺ方向に相当する。

図２は、任意の１個の液体吐出ヘッド２６の分解斜視図であり、図３は、図２におけるＩＩＩ－ＩＩＩ断面図である。図４は、図２に示すケース部材４０をＺ方向から見た平面図である。図２に示すように、液体吐出ヘッド２６は、Ｙ方向に配列された複数のノズルＮを具備する。第１実施形態の複数のノズルＮは、第１列Ｌ１と第２列Ｌ２とに区分される。第１列Ｌ１と第２列Ｌ２との間でノズルＮのＹ方向の位置を変えること（すなわち千鳥配置またはスタガ配置）も可能であるが、第１列Ｌ１と第２列Ｌ２とでノズルＮのＹ方向の位置を一致させた構成が図３では便宜的に例示されている。図２に示す液体吐出ヘッド２６は、第１列Ｌ１の複数のノズルＮに関連する要素と第２列Ｌ２の複数のノズルＮに関連する要素とが略線対称に配置された構造である。

図２および図３に示すように、第１実施形態の液体吐出ヘッド２６は流路基板３２を具備する。流路基板３２は、第１面Ｆ１と接合面ＦＡとを含む板状部材である。第１面Ｆ１はＺ方向の正側の表面（媒体１２側の表面）であり、接合面ＦＡは第１面Ｆ１とは反対側（Ｚ方向の負側）の表面である。流路基板３２の接合面ＦＡの面上には、圧力室基板３４と振動部３６と複数の圧電素子３７と保護部材３８とケース部材４０とが設置され、第１面Ｆ１の面上にはノズル板５２と第２コンプライアンス基板５４とが設置される。液体吐出ヘッド２６の各要素は、概略的には流路基板３２と同様にＹ方向に長尺な板状部材であり、例えば接着剤を利用して相互に接合される。流路基板３２と圧力室基板３４と保護部材３８とノズル板５２とが積層される方向をＺ方向として把握することも可能である。

ノズル板５２は、複数のノズルＮが形成された板状部材であり、例えば接着剤を利用して流路基板３２の第１面Ｆ１に設置される。各ノズルＮはインクが通過する貫通孔である。第１実施形態のノズル板５２は、半導体製造技術（例えばエッチング）を利用してシリコン（Ｓｉ）の単結晶基板を加工することで製造される。ただし、ノズル板５２の製造には公知の材料や製法が任意に採用され得る。

流路基板３２は、インクの流路を形成するための板状部材である。図２および図３に示すように、第１実施形態の流路基板３２には、第１列Ｌ１および第２列Ｌ２の各々について、後述する液体貯留室Ｒの一部である第２貯留室ＲＡを構成する空間と複数の供給流路（個別流路の例示）３２２と複数の連通流路３２４とが形成される。第２貯留室ＲＡは、液体貯留室Ｒのうち、供給流路３２２側に配置される貯留室であり、平面視で（すなわちＺ方向からみて）Ｙ方向に沿う長尺状に形成された開口である。供給流路３２２および連通流路３２４は、ノズルＮ毎に形成された貫通孔である。複数の供給流路３２２はＹ方向に配列され、複数の連通流路３２４も同様にＹ方向に配列される。また、図３に示すように、流路基板３２の第１面Ｆ１には、複数の供給流路３２２にわたる中間流路３２６が形成される。中間流路３２６は、第２貯留室ＲＡと複数の供給流路３２２とを連結する流路である。他方、連通流路３２４はノズルＮに連通する。

図２および図３に示すように、圧力室基板３４は、Ｙ方向に配列された複数の開口３４２が第１列Ｌ１および第２列Ｌ２の各々について形成された板状部材であり、例えば接着剤を利用して流路基板３２の接合面ＦＡに設置される。開口３４２は、ノズルＮ毎に形成されて平面視でＸ方向に沿う長尺状の貫通孔である。流路基板３２および圧力室基板３４は、前述のノズル板５２と同様に、例えば半導体製造技術を利用してシリコン（Ｓｉ）の単結晶基板を加工することで製造される。ただし、流路基板３２および圧力室基板３４の製造には公知の材料や製法が任意に採用され得る。

図２および図３に示すように、圧力室基板３４のうち流路基板３２とは反対側の表面には振動部３６が設置される。第１実施形態の振動部３６は、弾性的に振動可能な板状部材（振動板）である。なお、所定の板厚の板状部材のうち開口３４２に対応する領域について板厚方向の一部を選択的に除去することで、圧力室基板３４と振動部３６とを一体に形成することも可能である。

図３から理解される通り、流路基板３２の接合面ＦＡと振動部３６とは、各開口３４２の内側で相互に間隔をあけて対向する。開口３４２の内側で流路基板３２の接合面ＦＡと振動部３６との間に位置する空間は、当該空間に充填されたインクに圧力を付与するための圧力室Ｃとして機能する。圧力室Ｃは、例えばＸ方向を長手方向としてＹ方向を短手方向とする空間である。圧力室ＣはノズルＮ毎に個別に形成される。第１列Ｌ１および第２列Ｌ２の各々について複数の圧力室ＣがＹ方向に配列される。図３から理解される通り、任意の１個の圧力室Ｃは、供給流路３２２と中間流路３２６とを介して第２貯留室ＲＡに連通するとともに、連通流路３２４を介してノズルＮに連通する。なお、流路幅が狭窄された絞り流路を開口３４２に形成することで所定の流路抵抗を付加することも可能である。

