JP2021030672A - 液体吐出ヘッドユニットおよび液体吐出装置 - Google Patents

Abstract

【課題】積層構造の流路部材において、他の弊害をできる限り生じさせることなく、流路部材の全体の厚さを小さくする。【解決手段】複数の層の積層により構成され、内部を液体が流通する流路部材と、前記流路部材から液体が供給され、液体を吐出する液体吐出ヘッドと、を有する液体吐出ヘッドユニットであって、前記複数の層は、前記複数の層のうち積層方向で最外の層である第１層と、前記第１層に積層される第２層と、前記第２層の前記第１層とは反対側に積層される第３層と、を含み、前記第１層と前記第２層との間には、第１流路が設けられ、前記第２層と前記第３層との間には、第２流路が設けられ、前記第３層の内部には、フィルター室が設けられ、前記第２層は、前記第１層および前記第３層のそれぞれよりも薄いことを特徴とする液体吐出ヘッドユニット。【選択図】図１０

Description

本発明は、液体吐出装置に関する。

従来、インクジェット方式のプリンターに代表されるように、インク等の液体を吐出する液体吐出装置が知られている。例えば、特許文献１に記載の装置は、複数のノズルからインクを噴射する液体噴射部と、インクを液体噴射部に供給する流路が内部に形成された流路ユニットと、を有する。

特開２０１７−１３６７２０号公報

前述の流路ユニットに用いるような流路部材は、例えば、層間に流路が設けられる複数の層の積層により構成される。このような積層構造の流路部材において、他の弊害をできる限り生じさせることなく、流路部材の全体の厚さを小さくすることが望まれる。

以上の課題を解決するために、本発明の好適な態様に係る液体吐出ヘッドユニットは、複数の層の積層により構成され、内部を液体が流通する流路部材と、前記流路部材から液体が供給され、液体を吐出する液体吐出ヘッドと、を有する液体吐出ヘッドユニットであって、前記複数の層は、前記複数の層のうち積層方向で最外の層である第１層と、前記第１層に積層される第２層と、前記第２層の前記第１層とは反対側に積層される第３層と、を含み、前記第１層と前記第２層との間には、第１流路が設けられ、前記第２層と前記第３層との間には、第２流路が設けられ、前記第３層の内部には、フィルター室が設けられ、前記第２層は、前記第１層および前記第３層のそれぞれよりも薄い。

第１実施形態に係る液体吐出装置の構成を例示する概略図である。 ヘッドモジュールの斜視図である。 ヘッドユニットの分解斜視図である。 ヘッドユニットをＺ1方向からみた平面図である。 ヘッドユニットをＺ2方向からみた平面図である。 循環ヘッドの平面図である。 流路部材に設けられる流路を例示する平面図である。 流路部材に設けられる流路のうち第１インクのための供給流路および排出流路の側面図である。 流路部材に設けられる流路のうち第２インクのための供給流路および排出流路の側面図である。 第１実施形態における流路部材を模式的に示す断面図である。 第１実施形態における流路部材を模式的に示す断面図である。 参考例１における流路部材を模式的に示す断面図である。 参考例２における流路部材を模式的に示す断面図である。 参考例３における流路部材を模式的に示す断面図である。 参考例４における流路部材を模式的に示す断面図である。 第２実施形態における流路部材を模式的に示す断面図である。 第３実施形態における流路部材を模式的に示す断面図である。 第３実施形態における流路部材の空洞部の配置を示す平面図である。

以下の説明では、相互に直交するＸ軸とＹ軸とＺ軸とを想定する。図２に例示される通り、任意の地点からみてＸ軸に沿う一方向をＸ1方向と表記し、Ｘ1方向の反対の方向をＸ2方向と表記する。同様に、任意の地点からＹ軸に沿って相互に反対の方向をＹ1方向およびＹ2方向と表記し、任意の地点からＺ軸に沿って相互に反対の方向をＺ1方向およびＺ2方向と表記する。Ｘ軸とＹ軸とを含むＸ-Ｙ平面は水平面に相当する。Ｚ軸は鉛直方向に沿う軸線であり、Ｚ2方向は鉛直方向の下方に相当する。なお、Ｘ軸、Ｙ軸およびＺ軸は、相互に略９０度の角度で交差していれば良い。

１．第１実施形態
１−１．液体吐出装置１００
図１は、第１実施形態に係る液体吐出装置１００の構成を例示する概略図である。液体吐出装置１００は、液体の一例であるインクを液滴として媒体１１に吐出するインクジェット方式の印刷装置である。媒体１１は、典型的には印刷用紙である。ただし、例えば樹脂フィルムまたは布帛等の任意の材質の印刷対象が媒体１１として利用され得る。

図１に例示される通り、液体吐出装置１００には、インクを貯留する液体容器１２が設置される。例えば液体吐出装置１００に着脱可能なカートリッジ、可撓性のフィルムで形成された袋状のインクパック、または、インクを補充可能なインクタンクが、液体容器１２として利用される。図１に例示される通り、液体容器１２は、液体容器１２aと液体容器１２bとを含む。液体容器１２aには第１インクが貯留され、液体容器１２bには第２インクが貯留される。第１インクと第２インクとは相異なる種類のインクである。例えば、シアンインク、マゼンタインク、イエローインクおよびブラックインクのうち、１つが第１インクとして用いられ、他の１つが第２インクとして用いられる。

液体吐出装置１００には、インクを一時的に貯留するサブタンク１３が設けられる。サブタンク１３には、液体容器１２から供給されたインクが貯留される。サブタンク１３は、第１インクが貯留されるサブタンク１３aと、第２インクが貯留されるサブタンク１３bと、を含む。サブタンク１３aは液体容器１２aと接続され、サブタンク１３bは液体容器１２bと接続される。また、サブタンク１３は、ヘッドモジュール２５と接続され、ヘッドモジュール２５にインクを供給し、かつ、ヘッドモジュール２５からインクを回収する。サブタンク１３とヘッドモジュール２５の間のインクの流れについては、後に詳細に説明する。

図１に例示される通り、液体吐出装置１００は、制御ユニット２１と搬送機構２３と移動機構２４とヘッドモジュール２５とを具備する。制御ユニット２１は、液体吐出装置１００の各要素を制御する。制御ユニット２１は、例えばＣＰＵ（Central Processing Unit）またはＦＰＧＡ（Field Programmable Gate Array）等の１または複数の処理回路と半導体メモリー等の１または複数の記憶回路とを具備する。

搬送機構２３は、制御ユニット２１による制御のもとで媒体１１をＹ軸に沿って搬送する。移動機構２４は、制御ユニット２１による制御のもとでヘッドモジュール２５をＸ軸に沿って往復させる。本実施形態の移動機構２４は、ヘッドモジュール２５を収容する略箱型の搬送体２４１と、搬送体２４１が固定された無端ベルト２４２とを具備する。なお、液体容器１２、サブタンク１３をヘッドモジュール２５とともに搬送体２４１に搭載した構成も採用され得る。

ヘッドモジュール２５は、サブタンク１３から供給されるインクを制御ユニット２１による制御のもとで複数のノズルの各々から媒体１１に吐出する。搬送機構２３による媒体１１の搬送と搬送体２４１の反復的な往復とに並行してヘッドモジュール２５が媒体１１にインクを吐出することで、媒体１１の表面に画像が形成される。

