JP6999088B2 - 液体吐出ヘッド、液体吐出ユニット、液体を吐出する装置 - Google Patents

Description

本発明は液体吐出ヘッド、液体吐出ユニット、液体を吐出する装置に関する。

液体を吐出する液体吐出ヘッドとして、ノズルに通じる個別液室に供給する液体から異物等を除去するフィルタを備えるものがある。

例えば、従来、ノズル孔に連通する液体供給室と、液体が貯留された液体貯留手段に連通する液体導入路と、液体導入路と液体供給室とを連通する液体流路とを備え、液体流路は、液体流路を通流する液体を濾過するフィルタと、フィルタよりも液体の通流方向の上流側であって、フィルタよりも鉛直方向の下側に形成された第一液体室と、フィルタよりも通流方向の下流側であって、フィルタよりも鉛直方向の上側に形成された第二液体室とを備え、フィルタが設けられた少なくとも一部の領域において、鉛直方向に沿う第二液体室の高さは、鉛直方向に沿う第一液体室の高さよりも低くなっている構成としたものがある（特許文献１）。

特開２０１４－１５１５３９号公報

特許文献１に開示のようにフィルタの下流側における液体の流れの方向がフィルタにおける液体透過方向と交差する方向である構成とした場合、フィルタの下流側に流体抵抗部を配置するときには、所要の流体抵抗値を確保するため、流体抵抗部を設けた供給流路の入口をフィルタの面内方向端部よりも下流側に配置している。

このように流体抵抗部を設けた供給流路の入口位置をフィルタの端部位置に応じた位置にしなければならないのでは、流体抵抗部を設けた供給流路の配置位置の自由度がなく、特にフィルタ面積を大きくしようとするとヘッドが大型化するという課題がある。

本発明は上記の課題に鑑みてなされたものであり、フィルタ面積を大きくしつつヘッドの大型化を抑制することを目的とする。

上記の課題を解決するため、本発明の請求項１に係る液体吐出ヘッドは、
液体を吐出する複数のノズルと、
前記ノズルに連通する個別液室と、
前記個別液室に通じる供給流路と、
前記供給流路の上流側に配置されたフィルタと、を備え、
前記供給流路は、前記フィルタにおける液体透過方向と交差する方向に前記液体が流れる流路であり、
前記供給流路は、前記フィルタにおける液体透過方向に投影したとき、前記供給流路の入口部分が前記フィルタに重複する位置に配置され、
前記供給流路を形成している第１板状部材と、
前記フィルタを形成している第２板状部材と、を備え、
前記第１板状部材と前記第２板状部材との間に、前記供給流路の入口部分の外壁面と前記フィルタとの間に隙間を形成する第３板状部材が介在し、
前記供給流路の一部に流体抵抗部を有し、
前記流体抵抗部は、前記フィルタにおける液体透過方向に投影したとき、前記流体抵抗の入口部分が前記フィルタに重複する位置に配置され、
前記個別液室に通じる排出流路を備えている
構成とした。

本発明によれば、フィルタ面積を大きくしつつヘッドの大型化を抑制することができる。

本発明の第１実施形態に係る液体吐出ヘッドのノズル配列方向と直交する方向の断面説明図である。 同ヘッドの要部平面説明図である。 比較例に係る液体吐出ヘッドのノズル配列方向と直交する方向の断面説明図である。 本発明の第２実施形態に係る液体吐出ヘッドのノズル配列方向と直交する方向の断面説明図である。 本発明の第３実施形態に係る液体吐出ヘッドのノズル配列方向と直交する方向の断面説明図である。 本発明の第４実施形態に係る液体吐出ヘッドのノズル配列方向と直交する方向の断面説明図である。 本発明の第５実施形態に係る液体吐出ヘッドのノズル配列方向と直交する方向の断面説明図である。 本発明の第６実施形態に係る液体吐出ヘッドのノズル配列方向と直交する方向の断面説明図である。 本発明に係る液体を吐出する装置の一例の要部平面説明図である。 同装置の要部側面説明図である。 本発明に係る液体吐出ユニットの他の例の要部平面説明図である。 本発明に係る液体吐出ユニットの更に他の例の正面説明図である。 本発明に係る液体を吐出する装置の他の例の概略説明図である。 同装置のヘッドユニットの平面説明図である。 同装置における液体循環システムの一例の説明に供するブロック説明図である。