図２および図３に示すように、振動部３６のうち圧力室Ｃとは反対側の面上には、相異なるノズルＮに対応する複数の圧電素子３７が第１列Ｌ１および第２列Ｌ２の各々について設置される。圧電素子３７は、駆動信号の供給により変形する駆動素子である。複数の圧電素子３７は、各圧力室Ｃに対応するようにＹ方向に配列する。各圧電素子３７は、相互に対向する電極間に圧電体を介在させた積層体である。圧電素子３７の変形に連動して振動部３６が振動すると、圧力室Ｃ内の圧力が変動することで、圧力室Ｃに充填されたインクが連通流路３２４とノズルＮとを通過して吐出される。

図２および図３の保護部材３８は、複数の圧電素子３７を保護するための板状部材であり、振動部３６の表面（または圧力室基板３４の表面）に設置される。保護部材３８の材料や製法は任意であるが、流路基板３２や圧力室基板３４と同様に、例えばシリコン（Ｓｉ）の単結晶基板を半導体製造技術により加工することで保護部材３８は形成され得る。

保護部材３８のうち振動部３６側の表面（以下「接合面」という）には、複数の圧電素子３７を収容する収容空間３８２が第１列Ｌ１および第２列Ｌ２の各々について形成される。収容空間３８２は、接合面に対して窪んだ空間であり、複数の圧電素子３７の配列に沿うＹ方向に長尺な形状に形成される。保護部材３８のうち収容空間３８２とは反対側の表面（以下「実装面」という）には駆動ＩＣ６２が設置される。駆動ＩＣ６２は、制御装置２０による制御のもとで駆動信号を生成および供給することで各圧電素子３７を駆動する駆動回路が搭載された略矩形状のＩＣチップである。図３に示すように、液体吐出ヘッド２６の少なくとも一部の圧電素子３７は駆動ＩＣ６２に平面視で重なる。また、図３に示すように、第１列Ｌ１のノズルＮに対応する圧電素子３７と第２列Ｌ２のノズルＮに対応する圧電素子３７との双方に駆動ＩＣ６２が平面視で重なる。すなわち、駆動ＩＣ６２は、Ｘ方向において、第１列Ｌ１のノズルＮと第２列Ｌ２のノズルＮとの双方にわたるように設置される。

また、図２に示すように、保護部材３８の実装面には、駆動ＩＣ６２の入力端子に接続された複数の配線３８８が形成される。複数の配線３８８は、保護部材３８の実装面のうちＹ方向（すなわち複数の圧電素子３７が配列する方向）の端部に位置する領域Ｅまで延在する。実装面の領域Ｅには配線部材６４が接合される。配線部材６４は、制御装置２０と駆動ＩＣ６２とを電気的に接続する複数の配線（図示略）が形成された実装部品である。例えばＦＰＣ（Ｆｌｅｘｉｂｌｅ Ｐｒｉｎｔｅｄ Ｃｉｒｃｕｉｔ）やＦＦＣ（Ｆｌｅｘｉｂｌｅ Ｆｌａｔ Ｃａｂｌｅ）等の可撓性の配線基板が配線部材６４として好適に採用される。以上の通り、第１実施形態の保護部材３８は、駆動信号を伝送する配線（３８４，３８８）が形成された配線基板としても機能する。ただし、駆動ＩＣ６２の実装や配線の形成に使用される配線基板を保護部材３８とは別個に設置することも可能である。

図２および図３のケース部材（筐体部）４０は、第１ケース部材（上側ケース部材）４０２と第２ケース部材（下側ケース部材）４０４を積層して構成される。第１ケース部材４０２は、Ｚ方向の負側（上側）に配置され、第２ケース部材４０４は、Ｚ方向の正側（下側）に配置される。第１ケース部材４０２と第２ケース部材４０４は、接着剤を利用して相互に接合される。ケース部材４０は、複数の圧力室Ｃ（さらには複数のノズルＮ）に供給されるインクを貯留するための筐体である。第２ケース部材４０４のうちＺ方向の正側の表面（以下「接合面」という）ＦＢが例えば接着剤で流路基板３２の接合面ＦＡに固定される。図２および図３に示すように、第２ケース部材４０４の接合面ＦＢにはＹ方向に延在する溝状の凹部４２が形成される。保護部材３８および駆動ＩＣ６２は凹部４２の内側の収容空間に収容される。保護部材３８の領域Ｅに接合された配線部材６４は、凹部４２の内側を通過するようにＹ方向に延在する。

第１実施形態のケース部材４０は、流路基板３２や圧力室基板３４とは別個の材料で形成される。例えば樹脂材料の射出成形でケース部材４０を製造することが可能である。ただし、ケース部材４０の製造には公知の材料や製法が任意に採用され得る。ケース部材４０の材料としては、例えば合成繊維や樹脂材料が好適である。

