JP2018086831A - 液体吐出ヘッド、液体吐出ユニット、液体供給部材、液体を吐出する装置 - Google Patents

Abstract

【課題】ダンパの配置による部品点数の増加を抑える。【解決手段】液体を吐出する複数のノズル４、複数のノズル４にそれぞれ通じる複数の個別液室６、複数の個別液室６に液体を供給する液体を貯留する共通液室１０を含むヘッド本体部１００と、共通液室１０に液体を供給する液体供給流路２０１を有する液体供給部材２００とを備え、液体供給部材２００は、液体供給流路２０１の一部が形成された第１部材２１１と、気体室２１５を含む第２部材２１２と、第１部材２１１と第２部材２１２との間で押圧されていると共に、液体供給流路２０１の壁面の一部を形成する弾性部材２１３と、を含み、気体室２１５は、弾性部材２１３を介して液体供給流路２０１とは反対側に配置されている。【選択図】図２

Description

本発明は液体吐出ヘッド、液体吐出ユニット、液体供給部材、液体を吐出する装置に関する。

液体吐出ヘッドとして、ヘッド本体部の共通液室に液体を供給する液体供給流路を有する液体供給部材を備えるものがある。

例えば、インクタンクとヘッド本体部との間に介在させる液体供給流路を、連結経路上部材と連結経路下部材とを弾性部材（シートパッキン）を介して連結し、ノズル面に沿う方向の流路部分の壁面を弾性部材とした構成のものがある（特許文献１）。

特開２０１５−１０７６３３号公報

ところで、液体吐出ヘッドにおいては、液体吐出に伴って個別液室から共通液室に圧力変動が伝搬して吐出特性が不安定になる現象が生じる。そこで、一般に、共通液室内に伝搬した圧力変動を吸収、抑制するダンパが配置される。この場合、ダンパの配置による部品点数の増加を抑えることが好ましい。

本発明は上記の課題に鑑みてなされたものであり、ダンパの配置による部品点数の増加を抑えることを目的とする。

上記の課題を解決するため、本発明の請求項１に係る液体吐出ヘッドは、
液体を吐出する複数のノズルと、
前記複数のノズルにそれぞれ通じる複数の個別液室と、
前記複数の個別液室に前記液体を供給する共通液室と、
前記共通液室に液体を供給する液体供給流路を有する液体供給部材と、を含み、
前記液体供給部材は、少なくとも、
前記液体供給流路の一部を含む第１部材と、
気体室を含む第２部材と、
前記第１部材と前記第２部材との間で押圧されていると共に、前記液体供給流路の壁面の一部を形成する弾性部材と、を含み、
前記気体室は、前記弾性部材を介して前記液体供給流路とは反対側に配置されている
構成とした。

本発明によれば、ダンパの配置による部品点数の増加を抑えることができる。

本発明の第１実施形態に係る液体吐出ヘッドの斜視説明図である。 同じくノズル配列方向（共通液室長手方向）に沿う拡大断面説明図である。 同じくヘッド本体部の要部拡大断面説明図である。 本発明の第２実施形態に係る液体吐出ヘッドのノズル配列方向（共通液室長手方向）に沿う断面説明図である。 同じくノズル配列方向と直交する方向（共通液室短手方向）に沿う流路部分の拡大断面説明図である。 ヘッド本体部の一例の斜視説明図である。 同ヘッド本体部のノズル配列方向と直交する方向に沿う断面説明図である。 図７の要部拡大断面説明図である。 同ヘッド本体部のノズル配列方向に沿う要部断面説明図である。 本発明の第３実施形態における液体供給部材の斜視説明図である。 同じく下ケースである第１部材を上面側から見た斜視説明図である。 同じく第１部材を下面側から見た斜視説明図である。 同じく第１部材の平面説明図である。 同じく第１部材に弾性部材を配置した状態の斜視説明図である。 同じく第１部材に弾性部材を配置した状態の平面説明図である。 同じく上ケースである第２部材を第１部材側から見た斜視説明図である。 同じくヘッドに連結する縦流路部分の流路並び方向に沿う断面説明図である。 本発明の第４実施形態に係る液体吐出ヘッドのノズル配列方向（液室長手方向）に沿う要部断面説明図である。 本発明に係る液体を吐出する装置の一例の要部平面説明図である。 同装置の要部側面説明図である。 本発明に係る液体吐出ユニットの他の例の要部平面説明図である。 本発明に係る液体吐出ユニットの更に他の例の正面説明図である。