以下、本発明の実施形態について添付図面を参照して説明する。本発明の第１実施形態に係る液体吐出ヘッドについて図１及び図２を参照して説明する。図１は同液体吐出ヘッドのノズル配列方向と直交する方向の断面説明図、図２は同ヘッドの要部平面説明図である。

この液体吐出ヘッドは、ノズル板１と、流路板２と、壁面部材としての振動板部材３とを積層接合している。そして、振動板部材３の振動領域（振動板）３０を変位させる圧電アクチュエータ１１と、ヘッドのフレーム部材を兼ねている共通液室部材２０と、カバー２９を備えている。

ノズル板１は、液体を吐出する複数のノズル４を有している。

流路板２は、ノズル４にノズル連通路５を介して通じる個別液室６、個別液室６に通じる供給流路を構成する供給側流体抵抗部７、供給側流体抵抗部７に通じる供給側導入部８を形成している。なお、供給側導入部８は、２以上の供給側流体抵抗部７に通じる構成としている。

振動板部材３は、流路板２の個別液室６の壁面を形成する変形可能な振動領域３０を有する。ここでは、振動板部材３は２層構造（限定されない）とし、流路板２側から薄肉部を形成する第１層と、厚肉部を形成する第２層で形成され、第１層で個別液室６に対応する部分に変形可能な振動領域３０を形成している。

そして、振動板部材３の個別液室６とは反対側に、振動板部材３の振動領域３０を変形させる駆動手段（アクチュエータ手段、圧力発生手段）としての電気機械変換素子を含む圧電アクチュエータ１１を配置している。

この圧電アクチュエータ１１は、ベース部材１３上に接合した圧電部材にハーフカットダイシングによって溝加工をして、ノズル配列方向において、所要数の柱状の圧電素子１２を所定の間隔で櫛歯状に形成している。

そして、圧電素子１２を振動板部材３の振動領域（振動板）３０に形成した島状の厚肉部である凸部３０ａに接合している。

この圧電素子１２は、圧電層と内部電極とを交互に積層したものであり、内部電極がそれぞれ端面に引き出されて外部電極が設けられ、外部電極にフレキシブル配線部材１５が接続されている。

共通液室部材２０は、供給側共通液室１０を形成し、供給側共通液室１０には外部から液体を供給する供給路２１に通じている。

供給側共通液室１０は、供給側フィルタ９を介して供給側導入部８に通じている。供給側フィルタ９は多数のフィルタ孔９ａを有し、振動板部材３の第１層にて形成している。

このように構成した液体吐出ヘッドにおいては、例えば圧電素子１２に与える電圧を基準電位（中間電位）から下げることによって圧電素子１２が収縮し、振動板部材３の振動領域３０が引かれて個別液室６の容積が膨張することで、個別液室６内に液体が流入する。

その後、圧電素子１２に印加する電圧を上げて圧電素子１２を積層方向に伸長させ、振動板部材３の振動領域３０をノズル４に向かう方向に変形させて個別液室６の容積を収縮させることにより、個別液室６内の液体が加圧され、ノズル４から液体が吐出される。

なお、ヘッドの駆動方法については上記の例（引き－押し打ち）に限るものではなく、駆動波形の与えた方によって引き打ちや押し打ちなどを行なうこともできる。

次に、本実施形態における流体抵抗部及びフィルタの構成及び配置について説明する。

流路板２は、ノズル板４側から４枚の板状部材２Ａ、２Ｂ、２Ｃ、２Ｄを積層して構成し、板状部材２Ｄに供給側フィルタ９を形成している振動板部材３を接合積層している。

供給側流体抵抗部７は、板状部材２Ｃ、２Ｂ、２Ａによって構成され、板状部材２Ｃによってノズル配列方向の両端位置（入口位置及び出口位置）が規定されている。

そして、供給側流体抵抗部７を形成している第１板状部材である板状部材２Ｃと供給側フィルタ９を形成している第２板状部材である振動板部材３との間に、第３板状部材である板状部材２Ｄを介在配置している。この板状部材２Ｄによって板状部材２Ｃと振動板部材３との間に隙間１８が設けられる。

この構成においては、供給側流体抵抗部７における液体の流れは、供給側フィルタ９の面内方向に沿う方向であり、供給側フィルタ９における液体透過方向と交差（ここでは、直交）する方向となる。

そして、供給側流体抵抗部７を形成している板状部材２Ｃは、板状部材２Ｄによって、隙間１８を置いたまま供給側導入部８にせり出して配置される。これにより、供給側流体抵抗部７は、供給側フィルタ９における液体透過方向に投影したとき、供給側流体抵抗部７の入口部分７ａが供給側フィルタ９に重複する位置に配置される。

