JP6769022B2 - 液体吐出ヘッド、液体吐出ユニット、液体を吐出する装置 - Google Patents

Description

本発明は液体吐出ヘッド、液体吐出ユニット、液体を吐出する装置に関する。

液体吐出ヘッドとして、例えば、複数の圧力発生素子が配列されたアクチュエータ基板上に、圧力発生素子を覆う保持基板（保護基板とも称される。）を接着剤で接合し、保持基板には、共通液室とアクチュエータ基板側の個別液室を通じる流路となる開口部を形成したものがある。

従来、保持基板に凹みを形成してアクチュエータ基板と接着剤で接合するときの接着剤のはみ出しを抑えるものが知られている（特許文献１）。

特開２０１３−１６３３４１号公報

ところで、保持基板とアクチュエータ基板とを接着剤で接合するとき、接合面から開口部内にはみ出した接着剤が、保持基板の開口部の隅部を毛管現象によって伝い、開口部から保持基板のアクチュエータ基板との接合面と反対側の面まで流れ出すことがある。

このように、保持基板のアクチュエータ基板との接合面と反対側の面まで接着剤が流れ出すと、異物の原因となったり、反対側の面に共通液室部材を接合するときの接合不良の原因となったりする。

本発明は上記の課題に鑑みてなされたものであり、保持基板の開口部からの接着剤の流れ出しを抑制することを目的とする。

上記の課題を解決するため、本発明に係る液体吐出ヘッドは、
液体を吐出するノズルに通じる個別液室及び前記個別液室の液体を加圧する圧力発生素子が配列されたアクチュエータ基板と、
前記圧力発生素子を収容する凹部が形成された保持基板と、を有し、
前記保持基板は、前記アクチュエータ基板に接着剤で接合され、
前記アクチュエータ基板には、前記個別液室に通じる開口部が形成され、
前記保持基板には、前記アクチュエータ基板の開口部に通じる開口部が形成され、
少なくとも、前記アクチュエータ基板と前記保持基板との接合面において、前記保持基板の開口部は前記アクチュエータ基板の開口部よりも大きく、
前記保持基板の開口部は、前記アクチュエータ基板の開口部側とは反対側の第１開口部と、前記アクチュエータ基板の開口部側の第２開口部と、を含み、
前記第１開口部の開口面積は前記第２開口部の開口面積よりも小さく、
前記第１開口部と前記第２開口部との間には開口部全面に段差があり、
前記第１開口部の隅部は、少なくとも一部が曲面形状に形成され、
少なくとも、前記保持基板の前記第２開口部が前記アクチュエータ基板の開口部よりも大きい
構成とした。

本発明によれば、保持基板の開口部からの接着剤の流れ出しを抑制することができる。

本発明に係る液体吐出ヘッドの一例の斜視説明図である。 同じくノズル配列方向と直交する方向に沿う要部断面説明図である。 図２の要部拡大断面説明図である。 同じくノズル配列方向に沿う要部断面説明図である。 本発明の第１実施形態における保持基板の開口部部分のノズル配列方向と直交する方向に沿う拡大断面説明図である。 同じく保持基板の開口部部分の平面説明図である。 同じく保持基板の開口部の１つの隅部の斜視説明図である。 比較例の説明に供する保持基板の平面説明図である。 同じく保持基板の開口部の１つの隅部の斜視説明図である。 本発明の第２実施形態における保持基板の開口部部分のノズル配列方向と直交する方向に沿う拡大断面説明図である。 同じく保持基板の開口部部分の平面説明図である。 同じく保持基板の開口部の１つの隅部の斜視説明図である。 本発明の第３実施形態における保持基板の開口部部分のノズル配列方向と直交する方向に沿う拡大断面説明図である。 同じく保持基板の開口部部分の平面説明図である。 本発明の第４実施形態における保持基板の開口部部分のノズル配列方向と直交する方向に沿う拡大断面説明図である。 同じく保持基板の開口部部分の平面説明図である。 開口部の隅部の曲面形状の説明に供する説明図である。 同じく開口部の隅部の曲面形状の説明に供する説明図である。 本発明に係る液体を吐出する装置の一例の要部平面説明図である。 同装置の要部側面説明図である。 本発明に係る液体吐出ユニットの他の例の要部平面説明図である。 本発明に係る液体吐出ユニットの更に他の例の正面説明図である。

