JP2008080741A - 液体噴射ヘッド及び液体噴射装置 - Google Patents
液体噴射ヘッド及び液体噴射装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2008080741A JP2008080741A JP2006265774A JP2006265774A JP2008080741A JP 2008080741 A JP2008080741 A JP 2008080741A JP 2006265774 A JP2006265774 A JP 2006265774A JP 2006265774 A JP2006265774 A JP 2006265774A JP 2008080741 A JP2008080741 A JP 2008080741A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- ink
- sealing film
- adhesive
- substrate
- liquid ejecting
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Images
Landscapes
- Particle Formation And Scattering Control In Inkjet Printers (AREA)
Abstract
【課題】流体流路を封止する封止膜部材と接合基板との接着面の界面の長さを確保して配線部材側への流体の伝わりを抑制することができる液体噴射ヘッドとする。
【解決手段】駆動IC100に対応する部位における封止膜41の接着部位の接合基板30の上面に溝35を形成し、溝35の面の分で接着剤の界面を延長し、リザーバ部32からのインクが封止膜41と接合基板30との接着面の接着剤の界面を伝わった場合でも駆動IC100に到達するまでの時間を長くし、簡単な構造の溝35によりインクの駆動IC100側への伝わりを抑制する。
【選択図】図4
【解決手段】駆動IC100に対応する部位における封止膜41の接着部位の接合基板30の上面に溝35を形成し、溝35の面の分で接着剤の界面を延長し、リザーバ部32からのインクが封止膜41と接合基板30との接着面の接着剤の界面を伝わった場合でも駆動IC100に到達するまでの時間を長くし、簡単な構造の溝35によりインクの駆動IC100側への伝わりを抑制する。
【選択図】図4
Description
本発明は、流体流路から圧力発生室に供給された液体を吐出する液体噴射ヘッド及び液体噴射装置に関し、特に、ノズルと連通する圧力発生室の一部を振動板で構成し、この振動板上に設けられた圧電素子の変位によりノズルからインク滴を吐出させるインクジェット式記録ヘッド及びインクジェット式記録装置に関する。
従来から、圧電素子、あるいは発熱素子等によって液体に圧力を付与することで、ノズルから液滴を吐出する液体噴射ヘッドが知られており、その代表例としては、インク滴を吐出するインクジェット式記録ヘッドが挙げられる(例えば、特許文献1参照)。
従来のインクジェット式記録ヘッドは、インク室本体の圧力発生室に圧力を付与するための圧力変換素子等が備えられ、インク室本体にはインク滴が吐出されるノズルを有するノズルプレートが接合されている。また、圧力発生室にはインク流路が連通して設けられ、ノズルプレートの反対側の圧力発生室は接合基板により封止されている。また、インク流路に対応する接合基板には開口部が設けられ、開口部にはインク流路を封止するための可撓性を有する封止膜部材(シート)が接着されている。そして、開口部に隣接する部位の接合基板には圧力変換素子等の配線部材が設けられている。
このような液体噴射ヘッドの一例であるインクジェット式記録ヘッドでは、可撓性を有するシートが接合基板の貫通孔の開口部の周縁に接着されることで液体流路が覆われ、内部の圧力変動がシートの撓みにより吸収される状態で液体流路が封止されている。近年、インクジェット式記録ヘッドは、小型、複雑化が進み、接合基板におけるシートの接着部と配線部材とが近接して配される状況にある。このため、シートと接合基板の間の接着剤の界面の長さを確保し難く、インクの配線部材側への伝わりの抑制が保ち難くなる虞がある。
尚、このような状況は、インクを吐出するインクジェット式記録ヘッドだけではなく、インク以外を吐出する他の液体噴射ヘッドにおいても同様に存在する。