つまり、供給側流体抵抗部７を形成している板状部材２Ｃの入口部分７ａに対応する部分は、隙間１８を置いて供給側フィルタ９に対向している。

このように、供給側流体抵抗部７の入口部分を供給側フィルタ９に重複して配置することで、供給側流体抵抗部７の配置位置が供給側フィルタ９の位置による影響を受けることがなくなる。

これにより、供給側流体抵抗部７の配置位置を変更することなく、供給側フィルタ９のフィルタ面積を大きくすることができ、フィルタ面積を大きくすることによるヘッドの大型化を抑制できる。

なお、ここでは供給側導入部８から直接供給側流体抵抗部７につながる構成としているが、これに限るものではなく、供給側導入部８から個別液室６へとつながる個別供給流路の一部に流体抵抗部が設けられる構成でもよい。この場合は、個別供給流路の入口部分を供給側フィルタ９に重複して配置することで、個別供給流路（供給側流体抵抗部７）の配置位置が供給側フィルタ９の位置による影響を受けることがなくなる。

この点について、図３に示す比較例も参照して説明する。

この比較例は、供給側フィルタ９を形成している振動板部材３によって供給側流体抵抗部７の壁面を形成している。

そのため、供給側流体抵抗部７の入口は供給側フィルタ９に最も近付けた場合でもノズル配列方向と直交する方向の端Ｅよりも個別液室６側になる。

したがって、供給側流体抵抗部７の流体抵抗値を確保するためには、供給側フィルタ９のフィルタ面積を個別液室６側に大きくすることはできず、本実施形態と異なり、ヘッドが大型化することになる。

次に、本発明の第２実施形態に係る液体吐出ヘッドについて図４を参照して説明する。図４は同ヘッドのノズル配列方向と直交する方向の断面説明図である。

この液体吐出ヘッドは循環型ヘッドである。ここでは、流路板２を５枚の板状部材２Ａ～２Ｅを積層して構成することによって、ノズル連通路５を介して個別液室６に通じる排出流路を構成する排出側流体抵抗部５７と、排出側導出部５８とを形成している。

また、共通液室部材２０は、供給側共通液室１０とともに排出側共通液室５０を形成している。さらに、振動板部材３によって排出側導出部５８と排出側共通液室５０との間に配置する排出側フィルタ５９を形成している。

本実施形態においても、供給側流体抵抗部７及び供給側フィルタ９の配置及び構造は、前記第１実施形態と同様である。

次に、本発明の第３実施形態に係る液体吐出ヘッドについて図５を参照して説明する。図５は同ヘッドのノズル配列方向と直交する方向の断面説明図である。

この液体吐出ヘッドにおいては、共通液室部材２０は第１部材２０Ａと第２部材２０Ｂとで構成して、第１部材２０Ａと第２部材２０Ｂとの間にフィルタ９を配置し、下流側共通液室１０Ａと上流側共通液室１０Ｂを形成している。

また、振動板部材３の１層を使用して下流側共通液室１０Ａの壁面を形成するダンパ８０を設け、流路板２でダンパ８０と反対側にダンパ室８１を形成している。

このように、ダンパ８０を配置する構成にあっても、供給側流体抵抗部７の配置位置が供給側フィルタ９による影響を受けないので、ヘッドの大型化を抑制することができ、相対的にダンパ８０も大きくすることができる。

次に、本発明の第４実施形態に係る液体吐出ヘッドについて図６を参照して説明する。図６は同ヘッドのノズル配列方向と直交する方向の断面説明図である。

本実施形態は、前記第１実施形態に係る液体吐出ヘッドにおいて、板状部材２Ｃの供給側流体抵抗部７の入口部分７ａを形成している端面（ノズル配列方向と直交する方向の端面）を傾斜面１７としている。また、板状部材２Ｃと板状部材２Ｄの端面（ノズル配列方向と直交する方向の端面）との境目に目地材１９を付与して角部を低減している。

