JP2017202567A - 液体吐出ヘッド、液体吐出ユニット、液体を吐出する装置 - Google Patents

Abstract

【課題】ベントモードの圧電素子を使用する場合、残留振動によって吐出安定性が損なわれる
【解決手段】液体を吐出するノズル１０２が通じる個別液室１０１と、個別液室１０１の壁面を形成する振動板１０５と、振動板１０５を介して個別液室１０１を加圧する撓み振動モードで変形する圧電素子１０９とを備え、圧電素子１０９が配置された側には補強部材１１０が設けられて、補強部材１１０で囲まれる振動板１０５の圧電素子１０９を配置した側の開口部１１３内には、シリコーンゲル剤などの粘弾性部材１１４を充填している。
【選択図】図１

Description

本発明は液体吐出ヘッド、液体吐出ユニット、液体を吐出する装置に関する。

液体吐出ヘッドとして、個別液室の液体を加圧する圧力を発生する圧力発生手段として撓みモード（ベントモード）で変形する圧電素子を備えるものがある。

従来、積層型圧電素子を使用し、圧電素子と振動板との間の空隙部に、振動板と接触して振動板の振動を吸収する振動吸収部材を設けたものが知られている（特許文献１）。

特開平２０１０−０００７２２「号公報

ところで、ベントモードの圧電素子を使用する場合には、液体吐出に伴って、圧電素子を伴って振動板の残留振動が生じやすく、この残留振動によって吐出安定性が損なわれるという課題がある。

本発明は上記の課題に鑑みてなされたものであり、吐出特性の安定性を向上することを目的とする。

上記の課題を解決するため、本発明に係る液体吐出ヘッドは、
液体を吐出するノズルが通じる個別液室と、
前記個別液室の壁面を形成する振動板と、
前記振動板を介して前記個別液室を加圧する撓み振動モードで変形する圧電素子と、を備え、
前記圧電素子が配置された側には、前記圧電素子で撓み変形する振動領域に粘弾性部材が配置されている
構成とした。

本発明によれば、吐出特性の安定性を向上することができる。

本発明の第１実施形態の説明に供する断面説明図である。 同実施形態における粘弾性部材の有無と吐出安定性の評価結果の説明に供する説明図である。 本発明の第２実施形態の説明に供する断面説明図である。 本発明の第３実施形態の説明に供する要部平面説明図である。 同実施形態の説明に供する圧電素子の面積比と駆動周波数及び駆動電圧の関係の一例の説明図である。 本発明の第４実施形態の説明に供する断面説明図である。 本発明に係る液体を吐出する装置の一例の要部平面説明図である。 同装置の要部側面説明図である。 本発明に係る液体吐出ユニットの他の例の要部平面説明図である。 本発明に係る液体吐出ユニットの更に他の例の正面説明図である。

以下、本発明の実施形態について添付図面を参照して説明する。本発明の第１実施形態に係る液体吐出ヘッドについて図１を参照して説明する。図１は同実施形態の説明に供する断面説明図である。

液体吐出ヘッドは、ノズル板１０３と、流路板１０４と、振動板１０５と、圧電素子１０９と、補強部材１１０とを備えている。

ノズル板１０３には、液体を吐出するノズル１０２が設けられている。流路板１０４は、ノズル１０２が通じる個別液室１０１を形成する。振動板１０５は、個別液室１０１の１つの壁面を形成している。

圧電素子１０９は、振動板１０５側から第１の電極（下部電極）１０６、圧電膜１０７、第２の電極（上部電極）１０８を積層して構成している。第１の電極１０６と第２の電極１０８とで圧電膜１０７が挟まれる部分が圧電素子として機能する。

そして、圧電素子１０９の第１の電極１０６を形成している電極膜１０６ａと、圧電素子１０９の圧電膜１０７を形成している電気機械変換膜１０７ａとは、振動板１０５の全体に積層して設けている。

したがって、個別液室１０１の壁面を形成し、圧電素子１０９で撓み変形する振動領域１３０は、振動板１０５、第１の電極１０６の電極膜１０６ａ、電気機械変換膜１０７ａの積層膜で構成される。

補強部材１１０は、流路板１０４と振動板１０５などを挟んで反対側で、少なくとも振動領域１３０の周囲を囲んで設けられている。この補強部材１１０は、電気機械変換膜１０７ａ上に電気配線部分１１１を介して接着剤１１２で接合されている。