以下、本発明の実施形態について添付図面を参照して説明する。本発明の第１実施形態に係る液体吐出ヘッドについて図１ないし図３を参照して説明する。図１は同液体吐出ヘッドの斜視説明図、図２は同じくノズル配列方向（共通液室長手方向）に沿う断面説明図、図３は同じくヘッド本体部の要部拡大断面説明図である。

この液体吐出ヘッドは、液体を吐出するノズル４が形成されたノズル面１ａを有するヘッド本体部１００と、ヘッド本体部１００内の共通液室１０に通じて液体を供給する液体供給流路２０１を有する液体供給部材２００とを備えている。

ヘッド本体部１００は、図３に概略を示すように、ノズル４が形成されたノズル板１と、個別流路及び圧力発生手段を含むアクチュエータ基板２０と、共通液室１０を形成する共通液室部材７０と、共通液室１０の壁面を形成するダンパ部材９０とを備えている。ダンパ部材９０の共通液室１０と反対側はダンパ室９５となる。

共通液室部材７０には共通液室１０に通じる連結流路７１が設けられ、連結流路７１が液体供給部材２００の液体供給流路２０１に通じている。

液体供給部材２００は、図２に示すように、ヘッド本体部１００側の第１部材２１１と、弾性部材２１３と、弾性部材２１３を介して第１部材２１１と固定された第２部材２１２とで構成されている。

第２部材２１２には、液体供給流路２０１を構成するノズル面１ａの面直方向に貫通する貫通穴で形成された流路部分である縦流路２０１Ａが設けられている。縦流路２０１Ａの入口側には、外部の液体貯留手段と直接或いは供給チューブを介して接続される連結部２１４が設けられている。

第１部材２１１には、液体供給流路２０１を構成するノズル面１ａの面直方向に貫通する貫通穴で形成された第２流路である縦流路２０１Ｃが設けられている。また、第１部材２１１には、縦流路２０１Ｃを第２部材２１２の縦流路２０１Ａと通じるノズル面１ａに沿う方向の溝部で形成された第１流路である横流路２０１Ｂが設けられている。横流路２０１Ｂは、上流側が縦流路２０１Ａに通じ、下流側が縦流路２０１Ｃに通じる。

そして、第１部材２１１の横流路２０１Ｂの第２部材２１２側の壁面を弾性部材２１３で形成している。弾性部材２１３の横流路２０１Ｂの壁面を形成している部分はダンパ２０９となる。また、弾性部材２１３には、第２部材２１２の縦流路２０１Ａと第１部材２１１の横流路２０１Ｂとを通じる貫通穴で形成した流路２０１Ｄが形成されている。この弾性部材２１３は、シート状パッキンを使用して、第１部材２１１と第２部材２１２との間をシールするシール部材を兼ねさせている。

ここで、弾性部材２１３は、第１部材２１１と第２部材２１２との間に挟まれた状態で、第１部材２１１と第２部材２１２とがネジやボルトなどの固定部材で互いに固定されることで、第１部材２１１と第２部材２１２との間で押圧されている。

さらに、第２部材２１２には、弾性部材２１３のダンパ２０９の部分を介して第１部材２１１の横流路２０１Ｂと反対側にダンパ室となる気体室２１５が設けられている。

このように構成したので、液体吐出に伴って共通液室１０に伝搬した圧力変動のうちダンパ部材９０で吸収されなかった圧力変動の一部は液体供給流路２０１内に伝搬し、横流路２０１Ｂの壁面をなす弾性部材２１３のダンパ２０９で吸収ないし抑制される。

したがって、共通液室１０にダンパ部材９０を設けただけの場合よりもより圧力変動を吸収ないし抑制することができ、安定した液体吐出を行うことができる。

しかも、弾性部材２１３が、第１部材２１１と第２部材２１２との間をシールするシール部材と、液体供給流路２０１の一部（流路部分）の壁面をなすダンパとを兼ねていることで、ダンパの配置による部品点数の増加を抑えることができる。

次に、本発明の第２実施形態について図４及び図５を参照して説明する。図４は同実施形態に係る液体吐出ヘッドのノズル配列方向（共通液室長手方向）に沿う断面説明図、図５は同じくノズル配列方向と直交する方向（共通液室短手方向）に沿う流路部分の拡大断面説明図である。