図３および図４に示すように、第１実施形態では第１列Ｌ１および第２列Ｌ２の各々について、第１ケース部材４０２には、第１貯留室ＲＢを構成する空間が形成され、第２ケース部材４０４には中間貯留室ＲＣを構成する空間が形成される。第１ケース部材４０２の第１貯留室ＲＢと流路基板３２の第２貯留室ＲＡとは、第２ケース部材４０４の中間貯留室ＲＣによって相互に連通される。第２貯留室ＲＡと第１貯留室ＲＢと中間貯留室ＲＣとで構成される空間は、複数の圧力室Ｃに供給されるインクを貯留する液体貯留室（リザーバー）Ｒとして機能する。液体貯留室Ｒは、複数のノズルＮにわたる共通液室である。第１ケース部材４０２のうち流路基板３２とは反対側の表面ＦＣには、液体容器１４から供給されるインクを液体貯留室Ｒに導入するための導入口４３が第１列Ｌ１および第２列Ｌ２の各々について形成される。なお、第２ケース部材４０４のうち流路基板３２とは反対側の表面を第２面Ｆ２とする。

図３に示すように、第１ケース部材４０２の第１貯留室ＲＢは、Ｙ方向に長尺な空間である。第１貯留室ＲＢは、導入口４３に連通する。第２ケース部材４０４の中間貯留室ＲＣは、Ｚ方向に長尺な空間である。中間貯留室ＲＣは、第１貯留室ＲＢの下流側に位置し、流路基板３２の第２貯留室ＲＡに連通する。Ｚ方向の正側からみると、第１列Ｌ１に対応する中間貯留室ＲＣと第２列Ｌ２に対応する中間貯留室ＲＣとの間に、保護部材３８および駆動ＩＣ６２を収容する凹部４２が位置する。したがって、中間貯留室ＲＣは、圧電素子３７と保護部材３８と駆動ＩＣ６２との側方（Ｘ方向の正側または負側）に位置する。以上の通り、第１実施形態では、液体貯留室Ｒが第１貯留室ＲＢと中間貯留室ＲＣとを包含する。したがって、第１貯留室ＲＢおよび中間貯留室ＲＣの一方がない構成と比較して、液体貯留室Ｒを大容量化することが可能である。

液体容器１４からＺ方向の正側に沿って導入口４３に供給されたインクは、図３に破線の矢印で示すように、液体貯留室Ｒの第１貯留室ＲＢ内でＸ－Ｙ平面に略平行な方向（例えば水平方向，Ｘ方向）に流動して中間貯留室ＲＣに流入し、中間貯留室ＲＣ内ではＺ方向の正側（例えば鉛直方向の下方）に流動して流路基板３２の第２貯留室ＲＡに到達する。液体貯留室Ｒに貯留されたインクは、中間流路３２６内においてＸ方向に流動し、中間流路３２６から複数の供給流路３２２に分岐してＺ方向の負側に流動して、各圧力室Ｃに並列に供給および充填される。圧力室Ｃに充填されたインクは、連通流路３２４内においてＺ方向に流動し、ノズルＮを通過して吐出される。

以上に例示した通り、第１実施形態の液体吐出ヘッド２６は第１面Ｆ１と第２面Ｆ２とを包含する。各圧電素子３７と保護部材３８と駆動ＩＣ６２とは、第１面Ｆ１と第２面Ｆ２との間に配置される。第１面Ｆ１は、駆動ＩＣ６２からみて圧電素子３７側に位置し、第２面Ｆ２は、駆動ＩＣ６２からみて圧電素子３７とは反対側に位置する。第２面Ｆ２には、前述の導入口４３が形成される。

図２に示すように、流路基板３２の第１面Ｆ１には第２コンプライアンス基板５４が設置される。第２コンプライアンス基板５４は、液体貯留室Ｒ内のインクの圧力変動を吸収する可撓性のフィルムである。図３に示すように、第２コンプライアンス基板５４は、流路基板３２の第２貯留室ＲＡと中間流路３２６と複数の供給流路３２２とによって流路基板３２の第１面Ｆ１側に開口する開口部を閉塞するように、流路基板３２の第１面Ｆ１に設置されて液体貯留室Ｒの壁面（具体的には第２貯留室ＲＡの底面）を構成する。このような構成の第２コンプライアンス基板５４によれば、圧力室Ｃに近い位置に配置されるから、個別流路である複数の供給流路３２２を介して第２貯留室ＲＡに伝わる圧力室Ｃの圧力変動を、第２コンプライアンス基板５４によって効果的に吸収できる。

第２ケース部材４０４の第２面Ｆ２には第１コンプライアンス基板４６が設置される。第１コンプライアンス基板４６は、第２コンプライアンス基板５４と同様に、液体貯留室Ｒ内のインクの圧力変動を吸収する可撓性のフィルムである。図３に示すように、第２ケース部材４０４には、第１コンプライアンス基板４６を挟んで、第１貯留室ＲＢとは反対側にダンパー室４４を構成する開口部が設けられる。第１コンプライアンス基板４６は、ダンパー室４４の開口部を閉塞するように、第２面Ｆ２に設置されて液体貯留室Ｒの壁面（具体的には第１貯留室ＲＢの底面）を構成する。このような構成によれば、導入口４３からインクが第１貯留室ＲＢに流入する方向の圧力によって、ダンパー室４４側に第１コンプライアンス基板４６を撓ませることができる。これにより、導入口４３から第１貯留室ＲＢに流入するインクの圧力変動を効果的に抑制できる。また、第２面Ｆ２には充分な面積を確保し易いから、流路基板３２の第２面Ｆ２に第１コンプライアンス基板４６を設置した第１実施形態によれば、第２コンプライアンス基板５４のみを設置した構成と比較して、液体貯留室Ｒ内の圧力変動を効果的に吸収できる。