本発明は上記状況に鑑みてなされたもので、流体流路を封止する封止膜部材と接合基板との接着面の界面の長さを確保して配線部材側への流体の伝わりを抑制することができる液体噴射ヘッド及び液体噴射装置を提供することを目的とする。
上記目的を達成するための本発明の第1の態様は、少なくとも圧力発生室が形成された流路形成基板と、流路形成基板の一方面側上に接合して、貫通孔が形成された接合基板と、圧力発生室の反対側における接合基板の面に備えられる配線部材と、接合基板の配線部材が備えられた面の貫通孔の開口部を覆い開口部の周縁に接着剤により接着される封止膜部材と、封止膜部材周囲を固定する固定部材とを有し、配線部材に対応する部位の接合基板及び封止膜部材の間に接着剤の界面を延長する接着剤界面延長部を形成したことを特徴とする液体噴射ヘッドにある。
第1の態様では、接着剤界面延長部により接合基板と封止膜部材との間の接着剤の界面を延長することができ、流体流路内の流体の界面での移動が長くなり、流体の配線部材側への伝わりを抑制することができる。
第1の態様では、接着剤界面延長部により接合基板と封止膜部材との間の接着剤の界面を延長することができ、流体流路内の流体の界面での移動が長くなり、流体の配線部材側への伝わりを抑制することができる。
本発明の第2の態様は、第1の態様の液体噴射ヘッドにおいて、接合基板流路形成基板の他方面側には、複数のノズルが形成されたノズルプレートが設けられていることを特徴とする液体噴射ヘッドにある。
第2の態様では、ノズルプレートが設けられた液体噴射ヘッドにおける流体の配線部材側への伝わりを抑制することができる。
第2の態様では、ノズルプレートが設けられた液体噴射ヘッドにおける流体の配線部材側への伝わりを抑制することができる。
本発明の第3の態様は、第1の態様もしくは第2の態様の液体噴射ヘッドにおいて、接着剤界面延長部は、接合基板に設けられた溝であることを特徴とする液体噴射ヘッドにある。
第3の態様では、簡単な構造の溝により流体の配線部材側への伝わりを抑制することができる。
第3の態様では、簡単な構造の溝により流体の配線部材側への伝わりを抑制することができる。
本発明の第4の態様は、第1の態様もしくは第2の態様の液体噴射ヘッドにおいて、接着剤界面延長部は、封止膜部材の接着部位における接合基板の面と固定部材とが互いに嵌合する凹凸で形成され、封止膜部材の接着部位が凹凸に沿って挟み込まれる屈曲形状とされていることを特徴とする液体噴射ヘッドにある。
第4の態様では、凹凸の形状により接合基板と封止膜部材との間の接着剤の界面を延長することができ、確実にしかも信頼性を高くして流体の配線部材側への伝わりを抑制することができる。
第4の態様では、凹凸の形状により接合基板と封止膜部材との間の接着剤の界面を延長することができ、確実にしかも信頼性を高くして流体の配線部材側への伝わりを抑制することができる。
上記目的を達成するための本発明の第5の態様は、第1の態様〜第4の態様のいずれかの液体噴射ヘッドを備えたことを特徴とする液体噴射装置にある。
第5の態様では、流体の配線部材側への伝わりを抑制した液体噴射ヘッドを有する液体噴射装置とすることができる。
第5の態様では、流体の配線部材側への伝わりを抑制した液体噴射ヘッドを有する液体噴射装置とすることができる。
本発明の液体噴射ヘッド及び液体噴射装置は、流体の配線部材側への伝わりを抑制することができ、流体の配線部材への浸入の影響をなくすことが可能になる。
図1には本発明の第1実施形態例に係る液体噴射ヘッドとしてのインクジェット式記録ヘッドの分解斜視状態、図2には本発明の第1実施形態例に係る液体噴射ヘッドとしてのインクジェット式記録ヘッドの概略平面視、図3には図2中のIII−III線矢視、図4には図3中の矢印IV部の断面を示してある。
図に示すように、インクジェット式記録ヘッドを構成する流路形成基板10は、本実施形態では結晶面方位が(110)であるシリコン単結晶基板からなり、流路形成基板10には隔壁11によって区画された複数の圧力発生室12が幅方向(図2中上下方向)に並設して形成されている。