以下、本発明の実施の形態について添付図面を参照して説明する。本発明に係る液体吐出ヘッドの一例について図１ないし図４を参照して説明する。図１は同液体吐出ヘッドの分解斜視説明図、図２は同じくノズル配列方向と直交する方向に沿う断面説明図、図３は図２の要部拡大断面説明図、図４は同じくノズル配列方向に沿う要部断面説明図である。

この液体吐出ヘッドは、ノズル板１と、流路板２と、振動板３と、圧力発生素子である圧電素子１１と、保持基板５０と、配線部材６０と、共通液室部材を兼ねるフレーム部材７０とを備えている。

ここで、流路板２、振動板３及び圧電素子１１で構成される部分を、本発明における「アクチュエータ基板２０」とする。ただし、アクチュエータ基板２０として独立の部材が形成された後にノズル板１や保持基板５０と接合されることまで意味するものではない。

ノズル板１には、液体を吐出する複数のノズル４が形成されている。ここでは、ノズル４を配列したノズル列を４列配置した構成としている。

流路板２は、ノズル板１及び振動板３とともに、ノズル４が通じる個別液室６、個別液室６に通じる流体抵抗部７、流体抵抗部７が通じる液導入部（通路）８を形成している。

この液導入部８は振動板３の通路（供給口）９と保持基板５０の流路となる開口部５１を介してフレーム部材７０で形成される共通液室１０に通じている。

振動板３は、個別液室６の壁面の一部をなす変形可能な振動領域３０を形成している。そして、この振動板３の振動領域３０の個別液室６と反対側の面には、振動領域３０と一体的に圧電素子１１が設けられ、振動領域３０と圧電素子１１によって圧電アクチュエータ構成している。

圧電素子１１は、振動領域３０側から下部電極１３、圧電層（圧電体）１２及び上部電極１４を順次積層形成して構成している。この圧電素子１１上には絶縁膜２１が形成されている。

複数の圧電素子１１の共通電極となる下部電極１３は、共通配線１５を介して共通電極電源配線パターン１２１に接続されている。なお、下部電極１３は、図４に示すように、ノズル配列方向ですべての圧電素子１１に跨って形成される１つの電極層である。

また、圧電素子１１の個別電極となる上部電極１４は、個別配線１６を介して駆動回路部である駆動ＩＣ（以下、「ドライバＩＣ」という。）５００に接続されている。

ドライバＩＣ５００は、圧電素子列の列間の領域を覆うようにアクチュエータ基板２０にフリップチップボンディングなどの工法により実装されている。

アクチュエータ基板２０に搭載されたドライバＩＣ５００は、駆動波形（駆動信号）が供給される個別電極電源配線パターン１０１と接続されている。

配線部材６０に設けられた配線が、ドライバＩＣ５００と電気的に接続されており、配線部材６０の他端側は装置本体側の制御部に接続される。

そして、アクチュエータ基板２０上には、前述したように共通液室１０と個別液室６側を通じる流路となる開口部５１、圧電素子１１を収容する凹部５２、ドライバＩＣ５００を収容する開口部５３が形成された保持基板５０を設けている。

この保持基板５０は、接着剤によってアクチュエータ基板２０の振動板３側に接合されている。

フレーム部材７０は、各個別液室６に液体を供給する共通液室１０を形成する。なお、共通液室１０は４つのノズル列に対応してそれぞれ設けられる。また、外部からの液体供給口７１（図１）を介して共通液室１０に所要の色の液体が供給される。

フレーム部材７０には、ダンパ部材９０が接合されている。ダンパ部材９０は、共通液室１０の一部の壁面を形成する変形可能なダンパ９１と、ダンパ９１を補強するダンパプレート９２とを有している。

フレーム部材７０はノズル板１の外周部と接合され、アクチュエータ基板２０及び保持基板５０を収容して、このヘッドのフレームを構成している。

そして、ノズル板１の周縁部及びフレーム部材の７０の外周面の一部を覆うノズルカバー部材４５を設けている。

この液体吐出ヘッドにおいては、ドライバＩＣ５００から圧電素子１１の上部電極１４と下部電極１３の間に電圧を与えることで、圧電層１２が電極積層方向、すなわち電界方向に伸張し、振動領域３０と平行な方向に収縮する。