図３に示すように、第１貯留室ＲＢの少なくとも一部は、第２貯留室ＲＡに平面視で（すなわちＺ方向からみて）重なる。また、第１コンプライアンス基板４６の少なくとも一部は、第２コンプライアンス基板５４に平面視で重なる。さらに、圧力室Ｃは、第１貯留室ＲＢと第１コンプライアンス基板４６との双方に平面視で重なる。第１貯留室ＲＢが、圧電素子３７と駆動ＩＣ６２とに重なるように中間貯留室ＲＣからＸ方向に張り出し、その張り出した部分に第１コンプライアンス基板４６が設けられている構成とも言える。このように、液体吐出ヘッド２６の各構成要素ができるだけ平面視で重なるようにすることで、液体吐出ヘッド２６を小型化できる。

本実施形態の第１コンプライアンス基板４６は、第１貯留室ＲＢのうち導入口４３とは反対側の第２貯留室ＲＡ側に設けられるから、導入口４３と同じ側にコンプライアンス基板４６が設けられる場合に比較して、導入口４３の配置や大きさに関わらず、第１コンプライアンス基板４６が変形する部分である能動部の面積を大きくできる。

ここで、このような本実施形態の作用効果について、比較例と比較しながら説明する。図５は、本実施形態の比較例に係る液体吐出ヘッド２６’の断面図であり、図３に対応する。図６は、図５に示す比較例のケース部材４０’をＺ方向から見た平面図である。図５および図６に示すように、比較例の液体吐出ヘッド２６’は、コンプライアンス基板４６’が導入口４３と同じ側に設けられる場合を例示する。具体的には、比較例の液体吐出ヘッド２６’では、ケース部材４０’に導入口４３と第１貯留室ＲＢが設けられ、ケース部材４０’における導入口４３と同じ側の第２面Ｆ２’にコンプライアンス基板４６’が設けられる。このような比較例の構成では、導入口４３と同じ側にコンプライアンス基板４６’を設けるので、導入口４３が形成される金属部分が変形しないように、導入口４３を避けてコンプライアンス基板４６’の能動部を配置しなければならない。したがって、コンプライアンス基板４６’の能動部の面積や形は、導入口４３の位置や大きさによって制限されてしまう。

他方、本実施形態の液体吐出ヘッド２６では、ケース部材４０を、第１ケース部材４０２と第２ケース部材４０４とで構成し、第１ケース部材４０２の方に導入口４３を設けるようにしている。このようにすることで、導入口４３とは別に、第１ケース部材４０２の方に第１貯留室ＲＢとコンプライアンス基板４６’を設けることができる。したがって、本実施形態では、導入口４３の配置や大きさに関わらず、第１コンプライアンス基板４６の能動部の面積を大きくすることができる。

図４に示す点線部分が本実施形態の第１コンプライアンス基板４６であり、その内側の実線部分が能動部Ｐに相当する。同様に、図６に示す点線部分が比較例の第１コンプライアンス基板４６’であり、その内側の実線部分が能動部Ｐ’に相当する。図６の比較例の第１コンプライアンス基板４６’では、導入口４３が配置される部分は、能動部として機能させることができない。これに対して、図４の本実施形態の第１コンプライアンス基板４６では、導入口４３が配置される部分がないため、第１コンプライアンス基板４６の能動部Ｐが、図６の比較例の能動部Ｐ’よりも広くなっていることが分かる。このように、本実施形態の第１コンプライアンス基板４６’によれば、導入口４３の配置に関わらず、インクによる圧力変動の吸収効果を向上できる。

また、図３に示す本実施形態の構成では、第１貯留室ＲＢのうち導入口４３とは反対側に第１コンプライアンス基板４６が設けられるから、導入口４３から導入されるインクが第１コンプライアンス基板４６に押し当たるように配置できる。このため、図５に示す比較例のように導入口４３と同じ側に第１コンプライアンス基板４６’が設けられる場合よりも、インクの圧力が第１コンプライアンス基板４６に伝わり易い。したがって、導入口４３から導入されたインクによる圧力変動が第１コンプライアンス基板４６で吸収され易くなる。

次に、第１コンプライアンス基板４６と第２コンプライアンス基板５４との関係について説明する。本実施形態では、個別流路である供給流路３２２側に配置される第２貯留室ＲＡにおいて、第１貯留室ＲＢとは反対側に第２コンプライアンス基板５４が設けられる。このため、第２コンプライアンス基板５４は、第１コンプライアンス基板４６よりも圧力室Ｃに近い位置に配置される。したがって、供給流路３２２を介して第２貯留室ＲＡに伝わる圧力室Ｃの圧力変動を、第２コンプライアンス基板５４で効果的に吸収できる。

本実施形態によれば、導入口４３からのインクの導入による圧力変動は、主に第１コンプライアンス基板４６で吸収し易く、圧力室Ｃの圧力変動は、主に第２コンプライアンス基板５４で吸収し易い。例えば第２コンプライアンス基板５４の方のヤング率を、第１コンプライアンス基板４６のヤング率以下とすることで、第２コンプライアンス基板５４の方が、第１コンプライアンス基板４６よりも柔らかくなるように（剛性が低くなるように）してもよい。これによれば、導入口４３からのインクの導入による圧力変動よりも微小な圧力室Ｃの圧力変動を、第２コンプライアンス基板５４でさらに吸収し易くすることができる。