本実施形態では、弾性部材２１３の横流路２０１Ｂの壁面を形成している部分のダンパ２０９の厚みｔ１をそれ以外の部分の厚みｔ２よりも薄くしている。

これにより、弾性部材２１３で第１部材２１１と第２部材２１２との間を確実にシールしつつ、横流路２０１Ｂではより大きな変位が可能となってダンパ機能が向上する。

ここで、ヘッド本体部の一例について図６ないし図９を参照して説明する。図６は同じくヘッド本体部の斜視説明図、図７は同ヘッド本体部のノズル配列方向と直交する方向に沿う断面説明図、図８は図７の要部拡大断面説明図、図９は同ヘッド本体部のノズル配列方向に沿う要部断面説明図である。

ヘッド本体部１００は、ノズル板１と、流路板２と、壁面部材である振動板３と、圧力発生素子である圧電素子１１と、保持基板５０と、ＦＰＣなどの配線部材６０と、共通液室部材７０と、カバー部材４５とを備えている。

ここで、流路板２、振動板３及び圧電素子１１で構成される部分がアクチュエータ基板２０となる。

ノズル板１には、液体を吐出する複数のノズル４が形成されている。ここでは、ノズル４を配列したノズル列を４列配置した構成としている。

流路板２は、ノズル板１及び振動板３とともに、ノズル４が通じる個別液室６、個別液室６に通じる流体抵抗部７、流体抵抗部７が通じる液導入部８を形成している。

この液導入部８は振動板３の開口９と保持基板５０の流路となる開口部５１を介して共通液室部材７０で形成される共通液室１０に通じている。

振動板３は、個別液室６の壁面の一部を形成する変形可能な振動領域３０を形成している。そして、この振動板３の振動領域３０の個別液室６と反対側の面には、振動領域３０と一体的に圧電素子１１が設けられ、振動領域３０と圧電素子１１によって圧電アクチュエータ構成している。

圧電素子１１は、振動領域３０側から下部電極１３、圧電層（圧電体）１２及び上部電極１４を順次積層形成して構成している。この圧電素子１１上には絶縁膜２１が形成されている。

複数の圧電素子１１の共通電極となる下部電極１３は、共通配線１５を介して共通電極電源配線パターン２８に接続されている。なお、下部電極１３は、ノズル配列方向ですべての圧電素子１１に跨って形成される１つの電極層である。

また、圧電素子１１の個別電極となる上部電極１４は、個別配線１６を介して駆動回路部である駆動ＩＣ（以下、「ドライバＩＣ」という。）５００に接続されている。個別配線１６などは絶縁膜２２にて被覆されている。

ドライバＩＣ５００は、圧電素子列の列間の領域を覆うようにアクチュエータ基板２０にフリップチップボンディングなどの工法により実装されている。

アクチュエータ基板２０に搭載されたドライバＩＣ５００は、駆動波形（駆動信号）が供給される個別電極電源配線パターン２９と接続されている。

配線部材６０に設けられた配線が、ドライバＩＣ５００と電気的に接続されており、配線部材６０の他端側は装置本体側の制御部に接続される。

そして、アクチュエータ基板２０の振動板３側には、アクチュエータ基板２０上の圧電素子１１を覆っている保持基板５０が接着剤で接合されている。

保持基板５０には、共通液室１０と個別液室６側を通じる流路の一部となる開口部５１と、圧電素子１１を収容する凹部５２と、ドライバＩＣ５００を収容する開口部５３が設けられている。開口部５１は、ノズル配列方向に亘って延びるスリット状の貫通穴であり、ここでは共通液室１０の一部を構成している。

この保持基板５０は、アクチュエータ基板２０と共通液室部材７０との間に介在し、共通液室１０の壁面の一部を形成している。

共通液室部材７０は、各個別液室６に液体を供給する共通液室１０を形成する。なお、共通液室１０は４つのノズル列に対応してそれぞれ設けられる。また、液体供給部材２００と通じる連結流路７１を介して共通液室１０に所要の色の液体が供給される。

共通液室部材７０には、ダンパ部材９０が接合されている。ダンパ部材９０は、共通液室１０の一部の壁面を形成する変形可能なダンパ９１と、ダンパ９１を補強するダンパプレート９２とを有している。