このとき、下部電極１３側は振動領域３０で拘束されているため、振動領域３０の下部電極１３側に引っ張り応力が発生し、振動領域３０が個別液室６側に撓み、内部の液体を加圧することで、ノズル４から液体が吐出される。

次に、本発明の第１実施形態について図５ないし図７も参照して説明する。図５は同実施形態における保持基板の開口部部分のノズル配列方向と直交する方向に沿う拡大断面説明図、図６は同じく保持基板の開口部部分の平面説明図、図７は同じく保持基板の開口部の１つの隅部の斜視説明図である。

保持基板５０には、共通液室１０と個別液室６側とを通じる流路となる開口部５１が形成されている。この開口部５１は、ノズル配列方向で複数の個別液室６に対応する長さを有し、平面視では、ほぼ矩形状に形成されている。なお、本実施形態では、アクチュエータ基板２０側の開口部９よりも保持基板５０の開口部５１が大きく形成されているが、図２に示しているように同じ大きさでもよい。

ここで、保持基板５０の開口部５１の短辺の壁面５１ａと長辺の壁面５１ｂとの４つの隅部５６は、図６及び図７に示すように、曲面形状に形成されている。

この場合、隅部５６は、アクチュエータ基板２０側との接合面からフレーム部材７０との接合面までの全領域にわたって、つまり、全部が曲面形状に形成されている。

ここで、比較例について図８及び図９も参照して説明する。図８は比較例の説明に供する保持基板の平面説明図、図９は同じく保持基板の開口部の１つの隅部の斜視説明図である。

この比較例は、保持基板５０の開口部５１の４つの隅部５７を直角形状にしたものであり、短辺の壁面５１ａと長辺の壁面５１ｂとが直角に交差している。

次に、本実施形態の作用について説明する。

図５に示すように、保持基板５０をアクチュエータ基板２０に接着剤８０で接合したとき、接合部分から開口部５１側に接着剤８０がはみ出すことがある。

このとき、図８及び図９に示す比較例ように、開口部５１の隅部５７が角形状であるときには、隅部５７に表面張力に起因した毛管現象が発生する。そのため、比較例では、接合部分からはみ出した接着剤８０が、毛管現象によって開口部５１の隅部５７を伝って、フレーム部材７０との接合面（アクチュエータ基板２０との接合面と反対側の面）まで流動し、開口部５１からフレーム部材７０との接合面に流れ出す。

これに対し、本実施形態のように、開口部５１の隅部５６が曲面形状であるときには、表面張力に起因した毛管現象が抑えられる。そのため、接合部からはみ出した接着剤８０が、フレーム部材７０との接合面まで流動して、開口部５１からフレーム部材７０との接合面に流れ出すことが抑制される。

これにより、異物の発生や保持基板５０とフレーム部材７０との接合界面の信頼性低下も抑制できる。

なお、本実施形態では、４つの隅部５６はすべてを曲面形状に形成しているが、接合部分からの接着剤のはみ出し量が多くなる隅部のみを曲面形状に形成する構成とすることもできる。

次に、本発明の第２実施形態について図１０ないし図１２を参照して説明する。図１０は同実施形態における保持基板の開口部部分のノズル配列方向と直交する方向に沿う拡大断面説明図、図１１は同じく保持基板の開口部部分の平面説明図、図１２は同じく保持基板の開口部の１つの隅部の斜視説明図である。

本実施形態では、アクチュエータ基板２０側との接合面からフレーム部材７０との接合面までの間の隅部５６の一部に曲面形状部５８が形成されている。

このように構成した場合でも、曲面形状部５８で毛管現象が低減されて、曲面形状部５８を超えて接着剤がフレーム部材７０との接合面側まで流動することが抑制される。

次に、本発明の第３実施形態について図１３及び図１４を参照して説明する。図１３は同実施形態における保持基板の開口部部分のノズル配列方向と直交する方向に沿う拡大断面説明図、図１４は同じく保持基板の開口部部分の平面説明図である。

