JP7342596B2 - 液体吐出ヘッド、吐出ユニット、液体を吐出する装置 - Google Patents

Description

本発明は液体吐出ヘッド、吐出ユニット、液体を吐出する装置に関する。

液体吐出ヘッドにおいては、相互干渉を抑制するために、例えば、共通流路の壁面を復元可能に変形可能なダンパ領域として伝搬される圧力波を減衰することが行われている。

従来、共通液室部材の壁面の一部に変形可能なダンパ領域を形成する壁面部材を備え、流路板と共通液室部材とは、壁面部材を挟んで積層され、流路板には、ダンパ領域に対応する凹状のダンパ室が形成され、ダンパ室の凹状の底部には、積層方向の対向する壁面部材の壁面に接続される支柱部が設けられ、支柱部は、ノズル配列方向と直交する方向のダンパ室の壁面に設けられた壁部であり、壁部には、空気が通じる１又は複数の通路が形成されているものが知られている（特許文献１）。

特許第６３４７１５９号公報

ところで、ダンパ室に支柱を配置した場合、支柱部に対応するノズルと対応しないノズルとで構造的な圧力室の剛性が異なり、吐出特性のばらつきが生じるおそれがあるという課題がある。

本発明は上記の課題に鑑みてなされたものであり、吐出特性のばらつきを抑制することを目的とする。

上記の課題を解決するため、本発明に係る液体吐出ヘッドは、
液体を吐出する複数のノズルを有するノズル板と、
前記複数のノズルにそれぞれ連通する複数の圧力室を形成する流路板と、
前記複数の圧力室に連通する共通流路を形成する共通流路部材と、
前記共通流路の壁面の一部に変形可能な領域を形成する壁面部材と、を備え、
前記流路板と前記共通流路部材とは前記壁面部材を挟んで配置され、
前記流路板には前記変形可能な領域が臨む気体室が設けられ、
前記流路板は、前記気体室をノズル配列方向において部分的に分断する架橋部を有し、
前記架橋部は、前記壁面部材及び前記ノズル板と接していない
構成とした。

本発明によれば、吐出特性のばらつきを抑制できる。

本発明の第１実施形態に係る液体吐出ヘッドのノズル配列方向と直交する方向に沿う図２のＢ１－Ｂ１線に相当する断面説明図である。 同じく各部材の平面説明図である。 同じくノズル配列方向に沿う図１のＡ１－Ａ１線に相当する断面説明図である。 比較例１の説明図である。 比較例２の説明図である。 比較例３の説明図である。 本発明の第２実施形態に係る液体吐出ヘッドのノズル配列方向と直交する方向に沿う図９のＢ２－Ｂ２線に相当する断面説明図である。 同じく各部材の平面説明図である。 同じくノズル配列方向に沿う図７のＡ２－Ａ２線に相当する断面説明図である。 本発明の第３実施形態に係る液体吐出ヘッドのノズル配列方向と直交する方向に沿う図１１のＢ３－Ｂ３線に相当する断面説明図である。 同じく各部材の平面説明図である。 同じくノズル配列方向に沿う図１０のＡ３－Ａ３線に相当する断面説明図である。 本発明の第４実施形態に係る液体吐出ヘッドのノズル配列方向と直交する方向に沿う図１４のＢ４－Ｂ４線に相当する断面説明図である。 同じく各部材の平面説明図である。 同じくノズル配列方向に沿う図１３のＡ４－Ａ４線に相当する断面説明図である。 本発明の第５実施形態に係る液体吐出ヘッドのノズル配列方向と直交する方向に沿う図１７のＢ５－Ｂ５線に相当する断面説明図である。 同じく各部材の平面説明図である。 同じくノズル配列方向に沿う図１６のＡ５－Ａ５線に相当する断面説明図である。 本発明の第６実施形態に係る液体吐出ヘッドのノズル配列方向と直交する方向に沿う図２０のＢ６－Ｂ６線に相当する断面説明図である。 同じく各部材の平面説明図である。 同じくノズル配列方向に沿う図１９のＡ６－Ａ６線に相当する断面説明図である。 本発明に係る液体を吐出する装置としての印刷装置の一例の要部平面説明図である。 同装置の要部側面説明図である。