そして、補強部材１１０で囲まれる振動板１０５の圧電素子１０９を配置した側の空間（開口部）１１３内には、シリコーンゲル剤などの粘弾性部材１１４を充填している。つまり、圧電素子１０９が配置された側には、圧電素子１０９で撓み変形する振動領域１３０に粘弾性部材１１４を配置している。

このように構成したので、圧電素子１０９の第１の電極１０６と第２の電極１０８との間に駆動電圧を印加することで、撓み振動モード（ベントモード）で変形し、振動領域１３０が個別液室１０１を収縮させる方向に変形変位される。これにより、個別液室１０１内の液体が加圧され、ノズル１０２から液体が吐出される。

ここで、液体を吐出させたとき、液体吐出に伴って圧電素子１０９及び振動板１０５を含む振動領域１３０の残留振動が生じようとするが、粘弾性部材１１４によって振動領域１３０の残留振動が減衰、制振される。

これにより、振動領域１３０が初期状態（定常状態）に戻るまでの時間が短くなり、高周波駆動を行っても安定した液体吐出を行うことができる。

また、本実施形態のように、個別液室１０１の全面に電気機械変換膜１０７ａを形成し、圧電素子１０９となる領域は第２の電極１０８で規定している。

これにより、圧電素子１０９及び振動板１０５を含む振動領域１３０の剛性を高くすることができ、機械的コンプライアンスを低減できるので、共振周期を短くすることができる。

具体的には、粘弾性部材として、シリコーンゲル剤ＴＢ１２３０Ｈ（スリーボンド製）を用い、補強部材１１０に供給したシリコーンゲル剤をスキージにより開口部１１３に充填し、加熱条件：８０℃、３０分にて硬化した。同シリコーンゲル剤は、低分子シロキサン含有量（Ｄ３〜Ｄ１０）を０．０１％以下とし、電気接点への影響を少なくした接点障害対策品であり、電気部品実装上の信頼性も確保することができる。

振動板１０５の厚さ：１．５μｍ、圧電素子１０９の厚さ：２．０μｍ、個別液室１０１の形状：２００μｍφ、圧電素子１０９の駆動形状は１７０μｍφとして吐出特性評価を行った。つまり、この例では、個別液室１０１、圧電素子１０９、補強部材１１０の開口部１１３の平面視形状は円形状としている。

吐出特性評価にあたっては、２滴を順次吐出してマージさせる駆動波形を使用し、駆動周波数を変化させたときの吐出安定性で評価した。評価結果を図２に示している。なお、図２中、「〇」は吐出安定性が良好、「×」は吐出安定性が不良、であることを意味する。

この結果より、粘弾性部材１１４を配置することで、高い駆動周波数まで吐出安定性を確保できており、制振効果が得られていることが確認された。

次に、本発明の第２実施形態について図３を参照して説明する。図３は同実施形態の説明に供する断面説明図である。

本実施形態では、圧電素子１０９の圧電膜１０７を形成している電気機械変換膜１０７ａは、圧電素子１０９とほぼ同じ領域に設けている。つまり、振動領域１３０には、圧電素子１０９の周辺部に電気機械変換膜１０７ａがなく、ほぼ振動板１０５で形成される薄肉部１０５ａを設けている。

これにより、圧電素子１０９及び振動板１０５を含む振動領域１３０の剛性が低くなり、振動領域１３０が変形しやすくなる。

次に、本発明の第３実施形態について図４を参照して説明する。図４は同実施形態の説明に供する要部平面説明図である。

本実施形態では、平面視で、楕円形状の個別液室１０１の壁面を形成する振動板１０５上に、同じく楕円形状の第１の電極１０６、圧電膜１０７、第２の電極１０８を順次積層して圧電素子１０９を配置している。

ここで、圧電素子１０９の配置面積は、振動板１０５の個別液室１０１の壁面を形成している振動領域１３０の面積、すなわち、個別液室１０１の平面形状の面積の５０％〜８０％の範囲内としている。なお、この圧電素子１０９の振動領域１３０における面積の割合（個別液室１０１に平面形状の面積に対する圧電素子１０９の面積の割合）を、圧電素子１０９の面積比という。