共通液室部材７０はノズル板１の外周部及び保持基板５０と接着剤で接合され、アクチュエータ基板２０及び保持基板５０を収容して、このヘッドのフレームを構成している。

そして、ノズル板１の周縁部及び共通液室部材７０の外周面の一部を覆うカバー部材４５を設けている。

このヘッド本体部１００においては、ドライバＩＣ５００から圧電素子１１の上部電極１４と下部電極１３の間に電圧を与えることで、圧電層１２が電極積層方向、すなわち電界方向に伸張し、振動領域３０と平行な方向に収縮する。これにより、振動領域３０の下部電極１３側に引っ張り応力が発生し、振動領域３０が個別液室６側に撓み、内部の液体を加圧することで、ノズル４から液体が吐出される。

次に、本発明の第３実施形態における液体供給部材について図１０ないし図１７を参照して説明する。図１０は同液体供給部材の斜視説明図、図１１は下ケースである第１部材を上面側から見た斜視説明図、図１２は同じく第１部材を下面側から見た斜視説明図、図１３は同じく第１部材の平面説明図である。図１４は第１部材に弾性部材を配置した状態の斜視説明図、図１５は同じく第１部材に弾性部材を配置した状態の平面説明図である。図１６は上ケースである第２部材を第１部材側から見た斜視説明図である。図１７は同じくヘッドに連結する縦流路部分の流路並び方向に沿う図１０の面Ｓにおける断面説明図である。

第１部材２１１の上面には、面内を這うように複数（ここでは４本）の流路部分である横流路２０１Ｂが形成されている。横流路２０１Ｂは、ノズル面に沿う方向において、流路途中に、液体の流れの向きが変わる屈曲部２０１Ｂａを有している。

複数の横流路２０１Ｂにおいて、それぞれの横流路２０１の周縁部は横流路２０１Ｂの輪郭を囲うように凸状のリブ２１６が形成されている。

また、第１部材２１１の横流路２０１Ｂの一端部は、ヘッド本体部１００の連結流路７１と連通するように狭ピッチで配列され、この横流路２０１Ｂに通じる縦流路２０１Ｃが配列されている。

一方、横流路２０１Ｂの他端部は、上ケースである第２部材２１２の縦流路２０１Ａの出口に連通する位置に合うように、横流路２０１Ｂ同士の間隔を広くとって這い回されている。

そして、第１部材２１１の複数の横流路２０１Ｂに跨ってシート状の弾性部材であるパッキン２１３Ａが配置されている。パッキン２１３Ａは、屈曲部２０１Ｂａを含めて複数の横流路２０１Ｂの壁面を形成している。１枚のパッキン２１３Ａで複数の横流路２０１Ｂを覆うことで、屈曲部２０１Ｂａを有する場合に、屈曲部２０１Ｂａを含めて横流路２０１Ｂ全体を容易に覆うことができる。

パッキン２１３Ａには第２部材２１２の縦流路２０１Ａと横流路２０１Ｂを連通するための貫通穴からなる流路２０１Ｄが広いピッチで配置されている。

なお、パッキン２１３Ａの最低限の大きさとしては、１つの横流路２０１Ｂの輪郭に形成したリブ２１６が隠れるように配置できる大きさである。なお、１枚のシート状のパッキン２１３Ａに代えて、各横流路２０１Ｂを覆う複数のパッキンを配置することもできる。

第２部材２１２には、縦流路２０１Ａが形成され、縦流路２０１Ａのパッキン２１３Ａ側の面には縦流路２０１Ａの周囲を囲んで（周縁部を囲む）リブ２１７が形成されている。さらに、第２部材２１２には、横流路２０１Ｂを反転した形状で気体室２１５となる凹部が形成され、気体室２１５の周囲を囲んで（周縁部を囲む）リブ２１７が形成されている。

これにより、パッキン２１３Ａは第１部材２１１のリブ２１６と第２部材２１２のリブ２１７とで挟まれて潰され、第１部材２１１と第２部材２１２との間を確実にシールする。

このように構成した液体供給部材２００は、パッキン２１３Ａを挟みながら、第１部材２１１と第２部材２１２とを締結部材で固定して図１０の状態にする。このとき、第１部材２１１のリブ２１６と第２部材２１２のリブ２１７とで、弾性部材であるパッキン２１３Ａを規定量潰してシールするとともに、横流路２０１Ｂのそれぞれを区画するように封止する。