本実施形態では、保持基板５０の開口部５１は、共通液室１０側の第１開口部１５１と、個別液室６側（アクチュエータ基板２０側）の第２開口部１５２とを含んでいる。第１開口部１５１の開口面積は第２開口部１５２の開口面積よりも小さくし、第１開口部１５１と第２開口部１５２との間には段差１５３を設けている。

そして、第１開口部１５１の隅部１５６は、前記第１実施形態と同様に、曲面形状に形成されている。一方、第２開口部１５２の隅部１５７は、角形状に形成されている。

本実施形態では、保持基板５０とアクチュエータ基板２０との接合部分からはみ出した接着剤８０は、第２開口部１５２の隅部１５７が角形状であるので、毛管現象によって第１開口部１５１側に流動するが、段差部１５３が接着剤溜まりとなる。

これにより、第２開口部１５２を伝った接着剤８０が第１開口部１５１側に流動することが低減される。

そして、段差部１５３を超えて第１開口部１５１側に流動しようとする接着剤８０は、第１開口部１５１の隅部１５６が曲面形状に形成され、毛管現象の発生が抑えられる。

これにより、第１開口部１５１の隅部１５６からフレーム部材７０との接合面側に流動することが抑制され、フレーム部材７０との接合面側への流れ出しが抑制される。

次に、本発明の第４実施形態について図１５及び図１６を参照して説明する。図１５は同実施形態における保持基板の開口部部分のノズル配列方向と直交する方向に沿う拡大断面説明図、図１６は同じく保持基板の開口部部分の平面説明図である。

本実施形態では、上記第３実施形態における第２開口部１５２の隅部１５８も、曲面形状に形成されている。

このように構成したので、段差部１５３を大きくすることなく、より確実に第１開口部１５１の隅部１５６からフレーム部材７０との接合面側に流動することが抑制される。

次に、開口部の隅部の曲面形状について図１７及び図１８に参照して説明する。

まず、保持基板５０の開口部５１は、前記第１実施形態と同様に途中に段差のない形状とし、図１７に示すように、開口部５１のノズル配列方向と直交する方向の幅（開口幅）Ｌを２５０μｍとし、隅部５６を、半径Ｒ＝１２５μｍ、６０μｍ、４０μｍの円弧形状としたときの接着剤のフレーム部材７０との接合面への流れ出しを評価した。

同様に、開口部５１の開口幅Ｌを２００μｍとし、隅部５６を、半径Ｒ＝１００μｍ、２０μｍの円弧形状としたときの接着剤のフレーム部材７０との接合面への流れ出しを評価した。同様に、開口部５１の開口幅Ｌを１６０μｍとし、隅部５６を、半径Ｒ＝８０μｍ、２０μｍの円弧形状としたときの接着剤のフレーム部材７０との接合面への流れ出しを評価した。

評価結果は、図１７に示している。

この結果から、開口部５１の隅部５６の曲面形状は、開口部５１のノズル配列方向と直交する方向における幅（開口幅）の６／２５ないし１／２を半径とする円弧形状であることで、流れ出しを防止する上で好ましいことが分かる。

次に、図８に示すように、開口部５１（段差無し）及び第１開口部１５１（段差有り）の開口幅Ｌを２５０μｍとし、円弧形状の半径Ｒと開口部の段差部１５３の有無との組み合わせを変化させて接着剤のフレーム部材７０との接合面への流れ出しを評価した。

評価結果は、図１８に示している。なお、図１８では、開口部５１及び第１開口部１５１は「開口部」と表記している。

この図１８に示すように、半径Ｒが４０μｍであるとき、段差部１５３がない第１実施形態の構成では接着剤の流れ出しが生じるが、段差部１５３があるときには接着剤の流れ出しがないことが分かる。

この結果と図１７の結果より、第１開口部１５１の隅部１５６の曲面形状は、開口部１５１のノズル配列方向と直交する方向における幅（開口幅）の４／２５ないし１／２を半径とする円弧形状であることで、流れ出しを防止する上で好ましいことが分かる。