これにより、吐出安定性を確保し、高周波数駆動することができる。

また、振動領域１３０のアスペクト比（個別液室１０１の平面形状でのアスペクト比）は１０以下としている。

これにより、実用的な駆動電圧で吐出安定性を確保できる。

具体的には、振動板１０５の厚さ：１．５μｍ、圧電素子１０９の厚さ：２．０μｍ、個別液室１０１の液室形状：１５０×２００μｍφとし、圧電素子１０９の平面形状は個別液室１０１の液室形状の相似形とした。

そして、駆動条件としては、駆動周波数帯域でのｐｕｌｌ波形（引き込み波形）基本として与え、図５に示すように、圧電素子１０９の面積比を変化させたときに、１０ｐｌの液体を安定して吐出できる駆動周波数及び駆動電圧を評価した。

この結果、圧電素子１０９の面積比が小さすぎると、個別液室１０１内を十分に加圧することができず、吐出できなくなる。圧電素子１０９の面積比を大きくしていくと、個別液室１０１内の圧力を高くすることができるようになり吐出効率が向上するとともに、駆動電圧を下げることができる。更に、圧電素子１０９の面積比を大きくしていくと、振動板１０５の変形能力が低くなるため、駆動電圧を高くしないと吐出できなくなる。実用的な駆動電圧は３０Ｖ以下であるので、駆動電圧が３０Ｖ以下になる面積比とする。

一方で、圧電素子１０９の面積比を大きくしていくと、吐出安定性は確保しやすくなるため、粘弾性部材１１４による吐出安定性の改善効果が小さくなってくる。

このことから粘弾性部材１１４を配置し、吐出安定性を確保し、高周波数駆動するためには、圧電素子１０９の面積比を５０％〜８０％に設定することが好ましい。

また、圧電素子１０９の面積比を８０％に固定し、個別液室１０１の液室形状のアスペクト比（振動領域１３０のアスペクト比）を変化させた。

ここで、アスペクト比を大きくしていくと、圧電素子１０９を含めた振動板１０５（振動領域１３０）のコンプライアンスが小さく（剛性が高く）なり、駆動電圧を高くしないと吐出しにくくなる。

一方、アスペクト比を小さくしていくと、コンプライアンスが大きくなるが、粘弾性部材１１４を配置していることで、駆動周波数を高くしても吐出安定性が確保できるようになった。

この結果、駆動電圧と吐出安定性を確保できるアスペクト比としては１０以下であることが分かった。

なお、アスペクト比を小さくすることで、ノズル１０２及び個別液室１０１をマトリクス状に配置することが容易になり、ヘッドの小型化、高密度化が可能となる。

次に、本発明の第４実施形態について図６を参照して説明する。図６は同実施形態の説明に供する断面説明図である。

本実施形態では、振動板１０５の中央部に圧電素子１０９が配置されている。そして、粘弾性部材１１４は、圧電素子１０９の部分の厚みが、圧電素子１０９の周囲の厚みよりも薄くしている。

これにより、圧電素子１０９の変形に対する粘弾性部材１１４の抑制が小さくなり、圧電素子１０９の変位効率が向上する。

具体的には、振動板１０５の厚さ：１．５μｍ、圧電素子１０９の厚さ：２．０μｍ、個別液室１０１の液室形状：２００μｍφ、圧電素子１０９の形状：１５０μｍφとした。

そして、補強部材１１０の開口部１１３の内壁面には、例えば大気圧プラズマ表面処理を施し、濡れ性を高めた親液性を有する面としている。これにより、粘弾性部材１１４を供給したとき、補強部材１１０の開口部１１３の壁面側の厚みが厚くなり、中央部の圧電素子１０９の部分で厚みが薄くなる。

これにより、粘弾性部材１１４の厚みが一定である場合に比べて、圧電素子１０９の変位量が約７％向上し、振動板１０５の圧電素子１０９がない部分の粘弾性部材１１４の厚みを厚くしていることから、高周波駆動を行っても吐出安定性を確保することができる。

次に、本発明に係る液体を吐出する装置の一例について図７及び図８を参照して説明する。図７は同装置の要部平面説明図、図８は同装置の要部側面説明図である。

この装置は、シリアル型装置であり、主走査移動機構４９３によって、キャリッジ４０３は主走査方向に往復移動する。主走査移動機構４９３は、ガイド部材４０１、主走査モータ４０５、タイミングベルト４０８等を含む。ガイド部材４０１は、左右の側板４９１Ａ、４９１Ｂに架け渡されてキャリッジ４０３を移動可能に保持している。そして、主走査モータ４０５によって、駆動プーリ４０６と従動プーリ４０７間に架け渡したタイミングベルト４０８を介して、キャリッジ４０３は主走査方向に往復移動される。