図２は、ヘッドモジュール２５の斜視図である。図２に例示される通り、ヘッドモジュール２５は、支持体２５１と複数のヘッドユニット２５２とを具備する。支持体２５１は、複数のヘッドユニット２５２を支持する板状部材である。支持体２５１には、複数の取付孔２５３と複数のねじ孔２５４とが形成される。各ヘッドユニット２５２は、取付孔２５３に挿入された状態で支持体２５１に支持される。複数のねじ孔２５４は、取付孔２５３ごとに２つずつ対応して設けられる。図２に例示される通り、各ヘッドユニット２５２は、支持体２５１に対して、２箇所でねじ２５６およびねじ孔２５４を用いるねじ留めにより固定される。複数のヘッドユニット２５２は、Ｘ軸およびＹ軸に沿って行列状に配列する。ただし、ヘッドユニット２５２の個数、および複数のヘッドユニット２５２の配列の態様は、以上の例示に限定されない。

以上のように、液体吐出装置１００は、液体吐出ヘッドユニットの一例であるヘッドユニット２５２と、ヘッドユニット２５２からの吐出動作を制御する制御部の一例である制御ユニット２１と、を有する。以上の液体吐出装置１００では、後述する流路部材３１１の全体の厚さを小さくすることができるという効果を享受することで、設計の自由度を高められる等の効果が得られる。

１−２．ヘッドユニット２５２
図３は、ヘッドユニット２５２の分解斜視図である。図３に例示される通り、ヘッドユニット２５２は、流路構造体３１と配線基板３２とホルダー３３と複数の循環ヘッドＨnと固定板３６と補強板３７とカバー３８とを具備する。配線基板３２とホルダー３３との間に流路構造体３１が位置する。具体的には、流路構造体３１に対してＺ2方向にホルダー３３が設置され、流路構造体３１に対してＺ1方向に配線基板３２が設置される。循環ヘッドＨnは、「液体吐出ヘッド」の一例である。また、複数の循環ヘッドＨnのうち、任意の１つの循環ヘッドＨnが「第１液体吐出ヘッド」の一例であり、他の任意の1つの循環ヘッドＨnが「第２液体吐出ヘッド」の一例である。本実施形態では、各ヘッドユニット２５２に具備される循環ヘッドＨnの数が４個である。以下では、この４個の循環ヘッドＨnを循環ヘッドＨ1、Ｈ2、Ｈ3およびＨ4とも表記する。

流路構造体３１は、サブタンク１３に貯留されたインクを複数の循環ヘッドＨnに供給するための流路が内部に形成された構造体である。流路構造体３１は、流路部材３１１と接続管３１２、３１３、３１４および３１５とを具備する。図３では図示を省略するが、流路部材３１１には、第１インクを複数の循環ヘッドＨnに供給するための供給流路と、第２インクを複数の循環ヘッドＨnに供給するための供給流路と、複数の循環ヘッドＨnから第１インクを排出するための排出流路と、複数の循環ヘッドＨnから第２インクを排出するための排出流路とが設けられる。

流路部材３１１は、第１層Ｓu1、第２層Ｓu2、第３層Ｓu3、第４層Ｓu4および第５層Ｓu5の積層により構成される。流路部材３１１を構成する複数の層Ｓu1〜Ｓu5は、例えば樹脂材料の射出成形で形成される。当該複数の層Ｓu1〜Ｓu5は、例えば接着剤により相互に接合される。なお、後述するように本実施形態における流路部材３１１は、実際には第１層Ｓu1、第２層u2、第３層Ｓu3、第４層Ｓu4、第５層Ｓu5のＺ軸に沿う厚さが互いに異なるが、図３では便宜上これらの厚さが互いに略同じである。

流路部材３１１は、Ｙ軸に沿う長手形状をなす。流路部材３１１の長手方向での一端側の部分には、接続管３１２および３１３が設けられ、一方、流路部材３１１の長手方向での他端側の部分には、接続管３１４および３１５が設けられる。

接続管３１２、３１３、３１４および３１５のそれぞれは、流路部材３１１から突出する管体である。接続管３１２は、流路部材３１１に第１インクを供給するための供給口Ｓa_inが設けられる供給管である。同様に、接続管３１３は、流路部材３１１に第２インクを供給するための供給口Ｓb_inが設けられる供給管である。一方、接続管３１４は、流路部材３１１から第１インクを排出するための排出口Ｄa_outが設けられる排出管である。同様に、接続管３１５は、流路部材３１１から第２インクを排出するための排出口Ｄb_outが設けられる排出管である。

配線基板３２は、ヘッドユニット２５２を制御ユニット２１に電気的に接続するための実装部品である。配線基板３２は、例えば、フレキシブル配線基板またはリジッド配線基板等で構成される。配線基板３２は、流路構造体３１上に配置される。配線基板３２の一方の面は、流路構造体３１に対向する。配線基板３２の他方の面には、コネクター３５が設置される。コネクター３５は、ヘッドユニット２５２と制御ユニット２１とを電気的に接続するための接続部品である。また、図示しないが、配線基板３２には、複数の循環ヘッドＨnに接続される配線が接続される。当該配線は、例えば、フレキシブル配線基板およびリジッド配線基板の組み合わせで構成される。なお、当該配線は、配線基板３２と一体で構成されてもよい。

ホルダー３３は、複数の循環ヘッドＨnを収容および支持する構造体である。ホルダー３３は、例えば、樹脂材料または金属材料等で構成される。ホルダー３３には、複数の凹部３３１と複数のインク孔３３２と複数の配線孔３３３と１対のフランジ３３４とが設けられる。当該複数の凹部３３１のそれぞれは、Ｚ2方向に向けて開口し、循環ヘッドＨnが配置される空間である。当該複数のインク孔３３２のそれぞれは、凹部３３１に配置される循環ヘッドＨnと前述の流路構造体３１との間でインクを流通させる流路である。当該複数の配線孔３３３のそれぞれは、循環ヘッドＨnと配線基板３２とを接続する図示しない配線が通される孔である。１対のフランジ３３４は、支持体２５１に対してホルダー３３を固定するための固定部である。図３に例示される１対のフランジ３３４には、支持体２５１に対するねじ留めのための孔３３５が設けられる。孔３３５には、前述のねじ２５６が通される。

各循環ヘッドＨnは、インクを吐出する。すなわち、図３では図示を省略するが、各循環ヘッドＨnは、第１インクを吐出する複数のノズルと、第２インクを吐出する複数のノズルと、を有する。なお、循環ヘッドＨnの構成については、後述する。

固定板３６は、複数の循環ヘッドＨnをホルダー３３に対して固定するための板部材である。具体的には、固定板３６は、ホルダー３３との間に複数の循環ヘッドＨnを挟む状態で配置され、ホルダー３３に対して接着剤により固定される。固定板３６は、例えば、金属材料等で構成される。固定板３６には、当該複数の循環ヘッドＨnのノズルを露出させるための複数の開口部３６１が設けられる。図３の例示では、当該複数の開口部３６１は、循環ヘッドＨnごとに個別に設けられる。なお、開口部３６１は、２以上の循環ヘッドＨnで共用される態様でもよい。

補強板３７は、ホルダー３３と固定板３６との間に配置され、固定板３６を補強する板状部材である。補強板３７は、固定板３６上に重ねて配置され、固定板３６に対して接着剤により固定される。補強板３７には、当該複数の循環ヘッドＨnが配置される複数の開口部３７１が設けられる。補強板３７は、例えば、金属材料等で構成される。固定板３６の補強の観点から、補強板３７の厚さは、固定板３６の厚さよりも厚いことが好ましい。

カバー３８は、流路構造体３１の流路部材３１１と配線基板３２とを収容する箱状の部材である。カバー３８は、例えば、樹脂材料等で構成される。カバー３８には、４個の貫通孔３８１と開口部３８２とが設けられる。当該４個の貫通孔３８１は、流路構造体３１の４個の接続管３１２に対応しており、各貫通孔３８１には、対応する接続管３１２、３１３、３１４または３１５が通される。開口部３８２には、カバー３８内から外部にコネクター３５が通される。