流路形成基板10の圧力発生室12の長手方向一端部側(図2、図3中右側)には圧力発生室12に連通するインク供給路13及び連通路14がそれぞれ形成され、インク供給路13及び連通路14は隔壁11によって区画されている。インク供給路13は圧力発生室12よりも狭い断面積となるように形成されている。インク供給路13を挟んで圧力発生室12と反対側の流路形成基板10には各連通路14に連通する流体流路としてのインク室15が設けられ、インク室15は後述する接合基板30のリザーバ部32となる貫通孔と連通して各圧力発生室12の共通のリザーバ1の一部とされている。
インク供給路13は圧力発生室12よりも狭い断面積となるように形成されているため、インク室15から圧力発生室12に流入するインクの流路抵抗が一定に保持されている。例えば、本実施形態では、インク供給路13はリザーバ1と各圧力発生室12との間の圧力発生室12側の流路を幅方向に絞ることで、圧力発生室12の幅より小さい幅で形成されている。
尚、本実施形態では、流路の幅を隔壁11の片側から絞ることでインク供給路13を形成したが、流路の幅を隔壁11の両側から絞ることでインク供給路を形成してもよい。また、流路の幅を絞るのではなく、流路形成基板10の厚さ方向から流路断面積を絞ることでインク供給路を形成してもよい。
流路形成基板10の他方面側となる開口面側(図1、図3中下面側)にはノズルプレート20が接着剤や熱溶着フィルム等によって固着され、ノズルプレート20にはノズル開口21が穿設されている。ノズルプレート20のノズル開口21は、各圧力発生室12のインク供給路13と反対側の端部近傍にそれぞれ対応して形成されている。ノズルプレート20は、例えば、ガラスセラミックス、シリコン単結晶基板又はステンレス鋼等からなっている。
流路形成基板10の開口面とは反対側(図1、図3中上面側)となる一方面側には弾性膜50が設けられ、弾性膜50の上には、厚さが例えば、約0.2μmの下電極膜60と、厚さが例えば、約0.5〜3μmの圧電体層70と、厚さが例えば、約0.1μmの上電極膜80とが積層形成されて圧電素子300を構成している。圧電素子300は、下電極膜60、圧電体層70及び上電極膜80を含む部分をいう。一般的には、圧電素子300の何れか一方の電極を共通電極とし、他方の電極及び圧電体層70を圧力発生室12毎にパターニングして構成する。そして、パターニングされた何れか一方の電極及び圧電体層70から構成され、両電極への電圧の印加により圧電歪みが生じる部分を圧電体能動部という。
本実施形態では、下電極膜60は圧電素子300の共通電極とし、上電極膜80を圧電素子300の個別電極としているが、駆動ICや配線の都合でこれを逆にしても支障はない。何れの場合においても、圧力発生室毎に圧電体能動部が形成されていることになる。また、ここでは、圧電素子300と圧電素子300の駆動により変位が生じる振動板とを合わせて圧電アクチュエータと称する。圧電素子300の個別電極である上電極膜80の長手方向一端部近傍にはリード電極90が接続され、リード電極90は、所定の幅で流路形成基板10の端部近傍まで引き出されている。
圧電素子300が形成された流路形成基板10の一方面側上には、圧電素子300の運動を阻害しない程度の空間を確保した空間が形成された圧電素子保持部31を有する接合基板30が接合され、圧電素子300はこの圧電素子保持部31内に配置されているが密封されていても密封されていなくても良い。また、流路形成基板10のインク室15に対向する接合基板30の領域にはリザーバ部32となる貫通孔が備えられ、リザーバ部32は接合基板30を厚さ方向に貫通して圧力発生室12の幅方向に亘って形成されている。つまり、インク室15に対応する部位の接合基板30には開口部33が形成された状態になっている。接合基板30としては、流路形成基板10の熱膨張率と略同一の材料、例えば、ガラス、セラミック材料等を用いることが好ましく、本実施形態では、流路形成基板10と同一材料のシリコン単結晶基板を用いて形成してある。
圧電素子保持部31に対応する接合基板30の上面には配線部材としての駆動IC100が設けられ、駆動IC100はリード電極90に電気的に接続されて圧電素子300を駆動する。接合基板30上にはリザーバ部32を覆い開口部33の周縁に封止膜部材としての封止膜41が接着剤により接着されている。封止膜41は固定板42により周囲が接合基板30上に固定されている。上記では、接合基板30が、圧電素子保持部31を有すると共に、リザーバ部32となる貫通孔の開口部を封止膜41で覆われた一つの部材として説明したが、圧電素子保持部31を有する基板とリザーバ部32となる貫通孔の開口部を封止膜41で覆われた基板とを別部材とし、この後者の基板を「接合基板」として扱ってもよい。また、「流路形成基板10の一方面側上」という表現は、流路形成基板10の直接接合されている形態に限定されずに、流路形成基板10と接合基板30との間に他の部材を介在させても良いことまでを含む。