これにより、供給側フィルタ９を透過した液体は、供給側導入部８内をスムーズに流れて供給側流体抵抗部７に流入することができる。

つまり、供給側流体抵抗部７の入口部分７ａが対向する供給側フィルタ９の領域を通過した液体は、入口部分７ａを形成している板状部材２Ｃの外壁面に向かうことになる。このとき、板状部材２Ｃの端面が角張っていたり、板状部材２Ｃの外壁面と板状部材２Ｄの端面とのつなぎ部分が角張っていたりすると、液体の流れに乱れが生じ、供給側流体抵抗部７の入口部分７ａに流入するときの液体の流れが乱れて安定した液体供給を行うことができなくなるおそれがある。そこで、供給側導入部８内での液体の流れをスムーズにすることで、安定した液体供給を行うことができるようになる。

次に、本発明の第５実施形態に係る液体吐出ヘッドについて図７を参照して説明する。図７は同ヘッドのノズル配列方向と直交する方向の断面説明図である。

本実施形態は、前記第２実施形態に係る液体吐出ヘッドにおいて、板状部材２Ｄの供給側流体抵抗部７の入口部分７ａを形成している端面（ノズル配列方向と直交する方向の端面）を傾斜面１７としている。また、板状部材２Ｄと板状部材２Ｅの端面（ノズル配列方向と直交する方向の端面）との境目に目地材１９を付与して角部を低減している。

これにより、前記第４実施形態と同様に、供給側フィルタ９を透過した液体は、供給側導入部８内をスムーズに流れて供給側流体抵抗部７に流入することができる。

次に、本発明の第６実施形態に係る液体吐出ヘッドについて図８を参照して説明する。図８は同ヘッドのノズル配列方向と直交する方向の断面説明図である。

本実施形態は循環型ヘッドにおいて、ノズル配列方向と直交する方向において、ノズル４を挟んで、一方側に供給系を、他方側に排出系を配置している。

つまり、一方側には、供給側共通液室１０、供給側フィルタ９、供給側導入部８、供給側流体抵抗部７を配置して、供給側共通液室１０から個別液室６に液体を供給する。他方側には、排出側流体抵抗部５７、排出側導出部５８、排出側フィルタ５９、排出側共通液室５０を配置し、個別液室６から排出側共通液室５０に液体を排出する。

ここで、排出側流体抵抗部５７は、ノズル板１と板状部材２Ａ、２Ｂによって構成される。そして、排出側流体抵抗部５７を形成している板状部材２Ｂと排出側フィルタ５９を形成している振動板部材３との間に、板状部材２Ｃ、２Ｄを配置することで、板状部材２Ｂと振動板部材３との間に隙間６８を設けている。

この構成においては、排出側流体抵抗部５７における液体の流れは、排出側フィルタ５９の面内方向に沿う方向であり、排出側フィルタ５９における液体透過方向と交差（ここでは、直交）する方向となる。

そして、排出側流体抵抗部５７を形成している板状部材２Ｂは、板状部材２Ｃ、２Ｄによって、隙間６８を置いたまま排出側導出部５８にせり出して配置される。これにより、排出側流体抵抗部５７は、排出側フィルタ５９における液体透過方向に投影したとき、排出側流体抵抗部５７の出口部分５７ａが排出側フィルタ５９に重複する位置に配置される。

つまり、排出側流体抵抗部５７を形成している板状部材２Ｂの出口部分５７ａに対応する部分は、隙間６８を置いて排出側フィルタ５９に対向している。

これにより、排出側流体抵抗部５７の配置位置が排出側フィルタ５９による影響をうけなくなり、ヘッドの大型化を抑制しつつ、排出側フィルタ５９のフィルタ面積を大きくすることができる。

次に、本発明に係る液体を吐出する装置の一例について図９及び図１０を参照して説明する。図９は同装置の要部平面説明図、図１０は同装置の要部側面説明図である。

この装置は、シリアル型装置であり、主走査移動機構４９３によって、キャリッジ４０３は主走査方向に往復移動する。主走査移動機構４９３は、ガイド部材４０１、主走査モータ４０５、タイミングベルト４０８等を含む。ガイド部材４０１は、左右の側板４９１Ａ、４９１Ｂに架け渡されてキャリッジ４０３を移動可能に保持している。そして、主走査モータ４０５によって、駆動プーリ４０６と従動プーリ４０７間に架け渡したタイミングベルト４０８を介して、キャリッジ４０３は主走査方向に往復移動される。

このキャリッジ４０３には、本発明に係る液体吐出ヘッド４０４及びヘッドタンク４４１を一体にした液体吐出ユニット４４０を搭載している。液体吐出ユニット４４０の液体吐出ヘッド４０４は、例えば、イエロー（Ｙ）、シアン（Ｃ）、マゼンタ（Ｍ）、ブラック（Ｋ）の各色の液体を吐出する。また、液体吐出ヘッド４０４は、複数のノズルからなるノズル列を主走査方向と直交する副走査方向に配置し、吐出方向を下方に向けて装着している。