図４は、ヘッドユニット２５２をＺ1方向からみた平面図である。図４に例示される通り、各ヘッドユニット２５２は、Ｚ1方向からみて、第１部分Ｕ1と第２部分Ｕ2と第３部分Ｕ3とを含む外形に構成される。第１部分Ｕ1は、第２部分Ｕ2と第３部分Ｕ3との間に位置する。具体的には、第２部分Ｕ2は第１部分Ｕ1に対してＹ2方向に位置し、第３部分Ｕ3は第１部分Ｕ1に対してＹ1方向に位置する。本実施形態では、流路構造体３１およびホルダー３３のそれぞれは、Ｚ1方向からみて、ヘッドユニット２５２に対応した外形をなす。配線基板３２は、Ｚ1方向からみて、第１部分Ｕ1に対応した外形をなす。

図４には、Ｙ軸に沿って第１部分Ｕ1の中心を通る線分である中心線Ｌcが図示されている。第２部分Ｕ2は中心線Ｌcに対してＸ1方向に位置し、第３部分Ｕ3は中心線Ｌcに対してＸ2方向に位置する。すなわち、第２部分Ｕ2と第３部分Ｕ3とは、中心線Ｌcを挟んで互いにＸ軸の反対側に位置する。図４に例示される通り、各ヘッドユニット２５２の第３部分Ｕ3と他のヘッドユニット２５２の第２部分Ｕ2とがＹ軸に沿って一部重なるように、複数のヘッドユニット２５２がＹ軸に沿って並ぶ。

図５は、ヘッドユニット２５２をＺ2方向からみた平面図である。図５では、説明の便宜上、１対のフランジ３３４の図示が省略される。図５に例示される通り、Ｘ軸に沿う第２部分Ｕ2の幅Ｗ2は、Ｘ軸に沿う第１部分Ｕ1の幅Ｗ1よりも短い。同様に、Ｘ軸に沿う第３部分Ｕ3の幅Ｗ3は、Ｘ軸に沿う第１部分Ｕ1の幅Ｗ1よりも短い。図４に例示される幅Ｗ2および幅Ｗ3は、互いに等しい。なお、幅Ｗ2および幅Ｗ3は、互いに異なってもよい。ただし、幅Ｗ2および幅Ｗ3が互いに等しい場合、ヘッドユニット２５２の形状の対称性を高めることができ、この結果、複数のヘッドユニット２５２を密に配列しやすいという利点がある。ここで、第１部分Ｕ1、第２部分Ｕ2、第３部分Ｕ3それぞれの幅Ｗ1、Ｗ2、Ｗ3は、各部分のＸ軸に沿った一方側の端と他方側の端との間の幅である。

第１部分Ｕ1におけるＸ1方向の端面Ｅ1aは、第２部分Ｕ2におけるＸ1方向の端面Ｅ2と連続する平面である。一方、第１部分Ｕ1におけるＸ2方向の端面Ｅ1bは、第３部分Ｕ3におけるＸ2方向の端面Ｅ3と連続する平面である。なお、これらの端面には、適宜に凹部または凸部が設けられてもよい。また、端面Ｅ1aと端面Ｅ2との間に段差が設けられてもよいし、端面Ｅ1bと端面Ｅ3との間に段差が設けられてもよい。

図５に例示される通り、ヘッドユニット２５２のホルダー３３には、４個の循環ヘッドＨn（ｎ＝１〜４）が保持される。各循環ヘッドＨn（ｎ＝１〜４）は、複数のノズルＮからインクを吐出する。図５に例示される通り、複数のノズルＮは、ノズル列Ｌaとノズル列Ｌbとに区分される。ノズル列Ｌaおよびノズル列Ｌbの各々は、Ｙ軸に沿って配列する複数のノズルＮの集合である。ノズル列Ｌaとノズル列Ｌbとは、Ｘ軸の方向に相互に間隔をあけて併設される。以下の説明では、ノズル列Ｌaに関連する要素の符号に添字aを付加し、ノズル列Ｌbに関連する要素の符号に添字bを付加する。

１−３．循環ヘッドＨn
図６は、循環ヘッドＨnの平面図である。図６には、Ｚ1方向からみた循環ヘッドＨnの内部の構造が模式的に図示される。図６に例示される通り、各循環ヘッドＨnは、液体吐出部Ｑaと液体吐出部Ｑbとを具備する。各循環ヘッドＨnの液体吐出部Ｑaは、サブタンク１３aから供給される第１インクをノズル列Ｌaの各ノズルＮから吐出する。各循環ヘッドＨnの液体吐出部Ｑbは、サブタンク１３bから供給される第２インクをノズル列Ｌbの各ノズルＮから吐出する。

液体吐出部Ｑaは、液体貯留室Ｒaと複数の圧力室Ｃaと複数の駆動素子Ｅaとを具備する。液体貯留室Ｒaは、ノズル列Ｌaの複数のノズルＮにわたり連続する共通液室である。圧力室Ｃaと駆動素子Ｅaとは、ノズル列ＬaのノズルＮ毎に形成される。圧力室Ｃaは、ノズルＮに連通する空間である。液体貯留室Ｒaから供給される第１インクが複数の圧力室Ｃaの各々に充填される。駆動素子Ｅaは、圧力室Ｃa内の第１インクの圧力を変動させる。例えば圧力室Ｃaの壁面を変形させることで当該圧力室Ｃaの容積を変化させる圧電素子、または、圧力室Ｃa内の第１インクの加熱により圧力室Ｃa内に気泡を発生させる発熱素子が、駆動素子Ｅaとして好適に利用される。駆動素子Ｅaが圧力室Ｃa内の第１インクの圧力を変動させることで、当該圧力室Ｃa内の第１インクがノズルＮから吐出される。

液体吐出部Ｑbは、液体吐出部Ｑaと同様に、液体貯留室Ｒbと複数の圧力室Ｃbと複数の駆動素子Ｅbとを具備する。液体貯留室Ｒbは、ノズル列Ｌbの複数のノズルＮにわたり連続する共通液室である。圧力室Ｃbと駆動素子Ｅbとは、ノズル列ＬbのノズルＮ毎に形成される。液体貯留室Ｒbから供給される第２インクが複数の圧力室Ｃbの各々に充填される。駆動素子Ｅbは、例えば前述の圧電素子または発熱素子である。駆動素子Ｅbが圧力室Ｃb内の第２インクの圧力を変動させることで、当該圧力室Ｃb内の第２インクがノズルＮから吐出される。

図６に例示される通り、各循環ヘッドＨnには、供給口Ｒa_inと排出口Ｒa_outと供給口Ｒb_inと排出口Ｒb_outとが設置される。供給口Ｒa_inおよび排出口Ｒa_outは液体貯留室Ｒaに連通する。供給口Ｒb_inおよび排出口Ｒb_outは液体貯留室Ｒbに連通する。

以上の各循環ヘッドＨnの液体貯留室Ｒaに貯留される第１インクのうちノズル列Ｌaの各ノズルＮから吐出されない第１インクは、排出口Ｒa_out→流路構造体３１の第１インクのための排出流路→ヘッドユニット２５２の外部に設けられたサブタンク１３a→流路構造体３１の第１インクのための供給流路→供給口Ｒa_in→液体貯留室Ｒa、という経路で循環する。同様に、各循環ヘッドＨnの液体貯留室Ｒbに貯留される第２インクのうちノズル列Ｌbの各ノズルＮから吐出されない第２インクは、排出口Ｒb_out→流路構造体３１の第２インクのための排出流路→ヘッドユニット２５２の外部に設けられたサブタンク１３b→流路構造体３１の第２インクのための供給流路→供給口Ｒb_in→液体貯留室Ｒb、という経路で循環する。