封止膜41は、剛性が低く可撓性を有する材料(例えば、厚さが6[μm]のポリフェニレンサルファイド(PPS)フィルム)からなり、封止膜41によってリザーバ部32の一方面(図3中上面)が封止されている。また、固定板42は、金属等の硬質の材料(例えば、厚さが30μmのステンレス鋼(SUS)等)で形成されている。固定板42のリザーバ部32に対向する領域は開口部43とされ、リザーバ部32の一方面(図3中上面)は可撓性を有する封止膜41のみで封止されている。
駆動IC100に対応する部位における封止膜41の接着部位の接合基板30の上面には、接着剤界面延長部としての溝35が形成されている。溝35に接着剤が充填されて封止膜41と接合基板30が接着されることにより、溝35の面の分で接着剤の界面を延長することができる。これにより、リザーバ部32からのインクが封止膜41と接合基板30との接着面の接着剤の界面を伝わった場合、界面が延長されているので駆動IC100に到達するまでの時間を長くすることができる。従って、簡単な構造の溝35によりインクの駆動IC100側への伝わりを抑制することができ、駆動IC100にインクが接触して配線部材がショートする等の虞がなくなり、インクの浸入防止に対する信頼性を維持することができる。
上述した本実施形態のインクジェット式記録ヘッドでは、図示しない外部インク供給手段と接続したインク導入口からインクを取り込み、リザーバ1からノズル開口21に至るまで内部をインクで満たした後、駆動IC100からの信号に従い、圧力発生室12に対応するそれぞれの下電極膜60と上電極膜80との間に電圧を印加し、圧電素子300を撓み変形させることによって、各圧力発生室12内の圧力を高めてノズル開口21からインク滴を吐出させる。
インク滴を吐出させるに際し、リザーバ1の内部の圧力変動は可撓性を有する封止膜41により吸収され、リザーバ部32からのインクが封止膜41と接合基板30との接着面の接着剤の界面に至った場合でも、溝35により接着剤の界面が延長されているので駆動IC100に到達するまでの時間を長くすることができインクの駆動IC100側への伝わりを抑制することができる。このため、駆動IC100にインクが浸入することがなくインクが接触して配線部材がショートする等の虞がなくなり、インク浸入に対する信頼性を向上させることができる。
本発明の第2〜第5実施形態例を説明する。図5〜図8には本発明の第2〜第5実施形態例に係るインクジェット式記録ヘッドの要部断面を示してある。第2〜第5実施形態例は、第1実施形態例に対し、接着剤界面延長部が異なる構成であり、図5〜図8には図3中の矢印IV部に相当する部位(図4に相当)の構成を示してある。このため、第1実施形態例と同一部材には同一符号を付してあり、インクジェット式記録ヘッドの全体の構成は省略してある。
図5に基づいて第2実施形態例を説明する。
図に示すように、駆動IC100に対応する部位における封止膜41の接着部位の接合基板30の上面には、接着剤界面延長部として2本の溝36、37が形成されている。溝36、37に接着剤が充填されて封止膜41と接合基板30が接着されることにより、2本の溝36、37の面の分で接着剤の界面を延長することができる。これにより、少ないスペースで接着剤の界面を有効に延長することができ、リザーバ部32からのインクが封止膜41と接合基板30との接着面の接着剤の界面を伝わった場合、駆動IC100に到達するまでの時間を極めて長くすることができる。
従って、簡単な構造の2本の溝36、37によりインクの駆動IC100側への伝わりを抑制することができ、駆動IC100にインクが接触して配線部材がショートする等の虞がなくなり、インクの浸入防止に対する信頼性を高く維持することができる。
尚、2本の溝36、37の断面積を変化させ、駆動IC100に近い溝36の断面積を大きくする等の設計変更は適宜可能である。駆動IC100に近い溝36の断面積を大きくすることで、リザーバ部32側の接着性を損なうことなく接着剤の界面を長くすることができる。また、溝の形状も加工のし易さ等により、円弧状、三角形状等、種々の形状を適用することが可能である。