このように、段差部１５３を設けることで、半径Ｒを小さくしても、接着剤の流れ出しを抑制できる。

次に、本発明に係る液体を吐出する装置の一例について図１９及び図２０を参照して説明する。図１９は同装置の要部平面説明図、図２０は同装置の要部側面説明図である。

この装置は、シリアル型装置であり、主走査移動機構４９３によって、キャリッジ４０３は主走査方向に往復移動する。主走査移動機構４９３は、ガイド部材４０１、主走査モータ４０５、タイミングベルト４０８等を含む。ガイド部材４０１は、左右の側板４９１Ａ、４９１Ｂに架け渡されてキャリッジ４０３を移動可能に保持している。そして、主走査モータ４０５によって、駆動プーリ４０６と従動プーリ４０７間に架け渡したタイミングベルト４０８を介して、キャリッジ４０３は主走査方向に往復移動される。

このキャリッジ４０３には、本発明に係る液体吐出ヘッド４０４及びヘッドタンク４４１を一体にした液体吐出ユニット４４０を搭載している。液体吐出ユニット４４０の液体吐出ヘッド４０４は、例えば、イエロー（Ｙ）、シアン（Ｃ）、マゼンタ（Ｍ）、ブラック（Ｋ）の各色の液体を吐出する。また、液体吐出ヘッド４０４は、複数のノズルからなるノズル列を主走査方向と直交する副走査方向に配置し、吐出方向を下方に向けて装着している。

液体吐出ヘッド４０４の外部に貯留されている液体を液体吐出ヘッド４０４に供給するための供給機構４９４により、ヘッドタンク４４１には、液体カートリッジ４５０に貯留されている液体が供給される。

供給機構４９４は、液体カートリッジ４５０を装着する充填部であるカートリッジホルダ４５１、チューブ４５６、送液ポンプを含む送液ユニット４５２等で構成される。液体カートリッジ４５０はカートリッジホルダ４５１に着脱可能に装着される。ヘッドタンク４４１には、チューブ４５６を介して送液ユニット４５２によって、液体カートリッジ４５０から液体が送液される。

この装置は、用紙４１０を搬送するための搬送機構４９５を備えている。搬送機構４９５は、搬送手段である搬送ベルト４１２、搬送ベルト４１２を駆動するための副走査モータ４１６を含む。

搬送ベルト４１２は用紙４１０を吸着して液体吐出ヘッド４０４に対向する位置で搬送する。この搬送ベルト４１２は、無端状ベルトであり、搬送ローラ４１３と、テンションローラ４１４との間に掛け渡されている。吸着は静電吸着、あるいは、エアー吸引などで行うことができる。

そして、搬送ベルト４１２は、副走査モータ４１６によってタイミングベルト４１７及びタイミングプーリ４１８を介して搬送ローラ４１３が回転駆動されることによって、副走査方向に周回移動する。

さらに、キャリッジ４０３の主走査方向の一方側には搬送ベルト４１２の側方に液体吐出ヘッド４０４の維持回復を行う維持回復機構４２０が配置されている。

維持回復機構４２０は、例えば液体吐出ヘッド４０４のノズル面（ノズルが形成された面）をキャッピングするキャップ部材４２１、ノズル面を払拭するワイパ部材４２２などで構成されている。

主走査移動機構４９３、供給機構４９４、維持回復機構４２０、搬送機構４９５は、側板４９１Ａ，４９１Ｂ、背板４９１Ｃを含む筐体に取り付けられている。

このように構成したこの装置においては、用紙４１０が搬送ベルト４１２上に給紙されて吸着され、搬送ベルト４１２の周回移動によって用紙４１０が副走査方向に搬送される。

そこで、キャリッジ４０３を主走査方向に移動させながら画像信号に応じて液体吐出ヘッド４０４を駆動することにより、停止している用紙４１０に液体を吐出して画像を形成する。

このように、この装置では、本発明に係る液体吐出ヘッドを備えているので、高画質画像を安定して形成することができる。

次に、本発明に係る液体吐出ユニットの他の例について図２１を参照して説明する。図２１は同ユニットの要部平面説明図である。

この液体吐出ユニットは、前記液体を吐出する装置を構成している部材のうち、側板４９１Ａ、４９１Ｂ及び背板４９１Ｃで構成される筐体部分と、主走査移動機構４９３と、キャリッジ４０３と、液体吐出ヘッド４０４で構成されている。