他方、第１コンプライアンス基板４６については、導入口４３から導入されるインクにより、第１貯留室ＲＢ内のインクが急激に動くことによる圧力変動（圧力損失）を、第１コンプライアンス基板４６の能動部が大きく変形して流路体積を変化させることで吸収することができる。このため、第２コンプライアンス基板５４よりも大きく撓むような材質や大きさであることが好ましい。なお、第２コンプライアンス基板５４の方の厚みを、第１コンプライアンス基板４６の厚み以下とすることによって、第２コンプライアンス基板５４の方が、第１コンプライアンス基板４６よりも柔らかくなるようにしてもよい。これによっても、圧力室Ｃの圧力変動を、第２コンプライアンス基板５４で吸収し易くすることができる。

このように、本実施形態では、２つのコンプライアンス基板を配置するので、それぞれに最適な材料や大きさを選定することができる。上記の他、例えば第１コンプライアンス基板４６の材料としては、水分の透過を抑えるために金属蒸着膜を有するものを使用することも可能である。液体貯留室Ｒの圧力変動は、例えば非印字状態から最大の印字速度で印刷する場合などのように、ある圧力範囲で大きくなる場合があるので、第１コンプライアンス基板４６の材料としては、圧力範囲によってたわみ量が異なる材料にしてもよい。

なお、本実施形態では、ケース部材４０を、第１ケース部材４０２と第２ケース部材４０４とに分けて、上方に配置される第１ケース部材４０２の方に第１貯留室ＲＢを形成するので、第１ケース部材４０２を加工し易い材質にすることで、第１貯留室ＲＢの天井の形状を変え易くすることができる。例えば図３に示すように、第１貯留室ＲＢの天井の角部Ｑの形状を、インクの流れに沿った曲面形状などにすることで、上方に移動し易い気泡の排出性を高めることができる。気泡の排出性を高めることで、気泡の排出に必要なインクの流速を低下させることができるので、インクの無駄を省くことができる。また、第１ケース部材４０２と第２ケース部材４０４を分けるため、第１ケース部材４０２を交換するだけで、例えば異なる形状の第１貯留室ＲＢや異なる機能（インクを循環するための機能や気泡を抜く機能）を備える第１貯留室ＲＢに、容易に変えることができる。

また、本実施形態では、第１ケース部材４０２と第２ケース部材４０４の間に、第１コンプライアンス基板４６が設けられるから、第１コンプライアンス基板４６の能動部Ｐ’が第１ケース部材４０２と第２ケース部材４０４の外側に露出しない。したがって、第１コンプライアンス基板４６が第１ケース部材４０２と第２ケース部材４０４の外側に露出する場合に比較して、水分の蒸発を抑えることができ、また、水分の蒸発を抑える対策を取り易い。水分の蒸発を抑える対策としては、例えば温度変化による内圧変動を抑えるための蛇道のように長い空気流路を設けた上で、第１コンプライアンス基板４６を封止することも可能である。

また、第１コンプライアンス基板４６の長さは、Ｙ方向（長手方向）のみならず、Ｘ方向（幅方向）においても、導入口４３の開口幅よりも長い。このため、能動部の面積が導入口４３の開口幅よりも大きくなるので、変形も大きくすることができる。これにより、第１コンプライアンス基板４６によって、インクの圧力変動を吸収し易くなる。第１コンプライアンス基板４６は、導入口４３に平面視で重なるから、導入口４３から導入されたインクは、第１コンプライアンス基板４６に押し当たり易くなる。このため、インクの圧力が第１コンプライアンス基板４６に伝わり易くなり、導入口４３から導入されたインクによる圧力変動が第１コンプライアンス基板４６で吸収され易くなる。

本実施形態の第１コンプライアンス基板４６は、第１ケース部材４０２と第２ケース部材４０４の間に設けられるので、フィルムなどの可撓性膜だけのように金属を含まない単体の部材で構成することができる。ただし、第１コンプライアンス基板４６は、可撓膜として金属蒸着膜を含んだ部材で構成することもできる。本実施形態では、２つのダンパー室４４を構成する２つの開口部をそれぞれ、別々の第１コンプライアンス基板４６で封止する場合を例示するが、これに限られず、ダンパー室４４を構成する２つの開口部を、１つの第１コンプライアンス基板４６で封止するようにしてもよい。本実施形態では、第１貯留室ＲＢの導入口４３とは反対側に第１コンプライアンス基板４６が配置されるので、第１コンプライアンス基板４６を導入口４３とは別に構成することができる。このため、導入口４３を形成する金属部材と第１コンプライアンス基板４６とを複合部品として第１コンプライアンス基板４６自体に剛性を持たせる必要もない。したがって、第１コンプライアンス基板４６を単体の部材にすることで、部品点数を減少させることができる。ただし、第１コンプライアンス基板４６は、可撓性膜と金属部材との複合部材として、第１コンプライアンス基板４６自体に剛性を持たせるようにしてもよい。

第１コンプライアンス基板４６は、第１ケース部材４０２と第２ケース部材４０４の両方に固定してもよく、一方にのみ固定してもよい。例えば第１コンプライアンス基板４６は、第２ケース部材４０４に固定され、第１ケース部材４０２には固定しないようにしてもよい。この構成によれば、第１ケース部材４０２と第２ケース部材４０４との両方に固定される場合に比較して、例えば部材間に生じる熱応力などによる応力集中を緩和できる。

