CN108621569A - 液体喷出头以及液体喷出装置 - Google Patents

Abstract

本发明提供一种液体喷出头以及液体喷出装置，其无论导入口的配置如何，都能够提高对由液体所产生的压力变动的吸收效果。液体喷出头具备：驱动元件，其使压力室的压力发生变动从而使液体从喷嘴喷出；独立流道，其与压力室连通；以及液体贮留室，其将从导入口导入的液体经由独立流道而向压力室供给，液体贮留室具有：第一贮留室，其被配置于导入口侧；第二贮留室，其被配置于独立流道侧；以及中间贮留室，其将第一贮留室和第二贮留室连通，第一贮留室的至少一部分在俯视观察时与第二贮留室重叠，在第一贮留室中的与导入口相反的一侧的第二贮留室侧设置有第一可塑性基板，在第二贮留室中的与第一贮留室相反的一侧设置有第二可塑性基板。

Description

液体喷出头以及液体喷出装置

技术领域

本发明涉及一种喷出油墨等液体的技术。

背景技术

一直以来，提出了一种液体喷出头，其通过利用各压力室产生压力，从而将由液体贮留室(贮液器)供给至多个压力室的油墨等液体从喷嘴喷出。例如在专利文献1中，公开了如下的技术，即，在与液体贮留室的导入口相同的一侧形成开口部，并利用挠性的可塑性基板密封该开口部的技术。根据这种结构，通过利用可塑性基板而对因从液体贮留室的导入口导入的液体而产生的液体贮留室的压力变动进行吸收，从而能够使压力变动的影响不会波及至各压力室。

在如专利文献1那样利用可塑性基板来吸收液体贮留室的压力变动的情况下，可塑性基板中的变形的部分即能动部的面积较大时会使吸收液体贮留室的压力变动的效果提高。然而，在专利文献1中，在与液体贮留室的导入口相同的一侧设置可塑性基板，因此，必须以使形成导入口的金属部分不会变形的方式而避开导入口来配置可塑性基板的能动部。因此，可塑性基板的能动部的面积、形状会因导入口的位置、大小而受到限制。

专利文献1：日本特开2016-182811号公报

发明内容

考虑以上的情况，本发明的目的在于，无论导入口的配置如何，都能够提高对由液体所产生的压力变动的吸收效果。

为了解决以上的课题，本发明的液体喷出头具备：驱动元件，其使压力室的压力发生变动从而使液体从喷嘴喷出；独立流道，其与压力室连通；以及液体贮留室，其将从导入口导入的液体经由独立流道而向压力室供给，液体贮留室具有：第一贮留室，其被配置于导入口侧；第二贮留室，其被配置于独立流道侧；以及中间贮留室，其将第一贮留室和第二贮留室连通，第一贮留室的至少一部分在俯视观察时与第二贮留室重叠，在第一贮留室中的与导入口相反的一侧的第二贮留室侧设置有第一可塑性基板，在第二贮留室中的与第一贮留室相反的一侧设置有第二可塑性基板。根据以上的方式，由于在第一贮留室中的与导入口相反的一侧的第二贮留室侧设置第一可塑性基板，因此，与在与导入口相同的一侧设置可塑性基板的情况相比较，无论导入口的配置、大小如何，都能够增大第一可塑性基板的能动部的面积。这样，根据本方式，无论导入口的配置如何，都能够提高对由液体所产生的压力变动的吸收效果。另外，由于在第一贮留室中的与导入口相反的一侧设置第一可塑性基板，因此，能够以使从导入口导入的液体碰到第一可塑性基板的方式而进行配置，由此，与在与导入口相同的一侧设置第一可塑性基板的情况相比，液体的压力更容易传递至第一可塑性基板。因此，由从导入口导入的液体所产生的压力变动容易被第一可塑性基板吸收。另外，由于在被配置于独立流道侧的第二贮留室中，在与第一贮留室相反的一侧设置第二可塑性基板，因此，第二可塑性基板被配置于比第一可塑性基板靠近压力室的位置。因此，能够利用第二可塑性基板有效地吸收经由独立流道传递至第二贮留室的压力室的压力变动。因此，根据本方式，能够有效地吸收由液体所产生的压力变动，因此，能够提高液体从喷嘴喷出的稳定性。另外，由于第一贮留室的至少一部分在俯视观察时与第二贮留室重叠，因此，也能够使液体喷出头小型化。

在本发明的优选方式中，第一可塑性基板的至少一部分在俯视观察时与第二可塑性基板重叠。根据以上的方式，由于第一可塑性基板的至少一部分在俯视观察时与第二可塑性基板重叠，因此，与不重叠的情况相比较，能够使液体喷出头小型化。

在本发明的优选方式中，第二可塑性基板的杨氏模量为第一可塑性基板的杨氏模量以下。根据以上的方式，通过使容易吸收压力室的压力变动的第二可塑性基板的杨氏模量为容易吸收因来自导入口的液体的导入而产生的压力变动的第一可塑性基板的杨氏模量以下，从而能够使第二可塑性基板比第一可塑性基板柔软。由此，能够容易地利用第二可塑性基板而对与因来自导入口的油墨的导入而产生的压力变动相比微小的压力室的压力变动进行吸收。

在本发明的优选方式中，第二可塑性基板的厚度为第一可塑性基板的厚度以下。根据以上的方式，通过使第二可塑性基板的厚度为第一可塑性基板的厚度以下，从而使第二可塑性基板比第一可塑性基板柔软。由此，能够容易地利用第二可塑性基板而对与因来自导入口的油墨的导入而产生的压力变动相比微小的压力室的压力变动进行吸收。

在本发明的优选方式中，压力室在俯视观察时与第一贮留室和第一可塑性基板这双方重叠。根据以上的方式，与压力室在俯视观察时不与第一贮留室和第一可塑性基板这双方重叠的情况相比较，能够使液体喷出头小型化。