これにより、横流路２０１Ｂの第２部材２１２側の壁面は、弾性部材であるパッキン２１３Ａで形成されることになる。

したがって、横流路２０１Ｂ内に存在する過度な圧力や圧力伝搬などが弾性壁面としてのパッキン２１３Ａの変形によって吸収される。この場合、気体室２１５がないと、パッキン２１３Ａの変形が第２部材２１２で抑えられてダンパ効果が発揮できなくなる。

なお、上記各実施形態では、第２部材に液体供給経路の一部が形成されている例で説明しているが、第２部材は液体供給経路となる流路が形成されない部材とすることもできる。

次に、本発明の第４実施形態に図１８を参照して説明する。図１８は同実施形態に係る液体吐出ヘッドのノズル配列方向（液室長手方向）に沿う要部断面説明図である。

本実施形態では、液体を吐出する複数のノズル４にそれぞれ通じる複数の個別液室に液体を供給する共通液室１０を形成する共通液室部材７０と、共通液室１０に液体を供給する液体供給流路７１を形成する液体供給部材７５とを有している。

また、共通液室部材７０と液体供給部材７５との間で押圧されると共に、共通液室１０の壁面の一部を形成する弾性部材３１３を有し、弾性部材３１３を介して共通液室１０とは反対側に気体室９５を有している。

このように、弾性部材３１３が、共通液室部材７０と液体供給部材７５との間をシールするシール部材と、共通液室１０の一部の壁面をなすダンパとを兼ねていることで、ダンパの配置による部品点数の増加を抑えることができる。

次に、本発明に係る液体を吐出する装置の一例について図１９及び図２０を参照して説明する。図１９は同装置の要部平面説明図、図２０は同装置の要部側面説明図である。

この装置は、シリアル型装置であり、主走査移動機構４９３によって、キャリッジ４０３は主走査方向に往復移動する。主走査移動機構４９３は、ガイド部材４０１、主走査モータ４０５、タイミングベルト４０８等を含む。ガイド部材４０１は、左右の側板４９１Ａ、４９１Ｂに架け渡されてキャリッジ４０３を移動可能に保持している。そして、主走査モータ４０５によって、駆動プーリ４０６と従動プーリ４０７間に架け渡したタイミングベルト４０８を介して、キャリッジ４０３は主走査方向に往復移動される。

このキャリッジ４０３には、本発明に係る液体吐出ヘッド４０４及びヘッドタンク４４１を一体にした液体吐出ユニット４４０を搭載している。液体吐出ユニット４４０の液体吐出ヘッド４０４は、例えば、イエロー（Ｙ）、シアン（Ｃ）、マゼンタ（Ｍ）、ブラック（Ｋ）の各色の液体を吐出する。また、液体吐出ヘッド４０４は、複数のノズルからなるノズル列を主走査方向と直交する副走査方向に配置し、吐出方向を下方に向けて装着している。

液体吐出ヘッド４０４の外部に貯留されている液体を液体吐出ヘッド４０４に供給するための供給機構４９４により、ヘッドタンク４４１には、液体カートリッジ４５０に貯留されている液体が供給される。

供給機構４９４は、液体カートリッジ４５０を装着する充填部であるカートリッジホルダ４５１、チューブ４５６、送液ポンプを含む送液ユニット４５２等で構成される。液体カートリッジ４５０はカートリッジホルダ４５１に着脱可能に装着される。ヘッドタンク４４１には、チューブ４５６を介して送液ユニット４５２によって、液体カートリッジ４５０から液体が送液される。

この装置は、用紙４１０を搬送するための搬送機構４９５を備えている。搬送機構４９５は、搬送手段である搬送ベルト４１２、搬送ベルト４１２を駆動するための副走査モータ４１６を含む。

搬送ベルト４１２は用紙４１０を吸着して液体吐出ヘッド４０４に対向する位置で搬送する。この搬送ベルト４１２は、無端状ベルトであり、搬送ローラ４１３と、テンションローラ４１４との間に掛け渡されている。吸着は静電吸着、あるいは、エアー吸引などで行うことができる。

そして、搬送ベルト４１２は、副走査モータ４１６によってタイミングベルト４１７及びタイミングプーリ４１８を介して搬送ローラ４１３が回転駆動されることによって、副走査方向に周回移動する。

さらに、キャリッジ４０３の主走査方向の一方側には搬送ベルト４１２の側方に液体吐出ヘッド４０４の維持回復を行う維持回復機構４２０が配置されている。

維持回復機構４２０は、例えば液体吐出ヘッド４０４のノズル面（ノズルが形成された面）をキャッピングするキャップ部材４２１、ノズル面を払拭するワイパ部材４２２などで構成されている。