図6に基づいて第3実施形態例を説明する。
図に示すように、駆動IC100に対応する部位における封止膜41の接着部位の接合基板30の上面には、接着剤界面延長部として凹部51が形成され、凹部51に対応して固定板42には凹部51に嵌合する凸部52が形成されている。接合基板30の凹部51と固定板42の凸部52との間の封止膜41は、凹凸に沿って挟み込まれる下向きに凸状の屈曲部53とされている。接合基板30の凹部51と封止膜41の屈曲部53が接着剤で接着されることにより、凹凸の形状で接着剤の界面を延長することができる。これにより、少ないスペースで接着剤の界面を確実に延長することができ、リザーバ部32からのインクが封止膜41と接合基板30との接着面の接着剤の界面を伝わった場合、駆動IC100に到達するまでの時間を極めて長くすることができる。
従って、接合基板30の凹部51、固定板42の凸部52、封止膜41の屈曲部53による凹凸の形状により、インクの駆動IC100側への伝わりを抑制することができ、駆動IC100にインクが接触して配線部材がショートする等の虞がなくなり、インクの浸入防止に対する信頼性を高く維持することができる。
図7に基づいて第4実施形態例を説明する。
図に示すように、駆動IC100に対応する部位における封止膜41の接着部位の接合基板30の上面には、接着剤界面延長部として凸部55が形成され、凸部55に対応して固定板42には凸部55に嵌合する凹部56が形成されている。接合基板30の凸部55と固定板42の凹部56との間の封止膜41は、凹凸に沿って挟み込まれる上向きに凸状の屈曲部57とされている。接合基板30の凸部55と封止膜41の屈曲部57が接着剤で接着されることにより、凹凸の形状で接着剤の界面を延長することができる。これにより、少ないスペースで接着剤の界面を確実に延長することができ、リザーバ部32からのインクが封止膜41と接合基板30との接着面の接着剤の界面を伝わった場合、駆動IC100に到達するまでの時間を極めて長くすることができる。
従って、接合基板30の凸部55、固定板42の凹部56、封止膜41の屈曲部57による凹凸の形状により、インクの駆動IC100側への伝わりを抑制することができ、駆動IC100にインクが接触して配線部材がショートする等の虞がなくなり、インクの浸入防止に対する信頼性を高く維持することができる。
図8に基づいて第5実施形態例を説明する。
第5実施形態例は、図7に示した第4実施形態例に対し、凹凸の形状の両側における封止膜41の接着部位の接合基板30の上面にそれぞれ溝61、62が形成された構成となっている。溝61、62に接着剤が充填され接合基板30の凸部55と封止膜41の屈曲部57が接着剤で接着されることにより、溝61、62の面の分で接着剤の界面を延長することができると共に、凹凸の形状で接着剤の界面を延長することができる。これにより、少ないスペースで接着剤の界面を大幅に延長することができ、リザーバ部32からのインクが封止膜41と接合基板30との接着面の接着剤の界面を伝わった場合、駆動IC100に到達するまでの時間を大幅に長くすることができる。
従って、簡単な構造の2本の溝61、62及び接合基板30の凸部55、固定板42の凹部56、封止膜41の屈曲部57による凹凸の形状により、インクの駆動IC100側への伝わりを抑制することができ、駆動IC100にインクが接触して配線部材がショートする等の虞がなくなり、インクの浸入防止に対する信頼性を更に高く維持することができる。
上述した記録ヘッドは、液体噴射装置としてのインクジェット式記録装置に搭載される。図9に基づいてインクジェット式記録装置の概略を説明する。
図に示すように、記録ヘッド本体を有する記録ヘッド8A、8Bには、インク供給手段を構成するカートリッジ2A、2Bが着脱可能に設けられ、記録ヘッド8A、8Bはキャリッジ3に搭載される。装置本体4にはキャリッジ軸5が取り付けられ、記録ヘッド8A、8Bが搭載されたキャリッジ3はキャリッジ軸5に軸方向移動自在に設けられている。駆動モータ6の駆動力が複数の歯車(図示省略)およびタイミングベルト7を介してキャリッジ3に伝達され、記録ヘッド8A、8Bが搭載されたキャリッジ3はキャリッジ軸5に沿って移動される。一方、装置本体4にはキャリッジ軸5に沿ってプラテン9が設けられ、図示しない給紙ローラなどにより給紙された紙等の記録媒体である記録シートSがプラテン9上を搬送される。