在本发明的优选方式中，包括对驱动元件进行驱动的驱动IC，驱动IC在俯视观察时与压力室和第一可塑性基板这双方重叠。根据以上的方式，与驱动IC在俯视观察时不与压力室和第一可塑性基板这双方重叠的情况相比较，能够使液体喷出头小型化。

在本发明的优选方式中，包括形成液体贮留室的外壳部件，外壳部件具有形成第一贮留室的第一外壳部件和形成中间贮留室的第二外壳部件，第一外壳部件和第二外壳部件以第一贮留室的至少一部分在俯视观察时与第二贮留室重叠的方式而被层叠，在第一外壳部件与第二外壳部件之间设置第一可塑性基板。根据以上的方式，由于在第一外壳部件与第二外壳部件之间设置第一可塑性基板，因此，第一可塑性基板的能动部不会露出至第一外壳部件和第二外壳部件的外侧。因此，与第一可塑性基板露出至第一外壳部件和第二外壳部件的外侧的情况相比较，能够抑制水分的蒸发，并且容易采取抑制水分蒸发的对策。另外，在本方式中，由于将外壳部件分为第一外壳部件和第二外壳部件，在第一外壳部件中形成第一贮留室，因此，通过将第一外壳部件设为与第二外壳部件相比更容易加工的材质，从而能够容易地改变第一贮留室的顶部的形状。通过将例如第一贮留室的顶部的角部的形状设为沿着油墨的流动的曲面形状等，从而能够提高容易向上方移动的气泡的排出性。由于通过提高气泡的排出性，而能够降低排出气泡所需的油墨的流速，因此，能够避免油墨的浪费。另外，由于分为第一外壳部件和第二外壳部件，因此，仅通过更换第一外壳部件，就能够容易地改变为例如不同形状的第一贮留室RB、具备不同功能的第一贮留室。

在本发明的优选方式中，在第二外壳部件中，在隔着第一可塑性基板而与第一贮留室相反的一侧设置有阻尼室。根据以上的方式，由于在第二外壳部件中，在隔着第一可塑性基板而与第一贮留室相反的一侧设置有阻尼室，因此，能够利用液体从导入口流入第一贮留室的方向的压力而使第一可塑性基板向阻尼室侧挠曲。由此，能有效地抑制从导入口流入第一贮留室的液体的压力变动。

在本发明的优选方式中，第一可塑性基板中的变形的能动部的长度比导入口的开口宽度长。根据以上的方式，由于第一可塑性基板中的变形的能动部的长度比导入口的开口宽度长，因此，能动部的面积大于导入口的开口宽度，从而能够使变形也变大。由此，能够利用第一可塑性基板而容易地吸收油墨的压力变动。

在本发明的优选方式中，第一可塑性基板在俯视观察时与导入口重叠。根据以上的方式，由于第一可塑性基板在俯视观察时与导入口重叠，因此，从导入口导入的油墨容易碰到第一可塑性基板。因此，液体的压力容易传递至第一可塑性基板，因从导入口导入的液体而产生的压力变动容易被第一可塑性基板吸收。

在本发明的优选方式中，第一可塑性基板是挠性膜与金属部件的复合部件。根据以上的方式，由于第一可塑性基板是挠性膜与金属部件的复合部件，因此，能够使第一可塑性基板自身具有刚性。

在本发明的优选方式中，第一可塑性基板是不包含金属部件的单体的部件。根据以上的方式，通过使第一可塑性基板为不包含金属部件的单体的部件，能够使第一可塑性基板自身不具有刚性。在本方式中，由于在第一贮留室的与导入口相反的一侧配置第一可塑性基板，因此，能够以与导入口分开的方式而构成第一可塑性基板。因此，也无需将形成导入口的金属部件和第一可塑性基板作为复合零件而使第一可塑性基板自身具有刚性。因此，通过将第一可塑性基板设为单体的部件，从而能够减少零件个数。

在本发明的优选方式中，第一可塑性基板被配置于彼此对置的第二贮留室的开口部与阻尼室的开口部之间，并被固定于第二外壳部件，且未被固定于第一外壳部件。根据以上的方式，由于第一可塑性基板被配置于彼此对置的第二贮留室的开口部与阻尼室的开口部之间，并被固定于第二外壳部件，且未被固定于第一外壳部件，因此，与被固定于第一外壳部件和第二外壳部件的两方的情况相比较，能够缓和例如因在部件间产生的热应力等而导致的应力集中。

在本发明的优选方式中，包括形成液体贮留室的外壳部件，外壳部件具有形成第一贮留室的第一外壳部件和形成中间贮留室的第二外壳部件，第一外壳部件和第二外壳部件以第一贮留室的至少一部分在俯视观察时与第二贮留室重叠的方式而被层叠，第二外壳部件在第一贮留室侧具备与第一贮留室连通的扩张空间，并且在与第一贮留室相反的一侧具备收纳对驱动元件进行驱动的驱动IC的收纳空间，扩张空间以在收纳空间侧开口的方式而贯通，第一可塑性基板以对扩张空间的在收纳空间侧开口的开口部进行密封的方式而被固定于第二外壳部件。根据以上的结构，由于第一可塑性基板以对扩张空间的收纳空间侧的开口部进行密封的方式而被固定于第二外壳部件，因此，能够将第一贮留室的容量增加扩张空间所对应的量。另外，由于第一可塑性基板被配置于收纳驱动IC的收纳空间侧，因此，例如在由挠性膜和金属部件的复合材料构成第一可塑性基板的情况下，能够使其金属部分与驱动IC接触。通过使第一可塑性基板的金属部分与驱动IC接触，能够将驱动IC的热量经由第一可塑性基板的金属部分而传递至液体，因此，能够对驱动IC进行散热。