以下、本発明の実施形態について添付図面を参照して説明する。本発明の第１実施形態について図１ないし図３を参照して説明する。図１は同実施形態に係る液体吐出ヘッドのノズル配列方向と直交する方向に沿う図２のＢ１－Ｂ１線に相当する断面説明図、図２は同じく各部材の平面説明図、図３は同じくノズル配列方向に沿う図１のＡ１－Ａ１線に相当する断面説明図である。

液体吐出ヘッド１は、ノズル板（ノズル部材）１０と、流路板２０と、壁面部材としての振動板部材３０とを積層接合している。そして、振動板部材３０の振動領域（ダイアフラム領域、振動板）３１を変位させる圧電アクチュエータ４０と、ヘッドのフレーム部材を兼ねている共通流路部材５０とを備えている。

ノズル板１０は、複数のノズル１１を配列したノズル列を有している。

流路板２０は、複数のノズル１１に通じる複数の圧力室２１、各圧力室２１にそれぞれ通じる流体抵抗部を兼ねる個別供給流路２２、１又は複数の個別供給流路２２に通じる１又は複数の中間供給流路２３となる溝を形成している。

振動板部材３０は、流路板２０の圧力室２１の壁面を形成する変位可能な複数の振動領域３１を有する。ここでは、振動板部材３０は２層構造（限定されない）とし、流路板２０側から薄肉部を形成する第１層３０ａと、厚肉部を形成する第２層３０ｂで構成されている。

そして、薄肉部である第１層３０ａで圧力室２１に対応する部分に変形可能な振動領域３１を形成している。振動領域３１内には、第２層３０ｂで圧電アクチュエータ４０と接合する厚肉部である島状の凸部３１ａを形成している。

そして、振動板部材３０の圧力室２１とは反対側に、振動板部材３０の振動領域３１を変形させる駆動手段（アクチュエータ手段、圧力発生手段）としての電気機械変換素子を含む圧電アクチュエータ４０を配置している。

この圧電アクチュエータ４０は、ベース部材４３上に接合した圧電部材４１にハーフカットダイシングによって溝加工をして、ノズル配列方向において、所要数の柱状の圧電素子４２を所定の間隔で櫛歯状に形成している。

そして、複数の圧電素子４２は、交互に駆動電圧が与えられる圧電素子と支柱部となる圧電素子として使用し、駆動電圧が与えられる圧電素子４２は振動領域３１の島状の凸部３１ａに接合されている。また、支柱部となる圧電素子は隣り合う振動領域３１、３１間の厚肉部に接合されている。

圧電部材４１は、圧電層と内部電極とを交互に積層したものであり、内部電極がそれぞれ端面に引き出されて外部電極（端面電極）に接続され、外部電極にフレキシブル配線部材が接続される。

共通流路部材５０は共通流路５１を形成している。共通流路５１は、振動板部材３０に設けた開口部３９を介して中間供給流路２３に通じている。

この液体吐出ヘッド１においては、例えば圧電素子４２に与える電圧を基準電位（中間電位）から下げることによって圧電素子４２が収縮し、振動板部材３０の振動領域３１が引かれて圧力室２１の容積が膨張することで、圧力室２１内に液体が流入する。

その後、圧電素子４２に印加する電圧を上げて圧電素子４２を積層方向に伸長させ、振動板部材３０の振動領域３１をノズル１１に向かう方向に変形させて圧力室２１の容積を収縮させることにより、圧力室２１内の液体が加圧され、ノズル１１から液体が吐出される。

なお、ヘッドの駆動方法については上記の例（引き－押し打ち）に限るものではなく、駆動波形の与えた方によって引き打ちや押し打ちなどを行なうこともできる。

次に、第１実施形態におけるダンパ機能（振動減衰機能）に係る部分について説明する。

本実施形態では、共通流路５１の壁面の一部に変形可能な領域（以下、「ダンパ領域」という。）６１を形成する壁面部材としての振動板部材３０を備えている。流路板２０と共通流路部材５０とは、壁面部材である振動板部材３０を挟んで配置されている。

振動板部材３０は、第１層３０ａでダンパ領域６１を形成している。

流路板２０には、ダンパ領域６１が臨む気体室としての空気室６２が設けられている。つまり、流路板２０は、ダンパ領域６１を挟んで共通流路５１と反対側に空気室６２が設けられ、空気室６２の壁面の一部はダンパ領域６１で形成されている。言い換えれば、ダンパ領域６１の共通流路５１に接する面と反対側の面は空気室６２に接している。