なお、この液体吐出ユニットの例えば側板４９１Ｂに、前述した維持回復機構４２０、及び供給機構４９４の少なくともいずれかを更に取り付けた液体吐出ユニットを構成することもできる。

次に、本発明に係る液体吐出ユニットの更に他の例について図２２を参照して説明する。図２２は同ユニットの正面説明図である。

この液体吐出ユニットは、流路部品４４４が取付けられた液体吐出ヘッド４０４と、流路部品４４４に接続されたチューブ４５６で構成されている。

なお、流路部品４４４はカバー４４２の内部に配置されている。流路部品４４４に代えてヘッドタンク４４１を含むこともできる。また、流路部品４４４の上部には液体吐出ヘッド４０４と電気的接続を行うコネクタ４４３が設けられている。

本願において、「液体を吐出する装置」は、液体吐出ヘッド又は液体吐出ユニットを備え、液体吐出ヘッドを駆動させて、液体を吐出させる装置である。液体を吐出する装置には、液体が付着可能なものに対して液体を吐出することが可能な装置だけでなく、液体を気中や液中に向けて吐出する装置も含まれる。

この「液体を吐出する装置」は、液体が付着可能なものの給送、搬送、排紙に係わる手段、その他、前処理装置、後処理装置なども含むことができる。

例えば、「液体を吐出する装置」として、液体を吐出させて媒体に画像を形成する装置である画像形成装置、立体造形物（三次元造形物）を造形するために、粉体を層状に形成した粉体層に造形液を吐出させる立体造形装置（三次元造形装置）がある。

また、「液体を吐出する装置」は、吐出された液体によって文字、図形等の有意な画像が可視化されるものに限定されるものではない。例えば、それ自体意味を持たないパターン等を形成するもの、三次元像を造形するものも含まれる。

上記「液体が付着可能もの」とは液体が一時的にでも付着可能なものを意味する。「液体が付着するもの」の材質は、紙、糸、繊維、布帛、皮革、金属、プラスチック、ガラス、木材、セラミックスなど液体が一時的でも付着可能であればよい。

また、「液体」は、インク、処理液、ＤＮＡ試料、レジスト、パターン材料、結着剤、造形液なども含まれる。

また、「液体を吐出する装置」には、特に限定しない限り、液体吐出ヘッドを移動させるシリアル型装置、液体吐出ヘッドを移動させないライン型装置のいずれも含まれる。

また、「液体を吐出する装置」としては他にも、用紙の表面を改質するなどの目的で用紙の表面に処理液を塗布するために処理液を用紙に吐出する処理液塗布装置、原材料を溶液中に分散した組成液をノズルを介して噴射させて原材料の微粒子を造粒する噴射造粒装置などがある。

「液体吐出ユニット」とは、液体吐出ヘッドに機能部品、機構が一体化したものであり、液体の吐出に関連する部品の集合体である。例えば、「液体吐出ユニット」は、ヘッドタンク、キャリッジ、供給機構、維持回復機構、主走査移動機構の構成の少なくとも一つを液体吐出ヘッドと組み合わせたものなどが含まれる。

ここで、一体化とは、例えば、液体吐出ヘッドと機能部品、機構が、締結、接着、係合などで互いに固定されているもの、一方が他方に対して移動可能に保持されているものを含む。また、液体吐出ヘッドと、機能部品、機構が互いに着脱可能に構成されていても良い。

例えば、液体吐出ユニットとして、図２０で示した液体吐出ユニット４４０のように、液体吐出ヘッドとヘッドタンクが一体化されているものがある。また、チューブなどで互いに接続されて、液体吐出ヘッドとヘッドタンクが一体化されているものがある。ここで、これらの液体吐出ユニットのヘッドタンクと液体吐出ヘッドとの間にフィルタを含むユニットを追加することもできる。

また、液体吐出ユニットとして、液体吐出ヘッドとキャリッジが一体化されているものがある。

また、液体吐出ユニットとして、液体吐出ヘッドを走査移動機構の一部を構成するガイド部材に移動可能に保持させて、液体吐出ヘッドと走査移動機構が一体化されているものがある。また、図２１で示したように、液体吐出ユニットとして、液体吐出ヘッドとキャリッジと主走査移動機構が一体化されているものがある。