主走査移動機構４９３、供給機構４９４、維持回復機構４２０、搬送機構４９５は、側板４９１Ａ，４９１Ｂ、背板４９１Ｃを含む筐体に取り付けられている。

このように構成したこの装置においては、用紙４１０が搬送ベルト４１２上に給紙されて吸着され、搬送ベルト４１２の周回移動によって用紙４１０が副走査方向に搬送される。

そこで、キャリッジ４０３を主走査方向に移動させながら画像信号に応じて液体吐出ヘッド４０４を駆動することにより、停止している用紙４１０に液体を吐出して画像を形成
する。

このように、この装置では、本発明に係る液体吐出ヘッドを備えているので、高画質画像を安定して形成することができる。

次に、本発明に係る液体吐出ユニットの他の例について図２１を参照して説明する。図２１は同ユニットの要部平面説明図である。

この液体吐出ユニットは、前記液体を吐出する装置を構成している部材のうち、側板４９１Ａ、４９１Ｂ及び背板４９１Ｃで構成される筐体部分と、主走査移動機構４９３と、キャリッジ４０３と、液体吐出ヘッド４０４で構成されている。

なお、この液体吐出ユニットの例えば側板４９１Ｂに、前述した維持回復機構４２０、及び供給機構４９４の少なくともいずれかを更に取り付けた液体吐出ユニットを構成することもできる。

次に、本発明に係る液体吐出ユニットの更に他の例について図２２を参照して説明する。図２２は同ユニットの正面説明図である。

この液体吐出ユニットは、液体供給部材である流路部品４４４が取付けられた液体吐出ヘッド４０４と、流路部品４４４に接続されたチューブ４５６で構成されている。

なお、流路部品４４４はカバー４４２の内部に配置されている。流路部品４４４に代えてヘッドタンク４４１を含むこともできる。また、流路部品４４４の上部には液体吐出ヘッド４０４と電気的接続を行うコネクタ４４３が設けられている。

本願において、吐出される液体は、ヘッドから吐出可能な粘度や表面張力を有するものであればよく、特に限定されないが、常温、常圧下において、または加熱、冷却により粘度が３０ｍＰａ・ｓ以下となるものであることが好ましい。より具体的には、水や有機溶媒等の溶媒、染料や顔料等の着色剤、重合性化合物、樹脂、界面活性剤等の機能性付与材料、ＤＮＡ、アミノ酸やたんぱく質、カルシウム等の生体適合材料、天然色素等の可食材料、などを含む溶液、懸濁液、エマルジョンなどであり、これらは例えば、インクジェット用インク、表面処理液、電子素子や発光素子の構成要素や電子回路レジストパターンの形成用液、３次元造形用材料液等の用途で用いることができる。

液体を吐出するエネルギー発生源として、圧電アクチュエータ（積層型圧電素子及び薄膜型圧電素子）、発熱抵抗体などの電気熱変換素子を用いるサーマルアクチュエータ、振動板と対向電極からなる静電アクチュエータなどを使用するものが含まれる。

「液体吐出ユニット」は、液体吐出ヘッドに機能部品、機構が一体化したものであり、液体の吐出に関連する部品の集合体が含まれる。例えば、「液体吐出ユニット」は、ヘッドタンク、キャリッジ、供給機構、維持回復機構、主走査移動機構の構成の少なくとも一つを液体吐出ヘッドと組み合わせたものなどが含まれる。

ここで、一体化とは、例えば、液体吐出ヘッドと機能部品、機構が、締結、接着、係合などで互いに固定されているもの、一方が他方に対して移動可能に保持されているものを含む。また、液体吐出ヘッドと、機能部品、機構が互いに着脱可能に構成されていても良い。

例えば、液体吐出ユニットとして、液体吐出ヘッドとヘッドタンクが一体化されているものがある。また、チューブなどで互いに接続されて、液体吐出ヘッドとヘッドタンクが一体化されているものがある。ここで、これらの液体吐出ユニットのヘッドタンクと液体吐出ヘッドとの間にフィルタを含むユニットを追加することもできる。

また、液体吐出ユニットとして、液体吐出ヘッドとキャリッジが一体化されているものがある。

また、液体吐出ユニットとして、液体吐出ヘッドを走査移動機構の一部を構成するガイド部材に移動可能に保持させて、液体吐出ヘッドと走査移動機構が一体化されているものがある。また、液体吐出ヘッドとキャリッジと主走査移動機構が一体化されているものがある。