このキャリッジ４０３には、本発明に係る液体吐出ヘッド４０４及びヘッドタンク４４１を一体にした液体吐出ユニット４４０を搭載している。液体吐出ユニット４４０の液体吐出ヘッド４０４は、例えば、イエロー（Ｙ）、シアン（Ｃ）、マゼンタ（Ｍ）、ブラック（Ｋ）の各色の液体を吐出する。また、液体吐出ヘッド４０４は、複数のノズルからなるノズル列を主走査方向と直交する副走査方向に配置し、吐出方向を下方に向けて装着している。

液体吐出ヘッド４０４の外部に貯留されている液体を液体吐出ヘッド４０４に供給するための供給機構４９４により、ヘッドタンク４４１には、液体カートリッジ４５０に貯留されている液体が供給される。

供給機構４９４は、液体カートリッジ４５０を装着する充填部であるカートリッジホルダ４５１、チューブ４５６、送液ポンプを含む送液ユニット４５２等で構成される。液体カートリッジ４５０はカートリッジホルダ４５１に着脱可能に装着される。ヘッドタンク４４１には、チューブ４５６を介して送液ユニット４５２によって、液体カートリッジ４５０から液体が送液される。

この装置は、用紙４１０を搬送するための搬送機構４９５を備えている。搬送機構４９５は、搬送手段である搬送ベルト４１２、搬送ベルト４１２を駆動するための副走査モータ４１６を含む。

搬送ベルト４１２は用紙４１０を吸着して液体吐出ヘッド４０４に対向する位置で搬送する。この搬送ベルト４１２は、無端状ベルトであり、搬送ローラ４１３と、テンションローラ４１４との間に掛け渡されている。吸着は静電吸着、あるいは、エアー吸引などで行うことができる。

そして、搬送ベルト４１２は、副走査モータ４１６によってタイミングベルト４１７及びタイミングプーリ４１８を介して搬送ローラ４１３が回転駆動されることによって、副走査方向に周回移動する。

さらに、キャリッジ４０３の主走査方向の一方側には搬送ベルト４１２の側方に液体吐出ヘッド４０４の維持回復を行う維持回復機構４２０が配置されている。

維持回復機構４２０は、例えば液体吐出ヘッド４０４のノズル面（ノズルが形成された面）をキャッピングするキャップ部材４２１、ノズル面を払拭するワイパ部材４２２などで構成されている。

主走査移動機構４９３、供給機構４９４、維持回復機構４２０、搬送機構４９５は、側板４９１Ａ，４９１Ｂ、背板４９１Ｃを含む筐体に取り付けられている。

このように構成したこの装置においては、用紙４１０が搬送ベルト４１２上に給紙されて吸着され、搬送ベルト４１２の周回移動によって用紙４１０が副走査方向に搬送される。

そこで、キャリッジ４０３を主走査方向に移動させながら画像信号に応じて液体吐出ヘッド４０４を駆動することにより、停止している用紙４１０に液体を吐出して画像を形成
する。

このように、この装置では、本発明に係る液体吐出ヘッドを備えているので、高画質画像を安定して形成することができる。

次に、本発明に係る液体吐出ユニットの他の例について図９を参照して説明する。図９は同ユニットの要部平面説明図である。

この液体吐出ユニットは、前記液体を吐出する装置を構成している部材のうち、側板４９１Ａ、４９１Ｂ及び背板４９１Ｃで構成される筐体部分と、主走査移動機構４９３と、キャリッジ４０３と、液体吐出ヘッド４０４で構成されている。

なお、この液体吐出ユニットの例えば側板４９１Ｂに、前述した維持回復機構４２０、及び供給機構４９４の少なくともいずれかを更に取り付けた液体吐出ユニットを構成することもできる。

次に、本発明に係る液体吐出ユニットの更に他の例について図１０を参照して説明する。図１０は同ユニットの正面説明図である。

この液体吐出ユニットは、流路部品４４４が取付けられた液体吐出ヘッド４０４と、流路部品４４４に接続されたチューブ４５６で構成されている。

なお、流路部品４４４はカバー４４２の内部に配置されている。流路部品４４４に代えてヘッドタンク４４１を含むこともできる。また、流路部品４４４の上部には液体吐出ヘッド４０４と電気的接続を行うコネクタ４４３が設けられている。