１−４．流路構造体３１
図７は、流路構造体３１に設けられる流路を例示する平面図である。図８は、流路構造体３１に設けられる流路のうち第１インクのための供給流路Ｓaおよび排出流路Ｄaの側面図である。図９は、流路構造体３１に設けられる流路のうち第２インクのための供給流路Ｓbおよび排出流路Ｄbの側面図である。図８および図９には、各循環ヘッドＨnの液体貯留室Ｒaが符号「Ｒa／Ｈn」で示され、各循環ヘッドＨnの液体貯留室Ｒbが符号「Ｒb／Ｈn」で示される。なお、流路構造体３１における流路の構成は、以下の構成に限定されない。また、後述するように本実施形態では流路部材３１１は、実際には第１層Ｓu1、第２層Ｓu2、第３層Ｓu3、第４層Ｓu4、第５層Ｓu5のＺ軸に沿う厚さを所定の条件にしたがって互いに異ならせるが、図８、図９では便宜上、当該所定の条件を考慮せずにこれらの厚さが記載される。また、図８、図９では、便宜上、供給流路Ｓa、供給流路Ｓb、排出流路Ｄa、排出流路Ｄbそれぞれの水平方向（ＸＹ方向）に延在する部分の深さ（Ｚ軸における高さ）が一部異なるように示しているが、実際には供給流路Ｓa、供給流路Ｓb、排出流路Ｄa、排出流路Ｄbそれぞれの水平方向に延在する部分の深さは互いに略等しい。

流路構造体３１の内部には、図７に例示される通り、供給流路Ｓaと排出流路Ｄaと供給流路Ｓbと排出流路Ｄbとが設けられる。供給流路Ｓaは、供給口Ｓa_inから各循環ヘッドＨnの液体貯留室Ｒaに至る流路である。排出流路Ｄaは、各循環ヘッドＨnの液体貯留室Ｒaから排出口Ｄa_outに至る流路である。供給流路Ｓbは、供給口Ｓb_inから各循環ヘッドＨnの液体貯留室Ｒbに至る流路である。排出流路Ｄbは、各循環ヘッドＨnの液体貯留室Ｒbから排出口Ｄa_outに至る流路である。

図７および図８に例示される通り、供給流路Ｓaは、供給部Ｐa1と連結部Ｐa2と４個のフィルター室Ｆa_1〜Ｆa_4と４個の連結部Ｐa3とを含む流路である。供給部Ｐa1は、第１流路の一例である。連結部Ｐa2は、第２流路の一例である。図８に例示される通り、供給部Ｐa1は、第１層Ｓu1と第２層Ｓu2との間に形成される。供給部Ｐa1は、Ｙ軸に沿って延びる形状をなす。供給部Ｐa1におけるＹ2方向の端には、供給口Ｓa_inが連通する。

連結部Ｐa2と４個のフィルター室Ｆa_1〜Ｆa_4とは、第２層Ｓu2と第３層Ｓu3との間に形成される。各フィルター室Ｆa_1〜Ｆa_4には、第１インクに混入する異物または気泡を捕集するフィルターが設置される。連結部Ｐa2は、第２層Ｓu2に形成された貫通孔を介して供給部Ｐa1に連通する。連結部Ｐa2は、供給部Ｐa1との接続位置からＹ2方向に延び、２系統に分岐してフィルター室Ｆa_1とフィルター室Ｆa_3とに連通する。

フィルター室Ｆa_2は、第２層Ｓu2に形成された貫通孔を介して供給部Ｐa1に連通する。フィルター室Ｆa_4は、第２層Ｓu2に形成された貫通孔を介して供給部Ｐa1に連通する。各フィルター室Ｆa_1〜Ｆa_4は、第３層Ｓu3と第４層Ｓu4と第５層Ｓu5とを貫通する貫通孔を介して各循環ヘッドＨnの供給口Ｒa_inに連通する。当該貫通孔の途中には、第４層Ｓu4と第５層Ｓu5との間に形成される連結部Ｐa3が設けられる。

図７および図９に例示される通り、供給流路Ｓbは、供給部Ｐb1と連結部Ｐb2と４個のフィルター室Ｆb_1〜Ｆb_4と４個の連結部Ｐb3とを含む流路である。供給部Ｐb1は、第１流路の一例である。連結部Ｐb2は、第２流路の一例である。供給部Ｐb1は、第１層Ｓu1と第２層Ｓu2との間に形成される。供給部Ｐb1は、Ｙ軸に沿って延びる形状をなす。供給部Ｐb1におけるＹ2方向の端には、供給口Ｓb_inが連通する。ここで、供給部Ｐa1と供給部Ｐb1とは第１層Ｓu1と第２層Ｓu2との間に併設される。

連結部Ｐb2と４個のフィルター室Ｆb_1〜Ｆb_4とは、第２層Ｓu2と第３層Ｓu3との間に形成される。各フィルター室Ｆb_1〜Ｆb_4には、第２インクに混入する異物または気泡を捕集するフィルターが設置される。連結部Ｐb2は、第２層Ｓu2に形成された貫通孔を介して供給部Ｐb1に連通する。連結部Ｐb2は、供給部Ｐb1との接続位置からＹ1方向に延び、２系統に分岐してフィルター室Ｆb_2とフィルター室Ｆb_4とに連通する。ここで、連結部Ｐb2は、供給部Ｐb1との接続位置から連結部Ｐa2とは反対の方向に延びる。

フィルター室Ｆb_1は、第２層Ｓu2に形成された貫通孔を介して供給部Ｐb1に連通する。フィルター室Ｆb_3は、第２層Ｓu2に形成された貫通孔を介して供給部Ｐb1に連通する。各フィルター室Ｆb_1〜Ｆb_4は、第３層Ｓu3と第４層Ｓu4と第５層Ｓu5とを貫通する貫通孔を介して各循環ヘッドＨnの供給口Ｒb_inに連通する。当該貫通孔の途中には、第４層Ｓu4と第５層Ｓu5との間に形成される連結部Ｐb3が設けられる。

図７および図８に例示される通り、排出流路Ｄaは、排出部Ｐa4を含む流路である。排出部Ｐa4は、第４流路の一例である。排出部Ｐa4は、第４層Ｓu4と第５層Ｓu5との間に形成される。排出部Ｐa4は、供給部Ｐa1よりも広い範囲にわたりＹ軸に沿って延びる形状をなす。排出部Ｐa4におけるＹ1方向の端部の近傍が排出口Ｄa_outに連通する。各循環ヘッドＨnの排出口Ｒa_outは、第５層Ｓu5を貫通する貫通孔を介して排出部Ｐa4に連通する。

図７および図９に例示される通り、排出流路Ｄbは、排出部Ｐb4を含む流路である。排出部Ｐb4は、第３流路の一例である。排出部Ｐb4は、第３層Ｓu3と第４層Ｓu4との間に形成される。排出部Ｐb4は、供給部Ｐb1よりも広い範囲にわたりＹ軸に沿って延びる形状をなす。排出部Ｐb4におけるＹ1方向の端部の近傍が排出口Ｄb_outに連通する。各循環ヘッドＨnの排出口Ｒb_outは、第４層Ｓu4と第５層Ｓu5とを貫通する貫通孔を介して排出部Ｐb4に連通する。

１−５．流路部材３１１の各部の寸法
図１０および図１１は、第１実施形態における流路部材３１１を模式的に示す断面図である。図１０では、説明の便宜上、流路部材３１１に設けられる流路のうち供給流路Ｓaが代表的に図示される。図１１では、説明の便宜上、流路部材３１１に設けられる流路のうち供給流路Ｓbが代表的に図示される。なお、図１０、図１１のそれぞれにおいて、破線にて第４層Ｓu4と第５層Ｓu5にまたがる排出流路Ｄa、および第３層Ｓu3と第４層Ｓu4にまたがる排出流路Ｄbを示している。