上述した実施形態では、リザーバを接合基板30のリザーバ部32と流路形成基板10のインク室15とからなるリザーバ1として説明したが、接合基板30の貫通孔のみをリザーバとして、インク室15を圧力発生室12と同数の個別の液体流路として形成しても、本願発明を適用することができる。
上述した実施形態では、液体噴射ヘッドとしてインク滴を吐出するインクジェット式記録ヘッドを例に挙げて説明したが、本発明は、広く液体噴射ヘッド全般に適用することができる。例えば、液体噴射ヘッドとして、プリンタ等の画像記録装置に用いられる記録ヘッド、液晶ディスプレー等のカラーフィルタの製造に用いられる色材噴射ヘッド、有機ELディスプレー、FED(電界放出ディスプレー)等の電極形成に用いられる電極材料噴射ヘッド、バイオchip製造に用いられる生体有機物噴射ヘッド等を適用することができる。
8 記録ヘッド、 10 流路形成基板、 30 接合基板、 35、36、37、61、62 溝、 41 封止膜、 42 固体板、 51、56 凹部、 52、55 凸部、53、57 屈曲部
Claims (5)
- 少なくとも圧力発生室が形成された流路形成基板と、
流路形成基板の一方面側上に接合して、貫通孔が形成された接合基板と、
圧力発生室の反対側における接合基板の面に備えられる配線部材と、
接合基板の配線部材が備えられた面の貫通孔の開口部を覆い開口部の周縁に接着剤により接着される封止膜部材と、
封止膜部材周囲を固定する固定部材とを有し、
配線部材に対応する部位の接合基板及び封止膜部材の間に接着剤の界面を延長する接着剤界面延長部を形成した
ことを特徴とする液体噴射ヘッド。 - 請求項1に記載の液体噴射ヘッドにおいて、
接合基板流路形成基板の他方面側には、複数のノズルが形成されたノズルプレートが設けられている
ことを特徴とする液体噴射ヘッド。 - 請求項1もしくは請求項2に記載の液体噴射ヘッドにおいて、
接着剤界面延長部は、接合基板に設けられた溝である
ことを特徴とする液体噴射ヘッド。 - 請求項1もしくは請求項2に記載の液体噴射ヘッドにおいて、
接着剤界面延長部は、封止膜部材の接着部位における接合基板の面と固定部材とが互いに嵌合する凹凸で形成され、封止膜部材の接着部位が凹凸に沿って挟み込まれる屈曲形状とされている
ことを特徴とする液体噴射ヘッド。 - 請求項1〜請求項4のいずれかの液体噴射ヘッドを備えたことを特徴とする液体噴射装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2006265774A JP2008080741A (ja) | 2006-09-28 | 2006-09-28 | 液体噴射ヘッド及び液体噴射装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2006265774A JP2008080741A (ja) | 2006-09-28 | 2006-09-28 | 液体噴射ヘッド及び液体噴射装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2008080741A true JP2008080741A (ja) | 2008-04-10 |
Family
ID=39352064
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2006265774A Pending JP2008080741A (ja) | 2006-09-28 | 2006-09-28 | 液体噴射ヘッド及び液体噴射装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2008080741A (ja) |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2010030110A (ja) * | 2008-07-28 | 2010-02-12 | Konica Minolta Ij Technologies Inc | インクジェットヘッド |