本願において、吐出される液体は、ヘッドから吐出可能な粘度や表面張力を有するものであればよく、特に限定されないが、常温、常圧下において、または加熱、冷却により粘度が３０ｍＰａ・ｓ以下となるものであることが好ましい。より具体的には、水や有機溶媒等の溶媒、染料や顔料等の着色剤、重合性化合物、樹脂、界面活性剤等の機能性付与材料、ＤＮＡ、アミノ酸やたんぱく質、カルシウム等の生体適合材料、天然色素等の可食材料、などを含む溶液、懸濁液、エマルジョンなどであり、これらは例えば、インクジェット用インク、表面処理液、電子素子や発光素子の構成要素や電子回路レジストパターンの形成用液、３次元造形用材料液等の用途で用いることができる。

液体を吐出するエネルギー発生源として、圧電アクチュエータ（積層型圧電素子及び薄膜型圧電素子）、発熱抵抗体などの電気熱変換素子を用いるサーマルアクチュエータ、振動板と対向電極からなる静電アクチュエータなどを使用するものが含まれる。

「液体吐出ユニット」は、液体吐出ヘッドに機能部品、機構が一体化したものであり、液体の吐出に関連する部品の集合体が含まれる。例えば、「液体吐出ユニット」は、ヘッドタンク、キャリッジ、供給機構、維持回復機構、主走査移動機構の構成の少なくとも一つを液体吐出ヘッドと組み合わせたものなどが含まれる。

ここで、一体化とは、例えば、液体吐出ヘッドと機能部品、機構が、締結、接着、係合などで互いに固定されているもの、一方が他方に対して移動可能に保持されているものを含む。また、液体吐出ヘッドと、機能部品、機構が互いに着脱可能に構成されていても良い。

例えば、液体吐出ユニットとして、液体吐出ヘッドとヘッドタンクが一体化されているものがある。また、チューブなどで互いに接続されて、液体吐出ヘッドとヘッドタンクが一体化されているものがある。ここで、これらの液体吐出ユニットのヘッドタンクと液体吐出ヘッドとの間にフィルタを含むユニットを追加することもできる。

また、液体吐出ユニットとして、液体吐出ヘッドとキャリッジが一体化されているものがある。

また、液体吐出ユニットとして、液体吐出ヘッドを走査移動機構の一部を構成するガイド部材に移動可能に保持させて、液体吐出ヘッドと走査移動機構が一体化されているものがある。また、液体吐出ヘッドとキャリッジと主走査移動機構が一体化されているものがある。

また、液体吐出ユニットとして、液体吐出ヘッドが取り付けられたキャリッジに、維持回復機構の一部であるキャップ部材を固定させて、液体吐出ヘッドとキャリッジと維持回復機構が一体化されているものがある。

また、液体吐出ユニットとして、ヘッドタンク若しくは流路部品が取付けられた液体吐出ヘッドにチューブが接続されて、液体吐出ヘッドと供給機構が一体化されているものがある。このチューブを介して、液体貯留源の液体が液体吐出ヘッドに供給される。

主走査移動機構は、ガイド部材単体も含むものとする。また、供給機構は、チューブ単体、装填部単体も含むものする。

「液体を吐出する装置」には、液体吐出ヘッド又は液体吐出ユニットを備え、液体吐出ヘッドを駆動させて液体を吐出させる装置が含まれる。液体を吐出する装置には、液体が付着可能なものに対して液体を吐出することが可能な装置だけでなく、液体を 気中や液中に向けて吐出する装置も含まれる。

この「液体を吐出する装置」は、液体が付着可能なものの給送、搬送、排紙に係わる手段、その他、前処理装置、後処理装置なども含むことができる。

例えば、「液体を吐出する装置」として、インクを吐出させて用紙に画像を形成する装置である画像形成装置、立体造形物（三次元造形物）を造形するために、粉体を層状に形成した粉体層に造形液を吐出させる立体造形装置（三次元造形装置）がある。

また、「液体を吐出する装置」は、吐出された液体によって文字、図形等の有意な画像が可視化されるものに限定されるものではない。例えば、それ自体意味を持たないパターン等を形成するもの、三次元像を造形するものも含まれる。