また、液体吐出ユニットとして、液体吐出ヘッドが取り付けられたキャリッジに、維持回復機構の一部であるキャップ部材を固定させて、液体吐出ヘッドとキャリッジと維持回復機構が一体化されているものがある。

また、液体吐出ユニットとして、図２２で示したように、ヘッドタンク若しくは流路部品が取付けられた液体吐出ヘッドにチューブが接続されて、液体吐出ヘッドと供給機構が一体化されているものがある。

主走査移動機構は、ガイド部材単体も含むものとする。また、供給機構は、チューブ単体、装填部単体も含むものする。

また、「液体吐出ヘッド」は、使用する圧力発生手段が限定されるものではない。例えば、上記実施形態で説明したような圧電アクチュエータ（積層型圧電素子を使用するものでもよい。）以外にも、発熱抵抗体などの電気熱変換素子を用いるサーマルアクチュエータ、振動板と対向電極からなる静電アクチュエータなどを使用するものでもよい。

また、本願の用語における、画像形成、記録、印字、印写、印刷、造形等はいずれも同義語とする。

１ ノズル板
２ 流路板
３ 振動板
４ ノズル
６ 個別液室
１０ 共通液室
１１ 圧電素子
１４ 上部電極（個別電極）
１６ 個別配線
２０ アクチュエータ基板
５０ 保持基板
５１ 開口部
５６ 隅部
６０ 配線部材
７０ フレーム部材
８０ 接着剤
１５１ 第１開口部
１５２ 第２開口部
１５３ 段差部
１５６ 隅部
１５７ 隅部
４０３ キャリッジ
４０４ 液体吐出ヘッド
４４０ 液体吐出ユニット

Claims (6)

1. 液体を吐出するノズルに通じる個別液室及び前記個別液室の液体を加圧する圧力発生素子が配列されたアクチュエータ基板と、
   前記圧力発生素子を収容する凹部が形成された保持基板と、を有し、
   前記保持基板は、前記アクチュエータ基板に接着剤で接合され、
   前記アクチュエータ基板には、前記個別液室に通じる開口部が形成され、
   前記保持基板には、前記アクチュエータ基板の開口部に通じる開口部が形成され、
   少なくとも、前記アクチュエータ基板と前記保持基板との接合面において、前記保持基板の開口部は前記アクチュエータ基板の開口部よりも大きく、
   前記保持基板の開口部は、前記アクチュエータ基板の開口部側とは反対側の第１開口部と、前記アクチュエータ基板の開口部側の第２開口部と、を含み、
   前記第１開口部の開口面積は前記第２開口部の開口面積よりも小さく、
   前記第１開口部と前記第２開口部との間には開口部全面に段差があり、
   前記第１開口部の隅部は、少なくとも一部が曲面形状に形成され、
   少なくとも、前記保持基板の前記第２開口部が前記アクチュエータ基板の開口部よりも大きい
   ことを特徴とする液体吐出ヘッド。
2. 前記保持基板の前記第１開口部の隅部の曲面形状は、前記第１開口部のノズル配列方向と直交する方向における幅の４／２５ないし１／２を半径とする円弧形状である
   ことを特徴とする請求項１に記載の液体吐出ヘッド。
3. 前記保持基板の前記第２開口部の隅部は、少なくとも一部が曲面形状に形成されている
   ことを特徴とする請求項１に記載の液体吐出ヘッド。
4. 請求項１ないし３のいずれかに記載の液体吐出ヘッドを含むことを特徴とする液体吐出ユニット。
5. 前記液体吐出ヘッドに供給する液体を貯留するヘッドタンク、前記液体吐出ヘッドを搭載するキャリッジ、前記液体吐出ヘッドに液体を供給する供給機構、前記液体吐出ヘッドの維持回復を行う維持回復機構、前記液体吐出ヘッドを主走査方向に移動させる主走査移動機構の少なくともいずれか一つと前記液体吐出ヘッドとを一体化した
   ことを特徴とする請求項４に記載の液体吐出ユニット。
6. 請求項１ないし３のいずれかに記載の液体吐出ヘッド、又は、請求項４若しくは５に記載の液体吐出ユニットを備えていることを特徴とする液体を吐出する装置。

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