＜第２実施形態＞
本発明の第２実施形態について説明する。以下に例示する各形態において作用や機能が第１実施形態と同様である要素については、第１実施形態の説明で使用した符号を流用して各々の詳細な説明を適宜に省略する。第１実施形態では、第１ケース部材４０２と第２ケース部材４０４の間に第１コンプライアンス基板４６を配置した場合を例示したが、第２実施形態では、別の位置に第１コンプライアンス基板４６を配置する場合を例示する。図７は、第２実施形態の液体吐出ヘッド２６の断面図であり、図３に対応する。図７の第２ケース部材４０４は、第１貯留室ＲＢ側に、第１貯留室ＲＢに連通する拡張空間４５を備える。また、図７の第２ケース部材４０４は、図３と同様に第１貯留室ＲＢとは反対側に、駆動ＩＣを収容する凹部４２からなる収容空間を備える。拡張空間４５は、収容空間（凹部４２）側に開口するように貫通する。図７の第１コンプライアンス基板４６は、拡張空間４５の収容空間側に開口する開口部を封止するように、第２ケース部材４０４に固定される。

このような第２実施形態の構成によれば、第１コンプライアンス基板４６は、拡張空間４５の収容空間側の開口を封止するように、第２ケース部材４０４に凹部４２の内側から固定されるので、第１貯留室ＲＢの容量を拡張空間４５の分だけ増やすことができる。

＜第３実施形態＞
本発明の第３実施形態について説明する。第３実施形態では、第１貯留室ＲＢの第１コンプライアンス基板４６を複数設ける場合を例示する。図８は、第３実施形態の液体吐出ヘッド２６の断面図であり、図７に対応する。図８は、図７と同様の第１コンプライアンス基板４６の他に、第１ケース部材４０２にも、第１貯留室ＲＢ側に開口する開口部（ダンパー室）４７２を封止する第３コンプライアンス基板４７を設けたものである。

このような第３実施形態の構成によれば、第１貯留室ＲＢのコンプライアンス基板として、第２ケース部材４０４の第１コンプライアンス基板４６だけでなく、第１ケース部材４０２にも第３コンプライアンス基板４７が配置される。第１貯留室ＲＢでは、導入口４３からのインクの突入による急激な圧力変動が起こり易いので、第３実施形態のように、第１貯留室ＲＢのコンプライアンス基板の数が増えることによって、第１貯留室ＲＢ内の急激な圧力変動を効果的に吸収することができる。なお、第１貯留室ＲＢのコンプライアンス基板としては、第３実施形態で例示した第１コンプライアンス基板４６と第３コンプライアンス基板４７に限られず、さらにコンプライアンス基板を設けるようにしてもよい。

＜変形例＞
以上に例示した態様および実施形態は多様に変形され得る。具体的な変形の態様を以下に例示する。以下の例示や上述の態様から任意に選択された２以上の態様は、相互に矛盾しない範囲で適宜に併合され得る。

（１）上述した実施形態では、液体吐出ヘッド２６を搭載したキャリッジ２４２をＸ方向に沿って反復的に往復させるシリアルヘッドを例示したが、液体吐出ヘッド２６を媒体１２の全幅にわたり配列したラインヘッドにも本発明を適用可能である。

（２）上述した実施形態では、圧力室に機械的な振動を付与する圧電素子を利用した圧電方式の液体吐出ヘッド２６を例示したが、加熱により圧力室の内部に気泡を発生させる発熱素子を利用した熱方式の液体吐出ヘッドを採用することも可能である。

（３）上述した実施形態で例示した液体吐出装置１０は、印刷に専用される機器のほか、ファクシミリ装置やコピー機等の各種の機器に採用され得る。もっとも、本発明の液体吐出装置１０の用途は印刷に限定されない。例えば、色材の溶液を吐出する液体吐出装置は、液晶表示装置のカラーフィルターや有機ＥＬ（Ｅｌｅｃｔｒｏ Ｌｕｍｉｎｅｓｃｅｎｃｅ）ディスプレイ、ＦＥＤ（面発光ディスプレイ）等を形成する製造装置として利用される。また、導電材料の溶液を吐出する液体吐出装置は、配線基板の配線や電極を形成する製造装置として利用される。また、液体の一種として生体有機物の溶液を吐出するチップ製造装置としても利用される。

１０…液体吐出装置、１２…媒体、１４…液体容器、２０…制御装置、２２…搬送機構、２４…移動機構、２４２…キャリッジ、２４４…無端ベルト、２６、 ２６’…液体吐出ヘッド、３２…流路基板、３２２…供給流路、３２４…連通流路、３２６…中間流路、３４…圧力室基板、３４２…開口、３６…振動部、３７…圧電素子、３７２…第２電極、３８…保護部材、３８２…収容空間、３８４…配線、３８８…配線、４０ ４０’…ケース部材、４０２…第１ケース部材、４０４…第２ケース部材、４２…凹部、４３…導入口、４４…ダンパー室、４５…拡張空間、４６、 ４６’…第１コンプライアンス基板、４７２…開口部、５２…ノズル板、５４…第２コンプライアンス基板、６２…駆動ＩＣ、６４…配線部材、Ｃ…圧力室、Ｆ１…第１面、Ｆ２、Ｆ２’…第２面、ＦＡ、ＦＢ…接合面、ＦＣ…表面、Ｌ１…第１列、Ｌ２…第２列、Ｎ…ノズル、Ｐ、Ｐ’…能動部、Ｒ…液体貯留室、ＲＢ…第１貯留室、ＲＡ…第２貯留室、ＲＣ…中間貯留室。