流路部材３１１では、第２層Ｓu2の厚さＴ２と第４層Ｓu4の厚さＴ４とのそれぞれが第３層Ｓu3の厚さＴ３よりも薄い。図１０では、第１層Ｓu1の厚さＴ１と第２層Ｓu2の厚さＴ２と第４層Ｓu4の厚さＴ４と第５層Ｓu5の厚さＴ５とが互いに等しい構成が例示される。なお、厚さＴ１、Ｔ２、Ｔ４およびＴ５は、互いに異なってもよい。図１０、図１１に示す本実施形態の詳細については、以下条件Ａ〜Ｄを記載した後、説明する。

第２層Ｓu2の厚さＴ２と第４層Ｓu4の厚さＴ４とのそれぞれを他の層の厚さよりも薄くすることで、他の弊害をできる限り生じさせることなく、流路部材３１１の厚さＴを薄くすることができる。以下、この点を詳述する。

本実施形態では、下記の条件Ａ〜Ｄにしたがって各層の厚さＴ１〜Ｔ５を設定する。
条件Ａ：Ｔ１＝Ｔ２＝Ｔ３＝Ｔ４＝Ｔ５としない。
条件Ｂ：Ｔ３はＴ１、Ｔ２、Ｔ４、Ｔ５よりも大きくする。
条件Ｃ：互いに隣り合う２層の両方を他に比べて小さくしない。
条件Ｄ：Ｔ１を小さく、代わりにＴ２を大きくすることはしない。
条件Ａ、Ｂ、Ｃ、Ｄについて、以下に詳細に説明する。

条件Ａについて説明する。図１２は、参考例１における流路部材３１１Ｘ１を模式的に示す断面図である。流路部材３１１Ｘ１では、第１層Ｓu1の厚さＴ１と第２層Ｓu2の厚さＴ２と第３層Ｓu3の厚さＴ３と第４層Ｓu4の厚さＴ４と第５層Ｓu5の厚さＴ５とが互いに等しい。この場合、供給部Ｐa1と連結部Ｐa2との間の距離Ｄ２３が必要以上に大きくなる。このため、厚さＴ１、Ｔ２、Ｔ３、Ｔ４およびＴ５を互いに等しくすることは、流路部材３１１Ｘ１の厚さＴを小さくする上で好ましいとはいえない。したがって、流路部材３１１の厚さＴを小さくするには、厚さＴ１、Ｔ２、Ｔ３、Ｔ４およびＴ５を互いに等しくしないという「条件Ａ」を満たす必要がある。

条件Ｂについて説明する。第３層Ｓu3には、前述のように、連結部Ｐa2だけでなく、フィルター室Ｆa_1〜Ｆa_4およびＦb_1〜Ｆb_4が設けられる。このため、第３層Ｓu3には、他の層よりも厚いことが要求される。したがって、流路部材３１１の厚さＴを小さくする上で、流路部材３１１に必要な機能を確保するには、厚さＴ３が厚さＴ１、Ｔ２、Ｔ４およびＴ５のそれぞれよりも厚いという「条件Ｂ」を満たす必要がある。

条件Ｃについて説明する。図１３は、参考例２における流路部材３１１Ｘ２を模式的に示す断面図である。流路部材３１１Ｘ２では、第１層Ｓu1の厚さＴ１と第２層Ｓu2の厚さＴ２とのそれぞれが第３層Ｓu3の厚さＴ３と第４層Ｓu4の厚さＴ４と第５層Ｓu5の厚さＴ５とのそれぞれよりも薄い。この場合、供給部Ｐa1と連結部Ｐa2との間の距離Ｄ２３が小さくなりすぎてしまい、この結果、第２層Ｓu2に必要な剛性を確保することができないという問題がある。この問題は、他の隣り合う２つの層においても同様に生じる。したがって、流路部材３１１の厚さＴを小さくする上で、流路部材３１１に必要な機能を確保するには、層Ｓu1〜Ｓu5のうち隣り合う２つの層の双方を残りの層に比べて薄くしないという「条件Ｃ」を満たす必要がある。

条件Ｄについて説明する。図１４は、参考例３における流路部材３１１Ｘ３を模式的に示す断面図である。流路部材３１１Ｘ３では、積層方向（Ｚ軸）における端に位置する第１層Ｓu1の厚さＴ１が第２層Ｓu2の厚さＴ２と第３層Ｓu3の厚さＴ３と第４層Ｓu4の厚さＴ４と第５層Ｓu5の厚さＴ５とのそれぞれよりも薄い。この場合、供給部Ｐa1を第１層Ｓu1と第２層Ｓu2の中央に設ける、言い換えると第１層Ｓu1における供給部Ｐa1の深さＤ１１と第２層Ｓu2における供給部Ｐa1の深さＤ２１が同じになるようにすると、第１層Ｓu1内において供給部Ｐa1が占める深さが相対的に多くなる。このように、ある単独の層において流路等の空洞部が一方の面側のみに設けられる場合、その深さが深いほど、その面側を凸とした撓みが生じる方向に強い力が発生する。

ここで、第１層Ｓu1は積層方向における端に位置するので、積層方向の他方側（Ｚ１側）には第１層Ｓu1の撓みを抑える層は当接していない。そのため、第１層Ｓu1は第２層Ｓu2や第３層Ｓu3等に比べて撓みが生じる力が発生したときの抑制力が小さく、実際に撓んでしまう可能性が高くなる。

したがって、第１層Ｓu1を薄くし、供給部Ｐa1を第１層Ｓu1と第２層Ｓu2の中央に設ける（Ｄ１１＝Ｄ２１）ようにすると、撓みが生じ易くなってしまう虞がある。したがって、第１層の厚さＴ１を薄くする場合、図１４に示すように、供給部Ｐa1を第１層Ｓu1よりも第２層Ｓu2に寄せ、第１層Ｓu1における供給部Ｐa1の深さＤ１１を第２層Ｓu2における供給部Ｐa1の深さＤ２１よりも小さくする必要がある。

一方で、図１４では、連結部Ｐa2は第２層Ｓu2と第３層Ｓu3の中央に設けている。言い換えると、深さＤ２２と深さＤ３１が同じとなるようにしている。すると、供給部Ｐa1と連結部Ｐa2と深さは略等しいため、第２層Ｓu2において供給部Ｐa1の占める深さＤ２１は連結部Ｐa2の占める深さＤ２２よりも小さくなる。

ここで、ある単独の層において流路等の空洞部が設けられる場合、一方の面側に設けられた空洞部の深さと他方の面側に設けられた空洞部の深さが異なる場合、より空洞部が深い方を凸とした撓みが生じてしまう虞がある。したがって、参考例３においては、第２層Ｓu2において上方向（Ｚ1方向）に向かった凸が生じてしまい、この結果、第２層Ｓu2が撓みやすくなってしまう。

参考例３より、第１層Ｓu1の厚さＴ１を薄くした場合、（１）供給部Ｐa1を第１層Ｓu1と第２層Ｓu2の中央に設ける系、および（２）供給部Ｐa1を第１層Ｓu1と第２層Ｓu2の中央に設け、供給部Ｐa1を第１層Ｓu1よりも第２層Ｓu2に寄せて設け、且つ、連結部Ｐa2を第２層Ｓu2と第３層Ｓu3の中央に設ける系の２つは好ましくないことがわかる。次に、（３）供給部Ｐa1を第１層Ｓu1と第２層Ｓu2の中央に設け、供給部Ｐa1を第１層Ｓu1よりも第２層Ｓu2に寄せて設け、かつ、連結部Ｐa2を第３層Ｓu3よりも第２層Ｓu2側に寄せて設ける系も好ましくないことを説明する。