液体吐出ヘッド４０４の外部に貯留されている液体を液体吐出ヘッド４０４に供給するための供給機構４９４により、ヘッドタンク４４１には、液体カートリッジ４５０に貯留されている液体が供給される。

供給機構４９４は、液体カートリッジ４５０を装着する充填部であるカートリッジホルダ４５１、チューブ４５６、送液ポンプを含む送液ユニット４５２等で構成される。液体カートリッジ４５０はカートリッジホルダ４５１に着脱可能に装着される。ヘッドタンク４４１には、チューブ４５６を介して送液ユニット４５２によって、液体カートリッジ４５０から液体が送液される。

この装置は、用紙４１０を搬送するための搬送機構４９５を備えている。搬送機構４９５は、搬送手段である搬送ベルト４１２、搬送ベルト４１２を駆動するための副走査モータ４１６を含む。

搬送ベルト４１２は用紙４１０を吸着して液体吐出ヘッド４０４に対向する位置で搬送する。この搬送ベルト４１２は、無端状ベルトであり、搬送ローラ４１３と、テンションローラ４１４との間に掛け渡されている。吸着は静電吸着、あるいは、エアー吸引などで行うことができる。

そして、搬送ベルト４１２は、副走査モータ４１６によってタイミングベルト４１７及びタイミングプーリ４１８を介して搬送ローラ４１３が回転駆動されることによって、副走査方向に周回移動する。

さらに、キャリッジ４０３の主走査方向の一方側には搬送ベルト４１２の側方に液体吐出ヘッド４０４の維持回復を行う維持回復機構４２０が配置されている。

維持回復機構４２０は、例えば液体吐出ヘッド４０４のノズル面（ノズルが形成された面）をキャッピングするキャップ部材４２１、ノズル面を払拭するワイパ部材４２２などで構成されている。

主走査移動機構４９３、供給機構４９４、維持回復機構４２０、搬送機構４９５は、側板４９１Ａ，４９１Ｂ、背板４９１Ｃを含む筐体に取り付けられている。

このように構成したこの装置においては、用紙４１０が搬送ベルト４１２上に給紙されて吸着され、搬送ベルト４１２の周回移動によって用紙４１０が副走査方向に搬送される。

そこで、キャリッジ４０３を主走査方向に移動させながら画像信号に応じて液体吐出ヘッド４０４を駆動することにより、停止している用紙４１０に液体を吐出して画像を形成
する。

このように、この装置では、本発明に係る液体吐出ヘッドを備えているので、高画質画像を安定して形成することができる。

次に、本発明に係る液体吐出ユニットの他の例について図１１を参照して説明する。図１１は同ユニットの要部平面説明図である。

この液体吐出ユニットは、前記液体を吐出する装置を構成している部材のうち、側板４９１Ａ、４９１Ｂ及び背板４９１Ｃで構成される筐体部分と、主走査移動機構４９３と、キャリッジ４０３と、液体吐出ヘッド４０４で構成されている。

なお、この液体吐出ユニットの例えば側板４９１Ｂに、前述した維持回復機構４２０、及び供給機構４９４の少なくともいずれかを更に取り付けた液体吐出ユニットを構成することもできる。

次に、本発明に係る液体吐出ユニットの更に他の例について図１２を参照して説明する。図１２は同ユニットの正面説明図である。

この液体吐出ユニットは、流路部品４４４が取付けられた液体吐出ヘッド４０４と、流路部品４４４に接続されたチューブ４５６で構成されている。

なお、流路部品４４４はカバー４４２の内部に配置されている。流路部品４４４に代えてヘッドタンク４４１を含むこともできる。また、流路部品４４４の上部には液体吐出ヘッド４０４と電気的接続を行うコネクタ４４３が設けられている。

次に、本発明に係る液体を吐出する装置の他の例について図１３及び図１４を参照して説明する。図１３は同装置の概略説明図、図１４は同装置のヘッドユニットの平面説明図である。

この装置は、連続媒体５１０を搬入する搬入手段５０１と、搬入手段５０１から搬入された連続媒体５１０を印刷手段５０５に案内搬送する案内搬送手段５０３と、連続媒体５１０に対して液体を吐出して画像を形成する印刷を行う印刷手段５０５と、連続媒体５１０を乾燥する乾燥手段５０７と、連続媒体５１０を排出する排出手段５０９などを備えている。