Claims (16)

1. 圧力室の圧力を変動させてノズルから液体を吐出させる駆動素子と、
   前記圧力室に連通する個別流路と、
   導入口から導入された液体を、前記個別流路を介して前記圧力室に供給する液体貯留室と、を備え、
   前記液体貯留室は、
   前記導入口側に配置される第１貯留室と、
   前記個別流路側に配置される第２貯留室と、
   前記第１貯留室と前記第２貯留室とを連通する中間貯留室と、を有し、
   前記第１貯留室の少なくとも一部は、前記第２貯留室に平面視で重なり、
   前記第１貯留室のうち前記導入口とは反対側の前記第２貯留室側に第１コンプライアンス基板が設けられ、
   前記第２貯留室のうち前記第１貯留室とは反対側に第２コンプライアンス基板が前記第１コンプライアンス基板と平行に設けられ、
   前記第２コンプライアンス基板のヤング率は、前記第１コンプライアンス基板のヤング率以下である
   液体吐出ヘッド。
   
2. 圧力室の圧力を変動させてノズルから液体を吐出させる駆動素子と、
   前記圧力室に連通する個別流路と、
   導入口から導入された液体を、前記個別流路を介して前記圧力室に供給する液体貯留室と、を備え、
   前記液体貯留室は、
   前記導入口側に配置される第１貯留室と、
   前記個別流路側に配置される第２貯留室と、
   前記第１貯留室と前記第２貯留室とを連通する中間貯留室と、を有し、
   前記第１貯留室の少なくとも一部は、前記第２貯留室に平面視で重なり、
   前記第１貯留室のうち前記導入口とは反対側の前記第２貯留室側に第１コンプライアンス基板が設けられ、
   前記第２貯留室のうち前記第１貯留室とは反対側に第２コンプライアンス基板が前記第１コンプライアンス基板と平行に設けられ、
   前記第２コンプライアンス基板の厚みは、前記第１コンプライアンス基板の厚み以下である
   液体吐出ヘッド。
3. 圧力室の圧力を変動させてノズルから液体を吐出させる駆動素子と、
   前記圧力室に連通する個別流路と、
   導入口から導入された液体を、前記個別流路を介して前記圧力室に供給する液体貯留室と、を備え、
   前記液体貯留室は、
   前記導入口側に配置される第１貯留室と、
   前記個別流路側に配置される第２貯留室と、
   前記第１貯留室と前記第２貯留室とを連通する中間貯留室と、を有し、
   前記第１貯留室の少なくとも一部は、前記第２貯留室に平面視で重なり、
   前記第１貯留室のうち前記導入口とは反対側の前記第２貯留室側に第１コンプライアンス基板が設けられ、
   前記第２貯留室のうち前記第１貯留室とは反対側に第２コンプライアンス基板が設けられ、
   前記第２コンプライアンス基板のヤング率は、前記第１コンプライアンス基板のヤング率以下である液体吐出ヘッドであって、
   前記第１コンプライアンス基板の少なくとも一部は、前記第２コンプライアンス基板に平面視で重なる
   液体吐出ヘッド。
4. 圧力室の圧力を変動させてノズルから液体を吐出させる駆動素子と、
   前記圧力室に連通する個別流路と、
   導入口から導入された液体を、前記個別流路を介して前記圧力室に供給する液体貯留室と、を備え、
   前記液体貯留室は、
   前記導入口側に配置される第１貯留室と、
   前記個別流路側に配置される第２貯留室と、
   前記第１貯留室と前記第２貯留室とを連通する中間貯留室と、を有し、
   前記第１貯留室の少なくとも一部は、前記第２貯留室に平面視で重なり、
   前記第１貯留室のうち前記導入口とは反対側の前記第２貯留室側に第１コンプライアンス基板が設けられ、
   前記第２貯留室のうち前記第１貯留室とは反対側に第２コンプライアンス基板が設けられ、
   前記第２コンプライアンス基板の厚みは、前記第１コンプライアンス基板の厚み以下である
   液体吐出ヘッドであって、
   前記第１コンプライアンス基板の少なくとも一部は、前記第２コンプライアンス基板に平面視で重なる
   液体吐出ヘッド。
5. 圧力室の圧力を変動させてノズルから液体を吐出させる駆動素子と、
   前記圧力室に連通する個別流路と、
   導入口から導入された液体を、前記個別流路を介して前記圧力室に供給する液体貯留室と、を備え、
   前記液体貯留室は、
   前記導入口側に配置される第１貯留室と、
   前記個別流路側に配置される第２貯留室と、
   前記第１貯留室と前記第２貯留室とを連通する中間貯留室と、を有し、
   前記第１貯留室の少なくとも一部は、前記第２貯留室に平面視で重なり、
   前記第１貯留室のうち前記導入口とは反対側の前記第２貯留室側に第１コンプライアンス基板が設けられ、
   前記第２貯留室のうち前記第１貯留室とは反対側に第２コンプライアンス基板が設けられ、
   前記圧力室は、前記第１貯留室と前記第１コンプライアンス基板との双方に平面視で重なる
   液体吐出ヘッド。
6. 圧力室の圧力を変動させてノズルから液体を吐出させる駆動素子と、
   前記圧力室に連通する個別流路と、
   導入口から導入された液体を、前記個別流路を介して前記圧力室に供給する液体貯留室と、を備え、