在本发明的优选方式中，在第一外壳部件中具备对在第一贮留室侧开口的开口部进行密封的第三可塑性基板。根据以上的结构，作为第一贮留室的可塑性基板，不仅配置有第二外壳部件的第一可塑性基板，还在第一外壳部件中配置有第三外壳部件。在第一贮留室中，由于容易产生因来自导入口的油墨的流入而导致的急剧的压力变动，因此，通过如本方式那样增加第一贮留室的可塑性基板的数量，能够有效地吸收第一贮留室内的急剧的压力变动。

为了解决以上的课题，本发明的液体喷出装置具备：输送机构，其对介质进行输送；以及本发明的上述方式中的任一方式的液体喷出头，其向所述介质喷出液体。根据以上的方式，由于在第一贮留室中的与导入口相反的一侧的第二贮留室侧设置第一可塑性基板，因此，与在与导入口相同的一侧设置可塑性基板的情况相比较，无论导入口的配置、大小如何，都能够增大第一可塑性基板的能动部的面积。这样，根据本方式，无论导入口的配置如何，都能够提高对由液体所产生的压力变动的吸收效果。另外，由于在第一贮留室中的与导入口相反的一侧设置第一可塑性基板，因此，能够以使从导入口导入的液体碰到第一可塑性基板的方式而进行配置，由此，与在与导入口相同的一侧设置第一可塑性基板的情况相比，液体的压力容易传递至第一可塑性基板。因此，由从导入口导入的液体所产生的压力变动容易被第一可塑性基板吸收。另外，由于在被配置于独立流道侧的第二贮留室中，在与第一贮留室相反的一侧设置第二可塑性基板，因此，第二可塑性基板被配置于比第一可塑性基板靠近压力室的位置。因此，能够利用第二可塑性基板而有效地吸收经由独立流道传递至第二贮留室的压力室的压力变动。因此，根据本方式，能够有效地吸收由液体所产生的压力变动，因此，能够提高液体从喷嘴喷出的稳定性。

附图说明

图1是本发明的第一实施方式所涉及的液体喷出装置的结构图。

图2是液体喷出头的分解立体图。

图3是图2所示的液体喷出头的III-III剖视图。

图4是从Z方向观察图2所示的外壳部件的俯视图。

图5是比较例所涉及的液体喷出头的剖视图。

图6是从Z方向观察比较例所涉及的外壳部件的俯视图。

图7是第二实施方式所涉及的液体喷出头的剖视图。

图8是第三实施方式所涉及的液体喷出头的剖视图。

具体实施方式

第一实施方式

图1是例示本发明的第一实施方式所涉及的液体喷出装置10的结构图。第一实施方式的液体喷出装置10是将作为液体的例示的油墨向介质12喷出的喷墨方式的印刷装置。典型而言，介质12是印刷纸张，但树脂薄膜或布帛等任意的印刷对象能够被用作介质12。如图1所示，在液体喷出装置10中固定有贮留油墨的液体容器14。例如能够相对于液体喷出装置10进行装拆的墨盒、由挠性的薄膜形成的袋状的油墨包、或者能补充油墨的油墨罐被用作液体容器14。色彩不同的多种油墨被贮留于液体容器14中。

如图1所示，液体喷出装置10具备控制装置20、输送机构22、移动机构24、以及多个液体喷出头26。控制装置20包含例如CPU(Central Processing Unit：中央处理器)或者FPGA(Field Programmable Gate Array：现场可编程门阵列)等处理电路和半导体存储器等存储电路，总括地对液体喷出装置10的各要素进行控制。输送机构22在由控制装置20实施的控制下在Y方向上输送介质12。

移动机构24在有控制装置20实施的控制下使多个液体喷出头26在X方向上往复。X方向是与介质12被输送的Y方向交叉(典型而言为正交)的方向。第一实施方式的移动机构24具备：搭载多个液体喷出头26的滑架242；以及固定有滑架242的无接头带244。另外，也能够将液体容器14与液体喷出头26一起搭载于滑架242。

多个液体喷出头26各自在由控制装置20实施的控制下将从液体容器14供给来的油墨由多个喷嘴(喷出孔)向介质12喷出。各液体喷出头26以与由输送机构22进行的介质12的输送和滑架242的反复的往复并行的方式向介质12喷出油墨，从而在介质12的表面形成期望的图像。另外，以下，将与X-Y平面(例如与介质12的表面平行的平面)垂直的方向标记为Z方向。由各液体喷出头26实施的油墨的喷出方向(典型而言为铅垂方向)相当于Z方向。

图2是任意一个液体喷出头26的分解立体图，图3是图2中的III-III剖视图。图4是从Z方向观察图2所示的外壳部件40的俯视图。如图2所示，液体喷出头26具备在Y方向上排列的多个喷嘴N。第一实施方式的多个喷嘴N被区分为第一列L1和第二列L2。虽然也可以在第一列L1与第二列L2之间改变喷嘴N的Y方向上的位置(即交错配置或者参差配置)，但在图3中为了方便而例示出了在第一列L1和第二列L2中使喷嘴N的Y方向上的位置一致的结构。图2所示的液体喷出头26是将与第一列L1的多个喷嘴N相关联的要素和与第二列L2的多个喷嘴N相关联的要素大致线对称地配置的结构。

如图2及图3所示，第一实施方式的液体喷出头26具备流道基板32。流道基板32是包含第一面F1和接合面FA的板状部件。第一面F1是Z方向的正侧的表面(介质12侧的表面)，接合面FA是与第一面F1相反侧(Z方向的负侧)的表面。在流道基板32的接合面FA的面上设置有压力室基板34、振动部36、多个压电元件37、保护部件38以及外壳部件40，在第一面F1的面上设置有喷嘴板52和第二可塑性基板54。液体喷出头26的各要素大致上与流道基板32同样为在Y方向上呈长条的板状部件，利用例如粘合剂而被相互接合。也可以将流道基板32、压力室基板34、保护部件38以及喷嘴板52被层叠的方向把握为Z方向。