連続媒体５１０は搬入手段５０１の元巻きローラ５１１から送り出され、搬入手段５０１、案内搬送手段５０３、乾燥手段５０７、排出手段５０９の各ローラによって案内、搬送されて、排出手段５０９の巻取りローラ５９１にて巻き取られる。

この連続媒体５１０は、印刷手段５０５において、搬送ガイド部材５５９上をヘッドユニット５５０及びヘッドユニット５５５に対向して搬送され、ヘッドユニット５５０から吐出される液体によって画像が形成され、ヘッドユニット５５から吐出される処理液で後処理が行われる。

ここで、ヘッドユニット５５０には、例えば、媒体搬送方向上流側から、４色分のフルライン型ヘッドアレイ５５１Ｋ、５５１Ｃ、５５１Ｍ、５５１Ｙ（以下、色の区別しないときは「ヘッドアレイ５５１」という。）が配置されている。

各ヘッドアレイ５５１は、液体吐出手段であり、それぞれ、搬送される連続媒体５１０に対してブラックＫ，シアンＣ、マゼンタＭ、イエローＹの液体を吐出する。なお、色の種類及び数はこれに限るものではない。

ヘッドアレイ５５１は、例えば、本発明に係る複数の液体吐出ヘッド（これを、単に「ヘッド」ともいう。）１０００をベース部材５５２上に千鳥状に並べて配置したものであるが、これに限らない。

次に、この装置における液体循環システムの一例について図１５を参照して説明する。図１５は同システムの説明に供するブロック説明図である。

液体循環システム６３０は、メインタンク６０２、ヘッド１０００、供給タンク６３１、循環タンク６３２、コンプレッサ６３３、真空ポンプ６３４、第１送液ポンプ６３５、第２送液ポンプ６３６、供給側圧力センサ６３７、循環側圧力センサ６３８、レギュレータ（Ｒ）６３９ａ，６３９ｂなどで構成されている。

供給側圧力センサ６３７は、供給タンク６３１とヘッド１０００との間であって、ヘッド１０００の供給ポート４１（図１参照）に繋がった供給側流路に接続されている。循環側圧力センサ６３８は、ヘッド１０００と循環タンク６３２との間であって、ヘッド１０００の排出ポート４２（図１参照）に繋がった排出側流路に接続されている。

循環タンク６３２の一方は、第１送液ポンプ６３５を介して供給タンク６３１と接続されており、循環タンク６３２の他方は第２送液ポンプ６３６を介してメインタンク６０２と接続されている。

これにより、供給タンク６３１から供給ポート７１を通ってヘッド１０００内に液体が流入し、排出ポート７２から排出されて循環タンク６３２へ排出される。そして、さらに第１送液ポンプ６３５によって循環タンク６３２から供給タンク６３１へ液体が送られることによって液体が循環する。

また、供給タンク６３１にはコンプレッサ６３３がつなげられており、供給側圧力センサ６３７で所定の正圧が検知されるように制御される。一方、循環タンク６３２には真空ポンプ６３４がつなげられており、循環側圧力センサ６３８で所定の負圧が検知されるよう制御される。

これにより、ヘッド１０００内を通って液体を循環させつつ、メニスカスの負圧を一定に保つことができる。

また、ヘッド１０００のノズル４から液体を吐出すると、供給タンク６３１及び循環タンク６３２内の液体量が減少していく。そのため、適宜、第２送液ポンプ６３６を用いて、メインタンク６０２から循環タンク６３２に液体を補充する。メインタンク６０２から循環タンク６３２への液体補充のタイミングは、循環タンク６３２内の液体の液面高さが所定高さよりも下がったときに液体補充を行うなど、循環タンク６３２内に設けた液面センサなどの検知結果によって制御することができる。

本願において、吐出される液体は、ヘッドから吐出可能な粘度や表面張力を有するものであればよく、特に限定されないが、常温、常圧下において、または加熱、冷却により粘度が３０ｍＰａ・ｓ以下となるものであることが好ましい。より具体的には、水や有機溶媒等の溶媒、染料や顔料等の着色剤、重合性化合物、樹脂、界面活性剤等の機能性付与材料、ＤＮＡ、アミノ酸やたんぱく質、カルシウム等の生体適合材料、天然色素等の可食材料、などを含む溶液、懸濁液、エマルジョンなどであり、これらは例えば、インクジェット用インク、表面処理液、電子素子や発光素子の構成要素や電子回路レジストパターンの形成用液、３次元造形用材料液等の用途で用いることができる。