そして、流路板２０は、空気室６２をノズル配列方向において部分的に分断する架橋部６３を有している。架橋部６３は、壁面部材（振動板部材３０）及びノズル板１０と接していない構成としている。

架橋部６３は、流路板２０の厚み方向において、流路板２０の各表面から離間した位置に形成することで、壁面部材（振動板部材３０）及びノズル板１０に接しないようにしている。言い換えれば、流路板２０には、架橋部６３の部分では、流路板２０の両面から凹部６５、６５が形成されることで、残存部分を架橋部６３としている。

本実施形態によれば、流路板２０の空気室６２には架橋部６３が設けられているので、流路板２０の剛性低下による接合位置ズレを防止できる。

また、本実施形態によれば、ノズル板１０と流路板２０とを加圧して接着剤で接合するときに接合不良が発生する箇所がないため、接合不良を起因とする異常振動を防止できる。

つまり、接合不良を起因とする異常振動は、構造的に接続されているところが影響を及ぼし合うために、接合状態によって振動の伝わり方が変化することによる。安定して接合できない（接合不良）状態が生じると、接合状態毎に振動伝搬状態が変化し、品質のばらつきに繋がる。そこで、本実施形態では、架橋部６３はノズル板１０、振動板部材３０と接合しないことで、接合状態のばらつきが生じないようにしている。

さらに、ノズル単位で架橋部による構造的な圧力室の剛性の差を低減することができるため、吐出特性のばらつきを低減できる。

本実施形態の作用効果の説明に供するため比較例１ないし比較例３について図４ないし図６を参照して説明する。図４ないし図６は比較例１ないし３の説明図であり、各図（ａ）はノズル配列方向と直交する方向に沿う断面説明図、（ｂ）は（ａ）の気体室部分のノズル配列方向に沿う断面説明図である。

図４の比較例１は、流路板２０を貫通する空気室６２を設けて、架橋部を有しない構成としている。この比較例１では、架橋部がないことで流路板２０の剛性が低下する。

図５の比較例２は、流路板２０に凹部形状の空気室６２を設けて、架橋部を有しない構成としている。この比較例２では、ノズル板１０と流路板２０とを加圧して接着剤で接合するとき、空気室６２の部分で加圧力が不足して、接合不良が発生しやすい。

図６の比較例３は、流路板２０に凹部形状の空気室６２を設けて、振動板部材３０とノズル板１０に接触する架橋部６３を有する構成としている。この比較例３では、架橋部６３でノズル板１０と流路板２０と振動板部材３０とが接合されている部分に対応するノズル１１と対応しないノズル１１とで圧力室の剛性が異なり、吐出特性に周期的なばらつきが発生する。

本実施形態によれば、これらの比較例１ないし比較例３の問題点を解決することができる。

次に、本発明の第２実施形態について図７ないし図９を参照して説明する。図７は同実施形態に係る液体吐出ヘッドのノズル配列方向と直交する方向に沿う図９のＢ２－Ｂ２線に相当する断面説明図、図８は同じく各部材の平面説明図、図９は同じくノズル配列方向に沿う図７のＡ２－Ａ２線に相当する断面説明図である。

本実施形態では、流路板２０の架橋部６３は、厚み方向でノズル板１０側に偏って設けている。架橋部６３の振動板部材３０側（壁面部材側）は振動板部材３０に接しない（離間している）構成となる。

そして、ノズル板１０には、架橋部６３に対応する部分に凹部１２を形成している。ノズル板１０に凹部１２を形成することで、架橋部６３とノズル板１０とは接触しない（離間している）構成となる。その他の構成は前記第１実施形態と同様である。

このように、流路板２０の架橋部６３のノズル板１０側の面は流路板２０の表面と同一面とすることで、流路板２０の剛性低下が抑えられ、しかも、流路板２０の加工難度を低減できる。

次に、本発明の第３実施形態について図１０ないし図１２を参照して説明する。図１０は同実施形態に係る液体吐出ヘッドのノズル配列方向と直交する方向に沿う図１１のＢ３－Ｂ３線に相当する断面説明図、図１１は同じく各部材の平面説明図、図１２は同じくノズル配列方向に沿う図１０のＡ３－Ａ３線に相当する断面説明図である。

本実施形態では、前記第１実施形態の構成において、ダンパ領域６１には共通流路５１側に補強部６６を設けている。補強部６６は、ノズル配列方向と直交する方向に設けられ、ノズル配列方向においてダンパ領域６１を複数の領域に分割している。