図１５は、参考例４における流路部材３１１Ｘ４を模式的に示す断面図である。流路部材３１１Ｘ４では、厚さＴ１、Ｔ２、Ｔ３、Ｔ４およびＴ５の大小関係が前述の流路部材３１１Ｘ３と同じであるが、第２層Ｓu2における供給部Ｐa1の深さＤ２１と第２層Ｓu2における連結部Ｐa2の深さＤ２２とが互いに等しい。つまり、参考例３に比べて、連結部Ｐa2を第３層Ｓu3よりも第２層Ｓu2側に寄せる。言い換えると深さＤ２２を深さＳ３１よりも小さくする。こうすると、参考例３と異なり、第２層Ｓu2において供給部Ｐa1の占める深さＤ２１と連結部Ｐa2の占める深さを同じとすることができる。そのため、第２層Ｓu2における撓みは生じにくい。

しかしながら、参考例４では、連結部Ｐa2を第２層Ｓu2側に寄せたことにより、第３層Ｓu3において連結部Ｐa2が占める深さＤ３１が小さくなる。そのため、第３層Ｓu3において連結部Ｐa2の占める深さＤ３１が排出流路Ｄbの占める深さＤ３２よりも小さくなる。この結果、前述の図１４に示す第２層Ｓu2と同様、第３層Ｓu3が撓みやすくなってしまう。このように、参考例４から、上記（３）も好ましくないことがわかる。なお、上記（３）に加え、排出流路Ｄbを第３層Ｓu3よりも第４層Ｓu4側に寄せて設けたとしても、上記（３）と同様の理由によって第４層Ｓu4における撓みが生じてしまう。

以上、参考例３および参考例４を用いて説明したように、第１層Ｓu1の厚さＴ１を薄くする代わりに第２層Ｓu2の厚さＴ２を厚くすることは、好ましくない。同様に、第５層Ｓu5の厚さＴ５を薄くする代わりに第４層Ｓu4の厚さＴ４を厚くすることも、好ましくない。したがって、流路部材３１１の厚さＴを小さくする上で、流路部材３１１に必要な機能を確保するには、第１層Ｓu1の厚さＴ１を薄くする代わりに第２層Ｓu2の厚さＴ２を厚くしたり、第５層Ｓu5の厚さＴ５を薄くする代わりに第４層Ｓu4の厚さＴ４を厚くしたりしないという「条件Ｄ」を満たす必要がある。

以上から、流路部材３１１の厚さＴを小さくする上で、流路部材３１１に必要な機能を確保するには、前述の条件Ａ、Ｂ、ＣおよびＤを満たす必要がある。まず、条件Ａより第１層Ｓu1〜第５層Ｓu5のいずれかを他の層よりも薄くする必要はあるが、条件Ｂにより第３層Ｓu3は他の層より薄くすることはできない。よって第１層Ｓu1、第２層Ｓu2、第４層Ｓu4、第５層Ｓu5のいずれかを第３層Ｓu3よりも薄くする。ただし、条件Ｃより、互いに隣り合う第１層Ｓu1と第２層Ｓu2の両方を薄くすることはできないため、第１層Ｓu1と第２層Ｓu2のいずれかのみを薄くする。このとき、条件Ｄにしたがって、第２層Ｓu2のみを薄くする。第４層Ｓu4と第５層Ｓu5についても同じくして、第４層Ｓu4のみを薄くする。

したがって、図１０、図１１に示す本実施形態では、第２層Ｓu2の厚さＴ２と第４層Ｓu4の厚さＴ４とのそれぞれを他の層の厚さよりも薄くする。つまり、Ｔ２、Ｔ４＜Ｔ１、Ｔ３、Ｔ５とする。これにより、他の弊害をできる限り生じさせることなく、流路部材３１１の厚さＴを薄くすることができる。

なお、本実施形態では、図１０、図１１に示すように、供給部Ｐa1は第２層Ｓu2よりも第１層Ｓu1側に寄せて設け、かつ、連結部Ｐa2は第２層Ｓu2よりも第３層Ｓu3に寄せて設ける。これにより、第２層Ｓu2において供給部Ｐa1の占める深さＤ２１と連結部Ｐa2の占める深さＤ２２を略同じとできるため、第２層Ｓu2において撓みが生じにくい。第３層Ｓu3、第４層Ｓu4についても同様である。

さらに、本実施形態では、図１０、図１１に示すように、第１層Ｓu1と第５層Ｓu5はそれ程薄くせず、第２層Ｓu2、第４層Ｓu4よりも厚くしている。したがって、積層方向の端に位置するが故に発生し易くなる撓みについても、生じる可能性を低くすることができる。

なお、厚さＴ１、Ｔ２、Ｔ３、Ｔ４およびＴ５は、前述の条件Ａ、Ｂ、ＣおよびＤを満たせばよく、厚さＴ３を除く厚さＴ１、Ｔ２、Ｔ４およびＴ５は、互いに等しくてもよいし異なってもよい。ただし、厚さＴ１、Ｔ２、Ｔ４およびＴ５が互いに等しいことで、厚さＴ１、Ｔ２、Ｔ４およびＴ５が互いに異なる場合に比べて、流路部材３１１の製造が容易となるという利点がある。また、具体的な厚さＴ１、Ｔ２、Ｔ３、Ｔ４およびＴ５は、流路部材３１１に形成する流路の形状等に応じて適宜に設計される。

深さＤ２１と深さＤ２２との比は、実質的に１であることが好ましく、具体的には、０．８以上１．２以下であることが好ましく、０．９以上１．１以下であることがより好ましい。当該比をこの範囲内とすることで、第２層Ｓu2における撓みが低減される。当該比をこの範囲内とするには、例えば、深さＤ１１を深さＤ２１よりも大きくするとともに、深さＤ３１を深さＤ２２よりも大きくすればよい。

同様に、深さＤ３１と深さＤ３２との比は、実質的に１であることが好ましく、具体的には、０．８以上１．２以下であることが好ましく、０．９以上１．１以下であることがより好ましい。当該比をこの範囲内とすることで、第３層Ｓu3における撓みが低減される。当該比をこの範囲内とするには、例えば、深さＤ３１を深さＤ２２よりも大きくすればよい。

以上から理解される通り、ヘッドユニット２５２は、前述のように、内部をインクが流通する流路部材３１１と、流路部材３１１からインクが供給され、インクを吐出する液体吐出ヘッドである循環ヘッドＨnと、を有する。流路部材３１１は、複数の層Ｓu1〜Ｓu5の積層により構成される。複数の層Ｓu1〜Ｓu5は、複数の層Ｓu1〜Ｓu5のうち積層方向で最外の層である第１層Ｓu1と、第１層Ｓu1に積層される第２層Ｓu2と、第２層Ｓu2における第１層Ｓu1とは反対側の面に積層される第３層Ｓu3と、を含む。第１層Ｓu1と第２層Ｓu2との間には、第１流路の一例である供給部Ｐa1およびＰb1が設けられる。第２層Ｓu2と第３層Ｓu3との間には、第２流路の一例である連結部Ｐa2およびＰb2が設けられる。第３層Ｓu3の内部には、フィルター室Ｆa_1〜Ｆa_4およびＦb_1〜Ｆb_4が設けられる。

ここで、供給部Ｐa1および連結部Ｐa2のそれぞれは、循環ヘッドＨnにインクを供給するための供給流路Ｓaである。同様に、供給部Ｐb1および連結部Ｐb2のそれぞれは、循環ヘッドＨnにインクを供給するための供給流路Ｓbである。供給流路ＳaおよびＳbは、流路部材３１１の積層方向に交差する方向に広範囲にわたって設けられる。したがって、前述の条件Ａ、Ｂ、ＣおよびＤを満たす必要性が極めて高いといえる。