液体を吐出するエネルギー発生源として、圧電アクチュエータ（積層型圧電素子及び薄膜型圧電素子）、発熱抵抗体などの電気熱変換素子を用いるサーマルアクチュエータ、振動板と対向電極からなる静電アクチュエータなどを使用するものが含まれる。

「液体吐出ユニット」は、液体吐出ヘッドに機能部品、機構が一体化したものであり、液体の吐出に関連する部品の集合体が含まれる。例えば、「液体吐出ユニット」は、ヘッドタンク、キャリッジ、供給機構、維持回復機構、主走査移動機構の構成の少なくとも一つを液体吐出ヘッドと組み合わせたものなどが含まれる。

ここで、一体化とは、例えば、液体吐出ヘッドと機能部品、機構が、締結、接着、係合などで互いに固定されているもの、一方が他方に対して移動可能に保持されているものを含む。また、液体吐出ヘッドと、機能部品、機構が互いに着脱可能に構成されていても良い。

例えば、液体吐出ユニットとして、液体吐出ヘッドとヘッドタンクが一体化されているものがある。また、チューブなどで互いに接続されて、液体吐出ヘッドとヘッドタンクが一体化されているものがある。ここで、これらの液体吐出ユニットのヘッドタンクと液体吐出ヘッドとの間にフィルタを含むユニットを追加することもできる。

また、液体吐出ユニットとして、液体吐出ヘッドとキャリッジが一体化されているものがある。

また、液体吐出ユニットとして、液体吐出ヘッドを走査移動機構の一部を構成するガイド部材に移動可能に保持させて、液体吐出ヘッドと走査移動機構が一体化されているものがある。また、液体吐出ヘッドとキャリッジと主走査移動機構が一体化されているものがある。

また、液体吐出ユニットとして、液体吐出ヘッドが取り付けられたキャリッジに、維持回復機構の一部であるキャップ部材を固定させて、液体吐出ヘッドとキャリッジと維持回復機構が一体化されているものがある。

また、液体吐出ユニットとして、ヘッドタンク若しくは流路部品が取付けられた液体吐出ヘッドにチューブが接続されて、液体吐出ヘッドと供給機構が一体化されているものがある。このチューブを介して、液体貯留源の液体が液体吐出ヘッドに供給される。

主走査移動機構は、ガイド部材単体も含むものとする。また、供給機構は、チューブ単体、装填部単体も含むものする。

「液体を吐出する装置」には、液体吐出ヘッド又は液体吐出ユニットを備え、液体吐出ヘッドを駆動させて液体を吐出させる装置が含まれる。液体を吐出する装置には、液体が付着可能なものに対して液体を吐出することが可能な装置だけでなく、液体を 気中や液中に向けて吐出する装置も含まれる。

この「液体を吐出する装置」は、液体が付着可能なものの給送、搬送、排紙に係わる手段、その他、前処理装置、後処理装置なども含むことができる。

例えば、「液体を吐出する装置」として、インクを吐出させて用紙に画像を形成する装置である画像形成装置、立体造形物（三次元造形物）を造形するために、粉体を層状に形成した粉体層に造形液を吐出させる立体造形装置（三次元造形装置）がある。

また、「液体を吐出する装置」は、吐出された液体によって文字、図形等の有意な画像が可視化されるものに限定されるものではない。例えば、それ自体意味を持たないパターン等を形成するもの、三次元像を造形するものも含まれる。

上記「液体が付着可能なもの」とは、液体が少なくとも一時的に付着可能なものであって、付着して固着するもの、付着して浸透するものなどを意味する。具体例としては、用紙、記録紙、記録用紙、フィルム、布などの被記録媒体、電子基板、圧電素子などの電子部品、粉体層（粉末層）、臓器モデル、検査用セルなどの媒体であり、特に限定しない限り、液体が付着するすべてのものが含まれる。

上記「液体が付着可能なもの」の材質は、紙、糸、繊維、布帛、皮革、金属、プラスチック、ガラス、木材、セラミックスなど液体が一時的でも付着可能であればよい。

また、「液体を吐出する装置」は、液体吐出ヘッドと液体が付着可能なものとが相対的に移動する装置があるが、これに限定するものではない。具体例としては、液体吐出ヘッドを移動させるシリアル型装置、液体吐出ヘッドを移動させないライン型装置などが含まれる。