このように、ダンパ領域６１に補強部６６を設けることで、ダンパ領域６１の変形量は小さくなるが、共通流路５１のノズル配列方向（長手方向）の位置によるコンプライアンス効果の分布（偏り）を防止できる。

次に、本発明の第４実施形態について図１３ないし図１５を参照して説明する。図１３は同実施形態に係る液体吐出ヘッドのノズル配列方向と直交する方向に沿う図１４のＢ４－Ｂ４線に相当する断面説明図、図１４は同じく各部材の平面説明図、図１５は同じくノズル配列方向に沿う図１３のＡ４－Ａ４線に相当する断面説明図である。

本実施形態においては、流路板２０は、２つの板状部材２０Ａ、２０Ｂを積層して構成している。

板状部材２０Ａは、圧力室２１の一部２１ａと、個別供給流路２２と、中間供給流路２３の一部２３ａとを構成する溝部を形成している。

板状部材２０Ｂは、圧力室２１の一部２１ｂを構成する溝部と、中間供給流路２３の一部２３ｂを構成する開口部とを形成している。中間供給流路２３の一部２３ｂは、ノズル配列方向において架橋部２４ｂで複数に分割され、複数の圧力室２１に通じる複数の中間供給流路２３の一部２３ａに跨って設けられている。

また、板状部材２０Ａは、空気室の一部６２ａと、架橋部６３ａを形成している。板状部材２０Ｂは、空気室の一部６２ｂと、架橋部６３ｂを形成している。本実施形態では、板状部材２０Ａで形成する架橋部６３ａと板状部材２０Ｂで形成する架橋部６３ｂとは、ノズル配列方向において同じ位置に配置されている。

このように構成することで、架橋部６３ａ、６３ｂの流路板２０の厚み方向の一面は板状部材２０Ａ、２０Ｂの表面と同一面とすることができ、流路板２０の加工難度を低減できる。

また、本実施形態では、共通流路５１と中間供給流路２３との間にフィルタ部９０を配置している。フィルタ部９０は、振動板部材３０の第１層３０ａで形成している。

次に、本発明の第５実施形態について図１６ないし図１８を参照して説明する。図１６は同実施形態に係る液体吐出ヘッドのノズル配列方向と直交する方向に沿う図１７のＢ５－Ｂ５線に相当する断面説明図、図１７は同じく各部材の平面説明図、図１８は同じくノズル配列方向に沿う図１６のＡ５－Ａ５線に相当する断面説明図である。

本実施形態では、前記第４実施形態と同様に、振動板部材３０側の板状部材２０Ｂは、圧力室２１の一部２１ｂを構成する溝部と、中間供給流路２３の一部２３ｂを構成する開口部とを形成している。中間供給流路２３の一部２３ｂは、ノズル配列方向において架橋部２４ｂで複数に分割され、複数の圧力室２１に通じる複数の中間供給流路２３の一部２３ａに跨って設けられている。

そして、本実施形態では、板状部材２０Ａで形成する架橋部６３ａと、板状部材２０Ｂで形成する架橋部６３ｂとは、ノズル配列方向において、交互に（異なる位置に）配置されている。

これにより、板状部材２０Ａと板状部材２０Ｂとを接合するときに、架橋部６３ａと架橋部６３ｂとの接合がなくなるので、架橋部同士の接合不良による異常振動の発生を防止できる。

次に、本発明の第６実施形態について図１９ないし図２１を参照して説明する。図１９は同実施形態に係る液体吐出ヘッドのノズル配列方向と直交する方向に沿う図２０のＢ６－Ｂ６線に相当する断面説明図、図２０は同じく各部材の平面説明図、図２１は同じくノズル配列方向に沿う図１９のＡ６－Ａ６線に相当する断面説明図である。

本実施形態においては、流路板２０は、５つの板状部材２０Ａ～２０Ｅを積層して構成している。

板状部材２０Ａは、圧力室２１の一部２１ａと、個別供給流路２２と、中間供給流路２３の一部２３ａとを構成する溝部を形成している。

板状部材２０Ｂは、圧力室２１の一部２１ｂと、中間供給流路２３の一部２３ｂとを構成する溝部を形成している。板状部材２０Ｃは、圧力室２１の一部２１ｃと、中間供給流路２３の一部２３ｃとを構成する溝部を形成している。板状部材２０Ｄは、圧力室２１の一部２１ｄと、中間供給流路２３の一部２３ｄとを構成する溝部を形成している。