喷嘴板52是形成有多个喷嘴N的板状部件，利用例如粘合剂而被设置于流道基板32的第一面F1。各喷嘴N是供油墨通过的贯通孔。第一实施方式的喷嘴板52是通过利用半导体制造技术(例如蚀刻)对硅(Si)的单晶基板进行加工而被制造的。但是，为了制造喷嘴板52，可以任意地采用公知的材料、制造方法。

流道基板32是用于形成油墨的流道的板状部件。如图2以及图3所示，在第一实施方式的流道基板32上，分别针对第一列L1以及第二列L2，而形成有构成作为后述的液体贮留室R的一部分的第二贮留室RA的空间、多个供给流道(独立流道的例示)322、以及多个连通流道324。第二贮留室RA是液体贮留室R中的配置于供给流道322侧的贮留室，是俯视观察时(即从Z方向观察时)形成为沿着Y方向的长条状的开口。供给流道322及连通流道324是按每个喷嘴N而形成的贯通孔。多个供给流道322在Y方向上排列，多个连通流道324也同样地在Y方向上排列。另外，如图3所示，在流道基板32的第一面F1上形成有跨多个供给流道322的中间流道326。中间流道326是将第二贮留室RA和多个供给流道322连结的流道。另一方面，连通流道324与喷嘴N连通。

如图2及图3所示，压力室基板34是分别针对第一列L1以及第二列L2而形成有在Y方向上排列的多个开口342的板状部件，例如利用粘合剂而被设置于流道基板32的接合面FA。开口342是按每个喷嘴N而被形成并在俯视观察时沿着X方向的长条状的贯通孔。流道基板32以及压力室基板34与上述喷嘴板52相同，是通过利用例如半导体制造技术对硅(Si)的单晶基板进行加工而被制造的。但是，为了制造流道基板32以及压力室基板34，可以任意地采用公知的材料、制造方法。

如图2及图3所示，在压力室基板34中的与流道基板32相反的一侧的表面上设置有振动部36。第一实施方式的振动部36是能够弹性地振动的板状部件(振动板)。另外，也可以通过针对预定的板厚的板状部件中的与开口342对应的区域而选择性地去除板厚方向的一部分，而一体地形成压力室基板34和振动部36。

如由图3所理解的那样，流道基板32的接合面FA和振动部36在各开口342的内侧相互空开间隔而对置。在开口342的内侧位于流道基板32的接合面FA与振动部36之间的空间作为用于向填充于该空间内的油墨施加压力的压力室C而发挥作用。压力室C是例如以X方向作为长边方向、以Y方向作为短边方向的空间。压力室C按每个喷嘴N而独立地形成。分别针对第一列L1及第二列L2，而在Y方向上排列有多个压力室C。如由图3理解的那样，任意一个压力室C经由供给流道322和中间流道326而与第二贮留室RA连通，并且经由连通流道324而与喷嘴N连通。另外，也可以通过在开口342中形成流道宽度狭窄的节流流道，而施加预定的流道阻力。

如图2及图3所示，在振动部36中的与压力室C相反的一侧的面上，分别针对第一列L1及第二列L2，而设置有与彼此不同的喷嘴N对应的多个压电元件37。压电元件37是因驱动信号的供给而变形的驱动元件。多个压电元件37以与各压力室C对应的方式而在Y方向上排列。各压电元件37是在相互对置的电极间夹设有压电体的层叠体。当以与压电元件37的变形连动的方式而使振动部36振动时，压力室C内的压力会发生变动，从而会使填充于压力室C内的油墨在流通流道324和喷嘴N中通过而被喷出。

图2及图3的保护部件38是用于保护多个压电元件37的板状部件，被设置于振动部36的表面(或者压力室基板34的表面)。保护部件38的材料、制法是任意的，可以与流道基板32、压力室基板34相同，而通过利用半导体制造技术对例如硅(Si)的单晶基板进行加工而形成保护部件38。

在保护部件38中的振动部36侧的表面(以下称为“接合面”)上，分别针对第一列L1及第二列L2而形成有收纳多个压力元件37的收纳空间382。收纳空间382是相对于接合面而凹陷的空间，被形成为在沿着多个压电元件37的排列的Y方向上呈长条状的形状。在保护部件38中的与收纳空间382相反侧的表面(以下称为“安装面”)上设置有驱动IC(IntegratedCircuit，集成电路)62。驱动IC62是搭载有驱动电路的大致矩形形状的IC芯片，所述驱动电路通过在由控制装置20实施的控制下生成及供给驱动信号从而驱动各压电元件37。如图3所示，液体喷出头26的至少一部分压电元件37在俯视观察时与驱动IC62重叠。另外，如图3所示，驱动IC62在俯视观察时同与第一列L1的喷嘴N对应的压电元件37和与第二列L2的喷嘴N对应的压电元件37这双方重叠。即，驱动IC62以在X方向上跨第一列L1的喷嘴N和第二列L2的喷嘴N这双方的方式而被设置。

另外，如图2所示，在保护部件38的安装面上形成有与驱动IC62的输入端子连接的多个配线388。多个配线388延伸至保护部件38的安装面中的位于Y方向(即多个压电元件37排列的方向)的端部处的区域E。在安装面的区域E处接合有配线部件64。配线部件64是形成有将控制装置20和驱动IC62电连接的多个配线(省略图示)的安装零件。例如FPC(FlexiblePrinted Circuit：柔性印刷电路)、FFC(Flexible Flat Cable：柔性扁平电缆)等挠性的配线基板被优选用作配线部件64。如上所述，第一实施方式的保护部件38也作为形成有传送驱动信号的配线(384、388)的配线基板而发挥作用。但是，也能够以独立于保护部件38的方式而设置被用于驱动IC62的安装、配线的形成的配线基板。