   前記液体貯留室は、
   前記導入口側に配置される第１貯留室と、
   前記個別流路側に配置される第２貯留室と、
   前記第１貯留室と前記第２貯留室とを連通する中間貯留室と、を有し、
   前記第１貯留室の少なくとも一部は、前記第２貯留室に平面視で重なり、
   前記第１貯留室のうち前記導入口とは反対側の前記第２貯留室側に第１コンプライアンス基板が設けられ、
   前記第２貯留室のうち前記第１貯留室とは反対側に第２コンプライアンス基板が設けられ、
   前記駆動素子を駆動する駆動ＩＣを備え、
   前記駆動ＩＣは、前記圧力室と前記第１コンプライアンス基板との双方に平面視で重なる
   液体吐出ヘッド。
7. 圧力室の圧力を変動させてノズルから液体を吐出させる駆動素子と、
   前記圧力室に連通する個別流路と、
   導入口から導入された液体を、前記個別流路を介して前記圧力室に供給する液体貯留室と、を備え、
   前記液体貯留室は、
   前記導入口側に配置される第１貯留室と、
   前記個別流路側に配置される第２貯留室と、
   前記第１貯留室と前記第２貯留室とを連通する中間貯留室と、を有し、
   前記第１貯留室の少なくとも一部は、前記第２貯留室に平面視で重なり、
   前記第１貯留室のうち前記導入口とは反対側の前記第２貯留室側に第１コンプライアンス基板が設けられ、
   前記第２貯留室のうち前記第１貯留室とは反対側に第２コンプライアンス基板が設けられ、
   前記液体貯留室が形成されるケース部材を備え、
   前記ケース部材は、前記第１貯留室が形成される第１ケース部材と、前記中間貯留室が形成される第２ケース部材と、を有し、
   前記第１ケース部材と前記第２ケース部材とは、前記第１貯留室の少なくとも一部が前記第２貯留室に平面視で重なるように積層され、
   前記第１ケース部材と前記第２ケース部材の間に、前記第１コンプライアンス基板が設けられる
   液体吐出ヘッド。
8. 前記第２ケース部材には、前記第１コンプライアンス基板を挟んで、前記第１貯留室とは反対側にダンパー室が設けられる
   請求項７に記載の液体吐出ヘッド。
9. 前記第１コンプライアンス基板のうち変形する能動部の長さは、前記導入口の開口幅よりも長い
   請求項８に記載の液体吐出ヘッド。
10. 前記第１コンプライアンス基板は、前記導入口に平面視で重なる
    請求項９に記載の液体吐出ヘッド。
11. 前記第１コンプライアンス基板は、可撓性膜と金属部材との複合部材である
    請求項８に記載の液体吐出ヘッド。
12. 前記第１コンプライアンス基板は、金属部材を含まない単体の部材である
    請求項８に記載の液体吐出ヘッド。
13. 前記第１コンプライアンス基板は、互いに対向する前記第１貯留室の開口部と前記ダンパー室の開口部との間に配置され、前記第２ケース部材に固定され、前記第１ケース部材には固定されない
    請求項８に記載の液体吐出ヘッド。
14. 圧力室の圧力を変動させてノズルから液体を吐出させる駆動素子と、
    前記圧力室に連通する個別流路と、
    導入口から導入された液体を、前記個別流路を介して前記圧力室に供給する液体貯留室と、を備え、
    前記液体貯留室は、
    前記導入口側に配置される第１貯留室と、
    前記個別流路側に配置される第２貯留室と、
    前記第１貯留室と前記第２貯留室とを連通する中間貯留室と、を有し、
    前記第１貯留室の少なくとも一部は、前記第２貯留室に平面視で重なり、
    前記第１貯留室のうち前記導入口とは反対側の前記第２貯留室側に第１コンプライアンス基板が設けられ、
    前記第２貯留室のうち前記第１貯留室とは反対側に第２コンプライアンス基板が設けられ、
    前記液体貯留室が形成されるケース部材を備え、
    前記ケース部材は、前記第１貯留室が形成される第１ケース部材と、前記中間貯留室が形成される第２ケース部材と、を有し、
    前記第１ケース部材と前記第２ケース部材とは、前記第１貯留室の少なくとも一部が前記第２貯留室に平面視で重なるように積層され、
    前記第２ケース部材は、前記第１貯留室側に、前記第１貯留室に連通する拡張空間を備えると共に、前記第１貯留室とは反対側に、前記駆動素子を駆動する駆動ＩＣを収容する収容空間を備え、
    前記拡張空間は、前記収容空間側に開口するように貫通し、
    前記第１コンプライアンス基板は、前記拡張空間の前記収容空間側に開口する開口部を封止するように、前記第２ケース部材に固定される
    液体吐出ヘッド。
15. 前記第１ケース部材において前記第１貯留室側に開口する開口部を封止する第３コンプライアンス基板を備える
    請求項１４に記載の液体吐出ヘッド。
16. 媒体を搬送する搬送機構と、
    前記媒体に液体を吐出する、請求項１から請求項１５のいずれかの液体吐出ヘッドと、
    を具備する
    液体吐出装置。
    

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