また、「液体を吐出する装置」としては、他にも、用紙の表面を改質するなどの目的で用紙の表面に処理液を塗布するために処理液を用紙に吐出する処理液塗布装置、原材料を溶液中に分散した組成液を、ノズルを介して噴射させて原材料の微粒子を造粒する噴射造粒装置などがある。

なお、本願の用語における、画像形成、記録、印字、印写、印刷、造形等はいずれも同義語とする。

１ ノズル板
２ 流路板
３ 振動板
４ ノズル
５ ノズル連通路
６ 個別液室
７ 供給側流体抵抗部
８ 供給側導入部
９ 供給側フィルタ
１０ 供給側共通液室
１１ 圧電アクチュエータ
１８ 隙間
２０ 共通液室部材
５０ 排出側共通液室
５７ 排出側流体抵抗部
５８ 排出側導出部
５９ 排出側フィルタ
４０３ キャリッジ
４０４ 液体吐出ヘッド
４４０ 液体吐出ユニット
６３０ 液体循環システム
１０００ 液体吐出ヘッド

Claims (6)

1. 液体を吐出する複数のノズルと、
   前記ノズルに連通する個別液室と、
   前記個別液室に通じる供給流路と、
   前記供給流路の上流側に配置されたフィルタと、を備え、
   前記供給流路は、前記フィルタにおける液体透過方向と交差する方向に前記液体が流れる流路であり、
   前記供給流路は、前記フィルタにおける液体透過方向に投影したとき、前記供給流路の入口部分が前記フィルタに重複する位置に配置され、
   前記供給流路を形成している第１板状部材と、
   前記フィルタを形成している第２板状部材と、を備え、
   前記第１板状部材と前記第２板状部材との間に、前記供給流路の入口部分の外壁面と前記フィルタとの間に隙間を形成する第３板状部材が介在し、
   前記供給流路の一部に流体抵抗部を有し、
   前記流体抵抗部は、前記フィルタにおける液体透過方向に投影したとき、前記流体抵抗の入口部分が前記フィルタに重複する位置に配置され、
   前記個別液室に通じる排出流路を備えている
   ことを特徴とする液体吐出ヘッド。
2. 前記第１板状部材の流体抵抗部の入口部分を形成している端面が傾斜面であり、
   前記第３板状部材の端面に目地部を有する
   ことを特徴とする請求項１に記載の液体吐出ヘッド。
3. 液体を吐出する複数のノズルと、
   前記ノズルに連通する個別液室と、
   前記個別液室に通じる供給流路と、
   前記供給流路の上流側に配置されたフィルタと、を備え、
   前記供給流路は、前記フィルタにおける液体透過方向と交差する方向に前記液体が流れる流路であり、
   前記供給流路は、前記フィルタにおける液体透過方向に投影したとき、前記供給流路の入口部分が前記フィルタに重複する位置に配置され、
   前記供給流路を形成している第１板状部材と、
   前記フィルタを形成している第２板状部材と、を備え、
   前記第１板状部材と前記第２板状部材との間に、前記供給流路の入口部分の外壁面と前記フィルタとの間に隙間を形成する第３板状部材が介在し、
   前記供給流路の一部に流体抵抗部を有し、
   前記流体抵抗部は、前記フィルタにおける液体透過方向に投影したとき、前記流体抵抗の入口部分が前記フィルタに重複する位置に配置され、
   前記第１板状部材の流体抵抗部の入口部分を形成している端面が傾斜面であり、
   前記第３板状部材の端面に目地部を有する
   ことを特徴とする液体吐出ヘッド。
4. 請求項１ないし３のいずれかに記載の液体吐出ヘッドを含むことを特徴とする液体吐出ユニット。
5. 前記液体吐出ヘッドに供給する液体を貯留するヘッドタンク、前記液体吐出ヘッドを搭載するキャリッジ、前記液体吐出ヘッドに液体を供給する供給機構、前記液体吐出ヘッドの維持回復を行う維持回復機構、前記液体吐出ヘッドを主走査方向に移動させる主走査移動機構の少なくともいずれか一つと前記液体吐出ヘッドとを一体化した
   ことを特徴とする請求項４に記載の液体吐出ユニット。
6. 請求項１ないし３のいずれかに記載の液体吐出ヘッド、又は、請求項４若しくは５に記載の液体吐出ユニットを備えていることを特徴とする液体を吐出する装置。

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