板状部材２０Ｅは、圧力室２１の一部２１ｅを構成する溝部と、中間供給流路２３の一部２３ｅを構成する開口部とを形成している。中間供給流路２３の一部２３ｅは、ノズル配列方向において架橋部２４ｅで複数に分割され、複数の圧力室２１に通じる複数の中間供給流路２３の一部２３ａ～２３ｄに跨って設けられている。

また、板状部材２０Ａは、空気室の一部６２ａと、架橋部６３ａを形成している。板状部材２０Ｂは、空気室の一部６２ｂと、架橋部６３ｂを形成している。板状部材２０Ｃは、空気室の一部６２ｃと、架橋部６３ｃを形成している。板状部材２０Ｄは、空気室の一部６２ｄと、架橋部６３ｄを形成している。板状部材２０Ｅは、空気室の一部６２ｅと、架橋部６３ｅを形成している。

そして、本実施形態では、板状部材２０Ａ～２９Ｄで形成する架橋部６３ａ～６３ｅは、流路板２０の厚み方向で隣り合う架橋部６３とは、ノズル配列方向において異なる位置に配置されている。

このように構成することで、流路板２０の厚み方向で隣り合う架橋部同士の接合不良による異常振動の発生を防止できる。また、本実施形態では、架橋部の配置位置パターンは２つとしているので、部品の共通化などを図れる。ただし、架橋部の配置位置パターンは３つ以上とすることもできる。

次に、本発明に係る液体を吐出する装置としての印刷装置の一例について図２２及び図２３を参照して説明する。図２２は同装置の要部平面説明図、図２３は同装置の要部側面説明図である。

この印刷装置５００は、シリアル型装置であり、主走査移動機構４９３によって、キャリッジ４０３は主走査方向に往復移動する。主走査移動機構４９３は、ガイド部材４０１、主走査モータ４０５、タイミングベルト４０８等を含む。ガイド部材４０１は、左右の側板４９１Ａ、４９１Ｂに架け渡されてキャリッジ４０３を移動可能に保持している。そして、主走査モータ４０５によって、駆動プーリ４０６と従動プーリ４０７間に架け渡したタイミングベルト４０８を介して、キャリッジ４０３は主走査方向に往復移動される。

このキャリッジ４０３には、本発明に係る液体吐出ヘッド１とヘッドタンク４４１を一体にした液体吐出ユニット４４０を搭載している。

液体吐出ユニット４４０の液体吐出ヘッド１は、例えば、イエロー（Ｙ）、シアン（Ｃ）、マゼンタ（Ｍ）、ブラック（Ｋ）の各色の液体を吐出する。また、液体吐出ヘッド１は、複数のノズルからなるノズル列を主走査方向と直交する副走査方向に配置し、吐出方向を下方に向けて装着している。

この印刷装置５００は、用紙４１０１搬送するための搬送機構４９５を備えている。搬送機構４９５は、搬送手段である搬送ベルト４１２、搬送ベルト４１２を駆動するための副走査モータ４１６を含む。

搬送ベルト４１２は用紙４１０を吸着して液体吐出ヘッド１に対向する位置で搬送する。この搬送ベルト４１２は、無端状ベルトであり、搬送ローラ４１３と、テンションローラ４１４との間に掛け渡されている。吸着は静電吸着、あるいは、エアー吸引などで行うことができる。

そして、搬送ベルト４１２は、副走査モータ４１６によってタイミングベルト４１７及びタイミングプーリ４１８を介して搬送ローラ４１３が回転駆動されることによって、副走査方向に周回移動する。

さらに、キャリッジ４０３の主走査方向の一方側には搬送ベルト４１２の側方に液体吐出ヘッド１の維持回復を行う維持回復機構４２０が配置されている。

維持回復機構４２０は、例えば液体吐出ヘッド１のノズル面（ノズルが形成された面）をキャッピングするキャップ部材４２１、ノズル面を払拭するワイパ部材４２２などで構成されている。

主走査移動機構４９３、維持回復機構４２０、搬送機構４９５は、側板４９１Ａ，４９１Ｂ、背板４９１Ｃを含む筐体に取り付けられている。

このように構成したこの印刷装置５００においては、用紙４１０が搬送ベルト４１２上に給紙されて吸着され、搬送ベルト４１２の周回移動によって用紙４１０が副走査方向に搬送される。