图2及图3的外壳部件(壳体部)40是通过层叠第一外壳部件(上侧外壳部件)402和第二外壳部件(下侧外壳部件)404而构成的。第一外壳部件402被配置于Z方向的负侧(上侧)，第二外壳部件404被配置于Z方向的正侧(下侧)。第一外壳部件402和第二外壳部件404利用粘合剂而被相互接合。外壳部件40是用于贮留向多个压力室C(进一步多个喷嘴N)供给的油墨的壳体。第二外壳部件404中的Z方向的正侧的表面(以下称为“接合面”)FB利用例如粘合剂而被固定于流道基板32的接合面FA。如图2及图3所示，在第二外壳部件404的接合面FB上形成有沿Y方向延伸的槽状的凹部42。保护部件38及驱动IC62被收纳于凹部42的内侧的收纳空间内。被接合于保护部件38的区域E处的配线部件64以通过凹部42的内侧的方式而在Y方向上延伸。

第一实施方式的外壳部件40由与流道基板32、压力室基板34不同的材料形成。例如能够通过树脂材料的注塑成型来制造外壳部件40。但是，为了制造外壳部件40，可以任意地采用公知的材料、制造方法。作为外壳部件40的材料，优选为例如合成纤维或树脂材料。

如图3及图4所示，在第一实施方式中，分别针对第一列L1及第二列L2，而在第一外壳部件402中形成有构成第一贮留室RB的空间，并在第二外壳部件404中形成有构成中间贮留室RC的空间。第一外壳部件402的第一贮留室RB和流道基板32的第二贮留室RA利用第二外壳部件404的中间贮留室RC而被相互连通。由第二贮留室RA、第一贮留室RB以及中间贮留室RC构成的空间作为贮留向多个压力室C供给的油墨的液体贮留室(贮液器)R而发挥作用。液体贮留室R是跨多个喷嘴N的共用液室。在第一外壳部件402中的与流道基板32相反的一侧的表面FC上，分别针对第一列L1以及第二列L2而形成有用于将从液体容器14供给来的油墨导入至液体贮留室R的导入口43。另外，将第二外壳部件404中的与流道基板32相反的一侧的表面设为第二面F2。

如图3所示，第一外壳部件402的第一贮留室RB是在Y方向上呈长条状的空间。第一贮留室RB与导入口43连通。第二外壳部件404的中间贮留室RC是在Z方向上呈长条状的空间。中间贮留室RC位于第一贮留室RB的下游侧，并与流道基板32的第二贮留室RA连通。当从Z方向的正侧观察时，对保护部件38以及驱动IC62进行收纳的凹部42位于，与第一列L1对应的中间贮留室RC和与第二列L2对应的中间贮留室RC之间。因此，中间贮留室RC位于压电元件37、保护部件38以及驱动IC62的侧方(X方向的正侧或者负侧)。如上所述，在第一实施方式中，液体贮留室R包含第一贮留室RB和中间贮留室RC。因此，与没有第一贮留室RB以及中间贮留室RC中的一方的结构相比较，能够使液体贮留室R大容量化。

如图3中的虚线的箭头所示，从液体容器14沿着Z方向的正侧供给至导入口43的油墨，在液体贮留室R的第一贮留室RB内在与X-Y平面大致平行的方向(例如水平方向、X方向)上流动而流入至中间贮留室RC，并且在中间贮留室RC内向Z方向的正侧(例如铅垂方向的下方)流动而到达流道基板32的第二贮留室RA。贮留于液体贮留室R中的油墨在中间流道326内沿X方向流动，从中间流道326分支到多个供给流道322而向Z方向的负侧流动，并且并列地被供给以及填充至各压力室C。填充于压力室C中的油墨在连通流道324内沿Z方向流动，并通过喷嘴N而被喷出。

如以上例示的那样，第一实施方式的液体喷出头26包含第一面F1以及第二面F2。各压电元件37、保护部件38以及驱动IC62被配置于第一面F1与第二面F2之间。第一面F1从驱动IC62观察时位于压电元件37侧，第二面F2从驱动IC62观察时位于压电元件37的相反侧。在第二面F2上形成有上述的导入口43。

如图2所示，在流道基板32的第一面F1上设置有第二可塑性基板54。第二可塑性基板54是对液体贮留室R内的油墨的压力变动进行吸收的挠性的薄膜。如图3所示，第二可塑性基板54以对通过流道基板32的第二贮留室RA、中间流道326、多个供给流道322而在流道基板32的第一面F1侧开口的开口部进行堵塞的方式，而被设置于流道基板32的第一面F1上，并构成液体贮留室R的壁面(具体而言为第二贮留室RA的底面)。根据这种结构的第二可塑性基板54，由于被配置于靠近压力室C的位置，因此，能够利用第二可塑性基板54而有效地对经由作为独立流道的多个供给流道322传递至第二贮留室RA的压力室C的压力变动进行吸收。

在第二外壳部件404的第二面F2上设置有第一可塑性基板46。第一可塑性基板46与第二可塑性基板54同样是对液体贮留室R内的油墨的压力变动进行吸收的挠性的薄膜。如图3所示，在第二外壳部件404中，在隔着第一可塑性基板46而与第一贮留室RB相反的一侧设置有构成阻尼室44的开口部。第一可塑性基板46以堵塞阻尼室44的开口部的方式而被设置于第二面F2上，并构成液体贮留室R的壁面(具体而言为第一贮留室RB的底面)。根据这种结构，能够利用油墨从导入口43向第一贮留室RB流入的方向上的压力，而使第一可塑性基板46向阻尼室44侧挠曲。由此，能够有效地抑制从导入口43向第一贮留室RB流入的油墨的压力变动。另外，根据由于容易在第二面F2上确保充分的面积从而在流道基板32的第二面F2上设置有第一可塑性基板46的第一实施方式，与仅设置有第二可塑性基板54的结构相比较，能够有效地吸收液体贮留室R内的压力变动。

如图3所示，第一贮留室RB的至少一部分在俯视观察时(即从Z方向观察时)与第二贮留室RA重叠。另外，第一可塑性基板46的至少一部分在俯视观察时与第二可塑性基板54重叠。此外，压力室C在俯视观察时与第一贮留室RB和第一可塑性基板46这双方重叠。也可说成以下结构，即，第一贮留室RB以与压电元件37和驱动IC62重叠的方式从中间贮留室RC向X方向伸出，在该伸出的部分处设置有第一可塑性基板46。这样，通过尽量在俯视观察时使液体喷出头26的各构成要素重叠，能够使液体喷出头26小型化。