第２層Ｓu2は、第１層Ｓu1および第３層Ｓu3のそれぞれよりも薄い。このため、他の弊害をできる限り生じさせることなく、第１層Ｓu1、第２層Ｓu2および第３層Ｓu3からなる積層体全体の厚さ（Ｔ１＋Ｔ２＋Ｔ３）を小さくすることができる。

また、複数の層Ｓu1〜Ｓu5は、第３層Ｓu3における第２層Ｓu2とは反対側の面に積層される第４層Ｓu4と、第４層Ｓu4における第３層Ｓu3とは反対側の面に積層され、複数の層Ｓu1〜Ｓu5のうち積層方向で最外の層である第５層Ｓu5と、をさらに含む。第３層Ｓu3と第４層Ｓu4との間には、第３流路の一例である排出部Ｐb4が設けられる。第４層Ｓu4と第５層Ｓu5との間には、第４流路の一例である排出部Ｐa4が設けられる。

ここで、排出部Ｐa4は、循環ヘッドＨnからインクを排出するための排出流路Ｄaである。同様に、排出部Ｐb4は、循環ヘッドＨnからインクを排出するための排出流路Ｄbである。このように、流路部材３１１の層間を効率的に利用して排出流路ＤaおよびＤbを配置することができる。供給流路ＳaおよびＳbと同様、排出流路ＤaおよびＤbも、流路部材３１１の積層方向に交差する方向に広範囲にわたって設けられる。したがって、前述の条件Ａ、Ｂ、ＣおよびＤを満たす必要性が極めて高いといえる。

第２層Ｓu2は、第５層Ｓu5よりも薄い。このため、他の弊害をできる限り生じさせることなく、第１層Ｓu1、第２層Ｓu2、第３層Ｓu3、第４層Ｓu4および第５層Ｓu5からなる積層体の厚さ（Ｔ１＋Ｔ２＋Ｔ３＋Ｔ４＋Ｔ５）を小さくすることができる。すなわち、流路部材３１１の厚さＴを小さくすることができる。

しかも、第４層Ｓu4は、第１層Ｓu1、第３層Ｓu3および第５層Ｓu5のそれぞれよりも薄い。このため、第４層Ｓu4が第１層Ｓu1、第３層Ｓu3または第５層Ｓu5よりも厚い場合に比べて、流路部材３１１の厚さＴを小さくすることができる。

２．第２実施形態
図１６は、第２実施形態における流路部材３１１Ａを模式的に示す断面図である。流路部材３１１Ａでは、第２層Ｓu2の厚さＴ２と第４層Ｓu4の厚さＴ４とのそれぞれだけでなく、第１層Ｓu1の厚さＴ１と第５層Ｓu5の厚さＴ５とのそれぞれが第３層Ｓu3の厚さＴ３よりも薄い。つまり、Ｔ２、Ｔ４＜Ｔ１、Ｔ５＜Ｔ３とする。図１０では、厚さＴ１と厚さＴ５とが互いに等しく、かつ、厚さＴ２と厚さＴ４とが互いに等しい構成が例示される。なお、厚さＴ１と厚さＴ５とが互いに異なってもよいし、厚さＴ２と厚さＴ４とが互いに異なってもよい。

上述の条件Ｄにて説明したように、第１層Ｓu1、第５層Ｓu5を第２層Ｓu2、第４層Ｓu4よりも小さくすることはできない。しかし、第１層Ｓu1、第５層Ｓu5は積層方向の端に位置するために生じ易くなる撓みを抑制できる厚さがあれば十分であり、必ずしもフィルター室が設けられる第３層Ｓu3よりも厚くする、若しくは同程度の厚さとする必要はない。寧ろ、可能であれば第１層Ｓu1、第５層Ｓu5を薄くした方が、流路部材３１１Ａの全体の厚さを薄くすることができるため、好ましい。

以上の点を鑑み、本実施形態では、第１層Ｓu1は、第２層Ｓu2よりは厚いが、第３層Ｓu3よりも薄い。このため、第１層Ｓu1が第３層Ｓu3よりも厚い場合に比べて、第１層Ｓu1、第２層Ｓu2および第３層Ｓu3からなる積層体全体の厚さを小さくすることができる。

同様の観点から、第５層Ｓu5は、第４層Ｓu4よりは厚いが、第３層Ｓu3よりも薄い。このため、第５層Ｓu5が第３層Ｓu3よりも厚い場合に比べて、第３層Ｓu3、第４層Ｓu4および第５層Ｓu5からなる積層体全体の厚さを小さくすることができる。

３．第３実施形態
図１７は、第３実施形態における流路部材３１１Ｂを模式的に示す断面図である。流路部材３１１Ｂでは、第１層Ｓu1における第２層Ｓu2側の面に、複数の空洞部Ｃv1が設けられる。複数の空洞部Ｃv1のそれぞれは、流路として用いずに、第１層Ｓu1の肉厚の偏りを低減する凹部である。同様に、第５層Ｓu5における第４層Ｓu4側の面には、複数の空洞部Ｃv5が設けられる。複数の空洞部Ｃv5のそれぞれは、流路として用いずに、第５層Ｓu5の肉厚の偏りを低減する凹部である。

図１８は、第３実施形態における流路部材３１１Ｂの空洞部Ｃv1の配置を示す平面図である。図１８では、第１層Ｓu1において、供給部Ｐa1およびＰb1が設けられていない領域に、第１層Ｓu1の肉厚の偏りを低減するように分散配置される複数の空洞部Ｃv1が図示される。なお、複数の空洞部Ｃv1の平面視形状または配置等は、図１８に示す例に限定されない。例えば、複数の空洞部Ｃv1がハニカム形状等をなしてもよい。

以上のように、第１層Ｓu1における第２層Ｓu2側の面には、インクの流路ではない空洞部Ｃv1が設けられる。このため、第１層Ｓu1の肉厚が偏ることによる撓みを低減することができる。

ここで、第１層Ｓu1における供給部Ｐa1およびＰb1の深さＤ１１と空洞部Ｃv1の深さＤ１２とが互いに等しいことが好ましい。具体的には、深さＤ１１と深さＤ１２との比は、０．８以上１．２以下であることが好ましく、０．９以上１．１以下であることがより好ましい。この場合、第１層Ｓu1における供給部Ｐa1およびＰb1の深さＤ１１と空洞部Ｃv1の深さＤ１２とが互いに異なる場合に比べて、第１層Ｓu1の肉厚が偏ることによる撓みを低減しやすい。

また、第１層Ｓu1における第２層Ｓu2とは反対側の面と空洞部Ｃv1との間の距離Ｌ１は、第１層Ｓu1における供給部Ｐa1およびＰb1と空洞部Ｃv1との間の距離Ｌ２よりも大きいことが好ましく、距離Ｌ２に対して１．８倍以上２．２倍以下であることがより好ましい。この場合、これらの距離の関係が逆の場合に比べて、第１層Ｓu1の肉厚が偏ることによる撓みを低減しやすい。

４．変形例
以上に例示した形態は多様に変形され得る。前述の形態に適用され得る具体的な変形の態様を以下に例示する。以下の例示から任意に選択された２以上の態様は、相互に矛盾しない範囲で適宜に併合され得る。

（１）前述の形態では、１つのヘッドユニット２５２が備える循環ヘッドＨnの数が４個であるが、１つのヘッドユニット２５２が備える循環ヘッドＨnの数は、３個以下または５個以上でもよい。

（２）前述の形態では、支持体２５１に支持される複数のヘッドユニット２５２が互いに同じ構成であるが、第１ヘッドユニットに相当するヘッドユニット２５２の構成と、第２ヘッドユニットに相当するヘッドユニット２５２の構成とが互いに異なってもよい。