また、液体吐出ユニットとして、液体吐出ヘッドが取り付けられたキャリッジに、維持回復機構の一部であるキャップ部材を固定させて、液体吐出ヘッドとキャリッジと維持回復機構が一体化されているものがある。

また、液体吐出ユニットとして、ヘッドタンク若しくは流路部品が取付けられた液体吐出ヘッドにチューブが接続されて、液体吐出ヘッドと供給機構が一体化されているものがある。このチューブを介して、液体貯留源の液体が液体吐出ヘッドに供給される。

主走査移動機構は、ガイド部材単体も含むものとする。また、供給機構は、チューブ単体、装填部単体も含むものする。

「液体を吐出する装置」には、液体吐出ヘッド又は液体吐出ユニットを備え、液体吐出ヘッドを駆動させて液体を吐出させる装置が含まれる。液体を吐出する装置には、液体が付着可能なものに対して液体を吐出することが可能な装置だけでなく、液体を 気中や液中に向けて吐出する装置も含まれる。

この「液体を吐出する装置」は、液体が付着可能なものの給送、搬送、排紙に係わる手段、その他、前処理装置、後処理装置なども含むことができる。

例えば、「液体を吐出する装置」として、インクを吐出させて用紙に画像を形成する装置である画像形成装置、立体造形物（三次元造形物）を造形するために、粉体を層状に形成した粉体層に造形液を吐出させる立体造形装置（三次元造形装置）がある。

また、「液体を吐出する装置」は、吐出された液体によって文字、図形等の有意な画像が可視化されるものに限定されるものではない。例えば、それ自体意味を持たないパターン等を形成するもの、三次元像を造形するものも含まれる。

上記「液体が付着可能なもの」とは、液体が少なくとも一時的に付着可能なものであって、付着して固着するもの、付着して浸透するものなどを意味する。具体例としては、用紙、記録紙、記録用紙、フィルム、布などの被記録媒体、電子基板、圧電素子などの電子部品、粉体層（粉末層）、臓器モデル、検査用セルなどの媒体であり、特に限定しない限り、液体が付着するすべてのものが含まれる。

上記「液体が付着可能なもの」の材質は、紙、糸、繊維、布帛、皮革、金属、プラスチック、ガラス、木材、セラミックスなど液体が一時的でも付着可能であればよい。

また、「液体を吐出する装置」は、液体吐出ヘッドと液体が付着可能なものとが相対的に移動する装置があるが、これに限定するものではない。具体例としては、液体吐出ヘッドを移動させるシリアル型装置、液体吐出ヘッドを移動させないライン型装置などが含まれる。

また、「液体を吐出する装置」としては、他にも、用紙の表面を改質するなどの目的で用紙の表面に処理液を塗布するために処理液を用紙に吐出する処理液塗布装置、原材料を溶液中に分散した組成液を、ノズルを介して噴射させて原材料の微粒子を造粒する噴射造粒装置などがある。

なお、本願の用語における、画像形成、記録、印字、印写、印刷、造形等はいずれも同義語とする。

１ ノズル板
２ 流路板
３ 振動板
４ ノズル
１０ 共通液室
２０ アクチュエータ基板
１００ ヘッド本体部
２００ 液体供給部材
２０１ 液体供給流路
２１１ 第１部材
２１２ 第２部材
２１３ 弾性部材
２１３Ａ パッキン
２１５ 気体室
４０３ キャリッジ
４０４ 液体吐出ヘッド
４４０ 液体吐出ユニット

Claims (17)