本实施方式的第一可塑性基板46被设置于第一贮留室RB中的与导入口43相反的一侧的第二贮留室RA侧，因此，和在与导入口43相同的一侧设置可塑性基板46的情况相比较，无论导入口43的配置、大小如何，都能够增大第一可塑性基板46变形的部分即能动部的面积。

此处，与比较例进行比较来说明上述的本实施方式的作用效果。图5是本实施方式的比较例所涉及的液体喷出头26’的剖视图，对应于图3。图6是从Z方向观察图5所示的比较例的外壳部件40’的俯视图。如图5以及图6所示，比较例的液体喷出头26’例示出可塑性基板46’被设置于与导入口43相同的一侧的情况。具体而言，在比较例的液体喷出头26’中，在外壳部件40’中设置导入口43和第一贮留室RB，并且在外壳部件40’中的与导入口43相同的一侧的第二面F2’上设置可塑性基板46’。在这样的比较例的结构中，由于在与导入口43相同的一侧设置可塑性基板46’，因此，必须以使形成导入口43的金属部分不会变形的方式而避开导入口43来配置可塑性基板46’的能动部。因此，可塑性基板46’的能动部的面积、形状会由于导入口43的位置、大小而受到限制。

另一方面，在本实施方式的液体喷出头26中，由第一外壳部件402和第二外壳部件404而构成外壳部件40，并且在第一外壳部件402上设置导入口43。通过采用这样的结构，能够以与导入口43分开的方式，而在第一外壳部件402上设置第一贮留室RB和可塑性基板46’。因此，在本实施方式中，无论导入口43的配置、大小如何，都能够增大第一可塑性基板46的能动部的面积。

图4所示的虚线部分是本实施方式的第一可塑性基板46，其内侧的实线部分相当于能动部P。同样地，图6所示的虚线部分是比较例的第一可塑性基板46’，其内侧的实线部分相当于能动部P’。在图6的比较例的第一可塑性基板46’中，配置导入口43的部分不能作为能动部而发挥作用。与此相对，在图4的本实施方式的第一可塑性基板46中，由于并无配置导入口43的部分，因此，可知第一可塑性基板46的能动部P比图6的比较例的能动部P’大。这样，根据本实施方式的第一可塑性基板46，无论导入口43的配置如何，都能够提高对由油墨所产生的压力变动的吸收效果。

另外，在图3所示的本实施方式的结构中，由于在第一贮留室RB中的与导入口43相反的一侧设置第一可塑性基板46，因此，能够以使从导入口43导入的油墨会碰到第一可塑性基板46的方式而进行配置。因此，与如图5所示的比较例那样在与导入口43相同的一侧设置第一可塑性基板46’的情况相比，油墨的压力容易传递至第一可塑性基板46。因此，由从导入口43导入的油墨所产生的压力变动容易被第一可塑性基板46吸收。

接下来，对第一可塑性基板46与第二可塑性基板54的关系进行说明。在本实施方式中，在配置于作为独立流道的供给流道322侧的第二贮留室RA中，在与第一贮留室RB相反的一侧设置第二可塑性基板54。因此，第二可塑性基板54被配置于比第一可塑性基板46靠近压力室C的位置。因此，能够利用第二可塑性基板54有效地对经由供给流道322传递至第二贮留室RA的压力室C的压力变动进行吸收。

根据本实施方式，因来自导入口43的油墨的导入而产生的压力变动主要容易被第一可塑性基板46吸收，压力室C的压力变动主要容易被第二可塑性基板54吸收。也可以采用如下方式，即，例如通过将第二可塑性基板54的杨氏模量设为第一可塑性基板46的杨氏模量以下，从而使第二可塑性基板54比第一可塑性基板46柔软(刚性较低)。由此，能够更加容易地利用第二可塑性基板54来对与因来自导入口43的油墨的导入而产生的压力变动相比微小的压力室C的压力变动进行吸收。

另一方面，关于第一可塑性基板46，能够通过第一可塑性基板46的能动部大幅地变形而使流道体积发生变化，从而对因从导入口43导入的油墨使第一贮留室RB内的油墨急剧运动而产生的压力变动(压力损失)进行吸收。因此，优选为与第二可塑性基板54相比更大地挠曲这样的材质、大小。另外，也可以采用如下方式，即，通过使第二可塑性基板54的厚度为第一可塑性基板46的厚度以下，从而使第二可塑性基板54比第一可塑性基板46更柔软。由此，也能够容易地利用第二可塑性基板54来对压力室C的压力变动进行吸收。

这样，在本实施方式中，由于配置两个可塑性基板，因此，能够分别对它们选定最佳的材料、大小。除此之外，作为例如第一可塑性基板46的材料，也可以使用为了抑制水分的透过而具有金属蒸镀膜的材料。液体贮留室R的压力变动存在如从例如非印字状态起以最大的印字速度进行印刷的情况等那样以某一压力范围而变大的情况，因此，作为第一可塑性基板46的材料，也可以采用挠曲量因压力范围而不同的材料。

另外，在本实施方式中，由于将外壳部件40分为第一外壳部件402和第二外壳部件404，在配置于上方的第一外壳部件402中形成第一贮留室RB，因此，通过将第一外壳部件402设为容易加工的材质，从而能够容易地改变第一贮留室RB的顶部的形状。例如图3所示，通过将第一贮留室RB的顶部的角部Q的形状设为沿着油墨的流动的曲面形状等，从而能够提高容易向上方移动的气泡的排出性。由于通过提高气泡的排出性，而能够降低排出气泡所需的油墨的流速，因此，能够避免油墨的浪费。另外，由于分为第一外壳部件402和第二外壳部件404，因此，仅通过更换第一外壳部件402，就能够容易地改变为例如不同形状的第一贮留室RB、具备不同功能(用于使油墨循环的功能、去除气泡的功能)的第一贮留室RB。