（３）前述の形態では、供給流路Ｓaと供給流路Ｓbとに別種のインクを供給したが、供給流路Ｓaと供給流路Ｓbとに同種のインクを供給してもよい。

（４）前述の形態では、ヘッドユニット２５２の外部にサブタンク１３が設けられており、ヘッドユニット２５２とサブタンク１３の間でインクを循環させたが、サブタンクでなくとも、ヘッドユニット２５２の外部の間でインクを循環させる系であれば良い。例えばヘッドユニット２５２と液体容器１２の間でインクを循環させても良い。

（５）前述の形態では、ヘッドユニット２５２を搭載した搬送体２４１を往復させるシリアル方式の液体吐出装置を例示したが、複数のノズルＮが媒体１１の全幅にわたり分布するライン方式の液体吐出装置にも本発明を適用することが可能である。

（６）前述の形態で例示した液体吐出装置は、印刷に専用される機器のほか、ファクシミリ装置やコピー機等の各種の機器に採用され得る。もっとも、液体吐出装置の用途は印刷に限定されない。例えば、色材の溶液を吐出する液体吐出装置は、液晶表示パネル等の表示装置のカラーフィルターを形成する製造装置として利用される。また、導電材料の溶液を吐出する液体吐出装置は、配線基板の配線や電極を形成する製造装置として利用される。また、生体に関する有機物の溶液を吐出する液体吐出装置は、例えばバイオチップを製造する製造装置として利用される。

（７）前述の形態で例示した循環ヘッドＨnは、図示しないが、循環ヘッドＨnの前述の各構成要素が適宜に設けられる複数の基板の積層で構成される。例えば、ノズル列Ｌaおよびノズル列Ｌbは、ノズル基板に設けられる。液体貯留室Ｒaおよび液体貯留室Ｒbは、リザーバー基板に設けられる。複数の圧力室Ｃaおよび複数の圧力室Ｃbは、圧力室基板に設けられる。複数の駆動素子Ｅaおよび複数の駆動素子Ｅbは、素子基板に設けられる。以上のノズル基板、リザーバー基板、圧力室基板および素子基板のうちの１以上の基板が循環ヘッドＨnごとに個別に設けられる。例えば、ノズル基板が循環ヘッドＨnごとに個別に設けられる場合、リザーバー基板、圧力室基板および素子基板のうちの１以上の基板がヘッドユニット２５２内の複数の循環ヘッドＨnに共通して設けられてもよい。また、リザーバー基板および圧力室基板が循環ヘッドＨnごとに個別に設けられる場合、ノズル基板等がヘッドユニット２５２内の複数の循環ヘッドＨnに共通して設けられてもよい。さらに、複数の駆動素子Ｅaおよび複数の駆動素子Ｅbを駆動する駆動回路は、循環ヘッドＨnごとに個別に設けられてもよいし、ヘッドユニット２５２内の複数の循環ヘッドＨnに共通して設けられてもよい。

１００…液体吐出装置、２５２…ヘッドユニット、３１１…流路部材、３１１Ａ…流路部材、３１１Ｂ…流路部材、Ｃv1…空洞部、Ｃv5…空洞部、Ｄ１１…深さ、Ｄ１２…深さ、Ｄ２１…深さ、Ｄ２２…深さ、Ｄ２３…距離、Ｄ３１…深さ、Ｄ３２…深さ、Ｄa…排出流路、Ｄb…排出流路、Ｆa_1…フィルター室、Ｆa_2…フィルター室、Ｆa_3…フィルター室、Ｆa_4…フィルター室、Ｆb_1…フィルター室、Ｆb_2…フィルター室、Ｆb_3…フィルター室、Ｆb_4…フィルター室、Ｈ1…循環ヘッド、Ｈ2…循環ヘッド、Ｈ3…循環ヘッド、Ｈn…循環ヘッド、Ｌ１…距離、Ｌ２…距離、Ｐa1…供給部、Ｐa2…連結部、Ｐa3…連結部、Ｐa4…排出部、Ｐb1…供給部、Ｐb2…連結部、Ｐb3…連結部、Ｐb4…排出部、Ｓa…供給流路、Ｓb…供給流路、Ｓu1…第１層、Ｓu2…第２層、Ｓu3…第３層、Ｓu4…第４層、Ｓu5…第５層、Ｔ１…厚さ、Ｔ２…厚さ、Ｔ３…厚さ、Ｔ４…厚さ、Ｔ５…厚さ。

Claims (12)

1. 複数の層の積層により構成され、内部を液体が流通する流路部材と、
   前記流路部材から液体が供給され、液体を吐出する液体吐出ヘッドと、を有する液体吐出ヘッドユニットであって、
   前記複数の層は、前記複数の層のうち積層方向で最外の層である第１層と、前記第１層に積層される第２層と、前記第２層の前記第１層とは反対側に積層される第３層と、を含み、
   前記第１層と前記第２層との間には、第１流路が設けられ、
   前記第２層と前記第３層との間には、第２流路が設けられ、
   前記第３層の内部には、フィルター室が設けられ、
   前記第２層は、前記第１層および前記第３層のそれぞれよりも薄いことを特徴とする液体吐出ヘッドユニット。
2. 前記第１層は、前記第３層よりも薄いことを特徴とする請求項１に記載の液体吐出ヘッドユニット。
3. 前記複数の層は、前記第３層の前記第２層とは反対側に積層される第４層と、前記第４層の前記第３層とは反対側に積層され、前記複数の層のうち積層方向で最外の層である第５層と、をさらに含み、
   前記第３層と前記第４層との間には、第３流路が設けられ、
   前記第４層と前記第５層との間には、第４流路が設けられ、
   前記第２層は、前記第５層よりも薄いことを特徴とする請求項１または２に記載の液体吐出ヘッドユニット。
4. 前記第４層は、前記第１層、前記第３層および前記第５層のそれぞれよりも薄いことを特徴とする請求項３に記載の液体吐出ヘッドユニット。
5. 前記第５層は、前記第３層よりも薄いことを特徴とする請求項４に記載の液体吐出ヘッドユニット。
6. 前記第１層における前記第２層側の面には、液体の流路ではない空洞部が設けられることを特徴とする請求項１から５のいずれか１項に記載の液体吐出ヘッドユニット。
7. 前記第１層における前記第１流路の深さと前記空洞部の深さとが互いに等しいことを特徴とする請求項６に記載の液体吐出ヘッドユニット。
8. 前記第１層における前記第２層とは反対側の面と前記空洞部との間の距離は、前記第１層における前記第１流路と前記空洞部との間の距離よりも大きいことを特徴とする請求項６または７に記載の液体吐出ヘッドユニット。
9. 前記第１流路および前記第２流路のそれぞれは、前記液体吐出ヘッドに液体を供給するための供給流路であることを特徴とする請求項３に記載の液体吐出ヘッドユニット。
10. 前記第３流路および前記第４流路のそれぞれは、前記液体吐出ヘッドから液体を排出するための排出流路であることを特徴とする請求項９に記載の液体吐出ヘッドユニット。
11. 第１液体吐出ヘッドと、
    前記第１液体吐出ヘッドと異なる第２液体吐出ヘッドと、を有し、
    前記第１液体吐出ヘッドおよび前記第２液体吐出ヘッドのそれぞれが前記液体吐出ヘッドであることを特徴とする請求項１から１０のいずれか１項に記載の液体吐出ヘッドユニット。
12. 請求項１から１１のいずれか１項に記載の液体吐出ヘッドユニットと、
    前記液体吐出ヘッドユニットからの吐出動作を制御する制御部と、を有することを特徴とする液体吐出装置。

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