上記「液体が付着可能なもの」とは、液体が少なくとも一時的に付着可能なものであって、付着して固着するもの、付着して浸透するものなどを意味する。具体例としては、用紙、記録紙、記録用紙、フィルム、布などの被記録媒体、電子基板、圧電素子などの電子部品、粉体層（粉末層）、臓器モデル、検査用セルなどの媒体であり、特に限定しない限り、液体が付着するすべてのものが含まれる。

上記「液体が付着可能なもの」の材質は、紙、糸、繊維、布帛、皮革、金属、プラスチック、ガラス、木材、セラミックスなど液体が一時的でも付着可能であればよい。

また、「液体を吐出する装置」は、液体吐出ヘッドと液体が付着可能なものとが相対的に移動する装置があるが、これに限定するものではない。具体例としては、液体吐出ヘッドを移動させるシリアル型装置、液体吐出ヘッドを移動させないライン型装置などが含まれる。

また、「液体を吐出する装置」としては、他にも、用紙の表面を改質するなどの目的で用紙の表面に処理液を塗布するために処理液を用紙に吐出する処理液塗布装置、原材料を溶液中に分散した組成液を、ノズルを介して噴射させて原材料の微粒子を造粒する噴射造粒装置などがある。

なお、本願の用語における、画像形成、記録、印字、印写、印刷、造形等はいずれも同義語とする。

１０１ 個別液室
１０２ ノズル
１０３ ノズル板
１０４ 流路板
１０５ 振動板
１０６ 第１の電極
１０７ 圧電膜
１０８ 第２の電極
１０９ 圧電素子
１１０ 補強部材
１１３ 開口部
１１４ 粘弾性部材
１３０ 振動領域
４０３ キャリッジ
４０４ 液体吐出ヘッド
４４０ 液体吐出ユニット

Claims (11)

1. 液体を吐出するノズルが通じる個別液室と、
   前記個別液室の壁面を形成する振動板と、
   前記振動板を介して前記個別液室を加圧する撓み振動モードで変形する圧電素子と、を備え、
   前記圧電素子が配置された側には、前記圧電素子で撓み変形する振動領域に粘弾性部材が配置されている
   ことを特徴とする液体吐出ヘッド。
2. 前記振動領域には、前記圧電素子の周囲に薄肉部を有する
   ことを特徴とする請求項１に記載の液体吐出ヘッド。
3. 前記圧電素子の配置面積は前記振動領域の面積の５０％〜８０％の範囲内である
   ことを特徴とする請求項２に記載の液体吐出ヘッド。
4. 前記振動領域のアスペクト比が１０以下である
   ことを特徴とする請求項１ないし３のいずれかに記載の液体吐出ヘッド。
5. 前記粘弾性部材は、前記圧電素子の部分の厚みが、前記圧電素子の周辺部の厚みよりも薄い
   ことを特徴とする請求項１ないし３のいずれかに記載の液体吐出ヘッド。
6. 前記振動板の前記個別液室の壁面を形成している振動領域を囲む部材を有し、
   前記部材の前記圧電素子側の壁面は親液性を有している
   ことを特徴とする請求項１ないし４のいずれかに記載の液体吐出ヘッド。
7. 前記圧電素子がマトリクス状に配置されている
   ことを特徴とする請求項１ないし６のいずれかに記載の液体吐出ヘッド。
8. 前記粘弾性部材がシリコーンゲル剤である
   ことを特徴とする請求項１ないし９のいずれかに記載の液体吐出ヘッド。
9. 請求項１ないし８のいずれかに記載の液体吐出ヘッドを含むことを特徴とする液体吐出ユニット。
10. 前記液体吐出ヘッドに供給する液体を貯留するヘッドタンク、前記液体吐出ヘッドを搭載するキャリッジ、前記液体吐出ヘッドに液体を供給する供給機構、前記液体吐出ヘッドの維持回復を行う維持回復機構、前記液体吐出ヘッドを主走査方向に移動させる主走査移動機構の少なくともいずれか一つと前記液体吐出ヘッドとを一体化した
    ことを特徴とする請求項９に記載の液体吐出ユニット。
11. 請求項１ないし８のいずれかに記載の液体吐出ヘッド、又は、請求項９若しくは１０に記載の液体吐出ユニットを備えていることを特徴とする液体を吐出する装置。

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