另外，在本实施方式中，由于在第一外壳部件402与第二外壳部件404之间设置第一可塑性基板46，因此，第一可塑性基板46的能动部P’不会露出至第一外壳部件402和第二外壳部件404的外侧。因此，与第一可塑性基板46露出至第一外壳部件402和第二外壳部件404的外侧的情况相比较，能抑制水分的蒸发，另外还容易采取抑制水分蒸发的对策。作为抑制水分蒸发的对策，也可以采用如下方式，即，在设置了如用于抑制例如因温度变化而产生的内压变动的蜿蜒路径那样较长的空气流道的基础上，对第一可塑性基板46进行密封。

另外，第一可塑性基板46的长度，不仅在Y方向(长边方向)上，而且在X方向(宽度方向)上，也比导入口43的开口宽度长。因此，能动部的面积大于导入口43的开口宽度，因此，变形也能较大。由此，能够利用第一可塑性基板46容易地吸收油墨的压力变动。由于第一可塑性基板46在俯视观察时与导入口43重叠，因此，从导入口43导入的油墨容易碰到第一可塑性基板46。因此，油墨的压力容易传递至第一可塑性基板46，因从导入口43导入的油墨而产生的压力变动容易被第一可塑性基板46吸收。

由于本实施方式的第一可塑性基板46被设置于第一外壳部件402与第二外壳部件404之间，因此，能够由薄膜等挠性膜那样不包含金属的单体部件来构成。但是，也可以由包含金属蒸镀膜以作为挠性膜的部件来构成第一可塑性基板46。在本实施方式中，例示了利用分别的第一可塑性基板46对构成两个阻尼室44的两个开口进行密封的情况，但并不限于此，也可以利用一个第一可塑性基板46对构成阻尼室44的两个开口部进行密封。在本实施方式中，由于在第一贮留室RB的与导入口43相反的一侧配置第一可塑性基板46，因此，能够以与导入口43分开的方式而构成第一可塑性基板46。因此，无需将形成导入口43的金属部件和第一可塑性基板46作为复合零件而使第一可塑性基板46自身具有刚性。因此，通过将第一可塑性基板46设为单体的部件，从而能够减少零件个数。但是，第一可塑性基板46也可以作为挠性膜和金属部件的复合部件，而使第一可塑性基板46自身具有刚性。

第一可塑性基板46可以固定于第一外壳部件402和第二外壳部件404的两方，也可以仅固定于一方。例如第一可塑性基板46也可以固定于第二外壳部件404，而不固定于第一外壳部件402。根据该结构，与固定于第一外壳部件402和第二外壳部件404的两方的情况相比较，能够缓和因例如在部件间产生的热应力等而引起的应力集中。

第二实施方式

对本发明的第二实施方式进行说明。关于以下例示的各方式中作用、功能与第一实施方式相同的要素，沿用第一实施方式的说明中所使用的符号，并适当地省略各自的详细说明。在第一实施方式中，例示了在第一外壳部件402与第二外壳部件404之间配置有第一可塑性基板46的情况，而在第二实施方式中，例示了在其它位置配置第一可塑性基板46的情况。图7是第二实施方式的液体喷出头26的剖视图，对应于图3。图7的第二外壳部件404在第一贮留室RB侧具备与第一贮留室RB连通的扩张空间45。另外，图7的第二外壳部件404与图3同样地在与第一贮留室RB相反的一侧具备由收纳驱动IC的凹部42构成的收纳空间。扩张空间45以在收纳空间(凹部42)侧开口的方式而贯通。图7的第一可塑性基板46以对扩张空间45的在收纳空间侧开口的开口部进行密封的方式而被固定于第二外壳部件404。

根据上述第二实施方式的结构，第一可塑性基板46以对扩张空间45的收纳空间侧的开口进行密封的方式而从凹部42的内侧固定于第二外壳部件404，因此，能够将第一贮留室RB的容量增加扩张空间45的量。

第三实施方式

对本发明的第三实施方式进行说明。在第三实施方式中，例示了设置多个第一贮留室RB的第一可塑性基板46的情况。图8是第三实施方式的液体喷出头26的剖视图，对应于图7。在图8中，除了与图7相同的第一可塑性基板46之外，还在第一外壳部件402中设置有第三可塑性基板47，该第三可塑性基板47对在第一贮留室RB侧开口的开口部(阻尼室)472进行密封。

根据上述第三实施方式的结构，作为第一贮留室RB的可塑性基板，不仅配置有第二外壳部件404的第一可塑性基板46，还在第一外壳部件402中配置第三可塑性基板47。在第一贮留室RB中，由于容易产生因来自导入口43的油墨的流入而导致的急剧的压力变动，因此，通过增加第一贮留室RB的可塑性基板的数量，能够有效地吸收第一贮留室RB内的急剧的压力变动。另外，作为第一贮留室RB的可塑性基板，并不限于第三实施方式中例示的第一可塑性基板46和第三可塑性基板47，也可以进一步设置可塑性基板。

变形例

以上例示的方式以及实施方式可以被进行多种变形。以下例示出具体的变形方式。从以下的例示以及上述方式中任意地选择出的两个以上的方式可以在相互不矛盾的范围内适当地被合并。

(1)在上述实施方式中，例示出使搭载有液体喷出头26的滑架242沿着X方向反复地往复的串行头，但也可以将本发明应用于在介质12的全部宽度范围中排列液体喷出头26的行式头。

(2)在上述实施方式中，例示出利用向压力室施加机械性的振动的压电元件的压电方式的液体喷出头26，但也可以采用通过加热在压力室的内部产生气泡的发热元件的热方式的液体喷出头。