JP2010214879A (ja) * | 2009-03-18 | 2010-09-30 | Ricoh Co Ltd | 液滴吐出ヘッド及びそれを用いた液滴吐出装置、画像形成装置 |
JP2010228206A (ja) * | 2009-03-26 | 2010-10-14 | Seiko Epson Corp | 液体流路ユニットの製造方法、液体流路ユニット、液体噴射ヘッドユニット及び液体噴射装置 |
JP2011056807A (ja) * | 2009-09-10 | 2011-03-24 | Canon Inc | 液体吐出ヘッド及びその製造方法 |
-
2006
- 2006-09-28 JP JP2006265774A patent/JP2008080741A/ja active Pending
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2010030110A (ja) * | 2008-07-28 | 2010-02-12 | Konica Minolta Ij Technologies Inc | インクジェットヘッド |
JP2010214879A (ja) * | 2009-03-18 | 2010-09-30 | Ricoh Co Ltd | 液滴吐出ヘッド及びそれを用いた液滴吐出装置、画像形成装置 |
JP2010228206A (ja) * | 2009-03-26 | 2010-10-14 | Seiko Epson Corp | 液体流路ユニットの製造方法、液体流路ユニット、液体噴射ヘッドユニット及び液体噴射装置 |
JP2011056807A (ja) * | 2009-09-10 | 2011-03-24 | Canon Inc | 液体吐出ヘッド及びその製造方法 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5278654B2 (ja) | 液体噴射ヘッド及び液体噴射装置 | |
JP5750753B2 (ja) | 液体噴射ヘッド及び液体噴射装置 | |
JP5668482B2 (ja) | 液体噴射ヘッド及び液体噴射装置 | |
JP5327443B2 (ja) | 液体噴射ヘッド及び液体噴射装置 | |
JP4228239B2 (ja) | 液体噴射ヘッド及び液体噴射装置 | |
JP5413598B2 (ja) | 液体噴射ヘッド及び液体噴射装置 | |
JP5743076B2 (ja) | 液体噴射ヘッド及び液体噴射装置 | |
JP4614070B2 (ja) | 液体噴射ヘッド及び液体噴射装置 | |
JP2011029305A (ja) | 圧電アクチュエーター、液体噴射ヘッド | |
JP2008080741A (ja) | 液体噴射ヘッド及び液体噴射装置 | |
JP2009178951A (ja) | 液体噴射ヘッド及び液体噴射装置 | |
JP2007008044A (ja) | 液体噴射ヘッド及び液体噴射装置 | |
JP5305017B2 (ja) | 液体噴射ヘッド、液体噴射装置及びアクチュエーター装置 | |
US9387674B2 (en) | Flow path unit and liquid ejecting apparatus equipped with flow path unit | |
JP5218730B2 (ja) | 液体噴射ヘッド及び液体噴射装置 | |
JP2008023799A (ja) | 液体噴射ヘッド及び液体噴射装置 | |
JP4911289B2 (ja) | アクチュエータ装置及び液体噴射ヘッド並びに液体噴射装置 | |
JP2009255528A (ja) | 液体噴射ヘッド、圧電素子及び液体噴射装置 | |
JP4780293B2 (ja) | 液体噴射ヘッド及び液体噴射装置 | |
JP2010069688A (ja) | 液体噴射ヘッド及び液体噴射装置 | |
JP2007261216A (ja) | アクチュエータ装置及び液体噴射ヘッド並びに液体噴射装置 | |
JP2006327159A (ja) | 液体噴射ヘッド及び液体噴射装置 | |
JP5825499B2 (ja) | 液体噴射ヘッド及び液体噴射装置 | |
JP5741867B2 (ja) | 液体噴射ヘッド及び液体噴射装置 | |
JP2008080742A (ja) | 液体噴射ヘッド及び液体噴射装置 |