そこで、キャリッジ４０３を主走査方向に移動させながら画像信号に応じて液体吐出ヘッド１を駆動することにより、停止している用紙４１０に液体を吐出して画像を形成する。

本願において、吐出される液体は、ヘッドから吐出可能な粘度や表面張力を有するものであればよく、特に限定されないが、常温、常圧下において、または加熱、冷却により粘度が３０ｍＰａ・ｓ以下となるものであることが好ましい。より具体的には、水や有機溶媒等の溶媒、染料や顔料等の着色剤、重合性化合物、樹脂、界面活性剤等の機能性付与材料、ＤＮＡ、アミノ酸やたんぱく質、カルシウム等の生体適合材料、天然色素等の可食材料、などを含む溶液、懸濁液、エマルジョンなどであり、これらは例えば、インクジェット用インク、表面処理液、電子素子や発光素子の構成要素や電子回路レジストパターンの形成用液、３次元造形用材料液等の用途で用いることができる。

液体を吐出するエネルギー発生源として、圧電アクチュエータ（積層型圧電素子及び薄膜型圧電素子）、発熱抵抗体などの電気熱変換素子を用いるサーマルアクチュエータ、振動板と対向電極からなる静電アクチュエータなどを使用するものが含まれる。

「液体吐出ユニット」は、液体吐出ヘッドに機能部品、機構が一体化したものであり、液体の吐出に関連する部品の集合体が含まれる。例えば、「液体吐出ユニット」は、ヘッドタンク、キャリッジ、供給機構、維持回復機構、主走査移動機構、液体循環装置の構成の少なくとも一つを液体吐出ヘッドと組み合わせたものなどが含まれる。

ここで、一体化とは、例えば、液体吐出ヘッドと機能部品、機構が、締結、接着、係合などで互いに固定されているもの、一方が他方に対して移動可能に保持されているものを含む。また、液体吐出ヘッドと、機能部品、機構が互いに着脱可能に構成されていても良い。

例えば、液体吐出ユニットとして、液体吐出ヘッドとヘッドタンクが一体化されているものがある。また、チューブなどで互いに接続されて、液体吐出ヘッドとヘッドタンクが一体化されているものがある。ここで、これらの液体吐出ユニットのヘッドタンクと液体吐出ヘッドとの間にフィルタを含むユニットを追加することもできる。

また、液体吐出ユニットとして、液体吐出ヘッドとキャリッジが一体化されているものがある。

また、液体吐出ユニットとして、液体吐出ヘッドを走査移動機構の一部を構成するガイド部材に移動可能に保持させて、液体吐出ヘッドと走査移動機構が一体化されているものがある。また、液体吐出ヘッドとキャリッジと主走査移動機構が一体化されているものがある。

また、液体吐出ユニットとして、液体吐出ヘッドが取り付けられたキャリッジに、維持回復機構の一部であるキャップ部材を固定させて、液体吐出ヘッドとキャリッジと維持回復機構が一体化されているものがある。

また、液体吐出ユニットとして、ヘッドタンク若しくは流路部品が取付けられた液体吐出ヘッドにチューブが接続されて、液体吐出ヘッドと供給機構が一体化されているものがある。このチューブを介して、液体貯留源の液体が液体吐出ヘッドに供給される。

主走査移動機構は、ガイド部材単体も含むものとする。また、供給機構は、チューブ単体、装填部単体も含むものする。

「液体を吐出する装置」には、液体吐出ヘッド又は液体吐出ユニットを備え、液体吐出ヘッドを駆動させて液体を吐出させる装置が含まれる。液体を吐出する装置には、液体が付着可能なものに対して液体を吐出することが可能な装置だけでなく、液体を 気中や液中に向けて吐出する装置も含まれる。

この「液体を吐出する装置」は、液体が付着可能なものの給送、搬送、排紙に係わる手段、その他、前処理装置、後処理装置なども含むことができる。

例えば、「液体を吐出する装置」として、インクを吐出させて用紙に画像を形成する装置である画像形成装置、立体造形物（三次元造形物）を造形するために、粉体を層状に形成した粉体層に造形液を吐出させる立体造形装置（三次元造形装置）がある。