(3)上述实施方式中例示出的液体喷出装置，除了专用于印刷的设备之外，还可以被用于传真装置、复印机等各种设备。不过，本发明的液体喷出装置10的用途未被限定于印刷。例如，喷出颜色材料的溶液的液体喷出装置被用作形成液晶显示装置的滤色器、有机EL(Electro Luminescence：电发光)显示器、FED(面发光显示器)等的制造装置。另外，喷出导电材料的溶液的液体喷出装置被用作形成配线基板的配线、电极的制造装置。另外，也被用作喷出作为液体的一种的生物有机物的溶液的芯片制造装置。

符号说明

10…液体喷出装置；12…介质；14…液体容器；20…控制装置；22…输送机构；24…移动机构；242…滑架；244…无接头带；26、26’…液体喷出头；32…流道基板；322…供给流道；324…连通流道；326…中间流道；34…压力室基板；342…开口；36…振动部；37…压电元件；372…第二电极；38…保护部件；382…收纳空间；384…配线；388…配线；40、40’…外壳部件；402…第一外壳部件；404…第二外壳部件；42…凹部；43…导入口；44…阻尼室；45…扩张空间；46、46’…第一可塑性基板；472…开口部；52…喷嘴板；54…第二可塑性基板；62…驱动IC；64…配线部件；C…压力室；F1…第一面；F2、F2’…第二面；FA、FB…接合面；FC…表面；L1…第一列；L2…第二列；N喷嘴；P、P’…能动部；R…液体贮留室；RB…第一贮留室；RA…第二贮留室；RC…中间贮留室。

Claims (16)

1.一种液体喷出头，其特征在于，具备：

驱动元件，其使压力室的压力发生变动从而使液体从喷嘴喷出；

独立流道，其与所述压力室连通；以及

液体贮留室，其将从导入口导入的液体经由所述独立流道而向所述压力室供给，

所述液体贮留室具有：

第一贮留室，其被配置于所述导入口侧；

第二贮留室，其被配置于所述独立流道侧；以及

中间贮留室，其将所述第一贮留室和所述第二贮留室连通，

所述第一贮留室的至少一部分在俯视观察时与所述第二贮留室重叠，

在所述第一贮留室中的与所述导入口相反的一侧的所述第二贮留室侧设置有第一可塑性基板，

在所述第二贮留室中的与所述第一贮留室相反的一侧设置有第二可塑性基板。

2.如权利要求1所述的液体喷出头，其特征在于，

所述第一可塑性基板的至少一部分在俯视观察时与所述第二可塑性基板重叠。

3.如权利要求1或权利要求2所述的液体喷出头，其特征在于，

所述第二可塑性基板的杨氏模量为所述第一可塑性基板的杨氏模量以下。

4.如权利要求1或权利要求2所述的液体喷出头，其特征在于，

所述第二可塑性基板的厚度为所述第一可塑性基板的厚度以下。

5.如权利要求1至权利要求4中任一项所述的液体喷出头，其特征在于，

所述压力室在俯视观察时与所述第一贮留室和所述第一可塑性基板这双方重叠。

6.如权利要求1至权利要求5中任一项所述的液体喷出头，其特征在于，

包括对所述驱动元件进行驱动的驱动IC，

所述驱动IC在俯视观察时与所述压力室和所述第一可塑性基板这双方重叠。

7.如权利要求1至权利要求6中任一项所述的液体喷出头，其特征在于，包括形成所述液体贮留室的外壳部件，

所述外壳部件具有形成所述第一贮留室的第一外壳部件和形成所述中间贮留室的第二外壳部件，

所述第一外壳部件和所述第二外壳部件以所述第一贮留室的至少一部分在俯视观察时与所述第二贮留室重叠的方式而被层叠，

在所述第一外壳部件与所述第二外壳部件之间设置所述第一可塑性基板。

8.如权利要求7所述的液体喷出头，其特征在于，

在所述第二外壳部件中，在隔着所述第一可塑性基板而与所述第一贮留室相反的一侧设置有阻尼室。

9.如权利要求8所述的液体喷出头，其特征在于，

所述第一可塑性基板中的变形的能动部的长度比所述导入口的开口宽度长。

10.如权利要求9所述的液体喷出头，其特征在于，

所述第一可塑性基板在俯视观察时与所述导入口重叠。

11.如权利要求8所述的液体喷出头，其特征在于，

所述第一可塑性基板是挠性膜与金属部件的复合部件。

12.如权利要求8所述的液体喷出头，其特征在于，

所述第一可塑性基板是不包含金属部件的单体的部件。

13.如权利要求8所述的液体喷出头，其特征在于，

所述第一可塑性基板被配置于彼此对置的所述第二贮留室的开口部与所述阻尼室的开口部之间，并被固定于所述第二外壳部件，且未被固定于所述第一外壳部件。

14.如权利要求1至权利要求6中任一项所述的液体喷出头，其特征在于，

包括形成所述液体贮留室的外壳部件，

所述外壳部件具有形成所述第一贮留室的第一外壳部件和形成所述中间贮留室的第二外壳部件，

所述第一外壳部件和所述第二外壳部件以所述第一贮留室的至少一部分在俯视观察时与所述第二贮留室重叠的方式而被层叠，

所述第二外壳部件在所述第一贮留室侧具备与所述第一贮留室连通的扩张空间，并且在与所述第一贮留室相反的一侧具备收纳对所述驱动元件进行驱动的驱动IC的收纳空间，

所述扩张空间以在所述收纳空间侧开口的方式而贯通，

所述第一可塑性基板以对所述扩张空间的在所述收纳空间侧开口的开口部进行密封的方式而被固定于所述第二外壳部件。

15.如权利要求14所述的液体喷出头，其特征在于，

在所述第一外壳部件中具备对在所述第一贮留室侧开口的开口部进行密封的第三可塑性基板。

16.一种液体喷出装置，其特征在于，具备：

输送机构，其对介质进行输送；以及

权利要求1至权利要求15中任一项所述的液体喷出头，其向所述介质喷出液体。