1. 液体を吐出する複数のノズルと、
   前記複数のノズルにそれぞれ通じる複数の個別液室と、
   前記複数の個別液室に前記液体を供給する共通液室と、
   前記共通液室に液体を供給する液体供給流路を有する液体供給部材と、を含み、
   前記液体供給部材は、少なくとも、
   前記液体供給流路の一部を含む第１部材と、
   気体室を含む第２部材と、
   前記第１部材と前記第２部材との間で押圧されていると共に、前記液体供給流路の壁面の一部を形成する弾性部材と、を含み、
   前記気体室は、前記弾性部材を介して前記液体供給流路とは反対側に配置されている
   ことを特徴とする液体吐出ヘッド。
2. 前記第１部材の前記液体供給流路は、前記液体吐出ヘッドのノズル面に沿う第１流路を含んでいる
   ことを特徴とする請求項１に記載の液体吐出ヘッド。
3. 前記第１部材の前記液体供給流路は、前記第１流路の下流側に通じて前記ノズル面の面直方向に沿う第２流路を含んでいる
   ことを特徴とする請求項２に記載の液体吐出ヘッド。
4. 前記第２流路は、前記弾性部材が前記気体室に臨む部分に対向している
   ことを特徴とする請求項３に記載の液体吐出ヘッド。
5. 前記第１部材には、前記第１流路の周縁部に、前記第１流路を囲うリブが設けられている
   ことを特徴とする請求項２ないし４のいずれかに記載の液体吐出ヘッド。
6. 前記第２部材には、前記気体室の周縁部に、前記気体室を囲うリブが設けられている
   ことを特徴とする請求項２ないし５のいずれかに記載の液体吐出ヘッド。
7. 前記第１部材には、前記第１流路の周縁部に、前記第１流路を囲うリブが設けられ、
   前記第２部材には、前記気体室の周縁部に、前記気体室を囲うリブが設けられ、
   前記弾性部材は、前記第１部材のリブと前記第２部材のリブとで挟まれている
   ことを特徴とする請求項２ないし４のいずれかに記載の液体吐出ヘッド。
8. 前記共通液室の壁面を形成するダンパを有している
   ことを特徴とする請求項１ないし７のいずれかに記載の液体吐出ヘッド。
9. 前記弾性部材は、前記液体供給流路の壁面を形成する部分と、前記液体供給流路の壁面を形成していない部分とで、厚みが異なる
   ことを特徴とする請求項１ないし８のいずれかに記載の液体吐出ヘッド。
10. 前記弾性部材は、前記液体供給流路の壁面を形成する部分の厚みが、前記液体供給流路の壁面を形成していない部分の厚みより薄い
    ことを特徴とする請求項９に記載の液体吐出ヘッド。
11. 前記第１流路は、ノズル面に沿う方向において、流路途中に、液体の流れの向きが変わる屈曲部を有している
    ことを特徴とする請求項２ないし１０のいずれかに記載の液体吐出ヘッド。
12. 前記液体供給流路は複数設けられ、
    前記弾性部材は、１枚のシート状部材であり、前記複数の前記液体供給流路に跨って配置されている
    ことを特徴とする請求項１ないし１１のいずれかに記載の液体吐出ヘッド。
13. 液体を吐出する複数のノズルにそれぞれ通じる複数の個別液室に前記液体を供給する共通液室を形成する共通液室部材と、
    前記共通液室に前記液体を供給する液体供給流路を形成する液体供給部材と、
    前記共通液室部材と前記液体供給部材との間で押圧されているとともに、前記共通液室の壁面の一部を形成する弾性部材と、
    前記液体供給部材には、前記弾性部材を介して前記共通液室とは反対側に気体室を有している
    ことを特徴とする液体吐出ヘッド。
14. 請求項１ないし１３のいずれかに記載の液体吐出ヘッドを含むことを特徴とする液体吐出ユニット。
15. 前記液体吐出ヘッドに供給する液体を貯留するヘッドタンク、前記液体吐出ヘッドを搭載するキャリッジ、前記液体吐出ヘッドに液体を供給する供給機構、前記液体吐出ヘッドの維持回復を行う維持回復機構、前記液体吐出ヘッドを主走査方向に移動させる主走査移動機構の少なくともいずれか一つと前記液体吐出ヘッドとを一体化した
    ことを特徴とする請求項１４に記載の液体吐出ユニット。
16. 液体を吐出する複数のノズルを有する液体吐出ヘッドの内部の共通液室に連結される液体供給流路を有する液体供給部材であって、
    前記液体供給部材は、少なくとも、
    前記液体供給流路の一部を含む第１部材と、
    気体室を含む第２部材と、
    前記第１部材と前記第２部材との間で押圧されていると共に、前記液体供給流路の壁面の一部を形成する弾性部材と、を含み、
    前記気体室は、前記弾性部材を介して前記液体供給流路とは反対側に配置されている
    ことを特徴とする液体供給部材。
17. 請求項１ないし１３のいずれかに記載の液体吐出ヘッド、請求項１４若しくは１５に記載の液体吐出ユニット、又は請求項１６に記載の液体供給部材を備えている
    ことを特徴とする液体を吐出する装置。

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