また、「液体を吐出する装置」は、吐出された液体によって文字、図形等の有意な画像が可視化されるものに限定されるものではない。例えば、それ自体意味を持たないパターン等を形成するもの、三次元像を造形するものも含まれる。

上記「液体が付着可能なもの」とは、液体が少なくとも一時的に付着可能なものであって、付着して固着するもの、付着して浸透するものなどを意味する。具体例としては、用紙、記録紙、記録用紙、フィルム、布などの被記録媒体、電子基板、圧電素子などの電子部品、粉体層（粉末層）、臓器モデル、検査用セルなどの媒体であり、特に限定しない限り、液体が付着するすべてのものが含まれる。

上記「液体が付着可能なもの」の材質は、紙、糸、繊維、布帛、皮革、金属、プラスチック、ガラス、木材、セラミックスなど液体が一時的でも付着可能であればよい。

また、「液体を吐出する装置」は、液体吐出ヘッドと液体が付着可能なものとが相対的に移動する装置があるが、これに限定するものではない。具体例としては、液体吐出ヘッドを移動させるシリアル型装置、液体吐出ヘッドを移動させないライン型装置などが含まれる。

また、「液体を吐出する装置」としては、他にも、用紙の表面を改質するなどの目的で用紙の表面に処理液を塗布するために処理液を用紙に吐出する処理液塗布装置、原材料を溶液中に分散した組成液を、ノズルを介して噴射させて原材料の微粒子を造粒する噴射造粒装置などがある。

なお、本願の用語における、画像形成、記録、印字、印写、印刷、造形等はいずれも同義語とする。

１ 液体吐出ヘッド
１０ ノズル板
１１ ノズル
２０ 流路板
２１ 圧力室
３０ 振動板部材
４０ 圧電アクチュエータ
５０ 共通流路部材
５１ 共通流路
６１ ダンパ領域
６２ 空気室
６３、６３ａ～６３ｅ 架橋部
４０３ キャリッジ
４４０ 液体吐出ユニット
５００ 印刷装置（液体を吐出する装置）

Claims (9)

1. 液体を吐出する複数のノズルを有するノズル板と、
   前記複数のノズルにそれぞれ連通する複数の圧力室を形成する流路板と、
   前記複数の圧力室に連通する共通流路を形成する共通流路部材と、
   前記共通流路の壁面の一部に変形可能な領域を形成する壁面部材と、を備え、
   前記流路板と前記共通流路部材とは前記壁面部材を挟んで配置され、
   前記流路板には前記変形可能な領域が臨む気体室が設けられ、
   前記流路板は、前記気体室をノズル配列方向において部分的に分断する架橋部を有し、
   前記架橋部は、前記壁面部材及び前記ノズル板と接していない
   ことを特徴とする液体吐出ヘッド。
2. 前記架橋部は、前記壁面部材側及び前記ノズル板側から離れている
   ことを特徴とする請求項１に記載の液体吐出ヘッド。
3. 前記架橋部は、前記壁面部材側から離れており、前記ノズル板には前記架橋部に対応して凹部が設けられている
   ことを特徴とする請求項１に記載の液体吐出ヘッド。
4. 前記変形可能な領域には、前記架橋部に対応する部分で、前記共通流路側に補強部が設けられている
   ことを特徴とする請求項１ないし３のいずれかに記載の液体吐出ヘッド。
5. 前記流路板は、複数の板状部材が積層されて構成され、
   前記ノズル板側の板状部材及び前記壁面部材側の板状部材には、少なくとも前記ノズル板又は前記壁面部材に接していない前記架橋部が設けられている
   ことを特徴とする請求項１ないし４のいずれかに記載の液体吐出ヘッド。
6. 前記複数の板状部材の前記架橋部は、少なくとも２枚の板状部材間において、ノズル配列方向で異なる位置に設けられている
   ことを特徴とする請求項５に記載の液体吐出ヘッド。
7. 前記複数の板状部材の前記架橋部は、少なくとも積層方向で隣接する２枚の板状部材間において、ノズル配列方向で異なる位置に設けられている
   ことを特徴とする請求項５に記載の液体吐出ヘッド。
8. 請求項１ないし７のいずれかに記載の液体吐出ヘッドを備えている
   ことを特徴とする吐出ユニット。
9. 請求項１ないし７のいずれかに記載の液体吐出ヘッド、又は、請求項８に記載の吐出ユニットを備えている
   ことを特徴とする液体を吐出する装置。

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